KR101280331B1 - Rotary joint and polishing apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 측면에 복수의 제 1 홈이 형성된 샤프트와, 샤프트를 감싸며 제 2 홈이 각각 형성된 복수의 존 디펜스 링고, 존 디펜스 링들 사이에 마련되고 샤프트를 감싸며, 제 3 홈이 각각 형성된 복수의 로터와, 존 디펜스 링 및 로터가 샤프트에 고정되도록 제 2 홈 및 제 3 홈을 통해 제 1 홈에 삽입되는 고정 키를 포함하는 로터리 조인트 및 이를 구비하는 연마 장치를 제시한다.The present invention provides a shaft having a plurality of first grooves formed on a side surface thereof, a plurality of zone defense rings surrounding the shaft, and a plurality of rotors provided between the zone defense rings, the rotors being provided between the zone defense rings, respectively, and the plurality of rotors each having a third groove formed thereon. And a rotary joint comprising a zone defense ring and a fixing key inserted into the first groove through the second groove and the third groove so that the rotor is fixed to the shaft.

Description

로터리 조인트 및 이를 구비하는 연마 장치{Rotary joint and polishing apparatus having the same}Rotary joint and polishing apparatus having the same

본 발명은 로터리 조인트 및 이를 구비하는 연마 장치에 관한 것으로, 특히 샤프트의 손상을 방지할 수 있는 로터리 조인트 및 이를 구비하는 연마 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a rotary joint and a polishing apparatus having the same, and more particularly, to a rotary joint capable of preventing damage to a shaft and a polishing apparatus having the same.

CMP(Chemical Mechanical Polishing) 장치를 이용한 웨이퍼의 연마 처리는 CMP 장치의 연마 테이블과 탑링(top ring) 사이에 웨이퍼를 끼우고, 로터리 조인트로부터 탑 링을 통해 소정의 압력을 인가하여 연마 테이블과 탑 링을 각각 독립적으로 회전시켜 실시한다. 이때, 연마 테이블과 탑 링 사이에 각종 연마액이 공급된다.The polishing process of the wafer using the CMP (Chemical Mechanical Polishing) apparatus sandwiches the wafer between the polishing table and the top ring of the CMP apparatus, and applies a predetermined pressure from the rotary joint through the top ring to the polishing table and the top ring. Rotate each independently. At this time, various polishing liquids are supplied between the polishing table and the top ring.

로터리 조인트는 원기둥 모양의 샤프트와 샤프트를 감싸도록 형성된 원통 모양의 하우징을 상대적으로 회전 가능하게 배치하고, 압력을 인가하기 위한 공기가 누설되지 않도록 공급된다. 한편, 압력 인가를 위한 공기 뿐만 아니라 각종 연마액 등도 로터리 조인트를 통해 공급될 수 있는데, 이러한 로터리 조인트가 미국등록특허 제5713609호에 제시되어 있다.The rotary joint has a cylindrical shaft and a cylindrical housing formed to surround the shaft so as to be relatively rotatable, and is supplied so that air for applying pressure does not leak. On the other hand, not only air for pressure application but also various polishing liquids and the like can be supplied through the rotary joint, such a rotary joint is disclosed in US Patent No. 5,713,609.

로터리 조인트를 통해 웨이퍼의 영역마다 서로 다른 압력을 인가할 수 있는데, 예를 들어 웨이퍼의 중심으로부터 가장자리로 갈수록 큰 압력 또는 작은 압력이 인가될 수 있다. 이렇게 복수의 압력을 인가하기 위해서는 로터리 조인트에 복수의 유로가 마련되어야 한다. 이를 위해 샤프트의 측면으로부터 내부에 서로 이격되는 복수의 유로를 마련한다. 샤트프의 외측에 복수의 로터를 삽입하여 복수의 영역으로 분할하고, 두 로터 사이에는 각각 두 개의 스테이터를 마련하여 두 개의 스테이터 사이를 통해 샤프트의 유로를 연결한다. 또한, 복수의 유로 각각을 실링하기 위해 두 스테이터 사이에 오링이 마련된다. 이렇게 샤프트와 복수의 로터 및 스테이터에 의해 복수의 유로가 마련된 로터리 조인트는 샤프트와 함께 로터도 회전하게 된다.Different rotary pressures may be applied to the regions of the wafer through the rotary joint, for example, a larger pressure or a smaller pressure may be applied from the center of the wafer toward the edge. In order to apply a plurality of pressures, a plurality of flow paths must be provided in the rotary joint. To this end, a plurality of flow paths spaced apart from each other from the side of the shaft is provided. A plurality of rotors are inserted into the outside of the shaft and divided into a plurality of regions, and two stators are provided between the two rotors to connect the flow path of the shaft through the two stators. In addition, an O-ring is provided between the two stators to seal each of the plurality of flow paths. Thus, the rotary joint provided with a plurality of flow paths by the shaft, the plurality of rotors, and the stator rotates the rotor together with the shaft.

그런데, 로터리 조인트는 실링되는 면의 마찰 계수가 커지면 로터가 회전하지 않게 된다. 샤프트가 회전하고 로터는 회전하지 않기 때문에 로터와 샤프트가 마찰하게 되고, 그에 따라 샤프트가 손상된다. 또한, 오링은 샤프트에 밀착 마련되기 때문에 샤프트 및 로터와 함께 회전해야 한다. 그러나, 샤프트와 로터의 마찰력이 오링의 마찰력보다 커지게 되면 샤프트만 회전하게 되고, 그에 따라 샤프트와 오링이 마찰하게 되어 오링에 갈림이 발생하게 된다. 따라서, 로터리 조인트의 복수의 유로는 압력을 유지하지 못하고 누설되어 원하는 압력을 웨이퍼에 공급하지 못하게 되고, 그로 인해 연마 효율이 저하된다.
However, in the rotary joint, the rotor does not rotate when the friction coefficient of the sealing surface increases. Since the shaft rotates and the rotor does not rotate, the rotor and the shaft are rubbed, thereby damaging the shaft. In addition, since the O-ring is provided close to the shaft, it must rotate together with the shaft and the rotor. However, when the frictional force between the shaft and the rotor is greater than the frictional force of the O-ring, only the shaft rotates, thereby causing the shaft and the O-ring to rub, causing the O-ring to be cracked. Therefore, the plurality of flow paths of the rotary joint cannot leak and fail to supply the desired pressure to the wafer, thereby lowering the polishing efficiency.

본 발명은 로터가 샤프트와 함께 회전하도록 함으로써 샤프트의 손상을 방지하고 오링의 갈림을 방지할 수 있는 로터리 조인트 및 이를 구비하는 연마 장치를 제공한다.The present invention provides a rotary joint and a polishing apparatus having the same, which allow the rotor to rotate together with the shaft to prevent damage to the shaft and to prevent the o-ring from splitting.

본 발명은 로터를 고정 키를 이용하여 샤프트에 고정함으로써 로터와 샤프트를 동시에 회전시킬 수 있는 로터리 조인트 및 이를 구비하는 연마 장치를 제공한다.
The present invention provides a rotary joint capable of simultaneously rotating the rotor and the shaft by fixing the rotor to the shaft using a fixing key, and a polishing apparatus having the same.

본 발명의 일 양태에 따른 로터리 조인트는 측면에 복수의 제 1 홈이 형성된 샤프트; 상기 샤프트를 감싸며 제 2 홈이 각각 형성된 복수의 존 디펜스 링; 상기 존 디펜스 링들 사이에 마련되고 상기 샤프트를 감싸며, 제 3 홈이 각각 형성된 복수의 로터; 및 상기 존 디펜스 링 및 로터가 상기 샤프트에 고정되도록 상기 제 2 홈 및 제 3 홈을 통해 상기 제 1 홈에 삽입되는 고정 키를 포함한다.Rotary joint according to an aspect of the present invention includes a shaft having a plurality of first grooves formed on the side; A plurality of zone defense rings surrounding the shaft and having second grooves formed therein; A plurality of rotors disposed between the zone defense rings and surrounding the shaft, and each having a third groove; And a fixing key inserted into the first groove through the second groove and the third groove so that the zone defense ring and the rotor are fixed to the shaft.

상기 복수의 제 1 홈은 동일 수직 선상에 형성되거나, 소정 각도 이격되어 서로 다른 수직 선상에 형성된다.The plurality of first grooves are formed on the same vertical line or are formed on different vertical lines spaced apart by a predetermined angle.

상기 제 2 홈은 상기 존 디펜스 링의 상부면으로부터 측면의 일부에 형성된다.The second groove is formed in a portion of the side surface from the upper surface of the zone defense ring.

상기 제 3 홈은 상기 로터의 내측으로부터 상기 제 2 홈에 대응되는 영역에 형성된다.The third groove is formed in an area corresponding to the second groove from the inside of the rotor.

상기 고정 키는 육면체 형상 또는 원기둥 형상으로 제작된다.The fixed key is manufactured in the shape of a cube or a cylinder.

상기 샤프트의 제 1 홈에 나사선이 형성되고, 상기 고정 키의 측면에 나사산이 형성되어 상기 고정 키가 상기 샤프트에 나사 결합된다.A screw thread is formed in the first groove of the shaft, and a thread is formed on the side of the fixing key so that the fixing key is screwed to the shaft.

상기 고정 키는 상기 샤프트에 삽입되는 부분으로부터 폭이 넓어지는 쐐기형으로 형성되고, 상기 샤프트 외측으로 동일 폭으로 형성된다.
The fixing key is formed in a wedge shape that is widened from a portion inserted into the shaft, and is formed in the same width outside the shaft.

본 발명의 다른 양태에 따른 연마 장치는 연마 패드가 부착된 연마 테이블; 웨이퍼를 파지하여 상기 연마 패드로 가압하는 탑링; 및 상기 탑링에 소정 압력의 공기를 공급하며 회전 가능한 로터리 조인트를 포함하고, 상기 로터리 조인트는 샤프트와 상기 샤프트를 감싸며 고정 키에 의해 고정되는 복수의 존 디펜스 링 및 로터를 포함한다.According to another aspect of the present invention, a polishing apparatus includes: a polishing table to which a polishing pad is attached; A top ring for holding a wafer and pressing the wafer with the polishing pad; And a rotary joint supplying air of a predetermined pressure to the top ring, wherein the rotary joint includes a shaft and a plurality of zone defense rings and a rotor surrounding the shaft and fixed by a fixing key.

상기 샤프트는 상기 측면에 복수의 제 1 홈이 형성되고, 상기 존 디펜스 링 및 상기 로터에 각각 제 2 홈 및 제 3 홈이 각각 형성되며, 상기 존 디펜스 링 및 로터가 상기 샤프트에 고정되도록 상기 고정 키가 상기 제 2 홈 및 제 3 홈을 통해 상기 제 1 홈에 삽입된다.
The shaft has a plurality of first grooves formed on the side surface, and a second groove and a third groove are formed on the zone defense ring and the rotor, respectively, and the zone defense ring and the rotor are fixed to the shaft. A key is inserted into the first groove through the second groove and the third groove.

본 발명의 실시 예들에 따른 로터리 조인트는 존 디펜스 링 및 로터가 고정 키에 의해 샤프트에 고정되므로 샤프트가 회전할 때 존 디펜스 링 및 로터가 함께 회전하게 된다. 즉, 존 디펜스 링 및 로터가 샤프트에 일체화하여 회전하게 된다.In the rotary joint according to the embodiments of the present invention, since the zone defense ring and the rotor are fixed to the shaft by the fixing key, the zone defense ring and the rotor rotate together when the shaft rotates. That is, the zone defense ring and the rotor are integrally rotated with the shaft.

본 발명에 의하면, 로터와 샤프트가 마찰하지 않게 되어 강도가 높은 로터에 의해 샤프트의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 샤프트에 밀착되는 실링 부재에 갈림 현상도 발생되지 않는다. 따라서, 샤프트 내부로 공급되는 공기 압력이 누설되지 않아 연마 효율의 저하를 방지할 수 있다.
According to the present invention, the rotor and the shaft do not rub and damage of the shaft can be prevented by the rotor having high strength. In addition, there is no cracking phenomenon in the sealing member in close contact with the shaft. Therefore, the air pressure supplied to the inside of the shaft does not leak, and the fall of the polishing efficiency can be prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 로터리 조인트를 포함하는 연마 장치의 개략도.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 로터리 조인트의 외형도, 분해 사시도 및 단면도를 포함하는 개략도.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 로터리 조인트를 구성하는 샤프트, 존 디펜스 링, 스테이터 및 로터의 사시도.1 is a schematic view of a polishing apparatus including a rotary joint according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 is a schematic view including an external view, an exploded perspective view and a cross-sectional view of a rotary joint according to an embodiment of the present invention.
5 to 8 are perspective views of the shaft, the zone defense ring, the stator and the rotor constituting the rotary joint according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 로터리 조인트를 포함하는 연마 장치의 개략도이다.1 is a schematic view of a polishing apparatus including a rotary joint according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 연마 장치는 연마 패드(120)가 상면에 부착된 연마 테이블(110)과, 웨이퍼(W)를 파지하며 웨이퍼(W)를 연마 패드(120)로 가압하는 탑링(130)과, 탑링(130)을 회전시키는 탑링 샤프트(140)와, 탑링(130)에 유체를 공급하며 탑링 샤프트(140)와 함께 회전 가능한 로터리 조인트(150)를 포함한다. 또한, 로터리 조인트(150)를 통해 탑링(130)에 소정 압력의 공기를 공급하는 복수의 공급관(160)과, 공급관(160; 162, 164, 166, 168)을 통해 공급되는 공기의 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(170)과, 연마 패드(120) 상에 연마액을 공급하기 위한 연마액 공급 노즐(180)을 더 포함한다. 또한, 탑링(130)은 그 하부면 상에 홀딩된 웨이퍼를 연마 패드(120)에 대해 가압하기 위한 탑링 바디(132)와, 연마 패드(110)를 직접 가압하기 위한 리테이너링(134)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the polishing apparatus includes a polishing table 110 having a polishing pad 120 attached to an upper surface thereof, and a top ring 130 that grips the wafer W and presses the wafer W onto the polishing pad 120. And a top ring shaft 140 for rotating the top ring 130, and a rotary joint 150 for supplying fluid to the top ring 130 and rotating together with the top ring shaft 140. In addition, a plurality of supply pipes 160 for supplying air of a predetermined pressure to the top ring 130 through the rotary joint 150 and the pressure of the air supplied through the supply pipes 160 (162, 164, 166, and 168) are adjusted. The pressure adjusting unit 170 and a polishing liquid supply nozzle 180 for supplying a polishing liquid on the polishing pad 120 are further included. The top ring 130 also includes a top ring body 132 for pressing the wafer held on the lower surface thereof against the polishing pad 120, and a retainer ring 134 for directly pressing the polishing pad 110. do.

상기 연마 장치는 연마 패드(120)가 부착된 연마 테이블(110)이 일 방향으로 회전하고, 웨이퍼(W)를 파지한 탑링(130)은 수직 이동 장치(미도시)에 의해 연마 패드(120) 상으로 이동한 후 탑링 샤프트(140)에 의해 일 방향 또는 타 방향으로 회전하면서 웨이퍼(W)를 연마하게 된다. 이때, 압력 조절 유닛(170)에 의해 조절된 서로 다른 복수의 압력이 복수의 공급관(160)을 통해 로터리 조인트(150)에 인가되고 다시 탑링(130)에 인가된다. 따라서, 웨이퍼(W)에는 예를 들어 중앙부로부터 가장자리로 갈수록 커지는 압력 또는 작아지는 압력이 인가된다. 그에 따라 웨이퍼(W)의 각 영역에 서로 다른 압력이 인가되면서 웨이퍼(W)가 연마된다. 물론, 웨이퍼(W)가 연마 패드(120)와 접촉되면서 연마될 때 연마액 공급 노즐(180)로부터 연마 패드(120) 상에 연마액이 공급된다.
In the polishing apparatus, the polishing table 110 to which the polishing pad 120 is attached is rotated in one direction, and the top ring 130 holding the wafer W is polished by a vertical moving device (not shown). After moving up, the wafer W is polished while being rotated in one direction or the other by the top ring shaft 140. In this case, a plurality of different pressures controlled by the pressure regulating unit 170 are applied to the rotary joint 150 through the plurality of supply pipes 160 and again to the top ring 130. Therefore, for example, a pressure that increases or decreases toward the edge from the center portion is applied to the wafer W. Accordingly, the wafer W is polished while different pressures are applied to the respective regions of the wafer W. FIG. Of course, the polishing liquid is supplied from the polishing liquid supply nozzle 180 onto the polishing pad 120 when the wafer W is polished while being in contact with the polishing pad 120.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 로터리 조인트의 결합 사시도이고, 도 3은 로터리 조인트의 단면도이며, 도 4는 로터리 조인트의 일부 분해 사시도이다. 또한, 도 5 내지 도 8은 로터리 조인트를 구성하는 샤프트, 존 디펜스 링, 스테이터 및 로터의 사시도이다.2 is a perspective view of the rotary joint in accordance with an embodiment of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the rotary joint, Figure 4 is a partially exploded perspective view of the rotary joint. 5 to 8 are perspective views of the shaft, the zone defense ring, the stator, and the rotor constituting the rotary joint.

도 2, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 로터리 조인트는 일 방향으로 회전하는 샤프트(shaft)(210)와, 샤프트(210) 외측에 마련되는 복수의 하우징(housing)(220)과, 샤프트(210)와 복수의 하우징(220) 각각의 사이에 마련된 복수의 존 디펜스 링(zone defense ring)(230)과, 존 디펜스 링(230) 외측에 마련된 복수의 스테이터(stator)(240)와, 존 디펜스 링(230) 사이에 마련된 복수의 로터(rotor)(250)를 포함한다.2, 3, and 4, a rotary joint according to an embodiment of the present invention includes a shaft 210 rotating in one direction and a plurality of housings provided outside the shaft 210. 220, a plurality of zone defense rings 230 provided between the shaft 210 and the plurality of housings 220, and a plurality of stator (outside the zone defense ring 230) and a plurality of rotors 250 provided between the stator 240 and the zone defense ring 230.

샤프트(210)는 대략 원기둥 형상으로 제작되며, 일 방향으로 회전한다. 프트(210)는 일 부분이 다른 부분에 비해 큰 지름으로 제작될 수 있는데, 예를 들어, 샤프트(210)는 상부로부터 제 1 지름으로 제작된 제 1 부분과, 제 1 지름보다 큰 제 2 지름으로 제작된 제 2 부분과, 제 2 지름보다 큰 제 3 지름으로 제작된 제 3 부분과, 제 3 부분 하측에 제 2 지름으로 제작된 제 4 부분을 포함할 수 있다. 여기서, 제 1 부분에는 복수의 존 디펜스 링(230), 복수의 스테이터(240), 복수의 로터(250) 등이 마련될 수 있으며, 제 2 부분에는 베어링(300)이 마련되어 하우징(220)에 대해 샤프트(210)를 중심축 주위로 회전 가능하도록 지지하게 되고, 제 4 부분에는 브라켓(310)이 마련된다. 이러한 샤프트(210)는 예를 들어 SUS316 등의 스테인레스 등의 금속으로 제작될 수 있고, 피크(peek) 등의 합성 수지로 제작될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 다양한 물질로 제작될 수 있다. 또한, 샤프트(210)에는 측면으로부터 내부로 복수의 유로(211)가 형성된다. 즉, 복수의 유로(211)는 샤프트(210)의 측면으로부터 수평으로 이어지다가 하측으로 수직으로 연장 형성된다. 이러한 복수의 유로(211)는 샤프트(210)의 중심축을 기준으로 동일 원주 상에 등간격으로 배치될 수 있다. 또한, 복수의 유로(211)는 샤프트(210) 측면의 동일 수직선상에 형성될 수도 있고, 소정 각도 이격되어 서로 다른 영역에 형성될 수 있다. 예를 들어, 네 개의 유로(211)가 형성되는 경우 각각의 유로(211)는 샤프트(210)의 측면에서 90°의 각도를 유지하며 서로 다른 위치에 형성될 수 있다. 이러한 유로(211)은 복수의 공급관(160)으로부터 압력 조절 유닛(170)에 의해 조절된 공기 압력을 공급받는다. 이때, 각 공급관(160)으로부터 유로(211)에 공급되는 공기 압력은 서로 다르게 공급될 수 있다. 또한, 샤프트(210)의 측면에는 복수의 제 1 홈(212)이 형성된다. 이러한 복수의 제 1 홈(212)은 샤프트(210) 측면의 동일 수직선상에 형성될 수도 있고, 소정 각도 이격되어 형성될 수 있다. 즉, 제 1 홈(212)은 동일 수직 선상에 형성될 수도 있고 서로 다른 수직 선상에 형성될 수도 있다. 이때, 복수의 제 1 홈(212)은 샤프트(210) 측면에 형성된 유로(211)와 중첩되지 않게 형성되어야 한다. 예를 들어 제 1 홈(212)은 인접한 유로(211) 사이에 형성될 수 있다. 이러한 복수의 제 1 홈(212)에는 로터(250)를 고정하기 위해 고정 키(290)가 삽입된다. 따라서, 복수의 제 1 홈(212)은 로터(250)의 수에 대응하는 수로 형성될 수 있으며, 예를 들어 네 개의 로터(250)가 마련되면 제 1 홈(212)도 네 개 형성된다.The shaft 210 is manufactured in a substantially cylindrical shape and rotates in one direction. The shaft 210 may be manufactured in one part having a larger diameter than the other part. For example, the shaft 210 may include a first part manufactured with a first diameter from the top and a second diameter larger than the first diameter. The second part may be manufactured, the third part manufactured with a third diameter larger than the second diameter, and the fourth part manufactured with the second diameter under the third part. Here, a plurality of zone defense rings 230, a plurality of stators 240, a plurality of rotors 250, and the like may be provided in the first part, and the bearing 300 may be provided in the second part of the housing 220. The shaft 210 is rotatably supported about the central axis, and the bracket 310 is provided at the fourth portion. The shaft 210 may be made of a metal such as stainless steel such as SUS316, for example, and may be made of a synthetic resin such as a peak. However, the shaft 210 may be made of various materials. In addition, a plurality of flow paths 211 are formed in the shaft 210 from the side to the inside. That is, the plurality of flow paths 211 extend horizontally from the side of the shaft 210 and extend vertically downward. The plurality of flow paths 211 may be disposed at equal intervals on the same circumference with respect to the central axis of the shaft 210. In addition, the plurality of flow paths 211 may be formed on the same vertical line on the side of the shaft 210, or may be formed in different areas spaced apart by a predetermined angle. For example, when four flow paths 211 are formed, each flow path 211 may be formed at different positions while maintaining an angle of 90 ° from the side of the shaft 210. The flow path 211 receives air pressure adjusted by the pressure regulating unit 170 from the plurality of supply pipes 160. In this case, the air pressure supplied from each supply pipe 160 to the flow path 211 may be differently supplied. In addition, a plurality of first grooves 212 are formed at the side surface of the shaft 210. The plurality of first grooves 212 may be formed on the same vertical line on the side of the shaft 210, or may be formed to be spaced apart by a predetermined angle. That is, the first grooves 212 may be formed on the same vertical line or may be formed on different vertical lines. In this case, the plurality of first grooves 212 should be formed so as not to overlap with the flow path 211 formed on the shaft 210 side. For example, the first groove 212 may be formed between adjacent flow paths 211. A fixing key 290 is inserted into the plurality of first grooves 212 to fix the rotor 250. Therefore, the plurality of first grooves 212 may be formed in a number corresponding to the number of the rotors 250. For example, if four rotors 250 are provided, four first grooves 212 are also formed.

복수의 하우징(220)는 각각 내부가 빈 원형의 통 형상으로 제작되며, 샤프트(210)를 외측에서 감싸도록 마련된다. 즉, 하우징(220)은 샤프트(210)와 소정 간격 이격되어 샤프트(210)의 외측에 마련된다. 이러한 하우징(220)은 유로(211) 및 공급관(160)의 수에 따라 복수로 마련될 수 있는데, 예를 들어, 유로(211) 및 공급관(160)이 각각 네 개 마련되면 하우징(220)도 네 개 마련될 수 있다. 또한, 복수의 하우징(220) 각각의 측면에는 관통홀(221)이 마련된다. 관통홀(221)에는 공급관(160)이 삽입 연결되어 샤프트(210)의 유로(211)에 공기 압력이 공급되도록 한다. 또한, 하우징(220)은 예를 들어 SUS316 등의 스테인레스 등의 금속으로 제작될 수 있고, 피크(peek) 등의 합성 수지로 제작될 수 있다. 즉, 하우징(220)은 샤프트(210)와 동일 재질로 제작될 수 있고 다른 재질로 제작될 수도 있다. 그런데, 하우징(220)은 마련되는 위치에 따라 서로 다른 재질로도 제작될 수 있다. 예를 들어, 브라켓에 고정되는 부분은 SUS 재질로 제작되고, 나머지 부분은 피크 재질로 제작될 수 있다.The plurality of housings 220 are each manufactured in a hollow circular cylindrical shape, and are provided to surround the shaft 210 from the outside. That is, the housing 220 is provided on the outside of the shaft 210 spaced apart from the shaft 210 by a predetermined interval. The housing 220 may be provided in plural according to the number of the flow path 211 and the supply pipe 160. For example, when the four flow paths 211 and the supply pipe 160 are respectively provided, the housing 220 may also be provided. Four can be prepared. In addition, a through hole 221 is provided at each side of each of the plurality of housings 220. The feed pipe 160 is inserted into and connected to the through hole 221 to supply air pressure to the flow path 211 of the shaft 210. In addition, the housing 220 may be made of a metal such as stainless steel such as SUS316, or may be made of a synthetic resin such as a peak. That is, the housing 220 may be made of the same material as the shaft 210 or may be made of a different material. By the way, the housing 220 may be made of different materials according to the position provided. For example, a part fixed to the bracket may be made of SUS material, and the remaining part may be made of a peak material.

복수의 존 디펜스 링(230)은 복수의 하우징(220) 내측에 각각 마련되며, 샤프트(210)와 접촉되어 샤프트(210)를 감싸도록 마련된다. 존 디펜스 링(230)은 샤프트(210)의 형상에 따라 대략 원통형으로 제작되고, 측면에 홀(231)이 형성된다. 존 디펜스 링(230)의 홀(231)은 하우징(220)의 관통홀(221)과 샤프트(210) 측면의 유로(211)에 대응되는 위치에 형성된다. 따라서, 공급관(160)을 통해 공급되는 소정 압력의 공기는 이들을 통해 샤프트(210)의 내부의 유로(211)로 공급된다. 즉, 공급관(160)은 하우징(220)의 관통홀(221)에 삽입 연결되어 존 디펜스 링(230)의 홀(231)과 샤프트(210) 측면 및 내부의 유로(211)를 통해 소정 압력을 공급한다. 또한, 존 디펜스 링(230)은 상측에 소정의 제 2 홈(232)이 형성된다. 홈(230)은 존 디펜스 링(230)의 상부면으로부터 하측으로 소정 부분이 제거되어 형성된다. 이러한 홈(232)은 샤프트(210)의 제 1 홈(212)과 대응되는 위치에 형성된다. 따라서, 고정 키(290)는 존 디펜스 링(230)의 제 2 홈(232)을 통해 샤프트(210)의 제 1 홈(212)에 삽입된다.The plurality of zone defense rings 230 are provided inside the plurality of housings 220, respectively, and are provided to be in contact with the shaft 210 to surround the shaft 210. The zone defense ring 230 is formed in a substantially cylindrical shape according to the shape of the shaft 210, and a hole 231 is formed at a side surface thereof. The hole 231 of the zone defense ring 230 is formed at a position corresponding to the through hole 221 of the housing 220 and the flow path 211 at the side of the shaft 210. Therefore, air of a predetermined pressure supplied through the supply pipe 160 is supplied to the flow path 211 inside the shaft 210 through them. That is, the supply pipe 160 is inserted into and connected to the through hole 221 of the housing 220, and the predetermined pressure is supplied through the hole 231 of the zone defense ring 230, the side surface of the shaft 210, and the flow path 211 therein. Supply. In addition, a predetermined second groove 232 is formed on the zone defense ring 230. The groove 230 is formed by removing a predetermined portion downward from an upper surface of the zone defense ring 230. The groove 232 is formed at a position corresponding to the first groove 212 of the shaft 210. Thus, the lock key 290 is inserted into the first groove 212 of the shaft 210 through the second groove 232 of the zone defense ring 230.

복수의 스테이터(stator)(240)는 적어도 하나의 존 디펜스 링(230)을 감싸도록 마련된다. 즉, 두 개의 스테이터(240)가 하나의 존 디펜스 링(230)을 감싸도록 마련된다. 이때, 복수의 스테이터(240)는 존 디펜스 링(230)과 소정 간격 이격되고 하우징(220)에 밀착되어 마련된다. 따라서, 샤프트(310)의 회전 시 존 디펜스 링(230)은 회전하지만, 스페이터(240)는 회전하지 않게 된다. 이러한 스테이터(240)는 소정 두께를 가지고 내부가 빈 원형, 예컨데 도넛 형상으로 제작된다. 또한, 스테이터(240)는 적어도 두 영역이 두께가 다르게 제작되는데, 예를 들어 일면은 평탄하고 타면은 내측에 단턱(241)이 형성되어 내측이 외측보다 두껍게 형성될 수 있다. 이러한 스테이터(240)는 단턱(241)이 형성된 타면이 서로 대향하고 서로 소정 간격 이격되도록 존 디펜스 링(230)을 감싸도록 마련된다. 즉, 두 스테이터(240)는 존 디펜스 링(230)의 홀(231)를 노출시키도록 소정 간격 이격되어 마련된다.The plurality of stators 240 are provided to surround the at least one zone defense ring 230. That is, two stators 240 are provided to surround one zone defense ring 230. In this case, the plurality of stators 240 are spaced apart from the zone defense ring 230 by a predetermined interval and are in close contact with the housing 220. Accordingly, while the shaft 310 rotates, the zone defense ring 230 rotates, but the spatter 240 does not rotate. The stator 240 has a predetermined thickness and is manufactured in a circular shape, for example, a donut shape. In addition, the stator 240 has at least two regions different in thickness, for example, one surface may be flat and the other surface may have a step 241 formed on the inner side, and the inner side may be thicker than the outer side. The stator 240 is provided to surround the zone defense ring 230 such that the other surfaces on which the step 241 is formed face each other and are spaced apart from each other by a predetermined interval. That is, the two stators 240 are provided to be spaced apart at predetermined intervals so as to expose the holes 231 of the zone defense ring 230.

복수의 로터(rotor)(250)는 존 디펜스 링(230) 사이에 마련되며 샤프트(210)을 감싸도록 마련된다. 이러한 로터(250)는 대략 원형의 도넛 형태로 제작된다. 로터(250)는 존 디펜스 링(230)과 동일 내경으로 제작되고, 존 디펜스 링(230)의 폭보다 큰 폭으로 제작되는데, 예를 들어 존 디펜스 링(230)의 폭과 스테이터(240)의 내측 폭을 합한 폭으로 제작될 수 있다. 또한, 복수의 로터(250)에는 소정의 제 3 홈(251)이 형성된다. 제 3 홈(251)은 내측으로부터 소정 폭으로 형성되는데, 대략 존 디펜스 링(230)의 폭 또는 그 이상의 폭으로 형성될 수 있다. 따라서, 로터(250)의 제 3 홈(251)은 존 디펜스 링(230)의 제 2 홈(231)의 맞닿은 부분에 마련되어 존 디펜스 링(230)에 삽입된 고정 키(290)에 의해 고정된다. 즉, 복수의 로터(250)는 존 디펜스 링(230)을 통해 샤프트(210)에 삽입되는 고정 키(290)에 홈(231)이 걸려 샤프트(210)에 고정된다. 이러한 로터(250)는 샤프트(210)보다 강도가 높은 물질로 제작되는데, 예를 들어 SiC 등의 재질로 제작될 수 있다. 또한, 복수의 로터(250)는 마련되는 위치에 따라 두께가 다르게 제작될 수 있는데, 예를 들어 샤프트(210)의 하측, 즉 제 1 부분과 제 2 부분 사이의 영역을 감싸도록 마련되는 로터(250a)가 샤프트(210)의 제 1 부분을 감싸도록 마련되는 로터(250b)보다 두껍게 제작될 수 있다.A plurality of rotors 250 are provided between the zone defense ring 230 and surround the shaft 210. The rotor 250 is manufactured in the shape of a substantially circular donut. The rotor 250 is manufactured to have the same inner diameter as the zone defense ring 230, and is made to have a width larger than that of the zone defense ring 230. For example, the width of the zone defense ring 230 and the stator 240 may be increased. The inner width may be combined to make the width. In addition, a plurality of third grooves 251 are formed in the plurality of rotors 250. The third groove 251 is formed to have a predetermined width from the inside, and may be formed to be approximately the width of the zone defense ring 230 or more. Accordingly, the third groove 251 of the rotor 250 is provided in the abutment portion of the second groove 231 of the zone defense ring 230 and fixed by the fixing key 290 inserted into the zone defense ring 230. . That is, the plurality of rotors 250 are secured to the shaft 210 by the grooves 231 caught in the fixing key 290 inserted into the shaft 210 through the zone defense ring 230. The rotor 250 is made of a material having a higher strength than the shaft 210, for example, may be made of a material such as SiC. In addition, the plurality of rotors 250 may be manufactured to have different thicknesses according to positions provided. For example, the rotors 250 may be provided to surround the region of the lower side of the shaft 210, that is, the area between the first and second parts. 250a may be made thicker than the rotor 250b provided to surround the first portion of the shaft 210.

제 1 실링 부재(260)은 스테이터(240)를 감싸도록 마련되는데, 스테이터(240)이 단턱(241)을 외측에서 감싸도록 마련된다. 제 1 실링 부재(260)는 불소 고무 등의 재질로 제작되고, 링 형상으로 제작된다. 따라서, 제 1 실링 부재(260)는 공급관(160)과 스테이터(240)를 사이를 기밀하게 유지하여 공급관(160)의 압력 누설을 방지할 수 있다.The first sealing member 260 is provided to surround the stator 240, and the stator 240 is provided to surround the step 241 from the outside. The first sealing member 260 is made of a material such as fluororubber and is produced in a ring shape. Therefore, the first sealing member 260 may keep the supply pipe 160 and the stator 240 hermetically sealed to prevent pressure leakage of the supply pipe 160.

제 2 실링 부재(270)은 존 디펜스 링(230)과 로터(250) 사이에 마련되며, 샤프트(210)를 감싸도록 마련된다. 제 2 실링 부재(270)는 존 디펜스 링(230)과 로터(250) 사이를 기밀하게 유지하여 존 디펜스 링(230)으로부터 로터(250)로의 압력 누설을 방지하게 된다. 이러한 제 2 실링 부재(270)은 불소 고무 또는 피크(peek) 재질로 제작될 수 있고, 링 형상으로 제작될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 로터리 조인트는 SiC 재질의 로터(250)가 샤프트(210)에 고정되어 회전하기 때문에 로터(250)에 의한 샤프트(210)의 손상이 발생되지 않고, 그에 따라 제 2 실링 부재(270)가 손상되지 않는다.The second sealing member 270 is provided between the zone defense ring 230 and the rotor 250 and is provided to surround the shaft 210. The second sealing member 270 keeps the airtight between the zone defense ring 230 and the rotor 250 to prevent pressure leakage from the zone defense ring 230 to the rotor 250. The second sealing member 270 may be made of fluorine rubber or a peak material, and may be manufactured in a ring shape. In addition, in the rotary joint according to the present invention, since the rotor 250 made of SiC is rotated by being fixed to the shaft 210, damage of the shaft 210 by the rotor 250 does not occur, and accordingly, the second sealing member 270 is not damaged.

제 3 실링 부재(280)는 인접한 두 하우징(220) 사이에 마련된다. 제 3 실링 부재(280)는 불소 고무 등의 재질로 제작될 수 있고, 링 형상으로 제작될 수 있다. 따라서, 하우징(220) 사이의 기밀을 유지한다.The third sealing member 280 is provided between two adjacent housings 220. The third sealing member 280 may be made of a material such as fluororubber and may be manufactured in a ring shape. Thus, airtightness between the housings 220 is maintained.

고정 키(290)는 바 형상으로 형성되며, 원기둥 형상 또는 육면체 형상 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 고정 키(290)는 샤프트(210)의 제 1 홈(213)에 유격없이 삽입될 수 있는 지름으로 형성된다. 즉, 고정 키(290)가 샤프트(210)의 제 1 홈(213)에 유격을 가지고 삽입되면 고정 키(290)가 탈락될 수 있기 때문에 이를 방지하기 위해 고정 키(290)는 샤프트(210)의 제 1 홈(213)에 유격없이 삽입된다. 또한, 존 디펜스 링(230)의 제 2 홈(232) 및 로터(250)의 제 3 홈(251)도 고정 키(290)가 유격없이 삽입될 수 있는 크기 및 형상으로 형성된다. 한편, 고정 키(290)는 다양하게 변형 가능한데, 예를 들어 측면에 나사산을 형성할 수 있다. 이를 위해 샤프트(210)에도 나사선이 형성될 수 있다. 이때, 나사산은 샤프트(210)에 삽입되는 부분만 형성할 수 있다. 따라서, 고정 키(290)의 샤프트(210)에 삽입하거나 빼내기 쉽게 되어 로터리 조인트의 분해를 더욱 용이하게 할 수 있다. 또한, 고정 키(290)는 쐐기형으로 제작할 수도 있다. 즉, 샤프트(210)에 삽입되는 부분으로부터 폭이 넓어지도록 고정 키(290)를 제작할 수 있다. 이때, 샤프트(210)의 외측에 노출되는 부분은 동일 폭으로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 존 디펜스 링(230)의 제 2 홈(232) 및 로터(250)의 제 3 홈(251)의 가공을 용이하게 하고 안정적으로 고정될 수 있도록 하기 위함이다.
The fixing key 290 may be formed in a bar shape, and may be formed in various shapes such as a cylinder shape or a hexahedron shape. At this time, the fixing key 290 is formed to a diameter that can be inserted into the first groove 213 of the shaft 210 without play. That is, when the fixing key 290 is inserted into the first groove 213 of the shaft 210 with a play, the fixing key 290 may be dropped because the fixing key 290 is prevented by the shaft 210. It is inserted into the first groove 213 of the play without play. In addition, the second groove 232 of the zone defense ring 230 and the third groove 251 of the rotor 250 are also formed in a size and shape in which the fixing key 290 can be inserted without play. On the other hand, the fixing key 290 can be variously modified, for example, may form a thread on the side. To this end, a screw thread may be formed on the shaft 210. At this time, the screw thread may form only a portion inserted into the shaft 210. Therefore, it is easy to insert into or out of the shaft 210 of the fixing key 290, so that the rotary joint can be more easily disassembled. In addition, the fixing key 290 may be manufactured in a wedge shape. That is, the fixing key 290 may be manufactured to be wider from the portion inserted into the shaft 210. At this time, the portion exposed to the outside of the shaft 210 is preferably formed with the same width. This is to facilitate processing of the second groove 232 of the zone defense ring 230 and the third groove 251 of the rotor 250 to be stably fixed.

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 로터리 조인트는 샤프트(210)에 제 2 실링 부재(270) 및 존 디펜스 링(230)를 끼운 후 고정 키(290)를 존 디펜스 링(230)의 제 2 홈(231)으로부터 샤프트(210)의 제 1 홈(212)으로 삽입하여 고정하고, 고정 키(290)의 상부가 제 3 홈(251)에 삽입되도록 로터(250)를 샤프트(210)에 끼운다. 따라서, 로터(250) 및 존 디펜스 링(230)이 고정 키(290)에 의해 샤프트(210)에 고정된다. 이어서, 단턱(241)에 제 1 실링 부재(260)가 마련된 두 개의 로테이터(240)를 샤프트(210)에 끼워 존 디펜스 링(230)을 감싸도록 한다. 그리고, 하우징(220)을 끼운다. 따라서, 샤프트(210)와 하우징(220) 사이에 존 디펜스 링(230), 로터(250) 및 스테이터(240)가 마련된 로터리 조인트가 조립된다.
In the rotary joint according to the present invention as described above, the second sealing member 270 and the zone defense ring 230 are fitted to the shaft 210, and then the fixing key 290 is inserted into the second groove of the zone defense ring 230. The rotor 250 is inserted into the shaft 210 so that the upper portion of the fixing key 290 is inserted into the third groove 251. The rotor 250 is inserted into the first groove 212 of the shaft 210. Thus, rotor 250 and zone defense ring 230 are secured to shaft 210 by retaining key 290. Subsequently, two rotators 240 provided with the first sealing member 260 on the step 241 may be inserted into the shaft 210 to surround the zone defense ring 230. Then, the housing 220 is fitted. Accordingly, a rotary joint having a zone defense ring 230, a rotor 250, and a stator 240 is assembled between the shaft 210 and the housing 220.

본 발명에 따른 로터리 조인트는 존 디펜스 링(230) 및 로터(250)가 고정 키(290)에 의해 샤프트(210)에 고정되므로 샤프트(210)가 회전할 때 존 디펜스 링(230) 및 로터(250)가 함께 회전하게 된다. 즉, 존 디펜스 링(230) 및 로터(250)가 샤프트(210)와 일체화하여 회전하게 된다. 따라서, 로터(250)와 샤프트(210)가 마찰하지 않게 되어 강도가 높은 로터(250)에 의해 샤프트(210)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 샤프트(210)에 밀착되는 제 2 실링 부재(270)에 갈림 현상도 발생되지 않는다. 따라서, 샤프트(210) 내부로 공급되는 공기 압력이 누설되지 않아 연마 효율의 저하를 방지할 수 있다.
In the rotary joint according to the present invention, since the zone defense ring 230 and the rotor 250 are fixed to the shaft 210 by the fixing key 290, the zone defense ring 230 and the rotor ( 250) will rotate together. That is, the zone defense ring 230 and the rotor 250 are integrally rotated with the shaft 210. Therefore, the rotor 250 and the shaft 210 are not rubbed, and the damage of the shaft 210 can be prevented by the rotor 250 having a high strength. In addition, a split phenomenon does not occur in the second sealing member 270 which is in close contact with the shaft 210. Therefore, the air pressure supplied into the shaft 210 does not leak, and thus the reduction in polishing efficiency can be prevented.

한편, 본 발명의 기술적 사상은 상기 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention.

210 : 샤프트 220 : 하우징
230 : 존 디펜스 링 240 : 스테이터
250 : 로터 260, 270, 280 : 실링 부재
290 : 고정 키210: shaft 220: housing
230: John Defense Ring 240: Stator
250: rotor 260, 270, 280: sealing member
290: Sticky Keys

Claims (9)

웨이퍼를 파지하는 탑링을 회전시키는 탑링 샤프트 상측에 연결되는 로터리 조인트로서,
측면에 복수의 제 1 홈이 형성된 샤프트;
상기 샤프트를 감싸며 제 2 홈이 각각 형성된 복수의 존 디펜스 링;
상기 존 디펜스 링들 사이에 마련되고 상기 샤프트를 감싸며, 제 3 홈이 각각 형성된 복수의 로터; 및
상기 존 디펜스 링 및 로터가 상기 샤프트에 고정되도록 상기 제 2 홈 및 제 3 홈을 통해 상기 제 1 홈에 삽입되는 고정 키를 포함하는 로터리 조인트.
A rotary joint connected to an upper side of a top ring shaft for rotating a top ring for holding a wafer,
A shaft having a plurality of first grooves formed on a side surface thereof;
A plurality of zone defense rings surrounding the shaft and having second grooves formed therein;
A plurality of rotors disposed between the zone defense rings and surrounding the shaft, and each having a third groove; And
And a retaining key inserted into the first groove through the second groove and the third groove so that the zone defense ring and the rotor are fixed to the shaft.
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 제 1 홈은 동일 수직 선상에 형성되거나, 소정 각도 이격되어 서로 다른 수직 선상에 형성되는 로터리 조인트.
The rotary joint of claim 1, wherein the plurality of first grooves are formed on the same vertical line, or are formed on different vertical lines at predetermined angles.
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 홈은 상기 존 디펜스 링의 상부면으로부터 측면의 일부에 형성되는 로터리 조인트.
The rotary joint of claim 1, wherein the second groove is formed at a portion of a side surface from an upper surface of the zone defense ring.
제 3 항에 있어서, 상기 제 3 홈은 상기 로터의 내측으로부터 상기 제 2 홈에 대응되는 영역에 형성되는 로터리 조인트.The rotary joint of claim 3, wherein the third groove is formed in an area corresponding to the second groove from the inside of the rotor. 제 1 항에 있어서, 상기 고정 키는 육면체 형상 또는 원기둥 형상으로 제작되는 로터리 조인트.
The rotary joint of claim 1, wherein the fixing key is manufactured to have a hexahedron shape or a cylindrical shape.
제 1 항에 있어서, 상기 샤프트의 제 1 홈에 나사선이 형성되고, 상기 고정 키의 측면에 나사산이 형성되어 상기 고정 키가 상기 샤프트에 나사 결합되는 로터리 조인트.
The rotary joint of claim 1, wherein a thread is formed in a first groove of the shaft, and a thread is formed on a side surface of the fixing key such that the fixing key is screwed to the shaft.
제 1 항에 있어서, 상기 고정 키는 상기 샤프트에 삽입되는 부분으로부터 폭이 넓어지는 쐐기형으로 형성되고, 상기 샤프트 외측으로 동일 폭으로 형성되는 로터리 조인트.
The rotary joint of claim 1, wherein the fixing key is formed in a wedge shape, the width of which is widened from a portion inserted into the shaft, and the same width is formed outside the shaft.
연마 패드가 부착된 연마 테이블;
웨이퍼를 파지하여 상기 연마 패드로 가압하는 탑링;
상기 탑링과 연결되어 상기 탑링을 회전시키는 탑링 샤프트; 및
상기 탑링에 소정 압력의 공기를 공급하며 상기 탑링 샤프트와 연결되어 상기 탑링 샤프트와 함께 회전 가능한 로터리 조인트를 포함하고,
상기 로터리 조인트는 샤프트와 상기 샤프트를 감싸며 고정 키에 의해 고정되는 복수의 존 디펜스 링 및 로터를 포함하며,
상기 샤프트는 측면에 복수의 제 1 홈이 형성되고, 상기 존 디펜스 링 및 상기 로터에 각각 제 2 홈 및 제 3 홈이 각각 형성되며, 상기 존 디펜스 링 및 로터가 상기 샤프트에 고정되도록 상기 고정 키가 상기 제 2 홈 및 제 3 홈을 통해 상기 제 1 홈에 삽입되는 연마 장치.A polishing table to which a polishing pad is attached;
A top ring for holding a wafer and pressing the wafer with the polishing pad;
A top ring shaft connected to the top ring to rotate the top ring; And
A rotary joint which supplies air of a predetermined pressure to the top ring and is connected to the top ring shaft to be rotatable with the top ring shaft,
The rotary joint includes a shaft and a plurality of zone defense rings and a rotor surrounding the shaft and fixed by a fixing key,
The shaft has a plurality of first grooves formed on a side surface thereof, and a second groove and a third groove are respectively formed in the zone defense ring and the rotor, respectively, and the lock key so that the zone defense ring and the rotor are fixed to the shaft. Is inserted into the first groove through the second groove and the third groove. 삭제delete
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