KR101421090B1 - 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 - Google Patents

탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자 현미경에 대한 것으로서 특히 진공 챔버를 탈부착 가능하게 설치하여 조상 대상이 되는 시편의 크기가 큰 경우에도 필요에 따라 이동하여 조사할 수 있어 종래보다 사용상의 편의성이 증진되는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경에 대한 것이다.

Description

탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경{SCANNING ELECTRON MICROSCOPE WITH DETACHABLE VACCUM CHAMBER UNIT}
본 발명은 전자 현미경에 대한 것으로서 특히 진공 챔버를 탈부착 가능하게 설치하여 조상 대상이 되는 시편의 크기가 큰 경우에도 필요에 따라 이동하여 조사할 수 있어 종래보다 사용상의 편의성이 증진되는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경에 대한 것이다.
근래, 초 미세 가공 기술의 발달에 따라 나노(nano : n,nm)치수를 균일성 있게 대량으로 가공 할 수 있는 나노가공장치들이 지속적으로 개발되는 것에 부응하여 나노 가공장치에서 가공된 초 미세 가공품을 측정하기 위한 장비로서 나노 계측기인 전자 현미경(Scanning Electron Microscope : SEM)의 기술 개발이 지속적으로 발전하고 있다.
일반적인 전자 현미경(10)은 도 1에서 일부 도시된 바와 같이 진공 챔버의 내측 상부로부터 하부를 향해 전자빔을 발생하는 전자총(11)과, 전자총(11)에서 발생된 전자빔을 여과 및 집속하는 집속 렌즈부(12),와 시편으로 주사되는 전자빔의 편향 각도를 조절하는 주사코일(도시되지 않음)과, 편향 각도가 조절된 전자빔을 시편으로 주사하는 대물 렌즈부(13)와, 시편을 적재하는 시편테이블(도시되지 않음)을 포함한다.
또한, 시편테이블에 인접한 영역의 진공챔버 일측에는 시편과 충돌하여 발생된 2차 전자를 검출하여 이미지 신호로 변환하는 이미지 검출기가 마련되어 있다.
이러한 전자 현미경은 전자총으로부터 발생된 전자빔이 집속 렌즈부(12)와 주사코일 및 대물 렌즈부(13)를 거쳐 시편테이블의 시편으로 조사되면, 시편과 충돌된 빔은 투과전자(X-ray)와 2차전자로 생성되고, 이 중 2차전자는 이미지 검출기에 의해 이미지로 표시됨으로써, 디스플레이에 표시된 이미지를 이용하여 시편의 표면 및 각종 치수를 측정할 수 있다.
그런데 상술한 바와 같은 종래의 전자 현미경의 경우 높은 해상도에도 불구하고 시편의 영상을 얻기 위해서 시편을 상기 진공 챔버 내부에 배치해야 하기 때문에 시편의 크기가 큰 경우 상기 시료를 절단하는 등의 전처리 공정이 필요하여 시편 검사에 많은 시간과 노력이 소모되는 문제점이 있었으며 상기 문제점을 해결하기 위해서는 진공 챔버의 크기가 증가되어 진공계 형성에 많은 비용이 소요되는 문제점이 있었다.
한편, 상술한 전자 현미경 자체는 널리 알려진 기술로서 특히 아래의 선행기술문헌에 자세히 기재되어 있는 바, 중복되는 설명과 도시는 생략한다.
미국 등록 특허 제8541755호 미국 등록 특허 제5376799호 미국 등록 특허 제5089708호 일본 공개 특허 제2002-289129호 일본 공개 특허 제2001-148232호 일본 공개 특허 제1994-099686호 한국 등록 특허 제10-1236489호 한국 등록 특허 제10-1216961호 한국 등록 특허 제10-1195487호 한국 등록 특허 제10-1195486호 한국 등록 특허 제10-0962243호 한국 등록 특허 제10-0918434호 한국 등록 특허 제10-0822791호 한국 공개 특허 제2009-0053274호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 전자 현미경에 사용되는 진공 챔버를 탈부착 가능하게 설치하여 시편의 크기가 크더라도 시편의 절단 등이 필요 없이 조사하고자 하는 장소에서 진공 챔버를 설치하여 종래보다 편리하고 간단하게 시편을 조사할 수 있는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경을 제공함에 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)을 포함하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경에 일 특징이 있다.
이때, 상기 진공 챔버 유닛(100)은 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하되, 상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편 또는 시판이 안착되는 시편 테이블과 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되고, 상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것도 가능하다.
또한, 상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것도 가능하다.
또한, 상기 진공 챔버 유닛(110) 내부에 설치되는 이미지 검출기(120)를 더 포함하는 것도 가능하다.
또한, 상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110)의 일 측에 설치되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하는 착탈 부재(300)를 더 포함하되, 상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와, 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함하는 것도 가능하다.
또한, 상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되어, 상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치되는 것도 가능하다.
또한, 상기 걸림구(310)는 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(312)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것도 가능하다.
또한, 상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110) 내부에 배치되는 산란 방지 플레이트 유닛(400)을 더 포함하되, 상기 산란 방지 플레이트 유닛(400)은 상기 진공 챔버 본체(110) 내부에 상기 진공 챔버 본체(110)의 높이 방향으로 배치도는 판체 형상의 산란 방지 플레이트(410)와, 상기 진공 챔버 본체(110)를 관통한 후 상기 산란 방지 플레이트(410)에 고정되는 이송 로드(420)를 포함하는 것도 가능하다.
또한, 상기 이송 로드(420)는 상기 진공 챔버 본체(110)와 나사 결합하도록 형성되며, 상기 이송 로드(420)의 끝단에 상기 이송 로드(420)를 회전시키는 핸들(430)을 포함하는 것도 가능하다.
또한, 상기 이송 로드(420)의 진공 챔버 본체(110) 외부에 설치되는 실린더(440)와, 상기 실린더(440)에 의해 전후진 되는 것으로서 상기 이송 로드(420)에 연결되는 실린더 로드(450)을 포함하는 것도 가능하다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다라는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 발명에 의하면 시편의 크기가 크더라도 진공 챔버를 탈거한 후 시편을 소정의 위치에 배치한 후 진공 챔버를 설치하여 조사할 수 있어 종래와 같이 시편 절단 등의 작업이 필요없게 되어 보다 편리하고 효율적으로 작업할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 전자 현미경 및 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버 유닛 도시하는 개념도,
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버 유닛을 대물 렌즈부에 탈부착할 수 있도록 하는 착탈부재를 설명하는 개념도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 산란방지 플레이트 유닛을 설명하는 개념도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.
아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.
첨부된 도 1은 일반적인 전자 현미경 및 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버 유닛 도시하는 개념도, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 챔버 유닛을 대물 렌즈부에 탈부착할 수 있도록 하는 착탈부재를 설명하는 개념도, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 산란방지 플레이트 유닛을 설명하는 개념도이다.
실시예
본 발명은 도 1에 도시된 바와 같이 전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)을 포함한다.
즉, 종래의 전자 현미경의 경우 진공 챔버가 일체로 설치되는 관계로 시편의 크기가 큰 경우 상기 시료를 절단하는 등의 전처리 공정이 필요하여 시편 검사에 많은 시간과 노력이 소모되는 문제점이 있었으며 시료를 절단하지 않기 위해서는 진공 챔버의 크기를 증가시켜야 해서 진공계 구성에 많은 비용이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결한 것으로서 진공 챔버 유닛(100)을 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하여 조사가 필요한 장소마다 옮겨가며 조사할 수 있어 시편을 절단하거나 혹은 진공 챔버의 크기를 증가시킬 필요가 없어 많은 시간과 비용을 절감할 수 있다.
한편, 본 발명의 진공 챔버 유닛(100)은 도 1에 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 유닛(100)은 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하되, 상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편(도시되지 않음) 또는 시판이 안착되는 시편 테이블(도시되지 않음)와 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되는 것도 가능하다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이 전자 현미경이 본 발명의 진공 챔버(100)의 상부에 배치되고 시편 또는 시편 테이블이 진공 챔버(100)의 하측에 배치된 경우 상기 진공 챔버 본체(110)의 상부면 및 저면에 각각 상기 그루브(111,112)를 형성한 후 도시된 바와 같이 상기 실링 부재(200)를 각각 상기 그루브(111,112)에 안착하는 것이다.
이때, 상기 진공 챔버 본체(110)의 상부면에 형성되는 그루브(111)에 안착되는 실링 부재(210)는 상기 대물 렌즈부(13)와 결합되어 진공이 유지되도록 하며 보다 안정적인 기밀 유지를 위해 상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것도 가능하다.
즉, 도 1의 경우 상기 그루브(111)에 안착되는 실링 부재(210)가 상기 대물 렌즈부(13)에 형성되는 그루브(13a)에도 안착되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 대물 렌즈부(13)에 설치될 때 안정적인 기밀 유지가 가능하도록 할 수 있다.
한편, 상기 진공 챔버 본체(110) 저면에 형성되는 그루브(112)에 안착되는 실링 부재(220)는 시편 또는 시편 테이블과 접하여 진공이 유지되도록 한다.
또한, 상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것도 가능하며, 상기 석션 유닛(SU)은 널리 알려진 바와 같이 진공 펌프와 흡입 배관을 포함할 수 있다.
이하 상술한 본 발명의 작용에 대해 보다 상세히 설명한다.
우선, 도 1에 도시된 바와 같이 진공 챔버 유닛(100)이 대물 렌즈부(13)에서 분리된 상태에서 상기 진공 챔버 본체(110)의 상면은 상기 대물 렌즈부(13)에 장착하고 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면에는 시편 또는 시편이 안착되어 있는 테이블을 배치한다.
이때, 상기 석션 유닛(SU)에 의해 배출구(113)로부터 공기를 흡입하여 진공 챔버 본체(110) 내부를 진공으로 만든다. 이에 의해 상기 진공 챔버 유닛(100)은 상기 대물 렌즈부(13)측으로 밀착되며 상기 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)사이의 실링 부재(210)에 의해 기밀이 유지된다.
한편, 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면은 시편 또는 시편이 안착되는 테이블에 접하게 되는데, 진공 챔버 본체(110) 내부가 진공이 됨에 따라 상기 시편 또는 시편이 안착되는 테이블이 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면에 밀착하게 된다. 이 때, 상기 진공 챔버 본체(110)의 저면에 배치되는 실링 부재(220)에 의해 기밀이 유지된다.
한편, 상기 배출구(113)를 통해 공기를 투입하면 진공 상태가 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13) 및 시편 또는 테이블로부터 분리할 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 본 발명의 진공 챔버 유닛(100)에 의해 특정 위치의 시편을 조사한 후 상기 시편의 다른 위치를 조사하고자 하는 경우 상술한 바와 같이 진공 챔버 본체(110)를 분리한 후 시편이나 전자 현미경의 위치를 변경한 후 다시 진공 챔버 본체(110)를 장착하면 시편의 크기가 크더라도 보다 용이하게 시편을 조사할 수 있다.
한편, 상기 실링 부재(200)는 상술한 바와 같이 진공 챔버 본체(110)와 대물 렌즈부(13) 또는 시편이나 테이블과의 기밀을 유지하기 위한 것으로서 진공용 O-RING이나 메탈 가스켓을 사용할 수 있다.
또한, 상기 진공 챔버 본체(110)는 상술된 바와 같이 중공 형상이며 그 내부에 설치되는 이미지 검출기(120)를 더 포함할 수 있으며 상기 이미지 검출기(120) 자체는 널리 알려진 구성인 관계로 자세한 설명은 생략한다.
상기 전자 현미경의 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치될 수 있으며 보다 안정적인 탈부착을 위해 후술하는 착탈 부재(300)를 더 포함할 수 있다.
이하 도 2 및 도 3을 참조하여 상기 진공 챔버 본체(110)가 보다 견고하게 탈부착될 수 있도록 하는 착탈 부재(300)에 대해 설명한다.
상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와, 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함할 수 있다.
물론 상기 걸림턱(320)이 진공 챔버 본체(110)에 설치되고 걸림구(310)가 대물 렌즈부(13)에 설치되는 것도 가능하다.
한편, 상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110)와 대물 렌즈부(13)를 탈부착 가능하게 하는 구성인 한 모두 사용가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되도록 형성할 수 있다.
이때, 상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치된다.
즉, 상기 진공 챔버 본체(110)가 대물 렌즈부(13) 저면에서 도면상 상부 방향으로 상승하면 상기 걸림 후크(311)가 탄성 변형하며 도면상 좌측으로 벌어진 후 원래 형상으로 복귀하면서 상기 걸림턱(320)에 걸림되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 설치되는 것이다.
물론 상기 진공 챔버 본체(110)를 분리하기 위해서는 상기 걸림 후크(311)를 사용자가 파지하여 상기 걸림턱(320)으로부터 이격시키면 된다.
한편, 상기 걸림 후크(311)는 도시된 바와 같이 상단부 형상이 도면상 우측으로 경사지게 형성되어 상기 걸림턱(320) 접촉시 보다 용이하게 벌어지도록 형성될 수 있으며, 상기 걸림 후크(311)의 우측면을 요홈하게 형성하여 상기 걸림턱(320)이 삽입되도록 형성하는 것도 가능하다.
또한, 상기 걸림턱(320)은 도시된 바와 같이 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)에서 돌출된 판체 형상의 걸림턱(321)도 가능하다.
또한, 상기 걸림구(310)는 도 3에 도시된 바와 같이 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고, 상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(313)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것도 가능하다.
즉, 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀(P) 결합되는 회전판(312)이 상기 핀(P)을 기준으로 회전하면 상기 회전판(312)에 설치되는 걸림 바아(313)가 상기 걸림구(320)측으로 이동하게 된다.
이때, 상기 걸림구(320)는 도시된 바와 같이 상기 고정판(322)과 절곡판(323)사이의 공간에 상기 걸림 바아(313)가 삽입되도록 한 후 상기 회전판(312)을 원래 위치로 복귀시키면 상기 걸림 바아(313)가 상기 고정판(322)과 절곡판(323)사이의 공간에 걸림되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 장착되는 것이다.
물론 상기 회전판(312)을 다시 회전시킨 후 상기 걸림 바아(313)를 상기 고정판(322)과 절곡판(323)사이의 공간으로부터 분리시키면 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)로부터 분리된다.
한편, 상기 회전판(312)이 상기 진공 챔버 본체(110) 상에서 보다 용이하게 회전하기 위해 상기 진공 챔버 본체(110) 상에 부착되는 채널(314)을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 회전판(312)은 핀(P)에 의해 상기 채널(314)에 회전 가능하게 설치될 수 있다.
한편, 본 발명의 진공 챔버 유닛(100)을 포함하는 전자 현미경의 성능을 향상시키기 위해 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 산란 방지 플레이트 유닛(400)을 더 포함하는 것도 가능하다.
이때, 상기 산란 방지 플레이트 유닛(400)은 위치를 조정하기 위해 상기 진공 챔버 본체(110) 내부에 상기 진공 챔버 본체(110)의 높이 방향으로 배치도는 판체 형상의 산란 방지 플레이트(410)와, 상기 진공 챔버 본체(110)를 관통한 후 상기 산란 방지 플레이트(410)에 고정되는 이송 로드(420)를 포함할 수 있다.
즉, 상술한 산란 방지 플레이트 유닛(400)에 의해 상기 산란 방지 플레이트(410)의 위치를 조정하여 보다 전자 현미경의 성능을 향상할 수 있으며, 이러한 산란 방지 플레이트(410) 자체는 널리 알려진 구성인 관계로 자세한 설명과 도시는 생략한다.
한편, 상기 이송 로드(420)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 본체(110)와 나사 결합하도록 형성되며, 상기 이송 로드(420)의 끝단에 상기 이송 로드(420)를 회전시키는 핸들(430)을 포함하는 것도 가능하다.
즉, 상기 핸들(430)을 회전시키면 상기 진공 챔버 본체(110)와 나사 결합하는 이송 로드(420)가 도면상 좌우측 방향으로 이동되므로 이를 이용하여 상기 산란 방지 플레이트(410)의 위치를 조정할 수 있게 된다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 이송 로드(420)의 진공 챔버 본체(110) 외부에 설치되는 실린더(440)와, 상기 실린더(440)에 의해 전후진 되는 것으로서 상기 이송 로드(420)에 연결되는 실린더 로드(450)을 포함하는 것도 가능하다.
즉, 상기 이송 로드(420)는 상기 산란 방지 플레이트(410)에 고정된 상태에서 상기 이송 로드(420)는 실린더 로드(450)에 연결되어 있으므로, 상기 실린더 로드(450)가 실린더(440)에 의해 전후진되며, 최종적으로 상기 산란 방지 플레이트(410)의 위치를 조정할 수 있게 된다.
한편, 상기 이송 로드(420)는 상기 진공 챔버 본체(110)를 관통해서 전후진되므로 기밀 유지를 위해 상기 이송 로드(420)가 관통하는 진공 챔버 본체(110) 부분에 상술한 바와 같은 실링 부재(230)을 포함하는 것도 가능하다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 대물 렌즈부(13)가 도면상 하측 방향으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상을 하고 있고 진공 챔버 본체(110)의 상단부는 수평 방향으로 형성되어 상호 결합될 수 있으며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 진공 챔버 본체(110)의 상단부가 상기 대물 렌즈부(13)의 형상과 대응되도록 경사지게 형성될 수 있다.
이는 상기 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)가 상호 맞닿아서 기밀을 형성할 수 있으면 족한 것으로서, 상기 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)가 상호 결합되어 기밀을 유지할 수 있는 한, 대물 렌즈부(13)와 진공 챔버 본체(110)가 다른 형상을 가지는 경우라도 모두 본 발명의 범주에 속함은 당연하다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상을 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.
100 : 진공 챔버 유닛 110 : 진공 챔버 본체
111,112 : 그루브 120 : 이미지 검출기
200 : 실링 부재 300 : 착탈 부재
310 : 걸림구 320 : 걸림턱
400 : 산란 방지 플레이트 유닛 410 : 산란 방지 플레이트
420 : 이송 로드

Claims (10)

  1. 전자 현미경(10)의 대물 렌즈부(13)에 탈 부착 가능하게 설치되는 진공 챔버 유닛(100)을 포함하되,
    상기 진공 챔버 유닛(100)은 중공의 진공 챔버 본체(110)를 포함하고,
    상기 진공 챔버 본체(110)의 일 측으로서 상기 대물 렌즈부(13)와 접하는 측면과, 상기 진공 챔버 본체(110)의 타 측으로서 시편 또는 시편이 안착되는 시편 테이블과 접촉하는 측면에 실링 부재(200)가 각각 안착되기 위한 그루브(111,112)가 각각 형성되며,
    상기 진공 챔버 본체(110)의 또 다른 측면에 형성되어 석션 유닛(SU)에 의해 내부 공기를 배출하는 배출구(113)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 대물 렌즈부(13)의 일 측으로서 상기 실링 부재(200)가 안착하기 위한 그루브(13a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 챔버 유닛(110) 내부에 설치되는 이미지 검출기(120)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110)의 일 측에 설치되어 상기 진공 챔버 본체(110)를 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치하는 착탈 부재(300)를 더 포함하되,
    상기 착탈 부재(300)는 상기 진공 챔버 본체(110) 일 측에 설치되는 걸림구(310)와,
    상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 설치되는 걸림턱(320)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 걸림구(310)는 상기 대물 렌즈부(13)측으로 연장되는 바아 형상이되 끝단부는 후크 형상인 걸림 후크(311)를 포함하고,
    상기 걸림턱(320)은 사각형 단면으로서 상기 대물 렌즈부(13)로부터 돌출되어,
    상기 걸림 후크(311)가 상기 걸림턱(320)에 걸림되거나 해제되어 상기 진공 챔버 본체(110)가 상기 대물 렌즈부(13)에 탈부착 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 걸림구(310)는 판체 형상을 가지되 일 측이 상기 진공 챔버 본체(110) 일 부분에 핀 결합되는 회전판(312)과, U 형상이되 개방된 양 단부는 상기 회전판(312)의 회전방향 기준 양 측면에 각각 장치되는 걸림 바아(313)를 포함하고,
    상기 걸림턱(320)은 판체 형상으로서 상기 대물 렌즈부(13) 일 측에 고정되는 고정판(322)과 상기 고정판(322) 일 측에 절곡되어 상기 걸림 바아(312)가 걸림되도록 하는 절곡판(323)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 챔버 유닛(100)은 진공 챔버 본체(110) 내부에 배치되는 산란 방지 플레이트 유닛(400)을 더 포함하되,
    상기 산란 방지 플레이트 유닛(400)은 상기 진공 챔버 본체(110) 내부에 상기 진공 챔버 본체(110)의 높이 방향으로 배치도는 판체 형상의 산란 방지 플레이트(410)와,
    상기 진공 챔버 본체(110)를 관통한 후 상기 산란 방지 플레이트(410)에 고정되는 이송 로드(420)를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 이송 로드(420)는 상기 진공 챔버 본체(110)와 나사 결합하도록 형성되며,
    상기 이송 로드(420)의 끝단에 상기 이송 로드(420)를 회전시키는 핸들(430)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 이송 로드(420)의 진공 챔버 본체(110) 외부에 설치되는 실린더(440)와, 상기 실린더(440)에 의해 전후진 되는 것으로서 상기 이송 로드(420)에 연결되는 실린더 로드(450)을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경.
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