KR101179535B1

KR101179535B1 - Laser Beam Dump

Info

Publication number: KR101179535B1
Application number: KR1020100040240A
Authority: KR
Inventors: 신상교; 복민갑; 전종수
Original assignee: 신상교; 전종수; 복민갑
Priority date: 2010-04-29
Filing date: 2010-04-29
Publication date: 2012-09-04
Also published as: KR20110120708A

Abstract

본 발명은 레이저 빔 덤프에 관한 것으로, 레이저 빔 덤프에 있어서, 레이저 빔 소스에서 출사되는 레이저 빔의 주변부 빔을 감쇠시키기 위한 제 1덤프와 상기 제 1덤프의 후단에 구비되며, 제 1덤프를 통과한 레이저 빔의 중심영역에 해당하는 빔을 감쇠시키기 위해 내면은 카본시트로 구성되고 외면은 스테인레스로 구성되어 소정크기를 형성하는 제 2덤프를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 제 1덤프와 제 2덤프로 각각 구성하고, 구조적 특징에 따라 공냉 방식의 냉각으로 별도의 냉각장치가 불필요하며, 빔 덤프의 부피를 최소화시킬 수 있는 이점이 있다.The present invention relates to a laser beam dump, comprising a first dump for attenuating a peripheral beam of a laser beam emitted from a laser beam source and a trailing end of the first dump, and passing a first dump in a laser beam dump. In order to attenuate the beam corresponding to the center region of one laser beam, the inner surface is composed of a carbon sheet and the outer surface is made of stainless, and comprises a second dump having a predetermined size. The present invention configured as described above is composed of the first dump and the second dump, respectively, and according to the structural characteristics, there is no need for a separate cooling device by the cooling of the air cooling method, there is an advantage that can minimize the volume of the beam dump.

Description

Laser Beam Dump

본 발명은 저출력 혹은 고출력 레이저 빔의 사용 후 감쇠시킬 레이저 빔의 처리에 필요한 빔 덤프에 대한 것으로, 간섭 실험이나 마킹, 의학 분야에서 사용되는 저출력 레이저, 용접 혹은 금속 절단 등에 사용되는 고출력 레이저 등의 사용 후 불필요한 레이저의 일부 높은 에너지를 감쇠시키기 위한 빔 덤프(Beam Dump)에 관한 것이다.
The present invention relates to a beam dump required for processing a laser beam to be attenuated after use of a low or high power laser beam, and is used for interference experiments, marking, low power lasers used in medical fields, and high power lasers used for welding or metal cutting. And a beam dump to attenuate some high energy of the unwanted laser afterwards.

레이저 빔은 절단(cutting), 용접(welding), 납땜(soldering) 및 어닐링(anealing) 등 다양한 작업에 널리 사용되고 있으며, 이러한 작업의 수행 시 레이저 발진기에서 발진된 레이저 빔을 일시적으로 차단해야 하는 상황이 종종 발생하게 된다. 예를 들어, 공작물의 절단 시 레이저 빔과 공작물 간을 정밀하게 정렬(alignment)하는 경우 또는 액정 디스플레이(Liquid crystal diplay)에 사용되는 유리 기판의 어닐링시 원하는 부분을 어닐링하기 위해 유리 기판을 이송하는 경우가 그러하다. 그리고, 레이저 빔을 차단하는 경우에, 그 차단된 레이저 빔은 일반적으로 빔 덤프에서 모두 흡수되도록 구성된다.The laser beam is widely used in various operations such as cutting, welding, soldering, and annealing, and it is necessary to temporarily block the laser beam generated by the laser oscillator. It often happens. For example, for precise alignment between the laser beam and the workpiece when cutting the workpiece or for transporting the glass substrate to anneal the desired portion during annealing of the glass substrate used for liquid crystal diplay. Yes it is. And, in the case of blocking the laser beam, the blocked laser beam is generally configured to be all absorbed in the beam dump.

현재 사용되고 있는 빔 덤프는 여러개의 반사경을 통해 반사시켜 각 반사경 등에 흡수된 열을 공냉시켜 소멸시키는 장치가 있으며, 이는 발생되는 열에너지가 커서 저출력일 경우에만 유용하다. Currently used beam dump is a device that reflects through a plurality of reflectors to air cooled by the heat absorbed in each reflector to extinguish. This is useful only when the heat energy generated is large and low output.

미국특허 제4,864,098호에는 도 1에 도시되어 있는 바와 같은 빔 덤프(200)가 개시되어 있다. 도 1에 도시된 빔 덤프(200)는 원뿔형상의 반 사부(210)와, 반사부(210) 둘레에 형성된 흡수부(220)와, 흡수부(220)의 외측면에 배치되며 냉각수가 내부에서 순환되는 코일형 파이프부재(230)를 구비한다. 도 1에 화살표로 도시되어 있는 바와 같이, 반사부(210)를 향해 입사되는 레이저 빔(240)은 반사부와 흡수부 사이에서 반복적으로 반사되면서 반사부(210)와 흡수부(220)에 흡수되며, 흡수된 레이저 빔의 열 에너지는 파이프부재(230)에서 순환되는 냉각수를 통해서 외부로 방출되게 된다.U. S. Patent No. 4,864, 098 discloses a beam dump 200 as shown in FIG. The beam dump 200 shown in FIG. 1 has a conical reflector 210, an absorber 220 formed around the reflector 210, and an outer surface of the absorber 220, and cooling water is disposed therein. It is provided with a coiled pipe member 230 circulated. As shown by arrows in FIG. 1, the laser beam 240 incident toward the reflector 210 is repeatedly reflected between the reflector and the absorber and absorbed by the reflector 210 and the absorber 220. The heat energy of the absorbed laser beam is emitted to the outside through the coolant circulated in the pipe member 230.

그리고, 고출력 빔을 흡수하여 발생되는 열에너지를 강제 수냉시키는 장치도 있지만 이는 필요 장소를 많이 차지하며, 저출력에는 사용하기 적합하지 않아 사용용도가 제한적인 단점이 있다. 그에 대한 대안으로 직각 모양의 관을 통과시키면서 내부 열전도도 및 반사율이 큰 금속표면을 반사하며 발생되는 열을 공냉시키면서 소멸되는 장치도 있으나, 형상이 만곡형태로 제작이 용이하지 않고, 설치장소가 커서 협소한 공간에서의 사용용도가 제한적이다.
In addition, there is also a device for forcibly water-cooling the heat energy generated by absorbing the high-power beam, which occupies a lot of necessary place, there is a disadvantage that the use is limited because it is not suitable for use in low power. As an alternative, there is a device that passes through a right-sided tube and reflects the metal surface with large internal thermal conductivity and reflectance while extinguishing the air generated by air cooling, but the shape is not curved and easy to manufacture. Its use in narrow space is limited.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 레이저 빔을 소멸시키는데 있어 별도의 수냉 장치를 필요로 하지 않는 장점과 협소공간에서의 설치 용이성을 구현하기 위한 구조로 다양한 분야에 손쉽게 설치하여 사용하고자 하는데 그 목적이 있다.
The present invention for solving the problems as described above is intended to be easily installed and used in various fields as a structure for realizing the advantages of not needing a separate water-cooling device to dissipate the laser beam and ease of installation in a narrow space. There is a purpose.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 레이저 빔 덤프에 있어서, 레이저 빔 소스에서 출사되는 레이저 빔의 주변부 빔을 감쇠시키기 위한 제 1덤프와 상기 제 1덤프의 후단에 구비되며, 제 1덤프를 통과한 레이저 빔의 중심영역에 해당하는 빔을 감쇠시키기 위해 내면은 카본시트로 구성되고 외면은 스테인레스로 구성되어 소정크기를 형성하는 제 2덤프를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is provided in the laser beam dump, the first dump for attenuating the peripheral beam of the laser beam emitted from the laser beam source and provided at the rear end of the first dump, the first dump In order to attenuate the beam corresponding to the center region of the laser beam passed, the inner surface is composed of a carbon sheet and the outer surface is made of stainless, characterized in that it comprises a second dump to form a predetermined size.

또한, 상기 제 1덤프는, 도우넛 형상으로 구비되며, 그 표면은 나이프 엣지(knife edge) 형상으로 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first dump is provided in a doughnut shape, the surface of which is characterized in that it is provided in the shape of a knife edge (knife edge).

또한, 상기 제 1덤프는, 나이프 엣지의 높이가 4 내지 6cm, 간격이 0.4cm 내지 0.6cm로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first dump is characterized in that the height of the knife edge is formed of 4 to 6cm, the interval 0.4cm to 0.6cm.

또한, 상기 제 1덤프는, 상기 제 2덤프에 고정하기 위한 스페이서에 체결되어 고정되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first dump is characterized in that the fastening is fixed to the spacer for fixing to the second dump.

또한, 상기 제 2덤프는, 측면상 쐐기형 형상으로 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second dump is characterized in that it is provided in a wedge shape on the side.

또한, 상기 제 2덤프는, 외부 구조물에 고정되기 위한 마운트가 일측면에 더 구비되며, 상기 마운트와 구조물간에 볼트 체결을 통해 고정되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second dump, the mount for fixing to the external structure is further provided on one side, characterized in that the fixed between the mount and the structure by bolting.

또한, 상기 제 1덤프와 제 2덤프는, STS304로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first dump and the second dump, characterized in that formed of STS304.

또한, 상기 제 1덤프는, 와이어 방전 가공을 통해 knife edge를 가공하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first dump is characterized by processing the knife edge through a wire discharge machining.

또한, 상기 카본시트는, 그라파이터(graphite)에 해당하는 것을 특징으로 한다.
In addition, the carbon sheet is characterized in that it corresponds to graphite (graphite).

이와 같이 구성되는 본 발명은 레이저 빔의 잔존 에너지를 소멸시키기 위해 레이저 빔의 중심영역 외의 주변부 빔을 감쇠시키는 제 1덤프와 중심영역의 빔을 감쇠시키는 제 2덤프로 각각 구성되고, 구조가 간소화하고 별도의 냉각장치가 없이 공냉 방식으로 냉각시킬 수 있는 이점이 있다.The present invention thus constructed consists of a first dump that attenuates the peripheral beams outside the center region of the laser beam and a second dump that attenuates the beam of the central region to dissipate the remaining energy of the laser beam, and the structure is simplified and There is an advantage that can be cooled by the air cooling method without a separate cooling device.

또한, 상기 제 2덤프의 측면상 형상은 쐐기형 구조를 가짐에 따라 전체적인 빔 덤프 크기를 줄일 수 있는 이점이 있다.
In addition, the side shape of the second dump has an advantage that can reduce the overall beam dump size as having a wedge-shaped structure.

도 1은 종래기술에 따른 레이저 빔 덤프를 나타낸 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프를 나타낸 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프를 나타낸 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프의 제 1덤프를 나타낸 확대도,
도 5는 본 발명에 따른 제 1덤프의 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프를 나타낸 사시도,1 is a cross-sectional view showing a laser beam dump according to the prior art,
2 is a cross-sectional view showing a laser beam dump according to the present invention;
3 is a front view showing a laser beam dump according to the present invention,
4 is an enlarged view showing a first dump of a laser beam dump according to the present invention;
5 is a perspective view of a first dump according to the present invention,
6 is a perspective view showing a laser beam dump according to the present invention,

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of a laser beam dump according to the present invention with reference to the accompanying drawings in detail as follows.

도 2는 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a laser beam dump according to the present invention.

본 발명에 따른 레이저 빔 덤프(20)는, 레이저 빔 소스에서 출사되는 레이저 빔의 주변부 빔을 감쇠시키기 위한 제 1덤프(21)와 상기 제 1덤프의 후단에 구비되며, 제 1덤프를 통과한 레이저 빔의 중심영역에 해당하는 빔을 감쇠시키기 위해 내면은 카본시트(24)로 구성되고 외면은 스테인레스로 구성되어 소정크기를 형성하는 하우징(25)을 포함하는 제 2덤프(23)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The laser beam dump 20 according to the present invention is provided at the first end of the first dump 21 and the first dump for attenuating the peripheral beam of the laser beam emitted from the laser beam source, and passes the first dump. In order to attenuate the beam corresponding to the center area of the laser beam, the inner surface is composed of a carbon sheet 24 and the outer surface is made of stainless, including a second dump 23 including a housing 25 to form a predetermined size. It is characterized in that the configuration.

본 발명에 따른 레이저 빔 덤프(20)는, 레이저 빔의 중심영역 외의 주변주 영역에 해당하는 에너지를 감쇠시키기 위한 제 1덤프(21), 상기 제 1덤프를 관통하는 레이저 빔의 중심영역에 해당하는 에너지를 감시시키기 위한 제 2덤프(23)로 구성되는 것을 특징으로 한다. The laser beam dump 20 according to the present invention corresponds to a first dump 21 for attenuating energy corresponding to a peripheral circumferential region other than the central region of the laser beam, and a central region of the laser beam passing through the first dump. It is characterized by consisting of a second dump (23) for monitoring the energy.

레이저 빔 덤프(20)는 저출력 빔은 물론 고출력 레이저 빔을 감쇠 및 흡수시켜주는 것으로, 제 1덤프(21)와 제 2덤프(23)로 구성된다. 도 3은 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프를 나타낸 정면도이다.The laser beam dump 20 attenuates and absorbs a low power beam as well as a high power laser beam. The laser beam dump 20 includes a first dump 21 and a second dump 23. 3 is a front view showing a laser beam dump according to the present invention.

제 1덤프(21)는 레이저 빔 소스(10)에 출사되는 레이저 빔에서 중심영역의 빔을 제외한 주변영역에 해당하는 빔을 감쇠 및 흡수시키는 것으로, 그 형상은 중앙으로 관통홀이 형성된 대략적인 도우넛 형상으로 구비된다. 여기서 상기 제 1덤프의 바람직한 재질로는 STS304 스테인리스로 형성되는 것이 바람직하다.The first dump 21 attenuates and absorbs a beam corresponding to a peripheral region excluding the beam of the center region from the laser beam emitted to the laser beam source 10, and its shape is an approximate donut having a through hole formed in the center thereof. It is provided in a shape. Here, the preferred material of the first dump is preferably formed of STS304 stainless steel.

도 4는 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프의 제 1덤프를 나타낸 확대도이며, 도 5는 본 발명에 따른 제 1덤프의 사시도로써, 그 표면으로는 입사되는 레이저 빔 주변영역에 대해 연속 반사시켜 열 에너지로 변환하기에 효율적인 구조를 가지는 나이프 엣지(Knife edge) 형상을 갖는다. 쉽게 설명하자면, 일방향으로 연속적인 홈이 평행하게 가공된 것으로 그에 수직한 단면은 톱니 모양으로 형성하여 빔이 실제 조사되는 면적을 최소화시키고, 경사면(각 엣지의 각도)을 최대화 하여 빔 에너지를 감쇠시켜준다. 상기 제 1덤프의 표면 형상 제작의 일예로는 와이어 방전가공(E.D.M)을 이용하여 가공하며, Knife Edge의 각도형상을 가공 시 열로 인한 재질의 특성변화를 방지하기 위해 충분한 냉각시간을 유지시키면서 가공하는 것이 바람직하다.Figure 4 is an enlarged view showing a first dump of the laser beam dump according to the present invention, Figure 5 is a perspective view of the first dump according to the present invention, the surface is continuously reflected to the laser beam surrounding area incident on the surface It has a knife edge shape that has an efficient structure for converting into energy. In simple terms, continuous grooves in one direction are machined in parallel, and the vertical section is serrated to minimize the area where the beam is actually irradiated, and to maximize the slope (angle of each edge) to attenuate the beam energy. give. An example of the surface shape fabrication of the first dump is processed using wire discharge machining (EDM), while processing the angular shape of the knife edge while maintaining a sufficient cooling time to prevent changes in the properties of the material due to heat during processing It is preferable.

여기서, 제 1덤프 표면으로 형성된 엣지의 높이는 4 내지 6cm, 간격은 0.5cm가 바람직하며, 가장 바람직한 실시예로 높이 5cm, 간격 0.5cm를 유지하는 것이 감쇠에 효과적인 구조라고 제안할 수 있다.Here, the height of the edge formed as the first dump surface is preferably 4 to 6cm, the interval is 0.5cm, and in the most preferred embodiment it can be suggested that maintaining a height of 5cm, the interval 0.5cm is an effective structure for damping.

상술한 바에 따라 상기 제 1덤프를 통해 레이저 빔의 중심영역 외의 주변빔은 제 1덤프를 통해 감쇠되고, 중심영역에 해당하는 빔은 가운데 형성된 홀을 통해 관통된 후 제 2덤프에 의해 감쇠된다.As described above, the peripheral beam outside the center region of the laser beam is attenuated through the first dump through the first dump, and the beam corresponding to the center region is attenuated by the second dump after passing through the hole formed in the middle.

상기 제 2덤프(23)는 경사면을 가지는 소정크기의 하우징(25)으로써, 그 형상의 바람직한 예는 측단면도에서 볼 때 쐐기형을 가지는 형상을 갖는다. 다시 설명하면, 상부면이 제 1덤프측에서 반대측으로 경사면을 가지며, 하부면은 평면상으로 구비된다. 그리고 일측면으로는 도우넛 형상의 제 1덤프에 형성된 홀과 관통하는 관통홀이 형성되어 있어 빔 소스의 중심영역 빔이 상기 제 2덤프의 하우징 내측으로 입사된다.The second dump 23 is a housing 25 having a predetermined size having an inclined surface, and a preferable example of the shape thereof has a shape having a wedge shape in a side cross-sectional view. In other words, the upper surface has an inclined surface from the first dump side to the opposite side, and the lower surface is provided in a plane. In one side, a hole formed in the donut-shaped first dump and a through hole penetrate therethrough, such that a central region beam of the beam source is incident into the housing of the second dump.

상기 하우징(25)은 효과적으로 빔 에너지를 감쇠시키기 위해 2중 구조를 가지는데, 외측면은 스테인레스 판넬로 감싸지도 그 내측면은 카본시트(24)로 형성된다. 중심영역의 빔이 상기 하우징 내측으로 입사되면 우선적으로 상부면에 해당하는 경사면으로 입사되고 다시 하부면으로 반사된다. 이러한 반사과정이 순차적으로 일어나게 되며, 상기 카본시트(24)에서 발생되는 열 에너지는 스테인레스로 이루어진 하우징으로 통해 외부로 열을 방출하게 되는 구조를 가진다. 여기서 상기 하우징은 바람직하게 STS304 재질로 구비되며, 카본시트는 열전도도와 열저항성이 우수한 카본시트로 구비된다. 상기 카본시트는 자세하게는 Graphite에 해당하며, 열에 대한 특성이 우수한 재질로서 가공성이 우수하여 특수형상으로도 제작이 가능하며, 일반 대기중에서 400 ~ 450℃에서 그리고 불활성이나 진공로 등의 조건에서는 3000℃의 고온에서도 기계적강도 및 팽창율이 낮아 빔 덤프 적용에 적합하다.The housing 25 has a double structure in order to effectively attenuate the beam energy, the outer surface of which is wrapped in a stainless panel or the inner surface of which is formed of a carbon sheet 24. When the beam of the central region is incident inside the housing, the beam is first incident on the inclined surface corresponding to the upper surface and then reflected on the lower surface. This reflection process occurs sequentially, and the thermal energy generated in the carbon sheet 24 has a structure that emits heat to the outside through a housing made of stainless steel. The housing is preferably made of STS304 material, the carbon sheet is provided with a carbon sheet excellent in thermal conductivity and heat resistance. In detail, the carbon sheet corresponds to graphite, and has excellent heat resistance. The carbon sheet is excellent in workability and can be manufactured in a special shape. In general atmosphere, at 400 to 450 ° C. and inert or vacuum furnace at 3000 ° C. The low mechanical strength and expansion rate even at high temperatures make it suitable for beam dump applications.

한편, 상기 제 1덤프를 제 2덤프에 고정하기 위해서는 별도의 스페이서(22)를 더 포함하여 구성된다. 상기 스페이서는 제 1덤프의 직경과 동일하며 가운데로 관통홀이 형성된 구조를 갖고 있다. 또한, 도면에 도시하지는 않았지만, 볼트 등의 체결수단을 통해 결합되거나 용접 등의 접합 수단을 통해 결합될 수 있다.Meanwhile, in order to fix the first dump to the second dump, a separate spacer 22 is further included. The spacer is the same as the diameter of the first dump and has a structure in which a through hole is formed in the middle. In addition, although not shown in the drawings, it may be coupled through a fastening means such as a bolt or may be coupled through a joining means such as welding.

한편, 상기 하우징(25)의 상부면 일측으로는 본 발명에 따른 레이저 빔 덤프를 필요로 하는 설비에 설치하기 위한 마운트(30)가 더 구비된다. 상기 마운트는 일반적인 금속재 부재로써 볼트 체결을 통해 고정할 수 있도록 볼트 유닛이나 볼트 홀 등으로 구비되며, 빔의 각도에 따라 일정 범위의 방향으로 조절될 수 있도록 구성된다.On the other hand, one side of the upper surface of the housing 25 is further provided with a mount 30 for installation in a facility requiring a laser beam dump according to the present invention. The mount is provided with a bolt unit or a bolt hole to fix the bolt as a general metal member, and is configured to be adjusted in a predetermined range according to the angle of the beam.

도 1은 다시 참조하면, 외부 레이저 빔 소스(10)로부터 출사되는 광을 최종적으로 감쇠시키기 위해 레이저 빔 덤프로 입사되면, 레이저 빔 중심부(a)와 레이저 빔 가장자리 영역(b)로 입사되는데, 레이저 빔 가장자리 영역, 즉 중심영역 외의 빔은 제 1덤프의 표면의 통해 연속 반사되어 발생된 열은 자연 공냉되어 감쇠된다. 레이저 빔 중심부(a)는 도우넛 형상의 상기 제 1덤프를 통과하여 제 1덤프 내부로 입사된다. 입사된 광은 우선 경사면에 충돌하여 다시 반사되어 바닥면으로 반사된다. 이렇게 순차적으로 경사면과 바닥면으로 반사되면서 광 에너지를 감쇠하고 카본시트에서 발생된 열은 외측면, 즉 스테인레스로 구성된 하우징을 통해 외부로 열을 방출함으로써 빔 에너지를 감쇠시킨다.
Referring again to FIG. 1, when incident to the laser beam dump to finally attenuate the light emitted from the external laser beam source 10, it is incident to the laser beam center a and the laser beam edge region b. The beam edge region, ie the beam outside the central region, is continuously reflected through the surface of the first dump, so that the heat generated is naturally air cooled and attenuated. The laser beam center portion (a) passes through the first dump having a donut shape and is incident into the first dump. The incident light first impinges on the inclined surface and is reflected back to the bottom surface. In this way, the light energy is attenuated while being sequentially reflected to the inclined surface and the bottom surface, and the heat generated from the carbon sheet attenuates the beam energy by radiating heat to the outside through a housing made of stainless steel.

이와 같이 구성되는 본 발명은 대략적인 형상을 유지하는 제 2덤프의 측면상 구조가 쐐기형으로 구성되고 별도의 냉각장치가 불필요하기 때문에 부피를 최소화 할 수 있는 장점이 있다.The present invention configured as described above has an advantage of minimizing the volume because the second dump side structure maintaining the approximate shape is configured in the wedge shape and a separate cooling device is unnecessary.

이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. On the contrary, those skilled in the art will appreciate that many modifications and variations of the present invention are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims. And all such modifications and changes as fall within the scope of the present invention are therefore to be regarded as being within the scope of the present invention.

10 : 레이저 빔 소스 20 : 빔 덤프
21 : 제 1덤프 22 : 스페이서
23 : 제 2덤프 24 : 카본시트
25 : 하우징 30 : 마운트
a : 레이저 빔 중심부 b : 레이저 빔 가장자리 영역
c : 반사된 레이저 빔10 laser beam source 20 beam dump
21: First Dump 22: Spacer
23: 2nd Dump 24: Carbon Sheet
25 housing 30 mount
a: laser beam center b: laser beam edge region
c: reflected laser beam

Claims

In the laser beam dump,
A first dump for attenuating the peripheral beam of the laser beam exiting the laser beam source; and
It is provided at the rear end of the first dump, the inner surface is composed of a carbon sheet and the outer surface is made of stainless steel to attenuate the beam corresponding to the center region of the laser beam passing the first dump comprises a housing forming a predetermined size Including a second dump;
The first dump is provided in a doughnut shape, the surface is provided in the shape of a knife edge (knife edge),
The first dump is a laser beam dump, characterized in that fastened and fixed to the spacer for fixing to the second dump.

delete

The method of claim 1, wherein the first dump,
Laser beam dump, characterized in that the height of the knife edge is formed 4 ~ 6cm, the interval 0.4cm ~ 0.6cm.

delete

The method of claim 1, wherein the second dump,
Laser beam dump, characterized in that provided in the wedge shape on the side.

The method of claim 1, wherein the second dump,
Mounted to be fixed to the outer structure is further provided on one side, the laser beam dump, characterized in that fixed through the bolt coupling between the mount and the structure.

The method of claim 1, wherein the outer surface of the first dump and the second dump,
Laser beam dump, characterized in that formed of stainless (STS304).

The method of claim 1 or 3, wherein the first dump,
Laser beam dump, characterized in that the knife edge is machined through wire discharge machining.

The method of claim 1, wherein the carbon sheet,
Laser beam dump, characterized in that it corresponds to graphite (graphite).