KR101320973B1 - Integrated circuit device package and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 집적회로 소자 패키지 및 이의 제조 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 자유자재로 휘어지고 펼칠 수 있는 유연한 집적회로 소자 패키지 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an integrated circuit device package and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a flexible integrated circuit device package that can be flexed and unfolded freely and a method of manufacturing the same.
현재 전자 산업은 그 응용 범위를 다양하게 넓혀가고 있다. 이에, 반도체 메모리 등과 같은 집적회로 소자에 대한 패키징 기술도 점점 고용량화, 박형화, 소형화 등에 대한 요구가 높아지고 있고, 이를 해결하기 위한 다양한 솔루션이 개발되고 있다. 특히, 최근에는 휘어짐이 가능한 유연한 집적회로 소자가 개발되고, 나아가 언급한 집적회로 소자를 구비하는 휘어짐이 가능한 유연한 집적회로 소자 패키지가 개발되고 있다. 언급한 휘어짐이 가능한 유연한 집적회로 소자 패키지에 대한 일 예는 대한민국 등록특허 643,756호 등에 개시되어 있다.Currently, the electronics industry is broadening its application range. Accordingly, packaging technologies for integrated circuit devices, such as semiconductor memories, are also increasingly required for high capacity, thinness, and miniaturization, and various solutions for solving them are being developed. In particular, in recent years, flexible integrated circuit devices capable of flexing have been developed, and flexibly integrated circuit device packages capable of flexing with the above-mentioned integrated circuit devices have been developed. An example of a flexible integrated circuit device package capable of flexing is disclosed in Korean Patent No. 643,756 and the like.
그러나 휘어짐이 가능한 유연한 집적회로 소자 패키지에 대한 기술은 아직도 개발 단계에 머물고 있는 실정에 있다.However, the technology for flexible flexible integrated circuit device packages is still in the development stage.
본 발명의 목적은 구부러지거나 또는 휘어진 곳에도 적용이 가능한 집적회로 소자 패키지 및 이의 제조 방법을 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide an integrated circuit device package that is applicable to bent or warped locations and a method of manufacturing the same.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지는 타면과 일면을 갖고, 상기 타면으로부터 일면으로 전기 연결이 가능하도록 형성되는 배선을 구비하는 유연한 기판과, 전기 연결이 가능한 전기 연결부를 구비하고, 상기 기판의 일면에 구비되는 배선과 상기 전기 연결부가 서로 면접하도록 배치되는 유연한 집적회로 소자와, 상기 기판의 일면에 구비되는 배선과 상기 전기 연결부가 서로 면접하도록 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역 사이를 절연하면서 상기 기판의 일면에 상기 집적회로 소자가 고정 배치되도록 상기 기판의 일면과 상기 집적회로 소자의 서로 마주하는 상기 나머지 영역에 형성되는 절연성의 유연한 고정 부재, 및 상기 집적회로 소자를 포함하는 기판의 일면 상에 형성되는 유연한 보호 부재를 구비할 수 있다.An integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention for achieving the above object has a flexible substrate having one side and the other surface, the wiring is formed to enable electrical connection from the other surface to one surface, and the electrical connection is possible A flexible integrated circuit device including an electrical connection unit, the wiring provided on one surface of the substrate and the electrical connection unit to be in contact with each other, and an area in which the wiring provided on one surface of the substrate and the electrical connection unit are arranged to interview each other. An insulating flexible fixing member formed on one surface of the substrate and the remaining regions of the integrated circuit device facing each other such that the integrated circuit device is fixedly disposed on one surface of the substrate while insulated between the remaining areas except the other regions; and the integrated circuit device Flexible protective member formed on one surface of the substrate including a It can be compared.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지에서, 상기 기판은 연성인쇄회로기판을 포함할 수 있고, 상기 집적회로 소자는 휘어짐이 가능하도록 5 내지 30㎛의 두께를 가질 수 있고, 상기 고정 부재는 필름 구조의 접착물을 포함할 수 있고, 상기 보호 부재는 보호 테이프, 연성인쇄회로기판용 절연물 또는 이들의 복합 구조물을 포함할 수 있다.In the integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention mentioned above, the substrate may include a flexible printed circuit board, the integrated circuit device may have a thickness of 5 to 30㎛ to bend, The fixing member may include an adhesive of a film structure, and the protective member may include a protective tape, an insulator for a flexible printed circuit board, or a composite structure thereof.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지에서, 상기 배선은 구리를 포함할 수 있고, 상기 기판의 일면, 타면 및 상기 기판의 일면과 타면을 연결하는 스루홀에 형성될 수 있다.In the integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention, the wiring may include copper and may be formed in one side, the other side of the substrate, and a through hole connecting one side and the other side of the substrate.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지에서, 상기 기판의 타면에 구비되는 배선 사이를 절연시키도록 상기 기판의 타면에 구비되는 배선 사이에 형성되는 솔더레지스트를 구비할 수 있다.In the integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention, a solder resist may be provided between the wires provided on the other surface of the substrate to insulate the wires provided on the other surface of the substrate.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지의 제조 방법은 유연한 기판의 타면에 전기 연결이 가능한 배선용 필름을 형성하는 단계와, 집적회로 소자에 구비되는 전기 연결부가 상기 기판의 일면을 향하도록 상기 기판의 일면과 상기 집적회로 소자 사이에 절연성의 유연한 고정 부재를 개재시켜 상기 기판의 일면 상에 상기 집적회로 소자를 고정 배치시키는 단계와, 상기 집적회로 소자를 포함하는 상기 기판의 일면 상에 유연한 보호 부재를 형성하는 단계와, 상기 집적회로 소자의 전기 연결부가 노출되도록 상기 기판의 타면으로부터 상기 전기 연결부까지 스루홀을 형성하는 단계, 및 상기 기판의 타면에 구비되는 배선과 상기 전기 연결부를 전기 연결하도록 상기 스루홀 및 상기 전기 연결부가 노출되는 상기 기판의 일면에 배선을 형성하는 단계를 구비할 수 있다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an integrated circuit device package, the method comprising: forming a wiring film that is electrically connected to the other surface of a flexible substrate, and the electrical connection unit provided in the integrated circuit device. Fixing the integrated circuit device on one surface of the substrate by interposing an insulating flexible fixing member between the surface of the substrate and the integrated circuit device so as to face one surface of the substrate; and including the integrated circuit device. Forming a flexible protective member on one surface of the substrate, forming a through hole from the other surface of the substrate to the electrical connection portion to expose the electrical connection portion of the integrated circuit device, and the wiring provided on the other surface of the substrate; The through hole and the electrical connection exposed to electrically connect the electrical connection; Forming a wire on one surface of the substrate may be provided.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지의 제조 방법에서, 상기 기판은 연성인쇄회로기판을 포함할 수 있고, 상기 집적회로 소자는 휘어짐이 가능하도록 5 내지 30㎛의 두께를 가질 수 있고, 상기 고정 부재는 필름 구조의 접착물을 포함할 수 있고, 상기 보호 부재는 보호 테이프, 연성인쇄회로기판용 절연물 또는 이들의 복합 구조물을 포함할 수 있다.In the method of manufacturing an integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention, the substrate may include a flexible printed circuit board, and the integrated circuit device may have a thickness of 5 to 30 μm to allow bending. The fixing member may include an adhesive of a film structure, and the protective member may include a protective tape, an insulator for a flexible printed circuit board, or a composite structure thereof.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지의 제조 방법에서, 상기 스루홀은 레이저 드릴링 또는 포토리소그라피 공정을 수행하여 형성할 수 있다.In the method of manufacturing an integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention mentioned above, the through hole may be formed by performing a laser drilling or photolithography process.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지의 제조 방법에서, 상기 스루홀 및 상기 전기 연결부가 노출되는 상기 기판의 일면에 배선은 전기 도금을 수행하여 형성할 수 있다.In the method of manufacturing an integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention, a wire may be formed on one surface of the substrate to which the through hole and the electrical connection part are exposed by electroplating.
본 발명의 집적회로 소자 패키지 및 이의 제조 방법에 따르면, 집적회로 소자 패키지의 구성 부품들인 기판, 집적회로 소자, 절연 부재, 배선들 및 보호 부재 모두가 유연한 재질을 갖도록 구비되고, 더불어 언급한 구성 부품들을 사용하여 제조한다.According to the integrated circuit device package and the manufacturing method thereof of the present invention, both of the components of the integrated circuit device package, the substrate, the integrated circuit device, the insulating member, the wiring and the protection member are provided to have a flexible material, ≪ / RTI >
이에, 언급한 본 발명의 집적회로 소자 패키지는 자유자재로 구부리거나 펼칠 수 있기 때문에 구부러지거나 또는 휘어진 곳에도 적용이 가능하다.Therefore, the integrated circuit device package of the present invention can be bent or expanded freely, so that it can be applied to a bent or bent portion.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2a 내지 도 2d는 도 1의 집적회로 소자 패키지의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 도면들이다.1 is a cross-sectional view schematically illustrating an integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention.
2A through 2D are schematic views illustrating a method of manufacturing the integrated circuit device package of FIG. 1.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar components. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
실시예Example
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지를 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically illustrating an integrated circuit device package according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 집적회로 소자 패키지(100)는 기판(10), 집적회로 소자(20), 보호 부재(30), 고정 부재(24) 등을 구비한다.Referring to FIG. 1, the integrated circuit device package 100 includes a
언급한 기판(10)은 일면 및 타면을 갖는다. 그리고 기판(10)은 휘어짐이 가능한 유연한 구조를 갖는다. 이에, 기판(10)의 예로서는 연성인쇄회로기판(FPCB) 등을 들 수 있다. 또한, 기판(10)에는 배선(41a, 41b, 41c)이 구비된다. 특히, 배선(41a, 41b, 41c)은 기판(10)의 타면으로부터 일면으로 전기 연결이 가능하도록 형성된다. 즉, 배선(41a, 41b, 41c)은 기판(10)의 타면에 형성되는 배선(41a), 기판의 일면에 형성되는 배선(41b) 그리고 기판(10)의 타면 및 일면 각각에 형성되는 배선들(41a, 41b)을 연결하는 스루홀(through hole)(43)에 형성되는 배선(41c)을 구비한다. 이에, 배선(41a, 41b, 41c)은 후술하는 바와 같이 패터닝에 의해 형성된다. 아울러, 기판(10)에 형성되는 배선(41a, 41b, 41c) 사이는 절연이 이루어져야 한다. 이에, 기판(10)에 형성되는 배선들(41a, 41b, 41c) 중에서 절연이 필요한 부분에는 절연성 물질이 형성된다. 특히, 본 발명에서는 기판(10)의 타면에 구비되는 배선(41a) 사이를 절연시킬 수 있다. 따라서 기판(10)의 타면에 형성되는 배선(41a) 사이를 절연성 물질을 사용하여 절연시킨다. 다만, 본 발명에서는 기판(10)의 타면에 구비되는 배선(41a) 사이를 절연시키는 것에 설명하고 있지만 이에 한정되지는 않는다. 즉, 필요에 따라서는 기판(10)의 일면에 구비되는 배선(41b) 사이를 절연시킬 수도 있다. 여기서, 언급한 배선(41a, 41b) 사이를 절연시키는 절연성 물질의 예로서는 솔더레지스트(45) 등을 들 수 있다. 또한, 본 발명에서는 스루홀(43) 내에 측벽에 배선(41c)을 형성하지만 이에 한정되지는 않는다. 즉, 스루홀(43) 내에 충분하게 채워지도록 배선(41c)을 형성할 수도 있다. 아울러, 언급한 기판(10)이 배선(41a, 41b, 41c)을 가짐에도 불구하고 휘어져야 하기 때문에 배선(41a, 41b, 41c)의 경우에도 휘어짐이 가능한 유연한 재질로 이루어져야 하기 때문에 배선(41a, 41b, 41c)은 구리 등을 포함할 수 있다.The mentioned
언급한 집적회로 소자(20)는 메모리 소자, 비메모리 소자 등과 같은 반도체 소자를 포함할 수 있다. 이외에도, 집적회로 소자(20)는 능동 소자, 수동 소자 등을 포함할 수 있다. 그리고 집적회로 소자(20)는 휘어짐이 가능한 유연한 구조를 갖는다. 이에, 집적회로 소자(20)는 얇은 두께를 갖는 실리콘 기판을 포함할 수 있다. 특히, 언급한 집적회로 소자(20)로 사용하기 위한 얇은 두께를 갖는 실리콘 기판의 경우에는 약 수 내지 수십 ㎛의 두께를 갖도록 구비할 수 있다. 예를 들어, 휘어짐이 가능한 얇은 두께는 약 1.0 내지 50㎛일 수 있고, 바람직하게는 약 5.0 내지 30.0㎛일 수 있다. 이는, 집적회로 소자(20)의 두께가 약 1.0㎛ 미만일 경우에는 집적회로 소자(20)의 제조가 용이하지 않기 때문이고, 약 50㎛를 초과할 경우에는 집적회로 소자(20)의 휘어짐이 용이하지 않기 때문이다.The
또한, 집적회로 소자(20)는 전기 연결이 가능한 전기 연결부(20a)를 구비한다. 즉, 집적회로 소자(20)는 집적회로 소자(20)의 내부 회로 패턴과 외부 기기와의 전기 연결을 위한 전기 연결부(20a)를 구비하는 것이다. 이에, 언급한 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)는 기판(10)의 일면에 형성되는 배선(41b)과 면접하도록 배치될 수 있다. 따라서 본 발명의 집적회로 소자 패키지(100)의 경우에는 플립칩 적층 구조를 가지는 것을 이해할 수 있다. 즉, 본 발명의 집적회로 소자 패키지(100)는 범프를 사용한 전기 연결이 아닌 전기 연결부(20a)를 사용하는 플립칩 적층 구조로 이해할 수 있는 것이다. 특히, 본 발명의 집적회로 소자 패키지(100)에서는 기판(10)에 형성되는 배선들(41a, 41b, 41c) 중에서 스루홀(43)을 통하여 기판(10)의 일면으로 연결 형성되는 배선(41b)과 서로 면접하도록 배치됨에 의해 전기 연결될 수 있다.In addition, the
언급한 고정 부재(24)는 기판(10)의 일면에 구비되는 배선(41b)과 전기 연결부(20a)가 서로 면접하도록 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역 사이를 절연하면서 기판(10)의 일면에 집적회로 소자(20)가 고정 배치되도록 기판(10)의 일면과 집적회로 소자(20)의 서로 마주하는 나머지 영역에 형성될 수 있다. 즉, 고정 부재(24)는 기판(10)의 일면 및 기판(10)의 일면과 마주하도록 배치되는 집적회로 소자(20) 사이에 개재 형성되는 것으로써, 기판(10)의 일면에 구비되는 배선(41b)과 전기 연결부(20a)가 서로 면접하도록 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역 사이에 형성되는 것이다. 아울러, 고정 부재(24)의 경우에도 휘어짐이 가능한 유연한 구조를 가져야 한다. 이에, 고정 부재(24)의 예로서는 필름 구조의 접착물 등을 들 수 있다. 또한, 언급한 필름 구조의 접착물의 예로서는 양면 테이프 등을 들 수 있다. 그리고 고정 부재(24)는 언급한 나머지 영역 사이에서 기판(10)의 일면에 형성되는 배선(41b)과 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)를 절연시킬 수 있다. 이와 같이, 기판(10)의 일면에 구비되는 배선(41b)과 전기 연결부(20a)가 서로 면접하도록 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역에 고정 부재(24)를 형성함으로써 집적회로 소자(20)를 기판(10)의 일면 상에 고정 배치시킬 수 있을 뿐만 아니라 나머지 영역을 절연시킬 수 있다.The fixing
언급한 보호 부재(30)는 집적회로 소자(20)를 보호하도록 집적회로 소자(20)가 배치 고정된 기판(10)의 일면 상에 형성된다. 즉, 보호 부재(30)는 집적회로 소자(20)를 충분하게 덮도록 집적회로 소자(20)를 포함하는 기판(10)의 일면 상에 형성되는 것이다. 여기서, 보호 부재(30)는 휘어짐이 가능한 유연한 구조를 갖는다. 이에, 보호 부재(30)의 예로서는 보호 테이프, 연성인쇄회로기판용 절연물 등을 들 수 있다. 특히, 보호 테이프 및 연성인쇄회로기판용 절연물 모두는 필름 구조를 가질 수 있다.The
언급한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지(100)는 기판(10), 집적회로 소자(20), 고정 부재(24), 보호 부재(30) 모두가 휘어짐이 가능한 유연한 재질로 이루어진다. 이에, 언급한 집적회로 소자 패키지(100)는 자유자재로 구부리거나 펼칠 수 있고, 그 결과 구부러지거나 또는 휘어진 곳에도 적용이 가능하다.As mentioned, the integrated circuit device package 100 according to an exemplary embodiment of the present invention is flexible in which the
이하, 언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지(100)의 제조 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing the integrated circuit device package 100 according to an embodiment of the present invention will be described.
도 2a 내지 도 2d는 도 1의 집적회로 소자 패키지의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 도면들이다.2A through 2D are schematic views illustrating a method of manufacturing the integrated circuit device package of FIG. 1.
도 2a를 참조하면, 일면 및 타면을 갖는 기판(10)을 마련한다. 여기서, 기판(10)은 휘어짐이 가능해야 하기 때문에 유연한 재질로 이루어진다. 이에, 기판(10)은 연성인쇄회로기판 등을 포함할 수 있다. 아울러, 기판(10)의 타면에는 전기 연결이 가능한 배선용 필름(41)이 형성된다. 특히, 언급한 배선용 필름(41)의 경우에도 휘어짐이 가능해야 하기 때문에 주로 구리 등을 포함할 수 있다. 이에, 언급한 배선용 필름(41)은 구리 필름으로 이해할 수 있다. 여기서, 언급한 배선용 필름(41)은 후술하는 패터닝을 수행함에 의해 기판(10)의 타면에 형성되는 배선(41a)으로 구비될 수 있다.Referring to FIG. 2A, a
도 2b를 참조하면, 기판(10)의 일면 상에 집적회로 소자(20)를 배치시킨다. 특히, 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)가 기판(10)의 일면을 향하도록 배치시킨다. 여기서, 언급한 전기 연결부(20a)는 후술하는 기판(10)의 일면에 형성하는 배선(41b)과 면접한다. 이에, 본 발명의 집적회로 소자 패키지(100)는 기판(10)의 일면에 형성하는 배선(41b)과 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)가 면접하도록 배치되기 때문에 플립칩 구조를 갖는 것으로 이해할 수 있다. 그리고 집적회로 소자(20)를 기판(10)의 일면 상에 배치시킬 때 집적회로 소자(20)와 기판(10)의 일면 사이에는 고정 부재(24)를 개재시킬 수 있다. 즉, 기판(10)의 일면 상에 집적회로 소자(20)가 고정 배치되도록 고정 부재(24)를 구비하는 것이다. 여기서, 언급한 고정 부재(24)는 절연성 재질을 가질 수 있다. 아울러, 고정 부재(24)의 경우에도 휘어짐이 가능한 유연한 재질로 이루어져야 한다. 따라서 본 발명에서의 고정 부재(24)는 절연성의 유연한 재질로 이루어질 수 있다. 언급한 고정용 부재(24)의 예로서는 양면 테이프 등과 같은 필름 구조의 접착물 등을 들 수 있다.Referring to FIG. 2B, the
도 2c를 참조하면, 외부로부터 집적회로 소자(20)를 보호하도록 집적회로 소자(20)가 배치 고정된 기판(10)의 일면 상에 보호 부재(30)를 형성한다. 즉, 집적회로 소자(20)를 충분하게 덮도록 집적회로 소자(20)를 포함하는 기판(10)의 일면 상에 보호 부재(30)를 형성하는 것이다. 여기서, 보호 부재(30)는 휘어짐이 가능한 유연한 구조를 갖는다. 이에, 보호 부재(30)의 예로서는 보호 테이프, 연성인쇄회로기판용 절연물 등을 들 수 있다. 특히, 보호 테이프 및 연성인쇄회로기판용 절연물 모두는 필름 구조를 가질 수 있다.Referring to FIG. 2C, the
도 2d를 참조하면, 언급한 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)를 노출시킨다. 이에, 기판(10)의 타면으로부터 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)까지 스루홀(43)을 형성한다. 즉, 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)가 위치하는 아래 부분의 기판(10)의 타면으로부터 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)까지 스루홀(43)을 형성하는 것이다. 다시 말해, 기판(10)의 타면에 형성되는 배선용 필름(41), 기판(10), 고정 부재(24)를 순차적으로 제거하는 패터닝을 수행함에 의해 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)를 노출시키는 스루홀(43)을 형성하는 것이다. 여기서, 언급한 스루홀(43)의 형성은 레이저 드릴링, 포토리소그라피 공정 등을 수행함에 의해 달성할 수 있다. 특히, 스루홀(43)의 형성을 위한 패터닝을 수행함에 의해 기판(10)의 타면에 형성되는 배선용 필름(41)은 기판(10)의 타면에 형성되는 배선(41a)으로 구비될 수 있다.Referring to FIG. 2D, the
이어서, 기판(10)의 타면에 구비되는 배선(41a)과 스루홀(43)에 의해 노출된 전기 연결부(20a)를 전기 연결하도록 스루홀(43) 및 전기 연결부(20a)가 노출되는 기판의 일면(10)에 배선(41b, 41c)을 형성한다. 즉, 기판(10)의 타면에 구비되는 배선(41a)으로부터 스루홀(43)을 통하여 기판(10)의 일면까지 배선(41b, 41c)을 형성하는 것이다. 다시 말해, 기판(10)의 타면으로부터 스루홀(43)을 통하여 기판(10)의 일면까지 전기 연결이 가능한 배선(41a, 41b, 41c)을 형성하는 것이다. 이에, 기판(10)의 일면에 형성되는 배선(41b)과 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)가 서로 전기 연결되는 것이다. 이때, 집적회로 소자(20)의 전기 연결부(20a)는 스루홀(43)을 통하여 기판(10)의 일면에 형성되는 배선(41b)과 전기 연결된다. 아울러, 스루홀(43)에 형성되는 배선(41c)은 주로 스루홀(43)의 측벽에만 형성되는 것으로 이해할 수 있지만, 스루홀(43) 내에 충분하게 채워지도록 형성될 수도 있다. 또한, 언급한 스루홀(43) 및 기판(10)의 일면에 형성되는 배선(41b, 41c)은 주로 전기 도금을 수행함에 의해 수득할 수 있다.Subsequently, the through
그리고 솔더레지스트(45) 등과 같은 절연성 물질을 사용하여 기판(10)의 타면에 형성되는 배선(41a) 사이를 절연한다.An insulating material such as solder resist 45 is used to insulate the wirings 41a formed on the other surface of the
또한 도시하지는 않았지만, 도 2a에서 기판(10)의 타면에 고정용 필름을 부착시켜 후속 공정을 수행할 수도 있다. 이는, 본 발명의 집적회로 소자 패키지(100)의 구성 부품 모두가 휘어짐이 가능한 유연한 재질로 이루어지기 때문에 고정용 필름을 부착시켜 공정을 수행함으로써 보다 안정적인 공정을 도모하기 위함이다.In addition, although not shown in FIG. 2A, a fixing film may be attached to the other surface of the
이와 같이, 본 발명의 제조 방법을 수행함에 의해 타면으로부터 일면으로 전기 연결이 가능하도록 형성되는 배선(41a, 41b, 41c)을 구비하는 유연한 기판(10)과, 기판(10)의 일면에 구비되는 배선(41b)과 전기 연결부(20a)가 서로 면접하도록 배치되는 유연한 집적회로 소자(20)와, 기판(10)의 일면에 구비되는 배선(41b)과 전기 연결부(20a)가 서로 면접하도록 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역 사이를 절연하면서 기판(10)의 일면에 집적회로 소자(20)가 고정 배치되도록 기판(10)의 일면과 집적회로 소자(20)의 서로 마주하는 나머지 영역에 형성되는 절연성의 유연한 고정 부재(24)와, 외부로부터 집적회로 소자(20)를 보호하기 위하여 집적회로 소자(20)를 덮도록 집적회로 소자(20)를 포함하는 기판(10)의 일면 상에 형성되는 유연한 보호 부재(30)를 구비하는 휘어짐이 가능한 유연한 집적회로 소자 패키지(100)를 수득할 수 있다.As described above, the
언급한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 패키지(100)의 제조 방법에서는 기판(10), 집적회로 소자(20), 고정 부재(24), 보호 부재(30) 모두가 휘어짐이 가능한 유연한 재질을 사용한다. 이에, 언급한 제조 방법에 의해 수득하는 집적회로 소자 패키지(100)는 자유자재로 구부리거나 펼칠 수 있고, 그 결과 구부러지거나 또는 휘어진 곳에도 적용이 가능하다.As mentioned, in the method of manufacturing the integrated circuit device package 100 according to the exemplary embodiment, all of the
언급한 바와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 패키지 및 이의 제조 방법에 따르면, 집적회로 소자 패키지의 구성 부품들인 기판, 집적회로 소자, 고정용 부재, 및 보호 부재 모두가 유연한 재질을 갖도록 구비되고, 더불어 언급한 구성 부품들을 사용하여 제조한다.As mentioned above, according to the integrated circuit device package of the present invention and the manufacturing method thereof, both the components of the integrated circuit device package, the substrate, the integrated circuit device, the fixing member, and the protecting member are provided to have a flexible material, Manufactured using the components mentioned.
이에, 언급한 본 발명의 집적회로 소자 패키지는 자유자재로 구부리거나 펼칠 수 있기 때문에 구부러지거나 또는 휘어진 곳에도 적용이 가능하다.Therefore, the integrated circuit device package of the present invention can be bent or expanded freely, so that it can be applied to a bent or bent portion.
10 : 기판 20 : 집적회로 소자
20a : 전기 연결부 24 : 고정 부재
30 : 보호 부재 41 : 배선용 필름
41a, 41b, 41c : 배선 43 : 스루홀
45 : 솔더레지스트 100 : 집적회로 소자 패키지10
20a: electrical connection 24: fixing member
30: protection member 41: film for wiring
41a, 41b, 41c: Wiring 43: Through Hole
45 solder resist 100 integrated circuit device package
Claims (8)
전기 연결이 가능한 전기 연결부를 구비하고, 상기 기판의 일면에 구비되는 배선과 상기 전기 연결부가 서로 면접하도록 배치되는 휘어짐이 가능한 유연한 집적회로 소자;
상기 기판의 일면에 구비되는 배선과 상기 전기 연결부가 서로 면접하도록 배치되는 영역을 제외한 나머지 영역 사이를 절연하면서 상기 기판의 일면에 상기 집적회로 소자가 고정 배치되도록 상기 기판의 일면과 상기 집적회로 소자의 서로 마주하는 상기 나머지 영역에 형성되는 절연성의 휘어짐이 가능한 유연한 고정 부재; 및
상기 집적회로 소자를 포함하는 기판의 일면 상에 형성되는 휘어짐이 가능한 유연한 보호 부재를 구비하는 집적회로 소자 패키지.And the other surface having a surface, capable of warping a flexible substrate having a wiring which is formed an electrical connection to one side from the other surface said to be;
A flexible integrated circuit device having an electrical connection portion capable of electrical connection, and capable of bending a wire provided on one surface of the substrate and the electrical connection portion disposed to interview each other;
One surface of the substrate and the integrated circuit device may be fixed so that the integrated circuit device is fixedly disposed on one surface of the substrate while insulated between the wiring provided on one surface of the substrate and an area except the region where the electrical connection parts are arranged to be in contact with each other. a flexible holding member of insulating warp formed in the remaining areas facing each other as possible; And
An integrated circuit device package having a flexible protective member capable of bending formed on one surface of the substrate including the integrated circuit device.
휘어짐이 가능한 집적회로 소자에 구비되는 전기 연결부가 상기 기판의 일면을 향하도록 상기 기판의 일면과 상기 집적회로 소자 사이에 절연성의 휘어짐이 가능한 유연한 고정 부재를 개재시켜 상기 기판의 일면 상에 상기 집적회로 소자를 고정 배치시키는 단계;
상기 집적회로 소자를 포함하는 상기 기판의 일면 상에 휘어짐이 가능한 유연한 보호 부재를 형성하는 단계;
상기 집적회로 소자의 전기 연결부가 노출되도록 상기 기판의 타면으로부터 상기 전기 연결부까지 스루홀을 형성하는 단계; 및
상기 기판의 타면에 구비되는 배선과 상기 전기 연결부를 전기 연결하도록 상기 스루홀 및 상기 전기 연결부가 노출되는 상기 기판의 일면에 배선을 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 패키지의 제조 방법.Forming a film for wiring to be electrically connected to the other surface of the flexible substrate which is capable of bending ;
The integrated circuit on one surface of the substrate is interposed between the one surface of the substrate and the integrated circuit device such that the electrical connection portion provided in the integrated circuit device that is capable of bending faces the one surface of the substrate. Fixedly placing the device;
Forming a flexible protective member capable of bending on one surface of the substrate including the integrated circuit device;
Forming a through hole from the other surface of the substrate to the electrical connection portion to expose the electrical connection portion of the integrated circuit device; And
And forming a wiring on one surface of the substrate to which the through hole and the electrical connecting portion are exposed to electrically connect the wiring provided on the other surface of the substrate and the electrical connecting portion. .
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120043577A KR101320973B1 (en) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | Integrated circuit device package and method for manufacturing the same |
PCT/KR2013/002172 WO2013162173A1 (en) | 2012-04-26 | 2013-03-18 | Integrated circuit device packages and methods for manufacturing integrated circuit device packages |
BR112014026170A BR112014026170A2 (en) | 2012-04-26 | 2013-03-18 | integrated circuit device packages and methods of manufacturing integrated circuit device packages |
US14/395,116 US9559080B2 (en) | 2012-04-26 | 2013-03-18 | Integrated circuit device packages and methods for manufacturing integrated circuit device packages |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120043577A KR101320973B1 (en) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | Integrated circuit device package and method for manufacturing the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101320973B1 true KR101320973B1 (en) | 2013-10-23 |
Family
ID=49639048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR101320973B1 (en) |
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