KR101165032B1 - 미세 위치 조절 유니트 및 이를 갖는 와이어 클램프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 미세 위치 조절 유니트를 제공한다. 상기 미세 위치 조절 유니트는 외력을 전달받아 제 1축을 따라 유동되는 가동 몸체와, 상기 가동 몸체의 외주에 형성되며, 상기 가동 몸체의 일정 위치에서 서로 일정 각도를 이루어 벌어지는 경사면으로 이루어지는 경사부와, 상기 경사부에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 가동되며, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축을 구비한다. 또한, 본 발명은 상기 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프도 제공함으로써, 와이어 클래프의 오픈 갭을 일정 단위로 미세하게 조절 가능하도록 함과 아울러 클램프 몸체와 구동원 사이의 열팽창에 의한 예압 변화를 보상할 수 있다.

Description

미세 위치 조절 유니트 및 이를 갖는 와이어 클램프{UNIT FOR ADJUSTING MINUTE POSITION AND WIRE CLAMP HAVING THE SAME}

본 발명은 와이어 클램프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 와이어 클래프의 오픈 갭을 일정 단위로 미세하게 조절 가능하도록 함과 아울러 클램프 몸체와 구동원 사이의 열팽창에 의한 예압 변화를 보상할 수 있는 미세 위치 조절 유니트 및 이를 갖는 와이어 클램프에 관한 것이다.

전형적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 확산, 증착, 노광, 이온 주입, 식각 및 세정 공정과 같은 단위 공정들이 순차적 또는 선택적으로 수행됨으로써 제조된다.

이와 같이 웨이퍼 상에 제조된 반도체 소자는 반도체 패키지 공정을 거치면서 하나의 부품으로 생산된다.

상기 반도체 패키지 제조 공정 중 와이어 본딩 공정은 다이 본딩 된 반도체 소자에 형성된 본딩 패드와 패키지의 외부접속용 단자 사이를 미세한 골드 와이어 등으로 연결하여 전기적으로 접속시키는 공정이다.

여기서, 상기 골드 와이어는 1차 클램프 및 2차 클램프의 닫힘 및 열림 작용 에 의해 모세관(capillary)을 통하여 취출되어 칩의 본딩 패드와 패키지의 단자 사이를 연결하게 된다.

이러한 종래의 와이어 클램프의 일 예가 대한민국 공개특허공보 제2000 -0053931호 "반도체 패키지 제조를 위한 와이어 본더의 와이어 클램프"에 개시되어 있다.

도 1은 종래의 와이어 클램프의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 와이어 클램프(3)는 압전소자(18)가 설치된 클램프 본체(11)와, 상기 클램프 본체(11) 일 측으로부터 연장 형성된 기준측 플레이트(12)와, 상기 기준측 플레이트(12)에 대향하도록 상기 클램프 본체(11) 타측에 고정 스크류(17)에 의해 결합되는 조정측 플레이트(13)와, 상기 기준측 플레이트(12) 및 조정측 플레이트(13)의 선단부에 각각 부착되는 메탈 재질의 클램프 패드(14)와, 상기 조정측 플레이트(13)에 부착되는 클램프 패드(14)를 기준측 플레이트(12)에 부착된 클램프 패드(14)면에 일치시키기 위한 면조정용 스크루(15)와, 기준측 플레이트(12) 후단부에 장착되어 기준측 플레이트(12) 상의 압전소자(18) 위치를 변경시켜 상기 기준측 플레이트(12) 및 조정측 플레이트(13) 선단부에 부착된 클램프 패드(14) 사이의 갭이 조정되도록 하는 갭 조정용 스크루(19)를 포함하여 구성된다.

이와 같이 구성된 와이어 클램프(3)는 클램프 패드(14) 사이를 지나는 와이어를 외부로 부터의 전기적 신호에 따라 구속하거나 해제시키면서 와이어에 장력을 제공하여 볼이 본딩 지점의 센터에서 벗어나지 않도록 하는 역할을 하게 된다.

즉, 기준측 플레이트(12) 상에 장착된 압전소자(18)에 전압을 가하면, 압전소자(18)가 팽창하게 되며 이에 따라 기준측 플레이트(12)에 부착된 클램프 패드(14)와 조정측 플레이트(13) 상에 부착된 클램프 패드(14) 사이의 갭이 커지면서 와이어에 대한 클램핑이 해제되고, 인가 전압을 오프(OFF)시키면 압전소자(18)가 원상태로 수축함으로써 와이어에 대한 클램핑이 이루어지게 된다.

여기서, 상기 압전 소자(18) 또는 피에조 또는 좌왜소자 중 어느 하나를 구동원으로 하는 구동부에 와이어 클램프(3) 조립시에 일정의 예압을 인가한다.

이에 따라, 상기 구동부는 전기적 신호가 입력되면 미리 설정된 오픈 갭으로 기준측 플레이트(12)와 조정측 플레이트(13)의 동작을 조절할 수 있다.

이에 따라, 와이어 클램프(3)에는 예압 장치가 필수적으로 채택된다.

종래의 상기 예압 장치는 상기 갭 조정 스크루(19)가 채택된다.

이러한 갭 조정 스크루(19)를 사용하여 구동부로 예압을 인가하는 경우에, 상기 오픈 갭의 변위를 수 미크론 단위로 조절할 수 없는 문제점을 갖는다.

또한, 종래의 와이어 클램프(3)에 채택되는 구동부는 외부로부터 전기적 신호를 입력받아 작동된다.

따라서, 구동부에서 발생되는 열에너지와 클램프의 외부에서 전달되는 열에너지에 의하여 와이어 클램프의 온도가 일정 온도로 상승된다.

이때, 클램프 본체(11)의 재질과 구동부의 재질 사이의 열팽창으로 인한 예압 변화가 발생된다.

이로 인하여, 종래에는 미리 설정된 오픈 갭이 가변될 수 있는 문제점이 있 다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록 안출된 것으로서, 본 발명의 제 1목적은 와이어 클램프에 가변 설정되는 오픈 갭의 조절을 수 미크론 단위로 조절 가능하도록 할 수 있는 미세 위치 조절 유니트 및 이를 갖는 와이어 클램프를 제공함에 있다.

본 발명의 제 2목적은 클램프 암의 개폐를 조절하는 구동부와 클램프 몸체 간에 발생되는 열팽창으로 인한 예압 변화를 보상할 수 있는 미세 위치 조절 유니트 및 이를 갖는 와이어 클램프를 제공함에 있다.

본 발명의 제 3목적은 클램프 몸체의 크기와 무게를 줄임으로써, 클램프를 소형 및 경량화 할 수 있고, 이로 인하여 본드 헤드의 고속 주행을 가능하게 함으로써 제품의 생산성을 향상시킬 수 있는 미세 위치 조절 유니트 및 이를 갖는 와이어 클램프를 제공함에 있다.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 미세 위치 가변 유니트의 제 1실시예를 제공한다.

상기 미세 위치 가변 유니트의 제 1실시예는 서로 일정 거리 이격되고 서로 마주보도록 배치되며, 외력을 전달받아 제 1축을 따라 연동되는 한 쌍의 가동 몸체와, 상기 한 쌍의 가동 몸체들을 상기 제 1방향을 따라 서로 신축 또는 이완 동작 시키는 조절부와, 상기 한 쌍의 가동 몸체 각각의 외주에 서로 대칭이 되도록 형성되며 서로 벌어지는 경사면을 갖는 경사부와, 상기 경사부에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 가동되고, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축을 포함한다.

여기서, 상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으로 이루지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 조절부는 상기 한 쌍의 가동 몸체의 내부에 형성되는 스크류 홀에 끼워져 관통되는 나사 몸체와, 상기 가동 몸체들 중 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 일단에 연결되는 조절 볼트와, 상기 가동 몸체들 중 다른 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 타단에 연결되어 상기 나사 몸체의 회전을 지지하는 너트를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어질 수 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

그리고,상기 경사면은 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어질 수도 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 경사면에 접촉되도록 일정 길이 연장되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 미세 위치 가변 유니트의 제 2실시예를 제공한다.

상기 미세 위치 가변 유니트의 제 2실시예는 외력을 전달받아 제 1축을 따라 유동되는 가동 몸체와, 상기 가동 몸체의 일단에 설치되어 상기 가동 몸체의 승강 동작을 제어하도록 외력을 제공하는 조절 나사와, 상기 가동 몸체의 외주에 형성되며, 상기 가동 몸체의 일정 위치에서 서로 일정 각도를 이루어 벌어지는 경사면으로 이루어지는 경사부와, 상기 경사부에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 기동되는 가동축을 포함한다.

여기서, 상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으로 이루지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성될 수 있다.

여기서, 상기 한 쌍으로 이루어지는 경사면은 상기 제 2축과 이루는 각도가 서로 다르도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어질 수 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성되고, 서로 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어지고, 상기 한 쌍의 볼록 곡면들의 사이에는 일정 깊이를 이루는 안착홀이 형성될 수 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 한 쌍의 경사면 각각에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 상기 안착홀에 안착되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

이에 더하여, 상기 가동축은 온도 보상 부재로 이루어지는 것이 바람직하다.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 미세 위치 가변 유니트를 갖는 와이어 클램프의 제 1실시예를 제공한다.

상기 와이어 클램프의 제 1실시예는 서로 마주보도록 배치되며, 그 일단에 서로 마주보도록 클램프 패드가 각각 설치되는 한 쌍의 클램프 암과, 상기 한 쌍의 클램프 암의 개폐 동작을 제어하는 구동부와, 서로 일정 거리 이격되고 서로 마주보도록 배치되며, 외력을 전달받아 제 1축을 따라 연동되는 한 쌍의 가동 몸체와, 상기 한 쌍의 가동 몸체들을 상기 제 1방향을 따라 서로 신축 또는 이완 동작시키는 조절부와, 상기 한 쌍의 가동 몸체 각각의 외주에 서로 대칭이 되도록 형성되며 서로 벌어지는 경사면을 갖는 경사부와, 상기 경사부에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 가동되고, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축을 갖는 미세 위치 조절 유니트를 포함한다.

여기서, 상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으로 이루지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 조절부는 상기 한 쌍의 가동 몸체의 내부에 형성되는 스크류 홀에 끼워져 관통되는 나사 몸체와, 상기 가동 몸체들 중 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 일단에 연결되는 조절 볼트와, 상기 가동 몸체들 중 다른 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 타단에 연결되어 상기 나사 몸체 의 회전을 지지하는 너트를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어질 수 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

그리고,상기 경사면은 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어질 수도 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 경사면에 접촉되도록 일정 길이 연장되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 미세 위치 가변 유니트를 갖는 와이어 클램프의 제 2실시예를 제공한다.

상기 와이어 클램프의 제 2실시예는 서로 마주보도록 배치되며, 그 일단에 서로 마주보도록 클램프 패드가 각각 설치되는 한 쌍의 클램프 암과, 상기 한 쌍의 클램프 암의 개폐 동작을 제어하는 구동부와, 외력을 전달받아 제 1축을 따라 유동되는 가동 몸체와, 상기 가동 몸체의 외주에 형성되며, 상기 제 1축의 일정 위치에서 서로 일정 각도를 이루어 벌어지는 경사면으로 이루어지는 경사부와, 그 일단은 상기 경사부에 배치되고 그 타단은 상기 구동부에 연결되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 가동되는 변위를 상기 구동부로 전달하여 상기 한 쌍의 클래프 암의 갭을 조절하며, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축을 구비하는 미세 유동 유니트를 포함한다.

여기서, 상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으 로 이루지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성될 수 있다.

여기서, 상기 한 쌍으로 이루어지는 경사면은 상기 제 2축과 이루는 각도가 서로 다르도록 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어질 수 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성되고, 서로 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어지고, 상기 한 쌍의 볼록 곡면들의 사이에는 일정 깊이를 이루는 안착홀이 형성될 수 있다.

여기서, 상기 가동축의 일단에는 상기 한 쌍의 경사면 각각에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 상기 안착홀에 안착되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것이 바람직하다.

이에 더하여, 상기 가동축은 온도 보상 부재로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명은 와이어 클램프에 가변 설정되는 오픈 갭의 조절을 수 미크론 단위로 조절 가능하도록 할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 클램프 암의 개폐를 조절하는 구동부와 클램프 몸체 간에 발생되는 열팽창으로 인한 예압 변화를 보상할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 클램프 몸체의 크기와 무게를 줄임으로써, 클램프를 소형 및 경량화 할 수 있고, 이로 인하여 본드 헤드의 고속 주행을 가능하게 함으로써 제품의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.

이하, 첨부되는 도면들을 참조로 하여, 본 발명의 미세 위치 조절 유니트 및 이를 갖는 와이어 클램프를 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 실시예를 따르는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프를 보여주는 평면도이다. 도 3은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 1실시예를 보여주는 측면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 측면도이다. 도 5는 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 30도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다. 도 6은 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 45도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다. 도 7은 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 60도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다. 도 8은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 1실시예를 따르는 경사부의 변형예를 보여주는 측면도이다. 도 9는 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 다른 변형예를 보여주는 측면도이다. 도 10은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 보여주는 측면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 측면도이다. 도 12는 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 30도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다. 도 13은 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 45도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다. 도 14는 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 60도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다. 도 15는 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 변형예를 보여주는 측면도이다. 도 16은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 다른 변형예를 보여주는 측면도이다. 도 17은 도 16에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 부분 확대 단면도이다. 도 18은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 또 다른 변형예를 보여주는 측면도이다. 도 19는 도 18에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 부분 확대 단면도이다. 도 20은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 또 다른 변형예를 보여주는 측면도이다. 도 21은 도 20에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 부분 확대 단면도이다.

도 2를 참조 하면, 본 발명의 와이어 클램프는 클램프 몸체(100)를 구비한다.

상기 클램프 몸체(100)의 일단에는 한 쌍의 클램프 암(110)이 설치된다. 상기 클램프 암들(110)의 선단에는 서로 마주보도록 클램프 패드(111)가 각각 설치된다.

상기 클램프 몸체(100)에는 외부로부터 전원을 인가 받아 상기 한 쌍의 클램프 암(110)의 개폐 동작을 제어하는 구동부(230)가 설치된다.

상기 구동부(230)는 피에조 구동원일 수도 있고, 좌왜소자와 코일로 구성되는 자이언트 마그네틱 스트릭티브 엑츄에이터(Giant Magnetostrictive Actuator)일 수도 있다.

상기 피에조 구동원은 압전 소자가 사용되고, 상기 압전 소자는 전기 신호의 인가 여부에 따라 팽창 또는 수축할 수 있다.

상기 피에조 구동원은 블록 타입(Block type) 이나 바이모프 타입(Bimorph type)이 사용될 수 있다.

또한, 상기 구동부(230)는 VCM(Voice Coil Motor)가 사용될 수도 있다.

그리고, 상기 클램프 몸체(100)에는 상기 클램프 암들(110)의 오픈 갭(open gap)을 조절하는 미세 위치 조절 유니트가 설치된다.

도 2 내지 도 4를 참조 하여, 상기 미세 위치 조절 유니트의 제 1실시예 및 이를 갖는 와이어 클램프의 제 1실시예를 설명하도록 한다.

상기 미세 위치 조절 유니트는 외력을 전달받아 제 1축(1)을 따라 유동되며 서로 일정 거리 이격되어 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 가동 몸체(210)와, 상기 한 쌍의 가동 몸체들(210)을 상기 제 1축(1)을 따라 신축 또는 이완시키도록 유동시키는 조절부와, 상기 한 쌍의 가동 몸체(210) 각각의 외주에 형성되며, 서로 일정 각도를 이루어 벌어지는 경사면(300a,300b)으로 이루어지는 경사부(300)와, 상기 경사부(300)에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체(210)가 제 1축(1)을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축(1)과 법선을 이루는 제 2축(2)을 따라 가동되고, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축(220)으로 구성된다.

여기서, 상기 경사면(300a, 300b)은 상부 경사면(300a)과 하부 경사면(300b)으로 이루어진다.

상기 경사면(300a,300b)은 상기 제 2축(2)을 기준으로 예각(θ)을 이루며, 평평한 면으로 이루어진다.

그리고, 상기 조절부는 상기 한 쌍의 가동 몸체(210)의 내부에 형성되는 스크류 홀(211)에 끼워져 관통되는 나사 몸체(212)와, 상기 가동 몸체들(210) 중 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체(210)의 일단에 연결되는 조절 볼트(213)와, 상기 가동 몸체들(210) 중 다른 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체(212)의 타단에 연결되어 상기 나사 몸체(212)의 회전을 지지하는 너트(214)를 구비한다.

따라서, 상기 조절 볼트(213)가 회전됨에 따라 한 쌍의 가동 몸체들(210)은 서로 제 1축(1)을 따라 신축되거나 이완되는 방향으로 이동될 수 있다.

이에 따라, 상부 경사면(300a)과 하부 경사면(300b)은 서로 오므라들거나 벌어질 수 있다.

그러므로, 상기 상부 및 하부 경사면(300a, 300b)에 그 일단이 면접촉되는 가동축(220)은 상기 한 쌍의 경사면(300a,300b)이 오므라드는 경우에 도 4에 도시된 바와 같이, 제 2축(2)을 따라 일정 변위로 유동되고, 벌어지는 경우에, 제 2축(2)을 따라 경사면(300a,300b)의 내측으로 진입된다.

도면에 도시되지는 않았지만, 상기 가동축(220)은 상기 경사부(300)에 끼워져 대기되도록 탄성체와 같은 수단에 의하여 외부로부터 압력이 제공되는 상태이다.

또한, 상기 경사면(300a,300b)의 각도인 예각(θ)은 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 30도, 45도 및 60도와 같이 다양하게 형성될 수 있다.

여기서, 미설명 부호 '301a','302a'는 각각 45도 및 60도일 경우의 상부 경사면이고, '301a','302a'는 각각 45도 및 60도일 경우의 하부 경사면이다.

또한, 가동축(220)의 221,221',221"는 각각 30도, 45도 및 60도일 경우의 제 1면이고, 222,222',222"는 각각 30도, 45도 및 60도일 경우의 제 2면이다.

따라서, 상기 가동 몸체들(210)의 신축되는 방향으로 오므라드는 경우에, 가동축(220)의 이동 변위는 상기 경사부(300, 301, 302)의 각도와 반비례된다.

이에 더하여, 도 8에 도시된 바와 같이, 경사면(303)은 반원 형상의 곡면으로 이루어질 수 있다.

이러한 경우에, 상기 가동축(220)의 일단에는 상기 곡면의 경사면(303)에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축(223)이 더 형성된다.

상기 제 1연장축(223)은 상기 가동 몸체들(210) 각각에 형성된 경사면(303)에 접촉되도록 가동축(220) 일단에 한 쌍으로 형성된다.

따라서, 상기 가동 몸체들(210)이 서로 오므라드는 경우에, 상기 제 1연장축(223)의 일단은 상기 경사면(303)을 타고 슬라이딩 이동되어 제 2축(2)을 따라 일정 위치로 이동된다.

또한,도 9에 도시된 바와 같이, 경사면(304)은 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어질 수도 있다.

여기서, 상기 가동축(220)의 일단에는 상기 경사면(304)에 접촉되도록 일정 길이 연장되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축(223')이 더 형성된다.

여기서, 상기 제 2연장축(223')은 도 8에 도시된 제 1연장축(223)과 실질적으로 동일할 수 있다.

또한, 상기 제 2연장축(223')은 상기 가동 몸체들(210) 각각에 형성된 경사면(304a,304b)에 접촉되도록 가동축(220) 일단에 한 쌍으로 형성된다.

따라서, 상기 가동 몸체들(210)이 서로 오므라드는 경우에, 상기 제 2연장축(223')의 일단은 상기 경사면(304)을 타고 슬라이딩 이동되어 제 2축(2)을 따라 일정 위치로 이동된다.

이때, 도 9에 도시된 가동축(220)의 이동 변위 프로파일은 상기 가동축(220)이 제 2축(2)을 따라 이동되면서 상기 볼록 곡면으로 이루어진 경사면(304)의 형상에 대한 프로파일에 반비례되는 관계를 갖는다.

즉, 상기 제 2연장축(223')이 경사면(304)의 내측에서 가동 몸체(210)의 외측을 따라 이동되는 경우에, 가동축(210)의 이동 변위는 포물선 곡선을 이루도록 점진적으로 감소되면서 후기에 증가되는 프로파일이 형성될 수 있다.

도 10 및 도 11을 참조 하여, 상기 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예와 와이어 클램프의 제 2실시예를 설명하도록 한다.

상기 제 2실시예를 따르는 미세 위치 조절 유니트는 외력을 전달받아 제 1축(1)을 따라 유동되는 가동 몸체(410)와, 상기 가동 몸체(410)의 외주에 형성되며, 상기 제 1축(1)의 일정 위치에서 서로 일정 각도를 이루어 벌어지는 경사면으로 이루어지는 경사부(500)와, 그 일단은 상기 경사부(500)에 배치되고 그 타단은 상기 구동부(230)에 연결되며, 상기 가동 몸체(410)가 제 1축(1)을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축(1)과 법선을 이루는 제 2축(2)을 따라 가동되는 변위를 상기 구동부(230)로 전달하여 상기 한 쌍의 클래프 암(110)의 갭을 조절하는 가동축(220)으로 구성된다.

상기 가동 몸체(410)의 상단에는 회전 가능하도록 조절 나사(413)가 설치된다. 상기 조절 나사(413)에는 상기 가동 몸체(410)의 내부에 형성된 스크류 홀(411)와 스크류 결합되도록 일정 길이 연장된 나사 몸체(412)가 마련된다.

따라서, 상기 조절 나사(413)가 회전됨에 따라, 상기 나사 몸체(412)는 스크류 홀(411)의 내부에서 회전될 수 있고, 이에 따라, 상기 가동 몸체(410)는 화살표 방향을 따라 승강 동작될 수 있다.

상기 경사부(500)는 일정 길이를 갖는 가동 몸체(410)의 외주에서 그 내측으로 일정 깊이 파인 형상으로 형성된다.

좀 더 상세하게는 상기 경사부(500)는 상기 가동 몸체(410)의 제 1축(1)을 따르는 일정 위치, 예컨대 가동 몸체(410)의 중심 위치에서 상기 제 2축(2)을 경계로 하여 대칭으로 형성되는 한 쌍의 경사면(500a,500b)을 구비한다.

상기 한 쌍의 경사면(500a,500b)은 상기 중심 위치로부터 상기 가동 몸체(410)의 외주측으로 일정 각도(θ)를 형성하여 벌어지도록 형성된다.

상기 한 쌍의 경사면(500a,500b)은 상기 제 2축(2)을 기준축으로 하여 예각(θ)을 형성할 수 있다.

상기 예각(θ)은 도 12 내지 도 14에 도시된 바와 같이 30도, 45도 및 60도와 같이 다양하게 형성될 수 있다.

그리고, 상기 한 쌍의 경사면(500a,500b)의 일단은 기준면(500c)에 의하여 서로 연결될 수 있다.

상기 가동축(220)은 그 일단이 상기 경사부(500)에 끼워지도록 형성된다.

여기서, 상기 가동축(220)은 스테인레스 또는 알루미늄과 같은 온도 보상 부재로 이루어진다.

좀 더 상세하게는 상기 가동축(220)의 일단은 상기 한 쌍의 경사면(500a,500b)과 면접촉되는 제 1면(221)과, 상기 기준면(500c)과 접촉되는 제 2면(222)을 갖는다.

상기 가동축(220)의 타단에는 구동부(230)가 연결된다.

여기서, 도 13 및 도 14에 도시된 가동축(220)의 221,221',221"는 각각 30도, 45도 및 60도일 경우의 제 1면이고, 222,222',222"는 각각 30도, 45도 및 60도일 경우의 제 2면이다.

도 10 및 도 11을 참조 하여, 본 발명의 제 2예를 따르는 미세 위치 조절 유니트의 작동을 설명하도록 한다.

도 10에 도시된 조절 나사(413)를 일 방향으로 회전시키면, 조절 나사(413)로부터 연장된 나사 몸체(412)는 가동 몸체(410)의 스크류 홀(411)에서 회전된다.

이에 따라, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 가동 몸체(410)는 제 1축(1)을 따라 상기 조절 나사(413)의 회전 각도에 해당되는 변위 만큼 하방으로 유동될 수 있다.

이때, 가동축(220)의 일단은 상방의 경사면(500a)을 타고 제 2축(2)을 따라 일정 위치로 그 위치가 가변될 수 있다.

즉, 하방으로 유동되는 경사부(500)의 상방 경사면(500a)은 면접촉된 가동축(220)의 상방의 제 1면(221)을 누르게 된다.

이에 따라, 가동축(220)의 상기 상방의 제 1면(221)은 상방의 경사면(221)을 따라 슬라이딩 이동될 수 있다.

따라서, 상기 기동축(220)은 제 2축(2)을 따라 일정 위치로 변위가 가변되어 위치될 수 있다.

도 11에서는 상기 가동 몸체(410)가 하방으로 유동되어 가동축(220)이 제 2축(2)을 따라 그 위치가 가변되는 경우이다.

본 발명의 상기 미세 위치 가변 유니트의 제 2실시예에서는 상기 한 쌍의 경사면(500a,500b)이 서로 대칭을 이루기 때문에, 상기 가동축(220)의 제 2축(2)을 따르는 이동 변위는 상기 가동축(220)이 상방으로 유동되는 경우와 상기 가동축(220)이 하방으로 유동되는 경우 모두 실질적으로 서로 동일할 수 있다.

다음은, 도 12 내지 도 14를 참조로 하여, 경사부(500)의 경사면(500a,500b) 각도가 서로 다른 경우에 가동축(220)의 이동 변위에 대한 차이점을 설명하도록 한다.

도 12 내지 도 14는 조절 나사(413)를 동일한 회전수로 회전시킴에 따라 가동축이 동일한 위치로 하방으로 유동된 경우에, 가동축(220)의 이동 변위의 차이를 보여주는 도면들이다.

도 12 내지 도 14는 제 2축(2)을 기준으로 경사부(500,501,502)의 각도가 각 각 30도와 45 및 60도로 이루어진 것을 볼 수 있다.

도 12를 참조 하면, 가동축(220)이 일정 위치로 하강되면, 가동축(220)은 상방의 경사면(500a)을 타고 제 2축(2)을 따라 슬라이딩 이동된다.

따라서, 상기 가동축(220)의 이동 변위는 'P1'이 형성된다.

도 13을 참조 하면, 가동축(220)이 일정 위치로 하강되면, 가동축(220)은 상방의 경사면(501a)을 타고 제 2축(2)을 따라 슬라이딩 이동된다.

따라서, 상기 가동축(220)의 이동 변위는 'P2'가 형성된다.

도 14를 참조 하면, 가동축(220)이 일정 위치로 하강되면, 가동축(220)은 상방의 경사면(502a)을 타고 제 2축(2)을 따라 슬라이딩 이동된다.

따라서, 상기 가동축(220)의 이동 변위는 'P3'가 형성된다.

상기에서 살펴 본 바와 같이, 상기 경사부(500,501,502)의 각도가 0도 내지 90도의 범위 내에서 증가되어 형성 될수록, 가동축(220)의 이동 변위가 감소됨을 알 수 있다(P1<P2<P3).

이에 따라, 경사부(500,501,502)의 각도에 따라 가동축(220)의 이동 변위는 조절 나사(413)의 회전 피치의 절반으로 미세하게 조절될 수 있다.

한편, 도 15는 경사부(503)의 다른 변형예를 보여주는 도면으로서, 상기 경사부(503)는 한 쌍의 경사면(503a,503b)을 구비하되, 제 2축(2)을 기준으로 서로 다른 예각이 형성될 수도 있다.

도 15를 참조 하면, 경사부(503)의 상부 경사면(503a)의 각도는 θ이고, 하부 경사면(503b)의 각도는 θ1으로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 θ>θ1 이다.

여기서, 상기 가동축(220)의 제 1면(221''')은 상기 상부 경사면(503a)에 상응되고, 제 2면(222''')은 상기 하부 경사면(503b)에 상응되도록 형성되어 면접촉되도록 형성된다.

여기서, 상기 가동 몸체(410)를 서로 동일한 변위로 일정 위치에 승강시킨 경우를 예로 하여 설명한다.

따라서, 가동 몸체(410)가 일정 위치로 하강되면, 가동축(220)의 제 1면(221''')은 상부 경사면(503a)을 타고 슬라이딩 이동되어 'Pθ'만큼의 이동 변위가 발생된다.

반면에, 가동 몸체(410)가 일정 위치로 승강되면, 가동축(220)의 제 2면(222''')은 하부 경사면(503b)을 타고 슬라이딩 이동되어 'Pθ1'만큼의 이동 변위가 발생된다.

상기 가동축(220)은 상기 경사면(503a,503b)의 각도가 증가될수록 그 이동 변위가 감소된다.

이에 따라, 상기 가동축(220)의 이동 변위의 관계는 'Pθ>Pθ1'의 관계가 성립된다.

따라서, 도 15에 도시된 바와 같이 경사부(503)의 상부 경사면(503a)과 하부 경사면(503b)의 각도가 서로 다른 예각으로 형성되는 경우에, 가동 몸체(410)가 동일 변위를 갖는 일정 위치로 승강됨에 따라 가동축(220)의 이동되는 변위의 단위는 서로 다르게 이루어 수 있다.

다음은, 도 16 및 도 17을 참조 하여, 상기 미세 위치 조절 유니트의 제 2실 시예를 따르는 다른 변형예를 설명하도록 한다.

상기 미세 위치 조절 유니트는 조절 나사(413)가 구비된 가동 몸체(410)와, 구동부(230)와 연결되는 가동축(220)을 구비한다.

상기 조절 나사(413)와 상기 가동 몸체(410)의 구성 및 가동축(220)은 상기 제 2실시예의 구성과 실질적으로 동일할 수 있다.

다만, 가동 몸체(410)에 형성되는 경사부(504) 및 상기 경사부(504)에 끼어지는 가동축(220)의 일단의 형상이 다르게 구성된다.

상기 경사부(504)는 제 2축(2)을 경계로 대칭으로 형성되는 반원형상의 곡면으로 이루어지는 경사면을 구비한다.

상기 경사면(504)은 곡면으로 이루어지고 서로 대칭으로 형성된다.

상기 가동축(220)의 일단에는 그 중앙부로부터 외측으로 일정 길이 연장되어 돌출 형성된 가이드 돌기(224)가 형성된다.

상기 가이드 돌기(224)의 일단은 구형으로 형성되어 상기 경사면(504)에 접촉된다.

도 17을 참조 하면, 상기 가동 몸체(410)가 조절 나사(413)의 회전에 의하여 상방 또는 하방으로 유동되는 경우에, 상기 가이드 돌기(224)의 일단은 상기 경사면(504)에 접촉된 상태로 슬라이딩 이동될 수 있다.

이에 따라, 가동 몸체(410)가 하방으로 일정 위치로 하강되면, 상기 가이드 돌기(224)는 상기 곡면으로 형성되는 경사면(504)을 타고 곡선 경로를 형성하면서 슬라이딩 이동되고, 가동축(220)은 제 2축(2)을 따라 일정 변위를 갖는 위치로 이 동될 수 있다.

물론, 가동 몸체(410)가 상방으로 일정 위치로 상승되는 경우에 있어서도 상기 가동축(220)은 제 2축(2)을 따라 일정 변위를 갖는 위치로 이동될 수 있다.

다음은, 도 18 및 도 19를 참조 하여, 상기 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 또 다른 변형예를 설명하도록 한다.

상기 미세 위치 조절 유니트는 조절 나사(413)가 구비된 가동 몸체(410)와, 구동부(230)와 연결되는 가동축(220)을 구비한다.

상기 조절 나사(413)와 상기 가동 몸체(410)의 구성과 가동축(220)의 구성은 상기 제 3예의 구성과 실질적으로 동일할 수 있다.

다만, 가동 몸체(410)에 형성되는 경사부(505) 및 상기 경사부(505)에 끼어지는 가동축(220)의 일단의 형상이 다르게 구성된다.

상기 경사부(505)는 제 2축(2)을 경계로 대칭으로 형성되는 반 타원형상의 곡면으로 이루어지는 경사면을 구비한다.

상기 경사면은 반 타원 형상의 곡면으로 이루어지고 서로 대칭으로 형성된다.

상기 가동축(220)의 일단에는 그 중앙부로부터 외측으로 일정 길이 연장되어 돌출 형성된 가이드 돌기(224)가 형성된다.

상기 가이드 돌기(224)의 일단은 구형으로 형성되어 상기 경사면(505)에 접촉된다. 물론, 상기 가이드 돌기(224)의 일단은 반 타원 형상으로 이루어질 수도 있다.z

도 19를 참조 하면, 상기 가동 몸체(410)가 조절 나사(413)의 회전에 의하여 상방 또는 하방으로 유동되는 경우에, 상기 가이드 돌기(224)의 일단은 상기 경사면(505)에 접촉된 상태로 슬라이딩 이동될 수 있다.

이에 따라, 가동 몸체(410)가 하방으로 일정 위치로 하강되면, 상기 가이드 돌기(224)는 상기 타원 곡면으로 형성되는 경사면(505)을 타고 타원 곡선 경로를 형성하면서 슬라이딩 이동되고, 가동축(220)은 제 2축(2)을 따라 일정 변위를 갖는 위치로 이동될 수 있다.

한편, 도 19에 도시된 반 타원 형상의 곡선 경로를 갖는 경사부(505)의 경우에, 도 17에 도시된 반원 형상의 곡선 경로를 갖는 경사부(504)에 비하여 가동축(220)의 이동 경로의 단위가 더 미세하게 이루어질 수 있다.

이에 더하여, 도면에 도시되지는 않았지만, 본 발명에 따르는 경사부는 도 17에 도시된 반원 형상의 경사면(504)과, 도 19에 도시된 타원 형상의 경사면(505)으로 이루어질 수도 있다.

이에 따라, 가동 몸체(410)가 승강됨에 따라 가동축(220)의 일단이 상부 경사면(504)에 접촉되어 이동되는 경우(1)와, 하부 경사면(505)에 접촉되어 이동되는 경우(2)에 가동축(220)의 이동 변위는 서로 다르게 형성될 수 있다.

즉, 상기 가동축(220)의 이동 변위의 단위는 상기 (2)의 경우가 (1)의 경우에 비하여 더 미세하게 이루어질 수 있다.

다음은, 도 20 및 도 21를 참조 하여, 상기 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따른 또 다른 변형예를 설명하도록 한다.

상기 미세 위치 조절 유니트는 조절 나사(413)가 구비된 가동 몸체(410)와, 구동부(230)와 연결되는 가동축(220)을 구비한다.

상기 조절 나사(413)와 상기 가동 몸체(410)의 구성과 가동축(220)의 구성은 상기 제 4예의 구성과 실질적으로 동일할 수 있다.

다만, 가동 몸체(410)에 형성되는 경사부(506) 및 상기 경사부(506)에 끼어지는 가동축(220)의 일단의 형상이 다르게 구성된다.

상기 경사부(506)는 제 2축(2)을 경계로 대칭으로 형성되는 볼록한 곡면으로 이루어지는 경사면으로 이루어질 수 있다.

즉, 상기 경사부(506)는 볼록한 곡면으로 이루어지는 한 쌍의 경사면을 구비한다.

또한, 상기 한 쌍의 경사면의 일단은 상기 가동 몸체(410)의 내측으로 일정 깊이 파이도록 형성되는 안착홀(506c)과 연결된다.

상기 가동축(220)의 일단에는 그 중앙부로부터 외측으로 일정 길이 연장되어 돌출 형성된 가이드 돌기(224)가 형성된다.

상기 가이드 돌기(224)의 일단은 구형으로 형성되어 상기 안착홀(506c)에 끼워져 설치된다. 물론, 상기 가이드 돌기(224)의 일단은 반 타원 형상으로 이루어질 수도 있다.

도 21을 참조 하면, 상기 가동 몸체(410)가 조절 나사(413)의 회전에 의하여 상방 또는 하방으로 유동되는 경우에, 상기 가이드 돌기(224)의 일단은 상기 볼록한 곡면인 경사면(506)에 접촉된 상태로 슬라이딩 이동될 수 있다.

이에 따라, 가동 몸체(410)가 하방으로 일정 위치로 하강되면, 상기 가이드 돌기(224)는 상기 볼록한 곡면으로 형성되는 상부의 경사면(506)을 타고 타원 곡선 경로를 형성하면서 슬라이딩 이동되고, 가동축(220)은 제 2축(2)을 따라 일정 변위를 갖는 위치로 이동될 수 있다.

이때, 상기 가동축(220)의 일단이 상기 안착홀(500c)에서 이탈되어 상기 상부의 경사면(506)을 타고 이동되는 동안에, 상기 가동축(220)의 이동 변위의 단위는 점진적으로 초기에는 감소되고 후기로 갈수록 증가될 수 있다.

즉, 상기 가동축(220)의 이동 변위의 단위는 상기 볼록한 곡면의 형상의 프로파일과 반비례 관계가 형성된다.

따라서, 본 발명은 상기에 기술된 미세 위치 가변 유니트를 구비하여 일정 단위의 미세한 가동축(220)의 이동 변위 단위를 형성함으로써 배경 기술에 언급된 갭 조정 스크루에 의하여 클램프 패드들(111) 간의 오픈 갭이 조절되는 것에 비하여 더 미세하게 예컨대 수 미크론 단위로 가동축(220)의 이동 변위가 조절될 수 있다.

이에 더하여, 본 발명의 가동축(220)은 알루미늄 또는 스테인레스와 같은 온도 보상 부재로 이루어지기 때문에, 열에너지에 의한 클램프 몸체(100)와 구동부(230)의 사이에 형성되는 열팽창 변위의 차를 용이하게 보상할 수 있다.

이에 더하여, 본 발명은 상기와 같이 온도 보상 부재를 클램프 몸체(100)에 별도로 구비되지 않고 가동축(220) 자체가 온도 보상 부재로 제작되기 때문에, 와이어 클램프 몸체(100) 자체의 크기가 줄어들고 중량이 낮추어 질 수 있다.

따라서, 와이어 클램프가 설치되는 본드 헤드(미도시)는 고속 구동이 가능하게 될 수 있다.

도 1은 종래의 와이어 클램프를 보여주는 평면도이다.

도 2는 본 발명의 실시예를 따르는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프를 보여주는 평면도이다.

도 3은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 1실시예를 보여주는 측면도이다.

도 4는 도 3에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 측면도이다.

도 5는 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 30도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 45도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다.

도 7은 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 60도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다.

도 8은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 1실시예를 따르는 경사부의 변형예를 보여주는 측면도이다.

도 9는 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 다른 변형예를 보여주는 측면도이다.

도 10은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 보여주는 측면도이다.

도 11은 도 10에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 측면도이다.

도 12는 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 30도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다.

도 13은 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 45도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다.

도 14는 본 발명에 따르는 경사면의 각도가 60도인 경우를 보여주는 부분확대 단면도이다.

도 15는 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 변형예를 보여주는 측면도이다.

도 16은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 다른 변형예를 보여주는 측면도이다.

도 17은 도 16에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 부분 확대 단면도이다.

도 18은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 또 다른 변형예를 보여주는 측면도이다.

도 19는 도 18에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 부분 확대 단면도이다.

도 20은 본 발명의 미세 위치 조절 유니트의 제 2실시예를 따르는 경사부의 또 다른 변형예를 보여주는 측면도이다.

도 21은 도 20에 도시된 미세 위치 조절 유니트의 작동 후의 상태를 보여주는 부분 확대 단면도이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

100 : 클램프 몸체

110 : 클램프 암

111 : 클램프 패드

210, 410 : 가동 몸체

220 : 가동축

221, 221', 221''': 제 1면

222, 222', 222'', 222''': 제 2면

230 : 구동부

300, 301, 302, 304, 305, 500, 501, 502, 503, 504, 505, 506 : 경사부

Claims (20)

1. 서로 일정 거리 이격되고 서로 마주보도록 배치되며, 외력을 전달받아 제 1축을 따라 연동되는 한 쌍의 가동 몸체;

   상기 한 쌍의 가동 몸체들을 상기 제 1방향을 따라 서로 신축 또는 이완 동작시키는 조절부;

   상기 한 쌍의 가동 몸체 각각의 외주에 서로 대칭이 되도록 형성되며 서로 벌어지는 경사면을 갖는 경사부; 및

   상기 경사부에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 가동되고, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축을 포함하는 미세 위치 조절 유니트.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으로 이루지는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 조절부는 상기 한 쌍의 가동 몸체의 내부에 형성되는 스크류 홀에 끼워져 관통되는 나사 몸체와, 상기 가동 몸체들 중 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 일단에 연결되는 조절 볼트와, 상기 가동 몸체들 중 다른 어느 하 나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 타단에 연결되어 상기 나사 몸체의 회전을 지지하는 너트를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어지고,

   상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 경사면은 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어지고,

   상기 가동축의 일단에는 상기 경사면에 접촉되도록 일정 길이 연장되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
6. 외력을 전달받아 제 1축을 따라 유동되는 가동 몸체;

   상기 가동 몸체의 일단에 설치되어 상기 가동 몸체의 승강 동작을 제어하도록 외력을 제공하는 조절 나사;

   상기 가동 몸체의 외주에 형성되며, 상기 가동 몸체의 일정 위치에서 서로 일정 각도를 이루어 벌어지는 경사면으로 이루어지는 경사부; 및

   상기 경사부에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 기동되는 가동축을 포함하는 미세 위치 조절 유니트.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으로 이루지는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
8. 제 6항에 있어서,

   상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성되되,

   상기 한 쌍으로 이루어지는 경사면은 상기 제 2축과 이루는 각도가 서로 다르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
9. 제 6항에 있어서,

   상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어지고,

   상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
10. 제 6항에 있어서,

    상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성되고, 서로 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어지고, 상기 한 쌍의 볼록 곡면들의 사이에는 일정 깊이를 이루는 안착홀이 형성되고,

    상기 가동축의 일단에는 상기 한 쌍의 경사면 각각에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 상기 안착홀에 안착되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
11. 제 6항에 있어서,

    상기 가동축은 온도 보상 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트.
12. 서로 마주보도록 배치되며, 그 일단에 서로 마주보도록 클램프 패드가 각각 설치되는 한 쌍의 클램프 암;

    상기 한 쌍의 클램프 암의 개폐 동작을 제어하는 구동부; 및

    서로 일정 거리 이격되고 서로 마주보도록 배치되며, 외력을 전달받아 제 1축을 따라 연동되는 한 쌍의 가동 몸체와, 상기 한 쌍의 가동 몸체들을 상기 제 1방향을 따라 서로 신축 또는 이완 동작시키는 조절부와, 상기 한 쌍의 가동 몸체 각각의 외주에 서로 대칭이 되도록 형성되며 서로 벌어지는 경사면을 갖는 경사부와, 상기 경사부에 그 일단이 배치되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 가동되고, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축을 갖는 미세 위치 조절 유니트를 포함하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
13. 제 12항에 있어서,

    상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으로 이루지고,

    상기 조절부는 상기 한 쌍의 가동 몸체의 내부에 형성되는 스크류 홀에 끼워져 관통되는 나사 몸체와, 상기 가동 몸체들 중 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 일단에 연결되는 조절 볼트와, 상기 가동 몸체들 중 다른 어느 하나의 외부에 노출되도록 상기 나사 몸체의 타단에 연결되어 상기 나사 몸체의 회전을 지지하는 너트를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
14. 제 12항에 있어서,

    상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어지고,

    상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
15. 제 12항에 있어서,

    상기 경사면은 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어지고,

    상기 가동축의 일단에는 상기 경사면에 접촉되도록 일정 길이 연장되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
16. 서로 마주보도록 배치되며, 그 일단에 서로 마주보도록 클램프 패드가 각각 설치되는 한 쌍의 클램프 암;

    상기 한 쌍의 클램프 암의 개폐 동작을 제어하는 구동부; 및

    외력을 전달받아 제 1축을 따라 유동되는 가동 몸체와, 상기 가동 몸체의 외주에 형성되며, 상기 제 1축의 일정 위치에서 서로 일정 각도를 이루어 벌어지는 경사면으로 이루어지는 경사부와, 그 일단은 상기 경사부에 배치되고 그 타단은 상기 구동부에 연결되며, 상기 가동 몸체가 제 1축을 따라 승강됨에 의하여 상기 제 1축과 법선을 이루는 제 2축을 따라 가동되는 변위를 상기 구동부로 전달하여 상기 한 쌍의 클래프 암의 갭을 조절하며, 온도 보상 부재로 이루어지는 가동축을 구비하는 미세 유동 유니트를 포함하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
17. 제 16항에 있어서,

    상기 경사면은 상기 제 2축을 기준으로 예각을 이루며, 평평한 면으로 이루지고,

    상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성되되,

    상기 한 쌍으로 이루어지는 경사면은 상기 제 2축과 이루는 각도가 서로 다르도록 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
18. 제 16항에 있어서,

    상기 경사면은 반원 형상의 곡면으로 이루어지고,

    상기 가동축의 일단에는 상기 곡면에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 구형상으로 이루어지는 제 1연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
19. 제 16항에 있어서,

    상기 경사면은 서로 마주 보도록 한 쌍으로 형성되고, 서로 볼록하도록 형성되는 볼록 곡면으로 이루어지고, 상기 한 쌍의 볼록 곡면들의 사이에는 일정 깊이를 이루는 안착홀이 형성되고,

    상기 가동축의 일단에는 상기 한 쌍의 경사면 각각에 접촉되도록 일정 길이 연장되며, 그 일단이 상기 안착홀에 안착되고, 구형상으로 이루어지는 제 2연장축이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.
20. 제 16항에 있어서,

    상기 가동 몸체의 일단에는 상기 가동 몸체의 승강 동작을 제어하는 조절 나 사가 설치되는 것을 특징으로 하는 미세 위치 조절 유니트를 갖는 와이어 클램프.

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