KR101403965B1 - 주기격자 대상물의 분석 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 주기격자 대상물의 분석방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 주기격자 대상물에 빛을 입사하고 그 반사광 및 투과광을 측정하여 미리 결정된 정확도의 라이브러리 분석을 수행하고, 라이브러리 분석의 데이터를 입력받아 수치해석 분석으로 오차를 줄여 빠르고 정확하게 주기격자 대상물의 구조를 분석하는 주기격자 대상물의 분석 방법을 제공한다.

Description

주기격자 대상물의 분석 방법{METHODS OF ANALYZING PERIOD GRATINGS OBJECT}
본 발명은 주기격자 대상물의 분석방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 주기격자 대상물에 빛을 입사하고 그 반사광 및 투과광을 측정하여 주기격자 대상물의 구조를 분석하는 주기격자 대상물의 분석 방법에 관한 것이다.
반도체, LCD Cell, Solar Cell 등의 두께 분석(Single 및 multi-layer) 또는 표면 구조(형상, 격자구조 포함) 등을 분석하기 위해서, X-ray, UV, 가시광선, IR, Microwave 등 다양한 영역의 파장을 가진 빛을 조사하고, 그의 반사광 및 투과광을 측정하고 분석하는 기술이 사용되고 있다.
회절 분석계(Diffractometry), 반사 측정계(reflectometry), 타원 편광 반사계(Ellipsometry), 간섭계(Interferometry) 등이 주기격자 대상물의 반사광에 관한 정보를 측정하는데 이용되는 장치들이다.
도 1은 단층 시료의 경계면에서의 다중 반사 현상을 개략적으로 도시한 도면이다.
살펴보면, 기판(1) 상에 소정 두께를 갖는 박막(2)이 코팅되어 단층 시료를 구성한다. 시료에 입사한 빛(3)은 박막(2)의 표면에 의해 일부의 빛(4)이 반사되고, 나머지 부분의 빛(5)은 박막(2)을 투과한다. 투과된 빛(5)은 계속 진행하여 박막(2)과 기판(1) 사이의 경계면(interface)(6)을 만나게 된다. 이 경계면(6)에서 일부의 빛(7)은 다시 반사되고 나머지 일부의 빛(8)은 기판(1)을 투과한다. 일반적으로, 빛은 서로 다른 물질들 사이의 경계면을 만날 때마다 반사와 투과 현상을 일으킨다. 따라서, 같은 방향으로 반사된 빛들은 서로 간에 상호작용(interaction)을 하는데, 사용된 빛의 파장(wavelength), 코팅된 박막(2)과 기판(1)의 두께 및 굴절률에 따라 소위 보강 간섭(constructive interference) 상호작용과 상쇄 간섭(destructive interference) 상호작용이 이루어진다. 만일, 특정 파장에서 보강 간섭이 있다면 빛의 강도(light intensity)가 증폭되고, 상쇄 간섭이 있다면 빛의 강도의 감폭(de-amplification)이 일어난다. 증폭이 된다면 그 특정 파장의 절대 반사광 및 투과광은 주변 파장의 절대 반사광 및 투과광에 비해 상대적으로 높고, 감폭된다면 상대적으로 낮게 된다.
도 1에 도시된 바와 같은 빛의 반사와 투과, 그리고 빛의 강도의 증폭과 감폭 현상을 이용하여 주기격자 대상물 두께 또는 표면 구조 분석을 위한 반사광 및 투과광 정보를 획득할 수 있다.
반사광 및 투과광 정보를 이용하여 주기격자 대상물의 두께 또는 표면 구조를 분석하는 방식에는 수치해석(fitting)을 통한 방식과 라이브러리 매칭 방식이 있다.
수치해석을 통해 방식은 반사광 및 투과광 정보에 대한 특정 변수 값들을 가지는 모델식을 이용한다. 이 방식에는 최소 자승법(Least-square method)이 가장 많이 사용되고 있는데, 모델식의 변수들을 변화시키면서 식의 결과값과 반사광 및 투과광 정보 간의 오차가 최소가 되는 변수들을 검색하는 방식으로 주기격자 대상물의 구조를 분석해 낸다.
라이브러리 매칭 방법은 주기격자 대상물에 대한 다양한 모델들에 대해 이론적으로 계산된 반사광 및 투과광 정보들을 라이브러리로 형성해 두고, 주기격자 대상물에 대해 측정된 반사광 및 투과광 정보를 라이브러리에 저장된 정보들과 매칭을 통해 라이브러리에 저장된 모델 중 오차가 최소가 되는 모델을 주기격자 대상물의 구조로 추정하는 방식으로 주기격자 대상물의 구조를 분석해 낸다.
한국등록특허 [10-1005179] (등록일: 2010년 12월 23일)
본 발명은 주기격자 대상물의 구조를 분석하기 위해서 주기격자 대상물의 다양한 주기격자 구조들에 대한 데이터들을 저장하고 있는 정확도가 낮은 라이브러리 방식을 이용하여 주기격자 구조의 근사 데이터를 빠르게 결정하고, 수치해석 방법의 초기값으로 결정된 주기격자 구조의 근사 데이터를 입력받아 수치해석 방법으로 오차를 줄이는 주기격자 대상물의 분석 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
그러므로 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 실시 예 따른 주기격자 대상물의 분석 방법은 광 임계 범위(OCD : Optical critical dimension) 계측 방식에 사용되는 엄격한 결합파 분석(RCWA : Rigorous coupled-wave analysis)을 적용하는 주기격자 대상물의 분석 방법에 있어서, 광원(100)에서 빔을 주기격자 대상물(300)에 비추는 광원방출단계(S10); 상기 주기격자 대상물(300)에 입사된 빔이 반사되어 나오는 빔 및 투과되어 나오는 빔 중 선택되는 적어도 하나의 빔을 적어도 하나의 검출기(200)로 검출하는 빔검출단계(S20); 상기 빔검출단계(S20)에서 검출된 데이터를 입력받아 미리 결정된 정확도의 라이브러리에 저장된 주기격자구조의 데이터와 대조하여 오차 값이 최소인 데이터를 결정하는 라이브러리 분석 단계(S30); 상기 라이브러리 분석단계(S30)에서 결정된 데이터를 입력받아 상기 주기격자 대상물(300)의 구조를 수치해석을 이용한 수치해석(Fitting)방식으로 분석하는 수치해석 분석 단계(S40); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 라이브러리 분석단계(S30)의 상기 미리 결정된 정확도는 1nm~500nm 사이의 값 중 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 할 수 있다.
또, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 L-M(Levenberg - Marquardt) 방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 신뢰구역(trust-region) 방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 개다리(dog leg) 방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 수학적 알고리즘을 메모리에 저장하는 FPGA(Field Programmable Gate Array)방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다.
아울러, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 그린 함수(Green Function)를 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명은 미리 결정된 정확도의 라이브러리 분석을 수행하고, 라이브러리 분석의 데이터를 입력받아 수치해석 분석으로 오차를 줄이는 주기격자 대상물의 분석 방법을 제안한다.
본 발명에 따르면, 주기격자 대상물의 구조를 분석하기 위한 수치해석방법의 초기값(시작점)을 최적의 효율성이 있는 미리 결정된 정확도의 라이브러리 분석을 이용하여 결정함으로 로컬미니멈에 빠질 확률을 줄인 수치해석 분석을 이용하여 주기격자 대상물의 구조를 보다 신속하고 정확하게 분석해 낼 수 있다.
도 1은 단층 시료의 경계면에서의 다중 반사 및 투과 현상을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 검출기에서 측정된 반사광 및 투과광 데이터의 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 3은 타원 편광 반사계에서 측정된 Psi 및 Delta 데이터의 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 주기격자 대상물의 분석 방법을 도시한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 주기격자 대상물의 분석 방법을 도시한 흐름도이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 2는 반사 측정계에서 측정된 반사광 및 투과광 데이터의 일 실시 예를 도시한 도면이고, 도 3은 타원 편광 반사계에서 측정된 Psi 및 Delta 데이터의 일 실시 예를 도시한 도면이다.
반사 측정계는 주기격자 대상물에 빛을 입사하고 반사된 빛의 강도를 측정하여 입사된 빛의 강도에 대한 반사된 빛의 강도의 비율을 빛의 파장에 따른 데이터로 제공한다.
타원 편광 측정기(ellipsometry)는 주기격자 대상물에 타원 편광 빔을 입사하고 반사된 편광 빔 또는 투과된 편광 빔의 변화된 비율을 통해서 delta(위상차, Δ), psi(반사계수의 비, Ψ)에 대한 데이터를 측정하여 제공한다.
본 발명은 반사광 및 투과광을 이용하여 주기격자 대상물의 구조를 분석하는 모든 영역에 사용가능하다.
또한, 본 발명은 회절 분석계, 간섭계, 반사계 등과 같이 빛을 조사하고 그의 회절, 간섭 및 반사에 의해 측정되는 광 데이터를 이용하여 주기격자 대상물의 두께 또는 표면 구조를 분석하는 모든 영역에 사용 가능하다.
여기서는, 반사광 및 투과광 데이터를 기준으로 하여 본 발명을 설명한다.
기존에 수치해석(fitting) 방식을 이용한 주기격자 대상물의 구조를 분석하는 기술은 분석 시간이 빠른 편이나 반사광 및 투과광 데이터를 분석해야 하는 영역이 넓으면 분석 값을 신뢰할 수 없다는 단점이 있다. 분석 영역이 넓다는 것은 찾아야 하는 변수들의 가변 영역이 크다는 것이며, 이럴 경우 로컬 미니멈(local minimum)에 빠지게 될 확률이 높다. 로컬 미니멈에 빠지면 분석 값을 신뢰하기 힘들게 된다.
그에 반해, 반사광 및 투과광 라이브러리 매칭 방식은 다양한 모델들에 대해 이론적으로 계산된 반사광 및 투과광 데이터들을 라이브러리에 저장하고 있으면서 측정된 반사광 및 투과광 데이터와 일일이 비교를 통해 분석하는 방식이다 라이브러리 매칭의 장점은 로컬 미니멈에 빠질 염려가 없다는 것으로 분석 값에 대한 신뢰도가 높다는 것과 분석 영역(변수들의 가변영역)이 넓어도 분석이 가능하다는 것이다. 그러나 라이브러리 매칭의 단점은 이론적으로 계산된 반사광 및 투과광과 측정된 데이터를 일일이 비교하기 때문에 분석시간이 길다는 것이다. 분석 영역(변수들의 가변영역)이 넓으면 넓을수록, 정확도를 높이면 높일수록 측정된 반사광 및 투과광 데이터와 비교해야 하는 데이터의 양이 많아지므로 분석시간은 길어질 수밖에 없어진다.
본 발명에 따른 주기격자 대상물의 분석 방법은, 반사광 및 투과광 데이터의 특성을 정확도가 비교적 낮은 라이브러리의 매칭을 통해 주기격자 대상물의 구조의 근사 값을 빠르게 분석하고, 라이브러리 매칭을 이용하여 구한 근사값을 수치해석 방식의 초기값으로 설정할 수 있도록 해 준다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 주기격자 대상물의 분석 방법을 도시한 개념도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 주기격자 대상물의 분석 방법을 도시한 흐름도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 주기격자 대상물의 분석 방법은 광 임계 범위(OCD : Optical critical dimension) 계측 방식에 사용되는 엄격한 결합파 분석(RCWA : Rigorous coupled-wave analysis)을 적용하는 주기격자 대상물의 분석 방법에 있어서, 광원방출단계(S10), 빔검출단계(S20), 라이브러리 분석 단계(S30) 및 수치해석 분석 단계(40)를 포함하여 구성된다.
전통적인 광학 이미징 기술이 빔의 파장보다 작은 형상을 측정하지 못하는 단점이 있었으나, OCD 계측 기술은 서브-파장의 반복적 구조의 물리적인 파라미터들을 분광 신호(Spectroscopic signature)로부터 추출하는 것을 가능하게 하고 있다. OCD 계측 기술 중, RCWA는 추출된 진폭 정보 및 상기 추출된 위상 정보를 RCWA 기법에 적용하여 상기 RCWA 기법 상의 반사계수의 비의 진폭의 역탄젠트(arctangent)값인 (Ψ) 및 위상차(Δ)를 산출할 수 있다.
광원방출단계(S10)는 광원(100)에서 빔을 주기격자 대상물(300)에 비춘다.
빔검출단계(S20)는 상기 주기격자 대상물(300)에 입사된 빔이 반사되어 나오는 빔 및 투과되어 나오는 빔 중 선택되는 적어도 하나의 빔을 적어도 하나의 검출기로 검출한다.
라이브러리 분석 단계(S30)는 상기 빔검출단계(S20)에서 검출된 데이터를 입력받아 미리 결정된 정확도의 라이브러리에 저장된 주기격자구조의 데이터와 대조하여 오차 값이 최소인 데이터를 결정한다. 이때, 상기 미리 결정된 정확도는 1nm~500nm 사이의 값 중 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 할 수 있다. 여기서, 미리 결정된 정확도는 어느 분야에 적용 하느냐에 따라 다양하게 적용될 수 있다. 예를 들면, 반도체 분야에서는 1nm~20nm의 정확도를 요구할 수 있고, LCD 분야에서는 100nm~500nm의 정확도를 요구할 수 있다.
수치해석 분석 단계(S40)는 상기 라이브러리 분석단계(S30)에서 결정된 데이터를 입력받아 상기 주기격자 대상물(300)의 구조를 수치해석을 이용한 수치해석(Fitting)방식으로 분석한다. 이때, 수치해석 방식은 비선형 수치해석 방식을 사용할 수 있다.
상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 L-M(Levenberg - Marquardt)방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 L-M방식은 비선형 수치해석 방법(nonlinear fitting method)의 대표적인 방법이라 할 수 있다.
또, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 신뢰구역(trust-region)방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 개다리(dog leg) 방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 수학적 알고리즘을 메모리에 저장하는 FPGA(Field Programmable Gate Array)방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 FPGA방식은 알고리즘을 하드웨어적으로 구현하여 롬에 저장하여 실행하는 방법으로 소프트웨어적으로 구현하는 방법보다 빠른 속도로 구현이 가능한 장점이 있다.
FPGA(field programmable gate array, 현장 프로그래머블 게이트 어레이)는 프로그래머블 논리 요소와 프로그래밍가능 내부선이 포함된 반도체 소자이다. 프로그래머블 논리 요소는 AND, OR, XOR, NOT, 더 복잡한 디코더나 계산기능의 조합 기능같은 기본적인 논리 게이트의 기능을 복제하여 프로그래밍할 수 있다. 대부분의 FPGA는 프로그래밍가능 논리 요소 (FPGA 식으로는 논리 블록이라고도 함)에 간단한 플립플롭이나 더 완벽한 메모리 블록으로 된 메모리 요소를 포함하고 있다.
프로그램이 가능한 내부선 계층구조는 FPGA의 논리블록을 시스템 설계자가 요구하는 대로 단일 칩 프로그래밍이 가능하고 브레드보드(breadboard)처럼 논리 요소를 연결할 수 있다. 이 논리 요소와 내부선은 제조공정 이후에 소비자/설계자가 프로그램할 수 있으므로, 요구되는 어떠한 논리기능도 수행할 수 있다.(그러한 이유로 "현장 프로그래머블"이라 불림)
FPGA는 일반적으로 주문형 반도체(ASIC: Application Specific integrated Circuits) 대용품보다 느리고, 복잡한 설계에 적용할 수 없으며, 소비전력이 크다. 그러나 개발시간이 짧고, 오류를 현장에서 재수정할 수 있고, 초기 개발비가 저렴하다는 장점이 있다. 제조사는 설계 이후에 수정할 수 없도록 할당된 덜 유연한 FPGA 버전으로 저렴하게 제조할 수 있다. 이런 설계개발은 일반적인 FPGA에서 만들었고 좀 더 주문형 반도체와 비슷한 고정된 버전으로 변경되었다. 복합 프로그래머블 논리 소자 (CPLD: Complex Programmable Logic Device)는 비슷한 역할을 할 수 있는 소자이다.
아울러, 상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은 그린 함수(Green Function)를 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 할 수 있다. 상기 그린함수방법은 양자역학에 나오는 리프만 쉬빙거(Lippmann-Schwinger) 알고리즘을 이용한 것으로, 원하는 구조의 반사도같은 물리적인 양을 알고 있는 경우, 그것을 야기한 물리적인 구조와 새로 구하고자 하는 물리적인 구조의 차이를 알 수 있다면, 새로운 물리구조의 물리량(반사도 같은)을 알 수 있는 것이다.
그린함수(Green function)는 물리학적인 접근 방법으로 상미분방정식, 타원형 또는 포물형 편미분방정식의 경계값문제를 풀 때 이용되는 특수한 함수. 적분방정식으로의 변환 등에 쓰이고, 또 장의 양자이론에서 쌍곡형 등으로 확장된 것은 시간적 과정의 인과 관계의 기술이나 계산 및 섭동이론 등에 이용된다
이와 같이, 라이브러리 방식에 이용되는 라이브러리의 정확도를 낮춤으로 라이브러리 방식으로 검색되는 시간이 대폭 줄이고, 이를 수치해석에 적용함으로 분석 영역을 좁혀 로컬 미니멈에 빠질 확률을 대폭 줄여 주기격자 대상물의 검색 시간을 단축 시키고 정확도를 높일 수 있다.
본 발명은 주기격자 대상물의 두께 또는 표면 구조를 분석을 위해 기존에 사용된 라이브러리를 이용한 분석 기술이 분석 시간이 길다는 문제점을 해결해 주며, 수치해석 분석 기술의 정확도가 낮다는 문제점을 해셜해 준다.
본 발명은 라이브러리를 이용한 분석 기술과 수치해석 분석 기술을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 모든 영역에 사용가능하다.
앞서 언급한 바와 같이, 여기서는 반사광 및 투과광 데이터들을 저장하고 있는 반사광 및 투과광 라이브러리를 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 방식에 활용될 수 있는 본 발명의 일 실시 예를 기술하고 있다. 그러나 회절 분석계, 간섭계, 반사계 등에서 측정되는 회절, 간섭 및 반사에 의해 측정되는 광 데이터를 이용하여 두께 또는 시료 표면을 분석하는 경우에는, 다양한 모델들에 대한 회절 또는 간섭에 의한 광 데이터를 저장하고 있는 라이브러리를 이용한 분석과 수치해석을 이용한 분석을 할 수 있으며, 그러한 경우에도, 앞서 반사광 및 투과광 라이브러리를 분류하는 방식과 동일하게 라이브러리에 저장된 광 데이터들의 특성에 따라 인덱스를 설정하고 그에 따라 인덱스별로 라이브러리를 분류 가능할 것이다.
본 발명의 기술적 내용인 주기격자 대상물을 분석하는데 이용되는 라이브러리 분석과 통계적 분석을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 모든 영역에 적용될 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 광원
200: 검출기
300: 주기격자 대상물
S10: 광원방출 단계
S20: 빔검출 단계
S30: 라이브러리 분석 단계
S40: 수치해석 분석 단계

Claims (7)

  1. 광 임계 범위(OCD : Optical critical dimension) 계측 방식에 사용되는 엄격한 결합파 분석(RCWA : Rigorous coupled-wave analysis)을 적용하는 주기격자 대상물의 분석 방법에 있어서,
    광원(100)에서 빔을 주기격자 대상물(300)에 비추는 광원방출단계(S10);
    상기 주기격자 대상물(300)에 입사된 빔이 반사되어 나오는 빔 및 투과되어 나오는 빔 중 선택되는 적어도 하나의 빔을 적어도 하나의 검출기(200)로 검출하는 빔검출단계(S20);
    상기 빔검출단계(S20)에서 검출된 데이터를 입력받아 미리 결정된 정확도의 라이브러리에 저장된 주기격자구조의 데이터와 대조하여 오차 값이 최소인 데이터를 결정하는 라이브러리 분석 단계(S30);
    상기 라이브러리 분석단계(S30)에서 결정된 데이터를 입력받아 상기 주기격자 대상물(300)의 구조를 수치해석을 이용한 비선형 수치해석(Fitting)방식으로 분석하는 수치해석 분석 단계(S40);
    를 포함하여 구성되며,
    상기 수치해석 분석 단계(40)는
    초기값(시작점)을 상기 라이브러리 분석 단계(S30)에서 결정된 데이터(결과값)를 이용하는 것을 특징으로 하는 주기격자 대상물의 분석 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 라이브러리 분석단계(30)의 상기 미리 결정된 정확도는
    1nm~500nm 사이의 값 중 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 주기격자 대상물의 분석 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은
    L-M(Levenberg-Marquardt)방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 하는 주기격자 대상물의 분석 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은
    신뢰구역(trust-region) 방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 하는 주기격자 대상물의 분석 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은
    개다리(dog leg) 방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 하는 주기격자 대상물의 분석 방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은
    수학적 알고리즘을 메모리에 저장하는 FPGA(Field Programmable Gate Array)방식을 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 하는 주기격자 대상물의 분석 방법.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 수치해석 분석단계(S40)의 상기 수치해석방식은
    그린 함수(Green Function)를 이용하여 주기격자 대상물을 분석하는 것을 특징으로 하는 주기격자 대상물의 분석 방법.
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