KR101164498B1 - Grinding wheel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연삭 휠에 관한 것이다. 본 발명에 따른 연삭 휠은 휠 몸체, 상기 휠 몸체의 하면의 돌출된 테두리부에 동심원으로 장착되는 복수열의 연삭 부재, 상기 복수열의 연삭 부재 사이에 형성되는 적어도 하나의 제1 쿨런트 공급구를 포함한다.The present invention relates to a grinding wheel. The grinding wheel according to the present invention includes a wheel body, a plurality of rows of grinding members concentrically mounted on the protruding edges of the lower surface of the wheel body, and at least one first coolant supply hole formed between the plurality of rows of grinding members. do.

웨이퍼, 연삭, 휠 Wafer, grinding, wheel

Description

연삭 휠{GRINDING WHEEL}Grinding Wheel {GRINDING WHEEL}

본 발명은 연삭용 휠, 특히 반도체 웨이퍼를 연삭하는 연삭 휠에 관한 것이다.The present invention relates to a grinding wheel, in particular a grinding wheel for grinding semiconductor wafers.

반도체 웨이퍼를 연삭하는 연삭 휠은 통상 디스크 형상의 연삭 몸체와 그 하면에 장착되는 연삭 부재로 구성된다. 연삭 부재는 연삭 몸체 하면 테두리에 원형으로 배열된다. 반도체 웨이퍼를 연삭하기 위하여 연삭 휠은 고속으로 회전하는데, 이 때 연삭 몸체의 하면에 장착되는 연삭 부재와 반도체 웨이퍼의 연삭면 사이의 마찰에 의하여 반도체 웨이퍼의 연삭면에 대한 연삭이 수행된다. 연삭 과정에서, 연삭 휠의 고속 회전에 따른 연삭 부재와 반도체 웨이퍼의 연삭면 사이의 마찰에 의하여 불필요하게 온도가 상승하는 문제가 발생한다. 연삭 과정 중의 온도 상승을 방지하기 위하여 쿨런트가 쿨런트 공급 수단에 의하여 공급된다. 쿨런트 공급 수단은 연삭 휠의 외부에 배치되어 쿨런트를 공급하거나, 연삭 휠의 회전축에 배치되어 연삭 휠의 중심부를 통하여 쿨런트를 공급한다.The grinding wheel for grinding a semiconductor wafer is usually composed of a disk-shaped grinding body and a grinding member mounted on the lower surface thereof. The grinding member is arranged in a circular shape on the lower edge of the grinding body. In order to grind the semiconductor wafer, the grinding wheel is rotated at a high speed. At this time, grinding is performed on the grinding surface of the semiconductor wafer by friction between the grinding member mounted on the lower surface of the grinding body and the grinding surface of the semiconductor wafer. In the grinding process, a problem arises in that the temperature rises unnecessarily due to the friction between the grinding member and the grinding surface of the semiconductor wafer due to the high speed rotation of the grinding wheel. The coolant is supplied by the coolant supply means to prevent the temperature rise during the grinding process. The coolant supply means is arranged outside the grinding wheel to supply the coolant, or arranged on the rotary shaft of the grinding wheel to supply the coolant through the center of the grinding wheel.

상술한 종래의 연삭 휠은 연삭 몸체의 하면에 장착되는 연삭 부재가 단일열형태를 가지며, 이로 인하여 연삭 효율을 극대화할 수 없는 문제점을 갖는다. 또한 종래의 연삭 휠은 쿨런트 공급 수단이 상대적으로 연삭 부재에 이격되어 설치되기 때문에 직접 쿨런트를 마찰이 발생하는 연삭 부재 부위에 공급하는 것이 아니라, 공급된 쿨런트가 간접적으로 마찰이 발생하는 연삭 부재 부위에 이동되어 냉각 기능을 수행하기 때문에, 냉각 효율이 떨어지는 문제점이 있다.The conventional grinding wheel described above has a problem that the grinding members mounted on the lower surface of the grinding body have a single row shape, thereby maximizing grinding efficiency. In addition, in the conventional grinding wheel, since the coolant supply means is relatively spaced apart from the grinding member, the grinding wheel does not directly supply the coolant to the friction member where friction occurs, but the grinding of the supplied coolant indirectly generates the grinding. Since it is moved to the member site to perform the cooling function, there is a problem that the cooling efficiency is lowered.

상술한 문제점을 극복하기 위하여 본 발명의 목적은 연삭 몸체의 하면의 돌출된 테두리부에 복수열로 장착되는 연삭 부재 사이에 적어도 하나의 제1 쿨런트 공급구를 형성하며, 이를 통하여 쿨런트를 공급함으로써 연삭 과정에서 마찰이 발생하는 연삭 부재 부위에 직접 쿨런트를 공급함으로써 냉각 효율을 높일 수 있는 연삭 휠을 제공하는 것이다.In order to overcome the above-described problems, an object of the present invention is to form at least one first coolant supply port between the grinding members mounted in a plurality of rows on the protruding edge of the lower surface of the grinding body, thereby supplying the coolant Therefore, by supplying a coolant directly to the grinding member portion where friction occurs in the grinding process to provide a grinding wheel that can increase the cooling efficiency.

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본 발명의 또 다른 목적은 연삭 몸체의 하면의 돌출된 테두리부에 복수열로 장착되는 연삭 부재에 인접하며, 휠 몸체 하면의 내주부에 제2 쿨런트 공급구를 형성하며, 이를 통하여 제1 쿨런트 공급구와 더불어 추가적으로 쿨런트를 공급함으로써 냉각 효율을 더욱 높일 수 있는 연삭 휠을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is adjacent to the grinding member mounted in a plurality of rows on the protruding edge portion of the lower surface of the grinding body, and forms a second coolant supply port in the inner circumference of the lower surface of the wheel body, through which the first cool In addition to the coolant supply port, the additional coolant is provided to provide a grinding wheel for further cooling efficiency.

본 발명의 또 다른 목적은 복수의 연삭 부재 사이에 연삭 부재와 휠 몸체의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제1 이격부를 형성하며, 또한 연삭 부재 각각이 소정의 이격 거리를 갖는 복수의 연삭 패드를 포함하며 소정의 이격 거리를 갖는 연삭 패드 사이에 연삭 부재와 휠 몸체의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제2 이격부를 형성함으로써, 제1 쿨런트 공급구나 제2 쿨런트 공급구를 통하여 공급되는 쿨런트가 제1 이격부 및 제2 이격부의 홈을 통하여 연삭 과정에서 마찰이 발생하는 연삭 부재 부위에 넓고 고르게 분포함으로써 냉각 효율을 극대화할 수 있는 연삭 휠을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to form a first spacing portion that forms a groove between a plurality of grinding members by a step of the grinding member and the wheel body, and each grinding member includes a plurality of grinding pads having a predetermined spacing distance. The coolant supplied through the first coolant supply port or the second coolant supply port is formed by forming a second separation part forming a groove by a step between the grinding member and the wheel body between the grinding pads having a predetermined distance. It is to provide a grinding wheel that can maximize the cooling efficiency by widely and evenly distributed in the grinding member portion where friction occurs in the grinding process through the groove of the first separation portion and the second separation portion.

상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 휠 몸체, 상기 휠 몸체의 하면의 돌출된 테두리부에 동심원으로 장착되는 복수열의 연삭 부재, 상기 복수열의 연삭 부재 사이에 형성되는 적어도 하나의 제1 쿨런트 공급구를 포함하는 연삭 휠을 제공할 수 있다.In order to achieve the above objects, according to an aspect of the present invention, at least one formed between the wheel body, a plurality of rows of grinding members concentrically mounted on the protruding edge of the lower surface of the wheel body, the plurality of rows of grinding members A grinding wheel comprising a first coolant supply port can be provided.

바람직한 실시예에서, 연삭 휠은 상기 복수열의 연삭 부재에 인접하는 상기 휠 몸체 하면의 내주부에 형성되는 적어도 하나의 제2 쿨런트 공급구를 더 포함할 수 있다. 또한 상기 복수열은 3열인 것을 특징으로 한다. 또한 상기 연삭 부재는 다이아몬드 재질인 것을 특징으로 한다. 또한 상기 연삭 부재 사이에는 상기 연삭 부재와 상기 휠 몸체의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제1 이격부가 형성되는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 연삭 부재 각각은 소정의 이격 거리를 갖는 복수의 연삭 패드를 포함하되, 상기 소정의 이격 거리를 갖는 연삭 패드 사이에는 상기 연삭 부재와 상기 휠 몸체의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제2 이격부가 형성되는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 휠 몸체 내주에는 상기 제1 쿨런트 공급구에 연결되며, 쿨런트 공급을 가이딩하는 제1 쿨런트 공급로가 형성되는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 휠 몸체 내주에는 상기 제2 쿨런트 공급구에 연결되며, 쿨런트 공급을 가이딩하는 제2 쿨런트 공급로가 형성되는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the grinding wheel may further include at least one second coolant supply hole formed in the inner circumference of the lower surface of the wheel body adjacent to the plurality of rows of grinding members. In addition, the plurality of rows is characterized in that three columns. In addition, the grinding member is characterized in that the diamond material. In addition, the grinding member is characterized in that the first separation portion for forming a groove by the step of the grinding member and the wheel body is formed. In addition, each of the grinding members includes a plurality of grinding pads having a predetermined separation distance, and a second separation portion forming a groove by a step between the grinding member and the wheel body between the grinding pads having the predetermined separation distance. It is characterized by being formed. In addition, the wheel body inner circumference is connected to the first coolant supply port, characterized in that the first coolant supply path for guiding the coolant supply is formed. In addition, the wheel body inner circumference is connected to the second coolant supply port, characterized in that the second coolant supply path for guiding the coolant supply is formed.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be expected.

본 발명에 의하여, 연삭 몸체의 하면의 돌출된 테두리부에 복수열의 연삭 부재가 동심원으로 장착됨으로써 연삭 효율을 극대화할 수 있는 연삭 휠을 제공할 수 있다.According to the present invention, a plurality of rows of grinding members are mounted concentrically on the protruding edges of the lower surface of the grinding body, thereby providing a grinding wheel capable of maximizing grinding efficiency.

또한 본 발명에 의하여, 연삭 몸체의 하면의 돌출된 테두리부에 복수열로 장착되는 연삭 부재 사이에 적어도 하나의 제1 쿨런트 공급구를 형성하며, 이를 통하여 쿨런트를 공급함으로써 연삭 과정에서 마찰이 발생하는 연삭 부재 부위에 직접 쿨런트를 공급함으로써 냉각 효율을 높일 수 있는 연삭 휠을 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, at least one first coolant supply port is formed between the grinding members mounted in a plurality of rows at the protruding edges of the lower surface of the grinding body, thereby supplying the coolant, thereby reducing friction in the grinding process. It is possible to provide a grinding wheel that can increase the cooling efficiency by directly supplying coolant to the generated grinding member portion.

또한 본 발명에 의하여, 연삭 몸체의 하면의 돌출된 테두리부에 복수열로 장착되는 연삭 부재에 인접하며, 휠 몸체 하면의 내주부에 제2 쿨런트 공급구를 형성하며, 이를 통하여 제1 쿨런트 공급구와 더불어 추가적으로 쿨런트를 공급함으로써 냉각 효율을 더욱 높일 수 있는 연삭 휠을 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, adjacent to the grinding member mounted in a plurality of rows in the protruding edge portion of the lower surface of the grinding body, and forms a second coolant supply port in the inner peripheral portion of the lower surface of the wheel body, through which the first coolant In addition to the supply port, a coolant can be provided to provide a grinding wheel for further cooling efficiency.

또한 본 발명에 의하여, 복수의 연삭 부재 사이에 연삭 부재와 휠 몸체의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제1 이격부를 형성하며, 또한 연삭 부재 각각이 소정의 이격 거리를 갖는 복수의 연삭 패드를 포함하며 소정의 이격 거리를 갖는 연삭 패드 사이에 연삭 부재와 휠 몸체의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제2 이격부를 형성함으로써, 제1 쿨런트 공급구나 제2 쿨런트 공급구를 통하여 공급되는 쿨런트가 제1 이격부 및 제2 이격부의 홈을 통하여 연삭 과정에서 마찰이 발생하는 연삭 부재 부위에 넓고 고르게 분포함으로써 냉각 효율을 극대화할 수 있는 연삭 휠을 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, there is provided a plurality of grinding pads forming grooves between the plurality of grinding members by the step of the grinding member and the wheel body, and each of the grinding members includes a plurality of grinding pads having a predetermined separation distance. The coolant supplied through the first coolant supply or the second coolant supply opening is formed by forming a second separation portion that forms a groove between the grinding member and the wheel body by the step between the grinding pads having a predetermined distance. Through the grooves of the first separation portion and the second separation portion, it is possible to provide a grinding wheel capable of maximizing cooling efficiency by widely and evenly distributing to the grinding member portion where friction occurs in the grinding process.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연삭 휠의 하면의 형상을 나타내는 하면도이며, 도 2는 도 1의 A 부분에 대한 부분 확대도이다.1 is a bottom view showing a shape of a bottom surface of a grinding wheel according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a partial enlarged view of the portion A of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 연삭 휠(100)은 휠 몸체(Wheel Body, 105), 휠 몸체(105)의 하면에 돌출된 테두리부에 동심원으로 장착되는 복수열의 연삭 부재(110)를 포함한다. 휠 몸체(105)는 알루미늄 재질인 것이 바람직하다. 휠 몸체(105)의 상면은 디스크 형상이며, 하면은 평평한 중심부와 중심부에 비하여 돌출되는 테두리부의 형상을 갖는다. 휠 몸체(105) 하면의 테두리부에는 소정의 높이를 갖는 복수열의 연삭 부재(110)가 장착되는데, 바람직하게는 3열의 연삭 부재(110)가 장착된다. 본 발명에 따른 연삭 휠(100)이 연삭 몸체(105) 하면의 돌출된 테두리부에 복수열의 연삭 부재(110)가 동심원으로 장착됨으로써 연삭 효율을 극대화할 수 있다. 각 연삭 부재(110)는 소정의 이격 거리를 갖는 복수의 연삭 패드(111)를 포함한다. 연삭 부재(110) 또는 연삭 패드(111)는 다이아몬드 재질인 것이 바람직하다.1 and 2, the grinding wheel 100 according to the present invention is a wheel body (Wheel Body, 105), a plurality of rows of grinding members that are mounted concentrically on the rim protruding from the lower surface of the wheel body 105 ( 110). The wheel body 105 is preferably made of aluminum. The upper surface of the wheel body 105 is a disk shape, the lower surface has a flat center portion and the shape of the edge portion protruding compared to the central portion. The rim portion of the lower surface of the wheel body 105 is mounted with a plurality of rows of grinding members 110 having a predetermined height. Preferably, three rows of grinding members 110 are mounted. As the grinding wheel 100 according to the present invention is mounted in a plurality of rows of grinding members 110 in concentric circles on the protruding edges of the lower surface of the grinding body 105, the grinding efficiency may be maximized. Each grinding member 110 includes a plurality of grinding pads 111 having a predetermined separation distance. The grinding member 110 or the grinding pad 111 is preferably made of diamond.

복수열의 연삭 부재(110) 사이에는 소정의 높이를 갖는 연삭 부재(110)와 휠 몸체(105), 특히 테두리부의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제1 이격부(113)가 형성된다. 복수열의 연삭 부재(110) 사이에, 특히 제1 이격부(113)의 소정 위치에 적어도 하나의, 바람직하게는 복수의 제1 쿨런트 공급구(120)가 형성된다. 연삭 과정에서 본 발명에 따른 제1 쿨런트 공급구(120)를 통하여 쿨런트를 공급한다. 이렇게 제1 쿨런트 공급구(120)을 공급되는 쿨런트 중 연삭 부재(110)의 내주연부에 대응되는 부분에 형성된 제1 쿨런트 공급구(120)을 통해 공급되는 쿨런트는 연삭 부재(110)의 내주연부를 통해 연삭 과정에서 마찰이 발생하는 부위에 직접 공급함으로써 냉각 효율을 높일 수 있는 효과를 갖는다.Between the plurality of rows of grinding members 110, a grinding member 110 having a predetermined height and a wheel body 105, in particular, a first separation portion 113 forming a groove by a step of an edge portion is formed. At least one, preferably a plurality of first coolant supply holes 120 are formed between the plurality of rows of grinding members 110, in particular at a predetermined position of the first spacer 113. In the grinding process, the coolant is supplied through the first coolant supply port 120 according to the present invention. The coolant supplied through the first coolant supply port 120 formed at the portion corresponding to the inner circumference of the grinding member 110 among the coolants supplied with the first coolant supply port 120 is the grinding member 110. By directly supplying to the site where the friction occurs during the grinding through the inner peripheral portion of the has the effect of increasing the cooling efficiency.

본 발명에 따른 연삭 휠(100)에 있어서, 복수열의 연삭 부재(110)에 인접하며, 휠 몸체(105) 하면의 내주부에 형성되는 적어도 하나의, 바람직하게는 복수의 제2 쿨런트 공급구(130)가 형성된다. 연삭 과정에서 본 발명에 따른 제2 쿨런트 공급구(130)를 통하여 쿨런트를 더 공급할 수 있다. 본 발명에 따른 연삭 휠(100)에 의하여, 연삭 과정에서 제1 쿨런트 공급구(120)와 더불어 제2 쿨런트 공급구(130)를 통하여 추가적으로 쿨런트를 공급하고, 공급된 쿨런트가 원심력에 의해 외주 부에 설치된 연삭 부재측으로 이동하여 연삭 부재에 호형 단부를 통해 직접 공급되게 함으로써 냉각 효율을 더욱 높일 수 있는 효과를 갖는다.In the grinding wheel 100 according to the present invention, at least one, preferably a plurality of second coolant supply holes which are adjacent to the plurality of rows of grinding members 110 and are formed in the inner circumferential portion of the lower surface of the wheel body 105. 130 is formed. In the grinding process, the coolant may be further supplied through the second coolant supply port 130 according to the present invention. By the grinding wheel 100 according to the present invention, the coolant is additionally supplied through the second coolant supply port 130 together with the first coolant supply port 120 in the grinding process, and the supplied coolant is centrifugal force. By moving to the side of the grinding member provided in the outer peripheral portion to be supplied directly to the grinding member through the arc end has an effect that can further increase the cooling efficiency.

각각의 연삭 부재(110)에 포함되는 소정의 이격 거리를 갖는 복수의 연삭 패드(111)에 있어서, 소정의 이격 거리를 갖는 연삭 패드(111) 사이에는 소정의 높이를 갖는 연삭 부재(110)와 휠 몸체(105), 특히 테두리부의 단차에 의하여 홈을 형성하는 제2 이격부(115)가 형성된다. 본 발명에 따른 연삭 휠(100)에 제1 이격부(113) 및 제2 이격부(115)가 형성됨으로써, 제1 쿨런트 공급구(120)나 제2 쿨런트 공급구(130)를 통하여 공급되는 쿨런트가 제1 이격부(113) 및 제2 이격부(115)의 홈을 통하여 연삭 과정에서 마찰이 발생하는 연삭 부재 부위에 넓고 고르게 분포함으로써 냉각 효율을 극대화할 수 있는 효과를 갖는다. 즉, 상기 제1 쿨런트 공급구(120)나 제2 쿨런트 공급구(130)를 통하여 공급되는 쿨런트 중 일부가 상기 제2 이격부(115)를 통해 동심원상에 배열된 연삭부재(110)들 사이에 유입되고 이렇게 유입된 쿨런트는 휠 몸체가 회전할 때, 연삭 부재(110)의 회전 방향의 일측 단부를 통해 연삭 부재(110)에 직접 공급되어 냉각 효율이 높아질 수 있는 것이다. In the plurality of grinding pads 111 having a predetermined separation distance included in each of the grinding members 110, a grinding member 110 having a predetermined height and a grinding pad 111 having a predetermined separation distance are provided. The second separation portion 115 forming the groove is formed by the wheel body 105, in particular, by the step of the rim. The first spaced portion 113 and the second spaced portion 115 is formed in the grinding wheel 100 according to the present invention, through the first coolant supply port 120 or the second coolant supply port 130 The supplied coolant is widely and evenly distributed on the grinding member portion where friction occurs in the grinding process through the grooves of the first spacer 113 and the second spacer 115 to maximize the cooling efficiency. That is, some of the coolants supplied through the first coolant supply port 120 or the second coolant supply port 130 are arranged in a concentric circle through the second spacer 115. Coolants introduced between and thus introduced into the grinding body is directly supplied to the grinding member 110 through one end of the grinding member 110 in the rotational direction of the grinding member 110 to increase the cooling efficiency.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연삭 휠의 측단면도이며, 도 4는 도 3의 B 부분에 대한 부분 확대도이다. 휠 몸체(105), 연삭 부재(110), 제1 쿨런트 공급구(120), 제2 쿨런트 공급구(130)는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 바 있으므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.Figure 3 is a side cross-sectional view of the grinding wheel according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 is a partial enlarged view of the portion B of FIG. The wheel body 105, the grinding member 110, the first coolant supply port 120, and the second coolant supply port 130 have been described with reference to FIGS. 1 and 2, and thus description thereof will be omitted. do.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 연삭 휠(100)에 있어서, 휠 몸체(105), 특히 테두리부의 내주에 제1 쿨런트 공급구(120)에 연결되며, 쿨런트 공급을 가이딩하는 제1 쿨런트 공급로(121)가 형성된다. 제1 쿨런트 공급로(121)는 상대적으로 큰 직경을 갖는 제1 쿨런트 유로(121a) 및 제1 쿨런트 유로(121a)에서 분기되며 제1 쿨런트 공급구(120)에 상응하도록 형성될 뿐만 아니라 제1 쿨런트 유로(121a)에 비하여 상대적으로 작은 직경을 갖는 적어도 하나의 제2 쿨런트 유로(121b)를 포함한다.3 and 4, in the grinding wheel 100 according to the present invention, the wheel body 105, in particular, is connected to the first coolant supply port 120 at an inner circumference of the wheel portion, and coolant supply is performed. A first coolant supply passage 121 for ding is formed. The first coolant supply passage 121 is branched from the first coolant flow passage 121a and the first coolant flow passage 121a having a relatively large diameter and formed to correspond to the first coolant supply opening 120. In addition, at least one second coolant flow passage 121b having a smaller diameter than the first coolant flow passage 121a is included.

본 발명에 따른 연삭 휠(100)에 있어서, 휠 몸체(105), 특히 테두리부의 내주에 제2 쿨런트 공급구(130)에 연결되며, 쿨런트 공급을 가이딩하는 제2 쿨런트 공급로(131)가 형성된다. 제2 쿨런트 공급로(131)는 제2 쿨런트 공급구(130)에 상응하도록 휠 몸체(105)의 테두리부에서 제1 쿨런트 공급로(121)에 비하여 상대적으로 중심부에 가까운 위치에 형성된다. 제2 쿨런트 공급로(131)는 상대적으로 큰 직 경을 갖는 제3 쿨런트 유로(131a) 및 제2 쿨런트 공급구(130)에 상응하도록 형성될 뿐만 아니라 제3 쿨런트 유로(131a)에 비하여 상대적으로 작은 직경을 갖는 적어도 하나의 제2 쿨런트 유로(131b)를 포함한다.In the grinding wheel 100 according to the present invention, the second coolant supply passage which is connected to the second coolant supply port 130 on the inner circumference of the wheel body 105, in particular the rim, and guides the coolant supply ( 131 is formed. The second coolant supply passage 131 is formed at a position relatively close to the center of the wheel coolant supply passage 121 at the edge portion of the wheel body 105 so as to correspond to the second coolant supply opening 130. do. The second coolant supply path 131 is formed to correspond to the third coolant flow path 131a and the second coolant supply port 130 having a relatively large diameter, as well as the third coolant flow path 131a. At least one second coolant flow passage 131b having a relatively small diameter is included.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the scope of the present invention but to limit the scope of the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연삭 휠의 하면의 형상을 나타내는 하면도.1 is a bottom view showing the shape of a bottom surface of a grinding wheel according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 A 부분에 대한 부분 확대도.2 is an enlarged view of a portion A of FIG. 1;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연삭 휠의 측단면도.3 is a side cross-sectional view of a grinding wheel according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 B 부분에 대한 부분 확대도.4 is an enlarged view of a portion B of FIG. 3.

Claims (8)

디스크 형상의 휠 몸체와 상기 휠 몸체의 하면에 동심원을 이루고 장착되는 복수열의 연삭 부재를 포함하는 연삭 휠에 있어서, A grinding wheel comprising a disk-shaped wheel body and a plurality of rows of grinding members mounted concentrically on a lower surface of the wheel body, 상기 휠 몸체의 하면은 중앙이 평평하고 테두리가 돌출되고 상기 연삭 부재가 돌출된 테두리부에 장착되고, The lower surface of the wheel body is flat in the center, the edge is protruding and the grinding member is mounted on the protruding edge portion, 상기 소정의 높이를 갖는 연삭 부재의 사이에는 상기 연삭 부재와 상기 휠 몸체 상면의 단차에 의하여 형성되는 제1 이격부가 형성되고,Between the grinding member having the predetermined height is formed a first separation portion formed by the step between the grinding member and the upper surface of the wheel body, 상기 제1 이격부에 형성되고, 상기 휠 몸체 내주에 형성된 제1 쿨런트 공급로를 통해 가이딩된 쿨런트를 제1 이격부에 공급하여 공급된 쿨런트가 원심력에 의해 일부는 연삭 부재측으로 이동하여 원호 단부를 통해 연삭 부재에 직접 공급되게 하는 적어도 하나의 제1 쿨런트 공급구를 포함하며, The coolant formed on the first separation part and supplied through the first coolant supply path formed in the inner circumference of the wheel body is supplied to the first separation part to move the coolant partially toward the grinding member by centrifugal force. At least one first coolant supply port to be supplied directly to the grinding member through the arc end, 상기 연삭 부재 각각은 소정의 이격 거리를 갖는 복수의 연삭 패드를 포함하고, Each of the grinding members includes a plurality of grinding pads having a predetermined separation distance, 상기 소정의 이격 거리를 갖는 동심원상에 배열된 연삭 패드 사이에는 상기 연삭 부재와 상기 휠 몸체의 단차에 의하여 상기 제1 이격부의 제1 쿨런트 공급구를 통해 공급되는 쿨런트 중 일부가 연삭 부재의 회전 방향 단부를 통해 연삭 부재에 직접 공급되게 안내하는 제2 이격부를 형성하되, 이웃하는 동심원 상에 형성된 것과 서로 엇갈린 위치에 형성되고, Some of the coolant supplied through the first coolant supply port of the first separation part by the step between the grinding member and the wheel body is disposed between the grinding pads arranged on the concentric circles having the predetermined distance. Forming a second spacing that guides the feed to the grinding member directly through the end in the rotational direction, the second spacing being formed in a staggered position with that formed on a neighboring concentric circle, 상기 복수열의 연삭 부재에 인접하는 상기 휠 몸체의 테두리부 안쪽에는 제2 쿨런트 공급로를 통해 가이딩된 쿨런트가 연삭 휠의 회전시 원심력에 의해 상기 연삭 부재 및 제2 이격부 측으로 이동되어 연삭 부재에 직접 공급되게 공급하는 적어도 하나의 제2 쿨런트 공급구를 구비한 것을 특징으로 하는 연삭 휠.Inside the rim of the wheel body adjacent to the plurality of rows of grinding members, the coolant guided through the second coolant supply path is moved toward the grinding member and the second separation part by centrifugal force when the grinding wheel is rotated and ground. And at least one second coolant supply port for supplying the member to be supplied directly to the member. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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