KR101244236B1 - Parts Supply Apparatus - Google Patents

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KR101244236B1
KR101244236B1 KR1020060128986A KR20060128986A KR101244236B1 KR 101244236 B1 KR101244236 B1 KR 101244236B1 KR 1020060128986 A KR1020060128986 A KR 1020060128986A KR 20060128986 A KR20060128986 A KR 20060128986A KR 101244236 B1 KR101244236 B1 KR 101244236B1
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diaphragm
vibration
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flat
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슈우이치 나루카와
테츠유키 키무라
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신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
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Abstract

본원 발명은 내구성의 향상을 도모할 수 있음과 동시에, 자유롭게 강성을 선택하여 적절하게 진동을 여기시킬 수 있는 진동판을 가지며, 또한 방진효율을 향상시킴과 동시에, 스프링 위의 질량의 중심 위치의 높이를 낮게 하여 안정된 부품의 반송 및 부품 공급장치 자체의 저배화를 실현할 수가 있는 부품 공급장치에 관한 것이다. The present invention can improve the durability and at the same time have a diaphragm capable of freely selecting the rigidity to excite the vibration appropriately, and also improve the dustproof efficiency, and at the same time increase the height of the center of the mass on the spring The present invention relates to a component supply apparatus capable of lowering and conveying a stable component and lowering the component supply apparatus itself.

본 발명의 부품 공급장치는 압전소자(411)가 평판 모양의 탄성부재(420)에 점착되며, 진동판(400)의 수평판 부분보다 연직판 부분 쪽의 강성이 높아지도록 두께를 선택할 수 있으며, 또한 수평판 부분 및 연직판 부분의 결합부의 강성을 높일 수 있도록 두께를 두껍게 할 수가 있으며, 또한, 추부(302)와 압전식 진동부(303)에 접속된 지지 스프링(380)으로 베이스부(301) 및 압전식 진동부(303)에 접속된 방진용 판 스프링(390)을 연직 방향으로 중복하여 배설한다.In the component supply apparatus of the present invention, the piezoelectric element 411 is adhered to the flat plate-shaped elastic member 420, and the thickness may be selected such that the rigidity of the vertical plate portion becomes higher than that of the horizontal plate portion of the diaphragm 400. The thickness can be increased so that the rigidity of the coupling portion of the horizontal plate portion and the vertical plate portion can be increased, and the base portion 301 is formed by a support spring 380 connected to the weight portion 302 and the piezoelectric vibrating portion 303. And the leaf vibration damping plate spring 390 connected to the piezoelectric vibrator 303 in the vertical direction.

Description

부품 공급장치{Parts Supply Apparatus}Parts Supply Apparatus}

도 1은 본 발명의 일 실시의 형태와 관련되는 미소 부품 공급장치의 일례를 나타내는 모식도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic diagram which shows an example of the micro component supply apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.

도 2는 본 발명의 일실시의 형태와 관련되는 미소 부품 공급장치의 일례를 나타내는 모식도.2 is a schematic diagram showing an example of a micro component supply device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 실시의 형태에 대해 반송되는 미소 부품의 형상의 일례를 나타내는 모식적 사시도.3 is a schematic perspective view showing an example of the shape of a micro component conveyed in the present embodiment.

도 4는 제1의 실시의 형태와 관련되는 리니어 피더의 일부를 절단한 모식적 측면도.4 is a schematic side view of a portion of the linear feeder according to the first embodiment;

도 5는 도4의 진동판의 일례를 나타내는 모식적 조립도.FIG. 5 is a schematic assembly diagram illustrating an example of the diaphragm of FIG. 4. FIG.

도 6은 도5의 진동판의 모식적 측면도.6 is a schematic side view of the diaphragm of FIG. 5.

도 7은 도4에 나타낸 본 실시의 형태와 관련되는 리니어 피더의 저배화의 일례를 설명하기 위한 모식적 측면도.FIG. 7 is a schematic side view for explaining an example of low magnification of the linear feeder according to the present embodiment shown in FIG. 4. FIG.

도 8은 지지 스프링 및 방진용 판 스프링의 구조의 일례를 나타내는 모식도.The schematic diagram which shows an example of the structure of a support spring and the vibration damper leaf spring.

도 9는 도8의 지지 스프링 및 방진용 판 스프링의 구조를 설명하기 위한 모식적 단면도.FIG. 9 is a schematic cross-sectional view for explaining the structures of the support spring and the vibration damping leaf spring of FIG. 8. FIG.

도 10은 리니어 피더의 효과에 대해 설명하기 위한 도면.10 is a diagram for explaining the effect of the linear feeder.

도 11은 리니어 피더의 효과에 대해 설명하기 위한 도면.11 is a diagram for explaining the effect of the linear feeder.

도 12는 도5 및 도6의 진동판의 다른 예를 나타내는 측면도.12 is a side view showing another example of the diaphragm of FIGS. 5 and 6;

도 13은 도5의 진동판 및 도12의 진동판의 또 다른 예를 나타내는 측면도.FIG. 13 is a side view showing still another example of the diaphragm of FIG. 5 and FIG.

도 14는 도7의 리니어 피더의 또 다른 예를 나타내는 모식적 측면도.14 is a schematic side view illustrating still another example of the linear feeder in FIG. 7.

도 15는 도14의 지지 스프링 및 방진용 판 스프링의 구조의 일례를 나타내는 모식도.FIG. 15 is a schematic diagram showing an example of the structures of the support spring and the vibration leaf leaf spring of FIG. 14. FIG.

도 16은 도14의 지지 스프링 및 방진용 판 스프링의 구조의 일례를 나타내는 모식도.It is a schematic diagram which shows an example of the structure of the support spring of FIG. 14, and the leaf spring for antivibration.

도 17은 리니어 피더의 또 다른 예를 나타내는 모식적 측면도.17 is a schematic side view illustrating still another example of the linear feeder.

도 18은 종래의 파츠 피더의 지지 스프링에 있어서의 요동 방향과 방진용 판 스프링에 있어서의 요동 방향을 설명하기 위한 모식도.It is a schematic diagram for demonstrating the rocking direction in the support spring of the conventional part feeder, and the rocking direction in the antivibration leaf spring.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

100 미소 부품 공급장치 300, 300 a, 300 b 리니어 피더100 Micro component feeder 300, 300 a, 300 b Linear feeder

301 베이스부 302 추부(카운터 웨이트)301 base part 302 weight part (counter weight)

303 압전식 진동부 304 진동 전달부303 Piezoelectric vibration part 304 Vibration transmission part

320 제 1 반송부재 330 제 2 반송부재320 first conveying member 330 second conveying member

350 제 3 반송부재 370 연결판350 Third conveying member 370 Connecting plate

380 지지 스프링 390 방진용 판 스프링380 ° Support Spring 390 Dustproof Leaf Spring

400, 400 a, 400 b 진동판 410 탄성체400, 400 a, 400 b 동 vibration plate 410 elastomer

411 압전소자      411 Piezoelectric Element

412, 420, 420 a, 420 b 평판 모양의 탄성부재      412, 420, 420 a, 420 b Flat elastic member

421, 421b 평판 모양의 탄성부재421, 421b Flat elastic member

422 결합부재 L1, L2, (L1+L2) 두께422 Coupling Member L1, L2, (L1 + L2) Thickness

800 미소 부품800 Small parts

본 발명은 부품을 진동에 의해 이송하는 부품 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a component supply apparatus for transferring a component by vibration.

종래, 부품에 진동을 가함 으로써, 부품을 정렬시킴과 동시에, 부품의 공급을 행하는 부품 공급장치의 하나로서 파츠 피더(parts feeder)가 널리 알려져 있다. 이 파츠 피더는 부품에 진동을 가해 부품의 자세를 조정하여 다음 공정에 부품을 공급할 수가 있다.Background Art Conventionally, parts feeders have been widely known as one of a parts supply apparatus for aligning parts and supplying parts by vibrating the parts. The part feeder can vibrate the parts to adjust the attitude of the parts to supply the parts to the next process.

이와 관련된 특허로 국제공개 제2004/067413호 팜플렛(이하, 특허문헌1)과 특허공개평6-13369호 공보(이하, 특허문헌2), 및 특허공개평7-257724호 공보(이하, 특허문헌3)가 개시된 바 있다.As related patents, there is a pamphlet of International Publication No. 2004/067413 (hereinafter referred to as Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-13369 (hereinafter referred to as Patent Document 2) and Patent Publication No. 7-257724 (hereinafter referred to as Patent Document). 3) has been disclosed.

특허문헌1에는 고주파수 구동 시 일지라도 충분한 진폭을 확보함과 동시에 진동 발생수단으로 작용하는 응력을 억제하여, 진동 발생수단의 교체나 공진 주파 수의 변경 및 조정을 용이하게 행 할 수 있는 압전 구동식 파츠 피더가 개시되어 있다.Patent Document 1 discloses a piezoelectric driven part that can secure a sufficient amplitude even when driving at a high frequency, and at the same time suppress the stress acting as the vibration generating means, thereby easily changing the vibration generating means or changing and adjusting the resonance frequency. A feeder is disclosed.

또한, 특허문헌2에는 압전소자에 가하는 하중을 감소할 수 있으므로, 진동 진폭의 확대를 도모하여 매우 실용적으로 사용 할 수 있는 반송 속도를 얻을 수 있는 압전 구동형 반송장치에 대해 개시되어 있다.In addition, Patent Document 2 discloses a piezoelectric drive type conveying apparatus that can reduce the load applied to the piezoelectric element, thereby achieving an enlargement of the vibration amplitude and obtaining a conveying speed that can be used in a very practical manner.

특허문헌2에 기재된 압전 구동형 반송장치에서는 탄성판에 압전소자를 부착하여 이루어지는 가진체(

Figure 112006093224011-pat00001
)와 반송체를 탄성판 모양의 연결 부재의 하단부와 상단부로 각각 연결하고, 또한 이러한 연결 부재의 판의 폭 또는 판의 두께를 변화시켜 연결 부재의 휨 강성을 상기 탄성판의 휨 강성보다 낮게 설정한다.In the piezoelectric drive type conveying apparatus described in Patent Document 2, an excitation body formed by attaching a piezoelectric element to an elastic plate (
Figure 112006093224011-pat00001
) And the carrier are respectively connected to the lower end and the upper end of the elastic plate-shaped connecting member, and the width or thickness of the plate of the connecting member is changed to set the bending rigidity of the connecting member to be lower than the bending rigidity of the elastic plate. do.

이처럼 진동 중에 그 휨 강성을 낮게 한 부분에서의 탄성변형에 의해 가진체와 반송체와의 사이의 각도 변화가 허용되어, 가진체에 가해지는 하중이 감소하여 가진체 및 반송체에 있어서의 진동 진폭의 증대를 기대할 수가 있다.In this way, the elastic deformation at the portion where the bending rigidity is lowered during vibration allows the angle change between the excitation body and the carrier body to decrease the load on the excitation body, thereby reducing the vibration amplitude in the vibration body and the carrier body. You can expect to increase.

또한, 특허문헌3에는 연결 부재의 부소에 의한 휨 강성의 비를 크게 함 으로써 반송 부품의 고속 반송을 가능하도록 하게 하는 압전 구동형 반송장치에 대하여 개시되어 있다.In addition, Patent Document 3 discloses a piezoelectric drive type conveying apparatus which enables high speed conveyance of conveying parts by increasing the ratio of bending rigidity due to the location of the connecting member.

특허문헌3에 기재된 압전 구동형 반송장치에서는 압전 구동형 반송장치의 구성요소의 하나인 연결 부재를 둘 이상의 연결 부재를 적층하여 적층 연결 부재로 한 것이다.In the piezoelectric drive type conveying apparatus described in patent document 3, the connection member which is one of the components of a piezoelectric drive type conveying apparatus is laminated | stacked and made two or more connection members into a laminated connection member.

이처럼 연결 부재의 부소에 의한 휨 강성의 비를 종래보다 현격하게 크게 함 으로써, 반송 부품의 고속 반송을 가능하게 할 수가 있다.Thus, by increasing the ratio of the bending rigidity by the part of the connecting member more remarkably than before, the high speed conveyance of a conveying component can be attained.

그러나, 종래의 파츠 피더(parts feeder)에 있어서는 2가지의 문제점이 있었다. 이하, 각각에 문제점에 대해 설명하기로 한다.However, there are two problems in the conventional parts feeder. Hereinafter, the problem will be described in each case.

우선 첫번째 문제점으로서 종래의 파츠 피더에 있어서는 베이스부, 카운터 웨이트, 가진부(

Figure 112006093224011-pat00002
) 및 반송로를 순서대로 아래에서 부터 쌓아 올리는 구성으로 되어 있기 때문에 지지 스프링에 있어서의 요동 방향과 방진용 판 스프링에 있어서의 요동 방향이 상반되어 균일한 진동을 반송로에 가할 수 없다고 하는 문제가 있었다. 이하, 상세하게 설명하기로 한다.First of all, in the conventional part feeder, the base part, the counter weight, the excitation part (
Figure 112006093224011-pat00002
) And the conveying path are stacked in order from the bottom, so that the swing direction in the support spring and the swing direction in the antivibration leaf spring are opposite, and uniform vibration cannot be applied to the conveying path. there was. It will be described in detail below.

도 18은 종래의 파츠 피더(900)의 지지 스프링에 있어서의 요동 방향과 방진용 판 스프링에 있어서의 요동 방향을 설명하기 위한 모식도이다.FIG. 18: is a schematic diagram for demonstrating the rocking direction in the support spring of the conventional part feeder 900, and the rocking direction in the antivibration leaf spring.

도 18에 나타내는 바와 같이, 가진부(902)와 카운터 웨이트(903)를 접속하는 지지 스프링(980)은, 도면에서의 화살표 R1의 방향으로 요동 하는 상태이지만, 카운터 웨이트(903)와 베이스부(901)를 접속하는 방진용 판 스프링(990)은 도면에서의 화살표 R11의 방향으로 요동 하는 상태로, 서로의 휨 모드가 역 위상이 되어, 대향하는 방향으로 요동 하고 있다. 그 결과 반송로(905)에 있어서 진동이 안정되지 않고, 부품의 반송이 정지하거나 역으로 반송 되는 문제가 있었다.As shown in FIG. 18, although the support spring 980 which connects the excitation part 902 and the counter weight 903 is the state which rocked in the direction of arrow R1 in a figure, the counter weight 903 and the base part ( The antivibration leaf springs 990 connecting 901 swing in the direction indicated by the arrow R11 in the drawing, and the bending modes of the vibration dampers are reversed in phase, and swing in opposite directions. As a result, vibration was not stabilized in the conveyance path 905, and there existed a problem that conveyance of components stopped or conveyed in reverse.

더욱이, 지지 스프링(980) 및 방진용 판 스프링(990)을 이용한 부품 공급장치에서는 직선 모양으로 지지 스프링(980) 및 방진용 판 스프링(990)을 배치시키기 위하여 부품 공급장치의 크기(도면에서 H10)가 커진다.Furthermore, in the component supply apparatus using the support spring 980 and the anti-vibration leaf spring 990, the size of the component supply device (H in the drawing) is used to arrange the support spring 980 and the antivibration leaf spring 990 in a straight line shape. 10 ) becomes large.

또한, 특허문헌1 기재의 부품 공급장치에 한정하지 않고, 일반의 지지 스프 링 및 방진용 판 스프링을 이용한 부품 공급장치에서는, 2종류의 스프링을 사용하기 때문에 스프링 위의 질량의 중심 위치와 방진용 판 스프링의 지점과의 거리가 커져서, 반송 부품의 불안정, 기울기 반송, 체류, 또는 부품 공급장치의 구동 불안정성 및 좌우 흔들림이 발생되는 문제가 있었다.In addition, not only the component supply apparatus described in patent document 1, but also the component supply apparatus using a general support spring and a vibration damper leaf spring use two types of springs, The distance from the point of the leaf spring became large, and there existed a problem which the instability of the conveyance component, the tilt conveyance, the staying, or the drive instability of the component supply apparatus, and the left and right shake were produced.

다음으로, 제2의 문제점에 대하여 설명한다. 제2의 문제점으로서 특허문헌2에 기재의 압전 구동형 반송장치에 대해서는, 진동을 여기시키는 압전 스프링에 직접 연결 스프링을 설치하여 해당 연결 스프링을 공진시킴으로써 압전 구동형 반송장치의 구동을 실시하고 있기 때문에, 압전 스프링에 반송체, 또는 나선 모양의 반송로의 하중이 직접적으로 가해진다. 따라서, 해당 하중을 지지함과 동시에 진동의 여기를 행하고 있기 때문에, 압전 스프링에 대해 적절한 진동을 여기할 수가 없고 하는 문제가 생긴다.Next, the second problem will be described. As a second problem, in the piezoelectric drive type transfer device described in Patent Document 2, the piezoelectric drive type transfer device is driven by resonating the connection spring by providing a direct connection spring to a piezoelectric spring that excites vibration. The load of the carrier body or the spiral carrier path is directly applied to the piezoelectric spring. Therefore, since the vibration is excited while supporting the load, a problem arises in that an appropriate vibration cannot be excited with respect to the piezoelectric spring.

또한, 진동을 여기시키는 경우에 있어서도, 반송체의 하중이 본래의 압전소자의 구동 방향과 다른 선단 방향의 부하로서 압전소자에 가해지기 때문에 수명문제를 고려해야 하는 문제가 남는다.In addition, even in the case of exciting the vibration, the problem of lifespan remains because the load of the carrier is applied to the piezoelectric element as a load in the tip direction different from the driving direction of the original piezoelectric element.

또한, 특허문헌3에 기재의 압전 구동형 반송장치에 있어서도, 압전소자에 직렬로 연결 스프링을 붙이고, 더불어 연결 스프링을 적층시켜 휨 강성의 향상을 꾀하고 있으므로 특허문헌2에 기재의 압전 구동형 반송장치처럼 압전 스프링에 반송체의 하중이 직접적으로 가해지게 된다.In addition, in the piezoelectric drive type transfer apparatus described in Patent Document 3, piezoelectric drive type transfer described in Patent Document 2 is intended to improve the bending rigidity by attaching a connection spring in series with the piezoelectric element and stacking the connection spring. Like the device, the load of the carrier is directly applied to the piezoelectric spring.

그 결과, 적절하게 진동을 여기할 수 없는 과제 및 수명문제의 관점에 있어 여전히 과제가 남는다.As a result, there still remains a problem in terms of problems and life problems in which vibrations cannot be appropriately excited.

본 발명의 목적은, 방진효율을 향상시킴과 동시에, 스프링 위의 질량의 중심 위치의 높이를 낮게 하여 안정된 부품의 반송 및 부품 공급장치 자체의 저배화(

Figure 112006093224011-pat00003
)를 실현할 수 있는 부품 공급장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to improve the dust-proofing efficiency and to lower the height of the center position of the mass on the spring so that the stable conveyance of parts and the lowering of the component supply device itself (
Figure 112006093224011-pat00003
It is to provide a component supply apparatus that can realize ().

본 발명의 또 다른 목적은, 내구성의 향상을 도모함과 동시에, 자유롭게 강성을 선택하여 적절한 진동을 여기시킬 수가 있는 진동판을 갖는 부품 공급장치를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a component supply apparatus having a diaphragm capable of improving durability and freely selecting rigidity to excite an appropriate vibration.

더욱이 본 발명의 또 다른 목적은, 내구성의 향상을 도모함과 동시에, 자유롭게 강성을 선택하고, 동시에 설치 정밀도를 향상시켜, 제조 공정 수 및 정비 공정 수를 저감 시킴과 동시에, 적절하게 진동을 여기시킬 수가 있으며, 더욱이 방진효율을 향상시킴과 동시에, 스프링 위의 질량의 중심 위치의 높이를 낮게 하여 안정된 부품의 반송 및 부품 공급장치 자체의 저배화를 실현할 수 있는 진동판을 갖는 부품 공급장치를 제공하는 것이다.Further, another object of the present invention is to improve the durability, to freely select rigidity, to improve the installation accuracy at the same time, to reduce the number of manufacturing steps and maintenance steps, and to appropriately excite vibrations. In addition, the present invention provides a component supply apparatus having a diaphragm capable of improving dustproof efficiency and lowering the height of the center position of the mass on the spring to realize stable conveyance of components and lowering of the component supply apparatus itself.

(1) 본 발명과 관련되는 부품 공급장치는, 부품에 진동을 가하여 반송을 행하는 부품 공급장치로서, 상기 부품을 반송하기 위한 반송로를 갖는 반송부와, 상기 반송부를 지지하는 가진부(

Figure 112012106328535-pat00027
)와, 상기 가진부와는 별도의 부재로서 설치되는 추부와, 일단이 상기 가진부에 장착되고, 타단이 상기 추부에 장착되어 탄성변형이 가능한 구동부재와, 전기적 신호에 의해 응력을 발생하는 진동자와, 수평 으로 배치되는 수평판 부분 및 연직(
Figure 112012106328535-pat00028
)으로 배치되는 연직판 부분을 가지며, 상기 연직판 부분의 앞뒷면의 적어도 일면에 상기 진동자가 점착되어, 진동을 여기하는 진동판을 포함하고, 상기 진동판은, 상기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분 중 어느 한쪽이 상기 추부에 장착되고, 상기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분의 다른 한쪽이 상기 가진부에 장착되며, 기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분이 접합부에서 결합되고, 상기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분의 어느 한 쪽의 두께가 적어 도 다른 한쪽의 두께보다 두껍다.(1) The component supply apparatus which concerns on this invention is a component supply apparatus which conveys by vibrating a component, The conveyance part which has a conveyance path for conveying the said component, and the excitation part which supports the said conveyance part (
Figure 112012106328535-pat00027
), A weight provided as a member separate from the vibration part, a driving member having one end mounted to the vibration part, the other end mounted to the weight part, and capable of elastic deformation, and a vibrator generating stress by an electrical signal. And the horizontal part and vertically arranged horizontally (
Figure 112012106328535-pat00028
And a vibrating plate which is attached to at least one surface of the front and back surfaces of the vertical plate portion to excite vibration, wherein the vibrating plate is formed of the horizontal plate portion and the vertical plate portion. One of which is mounted on the weight portion, the other of the horizontal plate portion and the vertical plate portion is mounted on the vibrating portion, and the existing horizontal plate portion and the vertical plate portion are joined at the joining portion, and the horizontal plate portion and the At least one of the vertical plates is thicker than the other.

본 발명과 관련되는 부품 공급장치에 있어서는, 진동자가 진동판에 점착된다. 그리고, 전기적 신호가 진동자에 가해졌을 경우 진동자가 점착된 진동판이 구동되어, 진동이 여기되어 진동판의 연직판 부분 및 수평판 부분의 어느 한쪽 면에 장착된 추부와, 진동판의 한쪽 면에 장착된 가진부가 역 위상으로 진동한다. 그리고, 진동은 가진부에 지지를 받는 반송부에 전달되어 반송로의 상류에서 하류 방향으로 부품이 반송된다.In the component supply apparatus which concerns on this invention, a vibrator adheres to a diaphragm. When an electrical signal is applied to the vibrator, the vibrating plate to which the vibrator is attached is driven, and the vibration is excited to mount the weight mounted on either side of the vertical plate portion and the horizontal plate portion of the diaphragm, and the excitation plate mounted on one side of the diaphragm. The addition oscillates in reverse phase. And a vibration is transmitted to the conveyance part supported by an excitation part, and components are conveyed in the downstream direction from the upstream of a conveyance path | route.

이 경우, 진동판의 수평판 부분과 연직판 부분의 두께가 다르므로, 진동판의 수평판 부분과 연직판 부분의 강성을 다른 값으로 할 수 있다.In this case, since the thicknesses of the horizontal plate portion and the vertical plate portion of the diaphragm are different, the rigidity of the horizontal plate portion and the vertical plate portion of the diaphragm can be made different.

또한, 진동판의 수평판 부분과 연직판 부분과의 적어도 접합부에 있어서의 두께를 두껍게 할 수가 있다. 이에 따라 강성이 필요한 부분에 두께를 증가 하거나, 강성을 작게 해야 할 부분의 두께를 삭감함으로써 최적의 강성과 최적의 진동 주파수를 갖는 진동판을 포함한 부품 공급장치를 실현할 수가 있다.Moreover, the thickness in at least the junction part of the horizontal board part and the vertical board part of a diaphragm can be thickened. Accordingly, the component supply apparatus including the diaphragm having the optimum rigidity and the optimum vibration frequency can be realized by increasing the thickness of the portion requiring rigidity or reducing the thickness of the portion to be reduced in rigidity.

또한, 구동부재에 있어서 가진부 및 반송부의 하중을 지지할 수가 있기 때문에 진동판 및 진동자의 내구성의 향상을 도모함과 동시에, 진동자가 점착된 진동판으로부터 적절한 진동을 여기시킬 수가 있다.Moreover, since the load of the excitation part and the conveyance part in a drive member can be supported, the durability of a diaphragm and a vibrator can be improved, and an appropriate vibration can be excited from the diaphragm to which a vibrator adhered.

(2) 진동판은, 수평판 부분을 형성하는 제1의 평판 모양의 탄성부재와 연직판 부분을 형성하는 제1의 평판 모양의 탄성부재와는 다른 제2의 평판 모양의 탄성부재와, 제1의 평판 모양의 탄성부재에 의해 형성되는 수평판부분 및 제2의 평판 모양의 탄성부재에 의해 형성되는 연직판 부분을 결합하는 결합부재를 포함하여도 좋다.(2) The diaphragm includes a second flat plate-like elastic member that forms a horizontal plate portion and a second flat plate-shaped elastic member that forms a vertical plate portion, and a first plate-shaped elastic member that forms a vertical plate portion; And a coupling member for coupling the horizontal plate portion formed by the flat plate-shaped elastic member and the vertical plate portion formed by the second plate-shaped elastic member.

이 경우, 제1의 평판 모양의 탄성부재와 제2의 평판 모양의 탄성부재를 결합부재로 결합하여 진동판이 형성된다. 그리고, 수평판 부분을 형성하는 제1의 평판 모양의 탄성부재가 연직판 부분을 형성하는 제2의 평판 모양의 탄성부재와 다른 부재로 형성된다.In this case, the diaphragm is formed by combining the first flat elastic member and the second flat elastic member with a coupling member. The first flat plate-like elastic member forming the horizontal plate portion is formed of a member different from the second flat plate-shaped elastic member forming the vertical plate portion.

따라서, 제1의 평판 모양의 탄성부재의 두께와 제2의 평판 모양의 탄성부재의 두께를 자유롭게 조절할 수가 있다. 더욱이 결합부재를 이용함으로써 종래의 굴곡 부분에 대해서도 강성을 높일 수가 있다.Therefore, the thickness of the first flat elastic member and the thickness of the second flat elastic member can be adjusted freely. Moreover, rigidity can be raised also with respect to a conventional curved part by using the coupling member.

이처럼 진동판의 수평면과 연직면과의 강성을 다른 값으로 할 수 있으므로, 강성이 필요한 면의 두께를 증가시키거나, 강성을 작게 해야 할 부분의 두께를 삭감함으로써 최적의 강성과 진동 주파수를 갖는 진동판을 포함한 부품 공급장치를 실현할 수가 있다.Since the rigidity between the horizontal and vertical surfaces of the diaphragm can be set to a different value, the diaphragm having the optimum rigidity and vibration frequency is increased by increasing the thickness of the surface where rigidity is required or by reducing the thickness of the portion to be reduced in rigidity. A part supply device can be realized.

더욱이 제1의 평판 모양의 탄성부재와 제2의 평판 모양의 탄성부재를 결합부재에 의해 결합시키므로, 단일의 평판 모양의 탄성부재를 굴곡지게 하여 수평판 부분 및 연직판 부분을 형성하는 경우와 비교하여 직각 정밀도를 큰폭으로 높일 수가 있다. 그 결과, 진동판을 추부 및 가진부에 구성할 때의 설치 위치의 차이를 방지할 수가 있어 제조 공정수를 삭감할 수가 있다.Furthermore, since the first flat plate-like elastic member and the second flat plate-shaped elastic member are joined by the coupling member, the single flat plate-shaped elastic member is bent to form a horizontal plate portion and a vertical plate portion. Therefore, the squareness accuracy can be greatly increased. As a result, the difference in the installation position at the time of forming a diaphragm in a weight part and a vibration part can be prevented, and the number of manufacturing processes can be reduced.

또한, 진동판과 병설된 구동부재에 의해 가진부 및 반송부의 하중을 지지할 수 있으므로, 진동판 및 진동자의 내구성의 향상을 꾀할 수 있음과 동시에 진동판 및 진동자로부터 적절한 진동을 여기시킬 수가 있다.Moreover, since the load of the excitation part and the conveyance part can be supported by the drive member provided with the diaphragm, the durability of a diaphragm and a vibrator can be improved, and an appropriate vibration can be excited from a diaphragm and a vibrator.

(3) 진동판은, 세장(細長)형상으로 긴 방향을 가지며, 긴 방향에 따른 일부의 영역에 있어서 두께가 다른 영역보다 두꺼운 부분을 갖는 평판 모양의 탄성부재로 이루어지며, 평판 모양의 탄성부재의 두께가 두꺼운 부분을 굴곡 시켜서 연직판 부분 및 수평판 부분이 형성되도록 하여도 좋다.(3) The diaphragm is made of a flat plate-shaped elastic member having a long direction in an elongated shape and having a portion thicker than a region having a different thickness in some areas along the long direction. The thick portion may be bent to form a vertical plate portion and a horizontal plate portion.

이 경우, 수평판 부분과 연직판 부분 중의 어느쪽이든 한쪽의 두께를 가공에 의해 얇게 할 수 있기 때문에, 수평판 부분의 두께와 연직판 부분의 두께를 자유롭게 조절할 수가 있다. 그 결과, 진동판의 수평판 부분과 연직판 부분과의 강성을 다른 값으로 할 수 있다.In this case, since either thickness of a horizontal board part and a vertical board part can be made thin by a process, the thickness of a horizontal board part and the thickness of a vertical board part can be adjusted freely. As a result, the rigidity between the horizontal plate portion and the vertical plate portion of the diaphragm can be made different.

따라서, 강성이 필요한 면의 두께를 두껍게 하거나, 강성을 작게 해야 할 부분의 두께를 삭감 함 으로써 최적의 강성과 최적의 진동 주파수를 갖는 진동판을 포함한 부품 공급장치를 실현할 수가 있다.Therefore, by supplying a thickness of the surface on which rigidity is required or reducing the thickness of the portion to be reduced in rigidity, a component supply apparatus including a diaphragm having an optimum rigidity and an optimal vibration frequency can be realized.

(4) 반송로는, 직선 모양의 반송로이어도 좋다.(4) The conveyance path may be a linear conveyance path.

이 경우, 반송로는 직선 모양의 반송로이므로 직선 모양의 반송로에 대해서 진동을 가하여 부품을 반송할 수가 있다.In this case, since a conveyance path is a linear conveyance path, a part can be conveyed by applying a vibration to a linear conveyance path.

(5) 본 발명과 관련되는 부품 공급장치는, 베이스부와, 가진부(

Figure 112012106328535-pat00006
)와, 베이스부에 장착되어 가진부로부터 베이스부에 전달되어 진동을 감쇠시키는 방진부재를 더 구비하고, 구동부재는, 가진부와, 가진부보다 아랫쪽의 가장 하부에 배설된 베이스부 보다 윗쪽에 설치된 추부에 장착되어 탄성변형 함 으로써 추부와 가진부에 서로 역 위상의 진동을 발생시켜도 좋다.(5) The component supply apparatus according to the present invention includes a base part and an excitation part (
Figure 112012106328535-pat00006
And an anti-vibration member which is mounted on the base part and is transmitted from the excitation part to the base part to damp vibrations, and the driving member is located above the excitation part and the base part disposed at the lowermost part below the excitation part It may be mounted on an installed weight and elastically deformed to generate vibrations of opposite phases to each other.

이 경우, 하부에서 베이스부, 추부, 가진부의 순서로 설치되고, 방진부재가 가진부와 베이스부에 장착되어 구동부재가 가진부와 추부에 장착된다.In this case, the lower part is provided in the order of the base part, the weight part, and the excitation part, and the dustproof member is mounted on the vibration part and the base part, and the driving member is mounted on the vibration part and the weight part.

그 결과, 구동부재와 방진부재가 가진부 및 추부에 중복하여 배설되기 때문에, 구동부재 및 방진부재의 서로의 휨 모드가 같은 위상이 되어, 방진 효율을 향상시킬 수가 있다.As a result, since the driving member and the dustproof member are disposed in duplicate in the excitation portion and the weight portion, the bending modes of the driving member and the dustproof member are in the same phase, and the dustproof efficiency can be improved.

또한, 종래의 구동부재 및 방진부재가 서로 직선 모양으로 배치된 상태에 있어서 구동부재의 긴 방향의 길이가, 방진부재의 긴 방향의 일부와 중복하여 설치되기 때문에, 부품 공급장치 자체의 저배화가 가능해 지고, 부재 위의 질량의 중심 위치와 방진부재의 지점과의 거리를 줄일 수가 있다.In addition, since the length of the long direction of the drive member overlaps with a part of the long direction of the dustproof member in the state where the conventional drive member and the dustproof member are arranged in a straight line with each other, the lowering of the component supply device itself is reduced. It is possible to reduce the distance between the center position of the mass on the member and the point of the dustproof member.

그 결과, 반송 부품의 불안정, 기울기 반송, 체류, 또는 부품 공급장치의 구동 불안정성 및 좌우 흔들림을 방지할 수가 있다.As a result, instability of the conveyed parts, inclination conveyance, retention, or drive instability of the parts supply apparatus and left and right shake can be prevented.

(6) 구동부재 및 방진부재는 상하 방향의 높이 방향에 있어서 높이가 서로 겹치는 부분을 갖도록 배설되어도 좋다.(6) The drive member and the dustproof member may be disposed so as to have a portion where the heights overlap each other in the height direction in the vertical direction.

이 경우, 구동부재와 방진부재가 상하 방향의 높이 방향에 대해 높이가 서로 겹치는 부분을 가지므로 부품 공급장치의 저배화가 가능해져 부재 위의 질량의 중심 위치와 방진부재의 지점과의 거리를 줄일 수가 있다. 그 결과, 반송 부품의 불안정, 기울기 반송, 체류, 또는 부품 공급장치의 구동의 불 안정성 및 좌우 흔들림을 방지할 수가 있다.In this case, since the driving member and the dustproof member have portions overlapping with each other in the height direction in the vertical direction, the component supply apparatus can be reduced in size, thereby reducing the distance between the center position of the mass on the member and the point of the dustproof member. There is a number. As a result, instability of the conveyed parts, inclination conveyance, retention, or instability and drive of the parts supply apparatus can be prevented.

(7) 구동부재 및 방진부재는 서로 적층 상태로 배설되어도 좋다.(7) The drive member and the dustproof member may be disposed in a stacked state with each other.

이 경우, 판 모양의 탄성 판으로 이루어지는 방진부재 및 구동부재가, 서로 적층된 상태로 배설되기 때문에 구동부재 및 방진부재의 서로의 휨 모드가 같은 위상이 되어 방진효율을 향상시킬 수가 있다.In this case, since the dustproof member and the drive member which consist of plate-shaped elastic plates are arrange | positioned mutually in the state laminated | stacked on each other, the bending modes of a drive member and a dustproof member mutually become in phase, and it can improve dustproofing efficiency.

(8) 구동부재 및 방진부재는 각각 구멍을 갖는 평판 모양의 탄성판으로 형성되고, 방진부재 및 구동부재는 가진부에 대해서 동일한 축 부재에 의해 방진부재의 구멍 및 구동부재의 구멍을 관통해서 고정되어도 좋다.(8) The driving member and the dustproof member are each formed of a flat plate-shaped elastic plate having holes, and the dustproof member and the driving member are fixed through the holes of the dustproof member and the holes of the driving member by the same shaft member with respect to the excitation portion. It may be.

이 경우, 구동부재 및 방진부재가 동축 부재, 예를 들면 볼트 등에 의해 구멍을 관통하여 가진기(

Figure 112006093224011-pat00007
)에 고정된다. 따라서, 종래의 구동부재 및 방진부재가 서로 직선 모양으로 배치된 상태에 대해서, 구동부재의 긴 방향의 길이가 방진부재의 긴 방향의 일부와 중복되어 설치되므로 부품 공급장치 자체의 저배화가 가능해져서 부재 위의 질량의 중심 위치와 방진부재의 지점과의 거리를 줄일 수가 있다. 더욱이 볼트 등의 고정 부재의 부품 수를 저감할 수가 있으므로 부품 자체의 코스트 및 제조시에 있어서의 코스트의 저감을 도모할 수가 있다.In this case, the driving member and the dustproof member penetrate the hole by a coaxial member, for example, a bolt or the like (
Figure 112006093224011-pat00007
It is fixed to). Therefore, in the state where the conventional driving member and the dustproof member are arranged in a straight line with each other, the length of the long direction of the driving member is installed overlapping with a part of the long direction of the dustproof member, thereby making it possible to reduce the component supply device itself. The distance between the center position of the mass on the member and the point of the dustproof member can be reduced. Furthermore, since the number of parts of fixing members such as bolts can be reduced, the cost of the parts themselves and the cost at the time of manufacture can be reduced.

이하, 본 발명과 관련되는 일 실시의 형태에 대해 도면을 참고하여 설명하기로 한다. 본 발명과 관련되는 부품 공급장치의 일례로서 미소한 부품을 반송하는 미소 부품 공급장치에 적합시켰을 경우에 대해 설명하기로 한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment which concerns on this invention is described with reference to drawings. As an example of the component supply apparatus which concerns on this invention, the case where it is made to fit the micro component supply apparatus which conveys a micro component is demonstrated.

(일 실시의 형태)(One embodiment)

도 1 및 도 2는, 본 발명의 일 실시의 형태와 관련되는 미소 부품 공급장치(100)의 일례를 나타내는 모식도이다. 도 1은 미소 부품 공급장치(100)의 표면을 나타내고, 도 2는 미소 부품 공급장치(100)의 측면을 나타낸다.1 and 2 are schematic diagrams showing an example of a micro component supply device 100 according to an embodiment of the present invention. 1 shows the surface of the micro component supply apparatus 100, and FIG. 2 shows the side of the micro component supply apparatus 100.

도 1 및 도 2에 나타내듯이 미소 부품 공급장치(100)는, 파츠 피더(200), 리니어 피더(linear feeder:300) 및 스테이지(stage:900)를 포함한다. 또한, 도 2에 나타내듯이 파츠 피더(200)는, 볼(bowl)모양의 반송부(210)와 압전식 진동부(220)를 포함한다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the micro component supply apparatus 100 includes a part feeder 200, a linear feeder 300, and a stage 900. In addition, as shown in FIG. 2, the part feeder 200 includes a bowl-shaped conveying unit 210 and a piezoelectric vibrating unit 220.

본 실시의 형태에 있어서의 미소 부품 공급장치(100)에 있어서는, 스테이지(900)상에 파츠 피더(200) 및 리니어 피더(300)가 설치된다. 파츠 피더(200)의 미소 부품 배출부(211)에는 리니어 피더(300)의 미소 부품 반입부(311)가 접속되고 있다. 더욱이 리니어 피더(300)의 미소부품 환류반송로(317)에는 파츠 피더(200)의 수락로(217)가 접속되어 있다.In the micro component supply apparatus 100 in this embodiment, the part feeder 200 and the linear feeder 300 are provided on the stage 900. The micro component loading part 311 of the linear feeder 300 is connected to the micro component discharge part 211 of the part feeder 200. Furthermore, the acceptor passage 217 of the part feeder 200 is connected to the micro part reflux transport path 317 of the linear feeder 300.

파츠 피더(200)의 압전식 진동부(220)에 설치된 진동판(400: 도시하지 않음)에 의해 발진된 진동이 압전식 진동부(220)의 상부에 재치된 보울(bowl) 모양의 반송부(210)에 가해진다. 보울(bowl) 모양의 반송부(210)의 내주(

Figure 112006093224011-pat00008
)에 따라 나선 모양의 미소 부품 반송로가 설치된다.A bowl-shaped conveying part in which vibrations oscillated by the diaphragm 400 (not shown) installed in the piezoelectric vibrator 220 of the part feeder 200 is placed on the piezoelectric vibrator 220. 210). Inner circumference of the bowl-shaped conveying unit 210 (
Figure 112006093224011-pat00008
The spiral part conveyance path is provided.

보울(bowl) 모양의 반송부(210)의 중앙 저부에 미소 부품(800)이 공급되어 압전식 진동부(220)로부터의 진동에 의해 미소 부품(800)이 나선 모양의 반송로 상으로 반송되어 미소 부품 배출부(211)로부터 리니어 피더(300)의 미소 부품 반입부(311)로 반송된다.The micro component 800 is supplied to the center bottom of the bowl-shaped conveying unit 210, and the micro component 800 is conveyed onto the spiral conveying path by the vibration from the piezoelectric vibrating unit 220. It is conveyed from the micro component discharge part 211 to the micro component loading part 311 of the linear feeder 300.

또한, 리니어 피더(300)에는, 주로 압전식 진동부(303), 진동판(400) 및 추부(302: 카운터 웨이트)로 부터 이루어지는 1대의 가진기가 설치되어 있고, 가진기에 의해 발진된 진동이 리니어 피더(300)의 각 반송로에 가해진다. 따라서, 미소 부품 공급장치(100)는 미소 부품 공급장치(100)의 다음 공정에 미소 부품(800)을 공급할 수가 있다.In addition, the linear feeder 300 is provided with one exciter mainly composed of the piezoelectric vibrator 303, the diaphragm 400, and the weight 302 (counter weight), and the oscillation oscillated by the exciter is a linear feeder. It is applied to each conveyance path of 300. Therefore, the micro component supply apparatus 100 can supply the micro component 800 to the next process of the micro component supply apparatus 100. FIG.

또한, 리니어 피더(300)의 반송로에 있어서 소정의 자세로 정리되지 않았던 미소 부품(800)이 존재하는 경우, 또는 다음 공정에서 문제가 생겨 다음 공정 측에 미소 부품(800)을 반송하지 못하는 경우, 미소 부품(800)이 미소부품 환류반송로(317)로 부터 파츠 피더(200)의 수락로(217)를 거처 보울(bowl) 모양의 반송부(210)의 중앙 저부로 되돌려진다.In addition, when there are micro components 800 which are not arranged in a predetermined posture in the conveyance path of the linear feeder 300, or when a problem occurs in the next process and the micro parts 800 cannot be conveyed to the next process side. The micro part 800 is returned from the micro part reflux transport path 317 to the center bottom of the bowl-shaped transfer part 210 via the acceptance path 217 of the part feeder 200.

다음으로, 도 3은 본 실시의 형태에 있어서 반송되는 미소 부품(800)의 형상의 일 예를 나타내는 모식적 사시도이다.Next, FIG. 3 is a schematic perspective view which shows an example of the shape of the micro component 800 conveyed in this embodiment.

도 3에 나타내듯이, 미소 부품(800)은 길이(L), 높이(H), 폭(B)를 갖는 직방체로 이루어진다. 길이(L), 높이(H) 및 폭(B)의 관계는 H<B<L의 관계를 갖는다. 이처럼 미소 부품(800)은 평판 모양의 미소 부품으로 이루어진다.As shown in FIG. 3, the micro component 800 consists of a rectangular parallelepiped which has length L, height H, and width B. As shown in FIG. The relationship between the length L, the height H, and the width B has a relationship of H <B <L. As such, the micro component 800 is formed of a micro component having a flat plate shape.

또한, 미소 부품 공급장치(100)는 미소 부품(800)의 한쪽의 면에 전극이 형 성된 것인 경우가 많고, 일반적으로 미소 부품(800)의 크기는 길이(L)가 3.2mm~8mm정도이고, 폭(B)이 2.5mm~5.0mm정도이며, 높이(H)가 0.8mm~1.7mm정도이다.In addition, in the micro component supply apparatus 100, electrodes are formed on one surface of the micro component 800, and in general, the size of the micro component 800 is about 3.2 mm to 8 mm in length (L). The width B is about 2.5 mm to 5.0 mm, and the height H is about 0.8 mm to 1.7 mm.

다음으로, 도 4는 제1의 실시의 형태와 관련되는 리니어 피더(300)의 일부를 자른 모식적 측면도이다.Next, FIG. 4 is a schematic side view which cut | disconnected a part of linear feeder 300 which concerns on 1st Embodiment.

리니어 피더(300)는 주로 방진대(베이스부: 301), 추부(카운터 웨이트: 302), 압전식 진동부(303), 제 1 반송부재(직선 모양의 반송부재: 320), 제 2 반송부재(직선 모양의 반송부재: 330), 접속부재(340) 및 제 3 반송부재(환류 반송부재: 350), 연결판(370), 지지 스프링(380), 방진용 판 스프링(390) 및 진동판(400)을 포함한다.The linear feeder 300 mainly comprises a dustproof table (base portion: 301), a weight portion (counter weight: 302), a piezoelectric vibrating portion 303, a first conveying member (linear conveying member: 320), a second conveying member (Linear conveying member: 330), connecting member 340 and the third conveying member (reflux conveying member: 350), connecting plate 370, support spring 380, anti-vibration plate spring 390 and vibration plate ( 400).

도 4에 나타내듯이, 방진대(301)의 윗쪽에는 추부(카운터 웨이트: 302)가 설치되고, 추부의 윗쪽에는 압전식 진동부(303)가 설치된다. 추부는 압전식 진동부(303) 및 제1 반송부재(320) 등의 중량에 따라 형성된 무게로 이루어진다.As shown in FIG. 4, the weight part (counter weight 302) is provided above the dustproof stand 301, and the piezoelectric vibrating part 303 is provided above the weight part. The weight portion is formed of a weight formed according to the weight of the piezoelectric vibrator 303 and the first conveying member 320.

도 4에 나타내듯이, 압전식 진동부(303)는 방진대(301)의 측면으로부터 복수의 방진용 판 스프링(390)에 의해 보관 유지된다. 또한, 압전식 진동부(303)는 추부(카운터 웨이트: 302)의 측면으로부터 복수의 지지 스프링(380)에 의해 보관 유지된다.As shown in FIG. 4, the piezoelectric vibrating part 303 is hold | maintained by the some antivibration leaf spring 390 from the side surface of the vibration stand 301. As shown in FIG. In addition, the piezoelectric vibrator 303 is held by the plurality of support springs 380 from the side of the weight (counter weight 302).

또한, 본 실시의 형태에 있어서의 리니어 피더(300)에 대해서는 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)이 연직 방향에 대해 중복 배설되며, 더욱이, 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)은 연직 방향에 거의 같은 각도의 경사진 상태로 설치된다.In addition, with respect to the linear feeder 300 in this embodiment, the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390 are arrange | positioned overlapping with respect to a perpendicular direction, Furthermore, the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390 is provided in an inclined state at approximately the same angle in the vertical direction.

또한, 도 4의 추부(302) 및 압전식 진동부(303)의 내부에는 진동판(400)이 설치된다. 이 진동판(400)은 연직판 부분을 형성하는 평판 모양의 탄성부재(420), 수평판 부분을 형성하는 평판 모양의 탄성부재(421), 평판 모양의 탄성부재(420) 및 평판 모양의 탄성부재(421)를 결합하는 결합부재(422) 및 압전소자(411)로 이루어진다.In addition, the diaphragm 400 is installed inside the weight portion 302 and the piezoelectric vibrating portion 303 of FIG. 4. The diaphragm 400 includes a flat elastic member 420 forming a vertical plate portion, a flat elastic member 421 forming a horizontal plate portion, a flat elastic member 420 and a flat elastic member. It consists of a coupling member 422 and a piezoelectric element 411 for coupling 421.

평판 모양의 탄성부재(420)은 압전식 진동부(303)에 장착되고, 평판 모양의 탄성부재(421)은 추부(302)에 장착된다. 이 진동판(400)의 상세 구조에 대해서는 나중에 기술 하기로 한다.The flat elastic member 420 is mounted to the piezoelectric vibrator 303, and the flat elastic member 421 is mounted to the weight 302. The detailed structure of the diaphragm 400 will be described later.

압전식 진동부(303)의 상부에는, 제 1 반송부재(320)가 고정되고, 제 1 반송부재(320)의 일단 측에는 제 2 반송부재(330)이 접속되고, 제 1 반송부재(320)의 측면에는 접속부재(340)가 병설된다. 또한, 제 1 반송부재(320)에는 복수의 탄성 판상 부재(360)를 개입시켜 제 3 반송부재(350)가 설치된다. 즉, 평판 모양으로 이루어지는 복수의 탄성 판상 부재(360)의 일단이 볼트에 의해 제 1 반송부재(320)에 고정되고, 타단이 볼트에 의해 제 3 반송부재(350)의 이면에 고정된다.The first conveying member 320 is fixed to the upper portion of the piezoelectric vibrating part 303, the second conveying member 330 is connected to one end of the first conveying member 320, and the first conveying member 320 is provided. Side of the connection member 340 is provided in parallel. In addition, the third conveying member 350 is installed in the first conveying member 320 via a plurality of elastic plate-like members 360. That is, one end of the plurality of elastic plate-like members 360 having a flat plate shape is fixed to the first conveying member 320 by bolts, and the other end is fixed to the back surface of the third conveying member 350 by bolts.

이 상태에서 복수의 탄성 판상 부재(360)는 연직면 보다 수평면에 가까운 각도로 비스듬하게 설치된다.In this state, the plurality of elastic plate-like members 360 are obliquely installed at an angle closer to the horizontal plane than the vertical plane.

이상과 같이, 본 실시의 형태에 있어서 리니어 피더(300)에 대해서는 후술 하는 압전소자(411)가 점착된 진동판(400)에 의해 진동의 여기가 행하여져, 지지 스프링(380)에 의해 보관 유지된 압전식 진동부(303) 및 추부(302)가 역 위상으로 진동하여, 압전식 진동부(303)에 있어서의 진동이 제 1 반송부재(320)에 전하여지 고, 제 1 반송부재(320) 상의 반송로로 미소 부품(800)이 반송된다.As described above, in the present embodiment, the linear feeder 300 is subjected to vibration excitation by the diaphragm 400 to which the piezoelectric element 411 is described later. The vibrating portion 303 and the weight portion 302 vibrate in the reverse phase, and the vibration in the piezoelectric vibrating portion 303 is transmitted to the first conveying member 320 and on the first conveying member 320. The micro component 800 is conveyed to a conveyance path.

다음으로, 도 5는 도 4의 진동판(400)의 일례를 나타내는 모식적 조립도이며, 도 6은 도 5의 진동판(400)의 모식적 측면도이다.Next, FIG. 5 is a schematic assembly diagram showing an example of the diaphragm 400 of FIG. 4, and FIG. 6 is a schematic side view of the diaphragm 400 of FIG. 5.

우선, 도 5에 나타내듯이, 평판 모양의 탄성부재(420)의 앞뒷면의 중앙부에 압전소자(411)가 배설된다. 이 평판 모양의 탄성부재(420) 및 압전소자(411)로 이루어지는 스프링 정수는 반송하는 미소 부품(800)의 중량, 크기 및 제 1 반송부재(320)의 중량 등에 의해 정해지는 임의의 공진 주파수의 조건에 따라 적절하게 선택된다.First, as shown in FIG. 5, the piezoelectric element 411 is arrange | positioned in the center part of the front and back surface of the flat elastic member 420. As shown in FIG. The spring constant composed of the flat plate-shaped elastic member 420 and the piezoelectric element 411 is formed at an arbitrary resonant frequency determined by the weight and size of the micro component 800 to be conveyed and the weight of the first conveying member 320. It is appropriately selected according to the conditions.

구체적으로, 진동판(400)에 대해서는 압전 세라믹스를 분극 처리하여 평판 모양의 탄성부재(420)의 한쪽 면(표면)에 플러스 극성의 분극 전위를 갖도록 한 압전소자(411)를 붙이고, 평판 모양의 탄성부재(420)의 한쪽의 면(이면)에 마이너스 극성의 분극 전위를 갖도록 한 압전소자(411)를 붙임으로써, 평판 모양의 탄성부재(420)의 앞뒷면에 복수의 압전소자(411)로 이루어지는 바이모르후(bimorph)형 압전소자의 구조가 형성된다.Specifically, for the diaphragm 400, piezoelectric ceramics are polarized to attach a piezoelectric element 411 having a polarization potential of positive polarity to one surface (surface) of the flat elastic member 420, and flat elastic By attaching a piezoelectric element 411 having a polarization potential of negative polarity to one surface (rear surface) of the member 420, a plurality of piezoelectric elements 411 are formed on the front and rear surfaces of the flat elastic member 420. The structure of the bimorph type piezoelectric element is formed.

그리고, 이 복수의 압전소자(411)에 전하를 부여(인가)함으로써 진동판(400)에 진동이 여기되어 지지 스프링(380)에 의해 보관 유지된 압전식 진동부(303)로 추부(302)가 서로 역 방향으로 진동하게 된다.Then, by applying (applying) electric charges to the plurality of piezoelectric elements 411, vibration is excited on the diaphragm 400, and the weight portion 302 is transferred to the piezoelectric vibrating portion 303 held by the support spring 380. They vibrate in opposite directions.

다음으로, 도 5에 나타내듯이, 진동판(400)에 있어서는 압전소자(411)가 점착된 평판 모양의 탄성부재(420)가 연직판 부분으로서 설치되고, 평판 모양의 탄성부재(421)가 수평판 부분으로서 설치되어 있다.Next, as shown in FIG. 5, in the diaphragm 400, the flat plate-shaped elastic member 420 to which the piezoelectric element 411 is stuck is provided as a vertical plate part, and the flat plate-shaped elastic member 421 is a horizontal plate. It is installed as a part.

또한, 연직판 부분에 포함되는 진동판(400)의 결합부재(422)는 긴 방향을 갖는 대략 사각기둥의 형상으로 이루어진다. 상기 결합부재(422)는 긴 방향의 변을 한 변으로 하는 인접하는 두면(423, 424)을 가지며, 이 두면에 의해 형성되는 각도가 90도가 되도록 설치되어 있다. 또한, 이 두면 423 및 424에는 나사 고정이 가능하도록 구멍(도시하지 않음)이 설치되어 있다.In addition, the coupling member 422 of the diaphragm 400 included in the vertical plate portion is formed in the shape of a substantially rectangular pillar having a long direction. The coupling member 422 has two adjacent surfaces 423 and 424 having one side in a long direction, and the coupling member 422 is provided such that the angle formed by these two surfaces is 90 degrees. In addition, these two surfaces 423 and 424 are provided with holes (not shown) to enable screwing.

평판 모양의 탄성부재(420)에는 앞뒷면의 거의 중앙부분에 압전소자(411)가 점착되어 있고, 이 압전소자(411)가 점착되어 있지 않은 부분에 관통공(430, 440)이 설치된다. 그리고 평판 모양의 탄성부재(421)에는 관통공(431, 450)이 설치된다.The piezoelectric element 411 is attached to the flat elastic member 420 at almost the center of the front and rear surfaces, and through holes 430 and 440 are provided at the portion where the piezoelectric element 411 is not attached. The through-holes 431 and 450 are installed in the flat elastic member 421.

볼트 A가 평판 모양의 탄성부재(420)의 아래부분에 설치된 관통공(430)을 통하여 결합부재(422)의 면(423)에 설치된 구멍에 체결되고, 볼트 B가 평판 모양의 탄성부재(421)의 관통공(431)을 통해 결합부재(422)의 면(424)에 설치된 구멍에 체결된다.The bolt A is fastened to the hole provided in the surface 423 of the coupling member 422 through the through hole 430 provided in the lower portion of the flat elastic member 420, the bolt B is a flat elastic member 421 It is fastened to a hole installed in the surface 424 of the coupling member 422 through the through hole 431 of the).

이처럼 평판 모양의 탄성부재(420) 및 평판 모양의 탄성부재(421)이 약 90도의 각도로 결합부재(422)에 볼트 A, B에 의해 고정되어 도 6에 나타내는 것처럼 대략 L자형 모양의 진동판(400)이 형성된다.As described above, the plate-shaped elastic member 420 and the plate-shaped elastic member 421 are fixed to the coupling member 422 by bolts A and B at an angle of about 90 degrees, so that the diaphragm having a substantially L shape as shown in FIG. 400) is formed.

이어서, 도 4 및 도 6에 나타내듯이 진동판(400)의 평판 모양의 탄성부재(421)은 볼트 C에 의해 추부(302)에 체결되고, 진동판(400)의 평판 모양의 탄성부재(420)는 압전식 진동부(303)에 장착된다. 따라서 진동판(400)이 리니어 피더(300)에 내장되게 된다.Subsequently, as shown in FIGS. 4 and 6, the flat elastic member 421 of the diaphragm 400 is fastened to the weight 302 by bolt C, and the flat elastic member 420 of the diaphragm 400 is The piezoelectric vibrator 303 is mounted. Therefore, the diaphragm 400 is embedded in the linear feeder 300.

또한 본 실시의 형태에 있어서는, 평판 모양의 탄성부재(420)는 두께 L1에서 강성치가 Nm1이며, 평판 모양의 탄성부재(421)는 두께 L2에서 강성치가 Nm2이다. 이와 같이, 평판 모양의 탄성부재(420, 421)가 각각 별도의 부재로부터 형성되므로, 서로의 부재에 의존하는 일 없이 두께 및 강성치를 자유롭게 선택할 수가 있다.In the present embodiment, the plate-shaped elastic member 420 has a stiffness Nm1 at a thickness L1, and the plate-shaped elastic member 421 has a stiffness Nm2 at a thickness L2. In this way, since the flat elastic members 420 and 421 are formed from separate members, the thickness and the rigidity can be freely selected without depending on the members.

이상과 같이, 본 실시의 형태에 있어서의 부품 공급장치에 대해서는 진동판(400)의 수평판 부분의 평판 모양의 탄성부재(421)과 연직판 부분의 평판 모양의 탄성부재(420)이 서로 두께가 다르므로, 진동판(400)의 수평판 부분의 평판 모양의 탄성부재(421)과 연직판 부분의 평판 모양의 탄성부재(420)과의 강성 Nm1, Nm2를 서로 다른 값으로 할 수 있다.As described above, in the component supply apparatus according to the present embodiment, the plate-shaped elastic member 421 of the horizontal plate portion of the diaphragm 400 and the plate-shaped elastic member 420 of the vertical plate portion have a mutual thickness. Since different, the rigidity Nm1 and Nm2 of the flat elastic member 421 of the horizontal plate part of the diaphragm 400, and the flat elastic member 420 of the vertical plate part can be made into a different value.

또한, 진동판(400)의 수평판 부분과 연직판 부분과의 적어도 접합부에 있어서 두께를 두껍게 할 수가 있다. 따라서, 강성이 필요한 접합부분 등의 부분의 두께를 증가시키거나, 강성을 작게 해야 할 부분의 두께를 삭감 함 으로써 최적의 강성과 최적의 진동 주파수를 갖는 진동판(400)을 포함한 부품 공급장치(100)를 실현할 수가 있다.Moreover, the thickness can be thickened at least in the junction part of the horizontal board part and the vertical board part of the diaphragm 400. FIG. Therefore, the component supply apparatus 100 including the diaphragm 400 having the optimum rigidity and the optimal vibration frequency by increasing the thickness of the portion such as the joint portion requiring rigidity or by reducing the thickness of the portion to be reduced in rigidity. ) Can be realized.

특히, 제1의 평판 모양의 탄성부재(420)와 제2의 평판 모양의 탄성부재(421)를 결합부재(422)에 의해 결합시키므로, 단일의 평판 모양의 탄성부재를 굴곡 시켜 수평판 부분 및 연직판 부분을 형성하는 경우와 비교하여 직각 정밀도를 큰폭으로 높일 수가 있다.In particular, since the first flat plate-like elastic member 420 and the second flat plate-shaped elastic member 421 are coupled by the coupling member 422, the single flat plate-shaped elastic member is bent and the horizontal plate portion and Compared with the case where a vertical plate part is formed, a right angle precision can be improved significantly.

그 결과, 진동판(400)을 추부(302) 및 압전식 진동부(303)에 설치 할 때의 설치 위치의 차이를 방지할 수가 있으므로 제조 공정수 및 정비 공정수를 삭감할 수가 있다.As a result, since the difference in the installation position at the time of installing the diaphragm 400 in the weight part 302 and the piezoelectric vibrating part 303 can be prevented, manufacturing process number and maintenance process number can be reduced.

또한, 지지 스프링(380)에 의해 제 1 반송부재(320) 및 압전식 진동부(303)의 하중을 지지시킬 수가 있으므로 진동판(400) 및 압전소자(411)의 내구성을 향상 시킬 수 있음과 동시에 압전소자(411)가 점착된 진동판(400)으로부터 적절하게 진동을 여기시킬 수가 있다.In addition, since the load of the first conveying member 320 and the piezoelectric vibrator 303 can be supported by the support spring 380, the durability of the diaphragm 400 and the piezoelectric element 411 can be improved. The vibration can be appropriately excited from the diaphragm 400 to which the piezoelectric element 411 is attached.

더욱이 제1의 평판 모양의 탄성부재(420)의 두께와, 제2의 평판 모양의 탄성부재(421)의 두께를 자유롭게 조절할 수가 있다. 그 결과, 진동판의 수평면과 연직면과의 강성을 다른 값으로 할 수가 있다.Further, the thickness of the first flat elastic member 420 and the thickness of the second flat elastic member 421 can be freely adjusted. As a result, the rigidity between the horizontal plane and the vertical plane of the diaphragm can be made different.

또한, 이러한 부재 사이에 들어갈 수 있는 접합부재(422)의 강성이 추가되므로, 강성이 필요한 면의 두께를 증가시키거나, 강성을 작게 해야 할 부분의 두께를 삭감함 으로써 최적의 강성과 최적의 진동 주파수를 갖는 진동판을 포함한 부품 공급장치를 실현할 수가 있다.In addition, since the stiffness of the joining member 422 that can enter between these members is added, by increasing the thickness of the surface required for rigidity, or by reducing the thickness of the portion to be reduced in rigidity, the optimum rigidity and optimal vibration A component supply apparatus including a diaphragm having a frequency can be realized.

다음으로, 도 7은, 도 4에 나타내는 본 실시의 형태와 관련되는 리니어 피더(300)의 저배화의 일례를 설명하기 위한 모식적 측면도이다. 도 7에 나타내는 리니어 피더(300)는 도 4의 리니어 피더와 동일한 것이다.Next, FIG. 7 is a schematic side view for demonstrating an example of the low magnification of the linear feeder 300 which concerns on this embodiment shown in FIG. The linear feeder 300 shown in FIG. 7 is the same as the linear feeder of FIG.

다음으로, 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 구조에 대해 설명하기로 한다.Next, the structures of the support spring 380 and the anti-vibration leaf spring 390 will be described.

도 7에 나타내듯이, 본 실시의 형태에 있어서의 리니어 피더(300)에 대해서는 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)이 중복 배설된다.As shown in FIG. 7, the support spring 380 and the vibration damper leaf spring 390 are overlapped with the linear feeder 300 in this embodiment.

다음으로, 도 8은 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390) 구조의 일례를 나타내는 모식도이다. 도 8에 나타내듯이, 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)은 각각 평판 모양의 탄성부재로 이루어진다.Next, FIG. 8 is a schematic diagram which shows an example of the structure of the support spring 380 and the vibration damping leaf spring 390. As shown in FIG. As shown in Fig. 8, the support spring 380 and the vibration damping leaf spring 390 are each made of an elastic member having a flat plate shape.

지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 사이에는 평판 모양의 스페이서(391) 및 2개의 링 상태의 스페이서(spacer: 392)가 설치된다.Between the support spring 380 and the anti-vibration leaf spring 390, a plate-shaped spacer 391 and two ring spacers 392 are provided.

도 8에 나타내듯이, 지지 스프링(380)의 일단에 관통구멍(380a)이 2개 설치되고, 타단에 관통구멍(380b)이 2개 설치된다. 또한, 방진용 판 스프링(390)의 일단에 관통구멍(390a)이 2개 설치되고, 중앙부 근방에 관통구멍(390b)이 2개 설치되며, 타단에 관통구멍(390c)이 2개 설치되어 있다.As shown in FIG. 8, two through-holes 380a are provided in one end of the support spring 380, and two through-holes 380b are provided in the other end. In addition, two through-holes 390a are provided at one end of the vibration-proof leaf spring 390, two through-holes 390b are provided near the center portion, and two through-holes 390c are provided at the other end. .

볼트(385)는 스프링 워셔(spring washer) 및 평좌금(plain washer)을 구비하고 더 더욱 지지 스프링(380)의 관통구멍(380a), 판 모양의 스페이서(391)의 관통구멍(391a) 및 방진용 판 스프링(390)의 관통구멍(390a)을 관통하여 압전식 진동부(303)에 고정된다.The bolt 385 is provided with a spring washer and a plain washer, and moreover, the through hole 380a of the support spring 380, the through hole 391a of the plate-shaped spacer 391, and dustproofing. The through plate 390a of the plate spring 390 is fixed to the piezoelectric vibrating unit 303.

또한, 볼트(386)는 스프링 워셔 및 평좌금을 구비하고 더 더욱 지지 스프링(380)의 관통구멍(380b), 링 모양의 스페이서(392) 및 방진용 판 스프링(390)의 관통구멍(390b)을 관통하여 추부(302)에 고정된다.In addition, the bolt 386 is provided with a spring washer and a flat seat and further includes a through hole 380b of the support spring 380, a ring-shaped spacer 392 and a through hole 390b of the anti-vibration leaf spring 390. It penetrates and is fixed to the weight 302.

더욱이 볼트(395)는 스프링 워셔 및 평좌금을 구비하고, 더욱이 관통구멍(390c)을 관통하여 베이스부(301)에 고정된다.Furthermore, the bolt 395 has a spring washer and a flat seat, and is further fixed to the base portion 301 through the through hole 390c.

도 9는 도 8에 나타내는 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 구조를 설명하기 위한 모식적 단면도이다.FIG. 9: is a schematic cross section for demonstrating the structure of the support spring 380 and the vibration damper leaf spring 390 shown in FIG.

도8 및 도 9에 나타내듯이, 방진용 판 스프링(390)의 관통구멍(390b)의 직경은 다른 관통구멍(380a, 380b, 390a, 390c)보다 크다. 즉, 방진용 판 스프링(390)의 관통구멍(390b)의 직경은 볼트(386)의 헤드부 보다 크게 형성된다. 따라서, 지지 스프링(380)이 방진용 판 스프링(390)의 움직임에 간섭되는 일 없이, 압전식 진동부(303)의 진동을 추부(302)측에 전달 할 수가 있다.As shown in Figs. 8 and 9, the diameter of the through hole 390b of the antivibration leaf spring 390 is larger than the other through holes 380a, 380b, 390a and 390c. That is, the diameter of the through hole 390b of the antivibration leaf spring 390 is larger than the head of the bolt 386. Therefore, the vibration of the piezoelectric vibrating portion 303 can be transmitted to the weight portion 302 side without the support spring 380 being interfered with the movement of the antivibration leaf spring 390.

다음으로, 본 발명의 실시의 형태에 있어서의 리니어 피더(300)의 효과에 대하여 설명하기로 한다.Next, the effect of the linear feeder 300 in embodiment of this invention is demonstrated.

도 10 및 도 11은 리니어 피더(300)의 효과를 설명하기 위한 것이다. 도 10(a)는 리니어 피더(300)의 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 구조를 나타내며, 도 10(b)는 종래의 리니어 피더(도 18 참조)의 지지 스프링(980) 및 방진용 판 스프링(990)의 구조를 나타낸다.10 and 11 illustrate the effect of the linear feeder 300. FIG. 10 (a) shows the structure of the support spring 380 of the linear feeder 300 and the antivibration leaf spring 390. FIG. 10 (b) shows the support spring 980 of the conventional linear feeder (see FIG. 18). And a vibration damping leaf spring 990 is shown.

또한, 도 11(a)는 본 발명과 관련되는 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 초기 상태(첨부 부호 Z) 및 최대 진폭 상태(첨부 부호 없음)를 나타내고, 도 11(b)는 종래의 지지 스프링(980) 및 방진용 판 스프링(990)의 초기 상태(첨부 부호 Z) 및 최대 진폭 상태(첨부 부호 없음)를 나타낸다.11 (a) shows the initial state (notation Z) and the maximum amplitude state (without reference numeral) of the support spring 380 and the anti-vibration leaf spring 390 according to the present invention, and FIG. ) Denotes the initial state (attached sign Z) and the maximum amplitude state (without reference sign) of the conventional support spring 980 and the anti-vibration leaf spring 990.

도 10(a)에 나타내는 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)은 리니어 피더(300)의 구동시에 같은 모드로 변형한다. 한편, 도 10(b)에 나타내는 지지 스프링(980) 및 방진용 판 스프링(990)은 리니어 피더의 구동시에 서로 다른 모드(도에서 X1 및 X2)로 변형한다. 이하, 모드에 대해 설명하기로 한다.The support spring 380 and the vibration damper leaf spring 390 shown in FIG. 10A deform in the same mode when the linear feeder 300 is driven. On the other hand, the support spring 980 and the vibration damper leaf spring 990 shown in FIG. 10 (b) deform into different modes (X1 and X2 in the figure) when the linear feeder is driven. Hereinafter, the mode will be described.

여기서, 도 11(a)에 나타내듯이, 초기 상태의 지지 스프링(380Z) 및 방진용 판 스프링(390Z)은 서로 중복된 상태로 설치되며, 지지 스프링(380Z)의 단부와 방진용 판 스프링(390Z)의 단부와의 거리는 거리 L1이다.Here, as shown in Fig. 11 (a), the support spring 380Z and the anti-vibration leaf spring 390Z in the initial state are installed in a state where they overlap each other, and the ends of the support spring 380Z and the anti-vibration leaf spring 390Z. The distance to the end of the c) is the distance L1.

또한, 최대 진폭 상태에 대해 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)은 서로 움직임(모드)이 일치하며, 지지 스프링(380)의 단부 및 방진용 판 스프링(390)의 단부의 거리 L2는, 거리 L1과 거의 같고, 거리의 변화율 L2/L1가 무한정 1에 가까운 값을 나타낸다.Further, the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390 coincide with each other (mode) for the maximum amplitude state, and the distance L2 between the end of the support spring 380 and the end of the antivibration leaf spring 390. Is almost equal to the distance L1, and represents a value in which the rate of change L2 / L1 of the distance is close to 1 infinity.

한편, 도 10(b) 및 도 11(b)에 나타내듯이, 초기 상태의 지지 스프링(980Z) 및 방진용 판 스프링(990Z)은 일직선상에 배치되고 서로의 간격은 거리 L3이다. 또한, 최대 진폭 상태에 잇어서 지지 스프링(980) 및 방진용 판 스프링(990)은 서로 움직임(모드)이 역이 되어, 간격이 거리 L4가 된다. 이 거리 L3와 거리 L4는, 거리 L3<거리 L4의 관계로 거리의 변화율 L4/L3가 1보다 큰, 예를 들면 도 11(b)에 대해서는 변화율이 6에 가까운 값을 나타낸다.On the other hand, as shown in Figs. 10 (b) and 11 (b), the support spring 980Z and the vibration damping leaf spring 990Z in the initial state are arranged in a straight line and the distance between each other is the distance L3. Further, in the maximum amplitude state, the support spring 980 and the antivibration leaf spring 990 move in reverse with each other (mode), and the distance becomes the distance L4. This distance L3 and the distance L4 show a value where the rate of change is close to 6, for example in FIG. 11 (b) where the rate of change L4 / L3 of the distance is greater than 1 in relation to the distance L3 <distance L4.

이상과 같이, 도 10(b) 및 도 11(b)에 나타내는 종래의 지지 스프링(980) 및 방진용 판 스프링(990)은 진동 할 때에 서로의 간격이 거리 L3 상태로부터 거리 L4로 확대되기 때문에, 서로 끌어 당기는 상태가 되어 진동에 혼란이 생기게 된다.As described above, the conventional support spring 980 and the vibration damping leaf spring 990 shown in Figs. 10 (b) and 11 (b) are spaced apart from each other from the distance L3 state to the distance L4 when they vibrate. At the same time, they are attracted to each other and cause confusion in vibration.

그 결과, 지지 스프링(980)과 방진용 판 스프링(990)은, 움직임(모드)이 일치되지 않고 제 각각 움직이게 되어 방진용 판 스프링(990)에 의한 방진효과를 발휘할 수 없게 된다.As a result, the support spring 980 and the anti-vibration leaf spring 990 do not coincide with each other (movement) and are moved respectively, so that the anti-vibration effect by the anti-vibration leaf spring 990 cannot be exhibited.

한편, 도 10(a) 또는 도 11(a)에 나타내는 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)은 같은 움직임(모드)으로 진동하고, 진동할 때에 서로의 간격이, 거리 L1 상태로부터 거리 L1과 거의 같은 거리 L2로 이행하기 때문에 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)에 있어서 진동에 혼란이 생기지 않는다.On the other hand, the support spring 380 and the vibration damper leaf spring 390 shown in FIG. Since the shift to the distance L2 which is almost equal to the distance L1, the vibration does not occur in the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390.

그 결과, 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)은, 움직임(모드)이 일치되어 방진용 판 스프링(390)에 의해 방진효과가 발휘되기 쉬워진다.As a result, the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390 coincide with the movement (mode), and the antivibration effect is easily exhibited by the antivibration leaf spring 390.

이상으로부터, 본 실시의 형태와 관련되는 리니어 피더(300)가 도10(b)의 구조를 갖는 리니어 피더와 비교해서 방진효율이 향상되는 것을 알 수 있다.As mentioned above, it turns out that the linear feeder 300 which concerns on this embodiment improves dustproofing efficiency compared with the linear feeder which has a structure of FIG. 10 (b).

또한, 도 10(a)에 나타내듯이, 지지 스프링(380)이 방진용 판 스프링(390)의 긴 방향의 일부와 중복되어 배설되기 때문에 연직 방향의 길이를 줄일 수가 있다. 따라서, 도 18에 나타내는 리니어 피더의 전고 H10과 비교해서, 도 7의 리니어 피더(300)의 전고 H1은 낮아진다.In addition, as shown in FIG. 10 (a), since the support spring 380 is disposed to overlap with a part of the long direction of the antivibration leaf spring 390, the length in the vertical direction can be reduced. Therefore, the lower the overall height H1 of the linear feeder 300, Fig. 7, as compared to the height H 10 of the linear feeder 18 shown in Fig.

또한, 도 18의 지지 스프링(980)의 지점의 높이 H20와 비교해, 도 7의 지지 스프링(380)의 지점의 높이 H2는 낮아진다.Moreover, compared with the height H20 of the point of the support spring 980 of FIG. 18, the height H2 of the point of the support spring 380 of FIG. 7 becomes low.

더욱이, 도 18의 지지 스프링(980)의 지점의 높이 H20에 지지 스프링(980) 위의 질량의 중심(W)까지의 거리를 더한 거리 L30+H20와 비교해, 도 7에 나타내는 지지 스프링(380)의 지점의 높이 H2에 지지 스프링(380)으로 지지를 받는 질량의 중심(W)까지의 거리를 더한 거리 L3+H2도 짧아진다.Furthermore, compared with the distance L30 + H20 which added the height H20 of the point of the support spring 980 of FIG. 18 to the center W of the mass on the support spring 980, the point of the support spring 380 shown in FIG. The distance L3 + H2 is also shortened by adding the distance to the center W of the mass supported by the support spring 380 to the height H2 of .

이상과 같이, 본원 발명과 관련되는 리니어 피더(300)에서는 반송 부품의 불안정 및 기울기 반송, 체류, 또는 리니어 피더(300)의 구동 불안정성, 좌우 흔들림 등을 방지할 수가 있어 안정된 부품의 반송을 실시할 수가 있다.As described above, in the linear feeder 300 according to the present invention, it is possible to prevent the instability and tilt conveyance of the conveyed parts, the instability of the linear feeder 300, or the driving instability of the linear feeder 300, the shaking of the left and right, and the like. There is a number.

(다른 예)(Another example)

다음으로, 도 12는 도 5 및 도 6의 진동판(400)의 다른 예를 나타내는 측면도이다. 도 12에 나타내는 진동판(400a)이 도 5 및 도 6에 나타내는 진동판(400)과 아래와 같은 점에서 다르다.Next, FIG. 12 is a side view showing another example of the diaphragm 400 of FIGS. 5 and 6. The diaphragm 400a shown in FIG. 12 differs from the diaphragm 400 shown in FIG. 5 and FIG. 6 in the following points.

도 12에 나타내는 진동판(400a)은, 도 5 및 도 6의 진동판(400)과 달리 평판 모양의 탄성부재(420a) 및 압전소자(411)로 이루어진다. 도 12에 나타내는 평판 모양의 탄성부재(420a)는 일부 영역의 두께를 두께 L1으로부터 두께 L2까지 절삭 가공한 것으로, 다른 두께를 갖는 평판 모양의 탄성부재로 이루어진다.Unlike the diaphragm 400 of FIGS. 5 and 6, the diaphragm 400a illustrated in FIG. 12 includes a flat plate-like elastic member 420a and a piezoelectric element 411. The flat elastic member 420a shown in FIG. 12 cuts the thickness of a some area from thickness L1 to thickness L2, and consists of a flat elastic member which has a different thickness.

이 다른 두께를 갖는 평판 모양의 탄성부재(420a)는 두께 L1의 위치에서 약 90도 굴곡 시킴으로서 형성된다. 도 12에 나타내는 평판 모양의 탄성부재(420a)에 대해서는 두께 L1의 영역이 연직판 부분으로 설치되고, 두께 L2의 영역이 수평판 부분으로 설치된다.The flat elastic member 420a having this different thickness is formed by bending about 90 degrees at the position of thickness L1. With respect to the flat elastic member 420a shown in FIG. 12, an area of thickness L1 is provided as a vertical plate portion, and an area of thickness L2 is provided as a horizontal plate portion.

또한, 평판 모양의 탄성부재(420a)의 연직면의 앞뒷면에는 압전소자(411)가 점착된다. 그리고, 압전소자(411)에 전기적 신호가 인가됨 으로써 평판 모양의 탄성부재(420a)에 응력이 발생한다.In addition, the piezoelectric element 411 is adhered to the front and back of the vertical surface of the flat elastic member 420a. As the electrical signal is applied to the piezoelectric element 411, stress is generated in the flat elastic member 420a.

여기서, 본 실시의 형태에 있어서는 강성이 높은 두께 L1의 영역에 있어서 평판 모양의 탄성부재(420a)를 90도 굴곡 시킴으로써 휨 부분의 강성을 높여 진동판(400a)에 대해 안정된 진동을 여기시킬 수가 있다.Here, in this embodiment, the flat plate-shaped elastic member 420a is bent by 90 degrees in the region of high rigidity thickness L1 to increase the rigidity of the bent portion and to excite the stable vibration to the diaphragm 400a.

이 경우, 가공을 행하거나 또는, 부재를 적층시킴 으로써 진동판(400a)의 수평판 부분과 연직판 부분과의 강성 및 두께를 다른 값으로 할 수 있다. 이에 따라, 강성이 필요한 면의 두께를 증가시키거나, 강성을 작게 해야 할 부분의 두께를 얇게 함 으로써 최적의 강성과 최적의 진동 주파수를 갖는 진동판(400a)를 포함한 부품 공급장치(100)를 실현할 수가 있다.In this case, the stiffness and thickness of the horizontal plate portion and the vertical plate portion of the diaphragm 400a can be set to different values by processing or laminating members. Accordingly, the component supply apparatus 100 including the diaphragm 400a having the optimum rigidity and the optimum vibration frequency can be realized by increasing the thickness of the surface on which rigidity is required or by reducing the thickness of the portion to be reduced in rigidity. There is a number.

(또 다른 예)(Another example)

다음의 도 13은 도 5의 진동판(400) 및 도 12의 진동판(400a)의 또 다른 예를 나타내는 측면도이다.13 is a side view illustrating still another example of the diaphragm 400 of FIG. 5 and the diaphragm 400a of FIG. 12.

도 13에 나타내는 진동판(400b)이 도 5, 도 6 및 도 12에 나타내는 진동판(400, 400a)와 다른 점은 다음과 같다.The diaphragm 400b shown in FIG. 13 differs from the diaphragm 400, 400a shown in FIG. 5, FIG. 6, and FIG. 12 as follows.

도 13에 나타내는 진동판(400b)는 평판 모양의 탄성부재(420b), 평판 모양의 탄성부재(421b), 압전소자(411) 및 볼트(D)로 이루어진다.The diaphragm 400b shown in FIG. 13 consists of a flat elastic member 420b, a flat elastic member 421b, a piezoelectric element 411, and a bolt D. As shown in FIG.

평판 모양의 탄성부재(420b)는 두께 L1으로 이루어지고, 평판 모양의 탄성부재(421b)는 두께 L2로 이루어진다. 또한 본 실시의 형태에 있어서 평판 모양의 탄성부재(420b, 421b)의 두께를 서로 다르게 하였지만, 이것에 한정되지 않고 동일한 두께로 이루어지는 것으로 형성하여도 좋다.The flat elastic member 420b is made of thickness L1, and the flat elastic member 421b is made of thickness L2. In addition, in this embodiment, although the thickness of the flat elastic members 420b and 421b differed, it is not limited to this, You may form as what consists of the same thickness.

평판 모양의 탄성부재(420b)는 부재의 선단을 약 90도 굴곡 시켜 형성된다. 또한, 평판 모양의 탄성부재(421b)가 해당 평판 모양의 탄성부재(420b)의 굴곡 된 방향과 180도 역 방향으로 연재 되도록, 굴곡 된 평판 모양의 탄성부재(420b)의 선단 면을 따라 설치된다.The flat elastic member 420b is formed by bending the tip of the member about 90 degrees. In addition, the plate-shaped elastic member 421b is installed along the distal end surface of the curved plate-shaped elastic member 420b such that the plate-shaped elastic member 420b extends in the reverse direction of the plate-shaped elastic member 420b by 180 degrees. .

그리고, 도 13에 나타내듯이 해당 굴곡된 평판 모양의 탄성부재(420b)의 선단 면과 평판 모양의 탄성부재(421b)의 단면이 볼트(D)에 의해 체결된다.And as shown in FIG. 13, the front end surface of this curved flat elastic member 420b and the cross section of the flat elastic member 421b are fastened by the bolt D. As shown in FIG.

이와 같이, 도 13의 진동판(400b)에 있어서는, 두께 L1의 연직판 부분이 형성되고, 두께 L2의 수평판 부분이 형성되어 두께 L1+L2의 연직판 부분 및 수평판 부분의 결합부가 형성된다. 그 결과, 결합부에 있어서 높은 강성을 갖는 진동자를 형성할 수가 있다. 더욱이, 이 결합부는 수평판 부분에 포함된다.Thus, in the diaphragm 400b of FIG. 13, the vertical plate part of thickness L1 is formed, the horizontal plate part of thickness L2 is formed, and the joining part of the vertical plate part of thickness L1 + L2 and the horizontal plate part is formed. As a result, a vibrator having high rigidity can be formed in the engaging portion. Moreover, this coupling portion is included in the horizontal plate portion.

또한, 평판 모양의 탄성부재(420b)의 앞뒷면에는 압전소자(411)가 점착된다. 그리고, 압전소자(411)에 전기적 신호가 인가됨에 따라 평판 모양의 탄성부재(420b)에 응력이 발생한다.In addition, the piezoelectric element 411 is adhered to the front and rear surfaces of the flat elastic member 420b. As the electrical signal is applied to the piezoelectric element 411, stress is generated in the flat elastic member 420b.

여기서, 본 실시의 형태에 있어서는 강성이 높은 두께 L1+L2의 평판 모양의 탄성부재(420b, 421b)에 대해 90도 굴곡 시킴으로서 휨 부분의 강성을 높일 수가 있어, 진동판(400b)에 대해 안정된 진동을 여기시킬 수가 있다.Here, in the present embodiment, the rigidity of the bent portion can be increased by bending 90 degrees with respect to the plate-shaped elastic members 420b and 421b having a high rigidity thickness L1 + L2, thereby exciting a stable vibration with respect to the diaphragm 400b. There is a number.

이 경우, 부재를 적층시켜서, 진동판(400b)의 수평판 부분과 연직판 부분과의 강성 및 두께를 다른 값으로 할 수 있다. 이처럼, 강성이 필요한 면의 두께를 증가시키거나, 강성을 작게 해야 할 부분의 두께를 얇게 함 으로써 최적의 강성과 최적의 진동 주파수를 갖는 진동판(400b)을 포함한 부품 공급장치(100)를 실현할 수가 있다.In this case, by stacking members, the rigidity and thickness of the horizontal plate portion and the vertical plate portion of the diaphragm 400b can be set to different values. As such, the component supply apparatus 100 including the diaphragm 400b having the optimum rigidity and the optimal vibration frequency can be realized by increasing the thickness of the surface on which rigidity is required or by reducing the thickness of the portion to be reduced in rigidity. have.

(다른 예)(Another example)

다음으로, 도 14는 도 7의 리니어 피더(300)의 다른 예를 나타내는 모식적 측면도이다.Next, FIG. 14 is a schematic side view which shows the other example of the linear feeder 300 of FIG.

도 14에 나타내는 리니어 피더(300a)가 도 7에 나타내는 리니어 피더(300)와 다른 점은 다음과 같다.The difference between the linear feeder 300a shown in FIG. 14 and the linear feeder 300 shown in FIG. 7 is as follows.

도 14에 나타내듯이, 리니어 피더(300a)에 있어서는 도 7의 지지 스프링(380)의 배치 장소에 방진용 판 스프링(390)이 설치되고, 도 7의 방진용 판 스프링(390)의 배치 장소에 지지 스프링(380)이 설치된다.As shown in FIG. 14, in the linear feeder 300a, the antivibration leaf spring 390 is provided in the arrangement place of the support spring 380 of FIG. 7, and the arrangement place of the antivibration leaf spring 390 of FIG. A support spring 380 is installed.

즉, 방진용 판 스프링(390)이 지지 스프링(380)과 압전 구동부(302)와의 사이에 설치되어 지지 스프링(380)이 방진용 판 스프링(390) 및 리니어 피더(300)의 외측에 설치된다. 이하, 그 배치에 대하여 상세하게 설명한다.That is, the anti-vibration leaf spring 390 is installed between the support spring 380 and the piezoelectric drive part 302 so that the support spring 380 is provided outside the antivibration leaf spring 390 and the linear feeder 300. . Hereinafter, the arrangement will be described in detail.

도 15는 도 14의 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390) 구조의 일례를 나타내는 모식도이다.FIG. 15: is a schematic diagram which shows an example of the structure of the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390 of FIG.

도 15에 나타내듯이, 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)은 각각 평판 모양의 탄성부재로 이루어진다. 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 사이에는 평판 모양의 스페이서(spacer: 391)가 설치된다.As shown in Fig. 15, the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390 are each made of an elastic member having a flat plate shape. A flat spacer 391 is installed between the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390.

도 15에 나타내듯이, 지지 스프링(380)의 일단 측에 관통구멍(380a)이 2개 설치되고 타단 측에 관통구멍(380b)이 2개 설치된다. 또한, 방진용 판 스프링(390)의 일단 측에 관통구멍(390a)이 2개 설치되고, 중앙부 근방에 관통구멍(390d)이 2개 설치되며, 타단 측에 관통구멍(390c)이 2개 설치되어 있다. 여기서, 관통구멍(390d)은 볼트(386a)의 헤드부 보다 큰 구경을 갖는다.As shown in FIG. 15, two through-holes 380a are provided in the one end side of the support spring 380, and two through-holes 380b are provided in the other end side. In addition, two through-holes 390a are provided at one end side of the anti-vibration leaf spring 390, two through-holes 390d are provided near the center portion, and two through-holes 390c are provided at the other end side. It is. Here, the through hole 390d has a larger diameter than the head of the bolt 386a.

볼트(385)는, 스프링 워셔(spring washer) 및 평좌금(plain washer)을 구비하고, 더욱이 방진용 판 스프링(390)의 관통구멍(390a), 평판 모양의 스페이서(spacer:391)의 관통구멍(391a) 및 지지 스프링(380)의 관통구멍(380a)을 관통하여, 압전식 진동부(303)에 고정된다.The bolt 385 includes a spring washer and a plain washer, and furthermore, the through hole 390a of the antivibration leaf spring 390 and the through hole of a flat spacer 391. It penetrates the through hole 380a of the 391a and the support spring 380, and is fixed to the piezoelectric vibrating part 303. As shown in FIG.

또한, 볼트(386a)는 스프링 워셔 및 평좌금을 구비하고, 더욱이 지지 스프링(380)의 관통구멍(380b)을 개입시켜 추부(302)에 고정된다.In addition, the bolt 386a is provided with a spring washer and a flat seat, and is further fixed to the weight 302 via the through hole 380b of the support spring 380.

또한, 볼트(395a)는 스프링 워셔 및 평좌금을 구비하고, 더욱이 관통구멍(390c)을 관통하여 베이스부(301)에 고정된다.In addition, the bolt 395a includes a spring washer and a flat seat, and is further fixed to the base portion 301 through the through hole 390c.

도 16은 도 14의 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 구조의 일례를 나타내는 모식도이다.FIG. 16: is a schematic diagram which shows an example of the structure of the support spring 380 and the antivibration leaf spring 390 of FIG.

도 15 및 도 16에 나타내듯이, 방진용 판 스프링(390)의 관통구멍(390d)의 직경은 다른 관통구멍(380a, 380b, 390a, 390c)보다 크다. 따라서, 지지 스프링(380)이 방진용 판 스프링(390)의 움직임에 간섭되는 일 없이 추부(302)의 진동을 압전식 진동부(303) 측에 전달할 수가 있다.As shown in FIG. 15 and FIG. 16, the diameter of the through hole 390d of the antivibration leaf spring 390 is larger than the other through holes 380a, 380b, 390a, and 390c. Therefore, the vibration of the weight portion 302 can be transmitted to the piezoelectric vibrating portion 303 side without the support spring 380 interfering with the movement of the antivibration leaf spring 390.

이처럼, 본원 발명과 관련되는 리니어 피더(300a)에서는 반송 부품의 불안정, 기울기 반송, 체류, 또는 리니어 피더(300a)의 구동 불안정성, 좌우 흔들림을 방지할 수가 있어 안정된 부품의 반송을 실시할 수가 있다.As described above, in the linear feeder 300a according to the present invention, the instability of the conveying part, the tilt conveyance, the staying, or the driving instability of the linear feeder 300a and the lateral shaking can be prevented, and the stable part can be conveyed.

다음으로, 도 17은 리니어 피더(300, 300a)의 다른 예를 나타내는 모식적 측면도이다.Next, FIG. 17 is a schematic side view showing another example of the linear feeders 300 and 300a.

도 17에 나타내는 리니어 피더(300b)는 방진용 판 스프링(390)을 지지 스프링(380)이 설치되는 면과는 다른 면에 설치된다. 베이스부(301) 및 압전식 진동부(303)의 각각에 볼록부를 형성하고, 방진용 판 스프링(390)을 볼트에 의해 압전식 진동부(303)와 베이스부(301)로 형성된 볼록부에 부착하여 고정시킨다.The linear feeder 300b shown in FIG. 17 is provided with the vibration damping leaf spring 390 in the surface different from the surface in which the support spring 380 is provided. Convex portions are formed in each of the base portion 301 and the piezoelectric vibrating portion 303, and the antivibration leaf spring 390 is formed in the convex portion formed of the piezoelectric vibrating portion 303 and the base portion 301 by bolts. Attach and fix.

이 경우, 지지 스프링(380) 및 방진용 판 스프링(390)의 진동 모드를 일치시 킬 수가 있으므로 반송 부품의 불안정, 기울기 반송, 체류, 또는 리니어 피더(300b)의 구동 불 안정성, 좌우 흔들림을 방지할 수가 있으므로 부품의 안정된 반송을 실시할 수가 있다.In this case, the vibration modes of the support spring 380 and the anti-vibration leaf spring 390 can be matched to prevent instability of the conveyed parts, tilt conveyance, retention, or driving instability and linear shaking of the linear feeder 300b. Since it can be carried out, the stable conveyance of components can be performed.

본 발명과 관련되는 부품 공급장치에 대해서는, 리니어 피더(300, 300a, 300b)가 부품 공급장치에 상당하고, 베이스부 301이 베이스부에 상당하고, 추부(카운터 웨이트: 302) 가 추부에 상당하며, 압전식 진동부 (303)가 가진부에 상당하며, 방진용 판 스프링(390)이 방진부재에 상당하며, 지지 스프링(380)이 구동부재에 상당하며, 볼트(385)가 동일한 축 부재에 상당하며, 압전소자(411)가 진동자에 상당하며, 진동판(400, 400a 및 400b)이 진동판에 상당하며, 결합부재(422)가 결합부재에 상당하며, 평판 모양의 탄성부재(420, 420a, 420b)가 제1의 평판 모양의 탄성부재에 상당하며, 평판 모양의 탄성부재(421, 421b)가 제2의 평판 모양의 탄성부재에 상당하며, 두께 L1, L2, (L1+L2)가 두께에 상당하며, 제 1 반송부재(320), 제 2 반송부재(330), 제 3 반송부재(350)가 반송부에 상당하며, 미소 부품(800)이 부품에 상당한다.As for the component feeder according to the present invention, the linear feeders 300, 300a, and 300b correspond to the component feeder, the base portion 301 corresponds to the base portion, and the weight portion (counter weight: 302) corresponds to the weight portion. , The piezoelectric vibrating portion 303 corresponds to the excitation portion, the vibration-proof leaf spring 390 corresponds to the dustproof member, the support spring 380 corresponds to the drive member, the bolt 385 is on the same shaft member The piezoelectric element 411 corresponds to the vibrator, the diaphragms 400, 400a and 400b correspond to the diaphragm, the coupling member 422 corresponds to the coupling member, and the plate-shaped elastic members 420 and 420a, 420b corresponds to the first flat elastic member, the flat elastic members 421 and 421b correspond to the second flat elastic member, and thicknesses L1, L2, and (L1 + L2) correspond to the thickness. The first conveying member 320, the second conveying member 330, and the third conveying member 350 correspond to the conveying part, The part 800 corresponds to a part.

본 발명은 상기의 바람직한 일 실시의 형태로 기재되어 있지만, 이것만에 한정하지 않는다. 본 발명의 목적과 그 범위로부터 일탈하지 않는 다른 여러 실시 형태가 행하여 질 수도 있다.Although this invention is described by said one preferable embodiment, it is not limited only to this. Various other embodiments may be made without departing from the object and scope of the present invention.

더욱이 본 실시 형태에 대해 본 발명의 구성에 의한 작용 및 효과에 대해 기술 하였지만, 이러한 작용 및 효과 또한 일례에 불과하며, 본 발명을 한정하는 것은 아니다.Moreover, although the action and effect by the structure of this invention were described about this embodiment, such action and effect are also only an example and do not limit this invention.

본원 발명은 내구성의 향상을 도모할 수 있음과 동시에, 자유롭게 강성을 선택하여 적절하게 진동을 여기시킬 수 있는 진동판을 가지며, 또한 방진효율을 향상시킴과 동시에, 스프링 위의 질량의 중심 위치의 높이를 낮게 하여 안정된 부품의 반송 및 부품 공급장치 자체의 저배화를 실현할 수가 있다. 더욱이 고정 부재의 부품 수를 저감하여 코스트를 절감할 수 있는 효과가 있다.The present invention can improve the durability and at the same time have a diaphragm capable of freely selecting the rigidity to excite the vibration appropriately, and also improve the dustproof efficiency, and at the same time increase the height of the center of the mass on the spring It is possible to realize a low conveyance of stable parts and a reduction of the component supply device itself. Furthermore, the cost can be reduced by reducing the number of parts of the fixing member.

Claims (8)

부품에 진동을 부여하여 반송을 실시하는 부품 공급장치에 있어서,In the component supply apparatus which conveys by giving a vibration to a component, 상기 부품을 반송하기 위한 반송로를 갖는 반송부와,A conveying unit having a conveying path for conveying the parts; 상기 반송부를 지지하는 가진부와,An excitation part for supporting the conveyance part; 상기 가진부와는 별도의 부재로서 설치되는 추부와,A weight portion provided as a member separate from the excitation portion; 일단이 상기 가진부에 장착되고, 타단이 상기 추부에 장착되어 탄성변형이 가능한 구동부재와,A driving member having one end mounted on the excitation portion and the other end mounted on the weight portion and capable of elastic deformation; 전기적 신호에 의해 응력을 발생하는 진동자와,A vibrator generating stress by an electrical signal, 수평으로 배치되는 수평판 부분 및 연직으로 배치되는 연직판 부분을 가지며, 상기 연직판 부분의 앞뒷면의 적어도 일면에A horizontal plate portion arranged horizontally and a vertical plate portion arranged vertically, wherein at least one surface of the front and back surfaces of the vertical plate portion 상기 진동자가 점착되어, 진동을 여기하는 진동판을 포함하고,The vibrator is attached, and includes a diaphragm that excites vibration, 상기 진동판은, 상기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분 중 어느 한쪽이 상기 추부에 장착되고, 상기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분의 다른 한쪽이 상기 가진부에 장착되며, 상기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분이 접합부에서 결합되고, 상기 수평판 부분 및 상기 연직판 부분의 어느 한 쪽의 두께가 적어도 다른 한쪽의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 부품 공급장치..In the diaphragm, either one of the horizontal plate portion and the vertical plate portion is attached to the weight portion, and the other of the horizontal plate portion and the vertical plate portion is attached to the excitation portion, and the horizontal plate portion and the soft edge A direct plate portion is joined at a joining portion , wherein the thickness of one of the horizontal plate portion and the vertical plate portion is thicker than at least the other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 진동판은, 상기 수평판부분을 형성하는 제1의 평판 모양의 탄성부재와,The diaphragm may include a first flat plate-shaped elastic member forming the horizontal plate portion; 상기 연직판 부분을 형성하는 상기 제1의 평판 모양의 탄성부재와는 다른 제2의 평판 모양의 탄성부재와,A second flat plate-shaped elastic member different from the first flat plate-shaped elastic member forming the vertical plate portion; 상기 제1의 평판 모양의 탄성부재에 의해 형성되는 수평판 부분 및 상기 제2의 평판 모양의 탄성부재에 의해 형성되는 상기 연직판 부분을 결합하는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품 공급장치.And a coupling member for coupling the horizontal plate portion formed by the first flat elastic member and the vertical plate portion formed by the second flat elastic member. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 진동판은, 세장(細長)형상으로 긴 방향을 가지며, 상기 긴 방향에 따른 일부의 영역에 있어서 두께가 다른 영역보다 두꺼운 부분을 갖는 평판 모양의 탄성부재로 이루어지며,The diaphragm has a long direction in an elongate shape, and is made of a flat plate-like elastic member having a portion thicker than another region in a portion of the region along the longitudinal direction. 상기 평판 모양의 탄성부재의 상기 두께가 두꺼운 부분을 굴곡 시킴으로써 상기 연직판 부분 및 상기 수평판 부분이 형성되는 것을 특징으로 하는 부품 공급장치.And the vertical plate portion and the horizontal plate portion are formed by bending the thick portion of the flat elastic member. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,4. The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 반송로는 직선 모양의 반송로인 것을 특징으로 하는 부품 공급장치.The conveying path is a component supply apparatus, characterized in that the linear conveying path. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 베이스부와, 상기 가진부와 상기 베이스부에 장착되어 상기 가진부로부터 상기 베이스부에 전달되는 진동을 감쇠시키는 방진부재를 더 구비하고,And a dustproof member mounted on the vibrating part and the base part to attenuate vibration transmitted from the vibrating part to the base part. 전기 구동부재는, 상기 가진부와, 상기 가진부 보다도 더욱 아랫쪽에 배설된 상기 베이스부 보다 윗쪽에 설치된 상기 추부에 장착되어, 탄성변형 함 으로써 상기 추부와 상기 가진부에 서로 역 위상의 진동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 부품 공급장치.Electric drive member is mounted to the weight portion provided on the upper than the part with the above, the base portion provided on a more downward than the portion having the elastic deformation also occurs the vibration of the opposite phases to each other in part above with the weight portion as a Component supply apparatus characterized in that. 제 5 항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 구동부재 및 상기 방진부재는, 상하의 높이 방향에 있어서 높이가 서로 겹치는 부분을 가지도록 배설되어져 있는 것을 특징으로 하는 부품 공급장치.The drive member and the dustproof member are arranged so as to have a portion where the heights overlap each other in the vertical direction. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 구동부재 및 상기 방진부재는, 서로 적층 상태로 배설된 것을 특징으로 하는 부품 공급장치.And said drive member and said dustproof member are arranged in a stacked state with each other. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 5 to 7, 상기 구동부재 및 상기 방진부재는 각각 구멍을 갖는 평판 모양의 탄성판으로 형성되고,The driving member and the dustproof member are each formed of a flat plate-like elastic plate having holes, 상기방진부재 및 상기 구동부재는 상기 가진부에 대해 동일한 축 부재에 의해 상기 방진부재의 구멍 및 상기 구동부재의 구멍을 관통하여 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 공급장치.And the dustproof member and the drive member are fixed through the hole of the dustproof member and the hole of the drive member by the same shaft member with respect to the excitation portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI777836B (en) * 2021-10-29 2022-09-11 產台股份有限公司 Vibratory conveyor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0613369A (en) * 1992-06-29 1994-01-21 Fujitsu Ltd Manufacture of semiconductor device
JPH07257724A (en) * 1994-03-18 1995-10-09 Rion Denshi Kk Piezoelectric driving type conveying device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53145690A (en) * 1977-05-24 1978-12-19 Yanagimoto Seisakusho Co Ltd Apparatus for pretreating sampled gas
CN1380234A (en) * 2001-04-06 2002-11-20 神钢电机株式会社 Piezoelectric driving vibratory feeder and piezoelectric element driving feeder

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0613369A (en) * 1992-06-29 1994-01-21 Fujitsu Ltd Manufacture of semiconductor device
JPH07257724A (en) * 1994-03-18 1995-10-09 Rion Denshi Kk Piezoelectric driving type conveying device

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