KR101418949B1 - Fine Controlled Quenching apparatus for Heat treatment - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 열처리용 정밀제어장치에 관한 것으로서, 좀 더 상세히는 열처리를 위해 가열된 피가공물의 냉각과정을 정밀하게 제어하여 생산성을 높이면서도 제품의 변형을 최소화하여 고품질의 열처리제품을 얻을 수 있도록 된 새로운 구조의 열처리용 정밀제어 냉각장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a precision control apparatus for a heat treatment, and more particularly, to a precise control apparatus for a heat treatment that precisely controls the cooling process of a heated workpiece for heat treatment, thereby minimizing deformation of the product while improving productivity, To a precise control cooling apparatus for a new structure for heat treatment.
종래에 열처리를 위해 고온으로 가열된 원형톱과 같은 납작한 피가공물을 냉각시키기 위해 피가공물을 컨베이어기구를 이용하여 연속가열로를 통과시켜 고온으로 열처리를 한 후에, 열처리된 피가공물을 냉각조에 낙하시키거나 지그로 매달아서 냉각조에 담가서 냉각하였다. 그러나 피가공물을 냉각조에 낙하시키는 방법은 고온으로 가열된 제품을 냉각조 내의 냉각수에 낙하시키는 과정에서 충격이나 급격한 냉각에 의한 제품의 열변형이 발생되어 제품의 품질이 저하될 뿐만 아니라, 열처리된 제품을 일일이 냉각조 내로 낙하시켜 투입하고 이를 다시 일일이 꺼내어 다음의 가공단계로 이송해야 하므로 생산성이 낮은 문제점이 있었다. 그리고 열처리된 피가공물을 지그로 체결하여 냉각조로 이동시켜서 냉각시키는 방법은 가열된 피가공물을 일일이 지그에 매달거나 지그로부터 꺼내는 과정이 번거로워서 생산성이 낮고 지그에 의해 제품의 변형이 발생되는 등의 문제점도 있었다.Conventionally, in order to cool a flat workpiece such as a circular saw heated to a high temperature for a heat treatment, the workpiece is passed through a continuous heating furnace by using a conveyor mechanism and heat treated at a high temperature, and then the heat- Or jigged, cooled in a cooling bath. However, in the method of dropping the workpiece into the cooling bath, the product is thermally deformed due to impact or rapid cooling during dropping the product heated at high temperature into the cooling water in the cooling bath, Is dropped into the cooling bath, and then it is taken out one by one and transferred to the next processing step, resulting in low productivity. The method of cooling the heat-treated workpiece by fastening it with a jig so as to move the workpiece to the cooling bath and cooling the workpiece is troublesome because the process of hanging or removing the heated workpiece from the jig is troublesome and the productivity is low and deformation of the product is caused by the jig there was.
이러한 점에 착안하여 본 발명자는 한 쌍의 메쉬벨트가 상하로 밀착된 상태에서 냉각조 내부에 하향경사지도록 설치되는 컨베이어기구와, 이 컨베이어기구의 타단에 설치되어 냉각된 피가공물을 냉각조 외부로 배출하는 반출수단을 포함하는 장치를 제공하여 이 컨베이어기구의 메쉬벨트 사이로 납작한 피가공물을 연속적으로 냉각조 내로 투입하고 배출하면서 피가공물의 급격한 열변형을 줄이도록 하는 장치를 제안한 바 있다. 이 장치는 납작한 피가공물을 한 쌍의 메쉬벨트 사이에서 견고하게 지지하면서 냉각조로 투입하고 연속적으로 반출하므로, 제품의 변형이 억제되고 생산성을 향상시킬 수 있다. 그러나 이러한 방법도 미리 설정된 메쉬벨트의 가압력에 의해서 피가공물을 획일적으로 누르기 때문에, 메쉬벨트의 부위별 가압력의 차이나, 제품의 형태나 규격 또는 냉각조로 투입되기 전의 피가공물의 가열온도나 냉각수의 온도 등의 다양한 변동요인에 따른 피가공물의 불균일한 냉각조건으로 인한 불균일한 열변형이나 냉각수축을 정밀하게 제어하지 못함으로 인해 만족스러울 정도로 열변형이 제거된 고품질의 제품을 얻을 수 없는 한계가 있었다.
In view of this point, the inventor of the present invention has proposed a conveyor mechanism in which a pair of mesh belts are installed so as to be inclined downwardly in a cooling vessel in a state in which the pair of mesh belts are in close contact with each other, and a workpiece provided at the other end of the conveyor mechanism, The present invention has been made in view of the above circumstances and has an object to provide a device for reducing sudden thermal deformation of a workpiece while continuously feeding a flat workpiece into a cooling vessel between mesh belts of the conveyor mechanism and discharging the same. This device is capable of suppressing the deformation of the product and improving the productivity because the flat workpiece is firmly supported between the pair of mesh belts while being introduced into the cooling bath and carried out continuously. However, since this method also presses the workpiece uniformly by the preset pressing force of the mesh belt, it is difficult to control the pressing force of each part of the mesh belt, the shape and size of the product, the heating temperature of the workpiece, There is a limit in that it is impossible to obtain a high quality product in which thermal deformation is removed satisfactorily due to non-uniform thermal deformation or cooling shrinkage due to uneven cooling conditions of the workpiece due to various fluctuation factors.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 열처리용 냉각장치의 문제점에 착안하여 제안된 것으로서, 본 발명은 열처리를 위해 가열된 피가공물의 냉각과정을 연속적으로 정밀하게 제어함으로써, 생산성을 높이면서도 냉각과정에서의 제품의 변형을 최소화하여 고품질의 열처리 제품을 얻을 수 있는 새로운 구조의 열처리용 정밀제어 냉각장치를 제공하고자 하는 것이다.
The present invention has been made in view of the problems of the conventional cooling apparatus for heat treatment as described above, and it is an object of the present invention to provide a cooling apparatus for a heat treatment apparatus, which continuously and precisely controls a cooling process of a heated workpiece for heat treatment, Which is capable of obtaining a high-quality heat-treated product by minimizing the deformation of the product of the present invention.
본 발명의 한 특징에 따르면, 피가공물(12)을 가열하는 가열로(10)의 후단에 배치되며 냉각수가 저류되는 냉각조(20)와, 상기 가열로(10)를 통과한 피가공물(12)을 냉각조(20) 내부로 이송하도록 상하로 밀착되어 냉각조(20) 내부를 향해 하향경사지게 연장되는 한 쌍의 메쉬벨트(41)와 이 메쉬벨트(41)를 구동하는 다수의 구동롤러(42)를 포함하는 컨베이어기구(40)와, 상기 컨베이어기구(40)의 타단에 설치되어 냉각된 피가공물(12)을 냉각조(20) 외부로 배출시켜주는 반출수단(50)과, 상기 메쉬벨트(41)의 상부 및 하부를 따라 근접하도록 소정 간격으로 배치되며 냉각수를 교반시키는 복수개의 상하부 교반날개(32,33)와, 상기 상하부 교반날개(32,33)를 개별적으로 구동하는 복수개의 교반구동기구와, 상기 메쉬벨트(41)를 따라 소정간격으로 배치되는 복수개의 온도센서(38)와, 상기 온도센서(38)로부터의 검출신호에 따라 상기 각각의 상하부 교반날개(32,33)의 작동을 제어하는 컨트롤러(30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리용 정밀제어 냉각장치가 제공된다.
According to one aspect of the present invention, there is provided a cooling apparatus for a semiconductor device, comprising: a cooling bath disposed at a rear end of a heating furnace for heating a workpiece and storing cooling water; A pair of
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 메쉬벨트(41) 상부의 도입부에는 냉각수 분사노즐(43)이 소정간격으로 배치되고, 상기 컨트롤러(30)는 상기 각각의 온도센서(38)의 검출신호에 따라 상기 상하부 교반날개(32,33) 또는 냉각수분사노즐(43)의 작동을 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 열처리용 정밀제어 냉각장치가 제공된다.
According to another aspect of the present invention, the cooling
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 컨트롤러(30)는 상기 메쉬벨트(41)를 통과한 피가공물(12)의 가장자리가 상향만곡된 경우 상기 메쉬벨트(41) 하부의 교반날개(32)의 교반속도를 증대시키거나 상부교반날개(33)의 교반속도를 저감시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 열처리용 정밀제어 냉각장치가 제공된다.
According to another aspect of the present invention, when the edge of the
본 발명에 따르면, 가열로(10)를 통과한 납작한 피가공물(12)을 냉각조(20)로 투입할 때 하항경사지게 배치된 한 쌍의 메쉬벨트(41) 사이에서 가압시키면서 연속적으로 이송하되, 메쉬벨트(41)를 따라 소정간격으로 배치된 온도센서(38)로 냉각수의 온도를 검출하여 메쉬벨트(41)의 상하부에 근접배치되는 교반날개(32)의 교반속도를 개별적으로 조절함으로써, 피가공물(12)이 냉각수에 투입된 이후의 시간진행에 따른 냉각속도의 조절이나 피가공물의 변형을 상쇄하도록 피가공물 상하부의 냉각속도의 조절을 통해 피가공물(12)의 열변형을 최소화하여 고품질의 열처리 제품을 달성할 수 있다.According to the present invention, a
또한, 메쉬벨트(41)의 상부의 도입부에는 교반날개(32)를 대체하거나 이에 부가하여 냉각수분사노즐(43)을 소정간격으로 배치함으로써, 메쉬벨트(41)가 냉각수 내로 진입하기 전 및 진입한 직후에, 피가공물(12)이 냉각수에 잠긴 깊이가 작아 교반날개(32)에 의해 냉각수를 교반하여 냉각속도를 조절하기 곤란한 경우에 냉각수 분사노즐(43)을 통해 피가공물(12)의 냉각속도를 조절함으로써, 메쉬벨트(41)의 전장에 걸쳐서 피가공물(12)의 냉각속도를 효과적으로 조절할 수 있다.
The cooling
도 1은 본 발명의 일 실시예의 전체 구성을 보여주는 측면도
도 2는 상기 실시예의 메쉬벨트 도입부의 측면도
도 3은 상기 실시예의 메쉬벨트 배출부의 측면도1 is a side view showing the entire configuration of an embodiment of the present invention;
2 is a side view of the mesh belt introduction portion of the above embodiment
Fig. 3 is a side view of the mesh belt discharging portion of the above-
이하에서 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예의 열처리용 정밀제어 냉각장치의 전체구성을 보여주는 측면도이고, 도 2와 도 3은 상기 실시예의 메쉬벨트 도입부 및 배출부의 측면도이다. 도시된 바와 같이 본 발명에 따르면, 가열로(10)를 통과한 납작한 피가공물(12)을 냉각시키는 열처리용 냉각장치로서, 가열로(10)의 후단에 배치되며 상부가 개방되고 냉각수가 저류되는 냉각조(20)와, 피가공물(12)을 냉각조(20) 내부로 경사지게 이송하는 컨베이어기구(40)와, 이 컨베어이기구(40)의 타단에 배치되어 피가공물(12)을 냉각조(20) 외부로 배출하는 반출수단(50)을 포함한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view showing the entire structure of a precise control cooling apparatus for heat treatment according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are side views of a mesh belt introduction part and a discharge part of the embodiment. As shown in the drawings, according to the present invention, there is provided a cooling apparatus for heat treatment of a
상기 컨베이어기구(40)는 상하로 밀착되어 냉각조(20) 내부를 향해 서서히 하향경사지게 연장되는 한 쌍의 메쉬벨트(41)와, 이 메쉬벨트(41)를 구동하는 다수의 구동롤러(42)와 다수의 가이드롤러(44)로 구성된다. 그리고 메쉬벨트(41)의 상부와 하부에 각각 근접한 위치에 교반날개(32)가 지지브라켓(33)에 지지되어 소정간격으로 다수 배치된다. 그리고 각각의 교반날개(32)마다 이 교반날개(32)를 구동하기 위한 모터(34)와 구동축(36)을 포함하는 교반구동기구가 구비된다. 그리고 메쉬벨트(41)를 따라서 다수개의 온도센서(38)가 소정간격으로 배치된다. 그리고 각각의 온도센서(38)로부터의 온도검출신호를 입력받으며 각각의 교반날개(32)의 교반속도를 제어하기 위한 컨트롤러(30)가 더 구비된다.The
한편, 상기 메쉬벨트(41)는 그 도입부측에서는 냉각조(20)의 냉각수의 수위보다 위쪽에서 서서히 하향경사지게 연장되어 냉각수 속으로 진입하는데, 이와 같이 메쉬벨트(41)의 도입부에는 냉각수분사노즐(43)이 소정간격으로 배치된다. 이와 같이 메쉬벨트(41)의 도입부는 냉각수의 수위보다 높거나 냉각수에 잠긴 깊이가 깊지 않아서 교반날개(32)의 교반에 의한 냉각속도 조절이 곤란하므로, 교반날개(32) 대신에 냉각수분사노즐(43)을 배치하여 냉각수를 분사함으로써 피가공물(12)의 냉각속도를 조절하게 된다. 이를 위해 상기 컨트롤러(30)가 온도센서(38)로부터의 신호를 입력받아 상기 냉각수분사노즐(43)의 냉각수 분사를 조절 또는 개폐하는 도시안된 밸브의 작동을 제어하게 된다.On the other hand, the
상기 반출수단(50)은 그 일단이 상기 컨베이어기구(40)의 배출측에 접속되고 상향연장되고 그 타단은 냉각조(20)의 밖으로 연장되며, 그 상면에는 소정간격으로 다수의 걸림돌기(52)가 형성되어 피가공물(12)을 걸어도 올릴 수 있다.One end of the conveying means 50 is connected to the discharge side of the
이러한 구조에 따르면, 가열로(10)에서 고온으로 가열된 원형톱이나 기타 납작한 피가공물(12)을 상하로 밀착 배치된 한 쌍의 메쉬벨트(41) 사이에서 견고하게 지지한 상태에서 냉각조(20) 내부로 연속적으로 이송하면서 냉각시키게 된다. 만일 냉각되어 반출된 납작한 피가공물(12)이 어떠한 이유로 평탄하지 않고 상부를 향해 오목하게 만곡변형(예를 들어 접시형태)된 경우에는, 납작한 피가공물(12)의 상면이 하면에 비해 더 빨리 냉각된 것이므로 메쉬벨트(41)의 하부에 놓인 교반날개(32)를 교반속도를 높이고 메쉬벨트(41) 상부에 놓인 교반날개(32)의 교반속도는 낮추거나, 교반날개(32) 상부의 냉각수분사노즐(43)의 냉각수 분사량을 감소시켜서 피가공물(12)의 상면의 냉각속도는 감소시킴으로써 피가공물(12)의 평탄도를 높일 수 있다.According to this structure, a circular saw or other
아울러, 메쉬벨트(41)에 탑재되어 연속적으로 이송되며 냉각되는 피가공물(12)의 진행방향을 따라 소정간격으로 배치되는 교반날개(32) 및 냉각수분사노즐(43)의 분사량을 조절함으로써, 피가공물(12)이 냉각조에 투입된 이후의 시간진행에 따른 냉각속도를 제어함으로써 피가공물(12)의 재질이나 요구성능에 따라 최적화된 열처리 냉각온도제어가 가능하게 된다.By controlling the injection amount of the stirring
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 냉각조(20)에 하항경사지게 배치된 한 쌍의 메쉬벨트(41) 사이에서 가압시키면서 연속적으로 이송하되, 메쉬벨트(41)의 상하부에 근접배치되는 교반날개(32)의 교반속도를 개별적으로 조절함으로써, 피가공물(12)의 재질이나 요구성능에 따라 피가공물(12)이 냉각수에 투입된 이후의 시간경과에 따른 냉각속도의 조절이 가능하고, 피가공물(12)의 불균일한 열변형을 상쇄하도록 피가공물(12) 상하부의 냉각속도의 조절이 가능하여, 피가공물(12)의 열변형을 최소화하여 고품질의 열처리 제품을 달성할 수 있다. As described above, according to the present invention, the
또한, 메쉬벨트(41)의 상부의 도입부에는 교반날개(32)를 대체하거나 이에 부가하여 냉각수분사노즐(43)을 소정간격으로 배치함으로써, 메쉬벨트(41)가 냉각수 내로 진입하기 전 및 진입한 직후에, 피가공물(12)이 냉각수에 잠긴 깊이가 작아 교반날개(32)에 의해 냉각수를 교반하여 냉각속도를 조절하기 곤란한 경우에 냉각수 분사노즐(43)을 통해 피가공물(12)의 냉각속도를 조절함으로써, 메쉬벨트(41)의 전장에 걸쳐서 피가공물(12)의 냉각속도를 효과적으로 조절할 수 있다.The cooling
Claims (3)
A cooling tank 20 disposed at the rear end of the heating furnace 10 for heating the workpiece 12 and storing the cooling water therein and a workpiece 12 having passed through the heating furnace 10, And a plurality of drive rollers 42 for driving the mesh belt 41. The conveyor mechanism 42 includes a pair of mesh belts 41 that are vertically in contact with each other and extend downwardly inclined toward the inside of the cooling tank 20, (50) for discharging the cooled workpiece (12) to the outside of the cooling tank (20), and a conveying means (50) installed at the other end of the conveyor mechanism (40) A plurality of stirring driving mechanisms for individually driving the upper and lower stirring vanes 32 and 33 and a plurality of stirring driving mechanisms for driving the upper and lower stirring vanes 32 and 33, A plurality of temperature sensors 38 disposed at predetermined intervals along the first and second temperature sensors 38 and 41, Depending on the detection signal precisely controlled cooling heat treatment apparatus comprises a controller 30 that controls the operation of each of the upper and lower stirring blades (32,33).
2. The apparatus according to claim 1, wherein cooling water injection nozzles (43) are arranged at predetermined intervals in an inlet portion of the upper portion of the mesh belt (41), and the controller (30) And the operation of the stirring vanes (32, 33) or the cooling water injection nozzle (43) is controlled separately.
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