KR101311789B1 - 진동 프로브 시스템 - Google Patents

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최영만
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고려대학교 산학협력단
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Abstract

진동 프로브 시스템, 및 이를 이용한 마이크로 구조체 측정 방법이 개시된다. 진동 프로브 시스템을 이용한 마이크로 구조체 측정 방법은 유연 구조물에 부착된 스타일러스를 진동시키는 단계, 스타일러스의 변위를 측정하는 단계, 스타일러스의 변위를 이용하여 산출된 스타일러스의 진폭을 산출하는 단계, 및 진폭이 미리 설정된 크기로 유지되도록 스타일러스와 측정 대상물 사이의 거리를 제어하는 신호를 생성하는 단계를 포함한다.

Description

진동 프로브 시스템{VIBRATING PROBE SYSTEM}
본 발명은 측정 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브를 이용하여 측정 대상물의 3차원 형상을 정밀하게 측정할 수 있는 진동 프로브 시스템 및 방법에 관한 것이다.
일반적인 3차원 형상 측정 장치는 유연 구조물에 스타일러스를 부착 후, 스타일러스를 측정대상물에 접촉시켜 접촉력이 일정하도록 유지하면서 주사한다.
그런데 이러한 종래의 3차원 형상 측정 장치에 있어서는 주사중에 발생하는 접촉력이 시편에 영구변형을 초래할 수 있으므로, 접촉력을 낮추기 위해 유연구조물의 강성을 낮추거나 혹은 접촉력을 보상하거나 또는 유연 구조물의 변형량을 측정하는 센서의 분해능을 높이는 등 다양한 방법들이 시도되고 있다.
예를 들어, 시편(측정물)과 탐침의 접촉에 의한 유연구조물의 변형량을 정전용량형 센서로 측정하는 방법이 있는데, 이러한 방법은 여전히 탐침과 시편의 단순 접촉을 이용하기 때문에 접촉력이 높으며, 시편에 인가되는 힘이 높다.
또한, 정전 용량 센서의 최대 단점인 시상수에 의한 측정 지연시간으로 인해서 접촉 후 이동량이 커질 수밖에 없고, 이에 따라 유연 구조물의 강성계수에 비례하여 측정대상물에 외력으로 작용하게 된다는 문제점이 있다.
이와 같이, 종래의 3차원 측정기용 프로브들이 채택하고 있는 단순 접촉 및 변형량 측정 방식을 유지하면서 접촉력을 더욱 낮추기 위해서는 설비 및 제반 비용이 크게 드는 MEMS 공정과 같은 기술을 사용하거나 고가의 변위 센서 등의 사용이 불가피하게 된다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 종래의 3차원 측정기용 프로브들이 채택하고 있는 단순 접촉 및 변형량 측정 방식과는 다른 방식의 측정 기법을 도입함으로써, 복잡하고 고비용의 공정이나 고가의 변위 센서 등의 사용이 없이도 고정밀도와 저접촉력으로 3차원 표면 형상의 측정이 가능하도록 해주는 장치, 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 진동 프로브 시스템을 이용한 마이크로 구조체 측정 방법은 유연 구조물에 부착된 스타일러스를 진동시키는 단계, 스타일러스의 변위를 측정하는 단계, 측정된 스타일러스의 변위를 이용하여 스타일러스의 진폭을 산출하는 단계, 및 진폭 감쇠의 크기가 일정하게 유지되도록 스타일러스와 측정 대상물 사이의 거리를 제어하는 신호를 생성하는 단계를 포함한다.
이때, 스타일러스는 공진 주파수로 가진시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진동 프로브 시스템은 가진부, 측정부, 본체를 포함한다. 가진부는 유연 구조물에 부착된 스타일러스를 진동시키고, 측정부는 스타일러스의 변위를 측정하며, 본체에는 가진부와 측정부가 장착된다.
또한, 진동 프로브 시스템은 스타일러스의 변위를 이용하여 산출된 스타일러스의 진폭을 산출하는 진폭 산출부, 및 산출된 진폭 감쇠의 크기가 일정하게 유지되도록 본체와 측정 대상물의 거리를 제어하는 신호를 생성하는 거리 제어부를 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 본체의 일 측면에는 수용홈이 형성되고 상기 일측면과 수직을 이루는 수직면의 길이 방향을 따라 중앙 영역에는 절개공이 형성될 수 있다.
또한, 상기 측정부는 상기 본체의 수용홈에 상기 수직면을 향하도록 수용되는 광출사부재와, 상기 수직면의 길이 방향을 따라 절개공에 배치되고 상기 스타일러스와 일단이 접촉되어 진동하며 상기 광출사부재에서 출사되는 빛을 반사시키는 유연구조물과, 상기 유연구조물에서 반사된 빛의 광경로를 증폭시키는 증폭부재와, 상기 증폭부재에서 광경로가 증폭된 빛을 반사하는 거울과, 상기 거울에서 반사된 빛이 입력되는 광점위치 검출부를 포함할 수 있다.
그리고 상기 광출사부재는 레이저 다이오드로 구성될 수 있다.
또한, 상기 증폭부재는 오목거울로 형성될 수 있다.
아울러, 상기 광점위치 검출기는 상기 수용홈이 형성된 상기 본체의 일측면과 대향되는 상기 본체의 타측면에 구비될 수 있다.
또한, 상기 수용홈의 저부면은 그 중앙을 기준으로 양측 저부면이 하향 경사지게 배치되고, 하향 경사지게 형성된 상기 저부면에 상기 광출사부재가 삽입되어 고정될 수 있다.
그리고 상기 가진부는 상기 스타일러스와 유연구조물의 상호 접촉부와 근접한 영역의 상기 본체의 일단부에 구비되는 코일지지부와, 상기 코일지지부에 일단이 지지되는 코일과, 상기 코일의 타단에 이동가능하게 구비되는 자석 및 요크를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 가진부는 상기 스타일러스와 유연구조물의 상호 접촉부와 근접한 영역의 상기 본체의 일단부에 구비된 납, 질콘, 티탄의 화합물인 피지티(PZT) 압전체로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 본체의 단부에 형성된 상기 절개공이 상호 연통되도록 상기 본체는 세 개가 상호 120도를 이루도록 방사상으로 배치되고, 상기 유연구조물은 상기 절개공과 대응되는 형상으로 상호 120도를 이루는 방사상으로 형성되어 그 각각의 단부가 상기 본체의 단부에 고정 결합될 수 있다.
아울러, 상기 본체의 단부에는 상기 유연구조물이 외부로 노출되지 않도록 상기 본체의 단부와 대응되는 형상으로 형성되며 그 중앙에 상기 스타일러스가 돌출될 수 있는 관통공이 형성된 전방커버가 고정 결합될 수 있다.
전술한 과제해결 수단에 의해 제안하는 진동 프로브 시스템은 고정밀도와 저검출력을 가지며, 3차원 마이크로 형상 또는 마이크로 렌즈, MEMS 구조 등과 같이 종래의 3차원 형상 측정기로 검출하지 못하는 시편을 측정할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 의하면, 3차원 형상 측정 장치를 구현함에 있어서, 컴팩트한 사이즈로 고정밀도와 저검출력이 구현 가능하며, 제작 비용이 저렴해진다.
또한, 캠팩트한 사이즈와 손쉬운 운용 기법 및 호환성으로 인해, 기존 3차원 형상 측정기의 프로브를 대체 가능하며, 추가 비용 없이 3차원 형상 측정기의 성능을 높일 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 대기 환경에서 사용시 대류, 진동, 열전도 등에 의해 발생하는 수~수백Hz 성분의 노이즈에 둔감하다는 특성이 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 기존 3차원 형상 측정기로 측정하지 못했던 LCD, OLED등의 패턴 증착 검사, 반도체 식각 공정 후 표면 거칠기 측정, Cylinder 및 Engine 등에서 발생하는 미세 균열의 측정에 사용 가능해진다.
도 1은 본 발명에 따른 진동 프로브 시스템의 일 실시예의 구조를 도시한 사시도이고,
도 2는 도 1의 진동 프로브 시스템의 저부면의 구조를 도시한 저면도이며,
도 3은 도 1의 진동 프로브 시스템의 측면의 구조를 도시한 측면도이고,
도 4는 도 1의 진동 프로브 시스템의 전면부를 분해하여 도시한 분해사시도이며,
도 5는 도 1의 진동 프로브 시스템의 레이저 다이오드와 광점위치검출기를 분해하여 도시한 분해사시도이고,
도 6은 도 2의 'Ⅵ-Ⅵ' 선에 따른 선 단면도이며,
도 7은 도 1의 진동 프로브 시스템의 작동 원리를 도시한 단면도이고,
도 8a는 도 1의 진동 프로브 시스템이 측정대상물과 비접촉된 상태에서의 파형을 도시한 그래프이고,
도 8b는 도 1의 진동 프로브 시스템이 측정대상물에 근접한 상태에서의 파형을 도시한 그래프이며,
도 9는 도 1의 진동 프로브 시스템과 측정대상물 사이의 거리에 따른 주파수 응답특성의 변화를 도시한 그래프이다.
하기의 설명에서 본 발명의 진동 프로브 시스템의 특정 상세들이 본 발명의 보다 전반적인 이해를 제공하기 위해 나타나 있는데, 이들 특정 상세들 없이 또한 이들의 변형에 의해서도 본 발명이 용이하게 실시될 수 있다는 것은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하되, 본 발명에 따른 동작 및 작용을 이해하는데 필요한 부분을 중심으로 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 진동 프로브 시스템의 일 실시예의 구조를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 진동 프로브 시스템의 저부면의 구조를 도시한 저면도이며, 도 3은 도 1의 진동 프로브 시스템의 측면의 구조를 도시한 측면도이고, 도 4는 도 1의 진동 프로브 시스템의 전면부를 분해하여 도시한 분해사시도이며, 도 5는 도 1의 진동 프로브 시스템의 레이저 다이오드와 광점위치검출기를 분해하여 도시한 분해사시도이고, 도 6은 도 2의 'Ⅵ-Ⅵ' 선에 따른 선 단면도이며, 도 7은 도 1의 진동 프로브 시스템의 작동 원리를 도시한 단면도이고, 도 8b는 도 1의 진동 프로브 시스템이 측정대상물에 근접한 상태에서의 파형을 도시한 그래프이며, 도 9는 도 1의 진동 프로브 시스템과 측정대상물 사이의 거리에 따른 주파수 응답특성의 변화를 도시한 그래프이다.
이들 도면에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 진동프로브 시스템은, 본체(100), 측정부(200), 및 가진부(300)를 포함한다.
가진부(300)는 유연 구조물(220)에 부착된 스타일러스(210)를 진동시키고, 측정부(200)는 스타일러스(210)의 변위를 측정하며, 본체(100)에는 가진부와 측정부가 장착된다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 진동 프로브 시스템을 이용하여 3차원 마이크로 형상의 외형을 측정하는 방법은 다음과 같다.
도 8a와 도 8b에 도시한 바와 같이, 스타일러스(210)는 유연 구조물(220)에 부착되며 가진부(300)를 사용하여 인위적인 댐핑 효과 없이 공진 주파수에서 스타일러스(210)가 진동되도록 한다.
이때, 도 9에 도시한 바와 같이, 댐핑계수가 작은 진동시스템은 다른 주파수보다 공진주파수에서 진폭이 월등히 크며, 주파수 변화에 대한 진폭 차이가 크게 되는데, 만약 스타일러스(210)가 측정대상물에 근접하게 되면 스타일러스 진동시스템의 공진주파수가 변이되고 공진 중이었던 스타일러스(210)의 진폭은 급격히 하락하게 된다.
이러한 스타일러스(210)의 진폭의 변화는 광점위치 검출부(260)에 의해 정현파 신호로서 변환이 되고, 이러한 정현파 신호는 가진주파수 성분만 Lock-in-amp로 필터링 및 DC전압 성분으로 변환 증폭되며, 증폭된 스타일러스(210)의 진폭 신호가 일정량 하락되는 현상을 유지하면서 측정대상물을 이송하면, 측정대상물의 3차원 표면 형상 측정이 가능하다.
이때, 스타일러스(210)와 유연구조물(220) 조합의 진동시스템을 설계시 공진주파수를 고주파로 설정하는 경우 대기 환경 중에서 발생하는 대류에 의한 노이즈 및 열에 의한 노이즈에 둔감하게 된다.
여기서, 스타일러스(210)의 진동을 광점위치 검출부(260)에서 산출하는 과정은 다음과 같다.
도 7에 도시한 바와 같이, 가진부(300)를 사용하여 방사형태의 유연구조물(220)에 부착된 스타일러스(210)를 공진시키면 유연구조물(220)은 지속적으로 탄성변형을 일으키게 되고, 스타일러스(210)가 수직운동을 할 때 유연구조물(220)의 외팔보는 그 중심에서 각도 변형이 최대로 발생하게 된다.
레이저 다이오드(231)는 유연구조물(220)의 외팔보 중심을 향해 레이저를 발생시키며, 유연구조물(220)의 각도 변형은 이에 반사되는 레이저의 광경로를 변화시키게 되고, 반사된 레이저는 오목거울로 형성된 증폭부재(240)에 의해 광경로 각도차가 증폭되며 거울(250)을 통해 광점위치 검출기(260)로 입력됨으로써 스타일러스(210)의 진동 정도가 수치로 산출가능하게 되는 것이다.
본 발명에 따른 진동 프로브 시스템의 구체적인 구조의 일 예는 다음과 같다.
본체(100)는 육면체 형상으로 형성된 3개의 부재가 상호 120도를 이루도록 방사형태로 배치된 구조를 갖도록 형성되어 그 단부에 형성된 절개공(130)이 상호 연통되며, 각각의 본체(100)의 일측면에는 수용홈(110)이 함몰 형성되고 내부에는 일정한 공간부(120)가 마련되어 있다.
그리고 일측면과 수직을 이루는 수직면의 길이 방향을 따라 중앙 영역에는 절개공(130)이 관통 형성되어 있으며, 일측면과 대향측의 타측면에는 후술할 광점위치 검출기(260)가 일정한 공간부(120)와 연통되도록 설치된다.
수용홈(110)의 저부면은 수용홈(110)에 수용되는 광출사부재(230)를 고정시킬 수 있도록 상기 저부면의 길이 방향을 따라 중앙을 기준으로 양측이 하향 경사지게 배치되며, 수용홈(110)의 상면에는 별도의 수용홈 커버부재(160)가 고정 결합되어 광출사부재(230)를 고정하게 된다.
또한, 본체(100)의 타측면에 설치되는 광점위치 검출부(260)도 외부로 노출되지 않도록 광점위치 검출부(260)의 외측에는 별도의 검출기 커버부재(150)가 본체(100)와 체결되어 있다.
절개공(130)이 형성된 본체(100)의 단부에는 본체(100)의 단면과 대응되는 형상으로 형성되어 후술할 유연 구조물(220)이 외부로 노출되지 않도록 함과 동시에 스타일러스(210)는 외부로 돌출되도록 그 중심에 관통공(141)이 형성된 전방커버(140)가 고정 결합되어 있다.
그리고 전방커버(140)와 대향되는 본체(100)의 배면에는 공간부(120)를 외부로 차폐시킬 수 있도록 별도의 후방커버(170)가 체결되어 있다.
측정부(200)는 본체(100)의 외부로 돌출되게 구비되는 스타일러스(210)와, 본체(100)의 수용홈(110)에 상기 수직면을 향하도록 수용되는 광출사부재(230)와, 상기 수직면의 길이 방향을 따라 절개공(130)에 배치되고 스타일러스(210)와 일단이 접촉되어 진동하며 광출사부재(230)에서 출사되는 빛을 반사시키는 유연구조물(220)과, 유연구조물(220)에서 반사된 빛의 광경로를 증폭시키는 증폭부재(240)와, 증폭부재(240)에서 광경로가 증폭된 빛을 반사하는 거울(250)과, 거울(250)에서 반사된 빛이 입력되는 광점위치 검출부(260)를 포함할 수 있다.
광출사부재(230)는 단일광을 출사하는 레이저 다이오드(231)로 구비할 수 있으며, 레이저가 출사되는 위치가 일측면과 수직을 이루는 수직면을 향하도록 수용홈(110)에 수용되는 것이 바람직하다.
유연구조물(220)은 절개공(130)의 형상과 대응되는 방사 형태로 형성되어 그 세 단부가 각각 절개공(130)의 단부에 고정 결합되며 그 중심은 스타일러스(210)가 부착되어 스타일러스(210)가 진동함에 따라 함께 진동하게 된다.
유연 구조물(220)은 그 중심에 스타일러스(210)가 부착되었을 때 스타일러스(210)의 끝단에서 평면 방향으로의 강성계수가 동일하도록 형성되며, 스타일러스(210)를 공진주파수에서 가진시켰을 때 수직 진동운동 이외의 기생운동이 발생하지 않도록 하는 역할을 한다.
또한, 유연 구조물(220)은 스타일러스(210)와 측정대상물이 측면에서 상호 작용시 평면 방향으로 동일한 민감도를 갖도록 형성되는 것이 바람직하며, 스타일러스(210)의 진동 운동이 온도 변화에 둔감해지도록 등방 형태를 갖도록 형성되는 것이 효과적이다.
그리고 스타일러스(210)가 부착된 유연구조물(220)의 배면 중심에는 가진부(300)가 설치되어 있다.
증폭부재(240)는 유연구조물(220)에서 반사된 빛의 광경로를 증폭시키는 역할을 할 수 있도록 일정한 공간부(120)의 내부에 설치되는 부재로서 오목거울로 형성될 수 있으며, 증폭부재(240)와 대향되는 면에는 증폭부재(240)에서 광경로가 증폭된 빛을 반사하는 거울(250)이 설치되어 있다.
광점위치 검출부(260)는 거울(250)에서 반사된 빛이 입력되어 스타일러스(210)가 상하 방향으로 진동한 거리를 환산하는 역할을 하는 부재로서 거울(250)의 전방에 구비되어 있다.
이러한 구조를 통하여, 광점위치 검출부(260)의 분해능이 0.1 ㎛, 유연구조물(220)의 외팔보 길이가 30mm, 오목거울의 곡률 반경이 40mm 일 때, 스타일러스(210)의 공진상태 진폭은 약 30 nm까지 운용이 가능하게 되는 것이다.
한편, 가진부(300)는 스타일러스(210)와 유연구조물(220)의 상호 접촉부와 근접한 영역의 본체(100)의 일단부에 구비되는 코일지지부(310)와, 코일지지부(310)에 일단이 지지되는 코일(320)과, 코일(320)의 타단에 이동가능하게 구비되는 자석 및 요크(330)를 포함할 수 있다.
가진부(300)는 스타일러스(210)를 공진 주파수로 가진시키는 역할을 수행하는 부재로서, 일반적으로 가진 장치로 사용되는 보이스 코일 모터(VCM)의 경우에는 자석과 요크가 고정자로 사용되고 코일이 이동자로 사용되는데, 이러한 경우에는 상대적으로 질량이 낮은 코일로 인해 공진주파수를 높일 수 있다는 장점이 있지만, 이동자에 전선이 부착되어야 하고 이동자에 열이 발생한다는 단점이 있다.
따라서, 본 발명의 가진부(300)에서는 코일(320)에서 발생되는 열에 의한 유연구조물(220)의 변형을 최소화하고 코일(320)과 연결되는 전선에 의한 유연구조물(220)의 강성계수 변형을 방지하고자 자석 및 요크(330)를 이동자로 사용하게 된다.
그리고 코일(320)은 코일지지부(310)에 부착되어 3개의 본체(100)의 정중앙에 삽입되며 코일지지부(310)는 스타일러스(210)의 높이 방향을 따라 이동가능하게 구비되며, 코일(320)의 위치를 수동으로도 정렬 가능하도록 설치되는 것이 바람직하다.
이러한 가진부(300)는 스타일러스(210)와 유연구조물(220)의 상호 접촉부와 근접한 영역의 본체(100)의 일단부에 구비된 납, 질콘, 티탄의 화합물인 피지티(PZT) 압전체로 형성될 수도 있다.
한편, 본 발명에 따른 진동프로브 시스템은 스타일러스의 변위를 이용하여 산출된 스타일러스의 진폭을 산출하는 진폭 산출부(미도시), 및 본체(100)의 이동에 따라 저감된 진폭을 유지하기 위하여 상기 측정대상물과 스타일러스(210) 사이의 이격 거리를 동일하게 유지하도록 하는 거리 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
이러한 거리 제어부에 의하여 본체(100)가 상기 측정대상물의 표면을 따라 이동될 수 있으며, 상기 측정대상물의 두께 방향을 따른 이동 정도에 따라 측정대상물의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구의 범위뿐만 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 본체 110: 수용홈
120: 공간부 130: 절개공
140: 전방커버 141: 관통공
150: 검출기 커버부재 160: 수용홈 커버부재
170: 후방커버 200: 측정부
210: 스타일러스 220: 유연구조물
230: 광출사부재 231: 레이저 다이오드
240: 증폭부재 241: 오목거울
250: 거울 260: 광점위치 검출부
300: 가진부 310: 코일지지부
320: 코일 330: 자석 및 요크

Claims (19)

  1. 삭제
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  3. 삭제
  4. 유연 구조물에 부착된 스타일러스를 진동시키는 가진부;
    상기 스타일러스의 변위를 측정하는 측정부; 및
    상기 가진부와 상기 측정부가 장착된 본체를 포함하는 진동 프로브 시스템으로서,
    상기 본체의 일측면에는 수용홈이 형성되고 상기 일측면과 수직을 이루는 수직면의 길이 방향을 따라 중앙 영역에는 절개공이 형성된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 스타일러스의 변위를 이용하여 산출된 상기 스타일러스의 진폭을 산출하는 진폭 산출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 진폭의 감소가 일정한 크기로 유지되도록 상기 본체와 측정 대상물 사이의 거리를 제어하는 신호를 생성하는 거리 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 가진부는 상기 스타일러스를 공진 주파수로 가진시키는 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 유연 구조물은 방사상으로 형성되며, 상기 스타일러스는 그 중앙에 부착된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 4항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 본체의 수용홈에 상기 수직면을 향하도록 수용되는 광출사부재와, 상기 수직면의 길이 방향을 따라 절개공에 배치되고 상기 스타일러스와 일단이 접촉되어 진동하며 상기 광출사부재에서 출사되는 빛을 반사시키는 유연구조물과, 상기 유연구조물에서 반사된 빛의 광경로를 증폭시키는 증폭부재와, 상기 증폭부재에서 광경로가 증폭된 빛을 반사하는 거울과, 상기 거울에서 반사된 빛이 입력되는 광점위치 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 광출사부재는 레이저 다이오드인 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 증폭부재는 오목거울로 형성된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  14. 제 11항에 있어서,
    상기 광점위치 검출부는 상기 수용홈이 형성된 상기 본체의 일측면과 대향되는 상기 본체의 타측면에 구비된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  15. 제 11항에 있어서,
    상기 수용홈의 저부면은 그 중앙을 기준으로 양측 저부면이 하향 경사지게 배치되고, 하향 경사지게 형성된 상기 저부면에 상기 광출사부재가 삽입되어 고정된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  16. 제 11항에 있어서,
    상기 가진부는 상기 스타일러스와 상기 유연구조물의 상호 접촉부와 근접한 영역의 상기 본체의 일단부에 구비되는 코일 지지부와, 상기 코일 지지부에 일단이 지지되는 코일과, 상기 코일의 타단에 이동가능하게 구비되는 자석 및 요크를 포함한 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  17. 제 11항에 있어서,
    상기 가진부는 상기 스타일러스와 상기 유연 구조물의 상호 접촉부와 근접한 영역의 상기 본체의 일단부에 구비된 납, 질콘, 티탄의 화합물인 피지티(PZT) 압전체로 형성된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  18. 제 11항에 있어서,
    상기 본체의 단부에 형성된 상기 절개공이 상호 연통되도록 상기 본체는 세 개가 상호 120도를 이루도록 방사상으로 배치되고, 상기 유연 구조물은 상기 절개공과 대응되는 형상으로 상호 120도를 이루는 방사상으로 형성되어 그 각각의 단부가 상기 본체의 단부에 고정 결합된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
  19. 제 11항에 있어서,
    상기 본체의 단부에는 상기 유연구조물이 외부로 노출되지 않도록 상기 본체의 단부와 대응되는 형상으로 형성되며 그 중앙에 상기 스타일러스가 돌출될 수 있는 관통공이 형성된 전방커버가 고정 결합된 것을 특징으로 하는 진동 프로브 시스템.
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