KR101181458B1 - Hermetic vessel for thermal conversion reactor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 열변환반응 밀폐용기에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 열변환반응 밀폐용기는 베이스플레이트;와, 상기 베이스플레이트의 상측에 조립되어 밀폐된 핫존을 형성하는 베젤;과, 핫존에 배치되어 핫존의 온도를 상승시키는 발열부;와, 핫존으로 가스를 공급 및 배출하는 유입공 및 유출공;과, 상기 유입공으로 유입된 가스가 상기 핫존으로 공급되는 과정에서 베젤로 전달되는 열에너지를 흡수하도록 상기 유입공과 핫존을 연결하는 순환통로가 형성되어 상기 베젤의 내측면에 마련되는 열교환부; 및, 상기 유입공의 가스 배출측에 마련되어 상기 열교환부로 공급되는 가스를 분산시키는 분사노즐;을 포함하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a heat conversion reaction closed container, the heat conversion reaction closed container according to the present invention; a base plate; and a bezel assembled to an upper side of the base plate to form a closed hot zone; and disposed in the hot zone hot zone An inlet and outlet hole for supplying and discharging gas into a hot zone; and the inlet to absorb heat energy transferred to a bezel in a process in which the gas introduced into the inlet hole is supplied to the hot zone. A heat exchange part formed on a inner surface of the bezel by forming a circulation passage connecting a ball and a hot zone; And an injection nozzle provided at the gas discharge side of the inlet hole to disperse the gas supplied to the heat exchange unit.

열변환반응, 밀폐용기, 핫존, 열교환, 분사노즐, Heat conversion reaction, hermetic container, hot zone, heat exchange, spray nozzle,

Description

열변환반응 밀폐용기{HERMETIC VESSEL FOR THERMAL CONVERSION REACTOR}Heat conversion reaction hermetically sealed container {HERMETIC VESSEL FOR THERMAL CONVERSION REACTOR}

본 발명은 열변환반응 밀폐용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유입공과 핫존을 연결하는 순환통로의 가스유입측에 반응가스의 분사압력을 분산시키는 것과 동시에 인접한 분사노즐과의 사이영역까지 반응가스가 골고루 공급되도록 하는 분사노즐을 마련함으로써 열교환효율을 향상시킨 열변환반응 밀폐용기에 관한 것이다.The present invention relates to a heat conversion reaction sealed container, and more particularly, to disperse the injection pressure of the reaction gas on the gas inlet side of the circulation passage connecting the inlet hole and the hot zone and to the region between the adjacent injection nozzles. The present invention relates to a heat conversion reaction closed container having improved heat exchange efficiency by providing injection nozzles to be uniformly supplied.

지금까지, 태양전지급(solar grade) 실리콘은 주로 반도체 산업의 잉여물로부터 얻어졌다. 그러나, 몇몇 반도체급 실리콘의 제조업체는 태양전지급 물질을 통상의 공정을 사용하여 상업적으로 생산한다. 하나의 통상의 공정은 금속급(metallurgical) 실리콘을 실란 또는 폴리실란 또는 클로로실란 화합물들 중 하나로 변환한다. 상기 실란, 폴리실란 또는 클로로실란은 지멘스형 반응기 (Siemens-type reactor) 중에서 열분해되어, 고순도(highgrade purity)의 폴리실리콘을 형성한다.To date, solar grade silicon has been obtained primarily from the surplus of the semiconductor industry. However, some manufacturers of semiconductor grade silicon produce commercially available solar cell grade materials using conventional processes. One conventional process converts metallurgical silicon into silane or one of polysilane or chlorosilane compounds. The silane, polysilane or chlorosilane is pyrolyzed in a Siemens-type reactor to form polysilicon of high purity.

이러한 지멘스 공정에서, 폴리실리콘 로드(rod)는 슬림 로드(slim rod)라고도 불리는 필라멘트 기판상에서 기상 실리콘 화합물, 예컨데, 실란 또는 폴리실란 또는 클로로실란의 열분해에 의하여 제조된다. 이러한 슬림 로드는 생성물 순도 수준을 확보하기 위하여 일반적으로 고순도 폴리실리콘으로 만들어진다.In this Siemens process, polysilicon rods are produced by thermal decomposition of a gaseous silicon compound, such as silane or polysilane or chlorosilane, on a filament substrate, also called a slim rod. Such slim rods are generally made of high purity polysilicon to ensure product purity levels.

상기와 같이 반응기 내에서 트리클로로실란(Trichlorosilane;TCS, 삼염화실란(SiHCl3), 이하 'TCS'라고 함)을 수소와 반응시켜 다결정 실리콘을 제조하는데 있어서, 다결정 실리콘의 석출과정에서 다량의 실리콘 테트라클로라이드(Silicon Tetracloride;STC, 사염화규소(SiCl4)이하 "STC"라고 함)이 수득된다. As described above, in the reaction of trichlorosilane (TCS, trichlorosilane (SiHCl 3 ), hereinafter referred to as 'TCS') with hydrogen in the reactor to produce polycrystalline silicon, a large amount of silicon tetra Chloride (Silicon Tetracloride (STC), silicon tetrachloride (SiCl 4 ) hereinafter referred to as "STC") is obtained.

상기 STC는 수소(H2)와 혼합된 상태에서 열변환 반응으로 TCS로 환원시켜 재사용된다.The STC is reused by reducing to TCS by a heat conversion reaction in a state of mixing with hydrogen (H 2 ).

도 1은 종래 STC를 열변환반응시켜 TCS로 변환하는 변환장치(Converter)의 단면도로, 도면에서와 같이 종래의 변환장치는 베이스 플레이트(10)의 상면에 히터(13)가 설치되고, 핫존(Hot zone, 21)을 형성하기 위한 종형 또는 벨자형(bell-jar type) 베젤(Vessel, 20)이 상기 베이스 플레이트(10)의 상측으로 조립되고, 상기 히터(13)와 베젤(20)의 사이에서 핫존(21) 내부의 열이 베젤(20)로 전달되어 베젤 외부로 손실되는 것을 줄이기 위한 쉴드(shield, 40)가 설치된다.1 is a cross-sectional view of a converter (Converter) for converting the conventional STC to TCS by thermal conversion reaction, as shown in the conventional converter is a heater 13 is installed on the upper surface of the base plate 10, hot zone ( A vertical or bell-jar type vessel (Vessel) 20 for forming a hot zone 21 is assembled to the upper side of the base plate 10 and between the heater 13 and the bezel 20. In the heat zone 21 is transferred to the bezel 20 is a shield (shield, 40) is installed to reduce the loss to the outside of the bezel.

상기와 같이 조립된 상태에서, 상기 베이스 플레이트(10)의 판면에 관통형성된 유입공(11)을 통해 STC와 수소(H2)가 혼합된 가스(이하, '반응 가스'라고 함)를 핫존(21)으로 공급하면서, 상기 히터(13)에 전원을 인가하여 핫존(21)의 내부온도를 약 900℃ 내지 1500℃로 가열하면, 핫존(21) 내부에서 반응 가스가 고온에서의 열변환반응에 의해 TCS와 염화수소(HCl)로 변환되어 유출공(12)을 통해 배출된다.In the assembled state as described above, a gas (hereinafter referred to as a 'reaction gas') in which STC and hydrogen (H 2 ) are mixed through the inlet hole 11 formed through the plate surface of the base plate 10 is referred to as a hot zone ( 21, while supplying power to the heater 13 to heat the internal temperature of the hot zone 21 to about 900 ℃ to 1500 ℃, the reaction gas in the hot zone 21 to the thermal conversion reaction at a high temperature It is converted into TCS and hydrogen chloride (HCl) is discharged through the outlet hole (12).

상기 핫존(21)을 감싸는 베젤(20)은 금속재질의 구조재로서, 통상 카본스틸과 스테인레스스틸이 크래딩(Crading) 구조로 이루어지는데, 이러한 베젤(20)이 약 500℃ 이상으로 가열되는 경우 구조재로서의 강성이 저하되므로 베젤(20)의 외측에 냉각수가 순환하는 냉각자켓(31)을 배치하여 베젤(20)의 온도를 300℃ 이하로 유지시키게 된다. The bezel 20 enclosing the hot zone 21 is a structural material made of metal, and carbon steel and stainless steel are usually made of a cladding structure. When the bezel 20 is heated to about 500 ° C. or more, the structural material Since the rigidity is lowered, the cooling jacket 31 in which the coolant circulates is disposed outside the bezel 20 to maintain the temperature of the bezel 20 at 300 ° C or lower.

그런데, 핫존(21)에서는 반응 가스의 열변환반응을 유도하기 위해 반응에 적합한 높은 온도를 유지하는 한편, 핫존(21)을 감싸는 베젤(20)은 구조적 안정을 위해 별도의 냉각시스템(30)을 구축하여 냉각시키는 것이어서, 베젤(20)을 통해 손실되는 열에너지가 많으므로 열에너지의 이용효율이 낮을 뿐만 아니라, 핫존(21)에서는 베젤을 통해 손실되는 열에너지를 히터(13)를 통해 다시 공급하여 반응에 적합한 온도를 유지하여야 하므로 전력소비량이 상승하게 되는 문제점이 있다. By the way, in the hot zone 21 to maintain a high temperature suitable for the reaction to induce a thermal conversion reaction of the reaction gas, the bezel 20 surrounding the hot zone 21 is a separate cooling system 30 for structural stability Since it is built and cooled, the heat energy lost through the bezel 20 is not only low, the utilization efficiency of heat energy is low, and in the hot zone 21, the heat energy lost through the bezel is supplied again through the heater 13 to react. There is a problem that the power consumption is increased because it must maintain a suitable temperature.

또한, 반응 가스(STC+H2)는 핫존(21) 내부에서 골고루 순환되면서 반응을 일으킬 수 있도록 베이스 플레이트(10)의 중앙 및 외주연부에 다수 형성된 유입공(11)을 통해 고압으로 공급되는데, 이때 반응가스의 온도는 공급압력에 따른 STC 의 기화온도로 공급되므로 핫존(21)을 약 900℃ 내지 1500℃로 유지하기 위해서는 많은 열에너지를 필요로 하게 된다.In addition, the reaction gas (STC + H 2 ) is supplied at a high pressure through the inlet hole 11 formed in the center and the outer periphery of the base plate 10 to cause the reaction evenly circulated in the hot zone 21, At this time, since the temperature of the reaction gas is supplied at the vaporization temperature of the STC according to the supply pressure, a large amount of thermal energy is required to maintain the hot zone 21 at about 900 ° C to 1500 ° C.

또한, 상기 냉각시스템(30)은 상기 베젤(20)의 외측에 마련된 냉각자켓(31)으로 냉각수를 순환시키기 위한 냉각수 순환부(32)와, 상기 냉각자켓(31)을 통해 베젤(20)을 냉각시키는 과정에서 온도가 상승된 냉각수를 다시 냉각시키기 위한 냉 각부(33) 및 냉각수를 보관하기 위한 탱크와 같은 장치들이 변환장치의 주변에 설치되어야 하므로 복잡한 배관과 함께 공간을 많이 차지하게 되고, 냉각수를 순환시키기 위한 펌프 등과 같은 장비들을 구동시켜야 하므로 전력의 소비가 증가할 뿐만 아니라, 냉각시스템의 구축 및 운용에 대해 막대한 투자비가 증가하게 되는 문제점이 있다.In addition, the cooling system 30 is a cooling water circulation unit 32 for circulating the cooling water to the cooling jacket 31 provided on the outside of the bezel 20 and the bezel 20 through the cooling jacket 31. In the cooling process, devices such as a cooling unit 33 for recooling the coolant whose temperature has risen and a tank for storing the coolant must be installed around the inverter, thus taking up a lot of space with complicated piping. Since equipment, such as a pump for circulating, must be driven, not only power consumption is increased, but also a huge investment cost for construction and operation of a cooling system increases.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반응가스가 베젤의 내측에 마련된 열교환부를 통과하면서 베젤로 전달되는 열에너지를 흡수하여 가열된 상태로 핫존으로 공급되도록 함으로써 핫존의 온도를 유지하기 위한 발열부의 전력소비량을 절감하는 것은 물론, 베젤을 냉각시키기 위한 냉각시스템의 용량 및 구동량을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 유입공과 핫존을 연결하는 순환통로의 가스유입측에 반응가스의 분사압력을 분산시키는 것과 동시에 인접한 분사노즐과의 사이영역까지 반응가스가 골고루 공급되도록 하는 분사노즐을 마련함으로써 열교환효율을 향상시킬 수 있는 열변환반응 밀폐용기를 제공함에 있다.Therefore, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, the temperature of the hot zone by supplying the reaction gas to the hot zone by absorbing the heat energy transferred to the bezel while passing through the heat exchange unit provided inside the bezel In addition to reducing the power consumption of the heat generating unit to maintain the pressure, and to reduce the capacity and driving amount of the cooling system for cooling the bezel, the injection of the reaction gas to the gas inlet side of the circulation passage connecting the inlet hole and the hot zone The present invention provides a heat conversion reaction closed container capable of improving heat exchange efficiency by providing a spray nozzle which distributes pressure and provides a reaction gas evenly supplied to an area between adjacent spray nozzles.

또한, 다수 마련되는 분사노즐들의 사이영역 및 분사노즐이 위치한 순환통로의 하부영역에서도 열교환이 이루어질 수 있도록 함으로써 열교환효율을 향상시킬 수 있는 열변환반응 밀폐용기를 제공함에 있다. In addition, by providing a heat conversion reaction sealed container that can improve the heat exchange efficiency by allowing the heat exchange can be made in the region between the plurality of injection nozzles and the lower region of the circulation passage in which the injection nozzle is located.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 베이스플레이트;와, 상기 베이스플레이트의 상측에 조립되어 밀폐된 핫존을 형성하는 베젤;과, 핫존에 배치되어 핫존의 온도를 상승시키는 발열부;와, 핫존으로 가스를 공급 및 배출하는 유입공 및 유출공;과, 상기 유입공으로 유입된 가스가 상기 핫존으로 공급되는 과정에서 베젤로 전달되는 열에너지를 흡수하도록 상기 유입공과 핫존을 연결하는 순환통로가 형성되어 상기 베젤의 내측면에 마련되는 열교환부; 및, 상기 유입공의 가스 배출측에 마련되어 상기 열교환부로 공급되는 가스를 분산시키는 분사노즐;을 포함하는 열변환반응 밀폐용기에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, a base plate; and a bezel assembled on the upper side of the base plate to form a sealed hot zone; and a heat generating portion disposed in the hot zone to increase the temperature of the hot zone; and gas into the hot zone. An inlet hole and an outlet hole for supplying and discharging the gas; and a circulation passage connecting the inlet hole and the hot zone to absorb the heat energy transferred to the bezel while the gas introduced into the inlet hole is supplied to the hot zone is formed in the bezel. Heat exchanger provided on the inner side; And a spray nozzle provided on the gas discharge side of the inlet hole to disperse the gas supplied to the heat exchange unit.

여기서, 상기 열교환부는 상기 발열부와 유출공을 감싸도록 배치되어 발열부와 유출공을 포함하는 공간과 상기 유입공을 포함하는 공간을 구분하는 격벽과, 상기 유입공의 대향측에서 상기 격벽에 관통형성되어 양측 공간을 연결하는 관통공을 포함하는 것이 바람직하다.Here, the heat exchange part is arranged to surround the heat generating portion and the outlet hole partition wall for separating the space including the heat generating portion and the outlet hole and the space containing the inlet hole, and penetrates the partition wall on the opposite side of the inlet hole It is preferable to include a through hole formed to connect the two spaces.

또한, 상기 유입공은 상기 격벽과 베젤의 사이영역에 대응되는 베이스플레이트의 판면에 소정간격 이격되도록 다수 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the inflow hole is preferably formed in a plurality so as to be spaced apart a predetermined interval on the plate surface of the base plate corresponding to the area between the partition wall and the bezel.

또한, 상기 분사노즐은 일단부가 상기 유입공과 연결되어 가스가 공급되고 타단부는 마감된 공급관과, 상기 공급관으로부터 측방향으로 형성되어 가스가 배출되는 적어도 하나의 분사공이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the injection nozzle has one end connected to the inlet hole and supplied with gas, and the other end formed with a closed supply pipe, and at least one injection hole formed laterally from the supply pipe to discharge gas.

또한, 상기 분사노즐은 상기 분사공으로부터 이격되어 측방향으로 분사되는 가스를 하측방향으로 유도하는 가이드가 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the injection nozzle is preferably formed with a guide to guide the gas spaced apart from the injection hole in the downward direction.

또한, 상기 분사노즐은 일단부가 상기 유입공과 연결되어 가스가 공급되고 타단부는 마감된 공급관과, 상기 공급관으로부터 하향경사방향으로 형성되어 가스가 배출되는 적어도 하나의 분사공이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the injection nozzle has one end connected to the inlet hole and supplied with gas, and the other end formed with a closed supply pipe, and at least one injection hole through which the gas is discharged in a downward inclination direction from the supply pipe.

본 발명에 따르면, 반응가스가 베젤의 내측에 마련된 열교환부를 통과하면서 베젤로 전달되는 열에너지를 흡수하여 가열된 상태로 핫존으로 공급되도록 함으로 써 핫존의 온도를 유지하기 위한 발열부의 전력소비량을 절감하는 것은 물론, 베젤을 냉각시키기 위한 냉각시스템의 용량 및 구동량을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 유입공과 핫존을 연결하는 순환통로의 가스유입측에 반응가스의 분사압력을 분산시키는 것과 동시에 인접한 분사노즐과의 사이영역까지 반응가스가 골고루 공급되도록 하는 분사노즐을 마련함으로써 열교환효율을 향상시킬 수 있는 열변환반응 밀폐용기가 제공된다.According to the present invention, by reducing the power consumption of the heat generating unit to maintain the temperature of the hot zone by the reaction gas absorbs the heat energy delivered to the bezel while passing through the heat exchange unit provided inside the bezel to be supplied to the hot zone in a heated state. Of course, not only can the capacity and driving amount of the cooling system for cooling the bezel be reduced, but also the injection pressure of the reaction gas is dispersed on the gas inlet side of the circulation passage connecting the inlet hole and the hot zone, By providing a spray nozzle for evenly supplying the reaction gas to the region, a heat conversion reaction closed container may be provided to improve heat exchange efficiency.

또한, 다수 마련되는 분사노즐들의 사이영역 및 분사노즐이 위치한 순환통로의 하부영역에서도 열교환이 이루어질 수 있도록 함으로써 열교환효율을 향상시킬 수 있는 열변환반응 밀폐용기가 제공된다.In addition, a heat conversion reaction closed container can be provided to improve heat exchange efficiency by allowing heat exchange to occur in a region between a plurality of injection nozzles and a lower region of a circulation passage in which the injection nozzles are located.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 열변환반응 밀폐용기에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a heat conversion reaction closed container according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부도면 중 도 2는 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 사시도이고, 도 3은 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 분해사시도이다.2 is a perspective view of the heat conversion reaction closed container of the present invention, Figure 3 is an exploded perspective view of the heat conversion reaction closed container of the present invention.

상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 열변환반응 밀폐용기는 베이스 플레이트(110)와, 베젤(120)과, 열교환부(130) 및 분사노즐(140)을 포함하여 구성되는 것으로서, 본 실시예에서는 본 발명의 열변환반응 밀폐용기가 열변환반응을 통해 실리콘 테트라클로라이드(Silicon Tetracloride;STC, SiCl4)를 트리클로로실란(Trichlorosilane;TCS, SiHCl3)으로 변환하는 STC-TCS 변환기(STC-TCS converter인 것으로 예를 들어 설명한다.The heat conversion reaction closed container of the present invention as shown in the drawings comprises a base plate 110, a bezel 120, a heat exchanger 130 and a spray nozzle 140, in this embodiment STC-TCS converter for converting the silicon tetrachloride (STC, SiCl 4 ) to trichlorosilane (TCS, SiHCl 3 ) through the heat conversion reaction of the heat conversion reaction closed container of the present invention It demonstrates as an example.

상기 베이스 플레이트(110)는 판면의 중앙영역에 유출공(112)이 형성되고, 외측영역에 원주방향을 따라 다수의 유입공(111)이 형성되며, 상측에 전원의 인가에 의해 발열하는 발열부(113)가 설치된다.The base plate 110 has a discharge hole 112 is formed in the central region of the plate surface, a plurality of inlet holes 111 are formed along the circumferential direction in the outer region, the heat generating portion that generates heat by applying power to the upper side 113 is installed.

상기 베젤(120)은 일측이 개구된 벨자형(bell jar type)으로 이루어져 개구측이 상기 베이스 플레이트(110)의 상측에 조립되면서 내측에 핫존(121)을 형성한다. The bezel 120 is formed of a bell jar type having one side opened, and the opening side is assembled to the upper side of the base plate 110 to form a hot zone 121 therein.

상기 열교환부(130)는 유입공(111)을 통해 핫존(121)으로 공급되는 반응가스가 핫존(121)으로부터 베젤(120)로 전달되는 열에너지를 흡수하여 베젤(120)의 온도가 한계온도까지 상승하는 것을 방지하는 것과 동시에, 열에너지를 흡수한 반응가스가 가열된 상태로 핫존(121)으로 공급되면서 반응가스의 공급에 의해 핫존(121)의 온도가 급격히 저하되는 것을 방지하는 것으로서, 상기 베젤(120)의 내측면을 따라 순환하며 상기 유입공(111)과 핫존(121)을 연결하는 순환통로(131)로 이루어져 상기 베젤(120)의 내측면에 마련된다.The heat exchanger 130 absorbs the heat energy transferred from the hot zone 121 to the bezel 120 through the inlet hole 111 and the reaction gas supplied to the hot zone 121 so that the temperature of the bezel 120 reaches a limit temperature. At the same time to prevent the rise, while the reaction gas absorbed thermal energy is supplied to the hot zone 121 in a heated state to prevent the temperature of the hot zone 121 is sharply lowered by the supply of the reaction gas, the bezel ( It is provided on the inner surface of the bezel 120 consists of a circulation passage 131 circulating along the inner surface of the 120 and connecting the inflow hole 111 and the hot zone 121.

여기서, 상기 순환통로(131)는 서로 다른 직경을 갖는 원통형 격벽(132)이 동심을 이루도록 배치된 상태에서 각 격벽(132)의 일단부 또는 타단부에 형성되는 관통공(132a)이 유입공(111)의 위치를 기준으로 일단부 또는 타단부 중에서 서로 엇갈리는 위치에 각각 형성되고, 상기 격벽(132)들의 상측을 마감하는 커버(133)의 외주연부가 상기 베젤(120)의 내측면에 밀착됨으로써 지그재그 형태를 이루게 된다.Here, the circulation passage 131 has a through hole 132a formed at one end or the other end of each partition 132 in a state in which cylindrical partitions 132 having different diameters are arranged concentrically. The outer periphery of the cover 133, which is formed at positions alternate with each other from one end or the other end with respect to the position of 111, and closes the upper sides of the partitions 132, is in close contact with the inner surface of the bezel 120. Zigzag form.

즉, 다수의 격벽(132)들 중 외측에 배치된 격벽(132)과 베젤(120)의 측벽(121) 사이에 위치한 유입공(111)을 통해 순환통로(131)로 유입된 반응 가스가 격벽(132)들의 관통공(132a)을 통해 격벽(132)들의 사이공간을 지그재그형태로 순환되면서 베젤(120) 및 격벽(132)로 전달된 열에너지를 흡수하므로 베젤(120)이 가열되는 것은 물론, 베젤(120)의 외측으로 손실되는 열에너지를 이용하여 핫존으로 공급되는 반응 가스를 가열하므로 열에너지의 이용효율이 향상된다.That is, the reaction gas introduced into the circulation passage 131 through the inflow hole 111 located between the partition wall 132 disposed on the outside of the plurality of partition walls 132 and the side wall 121 of the bezel 120 is a partition wall. Through the through holes 132a of the 132, the space between the partition walls 132 is zigzag-circulated to absorb heat energy transferred to the bezel 120 and the partition wall 132, so that the bezel 120 is heated. Since the reaction gas supplied to the hot zone is heated by using the heat energy lost to the outside of the bezel 120, the utilization efficiency of the heat energy is improved.

한편, 본 실시예에서는 열교환면적 및 열교환시간을 연장하기 위해서 순환통로(131)가 지그재그 형태의 이동경로를 이루며 유입공과 핫존을 연결하는 것으로 설명하였으나, 반응가스가 순환통로를 경유하는 과정에서 다양한 형태로 이동경로를 분산시키거나 전환시키는 것에 의해 열교환면적 및 열교환시간이 증가되도록 하는 것도 가능할 것이다.Meanwhile, in the present embodiment, the circulation passage 131 forms a zigzag moving path and connects the inlet hole and the hot zone in order to extend the heat exchange area and the heat exchange time, but the reaction gas passes through the circulation passage in various forms. It may also be possible to increase the heat exchange area and heat exchange time by dispersing or diverting the furnace path.

상기 분사노즐(140)은 상기 유입공(111)의 가스 배출측에 설치되어 반응가스의 분사방향를 분산시키는 것으로서, 일단부가 상기 유입공(111)과 연결되어 반응가스가 공급되고 타단부는 마감된 공급관(141)과, 상기 공급관(141)으로부터 측방향으로 형성되어 반응가스가 배출되도록 하는 적어도 하나의 분사공(142) 및, 상기 분사공(142)을 통해 측방향으로 분사되는 반응가스를 하측방향으로 유도하도록 상기 분사공(142)으로부터 소정간격 이격되어 설치되는 가이드(143)를 포함하여 구성 된다.The injection nozzle 140 is installed on the gas discharge side of the inlet hole 111 to disperse the injection direction of the reaction gas, one end is connected to the inlet hole 111 is supplied with the reaction gas and the other end is closed A supply pipe 141, at least one injection hole 142 formed laterally from the supply pipe 141 to discharge the reaction gas, and a reaction gas injected laterally through the injection hole 142. It is configured to include a guide 143 is spaced apart from the injection hole 142 by a predetermined interval to guide in the direction.

지금부터는 상술한 열변환반응 밀폐용기의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.The operation of the first embodiment of the above-mentioned heat conversion reaction vessel will now be described.

첨부도면 중 도 4는 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 정단면도이고, 도 5는 도 4의 "A"부분의 확대도이다.Figure 4 of the accompanying drawings is a cross-sectional view of the heat conversion reaction sealed container of the present invention, Figure 5 is an enlarged view of portion "A" of FIG.

먼저, 도 4에서 도시하는 바와 같이 베이스 플레이트(110)의 유입공(111)과 벨자형 베젤(120)의 사이에 설치되는 상측이 개구된 통형 격벽(132)과, 상기 격벽(132)의 판면에서 상기 유입공(111)으로부터 이격된 위치에 형성되어 양측 공간을 연결하는 관통공(132a)과, 상기 격벽(132)의 상측을 개구측을 마감하며 외주연부가 상기 베젤(120)의 내측면에 밀착되는 커버(133)로 구성되는 열교환부(130)에 의해 유입공(111)과 핫존(121)의 사이를 연결하는 순환통로(131)가 형성된다.First, as shown in FIG. 4, a cylindrical partition 132 having an upper side opened between the inlet hole 111 of the base plate 110 and the bell-shaped bezel 120 and the plate surface of the partition 132. The through hole 132a formed at a position spaced apart from the inflow hole 111 to connect both side spaces, and the upper side of the partition wall 132 to close the opening side, and an outer circumferential edge of the inner surface of the bezel 120. The circulation passage 131 which connects between the inlet hole 111 and the hot zone 121 is formed by the heat exchanger 130 formed of the cover 133 in close contact therewith.

또한, 상기 격벽(132)이 크기가 서로 다른 다수개로 마련되고 커버(133)와 베이스 플레이트(110)에 양단부가 지지되면서 유입공(111)을 포함하는 베젤(120)의 내측면에 인접한 공간과 유출공(112)과 히터(113)를 포함하는 공간의 사이를 다수개의 층으로 구분하게 되는데, 이때, 상기 다수의 격벽(132)은 유입공(111)을 기준으로하여 서로 엇갈리는 위치에 관통공(132a)이 형성되면서 유입공(111)과 핫존(121)의 사이를 연결하는 순환통로(131)가 지그재그 형태의 이동경로를 이루게 된다. In addition, the partition wall 132 is provided with a plurality of different sizes and the both ends of the cover 133 and the base plate 110 while supporting the space adjacent to the inner surface of the bezel 120 including the inlet hole 111 and The space between the outlet hole 112 and the space including the heater 113 is divided into a plurality of layers, wherein the plurality of partition walls 132 are through holes at different positions based on the inlet hole 111. As the 132a is formed, the circulation passage 131 connecting the inflow hole 111 and the hot zone 121 forms a zigzag movement path.

즉, 열교환부(130)가 약 900℃ 내지 1500℃의 온도를 유지하는 핫존(121)을 감싸고 있는 베젤(120)의 내측에 배치된 상태에서 유입공(111)을 통해 반응가스가 핫존의 온도보다 매우 낮은 STC의 기화온도로 공급되는데, 이러한 반응가스가 유입공(111)과 핫존(121)을 연결하는 지그재그형태의 순환통로(131)를 통과하면서 베젤(120) 및 격벽(132)으로 전달되는 열에너지를 흡수하게 되므로 베젤(120)을 냉각시키기 위하여 종래와 같이 별도의 냉각시스템을 마련하지 않아도 된다. That is, the reaction gas is the temperature of the hot zone through the inlet hole 111 in a state in which the heat exchanger 130 is disposed inside the bezel 120 surrounding the hot zone 121 maintaining the temperature of about 900 ° C to 1500 ° C. It is supplied at a much lower STC vaporization temperature, and the reaction gas passes through the zigzag-shaped circulation passage 131 connecting the inlet hole 111 and the hot zone 121 to bezel 120 and the partition wall 132. Since the heat energy is absorbed, it is not necessary to provide a separate cooling system as in the prior art to cool the bezel 120.

특히, 상기 유입공(111)들의 배출측에는 분사노즐(140)이 각각 조립되어 유입공(111)을 통해 열교환부(130)의 순환통로(131)로 공급되는 반응가스를 분산시켜 분사압력이 일영역에 집중되는 것을 방지함과 아울러, 반응가스가 순환통로(131)의 하부영역을 향해 분사되도록 하는 것에 의해 인접한 분사노즐(140)과의 사이영역까지 반응가스가 공급되면서 열교환을 이루게 되므로 열교환효율이 향상된다.In particular, the injection nozzles 140 are assembled at the discharge sides of the inlet holes 111 to disperse the reaction gas supplied to the circulation passage 131 of the heat exchange unit 130 through the inlet hole 111 so that the injection pressure is one. In addition to preventing the concentration of the region, the reaction gas is injected toward the lower region of the circulation passage 131, so that the reaction gas is supplied to the region between the adjacent injection nozzles 140, thereby performing heat exchange. This is improved.

즉, 유입공(111)의 배출측에 설치된 분사노즐(140)의 공급관(141)으로 반응가스가 공급되면 공급관(141)으로부터 측방향을 향해 다수 관통형성된 분사공(142)으로 각각 배출되면서 공급압력이 여러방향으로 분산된다. That is, when the reaction gas is supplied to the supply pipe 141 of the injection nozzle 140 installed on the discharge side of the inlet hole 111 is supplied while being discharged to the injection holes 142 formed through a plurality of through holes from the supply pipe 141 toward the lateral direction, respectively. Pressure is distributed in several directions.

이때, 상기 분사공(142)으로부터 소정간격 이격된 위치에 마련된 가이드(143)에 의해 반응가스가 순환통로(131)의 하부영역을 향해 분사되므로, 반응가스가 순환통로의 하부영역으로부터 상측방향을 향해 이동하게 되면서 분사노즐(140)간의 사이영역에서도 반응가스가 열에너지를 흡수하게 된다. At this time, since the reaction gas is injected toward the lower region of the circulation passage 131 by the guide 143 provided at a position spaced apart from the injection hole 142, the reaction gas is directed upward from the lower region of the circulation passage. While moving toward the reaction gas absorbs thermal energy in the region between the injection nozzles 140.

상기와 같이 분사노즐(140)을 이용하여 유입공(111)을 통해 순환통로(131)로 공급되는 반응가스의 공급압력을 분산시키는 것과 아울러 순환통로(131)의 하측방향을 향해 분사시키는 것에 의해 반응가스가 순환통로(131)의 하부영역으로부터 상 부영역에 이르기까지 균등한 압력으로 이동하게 되면서 격벽(132) 및 베젤(120)로 전달되는 열에너지를 흡수하는 시간이 연장되며, 인접한 분사노즐(140)과의 사이영역에서도 양측 분사노즐(140)로부터 공급방향이 전환된 반응가스가 공급되어 열교환이 이루어지게 되므로 열교환효율이 향상되는 이점을 제공하게 된다. By dispersing the supply pressure of the reaction gas supplied to the circulation passage 131 through the inlet hole 111 using the injection nozzle 140 as described above, and by spraying toward the lower direction of the circulation passage 131 As the reaction gas moves at an even pressure from the lower region to the upper region of the circulation passage 131, the time for absorbing the thermal energy transmitted to the partition wall 132 and the bezel 120 is extended, and adjacent injection nozzles ( In the region between the 140 and the injection nozzle 140, the reaction gas is switched from the two injection nozzles 140, thereby providing heat exchange.

다음으로 본 발명 열변환반응 밀폐용기에 따른 다른실시예의 분사노즐에 대하여 설명한다. Next, a spray nozzle of another embodiment according to the heat conversion reaction closed container of the present invention will be described.

첨부도면 중 도 6은 본 발명 열변환반응 밀폐용기에 따른 다른실시예의 분사노즐을 나타낸 단면도이다. Figure 6 of the accompanying drawings is a cross-sectional view showing a spray nozzle of another embodiment according to the heat conversion reaction closed container of the present invention.

상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 실시예의 분사노즐(140')은 일단부가 유입공(111)과 연결되어 반응가스가 공급되고 타단부는 마감된 공급관(141)과, 상기 공급관(141)으로부터 하향경사방향으로 형성되어 반응가스가 배출되는 적어도 하나의 분사공(142)이 형성된 점에서 상술한 실시예의 분사노즐(140)과 차이점을 갖는다.The injection nozzle 140 ′ of the present embodiment as shown in the drawing has one end connected to the inlet hole 111, the reaction gas is supplied, and the other end is closed from the supply pipe 141 and the supply pipe 141. It has a difference from the injection nozzle 140 of the above-described embodiment in that at least one injection hole 142 is formed in the oblique direction and the reaction gas is discharged.

상기와 같이 구성되는 본 발명 열변환반응 밀폐용기에 따른 다른실시예의 분사노즐(140')은 베젤(120)과 격벽(132)의 사이영역에 위치한 유입공(111)의 반응가스 배출측에 설치된 상태에서 유입공(111)을 통해 반응가스가 공급되면, 분사노즐(140')의 공급관(141) 타단부에서 하향경사지게 형성된 다수의 분사공(142)을 통해 순환통로(131)의 하부영역으로 배출된다. The injection nozzle 140 'according to another embodiment of the present invention, which is configured as described above, is installed at the reaction gas discharge side of the inlet hole 111 located between the bezel 120 and the partition wall 132. When the reaction gas is supplied through the inlet hole 111 in the state, the lower portion of the circulation passage 131 through the plurality of injection holes 142 formed to be inclined downward from the other end of the supply pipe 141 of the injection nozzle 140 '. Discharged.

이때, 분사공(142)이 다수개로 이루어져 있으므로 반응가스가 여러 방향으로 분산되는 것과 함께 분사공(142)이 하향경사지게 형성되어 반응가스의 공급방향이 순환통로(131)의 하부영역에서 하향경사지게 공급되는 것에 의해 반응가스가 순환통로(131)의 하부영역에서 집중되는 압력에 의해 상부영역까지 균등하게 이동하게 되므로 격벽(132) 및 베젤(120)로 전달되는 열에너지를 흡수하는 시간이 연장되는 것은 물론, 인접한 한 쌍의 분사노즐(140') 사이공간으로도 반응가스가 공급되어 격벽(132)과 베젤(120)의 사이 전영역에서 열교환이 이루어지게 되는 등, 열교환효율이 향상되는 이점을 제공하게 된다. At this time, since the injection holes 142 are formed in plural, the reaction gas is dispersed in various directions, and the injection holes 142 are formed to be inclined downward so that the supply direction of the reaction gas is inclined downward in the lower region of the circulation passage 131. The reaction gas is moved evenly to the upper region by the pressure concentrated in the lower region of the circulation passage 131, so that the time for absorbing the heat energy transferred to the partition wall 132 and the bezel 120 is extended. In addition, the reaction gas is also supplied to the space between the adjacent pair of injection nozzles 140 ′ to provide heat exchange efficiency in the entire area between the partition wall 132 and the bezel 120. do.

첨부도면 중 도 7은 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 제2실시예를 나타낸 단면도로서, 본 실시예에서는 본 발명의 열변환반응 밀폐용기가 고순도 다결정실리콘을 생산하기 위한 화학기상증착 반응기(CVD reactor)인 것으로 예를 들어 설명한다.7 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the heat conversion reaction closed container of the present invention, in this embodiment the chemical vapor deposition reactor for producing a high-purity polysilicon of the heat conversion reaction closed container of the present invention (CVD reactor) Will be described as an example.

도 7에서 도시하는 바와 같이 본 발명의 제2실시예에 따른 열변환반응 밀폐용기는 베이스 플레이트(110)와, 베젤(120)과, 열교환부(130) 및 분사노즐(140)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 7, the heat conversion reaction closed container according to the second embodiment of the present invention includes a base plate 110, a bezel 120, a heat exchanger 130, and a spray nozzle 140. do.

여기서, 상기 베이스 플레이트(110)에 마련되는 발열부(113)는 전원의 공급에 의해 저항발열하여 외표면에 실리콘의 증착을 유도하는 시드 필라멘트(Seed filament)가 적용된다.Here, a seed filament is applied to the heat generating part 113 provided in the base plate 110 to generate heat on the outer surface by resistive heating by power supply.

또한, 상기 열교환부(130)의 순환통로(131)는 상기 발열부(113)와 유출공(112)을 감싸도록 배치되어 발열부(113)와 유출공(112)을 포함하는 공간과 유입 공(111)을 포함하는 베젤(120)의 내측면에 인접한 공간을 구분하는 벨자형 격벽(132)과, 상기 유입공(111)을 기준으로 상기 격벽(132)의 대향측에 형성되는 관통공(132a)에 의해 구성된다.In addition, the circulation passage 131 of the heat exchange part 130 is disposed to surround the heat generating portion 113 and the outlet hole 112, the space including the heat generating portion 113 and the outlet hole 112 and the inlet hole A bell-shaped partition wall 132 that divides a space adjacent to an inner surface of the bezel 120 including the 111 and a through hole formed on an opposite side of the partition wall 132 based on the inflow hole 111 ( 132a).

상기와 같은 발열부(113) 및 순환통로(131) 이외의 구성은 상술한 실시예와 동일한 구성으로 이루어진다. 또한, 도 7의 "A"로 표시된 부분에 설치되는 상기 분사노즐(140)은 상술한 실시예에서 언급된 도 5에 도시된 분사노즐(140) 또는 도 6에 도시된 분사노즐(140')과 동일한 형태로 이루어지는 것이므로, 상기한 실시예와 동일한 구성에 대한 설명은 생략한다.Configurations other than the heat generating unit 113 and the circulation passage 131 as described above have the same configuration as the above-described embodiment. In addition, the injection nozzle 140 installed in the portion indicated by "A" of Figure 7 is the injection nozzle 140 shown in Figure 5 mentioned in the above-described embodiment or the injection nozzle 140 'shown in Figure 6 Since the configuration is the same as, the description of the same configuration as the above embodiment is omitted.

본 발명 열변환반응 밀폐용기의 제2실시예의 작용을 살펴보면, 발열부(113)로 전원을 인가하여 발열부(113)의 표면온도를 통상의 반응온도인 약 1100℃로 유지되도록 한 뒤, 유입공(111)을 통해 반응가스(TCS+H2)를 공급하면, 반응가스중의 실리콘 성분이 상기 발열부(113)의 외측표면에 증착되고, 반응 후 잔류하는 염화수소(3HCl)는 유출공(112)을 통해 배출된다.Looking at the operation of the second embodiment of the heat conversion reaction closed container of the present invention, by applying power to the heat generating portion 113 to maintain the surface temperature of the heat generating portion 113 at about 1100 ℃ of the normal reaction temperature, inflow When the reaction gas (TCS + H 2 ) is supplied through the hole 111, the silicon component in the reaction gas is deposited on the outer surface of the heat generating unit 113, and hydrogen chloride (3HCl) remaining after the reaction is discharged through the hole ( Through 112).

이때, 상기 유입공(111)을 통해 공급되는 반응가스가 격벽(132)과 베젤(120)의 사이공간으로 유입되어, 공급압력에 의해 상기 순환통로(131)의 이동경로를 따라 순환하면서 베젤(120)과 격벽(132)으로 전달되는 열에너지를 흡수한 뒤, 상기 유입공(111)으로부터 이격 배치된 관통공(132a)을 통해 핫존(121)으로 공급되는 과정에서 베젤(120)과 격벽(132)으로 전달되는 열에너지를 흡수하게 된다. At this time, the reaction gas supplied through the inlet hole 111 is introduced into the space between the partition wall 132 and the bezel 120, and circulates along the moving path of the circulation passage 131 by the supply pressure, After absorbing the heat energy transferred to the 120 and the partition 132, the bezel 120 and the partition 132 in the process of supplying the hot zone 121 through the through hole 132a spaced apart from the inlet hole 111 It absorbs heat energy transferred to).

따라서, 반응온도보다 낮은 온도로 공급되는 반응가스가 가열된 상태로 핫존 으로 공급되는 것이므로 핫존(121)의 온도를 고온으로 유지하기 위한 발열부(113)의 전력소비량을 줄일 수 있게 되며, 베젤(120)과 격벽(132)으로 전달되는 열에너지를 반응가스가 흡수하면서 베젤(120)을 냉각시키게 되므로 베젤(120)을 냉각시키기 위해 베젤(120)의 외측에 별도로 설치되는 냉각시스템을 생략하거나, 냉각시스템의 용량 또는 구동량을 최소화 시킬 수 있는 이점을 제공하게 된다. Therefore, since the reaction gas supplied at a temperature lower than the reaction temperature is supplied to the hot zone in a heated state, power consumption of the heat generating unit 113 for maintaining the temperature of the hot zone 121 at a high temperature can be reduced, and the bezel ( Since the reaction gas absorbs the heat energy transferred to the 120 and the partition wall 132 to cool the bezel 120, a cooling system that is separately installed outside the bezel 120 to cool the bezel 120 may be omitted or cooled. This provides the advantage of minimizing the capacity or drive of the system.

특히, 상기 유입공(111)들의 배출측에는 각각 조립된 분사노즐(140)에 의해 유입공(111)을 통해 열교환부(130)의 순환통로(131)로 공급되는 반응가스의 공급압력이 분산되는 것과 함께 반응가스가 순환통로(131)의 하부영역을 향해 분사되도록 함으로써 순환통로의 하부영역 및 인접한 한 쌍의 분사노즐(140)간의 사이영역까지 반응가스가 공급되면서 열교환을 이루게 되므로 열교환효율이 향상된다.In particular, the supply pressure of the reaction gas supplied to the circulation passage 131 of the heat exchanger 130 through the inlet hole 111 is dispersed on the discharge side of the inlet holes 111 by the assembled injection nozzle 140, respectively. In addition, the reaction gas is injected toward the lower region of the circulation passage 131, so that the reaction gas is supplied to the region between the lower region of the circulation passage and the adjacent pair of injection nozzles 140 to achieve heat exchange, thereby improving heat exchange efficiency. do.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims of the present invention to various extents which can be modified.

도 1은 종래 폴리실리콘 제조용 화학기상증착 반응기의 단면도,1 is a cross-sectional view of a conventional chemical vapor deposition reactor for producing polysilicon,

도 2는 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 사시도,Figure 2 is a perspective view of the heat conversion reaction closed container of the present invention,

도 3은 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 분해사시도,Figure 3 is an exploded perspective view of the heat conversion reaction closed container of the present invention,

도 4는 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 정단면도,Figure 4 is a front sectional view of the heat conversion reaction closed container of the present invention,

도 5는 도 4의 "A"부분의 확대도,5 is an enlarged view of a portion “A” of FIG. 4;

도 6은 본 발명 열변환반응 밀폐용기에 따른 분사노즐의 다른실시예를 나타낸 단면도이고,Figure 6 is a cross-sectional view showing another embodiment of the injection nozzle according to the heat conversion reaction closed container of the present invention,

도 7은 본 발명 열변환반응 밀폐용기의 제2실시예의 단면도이다.7 is a cross-sectional view of a second embodiment of the heat conversion reaction closed container of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

110:베이스 플레이트, 111:유입공, 112:유출공, 113:발열부, 120:베젤, 110: base plate, 111: inlet hole, 112: outlet hole, 113: heat generating portion, 120: bezel,

121:핫존, 130:열교환부, 131:순환통로, 132:격벽, 132a:관통공, 121: hot zone, 130: heat exchanger, 131: circulation passage, 132: bulkhead, 132a: through hole,

140:분사노즐, 141:공급관, 142:분사공, 143:가이드140: spray nozzle, 141: supply pipe, 142: sprayer, 143: guide

Claims (6)

삭제delete 삭제delete 베이스 플레이트;A base plate; 상기 베이스 플레이트의 상측에 조립되어 밀폐된 핫존을 형성하는 베젤;A bezel assembled to an upper side of the base plate to form a closed hot zone; 핫존에 배치되어 핫존의 온도를 상승시키는 발열부;A heat generation unit disposed in the hot zone to increase a temperature of the hot zone; 상기 베이스 플레이트의 외측영역에 원주방향으로 소정간격 이격 배치되어 핫존으로 반응 가스를 공급하는 다수의 유입공; A plurality of inlet holes disposed in the outer region of the base plate at predetermined intervals in a circumferential direction to supply the reaction gas to the hot zone; 상기 베이스 플레이트의 중앙부분에 형성되어 핫존 내부의 가스를 배출하는 유출공;An outlet hole formed at a central portion of the base plate to discharge gas inside the hot zone; 상기 유입공을 통해 핫존으로 공급되는 반응 가스가 상기 베젤로 전달되는 열에너지를 흡수하여 베젤의 온도를 냉각시키는 것과 동시에 반응온도보다 낮은 온도로 가열된 상태로 상기 핫존으로 공급되도록 상기 베젤의 내측에 배치되면서, 상기 베젤과 핫존 사이 공간을 순환하며 상기 유입공과 핫존을 연결하는 순환통로로 이루어지는 열교환부; 및,The reaction gas supplied to the hot zone through the inlet hole absorbs the heat energy transferred to the bezel to cool the temperature of the bezel and is disposed inside the bezel so that the reaction gas is supplied to the hot zone while being heated to a temperature lower than the reaction temperature. While, the heat exchanger circulating the space between the bezel and the hot zone and consisting of a circulation passage connecting the inlet hole and the hot zone; And 상기 유입공의 가스 배출측에 각각 마련되어 상기 열교환부로 공급되는 가스를 측면 또는 측면 하부를 향해 분산 공급하는 분사노즐;을 포함하며, And injection nozzles respectively provided on the gas discharge side of the inflow hole to distribute and supply the gas supplied to the heat exchange part toward the side or the lower side of the inlet hole. 상기 순환통로는 상기 발열부와 유출공을 감싸도록 배치되어 발열부와 유출공을 포함하는 제1공간과 유입공을 포함하는 제2공간을 구분하는 격벽과, 상기 유입공의 대향측에서 상기 격벽에 관통형성되어 제1공간과 제2공간을 연결하는 관통공을 포함하고,The circulation passage is disposed to surround the heat generating part and the outlet hole, and partitions divide the first space including the heat generating part and the outlet hole and the second space including the inlet hole, and the partition wall at an opposite side of the inlet hole. It is formed through the through hole to connect the first space and the second space, 상기 유입공을 통해 제1공간으로 공급된 가스는 순환통로를 통과하면서 발열부로부터 방출되어 베젤로 전달되는 열에너지에 의해 열변환반응 온도보다 낮은 온도로 가열되어 격벽의 관통공을 통해 제2공간으로 공급되고, 제2공간으로 유입된 가스는 발열부에 의해 반응온도까지 직접 가열되면서 열변환반응이 유도되어 유출공을 통해 핫존 외부로 곧바로 배출되는 것을 특징으로 하는 열변환반응 밀폐용기.The gas supplied to the first space through the inlet hole is heated to a temperature lower than the heat conversion reaction temperature by the heat energy that is released from the heat generating part and transferred to the bezel while passing through the circulation passage to the second space through the through hole of the partition wall. The gas supplied into the second space is directly heated to the reaction temperature by the heat generating unit to induce a heat conversion reaction, and the heat conversion reaction closed container characterized in that is immediately discharged to the outside of the hot zone through the outlet hole. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 분사노즐은 일단부가 상기 유입공과 연결되어 가스가 공급되고 타단부는 마감된 공급관과, 상기 공급관으로부터 측방향으로 형성되어 가스가 배출되는 적어도 하나의 분사공이 형성되는 것을 특징으로 하는 열변환반응 밀폐용기.The injection nozzle has a heat conversion reaction seal, characterized in that one end is connected to the inlet hole is supplied with gas and the other end is closed supply pipe, and at least one injection hole is formed laterally from the supply pipe to discharge the gas Vessel. 제 4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 분사노즐은 상기 분사공으로부터 이격되어 측방향으로 분사되는 가스를 하측방향으로 유도하는 가이드가 형성되는 것을 특징으로 하는 열변환반응 밀폐용기.The injection nozzle is a heat conversion reaction closed container characterized in that the guide is formed spaced apart from the injection hole to guide the gas injected in the downward direction downward. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 분사노즐은 일단부가 상기 유입공과 연결되어 가스가 공급되고 타단부는 마감된 공급관과, 상기 공급관으로부터 하향경사방향으로 형성되어 가스가 배출되는 적어도 하나의 분사공이 형성되는 것을 특징으로 하는 열변환반응 밀폐용기.The injection nozzle is a heat conversion reaction characterized in that the one end is connected to the inlet hole and the gas is supplied, the other end is formed in the supply pipe and the other end is formed in a downward inclined direction from the supply pipe to discharge the gas Airtight containers.
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