KR101446307B1 - 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 발명의 전원 공급 장치는 부하의 임피던스 변화에 따라 부하의 부정합 상태가 발생되는 경우 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 능동적으로 상향 또는 하향 조정함으로서 전원 공급 장치가 안전하게 동작될 수 있다. 또는 본 발명의 전원 공급 장치는 전력 변환 회로의 소비 전력 변화에 따라 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 능동적으로 상향 또는 하향 조정함으로서 전원 공급 장치가 안전하게 동작될 수 있다.

전원 공급 장치, 임피던스, 능동 보호

Description

능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어방법{POWER SUPPLY HAVING A ACTIVELY PROTECTION CIRCUIT AND A CONTROL METHOD THEREFOR}

본 발명은 전원 공급 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 부하의 변동이나 전력 변환 회로의 소비 전력의 변화에 따라 능동적으로 출력 전력을 가변시켜서 전원 공급 장치의 손상을 방지할 수 있는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.

전기 에너지를 공급하기 위한 전원 공급 장치는 여러 종류가 있다. 전원 공급 장치는 전기 에너지를 공급 받아서 동작하는 장치들의 특성에 따라 다양하게 제공되고 있다. 일반적으로 전원 공급 장치는 입력된 전기적 에너지를 특정한 형태의 전기적 에너지로 변환하여 출력한다. 예를 들어, 직류-직류 변환, 교류-직류 변환, 직류-교류 변환, 교류-교류 변환 등의 여러 가지 형태가 있으며 주파수에 따라 저주파 변환과 고주파 변환 등으로 분류되는 다양한 전원 공급 장치가 있다. 일반적으로 전원 공급 장치는 부하측에서 발생되는 단락이나 단선과 같은 비정상 상태에 따른 전원 공급 장치의 손상을 방지하기 위한 보호 회로를 구비한다.

그런데 정전압 또는 정전류 출력을 제공하는 전원 공급 장치의 경우 부하가 단락 또는 단락에 가까운 저임피던스 상태 일 때 정전류에 의한 통제만이 가능하다. 그럼으로 이러한 상태에서 전원 공급 장치가 규정된 정전류를 출력하게 되면 전원 공급 장치의 증폭부가 갖는 허용 손실을 초과하여 전원 공급 장치가 손상될 수 있다.

또한, 정전력 출력을 제공하는 전원 공급 장치의 경우 부하가 단락 또는 단선 상태에서 이를 통제하기 위한 것으로 반사파에 의한 최대 허용 설정치 또는 설정 전류 제한치 이내에 대해서만 보호 기능을 수행하고 있다. 그럼으로 반사파에 의한 허용치를 극히 줄여서 설정한 경우를 제외하고, 통상적으로 전원 공급 장치의 정격 출력의 10~20%를 반사파 전력 허용치로 설정하고 있어서 전원 공급 장치의 증폭부의 전력 손실 한계를 초과하는 경우 전원 공급 장치는 손상을 받게 된다.

본 발명의 목적은 부하의 임피던스 변화에 따라 전원 공급 장치의 출력을 제한하여 전원 공급 장치의 손상을 방지할 수 있는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 전원 공급 장치의 소비 전력의 변화에 따라 전원 공급 장치의 출력을 제한하여 전원 공급 장치의 손상을 방지할 수 있는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어 방법을 제공하는데 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면은 능동 보호 회로를 구 비한 전원 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일면에 따른 전원 공급 장치는: 입력단을 통하여 입력 전력을 받아들여 변환하고 출력단을 통하여 변환된 전력을 출력하는 전력 변환 회로; 상기 출력단에 연결된 부하의 임피던스를 검출하기 위한 부하 임피던스 검출부; 상기 부하 임피던스 검출부로부터 검출된 부하 임피던스 값과 기준 임피던스 값을 비교하는 임피던스 비교부; 및 상기 임피던스 비교부로부터 비교된 결과 값에 기초하여 상기 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 동작되도록 상기 전력 변환 회로를 제어하는 제어부를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 상기 임피던스 비교부는 상기 부하의 고 임피던스 상태를 검출하기 위한 제1 임피던스 비교 회로와 상기 부하의 저 임피던스 상태를 검출하기 위한 제2 임피던스 비교 회로를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 상기 전력 변환 회로는 무선 주파수 변환 회로로 구성되고, 상기 부하는 플라즈마 반응기로 구성된다.

본 발명의 다른 일면은 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명의 다른 일면에 따른 전원 공급 장치의 제어 방법은: 출력단에 연결된 부하의 임피던스 값을 검출하는 단계; 검출된 임피던스 값을 기준 값과 비교하여 부하의 임피던스 상태를 판별하는 단계; 부하 상태가 고 임피던스 상태로 판별되는 경우 부하의 고 임피던스 값에 기초하여 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 상향 조정하는 단계; 및 부하 상태가 저 임피던스 상태로 판별되는 경우 부하의 저 임피던스 값에 기초하여 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 하향 조정하는 단계를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 상기 부하의 임피던스는 플라즈마 임피던스이다.

본 발명의 또 다른 일면은 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 또 다른 일면에 따른 전원 공급 장치는: 입력단을 통하여 입력 전력을 받아들여 변환하고 출력단을 통하여 변환된 전력을 출력하는 전력 변환 회로; 상기 입력단을 통한 상기 전력 변환 회로의 입력 전력을 검출하기 위한 입력 전력 검출부; 상기 출력단을 통한 상기 전력 변환 회로의 출력 전력을 검출하기 위한 출력 전력 검출부; 및 상기 입력 전력 검출부와 상기 출력 전력 검출부를 통하여 상기 전력 변환 회로의 입력 전력 값과 출력 전력 값을 받아들여 상기 전력 변환 회로의 소비 전력을 측정하고, 측정된 소비 전력에 기초하여 상기 전력 변환 회로를 제어하여 출력 전력을 제한하는 제어부를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 상기 전력 변환 회로는 무선 주파수 변환 회로로 구성되고, 상기 부하는 플라즈마 반응기로 구성된다.

본 발명의 또 다른 일면은 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 또 다른 일면에 따른 전원 공급 장치는: 전력 변환 회로의 입력 전력 및 출력 전력을 각각 검출하는 단계; 검출된 입력 전력 및 출력 전력에 기초하여 상기 전력 변환 회로의 소비 전력을 측정하는 단계; 및 측정된 소비 전력이 상기 전력 변환 회로의 소비 전력 기준값을 초과하는 경우 상기 전력 변환 회로의 출력을 제한한다.

일 실시예에 있어서, 상기 전력 변환 회로는 무선 주파수 변환 회로로 구성되고, 상기 전력 변환 회로에 연결되는 부하는 플라즈마 반응기로 구성된다.

본 발명의 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어방법에 의하면, 부하의 임피던스 변화에 따라 부하의 부정합 상태가 발생되는 경우 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 능동적으로 상향 또는 하향 조정함으로서 전원 공급 장치가 안전하게 동작될 수 있다. 또는 본 발명의 전원 공급 장치는 전력 변환 회로의 소비 전력 변화에 따라 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 능동적으로 상향 또는 하향 조정함으로서 전원 공급 장치가 안전하게 동작될 수 있다.

본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공 되어지는 것이다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 회로 구성을 보여주는 도면이다.

도 1을 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전 원 공급 장치는 전력 변환 회로(10), 부하 임피던스 검출부(30), 임피던스 비교 회로(32), 및 제어부(40)를 포함하여 구성된다.

전력 변환 회로(10)는 입력단(14)을 통하여 입력된 전력을 변환하여 출력단(16)을 통하여 변환된 전력을 부하(20)로 출력한다. 전력 변환은 예를 들어, 직류-직류 변환, 교류-직류 변환, 직류-교류 변환, 교류-교류 변환 등의 여러 가지 형태가 있으며 주파수에 따라 저주파 변환과 고주파 변환일 수 있다.

부하 임피던스 검출부(30)는 전력 변환 회로(10)와 출력단(16) 사이에 구성되며, 출력단(16)에 연결된 부하(20)의 임피던스를 검출한다. 임피던스 비교부(32)는 부하 임피던스 검출부(30)로부터 검출된 부하 임피던스 값과 기준 임피던스 값을 비교하여 그 결과를 제어부(40)로 제공한다. 임피던스 비교부(32)는 부하(20)의 고 임피던스 상태를 검출하기 위한 제1 임피던스 비교 회로(34)와 부하(20)의 저 임피던스 상태를 검출하기 위한 제2 임피던스 비교 회로(36)를 포함한다.

제1 임피던스 비교 회로(34)는 제1 기준값 설정부(35)에 설정된 고 임피던스 기준값과 부하 임피던스 검출부(30)로부터 제공되는 임피던스 검출값을 비교하여 부하(20)의 전기적 상태가 고 임피던스 상태인가를 판별한다. 제2 임피던스 비교 회로(36)는 제2 기준값 설정부(37)에 설정된 저 임피던스 기준값과 부하 임피던스 검출부(30)로부터 제공되는 임피던스 검출값을 비교하여 부하(20)의 전기적 상태가 저 임피던스 상태인가를 판별한다.

제어부(40)는 임피던스 비교부(32)로부터 비교된 결과 값에 기초하여 전력 변환 회로(10)의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 상향 또는 하향 조정 되도록 전력 변환 회로(10)를 제어한다. 전력 변환 회로(10)의 제어는 예를 들어, 전력 변환 회로(10)의 출력 증폭기(12)의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 상향 또는 하향 조정하는 것이다.

도 2는 도 1의 전원 공급 장치의 능동 보호를 위한 제어 동작 수순을 보여주는 흐름도이다.

도 2를 참조하여, 단계 S10에서 부하 임피던스 검출부(30)는 출력단(16)에 연결된 부하(20)의 임피던스 값을 검출하고, 검출된 임피던스 값은 임피던스 비교 회로(32)로 제공된다. 임피던스 비교 회로(32)는 검출된 임피던스 값을 기준 값과 비교하여 부하의 임피던스 상태를 판별하고, 그 결과 값을 제어부(40)로 제공한다.

제어부(40)는 단계 S12에서 부하(20)의 전기적 상태가 고 임피던스 상태로 판별되는 경우 단계 S14로 진행하여 부하(20)의 고 임피던스 값에 기초하여 전력 변환 회로(10)의 출력 증폭기(12)의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 상향 조정한다. 또는 단계 S16에서 부하(20)의 전기적 상태가 저 임피던스 상태로 판별되는 경우 단계 S18로 진행하여 검출된 부하(20)의 저 임피던스 값에 기초하여 전력 변환 회로(10)의 출력 증폭기(12)의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 하향 조정한다.

이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치에 의하면 부하(20)의 임피던스 변화에 따라 부하(20)의 부정합 상태가 발생되는 경우 전력 변환 회로(10)의 출력 증폭기(12)의 출력을 전력 허용 기준치 이 내에서 능동적으로 상향 또는 하향 조정함으로서 전원 공급 장치가 안전하게 동작될 수 있다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 회로 구성을 보여주는 도면이다.

도 3을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치는 전력 변환 회로(10), 입력 전력 검출부(50), 출력 전력 검출부(52) 및, 제어부(40)를 포함하여 구성된다.

전력 변환 회로(10)는 입력단(14)을 통하여 입력 전력을 받아들여 변환하여 출력단(16)을 통하여 변환된 전력을 부하(20)로 출력한다. 전력 변환은 예를 들어, 직류-직류 변환, 교류-직류 변환, 직류-교류 변환, 교류-교류 변환 등의 여러 가지 형태가 있으며 주파수에 따라 저주파 변환과 고주파 변환일 수 있다.

입력 전력 검출부(50)는 입력단(14)과 전력 변환 회로(10) 사이에 구성되어 입력단(50)을 통하여 전력 변환 회로(10)의 입력 전력을 검출한다. 출력 전력 검출부(52)는 출력단(16)과 전력 변환 회로(10) 사이에 구성되어 출력단(16)을 통한 전력 변환 회로(10)의 출력 전력을 검출한다. 입력 전력 검출부(50)와 출력 전력 검출부(52)에서 검출된 입력 전력 값과 출력 전력 값은 각기 제어부(40)로 제공된다.

제어부(40)는 입력 전력 검출부(50)와 출력 전력 검출부(52)를 통하여 전력 변환 회로(10)의 입력 전력 값과 출력 전력 값을 받아들여 전력 변환 회로(10)의 소비 전력을 측정한다. 그리고 측정된 소비 전력에 기초하여 필요한 경우 전력 변 환 회로(10)를 제어하여 출력 전력을 제한한다. 전력 변환 회로(10)의 제어는 예를 들어, 전력 변환 회로(10)의 출력 증폭기(12)의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 상향 또는 하향 조정되도록 하는 것이다.

도 4는 도 3의 전원 공급 장치의 능동 보호를 위한 제어 동작 수순을 보여주는 흐름도이다.

도 4를 참조하여, 단계 S20에서 입력 전력 검출부(50)와 출력 검출부(52)에 의해서 검출된 전력 변환 회로(10)의 입력 전력 값과 출력 전력 값은 제어부(40)로 제공된다. 단계 S22에서 제어부(40)는 입력 전력 검출부(50)와 출력 검출부(52)로부터 제공된 입력 전력 값 및 출력 전력 값에 기초하여 전력 변환 회로(10)의 소비 전력을 측정한다. 이어 단계 S24에서 제어부(40)는 측정된 소비 전력이 전력 변환 회로(10)의 기 설정된 소비 전력 기준값을 초과하는가를 판단한다. 만약 측정된 소비 전력 값이 기 설정된 소비 전력 기준값을 초과하는 경우 단계 S26에서 전력 변환 회로(10)의 출력을 제한한다.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치에 의하면 전력 변환 회로(10)의 소비 전력 변화에 따라 전력 변환 회로(10)의 출력 증폭기(12)의 출력 제한 기준치를 전력 허용 기준치 이내에서 능동적으로 상향 또는 하향 조정함으로서 전원 공급 장치가 안전하게 동작될 수 있다.

상술한 바와 같은 제1 및 제2 실시예에 따른 전원 공급 장치에 있어서 출력을 제한하는 방법은 여러 경우에 있어서 다양한 방법으로 실시될 수 있다. 예를 들어, 출력 증폭기(12)가 선형 증폭기(linear amplifier)를 사용하는 경우 증폭 기(12)의 입력을 제한하여 결과적으로 출력을 제한하는 방법, 또는 증폭기(12)에 공급되는 전원(예를 들어, 직류 전압 등)을 제한하여 출력을 제한하는 방법, 또는 증폭기(12)의 이득을 조절하는 방법으로 부궤한량을 조절하여 출력을 제한하는 방법을 사용할 수 있다.

상술한 제1 실시예에서 부하의 임피던스를 검출하여 전력 변환 회로(10)의 출력을 제한하는 방법과 제2 실시예에서 전력 변환 회로(10)의 소비전력을 검출하여 출력을 제한하는 방법은 혼합적으로 전원 공급 장치에 적용될 수 있다. 즉, 부하(20)의 임피던스 변화와 전력 변환 회로(10)의 소비전력의 변화에 각기 기초하여 능동적으로 전력 변환 회로(10)의 출력을 제한할 수 있다.

본 발명의 전원 공급 장치는 예를 들어, 플라즈마 반응기(plasma reactor)를 위한 무선 주파수 발생기(RE generator)에 사용될 수 있다. 즉, 전원 공급 장치의 전력 변환 회로는 무선 주파수를 발생하기 위한 무선 주파수 변환 회로로 구성된다. 본 발명의 전원 공급 장치가 적용된 경우, 무선 주파수 발생기와 플라즈마 반응기 사이에 임피던스 정합을 위한 별도의 임피던스 정합기를 사용하지 않는다. 플라즈마 반응기 내의 플라즈마 임피던스를 측정하고, 플라즈마 임피던스의 변화에 따라 무선 주파수 발생기의 출력을 제한한다. 플라즈마 반응기 내의 플라즈마 임피던스는 초기 방전 이후 낮아지게 되며, 가스 공급량이 증가되는 등의 요인에 의해서 임피던스가 가변될 수 있다. 예를 들어, 플라즈마 임피던스가 낮아지는 경우 무선 주파수 발생기의 출력을 낮아지게 제한함으로서 자연스럽게 플라즈마 임피던스가 높아지도록 하여 부정합 상태를 해소할 수 있다. 즉, 저출력에서 플라즈마 임피던스 상승효과를 얻을 수 있으며, 적절한 매치 포인트를 찾아서 효과적인 전력 공급이 이루어지도록 할 수 있다. 이와 같은 무선 주파수 발생기의 출력 제한은 플라즈마 임피던스의 상태에 따라 능동적으로 연동되도록 한다.

이상에서 설명된 본 발명의 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치 및 그 제어방법의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그럼으로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 회로 구성을 보여주는 도면이다.

도 2는 도 1의 전원 공급 장치의 능동 보호를 위한 제어 동작 수순을 보여주는 흐름도이다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 회로 구성을 보여주는 도면이다.

도 4는 도 3의 전원 공급 장치의 능동 보호를 위한 제어 동작 수순을 보여주는 흐름도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10: 전력 변환 회로 12: 증폭기

14: 입력단 16: 출력단

20: 부하 30: 부파 임피던스 검출부

32: 임피던스 비교 회로 40: 제어부

50: 입력 전력 측정부 52: 출력 전력 측정부

Claims (9)

1. 입력단을 통하여 입력 전력을 받아들여 변환하고 출력단을 통하여 변환된 전력을 출력하는 전력 변환 회로;

   상기 출력단에 연결된 부하의 임피던스를 검출하기 위한 부하 임피던스 검출부;

   상기 부하 임피던스 검출부로부터 검출된 부하 임피던스 값과 기준 임피던스 값을 비교하되, 상기 부하의 고 임피던스 상태를 검출하기 위한 제1 임피던스 비교 회로와 상기 부하의 저 임피던스 상태를 검출하기 위한 제2 임피던스 비교 회로를 포함하는 임피던스 비교부; 및

   상기 임피던스 비교부로부터 비교된 결과 값에 기초하여 상기 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 동작되도록 상기 전력 변환 회로를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 전력 변환 회로는 무선 주파수 변환 회로로 구성되고,

   상기 부하는 플라즈마 반응기로 구성되는 것을 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치.
4. 출력단에 연결된 부하의 임피던스 값을 검출하는 단계;

   검출된 임피던스 값을 기준 값과 비교하되, 부하의 고 임피던스 상태를 검출하기 위한 제1 임피던스 비교 회로와 부하의 저 임피던스 상태를 검출하기 위한 제2 임피던스 비교 회로에 의해 부하의 임피던스 상태를 판별하는 단계;

   부하 상태가 고 임피던스 상태로 판별되는 경우 부하의 고 임피던스 값에 기초하여 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 상향 조정하는 단계; 및

   부하 상태가 저 임피던스 상태로 판별되는 경우 부하의 저 임피던스 값에 기초하여 전력 변환 회로의 출력을 전력 허용 기준치 이내에서 하향 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 제어 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 부하의 임피던스는 플라즈마 임피던스인 것을 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 제어 방법.
6. 입력단을 통하여 입력 전력을 받아들여 변환하고 출력단을 통하여 변환된 전력을 출력하는 전력 변환 회로;

   상기 입력단을 통한 상기 전력 변환 회로의 입력 전력을 검출하기 위한 입력 전력 검출부;

   상기 출력단을 통한 상기 전력 변환 회로의 출력 전력을 검출하기 위한 출력 전력 검출부;

   상기 입력 전력 검출부와 상기 출력 전력 검출부를 통하여 상기 전력 변환 회로의 입력 전력 값과 출력 전력 값을 받아들여 상기 전력 변환 회로의 소비 전력의 최저치와 최고치를 측정하고, 측정된 최저치와 최고치의 소비 전력을 기초로 기준 소비전력과 비교하여 전력 허용 기준치 이내로 상기 전력 변환 회로를 제어하여 출력 전력을 제한하는 제어부를 포함하는 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 전력 변환 회로는 무선 주파수 변환 회로로 구성되고,

   부하는 플라즈마 반응기로 구성되는 것을 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치.
8. 전력 변환 회로의 입력 전력 및 출력 전력을 각각 검출하는 단계;

   검출된 입력 전력 및 출력 전력에 기초하여 상기 전력 변환 회로의 소비 전력의 최저치와 최고치를 측정하는 단계;하고,

   측정된 최저치와 최고치의 소비 전력을 기초로 기준 소비전력과 비교하여 전력 허용 기준치 이내로 상기 전력 변환 회로를 제어하여 출력 전력을 제한하는 것을 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 제어 방법.
9. 제8항에 있어서,

   상기 전력 변환 회로는 무선 주파수 변환 회로로 구성되고,

   상기 전력 변환 회로에 연결되는 부하는 플라즈마 반응기로 구성되는 것을 특징으로 하는 능동 보호 회로를 구비한 전원 공급 장치의 제어 방법.

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