KR101266717B1 - Vision Auto Probe - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정패널의 불량 여부를 사용자가 직접 눈으로 확인하기에 앞서 불량 위치 등을 미리 파악할 수 있는 비전 오토 프로브 및 그를 이용한 액정패널 검사 방법을 제공하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명은 셀 절단 공정(CPS) 만을 거치고 액정패널 연마공정을 거치지 않은 상태의 액정패널이 놓여지는 워크 테이블과; 상기 워크 테이블에서 구동되는 상기 액정패널의 화상정보를 입력받기 위한 카메라와; 상기 카메라를 상기 액정패널의 상단에서 X 또는 Y 축으로 이동시킬 수 있도록 하기 위한 카메라 지지 프레임과; 외부 공정장비들과 통신을 수행하기 위한 통신부와; 사용자로부터 각종 정보를 입력받기 위한 입력부와; 상기 카메라로부터 입력된 정보 또는 사용자로부터 입력된 정보를 저장하기 저장부와; 상기 카메라 또는 사용자로부터 입력된 정보들을 출력하기 위한 출력부; 및 상기 각부를 제어하는 한편 상기 카메라로부터 입력된 액정패널의 화상정보를 이용여 불량 화소의 위치 정보들을 분석하며, 분석된 정보들을 상기 통신부를 통해 상기 외부 공정장비들로 전송하기 위한 제어부를 포함한다.The present invention is to provide a vision auto probe and a method for inspecting a liquid crystal panel using the same, which can identify a defective position in advance before the user directly checks whether the liquid crystal panel is defective. To this end, the present invention includes a work table in which a liquid crystal panel is placed in a state only undergoing a cell cutting process (CPS) and not undergoing a liquid crystal panel polishing process; A camera for receiving image information of the liquid crystal panel driven in the work table; A camera support frame for moving the camera in an X or Y axis from an upper end of the liquid crystal panel; A communication unit for performing communication with external process equipment; An input unit for receiving various information from a user; A storage unit for storing information input from the camera or information input from a user; An output unit for outputting information input from the camera or the user; And a controller for controlling each unit and analyzing position information of a bad pixel by using image information of the liquid crystal panel input from the camera, and transmitting the analyzed information to the external process equipment through the communication unit. .

Description

비전 오토 프로브 및 그를 이용한 액정패널 검사 방법{Vision Auto Probe}Vision auto probe and liquid crystal panel inspection method using the same {Vision Auto Probe}

도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도.1 is an exemplary view showing a liquid crystal panel of a general liquid crystal display device.

도 2는 일반적인 액정표시장치의 제조 공정을 나타낸 흐름도.2 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a general liquid crystal display device.

도 3은 일반적인 오토 프로브의 일실시예 구성도.Figure 3 is a configuration diagram of one embodiment of a typical auto probe.

도 4는 본 발명에 따른 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사 방법이 적용된 액정표시장치의 제조 공정을 나타낸 흐름도.4 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a liquid crystal display device to which a liquid crystal panel inspection method using a vision auto probe according to the present invention is applied.

도 5는 본 발명에 따른 비전 오토 프로브의 정면도.5 is a front view of a vision auto probe in accordance with the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 비전 오토 프로브의 평면도.6 is a plan view of a vision auto probe in accordance with the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 비전 오토 프로브의 내부 구성도.7 is an internal configuration diagram of a vision auto probe according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

본 발명은 액정패널의 불량 여부를 사용자가 직접 눈으로 확인하기에 앞서 불량 위치 등을 미리 파악할 수 있는 비전 오토 프로브 및 그를 이용한 액정패널 검사 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a vision auto probe capable of identifying a defective position in advance before the user directly checks whether the liquid crystal panel is defective or a liquid crystal panel inspection method using the same.

일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있으며, 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다. In general, a liquid crystal display (hereinafter referred to as "LCD") is a typical flat panel display that displays an image by adjusting an amount of light beam transmission to correspond to an image signal. In particular, LCDs are becoming more and more widespread due to light weight, thinness, and low power consumption. As such, LCDs are used as display devices for office automation devices and notebook computers. have.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도이며, 도 2는 일반적인 액정표시장치의 제조 공정을 나타낸 흐름도이다.1 is an exemplary view illustrating a liquid crystal panel of a general liquid crystal display device, and FIG. 2 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a general liquid crystal display device.

즉, 도 1에 도시된 바와 같은 액정표시장치의 액정패널은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터 기판(TFT 기판)(이하, 간단히 'TFT 기판'이라 함)(11), 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(C/F 기판)(이하, 간단히 'C/F 기판'이라 함)(12) 및 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이에 개재된 액정층(13)으로 구성된다.That is, the liquid crystal panel of the liquid crystal display as shown in FIG. 1 includes a thin film transistor substrate (TFT substrate) (hereinafter, simply referred to as a TFT substrate) 11 for receiving a driving signal, and a color filter substrate including a color filter layer. (C / F substrate) (hereinafter simply referred to as 'C / F substrate') 12 and a liquid crystal layer 13 interposed between the thin film transistor substrate and the color filter substrate.

상기와 같은 액정패널을 포함하는 액정표시장치의 제조공정은 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 제조공정(S202), 액정패널 공정(S204), 액정패널 검사공정(S206) 및 모듈 공정(S208)으로 나뉘어진다.As shown in FIG. 2, the manufacturing process of the liquid crystal display device including the liquid crystal panel as described above may include a substrate manufacturing process (S202), a liquid crystal panel process (S204), a liquid crystal panel inspection process (S206), and a module process (S208). Divided into.

먼저, 기판 제조공정(S202)은 세정된 유리기판을 사용하여 TFT 기판을 제조하는 공정 및 C/F 기판을 제조하는 공정으로 각각 나뉘어지는데, TFT 기판 제조공정은 하부 유리기판 상에 신호라인과, 복수의 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성 하는 공정을 말하며, C/F 기판 제조공정은 상부 유리기판 상에 블랙매트릭스(Blackmatirx)와, 칼라필터층과, 공통전극(ITO)을 순차적으로 형성하는 공정을 말한다.First, the substrate manufacturing process (S202) is divided into a process of manufacturing a TFT substrate using a cleaned glass substrate and a process of manufacturing a C / F substrate, respectively, wherein the TFT substrate manufacturing process comprises a signal line and a lower glass substrate. Refers to a process of forming a plurality of thin film transistors and pixel electrodes, the manufacturing process of the C / F substrate refers to the process of sequentially forming a black matrix, a color filter layer, and a common electrode (ITO) on the upper glass substrate. .

다음으로, 액정패널 공정(S204)은 TFT 기판과 C/F 기판을 합착하고 그 사이에 액정을 주입하여 액정패널을 제조하는 공정으로서, 일반적으로 하나의 원판에 다수의 액정패널이 형성되며, 상기 액정패널 공정은 다시 배향막 형성 공정, 러빙(Rubbing)공정, 셀 갭(Cell Gap)형성 공정, 어셈블리(Assembly) 공정, 셀 절단(Cell Cutting) 공정, 액정주입 공정, 편광 필름(Film) 부착 공정, 연마공정 등의 많은 단위공정으로 이루어진다.Next, the liquid crystal panel process (S204) is a process of manufacturing a liquid crystal panel by bonding a TFT substrate and a C / F substrate and injecting a liquid crystal therebetween. In general, a plurality of liquid crystal panels are formed on one original plate. In the liquid crystal panel process, an alignment layer forming process, a rubbing process, a cell gap forming process, an assembly process, a cell cutting process, a liquid crystal injection process, a polarizing film attachment process, It consists of many unit processes, such as a grinding | polishing process.

다음으로, 액정패널 검사공정(S206)은 상기 액정패널 공정(S204) 중 셀 절단공정 및 연마공정을 거친 액정패널에 대하여 단선 검사와 점결함 등의 존재 여부를 오토 프로브(AP : Auto Probe)를 이용하여 사용자가 직접 눈으로 확인하는 공정을 말하는 것으로서, 일반적으로 도 3에 도시된 바와 같은 오토 프로브를 이용하여 수행된다. Next, the liquid crystal panel inspection step (S206) uses an auto probe (AP) to determine whether there is a disconnection test or a point defect for the liquid crystal panel that has undergone the cell cutting process and the polishing process in the liquid crystal panel process (S204). This refers to a process of visually confirming by the user, and is generally performed by using an auto probe as shown in FIG. 3.

마지막으로, 모듈공정(S208)은 액정패널과 신호처리 회로부를 연결시키는 최종 공정으로서, 상기 모듈공정 역시 수많은 단위공정으로 이루어진다. Finally, the module process (S208) is a final process of connecting the liquid crystal panel and the signal processing circuit portion, the module process is also made of a number of unit processes.

도 3은 일반적인 오토 프로브의 일실시예 구성도로서, 일반적인 오토 프로브는 도 3에 도시된 바와 같이, 전체적인 외관을 형성하는 오토 프로브 프레임(36), 상기 오토 프로브 프레임의 일측면에 형성되어 액정패널이 놓여지는 워크 테이블(31), 상기 워크 테이블에 놓여진 액정패널에 게이트 신호를 인가시키기 위한 게 이트 신호 전송 패드(32), 상기 워크 테이블에 놓여진 액정패널에 데이터 신호를 인가시키기 위한 데이터 신호 전송 패드(33), 사용자가 액정 패널의 불량 위치를 직접 눈으로 확인할 수 있도록 하기 위한 현미경(34) 및 상기 워크 테이블을 커버할 수 있는 상태로 상기 오토 프로브 프레임에 연결되어 상기 현미경을 액정패널의 상단에서 X 또는 Y 축으로 이동시킬 수 있도록 하기 위한 현미경 지지 프레임(35)을 포함하여 구성되어 있다.3 is a configuration diagram of an exemplary auto probe, in which an auto probe is formed on one side of the auto probe frame 36 to form an overall appearance, as shown in FIG. A work table 31 to be placed, a gate signal transfer pad 32 for applying a gate signal to the liquid crystal panel placed on the work table, and a data signal transfer pad for applying a data signal to the liquid crystal panel placed on the work table (33), connected to the auto probe frame in a state capable of covering the microscope 34 and the work table to allow the user to directly check the defective position of the liquid crystal panel by directing the microscope at the top of the liquid crystal panel It is configured to include a microscope support frame 35 to be able to move in the X or Y axis.

즉, 오토 프로브는 액정패널 공정에서 셀 절단 공정 및 연마 공정을 거친 액정패널에 대하여 단선 또는 점결함 등의 불량 위치를 사용자가 직접 눈으로 확인할 수 있도록 하기 위한 장치이다.That is, the auto probe is a device for allowing a user to directly check a defective position such as disconnection or defects with respect to a liquid crystal panel which has undergone a cell cutting process and a polishing process in a liquid crystal panel process.

상기 오토 프로브를 이용하여 액정패널을 검사하는 방법을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method of inspecting the liquid crystal panel using the auto probe will be described in detail.

먼저, 상기한 바와 같이 액정패널 공정(S204)을 통해 TFT 기판(11)과 C/F 기판(12)이 합착된 다수의 액정패널이 하나의 원판에 형성되면, 셀 절단 공정을 통해 각각의 액정패널로 분리된 후 각각의 액정패널은 그 절단부분을 연마시키는 연마공정을 거치게 된다. First, as described above, when a plurality of liquid crystal panels in which the TFT substrate 11 and the C / F substrate 12 are bonded to each other through the liquid crystal panel process S204 is formed on one original plate, each liquid crystal is subjected to a cell cutting process. After separating into panels, each liquid crystal panel is subjected to a polishing process for polishing the cut portion.

연마공정을 거친 액정패널은 상기 오토 프로브의 워크 테이블(31)에 놓여지게 되며, 이때, 액정패널의 게이트 라인들 및 데이터 라인들 각각은 상기 게이트 신호 전송 패드(32) 및 데이터 신호 전송 패드(33)와 각각 연결된다.The liquid crystal panel subjected to the polishing process is placed on the work table 31 of the auto probe, wherein each of the gate lines and the data lines of the liquid crystal panel is the gate signal transmission pad 32 and the data signal transmission pad 33. ), Respectively.

상기와 같이 연결된 상태에서 상기 패드들(32, 33)을 통해 검사용 게이트 신호와 데이터 신호가 액정패널로 인가되어 액정패널이 점멸되는 동안 사용자는 상기 현미경을 X축 또는 Y축으로 이동해 가거나 또는 직접 눈을 통해 각 화소별로 불량여부를 확인하게 된다.In the connected state, the test gate signal and the data signal are applied to the liquid crystal panel through the pads 32 and 33 so that the user moves the microscope to the X axis or the Y axis or directly while the liquid crystal panel is blinking. Through the eyes, each pixel is checked for defects.

그러나, 상기와 같은 오토 프로브에 의한 불량여부 확인 방법은 액정패널의 제조 공정을 지연시킬 뿐만 아니라, 불량여부를 정확히 검출해 낼 수 없다는 문제점이 있다. However, the method of confirming whether the defect is caused by the auto probe as described above not only delays the manufacturing process of the liquid crystal panel but also has a problem in that the defect cannot be accurately detected.

예를 들어, 연마공정을 거친 액정패널의 게이트 라인들 및 데이터 라인들은 상기 게이트 신호 전송 패드(32) 및 데이터 신호 전송 패드(33)의 핀들과 각각 연결되어져야만 하므로, 사용자는 화소의 불량 여부를 검출하기에 앞서, 상기 현미경(34)을 이용하여 각 핀들의 연결 상태를 확인해야 하므로 검사 시간이 지연된다는 문제점이 있다. 즉, 종래의 오토 프로브에 있는 현미경(34)은 일반적으로 패드(32, 33)의 핀 미스(Pin miss) 보정이나 정렬(Align) 틀어짐 교정 등의 작업 시에 사용되는 것이다.For example, since the gate lines and the data lines of the polished liquid crystal panel must be connected to the pins of the gate signal transmission pad 32 and the data signal transmission pad 33, respectively, the user can determine whether the pixel is defective. Prior to detection, there is a problem that the inspection time is delayed because the connection state of each pin must be checked using the microscope 34. In other words, the microscope 34 in the conventional auto probe is generally used in operations such as pin miss correction and alignment misalignment correction of the pads 32 and 33.

또한, 상기와 같은 연결 방법에 의해 액정패널의 불량 여부는 각 화소별로 검출되어야 하며, 따라서 사용자는 액정패널의 (1,1) 좌표에 해당하는 화소부터 마지막 좌표에 해당하는 화소까지를 일일이 눈으로 직접 확인해야 하므로, 전체적인 검사시간이 지연된다는 문제점이 있다. 또한, 상기와 같은 불량 여부 확인 후에는 불량에 대한 분석과정이 별도로 수행되어 그 결과에 따라 전체 공정에 대한 수정작업이 이루어져야 하므로 그 만큼 공정 시간이 지연된다는 문제점이 있다.In addition, whether the LCD panel is defective or not must be detected for each pixel by the above connection method. Therefore, the user can visually check the pixels corresponding to the (1,1) coordinates of the liquid crystal panel to the last pixel. There is a problem that the overall inspection time is delayed because it must be checked directly. In addition, after confirming whether the defect is as described above, the analysis process for the defect is performed separately, so that the correction process for the entire process must be performed according to the result, there is a problem in that the process time is delayed.

또한, 상기한 바와 같이 액정패널에 산재 되어 있는 각각의 불량 여부에 대하여 사용자가 직접 눈으로 확인하고 체크해야 하기 때문에, 경우에 따라서는 불량 상태가 정확히 파악되지 못할 수도 있다는 문제점이 있다. In addition, as described above, the user has to check and check each defect scattered on the liquid crystal panel directly, so there is a problem that the defect state may not be accurately determined in some cases.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 연마공정에 앞서 액정패널의 불량 여부 위치를 카메라를 이용하여 자동적으로 확인할 수 있도록 하기 위한 비전 오토 프로브 및 그를 이용한 액정패널 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.Accordingly, an object of the present invention for solving the above problems is to provide a vision auto probe and a liquid crystal panel inspection method using the same to automatically determine whether the position of the liquid crystal panel before the polishing process using a camera. It is to.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 비전 오토 프로브는, 셀 절단 공정(CPS) 만을 거치고 액정패널 연마공정을 거치지 않은 상태의 액정패널이 놓여지는 워크 테이블과; 상기 워크 테이블에서 구동되는 상기 액정패널의 화상정보를 입력받기 위한 카메라와; 상기 카메라를 상기 액정패널의 상단에서 X 또는 Y 축으로 이동시킬 수 있도록 하기 위한 카메라 지지 프레임과; 외부 공정장비들과 통신을 수행하기 위한 통신부와; 사용자로부터 각종 정보를 입력받기 위한 입력부와; 상기 카메라로부터 입력된 정보 또는 사용자로부터 입력된 정보를 저장하기 저장부와; 상기 카메라 또는 사용자로부터 입력된 정보들을 출력하기 위한 출력부; 및 상기 각부를 제어하는 한편 상기 카메라로부터 입력된 액정패널의 화상정보를 이용여 불량 화소의 위치 정보들을 분석하며, 분석된 정보들을 상기 통신부를 통해 상기 외부 공정장비들로 전송하기 위한 제어부를 포함한다.In order to achieve the above object, the vision auto probe according to an embodiment of the present invention includes a work table in which a liquid crystal panel is placed in a state of undergoing only a cell cutting process (CPS) and no liquid crystal panel polishing process; A camera for receiving image information of the liquid crystal panel driven in the work table; A camera support frame for moving the camera in an X or Y axis from an upper end of the liquid crystal panel; A communication unit for performing communication with external process equipment; An input unit for receiving various information from a user; A storage unit for storing information input from the camera or information input from a user; An output unit for outputting information input from the camera or the user; And a controller for controlling each unit and analyzing position information of a bad pixel by using image information of the liquid crystal panel input from the camera, and transmitting the analyzed information to the external process equipment through the communication unit. .

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention will become apparent from the following description of embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사 방법이 적용된 액정표시장치의 제조 공정을 나타낸 흐름도이다. 4 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a liquid crystal display device to which a liquid crystal panel inspection method using a vision auto probe according to the present invention is applied.

즉, 본 발명에 따른 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사 방법이 적용된 액정표시장치의 제조 공정은 도 4에 도시된 바와 같이 기판 제조공정(S400), 액정패널 제조와 검사공정(S500 내지 S508)) 및 모듈공정(S600)의 세 부분으로 구분될 수 있다.That is, the manufacturing process of the liquid crystal display device to which the liquid crystal panel inspection method using the vision auto probe according to the present invention is applied is a substrate manufacturing process (S400), a liquid crystal panel manufacturing and inspection process (S500 to S508) as shown in FIG. And it can be divided into three parts of the module process (S600).

먼저, 기판 제조공정(S400)은 상기 종래 기술에서 언급된 바와 같이, 세정된 유리기판을 사용하여 TFT 기판을 제조하는 공정 및 C/F 기판을 제조하는 공정으로 각각 나뉘어지는데, TFT 기판 제조공정은 하부 유리기판 상에 신호라인과, 복수의 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하는 공정을 말하며, C/F 기판 제조공정은 상부 유리기판 상에 블랙매트릭스(Blackmatirx)와, 칼라필터층과, 공통전극(ITO)을 순차적으로 형성하는 공정을 말한다.First, as described in the prior art, the substrate manufacturing process S400 is divided into a process of manufacturing a TFT substrate using a cleaned glass substrate and a process of manufacturing a C / F substrate, respectively. A signal line, a plurality of thin film transistors, and a pixel electrode are formed on a lower glass substrate, and a C / F substrate manufacturing process includes a black matrix, a color filter layer, and a common electrode (ITO) on an upper glass substrate. ) Is a step of sequentially forming.

다음으로, 액정패널 제조와 검사공정(S500 내지 S508)은 상기 종래 기술에서 언급된 액정패널 공정(S204)을 말하는 것이나, 그 세부 공정 순서에 있어서 종래의 방법과 차이가 있다.Next, the liquid crystal panel manufacturing and inspection process (S500 to S508) refers to the liquid crystal panel process (S204) mentioned in the above prior art, but differs from the conventional method in the detailed process procedure.

즉, 본 발명이 적용된 액정패널 제조와 검사공정(S500 내지 S508)은 다시 액 정패널 제조공정(S500), 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S502), 액정패널 연마공정(S504), 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506) 및 검사정보 분석공정(S508)으로 세분화될 수 있다. That is, the liquid crystal panel manufacturing and inspection process (S500 to S508) to which the present invention is applied again includes a liquid crystal panel manufacturing process (S500), a liquid crystal panel inspection process (S502) using a vision auto probe, a liquid crystal panel polishing process (S504), and an auto It can be subdivided into a liquid crystal panel inspection process (S506) and inspection information analysis process (S508) using the probe.

상기 액정패널 제조공정(S500)은 기판 제조공정에서 제조된 TFT 기판과 C/F 기판을 합착하고 그 사이에 액정을 주입하여 액정패널을 제조하는 공정으로서, 일반적으로 하나의 원판에 다수의 액정패널이 형성되며, 상기 액정패널 제조공정(500)은 다시 배향막 형성 공정, 러빙(Rubbing)공정, 셀 갭(Cell Gap)형성 공정, 어셈블리(Assembly) 공정 및 셀 절단(Cell Cutting) 공정(CPS) 등이 포함된다.The liquid crystal panel manufacturing process (S500) is a process of manufacturing a liquid crystal panel by bonding a TFT substrate and a C / F substrate manufactured in a substrate manufacturing process and injecting a liquid crystal therebetween. The liquid crystal panel manufacturing process 500 may further include an alignment layer forming process, a rubbing process, a cell gap forming process, an assembly process, and a cell cutting process (CPS). This includes.

상기 액정패널 제조공정(S500)을 통해 절단된 각각의 액정패널은 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S502)을 거치게 되며, 이때, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같은 비전 오토 프로브가 이용된다. 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S502)은 카메라를 이용하여 액정패널의 불량여부 및 불량위치 정보를 자동적으로 파악하기 위한 장치로서, 상기 과정을 통해 파악된 정보들은 즉시 기판 제조공정(S400) 및 액정패널 제조공정(S500)에 반영되어 상기와 같은 불량이 발생되지 않도록 할 수 있다. 또한, 상기 과정에서 파악된 정보들은 이후에 설명될 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506)에서 사용자에 의해 이용됨으로써, 사용자가 보다 신속하고 정확하게 액정패널의 불량 정보를 확인할 수 있도록 하는 기능을 수행할 수 있다. 즉, 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S502)은 이하에서 설명될 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506)에서 사용자가 확인해야할 불량 화소 위치 정보 등을 미리 데이터베이스화하여 제공하기 때문에 사용자에 의한 상기 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506) 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 셀 절단 공정(CPS) 만을 거치고 액정패널 연마공정(S504)을 거치지 않은 상태의 액정패널에 대하여 신속하게 그 불량여부를 파악할 수 있음으로, 액정표시장치 제조 공정에서 발생되는 불량 상태에 대하여 신속하게 대처하도록 할 수 있다는 특징이 있다. 또한, 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(502)은 이하에서 설명될 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(506)에서와는 달리 게이트 라인 및 데이터 라인이 비전 오토 프로브의 패드 핀(Pin)과 일대일로 결합되는 것이 아니라, TAP 등을 이용하여 연결되기 때문에 보다 신속하게 검사 공정이 수행될 수 있다는 특징을 가지고 있다. 이처럼 수행될 수 있는 이유는 액정패널이 연마공정을 거치지 않았기 때문이다. Each liquid crystal panel cut through the liquid crystal panel manufacturing process (S500) is subjected to a liquid crystal panel inspection process (S502) using a vision auto probe, wherein a vision auto probe as shown in FIGS. 5 to 7 is used. do. The liquid crystal panel inspection process (S502) using the vision auto probe is a device for automatically determining whether the liquid crystal panel is defective or defective position information using a camera, and the information obtained through the process is immediately a substrate manufacturing process (S400). And reflected in the liquid crystal panel manufacturing process (S500) it can be prevented that such a defect does not occur. In addition, the information identified in the above process is used by the user in the liquid crystal panel inspection process (S506) using the auto probe, which will be described later, thereby performing a function of allowing the user to quickly and accurately check the defect information of the liquid crystal panel. can do. That is, the liquid crystal panel inspection process (S502) using the vision auto probe is performed by providing a database of defective pixel position information to be checked by the user in advance in the liquid crystal panel inspection process (S506) using the auto probe. In addition to shortening the time of the liquid crystal panel inspection process (S506) using the auto probe, the liquid crystal panel without undergoing the liquid crystal panel polishing process (S504) through only the cell cutting process (CPS) can be quickly removed. Since it is possible to grasp whether or not there is a defect, it is possible to quickly cope with a failure state generated in the manufacturing process of the liquid crystal display device. Also, unlike the liquid crystal panel inspection process 502 using the vision auto probe, the gate line and the data line are one-to-one with the pad pins of the vision auto probe, unlike in the liquid crystal panel inspection process 506 using the auto probe. It is not coupled to, but because it is connected using a TAP, etc. has a feature that the inspection process can be performed more quickly. This can be performed because the liquid crystal panel has not undergone the polishing process.

즉, 상기 비전 오토 프로브(Vision Auto Probe)를 이용한 액정패널 검사 공정은 액정패널 연마(Grinder) 공정 이전에 수행되는 공정으로서 쇼팅 바(Shorting Bar) 제거 전의 액정패널을 점등하여 자동검사를 하게 된다. 이때, 상기 쇼팅 바란 외부의 정전기에 의한 전위차로 발생하는 스파크(Spark)를 방지하여 Tr의 결선을 막기위해 고의로 등전위 형성을 하기 위해 만들어 놓은 선을 말한다. 한편, 상기 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사 공정에서 점등용 액정패널의 패드(Pad) 폭은 30㎛이고, 한 패드(Pad) 당 핀(Pin)은 720 Channel(LC470WU1, Data)로서 매 검사 시 핀 미스 발생으로 인한 검사 로스(Loss)가 우려되는 반면, 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정에서는 점등용 패널(Panel)의 패드 사이즈(Size)가 1150㎛ × 400㎛(LC470WU1, Data)로서 핀 미스를 제로화할 수 있다는 특징을 가지 고 있다. 한편, 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사 공정에서 상기 쇼트 바 타입 패널로 점등 검사를 하는 이유는 연마 공정 전의 패널은 그 이후의 패널에 비해 패널 파손의 위험 부담이 매우 크기 때문이다. 한편, 상기와 같은 이유에도 불구하고 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정에서 연마전의 쇼트 바 타입의 패널로 점등 검사를 하는 이유는 핀 미스가 없는 완전 점등 상태를 유지할 수 있기 때문이다.That is, the liquid crystal panel inspection process using the vision auto probe is a process performed before the liquid crystal panel grinder process, and turns on the liquid crystal panel before the shorting bar is removed to perform automatic inspection. In this case, the shorting bar refers to a line that is intentionally formed to form an equipotential in order to prevent a spark caused by a potential difference due to external static electricity and to prevent the connection of Tr. Meanwhile, in the liquid crystal panel inspection process using the auto probe, the pad width of the lighting liquid crystal panel is 30 μm, and the pins per pad are 720 channels (LC470WU1, Data). On the other hand, there is concern about inspection loss due to miss, whereas in the liquid crystal panel inspection process using the vision auto probe, the pad size of the lighting panel is 1150 μm × 400 μm (LC470WU1, Data). It is characterized by the possibility of zeroing a miss. On the other hand, in the liquid crystal panel inspection process using the vision auto probe, the lighting test is performed on the short bar type panel because the panel before the polishing process has a much greater risk of panel damage than the subsequent panel. On the other hand, in spite of the above-mentioned reasons, the reason for the lighting test with the short bar type panel before polishing in the liquid crystal panel inspection process using the vision auto probe is that the fully lit state without pin miss can be maintained.

한편, 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S502)을 마친 액정패널은 액정패널 연마공정(S504)을 통해 그 모서리 등이 연마되게 된다. 즉, 상기 셀 절단 공정(CPS)에 의해 절단된 액정패널의 모서리 등은 날카롭게 절단된 상태이기 때문에 이를 매끄럽게 처리하기 위하여 액정패널 검사공정(S502)이 수행된다.On the other hand, the liquid crystal panel after the liquid crystal panel inspection process (S502) using the vision auto probe is polished at its edges through the liquid crystal panel polishing process (S504). That is, since the edges of the liquid crystal panel cut by the cell cutting process (CPS) are sharply cut, the liquid crystal panel inspection process S502 is performed to smoothly process them.

상기 액정패널 연마공정(S504)이 수행된 액정패널은 상기 종래 기술에서 언급된 바와 같은 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506)을 거치게 된다. 즉, 상기 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506)은 상기 공정들(S400 내지 S504)을 거친 액정패널에 대하여 단선 검사와 점결함 등의 존재 여부를 오토 프로브(AP : Auto Probe)를 이용하여 사용자가 직접 눈으로 확인하는 공정을 말하는 것으로서, 도 3에 도시된 바와 같은 종래의 오토 프로브가 이용될 수 있다. 이때, 본 발명에 적용되는 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506)이 종래와 다른 점은 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S502)에서 파악된 불량 정보를 이용하여 사용자가 직접 해당 불량 상태를 눈으로 확인할 수 있다는 점이다. 즉, 사용자는 자신이 직접 액정패널의 모든 화소들을 일일이 눈으로 확인하는 것이 아니라, 오토 프로브에서 전송된 불량 위치 정보들을 이용하여 해당 화소의 불량 상태를 직접 확인한 후 그 정보를 기록할 수 있게 된다. 상기 과정을 위해, 본 발명에 적용되는 오토 프로브에는 분석된 정보를 입력할 수 있는 입력장치가 구비되어 있으며, 또한, 상기 비전 오토 프로브와 통신을 수행하거나 이하에서 설명될 검사정보 분석공정(S508)에서 이용되는 분석장치와 통신을 수행할 수 있도록 통신장비가 구비될 수 있다.The liquid crystal panel in which the liquid crystal panel polishing step (S504) is performed is subjected to a liquid crystal panel inspection step (S506) using an auto probe as mentioned in the related art. That is, in the liquid crystal panel inspection process (S506) using the auto probe, a user may determine whether there is a disconnection test or a defect by using the auto probe (AP) for the liquid crystal panel that has undergone the processes (S400 to S504). Refers to a process of visually confirming, a conventional auto probe as shown in FIG. 3 may be used. In this case, the difference between the liquid crystal panel inspection process (S506) using the auto probe applied to the present invention is different from the prior art by using the defect information identified in the liquid crystal panel inspection process (S502) using the vision auto probe. The status can be checked visually. That is, the user may not directly check all the pixels of the liquid crystal panel by eye, but may directly check the defective state of the corresponding pixel by using the defective position information transmitted from the auto probe and record the information. For the above process, the auto probe applied to the present invention is provided with an input device capable of inputting the analyzed information, and also performs communication with the vision auto probe or the inspection information analysis process (S508) to be described below. Communication equipment may be provided to perform communication with the analysis device used in the.

한편, 상기 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사공정(S506)을 거친 액정패널은 검사정보 분석공정(S508)을 거치게 되며, 이러한 검사정보 분석공정(S508)에는 일반적으로 컴퓨터(PC)와 같은 검사정보 분석장치들이 이용될 수 있다. 즉, 상기 검사정보 분석공정(S508)은 상기 VAP를 이용한 액정패널 검사공정(S502) 및 AP를 이용한 액정패널 검사공정(S506)을 통해 파악된 정보들을 분석하여 이후의 공정에 반영하기 위한 것으로서, 이를 위해 상기 분석장치들은 상기 VAP(50), AP(30) 및 기타의 액정표시장치 제조 장비들과 통신을 수행할 수 있도록 구성될 수 있다.Meanwhile, the liquid crystal panel that has undergone the liquid crystal panel inspection process (S506) using the auto probe undergoes an inspection information analysis process (S508), and in this inspection information analysis process (S508), inspection information analysis such as a computer (PC) is generally performed. Devices can be used. That is, the inspection information analysis process (S508) is to analyze the information identified through the liquid crystal panel inspection process (S502) using the VAP and the liquid crystal panel inspection process (S506) using the AP and to reflect the subsequent process, To this end, the analyzing apparatuses may be configured to communicate with the VAP 50, the AP 30, and other liquid crystal display manufacturing equipment.

마지막으로, 상기와 같은 검사공정을 마친 액정패널은 신호처리 회로부와 연결되거나, 백라이트 유닛 등과 결합되는 모듈공정(S600)을 거쳐서 최종적으로 액정표시장치로 출하되게 된다.Lastly, the liquid crystal panel which has completed the inspection process as described above is finally shipped to the liquid crystal display through a module process (S600) connected to the signal processing circuit unit or combined with the backlight unit.

도 5는 본 발명에 따른 비전 오토 프로브의 정면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 비전 오토 프로브의 평면도이며, 도 7은 본 발명에 따른 비전 오토 프로브의 내부 구성도이다.5 is a front view of a vision auto probe according to the present invention, FIG. 6 is a plan view of a vision auto probe according to the present invention, and FIG. 7 is an internal configuration diagram of the vision auto probe according to the present invention.

즉, 도 5 내지 도 7에 도시된 비전 오토 프로브(VAP)(50)는 상기 VAP를 이용한 액정패널 검사공정(502)에 이용되는 장치로서 도면에 도시된 바와 같이, 전체적인 외관을 형성하는 비전 오토 프로브 프레임(56), 상기 오토 프로브 프레임의 평면에 형성되어 액정패널이 놓여지는 워크 테이블(51), 상기 워크 테이블에 놓여진 액정패널에 게이트 신호를 인가시키기 위한 게이트 패드(52), 상기 워크 테이블에 놓여진 액정패널에 데이터 신호를 인가시키기 위한 데이터 패드(53), 액정 패널의 화상정보를 입력받기 위한 카메라(54) 및 상기 워크 테이블을 커버할 수 있는 상태로 상기 비전 오토 프로브 프레임에 연결되어 상기 카메라를 액정패널의 상단에서 X 또는 Y 축으로 이동시킬 수 있도록 하기 위한 카메라 지지 프레임(55)을 포함하여 구성되어 있다. 한편, 상기 VAP의 내부 구성은 도 7에 도시된 바와 같이, AP(30), 검사정보 분석장치 및 기타의 액정표시장치 제조 장비들과 통신을 수행하기 위한 통신부(50-1), 사용자로부터 각종 정보를 입력받기 위한 입력부(50-2), 상기 카메라로부터 입력된 정보 또는 사용자로부터 입력된 정보를 저장하기 저장부(50-3), 상기 카메라 또는 사용자로부터 입력된 정보들을 출력하기 위한 출력부(50-4) 및 상기 각부를 제어하는 한편 상기 카메라로부터 입력된 액정패널의 화상정보를 이용여 불량 화소의 위치 정보들을 분석하며, 분석된 정보들을 상기 통신부를 통해 AP, 검사정보 분석장치 및 기타의 액정표시장치 제조 장비로 전송하기 위한 제어부(50-5)를 포함하여 구성되어 있다.That is, the vision auto probe (VAP) 50 shown in FIGS. 5 to 7 is a device used in the liquid crystal panel inspection process 502 using the VAP. As shown in the drawing, the vision auto probe (VAP) 50 forms an overall appearance. A probe frame 56, a work table 51 formed on a plane of the auto probe frame, on which a liquid crystal panel is placed, a gate pad 52 for applying a gate signal to the liquid crystal panel placed on the work table, and a work table 51 A data pad 53 for applying a data signal to the placed liquid crystal panel, a camera 54 for receiving image information of the liquid crystal panel, and a camera connected to the vision auto probe frame in such a state as to cover the work table. It is configured to include a camera support frame 55 for moving the X or Y axis from the upper end of the liquid crystal panel. On the other hand, the internal configuration of the VAP, as shown in Figure 7, the communication unit 50-1 for performing communication with the AP 30, the inspection information analysis device and other liquid crystal display device manufacturing equipment, various from the user An input unit 50-2 for receiving information, a storage unit 50-3 for storing information input from the camera or information input from the user, and an output unit for outputting information input from the camera or user ( 50-4) and the respective parts are controlled, and the position information of the bad pixels is analyzed using the image information of the liquid crystal panel input from the camera, and the analyzed information is transmitted through the communication unit to the AP, inspection information analysis device, and the like. And a control unit 50-5 for transmitting to the liquid crystal display device manufacturing equipment.

즉, 본 발명에 따른 비전 오토 프로브(50)는 상기한 바와 같이 액정패널 공정에서 셀 절단 공정(CPS)을 거친 후, 액정패널 연마공정(GIS)(S504)을 거치기 전 의 액정패널에 대하여 단선 또는 점결함 등의 불량 위치를 카메라를 통해 입력받아 각종 불량 정보를 분석하여, AP, 검사정보 분석장치 및 기타의 액정표시장치 제조 장비들에 상기 분석 정보를 제공하는 기능을 수행하는 것으로서, 이를 통해 AP를 이용한 액정패널 검사공정(S506)이 단축될 수 있을 뿐만 아니라, 액정패널의 불량 원인을 보다 신속하게 발견하여, 이를 즉시 액정표시장치의 모든 제조장비에 반영시킬 수 있다는 특징을 가지고 있다.That is, the vision auto probe 50 according to the present invention is disconnected with respect to the liquid crystal panel after undergoing the cell cutting process (CPS) in the liquid crystal panel process as described above and before undergoing the liquid crystal panel polishing process (GIS) (S504). Alternatively, by receiving a defective position such as a point defect through a camera and analyzing various defect information, it performs a function of providing the analysis information to the AP, inspection information analysis device and other liquid crystal display manufacturing equipment, through this AP Not only can the LCD panel inspection process (S506) be shortened, but also find the cause of the failure of the liquid crystal panel more quickly, and has the feature that can be immediately reflected to all the manufacturing equipment of the liquid crystal display device.

상술된 바와 같은 본 발명은 오토 프로브(AP)를 이용한 액정패널 검사공정이 단축되고 간편해 질 수 있으며, 이를 통해 액정표시장치 제조 공정이 단축될 수 있다는 특징을 가지고 있다.The present invention as described above is characterized in that the liquid crystal panel inspection process using the auto probe (AP) can be shortened and simplified, thereby shortening the liquid crystal display device manufacturing process.

또한, 본 발명은 액정패널의 불량 원인을 보다 신속하게 발견하여, 이를 즉시 액정표시장치의 모든 제조장비에 반영시킬 수 있어서 액정표시장치의 제조 수율을 향상시킬 수 있다는 특징을 가지고 있다.In addition, the present invention has a feature that it is possible to find the cause of the failure of the liquid crystal panel more quickly, and immediately reflect it to all the manufacturing equipment of the liquid crystal display device to improve the manufacturing yield of the liquid crystal display device.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (4)

전체적인 외관을 형성하는 비전 오토 프로브 프레임;A vision auto probe frame forming an overall appearance; 상기 오토 프로브 프레임의 평면에 형성되고 셀 절단 공정(CPS) 만을 거치고 액정패널 연마공정을 거치지 않은 상태의 액정패널이 놓여지는 워크 테이블과;A work table formed on a plane of the auto probe frame and having a liquid crystal panel in a state of undergoing only a cell cutting process (CPS) and not undergoing a liquid crystal panel polishing process; 상기 워크 테이블에서 구동되는 상기 액정패널의 화상정보를 입력받기 위한 카메라와;A camera for receiving image information of the liquid crystal panel driven in the work table; 상기 워크 테이블을 커버할 수 있는 상태로 상기 비전 오토 프로브 프레임에 연결되어 상기 카메라를 상기 액정패널의 상단에서 X 그리고 Y 축으로 이동시킬 수 있도록 하기 위한 카메라 지지 프레임과; A camera support frame connected to the vision auto probe frame to cover the work table so as to move the camera in the X and Y axes at the upper end of the liquid crystal panel; 외부 공정장비들과 통신을 수행하기 위한 통신부와;A communication unit for performing communication with external process equipment; 사용자로부터 각종 정보를 입력받기 위한 입력부와;An input unit for receiving various information from a user; 상기 카메라로부터 입력된 정보 또는 사용자로부터 입력된 정보를 저장하는 저장부와;A storage unit which stores information input from the camera or information input from a user; 상기 카메라 또는 사용자로부터 입력된 정보들을 출력하기 위한 출력부; 및An output unit for outputting information input from the camera or the user; And 상기 각부를 제어하는 한편 상기 카메라로부터 입력된 액정패널의 화상정보를 이용하여 불량 화소의 위치 정보들을 분석하며, 분석된 정보들을 상기 통신부를 통해 상기 외부 공정장비들로 전송하기 위한 제어부를 포함하는 비전 오토 프로브.A vision control unit for controlling each unit and analyzing position information of a bad pixel using image information of a liquid crystal panel input from the camera, and including a control unit for transmitting the analyzed information to the external process equipment through the communication unit. Auto probe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 외부 공정장비들은, 상기 연마공정을 거친 액정패널에 대한 검사를 수행하는 오토 프로브, 상기 제어부를 통해 파악된 정보를 분석하기 위한 검사정보 분석장치, 다수의 액정표시장치 공정장비 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 비전 오토 프로브.The external process equipment may include at least one of an auto probe for inspecting the liquid crystal panel that has undergone the polishing process, an inspection information analyzer for analyzing information detected through the control unit, and a plurality of liquid crystal display device process equipments. Vision auto probe, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어부는, 상기 카메라로부터 입력된 화상정보들로부터 상기 액정패널의 단선여부, 점결함 여부, 불량화소의 위치 정보 중 적어도 어느 하나를 분석하는 것을 특징으로 하는 비전 오토 프로브.And the control unit analyzes at least one of disconnection of the liquid crystal panel, defects, and positional information of defective pixels from image information input from the camera. 세정된 유리기판을 사용하여 하나의 모 기판에 다수의 TFT 기판 또는 다수의 C/F 기판을 제조하는 기판 제조 단계;A substrate manufacturing step of manufacturing a plurality of TFT substrates or a plurality of C / F substrates on one mother substrate using the cleaned glass substrate; 상기 기판 제조 단계에서 제조된 다수의 TFT 기판이 형성된 모 기판과 다수의 C/F 기판이 형성된 모 기판을 합착하고 그 사이에 액정을 주입하여 다수의 액정패널을 제조한 후 각각의 액정패널로 절단하는 액정패널 제조단계;The mother substrate having a plurality of TFT substrates formed in the substrate manufacturing step and the mother substrate having a plurality of C / F substrates are bonded to each other, and a plurality of liquid crystal panels are manufactured by injecting liquid crystal therebetween, and then cut into respective liquid crystal panels. A liquid crystal panel manufacturing step; 상기 액정패널 제조단계를 통해 절단된 액정패널의 불량 정보를 상기 액정패널의 상단에서 X 그리고 Y 축으로 이동하는 카메라가 설치되어 있는 비전 오토 프로브를 이용하여 자동으로 분석하는 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사단계;Liquid crystal panel using a vision auto probe that automatically analyzes defect information of the liquid crystal panel cut through the liquid crystal panel manufacturing step by using a vision auto probe equipped with a camera moving in the X and Y axes from the top of the liquid crystal panel. Inspection step; 상기 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사단계를 거친 액정패널을 연마하는 액정패널 연마단계;A liquid crystal panel polishing step of polishing the liquid crystal panel which has been subjected to the liquid crystal panel inspection step using the vision auto probe; 상기 액정패널 연마단계를 거친 액정패널의 불량 정보를 오토 프로브를 이용하여 분석하는 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사단계;A liquid crystal panel inspection step using an auto probe for analyzing defect information of the liquid crystal panel that has undergone the liquid crystal panel polishing step using an auto probe; 상기 비전 오토 프로브 액정패널 검사단계 또는 오토 프로브 액정패널 검사단계를 통해 수집된 정보들을 분석하는 검사정보 분석단계; 및 An inspection information analysis step of analyzing information collected through the vision auto probe liquid crystal panel inspection step or the auto probe liquid crystal panel inspection step; And 상기 액정패널을 회로부와 연결시키고, 백라이트 유닛과 결합시키는 모듈공정단계를 포함하는 비전 오토 프로브를 이용한 액정패널 검사 방법A liquid crystal panel inspection method using a vision auto probe comprising a module process step of connecting the liquid crystal panel with a circuit unit and combining the liquid crystal panel with a backlight unit.
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