KR101309213B1 - Wafer carrier - Google Patents

Wafer carrier Download PDF

Info

Publication number
KR101309213B1
KR101309213B1 KR1020110062837A KR20110062837A KR101309213B1 KR 101309213 B1 KR101309213 B1 KR 101309213B1 KR 1020110062837 A KR1020110062837 A KR 1020110062837A KR 20110062837 A KR20110062837 A KR 20110062837A KR 101309213 B1 KR101309213 B1 KR 101309213B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cover
storage box
wafer
wafer storage
gasket
Prior art date
Application number
KR1020110062837A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20130006996A (en
Inventor
박종익
신은주
우재창
Original Assignee
주식회사 삼에스코리아
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 삼에스코리아 filed Critical 주식회사 삼에스코리아
Priority to KR1020110062837A priority Critical patent/KR101309213B1/en
Publication of KR20130006996A publication Critical patent/KR20130006996A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101309213B1 publication Critical patent/KR101309213B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements

Abstract

본 발명의 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 웨이퍼 수납 박스와 덮개 사이를 밀폐시키기 위한 가스켓을 덮개의 결합부 테투리면에 형성되는 삽입홈에 수직 끼움 방식으로 체결하고 테두리면의 내측 가장자리를 따라 형성되는 고정 벽면에서 고정 돌기와의 사이에 몸체부를 측면 끼움 방식으로 체결하여, 가스켓의 체결력을 향상시켜 덮개와 웨이퍼 수납 박스 사이의 충분한 기밀 상태를 유지할 수 있도록 함과 아울러 덮개의 닫힘 초기에 측면 끼움 방식으로만 체결된 가스켓 몸체부와의 사이로 적당한 공기 배출 틈새가 형성되도록 하여 웨이퍼 수납 박스 내부에 갇힌 공기들이 빠져 나올 수 있게 함으로써 덮개의 닫힘 초기 동작이 원활하게 이루어질 수 있도록 함과 아울러 덮개 닫힘시 내부 공기압 증가에 따른 웨이퍼 수납 박스 및 웨이퍼의 변형을 방지할 수 있는 효과를 갖는다. According to the wafer carrier of the present invention, a gasket for sealing between the wafer storage box and the lid is fastened to the insertion groove formed in the joining portion of the cover in a vertical manner in a fixed wall surface formed along the inner edge of the rim surface By tightening the body part between the fixing projections in the side fitting method, to improve the clamping force of the gasket to maintain a sufficient airtight state between the cover and the wafer storage box, and only by the side fitting method at the beginning of the cover closing The proper air discharge gap is formed between the gasket body to allow the air trapped inside the wafer storage box to escape, thereby facilitating the initial closing operation of the cover and the wafer due to the increase in internal air pressure when the cover is closed. Deformation of the storage box and wafer It has the effect that can stop.

Description

웨이퍼 캐리어{WAFER CARRIER}Wafer Carrier {WAFER CARRIER}

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 웨이퍼 수납 박스와 덮개 사이의 기밀성을 유지시키기 위한 가스켓 결합 구조에 관한 것이다.
The present invention relates to a wafer carrier, and more particularly to a gasket coupling structure for maintaining the airtightness between the wafer storage box and the lid.

주지된 바와 같이, 웨이퍼 캐리어(Wafer Carrier)는 반도체 소자 제조 과정에서 사용되는 실리콘 재질의 웨이퍼들이 각 단위의 반도체 제조 공정을 거치도록 이송 및 반송하도록 하는 웨이퍼 이송 및 운반용 용기를 말한다.As is well known, a wafer carrier refers to a container for transferring and conveying wafers, in which silicon wafers used in a semiconductor device manufacturing process are transported and conveyed through each semiconductor manufacturing process.

웨이퍼 캐리어는 운반 및 보관용도로 사용되는 전면개방 운반용기(Front Opening Shipping Box: 이하 '포스비(FOSB)' 라 함)와, 운반 및 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 '풉(FOUP)'라 함)가 주로 사용된다.Wafer carriers are Front Opening Shipping Boxes (FOSBs) used for transport and storage, and Front Open Integrated Pods used for process as well as transport and storage. Open Unified Pods (hereinafter referred to as FOUPs) are commonly used.

일례로, 포스비(FOSB)는 상기 웨이퍼들을 수용하기 위한 내부 수용 공간이 구비되는 웨이퍼 수납 박스와, 이 웨이퍼 수납 박스의 전면 개방부를 개폐하기 위한 덮개를 포함하여 구성된다. 그리고, 상기한 덮개에는 몸체와 결합부의 기밀 상태를 유지하기 위한 가스켓이 설치된다.In one example, the POSB includes a wafer storage box having an inner accommodating space for accommodating the wafers, and a lid for opening and closing a front opening of the wafer storage box. And, the cover is provided with a gasket for maintaining the airtight state of the body and the coupling portion.

상기한 가스켓은 몸체의 전면 개방부에 덮개를 끼워 결합시 발생하는 가압력에 의해 탄성 변형하며 상기한 몸체와 덮개 결합부의 기밀 상태를 유지하도록 함으로써, 공기 및 이와 함께 유입되는 수분이나 미세 파티클 등의 웨이퍼 오염물질들의 침입을 방지하도록 한다.The gasket is elastically deformed by the pressing force generated when the cover is fitted to the front opening of the body and maintains the airtight state of the body and the cover coupling portion, thereby allowing wafers such as air and moisture or fine particles introduced therethrough. Prevent ingress of contaminants.

따라서, 가스켓이 덮개의 가장자리부를 따라 견고하게 고정되지 못하는 경우 덮개와 웨이퍼 수납 박스 사이의 기밀 상태를 유지할 수 없게 되는 문제점을 갖는다. Therefore, there is a problem in that when the gasket is not firmly fixed along the edge of the cover, the airtight state between the cover and the wafer storage box cannot be maintained.

또한, 덮개가 웨이퍼 수납 박스의 개방부를 닫는 초기 과정에서 가스켓과 덮개 사이에 적당한 공기 배출 틈새를 형성하지 못하는 경우 덮개에 의해 웨이퍼 수납 박스 내부에 갇힌 공기들이 빠져 나오지 못하게 되어 덮개 닫힘 동작이 원활하게 이루어지지 못하게 됨과 아울러 내부 공기압이 높아지면서 웨이퍼 수납 박스의 변형을 초래하게 되는 단점을 갖는다.
In addition, if the cover does not form a proper air discharge gap between the gasket and the cover during the initial process of closing the opening of the wafer storage box, air trapped inside the wafer storage box is prevented from escaping by the cover, thereby smoothly closing the cover. In addition to being unable to support, the internal air pressure increases, resulting in deformation of the wafer storage box.

상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 가스켓의 체결력을 높여 덮개와 웨이퍼 수납 박스 사이의 충분한 기밀 상태를 유지할 수 있도록 함과 아울러 덮개가 웨이퍼 수납 박스의 개방부를 폐쇄하는 초기 과정에서 가스켓과 덮개 사이에 적당한 공기 배출 틈새를 형성할 수 있도록 하는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.
An object of the present invention for solving the above problems is to increase the tightening force of the gasket to maintain a sufficient airtight state between the cover and the wafer storage box, and also to cover the gasket in the initial process of closing the opening of the wafer storage box. It is to provide a wafer carrier capable of forming a suitable air outlet clearance between the lids.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 수납을 위해 일면이 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 웨이퍼 수납 박스; 상기 웨이퍼 수납 박스의 개방부에 끼워져 폐쇄하도록 가장자리를 따라 결합부가 형성되는 덮개; 및 상기 덮개의 상기 결합부를 따라 체결 고정되며, 상기 웨이퍼 수납 박스의 개방부와 상기 덮개의 결합부 사이를 밀폐시키는 가스켓을 포함하고, 상기 덮개는 상기 결합부에서 상기 웨이퍼 수납 박스의 개방 전면과 마주하는 테두리면을 따라 일정 간격을 두고 삽입홈이 형성되고, 상기 테두리면 내측 가장자리를 따라 형성되는 고정벽면에는 고정 돌기가 돌출 형성되며, 상기 가스켓은 상기 덮개의 테두리면과 상기 고정 돌기 사이에서 측면 끼움 방식으로 끼워져 고정되는 몸체; 상기 몸체로터 두께가 점차 작아지며 연장 결합되어 상기 덮개 결합시 상기 웨이퍼 수납 박스의 개방부에 압착 고정되는 밀착판; 및 상기 몸체로부터 상기 덮개의 테두리면에 형성되는 상기 삽입홈에 대응되게 돌출 형성되어, 상기 삽입홈에 수직 끼움 방식으로 삽입 고정되는 체결 돌기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The wafer carrier of the present invention for achieving the above object is a wafer storage box having one side is opened for receiving the wafer and the receiving space is formed therein; A cover formed along a periphery of the lid so as to fit into and close the opening of the wafer storage box; And a gasket fastened and fixed along the coupling portion of the cover, the gasket sealing the opening between the opening of the wafer storage box and the coupling portion of the cover, wherein the cover faces an open front surface of the wafer storage box at the coupling portion. Insertion grooves are formed at predetermined intervals along the edge surface, and a fixing protrusion protruding from the fixed wall surface formed along the inner edge of the edge surface, and the gasket is fitted between the edge of the cover and the fixing protrusion. A body fitted and fixed in a manner; A contact plate that is gradually smaller in thickness and extends from the body rotor to be pressed and fixed to the opening of the wafer storage box when the cover is coupled; And a fastening protrusion protruding from the body to correspond to the insertion groove formed on the edge of the cover and being inserted and fixed in a vertical fitting manner to the insertion groove.

여기서, 상기 삽입홈과 상기 고정 돌기는 상기 덮개의 가장자리를 따라 복수개가 서로 교번하며 형성되는 더 바람직하다.Here, the insertion groove and the fixing protrusion is more preferably formed with a plurality of alternating with each other along the edge of the cover.

또한, 상기 각 삽입홈의 길이가 상기 각 고정 돌기의 길이 보다 더 길게 형성되는 것이 바람직하다.
In addition, the length of each insertion groove is preferably formed longer than the length of each of the fixing projections.

상기한 본 발명의 웨이퍼 캐리어에 따르면, 웨이퍼 수납 박스와 덮개 사이를 밀폐시키기 위한 가스켓을 덮개의 결합부 테투리면에 형성되는 삽입홈에 수직 끼움 방식으로 체결하고 테두리면의 내측 가장자리를 따라 형성되는 고정 벽면에서 고정 돌기와의 사이에 몸체부를 측면 끼움 방식으로 체결하여, 가스켓의 체결력을 향상시켜 덮개와 웨이퍼 수납 박스 사이의 충분한 기밀 상태를 유지할 수 있도록 함과 아울러 덮개의 닫힘 초기에 측면 끼움 방식으로만 체결된 가스켓 몸체부와의 사이로 적당한 공기 배출 틈새가 형성되도록 하여 웨이퍼 수납 박스 내부에 갇힌 공기들이 빠져 나올 수 있게 함으로써 덮개의 닫힘 초기 동작이 원활하게 이루어질 수 있도록 함과 아울러 덮개 닫힘시 내부 공기압 증가에 따른 웨이퍼 수납 박스 및 웨이퍼의 변형을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.
According to the wafer carrier of the present invention described above, a gasket for sealing between the wafer storage box and the cover is fastened to the insertion groove formed in the joining surface of the cover in a vertical fitting manner and fixed along the inner edge of the edge surface. By fastening the body part side by side between the fixing projections on the wall, the clamping force of the gasket can be improved to maintain sufficient airtightness between the cover and the wafer storage box, and only by the side fitting method at the beginning of the cover closing. By forming a proper air discharge gap between the gasket body part, the trapped air inside the wafer storage box can be released to facilitate the initial operation of the cover and the increase of internal air pressure when the cover is closed. Wafer storage box and wafer deformation It has the effect that can stop.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 덮개 분리 사시도이다.
도 2는 도 1의 덮개와 가스켓을 분리하여 도시한 분리 사시도이다.
도 3은 도 2의 덮개와 가스켓을 분리하여 도시한 부분확대 사시도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 잘라서 본 측단면도이다.
도 5는 도 2의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 잘라서 본 측단면도이다.
도 6은 웨이퍼 캐리어의 덮개 결합 과정을 도시한 부분 확대 측단면이다.1 is an exploded perspective view of a cover of a wafer carrier according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the cover and the gasket of FIG. 1 separately.
3 is a partially enlarged perspective view illustrating the cover and the gasket of FIG. 2 separated from each other.
4 is a side cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 2.
FIG. 5 is a side cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 2. FIG.
6 is a partially enlarged side cross-sectional view illustrating a lid bonding process of the wafer carrier.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 덮개 분리 사시도이고, 도 2는 도 1의 덮개와 가스켓을 분리하여 도시한 분리 사시도이다. 1 is an exploded perspective view of a cover of a wafer carrier according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the cover and the gasket of FIG. 1 separated from each other.

도 1 내지 도 2를 참조하여 설명하면, 웨이퍼 캐리어(1)는 포스비(FOSB)인 것을 예시하며, 포스비는 웨이퍼 수납 박스(10)와 웨이퍼 수납 박스의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하는 덮개(20)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 1 and 2, the wafer carrier 1 exemplifies a force ratio (FOSB), and the force ratio is a cover 20 for closing and closing the front opening of the wafer storage box 10 and the wafer storage box. It is configured to include.

웨이퍼 수납 박스(10)는 전면이 개방되며 내부에 웨이퍼(미도시)를 수납하기 위한 내부 수납 공간(11)이 형성된다.The front surface of the wafer storage box 10 is opened and an internal storage space 11 for storing a wafer (not shown) is formed therein.

덮개(20)는 웨이퍼 수납 박스(10) 내부에 실장된 웨이퍼들을 안전하게 운반 및 보관할 수 있도록 웨이퍼 수납 박스의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하도록 한다.The cover 20 closes and closes the front opening of the wafer storage box to safely transport and store the wafers mounted in the wafer storage box 10.

한편, 덮개(20)에는 웨이퍼 수납 박스에 닫힘 상태를 유지하도록 하거나 또는 잠금 상태를 유지할 수 있도록 하기 위한 덮개 잠금 수단(미도시)이 구비된다.On the other hand, the cover 20 is provided with a cover locking means (not shown) for maintaining a closed state or a locked state in the wafer storage box.

상기한 덮개 잠금 수단(미도시)은 덮개(20) 내부에 회전 가능하게 설치되는 회동 캠(미도시)들에 연동하는 한 쌍의 잠금 바(미도시)가 양측으로 펼쳐지거나 접히며 웨이퍼 수납 박스(10)의 전면 개방부 양측에 구비되는 걸림홈(미도시)에 걸려에 덮개(10)의 닫힘 상태로 잠금 유지하거나 잠금 해지하도록 한다. The cover locking means (not shown) is a wafer storage box in which a pair of locking bars (not shown) interlocked with the rotating cams (not shown) rotatably installed inside the cover 20 are unfolded or folded at both sides. The locking groove (not shown) provided at both sides of the front opening of the 10 is locked to the closed state of the cover 10 or locked to be released.

그리고, 상기한 몸체(10)와 덮개(20)의 사이의 개재되어, 몸체(10)와 덮개(20)의 결합부를 통한 공기의 유입을 막아 기밀 상태를 유지하도록 하는 가스켓(30)이 구비된다. In addition, the gasket 30 is interposed between the body 10 and the cover 20 to prevent the inflow of air through the coupling portion of the body 10 and the cover 20 to maintain an airtight state. .

본 실시예에서 가스켓(30)은 덮개측 결합부(20)의 테두리를 따라 체결 고정되어, 웨이퍼 수납 박스(10)의 전면 개방부에 덮개(20)를 끼워 결합시 전달되는 가압력 및 웨이퍼 수납 박스(10) 내외부의 압력차에 의해 탄성 변형되며 상기한 웨이퍼 수납 박스(10)와 덮개(20) 사이의 기밀 상태를 유지하도록 한다. In this embodiment, the gasket 30 is fastened and fixed along the edge of the cover side coupling part 20, and the pressing force and the wafer storage box delivered when the cover 20 is fitted to the front opening of the wafer storage box 10 are combined. (10) It is elastically deformed by the pressure difference between the inside and the outside, and maintains the airtight state between the wafer storage box 10 and the lid 20 described above.

도 3은 도 2의 덮개와 가스켓을 분리하여 도시한 부분확대 사시도이고, 도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 잘라서 본 측단면도이며, 도 5는 도 2의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 잘라서 본 측단면도이다.3 is a partially enlarged perspective view illustrating the cover and the gasket of FIG. 2 separated from each other, FIG. 4 is a side cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 2, and FIG. 5 is taken along line V-V of FIG. 2. This is a side sectional view.

도 3 내지 도 5를 참조하여 설명하면, 덮개(20)는 상기한 결합부(21)에 상기 웨이퍼 수납 박스(10)의 개방 전면(12)과 마주하는 테두리면(22)에 일정 간격을 두고 삽입홈(23)이 이격되며 형성된다. Referring to FIGS. 3 to 5, the cover 20 is spaced apart from the edge portion 22 facing the open front surface 12 of the wafer storage box 10 at the coupling portion 21. Insertion grooves 23 are formed spaced apart.

그리고, 상기한 테두리면(22) 내측 가장자리를 따라 형성되는 고정 벽면(24)에 일정 간격을 두고 고정 돌기(25)가 외측으로 돌출 형성된다.In addition, the fixing protrusion 25 protrudes outward at a predetermined interval on the fixing wall surface 24 formed along the inner edge of the edge surface 22.

이때, 상기 삽입홈(23)과 상기 고정 돌기(25)는 상기 덮개(20)의 가장자리 결합부(21)를 따라 서로 교번하며 형성되며, 가스켓의 체결력을 높일 수 있도록 상기 각 삽입홈의 길이가 상기 각 고정 돌기의 길이 보다 더 길게 형성되는 것이 바람직하다. At this time, the insertion groove 23 and the fixing protrusion 25 are formed alternately along the edge coupling portion 21 of the cover 20, the length of each insertion groove to increase the fastening force of the gasket It is preferably formed longer than the length of each fixing projection.

그리고, 가스켓(30)은 몸체부(31), 체결 돌기부(33) 및 밀착판부(32)을 포함하여 구성된다.The gasket 30 includes a body 31, a fastening protrusion 33, and an adhesive plate 32.

여기서, 몸체부(31)는 덮개(20)와의 체결 강도를 갖도록 단면상 사각 단면 형상으로 이루어지며, 덮개(20)의 테두리면(22)과 상기 고정 돌기(25) 사이에서 측면 끼움 방식으로 끼워져 고정된다.Here, the body portion 31 is made of a rectangular cross-sectional shape in cross section so as to have a fastening strength with the cover 20, and is fixed by being sandwiched between the edge surface 22 of the cover 20 and the fixing projection 25 in a side fitting manner. do.

체결 돌기부(33)는 몸체부(31)로부터 상기 덮개(20)의 테두리면(22)에 형성되는 상기 삽입홈(23)에 대응되게 돌출 형성되어, 상기 삽입홈(23)에 수직 끼움 방식으로 끼워져 고정된다.The fastening protrusion 33 is formed to protrude from the body portion 31 to correspond to the insertion groove 23 formed in the rim surface 22 of the cover 20, so as to vertically fit into the insertion groove 23. Is fitted and fixed.

그리고, 밀착판부(32)는 상기 몸체부(31)로부터 두께가 점차 작아지며 연장 결합되어 상기 덮개(20) 결합시 덮개(20)에 전달되는 가압력 및 웨이퍼 수납 박스(10) 내외부의 압력차에 의해 탄성 변형되며 상기한 웨이퍼 수납 박스(10)와 개방부(11)에 압착 고정되어 이들 사이의 기밀 상태를 유지하도록 한다.In addition, the contact plate part 32 is gradually reduced in thickness from the body part 31 and is extended and coupled to the pressure difference between the cover 20 when the cover 20 is coupled and the pressure difference between the inside and the outside of the wafer storage box 10. It is elastically deformed by pressing and fixed to the above-described wafer storage box 10 and the opening 11 to maintain the airtight state therebetween.

이처럼 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(1)는 웨이퍼 수납 박스(10)와 덮개(20) 사이를 밀폐시키기 위한 가스켓(30)의 체결 돌기부(33)가 덮개(20)의 결합부(21) 테투리면(22)에 형성되는 삽입홈(23)에 수직 끼움 방식으로 1차 체결 고정되도록 함과 동시에 가스켓(30)의 몸체부(31)가 테두리면(22)의 내측 가장자리를 따라 형성되는 고정 벽면(24)에서 고정 돌기(25)와의 사이에 몸체부(31)가 측면 끼움 방식으로 2차 체결 고정되도록 하여 가스켓의 체결력을 좀더 효과적으로 유지시킬 수 있도록 한다. As such, in the wafer carrier 1 of the present embodiment, the fastening protrusion 33 of the gasket 30 for sealing between the wafer storage box 10 and the lid 20 has a surface where the coupling portion 21 of the lid 20 is formed ( A fixed wall surface 24 in which the body portion 31 of the gasket 30 is formed along the inner edge of the rim surface 22 while being fixed to the first fastening in a vertical fitting manner to the insertion groove 23 formed in the 22. In order to maintain the fastening force of the gasket more effectively by fixing the secondary fastening by the body portion 31 in the side fitting method between the fixing projection 25 and the).

도 6은 웨이퍼 캐리어의 덮개 결합 과정을 도시한 부분 확대 측단면이다.6 is a partially enlarged side cross-sectional view illustrating a lid bonding process of the wafer carrier.

도 6을 참조하여 설명하면, 상기한 덮개(20)가 웨이퍼 수납 박스(10)의 개방부(11)를 닫기 시작하는 닫힘 초기에는 내외측 압력차에 의해 측면 끼움 방식으로만 체결 고정되는 가스켓(30)의 몸체부(31)가 순간적으로 변형되며 이에 접하는 덮개(20) 결합부(21)의 테두리면(22)과 고정 벽면(23) 사이에는 적당한 공기 배출 틈새를 형성하게 된다. Referring to FIG. 6, a gasket which is fastened and fixed only in a side-fitting manner by an internal and external pressure difference at the initial closing time when the cover 20 starts to close the opening 11 of the wafer storage box 10 ( The body portion 31 of the 30 is instantaneously deformed and forms a suitable air outlet clearance between the rim surface 22 and the fixed wall surface 23 of the cover 20 engaging portion 21 in contact therewith.

따라서, 덮개(20)에 의해 웨이퍼 수납 박스(10) 내부에 과도하게 갇힌 공기들이 빠져 나올 수 있게 함으로써 덮개의 닫힘 동작이 원활하게 이루어질 수 있도록 함과 아울러 덮개 닫힘시 내부 공기압 증가에 따른 웨이퍼 수납 박스(10) 및 그 내부에 수납되는 웨이퍼(미도시)의 변형을 방지할 수 있게 된다. Accordingly, by allowing the air 20 trapped excessively inside the wafer storage box 10 by the cover 20 to escape, the closing operation of the cover can be performed smoothly, and the wafer storage box according to the increase in the internal air pressure when the cover is closed. It is possible to prevent deformation of the wafer 10 and the wafer (not shown) contained therein.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications or changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. In addition, it is natural that it belongs to the scope of the present invention.

1:웨이퍼 캐리어 10: 웨이퍼 수납 박스
11: 내부 수납 공간 20: 덮개
21: 결합부 22: 테두리면
23: 삽입홈 24: 고정 벽면
25: 고정 돌기 30: 가스켓
31: 몸체부 32: 밀착판부
33: 체결 돌기부1: wafer carrier 10: wafer storage box
11: inside compartment 20: cover
21: engaging portion 22: border surface
23: insertion groove 24: fixed wall
25: fixing protrusion 30: gasket
31: body portion 32: contact plate portion
33: fastening protrusion

Claims (3)

웨이퍼 수납을 위해 일면이 개방되고 내부에 수납 공간이 형성되는 웨이퍼 수납 박스;
상기 웨이퍼 수납 박스의 개방부에 끼워져 폐쇄하도록 가장자리를 따라 결합부가 형성되는 덮개; 및
상기 덮개의 상기 결합부를 따라 체결 고정되며, 상기 웨이퍼 수납 박스의 개방부와 상기 덮개의 결합부 사이를 밀폐시키는 가스켓을 포함하고,

상기 덮개는,
상기 결합부에서 상기 웨이퍼 수납 박스의 개방 전면과 마주하는 테두리면을 따라 삽입홈이 형성되고,
상기 테두리면 내측 가장자리를 따라 형성되는 고정벽면에는 고정 돌기가 돌출 형성되며,

상기 삽입홈과 상기 고정 돌기가 상기 덮개의 가장자리를 따라 서로 교번하며 형성되되, 상기 삽입홈의 길이가 상기 고정 돌기의 길이 보다 더 길게 형성되고,

상기 가스켓은,
상기 덮개의 테두리면과 상기 고정 돌기 사이에서 일부가 측면 끼움 방식으로 끼워져 고정되게 연장 형성되는 몸체부; 및
상기 몸체부로부터 상기 삽입홈에 대응되며 수직 끼움 방식으로 삽입 고정되게 간격을 두고 돌출 형성되는 체결 돌기부;를 포함하는 웨이퍼 캐리어.
A wafer storage box having one surface opened for wafer storage and a storage space formed therein;
A cover formed along a periphery of the lid so as to fit into and close the opening of the wafer storage box; And
A gasket which is fastened and fixed along the coupling part of the cover, and seals between the opening of the wafer storage box and the coupling part of the cover,

Wherein the cover comprises:
Inserting grooves are formed along the rim surface facing the open front of the wafer storage box in the coupling portion,
Fixing protrusions are formed on the fixing wall surface formed along the inner edge of the edge surface,

The insertion groove and the fixing protrusion are formed alternately along the edge of the cover, the length of the insertion groove is formed longer than the length of the fixing protrusion,

The gasket
A body part extending between the edge of the cover and the fixing protrusion to be fixed by being partially inserted in a side fitting manner; And
And a fastening protrusion corresponding to the insertion groove from the body portion and protrudingly spaced to be inserted and fixed in a vertical fitting manner.
삭제delete 삭제delete
KR1020110062837A 2011-06-28 2011-06-28 Wafer carrier KR101309213B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110062837A KR101309213B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 Wafer carrier

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110062837A KR101309213B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 Wafer carrier

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130006996A KR20130006996A (en) 2013-01-18
KR101309213B1 true KR101309213B1 (en) 2013-09-23

Family

ID=47837663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110062837A KR101309213B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 Wafer carrier

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101309213B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200195514Y1 (en) * 2000-04-12 2000-09-01 세양전자주식회사 A container for wafer carrier
KR20020076286A (en) * 2000-12-07 2002-10-09 신에츠 포리마 가부시키가이샤 Seal member, and substrate storage container using the seal member
KR20060111417A (en) * 2005-04-22 2006-10-27 가부시키가이샤 다이하치카세이 Gasket for precision-packaging substrate container

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200195514Y1 (en) * 2000-04-12 2000-09-01 세양전자주식회사 A container for wafer carrier
KR20020076286A (en) * 2000-12-07 2002-10-09 신에츠 포리마 가부시키가이샤 Seal member, and substrate storage container using the seal member
KR20060111417A (en) * 2005-04-22 2006-10-27 가부시키가이샤 다이하치카세이 Gasket for precision-packaging substrate container

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130006996A (en) 2013-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7909167B2 (en) Wafer container
TWI429011B (en) Reusable resilient cushion for wafer container
JP3476052B2 (en) Transport container
US10217655B2 (en) Wafer container with shock condition protection
CN104620369A (en) Wafer container with door interface seal
TW201324678A (en) Wafer carrier
JP6757471B2 (en) Substrate container and door with latch mechanism with two cam profiles
TWI591000B (en) Wafer container with door guide and seal
US20050230284A1 (en) Wafer container with sealable door
TWI602756B (en) Substrate storage container
TWI627117B (en) Substrate storage container
JP4896007B2 (en) Wafer container with sealable door
TWM565877U (en) Wafer cassette
WO2014196011A1 (en) Substrate storing container
KR101309213B1 (en) Wafer carrier
WO1998057872A1 (en) Disk container
CN217946045U (en) Wafer packing box and wafer storage and transportation structure
JP6265662B2 (en) Substrate storage container
JPH06171684A (en) Lead frame transportation magazine
KR20120114620A (en) Gasket for wafer carrier
KR20140054871A (en) Thin plate storage container
KR20170140991A (en) Tray container structure
TWI436932B (en) Large-sized front opening unified wafer pod
WO2016154536A1 (en) Wafer container with cross-slotting protection
US20130277268A1 (en) Front opening wafer container with door deflection minimization

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160713

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170707

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180628

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190624

Year of fee payment: 7