KR101409533B1 - Aging Device For Cooling - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치는 디스플레이 장치에 전류 또는 전압을 인가하는 에이징 장치, 에이징 장치 상에 위치하는 제 1 냉각 스테이지 및 제 1 스테이지 내부에 위치하는 제 1 냉각 도관을 포함하며, 상기 디스플레이 장치는 상기 제 1 스테이지 상에 위치할 수 있다.The cooling aging device according to an embodiment of the present invention includes an aging device for applying current or voltage to a display device, a first cooling stage located on the aging device, and a first cooling conduit located inside the first stage, , The display device may be located on the first stage.

제 1 스테이지, 제 1 도관, 에이징 장치. A first stage, a first conduit, and an aging device.

Description

냉각용 에이징 장치{Aging Device For Cooling}[0001] The present invention relates to an aging device for cooling,

본 발명은 에이징 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 냉각용 에이징 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an aging device, and more particularly to a cooling aging device.

일반적으로, 정보통신기술의 발달로, 다양화된 정보화 사회의 요구에 따라, 전자 디스플레이의 수요가 증가되고 있고, 요구되는 디스플레이 또한 다양해지고 있다. In general, with the development of information and communication technology, the demand of electronic display is increasing according to demands of diversified information society, and the required display is also diversified.

이와 같이 다양화 된 정보화 사회의 요구를 만족시키기 위하여, 전자 디스플레이 소자는 고정세화, 대형화, 저가격화, 고성능화, 박형화, 소형화 등의 특성을 가질 것이 요구되고 있으며, 이를 위해, 기존의 음극선관(Cathode Ray Tube: CRT) 이외에 새로운 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD) 소자가 개발되고 있다.In order to meet the demands of diversified information society, electronic display devices are required to have properties such as high definition, large size, low cost, high performance, thinness, miniaturization, and so on. Ray tube (CRT), a new flat panel display (FPD) device is being developed.

특히, 통신 및 컴퓨터에 관련된 반도체와 디스플레이 등의 소재 개발이 각 분야의 기술 진보에 주요한 관건이 되고 있으며, 현재 사용되고 있는 여러 디스플레이 소자들 중에서 천연색 표시 소자로서의 응용면에서 주목 받고 있는 하나가 전 계발광소자이다.Particularly, development of materials such as semiconductors and displays related to communication and computers has become a key factor in technological advancement in each field. Of the various display devices currently in use, one that is attracting attention as an application as a color display device, Device.

전계발광소자는 액정표시장치와 같은 수광 형태의 소자에 비해 응답속도가 빠르고 자체발광 형태이므로 휘도가 우수하며, 구조가 간단하여 생산이 용이하고 경량박형의 장점을 가지고 있다.The electroluminescent device is advantageous in that it has a response speed faster than that of a light receiving device such as a liquid crystal display device and is self-luminescent, and thus has excellent brightness and is simple in structure, easy to produce, and lightweight and thin.

이러한 소자를 제작하여 제품으로 출시할 시 소자의 안정성 확보는 소자 제작의 마지막 단계이면서 그 중요성이 매우 크다. 그렇지만, 유기 발광 소자의 경우 소자를 제작하여 장시간 발광시키게 되면 결함 발생과 소자 특성의 변화 등 소자가 불안정한 단점이 있다.When these devices are manufactured as a product, securing the stability of the device is the last stage of manufacturing the device and is very important. However, in the case of an organic light emitting device, when a device is manufactured and is caused to emit light for a long time, the device is unstable such as occurrence of defects and change of device characteristics.

이와 같은 소자 특성 변화와 결함의 생성을 억제하기 위해 에이징 공정이 필수적이며 에이징 공정을 통해 소자의 특성을 일정 수준에서 안정화 시키면서 결함의 추가 생성을 억제하는 것이 중요하다.In order to suppress such changes in device characteristics and generation of defects, an aging process is essential, and it is important to suppress the additional generation of defects while stabilizing the characteristics of the device at a certain level through an aging process.

상기 에이징 공정을 수행함에 있어서, 일반적으로 디스플레이 장치에 높은 전압 및 전류를 인가하게 된다.In performing the aging process, a high voltage and current are generally applied to the display device.

이 때 장시간 인가되는 전압이나 전류로 인해 디스플레이 장치, 예를 들면 전계발광소자에 많은 열이 발생하게 된다. At this time, a large amount of heat is generated in the display device, for example, the electroluminescent element, due to the voltage or current applied for a long time.

전계발광소자에 장시간 발열이 되면, 이렇게 축적된 열로 인해 전계발광소자에 손상을 일으키는 경우가 종종 발생하여 불량을 가져오게 된다.When a long time heat is generated in the electroluminescent element, the accumulated heat often causes damage to the electroluminescent element, resulting in a failure.

또한, 전계발광소자의 크기가 커질수록 이러한 발열 문제는 심각하게 나타나므로 장시간동안 에이징 공정을 할 때에 냉각에 대한 필요성이 대두되고 있다.In addition, as the size of the electroluminescent device becomes larger, such a heat generation problem becomes serious, and therefore, there is a need for cooling in aging process for a long time.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 디스플레이 장치를 에이징할 때 발생하는 열로부터 디스플레이 장치를 보호하여 공정의 효율화를 높이는 냉각용 에이징 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a cooling aging device for protecting a display device from heat generated when a display device is aged to improve the efficiency of the process.

본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.It is to be understood that the present invention is not limited to the above-mentioned technical problems and other technical objects which are not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description It will be possible.

본 발명의 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치는 디스플레이 장치에 전류 또는 전압을 인가하는 에이징 장치, 에이징 장치 상에 위치하는 제 1 냉각 스테이지 및 제 1 스테이지 내부에 위치하는 제 1 냉각 도관을 포함하며, 상기 디스플레이 장치는 상기 제 1 스테이지 상에 위치할 수 있다.The cooling aging device according to an embodiment of the present invention includes an aging device for applying current or voltage to a display device, a first cooling stage located on the aging device, and a first cooling conduit located inside the first stage, , The display device may be located on the first stage.

또한, 제 1 냉각 스테이지 상에는 제 2 냉각 도관을 포함하는 제 2 냉각 스테이지가 더 위치하며, 디스플레이 장치는 제 1 냉각 스테이지 및 제 2 냉각 스테이지 사이에 위치할 수 있다.Further, on the first cooling stage, there is further positioned a second cooling stage comprising a second cooling conduit, and the display device may be located between the first cooling stage and the second cooling stage.

또한, 제 1 냉각 도관 및 상기 제 2 냉각 도관에는 물, 이산화탄소, 프레온 또는 액체질소 중 어느 하나를 통과시킬 수 있다.In addition, either the first cooling conduit and the second cooling conduit may be passed through either water, carbon dioxide, Freon or liquid nitrogen.

또한, 제 1 냉각 스테이지 상에는 팬이 더 위치하며, 디스플레이 장치는 제 1 냉각 스테이지 및 팬 사이에 위치할 수 있다.Further, a fan is further positioned on the first cooling stage, and the display device can be located between the first cooling stage and the fan.

또한, 제 1 냉각 스테이지를 이루는 물질과 상기 제 2 냉각 스테이지를 이루는 물질은 퍼텐셜 에너지가 서로 다를 수 있다. In addition, the material of the first cooling stage and the material of the second cooling stage may have different potential energies.

또한, 제 1 냉각 스테이지는 비스무트(Bi)로 이루어지고, 제 2 냉각 스테이지는 텔루르(Te)로 이루어질 수 있다.Further, the first cooling stage may be made of bismuth (Bi), and the second cooling stage may be made of tellurium (Te).

또한, 제 2 냉각 스테이지 상에는 냉각핀이 더 위치할 수 있다.Further, on the second cooling stage, further cooling fins may be located.

본 발명의 다른 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치는 디스플레이 장치에 전류 또는 전압을 인가하는 에이징 장치, 에이징 장치 상에 위치하는 제 1 냉각 스테이지 및 제 1 냉각 스테이지 상에 위치하는 제 2 냉각 스테이지를 포함하며, 제 1 냉각 스테이지를 이루는 물질과 상기 제 2 냉각 스테이지를 이루는 물질은 퍼텐셜 에너지가 서로 다를 수 있다.A cooling aging apparatus according to another embodiment of the present invention includes an aging device for applying a current or voltage to a display device, a first cooling stage located on the aging device, and a second cooling stage located on the first cooling stage And the material constituting the first cooling stage and the material constituting the second cooling stage may have different potential energies.

또한, 제 1 냉각 스테이지는 비스무트(Bi)로 이루어지고, 제 2 냉각 스테이지는 텔루르(Te)로 이루어질 수 있다.Further, the first cooling stage may be made of bismuth (Bi), and the second cooling stage may be made of tellurium (Te).

또한, 디스플레이 장치는 전계발광소자일 수 있다.Further, the display device may be an electroluminescent device.

본 발명의 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치는 디스플레이 장치를 에이 징할 때 디스플레이 장치에서 발생하는 열을 냉각장치를 통해 낮추어 줄 수 있다. 따라서, 에이징시 더 가혹한 조건(디스플레이 장치에 흐르는 전류 또는 전압을 높이는 조건)을 제공하여 에이징 시간을 단축하고, 그에 따라 에이징되는 디스플레이 장치의 수를 높여 공정의 효율화를 이룰 수 있는 효과가 있다.The cooling aging device according to an embodiment of the present invention can lower the heat generated in the display device through the cooling device when aging the display device. Therefore, it is possible to provide more aggressive conditions (conditions for increasing the current or voltage flowing through the display device) during aging to shorten the aging time, thereby increasing the number of display devices that are aged, thereby achieving an efficient process.

후술하는 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.The details of the embodiments described below are included in the detailed description and the drawings. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a cooling aging apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 6은 본 발명의 다양한 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치(1000, 2000)를 나타낸 도이다.Figures 1-6 illustrate cooling aging devices 1000, 2000 according to various embodiments of the present invention.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 냉각용 에이징 장치(1000)는 에이징 장치(700), 제 1 도관(150)을 포함하는 제 1 냉각 스테이지(100)를 포함할 수 있다.1 and 2, the cooling aging apparatus 1000 may include an aging apparatus 700, a first cooling stage 100 including a first conduit 150,

에이징 공정이란, 각종 전자 장치 또는 기계 장치 등을 가혹한 조건하, 예를 들면 높은 전압 및 전류를 인가하거나, 매우 온도가 높거나 낮은 조건 등에서 구동 하여 조기에 불량을 유발시켜 불량품을 가려내고, 제품을 안정화시켜서 수명을 늘여주는 공정의 하나이다.The aging process is a process in which an electronic device or a mechanical device is driven under severe conditions, for example, by applying a high voltage and current or by operating in a very high or low temperature condition to cause an early failure, It is one of the processes that stabilize and extend the life span.

디스플레이 장치뿐 만 아니라, 각종 전자, 기계 장치에 관한 에이징 장치(700) 자체는 본 발명의 주된 기술적 사상이 아니므로 여기서는 에이징 장치(700)에 관한 일반적인 언급을 생략하기로 한다.Since the aging device 700 pertaining to various electronic devices and not only the display device itself is a main technical idea of the present invention, the general description about the aging device 700 will be omitted here.

본 발명의 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치(1000)는 디스플레이 장치(500)를 올려놓는 제 1 냉각 스테이지(100)와 제 1 냉각 스테이지(100) 내부에 위치하는 제 1 도관(150)을 포함할 수 있다.The cooling aging apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention includes a first cooling stage 100 on which the display device 500 is placed and a first conduit 150 located inside the first cooling stage 100 .

제 1 도관(150)의 양 끝은 매질이 들어가는 제 1 도관입구(152)와 매질이 나오는 제 1 도관출구(154)로 구성될 수 있다.Both ends of the first conduit 150 may comprise a first conduit inlet 152 for receiving the medium and a first conduit outlet 154 for discharging the medium.

여기서, 제 1 도관(150)을 따라 흐르는 매질로는 물, 이산화탄소, 프레온 또는 액체질소 중 어느 하나가 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Here, the medium flowing along the first conduit 150 may be any one of water, carbon dioxide, Freon or liquid nitrogen, but is not limited thereto.

상술한 구조를 가지는 냉각용 에이징 장치(1000) 상에 디스플레이 장치(500)를 삽입하고, 에이징 공정을 수행시 제 1 도관(150)을 통해 상술한 매질을 통과시킴으로써 디스플레이 장치에서 발생하는 열을 제거시킬 수 있다.The display device 500 is inserted on the cooling aging device 1000 having the above structure and the heat generated in the display device is removed by passing the medium through the first conduit 150 during the aging process .

따라서, 열로 인한 디스플레이 장치(500)의 손상을 방지함으로써 공정에 있어서 불량을 줄일 수 있고, 좀더 가혹한 조건하에서 에이징 공정을 수행함으로써 공정시간 및 에이징 수율을 확보할 수 있다.Therefore, it is possible to reduce the defects in the process by preventing the display device 500 from being damaged due to heat, and to perform the aging process under more severe conditions, thereby securing the process time and the aging yield.

도 3 내지 도 4를 참조하면, 냉각용 에이징 장치(1000)는 제 2 도관(250)을 포함하는 제 2 냉각 스테이지(200)를 더 포함할 수 있다. 3 through 4, the cooling aging apparatus 1000 may further include a second cooling stage 200 including a second conduit 250.

냉각용 에이징 장치(1000)의 구동시, 디스플레이 장치(500)가 올려진 제 1 냉각 스테이지(100) 상에 제 2 냉각 스테이지(200)가 더 위치하여 디스플레이 장치에서 발생하는 열을 더 효과적으로 제거할 수 있다.The second cooling stage 200 is further disposed on the first cooling stage 100 on which the display device 500 is mounted to drive the cooling aging device 1000 to more effectively remove heat generated in the display device .

여기서 제 2 도관(250)의 양 끝 또한, 매질이 들어가는 제 2 도관입구(252)와 매질이 나오는 제 2 도관출구(254)로 구성될 수 있다.Here, both ends of the second conduit 250 may be composed of a second conduit inlet 252 into which the medium enters and a second conduit outlet 254 through which the medium comes out.

제 2 도관(250)을 따라 흐르는 매질도 제 1 도관(150)의 매질과 마찬가지로 물, 이산화탄소, 프레온 또는 액체질소 중 어느 하나가 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The medium flowing along the second conduit 250 may be any of water, carbon dioxide, Freon or liquid nitrogen as well as the medium of the first conduit 150, but is not limited thereto.

여기서 제 2 도관(250)을 포함하는 제 2 냉각 스테이지(200) 대신에 그 위치에 팬(340)을 더 구성할 수 있다. 또한, 팬(340)과 제 2 냉각 스테이지(200)를 함께 구성하는 것도 볼 발명의 다른 일 실시예가 될 수 있음을 밝혀두는 바이다.Here, instead of the second cooling stage 200 including the second conduit 250, a fan 340 may be further provided at that position. It will also be appreciated that the combination of the fan 340 and the second cooling stage 200 may be another embodiment of the present invention.

팬(340)은 스테이지(100, 200)와 동일한 면적을 가지는 하나의 팬으로 구성할 수도 있으나, 여러 개의 작은 팬을 연결하여 구성할 수도 있다. 도 4는 후자를 나타내는 도면이다.The fan 340 may be constituted by one fan having the same area as the stages 100 and 200, but may also be constructed by connecting several small fans. 4 is a view showing the latter.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치(2000)는 제 1 냉각 스테이지(100) 및 제 2 냉각 스테이지(200)를 이루는 물질이 펠티에 효과를 얻을 수 있는 물질로 제조될 수 있다.5 and 6, the cooling aging apparatus 2000 according to another embodiment of the present invention may be configured such that the material constituting the first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 can obtain a Peltier effect ≪ / RTI >

펠티에 효과란, 서로 다른 금속이 두 개의 접점을 가지고 붙어있을 때 이 두 금속의 양 끝에 일정한 전압을 인가하면 전위의 이동에 의해 에너지가 이동하는 현상이다. 일반적인 금속들은 모두 일정한 에너지를 가지고 있다.The Peltier effect is a phenomenon in which energy is shifted by the movement of potential when a constant voltage is applied to both ends of two metals when two different metals are attached with two contacts. Common metals all have a constant energy.

그런데 금속마다 내장하고 있는 에너지에 조금씩 차이가 있을 수 있다. 이렇게 서로 다른 에너지량을 가진 금속을 두 개의 접점으로 연결하고 전압을 공급하면 에너지량이 높은 금속에 있는 에너지가 낮은 에너지량을 가진 금속으로 이동하게 된다. 실제로 에너지가 이동하면 에너지를 내주는 쪽의 금속은 점점 더 열을 뺏기므로 차가워지고 반대로, 에너지를 받은 금속은 뜨거워지게 된다. However, there may be a slight difference in the built-in energy of each metal. When the metal with different energy amount is connected by two contact points and the voltage is supplied, the energy in the high energy metal is transferred to the metal having the low energy amount. In fact, when energy is transferred, the energy-dissipating metal becomes hotter as it gets more and more heat, and on the contrary, the energy-receiving metal gets hotter.

요약하면, 금속이 가지고 있는 고유의 에너지량이 이동함에 따라 에너지를 내주면 차가워지고 에너지를 받으면 뜨거워지는 효과를 말한다. To summarize, the amount of energy inherent in the metal shifts its energy, giving it the effect of chilling it, and getting it as it receives energy.

상기 효과를 본 발명의 냉각용 에이징 장치(2000)에 적용하게 되면, 제 1 냉각 스테이지(100) 및 제 2 냉각 스테이지(200)를 펠티에 효과를 이루는 물질로 구성할 수 있다.When the above effect is applied to the cooling aging device 2000 of the present invention, the first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 can be made of a material having a Peltier effect.

여기서 제 1 냉각 스테이지(100)는 비스무트(Bi)로 이루어지고, 제 2 냉각 스테이지(200)는 텔루르(Te)로 이루어질 수 있다. 또한, 제 1 냉각 스테이지(100)는 비스무트(Bi)로 이루어지고, 제 2 냉각 스테이지(200)는 안티몬(Sb)로 이루어질 수 있다.Here, the first cooling stage 100 may be made of bismuth (Bi), and the second cooling stage 200 may be made of tellurium (Te). Also, the first cooling stage 100 may be made of bismuth (Bi), and the second cooling stage 200 may be made of antimony (Sb).

여기서 비스무트와 텔루르를 예로 들면, 상기 물질로 이루어지는 제 1 냉각 스테이지(100)와 제 2 냉각 스테이지(200)를 연결하고 전류를 흐르게 하면, 전류가 제 1 냉각 스테이지(100)에서 제 2 냉각 스테이지(200)로 향하는 접점에서는 온도 가 내려가고, 반대 접점에서는 온도가 올라간다.In this case, for example, when bismuth and tellurium are taken as examples, a first cooling stage 100 made of the above material and a second cooling stage 200 are connected to each other and a current is flown, so that current flows from the first cooling stage 100 to the second cooling stage 200), and the temperature at the opposite contact point rises.

또 전류를 반대로 흐르게 하면, 전류가 제 1 냉각 스테이지(100)에서 제 2 냉각 스테이지(200)로 향하는 접점에서는 온도가 올라가고, 반대 접점에서는 내려간다. When the current flows in the opposite direction, the current rises at the contact point from the first cooling stage 100 to the second cooling stage 200, and decreases at the opposite contact point.

이것은 상술한대로, 이종(異種)인 금속에서는 금속 내의 전자의 퍼텐셜에너지에 차가 있기 때문에 퍼텐셜에너지가 낮은 상태에 있는 금속으로부터 높은 상태에 있는 금속으로 전자를 운반하는 데는, 외부로부터 에너지를 얻어야 할 필요가 있으므로 접점에서 열에너지를 빼앗기고, 반대의 경우에는 열에너지가 방출되게 된다.As described above, in the case of a heterogeneous metal, there is a difference in the potential energy of electrons in the metal. Therefore, in order to transfer electrons from a metal having a low potential energy to a metal having a high potential, it is necessary to obtain energy from the outside Therefore, heat energy is taken away from the contact point, and in the opposite case, heat energy is released.

따라서, 펠티에 효과를 가져올 수 있는 제 1 냉각 스테이지(100)와 제 2 냉각 스테이지(200) 사이 혹은, 제 1 냉각 스테이지(100) 하부에 디스플레이 장치(500)를 위치시키고 에이징을 하게 되면, 제 1 냉각 스테이지(100)와 제 2 냉각 스테이지(200)는 발열되는 디스플레이 장치로부터 열을 전달받게 되고, 제 1 냉각 스테이지(100)와 제 2 냉각 스테이지(200)는 전달받은 열을 순환시키면서 어느 한 접점에서 방출시킬 수 있다.Therefore, when the display device 500 is positioned between the first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 capable of providing a Peltier effect or under the first cooling stage 100 and aging is performed, The first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 receive heat from a display device that generates heat and the first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 circulate the heat received, .

이 때 제 2 냉각 스테이지(200) 상에 냉각핀(430) 혹은 팬(340) 등을 더 위치시켜 발열 효과를 더욱 향상시킬 수 있다.At this time, the cooling fin 430 or the fan 340 may be further disposed on the second cooling stage 200 to further improve the heat generating effect.

상술한 냉각용 에이징 장치(2000)는 챔버(440) 내에 위치시킬 수 있고, 챔버(440) 내에서 에이징 공정을 수행하여, 발생하는 열은 외부로 뺄 수 있다.The cooling aging device 2000 described above can be placed in the chamber 440, and the aging process can be performed in the chamber 440, so that the generated heat can be pulled out.

제 1 냉각 스테이지(100)와 제 2 냉각 스테이지(200)는 상술한 펠티에 효과 를 이루는 물질로만 이루어져서 본 에이징 공정을 수행시킬 수도 있지만, 본 발명의 일 실시예에 따라 그 내부에 제 1 도관(150)과 제 2 도관(250)을 더 구성할 수도 있다.The first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 may be made of only the Peltier effect material to perform the aging process. However, according to an embodiment of the present invention, the first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 may include a first conduit 150 And the second conduit 250 may be further configured.

이 때 제 1 냉각 스테이지(100)와 제 2 냉각 스테이지(200) 내부에는 제 1 도관(150)과 제 2 도관(250)을 위치시켜 물, 이산화탄소, 프레온 또는 액체질소 등을 통과시킴으로써 디스플레이 장치로부터 열을 제거하는 효과를 더욱 향상시킬 수 있다.At this time, the first conduit 150 and the second conduit 250 are positioned inside the first cooling stage 100 and the second cooling stage 200 to allow water, carbon dioxide, Freon, liquid nitrogen or the like to pass from the display device The effect of removing heat can be further improved.

상술한 다양한 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치(1000, 2000)는 열로 인한 디스플레이 장치의 손상을 방지함으로써 공정에 있어서 불량을 줄일 수 있고, 좀더 가혹한 조건하에서 에이징 공정을 수행함으로써 공정시간 및 에이징 수율을 확보할 수 있다.The cooling aging apparatuses 1000 and 2000 according to the various embodiments described above can reduce the defects in the process by preventing damage to the display device due to heat and perform the aging process under more severe conditions to improve the process time and the aging yield .

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함 되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art. will be. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, the scope of the invention being indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.

도 1 내지 도 6은 본 발명의 다양한 일 실시예에 따른 냉각용 에이징 장치를 나타낸 도이다.Figures 1 to 6 illustrate cooling aging devices according to various embodiments of the present invention.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS (S)

100 : 제 1 스테이지100: first stage

150 : 제 1 도관150: first conduit

700 : 에이징 장치700: aging device

Claims (10)

디스플레이 장치에 전류 또는 전압을 인가하는 에이징 장치;An aging device for applying a current or voltage to the display device; 상기 에이징 장치 상에 위치하는 제 1 냉각 스테이지; A first cooling stage located on the aging device; 상기 제 1 냉각 스테이지 내부에 위치하는 제 1 도관; 및A first conduit located within the first cooling stage; And 상기 제 1 냉각 스테이지 상에 위치하며, 상기 제 1 냉각 스테이지를 이루는 물질과 퍼텐셜 에너지가 다른 물질로 이루어지면 내부에는 제 2 도관을 포함하는 제 2 냉각 스테이지;를 구비하되,And a second cooling stage located on the first cooling stage and including a second conduit therein if the material of the first cooling stage is made of a material having a different potential energy from that of the first cooling stage, 상기 제 1 냉각 스테이지는 비스무트(Bi)로 이루어지고, 상기 제 2 냉각 스테이지는 텔루르(Te)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 냉각용 에이징 장치.Wherein the first cooling stage is made of bismuth (Bi), and the second cooling stage is made of tellurium (Te). 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제 1 도관 및 상기 제 2 도관은 물, 이산화탄소, 프레온 또는 액체질소 중 어느 하나를 통과시키는 것을 특징으로 하는 냉각용 에이징 장치.Wherein the first conduit and the second conduit pass either water, carbon dioxide, Freon or liquid nitrogen. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제 1 냉각 스테이지 상에는 팬이 더 위치하며, 상기 디스플레이 장치는 상기 제 1 냉각 스테이지 및 상기 팬 사이에 위치할 수 있는 것을 특징으로 하는 냉각용 에이징 장치.Wherein a further fan is located on the first cooling stage and the display device can be positioned between the first cooling stage and the fan. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제 2 냉각 스테이지 상에는 냉각핀 또는 팬이 더 위치하는 것을 특징으로 하는 냉각용 에이징 장치.Further comprising a cooling fin or fan on said second cooling stage. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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