KR101369432B1 - Digital x-ray detector - Google Patents

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KR101369432B1
KR101369432B1 KR1020120100095A KR20120100095A KR101369432B1 KR 101369432 B1 KR101369432 B1 KR 101369432B1 KR 1020120100095 A KR1020120100095 A KR 1020120100095A KR 20120100095 A KR20120100095 A KR 20120100095A KR 101369432 B1 KR101369432 B1 KR 101369432B1
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KR
South Korea
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ray detection
outer case
light source
detection panel
photoconductor
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KR1020120100095A
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Inventor
김중석
윤정기
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주식회사 디알텍
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Abstract

A digital X-ray detector comprises an outer case, a cover, an X-ray detecting panel, a light source unit, and a system board. The outer case has an internal space and an open upper part. The cover covers the opening in the upper part of the outer case. The X-ray detecting panel comprises: a pixel circuit substrate which is placed to face the cover inside the internal space of the outer case; a photoconductor which is formed in the upper part of the pixel circuit substrate; and an upper electrode which is formed in the upper part of the photoconductor. The light source unit emits light from the upper part of the X-ray detecting panel to the X-ray detecting panel inside the internal space of the outer case. The system board is placed in the lower part of the X-ray detecting panel inside the internal space of the outer case and is electrically connected with the X-ray detecting panel and the light source unit.

Description

디지털 엑스선 검출장치{Digital X-ray detector}Digital X-ray Detector {Digital X-ray Detector}

본 발명은 디지털 엑스선 검출장치에 관한 것으로, 리셋을 위한 구조가 개선된 디지털 엑스선 검출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a digital x-ray detecting apparatus, and more particularly, to a digital x-ray detecting apparatus having an improved structure for resetting.

디지털 엑스선 검출장치(Digital X-ray Detector)는 간접(Indirect) 방식의 엑스선 검출장치와 직접(direct) 방식의 엑스선 검출장치로 나뉘어진다. 엑스선 검출장치는 두 방식 모두 배면광(backlight) 장치가 리셋(reset) 역할을 수행한다. 즉, 엑스선 검출장치는 엑스선을 조사받아서 피사체에 대한 영상을 검출한 후, 새로운 영상을 검출하기 위해 리셋될 필요가 있다. 이때, 배면광 장치가 엑스선 검출장치를 리셋시킨다. The digital X-ray detector is divided into an indirect X-ray detector and a direct X-ray detector. In both X-ray detection apparatuses, a backlight device performs a reset role. In other words, the X-ray detection apparatus needs to be reset to detect a new image after detecting an image of a subject by being irradiated with X-rays. At this time, the back light device resets the X-ray detection device.

엑스선 검출장치는 TFT(thin film transistor) 기판 상에 광도전체(photoconductor)가 적층된 구조로 이루어지는데, 배면광 장치는 TFT 기판의 배면에 위치한다. TFT 기판은 투명 기판 상에 TFT가 배열된 구조로 이루어져, 배면광 장치의 빛이 투명 기판을 통과할 수 있기 때문이다. 배면광 장치로 발산된 빛은 TFT 기판의 배면으로부터 TFT 기판을 투과해서 광도전체에 흡수됨으로써, 광도전체의 잔존 전하를 완전히 제거하여 리셋할 수 있다. The X-ray detecting apparatus has a structure in which photoconductors are stacked on a thin film transistor (TFT) substrate, and the back light apparatus is positioned on the rear surface of the TFT substrate. This is because the TFT substrate has a structure in which TFTs are arranged on a transparent substrate, so that light of the backlight device can pass through the transparent substrate. Light emitted by the back light device is transmitted through the TFT substrate from the back of the TFT substrate and absorbed by the photoconductor, thereby completely removing and resetting the remaining charge of the photoconductor.

그런데, 일반적인 양산형 TFT는 a-Si:H를 기반으로 한다. a-Si(비정질 실리콘) 또한 빛에 반응하여 전류를 발생시키는 작용을 하는 물질이기 때문에, 리셋 과정에서 발생된 불필요한 전류성분이 엑스선 영상의 품질에 영향을 미칠 수 있다. 그리고, 배면광 장치는 일정 두께를 갖고 TFT 기판의 배면에 설치되므로, 엑스선 검출장치를 슬림형(slim type)으로 제조하는데 방해요소가 될 수 있고, 배면광 장치의 배치와 고정을 위한 기구적인 설계가 필수적으로 수반된다. 또한, 투명한 TFT 기판이 아닌, CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 트랜지스터 등이 배열된 실리콘(Si) 기반의 불투명 기판의 배면에 배면광 장치가 위치하는 경우, 불투명 기판은 빛이 투과되지 않기 때문에, 광도전체의 잔존 전하를 제거할 수 없다.By the way, the general mass production type TFT is based on a-Si: H. Since a-Si (amorphous silicon) is also a material that generates a current in response to light, an unnecessary current component generated during the reset process may affect the quality of the X-ray image. In addition, since the back light device has a predetermined thickness and is installed on the rear surface of the TFT substrate, it may be an obstacle to manufacturing the X-ray detection device in a slim type, and a mechanical design for arranging and fixing the back light device is provided. It is necessarily accompanied. In addition, when the back light device is positioned on the back of a silicon-based opaque substrate on which a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) transistor or the like is arranged, rather than a transparent TFT substrate, light is not transmitted through the opaque substrate. The entire remaining charge cannot be removed.

일본특허공보 제2005-24368호(2005.01.27 공개)Japanese Patent Publication No. 2005-24368 (published Jan. 27, 2005)

본 발명의 기술적 과제는 엑스선 영상의 품질을 향상시킬 수 있고, 슬림형 제조가 가능하며, 불투명 픽셀회로기판이더라도 광도전체의 잔존 전하를 제거할 수 있는 디지털 엑스선 검출장치를 제공함에 있다. An object of the present invention is to provide a digital X-ray detection apparatus that can improve the quality of the X-ray image, can be made slim, and can remove the remaining charge of the photoconductor even in the case of an opaque pixel circuit board.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 디지털 엑스선 검출장치는, 내부 공간을 갖고 상부가 개구된 외부 케이스; 상기 외부 케이스의 상부 개구를 덮는 커버; 상기 외부 케이스의 내부 공간에서 상기 커버와 마주하게 배치된 픽셀회로기판과, 상기 픽셀회로기판의 상부에 형성된 광도전체, 및 상기 광도전체의 상부에 형성된 상부 전극을 구비한 엑스선 검출 패널; 상기 외부 케이스의 내부 공간에서 상기 엑스선 검출 패널의 상측으로부터 상기 엑스선 검출 패널로 빛을 조사하는 광원부; 및 상기 외부 케이스의 내부 공간에서 상기 엑스선 검출 패널의 하측에 배치되며, 상기 엑스선 검출 패널 및 상기 광원부와 전기적으로 연결되는 시스템 보드;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a digital X-ray detecting apparatus including: an outer case having an inner space and an upper portion thereof opened; A cover covering an upper opening of the outer case; An X-ray detection panel including a pixel circuit board disposed to face the cover in an inner space of the outer case, a photoconductor formed on the pixel circuit board, and an upper electrode formed on the photoconductor; A light source unit radiating light from an upper side of the X-ray detection panel to the X-ray detection panel in an inner space of the outer case; And a system board disposed under the X-ray detection panel in an inner space of the outer case and electrically connected to the X-ray detection panel and the light source unit.

본 발명에 따르면, 광원부로부터 조사된 빛은 엑스선 검출 패널의 상측으로부터 픽셀회로기판을 거치지 않고 광도전체 내로 진입하게 되므로, 픽셀회로기판에 빛에 반응하여 전류를 발생시키는 물질이 포함되더라도, 리셋 과정에서 불필요한 전류성분이 발생되지 않게 된다. 이에 따라, 엑스선 영상의 품질이 확보될 수 있다. According to the present invention, since the light irradiated from the light source unit enters the photoconductor from the upper side of the X-ray detection panel without passing through the pixel circuit board, even if the pixel circuit board includes a material generating current in response to light, Unnecessary current components are not generated. Accordingly, the quality of the X-ray image may be secured.

그리고, 본 발명에 따르면, 픽셀회로기판이 불투명한 기판에 CMOS 트랜지스터 등이 형성된 구조인 경우에도, 광원부로부터 조사된 빛이 광도전체 내로 원활히 진입되어 광도전체의 잔존 전하를 제거할 수 있게 된다. 또한, 광원부의 배치와 고정을 위한 구조가 단순해질 수 있고, 엑스선 검출장치를 슬림형으로 제조하는데 유리할 수 있다.According to the present invention, even when the pixel circuit board has a structure in which a CMOS transistor or the like is formed on an opaque substrate, the light irradiated from the light source unit can be smoothly introduced into the photoconductor to remove the remaining charge of the photoconductor. In addition, the structure for arranging and fixing the light source unit may be simplified, and may be advantageous to manufacture the X-ray detection apparatus in a slim type.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 엑스선 검출장치에 대한 구성도.
도 2는 도 1에 도시된 광원부에 의해 광도전체의 잔존 전하를 제거하는 원리를 설명하기 위한 도면.
도 3은 도 1에 있어서, A 영역을 확대하여 도시한 도면.
1 is a block diagram of a digital X-ray detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view for explaining the principle of removing the remaining charge of the photoconductor by the light source unit shown in FIG.
3 is an enlarged view of a region A in FIG. 1; FIG.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 엑스선 검출장치에 대한 구성도이다. 도 2는 도 1에 도시된 광원부에 의해 광도전체의 잔존 전하를 제거하는 원리를 설명하기 위한 도면이다. 1 is a block diagram of a digital X-ray detection apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view for explaining a principle of removing residual charge of a photoconductor by the light source unit shown in FIG. 1.

도 1을 참조하면, 디지털 엑스선 검출장치(100)는 외부 케이스(110)와, 커버(120)와, 엑스선 검출 패널(130)과, 광원부(140), 및 시스템 보드(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the digital X-ray detecting apparatus 100 includes an outer case 110, a cover 120, an X-ray detecting panel 130, a light source unit 140, and a system board 150.

외부 케이스(110)는 내부 공간을 갖고 상부가 개구된 형태로 이루어진다. 예컨대, 외부 케이스(110)는 편평한 바닥 면과 4개의 벽면을 갖도록 이루어져 상부가 개구된 형태로 이루어질 수 있다. 외부 케이스(110)는 내부 공간에 수용된 엑스선 검출 패널(130)과, 광원부(140), 및 시스템 보드(150)를 외부로부터의 충격으로부터 완화할 수 있도록 탄소(carbon) 등의 재질로 이루어질 수 있다.The outer case 110 has an inner space and has an open top. For example, the outer case 110 may have a flat bottom surface and four wall surfaces, and may have an open top. The outer case 110 may be made of a material such as carbon such that the X-ray detection panel 130 accommodated in the inner space, the light source unit 140, and the system board 150 may be alleviated from an external shock. .

커버(120)는 외부 케이스(110)의 상부 개구를 덮도록 형성된다. 커버(120)는 외부 케이스(110)의 상부 개구를 완전히 덮은 상태에서 외부 케이스(110)에 고정된다. 엑스선은 커버(120)의 상부 면으로부터 조사되어 커버(120)를 투과한 후, 외부 케이스(110) 내의 엑스선 검출 패널(130)로 진입하게 된다. 커버(120)는 외부로부터의 충격을 완화할 수 있을 뿐 아니라, 엑스선을 투과할 수 있도록 탄소 등의 재질로 이루어질 수 있다.The cover 120 is formed to cover the upper opening of the outer case 110. The cover 120 is fixed to the outer case 110 while completely covering the upper opening of the outer case 110. The X-rays are irradiated from the upper surface of the cover 120 to pass through the cover 120, and then enter the X-ray detection panel 130 in the outer case 110. The cover 120 may not only mitigate an impact from the outside, but may be made of a material such as carbon to transmit X-rays.

엑스선 검출 패널(130)은 피사체에 대한 엑스선 조사시 엑스선 영상 신호를 검출한다. 엑스선 검출 패널(130)은 외부 케이스(110)의 내부 공간에 배치된다. 엑스선 검출 패널(130)은 픽셀회로기판(131)과, 광도전체(132), 및 상부 전극(133)을 포함한다.The X-ray detection panel 130 detects an X-ray image signal when X-ray irradiation of a subject. The X-ray detection panel 130 is disposed in the inner space of the outer case 110. The X-ray detection panel 130 includes a pixel circuit board 131, a photoconductor 132, and an upper electrode 133.

픽셀회로기판(131)은 커버(120)와 마주하게 배치된다. 예컨대, 픽셀회로기판(131)은 불투명한 베이스 기판과, 베이스 기판 상에 형성된 픽셀 어레이를 포함할 수 있다. 베이스 기판은 실리콘(Si) 기반의 기판일 수 있다. 픽셀 어레이는 베이스 기판 상에 CMOS(complementary metal-oxide semiconductor) 트랜지스터, NMOS(N-channel metal oxide semiconductor) 트랜지스터, PMOS(P-channel metal oxide semiconductor), 접합형 트랜지스터(Bipolar Junction transistor) 중 어느 하나를 포함하여 각 픽셀회로를 구성할 수 있다. 물론, 픽셀회로기판(131)은 투명 기판과, 투명 기판 상에 TFT(thin film transistor)를 포함하여 각 픽셀회로를 구성하는 픽셀 어레이를 포함하는 것도 가능하다.The pixel circuit board 131 is disposed to face the cover 120. For example, the pixel circuit board 131 may include an opaque base substrate and a pixel array formed on the base substrate. The base substrate may be a silicon (Si) based substrate. The pixel array includes one of a complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) transistor, an N-channel metal oxide semiconductor (NMOS) transistor, a P-channel metal oxide semiconductor (PMOS), and a bipolar junction transistor (PMOS) on a base substrate. Each pixel circuit can be configured to include each pixel circuit. Of course, the pixel circuit board 131 may include a transparent substrate and a pixel array constituting each pixel circuit including a thin film transistor (TFT) on the transparent substrate.

광도전체(132)는 픽셀회로기판(131)의 상부에 형성된다. 광도전체(132)는 픽셀 어레이 전체를 덮도록 막 형태로 코팅될 수 있다. 광도전체(132)는 a-Se, a-Si, crystal Si, CdTe, CdZnTe, As2S3, Sb2S3, As2Se3, Sb2Se3, ZnO, ZnSe, ZnTe, PbO, CdS, GaAs 중 선택된 어느 하나로 형성될 수 있다. 상부 전극(133)은 광도전체(132)의 상부에 형성된다. 상부 전극(133)은 투과성을 갖는 전극으로 이루어질 수 있다. 예컨대, 상부 전극(133)은 ITO(Indum Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 투명 전극일 수 있다. 다른 예로, 상부 전극(133)은 Au, Ti, Cr, Cu, Al, Mo, Ag, Pt, CNT 중 어느 하나의 물질로 50~200㎚의 두께를 갖도록 형성될 수 있다. 이 경우, 상부 전극(133)은 투과율이 대략 70% 이상이 될 수 있다. 이에 따라, 광원부(140)로부터 조사된 빛은 상부 전극(133)을 투과해서 광도전체(132) 내로 진입할 수 있다. The photoconductor 132 is formed on the pixel circuit board 131. The photoconductor 132 may be coated in a film form to cover the entire pixel array. The photoconductor 132 is a-Se, a-Si, crystal Si, CdTe, CdZnTe, As 2 S 3 , Sb 2 S 3 , As 2 Se 3 , Sb 2 Se 3 , ZnO, ZnSe, ZnTe, PbO, CdS It may be formed of any one selected from GaAs. The upper electrode 133 is formed on the photoconductor 132. The upper electrode 133 may be formed of an electrode having transparency. For example, the upper electrode 133 may be an indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) transparent electrode. As another example, the upper electrode 133 may be formed of any one of Au, Ti, Cr, Cu, Al, Mo, Ag, Pt, and CNT to have a thickness of 50 to 200 nm. In this case, the upper electrode 133 may have a transmittance of about 70% or more. Accordingly, light emitted from the light source unit 140 may pass through the upper electrode 133 and enter the photoconductor 132.

엑스선 검출 패널(130)의 상부에 엑스선이 조사되면, 엑스선은 광도전체(132) 내에 이온화 현상을 일으켜 전자와 정공을 생성하게 된다. 상부 전극(133)에 인가된 전압에 의해 전자들은 상부 전극(133) 쪽으로 이동하고, 정공들은 트랜지스터의 커패시터에 충전된다. 트랜지스터의 커패시터에 충전된 전하량은 시스템 보드(150)에 의해 읽혀짐으로써, 엑스선 영상이 획득될 수 있다.When X-rays are irradiated on the X-ray detection panel 130, X-rays cause ionization in the photoconductor 132 to generate electrons and holes. Electrons move toward the upper electrode 133 by the voltage applied to the upper electrode 133, and holes are charged in the capacitor of the transistor. The amount of charge charged in the capacitor of the transistor is read by the system board 150, so that an X-ray image may be obtained.

광원부(140)는 외부 케이스(110)의 내부 공간에서 엑스선 검출 패널(130)의 상측으로부터 엑스선 검출 패널(130)로 빛을 조사하도록 구성된다. 엑스선이 피사체를 거쳐 엑스선 검출 패널(130)에 조사되어 피사체에 대한 영상이 검출된 후, 도 2에 도시된 바와 같이, 광도전체(132)와 상부 전극(133)의 계면에 잔존 전하, 예컨대 잔존 전자(R)가 쌓여있게 된다. 이때, 광원부(140)로부터 광도전체(132)에 빛이 조사되면, 광도전체(132) 내에서는 빛에 의해 발생된 전자(E)와 정공(H) 중 정공(H)이 잔존 전자(R)와 결합됨으로써, 잔존 전자(R)가 완전히 제거될 수 있다. 이에 따라, 엑스선 검출 패널(130)은 새로운 영상을 검출하기 위해 리셋될 수 있다.The light source unit 140 is configured to radiate light from the upper side of the X-ray detection panel 130 to the X-ray detection panel 130 in the inner space of the outer case 110. After the X-rays are irradiated to the X-ray detection panel 130 through the subject to detect an image of the subject, as shown in FIG. 2, residual charges, for example, remain at the interface between the photoconductor 132 and the upper electrode 133. Electrons (R) will accumulate. At this time, when light is irradiated from the light source unit 140 to the photoconductor 132, the hole H among the electrons E and holes H generated by the light remains in the photoconductor 132. By being combined with, the remaining electrons R can be completely removed. Accordingly, the X-ray detection panel 130 may be reset to detect a new image.

전술한 바와 같이, 광원부(140)로부터 조사된 빛은 엑스선 검출 패널(130)의 상측으로부터 광도전체(132) 내로 진입하게 되므로, 픽셀회로기판(131)의 트렌지스터를 거치지 않게 된다. 따라서, 트랜지스터가 빛에 반응하여 전류를 발생시키는 물질, 예컨대 a-Si(비정질 실리콘)로 이루어지더라도, 리셋 과정에서 트렌지스터에 의한 불필요한 전류성분이 발생되지 않게 된다. 따라서, 엑스선 영상의 품질이 확보될 수 있다. As described above, the light irradiated from the light source unit 140 enters the photoconductor 132 from the upper side of the X-ray detection panel 130 and thus does not pass through the transistor of the pixel circuit board 131. Therefore, even if the transistor is made of a material that generates a current in response to light, such as a-Si (amorphous silicon), unnecessary current components by the transistor are not generated during the reset process. Therefore, the quality of the X-ray image may be secured.

또한, 픽셀회로기판(131)이 투명 기판 상에 TFT가 형성된 구조가 아닌, 불투명한 기판에 CMOS 트랜지스터 등이 형성된 구조인 경우에도, 광원부(140)로부터 조사된 빛이 광도전체(132) 내로 원활히 진입되어 광도전체(132) 내의 잔존 전하를 제거할 수 있게 된다. In addition, even when the pixel circuit board 131 is not a structure in which a TFT is formed on a transparent substrate, but a structure in which a CMOS transistor or the like is formed on an opaque substrate, light emitted from the light source unit 140 smoothly flows into the photoconductor 132. It can be entered to remove the remaining charge in the photoconductor 132.

시스템 보드(150)는 외부 케이스(110)의 내부 공간에서 엑스선 검출 패널(130)의 하측에 배치된다. 시스템 보드(150)는 엑스선 검출 패널(130)과 전기적으로 연결된다. 엑스선이 피사체를 거쳐 엑스선 검출 패널(130)로 조사될 때, 시스템 보드(150)는 엑스선 검출 패널(130)로 전원을 공급해서 피사체에 대한 영상 신호가 출력될 수 있게 제어한다. 그리고, 시스템 보드(150)는 엑스선 검출 패널(130)로부터 출력되는 영상 신호를 입력 받아 신호 처리함으로써, 엑스선 영상을 획득할 수 있다. 그리고, 시스템 보드(150)는 광원부(140)와 전기적으로 연결된다. 시스템 보드(150)는 피사체에 대한 영상이 검출된 후, 광원부(140), 즉 선 광원(linear light source, 141)에 전원을 공급해서 선 광원(141)으로부터 빛이 조사될 수 있게 제어할 수 있다. The system board 150 is disposed under the X-ray detection panel 130 in the inner space of the outer case 110. The system board 150 is electrically connected to the X-ray detection panel 130. When X-rays are irradiated to the X-ray detection panel 130 through the subject, the system board 150 supplies power to the X-ray detection panel 130 to control the output of the image signal for the subject. The system board 150 may receive an image signal output from the X-ray detection panel 130 and process a signal to acquire an X-ray image. In addition, the system board 150 is electrically connected to the light source unit 140. After the image of the subject is detected, the system board 150 may supply power to the light source unit 140, that is, the linear light source 141 to control the light from the line light source 141. have.

한편, 도 1과 함께 도 3을 참조하면, 광원부(140)는 선 광원(141)과, 반사막(142), 및 확산막(143)을 포함할 수 있다. 선 광원(141)은 엑스선 검출 패널(130)의 상측 가장자리 영역에 적어도 하나 이상으로 배치된다. 즉, 선 광원(141)은 엑스선을 조사받는 엑스선 검출 패널(130)의 상부 면을 가리지 않게 배치된다. 선 광원(141)이 2개로 구비되는 경우, 엑스선 검출 패널(130)의 상측에서 엑스선 검출 패널(130)의 양측 가장자리에 하나씩 대응되어 배치될 수 있다. 선 광원(141)은 엑스선 검출 패널(130)의 가장자리 길이에 상응하는 길이로 이루어질 수 있다. Meanwhile, referring to FIG. 3 along with FIG. 1, the light source unit 140 may include a line light source 141, a reflective film 142, and a diffusion film 143. The line light source 141 is disposed in at least one of the upper edge regions of the X-ray detection panel 130. That is, the line light source 141 is disposed so as not to cover the upper surface of the X-ray detection panel 130 that receives X-rays. When two line light sources 141 are provided, the line light sources 141 may be disposed to correspond to the edges of both sides of the X-ray detection panel 130 at an upper side of the X-ray detection panel 130. The line light source 141 may have a length corresponding to the edge length of the X-ray detection panel 130.

반사막(142)은 커버(120)의 하부 면에 형성된다. 확산막(143)은 반사막(142)의 하부에 적층된다. 반사막(142)은 선 광원(141)으로부터 발산된 빛을 엑스선 검출 패널(130)의 상부 면으로 반사시킨다. 확산막(143)은 반사막(142)에 의해 반사된 빛을 확산시켜, 엑스선 검출 패널(130)의 상부 면에 고르게 전달시킨다. 확산막(143)은 빛을 확산시킬 수 있는 범주에서 다양한 패턴으로 형성될 수 있다. 반사막(142) 및 확산막(143)은 전자빔 증착(E-beam Evaporation), 열증착(Thermal Evaporation) 방식, 필름 열접착 방식, 필름 인쇄방식, 스프레이 방식 도장 방식, 롤투롤(Roll to Roll) 방식 등의 다양한 방식으로 형성될 수 있다. 그리고, 반사막(142) 및 확산막(143)의 각 두께는 10㎚ ~ 수십㎜까지 가능하다.The reflective film 142 is formed on the lower surface of the cover 120. The diffusion film 143 is stacked below the reflective film 142. The reflective film 142 reflects the light emitted from the line light source 141 to the upper surface of the X-ray detection panel 130. The diffusion film 143 diffuses the light reflected by the reflective film 142 and evenly transmits the light to the upper surface of the X-ray detection panel 130. The diffusion film 143 may be formed in various patterns in a range capable of diffusing light. The reflective film 142 and the diffusion film 143 have an E-beam Evaporation, Thermal Evaporation method, film thermal bonding method, film printing method, spray method coating method, roll to roll method It may be formed in a variety of ways. The thicknesses of the reflective film 142 and the diffusion film 143 can be from 10 nm to several tens of mm.

선 광원(141)에는 반사 부재(144)가 설치될 수 있다. 반사 부재(144)는 대략 반원 형태의 단면적을 갖고 선 광원(141)의 길이 방향을 따라 연장된 구조로 이루어질 수 있다. 반사 부재(144)는 오목한 면이 선 광원(141)과 일정 간격으로 이격되어 마주하고, 선 광원(141)보다 케이스(110)의 내측벽에 가깝게 위치될 수 있다. 이에 따라, 반사 부재(144)는 선 광원(141)으로부터 발산된 빛을 커버(120)의 하부 면과 엑스선 검출 패널(130)의 상부 면 쪽으로 반사시킬 수 있다.The reflective member 144 may be installed in the line light source 141. The reflective member 144 may have a substantially semicircular cross-sectional area and have a structure extending along the length direction of the line light source 141. The reflective member 144 may face the concave surface spaced apart from the line light source 141 at regular intervals, and may be located closer to the inner wall of the case 110 than the line light source 141. Accordingly, the reflective member 144 may reflect the light emitted from the line light source 141 toward the lower surface of the cover 120 and the upper surface of the X-ray detection panel 130.

전술한 구성의 광원부(140)는 선 광원(141)이 엑스선 검출 패널(130)의 상측에서 엑스선 검출 패널(130)의 가장자리에 배치되고, 반사막(142)과 확산막(143)이 커버(120)의 하부 면에 박막으로 형성되므로, 광원부(140)의 배치와 고정을 위한 구조가 단순해질 수 있고, 엑스선 검출장치(100)를 슬림형으로 제조하는데 유리할 수 있다. In the light source unit 140 having the above-described configuration, the line light source 141 is disposed on the edge of the X-ray detection panel 130 above the X-ray detection panel 130, and the reflective film 142 and the diffusion film 143 are covered by the cover 120. Since the bottom surface is formed of a thin film, the structure for positioning and fixing the light source unit 140 may be simplified, and may be advantageous for manufacturing the X-ray detection apparatus 100 in a slim shape.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation and that those skilled in the art will recognize that various modifications and equivalent arrangements may be made therein. It will be possible. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.

110..외부 케이스 120..커버
130..엑스선 검출 패널 131..픽셀회로기판
132..광도전체 133..상부 전극
140..광원부 141..선 광원
142..반사막 143..확산막
144..반사 부재 150..시스템 보드
110. Outer case 120. Cover
130 X-ray detection panel 131 Pixel circuit board
132.Photoconductor 133.Top electrode
140. Light source 141. Line light source
142..Reflective film 143..Diffusion film
144. Reflective member 150. System board

Claims (5)

내부 공간을 갖고 상부가 개구된 외부 케이스;
상기 외부 케이스의 상부 개구를 덮는 커버;
상기 외부 케이스의 내부 공간에서 상기 커버와 마주하게 배치된 픽셀회로기판과, 상기 픽셀회로기판의 상부에 형성된 광도전체, 및 상기 광도전체의 상부에 형성된 상부 전극을 구비한 엑스선 검출 패널;
상기 외부 케이스의 내부 공간에서 상기 엑스선 검출 패널의 상측으로부터 상기 엑스선 검출 패널로 빛을 조사하는 것으로, 상기 엑스선 검출 패널의 상측 가장자리 영역에 적어도 하나 이상으로 배치된 선 광원과, 상기 선 광원으로부터 발산된 빛을 상기 커버의 하부 면과 엑스선 검출 패널의 상부 면 쪽으로 반사시키는 반사 부재와, 상기 커버의 하부 면에 형성된 반사막, 및 상기 반사막의 하부에 적층된 확산막을 포함하는 광원부; 및
상기 외부 케이스의 내부 공간에서 상기 엑스선 검출 패널의 하측에 배치되며, 상기 엑스선 검출 패널 및 상기 광원부와 전기적으로 연결되는 시스템 보드;
를 포함하는 디지털 엑스선 검출장치.
An outer case having an inner space and an upper portion opened;
A cover covering an upper opening of the outer case;
An X-ray detection panel including a pixel circuit board disposed to face the cover in an inner space of the outer case, a photoconductor formed on the pixel circuit board, and an upper electrode formed on the photoconductor;
Irradiating light from the upper side of the X-ray detection panel to the X-ray detection panel in an inner space of the outer case, the light source being at least one disposed in an upper edge region of the X-ray detection panel, and emitted from the line light source. A light source unit including a reflection member reflecting light toward the lower surface of the cover and the upper surface of the X-ray detection panel, a reflection film formed on the lower surface of the cover, and a diffusion film stacked below the reflection film; And
A system board disposed under the X-ray detection panel in an inner space of the outer case and electrically connected to the X-ray detection panel and the light source unit;
Digital X-ray detection apparatus comprising a.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 픽셀회로기판은,
불투명한 베이스 기판과,
상기 베이스 기판 상에 CMOS(complementary metal-oxide semiconductor) 트랜지스터, NMOS(N-channel metal oxide semiconductor) 트랜지스터, PMOS(P-channel metal oxide semiconductor), 접합형 트랜지스터(Bipolar Junction transistor) 중 선택된 어느 하나를 포함하여 각 픽셀회로를 구성하는 픽셀 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 엑스선 검출장치.
The method of claim 1,
The pixel circuit board,
An opaque base substrate,
Comprising any one of a complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) transistor, an N-channel metal oxide semiconductor (NMOS) transistor, a P-channel metal oxide semiconductor (PMOS), a bipolar junction transistor (BMOS) transistor on the base substrate And a pixel array constituting each pixel circuit.
제1항에 있어서,
상기 상부 전극은 투과성을 갖는 전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 디지털 엑스선 검출장치.
The method of claim 1,
The upper electrode is a digital X-ray detection apparatus, characterized in that consisting of a transparent electrode.
제1항에 있어서,
상기 광도전체는 a-Se, a-Si, crystal Si, CdTe, CdZnTe, As2S3, Sb2S3, As2Se3, Sb2Se3, ZnO, ZnSe, ZnTe, PbO, CdS, GaAs 중 선택된 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 디지털 엑스선 검출장치.
The method of claim 1,
The photoconductor is a-Se, a-Si, crystal Si, CdTe, CdZnTe, As 2 S 3 , Sb 2 S 3 , As 2 Se 3 , Sb 2 Se 3 , ZnO, ZnSe, ZnTe, PbO, CdS, GaAs Digital X-ray detection apparatus, characterized in that formed in any one selected.
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