KR101221619B1 - Apparatus for measuring thickness of cumulated powder on the pipe inside - Google Patents

Apparatus for measuring thickness of cumulated powder on the pipe inside Download PDF

Info

Publication number
KR101221619B1
KR101221619B1 KR1020120079566A KR20120079566A KR101221619B1 KR 101221619 B1 KR101221619 B1 KR 101221619B1 KR 1020120079566 A KR1020120079566 A KR 1020120079566A KR 20120079566 A KR20120079566 A KR 20120079566A KR 101221619 B1 KR101221619 B1 KR 101221619B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pipe
electrode
capacitance
probe
circumferential surface
Prior art date
Application number
KR1020120079566A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김광연
Original Assignee
주식회사 래더트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 래더트론 filed Critical 주식회사 래더트론
Priority to KR1020120079566A priority Critical patent/KR101221619B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101221619B1 publication Critical patent/KR101221619B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/227—Sensors changing capacitance upon adsorption or absorption of fluid components, e.g. electrolyte-insulator-semiconductor sensors, MOS capacitors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/08—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/08—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means
    • G01B7/085—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means for measuring thickness of coating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/226—Construction of measuring vessels; Electrodes therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
    • G01R27/2605—Measuring capacitance

Abstract

PURPOSE: A device using capacitance for inspecting the thickness of powder set in the inside of a pipe is provided to install an electrode unit with an electrification surface, which has no influences on a flow of fluid, in the inner circumference of the pipe and to measure the capacitance from the electrode unit, thereby grasping proper replacement time for a pipe by measuring the thickness of nonconductive foreign materials which is set in the inner circumference of the pipe. CONSTITUTION: A device using capacitance for inspecting the thickness of powder set in the inside of a pipe comprises a first electrode unit, a second electrode unit, and a capacitance measuring unit. The first and second electrode units receive power from outside while maintaining an insulated state in the inside of the pipe and comprise an electrification surface respectively at faced positions in the inside of the pipe. The capacitance measuring unit is electrically connected to the first and second electrode unit, thereby measuring the capacitance of the first and second electrode units. Each of the first and second electrode units comprises a conductive member(110), an electrode(120), and an insulation member(130).

Description

정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치{APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF CUMULATED POWDER ON THE PIPE INSIDE}Powder thickness inspection device fixed to the inside of pipe using capacitance {APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF CUMULATED POWDER ON THE PIPE INSIDE}

본 발명은 파이프 내부의 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 파이프 내주면에 고착되는 이물질의 두께를 검사하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus inside a pipe, and more particularly, to an apparatus for inspecting a thickness of a foreign matter adhered to an inner circumferential surface of a pipe.

반도체, LCD, LED, MEMS 등의 생산을 위한 챔버로부터 배기되는 가스는 다양한 종류의 반응 가스와 파우더 등으로 이루어져 있고, 인체에 유해한 성분이 포함되어 있으므로 대기로 방출되기 전 이를 제거하기 위한 집진설비를 반드시 갖추어야 한다. 이러한 집진설비는 여러 종류의 밸브와, 트랩, 펌프, 히팅 재킷, 스크러버 등으로 이루어지며, 각 구성 부품들 사이는 파이프로 연결된다.The gas exhausted from the chamber for the production of semiconductors, LCDs, LEDs, MEMS, etc. consists of various kinds of reactive gases and powders, and since it contains harmful substances to the human body, dust collection equipment is removed to remove them before being released into the atmosphere. Must be equipped. The dust collector is composed of various valves, traps, pumps, heating jackets, scrubbers, and the like, and pipes are connected between the respective components.

이러한 파이프는 사용 기간이 오래될수록 그 내주면에 반응가스와 파우더 등이 점차 고착되어 유로가 점점 폐색되어 유체 압력이 높아지게 되고, 이에 따라 해당 부분의 파이프를 교체하지 않으면 대형 폭발 사고로 이어질 수 있었다. 따라서 이를 예방하기 위한 장치로서 파이프 검사 장치가 필요하였다.The longer the use period of the pipe, the reaction gas and powder are gradually fixed on the inner circumferential surface of the pipe, so that the flow path is gradually blocked and the fluid pressure is increased. Accordingly, if the pipe in the part is not replaced, a large-scale explosion can occur. Therefore, a pipe inspection device was needed as a device for preventing this.

종래의 파이프 검사 장치로서 다음의 장치가 알려져 있었다.The following apparatus is known as a conventional pipe inspection apparatus.

첫째, 자왜현상을 이용한 방식(한국 등록특허 제10-0992617호, 발명의 명칭 : 자왜현상을 이용한 자성체 관로 파이프 구간의 검사 장치 및 그 방법)으로, 자성체로 이루어진 파이프 외주면에 여자코일을 설치하여 정현파를 제공하고 파이프의 다른 위치에서 이를 수신하여 파이프의 이상 여부를 검사하였다.First, using a magnetostrictive phenomenon (Korean Patent No. 10-0992617, the name of the invention: the inspection device and the method of the magnetic pipe pipe section using the magnetostrictive phenomenon), the sine wave by installing the excitation coil on the outer peripheral surface of the magnetic pipe We provided a and received it from another location on the pipe to check for any pipe failure.

둘째, 초음파를 이용한 방식(한국 공개특허 제10-2012-0022336호, 발명의 명칭 : 초음파를 이용한 파이프 검사 장치)으로서, 파이프 주위를 회전하면서 초음파를 발진하고 이를 수신하여 파이프의 이상 여부를 검사하였다.Second, as a method using ultrasonic waves (Korea Patent Publication No. 10-2012-0022336, Name of the invention: pipe inspection apparatus using ultrasonic waves), the ultrasonic wave was oscillated while receiving a rotation around the pipe and received and inspected for abnormality of the pipe. .

셋째, 광학적 방식(한국 등록실용신안 제20-0144344호, 고안의 명칭 : 파이프 내부검사 장치의 레이저다이오드 출력 제어회로)으로서, 파이프 내부에 레이저 다이오드를 설치하여 파이프 내주면에서 송수신되는 레이저의 파장 변화로부터 파이프 이상 여부를 검사하였다.Third, as an optical method (Korean Utility Model Model No. 20-0144344, Designated Name: Laser Diode Output Control Circuit of Pipe Inspecting Device), a laser diode is installed inside the pipe to prevent from changing the wavelength of the laser transmitted and received on the inner circumferential surface of the pipe. The pipe was inspected for abnormalities.

그러나 이들 종래의 파이프 검사 장치와 그 밖의 비파괴 검사 장치에 의하면, 파이프의 이상 여부만을 감지할 수 있을 뿐, 파이프 내주면에 고착된 이물질의 두께를 요구되는 정밀도에 부합하는 수치로서 측정할 수 없으며 따라서 파이프의 효과적인 교체 시점을 알 수 없다는 문제점이 있었다.However, according to these conventional pipe inspection apparatuses and other non-destructive inspection apparatuses, it is only possible to detect the abnormality of the pipes, and the thickness of the foreign matter stuck to the inner circumferential surface of the pipe cannot be measured as a value corresponding to the required precision and thus the pipe There was a problem that the effective replacement time of the unknown.

한편, 파이프에 고착되는 이물질은 대부분 파우더로서 파우더의 성분에 따라 도전성 물질과 비도전성 물질로 나뉘는데, 고착되는 이물질의 전기전도도에 관계 없이 파이프 내 고착되는 이물질의 두께를 측정할 수 있는 장비가 요구되고 있다.On the other hand, foreign matters fixed to the pipe are mostly powders, which are divided into conductive materials and non-conductive materials according to the powder components, and equipment that can measure the thickness of the foreign matter stuck in the pipe is required regardless of the electrical conductivity of the foreign matter being stuck. have.

또한 파이프 라인이 긴 경우, 종래의 검사 장치를 사용하면 검사가 필요한 위치마다 검사 장치를 설치하여야만 하고 이에 따라 비용이 많이 소요되므로, 대부분의 반도체, LCD 등의 공장에서는 파이프 내주면에 고착된 이물질의 양에 관계없이 파이프를 일정 주기 단위로 교체함에 따라 불필요한 자원의 낭비가 심하였다.In addition, when the pipeline is long, the conventional inspection apparatus requires the inspection apparatus to be installed at each position where inspection is required, which is expensive. Therefore, in most factories such as semiconductors and LCDs, the amount of foreign matter stuck to the inner circumference of the pipe Regardless, the pipe was replaced at regular intervals, causing unnecessary waste of resources.

상술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은, 파이프 내주면에 고착되는 이물질의 두께를 측정하기 위하여 파이프 내부에 전극을 설치하여 정전용량의 변화량에 따라 이물질 두께를 측정할 수 있는 정전용량을 이용한 파이프 내부 이물질 두께 검사 장치를 제공함에 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, the present invention, by installing an electrode inside the pipe to measure the thickness of the foreign matter adhered to the inner peripheral surface of the pipe foreign matter inside the pipe using the capacitance that can measure the foreign matter thickness according to the amount of change in capacitance The object is to provide a thickness inspection apparatus.

또한 본 발명은 정전용량을 이용하여 이물질 두께를 측정하는 이외에, 파이프 내부에 탐침 전극으로 된 프로브를 설치하여 전류량 변화를 이용하여 파이프 내주면에 고착되는 도전성의 이물질 두께를 더욱 정밀하게 측정할 수 있는 정전용량을 이용한 파이프 내부 이물질 두께 검사 장치를 제공함에 그 목적이 있다.In addition, the present invention, in addition to measuring the foreign material thickness by using the capacitance, by installing a probe with a probe electrode inside the pipe electrostatic foreign matter that can more accurately measure the thickness of the conductive foreign matter adhered to the inner peripheral surface of the pipe by using a change in the amount of current It is an object of the present invention to provide a device for inspecting the thickness of a foreign substance in a pipe using a capacity.

또한 본 발명은 정전용량을 측정하는 전극부와, 전류를 측정하는 탐침부를 파이프 라인의 특성에 따라 배치함으로써 효율적으로 이물질 두께를 측정할 수 있는 정전용량을 이용한 파이프 내부 이물질 두께 검사 장치를 제공함에 그 목적이 있다.In another aspect, the present invention provides an apparatus for measuring the foreign matter thickness inside the pipe using the capacitance capable of measuring the foreign matter thickness efficiently by disposing the electrode portion for measuring the capacitance and the probe portion for measuring the current according to the characteristics of the pipeline. There is a purpose.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 정전용량을 이용한 파이프 내부의 이물질 두께 검사 장치는, 파이프 내부에서 절연 상태를 유지하면서 외부에서 전원을 공급받고, 상기 파이프 내주면 일부 형상에 상응하는 대전면을 갖는 1 이상의 전극부; 및 상기 전극부에 전기적으로 연결되어 정전용량을 측정하는 정전용량 측정부; 를 포함한다.The foreign matter thickness inspection apparatus inside the pipe using the capacitance of the present invention for solving the above-described problems, the power is supplied from the outside while maintaining the insulation state inside the pipe, 1 having a charging surface corresponding to the shape of the inner peripheral surface of the pipe 1 The above electrode portion; And a capacitance measuring unit electrically connected to the electrode unit to measure capacitance. It includes.

제1실시예의 검사 장치를 구성하는 상기 전극부는 상기 파이프 내부에 1개로 이루어지고, 상기 정전용량 측정부는 상기 전극부와 접지된 상기 파이프 사이의 정전용량을 측정한다. 바람직하게, 상기 전극부는, 상기 전원과 연결되어 상기 파이프를 관통하는 도전부재; 상기 도전부재과 연결되어 상기 파이프 내주면 일부 형상에 상응하는 대전면을 갖는 전극; 및 상기 도전부재와 상기 전극을 상기 파이프와 절연시키는 절연부재;를 포함한다.The electrode part constituting the inspection apparatus of the first embodiment is made of one inside the pipe, and the capacitance measuring part measures the capacitance between the electrode part and the grounded pipe. Preferably, the electrode unit, a conductive member connected to the power source and penetrating the pipe; An electrode having a charging surface connected to the conductive member and corresponding to a portion of the inner circumferential surface of the pipe; And an insulating member that insulates the conductive member and the electrode from the pipe.

제2실시예의 검사 장치를 구성하는 상기 도전부재는, 상기 파이프 내주면에서 외주면으로 인출되도록 단면이 상협하광의 형상을 갖는다.The said conductive member which comprises the test | inspection apparatus of 2nd Example has the shape of an upper and lower light cross section so that it may be taken out from the said inner peripheral surface to the outer peripheral surface.

제3실시예의 검사 장치를 구성하는 상기 전극부는, 상기 파이프 내부의 대향하는 위치에 각각 대전면을 구비하는 제1, 제2전극부로 이루어지고, 상기 정전용량 측정부는 상기 제1, 제2전극부 사이의 정전용량을 측정한다.The electrode portion constituting the inspection apparatus of the third embodiment includes first and second electrode portions each having a charging surface at opposing positions inside the pipe, and the capacitance measuring portion is disposed between the first and second electrode portions. Measure the capacitance.

이때, 상기 제1, 제2전극부 각각은, 상기 전원과 연결되어 상기 파이프를 관통하는 도전부재; 상기 도전부재와 연결되어 상기 파이프 내주면 일부 형상에 상응하는 대전면을 갖는 전극; 및 상기 도전부재와 상기 전극을 상기 파이프와 절연시키는 절연부재; 를 포함하고, 상기 도전부재는 분기되어 하나는 상기 전극에 연결되고, 다른 하나는 상기 파이프의 외주면에 연결되어 접지된다.In this case, each of the first and second electrode units may include a conductive member connected to the power source and penetrating the pipe; An electrode connected to the conductive member and having a charging surface corresponding to a portion of the inner circumferential surface of the pipe; And an insulating member for insulating the conductive member and the electrode from the pipe. The conductive member is branched so that one is connected to the electrode and the other is connected to the outer circumferential surface of the pipe and grounded.

또한 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 상기 파이프 내부의 서로 다른 위치에 설치되며, 외부로부터 전원을 공급받고 상기 파이프와 절연 상태를 유지하면서 상기 파이프 내주면에 돌출된 도전성 재질로 된 1 이상의 프로브를 갖는 2 이상의 탐침부; 및 상기 탐침부 각각에 전기적으로 연결되어 전류량을 측정하는 1 이상의 전류 측정부;를 더 포함한다.In another aspect, the present invention is to provide at least one probe made of a conductive material protruding on the inner peripheral surface of the pipe while being installed at different positions inside the pipe, the power is supplied from the outside and maintained insulated from the pipe. Having at least two probes; And at least one current measuring unit electrically connected to each of the probe units to measure an amount of current.

제4실시예의 검사 장치를 구성하는 상기 탐침부 중 적어도 하나는, 상기 전원과 연결되어 상기 파이프를 관통하여 상기 파이프 내주면에 돌출된 1개의 프로브; 및 상기 프로브와 상기 파이프를 절연시키는 절연부재; 를 포함하고, 상기 전류 측정부는 상기 프로브로부터 접지된 상기 파이프로 흐르는 전류량을 측정한다.At least one of the probes constituting the inspection apparatus of the fourth embodiment includes: one probe connected to the power source and protruding from the inner circumferential surface of the pipe through the pipe; And an insulating member for insulating the probe from the pipe. Includes, the current measuring unit measures the amount of current flowing from the probe to the pipe grounded.

제5실시예의 검사 장치를 구성하는 상기 탐침부 중 적어도 하나는, 상기 전원으로부터 분기되며, 상기 파이프를 함께 관통하여 상호 절연된 상태로 상기 파이프 내주면에 각각 돌출된 2 이상의 프로브; 및 상기 전류 측정부는 상기 프로브 중 어느 하나와 인접한 다른 탐침부의 프로브 사이의 전류량을 측정한다.At least one of the probes constituting the inspection device according to the fifth embodiment includes at least two probes branching from the power source and protruding from the inner circumferential surface of the pipe in an insulated state through the pipe together; And the current measuring unit measures an amount of current between any one of the probes and a probe adjacent to another probe.

제6실시예의 검사 장치를 구성하는 상기 탐침부는, 상기 파이프의 둘레 방향, 길이 방향 및 나선 방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 배치된다.The said probe part which comprises the inspection apparatus of 6th Example is arrange | positioned in the direction of at least any one of the circumferential direction, the longitudinal direction, and the helical direction of the said pipe.

본 발명의 전용량을 이용한 파이프 내부의 이물질 두께 검사 장치에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the foreign matter thickness inspection apparatus inside the pipe using the full capacity of this invention, there are the following effects.

첫째, 파이프 내주면에 유체의 흐름에 영향을 주지 않는 대전면을 갖는 전극부를 설치하고 이로부터 정전용량을 측정함으로써 파이프 내주면에 고착된 비도전 물질로 된 이물질의 두께를 측정하여 파이프의 적절한 교체 시기를 알 수 있다.First, by installing the electrode part having a charging surface that does not affect the flow of fluid on the inner circumferential surface of the pipe and measuring the capacitance therefrom, it measures the thickness of the foreign matter of non-conductive material adhered to the inner circumferential surface of the pipe to know the proper time to replace the pipe. Can be.

둘째, 상술한 전극부 이외에 파이프 내주면으로부터 돌출된 프로브를 갖는 탐침부를 설치하고 이로부터 전류량을 측정함으로써 도전성 물질로 된 이물질의 두께를 측정하여 파이프의 적절한 교체 시기를 알 수 있다. Second, by installing a probe having a probe protruding from the inner circumferential surface of the pipe in addition to the above-described electrode portion and by measuring the amount of current therefrom, it is possible to determine the appropriate replacement time of the pipe by measuring the thickness of the foreign matter made of a conductive material.

도 1은 제1실시예의 검사 장치의 측단면도.
도 2는 도 1의 부분 확대도.
도 3은 제2 실시예의 검사 장치를 나타내는 측면 부분 확대도.
도 4는 제3실시예의 검사 장치의 측단면도.
도 5는 도 4의 평면도.
도 6은 도 4에 의한 검사 장치가 복수개 설치된 상태를 나타내는 평면도.
도 7은 제4실시예의 검사 장치의 측단면도.
도 8은 도 7의 검사 장치의 사용 상태를 나타내는 구성도.
도 9는 제5실시예의 검사 장치의 측단면도.
도 10은 도 9의 검사 장치의 사용 상태를 나타내는 구성도.
도 11은 제6실시예의 검사 장치가 복수개 설치된 상태를 나타내는 측면 구성도.1 is a side cross-sectional view of the inspection apparatus of the first embodiment.
2 is a partially enlarged view of FIG. 1;
Fig. 3 is an enlarged side view of the inspection device of the second embodiment;
Fig. 4 is a side sectional view of the inspection device of the third embodiment.
Fig. 5 is a plan view of Fig. 4; Fig.
6 is a plan view illustrating a state in which a plurality of inspection apparatuses according to FIG. 4 are installed.
Fig. 7 is a side sectional view of the inspection device of the fourth embodiment.
FIG. 8 is a configuration diagram showing a use state of the inspection device of FIG. 7. FIG.
9 is a side cross-sectional view of the inspection device of a fifth embodiment.
10 is a configuration diagram showing a use state of the inspection device of FIG. 9;
11 is a side configuration diagram showing a state where a plurality of inspection apparatuses of a sixth embodiment are installed.

이하에서는 본 발명을 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명은 파이프 내주면에 고착되는 이물질 두께를 정전용량 또는 전류량을 통해 측정하기 위한 것으로 이하에서는 제1 내지 제6실시예로 나누어 설명한다.The present invention is to measure the thickness of the foreign matter adhered to the inner peripheral surface of the pipe through the capacitance or the amount of current, and will be described below by dividing into the first to sixth embodiments.

제1실시예의 검사 장치는, 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 파이프(P) 내부에 1개의 전극(120)을 구비하는 전극부(100)와, 전극부(100)와 전기적으로 연결되어 정전용량을 측정하는 정전용량 측정부(미도시됨)를 구비한다. 이에 의해 전극(120)과 금속으로 이루어진 파이프 사이의 정전용량을 측정함으로써 파이프 내부의 이물질 두께를 검사할 수 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, the inspection apparatus of the first embodiment is electrically connected to an electrode part 100 having one electrode 120 inside the pipe P and an electrode part 100. A capacitance measuring unit (not shown) for measuring the capacitance is provided. Accordingly, by measuring the capacitance between the electrode 120 and the pipe made of metal, the thickness of the foreign matter in the pipe can be inspected.

전극부(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, 일정 내부 공간을 갖는 하우징(105)이 파이프 외주면에 결합되며, 하우징(106) 상단에 외부 전원이 입력되는 커넥터(101)가 오링(102)이 삽입된 상태에서 결합된다. 이때 커넥터(101)로서 BNC 커넥터를 사용할 수 있다. As shown in FIG. 2, the electrode unit 100 has a housing 105 having a predetermined internal space coupled to the outer circumferential surface of the pipe, and the connector 101 having an external power input at the top of the housing 106 is an O-ring 102. It is joined in the inserted state. At this time, a BNC connector can be used as the connector 101.

하우징(105) 내부에는 커넥터(101)의 전선(103)과 연결되는 단자(106)가 단자 고정부재(104)에 의하여 결합된다. The terminal 106 connected to the wire 103 of the connector 101 is coupled to the housing 105 by the terminal fixing member 104.

도전부재(110)는 단자(106)의 수직 하방으로 연결되어 파이프를 관통하여 내부로 연장되어 설치되고, 전극 고정부재(107)에 의하여 파이프 외주면에 수직하게 지지된다. The conductive member 110 is connected to the vertical bottom of the terminal 106 and extends through the pipe to be installed therein, and is vertically supported on the outer circumferential surface of the pipe by the electrode fixing member 107.

전극(120)은 도전부재(110) 하단에 결합되며, 파이프 내부의 유체 흐름이 방해되지 않도록 최대한 파이프 내주면에 밀착 형성되도록 파이프 내주면 형상에 상응하는 일정 곡률의 대전면을 갖는다. 이러한 전극(120)은 파이프와 절연 상태가 유지되도록 도전부재(110) 외주면은 물론 파이프 내주면과 전극(120)의 후면 사이에 절연부재(130)가 삽입된다. 이러한 절연부재로(130)는 PTFE(Polytetrafluoroethylene)를 사용할 수 있다.The electrode 120 is coupled to the lower end of the conductive member 110 and has a charging surface having a predetermined curvature corresponding to the shape of the inner circumferential surface of the pipe so as to be formed as closely as possible to the inner circumferential surface of the pipe so that the fluid flow inside the pipe is not disturbed. The electrode 120 is inserted between the inner peripheral surface of the pipe and the rear surface of the electrode 120 as well as the outer peripheral surface of the conductive member 110 to maintain the insulating state with the pipe. The insulating member 130 may use PTFE (Polytetrafluoroethylene).

정전용량 측정부(미도시됨)는 외부 전원과 커넥터(101) 사이에 설치되는 패럿미터(faradmeter)로 구성할 수 있으며, 이에 관한 기술은 공지의 기술에 해당하므로 구체적인 설명은 생략한다.The capacitance measuring unit (not shown) may be configured as a parameter installed between an external power source and the connector 101, and a description thereof will be omitted since it corresponds to a known technique.

상술한 바와 같이 구성된 제1실시예의 검사 장치에 의하면, 외부 전원 공급에 의하여 전하가 대전되는 대전면을 갖는 전극(120)과 접지된 파이프 사이의 정전용량을 정전용량 측정부로 측정하고, 이로부터 파이프 내주면에 고착된 이물질 두께를 측정할 수 있다.According to the inspection apparatus of the first embodiment configured as described above, the capacitance between the electrode 120 having the electrification surface charged with the external power supply and the grounded pipe is measured by the capacitance measuring unit, and the pipe inner peripheral surface therefrom. The thickness of the foreign matter adhered to can be measured.

이물질 두께의 측정 방법으로서, 먼저, 이물질이 고착되지 않은 깨끗한 파이프에 제1실시예의 검사 장치를 설치한 후 측정한 정전용량 값을 기준값(제로값)으로 설정한다.As a measuring method of the foreign material thickness, first, the capacitance value measured after installing the inspection apparatus of the first embodiment in a clean pipe to which no foreign matter is fixed is set to a reference value (zero value).

그 후, 검사 대상이 되는 파이프 라인에서 이물질이 고착된 파이프를 1 이상수집하여 이물질의 두께 정보를 획득하고, 해당 파이프에 제1실시예의 검사 장치를 설치한 후 정전용량을 측정하여 비교값을 획득한다.Thereafter, at least one pipe in which foreign matter is fixed is collected from the pipeline to be inspected to obtain thickness information of the foreign matter, and after the inspection apparatus of the first embodiment is installed in the pipe, the capacitance is measured to obtain a comparison value. do.

위와 같이 기준값과 비교값을 데이터베이스로 저장한 후, 제1실시예의 검사 장치를 검사가 필요한 파이프 라인에 설치한 후, 설정된 주기 별로 정전용량을 측정함으로써 파이프 내 이물질 두께를 측정할 수 있다. 이로부터 파이프를 적절한 시점에서 교체함으로써 안전 사고를 예방함은 물론, 파이프의 조기 교체에 따른 자원의 낭비를 최소화할 수 있다.
After storing the reference value and the comparison value as a database as described above, the thickness of the foreign matter in the pipe can be measured by measuring the capacitance for each set period after installing the inspection apparatus of the first embodiment in the pipeline requiring inspection. From this, the pipes can be replaced at the right time, preventing safety accidents and minimizing waste of resources due to early replacement of the pipes.

제2실시예의 검사 장치는, 도 3에 도시된 바와 같으며, 제1실시예의 검사 장치와 달리, 전극부(200)를 구성하는 도전부재(210)는 파이프 내주면에서 외주면 방향으로 인출되도록 단면을 상협하광의 형상을 갖는다. 그에 따라 절연부재(230)의 형상을 달리 구성함으로써 제1실시예에 비하여 내구성은 물론 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다. 특히 파이프 단면에 해당되는 도전부재(210)와 절연부재(230) 사이에 오링(208)을 삽입함으로써 기밀성을 더욱 향상시킬 수 있다.The inspection apparatus of the second embodiment is as shown in FIG. 3, and unlike the inspection apparatus of the first embodiment, the conductive member 210 constituting the electrode part 200 has a cross section so as to be drawn out from the inner peripheral surface of the pipe in the direction of the outer peripheral surface. It has the shape of light of the lower side. Accordingly, by differently configuring the shape of the insulating member 230, durability and airtightness can be further improved as compared with the first embodiment. In particular, by inserting the O-ring 208 between the conductive member 210 and the insulating member 230 corresponding to the pipe cross-section can be further improved airtightness.

그 외의 구성은 제1실시예와 동일하다. 즉, 도 3에 도시된 전극부(200)의 구성요소(201~207)는 제1실시예의 전극부(100) 구성요소(101~107)와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
The rest of the configuration is the same as in the first embodiment. That is, since the components 201 to 207 of the electrode unit 200 shown in FIG. 3 are the same as the components 101 to 107 of the electrode unit 100 of the first embodiment, description thereof will be omitted.

제3실시예의 검사 장치는 도 4, 5에 도시된 바와 같으며, 제1실시예와 달리 전극부(300)는 파이프 내부의 대향하는 위치에 동일한 구조를 갖는 2개의 제1, 제2전극부(300a, 300b)로 이루어지며, 제1, 제2전극부(300a, 300b)와 연결되어 외부 전원을 공급하는 전원공급부(300c)가 구비된다.The inspection apparatus of the third embodiment is as shown in Figs. 4 and 5, and unlike the first embodiment, the electrode portion 300 has two first and second electrode portions having the same structure at opposite positions in the pipe. And a power supply unit 300c connected to the first and second electrode units 300a and 300b to supply external power.

제1, 제2전극부(300a, 300b)는 파이프보다 큰 외경을 갖는 절연된 하우징(305) 내부에 설치된다. 그리고 전원공급부(300c)는 제1, 제2전극부(300a, 300b) 사이의 하우징(305) 외주면에 절연부재(302)를 매개로 하여 프랜지(309)에 의해 결합되며 외부 전원이 입력되는 커넥터(301)를 구비한다. 이때 커넥터(301)로서 BNC 커넥터를 사용할 수 있다. The first and second electrode parts 300a and 300b are installed in the insulated housing 305 having an outer diameter larger than that of the pipe. In addition, the power supply unit 300c is coupled to the outer peripheral surface of the housing 305 between the first and second electrode units 300a and 300b by the flange 309 via the insulating member 302 and to which an external power source is input. 301 is provided. At this time, a BNC connector may be used as the connector 301.

제1, 제2전극부(300a, 300b)는 동일한 구조를 가지므로, 이하에서는 제1전극부(300a)를 중심으로 설명한다.Since the first and second electrode parts 300a and 300b have the same structure, the first and second electrode parts 300a and 300b will be described below with reference to the first electrode part 300a.

제1전극부(300a)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 파이프의 외주면 상단에 결합되는데, 커넥터(301)와 단자(306) 사이에 차폐 전극 전선(303)이 연결되며, 단자(306)는 단자 고정부재(304)에 의하여 결합된다. 이때 커넥터(301) 측에 연결된 차폐 전극 전선(303)은 하우징(305) 내부에서 분기되고, 분기된 하나의 차폐 전선(308)은 파이프 외주면에 차폐 전선 고정부재(308)에 의하여 고정된다. 이로부터 정전용량 측정부에 가해지는 노이즈를 최소화할 수 있게 된다.As shown in FIG. 4, the first electrode part 300a is coupled to the upper end of the outer circumferential surface of the pipe, and the shielding electrode wire 303 is connected between the connector 301 and the terminal 306, and the terminal 306 is connected to the first electrode part 300a. Is coupled by the terminal fixing member 304. In this case, the shielding electrode wire 303 connected to the connector 301 is branched inside the housing 305, and the branched shielding wire 308 is fixed to the pipe outer circumferential surface by the shielding wire fixing member 308. This can minimize the noise applied to the capacitance measuring unit.

그 외의 구성은 제1실시예와 동일하다. 즉, 도전부재(310)는 단자(306)의 수직 하방으로 연결되어 파이프를 관통하여 내부로 연장되어 설치되고, 전극 고정부재(307)에 의하여 파이프 외주면에 수직하게 지지된다. 그리고 전극(320)은 도전부재(310) 하단에 결합되며, 파이프 내부의 유체 흐름이 방해되지 않도록 최대한 파이프 내주면에 밀착 형성되도록 파이프 내주면 형상에 상응하도록 일정 곡률의 대전면을 갖는다. 이러한 전극(320)은 파이프와의 절연 상태를 유지하도록 도전부재(310) 외주면은 물론 파이프 내주면과 전극(320)의 후면 사이에 절연부재(330)가 삽입된다.The rest of the configuration is the same as in the first embodiment. That is, the conductive member 310 is connected to the vertical lower portion of the terminal 306 to extend through the pipe and installed therein, and is vertically supported on the outer circumferential surface of the pipe by the electrode fixing member 307. In addition, the electrode 320 is coupled to the lower end of the conductive member 310, and has a charging surface of a predetermined curvature so as to correspond to the shape of the inner circumferential surface of the pipe so as to be formed as closely as possible to the inner circumferential surface of the pipe so that the fluid flow inside the pipe is not disturbed. The electrode 320 is inserted between the outer peripheral surface of the conductive member 310 as well as the inner peripheral surface of the pipe and the rear surface of the electrode 320 to maintain the insulation state with the pipe.

정전용량 측정부(미도시됨)는 하우징(305) 외부에서 외부 전원과 커넥터(301) 사이에 설치되는 패럿미터(faradmeter)로 구성할 수 있으며, 이에 관한 기술은 공지의 기술에 해당하므로 구체적인 설명은 생략한다.The capacitive measuring unit (not shown) may be configured as a faradmeter installed between the external power source and the connector 301 outside the housing 305, and the description thereof corresponds to a known technology, and thus, a detailed description. Is omitted.

상술한 바와 같이 구성된 제3실시예의 검사 장치에 의하면, 외부 전원 공급에 의하여 전하가 대전되는 2개의 대전면을 갖는 전극(320) 사이의 정전용량을 정전용량 측정부로 측정하고, 이로부터 파이프 내주면에 고착된 이물질 두께를 측정할 수 있다.According to the inspection apparatus of the third embodiment configured as described above, the capacitance between the electrodes 320 having two charging surfaces that are charged by the external power supply is measured by the capacitance measuring unit, and fixed to the inner circumferential surface of the pipe therefrom. Measured foreign material thickness can be measured.

제3실시예의 검사 장치는, 비대칭 대전면의 전극을 갖는 제1, 제2실시예에 비하여 대칭 대전면의 전극을 사용함으로써 이물질 두께에 따른 정전용량의 변화량을 보다 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있다.The inspection apparatus of the third embodiment has an advantage of more accurately measuring the amount of change in capacitance according to the foreign matter thickness by using the electrodes of the symmetrical charging surface as compared with the first and second embodiments having the electrodes of the asymmetrical charging surface.

도 6은 제3실시예의 검사 장치가 파이프 라인을 따라 3쌍이 설치된 상태를 나타내는 것으로, 각각의 검사 장치에 대하여 별도의 전원을 공급하거나, 하나의 전원을 공급하도록 구성할 수 있다.FIG. 6 illustrates a state in which three pairs of inspection apparatuses are installed along a pipeline, and may be configured to supply a separate power to each inspection apparatus or to supply one power.

하기의 표 1은 직경이 40mm인 파이프에 제3실시예의 검사 장치를 설치한 후, 파우더가 없는 상태(상태 1), 건조된 파우더를 충진한 상태(상태 2), 습기가 함유된 파우더를 충진한 상태(상태 3) 및 1시간의 건조 과정을 거친 상태(상태 4)에서 각각의 정전용량을 측정한 결과이다. 실험에 사용된 파우더의 성분은 SiN, WF6이다. 실제 파이프 내주면에 고착되는 파우더의 상태는 위에서 설명한 상태 4에 근접하며, 고착량이 크면 클수록 정전용량은 커지게 된다. 이로부터 파이프 내주면에 고착된 파우더의 두께를 측정할 수 있다.Table 1, below, after the inspection apparatus of the third embodiment is installed in a pipe having a diameter of 40 mm, has no powder (state 1), filled with dried powder (state 2), and filled with powder containing moisture. Each capacitance is measured in one state (state 3) and one hour of drying (state 4). The components of the powder used in the experiment were SiN, WF 6 . The state of the powder that is actually stuck to the inner circumferential surface of the pipe is close to state 4 described above, and the larger the amount of fixation, the larger the capacitance. From this, the thickness of the powder stuck to the inner circumferential surface of the pipe can be measured.

파우더 종류Powder type 상태 1State 1 상태 2State 2 상태 3State 3 상태 4State 4 SiNSiN 00 0.2pF0.2 pF 250nF250 nF 150nF150 nF WF6 WF 6 00 4.0pF4.0pF 4.2nF4.2 nF 3.6nF3.6 nF

제4실시예의 검사 장치는, 도 7, 8에 도시된 바와 같으며, 정전용량을 측정하는 제1 내지 제3실시예의 검사 장치와는 달리, 전류량을 측정하도록 파이프 내부의 서로 다른 위치에 4개의 탐침부(400a~400d)와, 각각의 탐침부(400a~400d)에 연결되어 전류량을 측정하는 전류 측정부(A1~A4)로 이루어진다. 이러한 제4실시예의 검사 장치는 정전용량을 측정하는 제1 내지 제3실시예의 검사 장치 중 어느 하나를 선택하여 동일한 파이프에 대하여 함께 설치하여 사용할 수 있다.The inspection apparatus of the fourth embodiment is as shown in Figs. 7 and 8, and unlike the inspection apparatus of the first to third embodiments measuring capacitance, four inspection apparatuses are provided at different positions inside the pipe to measure the amount of current. It is composed of probes 400a to 400d and current measuring units A1 to A4 connected to the respective probes 400a to 400d to measure the amount of current. The inspection apparatus of this fourth embodiment can be selected and used together with the same pipe by selecting any one of the inspection apparatuses of the first to third embodiments for measuring the capacitance.

각각의 탐침부(400a~400d)는 동일한 구조를 가지며, 외부로부터 전원을 공급받고 절연 상태를 유지하면서 파이프 내주면에 돌출된 도전성 재질의 1개의 프로브(410)가 파이프를 관통하여 설치된다. 이때 각각의 프로브(410)는 파이프와 절연 상태를 유지하도록 절연부재(420)가 피복되어 있다.Each probe 400a to 400d has the same structure, and one probe 410 of a conductive material protruding from the outside of the pipe while being supplied with power from the outside and maintaining an insulation state is installed through the pipe. At this time, each probe 410 is coated with an insulating member 420 to maintain the insulating state with the pipe.

도 8은 파이프 내주면에 도전성 물질이 포함된 파우더(S1~S4)가 고착된 상태에서 제4실시예의 검사 장치의 사용 상태를 나타낸다. 이에 의하면, 파이프 내주면에 도전성 물질의 파우더가 프로브(410)가 돌출된 부분까지 고착되면, 외부 전원으로부터 공급된 전류는 프로브(410)를 통해 접지된 파이프로 흐르게 되고, 이때의 전류량을 전류 측정부(A1~A4)에서 측정하게 된다. 따라서 각각의 전류 측정부(A1~A4)에서 측정되는 전류량에 따라 파이프 내주면에 고착되는 이물질의 두께를 측정할 수 있게 된다.FIG. 8 shows a state of use of the inspection apparatus of the fourth embodiment in a state in which powders S1 to S4 containing conductive materials are fixed to the inner circumferential surface of the pipe. According to this, when the powder of the conductive material is fixed to the portion of the inner peripheral surface of the pipe to the protruding portion of the probe 410, the current supplied from the external power flows to the grounded pipe through the probe 410, the current amount is measured by the current measuring unit Measurements are made at (A1 to A4). Therefore, it is possible to measure the thickness of the foreign matter adhered to the inner peripheral surface of the pipe according to the amount of current measured in each current measuring unit (A1 ~ A4).

한편, 파이프 내주면으로부터 돌출된 프로브(410)의 높이를 파이프에서 허용될 수 있는 이물질 두께만큼 설정하는 경우, 전류 측정부(A1~A4)에서의 전류 검출을 파이프의 이상 발생으로 간주할 수 있다. 이에 의하면 전류량의 크기를 일일이측정할 필요가 없다.
On the other hand, when the height of the probe 410 protruding from the inner circumferential surface of the pipe is set as the foreign matter thickness that can be accepted in the pipe, the current detection in the current measuring unit (A1 ~ A4) can be regarded as an abnormal occurrence of the pipe. This eliminates the need to measure the magnitude of the amount of current.

제5실시예의 검사 장치는 도 9, 10에 도시된 바와 같으며, 제4실시예와 달리 각각의 탐침부(500a~500d) 내부에 2개의 프로브(510)가 돌출되어 있으며, 각 프로브(510) 상호간과 프로브(510)와 파이프는 서로 절연 상태를 유지하도록 절연부재(520)가 구비된다. 그리고 각각의 프로브(510)와 인접한 탐침부(500a~500d)의 프로브(510) 사이에는 각각 전원과 전류 측정부(A1~A4)가 설치된다.9 and 10, the inspection apparatus of the fifth embodiment is different from the fourth embodiment, and two probes 510 protrude inside the respective probe parts 500a to 500d, and each probe 510 is different from each other. Insulation member 520 is provided to maintain the insulation state between the probe 510 and the pipe. The power and current measuring units A1 to A4 are installed between the probes 510 and the probes 510 of the adjacent probes 500a to 500d, respectively.

도 10은 파이프 내주면에 도전성 물질이 포함된 파우더(S1~S4)가 고착된 상태에서 제5실시예의 검사 장치의 사용 상태를 나타낸다. 이에 의하면, 도전성 물질의 파우더가 하나의 프로브(510)와 인접한 프로브(510) 사이에 고착되면, 외부 전원으로부터 공급된 전류가 프로브(510)에서 인접한 프로브(510)로 흐르게 되고, 이때의 전류량을 전류 측정부(A1~A4)에서 측정하게 된다. 따라서 각각의 전류 측정부(A1~A4)에서 측정되는 전류량에 따라 파이프 내주면에 고착되는 이물질의 두께를 측정할 수 있게 된다. FIG. 10 shows a state of use of the inspection apparatus of the fifth embodiment in a state in which powders S1 to S4 containing conductive materials are fixed to the inner circumferential surface of the pipe. According to this, when the powder of the conductive material is fixed between the one probe 510 and the adjacent probe 510, a current supplied from an external power source flows from the probe 510 to the adjacent probe 510, the amount of current at this time Measurement is made by the current measuring units A1 to A4. Therefore, it is possible to measure the thickness of the foreign matter adhered to the inner peripheral surface of the pipe according to the amount of current measured in each current measuring unit (A1 ~ A4).

예컨대 도 10에서 파우더가 S1 상태로 고착되면 2개의 탐침부(500a, 500d) 사이의 프로브(510) 사이에 전류가 흐르게 되어 전류 측정부(A1)에서 전류량이 측정된다. 제4실시예의 경우 탐침부(400a~400d) 설치 위치에서 도전성 물질의 고착량을 측정함에 비하여, 제5실시예의 경우 각각의 탐침부(500a~500d) 사이에 해당하는 위치에서 도전성 물질의 고착량을 측정한다.
For example, when the powder is fixed in the state S1 in FIG. 10, current flows between the probes 510 between the two probe parts 500a and 500d, and the amount of current is measured by the current measuring part A1. In the case of the fourth embodiment, the amount of fixation of the conductive material at the position corresponding to each of the probe parts 500a to 500d in the fifth embodiment, compared with measuring the amount of fixation of the conductive material at the installation positions of the probes 400a to 400d. Measure

제6실시예의 검사 장치는 도 11에 도시된 바와 같이, 5개의 프로브(610)를 갖는 탐침부(600a~600d)와 8개의 프로브(710)를 갖는 탐침부(700a~700d)가 파이프 외주면에 매트릭스 형태로 배치된 상태를 나타낸다. 이때 각각의 프로브(610, 710)는 절연부재(620, 720)에 의하여 절연 상태를 유지한다. 이에 의하면, 각각의 탐침부(600a~600d, 700a~700d)를 구성하는 프로브(610, 710)와 인접한 탐침부(600a~600d, 700a~700d)를 구성하는 프로브(610, 710) 사이에 도전성 물질의 파우더가 고착되면 프로브(610, 710) 사이에 전류를 흐르게 되어 이를 통하여 파우더의 고착량을 측정할 수 있다. 물론 각각의 탐침부(600a~600d, 700a~700d)는 둘레 방향, 길이 방향 이외에 나선 방향으로도 배치가 가능하며, 이를 통해 보다 파우더 고착량을 보다 정밀하게 측정할 수 있다.
In the inspection apparatus of the sixth embodiment, as illustrated in FIG. 11, the probes 600a to 600d having five probes 610 and the probes 700a to 700d having eight probes 710 are disposed on the outer peripheral surface of the pipe. It shows the state arranged in matrix form. In this case, each of the probes 610 and 710 may be insulated by the insulating members 620 and 720. Accordingly, the conductivity between the probes 610 and 710 constituting the probes 600a to 600d and 700a to 700d and the probes 610 and 710 constituting the adjacent probes 600a to 600d and 700a to 700d. When the powder of the material is fixed, a current flows between the probes 610 and 710 so that the amount of the powder is fixed. Of course, each probe portion (600a ~ 600d, 700a ~ 700d) can be arranged in the helical direction in addition to the circumferential direction, longitudinal direction, through which it is possible to more accurately measure the amount of powder adhered.

이상에서는 실시예를 중심으로 본 발명에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 특허청구범위에 기재된 기술적 사상은 물론 이와 균등의 영역에 해당되는 기술도 포함됨은 물론이다.The present invention has been described above with reference to the embodiments, but the scope of the present invention includes not only the technical idea described in the claims, but also the equivalent technology.

본 발명은 반도체, LCD, LED, MEMS 등의 생산설비에 포함되는 집진설비의 파이프 검사에 이용될 수 있다.The present invention can be used for pipe inspection of the dust collecting equipment included in the production equipment, such as semiconductor, LCD, LED, MEMS.

100, 200, 300 : 전극부
300a, 300b : 제1, 제2전극부
300c : 전원공급부
110, 210, 310 : 도전부재
120, 220, 320 : 전극
130, 230, 330 : 절연부재
400a~400d, 500a~500d, 600a~600d, 700a~700d : 탐침부
410, 510, 610, 710 : 프로브
420, 520, 620, 720 : 절연부재100, 200, 300: electrode portion
300a, 300b: first and second electrode portions
300c: power supply
110, 210, 310: conductive member
120, 220, 320: electrode
130, 230, 330: insulation member
400a ~ 400d, 500a ~ 500d, 600a ~ 600d, 700a ~ 700d: Probe
410, 510, 610, 710: probe
420, 520, 620, 720: insulation member

Claims (10)

파이프 내부에서 절연 상태를 유지하면서 외부에서 전원을 공급받고, 상기 파이프 내주면 일부 형상에 상응하고 상기 파이프 내부의 대향하는 위치에 각각 대전면을 구비하는 제1, 제2 전극부; 및
상기 제1, 제2전극부에 전기적으로 연결되어 상기 제1, 제2전극부 사이의 정전용량을 측정하는 정전용량 측정부;를 포함하되,
상기 제1, 제2전극부 각각은,
상기 전원과 연결되어 상기 파이프를 관통하는 도전부재;
상기 도전부재와 연결되어 상기 파이프 내주면에 근접한 대전면을 갖는 전극; 및
상기 도전부재와 상기 전극을 상기 파이프와 절연시키는 절연부재; 를 포함하고,
상기 각각의 도전부재는 분기되어 하나는 상기 전극에 연결되고, 다른 하나는 상기 파이프의 외주면에 연결되어 접지되는 것을 특징으로 하는 정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치.First and second electrode parts receiving electric power from the outside while maintaining an insulation state inside the pipe, and having a charging surface corresponding to a portion of the inner circumferential surface of the pipe and having opposing surfaces at opposite positions in the pipe; And
And a capacitance measurement unit electrically connected to the first and second electrode units to measure capacitance between the first and second electrode units.
Each of the first and second electrode portions,
A conductive member connected to the power source and penetrating the pipe;
An electrode connected to the conductive member and having a charged surface proximate to the inner circumferential surface of the pipe; And
An insulating member insulating the conductive member and the electrode from the pipe; Including,
And each conductive member is branched, one connected to the electrode, and the other connected to the outer circumferential surface of the pipe and grounded. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 도전부재는, 상기 파이프 내주면에서 외주면으로 인출되도록 단면이 상협하광의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치.The method of claim 1,
The conductive member, the powder thickness inspection device fixed to the inside of the pipe using a capacitance, characterized in that the cross section has a shape of the upper and lower light so as to be drawn out from the inner peripheral surface of the pipe. 삭제delete 삭제delete 파이프 내부에서 절연 상태를 유지하면서 외부에서 전원을 공급받고, 상기 파이프 내주면 일부 형상에 상응하는 대전면을 갖는 1 이상의 전극부;
상기 전극부에 전기적으로 연결되어 정전용량을 측정하는 정전용량 측정부;
상기 파이프 내부의 서로 다른 위치에 설치되며, 외부로부터 전원을 공급받고 상기 파이프와 절연 상태를 유지하면서 상기 파이프 내주면에 돌출된 도전성 재질로 된 1 이상의 프로브를 갖는 2 이상의 탐침부; 및
상기 프로브 각각에 전기적으로 연결되어 서로 다른 위치에 설치된 상기 탐침부 사이의 전류량을 측정하는 1 이상의 전류 측정부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치.At least one electrode unit receiving power from the outside while maintaining an insulation state inside the pipe and having a charging surface corresponding to a portion of the inner circumferential surface of the pipe;
A capacitance measuring unit electrically connected to the electrode unit to measure capacitance;
At least two probes installed at different positions inside the pipe and having at least one probe made of a conductive material protruding from the outside while receiving power from the outside and maintaining an insulation state with the pipe; And
At least one current measuring unit electrically connected to each of the probes to measure an amount of current between the probes installed at different positions;
Powder thickness inspection device fixed to the inside of the pipe using the capacitance, characterized in that it comprises a. 제7항에 있어서,
상기 탐침부 중 적어도 하나는,
상기 전원과 연결되어 상기 파이프를 관통하여 상기 파이프 내주면에 돌출된 1개의 프로브; 및
상기 프로브와 상기 파이프를 절연시키는 절연부재; 를 포함하고,
상기 전류 측정부는 상기 프로브로부터 접지된 상기 파이프로 흐르는 전류량을 측정하는 것을 특징으로 하는 정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치.The method of claim 7, wherein
At least one of the probe portion,
One probe connected to the power source and penetrating the pipe to protrude on the inner circumferential surface of the pipe; And
An insulating member insulating the probe from the pipe; Including,
The current measuring unit is a powder thickness inspection device fixed to the inside of the pipe using the capacitance, characterized in that for measuring the amount of current flowing from the probe to the grounded pipe. 제7항에 있어서,
상기 탐침부 중 적어도 하나는,
상기 전원으로부터 분기되며, 상기 파이프를 함께 관통하여 상호 절연된 상태로 상기 파이프 내주면에 각각 돌출된 2 이상의 프로브; 및
상기 전류 측정부는 상기 프로브 중 어느 하나와 인접한 다른 탐침부의 프로브 사이의 전류량을 측정하는 것을 특징으로 하는 정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치.The method of claim 7, wherein
At least one of the probe portion,
At least two probes branching from the power source and protruding from the power supply to the inner circumferential surface of the pipe in a state of being insulated from each other; And
And the current measuring unit measures the amount of current between any one of the probes and the probe of another probe unit adjacent to the probe. 제9항에 있어서,
상기 탐침부는, 상기 파이프의 둘레 방향, 길이 방향 및 나선 방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 정전용량을 이용한 파이프 내부에 고착된 파우더 두께 검사 장치.10. The method of claim 9,
The probe unit, the powder thickness inspection apparatus fixed to the inside of the pipe using the capacitance, characterized in that arranged in at least one direction of the circumferential direction, longitudinal direction and spiral direction of the pipe.
KR1020120079566A 2012-07-20 2012-07-20 Apparatus for measuring thickness of cumulated powder on the pipe inside KR101221619B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120079566A KR101221619B1 (en) 2012-07-20 2012-07-20 Apparatus for measuring thickness of cumulated powder on the pipe inside

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120079566A KR101221619B1 (en) 2012-07-20 2012-07-20 Apparatus for measuring thickness of cumulated powder on the pipe inside

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101221619B1 true KR101221619B1 (en) 2013-01-14

Family

ID=47841728

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120079566A KR101221619B1 (en) 2012-07-20 2012-07-20 Apparatus for measuring thickness of cumulated powder on the pipe inside

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101221619B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101461227B1 (en) 2014-07-11 2014-11-18 김광연 Apparatus and method for use in measuring powder thickness deposited on the inner surface of pipe
WO2022144829A1 (en) * 2020-12-30 2022-07-07 주식회사 헬릭스랩 Capacitance sensor for exhaust lines of semiconductor manufacturing equipment
CN117000705A (en) * 2023-10-07 2023-11-07 湖北江城芯片中试服务有限公司 Pipeline dust treatment device
US11815351B1 (en) 2023-06-15 2023-11-14 King Faisal University Device for monitoring internal pipe deposit accumulation

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4752360A (en) * 1985-06-03 1988-06-21 Cities Service Oil And Gas Corporation Corrosion probe and method for measuring corrosion rates
JPH06129803A (en) * 1992-10-21 1994-05-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Detecting device for scale thickness
JPH1123511A (en) * 1997-07-03 1999-01-29 Nec Corp Deposit detector

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4752360A (en) * 1985-06-03 1988-06-21 Cities Service Oil And Gas Corporation Corrosion probe and method for measuring corrosion rates
JPH06129803A (en) * 1992-10-21 1994-05-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Detecting device for scale thickness
JPH1123511A (en) * 1997-07-03 1999-01-29 Nec Corp Deposit detector

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101461227B1 (en) 2014-07-11 2014-11-18 김광연 Apparatus and method for use in measuring powder thickness deposited on the inner surface of pipe
US20170176165A1 (en) * 2014-07-11 2017-06-22 Kwang-youn Kim Apparatus for measuing thickness of powder deposited on inner surface of pipe
US9778017B2 (en) * 2014-07-11 2017-10-03 Kwang-youn Kim Apparatus for measuring thickness of powder deposited on inner surface of pipe
WO2022144829A1 (en) * 2020-12-30 2022-07-07 주식회사 헬릭스랩 Capacitance sensor for exhaust lines of semiconductor manufacturing equipment
US11815351B1 (en) 2023-06-15 2023-11-14 King Faisal University Device for monitoring internal pipe deposit accumulation
CN117000705A (en) * 2023-10-07 2023-11-07 湖北江城芯片中试服务有限公司 Pipeline dust treatment device
CN117000705B (en) * 2023-10-07 2024-01-12 湖北江城芯片中试服务有限公司 Pipeline dust treatment device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101221619B1 (en) Apparatus for measuring thickness of cumulated powder on the pipe inside
US9464979B2 (en) Monitoring a conductive fluid conduit
CN107449730B (en) Electrochemical testing device for corrosion of 90-degree elbow metal in flowing corrosive medium
EP1022563A1 (en) Eddy-current flaw detector probe
KR100815877B1 (en) Water absorption test equipment and method for generator stator bar insulation by cross capacitance
JP5681283B2 (en) Member for guiding or containing fluid, and method for inspecting the member
KR20070100417A (en) Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes
CN103245394A (en) Point-type liquid level sensor based on multilayer annular capacitor structure
CN107957529B (en) Method and apparatus for testing current connections of a high voltage condenser bushing assembly
CN105829854B (en) Space-closed object and the leakage monitoring system and corresponding method of bonding land therebetween
US8446154B2 (en) Methods and systems for quantifying degradation of wiring insulation
KR20150014063A (en) A moisture sensor
CN106404843A (en) Electrical measurement based four-point type nondestructive test probe with adaptive adjustment
CN102680382A (en) Under-deposit corrosion experiment bracket and method for experimenting by using same
CN106546303A (en) The capacitance level transducer being applied under adverse circumstances
CN114184911B (en) Method and device for detecting defect type of equipment and electronic equipment
KR20130077512A (en) Capacitive type digital sensor for detecting liquid level
CN111141965B (en) Electrostatic field measuring circuit using field effect transistor
KR101574102B1 (en) Eddy current inspection device and method for inspecting the cracks of turbine blade fingers dovetail
KR100591959B1 (en) 3-terminal type capacitive sensor for the degradation diagnosis of electrical insulating oil for transformer
KR102512127B1 (en) Resistive Particle Sensor
RU2793925C1 (en) Conductometric cell
TW491943B (en) Density measuring device for granulated material
CN111328172A (en) Flexible electrostatic energy release device
CN202757870U (en) Under-deposit corrosion experimental support

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151110

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170102

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180103

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190107

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191231

Year of fee payment: 8