KR101310470B1 - Inertial Sensor - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 구동체, 상기 구동체를 탄성적으로 지지하는 가요성기판, 상기 구동체가 이동가능하도록 부유상태로 가요성기판을 지지하는 지지부, 상기 구동체를 구동시키는 구동수단, 상기 구동체의 구동을 검출하는 검출수단을 포함하고, 상기 구동체의 내부에 홈이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 홈 내부를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 전도성 볼의 홈 내부 이동경로를 검출함으로써, 정지상태에서 가속도의 검출이 가능한 관성센서를 제공하는 효과를 갖는다.A drive body according to the present invention, a flexible substrate for elastically supporting the drive body, a support for supporting the flexible substrate in a floating state so that the drive body is movable, drive means for driving the drive body, of the drive body And a detecting means for detecting driving, wherein a groove is formed in the driving body, a conductive layer is formed in the groove, and a conductive ball is inserted to move the inside of the groove. By detecting the movement path inside the groove, there is an effect of providing an inertial sensor capable of detecting the acceleration in the stationary state.

Description

관성센서{Inertial Sensor}Inertial Sensor

본 발명은 관성센서에 관한 것이다.
The present invention relates to an inertial sensor.

최근MEMS 기술을 이용한 소형, 경량의 관성센서 제작이 용이해짐에 따라 기존의 시장을 넘어서 가전제품으로 응용영역이 확대되고 있으며, 센서의 기능 또한 지속적으로 발전하여 하나의 센서로 하나의 축에 대한 관성력만 검출할 수 있는 단축센서에서, 하나의 센서로 2축 이상의 다축에 대한 관성력의 검출이 가능한 다축센서로 그 기능이 진화하고 있는 추세이다. Recently, as the manufacture of small and light inertial sensors using MEMS technology has become easier, the application area has been expanded to the home appliances beyond the existing market, and the function of the sensor is continuously developed, so that the inertial force on one axis with one sensor In the single-axis sensor that can detect only, the function is evolving into a multi-axis sensor that can detect the inertial force on two or more axes with one sensor.

그러나 종래기술에 따른 관성센서의 경우, 외력이 들어오는 순간 신호를 감지할 수 있으나, 시간이 지나면 신호가 감쇠되어 센서의 역할을 할 수 없는 문제점을 지니고 있다.
However, in the case of the inertial sensor according to the related art, it is possible to detect a signal at the moment when an external force is input, but has a problem that the signal is attenuated and may not function as a sensor over time.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 관성센서의 구동체의 내부에 홈을 형성하고, 상기 홈에 전도성 볼을 삽입하고, 전도성 볼의 이동에 따른 전기적 경로를 검출함으로써, 정지상태에서 가속도의 검출이 가능한 관성센서를 제공하기 위한 것이다.
An object of the present invention is to solve the above problems, by forming a groove in the drive body of the inertial sensor, inserting the conductive ball into the groove, by detecting the electrical path according to the movement of the conductive ball, An object of the present invention is to provide an inertial sensor capable of detecting acceleration in a state.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일실시예에 따른 관성센서는 구동체, 상기 구동체를 탄성적으로 지지하는 가요성기판, 상기 구동체가 이동가능하도록 부유상태로 가요성기판을 지지하는 지지부, 상기 구동체를 구동시키는 구동수단, 상기 구동체의 구동을 검출하는 검출수단을 포함하고, 상기 구동체의 내부에 홈이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 홈 내부를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 전도성 볼의 홈 내부 이동경로를 검출한다. In order to achieve the above object of the present invention, the inertial sensor according to an embodiment of the present invention is a flexible substrate for supporting the drive body, the drive body, the flexible board in a floating state so that the drive body is movable. And a supporting portion for supporting the driving body, a driving means for driving the driving body, and a detecting means for detecting driving of the driving body, wherein a groove is formed inside the driving body, and a conductor layer is formed inside the groove. And a conductive ball inserted to move inside, and detecting a movement path inside the groove of the conductive ball.

그리고 상기 홈은 구동체의 상,하 축방향으로 형성될 수도 있고, 상기 홈은 구동체의 상,하 대각선 방향으로 형성될 수도 있고, 상기 홈은 구동체의 상,하 축방향의 원형으로 형성될 수도 있고, 상기 홈은 구동체의 상,하 대각선방향의 원형으로 형성될 수도 있다.And the groove may be formed in the upper, lower axial direction of the drive body, the groove may be formed in the upper, lower diagonal direction of the drive body, the groove is formed in the circular direction of the upper, lower axial direction of the drive body The groove may be formed in a circular shape in the diagonal direction of the driving body.

또한, 상기 홈의 직경은 전도성 볼의 이동에 마찰력을 제공할 수 있도록 전도성 볼의 직경과 대응되도록 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the groove diameter is preferably formed to correspond to the diameter of the conductive ball to provide a friction force to the movement of the conductive ball.

또한, 상기 도체층은 가요성기판에 연장되고, 상기 도체층의 양단부에는 검출전극이 형성된다. In addition, the conductor layer extends on the flexible substrate, and detection electrodes are formed at both ends of the conductor layer.

또한, 본 발명에 따른 관성센서의 상기 가요성기판은 압전소자 및 전극을 증착되어 구동전극과 감지전극을 형성되고, 상기 가요성기판과 구동체를 보고하기 위해 상기 가요성기판의 상부에 결함되는 상부캡과, 상기 지지부에 결합되는 하부캡을 더 포함한다. In addition, the flexible substrate of the inertial sensor according to the present invention deposits a piezoelectric element and an electrode to form a driving electrode and a sensing electrode, and is defective on top of the flexible substrate to report the flexible substrate and the driving body. And an upper cap and a lower cap coupled to the support.

본 발명에 다른 실시예에 따른 관성센서는 구동체, 상기 구동체를 탄성적으로 지지하는 가요성 기판, 상기 구동체가 이동가능하도록 부유상태로 가요성기판을 지지하는 지지부, 상기 구동체를 구동시키는 구동수단, 상기 구동체의 구동을 검출하는 검출수단을 포함하고, 상기 지지부의 내부에 홈이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 홈 내부를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 전도성 볼이 홈 내부를 이동하는 경로를 검출한다. An inertial sensor according to another embodiment of the present invention includes a driving body, a flexible substrate for elastically supporting the driving body, a support for supporting the flexible substrate in a floating state to move the driving body, and driving the driving body. A driving means, detecting means for detecting driving of the driving body, a groove is formed in the support, a conductor layer is formed in the groove, and a conductive ball is inserted to be movable in the groove. In addition, the path of the conductive ball moving inside the groove is detected.

또한, 상기 구동체의 내부에 홈이 더 형성되고, 상기 구동체의 내부에 형성된 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 구동체의 내부에 형성된 홈 내부를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 지지부 내부에 형성된 홈 내부를 이동하는 전도성 볼이 이동하는 경로와, 상기 구동체 내부에 형성된 홈 내부를 이동하는 전도성 볼이 이동하는 경로를 동시에 검출한다.In addition, a groove is further formed in the drive body, a conductor layer is formed in the groove formed in the drive body, and includes a conductive ball inserted to move in the groove formed in the drive body. The path of the conductive ball moving inside the groove formed in the support portion and the path of the conductive ball moving inside the groove formed in the driving body are simultaneously detected.

그리고 상기 가요성기판은 압전소자 및 전극을 증착되어 구동전극과 감지전극을 형성되고, 상기 가요성기판과 구동체를 보고하기 위해 상기 가요성기판의 상부에 결함되는 상부캡과, 상기 지지부에 결합되는 하부캡을 더 포함한다.
The flexible substrate is formed by depositing a piezoelectric element and an electrode to form a driving electrode and a sensing electrode, and coupled to an upper cap that is defective on an upper portion of the flexible substrate to report the flexible substrate and the driving body. It further comprises a lower cap.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may appropriately define the concept of the term in order to best describe its invention The present invention should be construed in accordance with the spirit and scope of the present invention.

본 발명은 관성센서의 구동체의 내부에 홈을 형성하고, 상기 홈에 전도성 볼을 삽입하고, 전도성 볼의 이동에 따른 전기적 경로를 검출함으로써, 정지상태에서 가속도의 검출이 가능한 관성센서를 제공하는 효과를 갖는다.
The present invention provides a inertial sensor capable of detecting acceleration in a stationary state by forming a groove in the drive body of the inertial sensor, inserting a conductive ball into the groove, and detecting an electrical path according to the movement of the conductive ball. Has an effect.

도 1은 본 발명의 일 실시예 따른 관성센서의 개략적인 구성도.
도 2는 도 1에 나타낸 관성센서의 개략적인 사용상태도.
도 3은 본 발명에 따른 관성센서의 제1 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 4은 본 발명에 따른 관성센서의 제2 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 5은 본 발명에 따른 관성센서의 제3 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 관성센서의 제4 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예 따른 관성센서의 개략적인 구성도.
1 is a schematic configuration diagram of an inertial sensor according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic use state of the inertial sensor shown in FIG.
3 is a perspective view schematically showing a driving body according to the first embodiment of the inertial sensor according to the present invention;
Figure 4 is a perspective view schematically showing a drive body according to a second embodiment of the inertial sensor according to the present invention.
5 is a perspective view schematically showing a driving body according to a third embodiment of an inertial sensor according to the present invention;
Figure 6 is a perspective view schematically showing a drive body according to a fourth embodiment of the inertial sensor according to the present invention.
Figure 7 is a schematic diagram of an inertial sensor according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements are assigned the same number as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관성센서에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, an inertial sensor according to a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail.

도 1은 본 발명의 일 실시예 따른 관성센서의 개략적인 구성도이다. 도시한 바와 같이, 관성센서(100)는 가요성기판(110), 구동체(120), 지지부(130), 전도성 볼(140)을 포함한다.1 is a schematic configuration diagram of an inertial sensor according to an embodiment of the present invention. As illustrated, the inertial sensor 100 includes a flexible substrate 110, a driving body 120, a support 130, and a conductive ball 140.

그리고 상기 가요성기판(110)은 구동체(120)를 탄성적으로 지지하고, 상기 지지부(130)는 상기 구동체(120)가 이동가능하도록 부유상태로 가요성기판(110)을 지지한다. 또한, 본 발명에 따른 관성센서는 상기 구동체를 구동시키는 구동수단과 및 상기 구동체의 구동을 검출하는 검출수단을 포함한다.The flexible substrate 110 elastically supports the driving body 120, and the support 130 supports the flexible substrate 110 in a floating state so that the driving body 120 is movable. In addition, the inertial sensor according to the present invention includes a driving means for driving the drive body and a detection means for detecting the drive of the drive body.

그리고 상기 구동체(120)의 내부에 홈(121)이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층(122)이 형성된다. 그리고 상기 전도성 볼(140)은 상기 홈(121) 내부에 삽입된다.A groove 121 is formed in the driving body 120, and a conductor layer 122 is formed in the groove. The conductive ball 140 is inserted into the groove 121.

보다 구체적으로, 상기 홈(121)의 직경은 전도성 볼(140)의 이동에 마찰력을 제공할 수 있도록 전도성 볼의 직경과 대응되도록 형성되는 것이 바람직하다. More specifically, the diameter of the groove 121 is preferably formed to correspond to the diameter of the conductive ball so as to provide a friction force to the movement of the conductive ball 140.

또한, 상기 홈(121)에 형성된 도체층(122)은 가요성기판(110)에 연장되고, 가요기판(110)에 형성된 도체층(111)의 양단부에는 검출전극(112)이 형성된다. 이와 같이 이루어짐에 따라, 전기적 변화를 통해 상기 전도성 볼(140)이 홈(121) 내부에서 이동되는 경로를 검출하고 이를 이용하여 정지된 상태의 가속도를 검출한다.
In addition, the conductor layer 122 formed in the groove 121 extends on the flexible substrate 110, and detection electrodes 112 are formed at both ends of the conductor layer 111 formed on the flexible substrate 110. As such, the path through which the conductive ball 140 moves in the groove 121 is detected through an electrical change, and the acceleration of the stationary state is detected using the path.

도 2는 도 1에 나타낸 관성센서의 개략적인 사용상태도이다. 도시한 바와 같이, 관성센서(100)가 90도 방향으로 회전된 경우, 전도성 볼(140)은 상기 홈(121)의 내부 경로를 이동하게 되고, 이에 따른 전기적 변화를 검출하여 정지된 상태의 가속도를 검출한다.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating the use of the inertial sensor shown in FIG. 1. As shown, when the inertial sensor 100 is rotated in the 90-degree direction, the conductive ball 140 moves the inner path of the groove 121, the acceleration in the stopped state by detecting the electrical change accordingly Detect.

도 3은 본 발명에 따른 관성센서의 제1 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4은 본 발명에 따른 관성센서의 제2 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 관성센서의 구동체(120)의 홈(121)은 구동체의 상,하 축방향으로 형성될 수도 있고, 구동체(320)의 상기 홈(320)은 구동체의 상,하 대각선 방향으로 형성될 수도 있다.
3 is a perspective view schematically showing a driving body according to a first embodiment of an inertial sensor according to the present invention, and FIG. 4 is a perspective view schematically showing a driving body according to a second embodiment of an inertial sensor according to the present invention. As shown, the groove 121 of the drive body 120 of the inertial sensor according to the present invention may be formed in the upper and lower axial direction of the drive body, the groove 320 of the drive body 320 is driven It may be formed in the diagonal direction of the upper and lower sieves.

도 5은 본 발명에 따른 관성센서의 제3 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 관성센서의 제4 실시예에 따른 구동체를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도시한 바와 같이, 구동체(420)의 상기 홈(421)은 구동체의 상,하 축방향의 원형으로 형성될 수도 있고, 구동체(520)의 상기 홈(521)은 구동체의 상,하 대각선방향의 원형으로 형성될 수도 있다.5 is a perspective view schematically showing a driving body according to a third embodiment of the inertial sensor according to the present invention, Figure 6 is a perspective view schematically showing a driving body according to a fourth embodiment of the inertial sensor according to the present invention. As illustrated, the groove 421 of the driving body 420 may be formed in a circular shape in the upper and lower axial directions of the driving body, and the groove 521 of the driving body 520 may be formed on the driving body. It may be formed in a circle of the lower diagonal direction.

이와 같이, 본 발명에 따른 홈은 관성센서가 장착되는 전자기기의 용도 및 센싱대상을 고려하여 다양하게 설계될 수 있으며, 최적화된 형상이 적용될 수 있다.
As such, the groove according to the present invention may be variously designed in consideration of the purpose and sensing object of the electronic device on which the inertial sensor is mounted, and an optimized shape may be applied.

도 7은 본 발명의 다른 실시예 따른 관성센서의 개략적인 구성도이다. 도시한 바와 같이, 도시한 바와 같이, 관성센서(200)는 가요성기판(210), 구동체(220), 지지부(230), 전도성 볼(240)을 포함한다.7 is a schematic diagram of an inertial sensor according to another exemplary embodiment of the present invention. As shown, as shown, the inertial sensor 200 includes a flexible substrate 210, a driving body 220, a support 230, a conductive ball 240.

그리고 상기 가요성기판(210)은 구동체(220)을 탄성적으로 지지하고, 상기 지지부(130)는 상기 구동체(220)가 이동가능하도록 부유상태로 가요성기판(210)을 지지한다. 또한, 본 발명에 따른 관성센서는 상기 구동체를 구동시키는 구동수단과 및 상기 구동체의 구동을 검출하는 검출수단을 포함한다.The flexible substrate 210 elastically supports the driving body 220, and the support 130 supports the flexible substrate 210 in a floating state so that the driving body 220 is movable. In addition, the inertial sensor according to the present invention includes a driving means for driving the drive body and a detection means for detecting the drive of the drive body.

그리고 상기 지지부(230)의 내부에 홈(231)이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층(232)이 형성된다. 그리고 상기 전도성 볼(240)은 상기 홈(231) 내부에 삽입된다.A groove 231 is formed in the support 230, and a conductor layer 232 is formed in the groove. The conductive ball 240 is inserted into the groove 231.

보다 구체적으로, 상기 홈(231)의 직경은 전도성 볼(340)의 이동에 마찰력을 제공할 수 있도록 전도성 볼의 직경과 대응되도록 형성되는 것이 바람직하다. More specifically, the diameter of the groove 231 is preferably formed to correspond to the diameter of the conductive ball to provide a friction force to the movement of the conductive ball 340.

또한, 상기 홈(231)에 형성된 도체층(232)은 가요성기판(210)에 연장되고, 가요기판(210)에 형성된 도체층(211)의 양단부에는 검출전극(212)이 형성된다. 이와 같이 이루어짐에 따라, 전기적 변화를 통해 상기 전도성 볼(240)이 홈(231) 내부에서 이동되는 경로를 검출하고 이를 이용하여 정지된 상태의 가속도를 검출한다.In addition, the conductor layer 232 formed in the groove 231 extends to the flexible substrate 210, and detection electrodes 212 are formed at both ends of the conductor layer 211 formed on the flexible substrate 210. As such, the path through which the conductive ball 240 is moved inside the groove 231 through electrical changes is detected, and the acceleration of the stationary state is detected using the same.

또한, 본 발명에 따른 관성센서는 구동체 및 지지부에 동시에 홈이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 홈 내부의 경로를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 지지부 내부의 홈 경로를 이동하는 전도성 볼과, 상기 구동체 내부에 홈 경로를 이동을 전도성 볼의 이동을 동시에 검출하도록 구현될 수도 있다.In addition, the inertial sensor according to the present invention includes a conductive ball is formed at the same time the drive body and the support portion, a conductive layer is formed in the groove, the conductive ball is inserted to move the path inside the groove, the inside of the support The conductive ball to move the groove path of the, and the groove path inside the drive body may be implemented to detect the movement of the conductive ball at the same time.

또한, 본 발명에 따른 관성센서의 상기 가요성기판은 압전소자 및 전극을 증착되어 구동전극과 감지전극을 형성되고, 상기 가요성기판과 구동체를 보고하기 위해 상기 가요성기판의 상부에 결함되는 상부캡과, 상기 지지부에 결합되는 하부캡을 더 포함한다.
In addition, the flexible substrate of the inertial sensor according to the present invention deposits a piezoelectric element and an electrode to form a driving electrode and a sensing electrode, and is defective on top of the flexible substrate to report the flexible substrate and the driving body. And an upper cap and a lower cap coupled to the support.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 관성센서는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. Although the present invention has been described in detail through specific embodiments, this is for explaining the present invention in detail, and the inertial sensor according to the present invention is not limited thereto, and the general knowledge of the art within the technical spirit of the present invention is provided. It is obvious that modifications and improvements are possible by those who have them.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100, 200 : 관성센서 110, 210 : 가요성기판
111, 211 : 도체층 112, 212 : 검출전극
120, 220 : 구동체 130, 230 : 지지부
140, 240 : 전도성 볼100, 200: inertial sensor 110, 210: flexible board
111, 211: conductor layer 112, 212: detection electrode
120, 220: drive body 130, 230: support part
140, 240: conductive balls

Claims (11)

구동체, 상기 구동체를 탄성적으로 지지하는 가요성기판, 상기 구동체가 이동가능하도록 부유상태로 가요성기판을 지지하는 지지부, 상기 구동체를 구동시키는 구동수단, 및 상기 구동체의 구동을 검출하는 검출수단을 포함하는 관성센서로서,
상기 구동체의 내부에 홈이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 홈 내부를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 전도성 볼의 홈 내부 이동경로를 검출하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
A drive body, a flexible substrate for elastically supporting the drive body, a support for supporting the flexible substrate in a floating state so that the drive body is movable, a drive means for driving the drive body, and detecting the drive of the drive body An inertial sensor comprising a detecting means,
A groove is formed in the driving body, a conductive layer is formed in the groove, and includes a conductive ball inserted into the groove to move the inside of the groove, and detects a movement path in the groove of the conductive ball. Inertial sensors.
청구항 1에 있어서,
상기 홈은 구동체의 상,하 축방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 1,
The groove is an inertial sensor, characterized in that formed in the upper, lower axial direction of the drive body.
청구항 1에 있어서,
상기 홈은 구동체의 상,하 대각선 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 1,
The groove is an inertial sensor, characterized in that formed in the diagonal direction up, down.
청구항 1에 있어서,
상기 홈은 구동체의 상,하 축방향의 원형으로 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 1,
The groove is an inertial sensor, characterized in that formed in the circular direction of the upper, lower axial direction of the drive body.
청구항 1에 있어서,
상기 홈은 구동체의 상,하 대각선방향의 원형으로 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 1,
The groove is an inertial sensor, characterized in that formed in a circular direction of the upper, lower diagonal direction of the drive body.
청구항 1에 있어서,
상기 홈의 직경은 전도성 볼의 이동에 마찰력을 제공할 수 있도록 전도성 볼의 직경과 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 1,
The diameter of the groove is an inertial sensor, characterized in that formed to correspond to the diameter of the conductive ball to provide a friction force to the movement of the conductive ball.
청구항 1에 있어서,
상기 도체층은 가요성기판에 연장되고, 상기 도체층의 양단부에는 검출전극이 형성된 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 1,
Wherein the conductor layer extends on the flexible substrate, and detection electrodes are formed at both ends of the conductor layer.
청구항 1에 있어서,
상기 가요성기판은 압전소자 및 전극을 증착되어 구동전극과 감지전극을 형성되고, 상기 가요성기판과 구동체를 보고하기 위해 상기 가요성기판의 상부에 결함되는 상부캡과, 상기 지지부에 결합되는 하부캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 1,
The flexible substrate is formed by depositing a piezoelectric element and an electrode to form a driving electrode and a sensing electrode, and coupled to an upper cap that is defective on an upper portion of the flexible substrate to report the flexible substrate and the driving body. Inertial sensor further comprises a lower cap.
구동체, 상기 구동체를 탄성적으로 지지하는 가요성 기판, 상기 구동체가 이동가능하도록 부유상태로 가요성기판을 지지하는 지지부, 상기 구동체를 구동시키는 구동수단, 상기 구동체의 구동을 검출하는 검출수단을 포함하는 관성센서로서,
상기 지지부의 내부에 홈이 형성되고, 상기 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 홈 내부를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 전도성 볼이 홈 내부를 이동하는 경로를 검출하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
A drive body, a flexible substrate for elastically supporting the drive body, a support for supporting the flexible substrate in a floating state so that the drive body is movable, drive means for driving the drive body, detecting the drive of the drive body An inertial sensor comprising a detection means,
A groove is formed in the support, a conductor layer is formed in the groove, and includes a conductive ball inserted to move the inside of the groove, and detects a path through which the conductive ball moves inside the groove. Inertial sensor.
청구항 9에 있어서,
상기 구동체의 내부에 홈이 더 형성되고, 상기 구동체의 내부에 형성된 홈 내부에 도체층이 형성되고, 상기 구동체의 내부에 형성된 홈 내부를 이동가능하도록 삽입되는 전도성 볼을 포함하고, 상기 지지부 내부에 형성된 홈 내부를 이동하는 전도성 볼이 이동하는 경로와, 상기 구동체 내부에 형성된 홈 내부를 이동하는 전도성 볼이 이동하는 경로를 동시에 검출하는 것을 특징으로 하는 관성센서.
The method according to claim 9,
A groove is further formed in the driving body, and a conductive layer is formed in the groove formed in the driving body, and includes a conductive ball inserted to move the inside of the groove formed in the driving body. An inertial sensor characterized in that for detecting the path of the conductive ball to move the inside of the groove formed in the support portion and the path of the conductive ball to move the inside of the groove formed in the drive at the same time.
청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
상기 가요성기판은 압전소자 및 전극을 증착되어 구동전극과 감지전극을 형성되고, 상기 가요성기판과 구동체를 보고하기 위해 상기 가요성기판의 상부에 결함되는 상부캡과, 상기 지지부에 결합되는 하부캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관성센서. The method according to claim 9 or 10,
The flexible substrate is formed by depositing a piezoelectric element and an electrode to form a driving electrode and a sensing electrode, and coupled to an upper cap that is defective on an upper portion of the flexible substrate to report the flexible substrate and the driving body. Inertial sensor further comprises a lower cap.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH11211749A (en) * 1998-01-27 1999-08-06 Matsushita Electric Works Ltd Semiconductor acceleration sensor
KR20050044883A (en) * 2005-04-23 2005-05-13 권대웅 Magnet style inertia sensor guided by special inertia power

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