KR101428445B1

KR101428445B1 - 배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체

Info

Publication number: KR101428445B1
Application number: KR1020120063106A
Authority: KR
Inventors: 한찬희
Original assignee: (주)나린테크
Priority date: 2012-06-13
Filing date: 2012-06-13
Publication date: 2014-08-07
Also published as: WO2013187648A1; KR20130139560A

Abstract

본 발명은 외측면이 제1배관에 연결되고 내측면의 내주부에 제1수용홈을 구비하는 제1플랜지와, 외측면이 제2배관에 연결되고 상기 제1수용홈에 대향하는 제2수용홈을 구비하는 제2플랜지와, 상기 제2수용홈의 내측면과 상기 제1수용홈의 내측면 사이에 위치하는 커버링과, 상기 커버링의 외주면에 위치하는 센터링 본체와 상기 센터링 본체의 외주면에 형성되는 오링 지지부를 포함하는 센터링과 상기 센터링에 안착되는 오링 및 상기 제1플랜지와 제2플랜지를 체결하는 클램프를 포함하며, 상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때, 상기 커버링은 상기 오링이 위치하는 공간을 상기 제1배관 및 제2배관의 내부로부터 분리하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치를 개시한다.
또한, 본 발명은 링 형상으로 형성되는 센터링 본체와, 상기 센터링 본체의 외주면에서 외측방향으로 연장되어 형성되는 오링 지지부를 포함하는 센터링 및 링 형상으로 형성되며 상기 센터링 본체의 적어도 일면과 접촉하여 상기 센터링 본체의 적어도 일측면을 감싸는 커버링을 포함하는 센터링 조립체를 개시한다.

Description

배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체{Pipe Connection Device and Centering Assembly Using in the SAME Device}

본 발명은 배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체에 관한 것이다.

반도체 공정 라인은 다양한 프로세스 챔버와 진공 펌프 및 프로세스 챔버 와 진공 펌프를 연결하는 배관 라인을 포함하여 이루어진다. 배관 라인은 배관 라인의 단부에 결합되는 플랜지와 플랜지 사이에 배치되는 센터링와 오링 및 클램프를 포함하는 배관 연결 장치에 의하여 연결된다.

도 1은 종래 기술에 따른 배관 연결 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 종래 기술에 따른 배관 연결 장치는, 도 1을 참조하면, 플랜지(10, 20)와, 센터링(30)과, 오링(40) 및 클램프(50)를 포함한다. 상기 플랜지(10, 20)는 제1 배관(1) 및 제2 배관(2)의 단부에 결합되어 서로 대향하게 되며, 센터링(30)은 오링이 외측에 결합된 상태에서 플랜지(10, 20) 사이에 배치된다. 상기 클램프(50)는 플랜지(10, 20)의 둘레를 감싸며 플랜지(10, 20) 및 오링(40)을 압착하여, 플랜지(10, 20) 및 센터링(30)을 결합시키게 된다. 상기 플랜지(10, 20)와 센터링(30)은 그 사이에 간극이 존재하게 되며, 간극 사이로 오링(40)이 노출된다. 따라서, 상기 오링(40)은 간극 사이로 유입되는 공정 가스에 의하여 경화 또는 부식되어 가스 누설의 원인이 된다.

상기 배관 연결 장치는 오링(40)의 교체를 위하여 배관에서 주기적으로 해체되어야 하며, 반도체 공정 장비의 가동율 및 생산성의 저하의 원인이 되고 있다. 또한, 상기 배관 연결 장치는 반도체 공정 장비의 좁은 공간에 설치되는 경우가 많아, 센터링(30) 또는 오링(40)을 교체하는데 어려움이 있다. 특히, 상기 센터링(30) 및 오링(40)을 교체하는 작업자는 한 손으로 두 개의 플랜지(10, 20)를 지지하면서 플랜지(10, 20) 사이에 정확하게 센터링(30) 및 오링(40)을 위치시키고, 다른 한 손으로 플랜지 (10, 2)의 외부에 클램프(50)를 체결하는데 어려움이 있게 된다.

본 발명은 체결 작업이 용이하고. 오링의 수명을 연장시켜 교체 주기를 연장할 수 있는 배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 배관 연결 장치는 외측면이 제1배관에 연결되고 내측면의 내주부에 제1수용홈을 구비하는 제1플랜지와, 외측면이 제2배관에 연결되고 상기 제1수용홈에 대향하는 제2수용홈을 구비하는 제2플랜지와, 상기 제2수용홈의 내측면과 상기 제1수용홈의 내측면 사이에 위치하는 커버링과, 상기 커버링의 외주면에 위치하는 센터링 본체와 상기 센터링 본체의 외주면에 형성되는 오링 지지부를 포함하는 센터링과, 상기 센터링에 안착되는 오링 및 상기 제1플랜지와 제2플랜지를 체결하는 클램프를 포함하며, 상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때, 상기 커버링은 상기 오링이 위치하는 공간을 상기 제1배관 및 제2배관의 내부로부터 분리하도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 배관 연결 장치는 외측면이 제1배관에 연결되고 내측면의 내주부에 제1수용홈을 구비하는 제1플랜지와, 외측면이 제2배관에 연결되고 상기 제1수용홈에 대향하는 제2수용홈을 구비하는 제2플랜지와, 상기 제1플랜지와 제2플랜지 사이에 위치하는 커버링과, 상기 커버링에 안착되는 오링 및 상기 제1플랜지와 제2플랜지를 체결하는 클램프를 포함하며, 상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때, 상기 커버링은 상기 오링이 위치하는 공간을 상기 제1배관 및 제2배관의 내부로부터 분리하도록 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 센터링 조립체는 링 형상으로 형성되는 센터링 본체와, 상기 센터링 본체의 외주면에서 외측방향으로 연장되어 형성되는 오링 지지부를 포함하는 센터링 및 링 형상으로 형성되며 상기 센터링 본체의 적어도 일면과 접촉하여 상기 센터링 본체의 적어도 일측면을 감싸는 커버링을 포함할 수 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체는 플랜지와 센터링 사이의 간극을 제거하여 공정 가스가 오링과 접촉되는 것을 차단하게 되므로, 오링이 경화 또는 부식되는 것을 방지하여 교체 주기를 연장할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기 배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체는 센터링이 미리 일측의 플랜지에 결합된 상태에서 타측의 플랜지와 결합되므로, 체결 과정에서 센터링이 떨어지지 않게 되므로 체결 작업이 용이해지는 효과가 있다.

또한, 상기 배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체는 센터링이 위치한 영역에서 홈 또는 돌출부가 형성되지 않으므로, 공정 가스의 흐름에 변화가 생기지 않도록 하며, 각종 부산물이 누적되는 현상을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래기술에 따른 배관 연결 장치의 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 7b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.

이하에서 실시예와 첨부한 도면을 통하여 본 발명의 배관 연결 장치와 이에 사용되는 센터링 조립체에 대하여 구체적으로 설명한다.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 연결 장치에 대하여 설명을 한다.

도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 배관 연결 장치(100)는, 도 2a와 도 2b를 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(130)과, 센터링(140)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 상기 배관 연결 장치(100)는 단부가 서로 대향하는 제1배관(1)과 제2배관(2) 사이에 위치하며, 제1배관(1)과 제2배관(2)을 서로 연결하여 밀폐하게 된다.

이하의 실시예들에서의 구성요소들을 설명하는데 있어서, 제1플랜지(110) 또는 제2플랜지(120)의 내측면은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 서로 대향하는 면을 의미하며, 각 구성요소의 내측면은 제1플랜지(110) 또는 제2플랜지(120)와 대향하는 면 또는 이에 대응되는 면을 의미하며, 외측면은 내측면의 반대면을 의미한다. 또한, 각 구성요소의 내주면은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 중심 축 방향을 향하는 면을 의미하며, 외주면은 그 반대면을 의미한다. 또한, 각 구성요소의 외주부는 각 구성요소에서 상대적으로 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 중심 방향으로부터 먼 부분을 의미하며, 내주부는 상대적으로 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 중심 방향에 가까운 부분을 의미한다. 또한, 각 구성요소의 단부는 제1플랜지(110) 또는 제2플랜지(120)의 내측면과 대향하는 면을 의미한다.

상기 제1플랜지(110)는 링 형상으로 형성되며, 내측면의 내주부에 제1수용홈(112)을 구비한다. 여기서, 상기 제1플랜지(110)의 내측면은 제2플랜지(120)와 대향하는 면을 의미하며, 외측면은 내측면과 반대면으로 제1배관(1)이 결합되는 면을 의미한다. 또한, 상기 제1플랜지(110)는 외경측면인 외주면과 내경측면인 내주면을 구비하게 된다. 상기 제1플랜지(110)의 외측면과 외주면은 결합되는 클램프의 종류에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1플랜지(110)는 내측면의 외주부에서 오링(150)과 접촉하게 된다.

상기 제1수용홈(112)은 내측면의 내주부에서 외주부 방향으로 소정 폭과 깊이로 형성되는 링 형상의 홈이다. 상기 제1수용홈(112)의 폭과 깊이는 센터링(140)의 형상에 대응하여 변경될 수 있다.

상기 제2플랜지(120)는 제1플랜지(110)와 대칭형의 형상으로 형성되며, 내측면에 제1수용홈(112)에 대향하는 제2수용홈(122)을 구비한다. 상기 제2플랜지(120)는 내측면이 제1플랜지(110)와 대향하며, 외측면이 제2배관(2)의 단부에 결합된다.

상기 제2수용홈(122)은 제1수용홈(112)과 대칭형으로 형성되며, 제1수용홈(112)과 동일한 작용을 하게 된다.

상기 커버링(130)은 소정 두께와 길이를 갖는 링 형상으로 형성되며, 상기 제2수용홈의 내측면과 상기 제1수용홈의 내측면 사이에 위치한다. 상기 커버링(130)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 오링(150)이 위치하는 공간을 제1배관(1) 및 제2배관(2)의 내부로부터 분리하며, 바람직하게는 밀폐하게 된다. 보다 구체적으로는 상기 커버링(130)은 제2플랜지(120)와 일체로 형성되며, 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122)에서 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 형성된다. 또한, 상기 커버링(130)은 내주면이 제1플랜지(110) 및 제2플랜지(120)의 내주면과 동일 면을 이루도록 제2수용홈(122)에서 내주부측에서 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 형성된다. 또한, 상기 커버링(130)은 내주면이 제2배관(2)의 내주면과 동일 면을 이루도록 형성된다. 상기 커버링(130)은 제2플랜지(120)와 제1플랜지(110)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 제1플랜지(110)와 대향하는 단부가 제1플랜지(110)의 제1수용홈(112)의 내측면에 접촉하도록 길이가 결정된다. 따라서, 상기 커버링(130)의 길이는 제1수용홈(112)과 제2수용홈(122)의 깊이, 센터링(140)의 형상 또는 오링(150)의 직경에 따라 결정될 수 있다. 상기 커버링(130)은 단부가 제1수용홈(112)의 내측면과 접촉하게 되면서 제1배관(1)과 제2배관(2) 내부를 오링(150)이 위치하는 공간으로부터 분리하게 된다. 상기 커버링(130)은 제1배관(1)과 제2배관(2) 내부를 흐르는 공정 가스 또는 반응 부산물 입자들이 센터링(140)과 오링(150)이 있는 공간으로 유입되는 것을 방지하게 된다.

또한, 상기 커버링(130)은 제2수용홈(122)의 외주부와 함께 제1플랜지(110) 방향으로 개방되는 링 형상의 홈을 형성하게 된다. 따라서, 상기 커버링(130)은 센터링(140)의 일부를 수용하여 고정하게 되며, 센터링(140)이 클램프(160)의 체결과정에서 이탈되는 것을 방지하게 된다.

상기 센터링(140)은 센터링 본체(141)와 오링 지지부(142)를 포함하여 형성되며, 전체적으로 링 형상으로 형성된다. 상기 센터링(140)은 커버링(130)의 외주면에 위치하게 된다. 상기 센터링(140)은 제1수용홈(112)과 제2수용홈(122)에 센터링 본체(141)가 결합되며, 오링 지지부(142)가 오링(150)을 지지하게 된다. 상기 센터링 본체(141)와 오링 지지부(142)는 일체로 형성될 수 있다. 상기 센터링(140)은, 알루미늄, 스테인레스, 황동 등과 같은 금속재질이나, 엔지니어링 플라스틱, 강화 플라스틱 등과 같은 내구성있는 비금속 재질 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 한편, 상기 센터링(140)은 배관 연결장치에 사용되는 일반적인 센터링으로 형성될 수 있다.

상기 센터링 본체(141)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 일측면과 타측면이 각각 제1수용홈(112)과 제2수용홈(122)에 대향하게 된다. 상기 센터링 본체(141)의 내주면은 커버링(130)과 대향하게 되며, 외주면은 클램프(160)와 대향하게 된다.

상기 오링 지지부(142)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 센터링 본체(141)의 외주면에서 외측 방향으로 연장되어 형성된다. 또한, 상기 오링 지지부(142)는 외주면에 오링(150)이 결합되는 오링홈(142a)이 구비된다. 상기 오링 지지부(142)의 길이(Ls)는 센터링 본체(141)의 길이(Lb)보다 짧게 형성된다. 또한, 상기 오링 지지부(142)의 길이는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 가압될 때, 압축된 오링(150)의 폭((Loc)보다 작게 되도록 결정된다.

상기 오링(150)은 반도체 공정 라인에 사용되는 일반적인 배관 체결 장치의 오링이 사용된다. 또한, 상기 오링(150)은 퍼플로(perfluor), 바이톤(viton) 등의 재질로 형성될 수 있다. 상기 오링(150)은 제1플랜지(110)의 내측면과 제2플랜지(120)의 내측면 사이에서 센터링(140)의 오링 지지부(142)에 결합된다. 따라서, 상기 오링(150)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 압축되면서 제1플랜지(110)의 내측면과 제2플랜지(120)의 내측면 사이를 밀폐하게 된다. 상기 커버링(130)이 공정가스 또는 반응 부산물 입자가 오링(150)과 접촉하는 것을 차단하게 되므로, 상기 오링(150)은 공정 가스 또는 반응 부산물 입자가 오링(150)과 접촉하는 것이 차단되므로 경화 또는 부식에 의한 수명 단축이 방지된다. 따라서, 상기 오링(150)은 종래의 배관 연결 장치에 비하여 교체 주기가 증가되며, 공정 가스의 누설을 장기간 방지하게 된다. 상기 오링(150)은 고가의 퍼플로(perfluor) 재질로 형성될 필요성이 감소하게 된다.

상기 클램프(160)는 배관 체결 장치에 일반적으로 사용되는 퀵 커플러로 사용된다. 상기 클램프(160)는 내측에 플랜지 수용홈(162)이 형성되며, 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 외주부가 수용되도록 한다. 따라서, 상기 클램프(160)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 플랜지 수용홈(162)에 하면서 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)를 가압하여 체결하게 된다.

다음은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치에 대하여 설명을 한다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(200)는, 도 3을 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(230)과, 센터링(140)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(200)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 커버링의 구조가 다르게 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(200)는 커버링(230)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(200)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 커버링(230)은 제1커버링(231)과 제2커버링(232)을 포함하여 형성된다. 상기 커버링(230)은 제1커버링(231)과 제2커버링(232)으로 분리되지만, 도 2a 및 도 2b의 커버링(130)과 동일한 작용을 하게 된다.

상기 제1커버링(231)은 제1플랜지(110)의 제1수용홈(112)의 내주부로부터 제2플랜지(120) 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 제1커버링(231)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 체결될 때 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 내측면 사이의 간격의 절반에 대응되는 길이를 갖도록 형성된다. 상기 제1커버링(231)은 내주면이 제1플랜지(110)의 내주면과 동일 면을 이루도록 형성된다.

상기 제2커버링(232)는 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122)의 내주부로부터 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 제2커버링(232)은 제1커버링(231)과 동일한 길이를 갖도록 형성된다. 상기 제2커버링(232)은 내주면이 제1플랜지(120)의 내주면과 동일 면을 이루도록 형성된다.

따라서, 상기 제1커버링(231)과 제2커버링(232)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 체결되었을 때 제1커버링(231)과 제2커버링(232)은 서로 대향하는 단부가 서로 접촉하게 된다. 따라서, 상기 커버링(230)은 제1배관(1)과 제2배관(2) 내부를 흐르는 공정 가스 또는 반응 부산물 입자들이 센터링(140)과 오링(150)이 있는 공간으로 유입되는 것을 방지하게 된다.

또한, 상기 제1커버링(231)과 제2커버링(232)은 각각 제1수용홈(112)와 제2수용홈(122)의 외주부와 함께 링 형상의 홈을 형성하게 된다. 따라서, 상기 제1커버링(231)과 제2커버링(232)은 각각 센터링(140)의 양측의 일부를 수용하여 고정하게 되며, 센터링(140)이 클램프(160)의 체결과정에서 이탈되는 것을 방지하게 된다. 또한, 상기 제1커버링(231)과 제2커버링(232)은 센터링(140)을 제1플랜지(110) 또는 제2 플랜지(120)의 어느 한 쪽에 결합하는 것이 가능하도록 해준다. 따라서, 반도체 공정 라인에서 제1배관(1) 또는 제2배관(2)의 위치에 따라 선택적으로 센터링(140)을 미리 결합시킬 수 있게 된다.

다음은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치에 대하여 설명을 한다.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(300)는, 도 4를 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(330)과, 센터링(140)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(300)는 도 3에 따른 배관 연결 장치(200)와 커버링의 구조가 다르게 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(300)는 커버링(330)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(200)는 도 3에 따른 배관 연결 장치(200)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 커버링(330)은 제1커버링(331)과 제2커버링(332)을 포함하여 형성된다. 상기 커버링(330)은 제1커버링(331)의 길이가 제2커버링(332)의 길이보다 상대적으로 짧게 형성되는 점을 제외하고는, 도 3에 따른 커버링(230)과 동일한 하게 형성되며, 동일한 작용을 하게 된다. 다만, 상기 제2커버링(332)의 길이가 제1커버링(331)의 길이보다 길게 되므로 센터링(140)은 바람직하게는 제2커버링(332)에 결합되는 것이 상대적으로 안정적으로 고정될 수 있다. 한편, 상기 커버링(330)은 제2커버링의 길이가 길게 형성되고 있으나, 제1커버링(331)의 길이가 더 길게 형성될 수 있음을 물론이다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(400)는, 도 5를 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(130)과, 상부 커버링(435)과 센터링(440)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(400)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 비교하여 상부 커버링(435)을 더 포함하며, 센터링(440)의 구조가 다르게 형성된다. 한편, 상기 배관 연결 장치(400)는 상부 커버링(435)만 포함될 수 있으며, 센터링(440)의 구조만 다르게 형성될 수 있음을 물론이다.

이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(400)는 상부 커버링(435)과 센터링(440)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(400)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 상부 커버링(435)는 소정 두께와 길이를 갖는 링 형상으로 형성되며, 제2플랜지(120)의 내측면 외주부에서 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 상부 커버링(435)은 내주면이 오링(150)과 대향하도록 형성된다. 또한, 상기 상부 커버링(435)은 바람직하게는 외주면이 제2플랜지(120)의 외주면과 동일 면을 이루도록 형성된다. 상기 상부 커버링(435)은 제2플랜지(120)와 제1플랜지(110)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 제1플랜지(110)와 대향하는 단부가 제1플랜지(110)의 내측면에 접촉되지 않도록 길이가 결정된다. 따라서, 상기 상부 커버링(435)의 길이는 커버링(130)의 길이, 센터링(440)의 형상 또는 오링(150)의 직경에 따라 결정될 수 있다. 상기 상부 커버링(435)은 센터링(440)과 함께 오링(150)을 보다 효과적으로 지지하여, 오링(150)이 제1플랜지(110) 및 제2플랜지(120)의 내측면과 보다 강하게 밀착되도록 한다.

상기 센터링(440)은 센터링 본체(441)와 오링 지지부(142)를 포함하여 형성되며, 전체적으로 링 형상으로 형성된다. 또한, 상기 센터링(440)은 센터링 본체(441)와 오링 지지부(142)가 만나는 코너 부분에 형성되는 곡면부(440a)를 포함하여 형성된다.

상기 센터링 본체(441)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 내주면에서 외주면으로 갈수록 길이가 증가되어 양측면의 외주부가 내주부보다 상대적으로 돌출되는 형상으로 형성된다. 즉 상기 센터링 본체(441)는 길이 방향으로 절단되는 단면이 사다리꼴을 이루도록 형성된다. 상기 센터링 본체(441)의 외주부는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1수용홈(112) 및 제2수용홈(122)의 코너와 각각 접촉하게 된다. 따라서, 상기 센터링(440)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120) 사이를 추가적으로 밀폐하게 되며, 공정 가스 또는 반응 부산물 입자가 오링(150)과 접촉되는 것을 추가적으로 차단하게 된다.

또한, 상기 센터링(440)의 곡면부(440a)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1플랜지(110)의 제1수용홈(112)와 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122)에 의하여 형성되는 모서리 부분과 접촉하게 된다. 따라서, 상기 센터링(440)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120) 사이를 추가적으로 밀폐하게 되며, 공정 가스 또는 반응 부산물 입자가 오링(150)과 접촉되는 것을 추가적으로 차단하게 된다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(500)는, 도 6을 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(130)과, 중간링(535)과 센터링(540)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(500)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 비교하여 중간링(535)을 더 포함하며, 센터링(540)의 구조가 다르게 형성된다.

이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(500)는 중간링(535)과 센터링(540)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(500)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 중간링(535)은 중간링 본체(536)와 날개부(537)를 포함하며 형성된다. 상기 중간링(535)은 고무 또는 수지와 같은 탄성 재질로 형성되며, 바람직하게는 테프론, 실리콘, 또는 불소성분을 포함하는 고무 또는 수지와 같은 재질로 형성될 수 있다. 상기 중간링(535)은 커버링(130)과 센터링(540) 사이에서 센터링(540)의 하부를 감싸도록 형성된다. 상기 중간링(535)은 커버링(130)과 센터링(540) 사이에서 제1플랜지(110)와 센터링(540) 사이 및 제2플랜지(120)와 센터링(540) 사이를 추가로 밀폐하게 된다.

상기 중간링 본체(536)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 바람직하게는 적어도 센터링 본체(541)의 길이로 형성된다. 상기 중간링 본체(536)는 커버링(130)과 센터링 본체(541) 사이에 위치하게 된다. 상기 중간링 본체(536)는 커버링(130)과 센터링 본체(541) 사이를 추가로 밀폐하게 된다.

상기 날개부(537)는 중간링 본체(536)의 양단부로부터 외주부 오링 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 날개부(537)는 제2수용홈(122)의 폭에 상응하는 두께로 형성된다. 또한, 상기 날개부(537)는 내주부에서 외주부로 갈수록 길이가 증가되도록 형성되며, 바람직하게는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)에 대향하는 내측면이 경사지고 그 반대면인 외측면이 수직을 이루도록 형성된다. 상기 날개부(537)는 제1플랜지(110)와 센터링 본체(541) 사이 및 제2플랜지(120)와 센터링 본체(541) 사이에 위치하게 된다. 상기 날개부(537)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 함께 변형되면서 제1플랜지(110)와 센터링 본체(541) 사이 및 제2플랜지(120)와 센터링 본체(541)를 추가로 밀폐하게 된다.

상기 센터링(540)은 센터링 본체(541)와 오링 지지부(142)를 포함하여 형성되며, 전체적으로 링 형상으로 형성된다.

상기 센터링 본체(541)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 내주부에서 외주부로 갈수록 길이가 감소되도록 형성된다. 따라서, 상기 센터링 본체(541)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 중간링(535)의 날개부(537)가 변형되면서 수용되도록 한다.

도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다. 도 7b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(600)는, 도 7a와 도 7b를 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(630)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(600)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 대비하여 커버링(630)의 구조가 다르게 형성되어 센터링의 역할을 함께 하게 되며, 별도의 센터링을 구비하지 않게 된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(600)는 커버링(630)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(600)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 커버링(630)은 커버링 본체(631)와 오링 지지부(632)를 포함하여 형성되며, 전체적으로 링 형상으로 형성된다. 상기 커버링(630)은 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122) 및 제2플랜지(120)의 내측면 하부로부터 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 일체로 형성된다.

상기 커버링 본체(631)는 소정 두께와 길이를 갖는 링 형상으로 형성되며, 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122)으로부터 연장되어 형성된다. 상기 커버링 본체(631)는 제2수용홈(122)의 폭에 대응되는 두께를 갖도록 형성된다. 다만, 상기 커버링 본체(631)는 제2수용홈(122)과 반대 측의 두께가 상대적으로 작게 되도록 형성되어 제1플랜지(110)의 제1수용홈(112)에 원활하게 결합되어 접촉될 수 있도록 한다.

상기 커버링 본체(631)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 결합될 때 제1수용홈(112)에 대향하는 단부가 제1수용홈(112)에 접촉될 수 있는 길이로 형성된다. 따라서, 상기 커버링 본체(631)는 오링(150)의 두께 및 압축 정도, 클램프(160)의 조임 정도에 따라 적정한 길이를 가지도록 형성된다.

상기 오링 지지부(632)는 소정 두께와 길이를 갖는 링 형상으로 형성되며, 커버링 본체(631)의 외주면에서 오링 방향으로 연장되어 형성된다. 또한, 상기 오링 지지부(632)는 제2플랜지(120)의 내측면과 접촉하도록 형성된다. 이때, 상기 오링 지지부(632)의 외주부와 제2플랜지(120)의 내측면 사이의 코너 부분은 곡면을 이루도록 형성될 수 있다. 상기 오링 지지부(632)는 오링(150)을 지지하게 된다. 따라서, 상기 오링 지지부(632)는 제2플랜지(120)의 내측면 높이와 오링(150)의 직경을 고려하여 오링(150)을 지지하는데 적정한 두께를 가지도록 형성된다. 또한, 상기 오링 지지부(632)는 커버링 본체(631)가 제1수용홈(112)에 접촉될 때, 제1플랜지(110)의 내측면에 접촉되지 않도록 적정한 길이로 형성된다. 따라서, 상기 오링 지지부(632)는 커버링 본체(631)가 제1수용홈(112)과 원활하게 접촉되어 밀폐작용을 할 수 있도록 해준다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(700)는, 도 8을 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(730)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(700)는 도 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 대비하여 커버링(730)의 구조가 다르게 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(700)는 커버링(730)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(700)는 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 커버링(730)은 커버링 본체(631)와 오링 지지부(632) 및 돌출부(733)를 포함하여 형성되며, 전체적으로 링 형상으로 형성된다. 상기 커버링(730)은 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122) 및 제2플랜지(120)의 내측면 하부로부터 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 일체로 형성된다.

상기 돌출부(733)는 전체적으로 링 형상을 가지며, 오링 지지부(632)의 외주면 단부에서 오링 방향으로 돌출되어 형성된다. 또한, 상기 돌출부(733)는 바람직하게는 외주면이 오링(150)에 대응되는 곡면을 가지도록 형성된다. 따라서, 상기 돌출부(733)는 오링 지지부(632)에 안착되는 오링(150)이 이탈되지 않도록 지지하게 된다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(800)는, 도 9를 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(630)과, 상부 커버링(835)과 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(800)는 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 대비하여 상부 커버링(835)를 더 포함하여 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(800)는 상부 커버링(835)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(800)는 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 상부 커버링(835)은 소정 두께와 길이를 갖는 링 형상으로 형성되며, 제2플랜지(120)의 상부에서 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 상부 커버링(835)은 바람직하게는 외주면이 제2플랜지(120)의 외주면과 동일 평면을 이루도록 형성된다. 상기 상부 커버링(835)은 제2플랜지(120)와 제1플랜지(110)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 제1플랜지(110)와 대향하는 단부가 제1플랜지(110)의 내측면에 접촉되지 않도록 길이가 결정된다. 따라서, 상기 상부 커버링(835)의 길이는 커버링(630)의 커버링 본체(631)의 길이 또는 오링(150)의 직경에 따라 결정될 수 있다. 상기 상부 커버링(835)은 커버링(630)과 함께 오링(150)을 보다 효과적으로 지지하여, 오링(150)이 제1플랜지(110) 및 제2플랜지(120)의 내측면과 보다 강하게 밀착되도록 한다.

도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(900)는, 도 10을 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(930)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(900)는 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 대비하여 커버링(930)의 구조가 다르게 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(900)는 커버링(930)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(900)는 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 커버링(930)은 전체적으로 링 형상이며, 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122)으로부터 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 제2플랜지(120)와 일체로 형성된다. 상기 커버링(930)은 상면이 평편한 면으로 형성되며, 오링(150)을 지지하게 된다.

또한, 상기 커버링(930)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 결합될 때 제1수용홈(112)에 대향하는 단부가 제1수용홈(112)에 접촉될 수 있는 길이로 형성된다. 따라서, 상기 커버링(930)은 오링(150)의 두께 및 압축 정도, 클램프(160)의 조임 정도에 따라 적정한 길이를 가지도록 형성된다.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1000)는, 도 11을 참조하면, 제1플랜지(1010)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(1030)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1000)는 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 대비하여 제1플랜지(1010)와 커버링(1030)의 구조가 다르게 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1000)는 제1플랜지(1010)와 커버링(1030)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(1000)는 도 7a 및 도 7b에 따른 배관 연결 장치(600)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 제1플랜지(1010)는 링 형상으로 형성되며, 내측면에 제1수용홈(1012)을 구비한다. 상기 제1플랜지(1010)는 외주면과 내주면을 구비하게 된다.

상기 제1수용홈(1012)은 내측면의 내주부로부터 외주부 방향으로 소정 거리 이격된 위치에서 외측면 방향으로 소정 폭과 깊이로 형성된다. 상기 제1수용홈(1012)의 폭과 깊이는 커버링(1030)의 일부가 결합될 수 있도록 커버링(1030)의 형상에 대응하여 형성될 수 있다.

상기 커버링(1030)은 전체적으로 링 형상이며, 커버링 본체(1031)와 커버링 결합부(1032)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 커버링(1030)은 제2플랜지(120)로부터 제1플랜지(1010) 방향으로 연장되어 제2플랜지(120)와 일체로 형성된다.

상기 커버링 본체(1031)는 전체적으로 링 형상이며, 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122)으로부터 제1플랜지(1010) 방향으로 연장되어 제2플랜지(120)와 일체로 형성된다. 상기 커버링 본체(1031)는 상면이 평편한 면으로 형성되며, 오링(150)을 지지하게 된다. 또한, 상기 커버링 본체(1031)는 제1플랜지(1010)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 내측면이 제1플랜지(1010)의 내측면에 접촉되지 않도록 길이가 결정된다.

상기 커버링 결합부(1032)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상이며, 커버링 본체(1031)의 단부로부터 제1플랜지(1010) 방향으로 돌출되어 형성된다. 상기 커버링 결합부(1032)는 제1플랜지(1010)의 제1수용홈(1012)에 삽입되도록 제1수용홈(1012)의 길이와 두께에 따라 길이와 두께가 결정된다. 특히, 상기 커버링 결합부(1032)는 제1플랜지(1010)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 결합될 때 제1수용홈(1012)에 대향하는 단부가 제1수용홈(1012)의 내측면에 접촉될 수 있는 길이로 형성된다. 상기 커버링 결합부(1032)는 제1수용홈(1012)에 삽입되면서, 단부가 제1수용홈(1012)의 내측면에 접촉되어 오링(150)이 위치하는 공간을 더 효과적으로 밀폐하게 된다.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1100)는, 도 12를 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(1120)와, 커버링(1130)과, 센터링(1140)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1100)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 비교하여 제2플랜지(1120)와 커버링(1130) 및 센터링(1140)의 구조가 다르게 형성된다.

이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1100)는 제2플랜지(1120)와, 커버링(1130) 및 센터링(1140)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(1100)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 제2플랜지(1120)는 전체적으로 링 형상으로 형성되며, 내측면이 평면을 이루도록 형성된다.

상기 커버링(1130)은 소정 두께와 길이를 갖는 링 형상으로 형성되며, 제2플랜지(1120)의 내측면 하부에서 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 형성된다. 보다 구체적으로는 상기 커버링(1130)은 내주면이 제2배관(2)의 내주면과 동일 평면을 이루도록 제2플랜지(1120)의 내측면 하부에서 제1플랜지(110) 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 커버링(1130)은 제2플랜지(1120)와 제1플랜지(110)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 제1플랜지(110)와 대향하는 단부가 제1플랜지(110)의 제1수용홈(112)의 내측면에 접촉하도록 길이가 결정된다. 따라서, 상기 커버링(1130)의 길이는 제1수용홈(112)의 깊이, 센터링(1140)의 형상 또는 오링(150)의 직경에 따라 결정될 수 있다. 상기 커버링(1130)은 단부가 제1수용홈(112)의 내측면과 접촉하게 되면서 제1배관(1) 및 제2배관(2) 내부를 센터링(1140)이 위치하는 공간으로부터 분리하게 된다. 상기 커버링(1130)은 제1배관(1)과 제2배관(2) 내부를 흐르는 공정 가스 또는 반응 부산물 입자들이 오링(150)이 있는 공간으로 유입되는 것을 방지하게 된다.

상기 센터링(1140)은 센터링 본체(1141)와 오링 지지부(1142) 및 상부 돌출부(1143)를 포함하여 형성되며, 전체적으로 링 형상으로 형성된다. 또한, 상기 센터링(1140)은 센터링 본체(1141)와 오링 지지부(1142)가 만나는 부분이 곡면부(1140a)로 형성된다.

상기 센터링 본체(1141)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성된다. 또한 상기 센터링 본체(1141)는 제1플랜지(110)와 대향하는 내측면이 경사지게 형성되며, 제2플랜지(120)에 접촉하는 외측면이 수직면으로 형성되어 내주면에서 외주면으로 갈수록 길이가 증가되어 형성된다. 상기 센터링 본체(1141)의 내측면은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1수용홈(112)의 내측면 및 코너와 접촉하면서 보다 효과적으로 밀폐를 진행하게 된다. 따라서, 상기 센터링(1140)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(1120) 사이를 추가적으로 밀폐하게 되며, 공정 가스 또는 반응 부산물 입자가 오링(150)과 접촉되는 것을 추가적으로 차단하게 된다.

또한, 상기 센터링(1140)의 곡면부(1140a)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(1120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1플랜지(110)의 제1수용홈(112)에 의하여 형성되는 모서리 부분과 접촉하게 된다. 따라서, 상기 센터링(1140)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(1120) 사이를 추가적으로 밀폐하게 되며, 공정 가스 또는 반응 부산물 입자가 오링(150)과 접촉되는 것을 추가적으로 차단하게 된다.

상기 오링 지지부(1142)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 센터링 본체(1141)의 외주면에서 외측 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 오링 지지부(1142)는 내측면이 센터링 본체(1141)의 내측면과 단차지도록 형성되고, 외측면이 센터링 본체(1141)의 외측면과 동일 평면을 이루도록 형성된다. 따라서, 상기 오링 지지부(1142)의 외측면은 제2플랜지(1120)의 내측면과 접촉된다. 상기 오링 지지부(1142)의 길이는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(1120)가 클램프(160)에 의하여 가압될 때, 압축된 오링(150)의 폭보다 작게 되도록 결정된다.

상기 상부 돌출부(1143)는 오링 지지부(1142)의 상면에서 외측면이 오링 지지부(1142)의 외측면과 동일 평면을 이루도록 상부로 돌출되어 형성된다. 즉, 상기 상부 돌출부(1143)는 오링 지지부(1142)와 제2플랜지(1120)의 내측면이 이루는 코너에 형성된다. 또한, 상기 상부 돌출부(1143)는 상면이 오링(150)에 대응되는 곡면을 이루게 된다. 따라서, 상기 상부 돌출부(1143)는 오링(150)이 코너 부분에서 과도하게 변형되는 것을 방지하면서, 오링(150)과 센터링(1140) 및 제2플랜지(1120) 사이에서 밀폐가 잘 이루어질 수 있도록 한다.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 전 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1200)는, 도 13을 참조하면, 제1플랜지(110)와, 제2플랜지(120)와, 커버링(1230)과, 센터링(1240)과, 오링(150) 및 클램프(160)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1200)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 비교하여 커버링(1230) 및 센터링(1240)의 구조가 다르게 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1200)는 커버링(1230) 및 센터링(1240)을 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(1200)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다. 한편, 상기 커버링(1230)과 센터링(1240)은 센터링 조립체란 명칭으로 불릴 수 있다.

상기 커버링(1230)은 커버링 본체(1231) 및 커버링 측벽(1232)을 포함하여 형성된다. 상기 커버링 본체(1231) 및 커버링 측벽(1232)은 일체로 형성될 수 있다. 상기 커버링(1230)은 스테인레스 스틸 또는 알루미늄 재질로 형성될 수 있다. 상기 커버링(1230)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 내측면 사이에 위치하게 된다. 상기 커버링(1230)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 제1플랜지(110)과 제2플랜지(120)의 내측면 사이를 밀폐하게 된다.

상기 커버링 본체(1231)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 내주면이 제1배관(1) 및 제2배관(2)과 동일 면을 이루도록 위치한다. 또한, 상기 커버링 본체(1231)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 양단부가 각각 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 내측면에 접촉되도록 길이가 결정된다. 상기 커버링 본체(1231)의 길이는 오링(150)의 폭, 압축 정도에 따라 결정된다. 상기 커버링 본체(1231)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 내측면과 접촉하게 된다.

상기 커버링 측벽(1232)은 링 형상으로 형성되며, 커버링 본체(1231)의 양단부에서 외측을 연장되어 형성된다. 또한, 상기 커버링 측벽(1232)은 센터링 본체(1241)의 내측면과 접촉하게 된다. 상기 커버링 측벽(1232)은 제1수용홈(112) 또는 제2수용홈(122)의 폭보다 작은 두께를 갖도록 형성된다. 또한, 상기 커버링 측벽(1232)은 바람직하게는 외주면이 커버링 본체(1231)의 외주면과 동일 면을 이루도록 형성된다. 따라서, 상기 커버링 측벽(1232)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때 제1수용홈(112) 또는 제2수용홈(122)에 수용된다. 또한, 상기 커버링 측벽(1232)은 내측면이 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 내측면과 접촉된다. 상기 커버링 측벽(1232)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)의 내측면과 접촉하게 된다.

상기 센터링(1240)은 센터링 본체(1241) 및 오링 지지부(1242)를 포함하여 형성되며, 전체적으로 링 형상으로 형성된다. 상기 센터링 본체(1241)와 오링 지지부(1242)는 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 센터링(1240)은 테프론 재질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 센터링(1240)은 센터링 본체(1241)와 오링 지지부(1242)가 만나는 부분이 곡면부(1240a)로 형성된다. 상기 센터링(1240)의 곡면부(1240a)는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 체결될 때, 제1플랜지(110)의 제1수용홈(112) 및 제2플랜지(120)의 제2수용홈(122)에 의하여 형성되는 모서리 부분과 접촉하게 된다. 따라서, 상기 센터링(1240)은 제1플랜지(110)와 제2플랜지(1220) 사이를 추가적으로 밀폐하게 되며, 공정 가스 또는 반응 부산물 입자가 오링(150)과 접촉되는 것을 추가적으로 차단하게 된다.

상기 센터링 본체(1241)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성된다. 또한, 상기 센터링 본체(1241)는 커버링 측벽(1232) 사이에 위치하게 된다. 상기 센터링 본체(1241)의 두께는 커버링 측벽(1232)의 두께에 대응되도록 형성된다. 따라서, 상기 센터링 본체(1241)의 외주면은 커버링 측벽(1232)의 외주면과 동일 면을 이루게 된다.

상기 오링 지지부(1242)는 소정 길이와 두께를 갖는 링 형상으로 형성되며, 센터링 본체(1241)의 외주면에서 외측 방향으로 연장되어 형성된다. 또한, 상기 오링 지지부(1242)는 외주면에 오링(150)이 결합되는 오링홈(1242a)이 구비된다. 상기 오링 지지부(1242)의 길이는 센터링 본체(1241)의 길이보다 짧게 형성된다. 또한, 상기 오링 지지부(1242)의 길이는 제1플랜지(110)와 제2플랜지(120)가 클램프(160)에 의하여 가압될 때, 압축된 오링(150)의 폭보다 작게 되도록 결정된다.

도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치의 체결 후 단면도이다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1300)는, 도 14를 참조하면, 제1플랜지(1310)와, 제2플랜지(1320)와, 커버링(130)과, 센터링(140)과, 오링(150) 및 클램프(1360)를 포함하여 형성된다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1300)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 비교하여 제1플랜지(1310)와, 제2플랜지(1320) 및 클램프(1360)의 구조가 다르게 형성된다. 따라서, 이하에서 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 배관 연결 장치(1300)는 제1플랜지(1310)와, 제2플랜지(1320) 및 클램프(1360)를 중심으로 설명한다. 또한, 상기 배관 연결 장치(1300)는 도 2a 및 도 2b에 따른 배관 연결 장치(100)와 동일 또는 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하며, 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 제1플랜지(1310)는 내측면에 커버링과 센터링이 수용되는 제1수용홈(1312)이 형성되며, 외측면에 클램프(1360)의 일부가 결합되는 제1외측 수용홈(1314)이 형성된다. 한편, 상기 제1플랜지(1310)는 외측면이 수직을 이루도록 형성되고 있으나, 경사지게 형성될 수 있음은 물론이다.

상기 제1수용홈(1312)은 도 2a 및 도 2b의 실시예에 따른 배관 연결 장치(100)의 제1수용홈(112)과 동일하므로 여기서 상세한 설명을 생략한다.

상기 제1외측 수용홈(1314)은 제1플랜지(1310)의 외측면에서 외주부 측에 링 형상으로 형성되며 클램프(1360)가 결합된다.

상기 제2플랜지(1320)는 제2수용홈(1322)과 제2외측 수용홈(1324)을 구비하며, 제1플랜지(1310)와 대칭으로 형성된다. 따라서, 상기 제2플랜지(1320)에 대한 상세한 설명은 생략한다.

상기 클램프(1360)는 더블 클로우 클램프(double claw clamp)로 이루어진다. 즉, 상기 클램프(1360)는 클램프 몸체부(1361)와 클램프 집게부(1363) 및 클램프 볼트(1365)를 포함하여 형성된다. 상기 클램프 몸체부(1361)는 중앙 부분에 중앙 홈(1361a)이 형성되며, 제1플랜지(1310)와 제2플랜지(1320)의 외주부와 이격되어 위치하게 된다. 상기 클램프 집게부(1363)는 클램프 몸체부(1361)의 양측에 형성되며, 각각 제1외측 수용홈(1314)과 제2외측 수용홈(1324)에 결합된다. 상기 클램프 볼트(1365)는 클램프 몸체부(1361)의 내부에 형성되는 너트부(도시하지 않음)에 결합된다. 상기 클램프(1360)는 클램프 볼트(1365)가 클램프 몸체부(1361) 내부로 결합되면서 클램프 몸체부(1361)의 양측에 형성된 클램프 집게부(1363) 사이의 거리를 줄이게 되며, 제1플랜지(1310)와 제2플랜지(1320)를 체결하게 된다.

한편, 상기 도 13에 따른 실시예의 배관 연결 장치는 클램프가 더블 클로우 클램프로 형성되는 실시예를 도시하였으나, 본 발명의 실시예에 따른 배관 연결 장치는 싱글 클로우 클램프(single claw clamp), 볼티드 로테이터블 클램프(bolted rotatable clamp), 벤디드 클램프(bended clamp)가 사용될 수 있음은 물론이다. 여기서 상기 클램프가 상기와 같은 클램프로 사용되는 경우에 제1플랜지와 제2플랜지는 사용되는 클램프에 적합하도록 외측면과 외주부가 변형될 수 있음은 물론이다.

본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정 또는 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

100,200,300,400,500,600,700,800,900,1000,1100,1200,1300: 배관연결장치
110,1010,1310: 제1플랜지, 120,1120,1320: 제2플랜지
130, 230, 330, 630, 730, 930, 1030, 1130: 커버링
140,440,540,1140: 센터링
150: 오링 160,1360: 클램프

Claims

외측면이 제1배관에 연결되고 내측면의 내주부에 제1수용홈을 구비하는 제1플랜지와,
외측면이 제2배관에 연결되고 상기 제1수용홈에 대향하는 제2수용홈을 구비하는 제2플랜지와,
상기 제2수용홈의 내측면과 상기 제1수용홈의 내측면 사이에 위치하는 커버링과,
상기 커버링의 외주면에 위치하는 센터링 본체와 상기 센터링 본체의 외주면에 형성되는 오링 지지부를 포함하는 센터링과,
상기 센터링에 안착되는 오링 및
상기 제1플랜지와 제2플랜지를 체결하는 클램프를 포함하며,
상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때, 상기 커버링은 상기 오링이 위치하는 공간을 상기 제1배관 및 제2배관의 내부로부터 분리하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제1항에 있어서,
상기 커버링은 상기 제2수용홈의 내측면으로부터 상기 제1수용홈 방향으로 연장되어 형성되며,
상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때 상기 커버링의 단부가 상기 제1수용홈의 내측면에 접촉되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제1항에 있어서,
상기 커버링은 상기 제1수용홈의 내측면으로부터 연장되어 형성되는 제1커버링과 상기 제2수용홈의 내측면으로부터 연장되어 형성되는 제2커버링을 포함하며,
상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때 상기 제1커버링의 단부가 상기 제2커버링의 단부와 접촉되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제3항에 있어서,
상기 제1커버링과 제2커버링은 동일한 길이 또는 서로 다른 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 커버링은 내주면이 상기 제1플랜지 및 제2플랜지의 내주면과 동일 면을 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제1항에 있어서,
상기 제2플랜지의 내측면 외주부에서 상기 제1플랜지 방향으로 연장되며, 내주면이 상기 오링과 대향하도록 형성되는 상부 커버링을 더 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제1항에 있어서,
상기 센터링 본체는 내주면에서 외주면으로 갈수록 길이가 증가되도록 형성되며,
상기 센터링 본체와 상기 오링 지지부가 만나는 코너 부분에 곡면부가 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제1항에 있어서,
상기 커버링과 상기 센터링 사이에 위치하는 중간링 본체 및
상기 중간링 본체의 양단부로부터 상기 오링 방향으로 연장되며 내주부로부터 외주부로 갈수록 길이가 증가되는 날개부를 포함하며,
상기 날개부는 상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때 함께 변형되면서 제1플랜지와 센터링 본체 사이 및 상기 제2플랜지와 센터링 본체를 밀폐하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제8항에 있어서,
상기 센터링 본체는 내주부에서 외주부로 갈수록 길이가 감소되며,
상기 중간링의 날개부는 내주부에서 외주부로 갈수록 길이가 증가되며 상기 제1플랜지와 제2플랜지에 대향하는 내측면이 경사지고 외측면이 수직이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제1항에 있어서,
상기 제2플랜지는 내측면이 평면을 이루도록 형성되며,
상기 커버링은 상기 제2플랜지의 내측면 하부에서 상기 제1플랜지 방향으로 연장되어 형성되며,
상기 센터링 본체는 상기 제1플랜지와 대향하는 내측면이 경사지게 형성되며, 상기 제2플랜지에 접촉하는 외측면이 수직면으로 형성되어 내주면에서 외주면으로 갈수록 길이가 증가되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
외측면이 제1배관에 연결되고 내측면의 내주부에 제1수용홈을 구비하는 제1플랜지와,
외측면이 제2배관에 연결되고 상기 제1수용홈에 대향하는 제2수용홈을 구비하는 제2플랜지와,
상기 제1플랜지와 제2플랜지 사이에 위치하며, 상기 제2플랜지의 제2수용홈으로부터 상기 제1플랜지 방향으로 연장되도록 상기 제2플랜지와 일체로 형성되는 커버링과,
상기 커버링에 안착되는 오링과
상기 제1플랜지와 제2플랜지를 체결하는 클램프 및
상기 제2플랜지의 내측면 외주부에서 상기 제1플랜지 방향으로 연장되며, 내주면이 상기 오링과 대향하도록 형성되는 상부 커버링을 포함하며,
상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때, 상기 커버링은 상기 오링이 위치하는 공간을 상기 제1배관 및 제2배관의 내부로부터 분리하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제11항에 있어서,
상기 커버링은 상기 제2수용홈의 내측면으로부터 상기 제1수용홈 방향으로 연장되어 형성되는 커버링 본체 및
상기 커버링 본체의 외주면으로부터 상기 오링 방향으로 연장되어 형성되는 오링 지지부를 포함하며,
상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때 상기 커버링 본체의 단부가 상기 제1수용홈의 내측면에 접촉되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
제12항에 있어서,
상기 커버링은 상기 오링 지지부의 외주면 단부에서 오링 방향으로 돌출되어 형성되는 돌출부를 더 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
삭제
제11항에 있어서,
상기 제1플랜지의 제1수용홈은 내측면의 내주부로부터 외주부 방향으로 소정 거리 이격된 위치에서 외측면 방향으로 형성되며,
상기 커버링은 상기 제2플랜지의 제2수용홈으로부터 상기 제1플랜지 방향으로 연장되어 형성되는 커버링 본체 및 상기 커버링 본체의 단부로부터 상기 제1플랜지 방향으로 돌출되어 상기 제1수용홈에 삽입되는 커버링 결합부를 포함하며,
상기 제1플랜지와 제2플랜지가 상기 클램프에 의하여 체결될 때, 상기 커버링 본체의 단부는 상기 제1플랜지의 내측면에 접촉되지 않으며, 상기 커버링 결합부의 단부는 상기 제1수용홈의 내측면에 접촉되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.
링 형상으로 형성되는 센터링 본체와, 상기 센터링 본체의 외주면에서 외측방향으로 연장되어 형성되는 오링 지지부를 포함하는 센터링 및
링 형상으로 형성되며 상기 센터링 본체의 적어도 일면과 접촉하여 상기 센터링 본체의 적어도 일측면을 감싸는 커버링을 포함하며,
상기 커버링은
상기 센터링 본체의 내주면에 접촉하는 커버링 본체 및 상기 커버링 본체의 양단부에서 외측을 연장되어 상기 센터링 본체의 양측면과 접촉하는 커버링 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 센터링 조립체.
제16항에 있어서,
상기 센터링은 상기 센터링 본체와 오링 지지부가 만나는 부분에 곡면부를 포함하는 것을 특징으로 하는 센터링 조립체.
제16항 또는 제17항에 있어서,
상기 센터링은 테프론 재질로 형성되며, 배관이 체결될 때 상기 센터링의 적어도 일부분이 압축되어 상기 배관이 실링되도록 하는 것을 특징으로 하는 센터링 조립체.