KR101386014B1 - High frequency and high voltage pulse measuring unit using non-inductive resistance - Google Patents

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최영욱
최재구
김관호
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한국전기연구원
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Abstract

The present invention relates to a high frequency and high voltage pulse measuring unit using a non-inductive resistance and, more particularly, to a high frequency and high voltage pulse measuring unit using a non-inductive resistance, capable of measuring a high frequency signal without distortion by attenuating a high voltage pulse of a high frequency to a small voltage. [Reference numerals] (160) Attenuator; (AA) Coaxial cable

Description

무유도 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기{High Frequency and High Voltage Pulse Measuring Unit using Non-inductive Resistance}High Frequency and High Voltage Pulse Measuring Unit using Non-inductive Resistance}

본 발명은 펄스 측정기에 관한 것으로서, 특히, 고주파의 고전압 펄스를 작은 전압으로 감쇄하여 왜곡없이 고주파 신호를 측정할 수 있는 무유도(Non-inductive) 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pulse measuring device, and more particularly, to a high frequency high voltage pulse measuring device using a non-inductive resistor capable of measuring high frequency signals without distortion by attenuating high frequency high voltage pulses with a small voltage.

기존에는 도 1과 같이 고전압 펄스 발생기에서 측정 대상 시료에 인가하는 고주파의 고전압 펄스 신호를 오실로스코프(OSC)로 측정하기 위하여, 니크롬선을 이용한 권선저항 형태의 측정기를 고주파의 고전압 펄스 신호 부분에 접촉시키고 측정기의 출력을 동축 케이블을 통해 오실로스코프(OSC)로 연결하여 측정하였다.Conventionally, in order to measure a high frequency high voltage pulse signal applied to a sample to be measured by a high voltage pulse generator with an oscilloscope (OSC), as shown in FIG. 1, a winding resistance type meter using a nichrome wire is contacted with a high frequency high voltage pulse signal part. The output of the meter was measured by connecting to an oscilloscope (OSC) via a coaxial cable.

그러나, 고주파의 고전압 펄스 신호를 측정하기 위한 기존의 측정기에서는, 권선 저항의 인덕턴스 성분이 아무리 작도록 권선하여도 저항 값이 커질수록 인덕턴스 성분도 같이 증가하는 문제가 있다. 따라서, 고주파의 고전압 펄스 신호를 측정할 때 이와 같은 인덕턴스 성분이 측정파형의 왜곡에 직접적으로 영향을 미쳐왔다. 결과적으로 기존과 같이 권선전항을 사용하면 고전압 펄스 발생기에서 발생되는 본래의 파형을 왜곡 없이 측정하는데 한계가 있다. However, in the conventional measuring device for measuring the high frequency pulse signal of high frequency, even if the winding inductance component of the winding resistance is small, there is a problem that the inductance component increases as the resistance value increases. Therefore, when measuring a high frequency high voltage pulse signal, such an inductance component has a direct influence on the distortion of the measurement waveform. As a result, the use of winding transitions as in the prior art has a limitation in measuring the original waveform generated by the high voltage pulse generator without distortion.

예를 들면, 2kΩ의 니크롬선을 권선 저항법으로 제작하면 인덕턴스가 최소한으로 상쇄되도록 제작해도 약 25μH의 값을 가진다. 또한, 20kΩ 의 저항으로 측정기를 제작할 필요가 있을 때에는 인덕턴스 값이 250μH나 되어서 고주파의 고전압 펄스의 측정이 원래 파형 형태로 측정되지 않고 왜곡이 심하게 측정되는 문제점이 있다.For example, when a 2 kΩ nichrome wire is manufactured by the winding resistance method, it has a value of about 25 μH even when manufactured to minimize the inductance. In addition, when it is necessary to manufacture a measuring instrument with a resistance of 20 kΩ, the inductance value is 250 μH, which causes a problem that the distortion of the high frequency pulse is not measured in the form of the original waveform but is severely measured.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, 인덕턴스 값이 무시되는 무유도(Non-inductive) 저항을 신호가 인가되는 고압부, 전압을 낮추는 저압부, 전압을 한단계 더 낮추는 감쇄기 등에 이용하여 감쇄 방식으로 고주파의 고전압 펄스를 왜곡없이 측정할 수 있는 무유도 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기를 제공하는 데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to provide a non-inductive resistance signal in which inductance value is ignored, a high voltage part to which a signal is applied, a low voltage part to lower voltage, and a voltage one more step. The present invention provides a high frequency high voltage pulse measuring device using a non-inductive resistor capable of measuring high frequency high voltage pulses without distortion by using attenuating method.

먼저, 본 발명의 특징을 요약하면, 본 발명의 일면에 따른, 무유도(Non-inductive) 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기는, 고주파 고전압 펄스가 인가되는 인가부; 상기 인가부와 접지부 사이에 직렬 연결된 고압부와 저압부; 및 상기 고압부와 상기 저압부 사이의 접점에 일측이 연결된 동축 케이블을 포함하고, 상기 고압부와 상기 저압부를 구성하는 모든 저항이 무유도 저항으로 이루어지며, 라이징 타임 1~10nsec 이하의 고주파 고전압 펄스를 상기 고압부와 상기 저압부에 의해 1/100 이상 감쇄시키고, 상기 동축 케이블의 타측을 통해 신호측정장치에 연결하여, 상기 무유도 저항에 의해 인덕턴스의 영향이 없이 깨끗하게 감쇄된 펄스를 왜곡없이 정밀하게 측정하기 위한 것을 특징으로 한다.First, to summarize the features of the present invention, in accordance with an aspect of the present invention, a high frequency high voltage pulse measurer using a non-inductive resistance, the application unit to which a high frequency high voltage pulse is applied; A high pressure part and a low pressure part connected in series between the applying part and the ground part; And a coaxial cable having one side connected to a contact point between the high voltage part and the low pressure part, wherein all the resistances constituting the high pressure part and the low pressure part are made of non-inductive resistance, and the high frequency high voltage pulse having a rising time of 1 to 10 nsec or less is performed. Attenuated by more than 1/100 by the high voltage section and the low voltage section, and connected to the signal measuring device through the other side of the coaxial cable, to accurately measure the pulses attenuated cleanly without distortion by the inductive resistance without distortion It is characterized by.

상기 동축 케이블의 타측에는 상기 신호측정장치에 연결된 다른 동축케이블과 연결시키기 위한 커넥터를 구비한다.The other side of the coaxial cable is provided with a connector for connecting with another coaxial cable connected to the signal measuring device.

상기 고압부는 제1저항으로 이루어지고, 상기 저압부는 제2저항으로 이루어지며, 상기 제1저항과 상기 제2저항이 1:100 이상의 저항값비를 가지도록, 상기 제1저항 또는 상기 제2저항은 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항을 포함한다. 상기 제 2 저항으로 무유도 저항을 사용할 뿐만 아니라 복수의 저항을 병렬로 연결한 상기 제 2 저항에 의해 인덕턴스 성분을 더욱 줄이는 효과를 가지도록 하였다.The high resistance part is made of a first resistance, the low pressure part is made of a second resistance, so that the first resistance and the second resistance has a resistance value ratio of 1: 100 or more, the first resistance or the second resistance is It includes a plurality of inductive resistors connected in series or in parallel. In addition to using an induction resistor as the second resistor, the second resistor having a plurality of resistors connected in parallel further reduces the inductance component.

그리고, 본 발명의 다른 일면에 따른, 무유도(Non-inductive) 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기는, 고주파 고전압 펄스가 인가되는 인가부; 상기 인가부와 접지부 사이에 직렬 연결된 고압부와 저압부; 및 상기 고압부와 상기 저압부 사이의 접점에 일측이 연결된 동축 케이블; 및 일측이 상기 동축 케이블의 타측에 연결된 감쇄기를 포함하고, 상기 고압부와 상기 저압부, 및 상기 감쇄기를 구성하는 모든 저항이 무유도 저항으로 이루어지며, 라이징 타임 1~10nsec 이하의 고주파 고전압 펄스를 상기 고압부와 상기 저압부에 의해 1/100 이상 감쇄시키고, 상기 감쇄기의 타측을 통해 신호측정장치에 연결하여, 상기 무유도 저항에 의해 깨끗하게 감쇄된 펄스를 왜곡없이 정밀하게 측정하기 위한 것을 특징으로 한다.In addition, according to another aspect of the present invention, a high frequency high voltage pulse measuring apparatus using a non-inductive resistance includes: an application unit to which a high frequency high voltage pulse is applied; A high pressure part and a low pressure part connected in series between the applying part and the ground part; And a coaxial cable having one side connected to a contact point between the high pressure unit and the low pressure unit. And an attenuator connected at one side to the other side of the coaxial cable, wherein the high voltage part, the low pressure part, and all the resistors constituting the attenuator are made of non-inductive resistance, and a high frequency high voltage pulse having a rising time of 1 to 10 nsec or less. Attenuated by more than 1/100 by the high-pressure section and the low-pressure section, and connected to the signal measuring device through the other side of the attenuator, characterized in that for accurately measuring the pulses attenuated cleanly by the induction resistance without distortion.

상기 감쇄기의 타측에는 상기 신호측정장치에 연결된 다른 동축케이블과 연결시키기 위한 커넥터를 구비한다.The other side of the attenuator is provided with a connector for connecting with another coaxial cable connected to the signal measuring device.

상기 고압부는 제1저항으로 이루어지고, 상기 저압부는 제2저항으로 이루어지며, 상기 제1저항과 상기 제2저항이 1:100 이상의 저항값비를 가지도록, 상기 제1저항 또는 상기 제2저항은 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항을 포함하며, 상기 감쇄기는 상기 동축 케이블의 타측의 전압이 1/100 이상 감쇄되어 상기 신호측정장치로 출력되도록 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항을 포함한다.The high resistance part is made of a first resistance, the low pressure part is made of a second resistance, so that the first resistance and the second resistance has a resistance value ratio of 1: 100 or more, the first resistance or the second resistance is The attenuator includes a plurality of inductive resistors connected in series or in parallel, and the attenuator includes a plurality of inductive resistors connected in series or in parallel such that the voltage on the other side of the coaxial cable is attenuated by 1/100 or more.

상기 감쇄기는 입력측과 출력측 사이에 연결된 제1무유도 저항, 상기 제1무유도의 일측과 접지부 사이에 연결된 제2무유도 저항, 및 상기 제1무유도 저항의 타측과 접지부 사이에 연결된 제3무유도 저항을 포함할 수 있다.The attenuator includes a first non-inductive resistor connected between an input side and an output side, a second non-inductive resistor connected between one side of the first non-induction and a ground portion, and a second non-inductive resistor connected between the other side of the first non-inductive resistor and a ground portion. 3 may include non-inductive resistance.

본 발명에 따른 무유도 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기에 따르면, 신호가 인가되는 고압부, 전압을 낮추는 저압부, 전압을 한단계 더 낮추는 감쇄기 등을 인덕턴스 값이 무시되는 무유도(Non-inductive) 저항을 이용해 제작됨으로써, 오실로스코프에 연결하여 고주파의 고전압 펄스를 100:1 이상 감쇄 측정하여 라이징 타임 1.0nsec 이하 수준까지 왜곡없이 깨끗하고 정밀한 파형 측정이 가능하다.According to the high frequency high voltage pulse measuring instrument using the non-inductive resistance according to the present invention, the high-voltage unit to which the signal is applied, the low-voltage unit to lower the voltage, the attenuator to lower the voltage one step further to the non-inductive resistance that the inductance value is ignored By using the oscilloscope, high-frequency high-voltage pulses can be attenuated by more than 100: 1 to measure clean and precise waveforms without distortion up to 1.0nsec.

도 1은 일반적인 고주파 고전압 펄스 측정기를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 고주파 고전압 펄스 측정기를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2의 측정기의 구체적인 회로도이다.
도 4는 도 2의 측정기의 오실로스코프 측정 파형 형태의 일례이다.1 is a view for explaining a general high frequency high voltage pulse measuring instrument.
2 is a view for explaining a high frequency high voltage pulse measuring device according to an embodiment of the present invention.
3 is a detailed circuit diagram of the measuring device of FIG. 2.
4 is an example of an oscilloscope measurement waveform form of the meter of FIG. 2.

이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the like elements throughout.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 고주파 고전압 펄스 측정기(100)를 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 도 2의 측정기의 구체적인 회로도이다. 2 is a view for explaining a high frequency high voltage pulse measuring apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. 3 is a detailed circuit diagram of the measuring device of FIG. 2.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 고주파 고전압 펄스 측정기(100)는, 무유도(Non-inductive) 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기로서, 고주파 고전압 펄스가 인가되는 인가부(110), 인가부(110)와 접지부(GND) 사이에 직렬 연결된 고압부(120)와 저압부(130), 고압부(120)와 저압부(130) 사이의 접점에 일측이 연결된 동축 케이블(140)을 포함한다. 2 and 3, the high frequency high voltage pulse meter 100 according to an embodiment of the present invention is a high frequency high voltage pulse meter using a non-inductive resistance, and an application unit to which a high frequency high voltage pulse is applied. 110, a coaxial cable having one side connected to a contact between the high pressure unit 120 and the low pressure unit 130, the high pressure unit 120 and the low pressure unit 130 connected in series between the applying unit 110 and the ground (GND) ( 140).

동축 케이블(140)의 타측에는 신호측정장치(예, 오실로스코프, 디지털멀티미터 등)에 연결된 다른 동축케이블과 연결시키기 위한 커넥터(150)가 구비될 수 있다. The other side of the coaxial cable 140 may be provided with a connector 150 for connecting with another coaxial cable connected to a signal measuring device (eg, oscilloscope, digital multimeter, etc.).

이외에도, 커넥터(150)에 감쇄기(160)가 더 연결된 후에, 감쇄기(160)의 타측이 신호측정장치(예, 오실로스코프, 디지털멀티미터 등)에 연결된 다른 동축케이블과 연결시키기 위한 다른 커넥터(미도시)가 구비될 수 있다.In addition, after the attenuator 160 is further connected to the connector 150, another connector (not shown) for connecting the other side of the attenuator 160 to another coaxial cable connected to a signal measuring device (eg, an oscilloscope, a digital multimeter, etc.). ) May be provided.

위와 같은, 고압부(120), 저압부(130), 감쇄기(160)를 구성하는 모든 저항이 무유도 저항으로 이루어진다. As described above, all the resistors constituting the high pressure unit 120, the low pressure unit 130, the attenuator 160 is made of an induction resistance.

도 3과 같이, 고압부(120)는 무유도 저항 R1으로 이루어질 수 있으며, 저압부(130)는 무유도 저항 R2로 이루어질 수 있다. 여기서, 고압부(120)의 무유도 저항 R1은 그림에서 하나의 무유도 저항인 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않으며 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항의 조합으로 이루어질 수 있다. 또한, 저압부(130)의 무유도 저항 R2은 그림에서 병렬 연결된 복수의 무유도 저항인 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않으며 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항의 조합으로 이루어질 수 있다. As shown in FIG. 3, the high voltage unit 120 may be formed of the non-inductive resistor R1, and the low pressure unit 130 may be formed of the non-inductive resistor R2. Here, although the non-inductive resistor R1 of the high voltage unit 120 is illustrated as one non-inductive resistor in the figure, the present invention is not limited thereto and may be a combination of a plurality of inductive resistors connected in series or in parallel. In addition, although the non-inductive resistor R2 of the low voltage unit 130 is illustrated as a plurality of non-inductive resistors connected in parallel in the figure, the present invention is not limited thereto and may be formed of a combination of a plurality of non-inductive resistors connected in series or in parallel.

또한, 감쇄기(160)는 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항의 조합으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 도 3과 같이, 감쇄기(160)는 입력측과 출력측 사이에 연결된 무유도 저항 R3, 무유도 저항 R3의 일측과 접지부 사이에 연결된 무유도 저항 R4, 및 무유도 저항 R3의 타측과 접지부 사이에 연결된 무유도 저항 R5를 포함할 수 있다.In addition, the attenuator 160 may be a combination of a plurality of inductive resistors connected in series or in parallel. For example, as illustrated in FIG. 3, the attenuator 160 may include the non-inductive resistor R3 connected between the input side and the output side, the non-inductive resistor R4 connected between one side of the non-inductive resistor R3 and the ground portion, and the other side of the non-inductive resistor R3. It may include an inductive resistor R5 connected between the ground portions.

예를 들어, 고압부(120)의 무유도 저항 R1과 저압부(130)의 무유도 저항 R2이 1:100 이상의 저항값비를 가지도록, 고압부(120)의 무유도 저항 R1과 저압부(130)의 무유도 저항 R2 각각을 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항으로 제작할 수 있고, 이에 따라 동축 케이블(140)의 타측에 연결된 커넥터(150)에 신호측정장치(예, 오실로스코프, 디지털멀티미터 등)에 연결된 다른 동축케이블을 연결시켜서, 인가부(110)에 인가되는 고주파 고전압 펄스를 왜곡없이 정밀하게 측정할 수 있다. For example, the non-inductive resistance R1 of the high voltage unit 120 and the non-inductive resistance R2 of the low voltage unit 130 have a ratio of a resistance value of 1: 100 or more, so that the non-inductive resistance R1 and the low pressure unit 130 of the high voltage unit 120 are present. Each of the inductive resistors R2 may be manufactured as a plurality of inductive resistors connected in series or in parallel. Accordingly, a signal measuring device (eg, an oscilloscope, a digital multimeter, etc.) is connected to the connector 150 connected to the other side of the coaxial cable 140. By connecting another coaxial cable connected to the high frequency high voltage pulse applied to the applying unit 110 can be measured accurately without distortion.

예를 들어, 인가부(110)에, 도 4와 같이, 펄스의 최저값과 최대값 사이의10% ~ 90%를 나타내는 라이징 타임 1~10nsec 이하인 100kV 고주파 고전압 펄스가 인가될 때, 고압부(120)의 무유도 저항 R1의 저항값이 20kΩ이 되게하고, 저압부(130)의 무유도 저항 R2의 저항값이 200Ω이 되게 제작하여, 동축 케이블(140)의 타측에 연결된 커넥터(150)에 대략 1/100 이상 감쇄된 1000V의 전압이 나타나는 것으로 신호측정장치(예, 오실로스코프, 디지털멀티미터 등)에 의해 측정될 수 있다. 신호측정장치는 이를 100배 곱한 값으로 환산하여 100kV임을 표시장치에 표시할 수 있다. 신호측정장치에 따라 1000V의 전압을 측정할 수 없는 경우에, 고압부(120)의 무유도 저항 R1과 저압부(130)의 무유도 저항 R2이 1:1000 등 저항값비를 가지도록 하여, 신호측정장치가 동축 케이블(140)의 타측에 연결된 커넥터(150)에 대략 1/1000 이상 감쇄된 100V의 전압이 나타나는 것으로 측정하고 표시장치에 표시하도록 할 수도 있다.For example, when the 100 kV high frequency high voltage pulse having a rising time of 1 to 10 nsec or less, which represents 10% to 90% between the lowest value and the maximum value of the pulse, is applied to the applying unit 110, the high voltage part 120. The resistance value of the non-induction resistor R1 of 20 kΩ and the resistance value of the non-induction resistor R2 of the low voltage unit 130 is set to 200 Ω, approximately 1 to the connector 150 connected to the other side of the coaxial cable 140. A voltage of 1000 V attenuated by more than / 100 appears and can be measured by a signal measuring device (eg, an oscilloscope, digital multimeter, etc.). The signal measuring apparatus converts the value by a factor of 100 times and may display 100 kV on the display device. When the voltage of 1000 V cannot be measured by the signal measuring device, the non-inductive resistance R1 of the high voltage part 120 and the non-inductive resistance R2 of the low voltage part 130 have a resistance value ratio such as 1: 1000 to measure the signal. The device may measure that the voltage of 100V attenuated by about 1/1000 or more appears in the connector 150 connected to the other side of the coaxial cable 140, and display it on the display device.

여기서, 이와 같이 고압부(120)의 무유도 저항 R1과 저압부(130)의 무유도 저항 R2이 1:100 이상의 저항값비를 가지도록 하여, 100kV 이상의 고주파 고전압 펄스를 측정하는 예를 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 100kV 이하의 고주파 고전압 펄스에 대하여도 고압부(120)의 무유도 저항 R1과 저압부(130)의 무유도 저항 R2이 1:100 이상(1:150, 1:200 등)으로 제작(경우에 따라서는 1:100 이하도 가능)되어도, 고압부(120)의 무유도 저항 R1과 저압부(130)의 무유도 저항 R2에서의 고주파 고전압 펄스 감쇄에 따라, 도 4와 같이, 동축 케이블(140)의 타측에 연결된 커넥터(150)에 연결되는 신호측정장치에서 깨끗하게 감쇄된 펄스를 왜곡없이 정밀하게 측정할 수 있게 된다. Here, an example of measuring high frequency high voltage pulses of 100 kV or more by explaining that the non-inductive resistance R1 of the high voltage part 120 and the non-inductive resistance R2 of the low voltage part 130 have a resistance value ratio of 1: 100 or more, will be described. The non-inductive resistance R1 of the high voltage unit 120 and the non-inductive resistance R2 of the low voltage unit 130 may be 1: 100 or more (1: 150, 1: 200, etc.) even for a high frequency high voltage pulse of 100 kV or less. Even if manufactured (in some cases, 1: 100 or less may be possible), coaxial as shown in FIG. 4 according to the high frequency high voltage pulse attenuation of the induction resistance R1 of the high voltage | voltage part 120 and the induction resistance R2 of the low voltage | pressure part 130, In the signal measuring device connected to the connector 150 connected to the other side of the cable 140, the attenuated pulses can be accurately measured without distortion.

기존과 같이 니크롬선을 권선 저항법으로 제작할 때, 인덕턴스가 최소한으로 상쇄되도록 제작해도 고주파의 고전압 펄스의 측정이 원래 파형 형태로 측정되지 않고 왜곡이 심하게 측정되는 문제점이 있었으나, 본 발명과 같이, 고압부(120)와 저압부(130)의 무유도 저항 R1, R2에 의해, 인덕턴스가 무시되는, 즉, 인덕턴스가 거의 0~10μH 이하 한정되는 저항을 이용하므로, 100kV 이상 또는 그 이하의 고주파 고전압 펄스의 입력을 인덕턴스의 영향이 없이 깨끗하게 감쇄된 펄스를 왜곡없이 정밀하게 측정할 수 있게 된다. When the nichrome wire is manufactured by the winding resistance method as in the prior art, although the inductance is manufactured to be canceled to a minimum, the measurement of the high frequency pulse of the high frequency is not measured in the original waveform form, but the distortion is severely measured. Since the inductance is ignored by the non-inductive resistors R1 and R2 of the 120 and the low voltage unit 130, that is, a high frequency high voltage pulse of 100 kV or less is used because the inductance is limited to almost 0 to 10 μH or less. Inputs can be measured accurately without distortion, with cleanly attenuated pulses without the effects of inductance.

한편, 위에서도 기술한 바와 같이, 신호측정장치에 따라 좀 더 작은 입력 전압이 필요한 경우에, 커넥터(150)에 감쇄기(160)를 연결하고, 감쇄기(160)의 타측을 신호측정장치(예, 오실로스코프, 디지털멀티미터 등)에 연결된 다른 동축케이블과 연결시켜서, 사용할 수 있다. 이때, 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항으로 이루어진 감쇄기(160)는 동축 케이블(140)의 출력측 커넥터(150) 부분의 전압이 1/100 이상(경우에 따라서는 1/100 이하도 가능) 더 감쇄되어 신호측정장치로 출력되도록 할 수 있다.On the other hand, as described above, when a smaller input voltage is required according to the signal measuring device, the attenuator 160 is connected to the connector 150, and the other side of the attenuator 160 is connected to the signal measuring device (eg, an oscilloscope). It can be used by connecting with other coaxial cable connected to the digital multimeter. At this time, the attenuator 160 having a plurality of inductive resistors connected in series or in parallel has a voltage greater than 1/100 (in some cases, even less than 1/100) of the output connector 150 of the coaxial cable 140. It can be attenuated and output to the signal measuring device.

예를 들어, 위의 예와 같이, 인가부(110)에 펄스의 최저값과 최대값 사이의10% ~ 90%를 나타내는 라이징 타임 1~10nsec 이하인 100kV 고주파 고전압 펄스가 인가될 때, 고압부(120)의 무유도 저항 R1의 저항값이 20kΩ이 되게하고, 저압부(130)의 무유도 저항 R2의 저항값이 200Ω이 되게 제작하고, 감쇄기(160)의 무유도 저항들(R1, R2, R3)을 1005Ω, 50Ω, 50Ω 정도로 제작하면, 동축 케이블(140)의 타측에 연결된 커넥터(150)에 대략 1/100 이상 감쇄된 1000V의 전압이 나타나고, 감쇄기(160)의 출력측에 다시 대략 1/100 이상 감쇄된 10V의 전압이 나타나며, 신호측정장치는 고압부(120), 저압부(130), 감쇄기(160)의 무유도 저항으로 인해 인덕턴스의 영향이 없이 깨끗하게 감쇄된 펄스를 왜곡없이 정밀하게 측정할 수 있고, 10000배 곱한 값으로 환산하여 100kV임을 표시장치에 표시할 수 있다.For example, as in the above example, when a 100 kV high frequency high voltage pulse having a rising time of 1 to 10 nsec or less representing a 10% to 90% between the lowest value and the maximum value of the pulse is applied to the applying part 110, the high voltage part 120 is applied. The resistance value of the non-inductive resistor R1 of 20 kΩ, the resistance value of the non-induction resistor R2 of the low voltage unit 130 is 200 Ω, the non-inductive resistors (R1, R2, R3) of the attenuator 160 If 1005Ω, 50Ω, and 50Ω are manufactured, a voltage of 1000 V attenuated by about 1/100 or more is displayed on the connector 150 connected to the other side of the coaxial cable 140, and about 1/100 or more again on the output side of the attenuator 160. The attenuated voltage of 10V appears, and the signal measuring device can accurately measure a cleanly attenuated pulse without distortion due to the induction resistance of the high voltage part 120, the low voltage part 130, and the attenuator 160 without distortion. And, it can be displayed on the display device 100kV in terms of the value multiplied by 10,000 times.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, but the present invention is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications and variations from such descriptions. This is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the claims.

Claims (9)

무유도(Non-inductive) 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기로서,
고주파 고전압 펄스가 인가되는 인가부;
상기 인가부와 접지부 사이에 직렬 연결된 고압부와 저압부; 및
상기 고압부와 상기 저압부 사이의 접점에 일측이 연결된 동축 케이블을 포함하고,
상기 고압부와 상기 저압부를 구성하는 모든 저항이 무유도 저항으로 이루어지며,
라이징 타임 1~10nsec 이하의 고주파 고전압 펄스를 상기 고압부와 상기 저압부에 의해 1/100 이상 감쇄시키고, 상기 동축 케이블의 타측을 통해 신호측정장치에 연결하여, 상기 무유도 저항에 의해 인덕턴스의 영향이 없이 감쇄된 펄스를 왜곡없이 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기.High frequency high voltage pulse measuring instrument using non-inductive resistance,
An application unit to which a high frequency high voltage pulse is applied;
A high pressure part and a low pressure part connected in series between the applying part and the ground part; And
A coaxial cable having one side connected to a contact point between the high pressure part and the low pressure part,
All the resistances constituting the high pressure portion and the low pressure portion is made of an induction resistance,
A high frequency high voltage pulse having a rising time of 1 to 10 nsec or less is attenuated by more than 1/100 by the high voltage portion and the low voltage portion, and is connected to a signal measuring device through the other side of the coaxial cable, so that the effect of inductance is not affected by the inductive resistance. A high frequency high voltage pulse measuring instrument for measuring attenuated pulses without distortion. 제1항에 있어서,
상기 동축 케이블의 타측에는 상기 신호측정장치에 연결된 다른 동축케이블과 연결시키기 위한 커넥터를 구비하는 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기.The method of claim 1,
The other side of the coaxial cable is a high frequency high voltage pulse measuring device comprising a connector for connecting with another coaxial cable connected to the signal measuring device. 제1항에 있어서,
상기 고압부는 제1저항으로 이루어지고, 상기 저압부는 제2저항으로 이루어지며, 상기 제1저항과 상기 제2저항이 1:100 이상의 저항값비를 가지는 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기. The method of claim 1,
The high voltage unit is a high voltage pulse meter, characterized in that the high voltage portion is made of a first resistance, the low voltage portion is made of a second resistance, the first resistance and the second resistance has a resistance value ratio of 1: 100 or more. 제3항에 있어서,
상기 제 2 저항으로 무유도 저항을 사용할 뿐만 아니라 복수의 저항을 병렬로 연결한 상기 제 2 저항에 의해 인덕턴스 성분을 줄이는 효과를 가지도록 하기 위한 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기. The method of claim 3,
And a non-inductive resistor as the second resistor, as well as an effect of reducing an inductance component by the second resistor connecting a plurality of resistors in parallel. 무유도(Non-inductive) 저항을 이용한 고주파 고전압 펄스 측정기로서,
고주파 고전압 펄스가 인가되는 인가부;
상기 인가부와 접지부 사이에 직렬 연결된 고압부와 저압부; 및
상기 고압부와 상기 저압부 사이의 접점에 일측이 연결된 동축 케이블; 및
일측이 상기 동축 케이블의 타측에 연결된 감쇄기를 포함하고,
상기 고압부와 상기 저압부, 및 상기 감쇄기를 구성하는 모든 저항이 무유도 저항으로 이루어지며,
라이징 타임 1~10nsec 이하의 고주파 고전압 펄스를 상기 고압부와 상기 저압부에 의해 1/100 이상 감쇄시키고, 상기 감쇄기의 타측을 통해 신호측정장치에 연결하여, 상기 무유도 저항에 의해 감쇄된 펄스를 왜곡없이 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기.High frequency high voltage pulse measuring instrument using non-inductive resistance,
An application unit to which a high frequency high voltage pulse is applied;
A high pressure part and a low pressure part connected in series between the applying part and the ground part; And
A coaxial cable having one side connected to a contact point between the high pressure unit and the low pressure unit; And
One side includes an attenuator connected to the other side of the coaxial cable,
All the resistances constituting the high pressure portion, the low pressure portion, and the attenuator are made of non-inductive resistance,
A high frequency high voltage pulse having a rising time of 1 to 10 nsec or less is attenuated by more than 1/100 by the high voltage section and the low voltage section, and is connected to a signal measuring device through the other side of the attenuator to distort the pulse attenuated by the non-inductive resistor. High frequency high voltage pulse meter, characterized in that for measuring without. 제5항에 있어서,
상기 감쇄기의 타측에는 상기 신호측정장치에 연결된 다른 동축케이블과 연결시키기 위한 커넥터를 구비하는 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기.6. The method of claim 5,
The other side of the attenuator is a high frequency high voltage pulse measuring device comprising a connector for connecting with another coaxial cable connected to the signal measuring device. 제5항에 있어서,
상기 고압부는 제1저항으로 이루어지고, 상기 저압부는 제2저항으로 이루어지며,
상기 제1저항과 상기 제2저항이 1:100 이상의 저항값비를 가지며, 상기 감쇄기는 상기 동축 케이블의 타측의 전압이 1/100 이상 감쇄되어 상기 신호측정장치로 출력되도록 직렬 또는 병렬 연결된 복수의 무유도 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기.6. The method of claim 5,
The high pressure part is made of a first resistor, the low pressure part is made of a second resistor,
The first resistor and the second resistor has a resistance value ratio of 1: 100 or more, and the attenuator has a plurality of non-connected series or parallel connected so that the voltage on the other side of the coaxial cable is attenuated by 1/100 or more and outputted to the signal measuring device. A high frequency high voltage pulse meter, characterized in that it comprises a resistance. 제7항에 있어서,
상기 제 2 저항으로 무유도 저항을 사용할 뿐만 아니라 복수의 저항을 병렬로 연결한 상기 제 2 저항에 의해 인덕턴스 성분을 줄이는 효과를 가지도록 하기 위한 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기. 8. The method of claim 7,
And a non-inductive resistor as the second resistor, as well as an effect of reducing an inductance component by the second resistor connecting a plurality of resistors in parallel. 제5항에 있어서,
상기 감쇄기는 입력측과 출력측 사이에 연결된 제1무유도 저항, 상기 제1무유도의 일측과 접지부 사이에 연결된 제2무유도 저항, 및 상기 제1무유도 저항의 타측과 접지부 사이에 연결된 제3무유도 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 고전압 펄스 측정기.6. The method of claim 5,
The attenuator includes a first non-inductive resistor connected between an input side and an output side, a second non-inductive resistor connected between one side of the first non-induction and a ground portion, and a second non-inductive resistor connected between the other side of the first non-inductive resistor and a ground portion. 3. A high frequency high voltage pulse measuring instrument comprising a non-inductive resistor.
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