KR101405255B1

KR101405255B1 - Structure of hook up type of damper assembly

Info

Publication number: KR101405255B1
Application number: KR1020120097804A
Authority: KR
Inventors: 이동수
Original assignee: 이동수
Priority date: 2012-09-04
Filing date: 2012-09-04
Publication date: 2014-06-11
Also published as: KR20140030967A

Abstract

본 발명은 훅 업 형태의 댐퍼 어셈블리 구조에 관한 것이고, 구체적으로 반도체 제조 과정에서 배출되는 각종 가스 및 화학 약품을 포함하고 있는 흄 가스 (hume gas)를 도관으로부터 외부로 배출시킬 수 있도록 하는 훅 업 형태의 댐퍼 어셈블리 구조에 관한 것이다. 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 유동 통로가 형성되도록 속이 빈 원통 형상의 댐퍼(11); 댐퍼(11)의 한쪽 끝에 형성되어 도관(20)과 연결이 되고 확장 부분(121)과 결합 부분(122)으로 이루어진 호퍼(12); 댐퍼(11)의 다른 끝에 형성되는 체결 부분(13); 및 댐퍼(11)의 내부에 형성된 조절 블레이드(17)를 포함하고, 상기 확장 부분(121)은 댐퍼(11)에 비하여 큰 단면적을 가지도록 연장되고, 결합 부분(122)은 곡면 형상의 도관(20)의 외부 면에 대응되도록 적어도 일부가 댐퍼(11)의 단면을 기준으로 높이 차이를 가지는 곡면으로 연장되는 테두리(S)를 가지고 그리고 체결 피스(25)에 의하여 도관(20)에 고정된다. The present invention relates to a hook-up type damper assembly structure, and more particularly, to a hook-up type structure capable of discharging fume gas (hume gas) containing various kinds of gases and chemicals discharged in a semiconductor manufacturing process from a conduit to the outside To a damper assembly structure. The damper assembly according to the present invention comprises: a damper (11) having a hollow cylindrical shape to form a flow passage; A hopper 12 formed at one end of the damper 11 and connected to the conduit 20 and having an extended portion 121 and a mating portion 122; A fastening portion 13 formed at the other end of the damper 11; And an adjusting blade (17) formed inside the damper (11), wherein the extension part (121) extends to have a larger cross sectional area than the damper (11) and the engagement part (122) At least a portion of which has a rim S extending in a curved surface with a height difference with respect to the cross section of the damper 11 and is fixed to the conduit 20 by means of a clamping piece 25.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a damper assembly having a hook-up type damper assembly,

본 발명은 훅 업 형태의 댐퍼 어셈블리 구조에 관한 것이고, 구체적으로 반도체 제조 과정에서 배출되는 각종 가스 및 화학 약품을 포함하고 있는 흄 가스(hume gas)를 도관으로부터 외부로 배출시킬 수 있도록 하는 훅 업 형태의 댐퍼 어셈블리 구조에 관한 것이다. The present invention relates to a hook-up type damper assembly structure, and more particularly, to a hook-up type structure capable of discharging fume gas (hume gas) containing various kinds of gases and chemicals discharged in a semiconductor manufacturing process from a conduit to the outside To a damper assembly structure.

다양한 형태의 화학 약품이 사용되는 반도체 제조 공정에서 발생되는 흄 가스는 도관(duct)을 통하여 클린 룸으로부터 외부로 배출되어야 한다. 그러나 흄 가스가 직접 외부로 배출되는 경우 가스 내에 포함되는 있는 유해 성분으로 인하여 오염과 같은 문제를 발생시킬 수 있다. 이를 방지하기 위하여 클린 룸과 도관을 연결하는 장치가 요구되고 클린 룸으로부터 발생되는 흄 가스와 같은 유해 가스는 장치를 통하여 도관으로 흐를 수 있다. 그리고 도관은 흄 가스를 정화장치와 같은 시설로 배출시킬 수 있다. 이와 같이 예를 들어 반도체 제조 또는 다른 화학 공정이 수반이 되는 제품의 제조를 위한 클린 룸과 같은 제조 공간으로부터 오염 물질을 포함하는 흄 가스를 배출시키기 위한 장치를 댐퍼 어셈블리라고 한다. The fume gas generated in the semiconductor manufacturing process where various types of chemicals are used must be discharged from the clean room to the outside through a duct. However, when the fume gas is directly discharged to the outside, the harmful components contained in the gas may cause problems such as contamination. In order to prevent this, a device for connecting the clean room and the conduit is required, and harmful gas such as fume gas generated from the clean room can flow to the conduit through the device. And the conduit can discharge the fume gas to a facility such as a purifier. Thus, for example, a device for discharging fume gas containing contaminants from a manufacturing space, such as a clean room, for the manufacture of products accompanied by semiconductor manufacturing or other chemical processes is referred to as a damper assembly.

댐퍼 어셈블리는 설치가 간단하고 설치 과정에서 도관의 압력 변화를 발생시키지 않아야 하며 또한 누설이 발생되지 않아야 한다. The damper assembly should be simple to install and should not cause pressure changes in the conduit during installation and should not leak.

도관에 연결되는 댐퍼와 관련된 선행기술로 실용신안공개번호 제2010-0001814호 ‘리킹을 방지하는 덕트용 호퍼댐퍼’가 있다. 상기 선행기술은 유해 가스를 흡입하는 덕트에 결합되도록 상부에 댐퍼 플랜지가 형성되고, 흡입되는 유해 가스를 선택적으로 개폐시키도록 디스크 및 레버를 갖는 댐퍼부; 및 상기 댐퍼부의 하부면상에 하측으로 연장될수록 방사상 벌어지게 일체로 형성된 호퍼부로 구성되며, 상기 호퍼부의 하부면상에는 흡입된 유해가스를 정화시키는 정화장치의 상판에 결합되는 호퍼 플랜지가 형성되고, 상기 호퍼 플랜지의 하부면상에는 상기 상판에 형성된 관통공 속으로 연장되도록 돌출링이 일체로 더 형성된 것을 특징으로 하는 덕트용 호퍼댐퍼에 대하여 개시하고 있다. A prior art related to a damper connected to a duct is disclosed in Utility Model Publication No. 2010-0001814, 'Hopper Damper for Duct to Prevent Ricking'. The prior art includes a damper unit having a damper flange formed on an upper portion thereof so as to be coupled to a duct for sucking noxious gas and having a disk and a lever for selectively opening and closing a noxious gas to be sucked; And a hopper part formed integrally with the lower part of the damper part so as to be radially extended as it extends downward. A hopper flange coupled to the upper plate of the purifier for purifying the noxious gas sucked is formed on the lower surface of the hopper part, And a protruding ring is integrally formed on the lower surface of the flange so as to extend through the through-hole formed in the upper plate.

반도체 제조 공정의 배기용 댐퍼에 관련된 다른 선행기술로 특허등록번호 제0946728호 ‘반도체 제조공정의 배기용 댐퍼’가 있다. 상기 선행기술은 양단에 다수의 홀이 형성된 플랜지가 형성되는 몸체와, 상기 몸체의 중앙 및 상하부를 관통하여 회전 가능하게 설치되는 연결 회전 수단과, 상기 몸체의 내부에 설치되되 상기 연결 회전 수단과 결합되어 몸체의 통로를 개폐 조절하는 블레이드와, 상기 몸체의 상부에서 회동 가능하게 설치되는 핸들을 포함하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에서 상기 블레이드는 상부에 핀홀이 형성된 연결대와 일체로 형성되고 하부에 돌출 돌기가 일체로 형성되고, 상기 연결 회전수단은 중앙에 관통홀이 형성되고 외면에 복수 개의 오링이 형성되어 있는 부싱에 결합되며 다수의 나사산이 형성된 상부는 상기 관통홀을 통과하고 하부에는 상기 블레이드의 연결대가 삽입되어 연결되도록 상기 연결대의 핀홀에 상응하는 홀이 형성된 회전 샤프트와, 상기 블레이드의 하부에 형성된 돌출돌기와 결합되도록 홈이 형성되어 있는 회전돌기로 이루어지며, 상기 블레이드는 저항을 감소시키도록 내측에서 외측으로 갈수록 두께가 얇게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 배기용 댐퍼에 대하여 개시하고 있다. Another prior art related to the exhaust damper in the semiconductor manufacturing process is Patent Publication No. 0946728, " Damper for exhausting semiconductor manufacturing process ". The prior art includes a body in which a flange having a plurality of holes formed at both ends thereof is formed, a connection rotation means that is installed to be rotatable through the center and upper and lower portions of the body, And a handle rotatably installed at an upper portion of the body. In the exhaust damper of the semiconductor manufacturing process, the blade is integrally formed with a connecting pin having an upper pinhole formed thereon, Wherein the connection rotating means is coupled to a bushing having a through hole at its center and a plurality of O-rings formed on its outer surface, the upper portion having a plurality of threaded portions passing through the through hole, A rotation shaft having a hole corresponding to the pin hole of the linkage so that the linkage is inserted and connected And a rotation protrusion formed on the lower surface of the blade so as to engage with a protrusion protrusion formed on the lower surface of the blade, wherein the blade is formed thinner from the inner side to the outer side so as to reduce the resistance, Damper.

선행기술에서 제시된 댐퍼는 호퍼의 끝 부분이 평면 형상을 가지므로 도관에 직접 연결되기 어려우며 다양한 화학물질로부터 유발되는 내식성 또는 내화학성을 가지기 어렵다는 문제점을 가진다. The damper proposed in the prior art has a problem that it is difficult for the damper to directly connect to the conduit since the end portion of the hopper has a planar shape and it is difficult to have corrosion resistance or chemical resistance caused by various chemical substances.

본 발명은 선행기술이 가진 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art and has the following objectives.

본 발명의 목적은 도관에 직접 연결이 가능한 구조를 가지면서 누설이 방지될 수 있고 이와 동시에 내화학성을 가진 훅 업 형태의 댐퍼 어셈블리를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a hook-up type damper assembly having a structure that can be directly connected to a conduit while preventing leakage and at the same time having chemical resistance.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 댐퍼 어셈블리는 유동 통로가 형성되도록 속이 빈 원통 형상의 댐퍼; 댐퍼의 한쪽 끝에 형성되어 도관과 연결이 되고 확장 부분과 결합 부분으로 이루어진 호퍼; 댐퍼의 다른 끝에 형성되는 체결 부분; 및 댐퍼의 내부에 형성된 조절 블레이드를 포함하고, 상기 확장 부분은 댐퍼에 비하여 큰 단면적을 가지도록 연장되고, 결합 부분은 곡면 형상의 도관의 외부 면에 대응되도록 적어도 일부가 댐퍼의 단면을 기준으로 높이 차이를 가지는 곡면으로 연장되는 테두리를 가지고 그리고 체결 피스에 의하여 도관에 고정된다. According to a preferred embodiment of the present invention, the damper assembly comprises: a damper of cylindrical shape hollowed to form a flow passage; A hopper formed at one end of the damper and connected to the conduit and having an extended portion and a mating portion; A fastening portion formed at the other end of the damper; And a control blade formed in the interior of the damper, wherein the extension portion extends to have a larger cross-sectional area as compared to the damper, and wherein the engagement portion is at least partially formed to correspond to the outer surface of the curved conduit, Having a rim extending in a curved surface with a difference and being fixed to the conduit by a fastening piece.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 댐퍼 및 호퍼는 FRP(Fiber Reinforced Plastic) 소재로 일체형으로 제조된다.According to another preferred embodiment of the present invention, the damper and the hopper are integrally made of FRP (Fiber Reinforced Plastic) material.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 호퍼 또는 댐퍼가 독립된 구조로 되어 연결 브래킷에 의하여 서로 결합이 된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the hopper or the damper is formed into a separate structure and joined to each other by the connecting bracket.

본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 도관의 외형에 적합한 연결 구조를 가지도록 하는 것에 의하여 누설이 방지되면서 도관 내부의 압력 감소가 방지될 수 있도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 FRP(Fiber Reinforced Plastic)로 제조될 수 있어 내화학성이 향상될 수 있다는 장점을 가진다. 추가로 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 다양한 구조로 제조되어 임의의 도관 구조에 적용될 수 있도록 한다는 이점을 가진다. The damper assembly according to the present invention has a connection structure suitable for the external shape of the conduit, thereby preventing the leakage of the pressure and reducing the pressure inside the conduit. Further, the damper assembly according to the present invention can be made of FRP (Fiber Reinforced Plastic), which has an advantage that chemical resistance can be improved. In addition, the damper assembly according to the present invention has an advantage that it can be manufactured in various structures and applied to any duct structure.

도 1a는 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1b는 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리에서 도관에 연결되는 구조에 대한 실시 예를 도시한 것이다.
도 1c는 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리가 도관에 연결된 상태에서 기체의 흐름을 예시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리가 도관에 고정되는 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리의 다양한 실시 예를 도시한 것이다. 1A shows an embodiment of a damper assembly according to the present invention.
FIG. 1B illustrates an embodiment of a damper assembly according to the present invention, which is connected to a conduit. FIG.
1C illustrates the flow of gas in a state where the damper assembly according to the present invention is connected to a conduit.
Figure 2 illustrates an embodiment in which the damper assembly according to the present invention is secured to a conduit.
Figure 3 illustrates various embodiments of a damper assembly in accordance with the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto.

본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)는 유동 통로가 형성되도록 속이 빈 원통 형상의 댐퍼(11); 댐퍼(11)의 한쪽 끝에 형성되어 도관(20)과 연결이 되고 확장 부분(121)과 결합 부분(122)으로 이루어진 호퍼(12); 댐퍼(11)의 다른 끝에 형성되는 체결 부분(13); 및 댐퍼(11)의 내부에 형성된 조절 블레이드(17)를 포함하고, 상기 확장 부분(121)은 댐퍼(11)에 비하여 큰 단면적을 가지도록 연장되고, 결합 부분(122)은 곡면 형상의 도관(20)의 외부 면에 대응되도록 적어도 일부가 댐퍼(11)의 단면을 기준으로 높이 차이를 가지는 곡면으로 연장되는 테두리(S)를 가지고 그리고 체결 피스(25)에 의하여 도관(20)에 고정된다. The damper assembly (10) according to the present invention comprises: a damper (11) having a hollow cylindrical shape to form a flow passage; A hopper 12 formed at one end of the damper 11 and connected to the conduit 20 and having an extended portion 121 and a mating portion 122; A fastening portion 13 formed at the other end of the damper 11; And an adjusting blade (17) formed inside the damper (11), wherein the extension part (121) extends to have a larger cross sectional area than the damper (11) and the engagement part (122) At least a portion of which has a rim S extending in a curved surface with a height difference with respect to the cross section of the damper 11 and is fixed to the conduit 20 by means of a clamping piece 25.

도 1a는 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리의 실시 예를 도시한 것이다. 1A shows an embodiment of a damper assembly according to the present invention.

도 1b는 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리에서 도관에 연결되는 구조에 대한 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 1B illustrates an embodiment of a damper assembly according to the present invention, which is connected to a conduit. FIG.

본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)는 도관(20)에 연결되어 임의의 유해 물질을 포함하는 가스의 배출을 위하여 사용될 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)는 반도체 제조 공정을 위한 클린 룸에 설치된 공기 배출관에 댐퍼의 한쪽 끝이 적절한 결합 수단에 의하여 연결될 수 있다. 그리고 호퍼(12)는 공기 흐름이 유지되고 예를 들어 정화장치와 같은 설비로 가스를 이송시키는 도관(20)에 연결되어 유해 물질을 포함하는 흄 가스를 클린 룸으로부터 배출시킬 수 있다. The damper assembly 10 according to the present invention may be connected to the conduit 20 and used for the discharge of a gas containing any harmful substance. For example, the damper assembly 10 according to the present invention may be connected to an air discharge pipe installed in a clean room for a semiconductor manufacturing process, with one end of the damper being connected by a suitable coupling means. The hopper 12 is then connected to a conduit 20 that maintains the air flow and transfers the gas to a facility, such as a purifier, for example, to discharge fume gas containing toxic substances from the clean room.

댐퍼(11)는 속이 빈 원통 형상이 될 수 있고 내부에 아래에서 설명되는 조절 블레이드(17)가 설치될 수 있다. 댐퍼(11)는 배출 가스의 양에 따라 다양한 단면적 또는 길이를 가질 수 있고 예를 들어 타원 형상의 단면적을 가질 수 있고 본 발명은 댐퍼(11)의 구조에 의하여 제한되지 않는다. 댐퍼(11)의 한쪽 끝에 호퍼(12)가 형성될 수 있고 다른 끝에 체결 부분(13)이 형성될 수 있다. 다른 끝을 통하여 댐퍼(11)로 유입된 유해 물질을 포함하는 흄 가스와 같은 유동성 기체는 호퍼(12)를 통하여 도관(20)으로 배출될 수 있다. The damper 11 may have a hollow cylindrical shape and an adjusting blade 17, which will be described below, may be installed therein. The damper 11 may have various cross-sectional areas or lengths depending on the amount of the exhaust gas and may have, for example, an elliptical cross-sectional area, and the present invention is not limited by the structure of the damper 11. The hopper 12 may be formed at one end of the damper 11 and the fastening portion 13 may be formed at the other end thereof. A flowable gas, such as a fume gas, containing a toxic substance introduced into the damper 11 through the other end can be discharged to the conduit 20 through the hopper 12.

호퍼(12)는 아래에서 설명되는 도관(20)에 둘레 면에 결합될 수 있는 적절한 구조를 가질 수 있다. The hopper 12 may have a suitable structure that can be coupled to the circumferential surface of the conduit 20 described below.

도관(20)은 원통 형상 또는 타원 형상을 가질 수 있고 둘레 면은 곡면 형상이 될 수 있다. 그러므로 도관(20)에 결합되는 호퍼(12)는 도관(20)에 둘레 면에 대응되는 구조를 가지는 것이 유리하다. 구체적으로 호퍼(12)는 댐퍼(11)의 한쪽 끝으로부터 단면적이 점차적으로 커지면서 연장되는 확장 부분(121)과 확장 부분(121)의 끝 부분에 형성되면서 도관(20)의 둘레 면에 대응되도록 형성되는 결합 부분(122)으로 이루어질 수 있다. The conduit 20 may have a cylindrical shape or an elliptical shape, and the peripheral surface may have a curved shape. It is therefore advantageous that the hopper 12 coupled to the conduit 20 has a structure corresponding to the circumferential surface of the conduit 20. Specifically, the hopper 12 is formed at an end portion of the expansion portion 121 and an extension portion 121 extending from one end of the damper 11 while gradually increasing in cross-sectional area, and is formed to correspond to the circumferential surface of the conduit 20 As shown in FIG.

확장 부분(121)은 예를 들어 원형 또는 타원형의 단면적을 가지면서 연장되는 방향을 따라 점차로 단면적이 커질 수 있고 결합 부분(122)은 확장 부분(121)의 끝 부분이 될 수 있다. 결합 부분(122)은 결합되는 도관(20)의 둘레 면에 밀착될 수 있는 구조를 가질 수 있고 예를 들어 테두리(S)를 따라 댐퍼(11)의 단면을 기준으로 높이 차를 가지는 곡면 형상이 될 수 있다. 구체적으로 결합 부분(122)은 댐퍼(11)의 단면으로부터 테두리(S)까지 서로 다른 높이(L1, L2, L1<L2)를 가지는 구조로 만들어질 수 있다. 서로 높이(L1, L2)로 형성된 테두리(S)는 도관(20)의 둘레 면의 형상 또는 접촉 지점을 기준으로 결정될 수 있다. 구체적으로 도 1b의 (가)의 오른쪽에 도시된 것처럼, 댐퍼(11)의 단면과 평행한 가상 평면(I)에 대하여 댐퍼로부터 일정 높이에 있는 제2 높이(L2)와 가장 낮게 위치하는 제1 높이(L1)를 결정하고 그리고 적절한 곡률을 가지도록 제1 높이(L1)와 제2 높이(L2)를 연결하는 테두리(S)가 결정될 수 있다. 제1 높이(L1)와 제2 높이(L2)는 결합 부분(122)이 도관(20)에 접하는 면을 기준으로 결정되거나 또는 도관(20)의 열린 부분(22)을 기준으로 결정될 수 있다. 서로 다른 높이(L1, L2)를 가지는 테두리(S)의 형상으로 인하여 결합 부분(122)은 적어도 일부가 높이 차를 가지는 곡면으로 연장되는 테두리(S)를 가지게 된다. 이와 같은 결합 부분(122)의 구조로 인하여 결합 부분(122)은 도관(20)의 둘레 면에 긴밀하게 밀착되고 이로 인하여 유동 가스의 누설 및 이로 인하여 압력의 감소가 방지될 수 있다. 추가로 이와 같은 구조로 인하여 도관(20)의 내부에 돌출 부분이 형성되지 않도록 만들어질 수 있다. 대안으로 도 1b의 (가)의 중간 부분에 도시된 것처럼, 테두리(S)의 연장 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 경사진 테두리(S) 면 또는 경사진 두께 면을 형성할 수 있다. 또는 테두리(S) 면 또는 두께 면을 따라 연속적인 돌기(P)가 형성된 테두리(S) 면 또는 두께 면을 가질 수 있다. 경사진 테두리(S) 면은 결합 부분(122)이 긴밀하게 도관(20)의 둘레 면에 밀착이 되도록 하고 그리고 연속적인 돌기(P)가 형성된 면은 예를 들어 수지와 같은 접착체가 사용되는 경우 접착 강도와 밀착성을 높일 수 있도록 한다. 다른 대안으로 도 1b의 (나)에 도시된 것처럼, 테두리(S) 면에 둘레 홈(H)이 형성되고 그리고 둘레 홈(H)의 내부에 고무 또는 실리콘 재질의 밀폐 링(R)이 삽입될 수 있다. 둘레 홈(H)은 테두리(S)를 따라 원형이 될 수 있다. 둘레 홈(H)은 밀폐 링(R)의 밀폐 정도를 향상시키기 위하여 홈의 위쪽이 좁고 아래쪽이 넓은 구조를 가질 수 있다. 누설 방지를 위한 다양한 구조가 결합 부분(122)에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The enlarged portion 121 can have a cross-sectional area gradually increasing along a direction extending, for example, with a circular or elliptical cross-sectional area, and the engaging portion 122 can be an end portion of the enlarged portion 121. The coupling portion 122 may have a structure that can be closely attached to the circumferential surface of the conduit 20 to be coupled. For example, a curved surface shape having a height difference with respect to the cross section of the damper 11 along the rim S . Specifically, the engaging portion 122 can be formed in a structure having different heights (L1, L2, L1 < L2) from the end face of the damper 11 to the frame S. [ The rim S formed by the heights L1 and L2 can be determined based on the shape of the circumferential surface of the conduit 20 or the point of contact. Specifically, as shown on the right side of FIG. 1B, the second height L2 at a certain height from the damper with respect to the imaginary plane I parallel to the end surface of the damper 11, The edge S connecting the first height L1 and the second height L2 may be determined to determine the height L1 and to have an appropriate curvature. The first height L1 and the second height L2 may be determined based on a surface where the mating portion 122 contacts the conduit 20 or may be determined based on the open portion 22 of the conduit 20. [ Due to the shape of the rim S having different heights L1 and L2, the joining portion 122 has a rim S extending at least in part to a curved surface having a height difference. Due to the structure of the engagement portion 122, the engagement portion 122 is tightly adhered to the circumferential surface of the conduit 20, thereby preventing the leakage of the flow gas and consequently the reduction of the pressure. In addition, due to such a structure, it is possible to prevent the projecting portion from being formed inside the conduit 20. Alternatively, as shown in the middle part of FIG. 1B, a frame S surface inclined in a direction perpendicular to the extending direction of the frame S or an inclined thickness surface may be formed. Or a rim S surface or a thickness surface on which a continuous protrusion P is formed along the rim S surface or the thickness surface. The inclined rim (S) surface allows the engaging portion 122 to closely contact the circumferential surface of the conduit 20 and the surface on which the continuous protuberance P is formed, for example, when a glue such as a resin is used Thereby enhancing adhesion strength and adhesion. Alternatively, as shown in Fig. 1B (b), a circumferential groove H is formed on the rim S surface and a sealing ring R made of rubber or silicone is inserted into the circumferential groove H . The peripheral groove H may be circular along the rim S. The peripheral groove (H) may have a narrow upper portion of the groove and a wider lower portion to improve the degree of sealing of the sealing ring (R). Various structures for preventing leakage can be applied to the coupling portion 122 and the present invention is not limited to the embodiments shown.

도 1a를 참조하면, 댐퍼 어셈블리(10)는 예를 들어 클린 룸의 배출관과 연결될 수 있는 체결 부분(13) 및 조절 블레이드(17)의 개폐 정도를 조절하기 위한 개폐 장치(14)를 포함할 수 있다.1A, the damper assembly 10 can include, for example, a fastening portion 13 that can be connected to a discharge tube of a clean room, and an opening / closing device 14 for adjusting the opening / closing degree of the adjusting blade 17 have.

체결 부분(13)은 플렌지의 형상의 체결 몸체(131) 및 체결 몸체(131)에 형성된 체결 홀(132)을 포함할 수 있다. 체결 홀(132)에 예를 들어 고정 볼트 또는 스크루와 같은 고정 수단을 결합시키는 것에 의하여 댐퍼 어셈블리(10)가 배출관과 같은 장치에 연결될 수 있다.The fastening part 13 may include a fastening body 131 having a flange shape and a fastening hole 132 formed in the fastening body 131. The damper assembly 10 may be connected to a device, such as a discharge pipe, by engaging the fastening holes 132 with fastening means such as, for example, fastening bolts or screws.

체결 부분(13)이 반드시 형성되어야 하는 것은 아니다. 예를 들어 도 1a의 (나)에 도시된 것처럼 댐퍼(11)의 다른 끝에 체결 부분이 형성되지 않을 수 있다. 체결 부분이 형성되지 않는 경우 댐퍼(11)의 한쪽 끝은 밴드 타입(허브 타입)으로 클린 룸의 배출관에 연결될 수 있다. 제시된 체결 부분(13)은 다양한 구조를 가질 수 있으며 본 발명은 실시 예에 제한되지 않는다. The fastening portion 13 is not necessarily formed. For example, as shown in (b) of Fig. 1a, the fastening portion may not be formed at the other end of the damper 11. [ In the case where the fastening portion is not formed, one end of the damper 11 may be connected to the discharge pipe of the clean room as a band type (hub type). The illustrated fastening portion 13 may have a variety of configurations and the present invention is not limited to the embodiments.

개폐 장치(14)는 기판(141), 기판(141)에 형성된 이동 홈(143) 및 이동 홈(143)을 따라 회전될 수 조절 핸들(142)을 포함할 수 있다. 이동 홈(143)을 따라 조절 핸들(142)을 회전시킴에 따라 조절 블레이드(17)의 회전이 조절되고 이에 따라 댐퍼(11)의 개폐 정도가 조절될 수 있다. 다양한 구조를 가지는 개폐 장치(14)가 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The opening and closing device 14 may include a substrate 141, a moving groove 143 formed in the substrate 141, and an adjustable handle 142 rotated along the moving groove 143. The rotation of the adjusting blade 17 is adjusted by rotating the adjusting handle 142 along the moving groove 143 so that the degree of opening and closing of the damper 11 can be adjusted. The opening and closing device 14 having various structures can be applied to the damper assembly 10 according to the present invention, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

도 1b의 (나)를 참조하면, 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)는 도관(20)의 열린 부분(22)에 결합될 수 있다. 도관(20)은 예를 들어 원통 형상이 될 수 있고 도관(20)의 외벽(21)에 적절한 크기의 열린 부분(22)이 형성될 수 있다. 호퍼(12)는 결합 부분(122)을 이용하여 도관(20)의 열린 부분(22)에 결합될 수 있다. 그리고 체결 부분(13)에 예를 들어 배출관이 결합될 수 있고 조절 블레이드(17)에 의하여 댐퍼(11)의 개폐 정도가 조절될 수 있다. 배출관을 통하여 유입되는 흄 가스는 댐퍼(11)를 통하여 유입되어 확장 부분(121)을 경유하여 도관(20)으로 유입될 수 있다. Referring to FIG. 1B, the damper assembly 10 according to the present invention may be coupled to the open portion 22 of the conduit 20. The conduit 20 may be, for example, cylindrical in shape and an open portion 22 of an appropriate size may be formed in the outer wall 21 of the conduit 20. [ The hopper 12 can be coupled to the open portion 22 of the conduit 20 using the engagement portion 122. For example, a discharge pipe can be coupled to the fastening portion 13 and the degree of opening / closing of the damper 11 can be adjusted by the adjusting blade 17. [ The fume gas flowing through the discharge pipe flows into the conduit 20 through the damper 11 and the expanded portion 121.

도 1c를 참조하면, 도관(20)을 통하여 공기 흐름(B)이 존재하고 그리고 댐퍼 어셈블리의 댐퍼(11)를 통하여 흄 가스 흐름(A)이 공기 흐름(B)에 합쳐지게 되어 유체 흐름(A+B)을 형성하게 된다. 공기 흐름(B)은 예를 들어 흡입 장치와 같은 것에 의하여 형성될 수 있고 사용 조건에 따라 진공에 가까운 상태가 도관(20)에 형성될 수 있다. 조절 블레이드(17)를 통과한 흄 가스 흐름(A)은 댐퍼(11)에 비하여 단면적이 넓은 확장 부분(122)을 경유하면서 속도가 낮아지게 되고 이와 동시에 압력이 높아지게 된다. 이로 인하여 공기 흐름(B)은 도관을 통하여 계속 흐르게 되고 흄 가스 흐름(B)은 공기 흐름(B)을 방해하지 않으면서 유체 흐름(A+B)을 형성하게 된다. 댐퍼(11) 및 확장 부분(121)의 단면적은 도관(20)의 단면적을 고려하여 적절하게 조절될 수 있다. 1C, air flow B is present through conduit 20 and fume gas flow A is merged into air flow B through damper 11 of the damper assembly, resulting in fluid flow A + B). The airflow B may be formed, for example, by a suction device, and a vacuum close condition may be formed in the conduit 20, depending on the conditions of use. The flow rate of the fume gas passing through the regulating blade 17 is lowered through the expanding section 122 having a larger sectional area than the damper 11 and the pressure is increased at the same time. This causes the air flow B to continue to flow through the conduit and the fume gas flow B to form the fluid flow A + B without interfering with the air flow B. The cross-sectional area of the damper 11 and the extension portion 121 can be appropriately adjusted in consideration of the cross-sectional area of the conduit 20.

아래에서 댐퍼 어셈블리가 도관에 결합되는 방법에 대하여 설명된다. How the damper assembly is coupled to the conduit is described below.

도 2는 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리가 도관에 고정되는 실시 예를 도시한 것이다. Figure 2 illustrates an embodiment in which the damper assembly according to the present invention is secured to a conduit.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)는 체결 피스(25)에 의하여 도관(20)에 고정될 수 있다. 체결 피스(25)는 예를 들어 스틸, 스테인리스, 합금 또는 합성수지와 같이 이 분야에서 공지된 임의의 소재로 만들어질 수 있다. 체결 피스(25)는 호퍼의 결합 부분(122)의 둘레 면에 대응되는 형상으로 만들어지거나 또는 부분적으로 고정할 수 있는 판형으로 만들어질 수 있다. 체결 피스(25)에 의하여 도관(20)과 호퍼(12)가 연결될 수 있고 그리고 고정 핀(26)에 의하여 고정될 수 있다. 체결 피스(25) 및 고정 핀(26)에 의하여 댐퍼 어셈블리(10)가 도관(20)에 고정되면 결합 부분(122)과 도관(20)이 접하는 경계 면이 수지, 실리콘 또는 고무와 같은 소재에 의하여 밀폐될 수 있다. Referring to FIG. 2, the damper assembly 10 according to the present invention may be secured to the conduit 20 by fastening pieces 25. The fastening piece 25 may be made of any material known in the art, such as, for example, steel, stainless steel, alloy or synthetic resin. The clamping piece 25 may be made in a shape corresponding to the circumferential surface of the joining portion 122 of the hopper or may be made in a plate shape that can be partially fixed. The conduit 20 and the hopper 12 can be connected by the clamping piece 25 and fixed by the fixing pin 26. [ When the damper assembly 10 is fixed to the conduit 20 by the fastening piece 25 and the fixing pin 26, the interface between the coupling part 122 and the conduit 20 is made of a material such as resin, .

댐퍼 어셈블리(10)를 도관(20)에 고정시키기 위하여 접착 소재가 사용될 수 있다. 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)는 화학물질에 대한 부식성을 방지하기 위하여 FRP(Fiber Reinforced Plastic)과 같은 소재로 만들어질 수 있고 댐퍼(11)와 호퍼(12)가 일체로 만들어질 수 있다. 호퍼(12)를 도관(20)에 결합시키기 위하여 먼저 합성수지 형태의 접착소재가 사용되고 그리고 체결 피스(25) 및 고정 핀(26)이 사용될 수 있다. 만약 체결 부분이 형성되는 경우 댐퍼(11), 호퍼(12) 및 체결 부분이 FRP 소재로 일체로 성형될 수 있다.An adhesive material may be used to secure the damper assembly 10 to the conduit 20. The damper assembly 10 according to the present invention may be made of a material such as FRP (Fiber Reinforced Plastic) to prevent corrosion to chemicals, and the damper 11 and the hopper 12 may be integrally formed. A bonding material in the form of a synthetic resin is first used to join the hopper 12 to the conduit 20 and the clamping piece 25 and the fixing pin 26 can be used. If the fastening portion is formed, the damper 11, the hopper 12 and the fastening portion can be integrally formed of FRP material.

도 2의 (나)는 별도로 호퍼가 형성되지 않는 실시 예를 도시한 것으로 도관(20)로 댐퍼(11)의 일부가 돌출 될 수 있고 이로 인하여 압력 감소 또는 오염 물질의 누적과 같은 문제를 발생시킬 수 있다. 이에 비하여 도 2의 (가)에서 호퍼(12)가 형성되는 경우 압력 감소와 같은 문제가 해결될 수 있다. FIG. 2 (B) shows an embodiment in which a hopper is not formed. Part of the damper 11 may protrude into the conduit 20, thereby causing a problem such as pressure reduction or accumulation of contaminants. . On the other hand, when the hopper 12 is formed in FIG. 2 (A), problems such as pressure reduction can be solved.

다양한 방식의 고정 구조가 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리(10)의 고정을 위하여 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. Various types of fixing structures can be applied for fixing the damper assembly 10 according to the present invention, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

아래에서 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리의 다양한 실시 형태에 대하여 설명이 된다. Various embodiments of the damper assembly according to the present invention will be described below.

도 3은 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리의 다양한 실시 예를 도시한 것이다. Figure 3 illustrates various embodiments of a damper assembly in accordance with the present invention.

도 3의 (가)는 댐퍼(11)와 호퍼(12)가 일체형으로 만들어진 댐퍼 어셈블리의 실시 예를 도시한 것이다. 댐퍼(11)와 호퍼(12)는 FRP로 만들어질 수 있고 댐퍼(11)의 한쪽 끝에 체결 부분(13)이 형성될 수 있다. 체결 부분(13)은 플랜지 형태로 만들어질 수 있고 다수 개의 체결 홀이 형성될 수 있다. 필요에 따라, 댐퍼(11), 호퍼(12) 및 체결 부분(13)이 일체형으로 만들어질 수 있다. 3 (A) shows an embodiment of a damper assembly in which the damper 11 and the hopper 12 are integrally formed. The damper 11 and the hopper 12 can be made of FRP and the fastening part 13 can be formed at one end of the damper 11. [ The fastening portion 13 can be formed in a flange shape and a plurality of fastening holes can be formed. If necessary, the damper 11, the hopper 12, and the fastening portion 13 can be made integral.

위에서 설명을 한 것처럼, 결합 부분(122)은 도관의 둘레 면에 대응되도록 높이 차이를 가지는 테두리 구조를 가질 수 있다. 조절 블레이드(17)가 댐퍼(11)의 내부에 설치될 수 있고 호퍼(12)는 댐퍼(11)로부터 연장되는 방향에 따라 단면적이 커지는 구조를 가질 수 있다. As described above, the engagement portion 122 may have a rim structure with a height difference to correspond to the circumferential surface of the conduit. The regulating blade 17 can be installed inside the damper 11 and the hopper 12 can have a structure in which the sectional area increases along the direction extending from the damper 11. [

도 3의 (나)를 참조하면, 호퍼(12) 및 댐퍼(11)는 독립된 구조로 만들어질 수 있다. 독립된 형태로 만들어진 호퍼(12)의 한쪽 끝에 플랜지 형상의 연결 브래킷(33)이 형성될 수 있고 독립된 형태로 만들어진 댐퍼(30)의 양쪽 끝에 연결 브래킷(31, 32)이 형성될 수 있다. 연결 브래킷(33)은 별도로 제작되어 각각 호퍼(12) 및 댐퍼(30)에 결합되거나 또는 호퍼(12) 또는 댐퍼(30)와 일체로 만들어질 수 있다. 호퍼(12) 및 댐퍼(30)는 FRP 소재로 만들어질 수 있고 조절 블레이드(17)는 댐퍼(30) 내부에 설치될 수 있다. 독립된 형태로 제조된 호퍼(12) 및 댐퍼(30)는 체결 홀(31a, 32a, 33a) 및 체결 핀(31b)에 의하여 서로 연결이 되거나 또는 배출관(도시되지 않음)에 연결될 수 있다. Referring to FIG. 3 (B), the hopper 12 and the damper 11 can be made into an independent structure. A flange-shaped connecting bracket 33 may be formed at one end of the hopper 12 formed in an independent form and the connecting brackets 31 and 32 may be formed at both ends of the damper 30 formed in a separate form. The connecting brackets 33 may be separately manufactured and joined to the hopper 12 and the damper 30 or may be integrally formed with the hopper 12 or the damper 30. The hopper 12 and the damper 30 can be made of FRP material and the regulating blade 17 can be installed inside the damper 30. [ The hopper 12 and the damper 30 manufactured in the independent form may be connected to each other by a coupling hole 31a, 32a, 33a and a coupling pin 31b or may be connected to a discharge pipe (not shown).

다른 한편으로 댐퍼(30)의 한쪽 끝에 연결 브래킷(33)이 형성되지 않을 수 있다. 만약 연결 브래킷(33)이 형성되지 않는다면 밴드 타입(허브 타입)으로 댐퍼(30)는 배출관 또는 다른 관에 연결될 수 있다. On the other hand, the connecting bracket 33 may not be formed at one end of the damper 30. If the connecting bracket 33 is not formed, the damper 30 can be connected to a discharge pipe or other pipe in a band type (hub type).

본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 다양한 구조로 만들어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The damper assembly according to the present invention can be made in various structures, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

제시된 댐퍼 어셈블리는 호퍼 및 댐퍼가 일체로 형성되도록 하는 것에 의하여 설치 과정에서 압력 손실이 방지되도록 한다는 이점을 가지고 이로 인하여 에너지가 절감되도록 한다는 효과를 가진다. 독립된 형태로 댐퍼 어셈블리가 제조되어 설치되는 경우 2차 오염이 방지될 수 있도록 하면서 사후 관리 비용이 감소되도록 한다는 이점을 가진다. The proposed damper assembly has the advantage that the hopper and the damper are integrally formed to prevent the pressure loss in the installation process, thereby saving energy. When the damper assembly is manufactured and installed in an independent form, secondary pollution can be prevented and post management cost can be reduced.

본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 도관의 외형에 적합한 연결 구조를 가지도록 하는 것에 의하여 누설이 방지될 수 있도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 FRP(Fiber Reinforced Plastic)로 제조될 수 있어 내화학성이 향상될 수 있다는 장점을 가진다. 추가로 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 다양한 구조로 제조되어 임의의 도관 구조에 적용될 수 있도록 한다는 이점을 가진다. 추가로 본 발명에 따른 댐퍼 어셈블리는 도관 내부로 돌출되는 부분이 형성되지 않도록 하는 것에 의하여 댐퍼 어셈블리의 설치에 따른 압력 변화가 방지될 수 있도록 하면 내부에 오염 물질이 축척되는 것이 방지될 수 있도록 한다. The damper assembly according to the present invention has an advantage that leakage can be prevented by having a connection structure suitable for the contour of the conduit. Further, the damper assembly according to the present invention can be made of FRP (Fiber Reinforced Plastic), which has an advantage that chemical resistance can be improved. In addition, the damper assembly according to the present invention has an advantage that it can be manufactured in various structures and applied to any duct structure. In addition, the damper assembly according to the present invention prevents the portion protruding into the conduit from being formed, thereby preventing contaminants from accumulating inside the damper assembly when the damper assembly is installed.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

10: 댐퍼 어셈블리 11: 댐퍼
12: 호퍼 13: 체결 부분
14: 개폐 장치 17: 조절 블레이드
20: 도관 30: 댐퍼
21: 외벽 22: 열린 부분
25: 체결 피스 26: 고정 핀
31a, 32a, 33a: 체결 홀 31b: 체결 핀
121: 확장 부분 122: 결합 부분
131: 체결 몸체 132: 체결 홀
141: 기판 142: 조절 핸들
143: 이동 홈10: damper assembly 11: damper
12: hopper 13: fastening part
14: opening / closing device 17: regulating blade
20: conduit 30: damper
21: outer wall 22: open part
25: fastening piece 26: fixing pin
31a, 32a, 33a: fastening hole 31b: fastening pin
121: extension part 122: joint part
131: fastening body 132: fastening hole
141: substrate 142: adjustment handle
143: Move home

Claims

A damper assembly coupled to a conduit (20) for the discharge of a gas comprising a toxic substance,
A cylindrical damper 11 hollowed out so as to form a flow passage;
And is formed at one end of the damper 11 and connected to the conduit 20 and is made up of the extension portion 121 and the engagement portion 122 and at least a part of the engagement portion 122 extends in a curved surface having a height difference A hopper 12 having a rim S;
A fastening portion 13 formed at the other end of the damper 11; And
Comprises an adjusting blade (17) formed in the interior of the damper (11)
The extension portion 121 extends to have a larger cross sectional area than the damper 11 and the engagement portion 122 is formed at least partially so as to correspond to the outer surface of the curved conduit 20, By a fastening piece 25 made of a plate which has a frame S extending in a curved surface with a height difference as a reference and which can be made into a shape corresponding to the circumferential surface of the joint portion 122 or can be partially fixed Is fixed to the conduit (20), and the interface between the engagement portion (122) and the conduit (20) is sealed by resin, silicone or rubber.

The damper assembly according to claim 1, wherein a rim S or an inclined thickness surface is formed in a direction perpendicular to a direction in which the rim S extends.

The hopper according to claim 1, characterized in that the hopper (12) or the damper (30) has a separate structure and has a flange-shaped connecting bracket (33) formed at one end of the hopper (12) and connecting brackets And the damper assembly is coupled to the damper assembly.