KR101301319B1 - Frame structure, test handler handling the same and method for testing a substrate - Google Patents
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Abstract
테스트 핸들러는 로딩 모듈, 적어도 하나의 테스트 챔버 및 언로딩 모듈을 포함한다. 로딩 모듈에는 내부 공간을 갖도록 형성된 프레임 및 내부 공간에서 적어도 하나의 메모리 기판을 프레임과 연결한 브리지를 포함하여 메모리 기판이 고정되는 고정 플레이트 및 프레임에 형성되며 메모리 기판과 전기적으로 연결된 테스트 패드부를 포함하는 프레임 구조물이 로딩된다. 테스트 챔버는 로딩 모듈과 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치되어 메모리 기판을 테스트하기 위한 공간을 제공하며, 테스트 패드가 접속되는 패드 접속부를 포함한다. 언로딩 모듈은 테스트 챔버와 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치되어 메모리 기판이 언로딩된다.The test handler includes a loading module, at least one test chamber and an unloading module. The loading module includes a frame formed to have an inner space and a bridge that connects at least one memory substrate to the frame in the inner space, and a fixing plate to which the memory substrate is fixed and a test pad part electrically connected to the memory substrate. The frame structure is loaded. The test chamber is arranged in-line at a location adjacent to the loading module to provide a space for testing the memory substrate and includes a pad connection to which the test pad is connected. The unloading module is disposed in-line at a location adjacent to the test chamber to unload the memory substrate.
Description
본 발명은 프레임 구조물, 이를 핸들링하기 위한 테스트 핸들러 및 이에 의해 기판을 테스트하는 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 메모리 기판을 고정하는 프레임 구조물과 상기 메모리 기판을 테스트하기 위하여 상기 프레임 구조물을 핸들링하는 테스트 핸들러 및 이에 의해 실질적으로 상기 메모리 기판을 테스트하는 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a frame structure, a test handler for handling the same, and a method for testing a substrate thereby, and more particularly, to a frame structure that secures a memory substrate and a handle for handling the frame structure to test the memory substrate. A test handler and thereby a method of testing the memory substrate substantially.
최근, 물리적으로 회전하는 디스크에 데이터를 저장하는 하드디스크드라이버(Hard Disk Drive, HDD)에 대비하여 반도체 칩에 전기 신호만으로 데이터를 저장하는 메모리 기판(Soild State Drive, SSD)이 각광을 받고 있다.Recently, memory boards (soiled state drives, SSDs) that store data only by electric signals on semiconductor chips have been in the spotlight in contrast to hard disk drives (HDDs) storing data on physically rotating disks.
구체적으로, 상기 메모리 기판은 상기 하드디스크드라이버에 필수적으로 사용되는 모터와 기계적 구동장치를 포함하지 않기 때문에, 작동 시 열과 소음이 거의 발생하지 않고 외부충격에 강할 뿐 아니라, 데이터 전송 속도에 있어서 상기 하드디스크드라이버에 비해 수십 배 이상 향상된 성능을 보이고 있다.Specifically, since the memory substrate does not include a motor and a mechanical driving device, which are essentially used for the hard disk driver, the memory board hardly generates heat and noise during operation, and is resistant to external shock, and the hard disk in terms of data transmission speed. It is several times better than the disk driver.
이러한 메모리 기판은 회로가 패터닝된 기판 상에 다수의 메모리 칩들을 실장하여 제조되며, 이렇게 제조된 메모리 기판은 외부의 테스트 장치를 통하여 그 전기적인 특성을 테스트하게 된다. Such a memory substrate is manufactured by mounting a plurality of memory chips on a substrate on which a circuit is patterned, and the manufactured memory substrate is then tested for its electrical characteristics through an external test apparatus.
그러나, 상기 메모리 기판을 테스트하고자 할 때, 상기 메모리 기판의 규격이 다양함에 따라 작업자가 상기 메모리 기판을 일일이 상기 테스트 장치와 연결된 테스트 챔버에 직접 집어넣어 접속시킴으로써, 작업 속도가 저하될 뿐만 아니라, 이에 따른 생산성도 떨어지게 된다. However, when the memory substrate is to be tested, as the specifications of the memory substrate are varied, an operator directly inserts the memory substrate into a test chamber connected to the test apparatus and connects it directly, thereby reducing the work speed. The productivity is also reduced.
본 발명의 목적은 다양한 규격의 메모리 기판들을 호환하여 테스트 챔버에 접속시킬 수 있는 프레임 구조물을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a frame structure that is compatible with memory substrates of various specifications and can be connected to a test chamber.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 프레임 구조물을 핸들링하기 위한 테스트 핸들러를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a test handler for handling the above-described frame structure.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 상기한 테스트 핸들러에 의해서 상기 기판을 테스트하는 방법을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to provide a method for testing the substrate by the test handler described above.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 프레임 구조물은 고정 플레이트 및 테스트 패드부를 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, the frame structure according to one feature comprises a fixing plate and a test pad portion.
상기 고정 플레이트는 내부 공간을 갖도록 형성된 프레임 및 상기 내부 공간에서 적어도 하나의 메모리 기판을 상기 프레임과 연결한 브리지를 포함하여 상기 메모리 기판이 고정된다.The fixing plate may include a frame formed to have an inner space and a bridge connecting at least one memory substrate to the frame in the inner space to fix the memory substrate.
상기 테스트 패드부는 상기 프레임에 형성되며, 상기 메모리 기판의 전기적인 특성을 검사하기 위해 상기 메모리 기판과 전기적으로 연결된 상태로 외부의 테스트 챔버와 접속한다.The test pad unit is formed in the frame and is connected to an external test chamber in an electrically connected state with the memory substrate to inspect electrical characteristics of the memory substrate.
이에, 상기 고정 플레이트에는 다수의 메모리 기판들이 연배열 형태로 고정될 수 있다. 또한, 상기 브리지는 상기 메모리 기판들의 사이즈에 따라 길이가 다르게 구성될 수 있다. Thus, a plurality of memory substrates may be fixed to the fixing plate in a soft array form. In addition, the bridge may be configured to have a different length depending on the size of the memory substrates.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 테스트 핸들러는 로딩 모듈, 적어도 하나의 테스트 챔버 및 언로딩 모듈을 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, a test handler according to one aspect includes a loading module, at least one test chamber and an unloading module.
상기 로딩 모듈에는 내부 공간을 갖도록 형성된 프레임 및 상기 내부 공간에서 적어도 하나의 메모리 기판을 상기 프레임과 연결한 브리지를 포함하여 상기 메모리 기판이 고정되는 고정 플레이트 및 상기 프레임에 형성되며 상기 메모리 기판과 전기적으로 연결된 테스트 패드부를 포함하는 프레임 구조물이 로딩된다.The loading module includes a frame formed to have an internal space and a bridge connecting at least one memory substrate to the frame in the internal space, the fixing plate being fixed to the memory substrate and the frame and electrically connected to the memory substrate. The frame structure including the connected test pad portion is loaded.
상기 테스트 챔버는 상기 로딩 모듈과 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치되어 상기 메모리 기판을 테스트하기 위한 공간을 제공하며, 상기 테스트 패드가 접속되는 패드 접속부를 포함한다.The test chamber is arranged in-line at a position adjacent to the loading module to provide a space for testing the memory substrate, and includes a pad connection to which the test pad is connected.
상기 언로딩 모듈은 상기 테스트 챔버와 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치되어 상기 메모리 기판이 언로딩된다.The unloading module is disposed in-line at a position adjacent to the test chamber to unload the memory substrate.
이때, 상기 언로딩 모듈은 상기 프레임 구조물로부터 상기 메모리 기판을 분리시키기 위하여 상기 브리지를 절단하는 개별화부를 포함할 수 있다. 또한, 상기 언로딩 모듈은 상기 테스트 챔버에서 테스트한 결과에 따라 상기 메모리 기판을 등급별로 구분하는 선별부를 포함할 수 있다. In this case, the unloading module may include an individualization unit to cut the bridge to separate the memory substrate from the frame structure. In addition, the unloading module may include a sorting unit that classifies the memory substrate according to a result of the test in the test chamber.
한편, 상기 테스트 핸들러는 인-라인 형태로 결합되는 다수의 테스트 챔버들을 포함할 수 있다.Meanwhile, the test handler may include a plurality of test chambers coupled in an in-line form.
또한, 상기 테스트 챔버에는 상기 테스트 패드부를 상기 패드 접속부에 접속시키기 위해 상기 프레임 구조물을 이동시키는 접속 구동부가 설치될 수 있다. In addition, the test chamber may be provided with a connection driving unit for moving the frame structure to connect the test pad unit to the pad connection unit.
상술한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판을 테스트하는 방법은 내부 공간을 갖도록 형성된 프레임 및 상기 내부 공간에서 적어도 하나의 메모리 기판을 상기 프레임과 연결한 브리지를 포함하여 상기 메모리 기판이 고정되는 고정 플레이트 및 상기 프레임에 형성되며 상기 메모리 기판과 전기적으로 연결된 테스트 패드부를 포함하는 프레임 구조물을 로딩하는 단계, 상기 로딩한 프레임 구조물을 테스트 챔버로 이송하는 단계, 상기 이송한 프레임 구조물의 테스트 패드를 상기 테스트 챔버의 패드 접속부에 접속시켜 상기 메모리 기판을 테스트하는 단계, 상기 테스트한 메모리 기판을 고정한 프레임 구조물을 언로딩하는 단계 및 상기 언로딩한 프레임 구조물로부터 상기 메모리 기판을 분리시키기 위하여 상기 브리지를 절단하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, a method of testing a substrate according to an aspect includes a frame formed to have an inner space and a bridge connecting at least one memory substrate to the frame in the inner space. Loading a frame structure including a fixing plate to which a memory substrate is fixed and a test pad part formed on the frame and electrically connected to the memory substrate, transferring the loaded frame structure to a test chamber, and transferring the transferred frame structure Testing the memory substrate by connecting a test pad of the test chamber to a pad connection of the test chamber, unloading a frame structure holding the tested memory substrate, and separating the memory substrate from the unloaded frame structure. The bridge Cutting a step.
이에, 상기 메모리 기판을 분리시킨 다음에, 상기 분리한 메모리 기판을 등급별로 구분하는 단계를 더 포함할 수 있다.Thus, after separating the memory substrate, the method may further include classifying the separated memory substrate by grade.
이러한 프레임 구조물, 이를 핸들링하기 위한 테스트 핸들러 및 이에 의해 기판을 테스트하는 방법에 따르면, 메모리 기판을 규격에 따라 브리지의 길이만 조정하여 고정할 수 있으면서 상기 메모리 기판과 전기적으로 연결된 테스트 패드를 갖는 프레임 구조물을 이용함으로써, 상기 메모리 기판의 규격에 상관없이 테스트 챔버에 상기 메모리 기판을 접속시킬 수 있다. 이로써, 다양한 규격의 메모리 기판에 대한 테스트 공정을 별도의 부품 교체 없이 그대로 수행할 수 있음에 따라, 작업 속도가 저하되는 것을 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 메모리 기판을 인-라인 시스템이 구축된 테스트 핸들러를 통해 테스트 공정을 연속적으로 수행함으로써, 생산성 향상을 더욱 기대할 수 있다. According to such a frame structure, a test handler for handling the same, and a method of testing a substrate thereby, a frame structure having a test pad electrically connected to the memory substrate while being able to fix the memory substrate by adjusting only the length of the bridge according to a specification. By using the above, the memory substrate can be connected to the test chamber regardless of the specification of the memory substrate. As a result, since a test process for memory substrates having various specifications can be performed without replacement of components, productivity can be improved by preventing work speed from being lowered. In addition, by continuously performing a test process on the memory substrate through a test handler in which an in-line system is constructed, productivity improvement may be further expected.
또한, 상기 테스트 핸들러의 실질적인 테스트 공정이 수행되는 테스트 챔버의 개수를 용이하게 조정함으로써, 상기 메모리 기판의 테스트 개수에 대해서 유연하게 대응할 수 있다. In addition, by easily adjusting the number of test chambers in which a substantial test process of the test handler is performed, it is possible to flexibly correspond to the number of tests of the memory substrate.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러를 개념적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 테스트 핸들러에서 사용되는 프레임 구조물을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 프레임 구조물의 일부를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 테스트 핸들러에서 테스트 챔버의 내부를 간략하게 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 테스트 핸들러의 다수 테스트 챔버들을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 1에 도시된 테스트 핸들러의 언로딩 모듈을 개념적으로 구체화시킨 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 테스트 핸들러를 이용하여 테스트를 진행하는 과정을 나타낸 순서도이다.1 is a block diagram conceptually illustrating a test handler according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a frame structure used in the test handler shown in FIG. 1.
FIG. 3 is an enlarged view of a portion of the frame structure shown in FIG. 2.
4 is a view schematically illustrating the interior of a test chamber in the test handler shown in FIG. 1.
FIG. 5 is a diagram illustrating multiple test chambers of the test handler shown in FIG. 1.
FIG. 6 is a diagram conceptually embodying an unloading module of the test handler illustrated in FIG. 1.
FIG. 7 is a flowchart illustrating a test process using the test handler shown in FIG. 1.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프레임 구조물, 이를 핸들링하기 위한 테스트 핸들러 및 이에 의해 기판을 테스트하는 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.Hereinafter, a frame structure according to an exemplary embodiment of the present invention, a test handler for handling the same, and a method of testing a substrate thereby will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러를 개념적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 테스트 핸들러에서 사용되는 프레임 구조물을 나타낸 도면이며, 도 3은 도 2에 도시된 프레임 구조물의 일부를 확대하여 나타낸 도면이다.1 is a block diagram conceptually illustrating a test handler according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view illustrating a frame structure used in the test handler shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a frame shown in FIG. 2. An enlarged view of a portion of the structure.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러(1000)는 로딩 모듈(100), 적어도 하나의 테스트 챔버(200) 및 언로딩 모듈(300)을 포함한다.1, 2 and 3, the
상기 로딩 모듈(100)에는 메모리 기판(Solid State Drive, SSD)이 고정된 프레임 구조물(10)이 로딩된다. 상기 메모리 기판(SSD)은 반도체 칩을 이용하여 정보를 저장하는 장치로써, 물리적으로 회전하는 디스크에 데이터를 저장하는 하드디스크드라이버(Hard Disk Driver, HDD)에 비해 데이터 전송 속도가 빠르면서 발열과 소음이 적고, 소형화 및 경량화가 가능하다는 특징으로 최근 각광을 받고 있다.The
상기 프레임 구조물(10)은 상기 메모리 기판(SSD)을 실질적으로 고정하는 고정 플레이트(20) 및 상기 메모리 기판(SSD)의 전기적인 특성을 테스트하기 위한 테스트 패드부(30)를 포함한다. The
상기 고정 플레이트(20)는 내부 공간을 갖도록 형성된 프레임(22) 및 상기 내부 공간에서 적어도 하나의 메모리 기판(SSD)을 고정하기 위하여 상기 메모리 기판(SSD)을 상기 프레임(22)과 연결한 브리지(24)를 포함한다. The
이때, 상기 고정 플레이트(20)에는 다수의 메모리 기판(SSD)들이 도 2에서와 같이 연배열 형태로 고정될 수 있다. 또한, 상기 다수의 메모리 기판(SSD)들 각각은 상기 하나의 테스트 패드부(30)에 배선 패턴(40)을 통해 전기적으로 연결될 수 있다. In this case, a plurality of memory substrates SSD may be fixed to the
이에 따라, 상기 테스트 패드부(30)를 이하에서 설명할 테스트 챔버(200)에 접속시킴으로써, 다수의 메모리 기판(SSD)들의 전기적인 특성을 한번에 테스트할 수 있다. 이로써, 상기 메모리 기판(SSD)들을 테스트하는 공정을 효율적으로 수행하여 생산성 향상을 기대할 수 있다. 이때, 상기 테스트 패드부(30)에는 공정 효율 측면에서 한번에 테스트할 수 있는 메모리 기판(SSD)들의 개수에 대응하는 단자(32)들이 형성될 수 있다. Accordingly, by connecting the
또한, 상기 메모리 기판(SSD)의 규격이 달라질 경우에는 상기 브리지(24)의 길이를 조정하여 상기 메모리 기판(SSD)을 상기 프레임(22)에 연결시킴으로써, 상기 메모리 기판(SSD)의 규격에 따라 상기 프레임(22)을 변경시킬 필요성이 배제된다. In addition, when the size of the memory substrate SSD is changed, the length of the
따라서, 상기 메모리 기판(SSD)의 규격이 변경될 경우에도 부품을 교체시킬 필요 없이 상기 프레임(22)에 형성된 테스트 패드부(30)를 그대로 사용하여 이하에서 설명할 테스트 챔버(200)에 접속시킬 수 있음에 따라, 작업 속도가 저하되는 것을 방지하여 획기적인 생산성 향상을 기대할 수 있다. Therefore, even when the size of the memory substrate SSD is changed, the
한편, 상기 로딩 모듈(100)은 상기 메모리 기판(SSD)의 DC(Direct Current)를 테스트하는 DC 테스트부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 로딩 모듈(100)에는 상기 DC 테스트부에서 테스트한 결과에 따라 상기 메모리 기판(SSD)을 양품 및 불량으로 구분하여 적재하는 로딩 적재부(미도시)도 더 포함될 수 있다. 이때, 이하에서 설명할 테스트 챔버(200)에서 수행될 테스트 공정은 실질적으로 양품으로 구분된 메모리 기판(SSD)을 대상으로 진행될 수 있다. The
상기 테스트 챔버(200)는 상기 로딩 모듈(100)과 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치된다. 이하, 상기 테스트 챔버(200)에 대해서 도 4 및 도 5를 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.The
도 4는 도 1에 도시된 테스트 핸들러에서 테스트 챔버의 내부를 간략하게 나타낸 도면이며, 도 5는 도 1에 도시된 테스트 핸들러의 다수 테스트 챔버들을 나타낸 도면이다.4 is a view schematically illustrating the interior of a test chamber in the test handler illustrated in FIG. 1, and FIG. 5 is a diagram illustrating a plurality of test chambers of the test handler illustrated in FIG. 1.
도 4 및 도 5를 추가적으로 참조하면, 상기 테스트 챔버(200)에는 상기 로딩 모듈(100)로부터 상기 메모리 기판(SSD)이 고정된 프레임 구조물(10)이 그 입구(210)를 통해 로딩된다. 4 and 5, the
이때, 상기 로딩되는 프레임 구조물(10)은 상기 로딩 모듈(100)의 DC 테스트부에서 양품으로 판정된 메모리 기판(SSD)이 고정된 것으로 이해할 수 있다. 또한, 상기 프레임 구조물(10)은 컨베어(미도시) 또는 이송 로봇(미도시)과 같은 다양한 이송 수단을 통해 상기 로딩 모듈(100)로부터 상기 테스트 챔버(200)로 이송될 수 있다.In this case, the loaded
상기 테스트 챔버(200)는 상기 메모리 기판(SSD)의 전기적인 특성을 테스트하기 위한 공간을 제공한다. 이에, 상기 테스트 챔버(200)는 상기 메모리 기판(SSD)의 실질적인 테스트 장치(50)와 연결된다. 이때, 상기 테스트 챔버(200)에서는 하나의 명령이 실행되는 동안에도 다음 명령을 받아들여서 실행할 수 있는 비동기식 테스트 방식이 적용될 수 있다. The
상기 테스트 챔버(200)에는 상기 테스트 장치(50)와 전기적으로 연결된 패드 접속부(230)가 포함된다. 이에 따라, 상기 테스트 챔버(200)에서 상기 패드 접속부(230)에 상기 프레임 구조물(10)의 테스트 패드부(30)를 접속시킴으로써, 상기 프레임 구조물(10)에 고정된 메모리 기판(SSD)의 전기적인 특성을 테스트할 수 있다. The
이때, 상기 테스트 챔버(200)에는 상기 메모리 기판(SSD)의 규격과 개수에 상관없이 상기 테스트 패드부(30)가 일정한 형태를 가짐에 따라, 상기 프레임 구조물(10)을 이동시켜 상기 테스트 패드부(30)를 상기 패드 접속부(230)에 자동적으로 접속시킬 수 접속 구동부(250)가 설치될 수 있다. In this case, as the
이에, 상기 테스트 패드부(30)와 상기 패드 접속부(230)의 접속을 상기 접속 구동부(250)를 통해 자동적으로 수행함으로써, 생산성 향상을 더욱 기대할 수 있을 뿐만 아니라 접속의 정확성 및 정밀성도 향상시켜 테스트 결과에 대한 신뢰성도 확보할 수 있다.Thus, by automatically connecting the
상기 테스트 챔버(200)는 다수가 인-라인 형태로 서로 결합되어 배치될 수 있다. 상기 다수의 테스트 챔버(200)들은 서로 입구(210)와 출구(220)가 인-라인 형태로 연결될 수 있다. 예를 들어, 도 1에서와 같이 두 개가 인-라인 형태로 배치(2T)될 수도 있고, 네 개가 인-라인 형태로 배치(4T)될 수도 있다. 반대로, 상기 다수의 테스트 챔버(200)들은 상기 입구(210)와 출구(220)를 간단하게 분리시킬 수 있는 구조도 가지고 있다.The
이에, 상기 로딩되는 프레임 구조물(10)은 상기 테스트 챔버(200)들에서 컨베어(미도시) 또는 이송암(미도시)과 같은 다양한 이송 수단을 통해 이송하다가 상기 테스트 챔버(200)들 중 사용자에 의해 또는 기설정된 제어 프로그램에 의해서 선택된 어느 하나의 패드 접속부(230)에 접속하여 테스트 공정이 수행될 수 있다.Accordingly, the loaded
이와 같이, 테스트하고자 하는 메모리 기판(SSD)의 개수에 따라 프레임 구조물(10)의 개수가 많아지거나 적어지게 될 경우에 따라, 상기 테스트 챔버(200)의 개수를 유연적으로 변경하여 상기 테스트 핸들러(1000)의 설치 공간 측면에서 최대의 효과를 기대할 수 있다.As described above, when the number of the
상기 언로딩 모듈(300)은 상기 테스트 챔버(200)와 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치된다. 구체적으로, 상기 언로딩 모듈(300)은 상기 인-라인 형태로 배치된 다수의 테스트 챔버(200)들 중 가장 후단 부위에 배치된 테스트 챔버(200)와 인-라인 형태로 배치될 수 있다. The
이에, 상기 언로딩 모듈(300)에는 상기 테스트 챔버(200)들에서 테스트한 메모리 기판(SSD)이 고정된 프레임 구조물(10)이 언로딩된다. 이때, 상기 언로딩되는 프레임 구조물(10)은 컨베어(미도시) 또는 이송암(미도시)과 같은 다양한 이송 수단을 통해 언로딩될 수 있다. 이하, 상기 언로딩 모듈(300)에 대해서는 도 6을 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.Accordingly, the
도 6은 도 1에 도시된 테스트 핸들러의 언로딩 모듈을 개념적으로 구체화시킨 도면이다.FIG. 6 is a diagram conceptually embodying an unloading module of the test handler illustrated in FIG. 1.
도 6을 추가적으로 참조하면, 상기 언로딩 모듈(300)은 개별화부(310) 및 선별부(320)를 포함할 수 있다.6, the
상기 개별화부(310)는 상기 언로딩 모듈(300)의 선단에 위치한다. 상기 개별화부(310)에는 상기 테스트 챔버(200)로부터 테스트한 메모리 기판(SSD)이 고정된 프레임 구조물(10)이 언로딩된다. 상기 개별화부(310)에서는 상기 프레임 구조물(10)로부터 상기 메모리 기판(SSD)들을 개별적으로 분리시키기 위하여 상기 메모리 기판(SSD)을 상기 프레임(22)과 연결하고 있는 브리지(24)를 절단한다.The
상기 선별부(320)는 상기 개별화부(310)와 인-라인 형태로 연결된다. 상기 선별부(320)에는 상기 개별적으로 분리된 메모리 기판(SSD)들이 언로딩된다. 상기 선별부(320)에서는 상기 테스트 챔버(200)에서 테스트한 결과에 따라 상기 메모리 기판(SSD)들을 등급별로 구분한다. The
이때, 상기 선별부(320)에서 상기 메모리 기판(SSD)을 정확하게 식별하기 위하여, 상기 테스트 챔버(200)에서는 테스트를 수행하기 전에 상기 메모리 기판(SSD)이 고정된 프레임 구조물(10)에 인쇄되는 바(Bar) 코드와 같은 식별 코드를 인식하여 테스트 대상인 메모리 기판(SSD)과 테스트 결과가 서로 불일치되는 것을 방지할 수 있다. In this case, in order to accurately identify the memory substrate SSD in the
본 실시예에서는 상기 개별화부(310)가 상기 선별부(320)에 선단에 위치하여 공정이 먼저 진행되는 것으로 설명하였지만, 상기 메모리 기판(SSD)의 특징에 따라 상기 선별부(320)가 상기 개별화부(310)의 선단에 위치하여 공정이 먼저 진행될 수도 있다.In the present exemplary embodiment, the
이와 같이, 상기 테스트 핸들러(1000)의 로딩 모듈(100), 테스트 챔버(200) 및 언로딩 모듈(300)을 전체적으로 인-라인 자동화 시스템 형태로 구축하여 테스트 공정을 연속적으로 수행함으로써, 앞에서 언급한 생산성 향상을 더욱더 기대할 수 있다.As such, the
이하, 상기에서 설명한 테스트 핸들러(1000)를 통해 상기 메모리 기판(SSD)을 테스트하는 과정에 대해서 도 7을 추가적으로 참조하여 설명하고자 한다.Hereinafter, a process of testing the memory substrate SSD through the
도 7은 도 1에 도시된 테스트 핸들러를 이용하여 테스트를 진행하는 과정을 나타낸 순서도이다.FIG. 7 is a flowchart illustrating a test process using the test handler shown in FIG. 1.
도 7을 추가적으로 참조하면, 상기 테스트 핸들러(1000)를 이용해 메모리 기판(SSD)을 테스트하기 위하여 우선적으로, 상기 메모리 기판(SSD)을 상기 프레임 구조물(10)의 프레임(22)에 브리지(24)를 통해 연결 고정하여 준비해 둔다.Referring to FIG. 7 further, in order to test the memory substrate SSD using the
이후, 상기 메모리 기판(SSD)이 고정된 프레임 구조물(10)을 상기 로딩 모듈(100)에 로딩시킨다(S10). 이때, 상기 로딩 모듈(100)에서는 DC 테스트가 수행될 수 있다. 이어, 상기 로딩한 프레임 구조물(10)을 상기 테스트 챔버(200)로 이송시킨다(20). 이때, 상기 테스트 챔버(200)에 이송되는 프레임 구조물(10)에는 상기 로딩 모듈(100)에서 DC 테스트한 결과, 양품으로 판정된 메모리 기판(SSD)이 고정될 수 있다. 또한, 상기 테스트 챔버(200)의 개수는 테스트하고자 하는 메모리 기판(SSD)의 개수에 따라 유연하게 조정될 수 있다. Thereafter, the
이어, 상기 프레임 구조물(10)의 테스트 패드부(30)를 상기 테스트 장치(50)와 연결된 테스트 챔버(200)의 패드 접속부(230)에 접속시켜 상기 프레임 구조물(10)에 고정된 메모리 기판(SSD)의 전기적인 특성을 테스트한다(S30).Subsequently, the
이어, 상기 테스트한 메모리 기판(SSD)이 고정된 프레임 구조물(10)을 상기 언로딩 모듈(300)의 개별화부(310)로 언로딩하여 상기 프레임 구조물(10)로부터 상기 메모리 기판(SSD)을 개별적으로 분리한다(S40). 구체적으로, 상기 프레임 구조물(10)의 프레임(22)과 상기 메모리 기판(SSD)을 서로 연결시키고 있는 브리지(24)를 절단하여 상기 메모리 기판(SSD)들을 개별적으로 분리시킨다.Subsequently, the
이어, 상기 분리한 메모리 기판(SSD)들을 상기 테스트 챔버(200)에서 테스트한 결과에 따라 구분한다(S50). 본 실시예에서는 상기 메모리 기판(SSD)들을 상기 프레임 구조물(10)로부터 먼저 개별 분리시킨 다음, 등급별로 구분하는 것으로 설명하였지만, 상기 메모리 기판(SSD)의 특징에 따라 그 순서는 서로 바뀔 수 있음을 이해할 수 있다.Subsequently, the separated memory substrates SSD are classified according to the test result of the test chamber 200 (S50). In the present exemplary embodiment, the memory substrates SSD are first separated from the
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
SSD : 메모리 기판 10 : 프레임 구조물
20 : 고정 플레이트 22 : 프레임
24 : 브리지 30 : 테스트 패드부
50 : 테스트 장치 100 : 로딩 모듈
200 : 테스트 챔버 230 : 패드 접속부
250 : 접속 구동부 300 : 언로딩 모듈
310 : 개별화부 320 : 선별부
1000 : 테스트 핸들러SSD: memory substrate 10: frame structure
20: fixing plate 22: frame
24: bridge 30: test pad portion
50: test apparatus 100: loading module
200: test chamber 230: pad connection
250: connection driving unit 300: unloading module
310: individualization unit 320: selection unit
1000: test handler
Claims (10)
상기 프레임에 형성되며, 상기 메모리 기판들의 전기적인 특성을 검사하기 위해 상기 메모리 기판들과 전기적으로 연결된 상태로 외부의 테스트 챔버와 접속하는 테스트 패드부를 포함하며,
상기 브리지는 상기 메모리 기판들의 사이즈에 따라 길이가 다르게 구성된 것을 특징으로 하는 프레임 구조물.A fixing plate to which the memory substrates are fixed, including a frame formed to have an internal space and a bridge connecting the memory substrates arranged in a plurality of soft array forms in the internal space to the frame; And
A test pad unit formed in the frame and connected to an external test chamber in an electrically connected state with the memory substrates to inspect electrical characteristics of the memory substrates,
The bridge is a frame structure, characterized in that the length is configured differently according to the size of the memory substrates.
상기 로딩 모듈과 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치되어 상기 메모리 기판들을 테스트하기 위한 공간을 제공하며, 상기 테스트 패드부가 접속되는 패드 접속부를 포함하는 적어도 하나의 테스트 챔버; 및
상기 테스트 챔버와 인접한 위치에서 인-라인 형태로 배치되어 상기 메모리 기판들이 언로딩되는 언로딩 모듈을 포함하며,
상기 브리지는 상기 메모리 기판들의 사이즈에 따라 길이가 다르게 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.A memory plate including a frame formed to have an internal space and a bridge connecting the memory substrates arranged in a plurality of soft array forms in the internal space to the frame, the fixing plate to which the memory substrates are fixed, and the memory substrates; A loading module loaded with a frame structure including a test pad part electrically connected thereto;
At least one test chamber disposed in an in-line form at a position adjacent to the loading module to provide a space for testing the memory substrates, the at least one test chamber including a pad connection portion to which the test pad portion is connected; And
An unloading module disposed in-line at a position adjacent to the test chamber to unload the memory substrates,
The bridge is a test handler, characterized in that the length is configured differently depending on the size of the memory substrates.
상기 로딩한 프레임 구조물을 테스트 챔버로 이송하는 단계;
상기 이송한 프레임 구조물의 테스트 패드부를 상기 테스트 챔버의 패드 접속부에 접속시켜 상기 메모리 기판들을 테스트하는 단계;
상기 테스트한 메모리 기판들을 고정한 프레임 구조물을 언로딩하는 단계; 및
상기 언로딩한 프레임 구조물로부터 상기 메모리 기판들을 분리시키기 위하여 상기 브리지를 절단하는 단계를 포함하며,
상기 브리지는 상기 메모리 기판들의 사이즈에 따라 길이가 다르게 구성된 것을 특징으로 하는 기판 테스트 방법.And a fixing plate to which the memory substrates are fixed, including a frame formed to have an internal space and a bridge connecting the plurality of memory substrates arranged in a plurality of soft array forms in the internal space to the frame, and the memory substrate being fixed to the memory substrate. Loading a frame structure including a test pad portion electrically connected to the fields;
Transferring the loaded frame structure to a test chamber;
Testing the memory substrates by connecting a test pad part of the transferred frame structure to a pad connection part of the test chamber;
Unloading a frame structure holding the tested memory substrates; And
Cutting the bridge to separate the memory substrates from the unloaded frame structure,
And wherein the bridge has a different length depending on the size of the memory substrates.
10. The method of claim 9, further comprising separating the memory substrates by grade after separating the memory substrates.
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KR101031340B1 (en) * | 2008-10-23 | 2011-04-29 | 세크론 주식회사 | Method for transferring a tray and test handler using the same |
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- 2012-01-09 KR KR1020120002348A patent/KR101301319B1/en active IP Right Grant
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