KR101405765B1 - Addition copolymer, photosensitive resin composition, and color filter - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 탄소수 10~20의 브릿지화된 시클릭 탄화수소기를 갖는 모노머(a-1) 및/또는 하기 화학식(1):
화학식(1)
(식중에서, X 및 Y는 각각 독립적으로, 수소원자, 또는 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기쇄의 탄화수소기를 나타내고, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1~20의 탄화수소기 또는 카복실기를 나타내고, R1 및 R2가 연결된 고리상 구조를 형성하여도 좋음)로 표시되는 모노머(a-1') 2~60 몰%, 불포화 다염기산 무수물(a-2) 30~88 몰%, 및 (a-1), (a-1') 및 (a-2) 이외의 공중합 가능한 모노머(a-3) 10~68 몰%를 공중합시킨 공중합체에, 수산기를 갖는 모노머(a-4)를 부가시킨 부가 공중합체(A), 용매(B)를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 이 감광성 수지 조성물은, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타낼 수 있다. The present invention relates to a monomer (a-1) having a bridged cyclic hydrocarbon group having 10 to 20 carbon atoms and / or a monomer (a-1)
(1)
(Wherein X and Y each independently represent a hydrogen atom or a straight or branched chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms; R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or it denotes a carboxyl group, R 1 and R 2 is good to form a cyclic structure linked) monomer (a-1 ') 2 ~ 60% by mole represented by, an unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) 30 ~ 88 mol% And 10 to 68 mol% of a copolymerizable monomer (a-3) other than the monomer (a-1), (a-1 ' And a solvent (B). The photosensitive resin composition is excellent in sensitivity and developability, and is excellent in heat resistance and solvent resistance. An excellent coloring pattern can be exhibited.
Description
본 발명은, 부가 공중합체, 감광성 수지 조성물 및 컬러 필터에 관한 것이고, 특히, 유기 EL 디스플레이, 액정표시장치, 고체 촬상소자에 조합되는 컬러 필터의 제조에 사용되는 부가 공중합체 및 감광성 수지 조성물, 및 이들의 상기 부가 공중합체 및 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조되는 컬러 필터에 관한 것이다. The present invention relates to an addition copolymer, a photosensitive resin composition and a color filter, and more particularly to an addition copolymer and a photosensitive resin composition used for producing a color filter to be combined with an organic EL display, a liquid crystal display, and a solid- And a color filter manufactured by using the above-described addition copolymer and photosensitive resin composition.
근년, 자원 절약 및 에너지 절약의 관점에서, 각종 코팅, 인쇄, 도료, 접착제 등의 분야에서, 자외선이나 전자선 등의 활성 에너지 선에 의해 경화가능한 감광성 수지 조성물이 널리 사용되고 있다. 또한, 프린트 배선 기판 등의 전자재료의 분야에서도, 활성 에너지 선에 의해 경화가능한 감광성 수지 조성물이 솔더 레지스트나 컬러 필터용 레지스트 등에 사용되고 있다. In recent years, photosensitive resin compositions that can be cured by active energy rays such as ultraviolet rays and electron beams are widely used in the fields of various coatings, printing, paints, and adhesives from the viewpoints of resource saving and energy saving. Also in the field of electronic materials such as printed wiring boards, photosensitive resin compositions that can be cured by active energy rays are used for solder resists, resists for color filters, and the like.
컬러 필터는, 일반적으로, 글래스 기판 등의 투명 기판과, 투명 기판 상에 형성된 적(R), 녹(G) 및 청(B)의 화소와, 화소의 환경에 형성되는 블랙 매트릭스, 화소 및 블랙 매트릭스 상에 형성되는 보호막으로 구성된다. 이와 같은 구성을 갖는 컬러 필터는, 통상 투명 기판 상에 블랙 매트릭스, 화소 및 보호막을 순차 형성하는 것에 의해 제조된다. 화소 및 블랙 매트릭스(이하, 화소 및 블랙 매트릭스 의 것을 「착색 패턴」이라 말한다)의 형성 방법으로서는, 다양한 제조 방법이 제안되어 있지만, 감광성 수지 조성물을 레지스트로서 사용하여, 도포, 노광, 현상 및 베이킹을 반복하는 포토리소그래피법은, 내광성이나 내열성 등의 내구성이 우수하고, 핀홀 등의 결함이 적은 착색 패턴을 제공하기 때문에, 현재의 주류로 되어 있다. The color filter generally includes a transparent substrate such as a glass substrate, a red (R), green (G), and blue (B) pixel formed on the transparent substrate, a black matrix formed in the pixel environment, And a protective film formed on the matrix. A color filter having such a configuration is usually manufactured by sequentially forming a black matrix, a pixel, and a protective film on a transparent substrate. Various methods of forming pixels and black matrix (hereinafter, referred to as pixel and black matrix) are proposed. However, the photosensitive resin composition may be used as a resist to perform coating, exposure, development and baking Repeated photolithography is the current mainstream because it provides a coloring pattern with excellent durability such as light resistance and heat resistance and less defects such as pinholes.
일반적으로, 포토리소그래피법에 사용되는 감광성 수지 조성물은, 알칼리 가용성 수지, 반응성 희석제, 광중합 개시제, 착색제 및 용매를 함유한다. 알칼리 가용성 수지로서는, 카복실기 함유 불포화 모노머, 무수 말레인산, 카복실기 함유 불포화 모노머 및 무수 말레인산 이외의 공중합 가능한 불포화 모노머를 소정 비율로 공중합시킨 것을 사용하는 것이 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 또한, 무수 말레인산 및 무수 말레인산과 공중합 가능한 모노머에 의해 얻을 수 있는 공중합체에, 수산기 함유 화합물을 부가시킨 것을 사용하는 것도 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 2~5 참조). Generally, the photosensitive resin composition used in the photolithography method contains an alkali-soluble resin, a reactive diluent, a photopolymerization initiator, a colorant, and a solvent. As the alkali-soluble resin, it has been proposed to use a copolymer obtained by copolymerizing a carboxyl group-containing unsaturated monomer, maleic anhydride, a carboxyl group-containing unsaturated monomer and a copolymerizable unsaturated monomer other than maleic anhydride at a predetermined ratio (for example, see Patent Document 1). It has also been proposed to use a copolymer obtained by adding a hydroxyl group-containing compound to a copolymer obtainable by a monomer copolymerizable with maleic anhydride and maleic anhydride (see, for example,
그러나, 종래의 감광성 수지 조성물은, 감도나 현상성이 충분하지 않은 경우와, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 얻을 수 없는 경우가 있다. However, the conventional photosensitive resin composition may not be sufficient in sensitivity and developability, and may fail to obtain a coloring pattern excellent in heat resistance decomposability and solvent resistance.
따라서, 본 발명은, 상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 실시된 것으로, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물에 사용되는 알칼리 가용성 수지(부가 공중합체)를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 갖는 컬러 필터를 제공하는 것을 목적으로 한다. Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition which exhibits good sensitivity and developability, and exhibits a coloring pattern excellent in heat resistance decomposability and solvent resistance. It is another object of the present invention to provide an alkali-soluble resin (addition copolymer) for use in a photosensitive resin composition exhibiting good sensitivity and developability as well as exhibiting a coloring pattern excellent in heat resistance decomposability and solvent resistance. It is another object of the present invention to provide a color filter having a coloring pattern excellent in heat resistance and solvent resistance.
본 발명자들은, 상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 예의 검토한 결과, 특정의 부가 공중합체가, 감광성 수지 조성물에 사용되는 알칼리 가용성 수지로서 최적인 것을 발견하고, 본 발명에 이르렀다. DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have intensively studied in order to solve the above problems and found that a specific addition copolymer is optimal as an alkali-soluble resin to be used in a photosensitive resin composition, and have reached the present invention.
즉, 본 발명은, 이하의 [1] ~[13] 이다. That is, the present invention is the following [1] to [13].
[1] 탄소수 10~20의 브릿지화된 시클릭 탄화수소기를 갖는 모노머(a-1) 및/또는 하기 화학식(1): (1) a monomer having a bridged cyclic hydrocarbon group having 10 to 20 carbon atoms and / or a monomer represented by the following formula (1):
화학식(1)(1)
(식중에서, X 및 Y는 각각 독립적으로, 수소원자, 또는 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기쇄의 탄화수소기를 나타내고, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1~20의 탄화수소기 또는 카복실기를 나타내고, R1 및 R2가 연결된 고리상 구조를 형성하여도 좋음)로 표시되는 모노머(a-1') 2~60 몰%, 불포화 다염기산 무수물(a-2) 30~88 몰%, 및 (a-1), (a-1') 및 (a-2) 이외의 공중합 가능한 모노머(a-3) 10~68 몰%를 공중합시킨 공중합체에, 수산기를 갖는 모노머(a-4)를 부가시킨 부가 공중합체(A), 용매(B)를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. (Wherein X and Y each independently represent a hydrogen atom or a straight or branched chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms; R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or it denotes a carboxyl group, R 1 and R 2 is good to form a cyclic structure linked) monomer (a-1 ') 2 ~ 60% by mole represented by, an unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) 30 ~ 88 mol% And 10 to 68 mol% of a copolymerizable monomer (a-3) other than the monomer (a-1), (a-1 ' ) Added thereto, and a solvent (B).
[2] 상기 모노머(a-1)는, 디시클로펜타닐 메타크릴레이트인 것을 특징으로 하는 [1]에 기재된 감광성 수지 조성물. [2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the monomer (a-1) is dicyclopentanyl methacrylate.
[3] 상기 불포화 다염기산 무수물(a-2)은, 무수 말레인산인 것을 특징으로 하는 [1] 또는 [2]에 기재된 감광성 수지 조성물. [3] The photosensitive resin composition according to [1] or [2], wherein the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) is maleic anhydride.
[4] 상기 모노머(a-3)는, 비닐톨루엔 10~40 몰%를 포함하는 것을 특징으로 하는 [1]~[3] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물. [4] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the monomer (a-3) comprises 10 to 40 mol% of vinyl toluene.
[5] 상기 모노머(a-4)는, 2-히드록시에틸(메타) 아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타) 아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타) 아크릴레이트, 및 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 [1]~[4] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물. [5] The composition according to any one of [1] to [4], wherein the monomer (a-4) is at least one monomer selected from the group consisting of 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, trimethylolpropane di [1] to [4] above, wherein the photosensitive resin composition is at least one selected from the group consisting of alkali,
[6] 반응성 희석제(C), 광중합 개시제(D) 및 착색제(E)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 또한 함유하는 것을 특징으로 하는 [1]~[5] 중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물. [6] The photosensitive resin according to any one of [1] to [5], which further comprises at least one member selected from the group consisting of a reactive diluent (C), a photopolymerization initiator (D) Composition.
[7] 상기 착색제(E)는, 염료를 포함하는 것을 특징으로 하는 [6]에 기재된 감광성 수지 조성물. [7] The photosensitive resin composition according to [6], wherein the colorant (E) comprises a dye.
[8] 탄소수 10~20의 브릿지화된 시클릭 탄화수소기를 갖는 모노머(a-1) 및/또는 하기 화학식(1): (8) a monomer having a bridged cyclic hydrocarbon group having 10 to 20 carbon atoms (a-1) and / or a monomer represented by the following formula (1):
(식중에서, X 및 Y는 각각 독립적으로, 수소원자, 또는 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기쇄의 탄화수소기를 나타내고, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1~20의 탄화수소기 또는 카복실기를 나타내고, R1 및 R2가 연결된 고리상 구조를 형성하여도 좋음)로 표시되는 모노머(a-1') 2~60 몰%, 불포화 다염기산 무수물(a-2) 30~88 몰%, 및 (a-1), (a-1') 및 (a-2) 이외의 공중합 가능한 모노머(a-3) 10~68 몰%를 공중합시킨 공중합체에, 수산기를 갖는 모노머(a-4)를 부가시킨 것을 특징으로 하는 부가 공중합체(A). (Wherein X and Y each independently represent a hydrogen atom or a straight or branched chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms; R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or it denotes a carboxyl group, R 1 and R 2 is good to form a cyclic structure linked) monomer (a-1 ') 2 ~ 60% by mole represented by, an unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) 30 ~ 88 mol% And 10 to 68 mol% of a copolymerizable monomer (a-3) other than the monomer (a-1), (a-1 ' ) Is added to the addition copolymer (A).
[9] 상기 모노머(a-1)는, 디시클로펜타닐 메타크릴레이트인 것을 특징으로 하는 [8]에 기재된 부가 공중합체(A). [9] The addition copolymer (A) according to [8], wherein the monomer (a-1) is dicyclopentanyl methacrylate.
[10] 상기 불포화 다염기산 무수물(a-2)은, 무수 말레인산인 것을 특징으로 하는 [8] 또는 [9]에 기재된 부가 공중합체(A). [10] The additional copolymer (A) according to [8] or [9], wherein the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) is maleic anhydride.
[11] 상기 모노머(a-3)는, 비닐톨루엔 10~40 몰%를 포함하는 것을 특징으로 하는 [8]~[10] 중 어느 하나에 기재된 부가 공중합체(A). [11] The addition copolymer (A) according to any one of [8] to [10], wherein the monomer (a-3) comprises 10 to 40 mol% of vinyltoluene.
[12] 상기 모노머(a-4)는, 2-히드록시에틸(메타) 아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타) 아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타) 아크릴레이트, 및 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 [8]~[11] 중 어느 하나에 기재된 부가 공중합체(A). The monomer (a-4) is at least one monomer selected from the group consisting of 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) (A) according to any one of [8] to [11], characterized in that the addition copolymer (A) is at least one selected from the group consisting of ethylene glycol,
[13] [1]~[7]중 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물로부터 형성되는 착색 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 컬러 필터. [13] A color filter having a coloring pattern formed from the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [7].
본 발명에 의하면, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물에 사용되는 알칼리 가용성 수지(부가 공중합체)를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 갖는 컬러 필터를 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition which exhibits good sensitivity and developability, and exhibits a coloring pattern excellent in heat resistance decomposability and solvent resistance. Further, according to the present invention, it is possible to provide an alkali-soluble resin (addition copolymer) used in a photosensitive resin composition exhibiting good sensitivity and developability and exhibiting a coloring pattern excellent in heat-resistant decomposability and solvent resistance. Further, according to the present invention, it is possible to provide a color filter having a coloring pattern excellent in thermal decomposition resistance and solvent resistance.
도 1은 실시형태 3의 컬러 필터의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a color filter according to a third embodiment.
발명을 실시하기Carrying out the invention 위한 형태 Form for
실시형태 1
본 실시형태의 부가 공중합체(A)는, 탄소수 10~20의 브릿지화된 시클릭 탄화수소기를 갖는 모노머(a-1) 및/또는 하기 화학식(1): The addition copolymer (A) of the present embodiment comprises a monomer (a-1) having a bridged cyclic hydrocarbon group having 10 to 20 carbon atoms and / or a monomer (a)
(식중에서, X 및 Y는 각각 독립적으로, 수소원자, 또는 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기쇄의 탄화수소기를 나타내고, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1~20의 탄화수소기 또는 카복실기를 나타내고, R1 및 R2가 연결된 고리상 구조를 형성하여도 좋음)로 표시되는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 (a-1), (a-1') 및 (a-2) 이외의 공중합 가능한 모노머(a-3)를 공중합시킨 공중합체에, 수산기를 갖는 모노머(a-4)를 부가시키는 것에 의해 얻은 것이다(Wherein X and Y each independently represent a hydrogen atom or a straight or branched chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms; R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or it denotes a carboxyl group, R 1 and R 2 is connected to the monomer represented by the good to form a cyclic structure) (a-1 '), an unsaturated polybasic acid anhydride (a-2), and (a-1), (a (A-4) is added to a copolymer obtained by copolymerizing a copolymerizable monomer (a-3) other than the monomer (a-1)
모노머(a-1)는, 탄소수 10~20의 브릿지화된 시클릭 탄화수소기를 가지고 있으면 특히 한정되지 않는다. 여기서, 브릿지화된 시클릭 탄화수소라는 것은, 아다만탄, 노르보르난으로 대표되는, 하기 화학식(2) 또는 (3)으로 표시되는 구조를 갖는 것을 의미하고, 브릿지화된 시클릭 탄화수소기라는 것은, 당해 구조에 있어서 일부의 수소를 제거한 나머지 부분에 상당하는 기를 의미한다. The monomer (a-1) is not particularly limited as long as it has a bridged cyclic hydrocarbon group having 10 to 20 carbon atoms. The term "bridged cyclic hydrocarbon" as used herein means having a structure represented by the following formula (2) or (3) represented by adamantane or norbornane, and the term "bridged cyclic hydrocarbon group" , And a group corresponding to the remaining part of the structure in which part of hydrogen is removed.
화학식(2)(2)
화학식(3)(3)
화학식(2) 중, A1 및 B1은, 동일하여도 상이하여도 좋고, 각각 직쇄 또는 분기 알킬렌기(시클릭을 포함함)를 나타내고, R3은 수소원자 또는 메틸기를 나타낸다. A1 및 B1의 분기끼리가 결합하여 환상으로 되어 있어도 좋다. 또한, 화학식(3) 중, A2, B2 및 L은, 동일하여도 상이하여도 좋고, 각각 직쇄 또는 분기 알킬렌기(시클릭을 포함함)를 나타내고, R4는 수소원자 또는 메틸기를 나타낸다. A2, B2 및 L의 분기끼리가 결합하여 환상으로 되어 있어도 좋다. In formula (2), A 1 and B 1 may be the same or different and each represents a straight chain or branched alkylene group (including cyclic group), and R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group. The branches of A 1 and B 1 may be combined to form an annular shape. In formula (3), A 2 , B 2 and L may be the same or different and each represents a straight chain or branched alkylene group (including cyclic group), and R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group . A 2 , B 2, and L may be combined to form an annular shape.
모노머(a-1)의 예로서는, 디시클로펜테닐(메타) 아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타) 아크릴레이트, 이소보르닐(메타) 아크릴레이트, 아다만틸(메타) 아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 내열분해성, 밀착성, 현상성 등의 관점에서 디시클로펜타닐 메타크릴레이트가 바람직하다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. Examples of the monomer (a-1) include dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl . Of these, dicyclopentyl methacrylate is preferable from the viewpoints of heat decomposition resistance, adhesion, developability and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
모노머(a-1')는, 상기 화학식(1)로 표시되는 화학 구조를 가지고 있으면 특히 한정되지 않는다. 화학식(1)에 있어서, 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기쇄의 탄화수소기를 나타내는 X 및 Y의 예로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, t-부틸기 등을 들 수 있다. 또한, 탄소수 1~20의 탄화수소기를 나타내는 R1 및 R2의 예로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, t-부틸기, t-아밀기, 스테아릴기, 라우릴기, 2-에틸헥실기 등의 직쇄 또는 분기쇄의 알킬기; 페닐 등의 아릴기; 시클로헥실기, t-부틸시클로헥실기, 디시클로펜타디에닐기, 트리시클로데카닐기, 이소보르닐기, 아다만틸기, 2-메틸-2-아다만틸기 등의 지환식 기; 1-메톡시에틸기, 1-에톡시에틸기 등의 알콕시로 치환된 알킬기; 벤질 등의 아릴기로 치환된 알킬기 등을 들 수 있다. The monomer (a-1 ') is not particularly limited as long as it has the chemical structure represented by the above formula (1). Examples of X and Y representing a linear or branched hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms in the formula (1) include methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, Butyl group and the like. Examples of R 1 and R 2 which represent a hydrocarbon group of 1 to 20 carbon atoms include methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, A straight chain or branched chain alkyl group such as a stearyl group, a lauryl group and a 2-ethylhexyl group; An aryl group such as phenyl; Alicyclic groups such as a cyclohexyl group, a t-butylcyclohexyl group, a dicyclopentadienyl group, a tricyclodecanyl group, an isobornyl group, an adamantyl group and a 2-methyl-2-adamantyl group; An alkyl group substituted by an alkoxy such as a 1-methoxyethyl group or a 1-ethoxyethyl group; And an alkyl group substituted with an aryl group such as benzyl.
화학식(1)로 표시되는 화학 구조를 갖는 모노머(a-1')의 예로서는, 노르보르넨 (비시클로[2.2.1] 헵토-2-엔), 5-메틸비시클로[2.2.1] 헵토-2-엔, 5-에틸비시클로[2.2.1] 헵토-2-엔, 테트라시클로 4.4.0.12,5.17,10] 도데카-3-엔, 8-메틸테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10] 도데카-3-엔, 8-에틸테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10] 도데카-3-엔, 디시클로펜타디엔, 트리시클로[5.2.1.02,6] 데카-8-엔, 트리시클로[5.2.1.02,6] 데카-3-엔, 트리시클로[4.4.0.12,5] 운데카-3-엔, 트리시클로[6.2.1.01,8] 운데카-9-엔, 트리시클로[6.2.1.01,8] 운데카-4-엔, 테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10.01,6] 도데카-3-엔, 8-메틸테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10.01,6] 도데카-3-엔, 8-에틸리덴테트라시클로[4.4.0.12,5.17,12] 도데카-3-엔, 8-에틸리덴테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10.01,6] 도데카-3-엔, 펜타시클로[6.5.1.13,6.02,7.09,13] 펜타데카-4-엔, 펜타시클로[7.4.0.12,5.19,12.08,13] 펜타데카-3-엔, 5-노르보르넨-2-카복시산, 5-노르보르넨-2,3-디카복시산, 5-노르보르넨-2,3-디카복시산 무수물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 내열분해성, 밀착성, 현상특성 등의 관점에서, 노르보르넨, 디시클로펜타디엔, 5-노르보르넨-2,3-디카복시산 무수물이 바람직하다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. Examples of the monomer (a-1 ') having a chemical structure represented by the chemical formula (1) include norbornene (bicyclo [2.2.1] hepto-2-ene), 5-methylbicyclo [2.2.1] 2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, tetracyclo 4.4.0.1 2,5 .1 7,10 ] dodeca-3-ene, 8-methyl tetracyclo [4.4. 0.1 2,5 .1 7,10] dodeca-3-ene, 8-ethyl tetracyclo [4.4.0.1 2,5 .1 7,10] dodeca-3-ene, dicyclopentadiene, tricyclo [ 5.2.1.0 2,6 ] deca-8-ene, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] dec-3-ene, tricyclo [4.4.0.1 2,5 ] undeca-3-ene, tricyclo [6.2 .1.0 1,8] undec-9-ene, tricyclo [6.2.1.0 1,8] undec-4-ene, tetracyclo [4.4.0.1 2,5 .1 7,10 .0 1,6] Ene, 8-methyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 .1 7,10 .0 1,6 ] dodeca-3-ene, 8-ethylidene tetracyclo [4.4.0.1 2,5 -7,12 ] dodeca-3-ene, 8-ethylidene tetracyclo [4.4.0.1 2,5 .1 7,10 .0 1,6 ] dodeca-3-ene, pentacyclo [ 3.6, 2.0, 2.7, 9, 13 ] Pentadeca-4-ene, pentacyclo [7.4.0.1 2,5 .1 9,12 .0 8,13 ] pentadec -3-ene, 5-norbornene-2-carboxy acid, 5-norbornene -2,3-dicarboxylic acid, and 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride. Among them, norbornene, dicyclopentadiene and 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride are preferable from the standpoint of heat decomposition resistance, adhesion, development characteristics and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1')의 배합 비율은, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)의 합계를 100 몰%로 한 경우에, 2~60 몰%, 바람직하게는 5~20 몰%이다. 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1')의 배합 비율이 2 몰% 미만이면, 소망하는 내열분해성을 얻을 수 없다. 한편, 이 배합 비율이 60 몰%를 초과하면, 불포화 다염기산 무수물(a-2)의 배합 비율이 적어져서, 소망하는 감도나 현상성을 얻을 수 없다. The blending ratio of the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 ') is preferably in the range of 0.1 to 10 parts by mass, is 2 to 60 mol%, preferably 5 to 20 mol%, based on 100 mol% of the total of (a-3). If the blending ratio of the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 ') is less than 2 mol%, the desired thermal decomposition resistance can not be obtained. On the other hand, when the blend ratio exceeds 60 mol%, the blending ratio of the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) becomes small, and the desired sensitivity and developability can not be obtained.
불포화 다염기산 무수물(a-2)로서는, 특히 한정되지 않고, 당해 기술 분야에서 공지의 것을 사용할 수있다. 불포화 다염기산 무수물(a-2)의 예로서는, 무수 말레인산, 무수 이타콘산, 무수 시트라콘산 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 입수의 용이성, 중합성, 반응성 등의 관점에서 무수 말레인산이 바람직하다. The unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) is not particularly limited and those known in the art can be used. Examples of the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) include maleic anhydride, itaconic anhydride, and citraconic anhydride. Of these, maleic anhydride is preferable from the viewpoints of availability, polymerizability, reactivity, and the like.
불포화 다염기산 무수물(a-2)의 배합 비율은, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)의 합계를 100 몰%로 한 경우에, 30~88 몰%, 바람직하게는 35~70 몰%이다. 불포화 다염기산 무수물(a-2)의 배합 비율이 30 몰% 미만이면, 부가 공중합체(A)에 있어서 이중 결합의 양이 적어져서, 소망하는 감도를 얻을 수 없다. 한편, 이 배합 비율이 88 몰%를 초과하면, 미반응의 불포화 다염기산 무수물(a-2)의 다수가 잔존하여 버린다. The blending ratio of the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) is preferably from 100 to 100 such that the total amount of the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 '), the unsaturated polybasic acid anhydride (a- Mol%, it is 30 to 88 mol%, preferably 35 to 70 mol%. If the blend ratio of the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) is less than 30 mol%, the amount of the double bonds in the addition copolymer (A) becomes small and the desired sensitivity can not be obtained. On the other hand, when the blend ratio exceeds 88 mol%, many unreacted unsaturated polybasic acid anhydrides (a-2) remain.
모노머(a-3)는, (a-1), (a-1') 및 (a-2) 이외의 공중합 가능한 것이라면, 특히 한정되지 않는다. 모노머(a-3)는, 일반적으로 에틸렌성 불포화 기를 갖는 라디칼 중합성 화합물이고, 그 예로서는, 부타디엔, 2,3-디메틸부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌 등의 디엔류; 메틸(메타) 아크릴레이트, 에틸(메타) 아크릴레이트, n-프로필(메타) 아크릴레이트, 이소프로필(메타) 아크릴레이트, n-부틸(메타) 아크릴레이트, sec-부틸(메타) 아크릴레이트, 이소부틸(메타) 아크릴레이트, tert-부틸(메타) 아크릴레이트, 펜틸(메타) 아크릴레이트, 네오펜틸(메타) 아크릴레이트, 벤질(메타) 아크릴레이트, 이소아밀(메타) 아크릴레이트, 헥실(메타) 아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타) 아크릴레이트, 라우릴(메타) 아크릴레이트, 도데실(메타) 아크릴레이트, 시클로펜틸(메타) 아크릴레이트, 시클로헥실(메타) 아크릴레이트, 메틸시클로헥실(메타) 아크릴레이트, 에틸시클로헥실(메타) 아크릴레이트, 1,4-시클로헥산디메탄올모노(메타) 아크릴레이트, 로진(메타) 아크릴레이트, 노르보르닐(메타) 아크릴레이트, 5-메틸노르보르닐(메타) 아크릴레이트, 5-에틸노르보르닐(메타) 아크릴레이트, 알릴(메타) 아크릴레이트, 프로파길(메타) 아크릴레이트, 피페로닐(메타) 아크릴레이트, 살리실(메타) 아크릴레이트, 푸릴(메타) 아크릴레이트, 푸르푸릴(메타) 아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메타) 아크릴레이트, 피라닐(메타) 아크릴레이트, 펜에틸(메타) 아크릴레이트, 크레질(메타) 아크릴레이트, 1,1,1-트리플루오로에틸(메타) 아크릴레이트, 퍼플루오루에틸(메타) 아크릴레이트, 퍼플루오로-n-프로필(메타) 아크릴레이트, 퍼플루오로-이소프로필(메타) 아크릴레이트, 트리페닐메틸(메타) 아크릴레이트, 큐밀(메타) 아크릴레이트, 3-(N,N-디메틸아미노)프로필(메타) 아크릴레이트, 글리세릴올모노(메타) 아크릴레이트, 부탄트리올모노(메타) 아크릴레이트, 펜탄트리올모노(메타) 아크릴레이트, 나프탈렌(메타) 아크릴레이트, 안트라센(메타) 아크릴레이트 등의 (메타) 아크릴산에스테르류; (메타) 아크릴산아미드, (메타) 아크릴산 N,N-디메틸아미드, (메타) 아크릴산 N,N-디에틸아미드, (메타) 아크릴산 N,N-디프로필아미드, (메타) 아크릴산 N,N-디-이소-프로필아미드, (메타) 아크릴산안트라세닐 아미드 등의 (메타) 아크릴산아미드; (메타) 아크릴산아닐리드, (메타) 아크릴로일니트릴, 아크롤레인, 염화비닐, 염화비닐리덴, 플루오르화 비닐, 플루오르화 비닐리덴, N-비닐피롤리돈, 비닐피리딘, 아세트산비닐, 비닐톨루엔 등의 비닐 화합물; 스티렌, 스티렌의 α-, o-, m-, p-알킬, 니트로, 시아노, 아미드유도체; 시트라콘산디에틸, 말레인산디에틸, 푸마르산디에틸, 이타콘산디에틸 등의 불포화 디카복시산 디에스테르; N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-라우릴말레이미드, N-(4-히드록시페닐)말레이미드 등의 모노말레이미드류; N-(메타) 아크릴로일프탈이미드, (메타) 아크릴산, 크로톤산, 신남산 등의 카복실기를 갖는 화합물 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. The monomer (a-3) is not particularly limited as long as it can be copolymerized in addition to (a-1), (a-1 ') and (a-2). The monomer (a-3) is generally a radically polymerizable compound having an ethylenic unsaturated group, and examples thereof include dienes such as butadiene, 2,3-dimethylbutadiene, isoprene and chloroprene; Butyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) Butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, neopentyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, cyclopentyl Acrylate, norbornyl (meth) acrylate, 5-methylnorbornyl (meth) acrylate, ethylcyclohexyl (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono (Meth) acrylate (Meth) acrylate, 5-ethyl norbornyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, propargyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, cresyl (meth) acrylate, 1,1,1-tetramethylbutyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, perfluoro (meth) acrylate, perfluoro (meth) acrylate, perfluoro (meth) acrylate, perfluoro (Meth) acrylate, butanetriol mono (meth) acrylate, cumyl (meth) acrylate, cumyl (meth) acrylate, 3- Mono (meth) acrylate, naphthalene (meth) acrylate, (Meth) acrylates such as acrylate and anthracene (meth) acrylate; (Meth) acrylic acid amide, N, N-dimethyl amide, N, N-diethyl amide, N, N-dipropyl amide, (Meth) acrylamide such as isopropylamide and isobutyl (meth) acrylate; (Meth) acrylic acid anilide, vinyl (meth) acrylonitrile, acrolein, vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl fluoride, vinylidene fluoride, N-vinylpyrrolidone, vinylpyridine, vinyl acetate and vinyltoluene compound; Styrene,? -, o-, m-, p-alkyl, nitro, cyano, amide derivatives of styrene; Unsaturated dicarboxylic acid diesters such as diethyl citraconate, diethyl maleate, diethyl fumarate, and diethyl itaconate; Monomaleimides such as N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-laurylmaleimide and N- (4-hydroxyphenyl) maleimide; And compounds having a carboxyl group such as N- (meth) acryloyl phthalimide, (meth) acrylic acid, crotonic acid, and cinnamic acid. These may be used alone or in combination of two or more.
특히, 불포화 다염기산 무수물(a-2)로서 무수 말레인산을 사용하는 경우, 무수 말레인산은 전자 수용성이 강한 화합물이기 때문에, 모노머(a-3)는 전자 공여성 모노머인 것이 바람직하다. 이와 같은 전자 공여성 모노머를 사용하는 것에 의해, 무수 말레인산 등과의 사이에서 교호 공중합성이 생기고, 각 유닛이 더욱 랜덤으로 배치되는 결과, 현상성이나 감도 등이 향상되는 것과 함께, 내열분해성이 우수한 착색 패턴을 형성할 수 있다. 전자 공여성 모노머로서는, 비닐에테르류, 비닐설피드류, 스티렌류 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 공중합성의 관점에서 스티렌류가 바람직하고, 내분해성의 관점에서 비닐톨루엔이 더욱 바람직하다. 비닐톨루엔을 사용하는 경우, (메타) 아크릴산에스테르류를 사용하는 것으로, 현상성을 더욱 한층 향상시킬 수 있다. In particular, when maleic anhydride is used as the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2), the maleic anhydride is a compound having a strong electron-accepting property, and therefore the monomer (a-3) is preferably an electron-donating monomer. By using such electron-donating monomers, alternate copolymerization takes place with maleic anhydride and the like, and each unit is disposed more randomly. As a result, developability, sensitivity and the like are improved and at the same time, A pattern can be formed. Examples of the electron-donating monomers include vinyl ethers, vinyl sulfides, styrenes, and the like. Of these, styrenes are preferred from the viewpoint of copolymerization, and vinyltoluene is more preferable from the viewpoint of decomposition resistance. When vinyl toluene is used, the (meth) acrylic acid ester is used, and the developability can be further improved.
모노머(a-3)의 배합 비율은, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)의 합계를 100 몰%로 한 경우에, 10~68 몰%, 바람직하게는 20 ~50 몰%이다. 모노머(a-3)의 배합 비율이 10 몰% 미만이면, 내열분해성이나 현상성의 밸런스를 잡을 수 없다. 한편, 이 배합 비율이 68 몰%를 초과하면, 감도나 내열성이 저하되어 버린다. The blend ratio of the monomer (a-3) is preferably 100 mol% or more, more preferably 100 mol% or more, more preferably 100 mol% or less, , It is 10 to 68 mol%, preferably 20 to 50 mol%. If the blend ratio of the monomer (a-3) is less than 10 mol%, a balance between heat resistance and developability can not be obtained. On the other hand, when the blend ratio exceeds 68 mol%, the sensitivity and heat resistance deteriorate.
특히, 모노머(a-3)로서 비닐톨루엔을 사용하는 경우, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)의 합계를 100 몰%로 한 경우에, 모노머(a-3)는 10~40 몰%의 비닐톨루엔을 포함하는 것이 바람직하다. Particularly, when vinyl toluene is used as the monomer (a-3), the amount of the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 '), the unsaturated polybasic acid anhydride (a- When the total amount is 100 mol%, the monomer (a-3) preferably contains 10 to 40 mol% of vinyltoluene.
모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)를 원료로서 사용하는 공중합 반응은, 당해 기술 분야에서 공지의 라디칼 중합 방법에 따라서 실시할 수 있다. 예컨대, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)를 용매에 용해시킨 후, 그 용액에 중합개시제를 첨가하여, 50~130℃에서 1~20 시간 반응시키면 좋다. The copolymerization reaction using the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 '), the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2), and the monomer (a-3) as raw materials can be carried out by radical polymerization Can be carried out according to the method. For example, after a monomer (a-1) and / or a monomer (a-1 '), an unsaturated polybasic acid anhydride (a-2), and a monomer (a-3) are dissolved in a solvent, , And 50 to 130 ° C for 1 to 20 hours.
이 공중합 반응에 사용되는 것이 가능한 용매로서는, 특히 한정되지 않지만, 예컨대, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르아세테이트 등의 글리콜에테르계 용매; 톨루엔, 크실렌 등의 탄화수소계 용매, 아세트산에틸 등의 반응성 관능기를 가지고 있지 않은 용매를 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. 또한, 이들 중에서도, 글리콜에테르계 용매가 바람직하다. Examples of the solvent that can be used in the copolymerization reaction include, but are not limited to, glycol ether solvents such as propylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monomethyl ether acetate; Hydrocarbon solvents such as toluene and xylene, and solvents having no reactive functional groups such as ethyl acetate. These may be used alone or in combination of two or more. Among them, a glycol ether-based solvent is preferable.
용매의 배합량은, 원료를 용해시킬 수 있는 양이라면 특히 한정되지 않지만, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)의 합계를 100 질량부로 한 경우에, 일반적으로 30~1000 질량부, 바람직하게는 50~800 질량부이다. 특히, 용매의 배합량을 1000 질량부 이하로 하는 것으로, 연쇄 이동 작용에 의해 공중합체의 분자량의 저하를 억제하고, 또 공중합체의 점도를 적절한 범위로 제어할 수 있다. 또한, 용매의 배합량을 30 질량부 이상으로 하는 것으로, 이상한 중합반응을 방지하고, 중합반응을 안정시켜 실시할 수 있는 것과 함께, 공중합체의 착색이나 겔화를 방지할 수 있다. The blending amount of the solvent is not particularly limited as long as it is an amount capable of dissolving the raw material, but the amount of the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 '), the unsaturated polybasic acid anhydride (a- ) Is 100 parts by mass, it is generally 30 to 1000 parts by mass, preferably 50 to 800 parts by mass. Particularly, when the blending amount of the solvent is 1000 parts by mass or less, it is possible to suppress the decrease of the molecular weight of the copolymer by the chain transfer action, and to control the viscosity of the copolymer to an appropriate range. In addition, by setting the amount of the solvent to 30 parts by mass or more, abnormal polymerization reaction can be prevented, polymerization reaction can be stably performed, and coloring and gelation of the copolymer can be prevented.
또한, 이 공중합 반응에 사용되는 것이 가능한 중합개시제로서는, 특히 한정되지 않지만, 예컨대, 아조비스이소부티로니트릴, 아조비스이소발레로니트릴, 과산화벤조일, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다.The polymerization initiator that can be used in the copolymerization reaction is not particularly limited, and examples thereof include azobisisobutyronitrile, azobisisobalonitrile, benzoyl peroxide, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate And the like. These may be used alone or in combination of two or more.
중합개시제의 배합량은, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3)의 합계를 100 질량부로 한 경우에, 일반적으로 0.5~20 질량부, 바람직하게는 1.0~10 질량부이다.When the total amount of the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 '), the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2), and the monomer (a-3) is 100 parts by mass, 0.5 to 20 parts by mass, preferably 1.0 to 10 parts by mass.
유기 용매를 사용하지 않고, 모노머(a-1) 및/또는 모노머(a-1'), 불포화 다염기산 무수물(a-2), 및 모노머(a-3), 중합개시제를 사용하여 괴상 중합을 실시하여도 좋다. Bulk polymerization is carried out using the monomer (a-1) and / or the monomer (a-1 '), the unsaturated polybasic acid anhydride (a-2), the monomer (a-3) and a polymerization initiator without using an organic solvent .
상기 공중합반응으로 얻어진 공중합체는, 수산기를 갖는 모노머(a-4)를 부가하는 것에 의해, 공중합체의 측쇄에 카복실기 및 이중 결합이 도입된다. 이에 의해, 감광성 수지 조성물의 감도나 현상성이 향상된다.In the copolymer obtained by the copolymerization reaction, a carboxyl group and a double bond are introduced into the side chain of the copolymer by adding the monomer (a-4) having a hydroxyl group. This improves the sensitivity and developability of the photosensitive resin composition.
모노머(a-4)의 예로서는, 2-히드록시에틸(메타) 아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타) 아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타) 아크릴레이트, 2,3-디히드록시프로필(메타) 아크릴레이트, 글리세린 디메타크릴레이트, 2-히드록시-3-아크릴로일옥시프로필(메타) 아크릴레이트, 2-아크릴로일옥시에틸-2-히드록시에틸프탈산, 트리메틸올프로판디(메타) 아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. Examples of the monomer (a-4) include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, glycerin dimethacrylate, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl (meth) acrylate, 2-acryloyloxyethyl-2-hydroxyethylphthalic acid, trimethylolpropane di Methacrylate, pentaerythritol triacrylate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
특히, 공중합체 중의 산무수물기와의 반응성을 고려한 경우, 모노머(a-4)는, 제1급 수산기를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 감광성 수지 조성물의 감도를 고려한 경우, 모노머(a-4)는, 부가 공중합체(A) 중의 이중 결합의 양을 많게 하기 위하여, 분자량이 작은 것 또는 다관능의 (메타) 아크릴레이트인 것이 바람직하다. 이들 조건을 만족하는 모노머로서는, 2-히드록시에틸(메타) 아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타) 아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타) 아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트 등을 들 수 있다. In particular, in consideration of the reactivity with the acid anhydride group in the copolymer, the monomer (a-4) preferably has a primary hydroxyl group. In consideration of the sensitivity of the photosensitive resin composition, the monomer (a-4) is preferably a monomer having a small molecular weight or a multifunctional (meth) acrylate in order to increase the amount of double bonds in the addition copolymer (A) desirable. Examples of the monomer satisfying these conditions include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, and pentaerythritol triacrylate. have.
공중합체 중의 산무수물기에 대한 모노머(a-4)의 부가비율은, 10~100%인 것이 바람직하다. 이와 같은 모노머(a-4)의 부가반응을 실시하기 위해서는, 공중합체의 산무수물기의 몰 당량을 1로 했을 때에, 모노머(a-4)의 수산기의 몰 당량이0.1~1의 범위로 되도록 모노머(a-4)를 첨가하여 반응시키면 좋다. 부가비율이 10% 미만이면, 공중합체의 측쇄에 도입되는 카복실기 및 이중 결합의 양이 너무 적어, 소망하는 감도나 현상성을 얻을 수 없다. The addition ratio of the monomer (a-4) to the acid anhydride group in the copolymer is preferably 10 to 100%. In order to carry out the addition reaction of the monomer (a-4), the molar equivalent of the hydroxyl group of the monomer (a-4) should be in the range of 0.1 to 1, when the molar equivalent of the acid anhydride group of the copolymer is 1. The monomer (a-4) may be added and reacted. If the addition ratio is less than 10%, the amount of the carboxyl group and the double bond introduced into the side chain of the copolymer is too small, and the desired sensitivity and developability can not be obtained.
공중합체 중의 산무수물기에 대한 모노머(a-4)의 부가반응은, 공중합체에 모노머(a-4), 중합금지제 및 촉매를 첨가하고, 50~150℃, 바람직하게는 80~130℃에서 반응을 실시하면 좋다. 이 부가반응에서는, 공중합 반응에 사용한 용매가 포함되어 있어도 특히 문제는 없기 때문에, 공중합 반응이 종료된 후에 용매를 제거함 없이 부가반응을 실시할 수 있다. The addition reaction of the monomer (a-4) to the acid anhydride group in the copolymer is carried out by adding the monomer (a-4), a polymerization inhibitor and a catalyst to the copolymer and heating at 50 to 150 ° C, The reaction may be carried out. In this addition reaction, there is no particular problem even if the solvent used in the copolymerization reaction is included, so that the addition reaction can be carried out without removing the solvent after completion of the copolymerization reaction.
여기서, 중합금지제는, 공중합체의 중합에 의한 겔화를 방지하기 위하여 첨가된다. 중합금지제로서는, 특히 한정되지 않지만, 예컨대, 하이드로퀴논, 메틸하이드로퀴논, 하이드로퀴논모노메틸에테르 등을 들 수 있다. 또한, 촉매로서는, 특히 한정되지 않지만, 예컨대, 트리에틸아민과 같은 제3급 아민, 트리에틸벤질암모늄클로라이드와 같은 제4급 암모늄염, 트리페닐포스핀과 같은 인 화합물, 크롬의 킬레이트 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 산무수물과 수산기의 반응에 있어서는, 트리에틸아민, 트리에틸렌디아민, 4-디메틸아미노피리딘, 디메틸아미노에틸메타크릴레이트 등의 제3급 아민을 사용하는 것이 바람직하다. Here, the polymerization inhibitor is added in order to prevent gelation by polymerization of the copolymer. The polymerization inhibitor is not particularly limited, and examples thereof include hydroquinone, methylhydroquinone, hydroquinone monomethyl ether and the like. Examples of the catalyst include, but are not limited to, tertiary amines such as triethylamine, quaternary ammonium salts such as triethylbenzylammonium chloride, phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and chelate compounds of chromium. . Among them, it is preferable to use tertiary amines such as triethylamine, triethylenediamine, 4-dimethylaminopyridine and dimethylaminoethyl methacrylate in the reaction of the acid anhydride with the hydroxyl group.
상기와 같이 얻을 수 있는 부가 공중합체(A)의 산가는, 바람직하게는 50~400 KOH mg/g, 더욱 바람직하게는 150~300 KOH mg/g이다. 이 산가가 50 KOH mg/g 미만이면, 감광성 수지 조성물의 현상성이 저하되어 버리는 수가 있다. 한편, 이 산가가 400 KOH mg/g을 초과하면, 알칼리 현상액에 대하여 노광 부분(광경화 부분)이 용해되기 쉽게 되는 수가 있다. The acid value of the addition copolymer (A) thus obtained is preferably 50 to 400 KOH mg / g, and more preferably 150 to 300 KOH mg / g. If the acid value is less than 50 KOH mg / g, the developability of the photosensitive resin composition may be deteriorated. On the other hand, if the acid value exceeds 400 KOH mg / g, the exposed portion (light-cured portion) tends to dissolve in the alkaline developer.
또한, 부가 공중합체(A)의 분자량(폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량)은, 바람직하게는 1000~40000, 더욱 바람직하게는 3000~20000이다. 이 분자량이 1000 미만이면, 현상 후에 착색 패턴의 결함이 생기기 쉽게 되는 수가 있다. 한편, 이 분자량이 40000을 초과하면, 현상시간이 너무 길게 되어 버려, 실용성이 결여되는 수가 있다. The molecular weight (weight average molecular weight in terms of polystyrene) of the addition copolymer (A) is preferably 1,000 to 40,000, more preferably 3,000 to 20,000. If the molecular weight is less than 1000, defects of the coloring pattern may easily occur after development. On the other hand, if the molecular weight exceeds 40,000, the development time becomes too long, and practicality may be lost.
본 실시형태의 부가 공중합체(A)는, 감광성 수지 조성물에 사용되는 알칼리 가용성 수지로서 최적이고, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물을 제조할 수 있다. The addition copolymer (A) of the present embodiment is a photosensitive resin composition which is optimal as an alkali-soluble resin for use in a photosensitive resin composition and which is excellent in sensitivity and developability and exhibits a coloring pattern excellent in heat resistance and solvent resistance can do.
실시형태 2.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 실시형태 1의 부가 공중합체(A)와 용매(B)를 함유한다. The photosensitive resin composition of this embodiment contains the addition copolymer (A) of the first embodiment and the solvent (B).
용매(B)는, 부가 공중합체(A)와 반응하지 않는 불활성 용매이면 특히 한정되지 않는다.The solvent (B) is not particularly limited as long as it is an inert solvent that does not react with the addition copolymer (A).
용매(B)로서는, 부가 공중합체(A)를 제조할 때(공중합 반응)에 사용한 용매와 동일한 것을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 용매(B)의 예로서, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 디프로필렌 글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 아세트산이소프로필, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 디프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 트리프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜에틸에테르아세테이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. 또한, 이들 중에서도, 부가 공중합체(A)를 제조할 때(공중합 반응)에 있어서 사용되는 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르아세테이트 등의 글리콜에테르계 용매가 바람직하다. As the solvent (B), the same solvent as that used in the production of the addition copolymer (A) (copolymerization reaction) can be used. Specific examples of the solvent (B) include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl acetate, butyl acetate, isopropyl acetate, propylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol ethyl Ether acetate and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Of these, glycol ether solvents such as propylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monomethyl ether acetate, which are used in the production of the addition copolymer (A) (copolymerization reaction), are preferred.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서 용매(B)의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중의 고형분(즉, 용매를 제외한 성분) 100 질량부에 대하여, 일반적으로 30~1000 질량부, 바람직하게는 50~800 질량부, 더욱 바람직하게는 100~700 질량부이다. 이 범위의 배합량이라면, 적절한 점도를 갖는 감광성 수지 조성물로 된다. The blending amount of the solvent (B) in the photosensitive resin composition of the present embodiment is generally 30 to 1000 parts by mass, preferably 50 to 800 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid component (that is, the component excluding the solvent) in the photosensitive resin composition Mass part, and more preferably 100 to 700 mass parts. When the amount is within this range, a photosensitive resin composition having an appropriate viscosity is obtained.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 상기 성분에 더하여, 반응성 희석제(C), 광중합 개시제(D) 및 착색제(E)를 함유할 수 있다. The photosensitive resin composition of the present embodiment may contain a reactive diluent (C), a photopolymerization initiator (D) and a colorant (E) in addition to the above components.
반응성 희석제(C)로서는, 부가 공중합체(A)와 반응하는 것이라면 특히 한정지 않는다. 반응희석제의 예로서는, 스티렌, α-메틸스티렌, α-클로로메틸스티렌, 비닐톨루엔, 디비닐 벤젠, 디알릴프탈레이트, 디알릴벤젠포스포네이트 등의 방향족 비닐계모노머류; 아세트산비닐, 아디핀산비닐 등의 폴리카복시산 모노머류; 메틸(메타) 아크릴레이트, 에틸(메타) 아크릴레이트, 프로필(메타) 아크릴레이트, 부틸(메타) 아크릴레이트, β-히드록시에틸(메타) 아크릴레이트, 히드록시프로필(메타) 아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타) 아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타) 아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타) 아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타) 아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타) 아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타) 아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타) 아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타) 아크릴레이트, 트리스(히드록시에틸)이소시아누레이트의 트리(메타) 아크릴레이트 등의 (메타) 아크릴계 모노머; 트리알릴시아누레이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. The reactive diluent (C) is not particularly limited as long as it reacts with the addition copolymer (A). Examples of the reactive diluent include aromatic vinyl monomers such as styrene,? -Methylstyrene,? -Chloromethylstyrene, vinyltoluene, divinylbenzene, diallyl phthalate, and diallylbenzenephosphonate; Polycarboxylic acid monomers such as vinyl acetate and vinyl adipate; (Meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl Acrylates such as di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (Meth) acrylate monomers such as tri (meth) acrylate of pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and tris (hydroxyethyl) isocyanurate ; Triallyl cyanurate and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서 반응성 희석제(C)의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중의 고형분(즉, 용매를 제외한 성분) 100 질량부에 대하여, 일반적으로 10~90 질량부, 바람직하게는 20 ~80 질량부, 더욱 바람직하게는 25~70 질량부이다. 이 범위의 배합량이라면, 적절한 광경화성 및 점도를 갖는 감광성 수지 조성물로 된다. The amount of the reactive diluent (C) to be added in the photosensitive resin composition of the present embodiment is generally 10 to 90 parts by mass, preferably 20 to 90 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid component (that is, 80 parts by mass, and more preferably 25 to 70 parts by mass. When the amount is within this range, a photosensitive resin composition having appropriate photocurability and viscosity is obtained.
광중합 개시제(D)로서는, 특히 한정되지 않지만, 예컨대, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르 등의 벤조인과 그의 알킬에테르류; 아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 1,1-디클로로아세토페논, 4-(1-t-부틸디옥시-1-메틸에틸)아세토페논 등의 아세토페논류; 2-메틸안트라퀴논, 2-아밀안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논 등의 안트라퀴논류; 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤, 2-클로로티오크산톤 등의 티오크산톤류; 아세토페논디메틸케탈, 벤질디메틸케탈 등의 케탈류; 벤조페논, 4-(1-t-부틸디옥시-1-메틸에틸)벤조페논, 3,3',4,4'-테트라키스(t-부틸디옥시카보닐)벤조페논 등의 벤조페논류; 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐] -2-모르폴리노-프로판-1-온; 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부타논-1; 아실포스핀옥사이드류; 및 크산톤류 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. Examples of the photopolymerization initiator (D) include, but are not limited to, benzoin and alkyl ethers thereof such as benzoin, benzoin methyl ether, and benzoin ethyl ether; Acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone and 4- (1-t-butyldioxy-1-methylethyl) acetophenone; Anthraquinones such as 2-methyl anthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butyl anthraquinone and 1-chloro anthraquinone; Thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone and 2-chlorothioxanthone; Ketal such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; Benzophenones such as benzophenone, 4- (1-t-butyldioxy-1-methylethyl) benzophenone and 3,3 ', 4,4'-tetrakis (t-butyldioxycarbonyl) benzophenone ; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one; 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1; Acylphosphine oxides; And xanthones. These may be used alone or in combination of two or more.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서 광중합 개시제(D)의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중의 고형분(즉, 용매를 제외한 성분) 100 질량부에 대하여, 일반적으로 0.1~30 질량부, 바람직하게는 0.5~20 질량부, 더욱 바람직하게는 1~10 질량부이다. 이 범위의 배합량이라면, 적절한 광경화성을 갖는 감광성 수지 조성물로 된다. The blending amount of the photopolymerization initiator (D) in the photosensitive resin composition of the present embodiment is generally from 0.1 to 30 parts by mass, preferably from 0.5 to 30 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid component (that is, 20 parts by mass, and more preferably 1 to 10 parts by mass. When the amount is within this range, a photosensitive resin composition having appropriate photo-curability can be obtained.
착색제(E)는, 용매(B)에 용해되는 것이라면 특히 한정되지 않고, 예컨대, 염료나 안료 등을 들 수 있다. The colorant (E) is not particularly limited as long as it is soluble in the solvent (B), and examples thereof include a dye and a pigment.
특히, 종래의 감광성 수지 조성물로는, 염료를 사용하면 휘도가 높은 착색 패턴을 얻을 수 있지만, 안료를 사용한 경우에 비하여 착색 패턴의 내열성이 낮아진다는 문제가 있었다. 이에 대하여, 본 실시형태의 감광성 수지 조성물로는, 염료의 순염(馴染み)이 양호하기 때문에, 염료를 사용하여도 내열성이 우수한 착색 패턴을 얻을 수 있다. Particularly, in the conventional photosensitive resin composition, when a dye is used, a coloring pattern having a high luminance can be obtained, but there is a problem that the heat resistance of the coloring pattern is lowered as compared with the case of using a pigment. On the other hand, in the photosensitive resin composition of the present embodiment, since the pure salt of the dye is good, a coloring pattern excellent in heat resistance can be obtained even by using a dye.
염료로서는, 용매(B)나 알칼리 현상액에 대한 용해성, 감광성 수지 조성물 중의 다른 성분과의 상호작용, 내열성 등의 관점에서, 카복시산 등의 산성 기를 갖는 산성 염료, 산성 염료의 질소 화합물과의 염, 산성 염료의 설폰아미드체 등을 사용하는 것이 바람직하다. 이와 같은 염료의 예로서는, acid alizarin violet N; acid black 1, 2, 24, 48; acid blue 1, 7, 9, 25, 29, 40, 45, 62, 70, 74, 80, 83, 90, 92, 112, 113, 120 , 129, 147; acid chrome violet K; acid Fuchsin ; acid green 1, 3, 5, 25, 27, 50; acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56, 63, 74, 95; acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 69, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274; acid violet 6B, 7, 9, 17, 19; acid yellow 1, 3, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 42, 54, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 114, 116; food yellow 3 및 이들의 유도체 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 아조계, 크산텐계, 안트라퀴논계 또는 프탈로시아닌계의 산성 염료가 바람직하다. 이들은, 목적으로 하는 화소의 색에 따라서, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. From the viewpoints of solubility in solvents (B) and alkali developers, interaction with other components in the photosensitive resin composition, heat resistance, etc., the dyes include acid dyes having an acidic group such as carboxylic acid, salts with nitrogen compounds of acid dyes, A sulfonamide form of an acidic dye or the like is preferably used. Examples of such dyes include acid alizarin violet N; acid black 1, 2, 24, 48; acid blue 1, 7, 9, 25, 29, 40, 45, 62, 70, 74, 80, 83, 90, 92, 112, 113, 120, 129, 147; acid chrome violet K; acid Fuchsin; acid green 1, 3, 5, 25, 27, 50; acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56, 63, 74, 95; acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 69, 73, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274; acid violet 6B, 7, 9, 17, 19; acid yellow 1, 3, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 42, 54, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 114, 116; food yellow 3, and derivatives thereof. Among them, azo dyes, xanthan dyes, anthraquinone dyes or phthalocyanine dyes are preferable. These can be used alone or in combination of two or more kinds, depending on the color of a target pixel.
안료의 예로서는, C.I. 피그멘트 옐로우 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214 등의 황색 안료; C.I. 피그멘트 오렌지 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73 등의 주황색 안료; C.I. 피그멘트 레드 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265 등의 적색 안료; C.I. 피그멘트 블루 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60 등의 청색 안료; C.I. 피그멘트 바이올렛 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38 등의 바이올렛색 안료; C.I. 피그멘트 그린 7, 36, 58 등의 녹색 안료; C.I. 피그멘트 브라운 23, 25 등의 갈색 안료; C.I. 피그멘트 블랙 1, 7, 카본블랙, 티탄블랙, 산화철 등의 흑색 안료 등을 들 수 있다. 이들은, 목적으로 하는 화소의 색에 따라서, 단독으로 또는 2종 이상을 조합시켜 사용할 수 있다. Examples of the pigment include C.I.
목적으로 하는 화소의 색에 따라서, 상기 염료 및 안료를 조합하여 사용할 수 있다. The dye and the pigment may be used in combination according to the color of the target pixel.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서 착색제(E)의 배합량은, 감광성 수지 조성물 중의 고형분(즉, 용매를 제외한 성분) 100 질량부에 대하여, 일반적으로 5~80 질량부, 바람직하게는 5~70 질량부, 더욱 바람직하게는 10~60 질량부이다. The blending amount of the colorant (E) in the photosensitive resin composition of the present embodiment is generally 5 to 80 parts by mass, preferably 5 to 70 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid component (that is, the component excluding the solvent) in the photosensitive resin composition Mass part, and more preferably 10 to 60 mass parts.
착색제(E)로서 안료를 사용하는 경우, 안료의 분산성을 향상시키는 관점에서, 공지의 분산제를 감광성 수지 조성물에 배합하여도 좋다. 분산제로서는, 경시의 분산 안정성이 우수한 고분자 분산제를 사용하는 것이 바람직하다. 고분자 분산제의 예로서는, 우레탄계 분산제, 폴리에틸렌이민계 분산제, 폴리옥시에틸렌알킬에테르계 분산제, 폴리옥시에틸렌글리콜 디에스테르계 분산제, 소르비탄 지방족 에스테르계 분산제, 지방족 변성 에스테르계 분산제 등을 들 수 있다. 이와 같은 고분자 분산제로서, EFKA(에프카 케미컬즈 비브이(EFKA)사 제조), Disperbyk(빅케미사 제조), 디스파론(쿠스모토가세이 가부시끼가이샤 제조), SOLSPERSE(제네카 사제조) 등의 상품명으로 시판되고 있는 것을 사용하면 좋다. When a pigment is used as the colorant (E), a known dispersant may be added to the photosensitive resin composition from the viewpoint of improving the dispersibility of the pigment. As the dispersing agent, it is preferable to use a polymer dispersing agent having excellent dispersion stability over time. Examples of the polymer dispersant include a urethane-based dispersant, a polyethyleneimine-based dispersant, a polyoxyethylene alkyl ether-based dispersant, a polyoxyethylene glycol diester-based dispersant, a sorbitan aliphatic ester-based dispersant, and an aliphatic modified ester-based dispersant. Examples of such polymer dispersing agents include trade names such as EFKA (manufactured by EFKA), Disperbyk (manufactured by BICKEMISA), DIPERRON (manufactured by Kusumoto Chemical Co., Ltd.) and SOLSPERSE (manufactured by Geneca) May be used.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물에 있어서 분산제의 배합량은, 사용하는 안료 등의 종류에 따라서 적절히 설정하면 좋다. The blending amount of the dispersing agent in the photosensitive resin composition of the present embodiment may be suitably set in accordance with the kind of the pigment to be used.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 상기 성분에 더하여, 소정의 특성을 부여하기 위하여, 공지의 커플링제, 레벨링제, 열중합금지제 등의 공지의 첨가제를 배합하여도 좋다. 이들의 첨가제의 배합량은, 본 발명의 결과를 저해하지 않는 범위라면 특히 한정되지 않는다. The photosensitive resin composition of the present embodiment may be blended with known additives such as known coupling agents, leveling agents, and thermosetting agents in addition to the above components in order to impart predetermined characteristics. The blending amount of these additives is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not impaired.
본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 공지의 혼합장치를 사용하여, 상기 성분을 혼합하는 것에 의해 제조할 수 있다. The photosensitive resin composition of the present embodiment can be produced by mixing the above components using a known mixing apparatus.
상기와 같이 하여 얻을 수 있는 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 알칼리 현상성을 갖고 있기 때문에, 알칼리 수용액을 사용하는 것에 의해 현상을 용이하게 실시할 수 있다. 특히, 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 감도나 현상성이 우수한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타낼 수 있다. 이 때문에, 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 각종 레지스트, 특히, 유기 EL 디스플레이, 액정표시장치, 고체 촬상소자에 조합되는 컬러 필터를 제조하기 위해 사용되는 레지스트로서 사용하는 것에 적합하다. 또한, 본 실시형태의 감광성 수지 조성물은, 내열분해성 및 내용매성 등의 각종 특성이 우수한 경화막을 제공할 수 있기 때문에, 각종 코팅, 접착제, 인쇄 잉크용 바인더 등에 사용할 수 있다. The photosensitive resin composition of the present embodiment, which can be obtained in the above-described manner, has alkali developability, so that development can be easily carried out by using an aqueous alkali solution. In particular, the photosensitive resin composition of the present embodiment can exhibit a coloring pattern excellent in heat resistance and solvent resistance as well as excellent in sensitivity and developability. For this reason, the photosensitive resin composition of the present embodiment is suitable for use as a resist used for producing a color filter to be combined with various resists, particularly organic EL displays, liquid crystal displays, and solid-state image pickup devices. The photosensitive resin composition of the present embodiment can be used for various coatings, adhesives, binders for printing inks, and the like because it can provide a cured film excellent in various properties such as heat resistance decomposability and solvent resistance.
실시형태 3.Embodiment 3:
본 실시형태의 컬러 필터는, 상기 감광성 수지 조성물로부터 얻을 수 있는 착색 패턴을 갖는다. The color filter of the present embodiment has a coloring pattern obtainable from the photosensitive resin composition.
이하, 본 실시형태의 컬러 필터에 관하여, 도면을 이용하여 설명한다. Hereinafter, the color filter of this embodiment will be described with reference to the drawings.
도 1은, 본 실시형태의 컬러 필터의 단면도이다. 도 1에서, 컬러 필터는, 기판(1), 기판(1) 상에 형성되는, RGB의 화소(2) 및 화소(2)의 경계에 형성되는 블랙 매트릭스(3), 화소(2) 및 블랙 매트릭스(3) 상에 형성되는 보호막(4)으로 구성된다. 이 구성에 있어서, 화소(2) 및 블랙 매트릭스(3)(착색 패턴)가 상기 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성되는 것을 제외하면, 그 외의 구성은 공지의 것을 채용할 수 있다. 도 1에 도시한 컬러 필터는 일예이고, 이 구성에만 한정되지 않는다. 1 is a cross-sectional view of a color filter of the present embodiment. 1, the color filter includes a
이어, 본 실시형태의 컬러 필터의 제조 방법에 관하여 설명한다. Next, a method of manufacturing the color filter of the present embodiment will be described.
먼저, 기판(1) 상에 착색 패턴을 형성한다. 구체적으로는, 기판(1) 상에, 블랙 매트릭스(3) 및 화소(2)를 순차 형성한다. 여기서, 기판(1)로서는, 특히 한정되지 않지만, 글래스 기판, 실리콘 기판, 폴리카보네이트 기판, 폴리에스테르 기판, 폴리아미드 기판, 폴리아미드이미드 기판, 폴리이미드 기판, 알루미늄 기판, 프린트 배선 기판, 어레이 기판 등을 사용할 수 있다. First, a colored pattern is formed on the
착색 패턴은, 포토리소그래피법에 의해 형성할 수 있다. 구체적으로는, 상기 감광성 수지 조성물을 기판(1) 상에 도포하여 도포막을 형성한 후, 소정 패턴의 포토마스크를 통하여 도포막을 노광하여 노광 부분을 광경화시킨다. 그리고, 미노광 부분을 알칼리 수용액으로 현상한 후, 베이킹하는 것에 의해, 소정 패턴을 형성할 수 있다. The coloring pattern can be formed by photolithography. Specifically, the photosensitive resin composition is coated on the
감광성 수지 조성물의 도포 방법으로서는, 특히 한정되지 않지만, 스크린 인쇄법, 롤코트법, 커텐코트법, 스프레이코트법, 스핀 코트법 등을 사용할 수 있다. 또한, 감광성 수지 조성물의 도포 후, 필요에 따라서, 순환식 오븐, 적외선 히터, 핫 플레이트 등의 가열 수단을 이용하여 가열하는 것에 의해 용매(B)를 휘발시켜도 좋다. 가열 조건은, 특히 한정되지 않고, 사용하는 감광성 수지 조성물의 종류에 따라서 적절히 설정하면 좋다. 일반적으로는, 50℃~120℃의 온도에서 30초 내지 30분 가열하면 좋다. The method of applying the photosensitive resin composition is not particularly limited, and a screen printing method, a roll coating method, a curtain coating method, a spray coating method, a spin coating method, or the like can be used. After the application of the photosensitive resin composition, the solvent (B) may be volatilized by heating using a heating means such as a circulating oven, an infrared heater, or a hot plate, if necessary. The heating conditions are not particularly limited and may be appropriately set according to the type of the photosensitive resin composition to be used. Generally, heating may be performed at a temperature of 50 to 120 DEG C for 30 seconds to 30 minutes.
노광에 사용되는 광원으로서는, 특히 한정되지 않지만, 저압 수은 램프, 중압 수은 램프, 고압 수은 램프, 크세논 램프, 메탈 할라이드 램프 등을 사용할 수 있다. 또한, 노광량도, 특히 한정되지 않고, 사용하는 감광성 수지 조성물의 종류에 따라서 적절히 조정하면 좋다. As a light source used for exposure, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp and the like can be used although there is no particular limitation. The amount of exposure is not particularly limited, and may be suitably adjusted according to the type of the photosensitive resin composition to be used.
현상에 사용되는 알칼리 수용액로서는, 특히 한정되지 않지만, 탄산 나트륨, 탄산 칼륨, 탄산 칼슘, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨 등의 수용액; 에틸아민, 디에틸아민, 디메틸에탄올아민 등의 아민계 화합물의 수용액; 3-메틸-4-아미노-N,N-디에틸아닐린, 3-메틸-4-아미노-N-에틸-N-β-히드록시에틸아닐린, 3-메틸-4-아미노-N-에틸-N-β-메탄설폰아미드에틸아닐린, 3-메틸-4-아미노-N-에틸-N-β-메톡시에틸아닐린 및 이들의 황산염, 염산염 또는 p-톨루엔설폰산염 등의 p-페닐렌디아민계 화합물의 수용액 등을 사용할 수 있다. 이들 중에서도, p-페닐렌디아민계 화합물의 수용액을 사용하는 것이 바람직하다. 이들의 수용액에는, 필요에 따라서 소포제나 계면활성제를 첨가하여도 좋다. 또한, 상기 알칼리 수용액에 의한 현상 후, 수세하여 건조시키는 것이 바람직하다. The alkali aqueous solution used for the development is not particularly limited, and examples thereof include aqueous solutions such as sodium carbonate, potassium carbonate, calcium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide and the like; An aqueous solution of an amine compound such as ethylamine, diethylamine or dimethylethanolamine; 3-methyl-4-amino-N, N-diethylaniline, 3-methyl- -methanesulfonamide ethyl aniline, 3-methyl-4-amino-N-ethyl-N -? - methoxyethylaniline and p-phenylenediamine compounds such as sulfate, hydrochloride or p- And the like can be used. Among them, it is preferable to use an aqueous solution of a p-phenylenediamine compound. To these aqueous solutions, a defoaming agent or a surfactant may be added as required. Further, after development with the above-mentioned alkali aqueous solution, it is preferable to wash with water and dry.
베이킹의 조건은, 특히 한정되지 않고, 사용하는 감광성 수지 조성물의 종류에 따라서 가열 처리를 행하면 좋다. 일반적으로는, 130℃~250℃에서 10~60분간 가열하면 좋다. The baking conditions are not particularly limited, and heat treatment may be performed depending on the type of the photosensitive resin composition to be used. Generally, heating at 130 ° C to 250 ° C for 10 to 60 minutes is sufficient.
상기와 같은 도포, 노광, 현상 및 베이킹을, 블랙 매트릭스(3)용의 감광성 수지 조성물, 및 화소(2)용의 감광성 수지 조성물을 사용하여 순차 반복하는 것에 의해, 소망하는 착색 패턴을 형성할 수 있다. By repeating the above-mentioned application, exposure, development and baking in sequence using the photosensitive resin composition for the
상기에서는, 광경화에 의한 착색 패턴의 형성방법을 설명하였지만, 광중합 개시제(D) 대신에, 경화촉진제 및 공지의 에폭시 수지를 배합한 감광성 수지 조성물을 사용하면, 잉크젯법에 의해 도포한 후, 가열하는 것에 의해, 소망하는 착색 패턴을 형성할 수 있다. In the above description, a method of forming a colored pattern by photo-curing has been described. However, when a photosensitive resin composition containing a curing accelerator and a known epoxy resin is used in place of the photopolymerization initiator (D) , A desired coloring pattern can be formed.
이어, 착색 패턴(화소(2) 및 블랙 매트릭스(3)) 상에 보호막(4)을 형성한다. 보호막(4)으로서는, 특히 한정되지 않고, 공지의 것을 사용하여 형성하면 좋다. Next, the
이와 같이 하여 제조된 컬러 필터는, 감도나 현상성이 우수한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조하고 있기 때문에, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 갖는다. The color filter thus produced is excellent in sensitivity and developability and is manufactured using a photosensitive resin composition exhibiting a coloring pattern excellent in heat resistance decomposability and solvent resistance. Therefore, a coloring pattern having excellent heat resistance and solvent resistance can be obtained .
실시예Example
이하, 실시예를 참조하여 본 발명을 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들의 실시예에 의해 한정되지 않는다. 이 실시예에서, 부 및 퍼센트는 특별히 한정되지 않는 한, 전체 질량 기준이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In this embodiment, parts and percentages are based on total mass unless otherwise specified.
<감광성 수지 조성물의 제조>≪ Preparation of Photosensitive Resin Composition >
교반장치, 적하 로트, 콘덴서, 온도계 및 가스 도입관을 구비한 플라스크에, 426.1g의 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르아세테이트(용매 1) 및 176.4g의 무수 말레인산 (a-2)을 넣은 후, 질소 치환하면서 교반하여, 120℃로 승온시켰다. 이어, 66.0g의 디시클로펜타닐 메타크릴레이트(a-1) 및 106.2g의 비닐톨루엔(a-3)로 이루어지는 모노머 혼합물에, 24.4g의 t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트(중합개시제)를 첨가한 것을 적하 로트로부터 상기 플라스크 중에 적하하였다. 적하 완료후, 120 ℃에서 2시간 교반하여 공중합 반응을 실시하여, 공중합체를 생성시켰다. 426.1 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (solvent 1) and 176.4 g of maleic anhydride (a-2) were placed in a flask equipped with a stirrer, dropping funnel, condenser, thermometer and gas inlet tube, And the temperature was raised to 120 ° C. Subsequently, 24.4 g of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate (polymerization) was added to a monomer mixture composed of 66.0 g of dicyclopentanyl methacrylate (a-1) and 106.2 g of vinyltoluene Initiator) was added to the flask from the dropping funnel. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 120 DEG C for 2 hours to carry out a copolymerization reaction to produce a copolymer.
이어, 상기 플라스크를 공기로 치환한 후, 139.2g의 2-히드록시에틸아크릴레이트(a-4), 1.5g의 트리에틸아민(촉매), 및 1.5g의 메틸하이드로퀴논(중합금지제)을 가하고, 120℃에서 6시간 부가반응을 실시하여, 부가 공중합체(A)를 생성시켰다. Then, the flask was purged with air, and then 139.2 g of 2-hydroxyethyl acrylate (a-4), 1.5 g of triethylamine (catalyst) and 1.5 g of methylhydroquinone And the addition reaction was carried out at 120 DEG C for 6 hours to produce the addition copolymer (A).
이어, 이 부가 공중합체(A)에, 305.6g의 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르(용매 2)를 가하여, 감광성 수지 조성물(시료 번호 1)을 얻었다. Subsequently, 305.6 g of propylene glycol monomethyl ether (solvent 2) was added to this addition copolymer (A) to obtain a photosensitive resin composition (sample No. 1).
원료의 종류 및 양을 변경한 이외는, 상기와 동일하게 하여 수종류의 감광성 수지 조성물(시료 번호 2~19)을 제조하였다. Several kinds of photosensitive resin compositions (Sample Nos. 2 to 19) were prepared in the same manner as above except that the kinds and amounts of raw materials were changed.
감광성 수지 조성물(시료 번호 1~19)의 제조에 사용한 원료 및 그의 배합량을 표 1에 나타낸다. Table 1 shows the raw materials used in the production of the photosensitive resin compositions (Sample Nos. 1 to 19) and their blending amounts.
표 1에서, (a-1), (a-1'), (a-2) 및 (a-3)의 각 원료의 몰%는, (a-1), (a-1'), (a-2) 및 (a-3)의 원료의 합계를 100 몰%로 했을 때의, 각 원료의 몰%를 의미한다. 또한, (a-4)의 몰 당량이라는 것은, 공중합체의 산무수물기의 몰 당량을 1로 했을 때의, 모노머(a-4)의 수산기의 몰 당량을 의미한다. 또한, 산가라는 것은, JIS K6901 5.3에 따라서 측정된 부가 공중합체(A)의 산가이며, 부가 공중합체(A) 1g 중에 포함되는 산성 성분을 중화하는데 필요한 수산화 칼륨의 mg 수를 의미한다. 또한, 분자량(Mw)이라는 것은, 겔 퍼미에이션 크로마토그래피에 의해, 이하의 조건하에서 측정된 표준 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량을 의미한다. In Table 1, the molar percentages of the respective raw materials of (a-1), (a-1 '), (a-2) and (a- means the mol% of each raw material when the total amount of the raw materials of (a-2) and (a-3) is 100 mol%. The molar equivalent of (a-4) means the molar equivalent of the hydroxyl group of the monomer (a-4) when the molar equivalent of the acid anhydride group of the copolymer is 1. The acid value is the acid value of the addition copolymer (A) measured according to JIS K6901 5.3, which means the number of mg of potassium hydroxide necessary for neutralizing the acidic component contained in 1 g of the addition copolymer (A). Further, the molecular weight (Mw) means the weight average molecular weight in terms of standard polystyrene measured by gel permeation chromatography under the following conditions.
<분자량 측정조건><Molecular Weight Measurement Conditions>
컬럼: 쇼우딕스 LF-804+LF-804(소화전공 주식회사 제조)Column: Showdix LF-804 + LF-804 (manufactured by Digo Co., Ltd.)
컬럼온도: 40℃Column temperature: 40 ° C
시료: 부가 공중합체(A)의 0.2% 테트라히드로푸란 용액Sample: 0.2% tetrahydrofuran solution of the addition copolymer (A)
전개용매: 테트라히드로푸란Developing solvent: tetrahydrofuran
검출기: 시차굴절계(쇼우딕스 RI-71S)(소화전공 주식회사 제조)Detector: Differential refractometer (Showidix RI-71S) (manufactured by Digo Co., Ltd.)
유속: 1 mL/분Flow rate: 1 mL / min
시료 번호 1~19의 감광성 수지 조성물을 사용하여, 투명 레지스트, 컬러 레지스트(안료 타입) 및 컬러 레지스트(염료 타입)를 제조하였다. A transparent resist, a color resist (pigment type) and a color resist (dye type) were prepared using the photosensitive resin compositions of Sample Nos. 1 to 19.
<투명 레지스트의 제조>≪ Preparation of transparent resist &
시료 번호 1~19의 감광성 수지 조성물의 고형분 100 질량부에 대하여, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트(반응성 희석제) 30 질량부, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논(광중합 개시제) 4 질량부를 첨가하여, 투명 레지스트를 제조하였다(실시예 1~14 및 비교예 1~5). 30 parts by mass of pentaerythritol tetraacrylate (reactive diluent) and 4 parts by mass of 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone (photopolymerization initiator) were added to 100 parts by mass of the solid content of the photosensitive resin compositions of Sample Nos. To thereby prepare a transparent resist (Examples 1 to 14 and Comparative Examples 1 to 5).
<투명 레지스트에 의한 경화 도막의 형성>≪ Formation of cured coating film by transparent resist &
제조된 투명 레지스트를, 5 cm 각 글래스 기판(무알칼리 글래스 기판) 상에, 최종 경화도막의 두께가 2.5μm로 되도록 스핀 코팅한 후, 90℃에서 30분간 가열하는 것으로 용매를 휘발시켰다. 이어, 얻어진 도막의 전면을 노광(노광량 50 mJ/cm2)하여 광경화시킨 후, 또한 230℃에서 30분간 베이킹하는 것으로 경화도막을 얻었다. The prepared transparent resist was spin-coated on a 5 cm square glass substrate (alkali-free glass substrate) so that the final cured coating film had a thickness of 2.5 m and then heated at 90 占 폚 for 30 minutes to volatilize the solvent. Then, the entire surface of the resultant coating film was exposed to light (exposure dose: 50 mJ / cm 2 ) to be photo-cured, and further baked at 230 ° C for 30 minutes to obtain a cured film.
<투명 레지스트로부터 형성된 경화도막의 평가>≪ Evaluation of cured coating film formed from transparent resist &
투명 레지스트로부터 형성된 경화도막에 관하여, 내열분해성, 투명성 및 밀착성을 평가하였다. The cured coating film formed from the transparent resist was evaluated for thermal decomposition resistance, transparency and adhesion.
(1) 내열분해성의 평가(1) Evaluation of thermal decomposition resistance
내열분해성은, 투명 레지스트로부터 형성된 경화도막을 절출한 샘플을 사용하여, 열중량분석(TGA)을 실시하는 것에 의해 평가하였다. 이 분석에서는, 이 샘플과 샘플을 220℃까지 가열하여 2 시간 유지시킨 샘플과의 사이의 중량 변화율을 구하였다. 이 평가의 기준은 이하와 같다. The thermal decomposition resistance was evaluated by thermogravimetric analysis (TGA) using a sample from which a cured film formed from a transparent resist was discharged. In this analysis, the weight change rate between the sample and the sample heated to 220 DEG C for 2 hours was obtained. The criteria for this evaluation are as follows.
○: -2.0% 미만○: less than -2.0%
×: -2.0% 이상×: -2.0% or more
(2) 투명성의 평가(2) Evaluation of transparency
투명성은, 투명 레지스트로부터 형성된 경화도막과, 이 경화도막을 건조기 중에서 230℃로 가열하여 1시간 방치한 것에 관하여, 400 nm의 광선 투과율을 분광광도계에 의해 측정하고, 그 투과율의 변화율을 조사하는 것에 의해 평가하였다. 이 평가의 기준은 이하와 같다. The transparency was measured by measuring a light transmittance of 400 nm with respect to the cured coating film formed from a transparent resist and heating the cured film at 230 DEG C for 1 hour in a drier by using a spectrophotometer and examining the rate of change of the transmittance Respectively. The criteria for this evaluation are as follows.
○: 투과율의 변화율이 1% 미만?: The rate of change of transmittance is less than 1%
×: 투과율의 변화율이 1% 이상X: Change rate of transmittance is 1% or more
(3) 밀착성의 평가(3) Evaluation of adhesion
밀착성은, 투명 레지스트로부터 형성된 경화도막에 관하여, JIS K5400에 준하여 바둑판 눈금 시험을 실시하여, 100개의 바둑판 눈금의 박리상태를 육안관찰하는 것에 의해 평가하였다. 이 평가 기준은 이하와 같다. The adhesiveness was evaluated by subjecting the cured coating film formed from the transparent resist to a scratch test according to JIS K5400 and visually observing the peeling state of 100 scratch marks. The evaluation criteria are as follows.
○: 박리가 전혀 보이지 않음 ○: No peeling at all
×: 박리가 보임 X: peeling is visible
상기 내열분해성, 투명성 및 밀착성의 평가결과를 표 2에 나타낸다. The evaluation results of the heat-decomposability, transparency and adhesiveness are shown in Table 2.
표 2의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1~14의 투명 레지스트는, 내열분해성, 투명성 및 밀착성이 전부 우수한 경화도막을 나타내는 것에 대하여, 비교예 1~5의 투명 레지스트는, 내열분해성, 투명성, 밀착성 중 어느 것이 충분하지 않은 경화 도막을 나타내었다. As can be seen from the results shown in Table 2, the transparent resist of Examples 1 to 14 exhibits a cured film excellent in all of heat resistance, transparency and adhesion, whereas the transparent resist of Comparative Examples 1 to 5 has heat resistance , And the adhesion was not sufficient.
<컬러 레지스트(안료 타입)의 제조>≪ Preparation of color resist (pigment type) >
직경 0.5 mm의 지르코니아 비즈 180 질량부를 충전한 SUS 용기에, 10.00 질량부의 C.I. 피그멘트 그린 36, 33.75 질량부의 PGMEA(용매), 및 6.25 질량부의분산제(빅케미.재팬 주식회사 제조 Disperbyk-161)를 가하여, 페인트 쉐이커로 3시간 혼합하여 분산시키는 것에 의해 녹색 안료 분산액을 얻었다. To an SUS container filled with 180 parts by mass of zirconia beads having a diameter of 0.5 mm, 10.00 parts by mass of C.I. Pigment Green 36, 33.75 parts by mass of PGMEA (solvent) and 6.25 parts by mass of a dispersant (Disperbyk-161 manufactured by Big Chem Co., Ltd.) were mixed and dispersed for 3 hours with a paint shaker to obtain a green pigment dispersion .
이어, 제조한 녹색 안료 분산액, 시료 번호 1~19의 감광성 수지 조성물, 및 그 외의 성분을 혼합하는 것에 의해 컬러 레지스트(안료 타입)를 제조하였다(실시예 15~28 및 비교예 6~10). 이 컬러 레지스트(안료 타입)의 배합 성분 및 그의 배합량을 표 3에 나타낸다. Next, a color resist (pigment type) was prepared by mixing the green pigment dispersion thus prepared, the photosensitive resin composition of Sample Nos. 1 to 19, and other components (Examples 15 to 28 and Comparative Examples 6 to 10). Table 3 shows the blending components of the color resist (pigment type) and their blending amounts.
Formulation amount (parts by mass)
(반응성 희석제)Trimethylolpropane triacrylate
(Reactive diluent)
(광중합 개시제, 시바 스폐셜티 케미컬스 제조)Irgacure 907
(Photopolymerization initiator, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(광중합 개시제, 가와구치 약품제조)High Cure ABP
(Photopolymerization initiator, manufactured by Kawaguchi Pharmaceutical Co., Ltd.)
(용매)Propylene glycol monomethyl ether acetate
(menstruum)
<컬러 레지스트(안료 타입)에 의한 패턴형성> ≪ Pattern formation by color resist (pigment type) >
제조된 컬러 레지스트(안료 타입)를, 5 cm 각 글래스 기판(무알칼리 글래스 기판) 상에, 건조시의 두께가 2.2μm로 되도록 스핀 코팅한 후, 80℃에서 3분간 가열하는 것으로 용매를 휘발시켜, 건조시켰다. 이어, 도포막으로부터 100μm의 거리로 소정 패턴의 포토마스크를 배치하고, 이 포토마스크를 통하여 도포막을 노광(노광량 150 mJ/cm2)하고, 노광 부분을 광경화시켰다. 이어, 0.1 질량%의 탄산 나트륨을 포함하는 수용액을 23℃의 온도 및 0.3 MPa의 압력에서 스프레이하는 것에 의해 미노광 부분을 용해하여 현상한 후, 230℃에서 30분간 베이킹하는 것에 의해 소정 패턴을 형성시켰다. The prepared color resist (pigment type) was spin-coated on a 5 cm square glass substrate (alkali-free glass substrate) so that the thickness upon drying would be 2.2 μm and then heated at 80 ° C. for 3 minutes to volatilize the solvent , And dried. Subsequently, a photomask of a predetermined pattern was disposed at a distance of 100 mu m from the coated film, and the coated film was exposed (exposure amount: 150 mJ / cm < 2 >) through the photomask. Subsequently, an unexposed portion was dissolved and developed by spraying an aqueous solution containing 0.1% by mass of sodium carbonate at a temperature of 23 캜 and a pressure of 0.3 MPa, and then baked at 230 캜 for 30 minutes to form a predetermined pattern .
<컬러 레지스트(안료 타입) 및 패턴의 평가>≪ Evaluation of color resist (pigment type) and pattern >
컬러 레지스트(안료 타입) 및 패턴에 관하여, 알칼리 현상성, 감도 및 내용매성을 평가하였다. With regard to the color resist (pigment type) and the pattern, the alkalinity developing property, the sensitivity and the solvent resistance were evaluated.
(4) 알칼리 현상성의 평가(4) Evaluation of alkali developability
알칼리 현상성은, 알칼리 현상시간, 알칼리 현상 후의 잔사, 및 현상형태에 의해 평가하였다. The alkali developability was evaluated by the time of alkali development, the residue after alkaline development, and the development form.
알칼리 현상시간은, 상기 스프레이를 사용한 알칼리 현상에 의해 패턴이 완전히 시인되었을 때의 시간을 측정하였다. The alkali development time was measured by the time when the pattern was completely visually recognized by the alkali development using the spray.
알칼리 현상 후의 잔사는, 알칼리 현상 후의 패턴을, 전자현미경을 사용하여 관찰하는 것에 의해 평가하였다. 이 평가의 기준은 다음과 같다. The residue after the alkali development was evaluated by observing the pattern after the alkali development using an electron microscope. The criteria for this evaluation are as follows.
○: 잔사 없음 ○: No residue
×: 잔사 있음 X: Residual
현상 형태는, 알칼리 현상에 의한 미노광 부분의 제거 형태를 육안으로 평가하였다. 여기서, 네가형 레지스트의 현상 공정에서는, 미경화의 미노광 부분이 알칼리 현상액에 의해 용해되어 기판 상으로부터 이탈하여 가지만, 그 현상 형태로서는, 이탈하여 가는 부분이 주로 큰 덩어리로 되어 벗겨지는 박리형과, 서서히 용해 및 확산하는 용해형이 있다. 전자의 박리형은, 덩어리가 이물로 되어 계 내에 잔류하고, 다른 색의 화소를 오염시키기 쉽기 때문에 바람직하지 않다. 요컨대, 후자의 용해형이 바람직하지 않기 때문에, 이 평가의 기준은 이하와 같다. In the form of development, the form of removal of the unexposed portion due to the alkali development was visually evaluated. Here, in the development process of negative resist, unexposed unexposed portions are dissolved by the alkali developing solution to be separated from the substrate. In the developing mode, however, the detached thinned portion mainly becomes a large lump, , And a dissolving type that dissolves and diffuses gradually. The exfoliation type of the former is not preferable because the agglomerates remain in the system as foreign matters and easily contaminate pixels of different colors. In short, since the latter dissolution type is not preferable, the criteria for this evaluation are as follows.
○: 용해형○: Dissolution type
×: 박리형×: peeling type
(5) 감도의 평가(5) Evaluation of sensitivity
감도는, 상기 스프레이를 사용한 알칼리 현상을 30초간 실시하여, 알칼리 현상 전후에 있어서 패턴 두께의 감소량을 측정하였다. 이 패턴 두께는, 감소량이 적을 수록 감도가 양호하다고 말할 수 있기 때문에, 이 평가의 기준은 이하와 같이 하였다. The sensitivity was evaluated by the alkali development using the above spray for 30 seconds to measure the amount of decrease in the pattern thickness before and after the alkali development. Since this pattern thickness can be said to have a better sensitivity as the reduction amount is smaller, the criterion for this evaluation is as follows.
○: 0.20 μm 미만○: less than 0.20 μm
×: 0.20 μm 이상×: 0.20 μm or more
(6) 내용매성의 평가(6) Evaluation
내용매성은, 포토마스크를 사용하지 않고 전면 노광한 이외는 상기와 동일하게 하여 광경화시켜 형성한 패턴 샘플을 사용하여, 용량 500mL의 덮개 글래스에 200 mL의 n-메틸-2-피롤리돈을 넣고, 그 중에 패턴샘플을 침지시킨 후, 23℃에서 60분 후의 색변화를 색차계에 의해 측정하였다. 이 평가의 기준은 이하와 같다. The solvent resistance was measured by using a pattern sample formed by photocuring in the same manner as described above except that the entire surface was exposed without using a photomask, and 200 mL of n-methyl-2-pyrrolidone was added to a cover glass having a capacity of 500 mL After the pattern sample was immersed in the sample, the color change after 60 minutes at 23 ° C was measured by a colorimeter. The criteria for this evaluation are as follows.
○: ΔE*ab가 0.3 미만?:? E * ab is less than 0.3
×: ΔE*ab가 0.3 이상×: ΔE * ab is 0.3 or more
상기 알칼리 현상성, 감도 및 내용매성의 평가 결과를 표 4에 나타낸다. The evaluation results of the alkali developability, the sensitivity and the solvent resistance are shown in Table 4.
표 4의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 15~28의 컬러 레지스트(안료 타입)는, 알칼리 현상성 및 감도가 양호하고, 내용매성이 우수한 패턴을 나타내는 것에 대하여, 비교예 6~10의 컬러 레지스트(안료 타입)는, 알칼리 현상성 또는 감도가 양호하지 않든가 내용매성이 충분하지 않은 패턴을 나타내었다. As can be seen from the results in Table 4, the color resist (pigment type) of Examples 15 to 28 exhibited good alkali developability and sensitivity, and excellent solvent resistance, while Comparative Examples 6 to 10 The color resist (pigment type) exhibited a pattern in which the alkali developability or sensitivity was poor or the solvent resistance was insufficient.
<컬러 레지스트(염료 타입)의 제조> ≪ Preparation of color resist (dye type) >
염료(acid green 3), 시료 번호 1~19의 감광성 수지 조성물, 및 그 이외의 성분을 혼합하는 것에 의해 컬러 레지스트(염료 타입)를 제조하였다(실시예 29~42 및 비교예 11~15). 이 컬러 레지스트(염료 타입)의 배합 성분 및 그의 배합량을 표 5에 나타낸다. A color resist (dye type) was prepared by mixing the dye (acid green 3), the photosensitive resin composition of Sample Nos. 1 to 19, and other components (Examples 29 to 42 and Comparative Examples 11 to 15). Table 5 shows the blending components of the color resist (dye type) and their blending amounts.
(반응성 희석제)Trimethylolpropane triacrylate
(Reactive diluent)
(광중합 개시제, 시바 스폐셜티 케미컬즈 제조)Irgacure 907
(Photopolymerization initiator, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(용매)Propylene glycol monomethyl ether
(menstruum)
<컬러 레지스트(염료 타입)에 의한 패턴형성>≪ Pattern formation by color resist (dye type) >
컬러 레지스트(염료 타입)를 사용한 이외는, 컬러 레지스트(안료 타입)에 의한 패턴형성과 동일하게 하여 소정 패턴을 형성시켰다. Except that a color resist (dye type) was used, a predetermined pattern was formed in the same manner as the pattern formation by a color resist (pigment type).
<컬러 레지스트(염료 타입) 및 패턴의 평가>≪ Evaluation of color resist (dye type) and pattern >
컬러 레지스트(안료 타입)와 동일한 방법에 의해, 알칼리 현상성, 감도 및 내용매성을 평가하였다.The alkali developability, sensitivity and solvent resistance were evaluated by the same method as that of the color resist (pigment type).
상기 알칼리 현상성, 감도 및 내용매성의 평가 결과를 표 6에 나타낸다. The evaluation results of the alkali developability, sensitivity and solvent resistance are shown in Table 6.
표 6의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 29~42의 컬러 레지스트(염료 타입)는, 알칼리 현상성 및 감도가 양호하고, 내용매성이 우수한 패턴을 나타내는 것에 대하여, 비교예 11~15의 컬러 레지스트(염료 타입)는, 알칼리 현상성 또는 감도가 양호하지 않든가, 내용매성이 충분하지 않은 패턴을 나타내었다. As can be seen from the results of Table 6, the color resist (dye type) of Examples 29 to 42 exhibited good alkali developability and sensitivity and excellent solvent resistance, while Comparative Examples 11 to 15 The color resist (dye type) exhibited a pattern in which the alkali developability or sensitivity was not good, and the solvent resistance was insufficient.
이상의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 의하면, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물의 제조에 사용되는 알칼리 가용성 수지(부가 공중합체)를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 감도나 현상성이 양호한 것과 함께, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 나타내는 감광성 수지 조성물을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 내열분해성 및 내용매성이 우수한 착색 패턴을 갖는 컬러 필터를 제공할 수 있다. As can be seen from the above results, according to the present invention, an alkali-soluble resin (addition copolymer) used in the production of a photosensitive resin composition exhibiting good sensitivity and developability as well as a coloring pattern excellent in heat- Can be provided. Further, according to the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition which exhibits good sensitivity and developability and exhibits a coloring pattern excellent in heat resistance decomposability and solvent resistance. Further, according to the present invention, it is possible to provide a color filter having a coloring pattern excellent in thermal decomposition resistance and solvent resistance.
본 국제출원은, 2010년 4월 13일에 출원된 일본국 특허출원 제2010-092286호를 기초로 우선권 주장하는 것이고, 이 일본국 특허출원의 전 내용을 본 국제 출원에 채용한다. This international application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2010-092286 filed on April 13, 2010, and the entire content of this Japanese patent application is incorporated in the present international application.
Claims (13)
화학식(1)
(식중에서, X 및 Y는 각각 독립적으로, 수소원자, 또는 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기쇄의 탄화수소기를 나타내고, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1~20의 탄화수소기 또는 카복실기를 나타내고, R1 및 R2가 연결된 고리상 구조를 형성하여도 좋음)로 표시되는 모노머(a-1') 2~60 몰%, 불포화 다염기산 무수물(a-2) 30~88 몰%, 및 (a-1), (a-1') 및 (a-2) 이외의 공중합 가능한 모노머(a-3) 10~68 몰%를 공중합시킨 공중합체에, 수산기를 갖는 모노머(a-4)를 부가시킨 부가 공중합체(A), 용매(B)를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물. (A-1) having a bridged cyclic hydrocarbon group having 10 to 20 carbon atoms and / or a monomer (a-1)
(1)
(Wherein X and Y each independently represent a hydrogen atom or a straight or branched chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms; R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or it denotes a carboxyl group, R 1 and R 2 is good to form a cyclic structure linked) monomer (a-1 ') 2 ~ 60% by mole represented by, an unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) 30 ~ 88 mol% And 10 to 68 mol% of a copolymerizable monomer (a-3) other than the monomer (a-1), (a-1 ' ) Added thereto, and a solvent (B).
(식중에서, X 및 Y는 각각 독립적으로, 수소원자, 또는 탄소수 1~4의 직쇄 또는 분기쇄의 탄화수소기를 나타내고, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소원자, 탄소수 1~20의 탄화수소기 또는 카복실기를 나타내고, R1 및 R2가 연결된 고리상 구조를 형성하여도 좋음)로 표시되는 모노머(a-1') 2~60 몰%, 불포화 다염기산 무수물(a-2) 30~88 몰%, 및 (a-1), (a-1') 및 (a-2) 이외의 공중합 가능한 모노머(a-3) 10~68 몰%를 공중합시킨 공중합체에, 수산기를 갖는 모노머(a-4)를 부가시킨 것을 특징으로 하는 부가 공중합체(A). (A-1) having a bridged cyclic hydrocarbon group having 10 to 20 carbon atoms and / or a monomer (a-1)
(Wherein X and Y each independently represent a hydrogen atom or a straight or branched chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms; R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms or it denotes a carboxyl group, R 1 and R 2 is good to form a cyclic structure linked) monomer (a-1 ') 2 ~ 60% by mole represented by, an unsaturated polybasic acid anhydride (a-2) 30 ~ 88 mol% And 10 to 68 mol% of a copolymerizable monomer (a-3) other than the monomer (a-1), (a-1 ' ) Is added to the addition copolymer (A).
A color filter having a coloring pattern formed from the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5.
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