KR101374135B1 - Electrode frame and charged particle beam generator with the same - Google Patents

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마사히로 타니이
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닛신 이온기기 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은 슬릿형상 개구부를 형성하는 전극봉을 교환할 때의 작업 효율이 개선된 전극 프레임과 이 전극 프레임으로 구성된 인출 전극을 가지는 하전 입자빔 발생장치를 제공한다.
전극 프레임(2)은 하전 입자빔 인출용 전극을 구성하는 전극 프레임(2)으로, 하전 입자빔을 통과시키는 개구부(3)를 구비하고 있다. 한 방향에서 전극 프레임(2)을 보았을 때, 개구부(3) 주변의 일부에 전극봉 지지부(7)가 형성되어 있으며, 이 전극봉 지지부(7)에 개구부(3)를 걸쳐서 배치되는 전극봉(5)의 양 끝이 지지된다. 또한 하전 입자빔 발생장치는 상술한 전극 프레임(2)으로 구성된 인출 전극을 가지고 있다.The present invention provides a charged particle beam generating apparatus having an electrode frame having improved working efficiency when replacing an electrode rod forming a slit-shaped opening and a lead electrode composed of the electrode frame.
The electrode frame 2 is an electrode frame 2 constituting the charged particle beam extraction electrode, and has an opening 3 through which the charged particle beam passes. When the electrode frame 2 is viewed from one direction, an electrode support part 7 is formed in a part of the periphery of the opening part 3, and the electrode support part 5 is disposed over the opening part 3 in the electrode support part 7. Both ends are supported. Further, the charged particle beam generator has a lead electrode composed of the electrode frame 2 described above.

Description

전극 프레임 및 이것을 구비한 하전 입자빔 발생장치{ELECTRODE FRAME AND CHARGED PARTICLE BEAM GENERATOR WITH THE SAME}ELECTROLDE FRAME AND CHARGED PARTICLE BEAM GENERATOR WITH THE SAME

본 발명은 이온빔 조사장치의 이온원이나 전자빔 조사장치의 전자원과 같은 하전 입자빔 발생장치에서 이용되는 하전 입자빔 인출용 전극을 구성하는 전극 프레임과 하전 입자빔 발생장치에 관한 것이다. The present invention relates to an electrode frame and a charged particle beam generator that constitute a charged particle beam extraction electrode used in a charged particle beam generator such as an ion source of an ion beam irradiation device or an electron source of an electron beam irradiation device.

종래부터, 이온빔 조사장치의 이온원에서 이온빔을 인출하기 위한 인출 전극계에 복수의 슬릿형상 개구부(직사각형상의 개구부)를 가지는 슬릿 전극이 이용되고 있다. 이러한 슬릿 전극의 슬릿형상 개구부는 플라즈마에 노출되거나, 인출된 이온빔이 충돌하거나 하여 고온으로 가열된다. DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the slit electrode which has a some slit-shaped opening part (rectangle opening part) is used for the extraction electrode system for taking out an ion beam from the ion source of an ion beam irradiation apparatus. The slit-shaped opening of the slit electrode is heated to a high temperature due to exposure to the plasma, or the extracted ion beam collides.

슬릿형상 개구부가 고온으로 가열되면, 그로 인해 열 변형이 생긴다. 열 변형에 의한 슬릿형상 개구부의 변형이 커지면, 예를 들면 원하는 전류량을 가지는 이온빔을 인출할 수 없게 된다. 그 결과, 부품 교환이 필요하게 된다. When the slit-shaped opening is heated to a high temperature, thermal deformation occurs thereby. When the deformation of the slit-shaped opening due to thermal deformation becomes large, for example, an ion beam having a desired amount of current cannot be taken out. As a result, parts replacement is necessary.

부품 교환이라고 해도, 슬릿 전극 전체를 교환하면 비용이 고액이 된다. 그렇기 때문에, 슬릿형상 개구부를 구성하는 부품 중, 특히 변형이 큰 부품만 교환하고자 하는 바람이 있다. Even in parts replacement, the entire slit electrode becomes expensive. Therefore, there is a desire to replace only parts having a large deformation, particularly among the components constituting the slit-shaped openings.

이러한 바람에 부응하기 위해, 지금까지 특허문헌 1에 기재된 슬릿 전극이 고안되어 왔다. In order to meet such a desire, the slit electrode described in patent document 1 has been devised until now.

특허문헌 1에는 슬릿 전극의 슬릿형상 개구부를 구성하는 전극봉을 교환하는 것이 가능한 슬릿 전극이 개시되어 있다. Patent Literature 1 discloses a slit electrode capable of exchanging an electrode rod constituting a slit-shaped opening of the slit electrode.

특허문헌 1의 도 2에는 이온원의 인출 전극계에서 사용되는 플라즈마 전극(가속 전극이라고도 함)의 구성이 개시되어 있다. 이 플라즈마 전극에서는 전극 프레임의 개구부에 복수개의 전극봉을 배치함으로써, 각 전극봉 사이에 슬릿형상 개구부가 형성되어 있다. 각 전극봉의 장착과 분리는 전극 프레임에 형성된 관통 구멍을 통해 전극 프레임의 외부에서 개별적으로 그 길이방향을 따라 빼고 넣고 함으로써 이루어진다. In FIG. 2 of patent document 1, the structure of the plasma electrode (also called an acceleration electrode) used for the extraction electrode system of an ion source is disclosed. In this plasma electrode, the slit-shaped opening part is formed between each electrode bar by arrange | positioning a some electrode bar in the opening part of an electrode frame. Mounting and detaching of each electrode rod are performed by separately pulling out and inserting them along the longitudinal direction from the outside of the electrode frame through the through hole formed in the electrode frame.

또한 특허문헌 1의 도 3에는 인출 전극계를 구성하는 억제 전극과 접지 전극의 예가 도시되어 있다. 도 2의 예와 마찬가지로, 전극 프레임의 개구부에 복수개의 전극봉을 배치함으로써 슬릿형상 개구부가 구성되어 있다. 이 도 3의 예에서 전극 프레임은 2개의 프레임으로 구성되어 있으며, 각 프레임에 마련된 구멍에 전극봉의 단부를 삽입한 상태로 2개의 프레임이 조합됨으로써 슬릿 전극의 조립이 이루어진다. In addition, in FIG. 3 of patent document 1, the example of the suppression electrode and the ground electrode which comprise an extraction electrode system are shown. Like the example of FIG. 2, the slit-shaped opening part is comprised by arrange | positioning a some electrode bar in the opening part of an electrode frame. In the example of FIG. 3, the electrode frame is composed of two frames, and the two frames are assembled by inserting the end portions of the electrode rods into the holes provided in the respective frames to assemble the slit electrodes.

일본국 공고특허공보 평7-34358호(도 2, 도 3, (2) 4 33행~(3) 5 40행)Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 7-34358 (Fig. 2, Fig. 3, (2) 4 33 lines to (3) 5 40 lines)

통상, 슬릿 전극을 구성하는 전극봉은 1개만 일그러지는 것이 아니라, 어느 영역에 배치되어 있는 복수개의 전극봉에 변형이 생겨 버린다. 그리하여 이들을 함께 교환할 필요가 있게 된다. Usually, not only one electrode rod which comprises a slit electrode is distorted, but deformation | transformation arises in the some electrode rod arrange | positioned in a certain area | region. Thus it is necessary to exchange them together.

그러나 특허문헌 1의 도 2에 기재된 전극의 구성에서는, 전극봉을 1개씩 전극 프레임에 형성된 관통 구멍을 통해, 전극봉의 길이방향을 따라 빼고 넣고 해서 교환하게 되므로 시간이 걸린다. However, in the structure of the electrode of FIG. 2 of patent document 1, since an electrode rod is pulled out and inserted along the longitudinal direction of an electrode rod through the through-hole formed in the electrode frame, it takes time.

또 특허문헌 1의 도 3에 기재된 전극의 구성에서는 도 2의 구성에 비해 복수개의 전극봉을 간단히 교환할 수 있지만, 교환 대상으로 삼는 전극봉의 개수에 관계없이 항상 전극 프레임을 분해해야 하므로 작업 효율이 나쁘다. 특히 이온원의 치수가 크면 전극 프레임도 커지므로, 분해 작업에 엄청난 시간이나 노력을 요하게 된다. In addition, in the structure of the electrode of FIG. 3 of patent document 1, although several electrode bars can be replaced easily compared with the structure of FIG. 2, since the electrode frame must always be disassembled irrespective of the number of electrode electrodes to be replaced, working efficiency is bad. . In particular, the larger the size of the ion source, the larger the electrode frame, and thus requires a great deal of time and effort for decomposition.

본 발명에서는 인출 전극용 슬릿형상 개구부를 형성하는 전극봉을 교환할 때의 작업 효율을 개선하는 것을 주된 목적으로 한다. In this invention, it is a main objective to improve the work efficiency at the time of replacing the electrode rod which forms the slit-shaped opening part for an extraction electrode.

본 발명의 전극 프레임은 하전 입자빔 인출용 전극을 구성하는 전극 프레임으로서, 상기 전극 프레임은 하전 입자빔을 통과시키는 개구부를 구비하고 있는 동시에, 한 방향에서 상기 전극 프레임을 보았을 때, 상기 개구부 주변의 적어도 일부에 상기 개구부를 걸쳐서 배치되는 전극봉의 양 끝을 지지하는 전극봉 지지부가 형성되어 있다. The electrode frame of the present invention is an electrode frame constituting the charged particle beam extraction electrode, the electrode frame has an opening for passing the charged particle beam, and when the electrode frame is viewed in one direction, At least a portion of the electrode support portion for supporting both ends of the electrode rod disposed over the opening is formed.

이러한 전극 프레임을 이용함으로써 전극봉을 그 길이방향과 대략 직교하는 방향에서 전극 프레임에 장착할 수 있으므로 교환 작업이 간편해진다. 또 전극봉 교환시에 전극 프레임을 분해할 필요가 없으므로, 전극봉 교환에 소요되는 시간을 대폭으로 단축할 수 있다. By using such an electrode frame, the electrode rod can be attached to the electrode frame in a direction substantially orthogonal to the longitudinal direction thereof, thereby simplifying the replacement operation. In addition, since the electrode frame does not need to be disassembled at the time of electrode replacement, the time required for electrode replacement can be significantly shortened.

보다 구체적으로는, 상기 전극봉 지지부는 상기 전극 프레임의 표면상에 형성되어 있으며, 당해 표면에서 오목하게 들어가 있다. More specifically, the electrode support portion is formed on the surface of the electrode frame and is recessed in the surface.

또 상기 전극봉 지지부는 상기 개구부에 연결되어 있는 것이 바람직하다. In addition, the electrode support portion is preferably connected to the opening.

또 상기 전극봉 지지부는 상기 개구부를 사이에 끼고 대향하는 위치에 형성되어 있는 것이 바람직하다. Moreover, it is preferable that the said electrode support part is formed in the position which opposes the said opening part between.

또한 상기 전극봉 지지부 위쪽에는 뚜껑체가 장착되는 것이 바람직하다. In addition, the lid body is preferably mounted above the electrode support.

한편, 하전 입자빔 발생장치로서는 상기의 전극 프레임으로 구성되는 하전 입자빔 인출용 전극을 구비하고 있는 것이 바람직하다. On the other hand, it is preferable that the charged particle beam generator is provided with an electrode for charged particle beam extraction composed of the above electrode frame.

전극봉을 그 길이방향과 대략 직교하는 방향에서 전극 프레임에 장착할 수 있으므로 교환 작업이 간편해진다. 또 전극봉 교환시에 전극 프레임을 분해할 필요가 없으므로, 전극봉 교환에 소요되는 시간을 대폭으로 단축할 수 있다. Since the electrode can be attached to the electrode frame in a direction substantially orthogonal to the longitudinal direction thereof, the replacement operation is simplified. In addition, since the electrode frame does not need to be disassembled at the time of electrode replacement, the time required for electrode replacement can be significantly shortened.

도 1은 본 발명의 슬릿 전극의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 슬릿 전극에서 뚜껑체 및 전극봉을 떼어냈을 때의 모습을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2의 주요부 확대도이며, 전극봉이 전극봉 지지부에 배치될 때의 모습을 나타낸다.
도 4는 도 2의 주요부 확대도이며, 전극봉 지지부상에 뚜껑체를 배치했을 때의 모습을 나타낸다.
도 5는 이온원의 모식도를 나타낸다. 1 is a plan view showing an example of a slit electrode of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a state when the lid body and the electrode bar are removed from the slit electrode of FIG. 1. FIG.
3 is an enlarged view of a main part of FIG. 2 and shows a state when the electrode is disposed in the electrode support unit.
FIG. 4 is an enlarged view of the main part of FIG. 2 and shows a state when the lid is disposed on the electrode support. FIG.
5 shows a schematic diagram of an ion source.

이하의 실시형태에서 각 도면에 도시되어 있는 X, Y, Z의 각 축은 서로 직교하고 있다. In the following embodiments, the axes of X, Y, and Z shown in the drawings are orthogonal to each other.

도 1에는 본 발명의 슬릿 전극(1)의 일례가 도시되어 있다. 이 슬릿 전극(1)은 주로 개구부(3)를 가지는 전극 프레임(2)과 개구부(3) 내에 배치된 복수개의 전극봉(5)(도면 중, 해칭되어 있는 부재)으로 구성되어 있다. 1 shows an example of the slit electrode 1 of the present invention. This slit electrode 1 is mainly comprised by the electrode frame 2 which has the opening part 3, and the some electrode rod 5 (member hatched in the figure) arrange | positioned in the opening part 3. As shown in FIG.

각 전극봉(5)은 길이방향이 X방향을 따르도록 전극 프레임(2)에 지지되어 있는 동시에, 대략 Y방향을 따라 대략 동일한 간격을 두고 나란히 형성되어 있다. Each electrode 5 is supported by the electrode frame 2 so that the longitudinal direction may follow the X direction, and is formed side by side at substantially the same interval along the substantially Y direction.

각 전극봉(5) 사이에는 슬릿형상 개구부(4)가 형성되어 있다. 한편 이 도 1에서는 도면을 간략화하기 위해, 전극봉(5)과 슬릿형상 개구부(4)의 부호를 일부에만 부기하였다. The slit-shaped opening 4 is formed between each electrode 5. In addition, in FIG. 1, in order to simplify drawing, the code | symbol of the electrode rod 5 and the slit-shaped opening part 4 is attached only to a part.

도 1에 도시된 슬릿 전극(1)에서 전극봉(5)과 뚜껑체(6)를 떼어냈을 때의 모습이 도 2에 도시되어 있다. 복수개의 전극봉(5)은 전극 프레임(2)의 개구부(3)를 사이에 끼고 X방향을 따라 대향 배치된 도 2에 기재된 전극봉 지지부(7)에, 그 길이방향에 있어서의 양 단부가 지지되어 있다. 이 전극봉 지지부(7)는 일례로서, 개구부(3)의 주변에 위치하는 전극 프레임(2)의 단부를 직사각형상으로 잘라냄으로써 형성되어 있다. The state when the electrode rod 5 and the lid | cover 6 were removed from the slit electrode 1 shown in FIG. 1 is shown in FIG. The plurality of electrode rods 5 are supported at both ends in the longitudinal direction by the electrode support portion 7 shown in FIG. 2 arranged to face each other along the X direction with the opening portion 3 of the electrode frame 2 interposed therebetween. have. As an example, this electrode support part 7 is formed by cutting out the edge part of the electrode frame 2 located in the periphery of the opening part 3 to rectangular shape.

도 2에 기재된 전극봉 지지부(7)의 상면에는 도 1에 기재된 뚜껑체(6)가 Z방향측에서 장착된다. 뚜껑체(6)에는 도시되지 않은 관통 구멍이 형성되어 있으며, Z방향측에서 고정 나사(8)를 뚜껑체(6)의 관통 구멍에 삽입하여, 전극 프레임(2)의 나사 구멍(9)에 맞춤으로써 뚜껑체(6)의 장착이 이루어진다. On the upper surface of the electrode rod support part 7 shown in FIG. 2, the lid body 6 shown in FIG. 1 is attached in the Z direction side. The lid 6 is formed with a through hole (not shown), and the fixing screw 8 is inserted into the through hole of the lid 6 from the Z-direction side, and into the screw hole 9 of the electrode frame 2. The cap 6 is attached by fitting.

도 1에 기재된 뚜껑체(6)는 전극봉(5)이 나란히 형성된 방향(대략 도면 중의 Y방향)을 따라 복수개로 분할되어 있지만, 이들을 분할하지 않고 1개의 뚜껑체(6)로 해도 된다. 하나의 뚜껑체(6)일 경우, 뚜껑체(6) 장착 작업이 간편해진다. 또한 뚜껑체(6)에는 열팽창이 생기므로, 열팽창률이 작은 몰리브덴이나 텅스텐과 같은 고융점 재료를 뚜껑체(6)에 사용하는 것이 바람직하다.Although the lid 6 described in FIG. 1 is divided into a plurality of pieces along the direction in which the electrode rods 5 are formed side by side (approximately Y direction in the drawing), the lid 6 may be one lid 6 without dividing them. In the case of one lid 6, the mounting work of the lid 6 is simplified. In addition, since thermal expansion occurs in the lid 6, it is preferable to use a high melting point material such as molybdenum or tungsten with a small coefficient of thermal expansion for the lid 6.

뚜껑체(6)에 열팽창이 발생했을 경우, 1개의 큰 뚜껑체(6)이면 열팽창에 의한 뚜껑체(6)의 신장도 커진다. 한편, 뚜껑체(6)를 분할해 두면, 1개의 큰 뚜껑체(6)에 비해 뚜껑체(6)의 열팽창에 의한 신장을, 허용할 수 있을 정도로 작게 할 수 있다. 또한 뚜껑체(6)를 분할하여 마련해 두면, 열 변형이 큰 뚜껑체(6)만 교환할 수 있으므로 부재 교환 비용을 저렴하게 억제하는 것을 기대할 수 있다. When thermal expansion generate | occur | produces in the lid body 6, when one big lid body 6 is extended, the elongation of the lid body 6 by thermal expansion will also become large. On the other hand, when the lid body 6 is divided, the expansion by the thermal expansion of the lid body 6 can be made small enough to be allowable compared with one large lid body 6. In addition, when the lid 6 is divided and provided, only the lid 6 having a large thermal deformation can be replaced, so that the cost of replacing the member can be reduced at a low cost.

도 3은 도 2의 주요부 확대도이며, 전극봉(5)이 전극봉 지지부(7)에 배치될 때의 모습이 도시되어 있다. X방향에 있어서, 전극봉(5)의 치수와 개구부(3)를 사이에 끼고 형성된 전극봉 지지부(7)간의 치수와의 관계는 R1X＜LX＜R2X의 관계를 만족하도록 설정되어 있다. 또한 Y방향에 있어서, 전극봉(5)의 직경과 전극봉 지지부(7)의 치수는 LY≤RY의 관계를 만족하도록 설정되어 있다. 또 Z방향에서는 전극봉(5)이 전극봉 지지부(7) 내에 들어가도록 서로의 치수관계가 설정되어 있다. 단, Z방향의 치수관계는 이러한 관계에 한정되지 않는다. 예를 들면 전극봉 지지부(7)의 위쪽을 덮는 뚜껑체(6)의 일부에 카운터 보링(counter boring)을 마련해 두고, 여기에 전극봉(5)의 일부가 수납되게 구성해 둘 경우, 전극봉(5)은 전극봉 지지부(7) 내에 들어가지 않아도 된다. FIG. 3 is an enlarged view of the main part of FIG. 2 and shows the state when the electrode 5 is disposed on the electrode support 7. In the X direction, the relationship between the dimension of the electrode rod 5 and the dimension between the electrode support portions 7 formed with the opening 3 interposed therebetween is set so as to satisfy the relationship of R1 X <L X <R2 X. In addition, in the Y direction, the size of the diameter of the electrode supporting member 7 of the electrode rod 5 is set so as to satisfy the relationship of L Y Y ≤R. Moreover, in the Z direction, the dimensional relationship is mutually set so that the electrode 5 may enter in the electrode support part 7. However, the dimensional relationship in the Z direction is not limited to this relationship. For example, when a counter boring is provided in a part of the lid 6 covering the upper part of the electrode support part 7, and a part of the electrode bar 5 is accommodated here, the electrode bar 5 It is not necessary to enter into the electrode support part 7.

도 4는 도 2의 주요부 확대도이며, 전극봉 지지부(7)상에 뚜껑체(6)를 배치했을 때의 모습이 도시되어 있다. 이 도면으로부터 알 수 있듯이 뚜껑체(6)를 전극봉 지지부(7)의 상면에 배치했을 경우, 전극봉(5)의 길이방향인 X방향에 있어서, 전극봉 지지부(7)에 개방 단부(10)가 형성된다. 이러한 구성에 의해, 전극봉(5) 단부가 전극봉 지지부(7)에서 빠지는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 단, 뚜껑체(6)는 필수가 아니다. 예를 들어 하전 입자빔 발생장치의 인출 전극에 전극 프레임(2)을 이용할 때, 대략 중력방향이 도시된 Z방향의 방향이 되도록 인출 전극이 장착되어 있으면, 전극봉 지지부(7)에서 전극봉(5)이 빠지는 일은 생기지 않으므로, 뚜껑체(6)를 별도로 마련해 둘 필요는 없다. FIG. 4 is an enlarged view of the main part of FIG. 2 and shows a state when the lid 6 is disposed on the electrode support 7. As can be seen from this figure, when the lid 6 is disposed on the upper surface of the electrode support 7, an open end 10 is formed in the electrode support 7 in the X direction in the longitudinal direction of the electrode 5. do. By such a configuration, it is possible to reliably prevent the end of the electrode rod 5 from coming off the electrode rod support 7. However, the lid 6 is not essential. For example, when using the electrode frame 2 to the lead-out electrode of the charged particle beam generator, if the lead-out electrode is mounted so that the direction of gravity may become the direction of Z direction shown, the electrode rod 5 will be carried out in the electrode support part 7. Since this slipping does not occur, it is not necessary to provide the lid 6 separately.

도 5에는 본 발명의 전극 프레임(2)으로 구성되는 인출 전극을 구비한 이온원(11)의 모식도가 도시되어 있다. 예를 들면 이 이온원(11)은 종래 기술에 제시되어 있는 구성의 이온원으로, Z방향으로 이온빔을 인출하도록 플라즈마 생성용기(12)에 인접하여 인출 전극계로서 3장의 슬릿 전극(1)을 구비하고 있다. 한편 이온원(11)의 구성은 이것에 한정되지 않으며, 인출 전극계로서 2장의 슬릿 전극(1)으로 구성되어 있어도 되고, 4장의 슬릿 전극(1)으로 구성되어 있어도 된다. FIG. 5 shows a schematic diagram of an ion source 11 provided with an extraction electrode constituted of the electrode frame 2 of the present invention. For example, the ion source 11 is an ion source of a configuration proposed in the prior art, and the three slit electrodes 1 are taken out as the extraction electrode system adjacent to the plasma generating vessel 12 to extract the ion beam in the Z direction. Equipped. On the other hand, the structure of the ion source 11 is not limited to this, It may be comprised from two slit electrodes 1 as an extraction electrode system, and may be comprised from four slit electrodes 1.

본 발명이 적용되는 전극 프레임(2)에 형성되는 개구부(3)는 직사각형상일 필요는 없고, 그 이외의 형상이어도 된다. 예를 들면 원형상이나 타원형상, 다각형상이어도 되며, 개구부(3)에 전극봉(5)을 배치했을 때에 이온빔을 통과시키는 슬릿형상 개구부(4)가 형성되는 것이라면 어떠한 형상이어도 된다. 또한 개구부(3)가 형성되는 위치는 전극 프레임(2)의 대략 중앙부가 아니어도 된다. The opening part 3 formed in the electrode frame 2 to which this invention is applied does not need to be rectangular shape, and shape other than that may be sufficient as it. For example, the shape may be circular, elliptical, or polygonal, and may be any shape as long as the slit-shaped opening 4 through which the ion beams are formed when the electrode bar 5 is disposed in the opening 3 is formed. In addition, the position where the opening part 3 is formed may not be substantially the center part of the electrode frame 2.

전극봉(5)의 재질로는, 고온으로 가열되는 점에서 고융점 재료(예를 들면 몰리브덴, 텅스텐)가 사용되는 것을 생각할 수 있다. As a material of the electrode 5, it can be considered that a high melting point material (for example, molybdenum, tungsten) is used because it is heated to a high temperature.

상술한 실시형태에서는 이온빔 조사장치에 이용되는 이온원의 이온빔 인출용 전극에 본 발명의 전극 프레임이 적용되는 예에 대하여 기술했지만, 전자빔 조사장치에서 이용되는 전자원의 전자빔 인출용 전극에 본 발명의 전극 프레임을 적용시켜도 된다. 전자원에서도 이온원과 마찬가지로, 전자빔 인출시에 전극부가 가열되는 문제가 생기므로 전극봉 교환 작업이 필요하게 된다. 이 때, 본 발명의 전극 프레임을 이용하면, 이 교환 작업을 효율적으로 할 수 있다. Although the above-described embodiment has described an example in which the electrode frame of the present invention is applied to an ion beam extraction electrode of an ion source used in an ion beam irradiation apparatus, the electron beam extraction electrode of an electron source used in an electron beam irradiation apparatus has been described. You may apply an electrode frame. In the electron source, as in the ion source, a problem arises in that the electrode part is heated at the time of electron beam extraction, and thus, electrode replacement work is required. At this time, if the electrode frame of the present invention is used, this replacement operation can be performed efficiently.

상술한 것 외에, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 개량 및 변경을 해도 됨은 물론이다. In addition to the above, various improvements and modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

1 슬릿 전극
2 전극 프레임
3 개구부
4 슬릿형상 개구부
5 전극봉
6 뚜껑체
7 전극봉 지지부
8 고정 나사
9 나사 구멍
10 개방 단부
11 이온원
12 플라즈마 챔버 1 slit electrode
2-electrode frame
3 opening
4 slit-shaped opening
5 Electrodes
6 lid body
7 Electrode support
8 fixing screws
9 screw holes
10 open ends
11 ion source
12 plasma chamber

Claims (6)

하전 입자빔 인출용 전극을 구성하는 전극 프레임으로서,
상기 전극 프레임은 일체로 형성되어 있으며,
상기 전극 프레임은 하전 입자빔을 통과시키는 개구부를 구비하고 있는 동시에, 한 방향에서 상기 전극 프레임을 보았을 때, 상기 개구부 주변의 적어도 일부에 상기 개구부를 걸쳐서 배치되는 전극봉의 양 끝을 지지하는 전극봉 지지부가 형성되어 있고,
상기 전극봉 지지부 위쪽에는 복수개로 분할되어 있는 뚜껑체가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 전극 프레임. An electrode frame constituting the charged particle beam extraction electrode,
The electrode frame is integrally formed,
The electrode frame has an opening through which the charged particle beam passes, and an electrode rod support portion that supports both ends of the electrode rod disposed over the opening at least in a portion around the opening when the electrode frame is viewed from one direction. Formed,
The electrode frame, characterized in that the lid body is divided into a plurality of upper parts of the electrode support. 제1항에 있어서,
상기 전극봉 지지부는 상기 전극 프레임의 표면상에 형성되어 있으며, 당해 표면에서 오목하게 들어가 있는 것을 특징으로 하는 전극 프레임. The method of claim 1,
The electrode support portion is formed on the surface of the electrode frame, the electrode frame, characterized in that recessed in the surface. 제2항에 있어서,
상기 전극봉 지지부는 상기 개구부에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전극 프레임. 3. The method of claim 2,
And the electrode support is connected to the opening. 제1항에 있어서,
상기 전극봉 지지부는 상기 개구부를 사이에 끼고 대향하는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전극 프레임. The method of claim 1,
And the electrode rod support portion is formed at a position facing each other with the opening interposed therebetween. 삭제delete 제1항에 기재된 전극 프레임으로 구성되는 인출용 전극을 구비한 것을 특징으로 하는 하전 입자빔 발생장치. A charged particle beam generator, comprising a lead-out electrode composed of the electrode frame according to claim 1.
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