KR101363558B1 - Apparatus of non-contact mass measurement - Google Patents

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KR101363558B1
KR101363558B1 KR1020120106052A KR20120106052A KR101363558B1 KR 101363558 B1 KR101363558 B1 KR 101363558B1 KR 1020120106052 A KR1020120106052 A KR 1020120106052A KR 20120106052 A KR20120106052 A KR 20120106052A KR 101363558 B1 KR101363558 B1 KR 101363558B1
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electromagnet
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노명규
유승열
최정규
정진홍
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충남대학교산학협력단
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Abstract

Disclosed is a contactless mass measuring device for measuring current values consumed when the displacement of a levitation member is corrected depending on the load applied in a magnetic levitated contactless state and converting the current values to mass. The present invention comprises: the levitation member having a cross-shaped cross section; a pair of permanent magnets of which one is installed on the top of a vertical part and the other is separated therefrom so that the levitation member can be levitated; horizontal electromagnets for radially supplying suction force from the axial center of the vertical part to guide the levitation member; an axis sensor for detecting whether or not the center of the vertical part matches with the center of the horizontal electromagnets; and ring-shaped vertical electromagnets for supplying the suction force in the vertical direction of a horizontal part to control the vertical position of the levitation member; a height sensor for detecting whether or not the horizontal part is positioned at the center between the vertical electromagnets; a control part connected to the height sensor to output the current to the vertical electromagnets so that the horizontal part can be returned to the original position when not positioned at the center between the vertical electromagnets; and a calculation part for measuring the current values outputted from the control part through a current sensor and converting the current values to the mass of a sample. [Reference numerals] (100) Levitation member; (201,202) Permanent magnets; (300) Holding member; (400) Horizontal electromagnets; (500) Vertical electromagnets; (910) Axis sensor; (920) Height sensor; (930) Control part; (940) Calculation part; (950) Power supply unit

Description

비접촉 질량 측정장치{apparatus of non-contact mass measurement}Apparatus of non-contact mass measurement

본 발명은 비접촉 질량 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기부상된 비접촉 상태에서 가해진 하중에 따른 부상부재의 변위를 보상하는 데 소요된 전류값을 측정하여 질량을 환산하는 비접촉 질량 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a non-contact mass measurement device, and more particularly to a non-contact mass measurement device for converting the mass by measuring the current value required to compensate for the displacement of the floating member according to the load applied in the magnetic injuries non-contact state will be.

일반적으로, 하중 측정은 스트레인 게이지를 이용한 측정이 일반적이었다. 스트레인 게이지를 이용한 하중측정은 하중이 가해질 때 탄성체의 변형에 상응하여 변형되는 스트레인 게이지의 변형을 측정하는 방식이다. 이와 같은 초기의 하중 측정 방식은 접촉식으로 수행되어 정밀하지 못할 뿐만 아니라 여러번 측정을 하게 되면 특성이 변경되는 문제점이 있었다.In general, load measurement was generally performed using a strain gauge. Load measurement using a strain gauge is a method of measuring the strain of the strain gauge that is deformed to correspond to the deformation of the elastic body when a load is applied. This initial load measurement method is not only accurate by the contact method, but also had a problem that the characteristics are changed after several measurements.

스트레인 게이지에 의한 접촉식 하중 측정 방식의 문제점을 해결하기 위해 비접촉 하중 측정 장치가 제안되었다. 비접촉 하중 측정 방식은 탄성체와 결합된 스트레인 게이지의 변형량을 측정하지 않고 탄성체의 변위를 전자기적인 유도 현상을 이용하여 비접촉으로 측정하는 방식이다.In order to solve the problem of the contact load measuring method by the strain gauge, a non-contact load measuring device has been proposed. The non-contact load measuring method is a method of measuring the displacement of the elastic body in a non-contact manner using an electromagnetic induction phenomenon without measuring the deformation amount of the strain gauge coupled to the elastic body.

이와 같은 비접촉 하중 측정 방식은 종래의 스트레인 게이지 방식에 비해 높은 정밀도를 가질 수 있고 오랜 사용에도 동일한 특성을 유지할 수 있는 장점이 있기는 하나 하중 측정 장치의 정밀도는 여전히 탄성체의 민감도에 의존적일 수 밖에 없었다.Although the non-contact load measuring method can have a higher precision than the conventional strain gauge method and can maintain the same characteristics even for a long time, the precision of the load measuring device is still dependent on the sensitivity of the elastic body. .

본 발명은 부상부재가 기울어지지 않도록 가이딩하는 수단을 구현하여 시료의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있어, 보다 정확한 질량 측정이 가능한 비접촉 질량 측정장치의 제공을 그 목적으로 한다.The present invention implements a means for guiding so that the floating member does not tilt, thereby minimizing distortion due to nonlinearity generated while the floating member is rotated or tilted in the process of measuring the mass of the sample, thereby allowing more accurate mass measurement. The object of the present invention is to provide a mass measuring device.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치는 원주형상의 수직부와, 상기 수직부의 외측에 수직하도록 원형으로 돌출 형성된 수평부를 포함하고, 강자성체로 이루어진 부상부재와, 상기 부상부재의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공하여 상기 부상부재가 부상하도록 상기 수직부의 상단과 그 상부에 이격하여 배치되는 한 쌍의 영구자석과, 질량 측정을 위해 시료가 거치되도록 상기 부상부재의 상단 또는 하단에 형성되는 거치부재와, 상기 수직부의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되고 축중심에 대해방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재를 가이딩하는 수평전자석과, 상기 수직부의 중심이 상기 수평전자석의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 축감지센서와, 상기 수평부의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재의 수직방향의 위치를 조절하는 환형의 수직전자석과, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지하는 높이감지센서와, 상기 높이감지센서와 연결되어, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석으로 전류를 출력하는 제어부와, 전류센서를 통해 상기 제어부에서 출력된 전류값을 측정하고, 시료의 질량을 환산하는 산출부를 포함한다.Non-contact mass measurement apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a vertical portion of the cylindrical shape, a horizontal portion protruding in a circular shape so as to be perpendicular to the outside of the vertical portion, a floating member made of a ferromagnetic material, A pair of permanent magnets spaced apart from the upper end and the upper part of the vertical part to provide a suction force in the axial direction to compensate the self-weight of the floating member, and the floating to allow the sample to be placed for mass measurement A mounting member formed at an upper end or a lower end of the member, a horizontal electromagnet disposed at an upper side and a lower side so as to surround the periphery of the vertical part, and providing a suction force radially with respect to the center of the shaft to guide the floating member; An axis detecting sensor for detecting whether a center coincides with a center of the horizontal electromagnet, and an upper portion of the horizontal part An annular vertical electromagnet disposed side by side in the upper part and providing suction in the vertical direction to adjust the position of the floating member in the vertical direction, and a height sensing sensor for detecting whether the horizontal part is located at the center between the vertical electromagnets; And a controller connected to the height sensor and outputting a current to the vertical electromagnet so as to return to a home position when the horizontal portion is not located at the center between the vertical electromagnets, and a current value output from the controller through a current sensor. It computes and includes the calculating part which converts the mass of a sample.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수평전자석은 중공의 가이드 링과, 상기 가이드링의 내측면에서 내측으로 돌출하여 연장되고, 방사형으로 배치된 코어와, 상기 코어에 권취되는 코일을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the horizontal electromagnet includes a hollow guide ring, a core extending radially from the inner surface of the guide ring, radially disposed, and a coil wound around the core.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수직전자석은 일측이 개구된 ‘ㄷ’자 형의 단면을 갖는 링부재와, 상기 링부재의 내측에 권취된 코일을 포함하고, 상기 개구부가 상호 마주보도록 배치된다.According to an embodiment of the present invention, the vertical electromagnet includes a ring member having a cross-section having a 'C' shape at one side thereof, and a coil wound inside the ring member, and the openings face each other. do.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재는 상기 수평부가 수직부의 중심부에 형성되어 십자형의 단면을 구비한다.According to one embodiment of the invention, the floating member is formed in the center of the vertical portion of the horizontal portion has a cross-shaped cross section.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재와 전자석들 사이에는 상기 부상부재의 형상과 대응되고, 부상부재와 소정의 간격을 형성하도록 부상부재보다 큰 체적을 갖는 비자성체의 격리막을 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the floating member and the electromagnet further include a non-magnetic separator corresponding to the shape of the floating member and having a volume larger than that of the floating member so as to form a predetermined gap with the floating member. .

본 발명에 따르면, 자기부상에 의해 비접촉 방식으로 제한된 공간에서 기계적 접촉 없이 질량을 측정하기 때문에, 진동을 최소화하고 정밀한 질량 측정이 가능하다.According to the present invention, since the mass is measured without mechanical contact in a limited space in a non-contact manner by magnetic levitation, vibration can be minimized and precise mass measurement is possible.

또한, 부상부재가 기울어지지 않도록 가이딩하는 수단을 구현하여 시료의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있어, 보다 정확한 질량 측정이 가능하다.In addition, by implementing a means for guiding so that the floating member is not inclined, it is possible to minimize the distortion caused by non-linearity caused by the rotation or inclination of the floating member in the process of measuring the mass of the sample, it is possible to measure the mass more accurately.

또, 부상부재와 전자석 사이에 비자성체로 이루어진 격리막을 형성하여 시료와 전자석을 공간적으로 분리하여 객관적이고, 균일한 환경조건에서 질량측정이 가능하다.In addition, a separator made of a nonmagnetic material is formed between the floating member and the electromagnet to spatially separate the sample and the electromagnet so that mass measurement can be performed under objective and uniform environmental conditions.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 블록선도,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 사시도,
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 단면도,
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 시료가 올려진 비접촉 질량 측정장치의 단면도이다.1 is a block diagram of a non-contact mass measurement device according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view of a non-contact mass measuring device according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view of a non-contact mass measuring device according to another embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view of a non-contact mass measurement device mounted with a sample according to another embodiment of the present invention.

본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components, and repeated descriptions and detailed descriptions of well-known functions and configurations that may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention will be omitted. Embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shapes and sizes of the elements in the drawings and the like can be exaggerated for clarity.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 블록선도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 시료가 올려진 비접촉 질량 측정장치의 단면도이다.1 is a block diagram of a non-contact mass measurement device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of a non-contact mass measurement device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 according to another embodiment of the present invention 4 is a cross-sectional view of a non-contact mass measurement device, and FIG. 4 is a cross-sectional view of a non-contact mass measurement device on which a sample according to another embodiment of the present invention is placed.

상기 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치는 원주형상의 수직부(110)와, 상기 수직부(110)와 수직하도록 외측에 원형으로 돌출 형성된 수평부(120)를 포함하고, 강자성체로 이루어진 부상부재(100)와, 상기 부상부재(100)의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공하여 상기 부상부재(100)가 부상하도록 상기 수직부(110)의 상단과 그 상부에 이격하여 배치되는 한 쌍의 영구자석(201,202)과, 질량 측정을 위해 시료(10)가 거치되도록 상기 부상부재(100)의 상단 또는 하단에 형성되는 거치부재(300)와, 상기 수직부(110)의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되고 축중심에 대해 방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)를 가이딩하는 수평전자석(400)과, 상기 수직부(110)의 중심이 상기 수평전자석(400)의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 축감지센서(910)와, 상기 수평부(120)의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)의 수직방향의 위치를 조절하는 환형의 수직전자석(500)과, 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지하는 높이감지센서(920)와, 상기 높이감지센서(920)와 연결되어, 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석(500)으로 전류를 출력하는 제어부(930)와, 전류센서를 통해 상기 제어부(930)에서 출력된 전류값을 측정하고, 시료(10)의 질량을 환산하는 산출부(940)를 포함한다.1 to 4, the non-contact mass measuring apparatus according to an embodiment of the present invention is a horizontal portion protruding in a circular shape on the outside so as to be perpendicular to the vertical portion 110 of the cylindrical shape, and the vertical portion 110 The vertical portion 110 including a portion 120, the floating member 100 made of a ferromagnetic material, and a suction force for compensating for the weight of the floating member 100 in the axial direction to the floating member 100 is floating. A pair of permanent magnets 201 and 202 spaced apart from the upper end and the upper part thereof, and the mounting member 300 formed at the upper or lower end of the floating member 100 so that the sample 10 is mounted for mass measurement. And a horizontal electromagnet 400 disposed at the top and bottom to surround the periphery of the vertical part 110 to provide the suction force radially with respect to the axial center to guide the floating member 100. The center of the 110 is the horizontal electromagnet 400 Axial sensor 910 for detecting whether or not coinciding with the shim, and arranged side by side on the upper and lower portions of the horizontal portion 120, providing a suction force in the vertical direction to the vertical position of the floating member 100 An annular vertical electromagnet 500 for controlling the height, the height sensor 920 for detecting whether the horizontal portion 120 is located in the center between the vertical electromagnet 500 and the height sensor 920 Is connected to, when the horizontal portion 120 is not located in the center between the vertical electromagnet 500, the control unit 930 for outputting a current to the vertical electromagnet 500 to return to the original position, and through the current sensor And a calculator 940 for measuring a current value output from the controller 930 and converting the mass of the sample 10.

먼저, 상기 부상부재(100)는 강자성체로 이뤄지고, 원주형상의 수직부(110)와, 상기 수직부(110)의 외측에 수직하도록 원형으로 돌출 형성된 수평부(120)를 포함한다. 따라서, 상기 부상부재(100)는 ‘T’자형 또는 ‘十’자형을 취할 수 있으며, 영구자석(201,202)에 의해 자기부상(magnetic levitation)하여 수평전자석(400) 및 수직전자석(500)과 비접촉 상태를 유지할 수 있다. 시료(10)의 질량을 측정하기 위해 상기 부상부재(100)의 하단에 시료(10)를 매달거나, 부상부재(100)의 상단에 시료(10)를 올려놓을 경우 시료(10)의 중량에 의해 부상부재(100)는 하강하여 수직방향에 대해 변위가 발생한다. First, the floating member 100 is made of a ferromagnetic material, and includes a vertical portion 110 of a circumferential shape, and a horizontal portion 120 protruding in a circle to be perpendicular to the outside of the vertical portion 110. Accordingly, the floating member 100 may have a 'T' shape or a '十' shape, and may be non-contacted with the horizontal electromagnet 400 and the vertical electromagnet 500 by magnetic levitation by the permanent magnets 201 and 202. State can be maintained. In order to measure the mass of the sample 10, the sample 10 is suspended from the bottom of the floating member 100, or when the sample 10 is placed on the top of the floating member 100, the weight of the sample 10 As a result, the floating member 100 descends and displacement occurs in the vertical direction.

영구자석(201,202)은 상기 부상부재(100)의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공함으로서 상기 부상부재(100)가 부상하도록 상기 수직부(110)의 상단과 그 상부에 이격하여 배치된다.The permanent magnets 201 and 202 are spaced apart from the upper end and the upper portion of the vertical part 110 so that the floating member 100 floats by providing a suction force for compensating the weight of the floating member 100 in the axial direction.

상기 영구자석(201)은 상기 부상부재(100)의 상단에 고정되고, 다른 하나의 영구자석(202)은 별도로 구비된 프레임(700)상에 고정될 수 있다. 상기 프레임(700)은 상기 영구자석(202)을 비롯하여, 수평전자석(400), 수직전자석(500) 및 센서들(910,920)이 고정될 수 있고, 내부 공간에는 상기 부상부재(100)가 수용될 수 있다. 한편, 상기 영구자석(201,202)은 흡인력 뿐 아니라 반발력을 발생하여 상기 부상부재(100)의 자중을 보상할 수 있다. 상기와 같이 반발력을 이용할 경우, 상기 영구자석은 상기 부상부재(100)의 하단과, 그 하부에 이격하여 배치될 수 있다. The permanent magnet 201 is fixed to the top of the floating member 100, the other permanent magnet 202 may be fixed on the frame 700 provided separately. The frame 700 may include the permanent magnet 202, a horizontal electromagnet 400, a vertical electromagnet 500, and sensors 910 and 920, and the floating member 100 may be accommodated in an internal space. Can be. On the other hand, the permanent magnets 201 and 202 may generate a repulsive force as well as a suction force to compensate for the weight of the floating member 100. When using the repulsive force as described above, the permanent magnet may be disposed spaced apart from the lower end of the floating member 100, the lower portion.

거치부재(300)는 질량 측정을 위해 시료(10)가 거치되도록 상기 부상부재(100)의 상단 또는 하단에 형성된다. 즉, 상기 시료(10)를 부상부재(100)의 어디에 거치하냐에 따라 거치부재(300)의 형태가 결정될 수 있다. 일례로, 상기 거치부재(300)는 부상부재(100)의 하단에 연결되는 와이어(310) 및 상기 와이어(310)의 단부에 고정되는 거치대(320)를 포함할 수 있으며, 상기 거치대(320)에 시료(10)를 올려 질량을 측정할 수 있다. 상기와 같은 경우 영구자석(201,202)은 부상부재(100)뿐 아니라 거치부재(300)의 중량까지 보상할 수 있어야 한다.The mounting member 300 is formed at the top or bottom of the floating member 100 so that the sample 10 is mounted for mass measurement. That is, the shape of the mounting member 300 may be determined according to where the sample 10 is mounted on the floating member 100. For example, the mounting member 300 may include a wire 310 connected to the lower end of the floating member 100 and a holder 320 fixed to an end of the wire 310, the holder 320 The mass 10 can be measured by placing the sample 10 thereon. In such a case, the permanent magnets 201 and 202 should be able to compensate not only the floating member 100 but also the weight of the mounting member 300.

수평전자석(400)은 링의 형태를 취할 수 있고, 상기 수직부(110)의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되며 축중심에 대해 방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)가 기울지 않도록 지지한다. 때문에, 상기 수직부(110)의 표면과, 상기 수직부(110)와 마주하는 수평전자석(400)의 내측은 서로 다른 극을 형성하여 흡인력을 생성할 수 있다. 상기 수평전자석(400)의 작용으로 부상부재(100)는 전후좌우로 흔들림 없이 부상된 상태를 유지할 수 있고, 안정적인 승강동작이 이루어질 수 있다. 한편 상기 수평전자석(400)은 흡인력 뿐 아니라 반발력을 발생하여 상기 부상부재(100)가 흔들리지 않도록 가이드할 수 있다. The horizontal electromagnet 400 may take the form of a ring, and is disposed at the top and the bottom to surround the periphery of the vertical part 110, and provides a suction force radially with respect to the center of the shaft so that the floating member 100 does not tilt. Support it. Therefore, the surface of the vertical portion 110 and the inner side of the horizontal electromagnet 400 facing the vertical portion 110 may form different poles to generate suction. By the action of the horizontal electromagnet 400, the floating member 100 can maintain the injured state without shaking back and forth, left and right, and stable lifting operation can be made. Meanwhile, the horizontal electromagnet 400 may generate a repulsive force as well as a suction force to guide the floating member 100 not to shake.

축감지센서(910)는 상기 수직부(110)의 중심이 상기 수평전자석(400)의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 방식으로 부상부재(100)의 기울어짐을 센싱한다. 따라서, 상기 축감지센서(910)가 상기 수직부(110)의 중심과 상기 수평전자석(400)의 중심이 어긋남을 감지할 경우, 중심을 바로 잡기 위해 제어부(930)에서 상기 수평전자석(400)의 코일로 전류를 출력해서 기울어진 반대방향의 흡인력을 높이도록 조절함에 따라, 수직부(110)의 중심과 수평전자석(400)의 중심이 일치하도록 제어할 수 있다. 상기와 같이 수직부(110)와 수평전자석(400)의 중심이 일치하게 되면, 시료(10)의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재(100)가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있다.The axis detecting sensor 910 senses the inclination of the floating member 100 in a manner of detecting whether the center of the vertical portion 110 coincides with the center of the horizontal electromagnet 400. Therefore, when the axis detecting sensor 910 detects a misalignment between the center of the vertical portion 110 and the center of the horizontal electromagnet 400, the horizontal electromagnet 400 is controlled by the controller 930 to correct the center. By outputting a current to the coil of the control to increase the suction force in the inclined opposite direction, it can be controlled to match the center of the vertical portion 110 and the center of the horizontal electromagnet 400. As described above, when the centers of the vertical parts 110 and the horizontal electromagnets 400 coincide with each other, the distortion due to nonlinearity generated while the floating member 100 is rotated or tilted in the process of measuring the mass of the sample 10 is minimized. can do.

수직전자석(500)은 상기 수평부(120)의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)의 수직방향의 위치를 조절한다. 상기 수직전자석(500)의 작용으로 부상부재(100)는 부상된 상태에서 흔들림 없이 승강할 수 있다. 즉, 상기 수평부(120)의 표면과, 상기 수평부(120)와 마주하는 수직전자석(500)의 일면은 서로 다른 극을 형성하여 흡인력을 생성한다. 한편 상기 수직전자석(500)은 흡인력 뿐 아니라 반발력을 발생하여 상기 부상부재(100)를 승강시킬 수 있다.The vertical electromagnet 500 is disposed in parallel with the upper and lower portions of the horizontal portion 120, and provides a suction force in the vertical direction to adjust the position of the vertical member of the floating member 100. By the action of the vertical electromagnet 500, the floating member 100 can be elevated without shaking in the injured state. That is, the surface of the horizontal portion 120 and one surface of the vertical electromagnet 500 facing the horizontal portion 120 form a different pole to generate a suction force. Meanwhile, the vertical electromagnet 500 may raise and lower the floating member 100 by generating a repulsive force as well as a suction force.

높이감지센서(920)는 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지한다. 즉, 시료(10)의 질량측정을 위해 상기 부상부재(100)의 하단에 시료(10)를 매달거나 상단에 시료(10)를 올려놓을 경우 시료(10)의 중량에 의해 부상부재(100)가 하강할 때, 이 변위를 감지하는 것이다. The height sensor 920 detects whether the horizontal portion 120 is located at the center between the vertical electromagnets 500. That is, in order to suspend the sample 10 at the lower end of the floating member 100 or to place the sample 10 at the upper end for the measurement of the mass of the sample 10, the floating member 100 is caused by the weight of the sample 10. When is falling, this displacement is detected.

제어부(930)는 상기 높이감지센서(920)와 연결되어, 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석(500)으로 전류를 출력한다. 상기 부상부재(100)와 연결된 거치대(320)에 시료(10)가 올려지면, 상기 부상부재(100)는 하강하게 되고, 그 결과 수평부(120)는 수직전자석(500)들 사이 중심에서 하강한다. 상기 제어부(930)는 상기 부상부재(100)를 하강된 변위를 측정하여 수직전자석(500)의 코일에 전류를 출력하고 흡입력을 높여 수평부(120)를 원래 위치로 복귀시키는 궤환제어(feedback control)를 시행한다. 참고로, 상기 제어부(930)는 상기 코일로 전류를 출력할 수 있도록 별도의 전원공급수단(950)과 연결될 수 있으며, 상기 전원공급수단은 외부전원일 수 있다.The control unit 930 is connected to the height sensor 920, when the horizontal portion 120 is not located in the center between the vertical electromagnets 500, the current to the vertical electromagnet 500 to return to the original position Output When the sample 10 is placed on the holder 320 connected to the floating member 100, the floating member 100 descends, and as a result, the horizontal portion 120 descends from the center between the vertical electromagnets 500. do. The control unit 930 measures the displacement of the floating member 100 to output a current to the coil of the vertical electromagnet 500 and to increase the suction force feedback control for returning the horizontal portion 120 to its original position (feedback control) ). For reference, the controller 930 may be connected to a separate power supply means 950 to output a current to the coil, the power supply means may be an external power source.

산출부(940)는 전류센서 등을 통해 상기 제어부(930)에서 궤환제어 시 출력된 전류값을 측정하고, 시료(10)의 질량을 환산한다. 제어부(930)를 통해 수직전자석(500)의 코일로 출력된 전류는 시료(10)의 질량과 직접적으로 관계가 있으므로, 전류 센서를 통해 소요된 전류를 측정하여 시료(10)의 질량을 환산할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 수직전자석(500)의 코일에 흐르는 전류는 시료(10)의 질량과 직접적 관계가 있으므로 질량 측정의 정밀도는 코일의 전류를 측정하는 전류센서에 의해 좌우된다고 할 수 있다. 따라서, 상기 전류센서는 높은 정밀도를 구비해야 할 필요가 있으며, 홀프로브 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기 전류센서의 측정 정밀도 향상을 위해 전류증폭기를 추가로 배치할 수 있다.The calculator 940 measures a current value output during the feedback control from the controller 930 through a current sensor and converts the mass of the sample 10. Since the current output from the coil of the vertical electromagnet 500 through the controller 930 is directly related to the mass of the sample 10, the mass of the sample 10 may be converted by measuring the current required by the current sensor. Can be. As described above, since the current flowing through the coil of the vertical electromagnet 500 is directly related to the mass of the sample 10, the accuracy of the mass measurement may be determined by the current sensor measuring the current of the coil. Therefore, the current sensor needs to have high precision, and a hole probe or the like can be used. In addition, a current amplifier may be further disposed to improve measurement accuracy of the current sensor.

상기 높이감지센서(920)와 제어부(930) 및 산출부(940)를 이용한 질량측정 과정을 설명하면 다음과 같다. 시료(10)의 질량을 측정할 때, 상기 시료(10)의 질량에 의해 부상부재(100)가 축 방향으로 하강하면 높이감지센서(920)가 이를 감지하고, 제어부(930)는 부상부재(100)가 원래 위치로 복귀하도록 수직전자석(500)의 코일에 전류를 출력하고, 전류센서를 통해 부상부재(100)를 상승시키는데 소요된 전류값을 측정한다. 산출부(940)에서는 상기 전류센서에서 측정된 전류값을 질량을 환산하여 시료(10)의 질량을 측정할 수 있다. Referring to the mass measurement process using the height sensor 920, the controller 930 and the calculator 940 as follows. When measuring the mass of the sample 10, if the floating member 100 is lowered in the axial direction by the mass of the sample 10, the height sensor 920 detects this, the control unit 930 is a floating member ( Output current to the coil of the vertical electromagnet 500 so that 100 returns to its original position, and measures the current value required to raise the floating member 100 through the current sensor. In the calculator 940, the mass of the sample 10 may be measured by converting mass into a current value measured by the current sensor.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수평전자석(400)은 중공의 가이드 링(410)과, 상기 가이드링(410)의 내측면에서 내측으로 돌출하여 연장되고, 방사형으로 배치된 코어(420)와, 상기 코어(420)에 권취되는 코일(430)을 포함할 수 있다. 상기와 같이 수직부(110)를 기준으로 방사형으로 배치된 코어(420) 및 코일(430)은 상기 수직부(110)에 대해 방사형으로 흡입력을 발생하도록 전류가 흐르고, 상기 방사형으로 고루 공급된 흡인력에 의해 상기 수직부(110)는 일직선을 유지하면서 부상상태를 유지하고, 수평부(120)의 승강을 가이딩할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the horizontal electromagnet 400 is a hollow guide ring 410, and protrudes inward from the inner surface of the guide ring 410, the core 420 disposed radially And a coil 430 wound around the core 420. As described above, the core 420 and the coil 430 disposed radially with respect to the vertical part 110 flow current so as to generate suction force radially with respect to the vertical part 110, and the suction force supplied evenly in the radial direction. By the vertical portion 110 maintains the floating state while maintaining a straight line, it is possible to guide the lifting of the horizontal portion 120.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수직전자석(500)은 일측이 개구된 ‘ㄷ’자 형의 단면을 갖는 링부재(510)와, 상기 링부재(510)의 내측에 권취된 코일(520)을 포함하고, 상기 개구부가 상호 마주보도록 배치된다. 상기 링부재(510)는 ‘U’, ‘ㄷ’자와 같이 용기형태의 단면을 구비하고, 일측에 개구부를 형성한다. 이때, 상기 링부재(510) 자체가 코어로서 작용한다. 상기링부재(510)에 권취된 코일(520)의 전류 방향에 따라 수직전자석(500)의 극성은 달라질 수 있다. 이때, 상기 수직전자석(500)은 마주보는 면이 서로 다른 극을 형성하여 상호 근접한 수평부(120)에 대해 흡인력을 발생할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the vertical electromagnet 500 has a ring member 510 having a cross-section of a 'c' shape with one side opened, and a coil 520 wound inside the ring member 510. ) And the openings face each other. The ring member 510 has a container-shaped cross section, such as 'U' and 'ㄷ', and forms an opening at one side. At this time, the ring member 510 itself serves as a core. The polarity of the vertical electromagnet 500 may vary according to the current direction of the coil 520 wound around the ring member 510. In this case, the vertical electromagnet 500 may generate suction with respect to the horizontal portion 120 which is adjacent to each other by forming the opposite poles facing each other.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재(100)는 상기 수평부(120)가 수직부(110)의 중심부에 형성되어 십자형의 단면을 구비한다. 상기와 같이 부상부재(100)의 단면이 십자형을 취할 경우 부상부재(100)의 상단과 하단이 수평전자석(400)에 의해 가이딩되기 때문에 일직선을 유지하기 쉽고, 축방향으로 기울어짐을 보다 예민하게 감지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the floating member 100 has the horizontal portion 120 is formed in the center of the vertical portion 110 has a cross-shaped cross section. As described above, when the cross section of the floating member 100 is cross-shaped, the upper and lower ends of the floating member 100 are guided by the horizontal electromagnet 400 so that it is easy to maintain a straight line and more sensitive to the inclination in the axial direction. It can be detected.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재(100)와 전자석(400,500)들 사이에는 상기 부상부재(100)의 외형과 대응되고, 부상부재(100)와 소정의 간격을 형성하도록 부상부재(100)보다 큰 체적을 갖는 비자성체의 격리막(600)을 더 포함한다. 상기 격리막(600)의 배치로 시료(10)가 위치한 공간과 전자석(400,500)과의 공간적 분리가 가능함에 따라 보다 안정되고, 일정한 상태조건에서 질량측정이 이루어질 수 있다. 또한, 보다 객관적이고, 정확한 질량측정이 이루어 지도록 상기 격리막(600)의 내부는 진공의 상태를 유지하거나, 항온, 항습 시스템을 구축할 수 있으며, 별도의 가스(gas)를 충진한 상태에서 질량을 측정할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, between the floating member 100 and the electromagnets 400 and 500 corresponds to the outer shape of the floating member 100, and the floating member 100 to form a predetermined interval with the floating member 100 ( It further comprises a non-magnetic separator 600 having a volume greater than 100). As the separation membrane 600 is disposed, spatial separation between the space in which the sample 10 is located and the electromagnets 400 and 500 may be more stable, and mass measurement may be performed under a constant state condition. In addition, to ensure a more objective and accurate mass measurement, the inside of the separator 600 may be maintained in a vacuum state, a constant temperature or a humidity system may be constructed, and the mass may be filled in a state in which a separate gas is filled. It can be measured.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 자기부상에 의해 비접촉 방식으로 제한된 공간에서 기계적 접촉 없이 질량을 측정하기 때문에, 진동을 최소화하고 정밀한 질량 측정이 가능하다. 또한, 부상부재(100)가 기울어지지 않도록 가이딩하는 수단을 구현하여 시료(10)의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재(100)가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있어, 보다 정확한 질량 측정이 가능한 장점이 있다.According to the present invention as described above, since the mass is measured without mechanical contact in a limited space in a non-contact manner by magnetic levitation, it is possible to minimize vibration and to measure the mass accurately. In addition, by implementing a means for guiding so that the floating member 100 is not inclined, it is possible to minimize the distortion caused by non-linearity generated while the floating member 100 is rotated or tilted in the process of measuring the mass of the sample 10 The advantage is that more accurate mass measurements can be made.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, substitutions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. will be. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical spirit of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by the embodiments and the accompanying drawings. . The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

10 : 시료
100 : 부상부재
110 : 수직부
120 : 수평부
201,202 : 영구자석
300 : 거치부재
400 : 수평전자석
410 : 가이드링
420 : 코어
430 : 코일
500 : 수직전자석
510 : 링부재
520 : 코일
600 : 격리막
910 : 축감지센서
920 : 높이감지센서
930 : 제어부
940 : 산출부10: sample
100: floating member
110: vertical part
120: horizontal section
201,202: Permanent magnet
300: mounting member
400: horizontal electromagnet
410: guide ring
420: Core
430 coil
500: vertical electromagnet
510: ring member
520: coil
600: separator
910: Axis detection sensor
920: height sensor
930: control unit
940: calculating unit

Claims (5)

원주형상의 수직부와, 상기 수직부의 외측에 수직하도록 원형으로 돌출 형성된 수평부를 포함하고, 강자성체로 이루어진 부상부재;
상기 부상부재의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공하여 상기 부상부재가 부상하도록 상기 수직부의 상단과 그 상부에 이격하여 배치되는 한 쌍의 영구자석;
질량 측정을 위해 시료가 거치되도록 상기 부상부재의 상단 또는 하단에 형성되는 거치부재;
상기 수직부의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되고 축중심에 대해방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재를 가이딩하는 수평전자석;
상기 수직부의 중심이 상기 수평전자석의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 축감지센서;
상기 수평부의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재의 수직방향의 위치를 조절하는 환형의 수직전자석;
상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지하는 높이감지센서;
상기 높이감지센서와 연결되어, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석으로 전류를 출력하는 제어부;
전류센서를 통해 상기 제어부에서 출력된 전류값을 측정하고, 시료의 질량을 환산하는 산출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.A floating member formed of a ferromagnetic material, the vertical portion having a circumferential shape and a horizontal portion protruding in a circular shape so as to be perpendicular to the outside of the vertical portion;
A pair of permanent magnets spaced apart from an upper end of the vertical portion and an upper portion thereof to provide a suction force for compensating a weight of the floating member in an axial direction so that the floating member floats;
Mounting member formed on the top or bottom of the floating member so that the sample is mounted for mass measurement;
A horizontal electromagnet disposed at an upper portion and a lower portion so as to surround a periphery of the vertical portion, the horizontal electromagnet guiding the floating member by providing a suction force radially with respect to an axial center;
An axis detecting sensor for detecting whether a center of the vertical portion coincides with a center of the horizontal electromagnet;
An annular vertical electromagnet disposed side by side at the top and the bottom of the horizontal part and providing a suction force in an up and down direction to adjust a position in the vertical direction of the floating member;
A height sensor for detecting whether the horizontal part is located at the center between the vertical electromagnets;
A control unit connected to the height sensor and outputting a current to the vertical electromagnet so as to return to the original position when the horizontal portion is not located at the center between the vertical electromagnets;
Non-contact mass measurement apparatus comprising a; measuring unit for measuring the current value output from the control unit through a current sensor, and converting the mass of the sample. 제 1항에 있어서, 상기 수평전자석은
중공의 가이드 링;
상기 가이드링의 내측면에서 내측으로 돌출하여 연장되고, 방사형으로 배치된 코어;
상기 코어에 권취되는 코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.The method of claim 1, wherein the horizontal electromagnet is
Hollow guide ring;
A core protruding inward from the inner side of the guide ring and disposed radially;
The coil wound around the core; Non-contact mass measurement apparatus comprising a. 제 1항에 있어서, 상기 수직전자석은
일측이 개구된 ‘ㄷ’자 형의 단면을 갖는 링부재;
상기 링부재의 내측에 권취된 코일;을 포함하고, 상기 개구부가 상호 마주보도록 배치된 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.The method of claim 1, wherein the vertical electromagnet is
A ring member having a cross-section of a 'c' shape having one side opened;
And a coil wound around the inside of the ring member, wherein the openings are arranged to face each other. 제 1항에 있어서,
상기 부상부재는 상기 수평부가 수직부의 중심부에 형성되어 십자형의 단면을 구비한 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.The method of claim 1,
The floating member is a non-contact mass measuring device, characterized in that the horizontal portion is formed in the center of the vertical portion has a cross-shaped cross section. 제 1항에 있어서,
상기 부상부재와 전자석들 사이에는 상기 부상부재의 형상과 대응되고, 부상부재와 소정의 간격을 형성하도록 부상부재보다 큰 체적을 갖는 비자성체의 격리막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.The method of claim 1,
Non-contact mass measuring device further comprises a non-magnetic separator between the floating member and the electromagnet corresponding to the shape of the floating member and having a volume larger than that of the floating member to form a predetermined gap with the floating member.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101440244B1 (en) * 2013-09-05 2014-09-17 한국항공우주연구원 Method and system for mass measuring under weightless conditions
KR101643914B1 (en) * 2015-09-17 2016-08-01 한국과학기술원 Apparatus and method for measuring weights with an optical cavity
KR101869345B1 (en) * 2017-06-12 2018-06-21 아주대학교산학협력단 Apparatus for measuring weight
KR20180134311A (en) * 2017-06-08 2018-12-18 이엠에스 기어 에스에 운트 코. 카케아아 Planetary gear assembly particularly for an electromechanical service brake or an electromechanical parking brake for a motor vehicle
CN113375888A (en) * 2021-04-29 2021-09-10 中国航天空气动力技术研究院 Electromagnetic suspension force measuring device and method for dynamic and static pneumatic load separation measurement

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005127858A (en) 2003-10-23 2005-05-19 Toshiba Corp Basic weight apparatus
KR100815001B1 (en) 2004-05-11 2008-03-18 도시바 엘리베이터 가부시키가이샤 Magnet unit and elevator guiding apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005127858A (en) 2003-10-23 2005-05-19 Toshiba Corp Basic weight apparatus
KR100815001B1 (en) 2004-05-11 2008-03-18 도시바 엘리베이터 가부시키가이샤 Magnet unit and elevator guiding apparatus

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101440244B1 (en) * 2013-09-05 2014-09-17 한국항공우주연구원 Method and system for mass measuring under weightless conditions
KR101643914B1 (en) * 2015-09-17 2016-08-01 한국과학기술원 Apparatus and method for measuring weights with an optical cavity
KR20180134311A (en) * 2017-06-08 2018-12-18 이엠에스 기어 에스에 운트 코. 카케아아 Planetary gear assembly particularly for an electromechanical service brake or an electromechanical parking brake for a motor vehicle
KR102154546B1 (en) * 2017-06-08 2020-09-15 이엠에스 기어 에스에 운트 코. 카케아아 Planetary gear assembly particularly for an electromechanical service brake or an electromechanical parking brake for a motor vehicle
US10906517B2 (en) 2017-06-08 2021-02-02 Ims Gear Se & Co. Kgaa Planetary gear arrangement particularly for an electromechanical service brake or an electromechanical parking brake for a motor vehicle
KR101869345B1 (en) * 2017-06-12 2018-06-21 아주대학교산학협력단 Apparatus for measuring weight
CN113375888A (en) * 2021-04-29 2021-09-10 中国航天空气动力技术研究院 Electromagnetic suspension force measuring device and method for dynamic and static pneumatic load separation measurement

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