KR101458592B1 - Pocket Size Microwave Plasma Generator with Improved Manufacture Convenience And Structural Stability - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a small microwave plasma generator capable of facilitating an assembly, minimizing defect probability in an assembly process, and constantly maintaining an interval between an external conductor and an internal conductor. The small microwave plasma generator according to the present invention includes the external conductor which has a hollow tube shape and includes a discharge part to generate plasma on one end thereof and a connection part which is opened on the other end thereof, a connector which is combined with the connection part of the external conductor, closes the connection part, and is electrically connected to an external power supply device, the internal conductor which is coaxially extended from the inside of the connector to the inside of the external conductor and has an end located in the discharge part, and a connection conductor which connects the external conductor to the internal conductor.

Description

제작 편의성 및 기계적 구조상의 안정성이 향상된 소형 마이크로파 플라즈마 발생기{Pocket Size Microwave Plasma Generator with Improved Manufacture Convenience And Structural Stability}(Pocket Size Microwave Plasma Generator with Improved Manufacture Convenience And Structural Stability), which is improved in manufacturing convenience and mechanical structure stability,

본 발명은 플라즈마 발생기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 휴대가 가능한 소형이면서 낮은 소비 전력으로 마이크로파 플라즈마를 발생시킬 수 있는 소형 마이크로파 플라즈마 발생기에 관한 것이다. The present invention relates to a plasma generator, and more particularly, to a compact microwave plasma generator capable of generating a microwave plasma with a small size and a low power consumption.

플라즈마 토치(Plasma torch)는 가스를 플라즈마화하여 고체를 가열하여 녹이거나, 고체 또는 액체를 가열하여 증발시키거나, 또는 가스를 가열하여 엔탈피를 증가시키는 데 사용될 수 있다. 또한 저온 플라즈마 제트(Plasma jet) 장비는 낮은 온도(대게 50℃ 미만)의 플라즈마를 발생시켜 인체에 적용하여 다양한 의료, 미용 효과를 얻는 데 활용될 수 있다.Plasma torches can be used to increase the enthalpy by heating the solid to dissolve it by plasma or by heating the solid or liquid, or by heating the solid. In addition, low-temperature plasma jet equipments can be used to obtain various medical and cosmetic effects by applying plasma at low temperature (usually less than 50 ° C) to the human body.

종래의 마이크로파를 이용한 플라즈마 발생장치는 주로 마그네트론을 이용한 100 와트(Watts) 이상의 전력을 소모하는 경우가 대부분이다. 구형 도파관(rectangular waveguide)으로 구현된 플라즈마 발생장치는 부피가 크기 때문에 휴대하기가 어렵다는 단점이 있다. 안테나 구조를 이용한 방전관을 사용하는 동축형(coaxial) 마이크로파 플라즈마 토치가 제안되기는 하였지만, 이 발명도 단지 종래의 구형 도파관으로 구현된 발생장치를 대신하는 정도에 불과하고, 휴대할 정도의 크기는 아니다.Conventionally, a plasma generating apparatus using microwaves mostly consumes a power of 100 watts or more using a magnetron. The plasma generator, which is implemented as a rectangular waveguide, is bulky and difficult to carry. Although a coaxial microwave plasma torch using a discharge tube using an antenna structure has been proposed, the present invention is merely a substitute for a conventional rectangular waveguide generator, and is not so portable.

현재 여러 가지 형태의 전력 원을 이용하여 대기압 플라즈마를 생성시켜 사용하고 있기는 하다. 그렇지만, 마이크로파 영역의 신호, 예를 들면, 주파수가 900MHz(Mega Hertz)나 2.45GHz(Giga Hertz) 등의 신호를 이용하여 저 전력의 열적효과가 없는 플라즈마를 만드는 방식에 대해서는 현재 연구 중이다.At present, various types of power sources are used to generate atmospheric plasma. However, a method of generating a plasma having no thermal effect using a signal in the microwave region, for example, a signal having a frequency of 900 MHz (Mega Hertz) or 2.45 GHz (Giga Hertz) is under research.

최근들어 플라즈마를 이용한 생의학 분야의 응용은 세계적으로 연구 단계에 있으며, 피부의 주름이나 착색 등을 치료하는 장치로서 미국식품의약국(Food & Drug Administration)의 승인을 받아 사용하고 있는 정도이다. 따라서 대기압에서 5 와트 이내의 소비전력으로 휴대할 수 있는 플라즈마 발생기를 생성시킬 수 있다면, 그 응용분야는 암 치료(cancer treatment), 치아 미백(dental care), 피부 미용, 박테리아 살균 및 소독(sterilization), 지혈(coagulation), 공기 정화 등의 분야에까지 확대될 수 있을 것이다.In recent years, the application of biomedical applications using plasma has been in the research stage in the world, and it has been approved by the Food & Drug Administration of the United States as a device for treating wrinkles and pigmentation of the skin. Therefore, if a plasma generator capable of carrying at a power consumption of less than 5 watts at atmospheric pressure can be created, its application fields are cancer treatment, dental care, skin cosmetic, bactericidal and sterilization, , Coagulation, air purification, and so on.

국내 등록특허 제10-1012345호에는 소형이고 대기압에서 낮은 소비전력으로 저온 플라즈마를 생성시킬 수 있도록 되어 피부 미용이나 치료, 치아 미백 등에 활용할 수 있는 저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기가 개시되어 있다. Korean Patent No. 10-1012345 discloses a low power portable microwave plasma generator capable of generating a low-temperature plasma at a low power consumption from atmospheric pressure to be used for skin care, treatment, teeth whitening, and the like.

도 1은 상기 등록특허에 개시된 종래의 마이크로파 플라즈마 발생기의 구조를 나타낸 것으로, 종래의 마이크로파 플라즈마 발생기는 제1내부도체(7) 및 상기 제1내부도체(7)를 둘러싸는 유전체(6)를 구비하는 동축케이블(10)과, 상기 동축케이블(10)을 둘러싸는 외부도체(4)와, 일단부에 헬륨이나 아르곤가스와 같은 불활성가스가 유입되는 가스유입관(3)이 형성되어 있으며 상기 동축케이블(10)의 일단에서 상기 제1내부도체(7)와 상기 외부도체(4)를 전기적으로 연결하는 연결도체(2), 그리고 상기 외부도체(4)를 경유하여 접속부(9)에서 상기 제1내부도체(7)와 연결되는 제2내부도체(8)를 구비하는 컨넥터(1)를 포함한 구조로 이루어진다. 여기서 미설명부호 5는 외부도체(4)의 일단부에 설치되어 전계 강도를 높여지는 작용을 하는 방전팁이다. FIG. 1 shows the structure of a conventional microwave plasma generator disclosed in the above patent. The conventional microwave plasma generator includes a first inner conductor 7 and a dielectric 6 surrounding the first inner conductor 7 A gas inflow pipe 3 into which an inert gas such as helium or argon gas flows is formed at one end of the coaxial cable 10, an outer conductor 4 surrounding the coaxial cable 10, A connecting conductor 2 for electrically connecting the first inner conductor 7 and the outer conductor 4 at one end of the cable 10 and a connecting conductor 2 for connecting the outer conductor 4 to the connecting portion 9 via the outer conductor 4, And a connector (1) having a second internal conductor (8) connected to the first internal conductor (7). Here, the reference numeral 5 is a discharge tip provided at one end of the external conductor 4 to enhance the electric field strength.

그런데 상기와 같은 종래의 마이크로파 플라즈마 발생기를 조립하는 과정에서 상기 컨넥터(1)를 외부도체(4)의 측면에 형성된 구멍을 통해 삽입하고, 컨넥터(1)의 제2내부도체(8)를 접속부(9)에서 동축케이블(10)의 제1내부도체(7)와 전기적으로 단락(short)되도록 연결해야 하는데, 이 때 상기 제1내부도체(7)와 제2내부도체(8) 간의 접촉 불량이 발생하거나, 제1내부도체(7)의 정렬이 비틀어져 장치의 제조 과정 또는 사용 중 불량이 쉽게 발생하는 등의 문제가 있다.In the process of assembling the conventional microwave plasma generator, the connector 1 is inserted through the hole formed in the side surface of the external conductor 4, and the second internal conductor 8 of the connector 1 is connected to the connection portion 9 should be electrically short-circuited with the first inner conductor 7 of the coaxial cable 10 at this time, the contact failure between the first inner conductor 7 and the second inner conductor 8 Or the alignment of the first internal conductor 7 is distorted, and thus there arises a problem that the manufacturing process of the device or defects during use tends to occur.

대한민국 등록특허 제10-1012345호(등록일 2011년 1월 26일) : 저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기Korean Registered Patent No. 10-1012345 (January 26, 2011): Low power portable microwave plasma generator 대한민국 공개특허 제10-2010-0054368(공개일 2010년 5월 25일) : 의료용 플라즈마 건Korean Patent Publication No. 10-2010-0054368 (Disclosure Date: May 25, 2010): Medical Plasma Gun

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 조립이 용이하고, 조립 과정에서 불량 발생 확률을 최소화할 수 있으며, 외부도체와 내부도체와의 간격을 일정하게 유지할 수 있도록 한 제작 편의성 및 기계적 구조상의 안정성이 향상된 소형 마이크로파 플라즈마 발생기를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a semiconductor device, which is easy to assemble, minimizes a failure occurrence probability during assembly, A compact microwave plasma generator in which manufacturing convenience and stability in mechanical structure are improved.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 소형 마이크로파 플라즈마 발생기는, 일단부에 플라즈마가 발생되는 토출구가 형성되고, 반대편의 다른 일단부에 접속구가 개방되게 형성된 중공관 형태의 외부도체와; 상기 외부도체의 접속구에 결합되면서 접속구를 폐쇄하며, 외부의 전원장치와 전기적으로 연결되는 컨넥터와; 상기 컨넥터의 내측에서부터 외부도체의 내측으로 동축상으로 연장되면서 끝단부가 상기 토출구에 위치하는 내부도체와; 상기 외부도체와 내부도체를 연결하는 연결도체를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a small microwave plasma generator including: a hollow tube type external conductor formed at one end thereof with a discharge port for generating plasma and having a connection port opened at the other end thereof; A connector which is connected to a connection port of the external conductor and closes the connection port and is electrically connected to an external power supply device; An inner conductor extending coaxially from the inner side of the connector to the inner side of the outer conductor and having an end located at the discharge port; And a connection conductor connecting the outer conductor and the inner conductor.

본 발명에 따르면, 컨넥터의 중심부에 형성된 내부도체가 외부도체의 내측으로 연장되어 일체화된 구조를 가지므로 컨넥터 조립시 내부도체를 연결하는 작업을 할 필요가 없게 된다. 따라서 조립 과정이 단순화되고, 조립 과정에서 불량이 발생할 가능성이 최소화되는 이점을 얻을 수 있다.According to the present invention, since the inner conductor formed at the central portion of the connector extends to the inner side of the outer conductor and has an integrated structure, there is no need to connect the inner conductor when assembling the connector. Therefore, the assembly process is simplified and the possibility of failure in the assembling process is minimized.

또한 내부도체와 외부도체 간의 정렬이 정확하게 이루어질 수 있기 때문에 내부도체와 외부도체 간의 간격을 줄일 수 있게 되고, 따라서 기존의 마이크로파 플라즈마 발생기에서 외부도체 끝단에 설치하던 방전팁과 같은 구조물을 생략할 수 있는 이점도 있다.In addition, since the alignment between the inner conductor and the outer conductor can be accurately performed, the gap between the inner conductor and the outer conductor can be reduced. Therefore, it is possible to omit a structure, such as a discharge tip, There are advantages.

도 1은 종래의 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 마이크로파 플라즈마 발생기의 단면도이다.
도 3은 도 2의 우측면에서 바라본 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 소형 마이크로파 플라즈마 발생기의 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a structure of a conventional portable microwave plasma generator.
2 is a cross-sectional view of a miniature microwave plasma generator according to an embodiment of the present invention.
Fig. 3 is a view from the right side of Fig.
4 is a cross-sectional view of a miniature microwave plasma generator according to another embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 소형 마이크로파 플라즈마 발생기의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the microwave plasma generator according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 소형 마이크로파 플라즈마 발생기는, 일단부에 플라즈마가 발생되는 토출구(111)가 형성되고 반대편의 다른 일단부에 접속구(112)가 개방되게 형성된 중공관 형태의 외부도체(110)와, 상기 외부도체(110)의 접속구(112)에 결합되면서 접속구(112)를 폐쇄하는 컨넥터(120)와, 상기 컨넥터(120)의 내측에서부터 외부도체(110)의 내측으로 동축상으로 연장되면서 끝단부가 상기 토출구(111)에 위치하는 내부도체(123)와, 상기 외부도체(110)와 내부도체(123)를 연결하는 연결도체(130)를 포함한 구성으로 이루어진다. 2 and 3, a small microwave plasma generator according to an embodiment of the present invention includes a discharge port 111 for generating plasma at one end thereof and a connection port 112 at the other end thereof A connector 120 which closes the connection port 112 while being coupled to the connection port 112 of the external conductor 110 and a connector 120 which is connected to the external conductor 110 from the inside of the connector 120 And a connection conductor 130 connecting the outer conductor 110 and the inner conductor 123. The inner conductor 123 has an end portion coaxially extending to the inner side of the outer conductor 110 and positioned at the discharge port 111, Lt; / RTI >

상기 외부도체(110)는 축방향을 따라 원통형의 중공부(113)가 형성되어 있는 중공관 형태를 갖는다. The outer conductor 110 has a hollow tube shape in which a cylindrical hollow portion 113 is formed along the axial direction.

상기 컨넥터(120)는 외부의 전원장치와 전기적으로 연결되어 마이크로파 신호를 인가받는다. 상기 컨넥터(120)는 상기 외부도체(110)와 동축상으로 연결되며, 그 중심부에 상기 내부도체(123)가 고정되게 설치된다. 상기 컨넥터(120)는 SMA 컨넥터를 적용할 수 있는데, 이 실시예에서 상기 컨넥터(120)는 전도성 재질로 되어 외부 전원과 연결되는 컨넥터하우징(121)과, 상기 컨넥터하우징(121) 내부에 설치되어 외부도체(110)의 접속구(112) 내측으로 삽입되면서 고정되는 절연성 재질의 절연부(122)와, 상기 절연부(122)의 중심부에 설치되어 외부 전원과 전기적으로 연결되는 내부도체(123)로 구성된다. The connector 120 is electrically connected to an external power supply unit to receive a microwave signal. The connector 120 is coaxially connected to the outer conductor 110, and the inner conductor 123 is fixed to the center of the connector 120. The connector 120 may be a SMA connector. In this embodiment, the connector 120 may include a connector housing 121 formed of a conductive material and connected to an external power source, An insulating part 122 made of an insulating material inserted into the connection port 112 of the external conductor 110 and an internal conductor 123 provided at the center of the insulating part 122 and electrically connected to an external power source .

상기 내부도체(123)는 기다란 원형 바아 형태로 되어 외부도체(110)의 중공부(113) 내측에 축방향을 따라 일자형으로 연장되며, 외부도체(110)의 내주면과 일정한 간격을 유지한다. The inner conductor 123 has an elongated circular bar shape and extends linearly along the axial direction inside the hollow portion 113 of the outer conductor 110 and maintains a constant gap with the inner circumferential surface of the outer conductor 110.

상기 연결도체(130)는 외부도체(110)의 내주면에 반경방향 내측으로 돌출되게 형성되어 그 끝단부가 내부도체(123)과 접촉하면서 외부도체(110)과 내부도체(123)을 전기적으로 연결하는 기능과 더불어, 내부도체(123)를 지지하는 지지대의 기능을 한다. 상기 연결도체(130)가 내부도체(123)에서 떨어지지 않고 항상 접촉된 상태를 유지할 수 있도록 하기 위하여 연결도체(130)로서 초소형의 포고핀(pogo pin)이나 볼플런저와 같은 탄성체를 적용할 수도 있다. The connection conductor 130 protrudes radially inwardly from the inner circumferential surface of the outer conductor 110 and electrically connects the outer conductor 110 and the inner conductor 123 while the end of the connection conductor 130 contacts the inner conductor 123 Function as a support for supporting the inner conductor 123. An elastic body such as a pogo pin or a ball plunger may be used as the connection conductor 130 in order to maintain the connection conductor 130 in contact with the inner conductor 123 without being separated from the inner conductor 123 .

또한 상기 연결도체(130)는 외부도체(110)가 아닌 내부도체(123)의 외주면에 일체로 형성될 수도 있다. Also, the connection conductor 130 may be formed integrally with the outer circumferential surface of the inner conductor 123, not the outer conductor 110.

이와 같이 구성된 소형 마이크로파 플라즈마 발생기는 컨넥터(120)의 중심부에 형성된 내부도체(123)가 외부도체(110)의 내측으로 연장되어 일체화된 구조를 가지므로 컨넥터(120) 조립시 내부도체를 연결하는 작업을 할 필요가 없게 된다. 따라서 조립 과정이 단순화되고, 조립 과정에서 불량이 발생할 가능성이 최소화되는 이점을 얻을 수 있다.The compact microwave plasma generator thus constructed has a structure in which the inner conductor 123 formed at the central portion of the connector 120 extends into the inner side of the outer conductor 110 to form an integrated structure, There is no need to do so. Therefore, the assembly process is simplified and the possibility of failure in the assembling process is minimized.

또한 내부도체(123)와 외부도체(110) 간의 정렬이 정확하게 이루어질 수 있기 때문에 내부도체(123)와 외부도체(110) 간의 간격을 줄일 수 있게 되고, 따라서 기존의 마이크로파 플라즈마 발생기에서 외부도체(110) 끝단에 설치하던 방전팁과 같은 구조물을 생략할 수 있는 이점도 있다.Since the alignment between the inner conductor 123 and the outer conductor 110 can be accurately performed, the gap between the inner conductor 123 and the outer conductor 110 can be reduced. Therefore, in the conventional microwave plasma generator, ) There is also an advantage that a structure such as a discharge tip installed at the end can be omitted.

한편 이 실시예의 소형 마이크로파 플라즈마 발생기는 헬륨이나 아르곤가스와 같은 불활성가스를 공급하지 않고 외부도체(110)와 내부도체(123) 사이 공간에 채워진 공기를 방전시켜 에어 플라즈마(air plasma)를 발생시킬 수 있다. Meanwhile, the small microwave plasma generator of this embodiment can generate air plasma by discharging the air filled in the space between the outer conductor 110 and the inner conductor 123 without supplying an inert gas such as helium or argon gas have.

상기 컨넥터(120)를 통해서는 900 ㎒, 1.35㎓, 또는 2.45㎓의 마이크로파 신호가 인가될 수 있다. 상기 외부도체(110)의 중공부(113) 내측에 위치하는 내부도체(123)의 길이는 마이크로파에 의한 공진이 원활하게 일어날 수 있도록 마이크로파의 파장의 1/4 또는 3/4의 길이를 갖는 것이 바람직하다. A microwave signal of 900 MHz, 1.35 GHz, or 2.45 GHz may be applied through the connector 120. The length of the internal conductor 123 located inside the hollow portion 113 of the external conductor 110 is 1/4 or 3/4 of the wavelength of the microwave so that resonance by the microwave can be smoothly performed desirable.

전술한 실시예에서는 플라즈마 이온의 소스(source)로서 불활성가스를 이용하지 않고 외부도체(110)와 내부도체(123) 사이 공간에 채워진 공기를 이용하였지만, 이와 다르게 외부도체(110)와 내부도체(123) 사이 공간에 헬륨이나 아르곤가스와 같은 불활성가스를 플라즈마 이온의 소스(source)로서 공급하여 플라즈마 가스를 발생시킬 수도 있을 것이다.Although the air filled in the space between the outer conductor 110 and the inner conductor 123 is used as a source of the plasma ion in the above embodiment, the outer conductor 110 and the inner conductor 123 may be supplied with an inert gas such as helium or argon gas as a source of plasma ions to generate a plasma gas.

즉, 도 4에 다른 실시예에 도시한 것과 같이, 외부도체(110)의 측면부에 도체삽입홀(114)을 형성하고, 이 도체삽입홀(114)에 연결도체(130) 및 가스유입구(141)가 구비되어 있는 가스공급부재(140)를 삽입하여 결합시킴으로써 외부도체(110)와 내부도체(123) 사이 공간에 불활성가스를 공급할 수도 있다. 4, a conductor insertion hole 114 is formed in a side surface portion of the outer conductor 110 and a connection conductor 130 and a gas inlet 141 (not shown) are formed in the conductor insertion hole 114, The inert gas may be supplied to the space between the outer conductor 110 and the inner conductor 123 by inserting and joining the gas supply member 140 provided with the gas supply member 140. [

상기 가스공급부재(140)는 전도성 재질로 이루어지며, 중심부에는 상기 연결도체(130)가 일체로 형성되고, 상기 연결도체(130)의 양측으로 복수개의 가스유입구(141)가 형성된 구조로 되어 있다. 상기 연결도체(130)는 가스공급부재(140)가 외부도체(110)의 도체삽입홀(114)에 결합될 때 그 끝단부가 내부도체(123)와 접촉되면서 외부도체(110)와 내부도체(123)를 전기적으로 연결하게 된다. The gas supply member 140 is made of a conductive material and the connection conductor 130 is integrally formed at the center and a plurality of gas inlets 141 are formed on both sides of the connection conductor 130 . The connection conductor 130 is connected to the external conductor 110 and the internal conductor 123 while the end of the connection conductor 130 is in contact with the internal conductor 123 when the gas supply member 140 is coupled to the conductor insertion hole 114 of the external conductor 110. 123 are electrically connected to each other.

한편 이 실시예에서는 가스공급부재(140)에 연결도체(130)가 일체로 형성되었지만, 이와 다르게 가스공급부재(140)에 가스유입구(141)만 형성되고, 연결도체(130)는 별도로 외부도체(110)의 내측에 설치될 수도 있을 것이다. In this embodiment, the gas supply member 140 is formed integrally with the connection conductor 130. Alternatively, only the gas inlet 141 is formed in the gas supply member 140, and the connection conductor 130 is separately formed from the external conductor Or may be installed inside the housing 110.

이상에서 본 발명은 실시예를 참조하여 상세히 설명되었으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기에서 설명된 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 부가 및 변형이 가능할 것임은 당연하며, 이와 같은 변형된 실시 형태들 역시 아래에 첨부한 특허청구범위에 의하여 정하여지는 본 발명의 보호 범위에 속하는 것으로 이해되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims. And it is to be understood that such modified embodiments belong to the scope of protection of the present invention defined by the appended claims.

110 : 외부도체 111 : 토출구
112 : 접속구 113 : 중공부
120 : 컨넥터 121 : 컨넥터하우징
122 : 절연부 123 : 내부도체
130 : 연결도체 140 : 가스공급부재
141 : 가스유입구110: outer conductor 111: discharge port
112: connection port 113: hollow portion
120: Connector 121: Connector housing
122: insulation part 123: internal conductor
130: connection conductor 140: gas supply member
141: gas inlet

Claims (8)

일단부에 플라즈마가 발생되는 토출구(111)가 형성되고, 반대편의 다른 일단부에 접속구(112)가 개방되게 형성된 중공관 형태의 외부도체(110)와;
상기 외부도체(110)의 접속구(112)에 결합되면서 접속구(112)를 폐쇄하며, 외부의 전원장치와 전기적으로 연결되는 컨넥터(120)와;
상기 컨넥터(120)의 내측에서부터 외부도체(110)의 내측으로 외부도체(10)와 동축상으로 연장되면서 끝단부가 상기 토출구(111)에 위치하는 내부도체(123)와;
상기 외부도체(110)와 내부도체(123)를 연결하는 연결도체(130) 및;
상기 외부도체(110)의 측면부에 결합되며, 불활성가스가 유입되는 가스유입구(141)가 외부도체(110)의 내측 공간과 연통되게 형성되어 있는 가스공급부재(140)를 포함하며;
상기 가스공급부재(140)의 중앙부에 상기 연결도체(130)가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 소형 마이크로파 플라즈마 발생기.An outer conductor 110 in the form of a hollow tube and formed with a discharge port 111 for generating a plasma at one end and a connection port 112 at the other end of the opposite end;
A connector 120 which is coupled to the connection port 112 of the external conductor 110 and closes the connection port 112 and is electrically connected to an external power supply device;
An inner conductor 123 extending coaxially with the outer conductor 10 from the inner side of the connector 120 to the inner side of the outer conductor 110 and having an end located at the discharge port 111;
A connection conductor 130 connecting the outer conductor 110 and the inner conductor 123;
And a gas supply member 140 coupled to a side surface of the outer conductor 110 and having a gas inlet 141 through which an inert gas is introduced to communicate with an inner space of the outer conductor 110;
Wherein the connection conductor (130) is integrally formed at a central portion of the gas supply member (140). 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 연결도체(130)는 끝단부가 내부도체(123)에 탄력적으로 접촉하는 탄성체인 것을 특징으로 하는 소형 마이크로파 플라즈마 발생기.The compact microwave plasma generator according to claim 1, wherein the connection conductor (130) is an elastic body whose end portion elastically contacts the inner conductor (123). 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 외부도체(110)와 내부도체(123) 사이에 별도의 불활성가스를 공급하지 않고 외부도체(110)와 내부도체(123) 사이 공간에 채워진 공기를 방전시켜 에어 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 하는 소형 마이크로파 플라즈마 발생기.The method of claim 1, further comprising discharging the air filled in the space between the outer conductor (110) and the inner conductor (123) without supplying a separate inert gas between the outer conductor (110) and the inner conductor And generates a microwave plasma. 제1항에 있어서, 상기 컨넥터(120)를 통해 외부에서 900 ㎒, 1.35 ㎓ 또는 2.45㎓의 마이크로파 신호가 인가되는 것을 특징으로 하는 소형 마이크로파 플라즈마 발생기.
The compact microwave plasma generator according to claim 1, wherein a microwave signal of 900 MHz, 1.35 GHz, or 2.45 GHz is applied from the outside through the connector (120).
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