KR101466274B1 - Photosensitive resin composition and black matrix using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and black matrix using the same Download PDF

Info

Publication number
KR101466274B1
KR101466274B1 KR1020100126485A KR20100126485A KR101466274B1 KR 101466274 B1 KR101466274 B1 KR 101466274B1 KR 1020100126485 A KR1020100126485 A KR 1020100126485A KR 20100126485 A KR20100126485 A KR 20100126485A KR 101466274 B1 KR101466274 B1 KR 101466274B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
formula
group
resin composition
meth
photosensitive resin
Prior art date
Application number
KR1020100126485A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20120105570A (en
Inventor
이창민
김준석
이길성
최정식
Original Assignee
제일모직 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제일모직 주식회사 filed Critical 제일모직 주식회사
Priority to KR1020100126485A priority Critical patent/KR101466274B1/en
Publication of KR20120105570A publication Critical patent/KR20120105570A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101466274B1 publication Critical patent/KR101466274B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0045Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133502Antiglare, refractive index matching layers
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0047Photosensitive materials characterised by additives for obtaining a metallic or ceramic pattern, e.g. by firing
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

Abstract

(A) 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는 카도계 수지, (B) 반응성 불포화 화합물, (C) 안료, (D) 개시제 및 (E) 용매를 포함하는 감광성 수지 조성물, 및 이를 이용한 차광층이 제공된다. 
[화학식 1]

Figure 112010081642118-pat00071

[화학식 2]
Figure 112010081642118-pat00072

(상기 화학식 1 및 2에서, 각 치환기는 명세서에 정의된 바와 같다.)(B) a reactive unsaturated compound, (C) a pigment, (D) an initiator and (E) a solvent, wherein the resin (A) comprises a repeating unit represented by the following general formula (1) and a repeating unit represented by the following general formula And a light-shielding layer using the same.
[Chemical Formula 1]
Figure 112010081642118-pat00071

(2)
Figure 112010081642118-pat00072

(Wherein, in the above formulas (1) and (2), each substituent is as defined in the specification)

Description

감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND BLACK MATRIX USING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition and a light-

본 기재는 카도계 수지를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층에 관한 것이다.
The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a cadmium resin and a light-shielding layer using the same.

액정 디스플레이 장치는 차광층, 컬러필터 및 ITO 화소전극이 형성된 하부 기판; 액정층, 박막트랜지스터, 축전캐패시터층으로 구성된 능동회로부; 및 ITO 화소전극이 형성된 상부 기판을 포함하여 구성된다.  A liquid crystal display device includes a lower substrate on which a light-shielding layer, a color filter, and ITO pixel electrodes are formed; An active circuit composed of a liquid crystal layer, a thin film transistor, and a capacitor capacitor layer; And an upper substrate on which ITO pixel electrodes are formed.

상기 차광층은 박막트랜지스터를 투과한 빛에 의한 콘트라스트의 저하를 방지하기 위해, 기판의 투명화소전극 이외로 투과되어 제어되지 않은 광을 차단하는 역할을 하며, 적색, 녹색, 청색의 착색층은 백색광 중 특정 파장의 빛을 투과시켜 색을 표현할 수 있도록 하는 것이 주요 역할이다.The light-shielding layer serves to cut off light which is transmitted through the substrate other than the transparent pixel electrode in order to prevent the contrast caused by the light transmitted through the thin film transistor from deteriorating, and the colored layers of red, green, The main role is to transmit light of a specific wavelength to express color.

상기 차광층 제조시 안료분산법이 주로 이용되는데, 상기 안료분산법은 투명한 기질 위에 착색제를 함유하는 광중합성 조성물을 코팅하고, 형성하고자 하는 형태의 패턴을 노광한 후 비노광 부위를 용매로 제거하여 열경화시키는 일련의 단계를 반복함으로써 제조하는 방법이다.  In the pigment dispersion method, a photopolymerizable composition containing a colorant is coated on a transparent substrate, a pattern of a pattern to be formed is exposed, and a non-exposed region is removed with a solvent And repeating a series of steps of thermosetting.

그러나 안료분산법에 따른 바인더 수지로서 감광성 폴리이미드나 페놀계 수지를 사용할 경우, 내열성은 높지만 감도가 낮으며 유기용매로 현상하는 등 결점이 있다.  아지드 화합물을 감광제로 하는 종래의 시스템은 감도가 낮고 내열성이 떨어지거나 노출시에 산소의 영향을 받는 문제가 있다.However, when a photosensitive polyimide or a phenolic resin is used as a binder resin according to the pigment dispersion method, it has a high heat resistance, but has a low sensitivity and has a drawback that it is developed with an organic solvent. Conventional systems using azide compounds as photosensitizers have low sensitivity and poor heat resistance or are subject to the influence of oxygen upon exposure.

또한 아크릴계 함유 수지는 내열성, 내수축성, 내화학성 등이 우수하나, 감도, 현상성 및 밀착성이 떨어지는 경향이 있다.  더욱이, 차광층의 경우 요구되는 광학적 밀도를 맞추기 위해 블랙 안료의 함량이 많이 들어가므로 감도, 현상성 및 밀착성의 저하가 심하게 나타날 수 있다.
The acrylic-containing resin is excellent in heat resistance, shrinkage resistance and chemical resistance, but tends to be poor in sensitivity, developability and adhesiveness. Furthermore, in the case of the light-shielding layer, since the content of the black pigment is increased to meet the required optical density, the sensitivity, developability and adhesiveness may be significantly deteriorated.

본 발명의 일 측면은 감도, 현상성, 밀착성, 내열성, 내수축성, 내화학성 및 테이퍼 특성이 우수한 감광성 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다.An aspect of the present invention is to provide a photosensitive resin composition excellent in sensitivity, developability, adhesion, heat resistance, shrink resistance, chemical resistance and taper property.

본 발명의 다른 일 측면은 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 차광층을 제공하기 위한 것이다.
Another aspect of the present invention is to provide a light-shielding layer produced using the photosensitive resin composition.

본 발명의 일 측면은 (A) 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는 카도계 수지; (B) 반응성 불포화 화합물; (C) 안료; (D) 개시제; 및 (E) 용매를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.An aspect of the present invention relates to (A) a cation resin including a repeating unit represented by the following formula (1) and a repeating unit represented by the following formula (2); (B) a reactive unsaturated compound; (C) a pigment; (D) an initiator; And (E) a solvent.

[화학식 1][Chemical Formula 1]

Figure 112010081642118-pat00001
Figure 112010081642118-pat00001

[화학식 2](2)

Figure 112010081642118-pat00002
Figure 112010081642118-pat00002

(상기 화학식 1 및 2에서,(In the above formulas (1) and (2)

R3, R4, R13 및 R14는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 할로겐 원자, 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기이고, R 3 , R 4 , R 13 and R 14 are the same or different and each represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a substituted or unsubstituted C 1 to C 20 alkyl group,

R1, R2, R11  및 R12는 각각 치환 또는 비치환된 (메타)아크릴레이트기이고,R 1 , R 2 , R 11   And R 12 are each a substituted or unsubstituted (meth) acrylate group,

R5는 실리콘계 유기기이고, R < 5 > is a silicon-

Z1 및 Z11은 서로 동일하거나 상이하며, 단일결합, O, CO, SO2, CR6R7, SiR8R9(여기서, R6 내지 R9는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기임), 또는 하기 화학식 4-1 내지 4-11로 표시되는 연결기 중 어느 하나이고,Z 1 and Z 11 are the same or different and are a single bond, O, CO, SO 2 , CR 6 R 7 , SiR 8 R 9 (wherein R 6 to R 9 are the same or different from each other, A substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group), or a linking group represented by any of the following formulas (4-1) to (4-11)

Z2 및 Z12는 서로 동일하거나 상이하며, 산무수물 잔기 또는 산이무수물 잔기이고,Z 2 and Z 12 are the same as or different from each other, and the acid anhydride residue or the acid dianhydride residue,

m1, m2, m11 및 m12는 각각 0 내지 4의 정수이고, n1 및 n11은 각각 1 내지 30 이다.)m 1 , m 2 , m 11 and m 12 are each an integer of 0 to 4, and n 1 and n 11 are each 1 to 30.)

[화학식 4-1][Formula 4-1]

Figure 112010081642118-pat00003
Figure 112010081642118-pat00003

[화학식 4-2][Formula 4-2]

Figure 112010081642118-pat00004
 
Figure 112010081642118-pat00004
 

 [화학식 4-3][Formula 4-3]

Figure 112010081642118-pat00005
Figure 112010081642118-pat00005

[화학식 4-4][Formula 4-4]

Figure 112010081642118-pat00006
         
Figure 112010081642118-pat00006
         

[화학식 4-5][Formula 4-5]

Figure 112010081642118-pat00007
Figure 112010081642118-pat00007

(상기 화학식 4-5에서,(In the above Formula 4-5,

Ra는 수소 원자, 에틸기, C2H4Cl, C2H4OH, CH2CH=CH2, 또는 페닐기이다.)R a is a hydrogen atom, an ethyl group, C 2 H 4 Cl, C 2 H 4 OH, CH 2 CH = CH 2 , or a phenyl group.

[화학식 4-6][Formula 4-6]

Figure 112010081642118-pat00008
Figure 112010081642118-pat00008

[화학식 4-7][Formula 4-7]

Figure 112010081642118-pat00009
 
Figure 112010081642118-pat00009
 

 [화학식 4-8][Formula 4-8]

Figure 112010081642118-pat00010
Figure 112010081642118-pat00010

[화학식 4-9][Chemical Formula 4-9]

Figure 112010081642118-pat00011
  
Figure 112010081642118-pat00011
  

[화학식 4-10][Formula 4-10]

Figure 112010081642118-pat00012
Figure 112010081642118-pat00012

 [화학식 4-11][Formula 4-11]

Figure 112010081642118-pat00013
Figure 112010081642118-pat00013

상기 화학식 2에서의 R5는 하기 화학식 3으로 표시되는 치환기를 포함할 수 있다.R 5 in Formula 2 may include a substituent represented by Formula 3 below.

[화학식 3]                    (3)

Figure 112010081642118-pat00014
Figure 112010081642118-pat00014

(상기 화학식 3에서,(3)

X1 내지 X3은 서로 동일하거나 상이하며, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기이고,X 1 to X 3 are the same or different and are a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group,

X4는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 사이클로알킬렌기, 치환 또는 비치환된 C6 내지 C30 아릴렌기, C1 내지 C20 알킬아민기, 에테르기, 에스테르기, C1 내지 C20 알킬티올기, 또는 C6 내지 C30 아릴티올기이다.)X 4 represents a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkylene group, a substituted or unsubstituted C1 to C20 cycloalkylene group, a substituted or unsubstituted C6 to C30 arylene group, a C1 to C20 alkylamine group, an ether group, an ester group, A C1 to C20 alkylthiol group, or a C6 to C30 arylthiol group.

상기 화학식 1로 표시되는 반복단위에서의 n1 및 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위에서의 n11은 1:30 내지 30:1의 몰비를 가질 수 있다. N 1 in the repeating unit represented by the formula ( 1) and n 11 in the repeating unit represented by the formula (2) may have a molar ratio of 1:30 to 30: 1.

상기 카도계 수지의 중량평균 분자량은 500 내지 50,000 g/mol 일 수 있다.The weight average molecular weight of the cardade resin may be 500 to 50,000 g / mol.

상기 카도계 수지는 양 말단 중 적어도 하나에 하기 화학식 5로 표시되는 말단기를 포함할 수 있다.The cation resin may include a terminal group represented by the following formula (5) on at least one of the two terminals.

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure 112010081642118-pat00015
Figure 112010081642118-pat00015

(상기 화학식 5에서,(In the above formula (5)

상기 Z3은 하기 화학식 6-1 내지 6-7로 표시되는 연결기 중 어느 하나이다.)And Z 3 is any one of the linking groups represented by the following formulas (6-1) to (6-7).)

[화학식 6-1][Formula 6-1]

Figure 112010081642118-pat00016
Figure 112010081642118-pat00016

(상기 화학식 6-1에서, Rb 및 Rc는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기, 에스테르기 또는 에테르기이다.)(Wherein R b and R c are the same or different and each is a hydrogen atom, a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group, an ester group or an ether group).

[화학식 6-2][Formula 6-2]

Figure 112010081642118-pat00017
Figure 112010081642118-pat00017

[화학식 6-3][Formula 6-3]

Figure 112010081642118-pat00018
Figure 112010081642118-pat00018

[화학식 6-4][Formula 6-4]

Figure 112010081642118-pat00019
    
Figure 112010081642118-pat00019
    

[화학식 6-5][Formula 6-5]

Figure 112010081642118-pat00020
Figure 112010081642118-pat00020

(상기 화학식 6-5에서, Rd는 O, S, NH, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬렌기, C1 내지 C20 알킬아민기, 또는 C2 내지 C20 알릴아민기이다.)Wherein R d is O, S, NH, a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkylene group, a C1 to C20 alkylamine group, or a C2 to C20 allylamine group.

[화학식 6-6][Formula 6-6]

Figure 112010081642118-pat00021
 
Figure 112010081642118-pat00021
 

[화학식 6-7][Formula 6-7]

Figure 112010081642118-pat00022
Figure 112010081642118-pat00022

상기 감광성 수지 조성물은 (A) 상기 카도계 수지 1 내지 30 중량%; (B) 상기 반응성 불포화 화합물 1 내지 30 중량%; (C) 상기 안료 1 내지 30 중량%; (D) 상기 개시제 0.01 내지 10 중량%; 및 (E) 상기 용매 잔부량을 포함할 수 있다.Wherein the photosensitive resin composition comprises (A) 1 to 30% by weight of the cation resin; (B) 1 to 30% by weight of the reactive unsaturated compound; (C) 1 to 30% by weight of the pigment; (D) 0.01 to 10% by weight of the initiator; And (E) the solvent balance.

상기 감광성 수지 조성물은 아크릴계 수지를 더 포함할 수 있고, 상기 아크릴계 수지는 (메타)아크릴산, 말레산, 이타콘산, 푸마르산 또는 이들의 조합을 포함하는 제1 에틸렌성 불포화 단량체; 및 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔, 비닐벤질메틸에테르, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시 부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 사이클로헥실(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 2-아미노에틸(메타)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 초산비닐, 안식향산 비닐, 글리시딜(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴로니트릴, (메타)아크릴아미드 또는 이들의 조합을 포함하는 제2 에틸렌성 불포화 단량체의 공중합체를 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition may further comprise an acrylic resin, and the acrylic resin may include a first ethylenic unsaturated monomer including (meth) acrylic acid, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid, or a combination thereof; Acrylates such as styrene,? -Methylstyrene, vinyltoluene, vinylbenzyl methyl ether, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2- (Meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2- (Meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, or a combination thereof, as well as a copolymer of a second ethylenically unsaturated monomer such as vinyl acetate, vinyl acetate, vinyl benzoate, glycidyl .

상기 아크릴계 수지의 중량평균 분자량은 3,000 내지 40,000 g/mol 일 수 있다.The weight average molecular weight of the acrylic resin may be 3,000 to 40,000 g / mol.

상기 카도계 수지 및 상기 아크릴계 수지는 99:1 내지 1:99의 중량비로 포함될 수 있다.The cadogy resin and the acrylic resin may be contained in a weight ratio of 99: 1 to 1:99.

상기 개시제는 광중합 개시제, 라디칼 중합 개시제 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.The initiator may include a photopolymerization initiator, a radical polymerization initiator, or a combination thereof.

상기 감광성 수지 조성물은 상기 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 에폭시 화합물 0.01 내지 5 중량부를 더 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition may further comprise 0.01 to 5 parts by weight of an epoxy compound per 100 parts by weight of the photosensitive resin composition.

본 발명의 다른 일 측면은 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 차광층을 제공한다.Another aspect of the present invention provides a light-shielding layer produced using the photosensitive resin composition.

기타 본 발명의 측면들의 구체적인 사항은 이하의 상세한 설명에 포함되어 있다.
Other aspects of the present invention are included in the following detailed description.

상기 감광성 수지 조성물은 감도, 현상성, 밀착성, 내열성, 내수축성, 내화학성 및 테이퍼 특성이 우수함에 따라, 액정 디스플레이 장치의 차광층, 컬러필터 등의 제조용으로 사용될 수 있다.
Since the photosensitive resin composition is excellent in sensitivity, developability, adhesion, heat resistance, shrinkage resistance, chemical resistance and taper property, it can be used for manufacturing a light shielding layer, a color filter and the like of a liquid crystal display device.

도 1은 실시예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 잔사 특성을 평가한 주사전자현미경 사진이다.
도 2는 비교예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 잔사 특성을 평가한 주사전자현미경 사진이다.
도 3은 실시예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 패턴 형성성을 평가한 주사전자현미경 사진이다.
도 4는 비교예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 패턴 형성성을 평가한 주사전자현미경 사진이다.
도 5는 비교예 2에 따른 감광성 수지 조성물의 패턴 형성성을 평가한 주사전자현미경 사진이다.
도 6은 실시예 2에 따른 감광성 수지 조성물로부터 얻은 패턴 크기를 평가한 주사전자현미경 사진이다.
도 7은 비교예 2에 따른 감광성 수지 조성물로부터 얻은 패턴 크기를 평가한 광학현미경 사진이다.
도 8은 비교예 4에 따른 감광성 수지 조성물로부터 얻은 패턴 크기를 평가한 광학현미경 사진이다.
Fig. 1 is a scanning electron microscopic photograph evaluating the residual characteristics of the photosensitive resin composition according to Example 1. Fig.
2 is a scanning electron micrograph showing the residual property of the photosensitive resin composition according to Comparative Example 1 evaluated.
Fig. 3 is a scanning electron micrograph of a pattern-forming property of the photosensitive resin composition according to Example 1. Fig.
Fig. 4 is a scanning electron microscopic photograph evaluating the pattern forming property of the photosensitive resin composition according to Comparative Example 1. Fig.
Fig. 5 is a scanning electron microscopic photograph evaluating the pattern forming property of the photosensitive resin composition according to Comparative Example 2. Fig.
FIG. 6 is a scanning electron microscopic photograph of the pattern size obtained from the photosensitive resin composition according to Example 2. FIG.
Fig. 7 is an optical microscope image obtained by evaluating the pattern size obtained from the photosensitive resin composition according to Comparative Example 2. Fig.
Fig. 8 is an optical microscopic photograph evaluating the pattern size obtained from the photosensitive resin composition according to Comparative Example 4. Fig.

이하, 본 발명의 구현예를 상세히 설명하기로 한다.  다만, 이는 예시로서 제시되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 제한되지는 않으며 본 발명은 후술할 청구범위의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. However, it should be understood that the present invention is not limited thereto, and the present invention is only defined by the scope of the following claims.

본 명세서에서 특별한 언급이 없는 한, "치환"이란 적어도 하나의 수소 원자가 할로겐 원자(F, Cl, Br, I), 히드록시기, C1 내지 C20의 알콕시기, 니트로기, 시아노기, 아민기, 이미노기, 아지도기, 아미디노기, 히드라지노기, 히드라조노기, 카르보닐기, 카르바밀기, 티올기, 에스테르기, 에테르기, 카르복실기 또는 그것의 염, 술폰산기 또는 그것의 염, 인산이나 그것의 염, C1 내지 C20의 알킬기, C2 내지 C20의 알케닐기, C2 내지 C20의 알키닐기, C6 내지 C30의 아릴기, C3 내지 C20의 사이클로알킬기, C3 내지 C20의 사이클로알케닐기, C3 내지 C20의 사이클로알키닐기, C2 내지 C20의 헤테로사이클로알킬기, C2 내지 C20의 헤테로사이클로알케닐기, C2 내지 C20의 헤테로사이클로알키닐기, C3 내지 C30 헤테로아릴기 또는 이들의 조합의 치환기로 치환된 것을 의미한다.Unless otherwise specified herein, "substituted" means that at least one hydrogen atom is replaced by a halogen atom (F, Cl, Br, I), a hydroxy group, a C1 to C20 alkoxy group, a nitro group, a cyano group, A thio group, an ester group, an ether group, a carboxyl group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid or a salt thereof, an amidino group, a hydrazino group, a hydrazino group, a carbonyl group, a carbamyl group, A cycloalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, an alkynyl group having 2 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkenyl group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkynyl group having 3 to 20 carbon atoms, Substituted with a substituent of a C2 to C20 heterocycloalkyl group, a C2 to C20 heterocycloalkenyl group, a C2 to C20 heterocycloalkynyl group, a C3 to C30 heteroaryl group, or a combination thereof.

또한 본 명세서에서 특별한 언급이 없는 한, "헤테로"란, 고리기 내에 N, O, S 및 P 중 적어도 하나의 헤테로 원자가 적어도 하나 포함된 것을 의미한다.Also, unless otherwise specified herein, "hetero" means that at least one heteroatom of N, O, S and P is included in the ring group.

또한 본 명세서에서 특별한 언급이 없는 한, "(메타)아크릴레이트"는 "아크릴레이트"와 "메타크릴레이트" 둘 다 가능함을 의미하며, "(메타)아크릴산"은 "아크릴산"과 "메타크릴산" 둘 다 가능함을 의미한다. &Quot; (Meth) acrylic acid "refers to both" acrylic acid "and" methacrylic acid " "It means both are possible.

 

일 구현예에 따른 감광성 수지 조성물은 (A) 카도계 수지, (B) 반응성 불포화 화합물, (C) 안료, (D) 개시제 및 (E) 용매를 포함한다. The photosensitive resin composition according to one embodiment includes (A) a cadmium resin, (B) a reactive unsaturated compound, (C) a pigment, (D) an initiator and (E) a solvent.

이하에서 각 성분에 대하여 구체적으로 설명한다. Each component will be described in detail below.

(A) (A) 카도계Carometer 수지 Suzy

상기 카도계 수지는 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함할 수 있다. The cation resin may include a repeating unit represented by the following formula (1) and a repeating unit represented by the following formula (2).

[화학식 1][Chemical Formula 1]

Figure 112010081642118-pat00023
Figure 112010081642118-pat00023

[화학식 2](2)

Figure 112010081642118-pat00024
Figure 112010081642118-pat00024

상기 화학식 1 및 2에서의 R3, R4, R13 및 R14는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 할로겐 원자, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기 등일 수 있다.R 3 , R 4 , R 13 and R 14 in the general formulas (1) and (2) may be the same or different and each represent a hydrogen atom, a halogen atom, a substituted or unsubstituted C 1 to C 20 alkyl group,

상기 화학식 1 및 2에서의 R1, R2, R11  및 R12는 각각 치환 또는 비치환된 (메타)아크릴레이트기 등일 수 있다.  상기 카도계 수지는 상기 R1, R2, R11  및 R12 위치에 (메타)아크릴레이트를 포함함으로써, 노광시 높은 감도를 나타낼 수 있다.R 1 , R 2 , R 11 in Formulas 1 and 2   And R 12 may be a substituted or unsubstituted (meth) acrylate group or the like. The cadid-base resin preferably has the above-mentioned R 1 , R 2 , R 11   And (meth) acrylate at the R 12 position, it is possible to exhibit high sensitivity upon exposure.

상기 화학식 2에서의 R5는 실리콘계 유기기일 수 있다.R 5 in Formula 2 may be a silicon-based organic group.

상기 카도계 수지는 상기 R5 위치에 실리콘계 유기기를 포함함으로써, 감광성 수지 조성물 내에 포함될 경우 우수한 상용성을 가질 수 있고, 현상성, 감도, 밀착성 및 기계적 강도를 개선할 수 있으며, 또한 내열성 및 내광성이 우수하여 고온에서의 작업을 가능하게 할 수 있다. By containing a silicone-based organic group at the R 5 position, the cation resin can have excellent compatibility when it is contained in the photosensitive resin composition, and can improve developability, sensitivity, adhesion and mechanical strength, and has heat resistance and light resistance So that it is possible to work at a high temperature.

상기 화학식 2에서의 R5는 구체적으로 하기 화학식 3으로 표시되는 치환기일 수 있고, 그 종류는 이에 한정되지 않는다. R 5 in the formula (2) may be a substituent represented by the following formula (3), and the kind thereof is not limited thereto.

[화학식 3]                    (3)

Figure 112010081642118-pat00025
Figure 112010081642118-pat00025

상기 화학식 3에서의 X1 내지 X3은 각각 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기 등일 수 있다.X 1 to X 3 in the formula (3) may be a C1 to C20 alkyl group, each substituted or unsubstituted.

상기 화학식 3에서의 X4는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 사이클로알킬렌기, 치환 또는 비치환된 C6 내지 C30 아릴렌기, C1 내지 C20 알킬아민기, 에테르기, 에스테르기, C1 내지 C20 알킬티올기, C6 내지 C30 아릴티올기 등일 수 있다.X 4 in Formula 3 is a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkylene group, a substituted or unsubstituted C1 to C20 cycloalkylene group, a substituted or unsubstituted C6 to C30 arylene group, a C1 to C20 alkylamine group, an ether An ester group, a C1 to C20 alkylthiol group, a C6 to C30 arylthiol group, and the like.

상기 화학식 1 및 2에서의 Z1 및 Z11은 서로 동일하거나 상이하며, 단일결합, O, CO, SO2, CR6R7, SiR8R9(여기서, R6 내지 R9는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기임), 하기 화학식 4-1 내지 4-11로 표시되는 연결기 중 어느 하나 등일 수 있다.Z 1 and Z 11 in the above formulas 1 and 2 are the same or different from each other, a single bond, O, CO, SO 2, CR 6 R 7, SiR 8 R 9 (wherein, R 6 to R 9 are the same or another And is a hydrogen atom or a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group), and a linking group represented by the following formulas (4-1) to (4-11).

[화학식 4-1][Formula 4-1]

Figure 112010081642118-pat00026
Figure 112010081642118-pat00026

[화학식 4-2][Formula 4-2]

Figure 112010081642118-pat00027
 
Figure 112010081642118-pat00027
 

 [화학식 4-3][Formula 4-3]

Figure 112010081642118-pat00028
Figure 112010081642118-pat00028

[화학식 4-4][Formula 4-4]

Figure 112010081642118-pat00029
         
Figure 112010081642118-pat00029
         

[화학식 4-5][Formula 4-5]

Figure 112010081642118-pat00030
Figure 112010081642118-pat00030

(상기 화학식 4-5에서,(In the above Formula 4-5,

Ra는 수소 원자, 에틸기, C2H4Cl, C2H4OH, CH2CH=CH2, 또는 페닐기이다.)R a is a hydrogen atom, an ethyl group, C 2 H 4 Cl, C 2 H 4 OH, CH 2 CH = CH 2 , or a phenyl group.

[화학식 4-6][Formula 4-6]

Figure 112010081642118-pat00031
Figure 112010081642118-pat00031

[화학식 4-7][Formula 4-7]

Figure 112010081642118-pat00032
 
Figure 112010081642118-pat00032
 

 [화학식 4-8][Formula 4-8]

Figure 112010081642118-pat00033
Figure 112010081642118-pat00033

[화학식 4-9][Chemical Formula 4-9]

Figure 112010081642118-pat00034
  
Figure 112010081642118-pat00034
  

[화학식 4-10][Formula 4-10]

Figure 112010081642118-pat00035
Figure 112010081642118-pat00035

 [화학식 4-11][Formula 4-11]

Figure 112010081642118-pat00036
Figure 112010081642118-pat00036

상기 화학식 1 및 2에서의 Z1 및 Z11은 Z2 및 Z12는 서로 동일하거나 상이하며, 산무수물 잔기, 산이무수물 잔기 등일 수 있다.Z 1 and Z 11 in the above formulas (1) and (2) are the same or different from each other and Z 2 and Z 12 may be an acid anhydride residue, an acid anhydride residue, and the like.

상기 화학식 1 및 2에서의 m1, m2, m11 및 m12는 각각 0 내지 4의 정수이고, n1 및 n11은 각각 1 내지 30 일 수 있다.M 1 , m 2 , m 11 and m 12 in the general formulas (1) and (2) are each an integer of 0 to 4, and n 1 and n 11 may each be 1 to 30.

상기 화학식 1로 표시되는 반복단위에서의 n1 및 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위에서의 n11은 1:30 내지 30:1의 몰비를 가질 수 있고, 구체적으로는 30:70 내지 70:30의 몰비를 가질 수 있다.  n1 및 n11의 몰비가 상기 범위 내일 경우 현상성이 우수하고, 광경화 시 감도가 좋아 미세 패턴 형성성이 우수하다. N 1 in the repeating unit represented by the formula ( 1) and n 11 in the repeating unit represented by the formula (2) may have a molar ratio of 1:30 to 30: 1, specifically 30:70 to 70:30 Can be obtained. When the molar ratio of n 1 and n 11 is within the above range, the developing property is excellent, the sensitivity upon photo-curing is good, and the fine pattern forming property is excellent.

상기 카도계 수지는 양 말단 중 적어도 하나에 하기 화학식 5로 표시되는 말단기를 포함할 수 있다.The cation resin may include a terminal group represented by the following formula (5) on at least one of the two terminals.

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure 112010081642118-pat00037
Figure 112010081642118-pat00037

상기 화학식 5에서의 Z3은 하기 화학식 6-1 내지 6-7로 표시되는 연결기 중 어느 하나일 수 있다.Z 3 in the formula (5) may be any of the linking groups represented by the following formulas (6-1) to (6-7).

[화학식 6-1][Formula 6-1]

Figure 112010081642118-pat00038
Figure 112010081642118-pat00038

(상기 화학식 6-1에서, Rb 및 Rc는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기, 에스테르기 또는 에테르기이다.)(Wherein R b and R c are the same or different and each is a hydrogen atom, a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group, an ester group or an ether group).

[화학식 6-2][Formula 6-2]

Figure 112010081642118-pat00039
Figure 112010081642118-pat00039

[화학식 6-3][Formula 6-3]

Figure 112010081642118-pat00040
Figure 112010081642118-pat00040

[화학식 6-4][Formula 6-4]

Figure 112010081642118-pat00041
    
Figure 112010081642118-pat00041
    

[화학식 6-5][Formula 6-5]

Figure 112010081642118-pat00042
Figure 112010081642118-pat00042

(상기 화학식 6-5에서, Rd는 O, S, NH, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬렌기, C1 내지 C20 알킬아민기, 또는 C2 내지 C20 알릴아민기이다.)Wherein R d is O, S, NH, a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkylene group, a C1 to C20 alkylamine group, or a C2 to C20 allylamine group.

[화학식 6-6][Formula 6-6]

Figure 112010081642118-pat00043
 
Figure 112010081642118-pat00043
 

[화학식 6-7][Formula 6-7]

Figure 112010081642118-pat00044
Figure 112010081642118-pat00044

상기 카도계 수지의 중량평균 분자량은 500 내지 50,000 g/mol 일 수 있고, 구체적으로는 1,000 내지 30,000 g/mol 일 수 있다.  상기 카도계 수지의 중량평균 분자량이 상기 범위 내일 경우 차광층 제조 시 잔사 없이 패턴 형성이 잘되며, 현상시 막두께의 손실이 없고, 양호한 패턴을 얻을 수 있다.The weight average molecular weight of the carded resin may be 500 to 50,000 g / mol, and specifically 1,000 to 30,000 g / mol. When the weight average molecular weight of the cation resin is within the above range, pattern formation is good without residue in the production of the light-shielding layer, and good pattern can be obtained without loss of film thickness upon development.

상기 카도계 수지는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 1 내지 30 중량%로 포함될 수 있고, 구체적으로는 3 내지 20 중량%로 포함될 수 있다.  상기 카도계 수지가 상기 범위 내로 포함되는 경우 우수한 감도, 현상성 및 밀착성을 얻을 수 있다. The cardboard resin may be included in an amount of 1 to 30% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition, and may be included in an amount of 3 to 20% by weight. When the cation resin is contained within the above range, excellent sensitivity, developability and adhesion can be obtained.

상기 감광성 수지 조성물은 상기 카도계 수지 외에 아크릴계 수지를 더 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition may further comprise an acrylic resin in addition to the cation resin.

상기 아크릴계 수지는 제1 에틸렌성 불포화 단량체 및 이와 공중합 가능한 제2 에틸렌성 불포화 단량체의 공중합체로, 하나 이상의 아크릴계 반복단위를 포함하는 수지이다.  The acrylic resin may contain a first ethylenic unsaturated monomer   And a second ethylenically unsaturated monomer copolymerizable therewith, and is a resin comprising at least one acrylic repeating unit.

상기 제1 에틸렌성 불포화 단량체는 하나 이상의 카르복시기를 함유하는 에틸렌성 불포화 단량체이며, 이의 구체적인 예로는 (메타)아크릴산, 말레산, 이타콘산, 푸마르산 또는 이들의 조합을 들 수 있다.The first ethylenically unsaturated monomer is an ethylenically unsaturated monomer containing at least one carboxyl group, and specific examples thereof include (meth) acrylic acid, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid or a combination thereof.

상기 제1 에틸렌성 불포화 단량체는 상기 아크릴계 수지 총량에 대하여 5 내지 50 중량%로 포함될 수 있고, 구체적으로는 10 내지 40 중량%로 포함될 수 있다.The first ethylenically unsaturated monomer may be contained in an amount of 5 to 50% by weight, specifically 10 to 40% by weight based on the total amount of the acrylic resin.

상기 제2 에틸렌성 불포화 단량체는 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔, 비닐벤질메틸에테르 등의 방향족 비닐 화합물; 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시 부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 사이클로헥실(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복시산 에스테르 화합물; 2-아미노에틸(메타)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복시산 아미노 알킬 에스테르 화합물; 초산비닐, 안식향산 비닐 등의 카르복시산 비닐 에스테르 화합물; 글리시딜(메타)아크릴레이트 등의 불포화 카르복시산 글리시딜 에스테르 화합물; (메타)아크릴로니트릴 등의 시안화 비닐 화합물; (메타)아크릴아미드 등의 불포화 아미드 화합물; 등을 들 수 있으며, 이들을 단독으로 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있다.The second ethylenically unsaturated monomer may be an aromatic vinyl compound such as styrene,? -Methylstyrene, vinyltoluene, or vinylbenzyl methyl ether; (Meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, Unsaturated carboxylic acid ester compounds such as cyclohexyl (meth) acrylate and phenyl (meth) acrylate; Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl ester compounds such as 2-aminoethyl (meth) acrylate and 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate; Carboxylic acid vinyl ester compounds such as vinyl acetate and vinyl benzoate; Unsaturated carboxylic acid glycidyl ester compounds such as glycidyl (meth) acrylate; A vinyl cyanide compound such as (meth) acrylonitrile; Unsaturated amide compounds such as (meth) acrylamide; These may be used singly or in combination of two or more.

상기 아크릴계 수지의 구체적인 예로는 아크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트/스티렌 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트/2-히드록시에틸메타크릴레이트 공중합체, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트/스티렌/2-히드록시에틸메타크릴레이트 공중합체 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 이들을 단독 또는 2종 이상을 배합하여 사용할 수도 있다.  Specific examples of the acrylic resin include acrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / styrene copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / 2 -Hydroxyethyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / benzyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer, but are not limited thereto, and they may be used singly or in combination of two or more kinds. And may be used in combination.

상기 아크릴계 수지의 중량평균 분자량은 3,000 내지 150,000 g/mol 일 수 있고, 구체적으로는 3,000 내지 40,000 g/mol 일 수 있고, 더욱 구체적으로는 5,000 내지 30,000 g/mol 일 수 있다.  상기 아크릴계 수지의 중량평균 분자량이 상기 범위 내일 경우, 상기 감광성 수지 조성물의 물리적 및 화학적 물성이 우수하고 점도가 적절하며, 적정 수준의 현상성 및 감도를 유지할 수 있고, 차광층 제조 시 기판과의 밀착성이 우수하다.  The weight average molecular weight of the acrylic resin may be 3,000 to 150,000 g / mol, specifically 3,000 to 40,000 g / mol, and more specifically 5,000 to 30,000 g / mol. When the weight average molecular weight of the acrylic resin is within the above range, the photosensitive resin composition is excellent in physical and chemical properties, is suitable in viscosity, can maintain an appropriate level of developability and sensitivity, Is excellent.

상기 아크릴계 수지의 산가는 20 내지 200 mgKOH/g 일 수 있고, 구체적으로는 50 내지 150 mgKOH/g 일 수 있다.  상기 아크릴계 수지의 산가가 상기 범위 내일 경우 현상성을 유지할 수 있어 픽셀 패턴의 해상도가 우수하다.The acid value of the acrylic resin may be 20 to 200 mgKOH / g, and more specifically 50 to 150 mgKOH / g. When the acid value of the acrylic resin is within the above range, developability can be maintained and the resolution of the pixel pattern is excellent.

상기 아크릴계 수지가 상기 감광성 수지 조성물 내에 포함될 경우, 상기 카도계 수지 및 상기 아크릴계 수지가 99:1 내지 1:99의 중량비가 되도록 포함될 수 있고, 구체적으로는 80:20 내지 30:70의 중량비가 되도록 포함될 수 있다.  상기 카도계 수지 및 아크릴계 수지가 상기 중량비 범위 내로 포함되는 경우, 우수한 현상성 및 감도를 유지할 수 있고, 테이퍼 특성이 우수한 차광층 패턴을 형성하면서 언더컷(undercut) 발생을 방지할 수 있다. When the acrylic resin is contained in the photosensitive resin composition, the cado resin and the acrylic resin may be contained in a weight ratio of 99: 1 to 1:99, and specifically, a weight ratio of 80:20 to 30:70 . When the cation resin and the acrylic resin are contained in the weight ratio range, excellent developability and sensitivity can be maintained, and occurrence of an undercut can be prevented while forming a light shielding layer pattern excellent in taper characteristics.

 

(B) 반응성 불포화 화합물(B) a reactive unsaturated compound

상기 반응성 불포화 화합물은 감광성 수지 조성물에 일반적으로 사용되는 모노머 또는 올리고머로서, 적어도 1개의 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 (메타)아크릴산의 일관능 또는 다관능 에스테르가 사용될 수 있다.The reactive unsaturated compound may be a monofunctional or polyfunctional ester of (meth) acrylic acid having at least one ethylenically unsaturated double bond as a monomer or oligomer generally used in a photosensitive resin composition.

상기 반응성 불포화 화합물은 상기 에틸렌성 불포화 이중결합을 가짐으로써, 패턴 형성 공정에서 노광시 충분한 중합을 일으킴으로써 내열성, 내광성 및 내화학성이 우수한 패턴을 형성할 수 있다.By having the ethylenically unsaturated double bond, the reactive unsaturated compound can form a pattern having excellent heat resistance, light resistance and chemical resistance by causing sufficient polymerization during exposure in the pattern formation step.

상기 반응성 불포화 화합물의 구체적인 예로는, 에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 비스페놀A 에폭시아크릴레이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르 아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트, 트리스아크릴로일옥시에틸 포스페이트 등을 들 수 있다. Specific examples of the reactive unsaturated compound include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol Diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, bisphenol A epoxy acrylate , Ethylene glycol monomethyl ether acrylate, trimethylolpropane triacrylate, trisacryloyloxyethyl phosphate, and the like.

상기 반응성 불포화 화합물의 구체적인 예로는, 에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 비스페놀A 에폭시아크릴레이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르 아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트, 트리스아크릴로일옥시에틸 포스페이트 등을 들 수 있다. Specific examples of the reactive unsaturated compound include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol Diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, bisphenol A epoxy acrylate , Ethylene glycol monomethyl ether acrylate, trimethylolpropane triacrylate, trisacryloyloxyethyl phosphate, and the like.

상기 반응성 불포화 화합물의 시판되는 제품을 예로 들면 다음과 같다.  상기 (메타)아크릴산의 일관능 에스테르의 예로는, 도아 고세이 가가꾸 고교(주)社의 아로닉스 M-101®, 동 M-111®, 동 M-114® 등; 니혼 가야꾸(주)社의 KAYARAD TC-110S®, 동 TC-120S® 등; 오사카 유끼 가가꾸 고교(주)社의 V-158®, V-2311® 등을 들 수 있다.  상기 (메타)아크릴산의 이관능 에스테르의 예로는, 도아 고세이 가가꾸 고교(주)社의 아로닉스 M-210®, 동 M-240®, 동 M-6200® 등; 니혼 가야꾸(주)社의 KAYARAD HDDA®, 동 HX-220®, 동 R-604® 등; 오사카 유끼 가가꾸 고교(주)社의 V-260®, V-312®, V-335 HP® 등을 들 수 있다.  상기 (메타)아크릴산의 삼관능 에스테르의 예로는, 도아 고세이 가가꾸 고교(주)社의 아로닉스 M-309®, 동 M-400®, 동 M-405®, 동 M-450®, 동 M-7100®, 동 M-8030®, 동 M-8060® 등; 니혼 가야꾸(주)社의 KAYARAD TMPTA®, 동 DPCA-20®, 동-30®, 동-60®, 동-120® 등; 오사카 유끼 가야꾸 고교(주)社의 V-295®, 동-300®, 동-360®, 동-GPT®, 동-3PA®, 동-400® 등을 들 수 있다.  상기 제품을 단독 사용 또는 2종 이상 함께 사용할 수 있다.Examples of commercially available products of the above reactive unsaturated compounds are as follows. The (meth) acrylic acid is one example of a polyfunctional ester, such as doah Gosei Kagaku Kogyo's (primary)社Aronix M-101 ®, the same M-111 ®, the same M-114 ®; KAYARAD TC-110S ® and TC-120S ® from Nihon Kayaku Co., Ltd.; Osaka yukki the like Kagaku Kogyo (main)社of V-158 ®, V-2311 ®. The (meth) transfer function of an example esters of acrylic acid are, doah Gosei Kagaku Kogyo (Note)社of Aronix M-210 ®, copper or the like M-240 ®, the same M-6200 ®; KAYARAD HDDA ® , HX-220 ® and R-604 ® from Nihon Kayaku Corporation; Osaka yukki the like Kagaku Kogyo Co., Ltd. of 社V-260 ®, V- 312 ®, V-335 HP ®. Examples of the tri-functional ester of (meth) acrylic acid, doah Gosei Kagaku Kogyo (Note)社of Aronix M-309 ®, the same M-400 ®, the same M-405 ®, the same M-450 ®, Dong M -7100 ® , copper M-8030 ® , copper M-8060 ® and the like; Nippon Kayaku (Note)社of KAYARAD TMPTA ®, copper DPCA-20 ®, ® copper -30, -60 ® copper, copper ® -120 and the like; Osaka yukki Kayaku high (primary)社of V-295 ®, copper ® -300, -360 ® copper, copper -GPT ®, copper -3PA ®, and the like copper -400 ®. These products may be used alone or in combination of two or more.

상기 반응성 불포화 화합물은 보다 우수한 현상성을 부여하기 위하여 산무수물로 처리하여 사용할 수도 있다.The reactive unsaturated compound may be treated with an acid anhydride so as to give better developing properties.

상기 반응성 불포화 화합물은 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 1 내지 30 중량%로 포함될 수 있고, 구체적으로는 1 내지 20 중량%로 포함될 수 있다.  상기 반응성 불포화 화합물이 상기 범위 내로 포함될 경우, 패턴 형성 공정에서 노광시 경화가 충분히 일어나 신뢰성이 우수하며, 패턴의 내열성, 내광성 및 내화학성이 우수하며, 해상도 및 밀착성 또한 우수하다. The reactive unsaturated compound may be contained in an amount of 1 to 30% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition, specifically, 1 to 20% by weight. When the reactive unsaturated compound is contained within the above range, the pattern formation process sufficiently cures upon exposure to light, thereby providing excellent reliability, excellent heat resistance, light resistance and chemical resistance of the pattern, and excellent resolution and adhesion.

 

(C) 안료(C) Pigment

상기 안료는 유기 안료 및 무기 안료 모두 사용 가능하다. The above-mentioned pigments can be used both as organic pigments and as inorganic pigments.

상기 안료는 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료, 황색 안료, 흑색 안료 등을 사용할 수 있다.The pigment may be a red pigment, a green pigment, a blue pigment, a yellow pigment, a black pigment, or the like.

상기 적색 안료의 예로는 C.I. 적색 안료 254, C.I. 적색 안료 255, C.I. 적색 안료 264, C.I. 적색 안료 270, C.I. 적색 안료 272, C.I. 적색 안료 177, C.I. 적색 안료 89 등을 들 수 있다.  상기 녹색 안료의 예로는 C.I. 녹색 안료 36, C.I. 녹색 안료 7 등과 같은 할로겐이 치환된 구리 프탈로시아닌 안료를 들 수 있다.  상기 청색 안료의 예로는 C.I. 청색 안료 15:6, C.I. 청색 안료 15, C.I. 청색 안료 15:1, C.I. 청색 안료 15:2, C.I. 청색 안료 15:3, C.I. 청색 안료 15:4, C.I. 청색 안료 15:5, C.I. 청색 안료 16 등과 같은 구리 프탈로시아닌 안료를 들 수 있다.  상기 황색 안료의 예로는 C.I. 황색 안료 139 등과 같은 이소인돌린계 안료, C.I. 황색 안료 138 등과 같은 퀴노프탈론계 안료, C.I. 황색 안료 150 등과 같은 니켈 컴플렉스 안료 등을 들 수 있다.  상기 흑색 안료의 예로는 아닐린 블랙, 퍼릴렌 블랙, 티타늄 블랙, 카본 블랙 등을 들 수 있다.  상기 안료는 이들을 단독으로 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있으며, 이들의 예에 한정되는 것은 아니다. Examples of the red pigment include C.I. Red pigment 254, C.I. Red pigment 255, C.I. Red pigment 264, C.I. Red pigment 270, C.I. Red pigment 272, C.I. Red pigment 177, C.I. Red pigment 89 and the like. Examples of the green pigment include C.I. Green pigment 36, C.I. Halogen-substituted copper phthalocyanine pigments such as green pigment 7 and the like. Examples of the blue pigments include C.I. Blue pigment 15: 6, C.I. Blue pigment 15, C.I. Blue pigment 15: 1, C.I. Blue pigment 15: 2, C.I. Blue pigment 15: 3, C.I. Blue pigment 15: 4, C.I. Blue pigment 15: 5, C.I. Blue pigment 16, and the like. Examples of the yellow pigments include C.I. Yellow pigments 139 and the like, C.I. Quinophthalone-based pigments such as yellow pigment 138 and the like, C.I. And yellow complex pigments such as yellow pigment 150 and the like. Examples of the black pigment include aniline black, perylene black, titanium black, and carbon black. These pigments can be used singly or in combination of two or more thereof, but are not limited to these examples.

이들 중, 차광층의 광 차단을 효율적으로 수행하기 위해 상기 흑색 안료를 사용할 수 있다.  상기 흑색 안료를 사용할 경우, 안트라퀴논계 안료, 퍼릴렌계 안료, 프탈로시아닌계 안료, 아조계 안료 등의 색 보정제와 함께 사용할 수도 있다. Among them, the above-mentioned black pigment may be used in order to effectively cut off the light blocking layer. When the black pigment is used, it may be used in combination with a color correcting agent such as an anthraquinone pigment, a perylene pigment, a phthalocyanine pigment or an azo pigment.

상기 감광성 수지 조성물에 상기 안료를 분산시키기 위해 분산제를 함께 사용할 수 있다.A dispersant may be used together with the photosensitive resin composition to disperse the pigment.

구체적으로는, 상기 안료를 분산제로 미리 표면처리하여 사용하거나, 상기 감광성 수지 조성물 제조시 상기 안료와 함께 분산제를 첨가하여 사용할 수 있다.Specifically, the pigment may be surface-treated beforehand with a dispersant, or a dispersant may be added together with the pigment when the photosensitive resin composition is prepared.

상기 분산제로는 비이온성 분산제, 음이온성 분산제, 양이온성 분산제 등을 사용할 수 있다.  상기 분산제의 구체적인 예로는, 폴리알킬렌글리콜 및 이의 에스테르, 폴리옥시알킬렌, 다가알코올 에스테르 알킬렌 옥사이드 부가물, 알코올알킬렌 옥사이드 부가물, 술폰산 에스테르, 술폰산 염, 카르복실산 에스테르, 카르복실산 염, 알킬아미드 알킬렌 옥사이드 부가물, 알킬 아민 등을 들 수 있으며, 이들을 단독으로 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있다.As the dispersing agent, a nonionic dispersing agent, an anionic dispersing agent, a cationic dispersing agent and the like can be used. Specific examples of the dispersing agent include polyalkylene glycols and esters thereof, polyoxyalkylene, polyhydric alcohol ester alkylene oxide adduct, alcohol alkylene oxide adduct, sulfonic acid ester, sulfonic acid salt, carboxylic acid ester, carboxylic acid Salts, alkylamide alkylene oxide adducts, and alkylamines. These may be used singly or in combination of two or more.

상기 분산제의 시판되는 제품을 예로 들면, BYK社의 DISPERBYK-101, DISPERBYK-130, DISPERBYK-140, DISPERBYK-160, DISPERBYK-161, DISPERBYK-162, DISPERBYK-163, DISPERBYK-164, DISPERBYK-165, DISPERBYK-166, DISPERBYK-170, DISPERBYK-171, DISPERBYK-182, DISPERBYK-2000, DISPERBYK-2001 등; EFKA 케미칼社의 EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA-48, EFKA-49, EFKA-100, EFKA-400, EFKA-450 등; Zeneka社의 Solsperse 5000, Solsperse 12000, Solsperse 13240, Solsperse 13940, Solsperse 17000, Solsperse 20000, Solsperse 24000GR, Solsperse 27000, Solsperse 28000 등; 또는 Ajinomoto社의 PB711, PB821 등이 있다.DISPERBYK-161, DISPERBYK-160, DISPERBYK-161, DISPERBYK-161, DISPERBYK-162, DISPERBYK-163, DISPERBYK-164, DISPERBYK-160 and DISPERBYK-160 of BYK Co., -166, DISPERBYK-170, DISPERBYK-171, DISPERBYK-182, DISPERBYK-2000, DISPERBYK-2001 and the like; EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA-48, EFKA-49, EFKA-100, EFKA-400 and EFKA-450 of EFKA Chemical Co., Solsperse 5000, Solsperse 12000, Solsperse 13240, Solsperse 13940, Solsperse 17000, Solsperse 20000, Solsperse 24000GR, Solsperse 27000, Solsperse 28000 from Zeneka; Or Ajinomoto's PB711 and PB821.

상기 분산제는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.1 내지 15 중량%로 포함될 수 있다.  상기 분산제가 상기 범위 내로 포함될 경우, 상기 감광성 수지 조성물의 분산성이 우수함에 따라 차광층 제조시 안정성, 현상성 및 패턴성이 우수하다. The dispersant may be contained in an amount of 0.1 to 15% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the dispersant is contained within the above range, the dispersibility of the photosensitive resin composition is excellent, and therefore, the stability, developability and patternability of the light-shielding layer are excellent.

상기 안료는 수용성 무기염 및 습윤제를 이용하여 전처리하여 사용할 수도 있다.  상기 안료를 상기 전처리하여 사용할 경우 안료의 1차 입도를 미세화할 수 있다.The pigment may be used by pretreatment using a water-soluble inorganic salt and a wetting agent. When the pigment is used in the pretreatment, the primary particle size of the pigment can be reduced.

상기 전처리는 상기 안료를 수용성 무기염 및 습윤제와 함께 니딩(kneading)하는 단계, 그리고 상기 니딩 단계에서 얻어진 안료를 여과 및 수세하는 단계를 거쳐 수행될 수 있다.The pretreatment may be performed by kneading the pigment with a water-soluble inorganic salt and a wetting agent, and filtering and washing the pigment obtained in the kneading step.

상기 니딩은 40 내지 100℃의 온도에서 수행될 수 있고, 상기 여과 및 수세는 물 등을 사용하여 무기염을 수세한 후 여과하여 수행될 수 있다.The kneading may be carried out at a temperature of 40 to 100 DEG C, and the filtration and washing may be performed by washing the inorganic salt with water, etc., followed by filtration.

상기 수용성 무기염의 예로는 염화나트륨, 염화칼륨 등을 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.  상기 습윤제는 상기 안료 및 상기 수용성 무기염이 균일하게 섞여 안료가 용이하게 분쇄될 수 있는 매개체 역할을 하며, 그 예로는 에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노메틸에테르 등과 같은 알킬렌 글리콜 모노알킬에테르; 에탄올, 이소프로판올, 부탄올, 헥산올, 시클로헥산올, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 글리세린 폴리에틸렌글리콜 등과 같은 알코올 등을 들 수 있으며, 이들을 단독 또는 둘 이상 혼합하여 사용할 수 있다.Examples of the water-soluble inorganic salt include, but are not limited to, sodium chloride and potassium chloride. The wetting agent acts as a medium through which the pigment and the water-soluble inorganic salt are uniformly mixed to easily pulverize the pigment. Examples of the wetting agent include ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether and the like Alkylene glycol monoalkyl ethers; And alcohols such as ethanol, isopropanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, polyethylene glycol, glycerin polyethylene glycol and the like. These may be used singly or in combination of two or more thereof.

상기 니딩 단계를 거친 안료는 30 내지 100 nm의 평균 입경을 가질 수 있다.  안료의 평균 입경이 상기 범위 내인 경우 내열성 및 내광성이 우수하면서도 미세한 패턴을 효과적으로 형성할 수 있다.The pigment after the kneading step may have an average particle size of 30 to 100 nm. When the average particle diameter of the pigment is within the above range, it is possible to effectively form a fine pattern with excellent heat resistance and light resistance.

상기 안료는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 1 내지 30 중량%로 포함될 수 있고, 구체적으로는 2 내지 20 중량%로 포함될 수 있다.  상기 안료가 상기 범위 내로 포함될 경우, 색 재현율이 우수하며, 패턴의 경화성 및 밀착성이 우수하다.The pigment may be contained in an amount of 1 to 30% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition, specifically, 2 to 20% by weight. When the pigment is included in the above range, the color reproducibility is excellent and the pattern is excellent in hardenability and adhesion.

 

(D) (D) 개시제Initiator

상기 개시제는 광중합 개시제, 라디칼 중합 개시제 또는 이들의 조합을 사용할 수 있다.The initiator may be a photopolymerization initiator, a radical polymerization initiator, or a combination thereof.

상기 광중합 개시제는 감광성 수지 조성물에 일반적으로 사용되는 개시제로서, 예를 들어 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 티오크산톤계 화합물, 벤조인계 화합물, 트리아진계 화합물 등을 사용할 수 있다.The photopolymerization initiator may be, for example, an acetophenone-based compound, a benzophenone-based compound, a thioxanthone-based compound, a benzoin-based compound, or a triazine-based compound as an initiator generally used in a photosensitive resin composition.

상기 아세토페논계의 화합물의 예로는, 2,2'-디에톡시 아세토페논, 2,2'-디부톡시 아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로피오페논, p-t-부틸트리클로로 아세토페논, p-t-부틸디클로로 아세토페논, 4-클로로 아세토페논, 2,2'-디클로로-4-페녹시 아세토페논, 2-메틸-1-(4-(메틸티오)페닐)-2-모폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온 등을 들 수 있다.Examples of the acetophenone-based compound include 2,2'-diethoxyacetophenone, 2,2'-dibutoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyltrichloroacetophenone, dichloro-4-phenoxyacetophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholinopropanone, p-butyldichloroacetophenone, 1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one.

상기 벤조페논계 화합물의 예로는, 벤조페논, 벤조일 안식향산, 벤조일 안식향산 메틸, 4-페닐 벤조페논, 히드록시 벤조페논, 아크릴화 벤조페논, 4,4'-비스(디메틸 아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-디메틸아미노벤조페논,4,4'-디클로로벤조페논, 3,3'-디메틸-2-메톡시벤조페논 등을 들 수 있다.Examples of the benzophenone compound include benzophenone, benzoyl benzoic acid, methyl benzoyl benzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, '-Bis (diethylamino) benzophenone, 4,4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, and 3,3'-dimethyl-2-methoxybenzophenone.

상기 티오크산톤계 화합물의 예로는, 티오크산톤, 2-크롤티오크산톤, 2-메틸티오크산톤, 이소프로필 티오크산톤, 2,4-디에틸 티오크산톤, 2,4-디이소프로필 티오크산톤, 2-클로로티오크산톤 등을 들 수 있다.Examples of the thioxanthone compound include thioxanthone, 2-crothioxanthone, 2-methylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, Propyl thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and the like.

상기 벤조인계 화합물의 예로는, 벤조인, 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인 이소부틸 에테르, 벤질디메틸케탈 등을 들 수 있다.Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, and benzyl dimethyl ketal.

상기 트리아진계 화합물의 예로는, 2,4,6-트리클로로-s-트리아진, 2-페닐 4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(3',4'-디메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4'-메톡시나프틸)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-톨릴)-4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 2-비페닐 4,6-비스(트리클로로 메틸)-s-트리아진, 비스(트리클로로메틸)-6-스티릴-s-트리아진, 2-(나프토1-일)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시나프토1-일)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-4-트리 클로로메틸(피페로닐)-6-트리아진, 2-4-트리클로로메틸(4'-메톡시스티릴)-6-트리아진 등을 들 수 있다.Examples of the triazine-based compound include 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl 4,6-bis (trichloromethyl) (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4'-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) Bis (trichloromethyl) -s-triazine, bis (trichloromethyl) -6-styryl-s-triazine, 2- (naphtho 1-yl) -4,6 -Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxynaphtho-1-yl) (Piperonyl) -6-triazine, and 2-4-trichloromethyl (4'-methoxystyryl) -6-triazine.

상기 광중합 개시제는 상기 화합물 이외에도 카바졸계 화합물, 디케톤류 화합물, 술포늄 보레이트계 화합물, 디아조계 화합물, 이미다졸계 화합물, 비이미다졸계 화합물 등을 사용할 수 있다.The photopolymerization initiator may be a carbazole compound, a diketone compound, a sulfonium borate compound, a diazo compound, an imidazole compound, or a nonimidazole compound in addition to the above compounds.

상기 라디칼 중합 개시제는 과산화물계 화합물, 아조비스계 화합물 등을 사용할 수 있다. The radical polymerization initiator may be a peroxide compound, an azobis compound, or the like.

상기 과산화물계 화합물의 예로는, 메틸에틸케톤 퍼옥사이드, 메틸이소부틸케톤 퍼옥사이드, 사이클로헥사논 퍼옥사이드, 메틸사이클로헥사논 퍼옥사이드, 아세틸아세톤 퍼옥사이드 등의 케톤 퍼옥사이드류; 이소부티릴 퍼옥사이드, 2,4-디클로로벤조일 퍼옥사이드, o-메틸벤조일 퍼옥사이드, 비스-3,5,5-트리메틸헥사노일 퍼옥사이드 등의 디아실 퍼옥사이드류; 2,4,4,-트리메틸펜틸-2-하이드로 퍼옥사이드, 디이소프로필벤젠하이드로 퍼옥사이드, 쿠멘하이드로 퍼옥사이드, t-부틸하이드로 퍼옥사이드 등의 하이드로 퍼옥사이드류; 디쿠밀 퍼옥사이드, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산, 1,3-비스(t-부틸옥시이소프로필)벤젠, t-부틸퍼옥시발레르산 n-부틸에스테르 등의 디알킬 퍼옥사이드류; 2,4,4-트리메틸펜틸 퍼옥시페녹시아세테이트, α-쿠밀 퍼옥시네오데카노에이트, t-부틸 퍼옥시벤조에이트, 디-t-부틸 퍼옥시트리메틸아디페이트 등의 알킬 퍼에스테르류; 디-3-메톡시부틸 퍼옥시디카보네이트, 디-2-에틸헥실 퍼옥시디카보네이트, 비스-4-t-부틸사이클로헥실 퍼옥시디카보네이트, 디이소프로필 퍼옥시디카보네이트, 아세틸사이클로헥실술포닐 퍼옥사이드, t-부틸 퍼옥시아릴카보네이트 등의 퍼카보네이트류 등을 들 수 있다.Examples of the peroxide compound include ketone peroxides such as methyl ethyl ketone peroxide, methyl isobutyl ketone peroxide, cyclohexanone peroxide, methyl cyclohexanone peroxide, and acetylacetone peroxide; Diacyl peroxides such as isobutyryl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, o-methylbenzoyl peroxide, and bis-3,5,5-trimethylhexanoyl peroxide; Hydroperoxides such as 2,4,4-trimethylpentyl-2-hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, cumene hydroperoxide, and t-butyl hydroperoxide; Dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, 1,3-bis (t-butyloxyisopropyl) Dialkyl peroxides such as esters; Alkyl peresters such as 2,4,4-trimethylpentyl peroxyphenoxyacetate,? -Cumyl peroxyneodecanoate, t-butyl peroxybenzoate and di-t-butyl peroxytrimethyl adipate; Di-3-methoxybutyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexyl peroxydicarbonate, bis-4-t-butylcyclohexyl peroxydicarbonate, diisopropyl peroxydicarbonate, acetylcyclohexylsulfonyl peroxide, t And percarbonates such as butyl peroxyaryl carbonate.

상기 아조비스계 화합물의 예로는, 1,1'-아조비스사이클로헥산-1-카르보니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2,-아조비스(메틸이소부티레이트), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴), α,α'-아조비스(이소부틸니트릴) 및 4,4'-아조비스(4-시아노발레인산) 등을 들 수 있다.Examples of the azobis compound include 1,1'-azobiscyclohexane-1-carbonitrile, 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2, -azobis Azoisobutyrate), 2,2'-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), α, α'-azobis (isobutylnitrile) and 4,4'-azobis - cyanobalenoic acid), and the like.

상기 개시제는 빛을 흡수하여 들뜬 상태가 된 후 그 에너지를 전달함으로써 화학반응을 일으키는 광 증감제와 함께 사용될 수도 있다.The initiator may be used in combination with a photosensitizer that causes a chemical reaction by absorbing light to become excited and transferring its energy.

상기 광 증감제의 예로는, 테트라에틸렌글리콜 비스-3-머캡토 프로피오네이트, 펜타에리트리톨 테트라키스-3-머캡토 프로피오네이트, 디펜타에리트리톨 테트라키스-3-머캡토 프로피오네이트 등을 들 수 있다. Examples of the photosensitizer include tetraethylene glycol bis-3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate, dipentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate and the like .

상기 개시제는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 0.01 내지 10 중량%로 포함될 수 있고, 구체적으로는 0.1 내지 5 중량%로 포함될 수 있다.  상기 개시제가 상기 범위 내로 포함될 경우, 패턴 형성 공정에서 노광시 경화가 충분히 일어나 우수한 신뢰성을 얻을 수 있으며, 패턴의 내열성, 내광성 및 내화학성이 우수하고, 해상도 및 밀착성 또한 우수하며, 미반응 개시제로 인한 투과율의 저하를 막을 수 있다. The initiator may be included in an amount of 0.01 to 10% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition, specifically 0.1 to 5% by weight. When the initiator is contained within the above-described range, the pattern can be sufficiently cured during exposure in order to obtain excellent reliability, excellent in heat resistance, light resistance and chemical resistance, excellent in resolution and adhesion, It is possible to prevent the transmittance from being lowered.

 

(E) 용매(E) Solvent

상기 용매는 상기 카도계 수지, 상기 반응성 불포화 화합물, 상기 안료 및 상기 개시제와의 상용성을 가지되 반응하지 않는 물질들이 사용될 수 있다.The solvent may be a mixture of the cationic resin, the reactive unsaturated compound, the pigment and the initiator but not reacting with the initiator.

상기 용매의 예로는, 메탄올, 에탄올 등의 알코올류; 디클로로에틸 에테르, n-부틸 에테르, 디이소아밀 에테르, 메틸페닐 에테르, 테트라히드로퓨란 등의 에테르류; 에틸렌 글리콜 메틸에테르, 에틸렌 글리콜 에틸에테르, 프로필렌 글리콜 메틸에테르 등의 글리콜 에테르류; 메틸 셀로솔브 아세테이트, 에틸 셀로솔브 아세테이트, 디에틸 셀로솔브 아세테이트 등의 셀로솔브 아세테이트류; 메틸에틸 카르비톨, 디에틸 카르비톨, 디에틸렌 글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌 글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌 글리콜 디메틸에테르, 디에틸렌 글리콜 메틸에틸에테르, 디에틸렌 글리콜 디에틸에테르 등의 카르비톨류; 프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 프로필에테르 아세테이트 등의 프로필렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; 메틸에틸케톤, 사이클로헥사논, 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논, 메틸-n-프로필케톤, 메틸-n-부틸케논, 메틸-n-아밀케톤, 2-헵타논 등의 케톤류; 초산 에틸, 초산-n-부틸, 초산 이소부틸 등의 포화 지방족 모노카르복실산 알킬 에스테르류; 메틸 락테이트, 에틸 락테이트 등의 락트산 알킬 에스테르류; 메틸 히드록시아세테이트, 에틸 히드록시아세테이트, 부틸 히드록시아세테이트 등의 히드록시아세트산 알킬 에스테르류; 메톡시메틸 아세테이트, 메톡시에틸 아세테이트, 메톡시부틸 아세테이트, 에톡시메틸 아세테이트, 에톡시에틸 아세테이트 등의 아세트산 알콕시알킬 에스테르류; 메틸 3-히드록시프로피오네이트, 에틸 3-히드록시프로피오네이트 등의 3-히드록시프로피온산 알킬 에스테르류; 메틸 3-메톡시프로피오네이트, 에틸 3-메톡시프로피오네이트, 에틸 3-에톡시프로피오네이트, 메틸 3-에톡시프로피오네이트 등의 3-알콕시프로피온산 알킬 에스테르류; 메틸 2-히드록시프로피오네이트, 에틸 2-히드록시프로피오네이트, 프로필 2-히드록시프로피오네이트 등의 2-히드록시프로피온산 알킬 에스테르류; 메틸 2-메톡시프로피오네이트, 에틸 2-메톡시프로피오네이트, 에틸 2-에톡시프로피오네이트, 메틸 2-에톡시프로피오네이트 등의 2-알콕시프로피온산 알킬 에스테르류; 메틸 2-히드록시-2-메틸프로피오네이트, 에틸 2-히드록시-2-메틸프로피오네이트 등의 2-히드록시-2-메틸프로피온산 알킬 에스테르류; 메틸 2-메톡시-2-메틸프로피오네이트, 에틸 2-에톡시-2-메틸프로피오네이트 등의 2-알콕시-2-메틸프로피온산 알킬 에스테르류; 2-히드록시에틸 프로피오네이트, 2-히드록시-2-메틸에틸 프로피오네이트, 히드록시에틸 아세테이트, 메틸 2-히드록시-3-메틸부타노에이트 등의 에스테르류; 또는 피루빈산 에틸 등의 케톤산 에스테르류의 화합물이 있으며, 또한 N-메틸포름아미드, N,N-디메틸포름아미드, N-메틸포름아닐리드, N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈, 디메틸술폭시드, 벤질에틸에테르, 디헥실에테르, 아세트닐아세톤, 이소포론, 카프론산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 벤질알코올, 초산 벤질, 안식향산 에틸, 옥살산 디에틸, 말레인산 디에틸, γ-부티로락톤, 에틸렌 카보네이트, 프로필렌 카보네이트, 페닐 셀로솔브 아세테이트 등이 있으며, 이들 단독으로 사용되거나 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.Examples of the solvent include alcohols such as methanol and ethanol; Ethers such as dichloroethyl ether, n-butyl ether, diisobutyl ether, methylphenyl ether and tetrahydrofuran; Glycol ethers such as ethylene glycol methyl ether, ethylene glycol ethyl ether and propylene glycol methyl ether; Cellosolve acetates such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate and diethyl cellosolve acetate; Carbitols such as methylethylcarbitol, diethylcarbitol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether and diethylene glycol diethyl ether; Propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol methyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetate; Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, methyl-n-propyl ketone, methyl- ; Saturated aliphatic monocarboxylic acid alkyl esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate and isobutyl acetate; Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate; Hydroxyacetic acid alkyl esters such as methylhydroxyacetate, ethylhydroxyacetate and butylhydroxyacetate; Alkoxyalkyl esters such as methoxy methyl acetate, methoxy ethyl acetate, methoxy butyl acetate, ethoxy methyl acetate, and ethoxy ethyl acetate; 3-hydroxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-hydroxypropionate and ethyl 3-hydroxypropionate; 3-alkoxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-ethoxypropionate; 2-hydroxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate and propyl 2-hydroxypropionate; 2-alkoxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate and methyl 2-ethoxypropionate; 2-hydroxy-2-methylpropionic acid alkyl esters such as methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate and ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate; 2-alkoxy-2-methylpropionic acid alkyl esters such as methyl 2-methoxy-2-methylpropionate and ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate; Esters such as 2-hydroxyethyl propionate, 2-hydroxy-2-methyl ethyl propionate, hydroxy ethyl acetate and methyl 2-hydroxy-3-methyl butanoate; Or ethyl pyruvate. Examples of the ketone acid esters include N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-methylformanilide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide Benzyl alcohol, benzoic acid, benzoic acid, benzoic acid, benzoic acid, benzoic acid, benzoic acid, benzoic acid, benzoic acid, Ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate,? -Butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl cellosolve acetate, etc. These may be used alone or in combination of two or more.

상기 용매 중 혼화성(miscibility) 및 반응성 등을 고려한다면, 좋게는 에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르 등의 글리콜 에테르류; 에틸 셀로솔브 아세테이트 등의 에틸렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류; 2-히드록시에틸 프로피오네이트 등의 에스테르류; 디에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르 등의 디에틸렌 글리콜류; 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 프로필에테르 아세테이트 등의 프로필렌 글리콜 알킬에테르 아세테이트류가 사용될 수 있다. In view of the miscibility and reactivity of the solvent, glycol ethers such as ethylene glycol monoethyl ether and the like; Ethylene glycol alkyl ether acetates such as ethyl cellosolve acetate; Esters such as 2-hydroxyethyl propionate; Diethylene glycol such as diethylene glycol monomethyl ether; Propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetate can be used.

상기 용매는 상기 감광성 수지 조성물 총량에 대하여 잔부량으로 포함될 수 있으며, 구체적으로는 50 내지 90 중량%로 포함될 수 있다.  상기 용매가 상기 범위 내로 포함될 경우 상기 감광성 수지 조성물이 적절한 점도를 가짐에 따라 차광층 제조시 공정성이 우수하다. The solvent may be contained in an amount of 50 to 90% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition. When the solvent is contained within the above range, the photosensitive resin composition has an appropriate viscosity, and thus the processability in the production of the light-shielding layer is excellent.

 

(F) 기타 첨가제(F) Other additives

상기 감광성 수지 조성물은 기판과의 밀착성 등을 개선하기 위해 에폭시 화합물을 더 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition may further include an epoxy compound to improve adhesion with the substrate.

상기 에폭시 화합물의 예로는, 페놀 노볼락 에폭시 화합물, 테트라메틸 비페닐 에폭시 화합물, 비스페놀 A형 에폭시 화합물, 지환족 에폭시 화합물 또는 이들의 조합을 들 수 있다. Examples of the epoxy compound include a phenol novolak epoxy compound, a tetramethylbiphenyl epoxy compound, a bisphenol A type epoxy compound, an alicyclic epoxy compound, or a combination thereof.

상기 에폭시 화합물은 상기 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 0.01 내지 10 중량부로 포함될 수 있고, 구체적으로는 0.1 내지 5 중량부로 포함될 수 있다.  상기 에폭시 화합물이 상기 범위 내로 포함될 경우 밀착성, 저장성 등이 우수하다. The epoxy compound may be included in an amount of 0.01 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the photosensitive resin composition, and specifically 0.1 to 5 parts by weight. When the epoxy compound is contained within the above range, the adhesiveness and storage stability are excellent.

또한 상기 감광성 수지 조성물은 기판과의 접착성을 향상시키기 위해 카르복실기, 메타크릴로일기, 이소시아네이트기, 에폭시기 등의 반응성 치환기를 갖는 실란 커플링제를 더 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition may further include a silane coupling agent having a reactive substituent such as a carboxyl group, a methacryloyl group, an isocyanate group or an epoxy group in order to improve the adhesiveness to the substrate.

상기 실란 커플링제의 예로는, 트리메톡시실릴 벤조산, γ-메타크릴 옥시프로필 트리메톡시실란, 비닐 트리아세톡시실란, 비닐 트리메톡시실란, γ-이소 시아네이트 프로필 트리에톡시실란, γ-글리시독시 프로필 트리메톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란 등을 들 수 있으며, 이들을 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. Examples of the silane coupling agent include trimethoxysilylbenzoic acid,? -Methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane,? -Isocyanatopropyltriethoxysilane,? - Glycidoxypropyltrimethoxysilane, and? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. These may be used singly or in combination of two or more.

상기 실란 커플링제는 상기 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 0.01 내지 10 중량부로 포함될 수 있다.  상기 실란 커플링제가 상기 범위 내로 포함될 경우 밀착성, 저장성 등이 우수하다. The silane coupling agent may be included in an amount of 0.01 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the photosensitive resin composition. When the silane coupling agent is contained within the above range, the adhesion and storage stability are excellent.

또한 상기 감광성 수지 조성물은 필요에 따라 코팅성 향상 및 결점 생성 방지 효과를 위해 계면 활성제를 더 포함할 수 있다.  The above-mentioned photosensitive resin composition may further contain a surfactant for improving coatability and preventing defect formation if necessary.

상기 계면 활성제의 예로는, BM Chemie사의 BM-1000®, BM-1100® 등; 다이 닛폰 잉키 가가꾸 고교(주)사의 메카 팩 F 142D®, 동 F 172®, 동 F 173®, 동 F 183® 등; 스미토모 스리엠(주)사의 프로라드 FC-135®, 동 FC-170C®, 동 FC-430®, 동 FC-431® 등; 아사히 그라스(주)사의 사프론 S-112®, 동 S-113®, 동 S-131®, 동 S-141®, 동 S-145® 등; 도레이 실리콘(주)사의 SH-28PA®, 동-190®, 동-193®, SZ-6032®, SF-8428® 등의 명칭으로 시판되고 있는 불소계 계면 활성제를 사용할 수 있다. Examples of the surfactants include, BM Chemie Corporation BM-1000 ®, BM-1100 ® , and the like; Mecha Pack F 142D ® , Copper F 172 ® , Copper F 173 ® , Copper F 183 ® and the like manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Incorporated; M. Sumitomo Co., Inc. Pro rod FC-135 ®, the same FC-170C ®, copper FC-430 ®, the same FC-431 ®, and the like; Asahi Grass Co., Inc. Saffron S-112 ®, the same S-113 ®, the same S-131 ®, the same S-141 ®, the same S-145 ®, and the like; ® Toray Silicone Co., Ltd.'s SH-28PA, copper -190 ®, may be used a fluorine-containing surfactants commercially available under the name such as copper -193 ®, SZ-6032 ®, SF-8428 ®.

상기 계면 활성제는 상기 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부로 사용될 수 있다.  상기 계면 활성제가 상기 범위 내로 포함될 경우 코팅 균일성이 확보되고, 얼룩이 발생하지 않으며, 유리 기판에 대한 습윤성(wetting)이 우수하다.The surfactant may be used in an amount of 0.001 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the photosensitive resin composition. When the surfactant is contained within the above range, coating uniformity is ensured, no staining occurs, and wetting of the glass substrate is excellent.

또한 상기 감광성 수지 조성물은 물성을 저해하지 않는 범위 내에서 산화방지제, 안정제 등의 기타 첨가제가 일정량 첨가될 수도 있다.  The photosensitive resin composition may contain a certain amount of other additives such as an antioxidant and a stabilizer within a range that does not impair the physical properties.

 

다른 일 구현예는 전술한 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 차광층을 제공한다.  상기 차광층의 제조 방법은 다음과 같다. Another embodiment provides a light-shielding layer made using the above-described photosensitive resin composition. The method of manufacturing the light-shielding layer is as follows.

(1) 도포 및 도막 형성 단계(1) Coating and Film Formation Step

전술한 감광성 수지 조성물을 소정의 전처리를 한 기판 상에 스핀 또는 슬릿 코트법, 롤 코트법, 스크린 인쇄법, 어플리케이터법 등의 방법을 사용하여 원하는 두께, 예를 들어 0.5 내지 25 ㎛의 두께로 도포한 후, 70 내지 110℃의 온도에서 1 내지 10분 동안 가열하여 용매를 제거함으로써 도막을 형성한다.  The above-mentioned photosensitive resin composition is coated on a predetermined pretreated substrate to a desired thickness, for example, a thickness of 0.5 to 25 占 퐉, by using a spin or slit coat method, a roll coating method, a screen printing method or an applicator method And then the solvent is removed by heating at a temperature of 70 to 110 DEG C for 1 to 10 minutes to form a coating film.

(2) 노광 단계(2) Exposure step

상기 얻어진 도막에 필요한 패턴 형성을 위해 소정 형태의 마스크를 개재한 뒤, 190 내지 500 nm의 활성선을 조사한다.  조사에 사용되는 광원으로는 저압 수은등, 고압 수은등, 초고압 수은등, 금속 할로겐화물 램프, 아르곤 가스 레이저 등을 사용할 수 있으며, 경우에 따라 X선, 전자선 등도 이용할 수 있다.  In order to form a pattern necessary for the obtained coating film, a mask of a predetermined type is interposed, and an active line of 190 to 500 nm is irradiated. As the light source used for the irradiation, a low pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultra high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, an argon gas laser, and the like can be used.

노광량은 상기 감광성 수지 조성물 각 성분의 종류, 배합량 및 건조 막 두께에 따라 다르지만, 예를 들어 고압 수은등을 사용할 경우 500 mJ/cm2 이하(365 nm 센서에 의함)이다.The exposure dose varies depending on the kind of each component of the photosensitive resin composition, the blending amount, and the dried film thickness. For example, when a high pressure mercury lamp is used, the exposure dose is 500 mJ / cm 2 (By a 365 nm sensor).

(3) 현상 단계(3) Development step

상기 노광 단계에 이어, 알칼리성 수용액을 현상액으로 이용하여 불필요한 부분을 용해, 제거함으로써 노광 부분만을 잔존시켜 화상 패턴을 형성시킨다.Following the above exposure step, an unnecessary portion is dissolved and removed by using an alkaline aqueous solution as a developing solution, so that only the exposed portion is left to form an image pattern.

(4) 후처리 단계(4) Post-treatment step

상기 현상에 의해 수득된 화상 패턴을 내열성, 내광성, 밀착성, 내크랙성, 내화학성, 고강도, 저장 안정성 등의 면에서 우수한 패턴을 얻기 위해, 다시 가열하거나 활성선 조사 등을 행하여 경화시킬 수 있다.The image pattern obtained by the above-described development can be cured by heating again or by active ray irradiation or the like in order to obtain a pattern excellent in terms of heat resistance, light resistance, adhesion, crack resistance, chemical resistance, high strength and storage stability.

전술한 감광성 수지 조성물을 이용함으로써, 차광층에 요구되는 우수한 절연성과 광학밀도를 얻을 수 있다. By using the above-described photosensitive resin composition, excellent insulating properties and optical density required for the light-shielding layer can be obtained.

 

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다.  다만, 하기의 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일뿐, 본 발명이 하기 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. However, the following examples are only a preferred embodiment of the present invention, and the present invention is not limited by the following examples.

제조예Manufacturing example 1-1:  1-1: 카도계Carometer 수지 제조 Resin Manufacturing

(1) 반응기에 9,9'-비스(4-글리실록시페닐)플루오렌(Hear chem社) 138g, 아크릴산 54g, 벤질트리에틸암모늄클로라이드(대정화금社) 1.4g, 트리페닐포스핀(Aldrich社) 1g, 프로필글리콜메틸에틸아세테이트(Daicel Chemical社) 128g, 및 하이드로퀴논 0.5g을 넣고 120℃로 승온 후 12시간 유지하여, 하기 화학식 7-1로 표시되는 화합물을 합성하였다. (1) A reactor was charged with 138 g of 9,9'-bis (4-glycyloxyphenyl) fluorene (Hear chem), 54 g of acrylic acid, 1.4 g of benzyltriethylammonium chloride 128 g of propylglycolmethylethylacetate (Daicel Chemical Co.) and 0.5 g of hydroquinone were charged, and the mixture was heated to 120 ° C and maintained at that temperature for 12 hours to synthesize a compound represented by the following formula (7-1).

[화학식 7-1][Formula 7-1]

Figure 112010081642118-pat00045
Figure 112010081642118-pat00045

(2) 반응기에 상기 화학식 7-1로 표시되는 화합물 60g, 비페닐테트라카르복실산 디무수물(Mitsubishi Gas社) 11g, 테트라히드로프탈 무수물(Aldrich社) 3g, 프로필글리콜메틸에틸아세테이트(Daicel Chemical社) 20g, 및 N,N'-테트라메틸암모늄 클로라이트 0.1g을 넣고 120℃로 승온 후 2시간 유지하여, 하기 화학식 7-2로 표시되는 화합물을 합성하였다.  얻어진 화학식 7-2로 표시되는 화합물의 중량평균 분자량은 5,400 g/mol 이었다. (2) To the reactor were added 60 g of the compound represented by the above formula (7-1), 11 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride (Mitsubishi Gas), 3 g of tetrahydrophthalic anhydride (Aldrich), 10 g of propylglycolmethylethylacetate ), And 0.1 g of N, N'-tetramethylammonium chlorite were added, and the temperature was raised to 120 ° C and then maintained for 2 hours to synthesize a compound represented by the following formula (7-2). The weight average molecular weight of the compound represented by the formula (7-2) was 5,400 g / mol.

[화학식 7-2][Formula 7-2]

Figure 112010081642118-pat00046
Figure 112010081642118-pat00046

(3) 반응기에 상기 화학식 7-2로 표시되는 화합물 50g, 글리시딜 메타크릴레이트 3g, 트리페닐포스핀(Aldrich社) 0.4g, Chisso社의 S510 2.5g, 및 히드로퀴논 0.1g을 넣고 100℃로 승온 후 3시간 유지하여, 하기 화학식 7-3으로 표시되는 화합물을 합성하였다.  얻어진 화학식 7-3으로 표시되는 화합물의 중량평균 분자량은 5,500 g/mol 이었다. (3) To the reactor were added 50 g of the compound represented by the above formula (7-2), 3 g of glycidyl methacrylate, 0.4 g of triphenylphosphine (Aldrich), 2.5 g of S510 of Chisso, and 0.1 g of hydroquinone, , And the mixture was kept for 3 hours to synthesize a compound represented by the following formula (7-3). The weight average molecular weight of the compound represented by the formula (7-3) was 5,500 g / mol.

[화학식 7-3][Formula 7-3]

Figure 112010081642118-pat00047
Figure 112010081642118-pat00047

제조예Manufacturing example 1-2:  1-2: 카도계Carometer 수지 제조 Resin Manufacturing

반응기에 상기 화학식 7-1로 표시되는 화합물 60g, 벤조페논테트라카르복실산 디무수물(Mitsubishi Gas社) 11g, 테트라히드로프탈 무수물(Aldrich社) 3g, 및 프로필글리콜메틸에틸아세테이트(Daicel Chemical社) 20g을 넣고 120℃로 승온 후 2시간 유지하여, 하기 화학식 7-4로 표시되는 화합물을 합성하였다.  얻어진 화학식 7-4로 표시되는 화합물의 중량평균 분자량은 5,300 g/mol이었다.  In the reactor, 60 g of the compound represented by the above formula (7-1), 11 g of benzophenone tetracarboxylic dianhydride (Mitsubishi Gas), 3 g of tetrahydrophthalic anhydride (Aldrich) and 20 g of propylglycolmethylethylacetate (Daicel Chemical Co.) , The temperature was raised to 120 ° C, and the mixture was maintained for 2 hours to synthesize a compound represented by the following formula (7-4).   The weight average molecular weight of the compound represented by the formula (7-4) was 5,300 g / mol.  

[화학식 7-4] [Chemical Formula 7-4]

Figure 112010081642118-pat00048
Figure 112010081642118-pat00048

제조예Manufacturing example 2: 적색 안료 분산액 제조 2: Preparation of red pigment dispersion

반응기에 C.I. 적색 안료 254(Ciba社) 15g, DISPERBYK-163(BYK社) 4g, 아크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(미원상社, NPR8000) 3g 및 프로필렌글리콜 메틸에틸아세테이트 78g을 혼합하고, 페인트 쉐이커(paint-shaker)(Asada社)를 이용하여 12시간 동안 분산시켜 적색 안료 분산액을 제조하였다.The reactor was charged with C.I. 4 g of DISPERBYK-163 (BYK), 3 g of acrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (NPR8000), and 78 g of propylene glycol methyl ethyl acetate were mixed and mixed with a paint shaker, shaker (Asada) for 12 hours to prepare a red pigment dispersion.

제조예Manufacturing example 3: 흑색 안료 분산액 제조 3: Preparation of black pigment dispersion

반응기에 카본 블랙(Cabot社) 15g, DISPERBYK-163(BYK社) 4g, 아크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(미원상社, NPR8000) 3g 및 프로필렌글리콜 메틸에틸아세테이트 78g을 혼합하고, 페인트 쉐이커(paint-shaker)(Asada社)를 이용하여 12시간 동안 분산시켜 흑색 안료 분산액을 제조하였다.15 g of carbon black (Cabot), 4 g of DISPERBYK-163 (BYK), 3 g of acrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (Mizuho Company, NPR8000) and 78 g of propylene glycol methyl ethyl acetate were mixed and mixed in a paint shaker -shaker (Asada) for 12 hours to prepare a black pigment dispersion.

 

실시예Example 1 및 2와  1 and 2 and 비교예Comparative Example 1 내지 4: 감광성 수지 조성물 제조 1 to 4: Photosensitive resin composition production

하기 언급된 구성성분들을 이용하여 하기 표 1에 나타낸 조성으로 각 실시예 1 및 2와 비교예 1 내지 4에 따른 감광성 수지 조성물을 제조하였다.The photosensitive resin composition according to each of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4 was prepared with the compositions shown in the following Table 1 by using the following components.

구체적으로, 용매에 개시제를 녹인 후 2시간 동안 상온에서 교반한 다음, 여기에 바인더 수지 및 반응성 불포화 화합물을 첨가하여 2시간 동안 상온에서 교반하였다.  이어서, 얻어진 상기 반응물에 상기 제조예 2에서 제조된 적색 안료 분산액 또는 상기 제조예 3에서 제조된 흑색 안료 분산액, 및 실란 커플링제를 넣고 1시간 동안 상온에서 교반하였다.  이어서 상기 생성물을 3회 여과하여 불순물을 제거함으로써, 감광성 수지 조성물을 제조하였다.Specifically, after dissolving the initiator in the solvent, the mixture was stirred at room temperature for 2 hours, and then a binder resin and a reactive unsaturated compound were added thereto, followed by stirring at room temperature for 2 hours. Then, the red pigment dispersion prepared in Production Example 2, the black pigment dispersion prepared in Production Example 3, and the silane coupling agent were added to the obtained reaction product, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. Subsequently, the product was filtered three times to remove impurities, thereby preparing a photosensitive resin composition.

(A) (A) 카도계Carometer 수지 Suzy

(A-1) 상기 제조예 1-1에서 제조된 화학식 7-3으로 표시되는 화합물을 사용하였다.(A-1) The compound represented by the formula 7-3 prepared in Preparation Example 1-1 was used.

(A-2) 상기 제조예 1-2에서 제조된 화학식 7-4로 표시되는 화합물을 사용하였다.(A-2) The compound represented by the formula 7-4 prepared in Preparation Example 1-2 was used.

(A-3) 카도계 수지로서, 신일철 화학社의 V259ME을 사용하였다.(A-3) V259ME of Shinil Chemical Co., Ltd. was used as a cardior resin.

(B) 반응성 불포화 화합물(B) a reactive unsaturated compound

디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트를 사용하였다.Dipentaerythritol hexaacrylate was used.

(C) 안료 분산액(C) Pigment dispersion

(C-1) 상기 제조예 2에서 제조된 적색 안료 분산액을 사용하였다.  이때 안료 고형분은 상기 적색 안료 분산액 총량에 대하여 15 중량%로 포함되어 있다.(C-1) The red pigment dispersion prepared in Preparation Example 2 was used. At this time, the solid content of the pigment is 15% by weight based on the total amount of the red pigment dispersion.

(C-2) 상기 제조예 3에서 제조된 흑색 안료 분산액을 사용하였다.  이때 안료 고형분은 상기 흑색 안료 분산액 총량에 대하여 15 중량%로 포함되어 있다.(C-2) The black pigment dispersion prepared in Preparation Example 3 was used. At this time, the pigment solid content is 15% by weight based on the total amount of the black pigment dispersion.

(D) (D) 개시제Initiator

시바-가이기社의 IRGACURE OXE02를 사용하였다.IRGACURE OXE02 from Ciba-Geigy Co. was used.

(E) 용매(E) Solvent

프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세테이트를 사용하였다. Propylene glycol methyl ether acetate was used.

(F) 첨가제(F) Additive

실란 커플링제로서, γ-글리시독시 프로필 트리메톡시실란(Chisso社의 S-510)을 사용하였다.As the silane coupling agent,? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane (Chisso's S-510) was used.

  실시예Example 비교예Comparative Example 1One 22 1One 22 33 44 (A) 카도계 수지 (중량%)(A) Cadocase resin (% by weight) (A-1)(A-1) 9.59.5 9.59.5 -- -- -- -- (A-2)(A-2) -- -- 9.59.5 9.59.5 -- -- (A-3)(A-3) -- -- -- -- 9.59.5 9.59.5 (B) 반응성 불포화 화합물(중량%)(B) Reactive unsaturated compound (% by weight) 3.53.5 3.53.5 3.53.5 3.53.5 3.53.5 3.53.5 (C) 안료 분산액 (중량%)(C) Pigment dispersion (% by weight) (C-1)(C-1) 40
(6*)
40
(6 *)
-- 40
(6*)
40
(6 *)
-- 40
(6*)
40
(6 *)
--
(C-2)(C-2) -- 40
(6*)
40
(6 *)
-- 40
(6*)
40
(6 *)
-- 40
(6*)
40
(6 *)
(D) 개시제(중량%)(D) Initiator (% by weight) 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 (E) 용매(중량%)(E) Solvent (% by weight) 4444 4444 4444 4444 4444 4444 (F) 첨가제(중량%)(F) Additive (% by weight) 2.52.5 2.52.5 2.52.5 2.52.5 2.52.5 2.52.5

*는 (C-1) 적색 안료 분산액 또는 (C-2) 흑색 안료 분산액의 총량에 대한 안료의 고형분 함량을 나타낸다.* Represents the solid content of the pigment relative to the total amount of (C-1) red pigment dispersion or (C-2) black pigment dispersion.

 

평가 1: Rating 1: 현상성Developability 평가 evaluation

상기 실시예 1 및 2와 비교예 1 내지 4에서 제조된 감광성 수지 조성물을 실리콘 웨이퍼(LG 실트론社) 위에 스핀 코팅기(KDNS社, K-Spin8)를 사용하여 0.8㎛ 높이로 코팅한 후, 노광기(니콘社, I10C)를 사용하여 350 ms 동안 노광하였다.  이어서 현상기(SVS社, SSP-200)를 사용하여 0.2 중량%의 테트라메틸암모늄 히드록사이드(TMAH) 수용액으로 현상시, 상기 수용액이 도포된 시점과 현상되기 시작하는 시점 사이의 시간을 기준으로 하여 현상성을 평가하여, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.The photosensitive resin compositions prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4 were coated on a silicon wafer (LG Siltron) using a spin coater (KDNS, K-Spin 8) to a height of 0.8 탆, Nikon Corporation, I10C) for 350 ms. Then, on the basis of the time between the time when the aqueous solution was applied and the time when the aqueous solution started to be developed upon development into an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH) of 0.2% by weight using a developing machine (SVS, SSP-200) The developability was evaluated, and the results are shown in Table 2 below.

<현상성 평가 기준>&Lt; Development evaluation standard &

○: 20초 이하○: 20 seconds or less

△: 20초 초과 30초 미만△: more than 20 seconds but less than 30 seconds

×: 30초 이상×: more than 30 seconds

평가 2: Evaluation 2: 잔사Residue 평가 evaluation

상기 실시예 1 및 2와 비교예 1 내지 4에서 제조된 감광성 수지 조성물을 실리콘 웨이퍼(LG 실트론社) 위에 스핀 코팅기(KDNS社, K-Spin8)를 사용하여 0.8㎛ 높이로 코팅한 후, 노광기(니콘社, I10C)를 사용하여 350 ms 동안 노광하였다.  이어서 현상기(SVS社, SSP-200)를 사용하여 0.2 중량%의 테트라메틸암모늄 히드록사이드(TMAH) 수용액으로 현상하여 패턴을 제작한 후, CD 주사전자현미경 분석기(KLA-Tencor社, 8100XP)를 사용하여 잔사 여부를 평가하여, 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.  또한 상기 잔사 여부의 평가 기준이 되는 주사전자현미경 사진을 도 1 및 2에 나타내었다.The photosensitive resin compositions prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4 were coated on a silicon wafer (LG Siltron) using a spin coater (KDNS, K-Spin 8) to a height of 0.8 탆, Nikon Corporation, I10C) for 350 ms. Subsequently, a pattern was prepared using a developer (SVS, SSP-200) in an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (TMAH) of 0.2% by weight, and then a CD scanning electron microscope (KLA-Tencor, 8100XP) The results are shown in Table 2 below. Also, a scanning electron microscope photograph as a standard for evaluation of the residue is shown in Figs. 1 and 2. Fig.

도 1은 실시예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 잔사 특성을 평가한 주사전자현미경 사진이고, 도 2는 비교예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 잔사 특성을 평가한 주사전자현미경 사진이다. Fig. 1 is a scanning electron micrograph showing evaluation of the residual characteristics of the photosensitive resin composition according to Example 1, and Fig. 2 is a scanning electron microscopic photograph evaluating the residual characteristics of the photosensitive resin composition according to Comparative Example 1. Fig.

<잔사 평가 기준><Evaluation Criteria>

○: 도 1과 같이 패턴이 매끈한 경우O: When the pattern is smooth as shown in Fig. 1

△: 도 2와 같이 잔사가 일부 발생하는 경우 ?: When a part of residue is generated as shown in FIG. 2

도 1 및 2를 참조하면, 실시예 1의 감광성 수지 조성물의 경우 잔사 발생 없이 표면이 매끄러우며, 비교예 1의 감광성 수지 조성물의 경우 잔사가 발생함을 확인할 수 있다.1 and 2, it can be confirmed that the surface of the photosensitive resin composition of Example 1 is smooth without residue, and that the photosensitive resin composition of Comparative Example 1 generates residues.

평가 3: 패턴 Rating 3: Pattern 형성성Formability 평가 evaluation

상기 실시예 1 및 2와 비교예 1 내지 4에서 제조된 감광성 수지 조성물을 유리기판 위에 스핀 코팅기를 사용하여 3.0 um 높이로 코팅한 후, 패턴 마스크를 이용하여 노광기(USHIO社)로 35 mJ/cm2 조사하였다.  수산화칼륨 1 중량%로 희석된 수용액으로 23℃에서 1분 동안 현상한 후, 순수로 1분 동안 세정하였다.  이러한 방법으로 얻어진 3.0 um 높이의 패턴을 220℃ 오븐에서 30분 동안 가열하여 경화시킨 후, 광학 현미경을 이용하여 육안으로 패턴의 형상을 전자주사전자현미경으로 관찰하였다.  그 결과를 하기 표 2 및 도 3 내지 5에 나타내었다.The photosensitive resin compositions prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4 were coated on a glass substrate at a height of 3.0 μm using a spin coater and then exposed to light at 35 mJ / cm 2 using an exposure machine (USHIO) 2 was investigated. Developed in an aqueous solution diluted with 1% by weight of potassium hydroxide at 23 DEG C for 1 minute, then rinsed with pure water for 1 minute. The pattern of 3.0 .mu.m height obtained by this method was cured by heating in an oven at 220.degree. C. for 30 minutes, and then the shape of the pattern was visually observed with an electron microscope using an optical microscope. The results are shown in Table 2 and Figs. 3 to 5.

도 3은 실시예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 패턴 형성성을 평가한 주사전자현미경 사진이고, 도 4는 비교예 1에 따른 감광성 수지 조성물의 패턴 형성성을 평가한 주사전자현미경 사진이고, 도 5는 비교예 2에 따른 감광성 수지 조성물의 패턴 형성성을 평가한 주사전자현미경 사진이다.  FIG. 3 is a scanning electron microscopic photograph evaluating the pattern forming property of the photosensitive resin composition according to Example 1. FIG. 4 is a scanning electron microscopic photograph evaluating the pattern forming property of the photosensitive resin composition according to Comparative Example 1, Is a scanning electron microscope photograph evaluating the pattern forming property of the photosensitive resin composition according to Comparative Example 2. Fig.  

<패턴 형성성 기준>&Lt; Criteria of pattern formation property &

◎ : 도 3과 같이 패턴 형성성이 매우 좋음 &Amp; cir &amp;: Very good pattern formation property as shown in FIG. 3

○ : 도 4와 같이 패턴 형성성이 좋음 ?: Good pattern formation property as shown in Fig. 4

△ : 도 5와 같이 패턴 형성성이 나쁨 ?: As shown in Fig. 5,

도 3 내지 5를 참조하면, 실시예 1의 감광성 수지 조성물의 경우 패턴이 잘 형성되는 반면, 비교예 2의 감광성 수지 조성물의 경우 패턴이 잘 형성되지 않음을 확인할 수 있다. 3 to 5, it can be seen that the pattern of the photosensitive resin composition of Example 1 is well formed, whereas the pattern of the photosensitive resin composition of Comparative Example 2 is not well formed.

평가 4: 미세 라인 패턴의 Evaluation 4: Fine line pattern 형성성Formability 평가 evaluation

흑색 안료 분산액을 사용하여 제조된 실시예 2, 비교예 2 및 비교예 4의 감광성 수지 조성물을 이용하여, 상기 패턴 형성성 평가시와 같은 조건으로 패턴을 형성하여, 광학 현미경을 사용하여 패턴 형상의 크기를 평가하였고, 그 결과를 하기 표 2 및 도 6 내지 8에 나타내었다. Using the photosensitive resin compositions of Example 2, Comparative Example 2 and Comparative Example 4 prepared using a black pigment dispersion, a pattern was formed under the same conditions as in the evaluation of the pattern formability, The results are shown in Table 2 and Figs. 6 to 8.

도 6은 실시예 2에 따른 감광성 수지 조성물로부터 얻은 패턴 크기를 평가한 주사전자현미경 사진이고, 도 7은 비교예 2에 따른 감광성 수지 조성물로부터 얻은 패턴 크기를 평가한 광학현미경 사진이고, 도 8은 비교예 4에 따른 감광성 수지 조성물로부터 얻은 패턴 크기를 평가한 광학현미경 사진이다. FIG. 6 is a scanning electron microscopic image obtained by evaluating the pattern size obtained from the photosensitive resin composition according to Example 2, FIG. 7 is an optical microscopic photograph evaluating the pattern size obtained from the photosensitive resin composition according to Comparative Example 2, The photomicrograph of the pattern size obtained from the photosensitive resin composition according to Comparative Example 4 was evaluated.

도 6 내지 8을 참조하면, 실시예 2의 경우 최소 패턴의 크기가 7㎛로 형성되는 반면, 비교예 2 및 4의 경우 최소 패턴의 크기가 10㎛로 형성됨을 확인할 수 있다.Referring to FIGS. 6 to 8, it can be seen that the minimum pattern size of Example 2 is 7 μm, while the minimum pattern size of Comparative Example 2 and 4 is 10 μm.

  현상성Developability 잔 사Sleeping 패턴 형성성Pattern forming property 최소 패턴 크기(㎛)Minimum pattern size (탆) 실시예 1Example 1 -- 실시예 2Example 2 77 비교예 1Comparative Example 1 -- 비교예 2Comparative Example 2 1010 비교예 3Comparative Example 3 -- 비교예 4Comparative Example 4 1010

상기 표 2를 통하여, 일 구현예에 따른 카도계 수지를 사용하여 제조한 실시예 1 및 2의 감광성 수지 조성물은, 일 구현예에 따른 카도계 수지와 다른 구조의 카도계 수지를 사용하여 제조한 비교예 1 내지 6의 감광성 수지 조성물과 비교하여, 현상성, 잔사 및 패턴 형성성이 모두 우수함을 확인할 수 있다.Through the above Table 2, the photosensitive resin compositions of Examples 1 and 2, which were prepared using cado-based resins according to one embodiment, can be produced by using the cado-based resin having a different structure from the cadogy resin according to one embodiment It can be confirmed that the photosensitive resin composition of Comparative Examples 1 to 6 is superior in both developability, residue and pattern formability.

평가 5: 밀착성 평가Evaluation 5: Evaluation of adhesion

상기 실시예 1 및 2와 비교예 1 내지 4에서 제조된 감광성 수지 조성물을 이용하여, 상기 패턴 형성성 평가시와 같은 조건으로 패턴이 형성된 유리 기판을 85℃의 온도 및 85%의 습도가 유지되는 챔버에 넣고 5시간 동안 방치 후 탈이온수(deionized warer, DIW)로 세척 및 건조하였다.  이를 광학 현미경을 사용하여 상기 세척 및 건조 전후에 남아 있는 최소 패턴의 크기를 하기 표 3에 나타내었다.Using the photosensitive resin composition prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4, a glass substrate on which a pattern was formed under the same conditions as in the evaluation of the pattern formability was maintained at a temperature of 85 캜 and a humidity of 85% Placed in a chamber and allowed to stand for 5 hours, followed by washing with deionized water (DIW) and drying. The minimum pattern size remaining before and after the washing and drying using an optical microscope is shown in Table 3 below.

  최소 패턴 크기(㎛)Minimum pattern size (탆) 세척 및 건조 전Before washing and drying 세척 및 건조 후After washing and drying 실시예 1Example 1 33 1212 실시예 2Example 2 77 1616 비교예 1Comparative Example 1 55 2525 비교예 2Comparative Example 2 1010 3838 비교예 3Comparative Example 3 55 2525 비교예 4Comparative Example 4 1010 4242

상기 표 3을 통하여, 일 구현예에 따른 카도계 수지를 사용하여 제조한 실시예 1 및 2의 감광성 수지 조성물은, 일 구현예에 따른 카도계 수지와 다른 구조의 카도계 수지를 사용하여 제조한 비교예 1 내지 4의 감광성 수지 조성물과 비교하여, 뜯겨져 나간 후의 패턴의 크기가 작음을 확인할 수 있으며, 이로부터 밀착성이 우수함을 알 수 있다.Through the above Table 3, the photosensitive resin compositions of Examples 1 and 2 prepared using cado-based resin according to one embodiment can be produced by using a cado-based resin having a structure different from that of the cadogy resin according to one embodiment It can be confirmed that the size of the pattern after being torn out is smaller than that of the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 to 4, and it can be seen from this that the adhesion is excellent.

본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.  그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims. As will be understood by those skilled in the art. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

Claims (13)

(A) 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는 카도계 수지;
(B) 반응성 불포화 화합물;
(C) 안료;
(D) 개시제; 및
(E) 용매
를 포함하는 감광성 수지 조성물.
[화학식 1]
Figure 112014067828347-pat00081

[화학식 2]
Figure 112014067828347-pat00082

(상기 화학식 1 및 2에서,
R3, R4, R13 및 R14는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 할로겐 원자, 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기이고,
R1, R2, R11  및 R12는 각각 치환 또는 비치환된 (메타)아크릴레이트기이고,
R5는 실리콘계 유기기이고,
Z1 및 Z11은 서로 동일하거나 상이하며, 단일결합, O, CO, SO2, CR6R7, SiR8R9(여기서, R6 내지 R9는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 또는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기임), 또는 하기 화학식 4-1 내지 4-6으로 표시되는 연결기 중 어느 하나이고,
Z2 및 Z12는 산이무수물 잔기이고,
m1, m2, m11 및 m12는 각각 0 내지 4의 정수이고, n1 및 n11은 각각 1 내지 30 이다.)
[화학식 4-1]
Figure 112014067828347-pat00083

[화학식 4-2]
Figure 112014067828347-pat00084
 
[화학식 4-3]
Figure 112014067828347-pat00085

[화학식 4-4]
Figure 112014067828347-pat00086
         
[화학식 4-5]
Figure 112014067828347-pat00087

(상기 화학식 4-5에서,
Ra는 수소 원자, 에틸기, C2H4Cl, C2H4OH, CH2CH=CH2, 또는 페닐기이다.)
[화학식 4-6]
Figure 112014067828347-pat00088

 
(A) a cation resin including a repeating unit represented by the following formula (1) and a repeating unit represented by the following formula (2);
(B) a reactive unsaturated compound;
(C) a pigment;
(D) an initiator; And
(E) Solvent
.
[Chemical Formula 1]
Figure 112014067828347-pat00081

(2)
Figure 112014067828347-pat00082

(In the above formulas (1) and (2)
R 3 , R 4 , R 13 and R 14 are the same or different and each represents a hydrogen atom, a halogen atom, or a substituted or unsubstituted C 1 to C 20 alkyl group,
R 1 , R 2 , R 11   And R 12 are each a substituted or unsubstituted (meth) acrylate group,
R &lt; 5 &gt; is a silicon-
Z 1 and Z 11 are the same or different and are a single bond, O, CO, SO 2 , CR 6 R 7 , SiR 8 R 9 (wherein R 6 to R 9 are the same or different from each other, A substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group), or a linking group represented by any of the following formulas (4-1) to (4-6)
Z 2 and Z 12 are acid anhydride residues,
m 1 , m 2 , m 11 and m 12 are each an integer of 0 to 4, and n 1 and n 11 are each 1 to 30.)
[Formula 4-1]
Figure 112014067828347-pat00083

[Formula 4-2]
Figure 112014067828347-pat00084

[Formula 4-3]
Figure 112014067828347-pat00085

[Formula 4-4]
Figure 112014067828347-pat00086

[Formula 4-5]
Figure 112014067828347-pat00087

(In the above Formula 4-5,
R a is a hydrogen atom, an ethyl group, C 2 H 4 Cl, C 2 H 4 OH, CH 2 CH = CH 2 , or a phenyl group.
[Formula 4-6]
Figure 112014067828347-pat00088

제1항에 있어서,
상기 화학식 2에서의 R5는 하기 화학식 3으로 표시되는 치환기를 포함하는 것인 감광성 수지 조성물.
[화학식 3]                    
Figure 112010081642118-pat00062

(상기 화학식 3에서,
X1 내지 X3은 서로 동일하거나 상이하며, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기이고,
X4는 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 사이클로알킬렌기, 치환 또는 비치환된 C6 내지 C30 아릴렌기, C1 내지 C20 알킬아민기, 에테르기, 에스테르기, C1 내지 C20 알킬티올기, 또는 C6 내지 C30 아릴티올기이다.)
 
The method according to claim 1,
Wherein R &lt; 5 &gt; in the above formula (2) comprises a substituent represented by the following formula (3).
(3)
Figure 112010081642118-pat00062

(3)
X 1 to X 3 are the same or different and are a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group,
X 4 represents a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkylene group, a substituted or unsubstituted C1 to C20 cycloalkylene group, a substituted or unsubstituted C6 to C30 arylene group, a C1 to C20 alkylamine group, an ether group, an ester group, A C1 to C20 alkylthiol group, or a C6 to C30 arylthiol group.
제1항에 있어서,
상기 화학식 1로 표시되는 반복단위에서의 n1 및 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위에서의 n11은 1:30 내지 30:1의 몰비를 가지는 것인 감광성 수지 조성물.
 
The method according to claim 1,
Wherein n 1 in the repeating unit represented by the formula ( 1) and n 11 in the repeating unit represented by the formula (2) have a molar ratio of 1:30 to 30: 1.
제1항에 있어서,
상기 카도계 수지의 중량평균 분자량은 500 내지 50,000 g/mol인 것인 감광성 수지 조성물.
 
The method according to claim 1,
Wherein the cationic resin has a weight average molecular weight of 500 to 50,000 g / mol.
제1항에 있어서,
상기 카도계 수지는 양 말단 중 적어도 하나에 하기 화학식 5로 표시되는 말단기를 포함하는 것인 감광성 수지 조성물.
[화학식 5]
Figure 112010081642118-pat00063

(상기 화학식 5에서,
상기 Z3은 하기 화학식 6-1 내지 6-7로 표시되는 연결기 중 어느 하나이다.)
[화학식 6-1]
Figure 112010081642118-pat00064

(상기 화학식 6-1에서, Rb 및 Rc는 서로 동일하거나 상이하며, 수소 원자, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬기, 에스테르기 또는 에테르기이다.)
[화학식 6-2]
Figure 112010081642118-pat00065

[화학식 6-3]
Figure 112010081642118-pat00066

[화학식 6-4]
Figure 112010081642118-pat00067
    
[화학식 6-5]
Figure 112010081642118-pat00068

(상기 화학식 6-5에서, Rd는 O, S, NH, 치환 또는 비치환된 C1 내지 C20 알킬렌기, C1 내지 C20 알킬아민기, 또는 C2 내지 C20 알릴아민기이다.)
[화학식 6-6]
Figure 112010081642118-pat00069
 
[화학식 6-7]
Figure 112010081642118-pat00070

 
The method according to claim 1,
Wherein the cation resin comprises an end group represented by the following formula (5) in at least one of the two terminals.
[Chemical Formula 5]
Figure 112010081642118-pat00063

(In the above formula (5)
And Z 3 is any one of the linking groups represented by the following formulas (6-1) to (6-7).)
[Formula 6-1]
Figure 112010081642118-pat00064

(Wherein R b and R c are the same or different and each is a hydrogen atom, a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkyl group, an ester group or an ether group).
[Formula 6-2]
Figure 112010081642118-pat00065

[Formula 6-3]
Figure 112010081642118-pat00066

[Formula 6-4]
Figure 112010081642118-pat00067

[Formula 6-5]
Figure 112010081642118-pat00068

Wherein R d is O, S, NH, a substituted or unsubstituted C1 to C20 alkylene group, a C1 to C20 alkylamine group, or a C2 to C20 allylamine group.
[Formula 6-6]
Figure 112010081642118-pat00069

[Formula 6-7]
Figure 112010081642118-pat00070

제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은
(A) 상기 카도계 수지 1 내지 30 중량%;
(B) 상기 반응성 불포화 화합물 1 내지 30 중량%;
(C) 상기 안료 1 내지 30 중량%;
(D) 상기 개시제 0.01 내지 10 중량%; 및
(E) 상기 용매 잔부량
을 포함하는 것인 감광성 수지 조성물.
 
The method according to claim 1,
The photosensitive resin composition
(A) from 1 to 30% by weight of the cation resin;
(B) 1 to 30% by weight of the reactive unsaturated compound;
(C) 1 to 30% by weight of the pigment;
(D) 0.01 to 10% by weight of the initiator; And
(E) the solvent remaining amount
Wherein the photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은 아크릴계 수지를 더 포함하는 것인 감광성 수지 조성물.
 
The method according to claim 1,
Wherein the photosensitive resin composition further comprises an acrylic resin.
제7항에 있어서,
상기 아크릴계 수지는 (메타)아크릴산, 말레산, 이타콘산, 푸마르산 또는 이들의 조합을 포함하는 제1 에틸렌성 불포화 단량체; 및 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔, 비닐벤질메틸에테르, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시 부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 사이클로헥실(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 2-아미노에틸(메타)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 초산비닐, 안식향산 비닐, 글리시딜(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴로니트릴, (메타)아크릴아미드 또는 이들의 조합을 포함하는 제2 에틸렌성 불포화 단량체의 공중합체를 포함하는 것인 감광성 수지 조성물.
 
8. The method of claim 7,
Wherein the acrylic resin comprises a first ethylenic unsaturated monomer comprising (meth) acrylic acid, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid or a combination thereof; Acrylates such as styrene,? -Methylstyrene, vinyltoluene, vinylbenzyl methyl ether, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2- (Meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2- (Meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, or a combination thereof, wherein the second ethylenically unsaturated monomer is selected from the group consisting of vinyl acetate, vinyl acetate, vinyl benzoate, glycidyl Sensitive resin composition.
제7항에 있어서,
상기 아크릴계 수지의 중량평균 분자량은 3,000 내지 40,000 g/mol인 것인 감광성 수지 조성물.
 
8. The method of claim 7,
Wherein the acrylic resin has a weight average molecular weight of 3,000 to 40,000 g / mol.
제7항에 있어서,
상기 카도계 수지 및 상기 아크릴계 수지는 99:1 내지 1:99의 중량비로 포함되는 것인 감광성 수지 조성물.
 
8. The method of claim 7,
Wherein the cation resin and the acrylic resin are contained in a weight ratio of 99: 1 to 1:99.
제1항에 있어서,
상기 개시제는 광중합 개시제, 라디칼 중합 개시제 또는 이들의 조합을 포함하는 것인 감광성 수지 조성물.
 
The method according to claim 1,
Wherein the initiator comprises a photopolymerization initiator, a radical polymerization initiator, or a combination thereof.
제1항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물은 상기 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 에폭시 화합물 0.01 내지 5 중량부를 더 포함하는 것인 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the photosensitive resin composition further comprises 0.01 to 5 parts by weight of an epoxy compound per 100 parts by weight of the photosensitive resin composition.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 차광층.  A light-shielding layer produced by using the photosensitive resin composition of any one of claims 1 to 12.
KR1020100126485A 2010-12-10 2010-12-10 Photosensitive resin composition and black matrix using the same KR101466274B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100126485A KR101466274B1 (en) 2010-12-10 2010-12-10 Photosensitive resin composition and black matrix using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100126485A KR101466274B1 (en) 2010-12-10 2010-12-10 Photosensitive resin composition and black matrix using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120105570A KR20120105570A (en) 2012-09-26
KR101466274B1 true KR101466274B1 (en) 2014-12-01

Family

ID=47112402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100126485A KR101466274B1 (en) 2010-12-10 2010-12-10 Photosensitive resin composition and black matrix using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101466274B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190070372A (en) 2017-12-12 2019-06-21 주식회사 케이엔더블유 Thermotropic Composition comprising Thermoresponsive Polymer

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103885291A (en) 2012-12-21 2014-06-25 第一毛织株式会社 Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101682018B1 (en) * 2013-10-04 2016-12-02 제일모직 주식회사 Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101682019B1 (en) * 2013-08-09 2016-12-02 제일모직 주식회사 Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101686567B1 (en) * 2013-10-23 2016-12-14 제일모직 주식회사 Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR102420415B1 (en) * 2017-10-17 2022-07-15 덕산네오룩스 주식회사 Adhesion enhanced photo sensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR102394251B1 (en) * 2019-08-13 2022-05-03 삼성에스디아이 주식회사 Photosensitive resin composition, photosensitive resin layer using the same, color filter and display device
CN114605626B (en) * 2022-04-11 2024-03-01 仲恺农业工程学院 Fluorenyl-containing organosilicon compound and preparation method and application thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100725023B1 (en) * 2006-10-16 2007-06-07 제일모직주식회사 Cardo type resin-containing resist composition and method for preparing a pattern by the same and a color filter using the same
KR20090023924A (en) * 2007-09-03 2009-03-06 제일모직주식회사 Ink composition for color filter, method for manufacturing picture element of color filter, and color filter
KR20090062898A (en) * 2007-12-13 2009-06-17 제일모직주식회사 Photosensitive resin composition for color filter
KR20100080318A (en) * 2008-12-31 2010-07-08 제일모직주식회사 Organic layer photosensitive resin composition and organic layer fabricated using same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100725023B1 (en) * 2006-10-16 2007-06-07 제일모직주식회사 Cardo type resin-containing resist composition and method for preparing a pattern by the same and a color filter using the same
KR20090023924A (en) * 2007-09-03 2009-03-06 제일모직주식회사 Ink composition for color filter, method for manufacturing picture element of color filter, and color filter
KR20090062898A (en) * 2007-12-13 2009-06-17 제일모직주식회사 Photosensitive resin composition for color filter
KR20100080318A (en) * 2008-12-31 2010-07-08 제일모직주식회사 Organic layer photosensitive resin composition and organic layer fabricated using same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190070372A (en) 2017-12-12 2019-06-21 주식회사 케이엔더블유 Thermotropic Composition comprising Thermoresponsive Polymer

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120105570A (en) 2012-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101367253B1 (en) Photosensitive resin composition and black matrix using the same
KR101486560B1 (en) Photosensitive resin composition and black matrix using the same
KR101767082B1 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive resin film using the same and color filter
KR101466274B1 (en) Photosensitive resin composition and black matrix using the same
KR101686567B1 (en) Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101825545B1 (en) Photosensitive resin composition and color filter using the same
KR20150026302A (en) Black photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101400195B1 (en) Photosensitive resin composition and black matrix using the same
KR20180059183A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive resin layer using the same and color filter
KR101661673B1 (en) Photosensitive resin composition, light blocking layer using the same and color filter
KR20150061388A (en) Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101319919B1 (en) Photosensitive resin composition and black matrix using the same
KR101688013B1 (en) Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101688011B1 (en) Photosensitive resin composition and color filter using the same
KR101965279B1 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive resin layer using the same and color filter
KR101863248B1 (en) Photosensitive resin composition and color filter using the same
KR101432604B1 (en) Black photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR20190078313A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive resin layer using the same, color filter and display device
KR20130072954A (en) Photosensitive resin composition for color filter and color filter using the same
KR102077126B1 (en) Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101682018B1 (en) Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101682019B1 (en) Photosensitive resin composition and light blocking layer using the same
KR101837969B1 (en) Photosensitive resin composition and color filter using the same
KR20190078310A (en) Black photosensitive resin composition, black matrix using the same and display device
KR101400197B1 (en) Photosensitive resin composition and black matrix using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171019

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181025

Year of fee payment: 5