KR101348629B1 - Masking tape peeling jig - Google Patents

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KR101348629B1 KR1020130058318A KR20130058318A KR101348629B1 KR 101348629 B1 KR101348629 B1 KR 101348629B1 KR 1020130058318 A KR1020130058318 A KR 1020130058318A KR 20130058318 A KR20130058318 A KR 20130058318A KR 101348629 B1 KR101348629 B1 KR 101348629B1
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masking tape
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김기춘
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김기춘
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Abstract

A jig for peeling a masking tape is disclosed. The disclosed jig for peeling a masking tape comprises; a base plate; a vertical plate which stands to be at right angles to the base plate; a winding roll which is arranged on one side of the vertical plate to be able to rotate and is formed into a cantilever shape in which a masking tape attaching a release paper is wound as a roll shape; a guide roll which is arranged on the upper side of the winding roll of the vertical plate to be able to rotate and horizontally guides the masking tape which is unwound from the winding roll; an re-winding roll which is arranged on the position which is in line with the guide roll of the vertical plate to be able to rotate; and a driving motor which rotates the re-winding roll. The masking tape in which the release paper is eliminated is wound around the re-winding roll. A finishing nut is coupled with an axis end part of the winding roll which passing through the vertical plate at the other side of the vertical plate. A tension spring is placed between the finishing nut and the vertical plate. Therefore, the winding roll is not separated from the vertical plate in the rotation of the winding roll.

Description

마스킹 테이프 박피용 지그{Masking tape peeling jig}Masking tape peeling jig

본 발명은 커팅장치의 전반부에 위치하는 마스킹 테이프 박피용 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a masking tape peeling jig located in the first half of the cutting device.

더 상세하게는 마스킹 테이프의 이형지를 수작업에 의해 분리하였던 점을 해소하기 위해 이형지가 분리되기 전의 마스킹 테이프를 와인딩롤에 장착하고, 모터에 의해 회전되는 리와인딩롤에 이형지가 분리된 마스킹 테이프를 감아서 회수할 수 있도록 한 마스킹 테이프 박피용 지그에 관한 것이다.
More specifically, in order to eliminate the separation of the release paper of the masking tape by hand, the masking tape before the release paper is separated is mounted on the winding roll, and the masking tape on which the release paper is separated is wound on a rewinding roll rotated by a motor. The present invention relates to a masking tape peeling jig that can be recovered.

마스킹 테이프는 여러 제조업 분야에서 폭 넓게 활용되고 있다. 예컨대, 반도체 웨이퍼의 제조에 있어서는, 알루미늄 패드와 배선 와이어의 밀착성 향상, 땜납 볼을 탑재할 때의 밀착성 향상, 땜납 확산 방지 등의 목적에서, 웨이퍼의 편면에 니켈이나 금 등으로 이루어지는 금속막 (배리어 메탈)을 형성한다. 이와 같은 배리어 메탈은, 스퍼터 등의 드라이 처리법에 의해 형성되고 있었다.Masking tapes are widely used in many manufacturing sectors. For example, in the manufacture of a semiconductor wafer, a metal film (barrier) made of nickel, gold, or the like on one side of the wafer for the purpose of improving the adhesion between the aluminum pad and the wiring wire, improving the adhesion when mounting the solder balls, and preventing solder diffusion. Metal). Such a barrier metal was formed by dry processing methods, such as a sputter | spatter.

최근, 반도체 디바이스에 대하여 보다 높은 신뢰성이 요구되게 되었기 때문에, 배리어 메탈을 두껍게 할 것이 요구되게 되었다. 그러나, 종래의 드라이 처리법에 의해 두꺼운 배리어 메탈을 형성하기 위해서는, 비용면이나 작업 효율면에서 문제가 있었다. 그래서, 보다 간편하게 두꺼운 배리어 메탈을 형성할 수 있는 웨트In recent years, since higher reliability is required for semiconductor devices, thickening of the barrier metal has been required. However, in order to form a thick barrier metal by the conventional dry processing method, there existed a problem in terms of cost and work efficiency. Thus, wet can easily form a thick barrier metal

처리법이 검토되게 되었다. 대표적인 웨트 처리법으로는, 무전해 도금법이나 전해 도금법 등의 도금법을 들 수 있다. 도금법에 의하면, 비교적 두꺼운 배리어 메탈을 용이하게 형성할 수 있다. 그러나, 도금법에서는 웨이퍼의 전체를 도금욕에 침지하는 공정이 필수가 된다. 이 침지 공정에 의해, 웨이퍼의 타방의 면이 도금액으로 오염되어 버리거나, 경우에 따라서는 웨이퍼의 타방의 면에까지 도금이 실시되어 버리는 경우가 있어, 수율 저하의 원인이 되고 있었다.The treatment has been reviewed. As a typical wet processing method, plating methods, such as an electroless plating method and an electrolytic plating method, are mentioned. According to the plating method, a relatively thick barrier metal can be easily formed. However, in the plating method, a step of immersing the entire wafer in the plating bath becomes essential. By this immersion step, the other side of the wafer may be contaminated with the plating liquid, or in some cases, plating may be applied to the other side of the wafer, causing a decrease in yield.

도금액과의 접촉을 방지하고자 하는 면을 보호하는 방법으로는, 레지스트법이 제안되어 있다. 즉, 도금 공정 전에, 미리 웨이퍼의 편면에 액상 레지스트를 스핀 코트 등에 의해 피복하고, 그 레지스트를 경화시켜 둠으로써, 웨이퍼의 편면을 확실하게 보호할 수 있다. 그러나, 도금 처리 후에 레지스트를 완전하게 제거하기 위해서는, 용제 등을 사용한 번잡한 레지스트 제거 공정이 필요해진다는 문제가 있었다.As a method of protecting the surface to prevent contact with the plating liquid, a resist method has been proposed. That is, before the plating step, the liquid resist is coated on one side of the wafer by spin coating or the like, and the resist is cured to reliably protect the one side of the wafer. However, in order to remove a resist completely after a plating process, there existed a problem that a complicated resist removal process using a solvent etc. was needed.

하여, 최근에는 마스킹 테이프에 의해 웨이퍼의 표면을 보호하는 기술이 보편화 되어 있다. 통상의 마스킹 테이프는 대상물에 부착하기 위한 부착면을 가지고 있으며, 그 부착면 상에는 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해 이형지가 접착되어 있다.In recent years, the technique of protecting the surface of a wafer with a masking tape is common. A typical masking tape has an attaching surface for attaching to an object, and release paper is adhered to the attaching surface to prevent foreign matter from adhering.

기존에는 마스킹 테이프에 부착된 이형지를 떼어낼 때 일일이 수작업에의해이루어졌으므로 박피작업에 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 박피된 마스킹 테이프를 회수하기 위한 작업 등을 감안해야 하므로 작업이 번거롭다는 단점이 있었다.
In the past, since the release paper attached to the masking tape was removed by manual labor, it was not only time-consuming for the peeling work but also had to take into account the work for recovering the peeled masking tape.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 본 발명의 주요 목적은 마스킹 테이프의 이형지를 수작업에 의해 분리하였던 점을 해소하기 위해 이형지가 분리되기 전의 마스킹 테이프를 와인딩롤에 장착하고, 모터에 의해 회전되는 리와인딩롤에 이형지가 분리된 마스킹 테이프를 감아서 회수할 수 있도록 한 마스킹 테이프 박피용 지그를 제공함에 있다.
The present invention has been proposed to solve the above conventional problems, the main object of the present invention is to install the masking tape before the release paper is separated on the winding roll to eliminate the separation of the release paper of the masking tape by hand. In addition, the present invention provides a masking tape peeling jig for retrieving and recovering a masking tape from which release paper is separated on a rewinding roll rotated by a motor.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, According to an aspect of the present invention,

베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 수직상으로 직교하게 기립 설치되는 수직 플레이트; 상기 수직 플레이트의 일면에 회전 가능하게 배치되며, 이형지가 부착된 마스킹 테이프가 롤 상으로 와인딩 되는 외팔보 형태의 와인딩 롤; 상기 수직 플레이트의 상기 와인딩 롤 상측에 회전 가능하게 배치되어, 상기 와인딩 롤에서 풀려 나오는 마스킹 테이프를 수평으로 가이드 하는 가이드 롤; 상기 수직 플레이트의 상기 가이드 롤과 수평되는 위치에 회전 가능하게 배치되며, 이형지가 제거된 마스킹 테이프가 와인딩되는 리와인딩 롤; 및 상기 리와인딩 롤을 회전시켜주는 구동모터;를 포함하되,A base plate; A vertical plate vertically orthogonally installed perpendicular to the base plate; A cantilever-shaped winding roll rotatably disposed on one surface of the vertical plate, the masking tape to which a release paper is attached is wound onto a roll; A guide roll rotatably disposed on an upper side of the winding roll of the vertical plate to guide horizontally the masking tape released from the winding roll; A rewinding roll rotatably disposed at a position parallel to the guide roll of the vertical plate, on which a masking tape from which release paper is removed is wound; And a driving motor for rotating the rewinding roll.

상기 수직 플레이트의 타면에는 상기 수직 플레이트를 관통하고 있는 와인딩 롤의 축 말단에 마감너트를 체결하고, 마감너트와 수직 플레이트 사이에 인장스프링을 개입하여 상기 와인딩 롤의 회전시 수직 플레이트로부터 이탈되지 않도록 한 것을 특징으로 하는 마스킹 테이프 박피용 지그를 제공함에 있다.The other side of the vertical plate is fastened to the end nut of the shaft end of the winding roll passing through the vertical plate, and through the tension spring between the closing nut and the vertical plate so as not to be separated from the vertical plate during rotation of the winding roll. The present invention provides a masking tape peeling jig.

또한, 본 발명은, 상기 와인딩 롤, 가이드 롤 및 리와인딩 롤의 각 축은 금속재로 되고, 상기 마스킹 테이프와 접촉되는 부위는 합성수지로 된 것을 특징으로 한다.
In addition, the present invention is characterized in that each axis of the winding roll, the guide roll and the rewinding roll is made of a metal material, and a portion in contact with the masking tape is made of a synthetic resin.

이상의 본 발명은 마스킹 테이프의 이형지를 수작업에 의해 분리하였던 기존의 문제점을 해소하기 위해 이형지가 분리되기 전의 마스킹 테이프를 와인딩롤에 장착하고, 모터에 의해 회전되는 리와인딩롤에 이형지가 분리된 마스킹 테이프를 자동으로 감아서 회수할 수 있도록 함으로써 박피작업을 용이하게 할 수 있고, 박피작업시간을 현저히 단축할 수 있다.
In order to solve the conventional problem of separating the release paper of the masking tape by hand, the present invention is equipped with a masking tape before the release paper is separated on the winding roll, and the release paper is separated on the rewinding roll rotated by a motor. By automatically winding and recovering, the peeling work can be facilitated, and the peeling work time can be significantly shortened.

도 1은 본 발명에 따른 마스킹 테이프 박피용 지그의 사시도이다.
도 2는 도 1을 A방향에서 본 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 마스킹 테이프 박피용 지그의 사용 상태도이다.1 is a perspective view of a masking tape peeling jig according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of FIG. 1 viewed in the A direction. FIG.
3 is a state diagram of use of the masking tape peeling jig according to the present invention.

여기서 사용되는 전문 용어는 단지 특정 실시 예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는 "의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to limit the invention. The singular forms as used herein include plural forms as long as the phrases do not expressly express the opposite meaning thereto. Means that a particular feature, region, integer, step, operation, element and / or component is specified, and that other specific features, regions, integers, steps, operations, elements, components, and / And the like.

다르게 정의하지는 않았지만, 여기에 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 보통 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms including technical and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Commonly used predefined terms are further interpreted as having a meaning consistent with the relevant technical literature and the present disclosure, and are not to be construed as ideal or very formal meanings unless defined otherwise.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

첨부된 도 1은 본 발명에 따른 마스킹 테이프 박피용 지그의 사시도이고, 도 2는 도 1을 A방향에서 본 사시도이다.1 is a perspective view of a masking tape peeling jig according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of Figure 1 seen from the A direction.

위의 도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 마스킹 테이프 박피용 지그(이하, "지그"라 약칭함, 100)는 베이스 플레이트(110), 수직 플레이트(120), 와인딩 롤(130), 가이드 롤(140), 리와인딩 롤(150) 및 구동모터(160)를 포함한다.1 and 2, the masking tape peeling jig of the present invention (hereinafter, abbreviated as "jig", 100) is a base plate 110, vertical plate 120, winding roll 130, guide The roll 140, the rewinding roll 150, and the driving motor 160 are included.

베이스 플레이트(110)는 지그(100)의 바닥프레임을 구성하는 부품으로서 평판형태를 가지며, 무게의 경량화를 위해 합성수지재로 되는 것이 바람직하다.The base plate 110 has a flat plate shape as a part constituting the bottom frame of the jig 100, and preferably made of a synthetic resin material for weight reduction.

수직 플레이트(120)는 상기 각 부품들을 지지하는 역할을 하며, 상기 베이스 플레이트(110)의 상면 중앙부에 기립상태로 조립된다. 여기서, 상기 수직 플레이트(120)도 무게의 경량화를 위해 합성수지재로 되는 것이 바람직하다.The vertical plate 120 serves to support the components, and is assembled in a standing state at the center of the upper surface of the base plate 110. Here, the vertical plate 120 is also preferably made of a synthetic resin for weight reduction.

와인딩 롤(130)은 상기 수직 플레이트(120)의 일면에 회전 가능하게 배치되며, 이형지(2)가 부착된 마스킹 테이프(1)가 롤 상으로 와인딩 되는 외팔보 형태를 갖는다. 여기서, 상기 와인딩 롤(130)의 축(131)은 강도 유지를 위해 금속재로 되는데 반해, 마스킹 테이프(1)가 권회되는 부위는 합성수지재로 구성하여 무게를 감량하였다. 또한, 상기 와인딩 롤(130)의 표면 말단에는 이에 권취된 마스킹 테이프(1)가 이탈되지 않도록 이탈방지링(132)이 구비되어 있다.The winding roll 130 is rotatably disposed on one surface of the vertical plate 120, and has a cantilever shape in which a masking tape 1 to which a release paper 2 is attached is wound onto a roll. Here, the shaft 131 of the winding roll 130 is made of a metal material for maintaining the strength, while the portion where the masking tape 1 is wound is made of a synthetic resin to reduce the weight. In addition, the surface end of the winding roll 130 is provided with a separation prevention ring 132 so that the masking tape (1) wound around it is not separated.

가이드 롤(140)는 상기 수직 플레이트(120)의 상기 와인딩 롤(130) 상측에 회전 가능하게 배치되어, 상기 와인딩 롤(130)에서 풀려 나오는 마스킹 테이프(1)를 수평으로 가이드하는 역할을 한다. 상기 가이드 롤(140)도 앞서의 와인딩 롤(130)과 마찬가지로 무게감량을 위해 그 축은 금속재로 하고 그 표면부위는 합성수지재로 구성하는 것이 바람직하다.The guide roll 140 is rotatably disposed above the winding roll 130 of the vertical plate 120, and serves to horizontally guide the masking tape 1 released from the winding roll 130. Like the winding roll 130, the guide roll 140 is preferably made of a metal material and its surface portion is made of a synthetic resin material for weight loss.

리와인딩 롤(150)은 상기 수직 플레이트(120)의 상기 가이드 롤(140)과 수평되는 위치에 회전 가능하게 배치되며, 이형지(2)가 제거된 마스킹 테이프(1)가 와인딩된다. 상기 리와인딩 롤(150)도 앞서의 와인딩 롤(130) 및 가이드 롤(140)과 마찬가지로 무게감량을 위해 그 축은 금속재로 하고 그 표면부위는 합성수지재로 구성하는 것이 바람직하다.The rewinding roll 150 is rotatably disposed at a position parallel to the guide roll 140 of the vertical plate 120, and the masking tape 1 from which the release paper 2 is removed is wound. Like the winding roll 130 and the guide roll 140, the rewinding roll 150 is preferably made of a metal material and its surface portion is made of a synthetic resin material for weight reduction.

구동모터(160)는 상기 리와인딩 롤(150)을 일방향으로 회전시켜주는 역할을 하며, 필요에 따라, 구동모터의 회전수를 감속시키기 위한 감속기(미도시)가 설치될 수도 있다.The drive motor 160 serves to rotate the rewinding roll 150 in one direction, and if necessary, a speed reducer (not shown) for reducing the rotation speed of the drive motor may be installed.

한편, 상기 수직 플레이트(120)의 타면에는 상기 수직 플레이트를 관통하고 있는 와인딩 롤(130)의 축 말단에 마감너트(170)를 체결하고, 마감너트(170)와 수직 플레이트 사이에 인장스프링(180)을 개입하여 상기 와인딩 롤(130)의 회전시 수직 플레이트로(120)부터 이탈되지 않도록 할 수 있다.
On the other hand, the other surface of the vertical plate 120 is fastened to the end nut 170 to the shaft end of the winding roll 130 passing through the vertical plate, the tension spring 180 between the end nut 170 and the vertical plate In the through-rotation of the winding roll 130 may be prevented from being separated from the vertical plate (120).

도 3은 본 발명에 따른 마스킹 테이프 박피용 지그의 사용 상태도이다.3 is a state diagram of use of the masking tape peeling jig according to the present invention.

도 3에 따르면, 와인딩 롤(130)에 이형지(2)가 부착된 마스킹 테이프(1)를 롤상으로 권회하고, 권회된 마스킹 테이프의 말단부를 상기 가이드 롤(140)을 권회한 뒤 상기 리와인딩 롤(150)에 고정시킨다. 이때, 리와인딩 롤(150)에 고정된 단부는 수작업에 의해 이형지(2)를 분리하여 놓는다.According to FIG. 3, the rewinding roll after winding the masking tape 1 having the release paper 2 attached to the winding roll 130 in a roll shape, winding the end of the wound masking tape around the guide roll 140. Fix to 150. At this time, the end fixed to the rewinding roll 150 separates the release paper 2 by hand.

이 상태에서 상기 구동모터(160)를 구동시켜서 리와인딩 롤(150)을 일방향으로 회전시키면서 이형지(2)를 수작업에 의해 분리하면 이형지가 분리된 마스킹 테이프만이 리와인딩 롤(150)에 권회되어 회수된다. 여기서, 상기 이형지(2)의 분리는 수작업이 아닌 분리 디바이더를 설치하여 완전한 자동화 장치로의 구성도 가능하다.
In this state, by driving the drive motor 160 to rotate the rewinding roll 150 in one direction and detach the release paper 2 by hand, only the masking tape from which the release paper is separated is wound on the rewinding roll 150. It is recovered. Here, the separation of the release paper (2) can be configured as a complete automation device by installing a separation divider rather than manual.

이상의 설명에서 본 발명은 특정의 실시 예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것을 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.
While the invention has been shown and described with respect to the specific embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Anyone who can afford it will know.

110 : 베이스 플레이트 120 : 수직 플레이트
130 : 와인딩 롤 140 : 가이드 롤
150 : 리와인딩 롤 160 : 구동모터110: base plate 120: vertical plate
130: winding roll 140: guide roll
150: rewinding roll 160: drive motor

Claims (2)

베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트 상에 수직상으로 직교하게 기립 설치되는 수직 플레이트;
상기 수직 플레이트의 일면에 회전 가능하게 배치되며, 이형지가 부착된 마스킹 테이프가 롤 상으로 와인딩 되는 외팔보 형태의 와인딩 롤;
상기 수직 플레이트의 상기 와인딩 롤 상측에 회전 가능하게 배치되어, 상기 와인딩 롤에서 풀려 나오는 마스킹 테이프를 수평으로 가이드 하는 가이드 롤;
상기 수직 플레이트의 상기 가이드 롤과 수평되는 위치에 회전 가능하게 배치되며, 이형지가 제거된 마스킹 테이프가 와인딩되는 리와인딩 롤; 및
상기 리와인딩 롤을 회전시켜주는 구동모터;를 포함하되,
상기 수직 플레이트의 타면에는 상기 수직 플레이트를 관통하고 있는 와인딩 롤의 축 말단에 마감너트를 체결하고, 마감너트와 수직 플레이트 사이에 인장스프링을 개입하여 상기 와인딩 롤의 회전시 수직 플레이트로부터 이탈되지 않도록 한 것을 특징으로 하는 마스킹 테이프 박피용 지그.
A base plate;
A vertical plate vertically orthogonally installed perpendicular to the base plate;
A cantilever-shaped winding roll rotatably disposed on one surface of the vertical plate, the masking tape to which a release paper is attached is wound onto a roll;
A guide roll rotatably disposed on an upper side of the winding roll of the vertical plate to guide horizontally the masking tape released from the winding roll;
A rewinding roll rotatably disposed at a position parallel to the guide roll of the vertical plate, on which a masking tape from which release paper is removed is wound; And
Including; a drive motor for rotating the rewinding roll;
The other side of the vertical plate is fastened to the end nut of the shaft end of the winding roll passing through the vertical plate, and through the tension spring between the closing nut and the vertical plate so as not to be separated from the vertical plate during rotation of the winding roll. Masking tape peeling jig, characterized in that.
제1항에 있어서,
상기 와인딩 롤, 가이드 롤 및 리와인딩 롤의 각 축은 금속재로 되고, 상기 마스킹 테이프와 접촉되는 부위는 합성수지로 된 것을 특징으로 하는 마스킹 테이프 박피용 지그.The method of claim 1,
Each axis of the winding roll, the guide roll, and the rewinding roll is made of a metal material, and a portion in contact with the masking tape is made of synthetic resin.
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KR980008477A (en) * 1996-07-30 1998-04-30 타카시 사카모토 Masking tape cutting device
WO2008146833A1 (en) 2007-05-28 2008-12-04 Taisei Plas Co., Ltd. Steel product composite and process for producing the steel product composite

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