KR101370033B1 - Resonator chamber of nd-yag laser apparatus and method assembling thereof - Google Patents

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KR101370033B1 KR1020130047822A KR20130047822A KR101370033B1 KR 101370033 B1 KR101370033 B1 KR 101370033B1 KR 1020130047822 A KR1020130047822 A KR 1020130047822A KR 20130047822 A KR20130047822 A KR 20130047822A KR 101370033 B1 KR101370033 B1 KR 101370033B1
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김정환
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Abstract

The present invention relates to a resonator chamber for an ND-YAG laser device and an assembly method thereof. The device includes: a body which has an open top and includes a longitudinal-direction through hole; a tube which makes the through hole open inside the body and is made of samarium; barium powder which fills the gap between the body and the tube; a first and a second rubber ring which are inserted between the body and the tube at one and the other end of the body in order to prevent the barium powder from leaking away; a cover unit which covers the open top of the body; a first and a second lateral unit which include an upper hole and a lower hole on the lateral surface and a groove on the bottom surface and are mounted on two ends of the body; a first and a second opening unit which are combined to the lower end of the body and are formed on corresponding part of the groove of the first lateral unit and the second lateral unit, respectively; a bottom unit which includes a third and a fourth rubber ring to be inserted to the first and the second opening unit in order to prevent water leakage; a first and a second ripple which are mounted to the first and the second opening unit; a rod which is inserted to the upper holes on the lateral units and is inserted through a fifth rubber ring to prevent water leakage and a first holder; and a flash lamp which is inserted to the lower holes of the later units and is inserted through a sixth rubber ring to prevent water leakage and a second holder. Using oxide barium as a reflection medium, the present invention enables semi-permanent use of a chamber.

Description

엔디 야그 레이저 장치의 공진기부 챔버 및 그의 조립 방법{RESONATOR CHAMBER OF ND-YAG LASER APPARATUS AND METHOD ASSEMBLING THEREOF}RESONATOR CHAMBER OF ND-YAG LASER APPARATUS AND METHOD ASSEMBLING THEREOF

본 발명은 엔디 야그(ND-YAG) 레이저 장치의 공진기부 챔버 및 그의 조립 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 산화바륨을 반사 매질로 이용하여 반영구적으로 사용할 수 있는 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버 및 그의 조립 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a resonator chamber of an ND-YAG laser device and a method for assembling thereof, and more particularly, to a resonator chamber of an ND-YAG laser device that can be used semi-permanently using barium oxide as a reflection medium. And a method for assembling thereof.

레이저의 발생 원리를 보면, 원자가 에너지를 받아 여기되어 상위 준위로 들떠서 반전분포 상태로 되고, 상위의 들뜬 준위로부터 하위 들뜬 준위로 전이가 일어난다. 이 들뜬 물질의 양쪽에 거울 2개를 평행하게 놓으면 빛은 2개의 거울 사이를 반사하면서 왕복하고, 이렇게 왕복하는 사이에 빛은 증폭된다.According to the principle of the generation of the laser, the atoms are energized and excited, they are excited to the upper level, and are in an inverted distribution state, and a transition occurs from the upper excited level to the lower excited level. When two mirrors are placed in parallel on both sides of the excited material, the light reflects back and forth between the two mirrors, and the light is amplified in between.

한편, 2 개의 평행한 거울은 유도방출을 일으킬 뿐만 아니라 거울 사이에 빛의 정상파를 만들고, 이 조건에 맞는 빛만이 증폭되며, 이 증폭된 빛의 파장은 선택되어 하나로 되고, 이때 2개의 거울 중 1개의 거울을 대부분의 빛은 반사하지만 다른 하나의 거울은 일부 몇 %만 투과하도록 만들면, 거울 사이에서 증폭된 빛의 일부만 외부로 방출되는 데 이것이 레이저 광선이다.On the other hand, two parallel mirrors not only cause induced emission, but also create standing waves of light between the mirrors, and only light that meets this condition is amplified, and the wavelength of the amplified light is selected and becomes one, where 1 of the two mirrors is selected. If you make two mirrors reflect most of the light but the other mirrors transmit only a few percent, then only a portion of the amplified light between the mirrors is emitted outside, which is the laser beam.

이와 같은 레이저 발생의 장치를 개략적으로 구성해 보면, 반사율 100%인 전반사경과, 투과율과 반사율을 가진 부분반사경이 한 쌍으로 이룬 공진기와 상기 공진기 사이에 레이저를 발생하는 매질로 채워진 물체가 구비되어, 레이저 발생 매질에 에너지를 주어 기저 상태 원자를 여기 상태 원자로 만들어서 반전밀도를 유도하기 위하여 광원 에너지를 가하는 광 펌프 장치로 구성된다.A schematic configuration of such a laser generating apparatus includes an object filled with a medium for generating a laser between a resonator having a total reflectance having a reflectance of 100% and a partial reflector having a transmittance and a reflectance and a pair of resonators. It consists of a light pump device that energizes a laser generating medium to turn a ground state atom into an excited state atom and applies light source energy to induce inversion density.

레이저 발생 매질을 엔디 야그(ND-YAG; Neodymium - Yttrium aluminum-garnet)로 사용하는 고체레이저에서 발진되는 레이저는 파장이 1064nm의 가진 기본 레이저이며, 이 1064nm 레이저는 용접 및 절단 또는 육체의 체모, 모근을 제거하는 등의 다양 분야에 사용되는 것도 있고 이 기본 레이저의 파장뿐만 아니라 아직 규명되진 않았지만, 다양한 파장을 하나의 매질에서 다양하게 얻을 수 있다.The laser generated from a solid laser using the laser generating medium as ND-YAG (Nodymium-Yttrium aluminum-garnet) is a basic laser having a wavelength of 1064 nm. It is used in various fields, such as, and has not been identified as well as the wavelength of the basic laser, but various wavelengths can be obtained in one medium.

한편, ND-YAG 레이저에서 레이저 빔의 생성을 위해서는 레이저 공진기 내의 YAG 매질과 펌핑광 그리고 그 빛을 반사하여 모아줄 수 있는 반사 매질이 필요하다. 종래에는 반사 매질로서 유리막이 코팅되어 사용되는데, 이는 사용할수록 유리막이 부식되고, 깨어지게 되는 문제점이 있다. 이로 인해, 레이저 빔 생성이 이루어지지 않고, 정기적으로 부품을 교체해야 하는 문제점이 있다.Meanwhile, in order to generate a laser beam in an ND-YAG laser, a YAG medium and a pumping light in the laser resonator and a reflection medium capable of reflecting and collecting the light are required. Conventionally, a glass film is coated and used as a reflection medium, which has a problem in that the glass film is corroded and broken as it is used. For this reason, there is a problem that the laser beam generation is not made, and the parts need to be replaced regularly.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 그 목적은 반영구적으로 사용할 수 있는 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버 및 그의 조립 방법을 제공하는데 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems, and an object thereof is to provide a resonator unit chamber of an ND-YAG laser device which can be used semi-permanently, and a method of assembling thereof.

본 발명의 다른 목적은 반사 매질로서 산화바륨을 이용하는 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버 및 그의 조립 방법을 제공하는데 있다.It is another object of the present invention to provide a resonator chamber and an assembly method of an ND-YAG laser device using barium oxide as a reflection medium.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버는, 상부가 오픈되어 있고, 길이방향으로 관통되는 관통홀을 포함하는 바디와; 상기 바디 내부에서 상기 관통홀을 오픈하도록 구비되고, 사마륨(samarium) 재질의 튜브와; 상기 바디와 튜브 사이에서 빈 공간 없이 구비되는 바륨가루와; 상기 바디의 일단과 타단에서 상기 바륨가루가 이탈되지 않도록 상기 바디와 튜브 사이에 끼워지는 제1 및 제2 고무링과; 상기 바디의 오픈된 상부를 덮는 커버부와; 측면에 형성된 상단홀과 하단홀 및 하부면에 형성된 홈을 포함하고, 상기 바디 양단에 장착되는 제1 및 제2 측부와; 상기 바디의 하단에 결합되고, 상기 제1 및 제2 측부의 각 홈의 대응되는 부분에 각각 형성되는 제1 및 제2 개구부를 포함하는 바닥부와; 상기 바닥부의 제1 및 제2 개구부에 장착되는 제1 및 제2 리플과; 상기 측부의 상단홀에 끼워지되, 누수 방지를 위한 제3 고무링 및 제1 홀더를 통해 끼워지는 로드와; 상기 측부의 하단홀에 끼워지되, 누수 방지를 위한 제4 고무링 및 제2 홀더를 통해 끼워지는 플래쉬 램프;를 포함한다.The resonator part chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention for achieving the above object, the upper body is open, including a through-hole penetrating in the longitudinal direction; A tube made of samarium and provided to open the through hole in the body; A barium powder provided without an empty space between the body and the tube; First and second rubber rings fitted between the body and the tube so that the barium powder does not escape from one end and the other end of the body; A cover part covering an open upper portion of the body; First and second side parts including upper and lower holes formed on side surfaces and grooves formed on lower surfaces thereof and mounted to both ends of the body; A bottom portion coupled to a lower end of the body and including first and second openings respectively formed in corresponding portions of respective grooves of the first and second sides; First and second ripples mounted to the first and second openings of the bottom portion; A rod fitted into the top hole of the side part and inserted through a third rubber ring and a first holder to prevent leakage; It is inserted into the lower end of the side portion, the flash lamp fitted through the fourth rubber ring and the second holder for preventing leakage; includes.

그리고 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버의 조립 방법은, 상부가 오픈되어 있고, 길이방향으로 관통되는 관통홀을 포함하는 바디 내부에 사마륨 재질의 튜브를 구비하는 제1 과정과; 상기 바디와 튜브 사이에 바륨가루를 주입시키는 제2 과정과; 상기 바디의 일단과 타단에서 상기 바륨가루가 이탈되지 않도록 상기 바디와 튜브 사이에 제1 및 제2 고무링을 끼우는 제3 과정과; 상기 바디의 오픈된 상부를 커버부로 덮는 제4 과정과; 상기 바디 양단에, 상단홀과 하단홀 및 하부면에 홈이 형성된 제1 및 제2 측부를 결합하는 제5 과정과; 상기 바디의 하단에, 상기 제1 및 제2 측부의 각 홈의 대응되는 부분에 제1 및 제2 개구부가 형성된 바닥부를 결합하되, 상기 제1 및 제2 개구부 상에 제3 및 제4 고무링을 끼우고 결합하는 제6 과정과; 상기 바닥부의 제1 및 제2 개구부에 제1 및 제2 리플을 장착하는 제7 과정과; 제5 고무링 및 제1 홀더를 통해 상기 각 측부의 각 상단홀에 로드를 끼우는 제8 과정과; 제6 고무링 및 제2 홀더를 통해 상기 각 측부의 각 하단홀에 플래쉬 램프를 끼우는 제9 과정;를 포함한다.And the method of assembling the resonator unit chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention for achieving the above object, the tube is made of samarium inside the body, the upper portion is open, including a through-hole penetrating in the longitudinal direction A first process having a; A second step of injecting barium powder between the body and the tube; A third process of fitting the first and second rubber rings between the body and the tube so that the barium powder is not separated from one end and the other end of the body; A fourth process of covering the opened upper part of the body with a cover part; A fifth process of coupling the first and second side portions having grooves formed in upper and lower holes and lower surfaces at both ends of the body; At the bottom of the body, a bottom portion having first and second openings coupled to corresponding portions of respective grooves of the first and second side portions, wherein third and fourth rubber rings are disposed on the first and second openings. A sixth process of inserting and combining the parts; A seventh process of mounting first and second ripples on the first and second openings of the bottom portion; An eighth step of inserting a rod into each top hole of each side part through a fifth rubber ring and a first holder; And a ninth step of fitting a flash lamp to each lower hole of each side through a sixth rubber ring and a second holder.

또한, 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버의 조립 방법의 상기 제2 과정은, 상기 챔버와 튜브 사이의 공간에 빈 공간이 없고, 이물질이 들어가지 않도록 주입되는 것에 특징이 있다.In addition, the second process of the method of assembling the resonator unit chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention is characterized in that there is no empty space in the space between the chamber and the tube and is injected so that foreign matter does not enter.

본 발명은 반사 매질로 산화바륨을 사용함으로써, 챔버를 반영구적으로 사용할 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect that the chamber can be used semi-permanently by using barium oxide as the reflection medium.

그리고 산화바륨은 자연광에 가장 가까운 빛의 소멸을 억제시키며 생성된 광량을 최대한으로 유지할 수 있는 매질로서, 녹는점과 끓는점이 매우 높아 플래쉬 램프에서 생성된 고열에서도 이상 없이 잘 견딜 수 있는 효과도 있다.In addition, barium oxide is a medium that suppresses the disappearance of light closest to natural light and maintains the maximum amount of generated light. The barium oxide has a high melting point and a high boiling point, and can withstand the high temperature generated by the flash lamp without any abnormality.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되나, 이는 예시적인 것이며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.

도 1은 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버를 나타낸 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버에서 바륨가루 주입 상태를 나타낸 도면이다.1 is a perspective view showing a resonator unit chamber of an ND-YAG laser device according to the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing a resonator unit chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention.
3 is a view showing a barium powder injection state in the resonator unit chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버 및 그의 조립 방법을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버를 나타낸 분해 사시도이다.Hereinafter, a resonator unit chamber and an assembly method thereof of an ND-YAG laser device according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view showing a resonator part chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view showing a resonator part chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention.

도 1과 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버(100)에 대하여 먼저 살펴본다. ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버(100)는 바디(10), 튜브(20), 바륨가루(30), 제1 및 제2 고무링(41, 42), 커버부(50), 제1 및 제2 측부(61, 62), 바닥부(70), 제1 및 제2 리플(81, 82), 로드(미도시), 및 플래쉬 램프(90)를 포함한다.1 and 2, the resonator unit chamber 100 of the ND-YAG laser device according to the present invention will be described first. The resonator part chamber 100 of the ND-YAG laser device includes a body 10, a tube 20, barium powder 30, first and second rubber rings 41 and 42, a cover part 50, and a first part. And second side portions 61, 62, bottom portion 70, first and second ripples 81, 82, rods (not shown), and flash lamps 90.

바디(10)는 상부가 오픈되어 있고, 길이방향으로 관통되는 관통홀(11)이 형성된다. 바디(10)의 내부에는 바륨가루(30)가 주입되는데, 이에 대하여는 하기한다. 관통홀(11)에는 하기되는 튜브(20)가 구비된다.The body 10 has an open upper portion, and a through hole 11 penetrates in the longitudinal direction. Barium powder 30 is injected into the body 10, which will be described below. The through hole 11 is provided with a tube 20 to be described below.

튜브(20)는 바디(10) 내부에서 관통홀(11)을 오픈하도록 구비된다. 튜브(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 두 개의 홀이 형성되어 있고, 이 두 개의 홀을 통해 바디(10)의 관통홀(11)이 오픈된다. 튜브(20)의 상부 홀은 하기되는 제1 및 제2 측부(61, 62)의 각 상단홀(63a, 63b)에 대응되고, 하부 홀은 제1 및 제2 측부(61, 62)의 각 하단홀(64a, 64b)에 대응된다. 하기 하겠지만, 각 상단홀(63a, 63b)에는 로드가 끼워지고, 각 하단홀(64a, 64b)에는 플래쉬 램프(90)가 끼워진다. The tube 20 is provided to open the through hole 11 in the body 10. As shown in FIG. 2, the tube 20 is formed with two holes, through which the through holes 11 of the body 10 open. The upper hole of the tube 20 corresponds to each of the upper holes 63a and 63b of the first and second side portions 61 and 62 to be described below, and the lower hole of each of the first and second side portions 61 and 62. It corresponds to the lower holes 64a and 64b. As will be described later, a rod is fitted into each of the upper holes 63a and 63b, and a flash lamp 90 is fitted into each of the lower holes 64a and 64b.

튜브(20)는 사마륨(samarium) 재질로 형성된다. 사마륨은 공지된 바와 같이, 원자번호 62번의 원소로, 원소기호는 Sm이다. 주기율표에서 란타넘족에 속하는 희토류 원소의 하나이다. 순수한 금속은 은색을 띠며, 란타넘족 원소 중에서는 가장 단단한 금속이다. 다른 란타넘족 원소들과 마찬가지로 화학 반응성이 크다. 사마륨은 여러 종류의 레이저에도 사용된다. 사마륨이 첨가된 플루오르화칼슘(CaF2) 결정은 1961년에 만들어진 최초의 고체상태 레이저에서 활성 매질로 사용되었다.The tube 20 is formed of samarium material. Samarium, as is known, is an element of atomic number 62, with the element symbol Sm. One of the rare earth elements belonging to the Lanthanum family in the periodic table. Pure metals are silver and are the hardest of the lanthanides. Like other lanthanides, it is highly chemically reactive. Samarium is also used in many types of lasers. Samarium-added calcium fluoride (CaF2) crystals were used as the active medium in the first solid-state lasers made in 1961.

바륨가루(30)는 바디(10)와 튜브(20) 사이에 구비되되, 빈 공간 없이 구비된다. 산화바륨은 중토(重土), 바리타라고도 한다. 백색 또는 황백색의 분말 또는 고체로, 녹는점 1,923℃, 끓는점 약 2,000℃이다. 물, 이산화탄소와 잘 반응하는데 다량의 열을 발생하면서 각각 수산화바륨, 탄산바륨이 된다. 이 경우의 발열은 적열(赤熱)하는 경우가 있으며, 유기물이 혼입되어 있으면 화재를 일으킬 수도 있다. 질산, 염산, 알코올무수물 등에는 녹지만, 아세톤, 액체암모니아 등에는 녹지 않는다. 바륨의 질산염, 수산화물 등을 고온으로 가열하면 생기는데, 공업적으로는 탄산바륨에 탄소를 가하고 1,200℃ 이상으로 가열하여 얻는다. 산화바륨에 이산화탄소나 수분을 함유하지 않는 공기 또는 산소를 통과시키면서 800℃ 이상으로 가열하면 바륨이 된다.Barium powder 30 is provided between the body 10 and the tube 20, it is provided without an empty space. Barium oxide is also called heavy soil or barita. White or yellowish white powder or solid with melting point of 1,923 ° C and boiling point of about 2,000 ° C. It reacts well with water and carbon dioxide, generating a large amount of heat, which becomes barium hydroxide and barium carbonate, respectively. The heat generated in this case may be glowing, and a fire may occur if organic matter is mixed. It is soluble in nitric acid, hydrochloric acid, alcoholic anhydride, etc., but not in acetone, liquid ammonia. It is produced by heating barium nitrate, hydroxide and the like at high temperature, but industrially, it is obtained by adding carbon to barium carbonate and heating it to 1,200 ° C or more. When barium oxide is heated to 800 ° C or higher while passing air or oxygen containing no carbon dioxide or moisture, it becomes barium.

산화바륨은 제논 플래쉬 램프에서 생성된 자연광에 가장 가까운 빛의 소멸을 억제시키며 생성된 광량을 최대한으로 유지할 수 있는 매질로서 녹는점과 끓는점이 매우 높아 플래쉬 램프에서 생성된 고열에서도 이상 없이 잘 견딜 수 있는 장점을 가지고 있다. 하지만 물과 이산화탄소에 잘 반응을 하는 단점이 있다. 따라서, 반사매질로서의 산화바륨을 사용할 시 주의할 점은 물과의 반응을 차단하는 것이다. 산화바륨은 물과 잘 반응하며, 이 때 다량의 열이 발생하므로 튜브가 파손 될 우려가 크다.Barium oxide suppresses the disappearance of the light closest to the natural light generated by the xenon flash lamp, and is a medium that can maintain the amount of light generated to the maximum. The melting point and boiling point are very high, and it can withstand the high temperature generated by the flash lamp without abnormality. It has advantages However, there is a disadvantage that it reacts well to water and carbon dioxide. Therefore, care should be taken when using barium oxide as a reflection medium to block the reaction with water. Barium oxide reacts well with water and generates a large amount of heat.

그리고 바륨가루의 주입을 주의해야 한다. 바륨을 넣는 케이스의 크기는 중요하지 않다. 바륨가루를 얼마나 빈 공간 없이 눌러서 담느냐에 따라 반사율과 에너지가 틀려진다. 가루를 넣을 시, 갈라진 틈이 생길 경우 생성된 빛이 그 틈 사이로 새어 나갈 수 있고 광량 또한 줄어든다. 본 출원인 챔버를 기준으로 할 때 바륨의 주입량은 개당 200g 정도이다. And be careful to inject barium powder. The size of the barium case is not important. Reflectivity and energy are different depending on how much barium powder is pressed without empty space. When the powder is added, if a crack occurs, the generated light can leak through the gap and the amount of light is reduced. Based on the applicant's chamber, the amount of barium injected is about 200 g per piece.

제1 및 제2 고무링(41, 42)은 바디(10)의 일단과 타단에 끼워지되, 바디(10)와 튜브(20) 사이에 끼워진다. 제1 및 제2 고무링(41, 42)은 바디(10)와 튜브(20) 사이에 주입된 바륨가루(30)가 이탈되지 않도록 한다.The first and second rubber rings 41 and 42 are fitted to one end and the other end of the body 10, but are fitted between the body 10 and the tube 20. The first and second rubber rings 41 and 42 prevent the barium powder 30 injected between the body 10 and the tube 20 from being separated.

커버부(50)는 바디(10)의 오픈된 상부를 덮는다.The cover part 50 covers the open top of the body 10.

제1 및 제2 측부(61, 62)는 바디(10) 양단에 장착된다. 각 측부(61, 62)는 측면에 형성된 각 상단홀(63a, 63b)과 각 하단홀(64a, 64b) 및 하부면에 형성된 각 홈(65a, 65b)을 포함한다. 전술한 바와 같이, 각 상단홀(63a, 63b)과 각 하단홀(64a, 64b)은 바디(10)의 관통홀(11)에 구비되는 튜브(20)의 각 홀과 대응된다. 각 홈(65a, 65b)은 하기되는 바닥부(70)의 제1 및 제2 개구부(71, 72)에 각각 대응된다.The first and second sides 61 and 62 are mounted at both ends of the body 10. Each side part 61 and 62 includes each top hole 63a and 63b formed in the side, each bottom hole 64a and 64b, and each groove 65a and 65b formed in the lower surface. As described above, each of the upper holes 63a and 63b and the lower holes 64a and 64b corresponds to each hole of the tube 20 provided in the through hole 11 of the body 10. Each of the grooves 65a and 65b corresponds to the first and second openings 71 and 72 of the bottom portion 70 described below, respectively.

바닥부(70)는 바디(10)의 하단에 결합된다. 바닥부(70)는 제1 및 제2 개구부(71, 72), 제3 및 제4 고무링(73, 74)을 포함한다. 제1 및 제2 개구부(71, 72)는 전술한 바와 같이, 제1 및 제2 측부(61, 62)의 각 홈(65a, 65b)의 대응되는 부분에 각각 형성된다. 제3 및 제4 고무링(73, 74)은 바디(10)와 바닥부(70)의 결합 시, 제1 및 제2 개구부(71, 73)와 홈(65a, 65b) 사이에 구비되어, 누수가 방지될 수 있다.The bottom portion 70 is coupled to the lower end of the body 10. The bottom portion 70 includes first and second openings 71 and 72, and third and fourth rubber rings 73 and 74. The first and second openings 71, 72 are formed in corresponding portions of the grooves 65a, 65b of the first and second side portions 61, 62, respectively, as described above. The third and fourth rubber rings 73 and 74 are provided between the first and second openings 71 and 73 and the grooves 65a and 65b when the body 10 and the bottom part 70 are coupled to each other. Leakage can be prevented.

제1 및 제2 리플(81, 82)은 바닥부(70)의 제1 및 제2 개구부(71, 72)에 장착된다.The first and second ripples 81 and 82 are mounted in the first and second openings 71 and 72 of the bottom portion 70.

로드는 측부(61, 62)의 상단홀(63a, 63b)에 끼워지되, 누수 방지를 위한 제5 고무링(미도시) 및 제1 홀더(미도시, 하기되는 제2 홀더(92a, 92b)와 유사한 형태)를 통해 끼워진다.The rod is fitted into the upper holes 63a and 63b of the side portions 61 and 62, but includes a fifth rubber ring (not shown) and a first holder (not shown, second holders 92a and 92b) to prevent leakage. (Similar to)).

플래쉬 램프(90)는 측부(61, 62)의 하단홀(64a, 64b)에 끼워지되, 누수 방지를 위한 제6 고무링(91a, 91b) 및 제2 홀더(92a, 92b)를 통해 끼워진다.The flash lamp 90 is fitted into the lower holes 64a and 64b of the side portions 61 and 62 but is fitted through the sixth rubber rings 91a and 91b and the second holders 92a and 92b to prevent leakage. .

이하에서는, 전술한 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버(100)의 조립 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method of assembling the resonator unit chamber 100 of the above-described ND-YAG laser device will be described.

먼저, 바디(10)의 관통홀(11) 내부에 튜브(20)를 구비한다. 그리고 바디(10)와 튜브(20) 사이에 바륨가루(20)를 주입시킨다. 바디(10)와 튜브(20) 사이에 바륨가루(20)가 주입되는 상태가 도 3에 도시된다. 도 3은 본 발명에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버에서 바륨가루 주입 상태를 나타낸 도면이다.First, the tube 20 is provided in the through hole 11 of the body 10. And the barium powder 20 is injected between the body 10 and the tube 20. The state in which the barium powder 20 is injected between the body 10 and the tube 20 is shown in FIG. 3. 3 is a view showing a barium powder injection state in the resonator unit chamber of the ND-YAG laser device according to the present invention.

다음으로, 바디(10)의 일단과 타단에서 바륨가루(30)가 이탈되지 않도록 바디와 튜브 사이에 제1 및 제2 고무링(41, 42)을 끼운다. 그리고 바디(10)의 오픈된 상부를 커버부(50)로 덮는다.Next, the first and second rubber rings 41 and 42 are inserted between the body and the tube so that the barium powder 30 is not separated from one end and the other end of the body 10. And covers the open upper portion of the body 10 with a cover 50.

이어서, 바디(10) 양단에 제1 및 제2 측부(61, 62)를 결합한다. 이로 인해, 제1 및 제2 측부(61, 62)의 각 상단홀(63a, 63b)이 튜브(20)의 홀 및 바디(10)의 관통홀(11)을 통해 오픈되고, 각 하단홀(64a, 64b)이 튜브(20)의 홀 및 바디(10)의 관통홀(11)을 통해 오픈된다.Subsequently, the first and second side portions 61 and 62 are coupled to both ends of the body 10. As a result, each of the top holes 63a and 63b of the first and second side portions 61 and 62 is opened through the hole of the tube 20 and the through hole 11 of the body 10, and each bottom hole ( 64a and 64b are opened through the holes of the tube 20 and the through holes 11 of the body 10.

다음으로, 바디(10)의 하단에 바닥부(70)를 결합한다. 이 때, 바닥부(70)의 제1 및 제2 개구부(71, 72)가 제1 및 제2 측부(61, 62)의 각 홈(65a, 65b)에 대응되고, 제1 및 제2 개구부(71, 72) 및 각 홈(65a, 65b) 사이에는 제3 및 제4 고무링(73, 74)이 끼워진다. 제3 및 제4 고무링(73, 74)으로 인해 누수가 방지될 수 있다.Next, the bottom portion 70 is coupled to the lower end of the body 10. At this time, the first and second openings 71 and 72 of the bottom portion 70 correspond to the grooves 65a and 65b of the first and second side portions 61 and 62, respectively. The third and fourth rubber rings 73 and 74 are sandwiched between the 71 and 72 and the grooves 65a and 65b. The third and fourth rubber rings 73 and 74 may prevent leakage.

이어서, 바닥부(70)의 제1 및 제2 개구부(71, 72)에 제1 및 제2 리플(81, 82)을 장착한다. 그리고 제5 고무링 및 제1 홀더를 통해 각 측부(61, 62)의 상단홀(63a, 63b)에 로드를 끼운다.Subsequently, the first and second ripples 81 and 82 are attached to the first and second openings 71 and 72 of the bottom portion 70. Then, the rod is inserted into the upper holes 63a and 63b of the side portions 61 and 62 through the fifth rubber ring and the first holder.

다음으로, 제6 고무링(91a, 91b) 및 제2 홀더(92a, 92b)를 통해 각 측부(61, 62)의 하단홀(64a, 64b)에 플래쉬 램프(90)를 끼운다.Next, the flash lamp 90 is inserted through the sixth rubber rings 91a and 91b and the second holders 92a and 92b into the lower ends 64a and 64b of the side portions 61 and 62.

한편, 본 실시예에 따른 ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버 및 그의 조립 방법은 전술한 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 중심 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 이는 본원발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자라면 쉽게 알 수 있을 것이다.On the other hand, the resonator chamber and the assembly method of the ND-YAG laser device according to the present embodiment is not limited to the above-described form, it can be variously modified within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains.

100; ND-YAG 레이저 장치의 공진기부 챔버
10; 바디
11; 관통홀
20; 튜브
30; 바륨가루
41, 42, 73, 74, 91a, 91b; 고무링
50; 커버부
61, 62; 측부
63a, 63b; 상단홀
64a, 64b; 하단홀
65a, 65b; 홈
70; 바닥부
71, 72; 개구부
81, 82; 리플
90; 플래쉬 램프
92a, 92b; 홀더100; Resonator chamber of ND-YAG laser unit
10; body
11; Through hole
20; tube
30; Barium powder
41, 42, 73, 74, 91a, 91b; Rubber ring
50; The cover portion
61, 62; Side
63a, 63b; Top hole
64a, 64b; Bottom hole
65a, 65b; home
70; Bottom portion
71, 72; Opening
81, 82; ripple
90; Flash lamp
92a, 92b; holder

Claims (3)

상부가 오픈되어 있고, 길이방향으로 관통되는 관통홀을 포함하는 바디와;
상기 바디 내부에서 상기 관통홀을 오픈하도록 구비되고, 사마륨(samarium) 재질의 튜브와;
상기 바디와 튜브 사이에서 빈 공간 없이 구비되는 바륨가루와;
상기 바디의 일단과 타단에서 상기 바륨가루가 이탈되지 않도록 상기 바디와 튜브 사이에 끼워지는 제1 및 제2 고무링과;
상기 바디의 오픈된 상부를 덮는 커버부와;
측면에 형성된 상단홀과 하단홀 및 하부면에 형성된 홈을 포함하고, 상기 바디 양단에 장착되는 제1 및 제2 측부와;
상기 바디의 하단에 결합되고, 상기 제1 및 제2 측부의 각 홈의 대응되는 부분에 각각 형성되는 제1 및 제2 개구부와, 누수 방지를 위해 상기 제1 및 제2 개구부 상에 끼워지는 제3 및 제4 고무링을 포함하는 바닥부와;
상기 바닥부의 제1 및 제2 개구부에 장착되는 제1 및 제2 리플과;
상기 측부의 상단홀에 끼워지되, 누수 방지를 위한 제5 고무링 및 제1 홀더를 통해 끼워지는 로드와;
상기 측부의 하단홀에 끼워지되, 누수 방지를 위한 제6 고무링 및 제2 홀더를 통해 끼워지는 플래쉬 램프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 엔디 야그 레이저 장치의 공진기부 챔버.A body having an upper portion and including a through hole penetrating in the longitudinal direction;
A tube made of samarium and provided to open the through hole in the body;
A barium powder provided without an empty space between the body and the tube;
First and second rubber rings fitted between the body and the tube so that the barium powder does not escape from one end and the other end of the body;
A cover part covering an open upper portion of the body;
First and second side parts including upper and lower holes formed on side surfaces and grooves formed on lower surfaces thereof and mounted to both ends of the body;
First and second openings coupled to a lower end of the body and formed in corresponding portions of respective grooves of the first and second sides, respectively, and fitted on the first and second openings to prevent leakage; A bottom portion comprising a third and fourth rubber rings;
First and second ripples mounted to the first and second openings of the bottom portion;
A rod fitted into the top hole of the side portion and fitted through a fifth rubber ring and a first holder to prevent leakage;
And a flash lamp fitted into the lower side hole of the side part and inserted through a sixth rubber ring and a second holder to prevent leakage of the resonator unit. 상부가 오픈되어 있고, 길이방향으로 관통되는 관통홀을 포함하는 바디 내부에 사마륨 재질의 튜브를 구비하는 제1 과정과;
상기 바디와 튜브 사이에 바륨가루를 주입시키는 제2 과정과;
상기 바디의 일단과 타단에서 상기 바륨가루가 이탈되지 않도록 상기 바디와 튜브 사이에 제1 및 제2 고무링을 끼우는 제3 과정과;
상기 바디의 오픈된 상부를 커버부로 덮는 제4 과정과;
상기 바디 양단에, 상단홀과 하단홀 및 하부면에 홈이 형성된 제1 및 제2 측부를 결합하는 제5 과정과;
상기 바디의 하단에, 상기 제1 및 제2 측부의 각 홈의 대응되는 부분에 제1 및 제2 개구부가 형성된 바닥부를 결합하되, 상기 제1 및 제2 개구부 상에 제3 및 제4 고무링을 끼우고 결합하는 제6 과정과;
상기 바닥부의 제1 및 제2 개구부에 제1 및 제2 리플을 장착하는 제7 과정과;
제5 고무링 및 제1 홀더를 통해 상기 각 측부의 각 상단홀에 로드를 끼우는 제8 과정과;
제6 고무링 및 제2 홀더를 통해 상기 각 측부의 각 하단홀에 플래쉬 램프를 끼우는 제9 과정;를 포함하는 것을 특징으로 하는 엔디 야그 레이저 장치의 공진기부 챔버의 조립 방법.A first process having an upper portion open and having a samarium tube in a body including a through hole penetrating in a longitudinal direction;
A second step of injecting barium powder between the body and the tube;
A third process of fitting the first and second rubber rings between the body and the tube so that the barium powder is not separated from one end and the other end of the body;
A fourth process of covering the opened upper part of the body with a cover part;
A fifth process of coupling the first and second side portions having grooves formed in upper and lower holes and lower surfaces at both ends of the body;
At the bottom of the body, a bottom portion having first and second openings coupled to corresponding portions of respective grooves of the first and second side portions, wherein third and fourth rubber rings are disposed on the first and second openings. A sixth process of inserting and combining the parts;
A seventh process of mounting first and second ripples on the first and second openings of the bottom portion;
An eighth step of inserting a rod into each top hole of each side part through a fifth rubber ring and a first holder;
And a ninth step of inserting a flash lamp into each lower hole of each side part through a sixth rubber ring and a second holder. 제2 항에 있어서, 상기 제2 과정은,
상기 챔버와 튜브 사이의 공간에 빈 공간이 없고, 이물질이 들어가지 않도록 주입되는 것을 특징으로 하는 엔디 야그 레이저 장치의 공진기부 챔버의 조립 방법.3. The method according to claim 2,
The empty space in the space between the chamber and the tube, the assembly method of the resonator unit chamber of the endi Yag laser device, characterized in that the injection is so as not to enter.
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