KR101405787B1 - 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법 - Google Patents

3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101405787B1
KR101405787B1 KR1020120108039A KR20120108039A KR101405787B1 KR 101405787 B1 KR101405787 B1 KR 101405787B1 KR 1020120108039 A KR1020120108039 A KR 1020120108039A KR 20120108039 A KR20120108039 A KR 20120108039A KR 101405787 B1 KR101405787 B1 KR 101405787B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
thin film
film layer
flexible
central structure
transport channel
Prior art date
Application number
KR1020120108039A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140041092A (ko
Inventor
박우현
류현렬
변재환
전누리
Original Assignee
서울대학교산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 서울대학교산학협력단 filed Critical 서울대학교산학협력단
Priority to KR1020120108039A priority Critical patent/KR101405787B1/ko
Publication of KR20140041092A publication Critical patent/KR20140041092A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101405787B1 publication Critical patent/KR101405787B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/08—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor using a stream of discrete samples flowing along a tube system, e.g. flow injection analysis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/15—Medicinal preparations ; Physical properties thereof, e.g. dissolubility
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/00029—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor provided with flat sample substrates, e.g. slides
    • G01N2035/00099—Characterised by type of test elements
    • G01N2035/00158—Elements containing microarrays, i.e. "biochip"

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Pharmacology & Pharmacy (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 플렉시블한 재질의 제1박막필름층; 상기 제1박막 필름층에 침선가공된 중심구조체; 및 상기 중심구조체에 적층된 제2박막필름층; 을 포함하는 3차원 복합 플렉시블 미세 유체 이송채널에 관한 것이다.
또한 본 발명은 (a) 평면상에 형성된 유체이송관을 갖는 중심구조체를 플렉시블한 재질의 제1박막필름층에 침선가공하는 단계; 및 (b) 상기 제1박막필름층을 플렉시블한 재질의 제2박막필름층에 적층공정으로 패키징하는 단계; 를 포함하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법에 관한 것이다.

Description

3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법{A 3-dimensional microfluidic channel having combined flexibility and the method for manufacturing the same.}
본 발명은 시료간의 혼합을 효율적으로 제어할 수 있고 원하는 시료의 비율에 따라 단시간에 혼합이 가능한 약물 스크리닝 또는 현장검사 등에 활용 가능한 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 유체공급원(소스)과 유체공급(싱크)대상(타겟)이 서로 떨어져 있는 경우, 이들을 연결하여 타겟에 유체를 이송하기 위한 이송채널이 필요하다. 타겟의 스케일이 마이크로 또는 나노 단위의 매우 미세한 경우에도 그에 대응되는 미세 채널 구조가 필요하며, 이에 대한 연구가 다양하게 시도되고 있다.
예를 들어, 유체공급원과 타겟 사이의 장애물 등에 의해 일반적인 도관 구조가 적용되기 힘든 경우, 변형 가능한 재질의 플렉시블 미세채널 구조나 3차원 복합구조가 적용 가능하다. 이러한 3차원 복합플렉시블 미세채널 구조는 삽입형 신경 보철에 필요한 약물 공급 채널, 그 밖의 생체의용기구 등에 폭넓게 응용될 수 있다.
최근 플렉시블 박막 필름을 이용하여 플렉시블 미세 채널 구조를 구현하기 위해 다양한 방법들이 시도되고 있다. 그러나, 플렉시블 박막 필름은 그 자체로서 구조적인 안정성이 떨어질 뿐만 아니라 그 형태 및 기능을 장기간 유지하는데 많은 어려움이 있다. 특히, 플렉시블 박막 필름에 외력이 가해질 경우, 미세 채널 구조가 변형되거나 그 기능을 상실하여 기계적 안정성이 매우 떨어지는바 많은 기술적 개선이 요구되고 있다.
또한 유체 이송용 플렉시블 필름에 관한 기술(대한민국 특허등록번호 제 10-1098423호)이 제안된 바 있다. 그러나 이는 구조적 불안정성에 기인하여 미세조정이 필요한 3차원 복합성 미세 유체소자의 형성에 불리하며, 이는 제조할 수 있는 채널의 집적도에 방법론적 한계가 있다.
KR 10-1098423(등록번호)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 박막필름층 사이에 3차원 복합성 미세 유체 이송채널을 탑재하는 방법을 제시한다.
본 발명은 플렉시블한 재질의 제1박막필름층; 상기 제1박막 필름층에 침선가공된 중심구조체; 및 상기 중심구조체에 적층된 제2박막필름층; 을 포함하는 3차원 복합 플렉시블 미세 유체 이송채널을 제공한다.
또한 본 발명은 (a) 평면상에 형성된 유체이송관을 갖는 중심구조체를 플렉시블한 재질의 제1박막필름층에 침선가공하는 단계; 및 (b) 상기 제1박막필름층을 플렉시블한 재질의 제2박막필름층에 적층공정으로 패키징하는 단계; 를 포함하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법을 제공한다.
본 발명에 의하면, 중심구조체의 침선가공 및 배치에 의하여 최소한의 패키징층(packaging layer)을 이용하여 3차원 미세유체소자를 형성할 수 있고, 필름 적층 공정 시 동시에 다양한 중심 구조체 배열의 배치가 가능하므로 대량생산이 가능하다.
또한 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널은 약물 전달을 위한 장기 이식형 보철기구, 미세유체소자 기반의 Multi-plex 시료 혼합소자 또는 미세유체소자 기반의 High-throughput Point-of-care chip 제작의 중심공정 등에 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 침선가공공정을 이용한 3차원 복합성 플렉시블 미세유체소자 제작공정의 개념도이다.
도 2는 3차원 복합성 채널 제작방식을 이용한 고효율 진단소자의 개념도이다.
본 발명은 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널에 관한 것으로서, 플렉시블한 재질의 제1박막필름층; 상기 제1박막 필름층에 침선가공된 중심구조체; 및 상기 중심구조체에 적층된 제2박막필름층; 을 포함한다.
여기서 플렉시블한 재질이란, 잘 휘어지며 유연성 있는 재질을 의미하며, 침선가공이란 바늘에 실을 꿰어 꿰맴을 하는 가공을 의미한다.
본 발명에서 플렉시블한 재질의 박막 필름 층에 중심구조체를 침선 가공함으로서 종래의 구조적인 안정성에 대한 문제점을 해결할 수 있다.
또한 적층공정이란 접착제에 의해 둘 이상의 자재를 접합하는 공정으로 본 발명에서는 중심구조체를 침선가공한 제1박막필름층을 제2박막필름에 접합하는 공정을 의미한다.
본 발명의 중심구조체는 유체이송관을 포함하며, 일측에는 유체공급원이 형성되고, 타측에는 타겟이 형성된 것을 특징으로 한다. 보다 구체적으로 본 발명의 중심구조체는 유체공급원의 유체를 모세관 유동에 의해 타겟으로 이송할 수 있으며, 유체공급원과 타겟간의 분압 차이에 기인한 항시적 이송 능력을 갖는다. 따라서 별도의 펌프를 필요로 하지 않는 미량의 유체 이송관으로서 역할을 할 수 있다. 또한, 중심구조체의 일단은 유체공급원에 직접 또는 간접적으로 연결되어 유체를 흡수하고, 타단은 타켓측단부에서 외부로 노출되어 중심 구조체를 통해 이송된 유체를 타겟으로 분산시킬 수 있다. 이와 같이, 중심 구조체의 양단은 각각 유체의 흡수를 위한 '흡수부' 및 유체의 보급을 위한 '보급 포트' 로서의 기능을 할 수 있다.
또한 중심구조체는 다공성 섬유 또는 금속성 강체로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 다공성 섬유는 면, 폴리락트글리콜산(PLGA), 코튼(Cotton) 및 케블라(Kevlar) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 이러한 생체적합성 섬유의 종류는 당업자에 의해 적절하게 선택될 수 있다.
또한 상기 금속성 강체는 gold wire(금선)일 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 이러한 금속성 강체는 당업자에 의해 적절하게 선택될 수 있다.
또한 본 발명의 제1 및 제2박막필름층은 폴리머 재질로 형성되는 것을 특징으로 하며, 상기 폴리머 재질은 열가소성 폴리머 또는 탄성중합체폴리머 재질일 수 있다. 보다 구체적으로 폴리머 재질은 LCP(Liquid Crystal Polymer) 일 수 있고, 탄성중합체폴리머 재질은 폴리디메틸실록산(PDMS)일 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 당업자에 의해 적절하게 선택될 수 있다.
본 발명은 3차원 복합성 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, (a) 평면상에 형성된 유체이송관을 갖는 중심구조체를 플렉시블한 재질의 제1박막필름층에 침선가공하는 단계; 및 (b) 상기 제1박막필름층을 플렉시블한 재질의 제2박막필름층에 적층공정으로 패키징하는 단계; 를 포함한다.
또한 상기 (a)단계에서 중심구조체는 나노 공정 또는 마이크로 공정을 통해 유체이송관을 선가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 나노공정이란 nm(10의 마이너스 9승 미터)공정, 및 마이크로 공정은 μm(10의 마이너스 6승 미터)공정과 같은 매우 세밀한 공정을 의미한다.
또한 상기 (b)단계의 적층공정은 롤러프레스 접합, 솔벤트 접합, 열압착 접합, 초음파 접합 또는 표면개질을 통한 화학적 접합을 통해 서로 접합되는 것을 특징으로 한다. 롤러프레스 접합 또는 표면 개질을 통한 화학적 접합은 제1 및 제2박막필름층의 재질에 따라 선택적으로 적용 가능하며, 구체적인 방법은 당업자에 의해 적절히 선택될 수 있다. 본 발명의 일 예로 폴리에스터 필름에 PDMS 전구체를 스핀 코팅(1799rpm, 50초)하고, 90℃에서 2분간 경화 처리한 후 경화된 필름층을 플라즈마 처리하였다. 그리고 Kevlar fiber 및 박막 필름층들을 접합한 후 폴리에스터 필름을 제거하였다. 상기 폴리에스터 필름을 제거할 때는 포토리스그래피 공정을 이용할 수 있다.
또한 본 발명은 박막 필름층의 개수, 적층형태, 중심구조체의 개수 및 배열이 조절가능한 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명과 관련하여 3차원 복합성 플렉시블 미세유체이송채널에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 침선가공공정을 이용한 3차원 복합성 플렉시블 미세유체소자 제작공정의 개념도이고, 도 2는 3차원 복합성 채널 제작방식을 이용한 고효율 진단소자의 개념도이다,
도 1을 참조하면, 3차원 복합성 플렉시블 미세유체이송채널은 제1박막필름층, 제2박막필름층, 및 중심 구조체를 포함한다.
보다 구체적으로, 플렉시블한 재질의 제1박막필름층에 중심구조체가 침선가공되어 있으며, 상기 중심구조체에 적층된 제2박막필름층을 포함한다. 이때, 중심구조체면에 상하로 한 쌍의 제2박막필름층이 배치될 수 있다.
특히, 제1 및 제2박막필름층은 플렉시블한 재질로서 자유롭게 휘어질 수 있는 유연한 재질로 구성된다. 제1 및 제2박막 필름층은 매우 얇은 두께를 가지며, 예를 들어 필름층의 두께는 10㎛ 내지 400㎛ 또는 80㎛ 내지 200㎛ 일 수 있으며, 일 예로 두께가 170㎛인 필름층을 사용하였다.
또한 제1 및 제2박막필름층은 폴리머 재질로 형성될 수 있는데, 구체적으로 열가소성 폴리머 또는 탄성중합체폴리머 재질일 수 있다. 이러한 폴리머의 종류는 당업자에 의해 적절하게 선택될 수 있다. 예를 들어 제1 및 제2박막필름층을 공기, 수분 등이 통과되지 않는 재질로 형성시키고자 하는 경우에는 LCP(Liquid Crystal Polymer)를 사용할 수 있고, 그 반대의 경우에는 PDMS를 사용할 수 있다.
여기서 플렉시블한 재질이란, 잘 휘어지며 유연성 있는 재질을 의미하며, 침선가공이란 바늘에 실을 꿰어 꿰맴을 하는 가공을 의미한다.
본 발명에서 플렉시블한 재질의 박막 필름층에 중심구조체를 침선가공함으로써 종래의 구조적인 안정성에 대한 문제점을 해결할 수 있다.
본 발명의 중심구조체는 유체이송관을 포함하며, 일측에는 유체공급원이 형성되고, 타측에는 타겟이 형성된 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로 본 발명의 중심구조체는 유체공급원의 유체를 모세관 유동에 의해 타겟으로 이송할 수 있으며, 유체공급원과 타겟간의 분압 차이에 기인한 항시적 이송 능력을 갖는다. 따라서 별도의 펌프를 필요로 하지 않는 미량의 유체 이송관으로서 역할을 할 수 있다. 또한 중심구조체의 일단은 유체공급원에 직접 또는 간접적으로 연결되어 유체를 흡수하고, 타단은 타켓측단부에서 외부로 노출되어 중심 구조체를 통해 이송된 유체를 타겟으로 분산시킬 수 있다. 이와 같이, 중심 구조체의 양단은 각각 유체의 흡수를 위한 '흡수부' 및 유체의 보급을 위한 '보급포트'로서의 기능을 할 수 있다.
또한 중심구조체는 다공성 섬유 또는 금속성 강체로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 다공성 섬유는 면, 폴리락트글리콜산(PLGA), 코튼(Cotton) 및 케블라(Kevlar) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 이러한 생체적합성 섬유의 종류는 당업자에 의해 적절하게 선택될 수 있다.
또한 상기 금속성 강체는 gold wire(금선)일 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 이러한 금속성 강체는 당업자에 의해 적절하게 선택될 수 있다.
본 발명은 3차원 복합성 플렉시블 미세유체이송채널을 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로,
(a) 평면상에 형성된 유체이송관을 갖는 중심구조체를 플렉시블한 재질의 제1박막필름층에 침선가공하는 단계; 및 (b) 상기 제1박막필름층을 플렉시블한 재질의 제2박막필름층에 적층공정으로 패키징하는 단계를 포함하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법을 제공한다.
먼저, 상기 (a)단계의 중심구조체는 나노 공정 또는 마이크로 공정을 통해 유체이송관을 선가공하여, 마이크로 스케일에서 가공한 박막필름층에 침선 가공을 통해 배치시키는 단계를 포함할 수 있다.
또한 침선가공에 사용되는 중심구조체는 소자의 사용 목적 및 환경에 따라 플로터 공정, 식각 공정등 기존에 박막필름층에 채널을 가공하는 방법을 이용하여 가공 할 수 있다.
다음으로 상기 (b)단계의 제1 및 제2박막필름층의 적층공정은 롤러프레스 접합, 솔벤트 접합, 열압착 접합, 초음파 접합 또는 표면개질을 통한 화학적 접합을 통해 서로 접합되는 것을 특징으로 한다. 상기 적층공정은 제1 및 제2박막필름층의 재질에 따라 선택적으로 적용 가능하며, 구체적인 방법은 당업자에 의해 적절히 선택될 수 있다.
중심 구조체는 외기와 차폐되도록 제1박막필름층에 침선가공된 후에 상기 제1박막필름층이 제2박막필름층에 적층되며, 유체공급원 측으로부터 타겟(target, 유체전달대상)을 향해 연장되는 구조를 갖는다.
이와 같은 구조뿐만 아니라, 박막 필름층의 개수 및 적층 형태, 중심 구조체의 개수 및 배열을 적절히 조절하여 다양한 형태의 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널의 구현이 가능하다
이상에서 설명된 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널은 미세 채널 구조가 적용되는 다양한 분야에 적용 가능하다.
일 예로서 장기 이식형 보철기구 분야를 들 수 있다. 장기 이식형 보철기구는 면역반응 및 인체 거부반응을 통제하기 위한 약물 주입이 가능한 구조를 가져야 하며, 이러한 약물 주입 채널의 구조는 인체 내 조직, 이식 단계의 외력 및 환경 등에 대해 견고한 내구성을 가져야 한다. 또한 삽입 이식형 보철은 시술시 주변 조직의 상해를 최소화하도록 가능한한 작은 스케일로 설계 되어야 한다.
본 발명의 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널은 장기 이식형 보철기구의 유체 이송 구조로서 활용될 수 있다. 제1 및 제2박막필름과 중심구조체를 생체 적합성 물질로 사용하여 생체 적합성 요건을 향상시킬 수 있으며, 능동 및 수동 유량 제어를 통해 약물 공급의 제어가 용이하도록 할 수 있다. 아울러, 중심 구조체 구조의 기계적 안정성을 향상시킬 수 있는 바, 약물 공급 채널의 구조적 견고성 및 시술의 편의성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널로 이용하는 경우, 제1 및 제2박막필름층 상에 미세전극을 증착시켜 약물 공급과 전극 이식을 동시에 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널은 도 2와 같은 미세유체소자 기반의 Multi-plex 시료 혼합소자로 활용할 수 있다. Multi-plex 시료 혼합소자는 본 발명의 중심구조체가 복수개로 가공된 것으로 3차원 이송채널의 기하학적 구조를 이용하여 원하는 시료간의 혼합이 가능하다. 이러한 Multi-plex 시료 혼합소자는 약물 스크리닝 등에 효율적으로 활용 할 수 있다. 예를 들어 유체 공급원(outlet 채널)이 타겟(inlet 채널)의 시료채널과 만나거나 3차원상으로 피해가는 방식으로 원하는 inlet시료의 혼합을 얻어낼 수 있다.
그 밖에, 본 발명의 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널은 미세유체소자 기반의 High-throughput Point-of-care chip 제작의 중심공정으로도 적용 가능하다. 이 경우에도 3차원 이송채널의 기하학적 구조를 이용하여 고효율의 시료의 분리 및 정제가 가능하며, 적층되는 박막에 항체 등의 표면처리를 하여 시료를 구성하는 물질 각각에 대한 성분 검사 및 진단이 가능하다. 또한 모세관 현상에 의한 유체 이송을 이용하여 능동적인 성분 검출 및 진단이 가능하다.
본 발명은 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있다.
10: 박막필름
20: 중심구조체 21: 유체이송관
22: 유체공급원 23: 타겟
30: 침선 가공

Claims (11)

  1. 플렉시블한 재질의 제1박막필름층;
    상기 제1박막 필름층에 침선가공된 중심구조체; 및
    상기 제1박막 필름층에 침선가공된 중심구조체면에 상하로 배치되는 한 쌍의 제2박막필름층; 을 포함하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중심구조체는 유체이송관을 포함하며,
    일측에는 유체공급원이 형성되고, 타측에는 타겟이 형성된 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 중심구조체는 다공성 섬유 또는 금속성 강체로 이루어진 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 다공성 섬유는 면, 폴리락트글리콜산(PLGA), 코튼(cotton) 및 케블라(Kevlar) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 금속성 강체는 gold wire인 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2박막필름층은 폴리머 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 폴리머 재질은 열가소성 폴리머 또는 탄성중합체폴리머 재질인 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널.
  8. (a) 평면상에 형성된 유체이송관을 갖는 중심구조체를 플렉시블한 재질의 제1박막필름층에 침선가공하는 단계; 및
    (b) 상기 중심구조체가 침선가공된 제1박막필름층을 한 쌍의 플렉시블한 재질의 제2박막필름층 사이에 적층공정으로 패키징하는 단계; 를 포함하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 (a)단계에서 중심구조체는 나노 공정 또는 마이크로 공정을 통해 유체이송관을 선가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 (b)단계의 적층공정은 롤러프레스 접합, 솔벤트 접합, 열압착 접합, 초음파 접합 또는 표면개질을 통한 화학적 접합을 통해 서로 접합되는 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법은,
    박막 필름층의 개수, 적층형태, 중심구조체의 개수 및 배열이 조절가능한 것을 특징으로 하는 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널을 제조하는 방법.
KR1020120108039A 2012-09-27 2012-09-27 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법 KR101405787B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120108039A KR101405787B1 (ko) 2012-09-27 2012-09-27 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120108039A KR101405787B1 (ko) 2012-09-27 2012-09-27 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140041092A KR20140041092A (ko) 2014-04-04
KR101405787B1 true KR101405787B1 (ko) 2014-06-12

Family

ID=50650986

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120108039A KR101405787B1 (ko) 2012-09-27 2012-09-27 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101405787B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101652629B1 (ko) 2015-03-06 2016-08-31 한양대학교 에리카산학협력단 유체흐름 소자

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104146793B (zh) * 2014-07-28 2015-12-30 浙江大学 一种具有生物活性器官的制造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101098423B1 (ko) * 2011-02-24 2011-12-23 서울대학교산학협력단 유체 이송용 플렉서블 필름 및 이를 구비하는 장기 이식형 보철기구

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101098423B1 (ko) * 2011-02-24 2011-12-23 서울대학교산학협력단 유체 이송용 플렉서블 필름 및 이를 구비하는 장기 이식형 보철기구

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101652629B1 (ko) 2015-03-06 2016-08-31 한양대학교 에리카산학협력단 유체흐름 소자

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140041092A (ko) 2014-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Shaegh et al. Rapid prototyping of whole-thermoplastic microfluidics with built-in microvalves using laser ablation and thermal fusion bonding
Ali et al. Recent advances in 3D printing of biomedical sensing devices
Dong et al. Microfluidics‐based biomaterials and biodevices
Knickerbocker et al. Heterogeneous integration technology demonstrations for future healthcare, IoT, and AI computing solutions
US7264617B2 (en) Integrally manufactured micro-electrofluidic cables
Velten et al. Packaging of bio-MEMS: Strategies, technologies, and applications
Spieth et al. A floating 3D silicon microprobe array for neural drug delivery compatible with electrical recording
US8507188B2 (en) Flexible micro/nanofluidic devices
Vatansever et al. Toward fabric-based flexible microfluidic devices: Pointed surface modification for pH sensitive liquid transport
WO2011044116A2 (en) Three-dimensional microfluidic platforms and methods of use and manufacture thereof
CN109689214B (zh) 利用标准硅技术制造的芯片上器官装置的多用途3d可拉伸微环境
KR101405787B1 (ko) 3차원 복합 플렉시블 미세유체이송채널 및 이의 제조방법
US10099218B2 (en) Method for manufacturing and/or packaging a chip
CN110072623B (zh) 流动控制设备
Tanaka et al. An ultra-small fluid oscillation unit for pumping driven by self-organized three-dimensional bridging of pulsatile cardiomyocytes on elastic micro-piers
Kashaninejad et al. Microfluidic solutions for biofluids handling in on-skin wearable systems
KR101824246B1 (ko) 고분자 기판의 선택적 접합방법
KR101402730B1 (ko) 미세 유체 소자, 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 바이오 분석 플랫폼
Fateha Samad et al. Integrated microfluidic drug delivery devices: a component view
WO2015090339A1 (en) Fluidic microsystem and method of manufacturing thereof
KR101098423B1 (ko) 유체 이송용 플렉서블 필름 및 이를 구비하는 장기 이식형 보철기구
KR101635459B1 (ko) 프로그래밍 가능한 마이크로 펌프
JPWO2017056638A1 (ja) マイクロ流路デバイス及び該マイクロ流路デバイスの製造方法
JP4458313B2 (ja) 化学集積回路
Pramanick1a et al. Design and Development of a PDMS Membrane based SU-8 Micropump for drug Delivery System

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160224

Year of fee payment: 6