KR101407234B1 - Liquid specimen holder of electron microscope and electron microscope using thereof - Google Patents

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KR101407234B1
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송치홍
현재경
전상미
유동주
박종필
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Abstract

The present invention relates to a liquid specimen holder of an electron microscope and an electron microscope using the same. According to the present invention, to solve problems of an existing electron microscope, for examples, the inconvenience of solidification and crystallization of a corresponding sample in a vacuum to monitor the liquid sample, the difficulty of monitoring the real image of the liquid sample in a liquid state due to the deformation of the sample, and the preparation of each sample according to a new condition whenever an experimental condition is changed, provided are the liquid sample holder of the electron microscope which protects a sample from vacuum and monitors the sample in a liquid state in real time and replaces a different experiment solution and injects an experiment solution such as culture fluid when the sample is mounted, thereby continuously monitoring the sample, and the electron microscope using the same.

Description

전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템{Liquid specimen holder of electron microscope and electron microscope using thereof} TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a specimen holder for liquid specimens of an electron microscope and an electron microscope system using the specimen holder.

본 발명은 전자현미경(electron microscope)에 관한 것으로, 전자현미경 내에 액체상 시편을 장착하기 위한 전자현미경의 시편고정장치(sample holder)에 관한 것이다.
The present invention relates to an electron microscope, and relates to a sample holder of an electron microscope for mounting a liquid specimen in an electron microscope.

또한, 본 발명은, 시편에 주입되는 실험 용액의 주입, 제거 및 변경을 위해 시편을 다시 장착할 필요 없이 전자현미경 내에 장착된 상태에서 시편에 서로 다른 시료 용액을 각각 주입 및 교체 가능하도록 구성한 전자현미경의 액체상 시편고정장치에 관한 것이다.
In addition, the present invention provides an electron microscope (SEM) which is capable of injecting and replacing different sample solutions into a specimen in a state of being mounted in an electron microscope without the need to re-mount the specimen for injection, removal and modification of the experimental solution to be injected into the specimen To a liquid sample holder.

아울러, 본 발명은, 상기한 바와 같이 전자현미경 내에 장착된 상태에서 시편에 서로 다른 시료 용액을 각각 주입 및 교체 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 이용하여, 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성한 전자현미경 시스템 및 이를 이용한 시편의 관찰방법에 관한 것이다.
In addition, the present invention can continuously observe specimens by using a liquid specimen fixing device of an electron microscope configured to inject and replace different sample solutions into specimens while being mounted in an electron microscope as described above And a method for observing a specimen using the electron microscope system.

종래, 물리학, 화학, 공학, 생물학, 의학 등 각 분야에서 연구 등의 목적으로 여러 가지 현미경이 사용되고 있다.
Conventionally, various microscopes have been used for research purposes in various fields such as physics, chemistry, engineering, biology, and medicine.

더 상세하게는, 그 사용환경 및 목적에 따라, 현미경은, 광학현미경과 전자현미경으로 나누어진다.
More specifically, the microscope is divided into an optical microscope and an electron microscope, depending on the environment and purpose of use.

여기서, 광학현미경은 가시광선을 이용하여 시료를 관찰하도록 구성되고, 일반적으로 관찰 배율이 3천배 정도이나, 최근에는 1만배 정도까지 관찰이 가능한 동초점현미경(Confocal Microscope)이 출시된 바 있다.
Here, an optical microscope is configured to observe a sample using visible light, and a confocal microscope capable of observing up to 10,000 times in recent years has been introduced.

또한, 전자현미경은, 광학현미경과는 달리 가시광선 영역이 아닌 전자(전자선)를 주사하여 확대하는 현미경을 의미하며, 최대 10만배 정도까지 관찰이 가능하여 광학 현미경에 비해 더욱 미세한 분야에 적용 가능하다.
Unlike an optical microscope, an electron microscope refers to a microscope that scans an electron (electron beam) rather than a visible light region and scans up to 100,000 times, which is applicable to a finer field than an optical microscope .

아울러, 이러한 전자현미경은, 크게 나누어, 투과전자현미경(transmission elecrton microscope, TEM)과 주사전자현미경(scanning elecrton microscope, SEM)으로 나누어지며, 먼저, 투과전자현미경(TEM)은, 대상 시료에 전자선을 투과시켜 전자선이 대상 시료를 통과해서 나온 이미지를 확대하여 관찰하는 현미경이고, 주사전자현미경(SEM)은, 대상 시료에 전자선을 주사하여 시료에서 반사되어 나온 전자에 의해 얻어지는 이미지를 관찰하는 현미경으로서, 최근의 전자현미경들은 0.2Å 이하의 크기까지도 관찰이 가능한 것으로 알려져 있다.
The electron microscope is roughly divided into a transmission electron microscope (TEM) and a scanning electron microscope (SEM). First, a transmission electron microscope (TEM) And a scanning electron microscope (SEM) is a microscope for observing an image obtained by electrons reflected from a sample by scanning an object with an electron beam. The scanning electron microscope (SEM) Recent electron microscopes are known to be capable of observing sizes up to 0.2 Å.

더 상세하게는, 전자현미경은 광학현미경과 달리 가시광선 대신에 전자 빔을 이용하는데, 전자는 공기를 통과하지 못하므로, 전자현미경의 내부는 진공상태이어야 하며, 또한, 광학현미경에서는 각 렌즈들의 초점거리가 일정하고 대물렌즈와 표본 사이의 거리가 변화하는데 비하여, 전자현미경은 렌즈 자체의 초점거리가 변화하고 표본과 대물렌즈 및 렌즈 사이의 거리는 일정하다.
More specifically, an electron microscope uses an electron beam instead of a visible light, unlike an optical microscope. Since electrons can not pass through air, the inside of the electron microscope must be in a vacuum state. Further, in an optical microscope, As the distance is constant and the distance between the objective lens and the specimen changes, the electron microscope changes the focal length of the lens itself and the distance between the specimen and the objective lens is constant.

또한, 상기한 바와 같은 전자현미경에 대한 종래기술의 예로서는, 예를 들면, 한국 등록특허 제10-1197617호(2012.10.30.)에 제시된 바와 같은 "증강 현실을 이용한 전자현미경 시스템"이 있다.
As an example of the prior art for the electron microscope as described above, there is an "electron microscope system using an augmented reality" as disclosed in Korean Patent No. 10-1197617 (Oct. 30, 2012).

더 상세하게는, 상기한 등록특허 제10-1197617호의 증강 현실을 이용한 전자현미경 시스템은, 전자현미경을 이용하여 생성한 관찰이미지를 이용하여 시료 식별 정보를 인식하고, 인식된 시료 식별정보에 대응하여 관찰 이미지와 시료 정보를 연계하여 증강 현실 영상으로 제공함으로써, 숙련자가 아닌 사람도 전자현미경을 쉽게 사용할 수 있으며 교육의 흥미를 유발할 수 있는 증강 현실을 이용한 전자현미경 시스템에 관한 것이다.
More particularly, the electron microscope system using the Augmented Reality of the above-mentioned Japanese Patent No. 10-1197617 recognizes the sample identification information using the observation image generated using the electron microscope, The present invention relates to an electron microscope system using an augmented reality capable of easily using an electron microscope and inducing an interest in education by providing an augmented reality image in connection with an observation image and sample information.

이를 위해, 상기한 등록특허 제10-1197617호는, 관찰하고자 하는 표준 시료에 전자빔을 조사하고 표준 시료의 표면에서 방출되거나 표준 시료를 투과한 전자 신호를 획득하는 전자현미경, 전자현미경을 통한 전자 신호 획득을 위한 사용자 조작 신호가 입력되는 사용자 인터페이스, 전자현미경을 통해 검출된 전자 신호를 이용하여 관찰 이미지를 생성하고, 표준시료 내에서 설정된 복수 개의 지점에 대응되는 시료정보를 생성하며, 관찰 이미지 내에 설정된 지점이 위치하는 경우 관찰 이미지에 생성된 시료정보가 부가된 증강현실 이미지를 생성하는 마이컴 및 마이컴을 통해 생성된 증강 현실 영상을 화면에 표시하는 디스플레이장치를 포함하는 증강 현실을 이용한 전자현미경 시스템을 제시하고 있다.
To this end, the above-mentioned Japanese Patent Registration No. 10-1197617 discloses an electron microscope which irradiates a standard sample to be observed with an electron beam and obtains an electronic signal emitted from the surface of a standard sample or transmitted through a standard sample, A user interface for inputting a user operation signal for acquisition, an observation image is generated using an electronic signal detected through an electron microscope, sample information corresponding to a plurality of points set in a standard sample is generated, An electron microscope system using an augmented reality including an augmented reality image including a generated augmented reality image on an observation image when a point is located and a display device displaying an augmented reality image generated through a micom on a screen .

따라서 상기한 바와 같은 등록특허 제10-1197617호의 구성에 따르면, 관찰 시료에 관한 설명을 증강 현실 형태로 보여줌에 따라 관찰 시료에 대한 전문적인 지식이 없어도 시료에 대한 전문지식을 얻을 수 있는 이점이 있으나, 상기한 등록특허 제10-1197617호는 전자현미경 자체의 기능이나 문제점을 개선하기 위한 기술내용은 아니었다.
Therefore, according to the structure of the above-mentioned Japanese Patent No. 10-1197617, since the description of the observation sample is shown in the form of an augmented reality, there is an advantage that the expert knowledge of the sample can be obtained even without expert knowledge of the observation sample , The above-mentioned Japanese Patent Registration No. 10-1197617 is not a technical content for improving the functions or problems of the electron microscope itself.

또한, 전자현미경에 대한 종래기술의 다른 예로서, 예를 들면, 국제 공개특허 WO 2001/75929호(2001.10.11.)에 제시된 바와 같은 "주사 전자현미경"이 있다.
In addition, as another example of the prior art for an electron microscope, there is a "scanning electron microscope ", for example, as disclosed in WO 2001/75929 (October 11, 2001).

더 상세하게는, 상기한 국제 공개특허 WO 2001/75929호의 주사 전자현미경은, 메쉬 형상의 전극에 충돌하여 소멸되는 2차 전자 및/또는 반사전자를 적극적으로 활용하기 위한 에너지필터를 구비한 주사 전자현미경에 관한 것이다.
More specifically, the scanning electron microscope of International Publication No. WO 2001/75929 discloses a scanning electron microscope having an energy filter for positively utilizing secondary electrons and / or reflecting electrons colliding with a mesh-shaped electrode and disappearing. It is about the microscope.

이를 위해, 상기한 국제 공개특허 WO 2001/75929호에 따르면, 1차 전자선의 시료에의 조사에 기인하여 얻어지는 전자를 에너지 필터링하는 전계를 형성하기 위한 다공전극과, 이 다공전극을 통과한 전자를 검출하는 제 1 전자 검출기를 구비한 주사 전자현미경에 있어서, 다공전극보다 시료 측에 배치되는 다공형상의 구조체와, 이 다공형상의 구조체보다 시료측에 1차 전자선의 축 밖을 향하여 전자를 편향하는 편향기 및 이 편향기에 의하여 편향되는 전자를 검출하는 제 2 전자 검출기를 구비한 것을 특징으로 하는 주사 전자현미경이 제공된다.
To this end, according to the above-mentioned International Publication No. WO 2001/75929, a porous electrode for forming an electric field for energy-filtering an electron resulting from irradiation of a sample of a primary electron beam, and an electron passing through the porous electrode A scanning electron microscope having a first electron detector for detecting electrons is provided. The scanning electron microscope comprises a porous structure disposed on the sample side with respect to the porous electrode and an electron beam deflecting electrode toward the outside of the axis of the primary electron beam on the sample side There is provided a scanning electron microscope comprising a deflector and a second electron detector for detecting electrons deflected by the deflector.

상기한 바와 같이, 종래 여러 가지 형태의 전자현미경들이 제시된 바 있으나, 이러한 종래의 전자현미경들에는 다음과 같은 문제점이 있는 것이었다.
As described above, various types of electron microscopes have been proposed. However, the conventional electron microscopes have the following problems.

구체적으로는, 광학현미경은 관찰시 시료의 특별한 처리가 불필요한 반면, 전자현미경은, 상기한 바와 같이 진공상태로 관찰이 이루어져야 함으로 인해, 액체상의 시료는 반드시 고체화 또는 결정화시키는 특별한 처리가 필요한 데 더하여, 시료를 현미경 내에 위치시키기 위한 전용의 시편고정장치가 필요하고, 더욱이, 시편고정장치에 시료를 장착하기 위해 적절한 크기의 시편으로 만들어야 되는 등, 관찰에 준비시간이 많이 소요된다는 단점이 있다.
Specifically, since an optical microscope requires no special treatment of the sample at the time of observation, the electron microscope is required to perform a special treatment for solidifying or crystallizing the sample in the liquid phase because the observation must be made in a vacuum state as described above, There is a disadvantage in that a dedicated specimen fixing device for positioning the specimen in the microscope is required and furthermore, it is necessary to prepare specimens of appropriate size for mounting the specimen on the specimen fixing device.

또한, 전자현미경으로 시료를 관찰하기 위해서는, 상기한 바와 같이 시료가 진공상태에 놓이므로 액체상의 시료를 관찰할 수 없다는 문제가 있으며, 따라서 액체상의 시료를 관찰하기 위해서는 해당 시료를 반드시 고체화, 결정화시켜야 하는데, 그 과정에서 관찰하고자 하는 시료는 본래의 모습을 유지하지 못하고 변형이 일어나며, 그로 인해, 전자현미경에 의해 실제로 관찰되는 상은 본래의 시료의 모습이 아닌 변형된 모습을 관찰하게 된다는 문제가 있었다.
In order to observe a sample with an electron microscope, there is a problem that a sample in a liquid phase can not be observed because the sample is in a vacuum state as described above. Therefore, in order to observe a sample in a liquid phase, the sample must be solidified and crystallized However, there is a problem in that the sample to be observed in the process does not maintain its original shape and is deformed, so that the image actually observed by the electron microscope observe a deformed shape rather than the original sample.

특히, 생물시료는 70% 이상이 수분으로 구성되어 있으므로, 상기한 바와 같은 시료 준비과정에서 시료의 변형을 피할 수 없으며, 이에 더하여, 액체상의 시료를 관찰할 수 없으므로 실시간으로 변화되는 물질이나 세포의 움직임을 관찰할 수가 없다는 문제가 있었다.
In particular, since more than 70% of the biological sample is composed of water, the sample can not be deformed during the preparation of the sample as described above. In addition, since the liquid sample can not be observed, There was a problem that the movement could not be observed.

따라서 이러한 문제를 해결하기 위하여는, 진공으로부터 시료를 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 시료를 관찰할 수 있도록 구성되는 시편고정장치를 제공하는 것이 요구된다.
Therefore, in order to solve such a problem, it is required to provide a specimen fixing apparatus configured to protect a specimen from a vacuum and to observe a specimen in a liquid state in real time.

그러나, 종래의 전자현미경들은, 시편을 장착하기 위한 시편고정장치가 단순히 시료를 고정하는 역할만을 하도록 구성되어, 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 현미경에 장착한 후 진공상태에서 정지된 상태의 시편을 관찰하는 것만 가능한 점에서 한계가 있고, 더욱이, 일단 시료를 장착한 후에 실험 조건이 변경되면, 그때마다 다시 새로운 조건에 해당하는 시료를 준비하고 시편고정장치를 분리하여 새로운 시료로 교체한 후, 다시 전자현미경에 시편고정장치를 장착하여 관찰을 계속해야 한다는 번거로움이 있었다.
However, in conventional electron microscopes, a specimen fixing device for mounting a specimen is merely configured to fix a specimen only. The specimen is placed in a specimen fixing device, the specimen fixing device is mounted on a microscope, In addition, once the test conditions are changed after mounting the sample, the sample corresponding to the new condition is prepared every time, and the sample fixing device is separated and replaced with a new sample Thereafter, it was troublesome to observe the specimen by attaching the specimen fixing device to the electron microscope again.

더 상세하게는, 예를 들면, 시편에 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하거나, 또는, 기존과 다른 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하는 등의 작업을 수행하는 경우, 종래의 전자현미경에서는, 연속적인 과정임에도 불구하고 각각의 관찰시점마다 시편을 일일이 교체해 가면서 관찰해야만 한다는 단점이 있었다.
More specifically, for example, when an operation such as observing a changed state by injecting a culture liquid into a specimen, or observing a changed state by injecting a different culture liquid from the existing one is performed, in the conventional electron microscope, It is necessary to observe the Psalter while changing the Psalter at each observation point.

따라서 상기한 바와 같은 종래의 전자현미경을 이용한 관찰방법의 문제점을 해결하기 위해서는, 진공으로부터 시료를 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 시료를 관찰할 수 있도록 구성되는 동시에, 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 전자현미경에 장착한 후에도 시편고정장치를 분리하여 시편을 교체할 필요 없이 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체가 가능하도록 구성되는 새로운 구조를 가지는 전자현미경의 시편고정장치 및 그러한 시편고정장치를 구비하는 전자현미경 시스템을 제공하는 것이 바람직하나, 아직까지 그러한 요구를 모두 만족시키는 장치나 방법은 제공되지 못하고 있는 실정이다.
Therefore, in order to solve the problems of the conventional observation method using the electron microscope, it is necessary to protect the sample from the vacuum and to be able to observe the sample in a liquid state in real time while positioning the sample in the sample fixing device, A specimen fixing device of an electron microscope having a new structure configured to be able to inject a test solution such as a culture liquid or replace it with another test solution without having to remove the specimen fixing device even after mounting the fixing device on the electron microscope It is desirable to provide an electron microscope system having such a sample fixation device, but an apparatus or a method that satisfies all such requirements is not yet provided.

[선행기술문헌] [Prior Art Literature]

1. 한국 등록특허공보 제10-1197617호(2012.10.30.) 1. Korean Patent Registration No. 10-1197617 (Oct. 30, 2012)

2. 국제 공개특허공보 WO 2001/75929호(2001.10.11.) 2. International Patent Publication No. WO 2001/75929 (Oct. 11, 2001)

3. 국제 공개특허공보 WO 2003/107065(2003.12.25.) 3. International Patent Publication No. WO 2003/107065 (December 25, 2003)

4. 한국 공개특허공보 제10-2012-0024436호(2012.03.14.)
4. Korean Patent Laid-Open No. 10-2012-0024436 (March 14, 2012)

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로, 따라서 본 발명의 목적은, 액체상의 시료를 관찰하기 위해서는 진공상태로 해당 시료를 고체화, 결정화시켜야 하는 번거로움이 있는데 더하여, 그러한 시료의 준비과정에서 시료에 변형이 발생하여 결과적으로 액체상의 시료를 본래의 모습 그대로 관찰할 수 없게 되는 문제가 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결하여, 진공으로부터 시료를 보호하는 동시에, 액체상태 그대로 실시간으로 시료를 관찰할 수 있도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the problems of the prior art as described above, and it is therefore an object of the present invention to provide a method and apparatus for measuring a liquid sample, It is impossible to observe the liquid sample in its original state as a result of the deformation of the sample in the preparation process of the sample. As a result, it is possible to solve the problems of the conventional electron microscopes and to protect the sample from the vacuum, A liquid specimen fixing apparatus for an electron microscope and an electron microscope system using the same.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 시편을 장착하기 위한 시편고정장치가 단순히 시료를 고정하는 역할만을 하도록 구성되어 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 현미경에 장착한 후 진공상태에서 정지된 상태의 시편을 관찰하는 것만 가능하고, 일단 시료를 장착한 후에 실험 조건이 변경되면, 그때마다 다시 새로운 조건에 해당하는 시료를 준비하고 시편고정장치를 분리하여 새로운 시료로 교체한 후, 다시 전자현미경에 시편고정장치를 장착하여 관찰을 계속해야 한다는 번거로움이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결하여, 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 전자현미경에 장착한 후에도 시편고정장치를 분리하여 시편을 교체할 필요 없이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체가 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a specimen fixing apparatus for mounting a specimen, which is configured to simply fix a specimen, placing the specimen in a specimen holder, attaching the specimen holder to a microscope, Once the specimen has been mounted and the experimental conditions changed, the specimen corresponding to the new condition is prepared, the specimen fixing device is separated, replaced with a new specimen, The present inventors have solved the problem of conventional electron microscopes which had the disadvantage of having to continue observing by attaching a specimen fixing device to the specimen fixing device and then placing the specimen in the specimen fixing device and removing the specimen fixing device even after mounting the specimen fixing device to the electron microscope Inject the same experimental solution as the culture medium without attaching the specimen to the electron microscope Liquid specimen in an electron microscope is configured so that it can be replaced by fixed devices, and other experimental solution intended to provide an electron microscope system using the same.

아울러, 본 발명의 또 다른 목적은, 시편에 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하거나, 또는, 기존과 다른 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하는 등의 작업을 수행하는 경우, 연속적인 과정임에도 불구하고 각각의 관찰시점마다 시편을 일일이 교체해 가면서 관찰해야만 한다는 단점이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결하여, 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능하도록 구성되어, 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
It is a further object of the present invention to provide a method and an apparatus for measuring a state of a living body by observing a changed state by injecting a culture liquid into a specimen or observing a changed state by injecting a different culture liquid, The present inventors have solved the problems of conventional electron microscopes which had the disadvantage that they had to be observed while changing the specimens one by one at each observation time and injected a test solution such as a culture liquid in a state where the specimen was mounted on an electron microscope A liquid specimen fixing apparatus for an electron microscope configured to enable continuous observation of a specimen so as to be able to be replaced with another test solution, and an electron microscope system using the same.

더욱이, 본 발명의 또 다른 목적은, 상기한 바와 같이 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능한 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템을 이용하여, 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 시편의 관찰방법을 제공하고자 하는 것이다.
It is still another object of the present invention to provide a liquid sample of an electron microscope capable of injecting a test solution such as a culture solution or replacing it with another test solution in a state in which a specimen is mounted on an electron microscope, And to provide a method of observing a specimen which is configured to enable continuous observation of the specimen using the specimen fixing apparatus and the electron microscope system using the same.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따르면, 진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있도록 구성되는 동시에, 전자현미경에 상기 시편을 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치에 있어서, 시편이 위치되는 시편장착부; 상기 시편장착부를 상기 전자현미경 내의 관찰위치에 위치시키기 위해 일단측이 상기 시편장착부에 연결되어 속이 빈 긴 원통형으로 형성되는 로드부; 상기 시편고정장치를 상기 전자현미경 본체에 결합하기 위해 상기 로드부의 타단에 형성되는 결합부; 상기 로드부의 내부를 통하여 상기 시편장착부와 연결되는 조절손잡이를 포함하여 상기 시편장착부의 위치를 조절 가능하도록 구성되는 위치조절부; 상기 로드부의 내부를 통하여 상기 시편장착부와 연결되어 상기 시편장착부에 실험용액을 주입 또는 제거하기 위한 주입노즐; 및 상기 주입노즐의 주입을 조절하기 위한 주입조절부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치가 제공된다.
In order to achieve the above object, according to the present invention, it is possible to protect a specimen from a vacuum and to observe the specimen in a liquid state in real time while observing the specimen in an electron microscope, A liquid sample holder for an electron microscope, comprising: a specimen mounting part on which a specimen is placed; A rod portion having one end connected to the specimen mounting portion and formed into a hollow long cylindrical shape for positioning the specimen mounting portion at an observation position in the electron microscope; A coupling portion formed at the other end of the rod portion for coupling the specimen fixing device to the electron microscope main body; A position adjuster configured to adjust a position of the specimen mounting part including an adjusting knob connected to the specimen mounting part through the inside of the rod part; An injection nozzle connected to the specimen mounting part through the inside of the rod part to inject or remove an experimental solution into the specimen mounting part; And an injection adjusting unit for adjusting the injection of the injection nozzle. The apparatus for fixing a liquid specimen of an electron microscope is provided.

여기서, 상기 결합부는, 상기 전자현미경 본체에 결합하기 위해 상기 결합부의 일측에 형성되어 있는 결합돌기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Here, the coupling unit may include coupling protrusions formed at one side of the coupling unit for coupling to the electron microscope main body.

또한, 상기 위치조절부는, 상기 조절손잡이를 회전시키는 것에 의해 상기 시편장착부가 전후로 이동 가능하도록 구성되어 상기 시편고정장치가 상기 전자현미경에 결합된 상태에서도 상기 시편장착부의 위치를 조절 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
The position adjusting unit is configured to be movable back and forth by rotating the adjusting knob so that the position of the specimen mounting unit can be adjusted in a state where the specimen fixing apparatus is coupled to the electron microscope .

아울러, 상기 위치조절부는, 상기 시편장착부의 위치조절 및 확인을 용이하게 하게 위해 표면에 형성되어 있는 눈금을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the position adjusting unit may further include a scale formed on the surface to facilitate adjustment and confirmation of the position of the specimen mounting unit.

더욱이, 상기 주입노즐은, 제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Further, the injection nozzle may include two injection nozzles including a first injection nozzle and a second injection nozzle.

또는, 상기 주입노즐은, 적어도 2개 이상의 복수의 주입노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Alternatively, the injection nozzle includes at least two or more injection nozzles.

또한, 상기 주입조절부는, 각각의 상기 주입노즐의 주입을 조절하기 위해 각각의 상기 주입노즐에 설치되는 조절나사를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
The injection control unit may include an adjusting screw installed in each of the injection nozzles to control the injection of each of the injection nozzles.

아울러, 상기 시편장착부는, 시편이 장착되는 시편장착홈; 상기 시편장착홈에 장착된 상기 시편에 실험용액의 주입(injection) 또는 흡입(suction)을 위해 상기 주입노즐과 연결되는 노즐홈; 및 상기 시편을 고정하기 위한 커버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the specimen mounting portion includes a specimen mounting groove on which the specimen is mounted; A nozzle groove connected to the injection nozzle for injecting or sucking a test solution into the specimen mounted on the specimen mounting groove; And a cover for fixing the specimen.

더욱이, 상기 시편장착부는, 상기 실험용액이 상기 시편을 통과할 수 있도록 상기 시편장착홈과 상기 노즐홈이 서로 연결되도록 형성됨으로써, 상기 시편장착부에 상기 시편을 장착하고 상기 시편고정장치를 상기 전자현미경에 결합한 후에도 상기 주입노즐을 통하여 상기 시편장착부에 장착된 시편에 실험용액을 주입(injection)하는 작업 및 주입된 실험용액을 흡입(suction)하여 제거하는 작업이 모두 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
Further, the specimen mounting part is formed such that the specimen mounting groove and the nozzle groove are connected to each other so that the test solution can pass through the specimen, thereby mounting the specimen to the specimen mounting part, And injecting the experimental solution into the specimen mounted on the specimen mounting part through the injection nozzle and suctioning the injected experimental solution by suction.

또한, 상기 시편고정장치는, 제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 적어도 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되며, 상기 제 1 주입노즐을 통하여 제 1 실험용액을 상기 시편에 주입하고, 상기 제 2 주입노즐을 통하여 상기 제 1 실험용액과 다른 제 2 실험용액을 상기 시편에 동시에 주입함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
The specimen fixing apparatus may include at least two injection nozzles including a first injection nozzle and a second injection nozzle, injecting a first experimental solution into the specimen through the first injection nozzle, And the second test solution different from the first test solution is simultaneously injected into the specimen through the second injection nozzle so that the change of the specimen can be observed without replacing the specimen.

아울러, 상기 시편고정장치는, 제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 적어도 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되며, 상기 제 1 주입노즐을 통하여 제 1 실험용액을 주입한 후, 상기 제 2 주입노즐을 통하여 상기 제 1 실험용액과 다른 제 2 실험용액을 주입하여 상기 제 1 실험용액을 상기 제 2 실험용액으로 교체함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the specimen fixing apparatus may include at least two injection nozzles including a first injection nozzle and a second injection nozzle. After injecting the first experimental solution through the first injection nozzle, The second test solution different from the first test solution is injected through the injection nozzle to replace the first test solution with the second test solution so that the change of the test piece can be observed without changing the test piece .

더욱이, 상기 시편고정장치는, 상기 주입노즐을 통해 흡입을 행하여 상기 시편에 주입된 실험용액을 제거함으로써 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the specimen fixing device is configured to observe a change of the specimen without removing the specimen by removing the test solution injected into the specimen by suction through the injection nozzle.

또한, 상기 시편고정장치는, 상기 주입노즐을 통하여 실험용액을 미리 정해진 일정한 양만큼 반복적으로 주입하는 것에 의해 상기 시편에 주입되는 상기 실험용액의 농도를 조절함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the specimen fixing apparatus may be configured to adjust the concentration of the test solution injected into the specimen by repetitively injecting the test solution through a predetermined predetermined amount through the injection nozzle, And the change of the light intensity is observed.

아울러, 본 발명에 따르면, 전자현미경 본체와, 상기 본체에 시편을 장착하기 위한 시편고정장치 및 상기 시편고정장치가 장착되는 장착부를 포함하여 구성되는 전자현미경 시스템에 있어서, 상기 시편고정장치는, 상기에 기재된 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 이용하여 구성됨으로써, 진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있도록 구성되는 동시에, 상기 시편고정장치를 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경 시스템이 제공된다.
According to another aspect of the present invention, there is provided an electron microscope system including an electron microscope main body, a specimen fixing apparatus for mounting a specimen to the main body, and a mounting portion to which the specimen fixing apparatus is mounted, Is configured so as to be able to observe the specimen in real time in a liquid state while protecting the specimen from a vacuum by using the specimen fixing device of the electron microscope described in the above The electron microscope system is configured to be capable of continuous observation while changing the position of the electron microscope.

더욱이, 본 발명에 따르면, 전자현미경을 이용하여 시편의 관찰을 수행하는 시편의 관찰방법에 있어서, 상기에 기재된 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 전자현미경에 장착하여 시편에 대한 관찰을 수행함으로써, 진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있는 동시에, 상기 시편고정장치를 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 시편의 관찰방법이 제공된다.
Further, according to the present invention, there is provided a method of observing a specimen using an electron microscope, comprising observing a specimen by mounting the specimen fixation device for an electron microscope in an electron microscope, The specimen can be observed in real time in a liquid state while being protected from the specimen, and the specimen can be continuously observed while changing the state of the specimen with the specimen fixing apparatus mounted thereon. Observation methods are provided.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 진공으로부터 시료를 보호하는 동시에, 액체상태 그대로 실시간으로 시료를 관찰할 수 있도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템이 제공됨으로써, 액체상의 시료를 관찰하기 위해서는 진공상태로 해당 시료를 고체화, 결정화시켜야 하는 번거로움이 있는데 더하여, 그러한 시료의 준비과정에서 시료에 변형이 발생하여 결과적으로 액체상의 시료를 본래의 모습 그대로 관찰할 수 없게 되는 문제가 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결할 수 있다.
As described above, according to the present invention, there is provided an apparatus for fixing a liquid specimen of an electron microscope and an electron microscope system using the same, wherein the specimen can be observed in real time as it is in a liquid state while protecting the specimen from vacuum In order to observe a sample of a liquid phase, there is a need to solidify and crystallize the sample in a vacuum state. In addition, since the sample is deformed during the preparation of such a sample, the liquid sample is observed as it is It is possible to solve the problem of the conventional electron microscopes.

또한, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 전자현미경에 장착한 후에도 시편을 교체할 필요 없이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체가 가능하도록 구성되는 전자현미경의 시편고정장치가 제공됨으로써, 시편을 장착하기 위한 시편고정장치가 단순히 시료를 고정하는 역할만을 하도록 구성되어 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 현미경에 장착한 후 진공상태에서 정지된 상태의 시편을 관찰하는 것만 가능하고, 일단 시료를 장착한 후에 실험 조건이 변경되면, 그때마다 다시 새로운 조건에 해당하는 시료를 준비하고 시편고정장치를 분리하여 새로운 시료로 교체한 후, 다시 전자현미경에 시편고정장치를 장착하여 관찰을 계속해야 하는 번거로움이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결할 수 있다.
According to the present invention, there is provided an electron microscope which is configured to be capable of injecting an experimental solution such as a culture liquid or replacing it with another test solution in a state of being mounted on an electron microscope without having to replace the specimen even after mounting in an electron microscope, The specimen fixing device for mounting the specimen is simply configured to fix the specimen, so that the specimen is placed on the specimen fixing device, the specimen fixing device is mounted on the microscope, and then the specimen is stopped in the vacuum state Once the specimens have been mounted and the experimental conditions changed, the specimens corresponding to the new conditions are prepared, the sample fixture is separated, replaced with new specimens, In the case of a conventional electronic stringer It can solve the problems of the environment.

아울러, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능하도록 구성되어 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 시편고정장치가 제공됨으로써, 시편에 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하거나, 또는, 기존과 다른 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하는 등의 작업을 수행하는 경우, 연속적인 과정임에도 불구하고 각각의 관찰시점마다 시편을 일일이 교체해 가면서 관찰해야만 한다는 단점이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결할 수 있다.
In addition, according to the present invention, it is possible to inject a test solution such as a culture solution or replace it with another test solution in a state where the test piece is mounted on an electron microscope without changing the test piece as described above, In the case of performing the operation such as observing the changed state by injecting the culture liquid into the specimen or observing the changed state by injecting the culture liquid different from the existing one by providing the specimen fixing apparatus of the electron microscope configured to be able to observe, It is possible to solve the problems of the conventional electron microscopes which are disadvantageous in that they have to be observed while changing the specimen one by one at each observation point in spite of the continuous process.

더욱이, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 이용하여, 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경 시스템 및 이를 이용한 시편의 관찰방법을 제공할 수 있다.
Further, according to the present invention, it is possible to inject a test solution such as a culture liquid or replace it with another test solution in a state where the test piece is mounted on an electron microscope without changing the test piece as described above, It is possible to provide an electron microscope system configured to enable continuous observation of a specimen using the specimen fixing apparatus and a method of observing the specimen using the same.

도 1은 전자현미경의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타낸 전자현미경의 본체에 시편고정장치가 결합된 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치의 단면도이다.
도 5는 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치의 위치조절부를 통하여 시편장착부의 위치를 조절하는 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치의 시편장착부의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 1 is a view schematically showing the overall configuration of an electron microscope.
FIG. 2 is a view schematically showing a specimen fixing device coupled to a main body of the electron microscope shown in FIG. 1. FIG.
3 is a view schematically showing the overall configuration of a liquid specimen-holding apparatus for an electron microscope according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a liquid specimen-holding apparatus of an electron microscope according to an embodiment of the present invention shown in Fig.
FIG. 5 is a view schematically showing a specific configuration for adjusting the position of a specimen mounting part through a position adjusting part of a liquid specimen fixing device of an electron microscope according to an embodiment of the present invention shown in FIG.
FIG. 6 is a view schematically showing a specific configuration of a specimen mounting portion of a specimen fixing device for an apparatus for fixing a specimen of an electronic microscope according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3;

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, specific embodiments of a liquid specimen fixing apparatus for an electron microscope and an electron microscope system using the same will be described.

여기서, 이하에 설명하는 내용은 본 발명을 실시하기 위한 하나의 실시예일 뿐이며, 본 발명은 이하에 설명하는 실시예의 내용으로만 한정되는 것은 아니라는 사실에 유념해야 한다.
Hereinafter, it is to be noted that the following description is only an embodiment for carrying out the present invention, and the present invention is not limited to the contents of the embodiments described below.

또한, 이하의 본 발명의 실시예에 대한 설명에 있어서, 종래기술의 내용과 동일 또는 유사하거나 당업자의 수준에서 용이하게 이해하고 실시할 수 있다고 판단되는 부분에 대하여는, 설명을 간략히 하기 위해 그 상세한 설명을 생략하였음에 유념해야 한다.
In the following description of the embodiments of the present invention, parts that are the same as or similar to those of the prior art, or which can be easily understood and practiced by a person skilled in the art, It is important to bear in mind that we omit.

즉, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 액체상의 시료를 관찰하기 위해서는 진공상태로 해당 시료를 고체화, 결정화시켜야 하는 번거로움이 있는데 더하여, 그러한 시료의 준비과정에서 시료에 변형이 발생하여 결과적으로 액체상의 시료를 본래의 모습 그대로 관찰할 수 없게 되는 문제가 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결하여, 진공으로부터 시료를 보호하는 동시에, 액체상태 그대로 실시간으로 시료를 관찰할 수 있도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템에 관한 것이다.
That is, in order to observe a sample of a liquid phase as described later, the present invention has a problem in that it is difficult to solidify and crystallize the sample in a vacuum state, and furthermore, deformation occurs in the sample during the preparation of such a sample, The present invention solves the problems of the conventional electron microscopes which can not observe the sample of the electron microscope in the original state and protects the sample from the vacuum, And to an electron microscope system using the same.

또한, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 시편을 장착하기 위한 시편고정장치가 단순히 시료를 고정하는 역할만을 하도록 구성되어 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 현미경에 장착한 후 진공상태에서 정지된 상태의 시편을 관찰하는 것만 가능하고, 일단 시료를 장착한 후에 실험 조건이 변경되면, 그때마다 다시 새로운 조건에 해당하는 시료를 준비하고 시편고정장치를 분리하여 새로운 시료로 교체한 후, 다시 전자현미경에 시편고정장치를 장착하여 관찰을 계속해야 한다는 번거로움이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결하여, 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 전자현미경에 장착한 후에도 시편고정장치를 분리하여 시편을 교체할 필요 없이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체가 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템에 관한 것이다.
Further, as described later, the present invention is configured such that a specimen fixing apparatus for mounting a specimen is merely configured to fix a specimen simply by placing the specimen in a specimen fixing apparatus, attaching the specimen fixing apparatus to a microscope, It is only possible to observe the specimen in the stopped state. Once the specimen is mounted and the experimental condition is changed, the specimen corresponding to the new condition is prepared again each time, the specimen fixation device is separated and replaced with a new specimen, The problem of conventional electron microscopes, which had the disadvantage of having to continue observing by attaching a specimen fixing device to an electron microscope, was solved. After the specimen was placed in the specimen holder and the specimen holder was attached to the electron microscope, the specimen holder It is not necessary to replace the specimens to separate them. Mouth or relates to an electron microscope specimen liquid retainer and an electron microscope system using the same in which the configuration so that it can be replaced with a different test solution.

아울러, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 시편에 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하거나, 또는, 기존과 다른 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하는 등의 작업을 수행하는 경우, 연속적인 과정임에도 불구하고 각각의 관찰시점마다 시편을 일일이 교체해 가면서 관찰해야만 한다는 단점이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결하여, 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능하도록 구성되어, 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템에 관한 것이다.
In addition, the present invention can be applied to a case where, as described later, when an operation such as observing a changed state by injecting a culture liquid into a specimen, or observing a changed state by injecting a different culture liquid is carried out, The present invention solves the problems of the conventional electron microscopes, which are disadvantageous in that they have to be observed while changing the specimen one by one at each observation point, so that the specimen is mounted on the electron microscope and the same experimental solution as the culture solution is injected Or other experimental solution so as to enable continuous observation of the specimen, and to an electron microscope system using the same.

더욱이, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능한 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템을 이용하여, 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 시편의 관찰방법에 관한 것이다.
Furthermore, the present invention provides a liquid sample holding device for an electron microscope capable of injecting an experimental solution such as a culture liquid or replacing it with another test solution in a state in which a sample is mounted on an electron microscope without having to individually replace the sample, And a method of observing a specimen constituted to enable continuous observation of a specimen using an electron microscope system using the same.

계속해서, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
Next, with reference to the accompanying drawings, a specific example of the liquid specimen-fixing apparatus for an electron microscope according to the present invention and an electron microscope system using the same will be described.

먼저, 도 1을 참조하면, 도 1은 전자현미경의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
First, referring to FIG. 1, FIG. 1 is a diagram schematically showing an overall configuration of an electron microscope.

또한, 도 2를 참조하면, 도 2는 도 1에 나타낸 전자현미경의 본체에 시편을 장착하기 위한 시편고정장치가 결합된 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.
Referring to FIG. 2, FIG. 2 is a view schematically showing a state where a specimen fixing device for mounting a specimen to the body of the electron microscope shown in FIG. 1 is combined.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 전자현미경(10)은, 크게 나누어, 전자현미경 본체(11)와, 본체(11)에 시편을 장착하기 위한 시편고정장치(21)가 장착되는 장착부(12)를 포함하여 구성되어 있다.
As shown in Figs. 1 and 2, the electron microscope 10 is roughly divided into an electron microscope body 11, a mounting portion 12 (Fig. 1) in which a specimen fixing device 21 for mounting a specimen to the main body 11 is mounted, ).

즉, 종래의 전자현미경들은, 일반적으로, 상기한 종래기술에 대한 설명에서 설명한 바와 같이, 액체상의 시료를 관찰하기 위해서는 진공상태로 해당 시료를 고체화, 결정화시켜야 하는 번거로움이 있는데 더하여, 그러한 시료의 준비과정에서 시료에 변형이 발생하여 결과적으로 액체상의 시료를 본래의 모습 그대로 관찰할 수 없게 되는 문제점이 있을 뿐만 아니라, 시편을 장착하기 위한 시편고정장치(21)가 단순히 시료를 고정하는 역할만을 하도록 구성되어, 시편고정장치(21)를 장착한 후 배양액의 환경을 변화시켜 가면서 변화된 환경에 대한 변화를 연속적으로 관찰하는 등의 작업은 불가능한 단점이 있었다.
That is, in the conventional electron microscopes, as described in the above description of the prior art, it is troublesome to solidify and crystallize the sample in a vacuum state in order to observe the sample in the liquid phase. In addition, There is a problem that the specimen is deformed in the preparation process and consequently the specimen of the liquid phase can not be observed as it is, and the specimen fixing device 21 for mounting the specimen only plays a role of fixing the specimen There is a disadvantage that it is impossible to continuously observe a change in the changed environment while changing the environment of the culture solution after mounting the sample fixing device 21.

이에 본 발명자들은, 이러한 불편함을 해소하기 위해, 후술하는 바와 같이 하여 액체상의 시편을 본래의 모습 그대로 관찰이 가능한 동시에, 시편고정장치를 전자현미경 본체에 장착한 상태에서도 시편의 환경을 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능한 새로운 구조의 시편고정장치를 고안하였다.
In order to solve the inconvenience, the inventors of the present invention have made it possible to observe the specimen of the liquid phase as it is, as described later, while changing the environment of the specimen in a state where the specimen fixing apparatus is mounted on the electron microscope main body A specimen fixture with a new structure capable of continuous observation was devised.

계속해서, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치의 구체적인 구성에 대하여 상세히 설명한다.
Next, with reference to FIG. 3 and FIG. 4, a specific configuration of the specimen fixing device for an electron microscope according to the embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 도 3을 참조하면, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
3 is a view schematically showing the overall configuration of a specimen fixing apparatus 30 for an electron microscope according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 4를 참조하면, 도 4는 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)의 단면도이다.
4, FIG. 4 is a sectional view of the liquid specimen holder 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention shown in FIG.

즉, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)는, 시편이 위치되는 시편장착부(31), 시편장착부(31)를 전자현미경 본체 내의 관찰위치에 위치시키기 위해 일단측이 시편장착부(31)에 연결되어 속이 빈 긴 원통형으로 형성되는 로드부(32), 전자현미경 본체에 결합하기 위한 결합돌기가 형성되어 로드부(32)의 타단에 연결되는 결합부(33), 상기 로드부(32)의 내부를 통하여 시편장착부(31)와 연결되어 조절손잡이를 돌리는 것에 의해 상기 시편장착부(31)의 위치를 전후로 조절 가능하도록 구성되는 위치조절부(34), 상기 로드부(32)의 내부를 통하여 시편장착부(31)와 연결되어 시편장착부(31)에 배양액 등의 실험용액을 주입 또는 제거하기 위한 주입노즐(35, 36) 및 주입노즐(35, 36)의 주입을 조절하기 위한 조절나사 등으로 구성되는 주입조절부(37, 38)를 포함하여 구성되어 있다.
3 and 4, the specimen fixing device 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention includes a specimen mounting portion 31 on which a specimen is placed, a specimen mounting portion 31, A rod portion 32 whose one end is connected to the specimen mounting portion 31 and is formed into an elongated hollow cylindrical shape to be positioned at an observation position in the rod portion 32, A position adjusting unit configured to adjust the position of the specimen mounting unit 31 by adjusting the position of the specimen mounting unit 31 by rotating the adjustment knob while being connected to the specimen mounting unit 31 through the inside of the rod unit 32, And an injection nozzle 35 and 36 for injecting or removing a test solution such as a culture liquid and the like are connected to the specimen mounting part 31 through the inside of the rod part 32, (35, 36) It is configured, including the injection control unit (37, 38) consisting of a yarn or the like.

여기서, 결합부(33)에는, 전자현미경 본체에 결합하기 위한 결합돌기(39)가 형성되어 있으며, 또한, 위치조절부(34)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 시편장착부(31)의 위치조절 및 확인이 용이하도록 그 표면에 눈금을 형성하여 구성될 수 있다.
3, an engaging projection 39 for engaging with the main body of the electron microscope is formed in the engaging portion 33. The position adjusting portion 34 is provided at the position of the specimen attaching portion 31 And may be formed by forming a scale on its surface to facilitate adjustment and confirmation.

즉, 도 5를 참조하면, 도 5는 도 3 및 도 4에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)의 위치조절부(34)를 통하여 시편장착부(31)의 위치를 조절하는 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
5 is a sectional view of the specimen mounting part 31 through the position adjusting part 34 of the liquid specimen fixing device 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3 and FIG. Fig. 2 is a diagram schematically showing a specific configuration for adjusting a position.

따라서 도 5a 및 도 5b에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)에 따르면, 시편고정장치(30)가 전자현미경에 결합된 상태에서 위치조절부(34)의 조절손잡이를 돌려서 시편장착부(31)의 위치를 조절 가능하다.
5A and 5B, according to the liquid specimen-holding apparatus 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention, the position of the specimen fixing apparatus 30 in the state of being coupled to the electron microscope 34 So that the position of the specimen mounting part 31 can be adjusted.

아울러, 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)에 따르면, 종래와 같이 단순히 시편장착부(31)에 시편을 장착한 후 시편고정장치(30)를 전자현미경에 결합하여 관찰하는 작업뿐만 아니라, 주입노즐(35)을 통하여 시편장착부(31)에 장착된 시편에 배양액과 같은 실험용액을 주입(injection)할 수 있고, 또한, 주입된 용액을 흡입(suction)하여 제거할 수도 있다.
According to the liquid-phase specimen-fixing device 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention, after the specimen is simply mounted on the specimen-mounting portion 31 as in the prior art, the specimen-fixing device 30 is coupled to the electron microscope A test solution such as a culture liquid can be injected into the specimen mounted on the specimen mounting part 31 through the injection nozzle 35 and the injected solution can be suctioned and removed have.

더 상세하게는, 도 6을 참조하면, 도 6은 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)의 시편장착부(31)의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
More specifically, referring to FIG. 6, FIG. 6 is a view schematically showing a specific configuration of the specimen mounting portion 31 of the liquid specimen fixing device 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3 .

즉, 도 6에 나타낸 바와 같이, 시편장착부(31)는, 시편이 장착되는 시편장착홈(61)과, 시편장착홈(61)에 장착된 시편에 실험용액의 주입(injection) 및 흡입(suction)을 위해 주입노즐(35)과 연결되는 노즐홈(62) 및 시편을 고정하기 위한 커버(63)를 포함하여 구성되어 있다.
6, the specimen mounting section 31 includes a specimen mounting groove 61 in which a specimen is mounted and a specimen mounting groove 61 in which a test solution is injected and sucked A nozzle groove 62 connected to the injection nozzle 35 and a cover 63 for fixing the specimen.

여기서, 시편장착홈(61)과 노즐홈(62)은, 도 6에 나타낸 바와 같이, 실험용액이 통과할 수 있도록 서로 연결되어 있으며, 따라서 상기한 바와 같이 구성되는 시편장착부(31)의 구성에 의해, 시편장착홈(61)에 시편을 위치시키고 커버(63)를 결합한 후에도, 노즐홈(62) 및 주입노즐(35)을 통해 실험용액의 주입 및 흡입이 가능해진다.
6, the test piece mounting groove 61 and the nozzle groove 62 are connected to each other so that the test solution can pass therethrough. Therefore, the configuration of the test piece mounting portion 31 configured as described above The test solution can be injected and sucked through the nozzle groove 62 and the injection nozzle 35 even after the specimen is placed in the specimen mounting groove 61 and the cover 63 is engaged.

따라서 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)의 구성에 의해, 예를 들면, 시편에 주입노즐(35)을 통하여 실험용액 A를 주입하고, 다른 주입노즐(36)을 통하여는 실험용액 B를 동시에 주입하여 시편의 변화를 관찰하는 것이 가능해진다.
Therefore, according to the configuration of the liquid specimen holder 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention as described above, for example, the test solution A is injected into the specimen through the injection nozzle 35, It is possible to simultaneously inject the test solution B through the test tube 36 and observe the change of the test piece.

또한, 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)의 구성에 따르면, 주입노즐(35)을 통하여 실험용액 A를 주입한 후 다른 주입노즐(36)을 통하여 실험용액 B를 주입하여 실험용액 A를 실험용액 B로 교체하거나, 주입노즐을 통해 흡입을 행함으로써 주입된 용액을 제거하는 등의 작업도 시편고정장치를 분리하거나 시편을 교체할 필요 없이 용이하게 수행될 수 있다.
In addition, according to the configuration of the liquid specimen holder 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention as described above, the test solution A is injected through the injection nozzle 35 and then injected through another injection nozzle 36 The operation such as replacing the test solution A with the test solution B by injecting the test solution B, or removing the injected solution by sucking through the injection nozzle can be easily performed without removing the specimen fixing device or replacing the specimen .

아울러, 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치(30)의 구성에 따르면, 주입노즐을 통하여 조금씩 실험용액을 주입하는 것에 의해 실험용액의 농도를 조절하는 것도 용이하게 수행 가능한 등, 전자현미경을 이용하는 여러 가지의 관찰실험에 다양하게 적용하여 빈번한 시편 교체의 번거로움을 해소할 수 있다.
In addition, according to the configuration of the liquid specimen-holding apparatus 30 of the electron microscope according to the embodiment of the present invention as described above, it is easy to adjust the concentration of the test solution by injecting the test solution little by little through the injection nozzle It is possible to solve various troubles of frequent sample replacement by variously applying it to various observation experiments using an electron microscope.

따라서 상기한 바와 같이 하여 본 발명에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 구현할 수 있으며, 그것에 의해, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 전자현미경에 장착하여 관찰을 행함으로써, 전자현미경을 통하여, 예를 들면, 아세포(Subcellular) 물질이나 세포내 나노물질과 같이, 미세한 생체시료의 구조적 변화를 실시간 영상으로 확인 가능하게 된다.
Therefore, it is possible to implement the liquid specimen fixing apparatus of the electron microscope according to the present invention as described above, whereby the liquid specimen fixing apparatus of the electron microscope according to the embodiment of the present invention configured as described above is mounted on the electron microscope It is possible to confirm the structural change of the microscopic biological sample such as a subcellular substance or an intracellular nanomaterial through a real-time image through an electron microscope.

즉, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 진공으로부터 시료를 보호하는 동시에, 액체상태 그대로 실시간으로 시료를 관찰할 수 있도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템이 제공됨으로써, 액체상의 시료를 관찰하기 위해서는 진공상태로 해당 시료를 고체화, 결정화시켜야 하는 번거로움이 있는데 더하여, 그러한 시료의 준비과정에서 시료에 변형이 발생하여 결과적으로 액체상의 시료를 본래의 모습 그대로 관찰할 수 없게 되는 문제가 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결할 수 있다.
That is, according to the present invention, there is provided an apparatus for fixing a liquid specimen of an electron microscope and an electron microscope system using the same, which is configured to protect a specimen from a vacuum and to observe a specimen in a liquid state in real time as described above, It is troublesome to solidify and crystallize the sample in a vacuum state in order to observe the sample. In addition, since the sample is deformed during the preparation of the sample, the sample of the liquid phase can not be observed as it is It is possible to solve the problems of conventional electron microscopes which have problems.

또한, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 전자현미경에 장착한 후에도 시편을 교체할 필요 없이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체가 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템이 제공됨으로써, 시편을 장착하기 위한 시편고정장치가 단순히 시료를 고정하는 역할만을 하도록 구성되어 시편을 시편고정장치에 위치시키고 시편고정장치를 현미경에 장착한 후 진공상태에서 정지된 상태의 시편을 관찰하는 것만 가능하고, 일단 시료를 장착한 후에 실험 조건이 변경되면, 그때마다 다시 새로운 조건에 해당하는 시료를 준비하고 시편고정장치를 분리하여 새로운 시료로 교체한 후, 다시 전자현미경에 시편고정장치를 장착하여 관찰을 계속해야 하는 번거로움이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결할 수 있다.
According to the present invention, there is provided an electron microscope which is configured to be capable of injecting an experimental solution such as a culture liquid or replacing it with another test solution in a state of being mounted on an electron microscope without having to replace the specimen even after mounting in an electron microscope, A specimen fixing apparatus for mounting a specimen is configured to merely fix a specimen and a specimen is placed in a specimen fixing apparatus and a specimen fixing apparatus is mounted on a microscope It is only possible to observe the specimen in a state where it is stopped in the vacuum state. Once the specimen is mounted and the experimental condition is changed, the specimen corresponding to the new condition is prepared each time and the specimen fixing apparatus is separated and replaced with a new specimen After that, the specimen fixture is attached to the electron microscope again and observation is continued Which can solve the problems of the conventional electron microscope was a hassle.

아울러, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능하도록 구성되어 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템이 제공됨으로써, 시편에 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하거나, 또는, 기존과 다른 배양액을 주입하여 변화된 상태를 관찰하는 등의 작업을 수행하는 경우, 연속적인 과정임에도 불구하고 각각의 관찰시점마다 시편을 일일이 교체해 가면서 관찰해야만 한다는 단점이 있었던 종래의 전자현미경들의 문제점을 해결할 수 있다.
In addition, according to the present invention, it is possible to inject a test solution such as a culture solution or replace it with another test solution in a state where the test piece is mounted on an electron microscope without changing the test piece as described above, The present invention provides a liquid specimen fixing apparatus for an electron microscope and an electron microscope system using the specimen fixation apparatus. The liquid specimen fixing apparatus and the electron microscope system make it possible to observe a changed state by injecting a culture fluid into a specimen, It is possible to solve the problems of the conventional electron microscopes which are disadvantageous in that they must be observed while changing the specimen one by one at each observation point in spite of the continuous process.

더욱이, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 시편을 일일이 교체할 필요 없이 시편이 전자현미경에 장착된 상태에서 배양액과 같은 실험용액을 주입하거나 다른 실험용액으로 교체하는 것이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템을 이용하여, 시편의 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 시편의 관찰방법을 제공할 수 있다.
Further, according to the present invention, it is possible to inject a test solution such as a culture liquid or replace it with another test solution in a state where the test piece is mounted on an electron microscope without changing the test piece as described above, It is possible to provide a method for observing a specimen configured to enable continuous observation of the specimen using the specimen fixing apparatus and the electron microscope system using the specimen fixing apparatus.

이상, 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예를 통하여 본 발명에 따른 전자현미경의 액체상 시편고정장치 및 이를 이용한 전자현미경 시스템과 시편의 관찰방법의 상세한 내용에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 기재된 내용으로만 한정되는 것은 아니며, 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 설계상의 필요 및 기타 다양한 요인에 따라 여러 가지 수정, 변경, 결합 및 대체 등이 가능한 것임은 당연한 일이라 하겠다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments and that various modifications, alterations, combinations, and substitutions may be made by those skilled in the art, It is a matter of course.

10. 전자현미경 11. 전자현미경 본체
12. 장착부 21. 시편고정장치
30. 액체상 시편고정장치 31. 시편장착부
32. 로드부 33. 결합부
34. 위치조절부 35. 주입노즐
36. 주입노즐 37. 주입조절부
38. 주입조절부 61. 시편장착홈
62. 노즐홈 63. 커버 10. Electron microscope 11. Electron microscope body
12. Mounting part 21. Specimen holder
30. Liquid specimen holder 31. Specimen holder
32. Rod section 33. Coupling section
34. Positioning part 35. Injection nozzle
36. Injection nozzle 37. Injection control section
38. Injection control section 61. Specimen mounting groove
62. Nozzle groove 63. Cover

Claims (15)

진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있도록 구성되는 동시에, 전자현미경에 상기 시편을 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치에 있어서,
시편이 위치되는 시편장착부;
상기 시편장착부를 상기 전자현미경 내의 관찰위치에 위치시키기 위해 일단측이 상기 시편장착부에 연결되어 속이 빈 긴 원통형으로 형성되는 로드부;
상기 시편고정장치를 상기 전자현미경 본체에 결합하기 위해 상기 로드부의 타단에 형성되는 결합부;
상기 로드부의 내부를 통하여 상기 시편장착부와 연결되는 조절손잡이를 포함하여 상기 시편장착부의 위치를 조절 가능하도록 구성되는 위치조절부;
상기 로드부의 내부를 통하여 상기 시편장착부와 연결되어 상기 시편장착부에 실험용액을 주입 또는 제거하기 위한 주입노즐; 및
상기 주입노즐의 주입을 조절하기 위한 주입조절부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
And an electron microscope configured to be capable of observing the specimen in a liquid state in real time while protecting the specimen from a vacuum and capable of continuously observing the specimen while changing the state of the specimen even when the specimen is mounted on an electron microscope Wherein the liquid sample holder comprises:
A specimen mounting part on which the specimen is placed;
A rod portion having one end connected to the specimen mounting portion and formed into a hollow long cylindrical shape for positioning the specimen mounting portion at an observation position in the electron microscope;
A coupling portion formed at the other end of the rod portion for coupling the specimen fixing device to the electron microscope main body;
A position adjuster configured to adjust a position of the specimen mounting part including an adjusting knob connected to the specimen mounting part through the inside of the rod part;
An injection nozzle connected to the specimen mounting part through the inside of the rod part to inject or remove an experimental solution into the specimen mounting part; And
And an injection adjusting unit for adjusting the injection of the injection nozzle.
제 1항에 있어서,
상기 결합부는,
상기 전자현미경 본체에 결합하기 위해 상기 결합부의 일측에 형성되어 있는 결합돌기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
The method according to claim 1,
The coupling portion
And an engaging protrusion formed on one side of the engaging portion for engaging with the main body of the electron microscope.
제 1항에 있어서,
상기 위치조절부는,
상기 조절손잡이를 회전시키는 것에 의해 상기 시편장착부가 전후로 이동 가능하도록 구성되어 상기 시편고정장치가 상기 전자현미경에 결합된 상태에서도 상기 시편장착부의 위치를 조절 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the position adjusting unit comprises:
Wherein the specimen mounting part is configured to be movable back and forth by rotating the adjustment knob so that the position of the specimen mounting part can be adjusted even when the specimen fixing device is coupled to the electron microscope. Specimen holders.
제 3항에 있어서,
상기 위치조절부는,
상기 시편장착부의 위치조절 및 확인을 용이하게 하게 위해 표면에 형성되어 있는 눈금을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
The method of claim 3,
Wherein the position adjusting unit comprises:
Further comprising a scale formed on a surface of the specimen mounting part to facilitate adjustment and confirmation of the position of the specimen mounting part.
제 1항에 있어서,
상기 주입노즐은,
제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the injection nozzle comprises:
Wherein the injection nozzle comprises two injection nozzles including a first injection nozzle and a second injection nozzle.
제 1항에 있어서,
상기 주입노즐은,
적어도 2개 이상의 복수의 주입노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the injection nozzle comprises:
Wherein the liquid sample holder comprises at least two or more injection nozzles.
제 6항에 있어서,
상기 주입조절부는,
각각의 상기 주입노즐의 주입을 조절하기 위해 각각의 상기 주입노즐에 설치되는 조절나사를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
The method according to claim 6,
Wherein the injection regulator comprises:
And an adjusting screw installed in each of the injection nozzles to control injection of each of the injection nozzles.
제 1항에 있어서,
상기 시편장착부는,
시편이 장착되는 시편장착홈;
상기 시편장착홈에 장착된 상기 시편에 실험용액의 주입(injection) 또는 흡입(suction)을 위해 상기 주입노즐과 연결되는 노즐홈; 및
상기 시편을 고정하기 위한 커버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
The method according to claim 1,
The sample-
A specimen mounting groove on which the specimen is mounted;
A nozzle groove connected to the injection nozzle for injecting or sucking a test solution into the specimen mounted on the specimen mounting groove; And
And a cover for fixing the specimen. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제 8항에 있어서,
상기 시편장착부는,
상기 실험용액이 상기 시편을 통과할 수 있도록 상기 시편장착홈과 상기 노즐홈이 서로 연결되도록 형성됨으로써,
상기 시편장착부에 상기 시편을 장착하고 상기 시편고정장치를 상기 전자현미경에 결합한 후에도 상기 주입노즐을 통하여 상기 시편장착부에 장착된 시편에 실험용액을 주입(injection)하는 작업 및 주입된 실험용액을 흡입(suction)하여 제거하는 작업이 모두 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
9. The method of claim 8,
The sample-
The test sample mounting groove and the nozzle groove are formed to be connected to each other so that the test solution can pass through the specimen,
The injection of the test solution into the specimen mounted on the specimen mounting part through the injection nozzle after the specimen is mounted on the specimen mounting part and the specimen fixing device is coupled to the electron microscope, suction of the liquid sample is carried out.
제 9항에 있어서,
상기 시편고정장치는,
제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 적어도 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되며,
상기 제 1 주입노즐을 통하여 제 1 실험용액을 상기 시편에 주입하고, 상기 제 2 주입노즐을 통하여 상기 제 1 실험용액과 다른 제 2 실험용액을 상기 시편에 동시에 주입함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
10. The method of claim 9,
The sample holding device includes:
At least two injection nozzles including a first injection nozzle and a second injection nozzle,
The first test solution is injected into the specimen through the first injection nozzle and the second test solution different from the first test solution is simultaneously injected into the specimen through the second injection nozzle so that the specimen needs to be replaced And the change of the specimen is observed without observing the change of the specimen.
제 9항에 있어서,
상기 시편고정장치는,
제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 적어도 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되며,
상기 제 1 주입노즐을 통하여 제 1 실험용액을 주입한 후, 상기 제 2 주입노즐을 통하여 상기 제 1 실험용액과 다른 제 2 실험용액을 주입하여 상기 제 1 실험용액을 상기 제 2 실험용액으로 교체함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
10. The method of claim 9,
The sample holding device includes:
At least two injection nozzles including a first injection nozzle and a second injection nozzle,
Injecting a first test solution through the first injection nozzle and injecting a second test solution different from the first test solution through the second injection nozzle to replace the first test solution with the second test solution Whereby the change of the specimen can be observed without the need to replace the specimen.
제 9항에 있어서,
상기 시편고정장치는,
상기 주입노즐을 통해 흡입을 행하여 상기 시편에 주입된 실험용액을 제거함으로써 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
10. The method of claim 9,
The sample holding device includes:
Wherein the specimen is inspected through the injection nozzle to remove the test solution injected into the specimen, thereby observing the change of the specimen without having to replace the specimen.
제 9항에 있어서,
상기 시편고정장치는,
상기 주입노즐을 통하여 실험용액을 미리 정해진 일정한 양만큼 반복적으로 주입하는 것에 의해 상기 시편에 주입되는 상기 실험용액의 농도를 조절함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치.
10. The method of claim 9,
The sample holding device includes:
The concentration of the test solution injected into the test piece is adjusted by repeatedly injecting the test solution through the injection nozzle by a predetermined amount so as to observe the change of the test piece without having to replace the test piece And the liquid sample holder is fixed to the liquid sample holder.
전자현미경 본체와, 상기 본체에 시편을 장착하기 위한 시편고정장치 및 상기 시편고정장치가 장착되는 장착부를 포함하여 구성되는 전자현미경 시스템에 있어서,
상기 시편고정장치는,
청구항 1항 내지 13항 중 어느 한 항에 기재된 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 이용하여 구성됨으로써,
진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있도록 구성되는 동시에, 상기 시편고정장치를 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경 시스템.
An electron microscope system comprising an electron microscope main body, a specimen fixing device for mounting a specimen to the main body, and a mounting part for mounting the specimen fixing device,
The sample holding device includes:
By using the liquid specimen fixing apparatus of the electron microscope according to any one of claims 1 to 13,
And is configured to be capable of observing the specimen in a liquid state in real time while protecting the specimen from a vacuum. Also, the specimen can be continuously observed while changing the state of the specimen while the specimen fixing apparatus is mounted Electron microscope system.
전자현미경을 이용하여 시편의 관찰을 수행하는 시편의 관찰방법에 있어서,
청구항 1항 내지 13항 중 어느 한 항에 기재된 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 전자현미경에 장착하여 시편에 대한 관찰을 수행함으로써,
진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있는 동시에, 상기 시편고정장치를 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 시편의 관찰방법.
A method for observing a specimen using an electron microscope,
By observing the specimen by mounting the specimen fixation device of the electron microscope according to any one of claims 1 to 13 on an electron microscope,
The specimen is protected from the vacuum and the specimen can be observed in real time as it is in a liquid state and the specimen can be observed continuously while the state of the specimen is changed even with the specimen fixing apparatus mounted thereon. .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000251819A (en) 1999-03-04 2000-09-14 Hitachi Ltd Sample cooling holder
JP2005530195A (en) 2002-06-17 2005-10-06 ザイベックス コーポレーション Manipulation system for microscopic observation sample manipulation

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