KR101216031B1 - 증착용 파우더 공급장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치 - Google Patents

증착용 파우더 공급장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 증착용 파우더 공급장치는 하우징과, 상기 하우징 내의 소정 공간에 형성되어 증착용 파우더를 저장하고, 그 직경이 하부로 갈수록 작아지는 저장부와, 상기 저장부의 하부에 형성되어 상기 저장부와 연통되는 공급부와, 상기 하우징의 하부에 형성되어 공급부와 소정 간격 이격되어 형성된 배출부와, 상기 공급부와 배출부 사이에 형성되어 증착용 파우더를 공급부에서 배출부로 이동시키는 이송부로 구성된다.
상기와 같은 발명은 기계적인 방법에 의해 증착용 파우더를 이송함으로써, 증착용 파우더의 공급 재현성을 높일 수 있는 효과가 있다.
증착용 파우더, 이송부, 저장부, 기판, 챔버

Description

증착용 파우더 공급장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치{POWDER FEEDING APPARATUS AND SUBSTRATE DEPOSITING APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착용 파우더 공급의 재현성을 높이기 위한 증착용 파우더 공급장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치에 관한 것이다.
반도체 소자 및 평판 표시 장치(FPD; Flat Panel Display)는 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판(이하에서는 "기판" 이라 칭함) 상에 박막을 형성하고 이를 패터닝하는 공정을 반복 수행함으로써 제조할 수 있다.
상기 반도체 제조 공정 중 박막 증착 공정은 기판에 원하는 막을 원하는 두께로 증착하는 공정을 말하고, 이러한 박막 증착 장치는 챔버와, 상기 챔버 내에 마련되어 기판이 안착되는 기판 지지부와, 상기 기판 지지부의 상부에 마련된 가스 분사부를 포함하고, 상기 가스 분사부에는 증착용 파우더을 제공하는 증착용 파우더 공급장치가 연결된다.
상기 증착용 파우더 공급장치는 증착용 파우더를 캐리어 가스에 의해 챔버 내의 마련된 가스 분사부로 제공하고, 이러한 증착용 파우더는 증착용 파우더 공급 장치와 챔버 내부의 압력 차이에 의해 이동한다.
하지만, 상기와 같은 방법은 반복적으로 증착용 파우더를 상기 가스 분사부에 제공할 경우, 증착용 파우더 공급장치의 내부에 남아있는 증착용 파우더의 양, 증착용 파우더의 종류, 습기 함유량 그리고 정전기 등에 의해 증착용 파우더가 가스 분사부에 이송되는 양이 불균일 또는 불연속적으로 되고, 이는 증착용 파우더가 이송되는 양의 재현성을 떨어뜨리는 현상을 발생시킨다. 또한, 증착용 파우더 공급장치로부터 재현성이 낮은 불균일한 증착용 파우더가 챔버 내부로 공급되면, 기판 표면에 증착되는 증착 균일도가 감소하게 되는 문제점이 발생된다.
또한, 최근에는 회로 패턴의 선폭이 줄어듬에 따라 공정에 필요한 미량의 증착용 파우더을 정해진 양으로 공급하는 것이 더욱 중요한 요소로 작용하고 있으며, 마이크로 캐비티(microcavity) 등의 구조에 의한 광량 증대나 화이트 OLED와 같은 박막의 두께에 의해서 민감하게 영향을 받는 소자들로 인해 두께의 정확한 제어가 이루어져야 되기 때문에 상기와 같은 문제점은 더욱 해결해야할 문제점으로 부각된다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 증착용 파우더의 공급 재현성을 높이기 위한 증착용 파우더 공급장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 미량의 증착용 파우더를 정량으로 제공하기 위한 증착용 파우더 공급장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 하우징과, 상기 하우징 내의 소정 공간에 형성되어 증착용 파우더을 저장하고, 그 직경이 하부로 갈수록 작아지는 저장부와, 상기 저장부의 하부에 형성되어 상기 저장부와 연통되는 공급부와, 상기 하우징의 하부에 형성되어 공급부와 소정 간격 이격되어 형성된 배출부와, 상기 공급부와 배출부 사이에 형성되어 증착용 파우더를 공급부에서 배출부로 이동시키는 이송부를 포함하는 증착용 파우더 공급장치를 제공한다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 기계적인 방법에 의해 증착용 파우더을 이송함으로써, 증착용 파우더의 공급 재현성을 높일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 증착용 파우더를 이송하는 이송부의 회전량을 제어함으로써, 미량, 정량의 증착용 파우더를 효과적으로 공급할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 증착용 파우더의 공급 재현성이 높기 때문에 반복적으로 증 착 공정을 하더라도 균일한 박막을 얻을 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 반복적인 증착 공정에 따른 균일한 박막을 얻을 수 있기 때문에 기판의 생산성을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치에 증착용 파우더를 공급하기 위한 증착용 파우더 공급장치에 있어서, 하우징과, 상기 하우징 내의 소정 공간에 형성되어 증착용 파우더를 저장하고, 그 직경이 하부로 갈수록 작아지는 저장부와, 상기 저장부의 하부에 형성되어 상기 저장부와 연통되는 공급부와, 상기 하우징의 하부에 형성되어 공급부와 소정 간격 이격되어 형성된 배출부와, 상기 공급부와 배출부 사이에 형성되어 증착용 파우더를 공급부에서 배출부로 이동시키는 이송부를 포함한다.
상기 이송부는 회전축과, 상기 회전축의 일측에 연결된 회전축 구동부를 포함하고, 상기 회전축의 표면 일부에는 스크류가 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 이송부는 롤러부와, 상기 롤러부의 일측에 연결된 롤러 구동부를 포함하고, 상기 롤러부는 회전면의 일면이 접하도록 접합면을 포함하는 다수의 롤러로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 이송부는 스크류가 형성된 방향으로 회전 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 회전축 구동부는 펄스 타입의 동력을 회전축에 전달하여 회전축의 회전수를 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 회전축의 일측에는 분사 수단이 더 구비되고, 상기 분사 수단은 회전축 의 상부에서 불활성 가스 또는 공기를 분사하는 것을 특징으로 한다.
상기 롤러부의 하부에는 롤러부와 소정 간격 이격되어 마련된 적어도 하나의 롤러부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 롤러부의 일측에는 분사 수단이 더 구비되고, 상기 분사 수단은 롤러부의 상부에서 불활성 가스 또는 공기를 분사하는 것을 특징으로 한다.
최상위에 마련된 롤러부의 접합면은 공급부의 하부에 마련되고, 최하위에 마련된 롤러부의 접합면은 배출부의 상부에 마련된 것을 특징으로 한다.
상기 저장부에는 저장부에 저장된 증착용 파우더를 믹싱하기 위한 믹싱부가 마련된 것을 특징으로 한다.
상기 믹싱부는 일부가 저장부의 내측에 삽입되는 브러시와, 상기 브러시의 끝단에 연결되어 브러시를 회전시키는 브러시 구동부를 포함하고, 상기 브러시는 수직축을 기준으로 회전 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 저장부의 내측에 삽입된 브러시의 표면에는 상기 표면과 소정 각도를 이루도록 돌출 형성된 돌출부가 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 돌출부는 끝단의 일부가 절곡 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 저장부의 내측에 삽입된 브러시의 표면에는 연성의 금속 와이어가 형성된 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형 태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상의 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치가 구비된 박막 증착 장치를 나타낸 개략 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치를 나타낸 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치의 변형예를 나타낸 개략 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치에 구비된 믹싱부를 나타낸 단면도이고, 도 5 및 도 6은 본 발명의 제 1 실시예의 증착용 파우더 공급장치를 이용하여 시간에 따른 증착용 파우더가 공급되는 양을 나타내는 그래프이다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 상기 증착용 파우더 공급장치가 구비된 박막 증착 장치는 챔버(100)와, 상기 챔버(100) 내의 하부에 마련된 기판 지지부(200)와, 상기 기판 지지부(200)의 상부에서 증착용 가스를 기판(S)을 향하여 분사하기 위한 가스 분사부(300)와, 상기 가스 분사부(300)와 연결되어 가스 분사부(300)에 증착용 증착용 파우더을 제공하기 위한 증착용 파우더 공급장치(400)를 포함한다.
상기 챔버(100)는 원통형 또는 사각 박스 형상으로 내부에는 기판(S)을 처리할 수 있도록 소정 공간이 마련된다. 챔버(100)의 형상은 한정되지 않으며, 기판(S)의 형상에 대응하는 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 여기서, 챔버(100)의 측벽에는 기판(S)의 출입을 위한 기판 출입구(110)가 형성되어 있으며, 기판 출입구(110)를 통해 기판(S)의 반입 및 반출이 이루어진다. 물론, 기판 출입구(110) 는 챔버(100)의 양측벽에 형성되어 반입 및 반출이 각각 이루어질 수 있다. 또한, 챔버(100)의 하부에는 챔버(100) 내부를 배기하기 위한 별도의 배기 수단(120)이 형성되어 있으며, 상기 배기 수단(120)은 필요에 따라 다수개가 형성될 수 있다.
상기 기판 지지부(200)는 챔버(100) 내의 하부에 마련되고, 기판(S)이 안착되는 안치대(210)와, 상기 안치대(210)의 하부에 연결되어 안치대(210)를 승하강시키는 승강 부재(220)를 포함한다. 상기 안치대(210)는 기판(S)의 형상과 대응하는 형상으로 형성되는 것이 바람직하고, 안치대(210)의 내부에는 기판(S)의 로딩 및 언로딩을 돕기 위해 상하 이동이 가능한 리프트 핀(미도시)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 안치대(210)에는 상기 기판 지지부(200)의 상부에 안착되는 기판(S)을 필요에 따라 냉각 또는 가열하기 위한 수단(미도시)이 더 마련될 수 있다.
상기 가스 분사부(300)는 인젝터 타입으로 기판(S)이 안치된 기판 지지부(200)와 대향하도록 챔버(100) 내의 상부에 마련되고, 내부에 소정 공간(310)이 형성된 몸체(320)와, 상기 몸체(320)의 하부에 형성된 다수의 관통홀(330)을 포함한다. 여기서, 상기 관통홀(330)은 몸체(320) 내에 형성된 소정 공간(310)과 연통되어 있으며, 챔버(100) 내의 하부에 마련된 기판(S)을 향하도록 형성된다. 또한, 몸체(320)의 내부에는 소정 공간(310)에 공급된 증착용 파우더를 기화시키기 위해 가열 수단(미도시)이 마련될 수 있으며, 물론, 몸체(320)의 외측에 가열 수단이 마련될 수도 있다.
상기 몸체(320)의 내부에 형성된 소정 공간(310)에는 증착용 파우더가 공급되어 저장되고, 소정 공간(310)에 저장된 증착용 파우더는 가열 수단에 의해 기화 되어 증착용 가스로 변하고, 증착용 가스는 관통홀(330)을 거쳐 기판(S)의 상부면에 분사된다.
상기에서는 인젝터 타입의 가스 분사부(300)를 도시하였으나, 샤워 헤드 타입의 가스 분사부를 설치할 수 있다. 또한, 상기에서는 가스 분사부(300) 내에 공급된 증착용 파우더를 몸체 내측 또는 외측에 마련된 가열 수단에 의해 상기 몸체(320) 내에서 기화시켰지만, 증착용 파우더의 기화 수단을 챔버(100)의 외측에 마련하여 기화된 증착용 가스를 가스 분사부(300)에 공급할 수 있음은 물론이다.
상기 증착용 파우더 공급장치(400)는 가스 분사부(300)의 상부, 구체적으로는 몸체(320) 내부에 형성된 소정 공간(310)의 상부와 연통되도록 연결되어 있으며, 정량의 증착용 파우더를 가스 분사부(300)에 제공하는 역할을 한다. 여기서, 상기 증착용 파우더 공급장치(400)는 증착용 파우더를 종래에 캐리어 가스에 의해 이동시키는 것과 달리 기계적인 구조에 의해 가스 분사부(300)에 공급한다. 상기 증착용 파우더 공급장치(400)에 대해서는 이하 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 증착용 파우더 공급장치(400)는 하우징(410)과, 상기 하우징(410) 내에 소정의 공간에 형성된 저장부(420)와, 상기 저장부(420)의 하부에 형성된 공급부(430)와, 상기 하우징(410)의 하부에 형성되어 공급부(430)와 소정 간격 이격되어 형성된 배출부(440)와, 상기 공급부(430)와 배출부(440) 사이의 공간에 형성된 이송부(450)를 포함한다. 여기서, 저장부(420)에는 저장된 증착용 파우더를 휘저어주는 믹싱부(460)를 더 포함한다.
상기 저장부(420)는 하우징(410)의 내부 즉, 제 2 하우징(410b)의 상부 일부가 개방되어 내측으로 형성된 소정의 홈에 마련되어 있으며, 증착용 파우더를 저장하는 역할을 한다. 여기서, 저장부(420)에 저장된 증착용 파우더는 제 1 하우징(410a)을 분리한 상태에서 증착용 파우더를 제 2 하우징(410b) 내의 저장부(420)에 제공할 수 있으며, 제 1 하우징(410) 또는 제 2 하우징 내에 저장부(420)와 연통되도록 증착용 파우더 공급 구멍(미도시)을 형성하여 제공할 수 있다. 또한, 상기 저장부(420)는 저장된 증착용 파우더가 하부로 집중되도록 그 직경이 하부로 갈수록 작은 것이 바람직하다.
상기 공급부(430)는 저장부(420)의 하부 끝단에 형성되어 있으며, 상기 공급부(430)는 저장부(420)와 제 2 하우징(410b)의 하부를 연통하는 소정의 직경을 가지는 구멍 형상으로 형성되고, 물론, 구멍 형상 이외에도 파이프 형상으로 형성되어도 무방하다. 여기서, 공급부(430)는 적절한 양의 증착용 파우더를 공급할 수 있도록 그 직경을 조절할 수 있다.
상기 배출부(440)는 공급부(430)와 상하 소정 간격 이격되어 형성되고, 구체적으로 제 3 하우징(410c)의 상하를 관통하도록 형성된 파이프 형상으로 형성된다. 상기 배출부(440)는 공급부(430)에서 공급된 증착용 파우더를 증착용 파우더 공급장치(400)에서 외부로 배출하여 챔버(100) 내의 가스 분사부(300)에 공급하는 역할을 한다.
상기 이송부(450)는 제 2 하우징(410b)과 제 3 하우징(410c)의 사이 즉, 공급부(430)의 하부와 배출부(440)의 상부 사이의 공간에 마련되고, 표면 일부에 일 방향으로 스크류(456)가 형성된 회전축(452)과, 상기 회전축(452)의 끝단과 연결되어 상기 회전축(452)을 회전시키는 회전축 구동부(454)를 포함한다.
상기 회전축(452)은 공급부(430)와 배출부(440) 사이의 공간에서 공급부(430)의 하부와 배출부(440)의 상부를 지나도록 마련되고, 공급부(430)와 배출부(440)를 지나는 회전축(452)의 표면에는 스크류(456)가 일방향으로 형성되어 있다. 또한, 상기 회전축 구동부(454)는 회전축(452)의 끝단에 연결되어 하우징(410)의 외측 즉, 제 2 하우징(410b)의 측부의 외측에 마련되어 있으며, 상기 회전축(452)을 일방향으로 회전시키는 역할을 한다.
상기 회전축 구동부(454)는 회전축(452)의 표면에 형성된 스크류(456)의 방향에 따라 회전축(452)을 회전시키는 것이 바람직하며, 회전축 구동부(454)로는 모터를 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 회전축(452)에 형성된 스크류(456)가 오른쪽으로 진행하도록 형성되어 있다면, 회전축(452)을 오른쪽으로 회전시켜 공급부(430)로부터 공급된 증착용 파우더를 회전축(452)과의 사이에 발생되는 마찰력과 스크류(456)의 방향에 의해 배출부(440)로 이동시킬 수 있으며, 그와 반대로 회전축(452)에 형성된 스크류(456)가 왼쪽으로 진행하여 형성되어 있다면, 회전축(452)을 왼쪽으로 회전시켜 공급부(430)로부터 공급된 증착용 파우더를 회전축(452)과의 사이에 발생되는 마찰력과 스크류(456)의 방향에 의해 배출부(440)로 이동시킬 수 있다.
상기 증착용 파우더와 회전축(452) 사이의 마찰력 및 증착용 파우더가 배출부(440)로 이송되는 양은 증착용 파우더가 회전축(452)에 접촉되는 접촉 면적, 회 전축(452)의 재질, 회전축(452)의 회전수, 스크류(456)의 피치 간격, 공급부(430)의 직경 등으로 조절이 가능하다. 특히, 미량의 증착용 파우더를 이송시키기 위해 회전축 구동부(454)를 펄스 형태로 동작시켜 회전축(452)의 회전수를 미세하고 정밀하게 제어할 수 있다.
상기 이송부(450)에 증착용 파우더가 정체되는 것을 방지하기 위해 상기 회전축(452)의 일측에 분사 수단(471)이 더 구비될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 분사 수단(471)은 하부에 소정 구멍이 다수개 형성되어 소정 직경을 가지는 관 형상으로 형성되고, 회전축(452)의 상부 구체적으로는 배출부(440)의 상부에 마련된 회전축(452)의 상부에 마련된다. 여기서, 상기 분사 수단(471)은 제 2 하우징 내에 삽입되어 형성될 수 있으며, 제 2 하우징과 제 3 하우징 사이에 마련되어 회전축(452)의 상부에 배치될 수도 있다. 여기서, 상기 분사 수단(471)는 불활성 가스 또는 공기가 분사할 수 있다.
상기 증착용 파우더가 회전축(452)에 형성된 스크류(456)를 따라 배출부(440)로 이동되는 동안 상기 분사 수단(470)은 회전축(452)의 상부 구체적으로는 배출부(440)의 상부에 위치한 회전축(452)의 상부에서 불활성 가스 또는 공기가 분사되고, 이에 의해 회전축(452)에 정체되는 증착용 파우더를 배출부(440)를 향해 이동시킨다. 즉, 상기 분사 수단(471)은 균일한 양의 증착용 파우더를 공급하는 이송부(450)를 도와 증착용 파우더의 이송을 원활하게 해주는 역할을 한다.
상기 저장부(420) 내에는 저장된 증착용 파우더가 이송부(450)로 원활하게 공급되도록 믹싱부(460)가 더 마련된다.
상기 믹싱부(460)는 브러시(462)와, 상기 브러시(462)를 회전시키기 위한 브러시 구동부(464)를 포함한다. 상기 브러시(462)는 제 1 하우징(410a)의 상부에서 저장부(420)에 일부가 삽입되도록 수직으로 연장 형성되고, 상기 저장부(420)에 삽입된 브러시(462)의 표면에는 브러시(462)의 표면 외측으로 돌출 형성된 돌출부(466)가 형성되어 있다. 상기 돌출부(466)의 형상은 브러시(462)와 수직 방향 또는 소정 각도를 이루도록 돌출되어 형성될 수 있으며, 수직 방향 또는 소정 각도로 형성된 돌출부(466)를 절곡시켜 형성할 수도 있다. 또한, 상기 브러시 구동부(464)는 브러시(462)의 끝단과 연결되어 하우징(410)의 상부면 외측에 마련되어 있으며, 상기 브러시(462)를 회전시키는 역할을 한다. 여기서, 상기 브러시(462)는 브러시 구동부(464)에 의해 오른쪽 또는 왼쪽으로 회전하거나, 오른쪽 및 왼쪽을 번갈아가며 회전할 수 있으며, 펄스 형태의 구동력을 인가하여 회전수를 제어할 수 있다.
상기 저장부(420)에 저장된 증착용 파우더는 믹싱부(460)의 회전에 의해 증착용 파우더의 이동을 원활하게 함으로써, 이송부(450)의 회전축(452)에 정량의 증착용 파우더를 제공할 수 있다. 특히, 상기 믹싱부(460)는 공급부(430) 근처의 증착용 파우더를 효과적으로 분산시킴으로써, 증착용 파우더가 공급부(430)에서 정체되어 상기 공급부(430)가 막히는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기 믹싱부(460)는 저장부(420)에 저장된 증착용 파우더의 이동성을 더욱 극대화시키기 위해 다음과 같이 구성할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 믹싱부(460)는 외측 일부에 돌출부(466)가 형성된 브러시(462)와, 상기 브러시(462)를 회전시키기 위해 브러시(462)의 끝단에 연결된 브러시 구동부(464)를 포함하고, 상기 브러시(462)의 외측 하부에는 와이어(468)가 다수개 형성되어 있다. 여기서, 상기 와이어(468)는 연성을 갖는 얇은 금속 재질로 형성하는 것이 바람직하다.
금속 재질의 와이어(468)는 상기 브러시(462)가 회전할 경우, 다수의 와이어(468)가 펼쳐지면서 회전하고, 이에 의해 증착용 파우더와 접촉하면서 상기 증착용 파우더가 뭉치지 않도록 효율적으로 분산시킬 수 있다. 또한, 상기 와이어(468)를 브러시(462)의 외측 하부 즉, 공급부(430)와 가까운 곳에 설치됨으로써 공급부(430) 주위의 증착용 파우더를 고르게 섞이게 하고, 이에 의해 증착용 파우더가 응집되어 공급부(430)가 막히는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이하에서는 도 5 및 도 6을 참조하여, 이송부(450)와 믹싱부(460)의 회전량에 따라 증착용 파우더가 배출되는 양을 비교한다. 여기서 가로축은 시간(sec)을 나타내고, 세로축은 증착용 파우더가 배출되는 양(g)을 나타낸다.
실험 1 (#1)은 이송부(450) 즉, 회전축(452)의 회전 속도를 600rpm, 믹싱부(460) 즉, 브러시(462)의 회전 속도를 400rpm으로 고정시켜 시간에 따른 증착용 파우더의 배출량을 측정하였으며, 실험 2 (#2)는 이송부(450) 즉, 회전축(452)의 회전 속도를 600rpm, 믹싱부(460) 즉, 브러시(462)의 회전 속도를 120rpm으로 고정시켜 시간에 따른 증착용 파우더의 배출량을 측정하였으며, 실험 3 (#3)은 이송부(450) 즉, 회전축(452)의 회전 속도를 120rpm, 믹싱부(460) 즉, 브러시(462)의 회전 속도를 120rpm으로 고정시켜 시간에 따른 증착용 파우더의 배출량을 측정하였으며, 실험 4 (#4)는 이송부(450) 즉, 회전축(452)의 회전 속도를 60rpm, 믹싱 부(460) 즉, 브러시(462)의 회전 속도를 120rpm으로 고정시켜 시간에 따른 증착용 파우더의 배출량을 측정하였다. 여기서, 실험 1 내지 실험 4는 증착용 파우더가 회전축(452)과 접촉되는 접촉 면적, 회전축(452)의 재질, 스크류(456)의 피치 간격 그리고 공급부(430)의 직경을 동일한 조건으로 고정하였다.
먼저, 실험 1 과 실험 2 즉, 동일한 이송부(450)의 회전 속도(600rpm)에 대한 각각의 믹싱부(460)의 회전 속도(400rpm(#1), 120rpm(#2))에 따라 믹싱부(460)가 증착용 파우더를 배출하는 양에 미치는 영향을 살펴보면, 도 5에 도시된 바와 같이, 시간에 따른 증착용 파우더의 배출량은 시간이 지남에 따라 실험 1과 실험 2 모두 선형적으로 증가하는 것을 알 수 있다. 특히, 150초 이하에서는 실험 1, 실험 2 모두 증착용 파우더가 배출되는 양의 차이가 없음을 알 수 있고, 150초 내지 300초 사이에는 실험 1이 실험 2보다 증착용 파우더가 배출되는 양이 약간 많음을 알 수 있다. 하지만, 실험 1 과 실험 2는 편차가 20% 내에 지나지 않아 오차 범위 내에 동일한 것으로 판단된다.
따라서, 믹싱부(460)의 회전 속도는 증착용 파우더가 배출되는 양에 영향을 미치지 않는 것으로 나타났다.
다음으로, 실험 2 내지 실험 4 즉, 동일한 믹싱부(460)의 회전 속도(120rpm)에 대한 각각의 이송부(450)의 회전 속도(600rpm(#2), 120rpm(#3), 60rpm(#4))에 따라 이송부(450)가 증착용 파우더를 배출하는 양에 미치는 영향을 살펴보면, 도 6에 도시된 바와 같이, 시간에 따른 증착용 파우더의 배출량은 실험 2 내지 실험 4 모두 선형적으로 증가하나, 실험 2의 경우 즉, 이송부(450)가 600rpm 으로 회전하 는 경우 시간에 따라 증착용 파우더가 배출되는 양이 급격하게 상승하는 것을 알 수 있으며, 그 뒤로 이송부(450)가 각각 120rpm, 60rpm으로 회전하는 실험 3과 실험 4가 차례대로 증착용 파우더의 배출량이 증가하는 것을 알 수 있다.
따라서, 이송부(450)의 회전 속도는 증착용 파우더가 배출되는 양에 커다란 영향을 미치는 것으로 나타났으며, 이는 이송부(450)의 회전 속도에 의해 증착용 파우더의 배출량이 결정된다는 것을 알 수 있다. 이는 미량의 증착용 파우더를 챔버(100) 내의 가스 분사부(300)에 제공하고자 할 경우, 이송부(450)의 회전 속도를 줄임으로써, 미세한 양의 증착용 파우더를 제공할 수 있는 효과가 있다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치를 나타낸 단면도이고, 도 8 및 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치에 구비된 이송부의 변형예를 나타낸 단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 증착용 파우더 공급장치(400)는 하우징(410)과, 상기 하우징(410) 내에 소정의 공간이 형성된 저장부(420)와, 상기 저장부(420)의 하부에 형성된 공급부(430)와, 상기 하우징(410)의 하부에 형성되어 상기 공급부(430)와 소정 간격 이격되어 형성된 배출부(440)와, 상기 공급부(430)와 배출부(440) 사이의 공간에 마련된 이송부(500)를 포함한다. 여기서, 상기 저장부(420)에는 저장된 증착용 파우더를 저장부(420) 내에서 증착용 파우더를 휘저어주는 믹싱부(460)가 더 포함된다. 이하에서는 상기 이송부(500)를 제외한 구성은 제 1 실시예와 동일하므로 생략하기로 한다.
상기 배출부(440)는 공급부(430)와 수직으로 동일한 축 상에 위치하고, 상기 공급부(430)와 배출부(440) 사이의 공간에 이송부(500)가 마련된다.
상기 이송부(500)는 롤러부(510)와, 상기 롤러부(510)를 회전시키기 위한 롤러 구동부(520)를 포함한다. 상기 롤러부(510)는 회전면의 일면이 접한 두 개의 롤러(510a, 510b)로 구성되고, 상기 두 개의 롤러(510a, 510b)의 접합면(512)은 공급부(430)의 하부 및 배출부(440)의 상부와 대략 일직선 상에 마련된다. 또한, 상기 롤러 구동부(520)는 적어도 하나의 롤러(510a)의 일측에 연결되어 하우징(410)의 외측에 마련되어 있으며, 상기 롤러 구동부(520)는 두 개의 롤러(510a, 510b)를 서로 다른 방향으로 회전시키는 역할을 한다. 물론, 상기 롤러 구동부(520)는 두 개의 롤러(510a, 510b)에 각각 연결될 수 있음은 물론이고, 상기 롤러 구동부(520)는 모터를 사용하는 것이 바람직하다.
두 개의 롤러(510a, 510b)가 서로 다른 방향으로 회전되면, 상기 두 개의 롤러(510a, 510b) 사이에는 마찰력이 발생하고, 상기 마찰력에 의해 이송부(500)에 공급된 증착용 파우더를 롤러부(510)의 회전 방향으로 이송시킨다. 여기서, 상기 마찰력 및 증착용 파우더가 이송되는 양은 증착용 파우더와 롤러부(510)의 접촉 면적, 롤러부(510)의 재질, 롤러부(510)의 회전수 그리고 롤러부(510)의 표면 형태 등에 따라 조절이 가능하다. 또한, 증착용 파우더의 배출되는 양 특히, 미량의 증착용 파우더의 양을 조절하기 위해 롤러 구동부(520)를 펄스 형태로 동작시켜 롤러부(510)의 회전수를 제어할 수 있다.
따라서, 두 개의 롤러(510a, 510b)를 서로 다른 방향 즉, 내측 방향으로 회전시키고, 증착용 파우더를 두 개의 롤러(510a, 510b) 사이의 접합면(512)에 공급 하면, 상기 두 개의 롤러(510a, 510b)가 회전하면서 발생된 마찰력에 의해 증착용 파우더는 롤러부(510)의 회전 방향에 따라 진행하면서 배출부(440)로 이송된다.
상기 이송부(500) 즉, 롤러부(510)에 증착용 파우더가 정체되는 것을 방지하기 위해 상기 롤러부(510)의 일측에 분사 수단(540)이 더 구비될 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 분사 수단(540)은 하부에 소정 구멍이 다수개 형성되어 소정 직경을 가지는 관 형상으로 형성되고, 롤러부(510)의 상부 구체적으로는 두 개의 롤러(510a, 510b) 사이의 접합면(512)에 불활성 가스 또는 공기를 분사하도록 롤러부(510)의 일측에 마련된다. 여기서, 상기 분사 수단(540)은 롤러부(710)의 상부에서 배출부(440)를 향햐도록 분사하는 것이 바람직하며, 상기 롤러부(710)의 일측에서 롤러부(710)의 회전 방향에 따라 분사할 수도 있다.
상기 공급부(430)와 배출부(440)가 서로 다른 수직축 상에 있을 경우, 이송부(500)는 다음과 같이 구성될 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 상기 이송부(500)는 상하 소정 간격 이격 형성된 제 1 롤러부(510) 및 제 2 롤러부(530)와, 상기 제 1 및 제 2 롤러부(510, 530)를 구동시키기 위한 제 1 롤러 구동부(520) 및 제 2 롤러 구동부(540)를 포함한다.
제 1 롤러부(510) 및 제 2 롤러부(530)는 각각 회전면의 일면이 접한 두 개의 롤러(510a, 510b, 530a, 530b)로 구성되며, 제 1 롤러부(510)의 접합면(512)은공급부(430)의 하부에 마련되고, 제 2 롤러부(530)의 접합면(532)은 배출부(440)의 상부에 마련된다. 여기서, 상기 제 1 롤러부(510)의 접합면(512)은 제 2 롤러부(530)의 하나의 롤러(530a)의 상부에 마련되는 것이 바람직하다.
제 1 롤러 구동부(520) 및 제 2 롤러 구동부(540)는 각각 제 1 롤러부(510) 및 제 2 롤러부(530)에 연결되고, 제 1 롤러부(510) 및 제 2 롤러부(530)를 각각 회전시키는 역할을 한다. 물론, 상기 제 1 롤러 구동부(520) 및 제 2 롤러 구동부(540)는 제 1 롤러부(510) 및 제 2 롤러부(530)를 구성하는 각각의 롤러(510a, 510b, 530a, 530b)에 연결될 수 있음은 물론이다.
따라서, 제 1 롤러부(510) 및 제 2 롤러부(530) 각각의 두 개의 롤러(510a, 510b, 530a, 530b)를 서로 다른 방향 즉, 내측 방향으로 회전시키고, 증착용 증착용 파우더를 제 1 롤러부(510)의 접합면(512)에 공급하면, 상기 제 1 롤러부(510)가 회전하면서 발생된 마찰력에 의해 증착용 파우더는 제 1 롤러부(510)의 회전 방향에 따라 진행하고, 제 1 롤러부(510)를 거친 증착용 파우더는 제 2 롤러부(530)의 적어도 하나의 롤러(530a)의 상부로 진행하며, 제 2 롤러부(530)의 접합면(532)을 따라 진행되어 배출부(440)로 이송된다.
여기서, 상기 제 1 롤러부(510) 및 제 2 롤러부(530) 사이에는 제 1 및 제 2 롤러부(510, 530) 사이로 진행되는 증착용 파우더가 외부로 새는 것을 방지하기 위해 증착용 파우더를 제 2 롤러부로 유도하는 유도 부재(미도시)가 더 마련될 수 있다.
상기에서는 2개의 롤러부(510, 530)를 사용하여 설명하였지만, 다수의 롤러부가 상하 소정 간격 이격되어 형성될 수 있음은 물론이고, 이때, 다수의 롤러부 중 최상위에 마련된 롤러부의 접합면은 공급부(430)의 하부에 마련되고, 최하위에 마련된 롤러부의 접합면은 배출부(440)의 상부에 마련된 것이 바람직하다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치를 나타낸 단면도이다.
도면을 참조하면, 증착용 파우더 공급장치는 하우징(410)과, 상기 하우징(410) 내부에 마련되어 증착용 파우더를 저장하는 저장부(420)와, 상기 저장부(420)의 하부와 연통되는 제 1 공급부(430)와, 상기 제 1 공급부(430)와 소정 간격 이격 배치된 제 2 공급부(432)와, 상기 하우징(410)의 하부에 형성되어 제 2 공급부(432)와 소정 간격 이격 배치된 배출부(440)와, 상기 제 1 공급부(430)와 제 2 공급부(432) 사이에 마련된 제 1 이송부(600)와, 상기 제 2 공급부(432)와 배출부(440) 사이에 마련된 제 2 이송부(700)를 포함한다. 여기서, 상기 저장부(420)에는 저장된 증착용 분말을 휘저어주는 믹싱부(460)를 더 포함한다.
상기 하우징(410)의 내부에는 하부로 갈수록 직경이 작아지는 저장부(420)가 마련되고, 상기 저장부(420)의 하부에는 소정 직경을 가지는 제 1 공급부(430)가 형성된다. 상기 제 1 공급부(430)의 하부에는 제 1 공급부(430)와 상하 소정 간격 이격 형성된 제 2 공급부(432)가 형성되고, 상기 제 1 공급부(430)와 제 2 공급부(432) 사이에는 제 1 이송부(600)가 마련된다. 또한, 상기 제 2 공급부(432)의 하부 즉, 하우징(410)의 하부면에는 제 2 공급부(432)와 동일한 수직축 상에서 소정 간격 이격 형성된 배출부(440)가 마련되고, 상기 제 2 공급부(432)와 배출부(440) 사이에는 제 2 이송부(700)가 마련된다.
상기 제 1 이송부(600)는 제 1 실시예에서 설명한 바와 같은 스크류 타입의 이송부로서, 회전축(610)과, 상기 회전축(610)의 끝단과 연결되어 회전축(610)을 회전시키는 회전축 구동부(620)로 구성된다. 여기서, 상기 회전축(610)은 제 1 공급부(430)의 하부와 제 2 공급부(432)의 상부를 지나도록 마련되고, 상기 제 1 공급부(430)와 제 2 공급부(432)를 지나는 회전축(610)의 표면에는 스크류(612)가 일방향으로 형성된다.
상기 제 2 이송부(700)는 제 2 실시예에서 설명한 바와 같은 롤러 타입의 이송부로서, 회전면의 일면이 접한 롤러부(710)와, 상기 롤러부(710)와 연결되어 롤러부를 회전시키는 롤러 구동부(720)로 구성된다.
하우징(410)의 내에 형성된 저장부(420)에 저장된 증착용 파우더는 저장부(420)의 하부에 형성된 제 1 공급부(430)를 거쳐 제 1 이송부(600)의 회전축(610)의 상부로 공급되고, 상기 회전축(610)에 형성된 스크류(612)에 의해 상기 증착용 파우더는 제 2 공급부(432)로 이송된다. 상기 제 2 공급부(432)로 이송된 증착용 파우더는 제 2 공급부(432)의 하부에 마련된 제 2 이송부(700)의 롤러부(710)의 접합면 사이에 공급되고, 롤러부(710)의 회전에 의해 증착용 파우더는 배출부(440)로 이송된다.
상기와 같이 제 3 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치는 제 1 및 제 2 이송부(600, 700)를 구비함으로써, 제 1 실시예 및 제 2 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치에 비해 증착용 파우더를 보다 균일하게 제어할 수 있는 효과가 있다.
상기에서는 제 1 이송부(600)를 스크류 타입의 이송부, 제 2 이송부(700)를 롤러 타입의 이송부를 예시하여 설명하였지만, 제 2 이송부(700)를 스크류 타입의 이송부로 형성할 수 있으며, 제 1 이송부(600)를 롤러 타입의 이송부, 제 2 이송 부(700)를 스크류 타입 또는 롤러 타입의 이송부로 형성할 수 있으며, 이는 제 1 공급부(430), 제 2 공급부(432) 및 배출부(440)의 위치에 따라 형성될 수 있다.
이하에서는 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 증착용 파우더 공급장치가 구비된 박막 증착 장치의 동작을 살펴본다.
먼저, 기판(S)을 챔버(100)의 측벽에 형성된 기판 출입구(110)로 통해 인입되어 기판 지지부(200)의 상면에 안치한 후, 기판 지지부(200)를 가열하여 일정한 온도로 유지시킨다. 이후, 챔버(100) 내에 공정 분위기를 조성하고, 상기 증착용 파우더 공급장치(400)로부터 증착용 파우더를 기계적인 방법에 의해 가스 분사부(300)에 공급한다.
여기서, 증착용 파우더 공급장치(400)로부터 증착용 파우더가 공급되는 과정을 살펴보면, 상기 증착용 파우더 공급장치(400) 내에 마련된 저장부(420)에 증착용 증착용 파우더가 저장되면, 상기 저장부(420) 내에 마련된 브러시(462)의 회전에 의해 증착용 파우더가 휘저어지면서 정량의 증착용 파우더가 저장부(420)의 하부에 형성된 공급부(430)를 거쳐 이송부(450)의 회전 중인 회전축(452)의 상부로 공급되고, 회전축(452)에 형성된 스크류(456)에 의해 증착용 파우더는 상기 배출부(440)로 이송된다. 이후, 배출부(440)를 거친 증착용 파우더는 챔버(100) 내의 가스 분사부(300)로 이송된다.
상기 가스 분사부(300)에 이송된 증착용 파우더는 상기 가스 분사부(300)의 몸체(320)에 형성된 소정 공간(310)에서 가열되어 기화되고, 증착용 파우더가 기화된 증착용 반응 가스는 몸체(320)의 하부에 형성된 관통홀(330)을 거쳐 기판(S)의 상부로 분사되어 기판 처리가 수행하게 된다.
상기와 같이 본 발명의 제 1 내지 제 3 실시예에 따른 기계적인 방식으로 증착용 파우더를 이송 공급하는 증착용 파우더 공급장치(400, 500)를 구비한 박막 증착 장치는 정량의 증착용 파우더를 제공할 수 있는 효과가 있으며, 증착용 파우더을 반복적으로 공급하여도 재현성을 높일 수 있는 효과가 있다.
상기에서는 재현성이 높은 증착용 파우더를 제공하는 증착용 파우더 공급장치를 다양한 실시예를 통해 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 기계적인 방식으로 증착용 파우더를 이송할 수 있다면 어떠한 구성도 무방하며 상기 실시예들은 서로 조합되어 사용될 수 있음은 물론이다.
이상에서는 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명은 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음은 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치가 구비된 박막 증착 장치를 나타낸 개략 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치의 변형예를 나타낸 개략 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치에 구비된 믹싱부를 나타낸 단면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 제 1 실시예의 증착용 파우더 공급장치를 이용하여 시간에 따른 증착용 파우더가 공급되는 양을 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치를 나타낸 단면도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치에 구비된 이송부의 변형예를 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 증착용 파우더 공급장치를 나타낸 단면도이다.
< 도면 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 챔버 110: 게이트
200: 기판 지지부 300: 가스 분사부
400: 증착용 파우더 공급장치 420: 저장부
430: 공급부 440: 배출부
450: 이송부 460: 믹싱부

Claims (21)

  1. 삭제
  2. 기판 처리 장치에 증착용 파우더를 공급하기 위한 증착용 파우더 공급장치에 있어서,
    제 1 하우징;
    상기 제 1 하우징의 하측에 위치하며, 내측에 소정 공간이 마련된 제 2 하우징;
    상기 제 2 하우징의 하측에 이격 배치된 제 3 하우징;
    상기 제 2 하우징 내의 소정 공간에 형성되어 증착용 파우더를 저장하고, 그 직경이 하부로 갈수록 작아지는 저장부와,
    상기 저장부의 하부에 형성되어 상기 저장부와 상기 제 2 하우징의 하부를 연통하는 공급부와,
    상기 제 3 하우징의 상하를 관통하도록 형성되어 상기 공급부와 소정 간격 이격되어 형성된 배출부와,
    상기 제 2 하우징과 제 3 하우징의 사이에 형성되어 증착용 파우더를 상기 공급부에서 배출부로 이동시키는 제 1 이송부와,
    상기 배출부의 상부에 위치한 상기 제 1 이송부의 상부에 위치하여, 상기 제 1 이송부로 불활성 가스 또는 공기를 분사함으로써, 상기 증착용 파우더의 정체 또는 상기 배출부의 막힘을 방지하는 제 1 분사 수단을 포함하고,
    상기 제 1 이송부는 상기 공급부와 배출부 사이의 공간에 형성된 회전축과, 상기 회전축의 일측에 연결된 회전축 구동부를 포함하고, 상기 회전축의 표면 일부에는 스크류가 형성된 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 공급부와 배출부 사이에서 상기 제 1 이송부의 하측에 위치하는 제 2 이송부를 포함하고,
    상기 제 2 이송부는 롤러부와, 상기 롤러부의 일측에 연결된 롤러 구동부를 포함하고, 상기 롤러부는 회전면의 일면이 접하도록 접합면을 포함하는 복수의 롤러로 구성되는 증착용 파우더 공급장치.
  4. 청구항 2에 있어서, 상기 제 1 이송부는 스크류가 형성된 방향으로 회전 가능한 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  5. 청구항 2에 있어서, 상기 회전축 구동부는 펄스 타입의 동력을 회전축에 전달하여 회전축의 회전수를 제어하는 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  6. 청구항 2에 있어서, 상기 제 1 분사 수단은 상기 회전축의 상부에 형성되는 증착용 파우더 공급장치.
  7. 삭제
  8. 청구항 3에 있어서, 상기 롤러부의 일측에 제 2 분사 수단이 더 구비되고, 상기 제 2 분사 수단은 롤러부의 상부에서 불활성 가스 또는 공기를 분사하는 증착용 파우더 공급장치.
  9. 삭제
  10. 청구항 2에 있어서, 상기 저장부에는 저장부에 저장된 증착용 파우더를 믹싱하기 위한 믹싱부가 마련된 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  11. 청구항 10에 있어서, 상기 믹싱부는 일부가 저장부의 내측에 삽입되는 브러시와, 상기 브러시의 끝단에 연결되어 브러시를 회전시키는 브러시 구동부를 포함하고, 상기 브러시는 수직축을 기준으로 회전 가능한 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  12. 청구항 11에 있어서, 상기 저장부의 내측에 삽입된 브러시의 표면에는 상기 표면과 소정 각도를 이루도록 돌출 형성된 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  13. 청구항 12에 있어서, 상기 돌출부는 끝단의 일부가 절곡 형성된 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  14. 청구항 11에 있어서, 상기 저장부의 내측에 삽입된 브러시의 표면에는 연성 의 금속 와이어가 형성된 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급장치.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 일정한 반응 공간을 형성하는 챔버와,
    상기 챔버에 마련되어 기판을 안착하는 기판 지지대와,
    상기 기판 지지대의 상부에 마련되어 반응가스를 분사하는 가스 분사부와,
    상기 가스 분사부와 연결되어 증착용 파우더를 공급하는 증착용 파우더 공급장치에 있어서,
    상기 가스 분사부의 상부에 형성된 제 1 하우징;
    상기 제 1 하우징의 하측에 위치하며, 내측에 소정 공간이 마련된 제 2 하우징;
    상기 제 2 하우징의 하측에 이격 배치된 제 3 하우징;
    상기 제 2 하우징 내의 소정 공간에 형성되어 증착용 파우더를 저장하고, 그 직경이 하부로 갈수록 작아지는 저장부와,
    상기 저장부의 하부에 형성되어 상기 저장부와 상기 제 2 하우징의 하부를 연통하는 공급부와,
    상기 제 3 하우징의 상하를 관통하도록 형성되어 상기 공급부와 소정 간격 이격되어 형성된 배출부와,
    상기 제 2 하우징과 제 3 하우징의 사이에 형성되어 적어도 하나의 회전 부재를 구비하며, 상기 증착용 파우더를 상기 공급부에서 배출부로 이동시키는 이송부와,
    상기 배출부의 상부에 위치한 상기 이송부의 상부에 위치하여, 상기 이송부로 불활성 가스 또는 공기를 분사함으로써, 상기 증착용 파우더의 정체 또는 상기 배출부의 막힘을 방지하는 분사 수단을 포함하고,
    상기 회전 부재는 표면에 스크류가 형성된 회전축을 구비하는 스크류 타입의 회전 부재 또는 회전면의 일면이 접한 복수의 롤러를 구비하는 롤러 타입의 회전 부재인 증착용 파우더 공급장치.
  20. 삭제
  21. 청구항 19에 있어서, 상기 회전 부재는 복수개가 마련되고, 복수의 회전 부재로는 스크류 타입의 회전 부재와 롤러 타입의 회전 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착용 파우더 공급 장치.
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