KR101375547B1

KR101375547B1 - 표준 전극이 포함된 전계 효과 트랜지스터 어레이를 이용한생체 분자의 검출 장치 및 방법

Info

Publication number: KR101375547B1
Application number: KR1020070059907A
Authority: KR
Inventors: 정원석; 유규태; 심저영; 한정임
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2007-06-19
Filing date: 2007-06-19
Publication date: 2014-03-25
Also published as: KR20080111672A; US20080315861A1

Abstract

전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용하여 액상 시료 속의 생체 분자를 검출하는 장치와 그 방법을 개시한다. 구체적으로 이 전계 효과 트랜지스터의 어레이는 사용되는 트랜지스터에 게이트 전극 층이 부재하며, 어레이 속 트랜지스터들 사이의 공간에 게이트 전극 층을 대신하는 표준 전극이 포함되는 것이 특징이다. 표준 전극이 포함된 이 같은 전계 효과 트랜지스터 어레이는 생체 분자를 이동시키기 위하여 외부 전압을 인가한 공간 속에서 효과적으로 생체 분자를 전기적으로 검출할 수 있다. 또한 표준 전극이 포함된 이 같은 전계 효과 트랜지스터 어레이를 이용하여 생체 분자를 검출하면 개별 트랜지스터마다의 측정 편차를 줄일 수 있을 뿐 아니라 복수의 분석 대상 시료를 동시에 측정하는 멀티플렉스 처리도 가능해진다.

전계 효과 트랜지스터, FET, 어레이, 표준 전극

Description

표준 전극이 포함된 전계 효과 트랜지스터 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치 및 방법{BIOMOLECULE DETECTOR BASED ON FIELD EFFECT TRANSISTOR ARRAYS CONTAINING REFERENCE ELECTRODES AND DETECTION METHOD FOR BIOMOLECULES USING THE SAME}

도 1은 전계 효과 트랜지스터(field effect transistor, FET)를 이용한 생체 분자 검출의 기본적인 원리를 설명하고 있다.
도 2는 액상 시료가 채워진 통로의 양 끝에서 액상 시료에 외부 전압을 인가하고 FET를 놓을 경우, FET의 정상적인 작동 여부가 통로 안의 위치에 따라 결정된다는 것을 설명하는 모식도이다.
도 3a는 액상 시료가 채워진 통로 속에 선형 FET 어레이(array)를 놓고 통로의 양 끝에서 액상 시료에 외부 전압을 인가하면서 점 형태의 전극에서 FET 어레이 구동을 위한 표준 전압을 인가하는 가상 실험 조건을 보여 준다.
도 3b는 도 3a의 가상 실험 조건하에서 상기 통로 내 전압 분포에 대한 시뮬레이션을 수행한 결과이다.
도 4a는 액상 시료가 채워진 통로 속에 선형 FET 어레이를 놓고 통로의 양 끝에서 액상 시료에 외부 전압을 인가하면서 어레이 속 FET들 사이에 위치한 표준 전극에서 표준 전압을 인가하는 가상 실험 조건을 보여 주는 모식도이다.
도 4b는 도 4a의 가상 실험 조건하에서 상기 통로 내 전압 분포에 대한 시뮬레이션을 수행한 결과이다.
도 5a와 5b는 도 4a의 가상 실험 조건하에서 외부 전압만을 다르게 인가했을 때 상기 통로에 나타나는 전압 분포에 대한 시뮬레이션 결과이다.
도 6a는 선형 FET 어레이를 상기 통로 내의 고전압 영역에 위치시킨 다음 표준 전압을 인가하는 가상 실험 조건을 보여 주는 모식도이다.
도 6b는 도 6a의 가상 실험 조건 하에서 외부 전압을 달리했을 때 통로 내에 발생하는 전압 분포에 대한 각각의 시뮬레이션 결과이다.
도 7은 본 발명의 한 구체적 실시 태양에서 FET 어레이의 FET들 주위에 표준 전극을 배치하는 방법의 비제한적인 예이다.
도 8은 본 발명의 한 구체적 실시 태양에서 외부 전압을 인가한 상태에서 디옥시리보핵산(deoxyribonucleic acid, DNA)을 주입시켜 주입 전후의 전압 차이를 측정한 결과이다.

생체 분자를 검출하는 바이오센서 중 전기적 신호를 이용하는 바이오센서 장치로는 전계 효과 트랜지스터(field effect transistor, FET)를 포함하는 전계 효과 (field effect) 기반 바이오센서가 있다. 다른 방법과 비교하였을 때 FET를 이용한 생체 분자 검출 장치는 널리 보급된 반도체 공정을 이용할 수 있다는 점, 신호 대응 시간이 빠르고 신호 처리가 국소적으로 일어나 잡음 신호 등의 영향을 덜 받으며 집적 회로 기술과 마이크로전자기계 시스템(micro-electro-mechanical system, MEMS) 기술과 접목이 용이하다는 유리한 특성이 있어 각광을 받아 왔다. 특히 여러 개의 FET를 결합하여 어레이(array) 형태로 만들 경우 제작 공정에서 발생할 수 밖에 없는 개별 FET 마다의 편차를 줄일 수 있을 뿐 아니라 FET 어레이의 검출 장치 구성에 따라서는 여러 분석 대상 시료(analyte)를 동시에 측정하는 멀티플렉스(multiplex) 처리가 가능해진다.
최근 들어 극소형 장비로 생체 분자를 검출하기 위해 랩온어칩(lab-on-a-chip) 등의 장치를 개발하려는 연구가 많이 진행되고 있다. FET 바이오센서는 상기와 같은 특징 때문에 이러한 랩온어칩 등에 이용될 수 있는 바이오센서로서 적절하다. 이러한 극소형 검출 장치는 검출하려는 생체 분자를 포함하고 있는 극소량의 액상 시료를 검출 장치에 공급하고 제어하는 미세유체공학적(microfluidic) 운송 수단과 신속한 신호 대응 시간을 가지는 검출 장치 부분이 그 핵심이다. 생체 분자를 포함한 소량의 액상 시료를 기계적 방식으로 원활하게 제어하는 데는 어려움이 많으므로 외부 전기장을 이용한 전기적 제어 방식이 주목 받고 있다. 그러나 외부 전기장을 이용한 제어 방식에서는 검출 장치가 외부 전기장 때문에 영향을 받지 않도록 하는 것이 중요한 해결 과제가 된다.

본 발명은 외부 전기장이 인가된 공간 속에서 FET 기반 바이오센서가 정상적으로 생체 분자 시료를 검출할 수 있는 최적 위치를 찾는 수단을 제공하는 것이 목적이다. 또한 이렇게 최적 위치에 자리 잡은 FET를 이용하는 생체 분자 검출 장치로서 생체 분자 시료의 전처리가 필요 없는 무표지(label- free) 검출 장치를 제공한다.

삭제

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 FET를 이용하여 생체 분자를 검출하는 장치에 있어서, 상기 생체 분자의 이동 통로, 상기 이동 통로 속의 액상 시료에 외부 전압을 인가하여 상기 액상 시료에 포함된 생체 분자를 상기 통로를 따라 이동시키는 수단, 상기 이동 통로 속의 액상 시료와 접촉하는 FET 어레이 및 상기 FET 어레이에 표준 전압을 인가할 수 있는 적어도 하나 이상의 표준 전극을 포함하고, 상기 FET는 게이트 전극 부분이 부재하는, FET의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치를 제공한다.
본 발명의 한 구체적 실시 태양에서 상기 FET 어레이의 상기 이동 통로 내 위치는, 상기 외부 전압에 의한 해당 위치의 전위값 및 상기 표준 전압 중에서 더 큰 값을 상기 FET 어레이의 게이트 영역에 인가될 수 있는 신호 발생용 최대 설계 전압과 비교했을 때, 상기 최대 설계 전압보다 낮거나 같은 위치일 수 있다.
이때 상기 FET 어레이의 이동 통로 내 위치는 상기 이동 통로의 양 말단 중에서 전위가 낮은 쪽으로부터 떨어져 있는 곳에 위치함으로써 전기 분해에서 발생하는 기포나 pH의 급격한 변화를 피할 수 있다.
본 발명의 한 측면에서 실시 태양에서 상기 표준 전극은 상기 어레이를 이루는 FET들의 사이에 배치될 수 있고, 이렇게 하여 표준 전극과 FET가 일정한 패턴을 이루는 "표준 전극이 포함된 FET 어레이"를 이룰 수 있다. 본 발명의 다른 측면에서는 (a) 통로 상의 한 지점에 게이트 전극이 부재하는 FET 어레이를 위치하는 단계; (b) 상기 통로에 채워져 있는 생체 분자를 포함하고 있는 액상 시료에 외부 전압을 인가하여 농도를 알고 있는 생체 분자를 상기 통로를 따라 이동시키는 단계; (c) 상기 (a) 단계의 FET 어레이에 전압을 인가하여 발생하는 전기적 신호를 측정함으로써 전기적 신호 측정에 적합한 FET 어레이의 상기 통로 내 위치를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, FET 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 방법을 제공한다.
미리 농도를 알고 있는 생체 분자를 포함한 액상 시료에 상기 (a) 내지 (c) 단계의 검출 방법을 적용하면 FET 어레이의 최적 위치를 결정할 수 있다. 본 발명의 또 다른 측면에서는 이렇게 하여 FET 어레이의 통로 내 최적 위치를 결정한 후, 미지의 생체 분자를 흘려 보내 전기적으로 신호를 검출한다. 구체적으로 상기 (a) 내지 (c) 단계를 수행한 다음, 상기 (c) 단계에서 전기적 신호 측정에 적합한 것으로 결정한 위치에 상기 (a) 단계의 FET 어레이를 위치시키고, 외부 전압을 인가하여 생체 분자를 상기 (a) 단계의 통로로 통과시킨 뒤 상기 FET 어레이에 전압을 인가하여 발생하는 전기적 신호를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생체 분자의 검출 방법도 제공한다.
본 발명의 한 구체적 실시 태양에서 상기 (c) 단계의 전기적 신호 검출은 상기 표준 전압의 인가에 의하여 상기 (a) 단계의 FET 어레이의 소스와 드레인 영역 사이에 발생하는 전압 또는 전류의 변화를 측정하는 것을 특징으로 한다.
한편 상기 FET 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치 및 방법에서 생체 분자는 액상에서 하전될 수 있는 생체 분자이면 가능하다. 하전될 수 있는 생체 분자의 비제한적 예로는 디옥시리보핵산(deoxyribonucleic acid, DNA)과 리보핵산(ribonucleic acid, RNA) 같은 핵산류, 단백질류, 단백질과 핵산의 결합체(complex)인 펩티드-핵산(peptide-nucleic acid)등을 들 수 있다.
이하 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다.
본 발명에서 전기적 신호 검출용으로 사용되는 모든 FET는 게이트, 소스, 드레인 영역을 갖추고 있지만, 게이트 영역에서 게이트 전극 층이 제거된 구성을 하고 있다. 소스와 드레인 영역 사이에 전기적 신호를 발생시키는 게이트 전압을 인가하는 역할은 소정의 표준 전극이 맡게 되는데, 이 표준 전극으로 게이트 전압에 해당하는 표준 전압을 인가하게 된다. 이러한 FET에 의한 생체 분자의 검출 원리를 나타낸 모식도가 도 1이다. 도 1의 FET에서는 상기 표준 전극은 FET 중앙부 상단의 검은 네모로 표시되어 있으며 이 표준 전극이 표준 전압(V_g)을 인가한다.
DNA나 단백질 같은 생체 분자는 용액 상태에서 전하를 띠게 된다. 따라서 이들 생체 분자를 포함하는 액상 시료가 이 FET에 접촉하게 되면 FET 의 채널을 따라 전달되는 소스 영역과 드레인 영역 사이의 전기적 신호(전압, 전류 등)도 영향을 받아 액상 시료의 접촉이 없을 때와는 전기적 신호가 달라지게 된다. 요컨대 액상 시료 속에 하전된 생체 분자가 존재하면 FET를 통하여 검출되는 전기적 신호에 변화가 생기고, 변화된 신호를 검출하는 것이 FET를 이용한 생체 분자의 전기적 검출 원리이다.
본 발명과 같은 FET를 이용한 생체 분자의 검출 장치에서 인가되는 표준 전압의 크기는 i) FET 장치가 정상적으로 작동할 수 있는 최대 설계 게이트 전압 이하이면서, ii) FET 장치의 문턱 전압 (threshold voltage)보다 더 커야 전기적 신호의 검출이 가능하다. 한편 검출 장치에 외부 전기장이 가해지는 경우라면 상기 iii) 외부 전기장에 의한 전압의 크기 또한 고려하여야 한다. 특히 iii) 요소는 생체 분자의 제어와 관련되기 때문에 매우 중요하다.
생체 분자를 이동시킬 경우, 공압식(pneumatic) 또는 기타 기계적 방식만으로는 원활한 제어가 어렵기 때문에 외부에서 전기장을 인가하여 생체 분자를 제어하게 된다. 예를 들어 전기 영동(electrophoresis)이나 전기 침투 유동(electroosmotic flow)의 형태로 이동시키거나, 전기습윤(electrowetting)과 같은 현상을 이용하여 제어하게 된다. 전기 영동이나 전기 침투유동을 이용한 미소유체공학적 제어 장치로는 동전기 펌프(electrokinetic pump)가 대표적이고, 전기습윤에 기반한 장치로는 EWOD(electrowetting-on-dielectric)를 들 수 있다. 아울러 이러한 전기 유동, 전기 침투 유동 또는 전기습윤 등의 전기 제어 방식과 기계적 제어 방식을 결합한 방식도 효과적인 제어 수단이 될 수 있다.
이렇듯 생체 분자의 제어를 위하여 외부 전기장을 인가하게 되므로, FET가 이동 통로에서 어느 지점에 위치하느냐에 따라 FET의 거동이 큰 영향을 받을 것이라는 점은 분명하다. 그런데 앞서 밝혔듯이 FET를 어레이 형태로 이용할 경우, 여러 가지 장점이 있지만 어레이 형태는 필연적으로 단일 FET에 비하여 그 크기가 더 클 수밖에 없으므로 외부 전기장이 인가되는 영역 속에서 FET 어레이가 정상 작동할 수 있는 지점을 찾는 것은 더욱 어려워진다. 이렇게 FET 어레이를 외부 전압이 인가된 통로에 위치시키는 과정에서 일어날 수 있는 문제들을 모식도로 나타낸 것이 도 2이다.
도 2는 생체 분자가 이동하는 통로의 위치에 따라 인가된 전압과, 해당 위치에 FET 어레이를 놓을 경우 정상 작동 여부를 개략적으로 보여준다. 점선으로 표시된 원 안의 굵은 실선은 어레이를 이루는 개개의 FET를 나타낸다. 도 2에 나타내었듯이 FET 어레이를 높은 전압이 걸리는 영역에 위치시키면 정상적인 FET 작동이 불가능한 것은 물론 경우에 따라 FET가 파괴될 수도 있다. 그렇다고 하여 단순히 생체 분자 시료의 이동 통로에서 전위가 낮은 쪽 끝(도 2에서 "접지"로 표시한 쪽)에 FET 어레이를 위치시키는 것만으로 이 문제를 해결할 수 없다. 이는 외부 전압에 의하여 전기 분해가 일어나기 때문에 전위가 낮은 쪽 끝에서의 국소적인 pH 변화나 기포 발생이 FET에 영향을 미칠 수 있는 까닭이다. 또한 외부 전압이 너무 낮으면 FET에 인가되는 전압이 FET 작동에 필요한 문턱 전압을 넘기지 못해 FET가 작동하지 않을 수도 있기 때문에 적절한 위치에 FET를 배치해야 한다.
본 발명자들은 높은 외부 전압이 인가된 영역에서 FET들의 어레이가 안정적으로 작동할 수 있는 구간을 찾아내는 것이 가능한지 알아보기 위하여 먼저 컴퓨터 시뮬레이션을 수행하였다. 도 3a는 선형 FET 어레이가 배치된 검출 장치에서 가상 실험 조건을 나타낸다. 이 가상 실험 조건에서 상기 검출 장치 내에서 생체 분자가 이동할 통로에 탈이온수(deionized water, DI water)를 채우고, 상기 통로의 양단에 120 V의 외부 전압(V _ext )를 인가하고, 표준 전극은 FET 어레이 중의 어느 한 FET 위에 배치하였다. 도 3a의 가상 실험 조건에 따라 상기 표준 전극으로 3.4 V(최적 값이 아닌 한 예임)의 표준 전압(V _ref )을 인가하였을 때 예상되는 통로 내 전위 분포의 시뮬레이션 결과를 도 3b에 나타내었다. 여기서 가로축의 거리는 시뮬레이션을 위한 임의 단위이다(이하 도 4b, 5a, 5b, 6b의 거리 단위도 마찬가지로 시뮬레이션을 위한 임의 단위이다).
FET가 상기 외부 전압이 인가되는 이동 통로 속에서 정상적으로 작동할 수 있는 장소는 제한적인데 다음과 같은 엄격한 조건을 만족해야 한다. 통로 내 특정 위치에서 외부 전압에 의하여 발생하는 전위 값과 표준 전극이 인가하는 표준 전압(도 3a에서는 3.4 V) 중 더 큰 값을 V _max 라고 정의하자. 한편 상기 FET에 전기적 신호 발생으로 위하여 인가할 수 있는 전압의 최대 허용치를 V₀ 라고 하면, V _max 가 V₀ 와 같거나 더 낮은 지점이 FET를 위치시킬 수 있는 지점이 된다. 또한 이 위치는 상기 이동 통로의 양 말단 중에서 전압이 낮은 쪽 끝으로부터도 떨어져 있어야 한다.
도 3b에서 이러한 엄격한 조건을 만족하는 영역은 표준 전압 V _ref = 3.4 V로 나타낸 굵은 수평선과 전압 곡선이 만나는 영역, 즉 도 3b의 그래프 내에서 짙은 색으로 표시된 b 영역 중 점선의 원으로 표시한 부분에 국한됨을 알 수 있다. 따라 서 도 3a와 같은 형태의 어레이로는 FET가 정상적으로 작동할 수 있는 영역 자체가 극히 좁아 FET의 어레이를 이동 통로에 배치하여도 정상적인 측정이 어려울 것으로 예상된다.
그러나 상기 표준 전극을 FET 어레이를 이루는 FET 들 사이의 공간에 배치할 경우 FET가 정상 작동할 수 있는 영역은 크게 넓어진다(이하 이러한 FET의 어레이 내부 공간에 표준 전극을 삽입한 구조를 "표준 전극이 포함된 FET 어레이"라고 가리킨다). 도 4a의 표준 전극이 포함된 FET 어레이에서는 FET들이 선형의 어레이를 이루고 이 어레이 속 FET들 사이 공간에 표준 전극이 배치되어 있다. 이렇게 표준 전극이 포함된 FET 어레이를 사용하면 도 3b와 동일하게 120 V의 외부 전압을 인가했을 때 통로 내 전위 분포는 도 3b와 판이하게 달라진다. 도 4b는 도 4a의 표준 전극이 포함된 FET 어레이를 사용했을 때의 예상 전위 분포를 시뮬레이션한 결과이다. 도 3b와 달리 이 경우, 매우 넓은 구간에서 표준 전압에 해당하는 전위 값이 유지되는 것을 볼 수 있다. 따라서 이 표준 전압이 FET의 허용 설계치보다 같거나 낮으면 전기적 신호의 검출이 가능하다.
생체 분자의 이동 통로에 인가되는 외부 전압이 커져도 상기 이동 통로 내에서 표준 전극이 포함된 FET 어레이가 정상 가동할 수 있는 영역은 안정적으로 유지되는 것이 특징이다. 도 5a와 5b는 도 4a에 나타낸 형태의 표준 전극이 포함된 FET 어레이를 가지고 각각 외부 전압이 120 V일 때와 1200 V일 때를 시뮬레이션한 결과이다. 도 5a와 5b의 시뮬레이션 결과로부터 FET에 3.4 V의 표준 전압이 인가되는 구간의 길이는 외부 전압이 10 배로 변화하여도 큰 차이가 없음을 쉽게 알 수 있다.
위와 같은 시뮬레이션 결과는 표준 전극이 포함된 FET 어레이를 이용하면 높은 외부 전기장이 인가되는 경우에도 FET 어레이가 정상 작동할 수 있는 방법을 찾을 수 있음을 강하게 시사한다. 그러나 이렇게 표준 전극이 포함된 FET 어레이를 사용하는 경우라도 외부 전압에 의한 전위가 매우 높은 통로 내 지점에 FET 어레이를 놓을 경우 정상 작동이 불가능하다. 도 6a와 도 6b는 고전위 영역에 표준 전극이 포함된 FET 어레이가 놓인 상황을 보여주는 도면이다. 도 6a에서 나타낸 것과 같이 상기 FET 어레이를 고전위 영역에 놓았을 때, 도 6b의 시뮬레이션 결과는 FET에 인가되는 전압이 표준 전압 3.4V를 훨씬 넘는다는 점을 뚜렷하게 보여준다. 도 6b의 시뮬레이션에서는 도 5a 및 5b와 각각 동일한 외부 전압을 사용하지만 FET에 인가되는 전압은 외부 전압이 120 V인 경우에 최대 14 V, 외부 전압이 1200 V인 경우에 최대 95 V로서 예측되었다. 이 값은 FET의 정상적인 작동이 불가능한 전압값이며 경우에 따라서는 FET의 고장을 일으킬 수도 있다.
도 3b 내지 도 6b에 나타낸 이러한 시뮬레이션 결과는 외부 전압을 인가하여 생체 분자를 이동시키면서 FET 어레이로 생체 분자를 검출하는 장치에 있어서, FET 어레이는 표준 전극이 포함된 FET 어레이 형태를 취하여야 하며, 이러한 표준 전극이 포함된 FET 어레이의 위치 또한 상기 생체 분자가 이동하는 통로 내 적절한 영역에 놓일 때에만 효과적인 전기적 검출이 가능하다는 점을 말해준다.
본 발명에서 상기 표준 전극이 포함된 FET 어레이는 반드시 선형의 형태에 국한되는 것은 아니며 원하는 FET 어레이의 전체 규모, 표준 전극과 FET의 소자 크기에 따라 다양한 조합이 가능하다. 또 이러한 표준 전극이 포함된 FET 어레이에서 표준 전극들이 이루는 어레이와 FET들이 이루는 어레이의 형태는 같지 않아도 무방하다. 표준 전극이 포함된 FET 어레이의 몇 가지 비제한적인 예를 도 7에 나타내었다.
본 발명의 다른 측면에서는 생체 분자 시료의 이동 통로 속에서 전기적 신호 측정을 위하여 표준 전극이 포함된 FET 어레이를 적절하게 위치시킬 수 있는 방법을 제공한다. 이 방법에서는 이미 알고 있는 생체 분자를 미리 정한 농도로 함유하는 액상 시료를 사용한다. 표준 전극이 포함된 FET 어레이는 상기 생체 분자가 이동할 통로 내에 위치되며 상기 통로에 외부 전압을 인가하여 생체 분자를 상기 통로를 통해 이동시킨다. 그 다음 표준 전극에 전압을 인가하여 상기 FET의 소스와 드레인 영역 사이의 전기적 신호를 측정하게 된다. 필요한 경우 이 전기적 신호의 측정이 정상적으로 이루어질 때까지 표준 전극이 포함된 FET 어레이의 위치를 옮겨 가며 측정을 반복하게 된다.
이렇게 미리 제조한 액상 시료를 사용하여 표준 전극이 포함된 FET 어레이의 최적 위치를 결정할 수 있다. 최적 위치가 결정되면 그 곳에서 전기적 신호를 측정함으로써 미지 생체 분자의 시료 내 존부와 농도를 결정할 수 있다.

삭제

이하 구체적인 실시예로서 본 발명의 이러한 원리를 구현한 실례를 제시한다.

실시예

이하 실시예와 실험예를 들어 본 발명을 더 상세하게 설명한다. 본 실시예는 어디까지나 발명의 이해를 돕기 위함이며, 본 발명의 권리 범위를 어떠한 형태로도 제한하기 위한 의도가 아니다.

실시예 1. 표준 전극이 포함된 FET 어레이를 이용한 DNA의 검출.
도면 4a에서 나타낸 것과 같이 게이트 전극층이 부재하는 9개의 FET로 구성된 선형의 FET 어레이를 사용하였다. 개별 FET 소자는 200 ㎛ × 150 ㎛의 크기이며, 이 FET들은 서로 200 ㎛ 간격으로 떨어져 있게 하였다. FET 사이의 공간에 백금 표준 전극을 위치하여 표준 전압을 인가하도록 하였다.
측정할 생체 분자를 포함한 액상 시료로는 19 mer 올리고뉴클레오티드(oligonucleotide)가 0.01 mM KCl과 HCl의 혼합 용액에 50 μM의 농도로 섞여있는 액상 시료를 이용하였다. 이 액상 시료가 위치할 5 cm 길이의 통로 양단에 동전기(electrokinetic) 펌프를 모사하기 위해 120 V의 외부 전압을 가하면서 시린지 펌프를 이용하여 액상 시료를 이동시켰다. 상기 표준 전극으로 FET에 3.4 V의 표준 전압을 가한 상태에서 상기 올리고뉴클레오티드를 포함한 시료와 포함하지 않은 시료를 주입하여 소스와 드레인 영역에 인가되는 전압 차이를 2회 반복하여 측정하였다. 도 8은 상기 측정된 전압 값을 나타낸다. 도 8에서 볼 수 있는 바와 같이 어레이를 이루는 전체 9개의 FET 모두에서 고른 전압 측정값을 볼 수 있었으며, 인가되는 소스-드레인 전압 신호의 값 역시 적절한 범위에 있음을 알 수 있다.
본 실시예를 통하여 높은 외부 전기장이 인가된 환경에서 이동하는 액상 시료 속의 생체 분자의 존재를 FET 어레이를 이용하여 검출할 수 있음을 알 수 있었다. 본 발명의 생체 분자 검출 장치 및 그 방법은 본 실시예에서 사용된 생체 분자와 다른 종류의 하전된 생체 분자 혹은 본 실시예에 사용된 농도 범위 밖의 생체 분자 시료에도 적용될 수 있다. 본 발명이 속하는 분야의 평균적 기술자는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 구체적 실험 조건을 변경하여 생체 분자를 검출할 수 있으며, 이러한 경우 역시 본 발명의 권리 범위에 속하는 것은 물론이다.

삭제

본 발명의 FET 어레이를 이용하면 생체 분자를 이동시키기 위하여 높은 외부 전압이 인가된 환경에서도 시료 속 생체 분자의 존재와 농도를 전기적으로 측정할 수 있다. FET 어레이를 사용함으로써 개별 FET 마다의 편차를 줄일 수 있을 뿐 아니라 복수의 분석 대상 시료를 동시에 측정하는 멀티플렉스 처리도 가능해진다. 본 발명의 전기적 측정 방법은 시료를 전처리할 필요가 없는 무표지 방식이며 랩온어칩 등의 미량 액상 시료 분석 시스템에도 적용할 수 있는 장점이 있다.

Claims

생체 분자를 포함한 액상 시료가 위치할 통로,

상기 통로 속의 액상 시료에 외부 전압을 인가하여 상기 통로를 따라 상기 생체 분자를 이동시키는 수단,

상기 통로 속의 액상 시료와 접촉하는 전계 효과 트랜지스터 어레이(array) 및

상기 전계 효과 트랜지스터 어레이에 표준 전압을 인가할 수 있는 적어도 하나 이상의 표준 전극을 포함하고,

상기 전계 효과 트랜지스터는 게이트 전극 부분이 부재하며,

상기 표준 전극은,

상기 전계 효과 트랜지스터 어레이를 이루는 전계 효과 트랜지스터들의 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치.
제1항에 있어서,

상기 어레이의 상기 통로 내 위치는,

상기 외부 전압에 의한 해당 위치의 전위값 및 상기 표준 전압 중에서 더 큰 값을 상기 전계 효과 트랜지스터 어레이의 게이트 영역에 인가될 수 있는 신호 발생용 최대 설계 전압과 비교했을 때,

상기 최대 설계 전압보다 낮거나 같은 위치인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치.
제1항에 있어서,

상기 전계 효과 트랜지스터의 어레이는,

선형 또는 격자형인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치.
삭제
제1항에 있어서,

상기 생체 분자는 액체 속에서 하전되는 분자인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치.
제1항에 있어서,

상기 생체 분자는 디옥시리보핵산(DNA), 리보핵산(RNA), 단백질 또는 펩티드-핵산 복합체인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치.
제1항에 있어서,

상기 이동시키는 수단은 전기 영동(electrophoresis) 또는 전기 침투 유동(electroosmotic flow) 현상에 기반한 장치인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치.
제7항에 있어서,

상기 이동시키는 수단은 동전기 펌프(electrokinetic pump)인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 장치.
(a) 통로 상의 한 지점에 게이트 전극이 부재하는 전계 효과 트랜지스터 어레이를 위치하는 단계;

(b) 상기 통로에 외부 전압을 인가하여 액상 시료 속의 농도를 알고 있는 생체 분자를 상기 통로를 따라 이동시키는 단계;

(c) 상기 (a) 단계의 전계 효과 트랜지스터 어레이의 표준 전극에 전압을 인가하여 발생하는 전기적 신호를 측정함으로써 전기적 신호 측정에 적합한 전계 효과 트랜지스터 어레이의 상기 통로 내 위치를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,

전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 방법.
제9항에 있어서,

상기 (a) 단계의 전계 효과 트랜지스터 어레이는 전계 효과 트랜지스터들 사이 공간에 배치된 표준 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 방법.
제9항에서 상기 (c) 단계의 전기적 신호 측정은

상기 전압의 인가에 의하여 상기 (a) 단계의 전계 효과 트랜지스터 어레이의 소스와 드레인 영역 사이에 발생하는 전압 또는 전류 신호의 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 방법.
제9항에서 상기 (b) 단계의 생체 분자는

액체 속에서 하전되는 분자인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 방법.
제12항에 있어서,

상기 생체 분자는 디옥시리보핵산(DNA), 리보핵산(RNA), 단백질 또는 펩티드-핵산 복합체인 것을 특징으로 하는, 전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 방법.
제9항에 있어서,

상기 (c) 단계 이후에

상기 (c) 단계에서 전기적 신호 측정에 적합한 것으로 결정한 위치에 상기 (a) 단계의 전계 효과 트랜지스터 어레이를 위치시킨 다음, 외부 전압을 인가하여 생체 분자를 상기 (a) 단계의 통로로 통과시키고 상기 전계 효과 트랜지스터 어레이의 표준 전극에 전압을 인가하여 발생하는 전기적 신호를 측정하는 단계 (d)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,

전계 효과 트랜지스터의 어레이를 이용한 생체 분자의 검출 방법.
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