KR101378381B1 - Apparatas and method for auto matching variable impedance in bosch and multi step process - Google Patents

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Abstract

본 발명은 임피던스를 자동 정합하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 자동 정합 회로를 구비하여 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상에서 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 보쉬 프로세스(Bosch Process)또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스(impedance)를 정합(match)하는 자동 정합(auto match) 장치에 있어서, 상기 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상의 각각의 임피던스를 변환하는 스위칭 임피던스 변환기; 상기 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 상기 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 상기 스위칭 임피던스 변환기의 임피던스를 조절하는 SPDT 스위칭 릴레이(Single Pole Double Throw Switching Relay); 및 상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되어, 상기 스위칭 임피던스 변환기에서 변환된 임피던스를 정합시키는 가변 임피던스 정합기;를 포함한다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to an apparatus and method for automatically matching impedance, and more particularly, to an apparatus and method for automatically matching impedance which is changed in a process requiring a Bosch process or a multistep with an automatic matching circuit.
To this end, the present invention provides an automatic match device for matching changing impedances in a Bosch process or a process requiring a multistep, which requires the Bosch process or multistep. A switching impedance converter for converting respective impedances of the first process or the second process of the process; A single pole double throw switching relay (SDT) for controlling the impedance of the switching impedance converter by switching to one of two terminals of the switching impedance converter according to the first process or the second process state; And a variable impedance matcher connected to the SPDT switching relay to match the impedance converted by the switching impedance converter.

Description

보쉬 프로세스 또는 멀티 스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치 및 방법{APPARATAS AND METHOD FOR AUTO MATCHING VARIABLE IMPEDANCE IN BOSCH AND MULTI STEP PROCESS}APPARATUS AND METHOD FOR AUTO MATCHING VARIABLE IMPEDANCE IN BOSCH AND MULTI STEP PROCESS}

본 발명은 임피던스를 자동 정합하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 자동 정합 회로를 구비하여 보쉬 프로세스 또는 멀티 스텝을 필요로 하는 프로세스상에서 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an apparatus and method for automatically matching impedance, and more particularly, to an apparatus and method for automatically matching impedance which is changed in a Bosch process or a process requiring a multi-step with an automatic matching circuit.

멤스(Micro Electro Mechanical Systems) 기술은 현재 반도체 기술을 이용하는 각종 센서류, TSV(Through Sillicon Via) 및 3 차원 디바이스(3 Dimension Device) 등 반도체 분야에서 광범위하게 사용되고 있다. 예를 들면, 멤스 기술은 실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 머리카락 절반 두께의 초소형 기어, 손톱 크기의 하드디스크 등과 같은 초미세 기계구조물을 만드는데 이용되고 있다. 멤스 에치(MEMS etch) 기술은 보쉬 프로세스(Bosch Process)라고도 지칭되는 것으로, 이 공정의 핵심은 C4F8과 SF6 가스를 번갈아 사용하면서, 증착과 식각공정을 반복하여 고 선택비의 고 종횡비를 갖는 실리콘을 식각하는 공정이다.MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology is widely used in the semiconductor field, such as various sensors using the semiconductor technology, Through Sillicon Via (TSV) and 3 Dimension Device (3 Dimension Device). MEMS technology, for example, is being used to fabricate silicon, quartz, and glass to create ultra-fine mechanical structures such as ultra-high density integrated circuits, micro-gear gears with half the hair, and nail-sized hard disks. MEMS etch technology, also known as the Bosch Process, is the heart of the process, which alternates between C 4 F 8 and SF 6 gases, repeating the deposition and etching process to achieve high selectivity and high aspect ratios. It is a process of etching silicon having.

그러나, 종래에는 C4F8을 이용하여 증착하는 과정과 SF6를 이용하여 식각하는 과정 간에 임피던스의 차가 크게 발생되는 문제점이 있었다. 또한, 각 과정 간의 공정시간이 3초 내외의 짧은 시간에 반복되어 임피던스의 매칭이 완벽하게 이루어지지 않은 상태에서 다음 과정으로 넘어가는 문제점 있었다. 더욱이, 최근 기술 동향에 따르면, 각 과정 간의 공정시간이 1초 내외로 짧아지면서 임피던스의 매칭이 정확하게 수행될 수 있는 기술이 요구되고 있는 것이 현실이다. However, in the related art, there is a problem that a large difference in impedance occurs between a process of depositing using C 4 F 8 and an process of etching using SF 6 . In addition, the process time between each process is repeated in a short time of about 3 seconds, there was a problem to move to the next process in the state where the impedance matching is not made completely. Moreover, according to the recent technology trend, the reality is that a technology capable of accurately performing impedance matching is required as the process time between each process is shortened to about 1 second.

또한, 멤스 분야 뿐 아니라 반도체 기술을 요구하는 분야의 식각 및/또는 증착 장비에서도 양산성 확대화 수율을 향상시키기 위해서 위와 같은 문제점에 주목하고 있다.In addition, in the etching and / or deposition equipment of the field requiring the semiconductor technology, as well as the MEMS field attention to the above problems in order to improve the yield yield.

따라서, 고정된 커패시터(fixed capacitor)의 구조를 이용하는 종래의 설비에 있어서, 공정 특성상 공정 조건을 바꿔야 하는 경우에도 임피던스 정합을 시킬 수 있는 장치 및 방법의 개발이 시급한 실정이다.
Therefore, in the conventional equipment using the structure of a fixed capacitor (fixed capacitor), it is urgent to develop a device and method that can match the impedance even when the process conditions must be changed due to the process characteristics.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 자동 정합 회로를 구비하여 보쉬 및 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상에서 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치 및 방법을 제공한다.
Accordingly, the present invention provides an apparatus and method for automatically matching impedances changed in a process requiring Bosch and multistep by including an automatic matching circuit to solve the above-mentioned problems.

상술한 바를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 보쉬 프로세스 또는 멀티 스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스(impedance)를 자동 정합(auto match)하는 장치는, 상기 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상의 각각의 임피던스를 변환하는 스위칭 임피던스 변환기; 상기 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 상기 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 상기 스위칭 임피던스 변환기의 임피던스를 조절하는 SPDT 스위칭 릴레이(Single Pole Double Throw Switching Relay); 및 상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되어, 상기 스위칭 임피던스 변환기에서 변환된 임피던스를 정합시키는 가변 임피던스 정합기;를 포함한다.In order to achieve the above, an apparatus for auto matching a varying impedance on a Bosch process or a process requiring multiple steps according to the present invention is a process requiring the Bosch process or multistep. A switching impedance converter for converting each impedance of the first process or the second process of the; A single pole double throw switching relay (SDT) for controlling the impedance of the switching impedance converter by switching to one of two terminals of the switching impedance converter according to the first process or the second process state; And a variable impedance matcher connected to the SPDT switching relay to match the impedance converted by the switching impedance converter.

또한, 상술한 바를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 보쉬 프로세스(Bosch Process) 또는 멀티 스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스(impedance)를 자동 정합(auto match)하는 방법은, 상기 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상의 각각의 임피던스를 스위칭 임피던스 변환기를 이용해 변환하는 임피던스 변환과정; 상기 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 상기 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 상기 임피던스 변환과정을 조절하는 과정; 상기 임피던스 변환과정에서 변환된 임피던스를 가변 임피던스 정합기를 이용해 정합하는 임피던스 정합과정;을 포함한다.In addition, in order to achieve the above, the method of auto matching the Bosch process (varied impedance) in the process requiring a Bosch process or a multi-step according to the present invention, the Bosch process or multi An impedance conversion process of converting each impedance of the first process or the second process of the process requiring a step by using a switching impedance converter; Controlling the impedance conversion process by switching to one of two terminals of the switching impedance converter according to the first process state or the second process state; And an impedance matching process for matching the impedance converted in the impedance conversion process by using a variable impedance matcher.

본 발명은 보쉬 프로세스상의 C4F8 공정 및 SF6 공정에서 측정된 각각의 임피던스에 매칭되는 독립된 고정 임피던스 변환기를 자동 정합기에 내장하여 각각의 공정상태에 따라 선택적으로 임피던스 변환기를 조절하여 임피던스를 정합할 수 있는 효과가 있다. 또한, 같은 원리로 보쉬공정 뿐만 아니라 서로 임피던스 차가 크게 발생하는 멀티스텝공정에서도 같은 효과를 기대할 수 있다.
The present invention incorporates an independent fixed impedance converter matching each impedance measured in the C 4 F 8 process and the SF 6 process in the Bosch process in the automatic matching device to selectively adjust the impedance converter according to each process state to match the impedance. It can work. In addition, the same effect can be expected not only in the Bosch process but also in the multistep process in which the impedance difference is large.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 또는 제2 공정상의 임피던스를 정합하는 자동 정합 장치의 구성을 나타낸 블럭도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 또는 제2 공정상의 임피던스를 변환하는 스위칭 임피던스 변환기의 구성을 나타낸 블럭도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 스위칭 임피던스 변환기에서 변환된 임피던스를 정합하는 가변 임피던스 정합기의 구성을 나타낸 블럭도.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 또는 제2 공정상의 임피던스를 자동으로 정합하는 방법을 나타낸 순서도.1 is a block diagram showing the configuration of an automatic matching device for matching impedance in a first process or a second process according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram illustrating a configuration of a switching impedance converter for converting impedance in a first process or a second process according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a block diagram illustrating a configuration of a variable impedance matcher for matching impedance converted in a switching impedance converter according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a method for automatically matching impedance in a first process or a second process according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 동작 원리를 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 사용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the principle of operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The following terms are defined in consideration of the functions of the present invention and may vary depending on the user, intention or custom of the user. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

본 발명에서 도 1과 도 2의 도면부호 '102'와 '205', '103'과 '206', '104'와 '208'들은 각각 동일한 구성요소를 대응되게 나타낸 것으로, 설명을 위해 도면부호만 다르게 기재한 것이다.
In the present invention, the reference numerals '102' and '205', '103' and '206', and '104' and '208' of FIGS. 1 and 2 correspond to the same components, respectively. Only differently described.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 보쉬 프로세스(Bosch Process) 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 및 제2 공정상의 임피던스를 정합하는 자동 정합 장치의 구성을 나타낸 블럭도이다. FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of an automatic matching device that matches impedances of a first process and a second process among a process requiring a Bosch process or a multistep according to an exemplary embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 및 제2 공정상의 임피던스를 정합하는 자동 정합 장치는 스위칭 임피던스 변환기(101), 제1 단자(102), 제2 단자(103), SPDT 스위칭 릴레이(Single Pole Double Throw Switching Relay, 104) 및 가변 임피던스 정합기(105)를 포함하여 구성될 수 있다. As shown, the automatic matching device for matching the impedance in the first process and the second process according to an embodiment of the present invention is a switching impedance converter 101, the first terminal 102, the second terminal 103, SPDT The switching relay may include a single pole double throw switching relay 104 and a variable impedance matcher 105.

스위칭 임피던스 변환기(101)는 보쉬 프로세스(Bosch Process) 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 및 제2 공정상의 변화되는 임피던스(impedance)의 차이를 최소화하여 임피던스 정합기에서 빠른 정합을 가능하게 해주는 역할을 한다. 여기서, 보쉬 프로세스란 멤스(Micro Electro Mechanical Systems) 기술 또는 Deep RIE 공정으로도 불리우는 것으로, 이 공정의 핵심은 C4F8과 SF6 가스를 번갈아 사용하면서, 증착과 식각공정을 반복하여 실리콘을 식각하는 공정이다. 또한, 제1 공정 및 제2 공정은 각각 C4F8을 이용하여 증착하는 공정 및 SF6를 이용하여 식각하는 공정을 나타낸 것으로 정의될 수 있다. 즉, 본 발명의 스위칭 임피던스 변환기(101)는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 C4F8을 이용하여 증착하는 공정 및 SF6를 이용하여 식각하는 공정간에 발생되는 임피던스 크기의 차이를 최소화하여 임피던스 정합기에서 빠른 정합을 가능하게 해주는 역할을 한다. 보다 구체적으로, 스위칭 임피던스 변환기(101)에는 제1 공정 및 제2 공정에서 측정된 각각의 임피던스에 상응하는 독립된 고정 임피던스 변환기(fixed impedance transformer)를 구비하여 각각의 공정에서의 임피던스의 차이를 최소화시킨다. The switching impedance converter 101 enables fast matching in the impedance matcher by minimizing the difference in the impedances changed in the first process and the second process during a Bosch process or a process requiring a multistep. It plays a role. Here, the Bosch process is also called the MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology or the Deep RIE process, and the core of this process is to alternately etch and etch silicon by using C 4 F 8 and SF 6 gas alternately. It is a process to do it. In addition, the first process and the second process may be defined to represent a process of depositing using C 4 F 8 and an etching process using SF 6 , respectively. That is, the switching impedance converter 101 according to the present invention measures the difference between the magnitudes of impedances generated between the process of deposition using C 4 F 8 and the process of etching using SF 6 among the processes requiring the Bosch process or the multi-step. Minimizes and allows fast matching in impedance matchers. More specifically, the switching impedance converter 101 includes independent fixed impedance transformers corresponding to respective impedances measured in the first process and the second process to minimize the difference in impedance in each process. .

스위칭 임피던스 변환기(101)와 연결되어 있는 단자는 총 세 단자로 구성되어 있는데, 하나의 단자는 일측에 입력단자와 연결되어 있고, 다른 두 단자(102, 103)는 타측에 각각 구분되어 SPDT 스위칭 릴레이와 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 타측에 각각 구분되어 있는 두 단자(102, 103)는 SPDT 스위칭 릴레이와 선택적으로 연결될 수 있다. 즉, 두 단자(102, 103)는 제1 공정 또는 제2 공정에 따라 SPDT 스위칭 릴레이와 선택적으로 연결될 수 있다. 예를 들면, 현재의 상태가 제1 공정상태에 있다면, SPDT 스위칭 릴레이(104)가 제1 단자(102) 또는 제2 단자(103) 중 설정된 어느 하나의 단자로 연결되어, 스위칭 임피던스 변환기(101)는 임피던스를 변환하여 그 차이를 최소화시킨다. 같은 의미로, 현재의 상태가 제2 공정상태에 있다면, SPDT 스위칭 릴레이(104)가 제1 단자(102) 또는 제2 단자(103) 중 나머지 하나의 단자로 연결되어, 스위칭 임피던스 변환기(101)는 임피던스를 변환하여 그 차이를 최소화 시킨다. The terminal connected to the switching impedance converter 101 is composed of a total of three terminals, one terminal is connected to the input terminal on one side, and the other two terminals 102 and 103 are respectively separated on the other side, SPDT switching relay It can be connected with. More specifically, the two terminals 102 and 103 which are respectively divided on the other side may be selectively connected to the SPDT switching relay. That is, the two terminals 102 and 103 may be selectively connected to the SPDT switching relay according to the first process or the second process. For example, if the current state is in the first process state, the SPDT switching relay 104 is connected to any one of the terminals set in the first terminal 102 or the second terminal 103 to switch the switching impedance converter 101. ) Converts the impedance to minimize the difference. In the same sense, if the current state is in the second process state, the SPDT switching relay 104 is connected to the other terminal of the first terminal 102 or the second terminal 103 to switch the switching impedance converter 101. Transforms the impedance to minimize the difference.

SPDT 스위칭 릴레이(104)는 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자(102, 103) 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 스위칭 임피던스 변환기의 임피던스를 조절하는 역할을 한다. 보다 구체적으로, SPDT 스위칭 릴레이(104)는 보쉬 프로세스 중 현재의 상태가 제1 공정상태에 있다고 판단되면, 스위칭 임피던스 변환기의 제1 단자(101) 또는 제2 단자(103) 중 설정된 어느 하나의 단자로 연결된다. 같은 의미로, SPDT 스위칭 릴레이(104)는 보쉬 프로세스 중 현재의 상태가 제2 공정상태에 있다고 판단되면, 스위칭 임피던스 변환기의 제1 단자(101) 또는 제2 단자(103) 중 나머지 하나의 단자로 연결된다. 즉, SPDT 스위칭 릴레이(104)는 공정상태에 따라 스위칭 임피던스 변환기(101)의 임피던스를 조절하는 역할을 한다. 보다 구체적으로, 스위칭 임피던스 변환기(101)는 이상 변환기(ideal transformer)로 구성되어 있는데, SPDT 스위칭 릴레이(104)가 제1 단자(102) 또는 제2 단자(103)에 연결됨에 따라 이상 변환기의 임피던스가 변화될 수 있다. 즉, 이상 변환기의 두 코일 중 일측의 코일의 감는 횟수를 조절함으로써 전체적인 스위칭 임피던스 변환기의 임피던스를 조절할 수 있게 되는 것이다. The SPDT switching relay 104 controls the impedance of the switching impedance converter by switching to any one of two terminals 102 and 103 of the switching impedance converter according to the first process or the second process state. More specifically, when the SPDT switching relay 104 determines that the current state of the Bosch process is in the first process state, the terminal of any one of the first terminal 101 or the second terminal 103 of the switching impedance converter is set. Leads to. In the same sense, when the SPDT switching relay 104 determines that the current state of the Bosch process is in the second process state, the SPDT switching relay 104 returns to the other terminal of the first terminal 101 or the second terminal 103 of the switching impedance converter. Connected. That is, the SPDT switching relay 104 controls the impedance of the switching impedance converter 101 according to the process state. More specifically, the switching impedance converter 101 is configured as an ideal transformer, and as the SPDT switching relay 104 is connected to the first terminal 102 or the second terminal 103, the impedance of the abnormal converter is changed. Can be changed. That is, by adjusting the number of turns of the coil of one side of the two coils of the abnormal converter it is possible to adjust the impedance of the overall switching impedance converter.

가변 임피던스 정합기(105)는 SPDT 스위칭 릴레이(104)와 연결되어 스위칭 임피던스 변환기(101)에서 완벽하게 정합되지 못한 임피던스를 최적 임피던스로 정합하는 역할을 한다. 보다 구체적으로, 가변 임피던스 정합기(105)는 스위칭 임피던스 변환기(101)에서 변환된 임피던스의 크기(magnitude) 및 위상(phase) 모두를 변화시킨다. 즉, 스위칭 임피던스 변환기(101)에서는 임피던스의 크기만을 변화시킬 뿐 위상은 변화시키지 못하므로 완벽한 공액정합(conjugate matching)이 일어나기 힘들다. 그러나, 가변 임피던스 정합기(105)에서는 임피던스의 크기 및 위상 모두를 변화시킬 수 있으므로 이상적인 임피던스 정합이 가능한 것이다.
The variable impedance matcher 105 is connected to the SPDT switching relay 104 to serve to match an impedance that is not perfectly matched in the switching impedance converter 101 to an optimum impedance. More specifically, the variable impedance matcher 105 changes both the magnitude and the phase of the impedance converted in the switching impedance converter 101. That is, in the switching impedance converter 101, only the magnitude of the impedance is changed but the phase is not changed, so that perfect conjugate matching is difficult to occur. However, in the variable impedance matcher 105, since both the magnitude and the phase of the impedance can be changed, ideal impedance matching is possible.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 또는 제2 공정상의 임피던스를 조절하는 스위칭 임피던스 변환기의 구성을 나타낸 블럭도이다. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a switching impedance converter for adjusting impedance in a first process or a second process according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 또는 제2 공정상의 임피던스를 조절하는 스위칭 임피던스 변환기는 제1 코일(201), 제1 코일의 제1 단자(202), 제1 코일의 제2 단자(203), 제2 코일(204), 제2 코일의 제1 단자(205), 제2 코일의 제2 단자(206), 제2 코일의 제3 단자(207)를 포함하여 구성될 수 있다. As shown, the switching impedance converter for adjusting the impedance in the first process or the second process according to an embodiment of the present invention is the first coil 201, the first terminal 202 of the first coil, of the first coil It comprises a second terminal 203, a second coil 204, a first terminal 205 of the second coil, a second terminal 206 of the second coil, and a third terminal 207 of the second coil. Can be.

스위칭 임피던스 변환기는 도시된 바와 같이, 제1 코일(201) 및 제2 코일(204)로 구성되는 이상 변환기일 수 있다. 제1 코일(201)은 두 단자(202, 203)로 구성될 수 있는데, 제1 코일의 제1 단자(202)는 입력단자와 연결되어 있고, 제1 코일의 제2 단자(203)는 접지와 연결되어 있다. 또한, 제2 코일(204)은 세 개의 단자로 구성될 수 있는데, 제2 코일의 제1 단자(205) 및 제2 코일의 제2 단자(206)는 SPDT 스위칭 릴레이(208)와 연결될 수 있도록 두 단자가 독립하여 구분되어 있고, 제2 코일의 제3 단자(207)는 접지와 연결되어 있다. As shown, the switching impedance converter may be an abnormal converter including a first coil 201 and a second coil 204. The first coil 201 may be composed of two terminals 202 and 203. The first terminal 202 of the first coil is connected to the input terminal, and the second terminal 203 of the first coil is grounded. Connected with In addition, the second coil 204 may be composed of three terminals, so that the first terminal 205 of the second coil and the second terminal 206 of the second coil may be connected to the SPDT switching relay 208. The two terminals are independently separated, and the third terminal 207 of the second coil is connected to the ground.

스위칭 임피던스 변환기는 제1 코일(201)과 제2 코일의 제1 단자(205) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성되어 있는 제2 코일(204)로 구성될 수도 있으며, 제1 코일(201)과 제2 코일의 제2 단자(206) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성되어 있는 제2 코일(204)로 구성될 수도 있다. 보다 구체적으로, SPDT 스위칭 릴레이(208)가 제2 코일의 제1 단자(205)와 연결된 경우, 스위칭 임피던스 변환기는 제1 코일(201)과 제2 코일의 제1 단자(205) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성되어 있는 제2 코일(204)로 구성되는 이상 변환기가 될 수 있다. 같은 의미로, SPDT 스위칭 릴레이(208)가 제2 코일의 제2 단자(206)와 연결된 경우, 스위칭 임피던스 변환기는 제1 코일(201)과 제2 코일의 제2 단자(206) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성되어 있는 제2 코일(204)로 구성되는 이상 변환기가 될 수 있다. 즉, SPDT 스위칭 릴레이(208)가 제2 코일의 제1 단자(205) 또는 제2 코일의 제2 단자(206) 중 어느 단자로 연결되느냐에 따라 스위칭 임피던스 변환기, 즉 이상 변환기의 임피던스는 변환될 수 있다. The switching impedance converter may be composed of a second coil 204 composed of a first coil 201, a first terminal 205 of a second coil, and a third terminal 207 of a second coil. The second coil 204 may be configured of the coil 201, the second terminal 206 of the second coil, and the third terminal 207 of the second coil. More specifically, when the SPDT switching relay 208 is connected with the first terminal 205 of the second coil, the switching impedance converter may be configured to connect the first coil 201 and the first terminal 205 and the second coil of the second coil. It may be an abnormal transducer composed of the second coil 204 composed of the third terminal 207 of the. In the same sense, when the SPDT switching relay 208 is connected with the second terminal 206 of the second coil, the switching impedance converter is configured to connect the first coil 201 and the second terminal 206 and the second coil of the second coil. It may be an abnormal transducer composed of the second coil 204 composed of the third terminal 207 of the. That is, the impedance of the switching impedance converter, that is, the abnormal converter, may be converted depending on which of the first terminal 205 of the second coil or the second terminal 206 of the second coil is connected to the SPDT switching relay 208. Can be.

예를 들면, 제1 공정 상태에 있을 때 제2 코일(204)이 제2 코일의 제1 단자(205) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성될 수 있다고 설정된 경우, 제1 코일(201)과 제2 코일의 제1 단자(205) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성되어 있는 제2 코일(204)로 구성된 이상 변환기에 의하여 임피던스를 변환한다. 같은 의미로, 제2 공정 상태에 있을 때 제2 코일(204)이 제2 코일의 제2 단자(206) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성될 수 있다고 설정된 경우, 제1 코일(201)과 제2 코일의 제2 단자(206) 및 제2 코일의 제3 단자(207)로 구성되어 있는 제2 코일(204)로 구성된 이상 변환기에 의하여 임피던스를 변환한다. 상술한 예는 각각의 두 공정에서 측정된 결과에 따라 달라질 수도 있다. For example, if it is set that the second coil 204 can consist of the first terminal 205 of the second coil and the third terminal 207 of the second coil when in the first process state, the first coil Impedance is converted by an ideal converter composed of 201, a first coil 205 of the second coil, and a second coil 204 composed of the third terminal 207 of the second coil. In the same sense, when it is set that the second coil 204 can consist of the second terminal 206 of the second coil and the third terminal 207 of the second coil when in the second process state, the first coil Impedance is converted by an ideal converter composed of 201, a second terminal 206 of the second coil, and a second coil 204 composed of the third terminal 207 of the second coil. The above examples may vary depending on the results measured in each of the two processes.

결론적으로, 스위칭 임피던스 변환기에서는 제1 공정 및 제2 공정상태에 따라 설정된 이상 변환기의 임피던스가 조절되어 해당 공정의 임피던스에 근접하게 임피던스가 변환되는 특징이 있다. 즉, 종래에는 제1 공정 및 제2 공정의 공정시간이 짧은 시간에 반복되다 보니, 기존의 자동 정합장치의 기계적인 정합과정에 따른 시간지연에 의해 임피던스 매칭이 완벽하게 이루어지지 않는 상태에서 다음 공정으로 넘어가는 문제점이 있었다. 그러나, 본 발명에서는 제1 공정에서 제2 공정으로 공정조건이 변화되는 경우에도 제1 공정 및 제2 공정상태에 따라 설정된 이상 변환기의 임피던스가 이상 변환기와 연결된 SPDT 스위칭 릴레이의 스위칭 동작으로 인하여 해당 공정의 근접한 임피던스로 빠른 시간내에 변환되므로, 공정상태에 따라 차이가 발생하는 임피던스에 대해 빠르게 능동적으로 변환할 수 있는 장점이 있다. In conclusion, in the switching impedance converter, the impedance of the abnormal converter set according to the first process and the second process state is controlled so that the impedance is converted close to the impedance of the corresponding process. That is, in the related art, since the process time of the first process and the second process is repeated in a short time, the next process in the state where the impedance matching is not completed by the time delay caused by the mechanical matching process of the conventional automatic matching device. There was a problem going over. However, in the present invention, even when the process conditions are changed from the first process to the second process, the impedance of the abnormal converter set according to the first process and the second process state is changed due to the switching operation of the SPDT switching relay connected to the abnormal converter. Since it is converted in a short time to the impedance of the near, there is an advantage that can be quickly and actively convert to the impedance that the difference occurs according to the process state.

또한, SPDT 스위칭 릴레이(208)를 구비하여, 변화되는 공정상태에 따라 SPDT 스위칭 릴레이(208)를 스위칭하여 제1 공정 및 제2 공정상태에서 이상 변환기의 임피던스를 빠른 시간내에 정확하게 변화시킬 수 있는 장점이 있다. 즉, 제1 공정상태에서는 SPDT 스위칭 릴레이(208)를 제2 코일의 제1 단자(205) 또는 제2 코일의 제2 단자(206)로 스위칭하여 이상 변환기의 임피던스를 조절할 수 있고, 제2 공정상태에서는 SPDT 스위칭 릴레이(208)를 제2 코일의 나머지 하나의 단자로 스위칭하여 이상 변환기의 임피던스를 조절할 수 있는 장점이 있다. 보다 구체적으로, 고정된 커패시터를 사용하더라도 변화하는 임피던스에 대해 빠르고 능동적으로 변환할 수 있고, 공정 컨트롤이 어렵지 않아 식각율(etch rate)이 낮아지는 문제점도 극복할 수 있다.
In addition, with the SPDT switching relay 208, by switching the SPDT switching relay 208 according to the changing process state, the impedance of the abnormal converter in the first process and the second process state can be changed quickly and quickly There is this. That is, in the first process state, the SPDT switching relay 208 may be switched to the first terminal 205 of the second coil or the second terminal 206 of the second coil to adjust the impedance of the abnormal converter, and the second process In this state, the SPDT switching relay 208 may be switched to the other terminal of the second coil to adjust the impedance of the abnormal converter. More specifically, even if a fixed capacitor is used, it is possible to convert quickly and actively to changing impedance, and process control is not difficult, thereby overcoming the problem of low etch rate.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 스위칭 임피던스 변환기에서 각 공정의 임피던스에 근접하게 변환시킨 후 최적 임피던스로 정합시키는 가변 임피던스 정합기의 구성을 나타낸 블럭도이다.FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration of a variable impedance matcher which converts to an impedance of each process in a switching impedance converter according to an embodiment of the present invention and then matches the optimum impedance.

도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 또는 제2 공정상의 임피던스를 정합하는 가변 임피던스 정합기는 제1 가변 커패시터(301), 코일(302) 및 제2 가변 커패시터(303)를 포함하여 구성될 수 있다. As shown, the variable impedance matcher for matching impedance in a first process or a second process according to an embodiment of the present invention includes a first variable capacitor 301, a coil 302, and a second variable capacitor 303. Can be configured.

가변 임피던스 정합기는 제1 공정 또는 상기 제2 공정의 변환된 임피던스의 저항(resistance) 성분을 조정하기 위한 제1 가변 커패시터(301)와 제1 가변 커패시터(301)와 병렬로 연결되어, 변환된 임피던스의 리액턴스(reactance) 성분을 조정하기 위한 코일(302) 및 제2 가변 커패시터(303)를 포함하여 구성될 수 있다. The variable impedance matcher is connected in parallel with the first variable capacitor 301 and the first variable capacitor 301 to adjust the resistance component of the converted impedance of the first process or the second process, thereby converting the converted impedance. And a coil 302 and a second variable capacitor 303 for adjusting the reactance component of the.

가변 임피던스 정합기는 리액턴스 L형 회로일 수 있는데, 이상적인 커패시터와 인덕터는 전력소모가 없다. 보다 구체적으로, 가변 임피던스 정합기는 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되어 스위칭 임피던스 변환기에서 변환된 임피던스의 오차를 줄이는 역할, 즉 완벽하게 정합되지 못한 임피던스를 최적 임피던스로 정합하는 역할을 한다. 보다 구체적으로, 가변 임피던스 정합기는 스위칭 임피던스 변환기에서 완벽하게 정합되지 못한 임피던스의 크기(magnitude) 및 위상(phase) 모두를 변화시켜 최적화로 정합하도록 한다. 즉, 스위칭 임피던스 변환기에서는 임피던스의 크기만을 변화시킬 뿐 위상은 변화시키지 못하므로 완벽한 공액정합(conjugate matching)이 일어나기 힘들다. 그러나, 가변 임피던스 정합기에서는 크기 및 위상 모두를 변화시킬 수 있으므로 이상적인 임피던스 매칭이 가능한 것이다. The variable impedance matcher can be a reactance L-type circuit, with ideal capacitors and inductors without power consumption. More specifically, the variable impedance matcher is connected to the SPDT switching relay to reduce the error of the impedance converted in the switching impedance converter, that is, to match the impedance that is not perfectly matched to the optimum impedance. More specifically, the variable impedance matcher changes both the magnitude and the phase of the impedance that is not perfectly matched in the switching impedance converter to match with optimization. That is, in the switching impedance converter, only the magnitude of the impedance is changed but the phase is not changed, so that perfect conjugate matching is difficult to occur. However, in a variable impedance matcher, both magnitude and phase can be varied, so ideal impedance matching is possible.

또한, 가변 임피던스 정합기에서 가변 커패시터를 사용하는 이유로 플라즈마의 임피던스는 전자 밀도와 전자 온도의 함수로 표기될 수 있으며, 인가 전력 및 운전 압력에 따라 전자 밀도와 전자 온도가 달라지기 때문이다. 즉, 각 조건에 따라 정합되는 용량이 달라지기 때문에 가변 임피던스 정합기에서 인덕터보다 제어적, 재현적인 면에서 용이한 가변 커패시터를 사용하는 것이다.
In addition, the reason why the variable capacitor is used in the variable impedance matcher is that the impedance of the plasma can be expressed as a function of electron density and electron temperature, because the electron density and electron temperature vary according to the applied power and operating pressure. In other words, since the matching capacity varies according to each condition, the variable impedance matching device uses a variable capacitor which is easier to control and reproduce than an inductor.

본 발명에 따른 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 정합하는 자동 정합 방법은 개략적으로 아래의 과정을 거쳐 수행된다.An automatic matching method for matching varying impedances in a Bosch process or a process requiring multistep according to the present invention is schematically performed through the following process.

첫째, 상기 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상의 각각의 임피던스를 스위칭 임피던스 변환기를 이용해 변환하는 임피던스 변환과정,First, an impedance conversion process of converting each impedance of the first process or the second process of the Bosch process or a process requiring a multi-step using a switching impedance converter,

둘째, 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 상기 임피던스 변환과정을 조절하는 과정,Secondly, controlling the impedance conversion process by switching to any one of two terminals of the switching impedance converter according to a first process state or a second process state,

세째, 임피던스 변환과정에서 변환된 임피던스를 가변 임피던스 정합기를 이용해 정합하는 임피던스 정합과정.Third, the impedance matching process of matching the impedance converted in the impedance conversion process using a variable impedance matcher.

이하, 도 4의 순서도를 참고하여, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 공정 또는 제2 공정상의 임피던스를 자동으로 정합하는 방법을 설명하면 다음과 같다, Hereinafter, referring to the flowchart of FIG. 4, a method of automatically matching impedance in a first process or a second process according to an embodiment of the present invention will be described.

도 4에 도시된 바와 같이, 보쉬 프로세스나 멀티스텝 프로세스 중 제1 공정상태 또는 제2 공정상태에 있는지 판단한다(S410). 보다 구체적으로, SPDT 스위칭 릴레이는 현재의 공정상태가 보쉬 프로세스나 멀티스텝 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상태에 있는지 판단한다. 여기서, 보쉬 프로세스란 멤스(Micro Electro Mechanical Systems) 기술 또는 Deep RIE 공정으로도 불리우는 것으로, 이 공정의 핵심은 C4F8과 SF6 가스를 번갈아 사용하면서, 증착과 식각공정을 반복하여 실리콘을 식각하는 공정이다. 또한, 제1 공정 및 제2 공정은 각각 C4F8을 이용하여 증착하는 공정 및 SF6를 이용하여 식각하는 공정을 나타낸 것으로 정의될 수 있다. 즉, SPDT 스위칭 릴레이는 각각의 공정상태에 따라 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하기 위한 전제 조건으로, 현재의 공정상태가 보쉬 프로세스나 멀티스텝 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상태에 있는지를 판단한다. As shown in FIG. 4, it is determined whether the Bosch process or the multistep process is in the first process state or the second process state (S410). More specifically, the SPDT switching relay determines whether the current process state is in the first process state or the second process state of the Bosch process or the multistep process. Here, the Bosch process is also called the MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology or the Deep RIE process, and the core of this process is to alternately etch and etch silicon by using C 4 F 8 and SF 6 gas alternately. It is a process to do it. In addition, the first process and the second process may be defined to represent a process of depositing using C 4 F 8 and an etching process using SF 6 , respectively. That is, the SPDT switching relay is a precondition for switching to one of two terminals of the switching impedance converter according to each process state, and the current process state is the first process or the second process of the Bosch process or the multi-step process. Determine if you are in a state.

만약, 보쉬 프로세스나 멀티스텝 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상태에 있다고 판단되면, SPDT 스위칭 릴레이는 제1 공정 또는 제2 공정 상태에 따라 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭 한다(S420). SPDT 스위칭 릴레이는 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 스위칭 임피던스 변환기의 임피던스를 조절하는 역할을 한다. 보다 구체적으로, SPDT 스위칭 릴레이는 보쉬 프로세스 중 현재의 상태가 제1 공정상태에 있다고 판단되면, 스위칭 임피던스 변환기의 제1 단자 또는 제2 단자 중 설정된 어느 하나의 단자로 연결된다. 같은 의미로, SPDT 스위칭 릴레이는 보쉬 프로세스 중 현재의 상태가 제2 공정상태에 있다고 판단되면, 스위칭 임피던스 변환기의 제1 단자 또는 제2 단자 중 나머지 하나의 단자로 연결된다. 즉, SPDT 스위칭 릴레이는 공정상태에 따라 스위칭 임피던스 변환기의 임피던스를 조절하는 역할을 한다. If it is determined that the Bosch process or the multistep process is in the first process state or the second process state, the SPDT switching relay switches to either terminal of the two terminals of the switching impedance converter according to the first process state or the second process state. (S420). The SPDT switching relay controls the impedance of the switching impedance converter by switching to one of two terminals of the switching impedance converter according to the first process or the second process state. More specifically, when it is determined that the current state of the Bosch process is in the first process state, the SPDT switching relay is connected to any one of the first terminal and the second terminal of the switching impedance converter. In the same sense, if it is determined that the current state of the Bosch process is in the second process state, the SPDT switching relay is connected to the first terminal of the switching impedance converter or the other terminal of the second terminal. That is, the SPDT switching relay adjusts the impedance of the switching impedance converter according to the process state.

이후, 스위칭 임피던스 변환기에서 각각의 공정상태의 임피던스에 근접한 임피던스로 변환한다(S430). 보다 구체적으로, 스위칭 임피던스 변환기에서는 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 설정된 이상 변환기의 임피던스가 조절되어 해당 공정의 임피던스에 근접하게 변환되는 특징이 있다. 즉, 종래에는 제1 공정 및 제2 공정의 공정시간이 짧은 시간에 반복되다 보니, 기존 정합장치의 기계적인 지연으로 인하여 임피던스 매칭이 완벽하게 이루어지지 않는 상태에서 다음 공정으로 넘어가는 문제점이 있었다. 그러나, 본 발명에서는 제1 공정에서 제2 공정으로 공정조건이 변화되는 경우에도 제1 공정 및 제2 공정상태에 따라 설정된 이상 변환기의 임피던스가 SPDT 스위칭 릴레이의 스위칭동작으로 인해 변환되므로 차이가 발생하는 임피던스에 대해 빠르게 능동적으로 해당 공정의 임피던스에 근접하게 신속히 변환할 수 있는 장점이 있다. Subsequently, the switching impedance converter converts the impedance into an impedance close to the impedance of each process state (S430). More specifically, in the switching impedance converter, the impedance of the abnormal converter set according to the first process or the second process state is controlled to be converted close to the impedance of the corresponding process. That is, in the related art, since the process time of the first process and the second process is repeated in a short time, there is a problem of moving to the next process in a state where impedance matching is not made completely due to the mechanical delay of the existing matching device. However, in the present invention, even when the process conditions change from the first process to the second process, the impedance of the abnormal converter set according to the first process and the second process state is converted due to the switching operation of the SPDT switching relay, so that a difference occurs. It has the advantage of being able to quickly and actively convert impedance to near the impedance of the process.

이후, 가변 임피던스 정합기가 스위칭 임피던스 변환기에서 완벽하게 정합되지 못한 임피던스를 최적화시킨다(S440). 보다 구체적으로, 가변 임피던스 정합기(105)는 스위칭 임피던스 변환기(101)에서 완벽하게 정합되지 못한 임피던스의 크기(magnitude) 및 위상(phase) 모두를 변화시켜 최적의 임피던스로 정합한다. 즉, 스위칭 임피던스 변환기(101)에서는 임피던스의 크기만을 변화시킬 뿐 위상은 변화시키지 못하므로 완벽한 공액정합(conjugate matching)이 일어나기 힘들다. 그러나, 가변 임피던스 정합기(105)에서는 크기 및 위상 모두를 변화시킬 수 있으므로 이상적인 임피던스 매칭이 가능한 것이다.
Thereafter, the variable impedance matcher optimizes the impedance that is not perfectly matched in the switching impedance converter (S440). More specifically, the variable impedance matcher 105 changes both the magnitude and phase of the impedance that is not perfectly matched in the switching impedance converter 101 to match the optimum impedance. That is, in the switching impedance converter 101, only the magnitude of the impedance is changed but the phase is not changed, so that perfect conjugate matching is difficult to occur. However, the variable impedance matcher 105 can vary both magnitude and phase, thus enabling ideal impedance matching.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The foregoing description of the present invention is intended for illustration, and it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be easily modified in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구의 범위뿐만 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the illustrated embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims and equivalents thereof.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

101: 스위칭 임피던스 변환기 102: 제1 단자
103: 제2 단자 104: SPDT 스위칭 릴레이
105: 가변 임피던스 정합기 201: 제1 코일
202: 제1 코일의 제1 단자 203: 제1 코일의 제2 단자
204: 제2 코일 205: 제2 코일의 제1 단자
206; 제2 코일의 제2 단자 207: 제2 코일의 제3 단자
208: SPDT 스위칭 릴레이 301: 제1 가변 커패시터
302: 코일 303: 제2 가변 커패시터101: switching impedance converter 102: first terminal
103: second terminal 104: SPDT switching relay
105: variable impedance matcher 201: first coil
202: first terminal of the first coil 203: second terminal of the first coil
204: second coil 205: first terminal of the second coil
206; Second terminal 207 of the second coil: Third terminal of the second coil
208: SPDT switching relay 301: first variable capacitor
302: coil 303: second variable capacitor

Claims (12)

보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스(impedance)를 자동 정합(auto match)하는 장치에 있어서,
상기 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상의 각각의 임피던스를 변환하는 스위칭 임피던스 변환기;
상기 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 상기 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 상기 스위칭 임피던스 변환기의 임피던스를 조절하는 SPDT 스위칭 릴레이(Single Pole Double Throw Switching Relay); 및
상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되어, 상기 스위칭 임피던스 변환기에서 변환된 임피던스를 정합시키는 가변 임피던스 정합기;를 포함하며,
상기 스위칭 임피던스 변환기는,
제1 코일 및 제2 코일로 이루어져 있는 이상 변환기(ideal transformer)로, 상기 제1 코일의 양 단자는 각각 입력단 및 접지와 연결되어 있고, 상기 제2 코일의 세 단자는 접지와 연결되어 있는 하나의 단자와 상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결될 수 있는 두 개의 단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치.
A device for automatically matching varying impedances in a Bosch process or a process requiring multistep,
A switching impedance converter for converting respective impedances of a first process or a second process among the processes requiring the Bosch process or the multistep;
A single pole double throw switching relay (SDT) for controlling the impedance of the switching impedance converter by switching to one of two terminals of the switching impedance converter according to the first process or the second process state; And
And a variable impedance matcher connected to the SPDT switching relay to match the impedance converted by the switching impedance converter.
The switching impedance converter,
An ideal transformer composed of a first coil and a second coil, wherein both terminals of the first coil are connected to an input terminal and a ground, respectively, and three terminals of the second coil are connected to ground. 2. An apparatus for automatically matching varying impedance in a Bosch process or a process requiring multistep, comprising a terminal and two terminals connectable to said SPDT switching relay.
제1항에 있어서,
상기 제1 공정은,
C4F8 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치.
The method of claim 1,
The first step is,
A device for automatically matching varying impedances in a Bosch process or a process requiring multistep, comprising a C 4 F 8 process.
제1항에 있어서,
상기 제2 공정은,
SF6 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치.
The method of claim 1,
The second step,
An apparatus for automatically matching varying impedances in a Bosch process or a process requiring multistep, comprising an SF 6 process.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2 코일의 두 개의 단자는,
상기 제1 공정상의 임피던스를 변환하기 위하여 상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되는 제1 단자; 및
상기 제2 공정상의 임피던스를 변환하기 위하여 상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되는 제2 단자;인 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치.
The method of claim 1,
Two terminals of the second coil,
A first terminal connected to the SPDT switching relay to convert the impedance on the first process; And
And a second terminal connected to the SPDT switching relay for converting the impedance in the second process. An apparatus for automatically matching a changed impedance in a process requiring a Bosch process or a multistep.
제1항에 있어서,
상기 가변 임피던스 정합기는,
상기 제1 공정 또는 상기 제2 공정의 변환된 임피던스의 저항(resistance) 성분을 조정하기 위한 제1 가변 커패시터; 및
상기 제1 가변 커패시터와 병렬로 연결되어, 상기 변환된 임피던스의 리액턴스(reactance) 성분을 조정하기 위한 코일 및 제2 가변 커패시터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 장치.
The method of claim 1,
The variable impedance matcher,
A first variable capacitor for adjusting a resistance component of the converted impedance of the first process or the second process; And
A coil and a second variable capacitor connected in parallel with the first variable capacitor to adjust a reactance component of the converted impedance, and comprising a Bosch process or a multi-step process. A device that automatically matches impedances that vary.
보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스(impedance)를 자동 정합(auto match)하는 방법에 있어서,
상기 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스 중 제1 공정 또는 제2 공정상의 각각의 임피던스를 스위칭 임피던스 변환기를 이용해 변환하는 임피던스 변환과정;
상기 제1 공정 또는 제2 공정상태에 따라 상기 스위칭 임피던스 변환기의 두 단자 중 어느 하나의 단자로 스위칭하여 상기 임피던스 변환과정을 조절하는 과정;
상기 임피던스 변환과정에서 변환된 임피던스를 가변 임피던스 정합기를 이용해 정합하는 임피던스 정합과정;을 포함하며,
상기 스위칭 임피던스 변환기는,
입력단 및 접지와 연결되어 있는 제1 코일과, 접지와 연결되어 있는 하나의 단자 및 SPDT 스위칭 릴레이와 연결될 수 있는 두 개의 단자로 구성되어 있는 제2 코일로 이루어져 있는 이상 변환기이며,
상기 임피던스 변환과정은
상기 제1 공정 또는 상기 제2 공정 상태에 따라 상기 제2 코일의 두 개의 단자 중 임의의 단자로 스위칭하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 방법.
A method of auto matching a varying impedance in a Bosch process or a process requiring multistep,
An impedance conversion process of converting each impedance of a first process or a second process among the processes requiring the Bosch process or the multi-step using a switching impedance converter;
Controlling the impedance conversion process by switching to one of two terminals of the switching impedance converter according to the first process state or the second process state;
And an impedance matching process for matching the impedance converted in the impedance conversion process by using a variable impedance matcher.
The switching impedance converter,
An ideal converter consisting of a first coil connected to the input terminal and ground, and a second coil composed of one terminal connected to ground and two terminals connected to the SPDT switching relay.
The impedance conversion process
Switching the impedance of a Bosch process or a process requiring a multistep, comprising switching to any one of two terminals of the second coil according to the first process or the second process state. How to auto match.
제7항에 있어서,
상기 제1 공정은,
C4F8 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 방법.
8. The method of claim 7,
The first step is,
A method for automatically matching varying impedances in a Bosch process or a process requiring multistep, comprising a C 4 F 8 process.
제7항에 있어서,
상기 제2 공정은,
SF6 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 방법.
8. The method of claim 7,
The second step,
A method for automatically matching varying impedances in a Bosch process or a process requiring multistep, comprising an SF 6 process.
삭제delete 제7항에 있어서,
상기 제2 코일의 두 개의 단자는,
상기 제1 공정상의 임피던스를 변환하기 위하여 상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되는 제1 단자; 및
상기 제2 공정상의 임피던스를 변환하기 위하여 상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되는 제2 단자;인 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 방법.
8. The method of claim 7,
Two terminals of the second coil,
A first terminal connected to the SPDT switching relay to convert the impedance on the first process; And
And a second terminal connected to the SPDT switching relay for converting the impedance in the second process. 2.
제7항에 있어서,
상기 가변 임피던스 정합기는,
상기 SPDT 스위칭 릴레이와 연결되어 있는 제1 가변 커패시터와, 상기 제1 가변 커패시터와 병렬로 연결되어 있는 코일 및 제2 가변 커패시터로 이루어져 있고,
상기 임피던스 정합과정은,
상기 제1 공정 또는 상기 제2 공정의 변환된 임피던스의 저항(resistance) 성분을 조정하는 과정; 및
상기 변환된 임피던스의 리액턴스(reactance) 성분을 조정하는 과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 보쉬 프로세스 또는 멀티스텝을 필요로 하는 프로세스상의 변화되는 임피던스를 자동 정합하는 방법.8. The method of claim 7,
The variable impedance matcher,
A first variable capacitor connected to the SPDT switching relay, a coil and a second variable capacitor connected in parallel with the first variable capacitor,
The impedance matching process,
Adjusting a resistance component of the converted impedance of the first process or the second process; And
Adjusting a reactance component of the converted impedance; a method for automatically matching varying impedance in a Bosch process or a process requiring multistep;
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