KR101241375B1 - 마이크로 파트 분리 및 조립 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

도 1에 도시된 바와 같이, 종래 마이크로 파트 분리 및 조립 장치의 경우, 수동으로 코로널 뷰만을 이용하여 바늘이나 탐침을 사용하여 마이크로 파트를 분리하고 조립하였다.
이에 반하여, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치의 경우, 코로널 뷰를 제공하는 제 1 촬영부(200)만이 아니라 사이드 뷰를 제공하는 제 2 촬영부(300)를 이용하여 마이크로 파트(10)의 깊이 정보를 사용하여 마이크로 파트(10)의 정확한 3차원 정보를 활용할 수 있으며, 이와 같은 3차원 정보를 활용하여 분리 모터(detaching motor)(120) 등 분리부(100)가 손떨림 등의 부작용 없이 마이크로 파트(10)를 분리 및 조립하는 것이 가능하다.

Description

마이크로 파트 분리 및 조립 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD OF DETACHING AND ASSEMBLING MICROSTRUCTURES}
본 발명은 마이크로 파트 분리 및 조립 장치와 마이크로 파트 분리 및 조립 방법에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는, 기존에 코로널 뷰(coronal view)만을 제공하여 깊이 방향의 정보를 알 수 없었던 문제점을 해결하고, 기존에 바늘을 이용하여 수작업으로 마이크로 파트를 분리하던 기술에서 탈피하여 프로브(probe)에 분리력을 제공하는 분리 모터(detaching motor) 등을 이용하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치와 마이크로 파트 분리 및 조립 방법에 관한 것이다.
종래 마이크로 또는 나노미터 크기의 마이크로 파트 제품 생산은 대부분 반도체 공정(식각이나 증착)을 사용하여 통체로 만드는 방법이 대부분이었다. 하지만, 이와 같은 접근 방식은 설계 및 생산의 유연성을 상당히 저해하며 아직 다양하고 창의적인 마이크로 또는 나노미터 크기의 제품들을 생산하지 못하고 있는 직접적인 이유이다.
이와 같은 문제점을 해결하는 기술이 이광자 광조형(two photon photopolymerization) 기술과 광집게(opical tweezer) 기술이다. 이광자 광조형 기술은 특정 파장대의 레이저에 의하여 고형화되는 폴리머를 이용하여 이론적으로 어떠한 형상의 물체라도 만들 수 있다. 한편, 광집게 기술은, 강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 기술이다. 이를 이용하게 되면, 종래 마이크로 또는 나노미터 크기의 제품을 탐침형 집게로 집을 경우, 표면장력, 정전기력 그리고 반데발스 힘에 의해, 마이크로 파트와 탐침형 집게가 서로 붙어 버리는 현상이 생기지 않고, 간단히 물체를 집고 또한 약력에 의한 접착을 걱정할 필요 없이 원하는 위치에 마이크로 파트를 놓을 수 있다.
하지만, 이와 같은 종래 기술에서는, 도 1에 도시된 바와 같이, 코로널 뷰(coronal view)만을 제공하여 깊이 방향의 정보를 전혀 알 수 없었을 뿐만 아니라, 기존에 바늘이나 탐침을 이용하여 수작업으로 마이크로 파트를 분리하던 기술에 머물러 있는 실정이었다.
본 발명은 기존에 코로널 뷰(coronal view)만을 제공하여 깊이 방향의 정보를 알 수 없었던 문제점을 해결하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 기존에 바늘이나 탐침을 이용하여 수작업으로 마이크로 파트를 분리하던 기술에서 탈피하여 프로브(probe)에 분리력을 제공하는 분리 모터(detaching motor) 등을 이용하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치와 마이크로 파트 분리 및 조립 방법을 제공하는 것을 또다른 목적으로 한다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치는, 기판 상에 성형된 마이크로 파트를 분리하는 분리부; 상기 기판 하부에 위치하여 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 1 촬영부; 및 상기 기판 측면에 위치하여 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 2 촬영부;를 포함한다.
또한, 상기 기판 상에서 마이크로 파트를 성형하는 성형부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 성형부는, 특정 대역의 파장에 반응하여 경화되는 수지에 해당 특정 대역의 파장의 빛을 인가함으로써 성형할 수 있다.
또한, 상기 성형부는, 이광자 광조형 방식을 이용할 수 있다.
또한, 상기 성형부는, 기판이 안치되는 기판 안치대; 및 상기 기판 안치대 위에 놓인 기판;을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 분리부는, 상기 마이크로 파트에 접촉하여 상기 마이크로 파트를 분리하는 프로브; 및 상기 프로브에 힘을 제공하는 분리 모터;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 분리부는, 상기 프로브를 지지하며, 프로브의 자세를 바꿀 수 있도록 하는 프로브 홀더; 및 상기 프로브가 상기 마이크로 파트에 닿을 수 있도록 길이를 조절하는 로드;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 프로브가 Z축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 모터 스테이지; 및 상기 분리 모터 및 상기 모터 스테이지를 지지하는 브래킷을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 마이크로 파트를 조립하는 조립부를 포함하고, 상기 조립부는, 상기 마이크로 파트를 비접촉식으로 조립한다.
또한, 상기 조립부는, 강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 광집게에 의해 상기 마이크로 파트를 조립하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 마이크로 파트가 놓인 기판 상에, 상기 마이크로 파트를 둘러싸는 직사각형의 투명벽이 위치되게 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 투명벽 내부를 물 또는 마이크로 파트보다 낮은 굴절률을 갖는 매질로 채우는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1 촬영부는, 제 1 일루미네이터; 상기 제 1 일루미네이터의 빛을 집속시키는 제 1 집속 렌즈; 제 1 대물 렌즈; 상기 제 1 대물 렌즈의 영상을 제 1 CCD 카메라로 전달하는 제 1 전달 렌즈; 및 제 1 CCD 카메라;를 포함하는 것일 바람직하다.
또한, 상기 제 2 촬영부는, 제 2 일루미네이터; 상기 제 2 일루미네이터의 빛을 집속시키는 제 2 집속 렌즈; 제 2 대물 렌즈; 상기 제 2 대물 렌즈의 영상을 제 2 CCD 카메라로 전달하는 제 2 전달 렌즈; 및 제 2 CCD 카메라;를 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 방법은, 기판 상에 성형된 마이크로 파트를 분리하는 분리 단계; 상기 마이크로 파트를 조립하는 조립 단계; 상기 기판 하부에 위치하는 제 1 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 1 촬영 단계; 및 상기 기판 측면에 위치하는 제 2 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 2 촬영 단계;를 포함한다.
또한, 상기 기판 상에서 마이크로 파트를 성형하는 성형 단계를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 성형 단계는, 특정 대역의 파장에 반응하여 경화되는 수지에 해당 특정 대역의 파장의 빛을 인가함으로써 성형하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 성형 단계는, 이광자 광조형 방식을 이용할 수 있다.
또한, 상기 마이크로 파트를 조립하는 조립 단계;를 더 포함하고, 상기 조립 단계는, 상기 마이크로 파트를 비접촉식으로 조립할 수 있다.
또한, 상기 조립 단계는, 강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 광집게에 의해 상기 마이크로 파트를 조립할 수 있다.
또한, 상기 마이크로 파트가 놓인 기판 상에, 상기 마이크로 파트를 둘러싸는 직사각형의 투명벽이 위치하는 것이 바람직하다. 나아가, 상기 투명벽 내부를 물 또는 마이크로 파트보다 낮은 굴절률을 갖는 매질로 채우는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 기존에 코로널 뷰(coronal view)만을 제공하여 깊이 방향의 정보를 알 수 없었던 문제점을 해결하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치 및 그 방법을 제공할 수 있다.
또한 본 발명은 기존에 바늘이나 탐침을 이용하여 수작업으로 마이크로 파트를 분리하던 기술에서 탈피하여 프로브(probe)에 분리력을 제공하는 분리 모터(detaching motor) 등을 이용하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치와 마이크로 파트 분리 및 조립 방법을 제공할 수 있다.
다시 말해, 도 1에 도시된 바와 같이, 종래 마이크로 파트 분리 및 조립 장치의 경우, 수동으로 코로널 뷰만을 이용하여 바늘이나 탐침을 사용하여 마이크로 파트를 분리하고 조립하였지만, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치의 경우, 코로널 뷰를 제공하는 제 1 촬영부(200)만이 아니라 사이드 뷰를 제공하는 제 2 촬영부(300)를 이용하여 마이크로 파트(10)의 깊이 정보를 사용하여 마이크로 파트(10)의 정확한 3차원 정보를 활용할 수 있으며, 이와 같은 3차원 정보를 활용하여 분리 모터(detaching motor)(120) 등 분리부(100)가 조작자의 손떨림 등의 부작용 없이 마이크로 파트(10)를 분리 및 조립하는 것이 가능하다.
도 1은 종래 마이크로 파트 분리 및 조립 방법을 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 방법을 도시한 개략도이다.
도 3은 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치의 개략도를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치에서 제 2 촬영부(200)만을 별도로 실제 구현된 모습을 나타낸 사진이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해해야 한다.
도 2는 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 방법을 도시한 개략도이고, 도 3은 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치의 개략도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치에서 제 1 촬영부(200)이 실제 구현된 모습을 나타낸 사진이다. 아래에서는 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.
(제 1 실시예)
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 장치는, 기판(20) 상에 성형된 마이크로 파트(10)를 분리하는 분리부(100); 상기 기판(20) 하부에 위치하여 상기 마이크로 파트(10)를 촬영하는 제 1 촬영부(200); 및 상기 기판(20) 측면에 위치하여 상기 마이크로 파트(10)를 촬영하는 제 2 촬영부(300);를 포함한다. 여기에, 기판(20) 상에서 마이크로 파트(10)를 성형하는 성형부(미도시) 또는 마이크로 파트(10)를 조립하는 조립부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
여기서 마이크로 파트(10)는 마이크로 또는 나노미터 단위의 크기를 갖는 성형물이나 구조물을 의미한다. 통상, 특정 대역의 파장에 반응하여 경화 또는 고형화되는 수지(photo sensitive resin)에 해당 특정 대역의 파장의 빛(예를 들어 자외선 등) 또는 레이저를 인가함으로써 성형할 수 있다. 또한, 이광자 광조형 방식을 이용할 수도 있다.
이와 같은 성형부는, 기판(20)이 안치되는 기판 안치대(미도시); 및 상기 기판 안치대 위에 놓인 기판(20);을 구비하는 것이 바람직하다.
다음으로, 분리부(100)는, 마이크로 파트(10)에 접촉하여 마이크로 파트(10)를 분리하는 프로브(probe)(110); 및 프로브(110)에 힘을 제공하는 분리 모터(detaching motor)(120);를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 분리부(100)는, 프로브(110)를 지지하며, 프로브(110)의 자세를 바꿀 수 있도록 하는 프로브 홀더(미도시); 및 프로브(110)가 마이크로 파트(110)에 닿을 수 있도록 길이를 조절하는 로드(130);를 더 포함할 수 있다. 포로브는 프로브 홀더에 회동 가능하게 결합되어, 회전이 가능하다.
통상 프로브 홀더(미도시)와 로드(130) 사이의 결합 관계는, 나사 결합으로 이루어진다. 이 때, 프로브 홀더에서 연장되는 2개의 날개부가 로드(130)의 끝단의 좌우에 위치하게 되어, 로드(130)의 끝단은, 프로브 홀더의 2개의 날개부 사이에 위치하여, 프로브 홀더의 첫번째 날개부, 로드(130)의 끝단, 프로브 홀더의 두번째 날개부를 관통하여 나사 결합된다. 다만, 프로브(110)가 프로브 홀더에 회동가능하게 되기 위해서, 프로브 홀더의 2개의 날개부 중 하나는 나사결합되지 않아야 한다.
또한, 프로브(110)가 Z축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 모터 스테이지(motorized stage)(140); 및 분리 모터(120) 및 모터 스테이지(140)를 지지하는 브래킷(150)을 더 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 조립부(미도시)는, 마이크로 파트(10)를 비접촉식으로 조립한다. 또한, 조립부는, 강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 광집게(optical tweezer 또는 optical trapper)에 의해 마이크로 파트(10)를 조립하는 것이 바람직하다.
마이크로 파트(100)를 기계적 접촉을 이용하여 이송하는 것을 상당히 어려운 일이기 때문에 광집게 기술과 같이 비접촉식 방법을 사용하게 된다. 다만, 이와 같은 광집게 기술은 공기와 같이 점성이 없는 공간이나 환경에서는 광집게 기술을 사용하기 어렵다. 따라서 물과 같은 점성이 있는 환경에서 광집게 기술을 사용한다.
하지만 이 경우, 물의 표면장력으로 인하여 물방울이 반원 또는 타원과 같은 형태로 맺혀 있기 때문에, 소위 렌즈가 있는 것과 같은 역할을 한다. 이로 인해 후술하는 제 1 촬영부(200)나 제 2 촬영부(300)에 촬영된 영상이 왜곡되어 정확한 마이크로 파트(10)의 분리나 조립이 어렵게 된다.
이를 해결하기 위하여, 본 발명자는 마이크로 파트(10)가 놓인 기판(20) 상에, 마이크로 파트(10)를 둘러싸는 직사각형의 투명벽(30)이 위치되게 하였다. 그리고, 투명벽(30) 내부를 물 또는 마이크로 파트(10)의 굴절률보다 낮은 굴절률을 갖는 매질로 채워져야 한다. 이와 같이 직사각형의 투명벽(30)을 설치하고 그 내부에 물을 넣음으로써, 표면장력에 의해 물방울이 맺히는 것을 막을 수 있고, 그 결과, 제 1 촬영부(200)나 제 2 촬영부(300)에 촬영된 영상이 왜곡되지 않아서, 정확한 마이크로 파트(10)의 분리나 조립을 할 수 있게 되었다. 실험 결과, 투명한 벽으로 만들어진 챔버(chamber)의 크기가 1센티미터의 정사각형일 때, 120 마이크로 리터의 물을 챔버에 넣으면 깨끗한 영상이 얻어졌다.
다음으로, 제 1 촬영부(200)는, 제 1 일루미네이터(210); 제 1 일루미네이터(210)의 빛을 집속시키는 제 1 집속 렌즈(220); 제 1 대물 렌즈(230); 상기 제 1 대물 렌즈(230)의 영상을 제 1 CCD 카메라(미도시)로 전달하는 제 1 전달 렌즈(미도시); 및 제 1 CCD 카메라(미도시);를 포함하는 것일 바람직하다.
또한, 상기 제 2 촬영부(300)는, 제 2 일루미네이터(310); 상기 제 2 일루미네이터(310)의 빛을 집속시키는 제 2 집속 렌즈(320); 제 2 대물 렌즈(330); 제 2 대물 렌즈(330)의 영상을 제 2 CCD 카메라(350)로 전달하는 제 2 전달 렌즈(340); 및 제 2 CCD 카메라(350);를 포함하는 것이 바람직하다. 위에서 본 바와 같이, 제 1 촬영부(200)와 제 2 촬영부(300)는 유사하게 구현이 가능하다. 다만, 제 2 촬영부는 마이크로 파트(10)의 측면에 위치하여 마이크로 파트(10)의 깊이 정보를 제공하게 된다.
도 3에서는 편의상 제 2 촬영부(300)가 없는 개략도이며, 도 4는 제 2 촬영부(300)만을 따로 구현한 사진이다.
이와 같은 제 2 촬영부(300)를 통해서 깊이 방향의 정보를 알 수 있게 되고, 이를 이용하여 프로브(110)를 원하는 곳에 더 정확하게 위치시켜 마이크로 파트(10)를 기판으로부터 잘 분리할 수 있고 조립하는 경우에도 조립부(미도시)가 조립되는 부품에 힘을 가하여 조립하는데 도움을 주게 된다.
(제 2 실시예)
본 발명의 제 2 실시예에 따른 마이크로 파트 분리 및 조립 방법은, 기판 상에 성형된 마이크로 파트를 분리하는 분리 단계; 상기 마이크로 파트를 조립하는 조립 단계; 상기 기판 하부에 위치하는 제 1 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 1 촬영 단계; 및 상기 기판 측면에 위치하는 제 2 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 2 촬영 단계;를 포함한다.
마이크로 파트 분리 및 조립 장치는 제 1 촬영 단계와 제 2 촬영 단계를 통해서 촬영된 영상을 실시간으로 영상 처리(image processing)하여, 마이크로 파트(10)의 3차원적 정보를 이용하여, 성형된 마이크로 파트(10)를 분리 및 조립하는 것이 가능하다. 나머지 내용은 제 1 실시예에서 설명한 내용이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 물론이다.
10 마이크로 파트
20 기판
30 투명벽
100 분리부
200 제 1 촬영부
210 제 1 일루미네이터
220 제 1 집속 렌즈
230 제 1 대물 렌즈
300 제 2 촬영부
310 제 2 일루미네이터
320 제 2 집속 렌즈
330 제 2 대물 렌즈
340 제 2 전달 렌즈
350 제 2 CCD 카메라

Claims (22)

  1. 기판 상에 성형된 마이크로 파트를 분리하는 분리부;
    상기 기판 하부에 위치하여 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 1 촬영부; 및
    상기 기판 측면에 위치하여 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 2 촬영부; 및
    상기 마이크로 파트를 비접촉식으로 조립하는 조립부;를 포함하되,
    상기 조립부는,
    강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 광집게에 의해 상기 마이크로 파트를 조립하고,
    상기 마이크로 파트가 놓인 기판 상에, 상기 마이크로 파트를 둘러싸는 직사각형의 투명벽이 위치되며,
    상기 투명벽 내부를 물 또는 마이크로 파트보다 낮은 굴절률을 갖는 매질로 채우는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에서 마이크로 파트를 성형하는 성형부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 성형부는, 특정 대역의 파장에 반응하여 경화되는 수지에 해당 특정 대역의 파장의 빛을 인가함으로써 성형하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 성형부는, 이광자 광조형 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 성형부는,
    기판이 안치되는 기판 안치대; 및
    상기 기판 안치대 위에 놓인 기판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 분리부는,
    상기 마이크로 파트에 접촉하여 상기 마이크로 파트를 분리하는 프로브;
    상기 프로브에 힘을 제공하는 분리 모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 분리부는,
    상기 프로브를 지지하며, 프로브의 자세를 바꿀 수 있도록 하는 프로브 홀더; 및
    상기 프로브가 상기 마이크로 파트에 닿을 수 있도록 길이를 조절하는 로드;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 프로브가 Z축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 모터 스테이지; 및
    상기 분리 모터 및 상기 모터 스테이지를 지지하는 브래킷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 촬영부는,
    제 1 일루미네이터;
    상기 제 1 일루미네이터의 빛을 집속시키는 제 1 집속 렌즈;
    제 1 대물 렌즈;
    상기 제 1 대물 렌즈의 영상을 제 1 CCD 카메라로 전달하는 제 1 전달 렌즈; 및
    제 1 CCD 카메라;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 촬영부는,
    제 2 일루미네이터;
    상기 제 2 일루미네이터의 빛을 집속시키는 제 2 집속 렌즈;
    제 2 대물 렌즈;
    상기 제 2 대물 렌즈의 영상을 제 2 CCD 카메라로 전달하는 제 2 전달 렌즈; 및
    제 2 CCD 카메라;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 장치.
  15. 기판 상에 성형된 마이크로 파트를 분리하는 분리 단계;
    상기 기판 하부에 위치하는 제 1 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 1 촬영 단계;
    상기 기판 측면에 위치하는 제 2 촬영부에 의해 상기 마이크로 파트를 촬영하는 제 2 촬영 단계; 및
    상기 마이크로 파트를 비접촉식으로 조립하는 조립 단계;를 포함하되,
    상기 조립 단계는, 강하게 집속하는 레이저 초점에 주변보다 굴절률이 높은 물체가 끌어 당겨지는 원리를 이용하는 광집게에 의해 상기 마이크로 파트를 조립하고,
    상기 마이크로 파트가 놓인 기판 상에, 상기 마이크로 파트를 둘러싸는 직사각형의 투명벽이 위치하며,
    상기 투명벽 내부를 물 또는 마이크로 파트보다 낮은 굴절률을 갖는 매질로 채우는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 기판 상에서 마이크로 파트를 성형하는 성형 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 성형 단계는, 특정 대역의 파장에 반응하여 경화되는 수지에 해당 특정 대역의 파장의 빛을 인가함으로써 성형하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 성형 단계는, 이광자 광조형 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 파트 분리 및 조립 방법.
  19. 삭제
  20. 삭제
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