KR101428391B1 - Inspection device and water cooled vacuum taget try - Google Patents

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차형기
이병철
이병노
송기백
박형달
차성수
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한국원자력연구원
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Abstract

Disclosed are an inspection device and a water cooled high vacuum target tree having the same. The water cooled high vacuum target tree is a target tree cooling a target while maintaining high vacuum for irradiation of an electron beam, and comprises an upper plate including a flow path part allowing cooling water to flow inside; and a lower plate connected with the upper plate and including a target groove receiving the target. The output of the target can be improved because a high vacuum for irradiation of the electron beam is maintained 10-8 torr or more, and the cooling water is circulated to cool the target.

Description

검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리{Inspection device and water cooled vacuum taget try}[0001] The present invention relates to an inspection apparatus and a water-cooled high vacuum target tree including the same,

본 발명은 검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리에 관한 것으로, 보다 구체적으로 고진공을 유지하면서 냉각효율을 높이는 검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리에 관한 것이다.
The present invention relates to an inspection apparatus and a water-cooled high vacuum target tree including the same. More particularly, the present invention relates to an inspection apparatus for increasing the cooling efficiency while maintaining a high vacuum, and a water-cooled high vacuum target tree including the same.

방사선 방출 장치는 일반적으로 알려져 있어 그리고 특히 의료 분야에 있어 사용되고 있다. 예를 들면 X선관은 컴퓨터 단층 촬영기(CT) 스캐너와 같은 의료 진단 장치에 이용되는 X선 방사를 발생 한다. 다른 예로서는, 선형 가속기는 방사선 치료 장치로 이용되는 X선 방사를 발생 한다. 의료 진단 용무의 X선관은 진공관의 내측으로 방사선을 발생 시킨다. 진공관 내부에서는 캐소드가 킬로 볼트의 범위의 전자의 빔을 창출한다. 이 전자 빔은 비교 목표 접근한 거리에 있는 애노드에 충돌 한다. 애노드 위에 충돌 한 전자는 X선을 발생 해, 그리고 관으로부터 방출 된다. 방사선 치료를 위한 선형 가속기는, 애노드 대신에 외부 타겟 과 충돌해 X선을 발생 한다. 방사선 치료에 필요하게 되는 X선의 강도는 X선관의 능력을 넘고 있다. 선형 가속기는 메가볼트의 범위의 고에너지 전자빔을 발생 해, 이 빔이 타겟에 충돌 한다. 타겟과 전자 빔의 충돌이 X선을 발생 한다. 의료용 방사선 치료를 위해서는 X선을 초점 정합 하는 부가 목표 장치가 이용된다. 선형 가속기는, 패스에 따라서 전자를 가속 시키듯이 작용 하는 일련의 전계를 전자에 가세하는 것에 의해서, 고에너지 전자 빔을 발생 한다. 가속 된 전자의 에너지의 일부는, 적절한 금속 타겟에 충돌 하는 것에 의해서 전자가 그 에너지를 급속히 잃을 때에, X 방사선 또는 X선에 변환 된다. 일반적인 X선 발생 용 타겟과의 충돌 이전에 전자를 보다 높은 속도에까지 가속 하는 것에 의해서, 보다 강력한 X선이 발생 된다.Radiation-emitting devices are generally known and are used in particular in the medical field. For example, X-ray tubes generate X-ray radiation used in medical diagnostic devices such as computed tomography (CT) scanners. As another example, a linear accelerator generates X-ray radiation used as a radiation therapy device. An X-ray tube for medical diagnosis generates radiation to the inside of the tube. Inside the vacuum tube, the cathode creates a beam of electrons in the kilovolt range. This electron beam impinges on the anode at a distance approaching the target of comparison. Electrons impinging on the anode generate X-rays and emit from the tube. A linear accelerator for radiation therapy collides with an external target instead of an anode to generate X-rays. The intensity of X-rays required for radiotherapy exceeds the capabilities of X-ray tubes. The linear accelerator generates a high energy electron beam in the range of megabits, which impinges on the target. The collision of the target and the electron beam generates X-rays. For medical radiotherapy, an additional target device that focuses the X-rays is used. The linear accelerator generates a high energy electron beam by applying a series of electric fields acting on the electrons to accelerate the electrons along the path. Some of the energy of the accelerated electrons is converted to X radiation or X-rays when electrons rapidly lose their energy by colliding against a suitable metal target. More powerful X-rays are generated by accelerating electrons to higher speeds prior to collision with a general X-ray generating target.

X선 발생의 하나의 중요점은, 전자 빔이 X선관의 애노드에, 또는 선형 가속기의 타겟에 충돌 할 경우에, 상당한 양의 열이 발생 하는 것이다. 이 열은, 전자 빔의 에너지의 얼마 안되는 부분만이 X선에 변환 되는 한편, 그 외는 전부 열로 되는 문제가 있다. One important point of X-ray generation is that a significant amount of heat is generated when the electron beam impinges on the anode of the X-ray tube or on the target of the linear accelerator. This column has a problem that only a part of the energy of the electron beam is converted into X-rays, while the others are all heat.

이때, 타겟이 강렬한 열을 흡수 함으로써, 타겟의 효율이 저하 되는 문제가 있을 수 있다. 타겟을 냉각시키며 빔의 진행방향을 막지 않는 질 좋은 빔의 타겟트리의 연구 개발이 시급한 실정이다.
At this time, there is a problem that the efficiency of the target is deteriorated by absorbing the intense heat of the target. It is urgent to research and develop a target tree of a good beam that does not obstruct the traveling direction of the beam while cooling the target.

본 발명의 목적은 전자빔 조사를 위한 고진공 상태를 유지하여 타겟의 효율을 높이는 검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an inspection apparatus that maintains a high vacuum state for electron beam irradiation to increase the efficiency of a target, and a water-cooled high vacuum target tree including the same.

본 발명의 또 다른 목적은 전자빔이 진행방향을 막지 않아 경로 방해가 없는 검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리를 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide an inspection apparatus which does not obstruct the traveling direction of an electron beam and obstructs a path, and a water-cooled high vacuum target tree including the same.

본 발명의 또 다른 목적은 유로부에 냉각수를 공급시켜 타겟을 냉각시켜 타겟의 질을 높이는 검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리를 제공하는데 있다.
It is still another object of the present invention to provide an inspection apparatus for supplying a cooling water to a channel portion to cool a target to increase the quality of a target, and a water-cooled high vacuum target tree including the same.

전자빔 조사를 위한 고진공을 유지하며, 타겟을 냉각시키는 수냉식 고진공 타겟트리에 있어서, 수냉식 고진공 타겟트리는 내부에 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성된 상판, 상판과 연결되며, 타겟을 구비할 수 있는 타겟 홈이 형성된 하판을 포함할 수 있다. 유로부는 이송된 냉각수가 타켓의 상판에 접촉하여 배출되도록 형성된 것일 수 있다. 유로부는 유입유로와, 유입유로와 연결되어 냉각수를 회전시키는 회전유로와, 회전유로와 연결된 배출유로로 형성되는데, 유입유로와 배출유로가 이루는 각도는 30에서 60도 사이의 각도를 이루는 것이 가능하며, 회전유로는 "U"자 형상으로 구성될 수 있다. 회전유로는 회전 유로를 따라 양측에 씰홈을 더 포함하며, 씰홈에 오링을 삽입할 수 있다. 또한, 오링은 인듐 재질일 수 있으며, 타겟은 텅스텐 재질일 수 있으며, 고진공은 10- 8토르 이상일 수 있다.In a water-cooled high vacuum target tree that maintains a high vacuum for electron beam irradiation and cools a target, a water-cooled high vacuum target tree is connected to an upper plate and an upper plate on which a flow path for flowing cooling water is formed, and a target groove And may include a lower plate. The flow path portion may be formed so that the transferred cooling water is brought into contact with the upper plate of the target to be discharged. The flow path is formed by an inflow path, a rotation path connected to the inflow path to rotate the cooling water, and a discharge path connected to the rotation path. The angle formed between the inflow path and the discharge path may be an angle of 30 to 60 degrees , And the rotary flow passage may be formed in a "U" shape. The rotary flow passage further includes seal grooves on both sides along the rotary flow passage, and an O-ring can be inserted into the seal groove. In addition, the O-ring may be an indium material, the target may be a tungsten material, a high vacuum of 10 - may be greater than or equal to 8 Torr.

전자빔을 발생시키는 가속관, 타켓, 타켓을 수용하며, 냉각수를 유동시키는 유로부를 형성한 수냉식 고진공 타겟트리, 수냉식 고진공 타겟트리에서 방출된 전자 빔을 엑스레이로 변환시켜 대상체로 안내하는 콜리메이터부, 대상체를 통과한 엑스레이를 검출하는 검출부를 포함한다.A water-cooled high-vacuum target tree for accommodating an accelerating tube for generating an electron beam, a target and a target and forming a flow path for flowing cooling water, a collimator for converting the electron beam emitted from the water- And a detector for detecting the passed x-ray.

수냉식 고진공 타겟은 내부에 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성된 상판, 상판과 연결되며, 타겟을 구비할 수 있는 타겟 홈이 형성된 하판을 더 포함할 수 있다. 하판은 가속관으로부터 타겟까지 필요 진공을 형성 할 수 있으며, 타겟은 유로부에 유동되는 냉각수와 접촉되어 타겟을 냉각시키는 것이 가능하다.The water-cooled high vacuum target may further include a lower plate connected to the upper plate and the upper plate, through which a flow path for flowing cooling water flows, and a target groove having a target. The lower plate can form a necessary vacuum from the accelerating tube to the target, and the target can contact the cooling water flowing in the flow path portion to cool the target.

유로부는 이송된 냉각수가 타켓의 상판에 접촉하여 배출되도록 형성되며, 유로부는 유입유로와, 유입유로와 연결되어 냉각수를 회전시키는 회전유로와, 회전유로와 연결된 배출유로로 형성되는데, 유입유로와 배출유로가 이루는 각도는 30~60도로 구성 될 수 있다. 회전유로는 "U"자 형상으로 구성될 수 있으며, 회전유로는 회전유로를 따라 양측에 씰홈을 더 포함하며, 씰홈에 오링 삽입이 가능하다. 전자빔 조사를 위한 고진공 10-8 토르 이상을 유지하고, 냉각수가 순환하여 타겟을 냉각시키기 때문에 타겟의 출력을 향상 시킬 수 있다.
The flow path is formed of an inlet flow path, a rotation flow path connected to the inlet flow path to rotate the cooling water, and a discharge flow path connected to the rotation flow path, The angle formed by the flow path may be 30 to 60 degrees. The rotary flow passage may be formed in a "U " shape, and the rotary flow passage further includes seal grooves on both sides along the rotary flow passage, and an O-ring can be inserted into the seal groove. Since the high vacuum of 10 -8 Torr or more for electron beam irradiation is maintained and the cooling water is circulated to cool the target, the output of the target can be improved.

본 발명에 따르면, 전자빔 조사를 위한 고진공 10-8 토르 이상을 유지하여 타겟의 효율을 향상 시킬 수 있다.According to the present invention, the efficiency of the target can be improved by maintaining a high vacuum of 10 -8 Torr or higher for electron beam irradiation.

또한, 전자빔 진행방향을 막지 않아 경로 방해가 없어 작업 효율을 향상 시킬 수 있다.In addition, since the electron beam traveling direction is not obstructed, there is no interference with the path, and the working efficiency can be improved.

본 발명에 따르면, 냉각수가 순환하여 타겟을 냉각시켜 타겟의 출력을 향상 시킬 수 있다.
According to the present invention, the cooling water circulates to cool the target to improve the output of the target.

도1은 검사장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 사시도이다.
도 3은 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 조립도이다.
도 4는 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/4 단면도이다.
도 5는 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/2 단면도이다.
도 6은 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/2 단면 측면도이다.
도 7은 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/6 단면 측면도이다.1 is a configuration diagram of an inspection apparatus.
2 is a perspective view of a water-cooled high vacuum target tree according to the present invention.
3 is an assembled view of the water-cooled high vacuum target tree of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the water-cooled high vacuum target tree according to the present invention.
5 is a half sectional view of the water-cooled high vacuum target tree of the present invention.
6 is a half sectional side view of the water-cooled high vacuum target tree of the present invention.
Fig. 7 is a side elevational cross-sectional view of the water-cooled high vacuum target tree according to the present invention. Fig.

도1은 검사장치의 구성도이다. 이를 참조하면, 검사장치(200)는 가속관(40), 안내부 및 검출부(50)를 포함한다. 검사장치(200)는 항만 또는 공항과 같이 국제 화물이 출입되는 시설에 설치되어, 화물(C)에 대한 검사를 수행한다. 본 실시예에서는 도 1의 도시와 같이, 검사장치(200)가 컨테이너와 같은 소정 대상체(O) 내부의 화물(C)을 검사하는 것으로 예시한다.1 is a configuration diagram of an inspection apparatus. Referring to this, the inspection apparatus 200 includes an acceleration tube 40, a guide section, and a detection section 50. The inspection apparatus 200 is installed in the facility where the international cargo goes in or out, such as a port or an airport, and cargo (C) is inspected. In the present embodiment, it is exemplified that the inspection apparatus 200 inspects the cargo C in a predetermined object O such as a container as shown in Fig.

가속관(40)는 서로 다른 에너지 크기의 복수의 전자빔(B)을 발생시켜 가속시킨다. 구체적으로, 가속관(40)는 서로 다른 에너지 크기를 가지는 적어도 하나이상의 전자빔(B)을 상호 교번적으로 발생시킨다.The acceleration tube 40 generates and accelerates a plurality of electron beams B having different energy magnitudes. Specifically, the acceleration tube (40) alternately generates at least one electron beam (B) having different energy magnitudes.

가속관(40)가 6MeV 및 9MeV 크기의 에너지를 가지는 전자빔(B)을 상호교번적으로 발생시키는 것으로 예시한다. 그러나, 꼭 이를 한정하는 것은 아니며, 가속관(40)가 6MeV, 9MeV 및15MeV 크기의 에너지를 가지는 전자빔(B)을 순차적으로 상호 교번적으로 발생시키거나, 6MeV 및 15MeV 크기의 에너지를 가지는 전자빔(B)을 교번적으로 발생시키는 것과 같은, 다양한 조건에 대응하여 변경 가능함은 당연하다.It is exemplified that the accelerating tube 40 alternately generates electron beams B having energies of 6 MeV and 9 MeV in magnitude. However, the present invention is not limited to this. The accelerating tube 40 can alternately generate alternately electron beams B having energy of 6 MeV, 9 MeV, and 15 MeV, or electron beams having energy of 6 MeV and 15 MeV B may be alternately generated in response to various conditions.

안내부는 가속관(40)로부터 발생되어 가속된 전자빔(B)을 대상체(O)로 안내한다. 이를위해, 안내부는 수냉식 타겟트리(100)와 콜리메이터부(22)를 포함한다.The guide unit guides the accelerated electron beam B generated from the accelerating tube 40 to the object O. To this end, the guide portion includes a water-cooled target tree 100 and a collimator portion 22. [

수냉식 타겟트리(100)는 가속관(40)에서 가속되어 입사된 전자빔(B)을 엑스레이(X-Ray)(X)로 변환시켜 방출시킨다. 이러한 수냉식 타겟트리(100)는 엑스레이 발생 효율이 높으며 장수명 특성을 가지는 텅스텐(Tungsten)으로 형성되는 텅스텐 타켓을 포함한다. 콜리메이터부(22)는 수냉식 타겟트리(100)에서 방출된 엑스레이(X)의 방향을 조절하여 대상체(O)로 안내한다. 이때, 콜리메이터부(22)에는 엑스레이(X)를 투과시켜 안내하기 위한, 엑스레이(X)가 통과하는 슬릿(Slit)(23)을 구비한다. 이때, 콜리메이터부(22)의 슬릿(23)이 대상체(O)와 마주함으로써, 슬릿(23)을 통과한 엑스레이(X)가 대상체(O)로 안내된다.
The water-cooled target tree 100 is accelerated by the accelerating tube 40 and converts the incident electron beam B into an X-ray X and emits it. The water-cooled target tree 100 includes a tungsten target formed of tungsten having high x-ray generation efficiency and long life. The collimator unit 22 adjusts the direction of the X-rays X emitted from the water-cooled target tree 100 and guides the X-rays to the object O. At this time, the collimator part 22 is provided with a slit 23 through which the X-ray X passes for guiding the X-ray X to be guided. At this time, the slit 23 of the collimator part 22 faces the object O, so that the X-ray X passing through the slit 23 is guided to the object O.

검출부(50)는 대상체(O)를 통과한 엑스레이(X)를 검출한다. 여기서, 검출부(50)는 복수개 마련되어, 대상체(O) 내부의 화물(C)을 입체적으로 검출한다. 본 실시예에서는 검출부(50)가 도 1의 도시와 같이, 상호 나란하게 한 쌍으로 배치되는 것으로 예시하나, 도 1의 도시로 검출부(50)의 개수가 제한되지 않음은 당연하다. 6MeV 및 9MeV 크기의 에너지를 가지는 전자빔(B)을 상호 교번적으로 가속관(40)가 발생시켜 안내부(120)로 가속시킨다. 가속된 상기 전자빔(B)은 안내부(120)의 수냉식 타겟트리(100)를 거쳐 엑스레이(X)로 변환된 후, 콜리메이터부(22)를 거쳐 대상체(O)로 안내된다. 대상체(O)를 통과한 엑스레이(X)는 복수의 검출부(50) 즉, 한 쌍의 검출부(50)에 의해 검출된다. 여기서, 상기 대상체(O) 내부의 화물(C)은 가속관(40)에서 서로 다른 에너지 크기를 가지는 전자빔(B)이 교번적으로 가속됨에 따라, 대상체(O)를 통과하여 검출된 엑스레이(X)의 에너지 파형을 비교함으로써, 금속(C1)또는 유기물(C2)과 같은 화물(C)의 종류가 검사된다. 아울러, 상기 대상체(O)를 통과한 엑스레이(X)가 한 쌍의 검출부(50)에 의해 검출됨에 따라, 대상체(O) 내부의 화물(C)의 원근을 획득하여 입체감 있는 검사가 가능해진다.The detection unit 50 detects the X-ray X that has passed through the object O. Here, a plurality of detection units 50 are provided to three-dimensionally detect the cargo C in the object O. In the present embodiment, as shown in Fig. 1, the detection units 50 are arranged in a pair in parallel with each other, but it is needless to say that the number of the detection units 50 is not limited as shown in Fig. The electron beam B having the energy of 6 MeV and 9 MeV is alternately generated by the acceleration tube 40 and accelerated to the guide portion 120. The accelerated electron beam B is converted into an X-ray X through the water-cooled target tree 100 of the guiding unit 120, and then is guided to the object O through the collimator unit 22. The X-rays X that have passed through the object O are detected by the plurality of detecting portions 50, that is, the pair of detecting portions 50. [ Here, the cargo C in the object O passes through the object O as the electron beams B having different energy magnitudes are alternately accelerated in the acceleration tube 40, The kind of the cargo C such as the metal C1 or the organic material C2 is inspected. In addition, as the X-ray X passing through the object O is detected by the pair of detecting portions 50, the perspective of the cargo C inside the object O can be acquired and a three-dimensional inspection can be performed.

수냉식 타겟트리(100)는 상판과 하판으로 구성되며, 하판은 고진공 기술을 이용하여, 가속관으로부터 타겟까지의 필요 진공을 형성할 수 있다.
The water-cooled target tree 100 is composed of an upper plate and a lower plate, and the lower plate can form a necessary vacuum from the accelerating tube to the target using a high vacuum technique.

도 2는 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 사시도이다. 이를 참조하면, 수냉식 고진공 타겟트리(100)는 상판(10)과 하판(20)으로 구성된다. 상판(10) 외면의 중심부에 오목부1(6)와 측면에 냉각수를 유동시키기 위한 냉각수 유입구(32), 배출구(36)가 형성될 수 있고, 하판과 체결시킬 수 있는 연결홈1(5)이 형성 될 수 있다.2 is a perspective view of a water-cooled high vacuum target tree according to the present invention. Referring to FIG. 1, the water-cooled high vacuum target tree 100 includes an upper plate 10 and a lower plate 20. A cooling water inlet 32 and an outlet 36 for flowing cooling water to the side surface can be formed in the center of the outer surface of the upper plate 10 and the connection groove 1 5, Can be formed.

상판 내측에는 유입구(32)로부터 들어오는 냉각수의 유로인 유로부(31)가 형성되며, 물과 같은 냉각용 유동체는 유로부(31)로 인하여 유동될 수 있다.A flow path portion 31, which is a flow path of cooling water entering from the inlet port 32, is formed inside the top plate, and a cooling fluid such as water can flow due to the flow path portion 31.

하판(20) 외측에 가속관(40)과 연결되는 연결홈2(13,41)가 형성되고, 저면부 중심부에는 오목한 형상인 오목부2(12)가 형성되며, 내측 중심부에 타겟(30)을 수용할 수 있는 타겟 형상과 대응되는 타겟 홈(11)이 형성될 수 있다.
A concave portion 2 (12) having a concave shape is formed in the central portion of the bottom portion and a connection groove 2 (13, 41) connected to the acceleration tube (40) is formed outside the lower plate (20) A target groove 11 corresponding to a target shape capable of accommodating a target can be formed.

도 3은 본 발명 수냉식 고진공 타겟과 타겟, 가속관의 조립도(110)이다. 이를 참조하면, 가속관(40), 하판(20), 타겟(30), 상판(10) 순으로 접합 될 수 있다. FIG. 3 is an assembly diagram (110) of a water-cooled high vacuum target, a target, and an acceleration tube according to the present invention. Referring to this, the acceleration tube 40, the lower plate 20, the target 30, and the upper plate 10 may be bonded in this order.

하판(20)에 타겟(30)이 삽입될 수 있으며, 하판(20)은 고 진공 실링 기술을 이용하여 가속관(40)으로부터 타겟까지의 필요 진공을 형성할 수 있다. The target 30 can be inserted into the lower plate 20 and the lower plate 20 can form the necessary vacuum from the accelerating tube 40 to the target using a high vacuum sealing technique.

또한, 하판(20)과 상판(10)의 연결홈1로 인하여 체결될 수 있으며, 하판(20) 저면부의 체결부위인 연결홈2(13)와 가속관(40) 몸체의 연결홈2 (41)로 인해 체결이 가능하다.The connection groove 2 of the lower surface portion of the lower plate 20 and the connection groove 2 41 of the body of the acceleration tube 40 can be fastened by the connection groove 1 of the lower plate 20 and the upper plate 10, ).

하판(20)에 내측 중심부에 타겟을 수용할 수 있는 타겟 형상과 대응되는 타겟 홈(11)이 형성되어 있으며, 상판(10)에는 냉각수를 순환시키며, 유체흐름을 빠르게 하여 타겟의 온도를 빠른 시간 내에 식혀주게 하기 위한 유로부(31)가 형성되어있다.The lower plate 20 has a target groove 11 corresponding to a target shape capable of receiving the target at its inner center portion. The cooling water is circulated in the upper plate 10, And a flow path portion 31 for cooling the inside of the flow path portion 31 is formed.

타겟(30)은 텅스텐 재질 일 수 있으며, 타겟(30)의 두께는 얇을 수 있다. 또한, 상판(10)의 중심부측의 유로부(31)에 냉각수가 외부로 방출되는 것을 방지하기 위하여 회전유로(34) 양측에 씰홈(4)이 형성될 수 있다. The target 30 may be a tungsten material, and the thickness of the target 30 may be thin. Sealing grooves 4 may be formed on both sides of the rotary flow passage 34 to prevent the cooling water from being discharged to the outside in the flow passage portion 31 on the central portion side of the upper plate 10. [

씰홈(4)에 오링을 삽입할 수 있으며, 오링은 양측으로 수용되어 냉각수가 상하판의 내측 외측으로 방출되지 않게 할 수 있다. 또한, 오링의 재질은 인듐으로 사용이 가능하다.
The O-rings can be inserted into the seal grooves 4, and the O-rings can be received on both sides, so that the cooling water can be prevented from being discharged to the inside and outside of the upper and lower plates. In addition, the material of the O-ring can be used as indium.

도 4는 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/4 단면도이며, 도 5는 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/2 단면도이다. 이를 참조하면, 수냉식 고진공 타겟트리는 상판(10)과 하판(20)으로 구성된다. 상판(10) 외면의 중심부에 오목부1(6)와 측면에 냉각수를 유입시키기 위한 냉각수 유입구(32), 냉각수를 방출시키키 위한 배출구(36)가 형성될 수 있다. FIG. 4 is a cross-sectional view of the water-cooled high vacuum target tree of the present invention, and FIG. 5 is a half sectional view of the water-cooled high vacuum target tree of the present invention. Referring to this, the water-cooled high vacuum target tree is composed of an upper plate 10 and a lower plate 20. A cooling water inlet 32 for introducing the cooling water to the side surface and a discharge port 36 for discharging the cooling water may be formed at the center of the outer surface of the upper plate 10.

상판(10) 내측에는 유입구(32)로부터 들어오는 냉각수의 유로인 유로부(31)가 형성되어있다. 물과 같은 냉각용 유동체는 유로부(31)로 인하여 유동된다. A flow path portion 31, which is a flow path of cooling water entering from the inlet port 32, is formed inside the upper plate 10. The cooling fluid such as water flows due to the flow path portion 31.

유로부(31)는 냉각수가 유입되는 유입구(32), 유입구와 연결되며, 냉각수를 회전유로(34)로 보내는 유입유로(33), 냉각수를 회전시키는 회전유로(34), 회전유로(34)에서 배출구(36)로 유동시키는 배출유로(35), 배출유로와 연결된 배출구(36)로 구성 될 수 있다.The flow path portion 31 includes an inlet port 32 through which the cooling water flows and an inlet flow path 33 through which the cooling water flows to the rotary flow passage 34. The rotary flow passage 34 rotates the cooling water, And a discharge port 35 connected to the discharge flow path.

유입구(32)와 배출구(36)는 상판의 측면에 형성되며, 유입유로(33), 회전유로(34), 배출유로(35)는 상판 내측에 형성될 수 있다.The inlet port 32 and the outlet port 36 are formed on the side surface of the upper plate and the inlet flow path 33, the rotary flow path 34 and the discharge flow path 35 may be formed inside the upper plate.

하판(20) 외측에 가속관과 연결되는 연결홈2(13,41)가 형성되며, 저면부 중심부에는 오목한 형상인 오목부2(12)가 형성되며, 내측 중심부에 타겟(30)을 수용할 수 있는 타겟형상과 대응되는 타겟 홈(11)이 형성될 수 있다.A concave portion 2 (12) having a concave shape is formed at the central portion of the bottom portion, and a plurality of concave portions (12) are formed at the center portion of the bottom portion to accommodate the target The target groove 11 corresponding to the target shape can be formed.

상판 외측에 냉각수 유입구(32)로부터, 냉각수가 공급되며, 유입유로를 통해 회전유로 유동될 수 있다. 이는, 냉각수를 회전시켜 타겟(30)에 접촉되게 하고, 유체흐름을 빠르게 하여 타겟(30)을 냉각시켜 타겟(30) 온도를 빠른 시간 내에 식혀주게 할 수 있다. 회전유로는 냉각수를 빠르게 순환시키고 타겟이 열에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도면에 도시한 바와같이, 유입구(32) 및 배출구(36)는 원형형태로 구성된 상판의 측면에 홀이 형성되고, 측면의 홀은 반지름 방향으로 냉각수가 유동될 수 있도록 일부가 관통홀이 형성되어, 반지름 방향으로 냉각수가 유입되는 유입유로(33)가 형성될 수 있다. 또한, 유입유로(33)와 회전 유로(34)는 연결될 수 있으며, 회전유로에 의해 냉각수가 250도에서 300도로 회전하여, 회전된 냉각수가 반지름방향으로 형성된 배출유로로 빠져나올 수 있도록 구성이 가능하다. 도면에 도시한 바와같이 유입유로 및 배출유로는 일직선상에 위치하여, 냉각수가 유입되어, 원주방향으로 회전한 후, 유입구, 유입유로와 동일선상에 위치한 배출유로, 배출구로 냉각수가 배출될 수 있도록 구성이 가능하다.
Cooling water is supplied to the outer side of the upper plate from the cooling water inlet port 32, and can be flowed through the inflow channel. This may cause the cooling water to rotate to contact the target 30, thereby speeding fluid flow and cooling the target 30 to cool the target 30 temperature quickly. The rotary flow path can rapidly circulate the cooling water and prevent the target from being damaged by heat.
As shown in the figure, the inlet 32 and the outlet 36 are formed with holes in the side surface of the upper plate formed in a circular shape, and a part of the side holes are formed with through holes so that the cooling water can flow in the radial direction And an inflow passage 33 through which cooling water flows in the radial direction. Also, The inlet flow path 33 and the rotation flow path 34 may be connected to each other so that the cooling water is rotated by 250 to 300 degrees by the rotation flow path so that the rotated cooling water can be discharged into the discharge flow path formed in the radial direction. As shown in the drawing, the inflow passage and the discharge passage are located on a straight line, so that the cooling water flows in the circumferential direction, and then the cooling water is discharged to the discharge passage and the discharge port located on the same line as the inlet, Configuration is possible.

이하 상세사항을 기술한다.Describe the details below.

유로부(31)에 있어서, 유입유로(33)와 배출유로(35)는 회전유로(34)로 유입, 배출하는 유로이며, 회전유로(34)는 냉각수를 회전시켜 타겟(30)과 접촉하여 타겟을 냉각시킬 수 있다.In the flow path portion 31, the inlet flow path 33 and the discharge flow path 35 are flow paths that flow into and out of the rotary flow path 34. The rotary flow path 34 rotates the cooling water to come in contact with the target 30 The target can be cooled.

유입유로(33)와 배출유로(35)의 사이의 각도는 30에서60도 정도이며, 회전유로(34)의 회전각도는300에서330도 정도의 유로 홈이 형성될 수 있다. 이에 냉각수가 회전하여 유동될 수 있다.
The angle between the inflow channel 33 and the discharge channel 35 is about 30 to 60 degrees and the rotation angle of the rotation channel 34 is about 300 to 330 degrees. So that the cooling water can rotate and flow.

도 6은 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/2 단면 측면도이며, 도 7은 본 발명 수냉식 고진공 타겟트리의 1/6 단면 측면도이다. 이를 참조하면, 수냉식 고진공 타겟트리는 상판(10)과 하판(20)으로 구성된다. 상판 외면의 중심부에 오목부1(6)와 측면에 냉각수를 유동시키기 위한 냉각수 유입구(32), 배출구(36)가 형성되어있다. FIG. 6 is a half sectional side view of the water-cooled high vacuum target tree of the present invention, and FIG. 7 is a 1/6 section side view of the water-cooled high vacuum target tree of the present invention. Referring to this, the water-cooled high vacuum target tree is composed of an upper plate 10 and a lower plate 20. And a cooling water inlet port 32 and an outlet port 36 for allowing the cooling water to flow to the side face are formed in the center portion of the outer surface of the upper plate.

상판 내측에는 유입구로부터 들어오는 냉각수의 유로인 유로부(31)가 형성되며, 물과 같은 냉각용 유동체는 유로부(31)로 인하여 유동될 수 있다.A flow path portion 31, which is a flow path of cooling water entering from the inlet port, is formed inside the top plate, and a cooling fluid such as water can flow due to the flow path portion 31.

유로부(31)는 냉각수가 유입되는 유입구(32), 유입구와 연결되며, 냉각수를 회전유로(34)로 보내는 유입유로(33), 냉각수를 회전시키는 회전유로(34), 회전유로(34)에서 배출구(36)로 유동시키는 배출유로(35), 배출유로와 연결된 배출구(36)로 구성 될 수 있다. 유입구(32)와 배출구(36)는 상판의 측면에 형성되며, 유입유로(33), 회전유로(34), 배출유로(35)는 상판 내측에 형성될 수 있다.The flow path portion 31 includes an inlet port 32 through which the cooling water flows and an inlet flow path 33 through which the cooling water flows to the rotary flow passage 34. The rotary flow passage 34 rotates the cooling water, And a discharge port 35 connected to the discharge flow path. The inlet port 32 and the outlet port 36 are formed on the side surface of the upper plate and the inlet flow path 33, the rotary flow path 34 and the discharge flow path 35 may be formed inside the upper plate.

하판(20) 저면부에 가속관과 연결되는 연결홈2(13)가 형성되며, 저면부 중심부에는 오목한 형상인 오목부2(12)가 형성되며, 내측 중심부에 타겟을 수용할 수 있는 타겟형상과 대응되는 타겟 홈(11)이 형성될 수 있다.
A concave portion 2 (12) having a concave shape is formed in the center portion of the bottom portion, and a target shape (2) is formed in the center portion of the bottom portion And the target groove 11 corresponding to the target groove 11 can be formed.

상판(10) 외측에 냉각수 유입구로부터, 냉각수가 공급되며, 냉각수 유입유로(33)로 냉각수가 유동되어, 회전유로(34)로 유동되어 냉각수를 회전시켜 타겟(30)에 접촉되게 하고, 유체흐름을 빠르게 하여 타겟의 온도를 빠른 시간 내에 식혀 타겟을 냉각시키고, 냉각수 배출구로 냉각수가 방출됨으로써 타겟이 열에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.The cooling water is supplied from the cooling water inlet to the outside of the upper plate 10 and the cooling water flows into the cooling water inflow passage 33 to flow into the rotation passage 34 to rotate the cooling water to come into contact with the target 30, To cool the target quickly by cooling the target, and to prevent the target from being damaged by the heat due to the discharge of cooling water to the cooling water outlet.

회전유로(34)의 형태는 U자 형태일수 있다. 회전유로(34)의 형성된 각도는 300에서330도 정도로 구성될 수 있으며, 이 양측에 씰홈(4)이 형성되어 냉각수가 유출되는 것을 방지할 수 있다.The shape of the rotary flow passage 34 may be U-shaped. The angle formed by the rotation flow path 34 may be about 300 to 330 degrees, and seal grooves 4 may be formed on both sides of the rotation flow path 34 to prevent the cooling water from flowing out.

냉각수 유입유로(33) 배출유로(35)의 사이의 각도는 30에서60도 정도이며, 이를 따라 형성된 회전유로는 냉각수를 회전시킴으로써 배수를 용이하게 하고, 유체흐름을 빠르게 하여 타겟의 온도를 빠른시간 내에 식혀주게 하기 위한 것이다. The angle between the cooling water inflow passage 33 and the discharge passage 35 is about 30 to 60 degrees. The rotation passage formed along the rotation passage facilitates the drainage by rotating the cooling water, speeds the flow of the fluid, To cool down.

이는 타겟(30)의 온도를 식혀주기 위한 것이며, 타겟 온도가 올라가지 않게 되어 타겟의 효율을 향상 시킬 수 있다.This is for cooling the temperature of the target 30, and the target temperature is not increased, and the efficiency of the target can be improved.

도 1내지 7에 의하면, 수냉식 고진공 타겟트리는 하판(20)은 고진공(10-8 토르이상)의 기술을 이용하여 가속관(40)으로부터 타겟(30)까지의 필요진공을 형성할 수 있다. 1 to 7, the water-cooled high vacuum target tree can form a required vacuum from the accelerating tube 40 to the target 30 by using a technique of high vacuum (10 -8 torr or more) in the lower plate 20.

또한, 상판(10)의 유로부(31)에 의해 냉각수를 유동시켜 타겟(30)을 직접 냉각시킬 수 있다. 이는 빔의 진행방향을 막지 않고, 타겟(30)을 직접 냉각시켜 타겟의 효율을 향상 시켜 질 좋은 빔의 형성이 가능하다.
Further, cooling water can be flowed by the flow path portion 31 of the upper plate 10 to cool the target 30 directly. This makes it possible to cool the target 30 directly without blocking the advancing direction of the beam, and to form a beam capable of improving the efficiency of the target.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 사상은 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes may be made thereto by those skilled in the art to which the present invention belongs. Therefore, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the above-described embodiments, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the following claims, are included in the scope of the present invention.

4: 씰홈 5: 연결홈1 6: 오목부1 10: 상판
11: 타겟홈 12: 오목부12
13, 41: 연결홈 2 20: 하판
22: 콜리메이터부 23: 슬릿
30: 타겟 31: 유로부
32: 유입구 33: 유입유로
34: 회전유로 35: 배출유로
36: 배출구 40: 가속관
50: 검출부 100: 수냉식 고진공 타겟트리
200: 검사장치 0: 대상체
C: 화물 4: seal groove 5: connecting groove 1 6: concave portion 1 10: top plate
11: target groove 12: concave portion 12
13, 41: connecting groove 2 20: bottom plate
22: collimator part 23: slit
30: target 31:
32: Inlet port 33: Inlet flow path
34: Rotary flow passage 35:
36: outlet 40: acceleration tube
50: Detection unit 100: Water-cooled high vacuum target tree
200: test apparatus 0: object
C: Freight

Claims (18)

전자빔 조사를 위한 고진공을 유지하며, 타겟을 냉각시키는 수냉식 고진공 타겟트리에 있어서,
상기 수냉식 고진공 타겟트리는
내부에 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성되며, 상기 유로부는 일측에 상기 냉각수가 반지름 방향으로 유입되도록 유입유로가 형성되고, 상기 유입유로와 연결되며, 원주방향으로 상기 냉각수를 회전시키도록 회전유로가 형성되고, 상기 회전유로와 연결되며, 타측에 상기 냉각수를 반지름 방향으로 배출시키는 배출유로가 형성되어, 상기 유입유로 및 상기 배출유로는 동일선상에 형성된 상판; 및
상기 상판과 연결되며, 상기 타겟을 구비할 수 있는 타겟 홈이 형성된 하판;
을 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리.In a water-cooled high vacuum target tree that maintains a high vacuum for electron beam irradiation and cools the target,
The water-cooled high vacuum target tree
And a flow passage is formed in one side of the flow passage so as to allow the cooling water to flow in a radial direction, and is connected to the inflow passage, and a rotation flow passage is formed to rotate the cooling water in a circumferential direction And a discharge flow path connected to the rotation flow path and discharging the cooling water in a radial direction is formed on the other side of the upper flow path, the inflow flow path and the discharge flow path being formed on the same line; And
A lower plate connected to the upper plate and having a target groove capable of providing the target;
Cooled high-vacuum target tree. 제1항에 있어서,
상기 유로부는 이송된 냉각수가 상기 타겟의 상판에 접촉하여 배출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.The method according to claim 1,
Wherein the channel portion is formed so that the transferred cooling water is brought into contact with and discharged from the upper plate of the target. 제1항에 있어서,
상기 유로부는
상기 유입유로;
상기 유입유로와 연결되어 상기 냉각수를 회전시키는 회전유로;
상기 회전유로와 연결된 배출유로;
로 구성되며, 상기 유입유로와 배출유로가 이루는 각도는 30~60도를 이루는 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.The method according to claim 1,
The flow-
The inflow channel;
A rotating passage connected to the inflow passage and rotating the cooling water;
An exhaust passage connected to the rotary flow passage;
Wherein the angle formed between the inflow channel and the discharge channel is 30 to 60 degrees. 제3항에 있어서,
상기 회전유로는 "U"자 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.The method of claim 3,
Wherein the rotary flow path is formed in a "U" shape. 제3항에 있어서,
상기 회전유로는 상기 회전 유로를 따라 양측에 씰홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.The method of claim 3,
Wherein the rotary flow path further includes seal grooves on both sides along the rotary flow path. 제5항에 있어서,
상기 씰홈에 오링을 삽입하는 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.6. The method of claim 5,
Wherein the O-ring is inserted into the seal groove. 제6항에 있어서,
상기 오링은 인듐 재질인 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.The method according to claim 6,
Wherein the O-ring is made of indium. 제1항에 있어서,
상기 타겟은 텅스텐 재질인 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.The method according to claim 1,
Wherein the target is made of tungsten. 제1항에 있어서,
상기 고진공은 10- 8토르 이상인 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리.The method according to claim 1,
Wherein the high vacuum is at least 10 - 8 Torr. 전자빔을 발생시키는 가속관;
타켓;
상기 타켓을 수용하며, 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성되며, 상기 유로부는 일측에 상기 냉각수가 반지름 방향으로 유입되도록 유입유로가 형성되고, 상기 유입유로와 연결되며, 원주방향으로 상기 냉각수를 회전시키도록 회전유로가 형성되고, 상기 회전유로와 연결되며, 타측에 상기 냉각수를 반지름 방향으로 배출시키는 배출유로가 형성되어, 상기 유입유로 및 상기 배출유로는 동일선상에 위치한 수냉식 고진공 타겟트리; 및
상기 수냉식 고진공 타겟트리에서 방출된 상기 전자빔을 엑스레이로 변환시켜 대상체로 안내하는 콜리메이터부;
상기 대상체를 통과한 상기 엑스레이를 검출하는 검출부;
를 포함하는 검사장치.An acceleration tube for generating an electron beam;
Target;
A flow path portion for receiving the target and flowing the cooling water is formed, and the flow path portion is formed with an inlet flow path to allow the cooling water to flow in a radial direction on one side thereof, and is connected to the inlet flow path to rotate the cooling water in a circumferential direction A water-cooled high vacuum target tree in which a rotary flow passage is formed, a discharge passage connected to the rotary passage and discharging the cooling water in a radial direction is formed on the other side, and the inflow passage and the discharge passage are arranged on the same line; And
A collimator unit for converting the electron beam emitted from the water-cooled high vacuum target tree into an X-ray and guiding the electron beam to a target object;
A detector for detecting the X-ray having passed through the object;
. 제10항에 있어서,
상기 수냉식 고진공 타겟트리는
내부에 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성된 상판; 및
상기 상판과 연결되며, 상기 타겟을 구비할 수 있는 타겟 홈이 형성된 하판;
을 더 포함하는 검사장치.11. The method of claim 10,
The water-cooled high vacuum target tree
An upper plate having a flow path portion for flowing cooling water therein; And
A lower plate connected to the upper plate and having a target groove capable of providing the target;
Further comprising: 제11항에 있어서,
상기 하판은 상기 가속관으로부터 상기 타겟까지 필요 진공을 형성하는 것을 특징으로 하는 검사장치.12. The method of claim 11,
Wherein the lower plate forms a necessary vacuum from the acceleration tube to the target. 제10항에 있어서,
상기 유로부는 이송된 냉각수가 상기 타켓의 상판에 접촉하여 배출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 검사장치.11. The method of claim 10,
Wherein the flow path portion is formed so that the transferred cooling water is brought into contact with and discharged from the upper plate of the target. 제10항에 있어서,
상기 유로부는 유입유로와, 상기 유입유로와 연결되어 상기 냉각수를 회전시키는 회전유로와, 상기 회전유로와 연결된 배출유로로 형성되는데, 상기 유입유로와 배출유로가 이루는 각도는 30~60도를 이루는 것을 특징으로 하는 검사장치.11. The method of claim 10,
The flow path portion is formed of an inflow path, a rotation path connected to the inflow path to rotate the cooling water, and a discharge path connected to the rotation path, wherein the angle formed by the inflow path and the discharge path is 30 to 60 degrees Characterized by: 제14항에 있어서,
상기 타겟은 상기 회전유로에 유동되는 상기 냉각수와 접촉되어 상기 타겟을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 검사장치.15. The method of claim 14,
Wherein the target is brought into contact with the cooling water flowing in the rotating passage to cool the target. 제14항에 있어서,
상기 회전유로는 "U"자 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 검사장치.15. The method of claim 14,
Wherein the rotary flow passage is formed in a "U" shape. 제14항에 있어서,
상기 회전유로는 상기 회전유로를 따라 양측에 씰홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.15. The method of claim 14,
Wherein the rotary flow path further includes sealing grooves on both sides along the rotary flow passage. 제17항에 있어서,
상기 씰홈에 오링을 삽입하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
18. The method of claim 17,
And inserting an O-ring into the seal groove.
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