KR101304423B1 - 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치 - Google Patents

전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치 Download PDF

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Abstract

생체조직에 삽입되어 발열 또는 전기자극을 부여하여 해당 생체조직을 치료하는 전극침에 관한 것으로, 생체조직에 삽입되는 니들; 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성되고, 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직의 임피던스를 측정하는 제1 양전극부와 제1 음전극부를 포함하는 센싱부;및 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성된 제2 양전극부와 제2 음전극부를 포함하는 발열부;를 포함하는 전극침을 제공하여, 단일 니들에 양전극부와 음전극부를 동시에 포함하는 센싱부를 구비함으로써, 삽입된 전극침 주변의 국소 부위에 전기자극을 집중할 수 있는 유리한 효과를 제공한다.

Description

전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치 {Electrode needle, Manufacturing method thereof, and Deep-heating apparatus having the same}
본 발명은 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치 에 관한 것으로, 생체조직에 삽입되어 발열 또는 전기자극을 부여하여 해당 생체조직을 치료하는 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 전극침이란, 피부 또는 피부 아래의 근육, 인대와 같은 생체조직에 삽입되어 발열작용 또는 전기를 발생시켜, 삽입된 생체조직의 상태를 호전시키기 위한 의료 장비를 의미한다.
특히 한방에서는 침을 인체에 삽입하여, 근육 재활치료 또는 인대의 증식 치료에 사용하여 왔으며, 보다 효과적인 치료를 위해 침을 통한 발열과 전기 자극을 국소 부위에 부여하는 치료를 해왔다.
대한민국 공개특허공보 2009-0105509에서 기재한 바와 같이, 이러한 전극침은 일반적으로, 금속소재로 이루어진 하나의 침 자체가 전극으로 활용되어 생체조직에 삽입되는 구성을 가진다. 때문에, 전기적 신호를 인가하기 위해서는 2개의 전극침을 양극과 음극으로 하여 생체조직에 삽입하는 구성이 필연적이다.
그러나, 위와 같은 구성으로 인하여, 전극침이 삽입된 국소부위의 생체조직에 발열 또는 전기자극이 집중되지 않고, 금속 재질의 침 내부에서 전기자극이 소모되는 문제뿐만 아니라, 2개의 전극침 사이에 위치하는 생체조직으로 전기자극이 분산된다는 문제점이 있다.
또한, 피부, 근육, 인대등과 같이 구분되는 생체조직의 종류에 따라, 치료에 효과적인 발열 및 전기자극의 정도가 상이한 상황에서, 전극침이 삽입되어 위치하는 생체조직의 종류에 대한 판단이 어렵고, 해당 위치에서의 발열 및 전기자극의 정도를 조절하는 것이 쉽지 않아, 효과적인 치료를 할 수 없다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 2009-0105509(2009.10.07.)
이에, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 단일 전극침으로, 해당 생체조직에 전기자극을 부여할 수 있는 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 전극침 전체가 아닌, 삽입된 해당 생체조직에 위치하는 전극침의 말단부에 발열 및 전기자극이 집중되도록 하는 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 삽입된 해당 신체조직의 종류를 판단할 수 있는 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명에 따르면, 생체조직에 삽입되는 니들과, 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성되고, 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직의 임피던스를 측정하는 제1 양전극부와 제1 음전극부를 포함하는 센싱부 및, 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성된 제2 양전극부와 제2 음전극부를 포함하는 발열부를 포함하는 전극침을 제공한다.
바람직하게는, 상기 센싱부와 상기 발열부는, 상기 니들의 선단부를 기준으로 동일한 높이에 형성된다.
바람직하게는, 상기 센싱부와 상기 발열부는 상기 니들의 외주면상에 상호 반대 방향으로 형성된다.
바람직하게는, 상기 센싱부의 제1 양전극부 및 제1 음전극부는 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직에 전기자극을 공급할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 생체조직에 삽입되는 니들과, 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성되고 삽입된 생체조직에서 통전되어 해당 생체조직의 임피던스를 측정하는 제1 양전극부와 제1 음전극부를 포함하는 센싱부와, 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성되고 삽입된 생체조직에서 통전되어 발열하는 제2 양전극부와 제2 음전극부를 포함하는 발열부를 포함하는 전극침과, 상기 센싱부에 측정된 임피던스에 기초하여 생체조직을 구별하는 생체조직 판단부와, 상기 센싱부와 발열부와 연결되어 전원을 공급하는 전원부와, 상기 전원을 조절하여 상기 발열부의 발열 정도를 조절하는 제어부를 포함하는 심부 국소 발열 장치를 제공한다.
바람직하게는, 상기 센싱부의 제1 양전극부 및 제1 음전극부는 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직에 전기자극을 공급하고, 상기 제어부는 상기 전원을 조절하여 상기 센싱부의 전기자극의 정도를 조절할 수 있다.
바람직하게는, 상기 생체조직 판단부에서 구별한 생체조직에 대한 정보를 시각적으로 표시하는 디스플레이부를 더 포함한다.
바람직하게는, 상기 센싱부와 상기 발열부는, 상기 니들의 선단부를 기준으로 동일한 높이에 형성된다.
바람직하게는, 상기 센싱부와 상기 발열부는 상호 기능의 영향을 주지 않는 범위 내에서 상기 니들의 외주면상에 형성된다.
또한, 본 발명에 따르면, a)페릴린(Parylene)을 증착하여, 청구항 1 또는 청구항 4의 제1 양전극부 및 제1 음전극부 또는 제2 양전극부 및 제2 음전극부의 패턴이 형성된 마스크를 형성하는 단계와, b)청구항 1 또는 청구항 4의 니들을 고정하고, 상기 니들에 포토레지스트(photoresist)를 코팅하는 단계 및 c)포토레지스트(photoresist)가 코팅된 상기 니들과 상기 마스크를 정렬시켜 접촉시키고 빛을 조사하는 단계를 포함하는 전극침 제조방법을 제공한다.
바람직하게는, 상기 a)단계는, 실리콘 기판위에 제1 페릴린(Parylene)을 증착하는 단계와, 상기 제1 페릴린(Parylene) 위에 크롬을 증착하고, 상기 제1 양전극부 및 제1 음전극부 또는 제2 양전극부 및 제2 음전극부의 패턴을 형성시키는 단계와, 상기 크롬위에 제2 페릴린(Parylene)을 증착하는 단계와, 상기 제2 페릴린(Parylene)위에 포토레지스트(negative photoresist)를 형성하며, 상기 네거티브 포토레지스트(negative photoresist)는 상기 양전극부와 음전극부의 패턴이 형성되지 않는 위치에 형성하는 단계 및 상기 실리콘 기판 측면에 증착된 제1 페릴린(Parylene) 및 제2 페릴린(Parylene)을 제거하고, 상기 실리콘 기판으로부터 상기 제1 페릴린(Parylene), 크롬, 제2 페릴린(Parylene) 및 네거티브 포토레지스트를 필 오프(peel off)하는 단계를 포함한다.
바람직하게는, 상기 b)단계는, 실리콘 기판위에 질화물(nitride)을 증착하고, 상기 질화물(nitride)에 상기 니들의 고정 몰드 패턴을 형성시키는 단계와, 상기 실리콘 기판을 에칭하여 상기 니들의 고정 몰드를 형성시키는 단계 및 상기 고정 몰드에 상기 니들을 위치시켜 고정하는 단계 및 니들에 포토레지스트(photoresist)를 코팅하는 단계를 포함한다.
바람직하게는, 상기 니들의 표면은 곡면으로 이루어진다.
본 발명에 따른 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치에 의하면, 단일 니들에 양전극부와 음전극부를 동시에 포함하는 센싱부를 구비함으로써, 삽입된 전극침 주변의 국소 부위에 전기자극을 집중할 수 있는 유리한 효과를 제공한다.
또한, 본 발명에 따른 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치에 의하면, 니들 단부에 MEMS(Microelectromechinical Systems)를 활용하여 센싱부 및 발열부를 패턴화하여 형성함으로써, 전극침 내부로 열 및 전기자극이 소모되는 것을 방지하여 해당 생체조직의 치료효과를 높일 수 있는 유리한 효과를 제공한다.
또한, 본 발명에 따른 심부 국소 치료 장치에 의하면, 센싱부 및 생체조직 판단부를 구비함으로써, 전극침이 삽입된 해당 생체조직의 종류를 판단하고, 이에 대응하여 발열 및 전기자극을 조절하는 것이 가능하여 해당 생체조직의 치료효과를 극대화할 수 있는 유리한 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명에 따른 전극침의 바람직한 실시예의 센싱부를 설명하기 위해 도시한 확대 상태도,
도 2는 본 발명에 따른 전극침의 바람직한 실시예의 발열부를 설명하기 위해 도시한 확대 상태도,
도 3은 본 발명에 따른 심부 국소 치료 장치의 구성을 설명하기 위해 도시한 블록도,
도 4는 도 1에서 도시한 전극침이 삽입된 생체조직의 종류를 판단하는 과정을 설명하기 위해 도시한 블록도,
도 5는 본 발명에 따른 전극침을 제조하는 제조방법을 설명하기 위해 도시한 블록도,
도 6은 도 5에서 도시한 “S100”을 설명하기 위해 도시한 블록도,
도 7은 도 5에서 도시한 “S100”을 구체적으로 설명하기 위해 도시한 그림,
도 8은 도 5에서 도시한 “S200”을 설명하기 위해 도시한 블록도,
도 9는 도 5에서 도시한 “S200”을 구체적으로 설명하기 위해 도시한 그림,
도 10은 도 5에서 도시한 “S300”을 구체적으로 설명하기 위해 도시한 그림이다.
이하, 본 발명에 따른 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치의 바람직한 일 실시예에 대해 설명한다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 도 1에서 도시한 전극침의 센싱부를 설명하기 위해 도시한 확대 상태도이고, 도 2는 도 1에서 도시한 전극침의 발열부를 설명하기 위해 도시한 확대 상태도이다.
도 1 및 도 2를 병행 참조하면, 본 발명에 따른 전극침(100)의 바람직한 일실시예는 단일 니들(needle,110) 단부에 센싱부(120)와, 발열부(130)를 동시에 포함하여 이루어진다.
니들(110)은 인체의 생체조직에 삽입되는 몸체를 이루며, 단면이 원형으로 형성되는 핀 형태로 뾰족한 선단부(111)를 가진다. 이러한 니들(110)의 단부 외주면에 센싱부(120) 및 발열부(130)가 MEMS(Microelectromechanical Systems) 공정을 통해 형성된다.
여기서, 인체의 생체조직이라 함은, 일반적으로 사람의 피부, 근육, 인대들을 의미한다.
먼저, 센싱부(120)에 대해 설명하기로 한다.
니들(110)의 외주면상에서 이격되어 형성된 제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122)로 구성되어 생체조직에 전기자극을 주거나, 생체조직의 임피던스를 측정하여 해당 생체조직의 종류를 판단하는 정보를 제공해주는 역할을 한다.
여기서, 생체조직의 종류를 판단하는 과정은 후술될 본 발명에 따른 심부 국소 치료 장치(200)에 대한 설명에서 자세히 다루기로 한다.
도 1에서 도시한 바와 같이 일실시예의 제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122)는 단일 니들(110)의 외주면상에 패턴화되어 선단부(111)에서 약 10mm 정도 떨어진 높이(H)에 형성된다. 제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122)는 대향하여 이격되어 형성되며, 교번적으로 각각 돌출된 패턴(121a,122a)이 대향하여 반복되게 구성됨으로써, 보다 정밀하게 전기적 흐름을 유도하도록 구성한다.
위와 같은 제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122)는 포토리소그래피(photolithography) 방식으로 니들(110)의 외주면에 형성된다. 제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122)의 패턴을 구현하기 위해 포토리소그래피(photolithography) 하기 위한 증착과 식각과정은 후술하는 전기침 제조과정에서 살펴보기로 한다.
제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122)는 후술되는 전원부(도 3의 220)로부터 전원을 공급받아 통전됨으로써, 니들(110)이 삽입된 국소적인 해당 생체조직에 전기자극을 부여하고, 해당 생체조직의 임피던스를 측정할 수 있다.
여기서, 단일 니들(110) 상에 제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122)가 형성되기 때문에, 니들(110)의 삽입이 진행되는 과정에서 생체조직의 임피던스의 차이를 인식할 수 있는 효과를 제공한다. 때문에, 시침자는 감각에 의존하지 않고, 니들(110)이 들어가는 생체조직의 종류 및 니들(110)의 삽입 깊이를 파악할 수 있게 된다.
이로써 시침하고자 하는 생체조직의 정확한 위치 및 깊이에 니들(110)을 삽입시킬 수 있게 된다.
다음으로, 발열부(130)에 대해 설명하기로 한다.
발열부(130)는 상술한, 센싱부(120)와 상호 기능의 영향을 주지 않는 범위 내에서 니들(110)의 외주면상에서 형성되어, 열을 발생시키고, 생체조직에 발생된 열을 전달하는 역할을 한다.
발열부(130)와 센싱부(120)는 니들(110)의 외주면상에서 상호 반대방향으로 형성되는 것이 바람직하다.
도 2에서 도시한 바와 같이, 니들(110)의 외주면상에서 제2 양전극부(131)와 제2 음전극부(132)가 패턴화되어 이격 형성된다. 특히 발열부(130)는 센싱부(120)와 동일하게 니들(110)의 선단부(111)에서 10mm 정도 떨어진 높이(H)에 형성되는데, 이는 센싱부(120)와 발열부(130)가 형성되는 높이를 동일하게 함으로써, 원하는 생체조직의 국소 부위에 치료를 집중하기 위함이다.
제2 양전극부(131)와 제2 음전극부(132)는 대향하여 이격되어 형성되며, 한정된 공간에서 최대한 큰 발열량을 얻기 위해, 도 2에서 도시한 바와 같이, 제2 양전극부(131)와 제2 음전극부(132)를 지그재그 형태로 절곡되게 패턴화하여 제2 양전극부(131)와 제2 음전극부(132)의 길이와 폭을 확보하는 것이 바람직하다.
위와 같은 제2 양전극부(131)와 제2 음전극부(132) 또한, 포토리소그래피(photolithography) 방식으로 니들(110)의 외주면에 형성된다.
도 3은, 본 발명에 따른 심부 국소 치료 장치의 구성을 설명하기 위해 도시한 블록도이고, 도 4는 도 3에서 도시한 전극침이 삽입된 생체조직의 종류를 판단하는 과정을 설명하기 위해 도시한 블록도이다.
위와 같은 구성을 가지는 전극침(100)을 포함하는 본 발명에 따른 심부 국소 치료 장치(200)는, 도 3에서 도시한 바와 같이, 전극침(100)이 삽입된 생체조직을 구별하는 생체조직 판단부(210)와 전원을 공급하는 전원부(220)와, 전기자극 및 발열 정도를 조절하는 제어부(230)를 포함하여 이루어진다.
생체조직 판단부(210)는 상술한 센싱부(120)에서 측정한 생체조직의 임피던스를 입력받아 해당 생체조직을 구분하는 역할을 한다.
이는, 각 생체조직의 전기 저항의 상이성을 활용한 것으로, 각 생체조직의 조직구조가 다르기 때문에,임피더스 값이 다르게 나타난다.
예를 들어, 체액의 경우 64~65.2[Ωcm], 혈액의 경우 148~176[Ωcm], 근육의 경우, 240~675[Ωcm], 지방의 경우 1100~5000[Ωcm], 뼈의 경우 1800[Ωcm]에 해당한다.
측정된 임피던스를 활용하여 각 생체조직들의 손실계수-주파수 관계를 매칭하여 해당 생체조직을 구분하여 판단할 수 있다.
생체조직 판단부(210)에서 판단된 생체조직에 대한 정보는 시침과정에서 사용자에게 디스플레이부(240)를 통해 시각적으로 전달된다. 때문에 시침자는 감각에 의존 없이, 전극침(100)이 도달한 해당 생체조직의 종류를 객관적으로 명확하게 인식하여, 치료효과를 극대화할 수 있다.
즉, 도 4에서 도시한 바와 같이. 센싱부(120)에서 측정된 임피던스가 생체조직 판단부(210)로 전달되고, 생체조직 판단부(210)에서는 해당 생체정보를 인대로 구분하여 이에 대한 정보를 제어부(230) 및 디스플레이부(240)로 전달한다.
사용자는 디스플레이부(240)를 통해 현재 전극침(100)의 센싱부(120)와 발열부(130)가 위치하는 생체조직이 인대임을 인식하고, 수동 또는 제어부(230)의 설정을 통해 전원부(220)를 조절하여 전기적 에너지의 세기를 조절함으로써, 치료 부위의 온도 및 전기자극의 정도를 조절할 수 있다.
이하, 도 5 내지 도 10을 참조하여 본 발명에 따른 전극침의 제조방법을 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명에 따른 전극침을 제조하는 제조방법을 설명하기 위해 도시한 블록도이다.
상술한 전극침(100)의 제조방법은 도 5에서 도시한 바와 같이, 먼저, 상술한 센싱부(120)와 발열부(130)의 전극 패턴을 형성하는 마스크(mask)를 형성한다.(S100)
도 6은 도 5에서 도시한 “S100”을 설명하기 위해 도시한 블록도이고, 도 7은 도 5에서 도시한 “S100”을 구체적으로 설명하기 위해 도시한 그림이다.
도 6 및 도 7에서 도시한 바와 같이, 본 단계(S100)에서는, 먼저 실리콘 기판(10)위에 제1 페릴린(Parylene)(20)을 증착한다.(S110,도 7의 (a)) 이후, 크롬(Cr)(30)을 증착하여 막을 형성시키고, 상술한 센싱부(120)의 제1 양전극부(121)와 제1 음전극부(122) 또는 상술한 발열부(130)의 제2 양전극부(131)와 제2 음전극부(132)의 패턴(30a)을 형성시킨다.(S120,도 7의 (b))
다음으로, 크롬(Cr)(30) 위에 제2 페릴린(40)을 증착한다.(S130, 도 7의 (c)) 이는 굽어져 니들(110)과 접촉하는 마스크(60)의 구조상, 제1 페릴린(20)+ 크롬(30)+ 제2 페릴린(40)의 두께 중심에 크롬(Cr)(30)이 위치 하여 크롬(Cr)(30)이 깨지는 것을 최소화하기 위한 것이다.
다음으로, 제2 페릴린(40)위에 SU-8’과 같은 네거티브 포토레지스트(negative photoresist)(50)를 형성시킨다. 이는 후에 제1 페릴린(Parylene)(20) + 크롬(Cr)(30) + 제2 페릴린(40) 구성을 지지하는 역할을 한다.(S140,도 7의 (d))
다음으로, 실리콘 기판(10)에서 제1 페릴린(Parylene)(20) + 크롬(Cr)(30) + 제2 페릴린(40)+ SU-8’(50)을 필 오프(peel off)한다.(S150, 도 7의 (f)) 이를 위해, 실리콘 기판(10) 측면에 증착된 제1 페릴린(Parylene)(20)과 제2 페릴린(40)(도 7의 (e)의 점선부분)을 먼저 제거한다. (도 7의 (e))
위와 같은 공정을 통해, 센싱부(120)와 발열부(130)의 전극 패턴이 형성된 마스크(60)가 제조된다.
도 8은 도 5에서 도시한 “S200”을 설명하기 위해 도시한 블록도이고, 도 9는 도 5에서 도시한 “S200”을 구체적으로 설명하기 위해 도시한 그림이다.
상술한 마스크(60) 제조 후, 도 5 및 도 8에서 도시한 바와 같이, 니들(110)을 실리콘 기판에 고정하고, 고정된 니들(110)에 포토레지스트를 코팅한다.(S200)
본 단계(S200)에서는, 먼저, 실리콘 기판(1) 위에 질화물(nitride)(2)을 증착하고, 질화물(2)에 니들(110)의 고정 몰드(mold) 패턴(2a)을 형성한다.(S210, 도 9의 (a))
다음으로, 실리콘 기판(1)을 습식 에칭하여 니들(110)이 안착되는 반원 형상의 고정 몰드(2b)를 형성시킨다.(S220, 도 9의 (b))
이후, 고정된 니들(110)은 고정 몰드(mold)에 삽입하여 고정한다.(S230, 도 9의 (c))
다음으로, 니들(110)에 포토레지스트(3)를 코팅한다.(S240)
도 10 은 도 5에서 도시한 “S300”을 구체적으로 설명하기 위해 도시한 그림이다.
위와 같이 형성된 마스크(60)와 포토레지스트(3)를 코팅한 니들(110)을 도 10의 (a)에서 도시한 바와 같이, 정렬시킨 후, 접촉시킨다. 즉, 니들(110)의 센싱부(120)와 발열부(130)의 전극 패턴을 형성하는 영역에 마스크(60)에 형성된 전극 패턴이 위치하도록, 마스크(60)와 니들(110)을 고정한 기판(1)을 정렬시킨 후, 접촉시킨다.
플렉시블하게 구성되는 마스크(60)는 곡면 형태의 니들(110)의 전극 패턴 영역에 접촉하여. 마스크(60)와 니들(110)의 포토레지스트(3) 사이의 틈을 최소화한다.
이후, 이를 자외선(UV)에 노출시키면 도 10의 (b)에서 도시한 바와 같이, 마스크(60)에 형성된 전극 패턴 대로, 니들(110)의 포토레지스트(3)이 식각된다. 이후, 니들(110)에 전도성 금속소재를 스퍼터링(sputtering)하여, 잔존하는 포토레지스트(3)를 제거하면 니들(110)의 외주면에 전극이 형성된다.
상술한 제1 양전극부(121) 및 제1 음전극부(122), 그리고 제2 양전극부(131) 및 제2 음전극부(132)는 위와 같은 과정을 통해 니들(110)의 외주면에 형성된다.
이상에서 본 발명에 따른 전극침 및 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 심부 국소 치료 장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였다.
전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 전극침
110 : 니들 120 : 센싱부
121 : 제1 양전극부 122 : 제1 음전극부
130 : 발열부 131 : 제2 양전극부
132 : 제2 음전극부 200 : 심부 국소 치료 장치
210 : 생체조직 판단부 220 : 전원부
230 : 제어부 240 : 디스플레이부
1,10 : 실리콘 기판 2 : 질화물
2a : 고정 몰드 패턴 2b : 고정 몰드
3 : 포토레지스트 20 : 제1 페릴린
30 : 크롬 40 : 제2 페릴린
50 : SU-8' 60 : 마스크

Claims (13)

  1. 생체조직에 삽입되는 니들;
    상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성되고, 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직의 임피던스를 측정하는 제1 양전극부와 제1 음전극부를 포함하는 센싱부;및
    상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성된 제2 양전극부와 제2 음전극부를 포함하는 발열부;를 포함하는 전극침.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 센싱부와 상기 발열부는, 상기 니들의 선단부를 기준으로 동일한 높이에 형성되는 것을 특징으로 하는 전극침.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 센싱부는, 상기 발열부와 상기 니들의 외주면상 상호 반대방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전극침.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 센싱부의 제1 양전극부 및 제1 음전극부는 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직에 전기자극을 공급하는 것을 특징으로 하는 전극침.
  5. 생체조직에 삽입되는 니들과, 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성되고, 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직의 임피던스를 측정하는 제1 양전극부와 제1 음전극부를 포함하는 센싱부 및 상기 니들의 외주면에 패턴되어 형성된 제2 양전극부와 제2 음전극부를 포함하는 발열부를 포함하는 전극침;
    상기 센싱부가 측정한 임피던스에 기초하여 생체조직을 구별하는 생체조직 판단부;
    상기 센싱부와 발열부와 연결되어 전원을 공급하는 전원부;및
    상기 전원을 조절하여 상기 발열부의 발열 정도를 조절하는 제어부;를 포함하는 심부 국소 치료 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 센싱부의 제1 양전극부 및 제1 음전극부는 삽입된 생체조직에서 통전되어, 해당 생체조직에 전기자극을 공급하고,
    상기 제어부는 상기 전원을 조절하여 상기 센싱부의 전기자극의 정도를 조절하는 것을 특징으로 하는 심부 국소 치료 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 생체조직 판단부에서 구별한 생체조직에 대한 정보를 시각적으로 표시하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 심부 국소 치료 장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 센싱부와 상기 발열부는, 상기 니들의 선단부를 기준으로 동일한 높이에 형성되는 것을 특징으로 하는 심부 국소 치료 장치.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 센싱부는, 상기 발열부와 상기 니들의 외주면상에 상호 반대 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 심부 국소 치료 장치.
  10. a)페릴린(Parylene)을 증착하여, 청구항 1 또는 청구항 4의 제1 양전극부 및 제1 음전극부 또는 제2 양전극부 및 제2 음전극부의 패턴이 형성된 마스크를 형성하는 단계;
    b)청구항 1 또는 청구항 4의 니들을 고정하고, 상기 니들에 포토레지스트(photoresist)를 코팅하는 단계;및
    c)포토레지스트(photoresist)가 코팅된 상기 니들과 상기 마스크를 정렬시켜 접촉시키고 빛을 조사하는 단계;를 포함하는 전극침 제조방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 a)단계는,
    실리콘 기판 위에 제 1 페릴린(Parylene)을 증착하는 단계;
    상기 제 1 페릴린(Parylene) 위에 크롬을 증착하고, 상기 제1 양전극부 및 제1 음전극부 또는 상기 제2 양전극부 및 제2 음전극부의 패턴을 형성시키는 단계;
    상기 크롬 위에 제 2 페릴린(Parylene)을 증착하는 단계;
    상기 제 2 페릴린(Parylene)위에 네거티브 포토레지스트(negative photoresist)를 형성하며, 상기 네거티브 포토레지스트(negative photoresist)는 상기 양전극부와 음전극부의 패턴이 형성되지 않는 위치에 형성하는 단계;및
    상기 실리콘 기판 측면에 증착된 제 1 페릴린(Parylene) 및 제 2 페릴린(Parylene)을 제거하고, 상기 실리콘 기판으로부터 상기 제 1 페릴린(Parylene), 크롬, 제 2 페릴린(Parylene) 및 네거티브 포토레지스트를 필 오프(peel off)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극침 제조방법.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 b)단계는,
    실리콘 기판 위에 질화물(nitride)을 증착하고, 상기 질화물(nitride)에 상기 니들의 고정 몰드 패턴을 형성시키는 단계;
    상기 실리콘 기판을 에칭하여 상기 니들의 고정 몰드를 형성시키는 단계; 및
    상기 고정 몰드에 상기 니들을 위치시켜 고정하는 단계;및
    니들에 포토레지스트(photoresist)를 코팅하는 단계;를 포함하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극침 제조방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 니들의 표면은 곡면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극침 제조방법.
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