KR101162034B1 - Wafer carrier - Google Patents

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KR101162034B1
KR101162034B1 KR1020120017491A KR20120017491A KR101162034B1 KR 101162034 B1 KR101162034 B1 KR 101162034B1 KR 1020120017491 A KR1020120017491 A KR 1020120017491A KR 20120017491 A KR20120017491 A KR 20120017491A KR 101162034 B1 KR101162034 B1 KR 101162034B1
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wafer box
plate
wafer
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side plate
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임이택
이강성
우병찬
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(주)상아프론테크
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Abstract

PURPOSE: A wafer carrier is provided to prevent scratches from a wafer box by remarkably reducing contact friction since a contact surface of a name card holder and a wafer frame reduces. CONSTITUTION: A left side plate(400) is formed into a left side of a name card holder(40). A right side plate(410) is formed into a right side of the name card holder. A back side plate(420) supports the back side of a name card(C). The back side plate consists of a curved surface(421), a first plane, and a second plane(423). A bottom plate(430) is formed into a bottom side of the name card holder.

Description

웨이퍼 캐리어{WAFER CARRIER}Wafer Carrier {WAFER CARRIER}

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer carrier.

특히, 웨이퍼 캐리어의 배면상에 설치되는 네임카드홀더의 구조개선을 통해 웨이퍼박스의 배면이 바닥을 향하도록 눕혔을 때 웨이퍼박스를 안정적으로 지지할 수 있음과 아울러 네임카드홀더와 웨이퍼박스의 접촉을 최소화하여 웨이퍼박스의 훼손을 방지할 수 있다는 점을 일 특징으로 하고, 필터부재의 구조개선을 통해 주입구의 불활성 가스의 주입량을 증대시킬 수 있음과 아울러 조임공구에 의해 필터부재의 결합 및 탈거가 용이하다는 점을 이 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
In particular, through the structural improvement of the name card holder installed on the back of the wafer carrier, it is possible to stably support the wafer box when the back of the wafer box is laid down to the bottom and to maintain contact between the name card holder and the wafer box. It is characterized in that the damage to the wafer box can be prevented by minimizing. The inert gas of the inlet can be increased through the structural improvement of the filter member, and the fastening tool can be easily combined and removed by the tightening tool. The invention relates to a wafer carrier characterized by this.

반도체 웨이퍼가 최종 전자 부품으로 처리되기 위해서는 많은 처리 단계가 요구된다. 웨이퍼는 고가이며, 매우 섬세하여 물리적인 충격 및 전기적인 충격에 의해 쉽게 손상될 수 있다. 또한, 성공적인 처리를 위해 극도의 청결함이 요구되며 미립자들 및 다른 오염물로부터 자유로워야 한다.Many processing steps are required for semiconductor wafers to be processed into final electronic components. Wafers are expensive and very delicate and can easily be damaged by physical and electrical shocks. In addition, extreme cleanliness is required for successful processing and free from particulates and other contaminants.

그 결과, 웨이퍼의 처리, 취급 및 이송 중 사용하기 위한 특화된 용기 또는 캐리어가 웨이퍼의 처리 및 취급 중 사용을 위해 개발되었다. 이러한 캐리어는 그 내부에 수납되는 웨이퍼를 물리적, 전기적 위험으로부터 보호하고, 오염물질로부터 보호하기 위해 밀봉 가능한 구조를 갖고 있다.As a result, specialized containers or carriers for use during the processing, handling and transport of wafers have been developed for use during processing and handling of wafers. Such carriers have a sealable structure to protect the wafers contained therein from physical and electrical hazards and from contamination.

도 1은 종래 웨이퍼 캐리어의 일예를 도시한 것이다.1 illustrates an example of a conventional wafer carrier.

도 1에 의하면, 종래 웨이퍼 캐리어는, 내부에 수 매의 웨이퍼(w)를 수납할 수 있도록 리테이너(2)가 설치된 전면 개방형의 웨이퍼박스(1), 상기 웨이퍼박스(1)이 지지를 위해 웨이퍼박스(1)의 하부에 설치되는 바텀 플레이트(3) 및 상기 웨이퍼박스(1)의 전면 개구부를 밀폐하기 위한 도어(4:도 7에 도시됨)를 포함하여 구성되어 있다.According to FIG. 1, a conventional wafer carrier includes a wafer box 1 having a front open type in which a retainer 2 is installed to accommodate several wafers w therein, and the wafer box 1 supports a wafer for support. The bottom plate 3 is installed below the box 1 and a door 4 (shown in FIG. 7) for sealing the front opening of the wafer box 1 is configured.

이러한 웨이퍼 캐리어의 일 표면에는 웨이퍼 캐리어의 모델명, 사양 등 웨이퍼 캐리어의 기본정보를 기록한 네임카드(name card)가 부착될 수 있다. 통상, 네임카드를 부착할 때는 네임카드를 스티커 형태로 하여 부착하게 되는데, 네임카드를 일일이 부착하는 과정으로 인해 웨이퍼 캐리어의 공급작업이 지연될 수 있고, 네임카드를 새로이 부착하는 경우에는 먼저 부착되어 있던 네임카드를 뜯어내고 뜯어낸 부위에 새로운 네임카드를 붙여야 하나 단단히 부착된 네임카드를 완전하게 뜯어내기가 어렵고 뜯어내더라도 잔재가 남아서 외관이 지저분해지게 된다.One surface of the wafer carrier may have a name card that records basic information about the wafer carrier, such as the model name and specification of the wafer carrier. In general, when the name card is attached, the name card is attached in the form of a sticker. The process of attaching the name card may delay the supply of the wafer carrier. In the case of newly attaching the name card, the name card is attached. The name card must be removed and the new name card must be attached to the removed part, but it is difficult to completely remove the tightly attached name card, and even if it is torn off, the residue remains and the appearance becomes messy.

이를 개선하기 위해, 일본특허공개 제2008-068888호(식별부품의 보관유지부재)에서는 ㄴ자 형태의 네임카드홀더가 개시된 바 있다.In order to improve this, Japanese Patent Laid-Open No. 2008-068888 (Storage holding member for identification parts) has disclosed a name card holder in the form of a letter.

그러나, 위의 일본특허에서 제시된 네임카드홀더는 본 발명과는 달리 웨이퍼박스의 배면이 아래를 향하도록 눕혔을 때 받침대 기능을 할 수 있는 구조가 없으며, 이를 무시한 채 눕히게 되면 네임카드홀더가 웨이퍼박스의 하부에 치우쳐 있는 관계로 기우뚱하게 눕혀져서 안정성이 떨어진다.However, unlike the present invention, the name card holder presented in the above Japanese patent does not have a structure that can serve as a stand when the back side of the wafer box is laid downward, and when the name card holder is laid down while ignoring this, the name card holder is a wafer. Since it is inclined to the lower part of the box, it is slanted and is not stable.

아울러, 일본특허는 네임카드홀더의 수직한 부분의 내면이 웨이퍼박스의 배면에 면접되어 있어서 그 사이의 미세한 틈새로 이물질이 끼일 우려가 있고, 이로 인해 고정진행 중에 이물질이 탈락하면서 청정상태를 유지해야 하는 웨이퍼 제조공정에 악영향으로 미치게 된다.In addition, the Japanese patent requires that the inner surface of the vertical portion of the name card holder is interviewed on the back of the wafer box, so that there is a risk of foreign matter being caught in the minute gaps therebetween. This will adversely affect the wafer manufacturing process.

또한, 일본특허는 네임카드홀더의 내면이 웨이퍼박스의 배면과 면접촉되어 있어서 마찰면적이 크다. 따라서 이들의 마찰로 인해 상대적으로 경도가 약한 부분이 갈라지면서 분말이 발생하게 되고, 이러한 분말은 이물질화 되어 웨이퍼 제조공정에 악영향을 가져오게 됨은 물론 웨이퍼박스의 배면이 갈리게 되면 스크레칭되므로 웨이퍼 박스에 흠집으로 남게 된다.In addition, the Japanese patent has a large friction area since the inner surface of the name card holder is in surface contact with the rear surface of the wafer box. Therefore, due to their friction, the parts with weak hardness are cracked, and the powders are generated. These powders are denatured and adversely affect the wafer manufacturing process, and the wafers are scratched when the back of the wafer box is ground. It will be scratched in the box.

한편, 도 2 및 도 3에서와 같이, 웨이퍼 캐리어 내의 청정도를 위해 웨이퍼박스(1)의 저면 2개소에 필터부재(5)가 설치되는데, 필터부재(5)는 산소나 오염물질이 웨이퍼박스(1)의 내부로 침투하여 웨이퍼(w)에 산화막이 형성되는 것을 방지하기 위해 1개소의 필터부재로 불활성가스(통상 질소가스를 주입함)를 주입하여 나머지 1개소로 산소나 오염물질이 배출되도록 이루어져 있다.On the other hand, as shown in Figures 2 and 3, for the cleanliness in the wafer carrier, the filter member 5 is installed on two bottom surfaces of the wafer box 1, the filter member 5 is oxygen or contaminants in the wafer box ( 1) Inert gas (normally injected with nitrogen gas) is injected into one filter member to prevent the formation of an oxide film on the wafer (w) to infiltrate the inside to discharge oxygen or contaminants to the other one. consist of.

상기한 각각의 필터부재(5)는 웨이퍼박스(1)의 저면에 형성된 결합구멍(1a)에 끼움 결합되며(도 2의 B방향), 바닥면에 통공(51)이 형성되고, 외주면 상측에 숫나사부(50a)가 형성된 원통형의 필터하우징(50)과; 상기 필터하우징(50)에 내입된 채 상기 통공(51)을 차단하고 있는 필터(56)와; 상기 필터하우징(50)의 숫나사부(50a)에 나사 결합되도록 내주면에 암나사부(55a)가 형성된 원통형의 필터캡(55)으로 구성되어 있다(도 2의 A방향에서 결합됨).Each filter member 5 is fitted into the coupling hole (1a) formed in the bottom surface of the wafer box 1 (B direction of Fig. 2), a through hole 51 is formed on the bottom surface, the upper side of the outer peripheral surface A cylindrical filter housing 50 in which a male thread portion 50a is formed; A filter 56 blocking the through hole 51 while being in the filter housing 50; It is composed of a cylindrical filter cap 55 having a female screw portion 55a formed on the inner circumferential surface of the filter housing 50 so as to be screwed to the male screw portion 50a of the filter housing 50 (coupled in the direction A of FIG. 2).

이러한 종래의 필터부재(5)는 가스주입장치(미도시)의 인렛조인트의 용이한 결합을 위해 그 주입구의 구경이 표준화되어 있다. 따라서, 필터(56)의 확장이 제한적이므로 불활성가스의 신속주입에 한계가 있다.This conventional filter member 5 has a standardized aperture of its inlet for easy coupling of an inlet joint of a gas injection device (not shown). Therefore, since the expansion of the filter 56 is limited, there is a limit to the rapid injection of inert gas.

또한, 종래의 필터부재(5)는, 별도의 공구를 거치할 수 있는 구성이 없으므로 필터하우징(50)과 필터캡(55)을 나사 결합할 때 견고한 조임이 어렵고, 더욱이 필터캡(55)이 웨이퍼 캐리어의 바텀 플레이트(3)의 내부에 매립되는 형국이므로 손조립에 어려움이 있다. 이를 해소하기 위해 공구를 이용하여 무리하게 조임할 경우 필터캡(55)이 파손될 수 있어서 이의 대책이 요구되고 있다.
In addition, the conventional filter member (5), there is no configuration that can be mounted on a separate tool, so that when tightening the filter housing 50 and the filter cap 55, it is difficult to tighten tight, moreover, the filter cap 55 is Since the mold is embedded in the bottom plate 3 of the wafer carrier, there is a difficulty in hand assembly. In order to solve this problem, if the clamping force is excessively tightened by using a tool, the filter cap 55 may be damaged, and a countermeasure thereof is required.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로서, 본 발명의 제1 목적은 주입구의 크기는 현상태를 유지함으로써 인렛조인트의 결합에 영향을 주지 않으면서도 필터부재의 직경을 크게 함으로써 불활성가스의 주입량을 증대시킨점, 조임공구를 거치할 수 있는 공구거치부가 형성되어 있어서 필터부재의 조립 및 해체가 용이한 점에 특징을 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공함에 있다.The present invention has been proposed to solve the above conventional problems, the first object of the present invention is to inert by increasing the diameter of the filter member without affecting the engagement of the inlet joint by maintaining the size of the injection port It is to provide a wafer carrier characterized in that the injection amount of the gas is increased, and a tool holder for mounting the tightening tool is formed, so that the filter member can be easily assembled and dismantled.

또한, 본 발명의 제2 목적은 네임카드홀더의 구조 개선을 통해서 웨이퍼 박스의 배면이 바닥을 향하도록 눕혔을 때 웨이퍼 박스를 안정적으로 받침할 수 있는 받침대 역할을 병행할 수 있도록 한 점, 네임카드홀더를 곡면형인 웨이퍼 캐리어의 배면 형태에 맞게 형합되도록 유연구조를 갖도록 한 점, 원재료를 최소화하면서도 적정의 강도를 가지는 점, 응력집중 부위에 응력 분산을 위한 블랭크부를 형성함으로써 설치 및 해체시 네임카드홀더가 파단되는 문제를 해소한 점 등에 특징을 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공함에 있다.
In addition, the second object of the present invention is to improve the structure of the name card holder to serve as a stand that can support the wafer box when the back side of the wafer box is lying down to the bottom in a stable manner, name card The holder is designed to have a flexible structure to be conformed to the back shape of the curved wafer carrier, has the proper strength while minimizing the raw materials, and forms a blank part for stress distribution at the stress concentration site. The present invention provides a wafer carrier characterized by eliminating the problem of breakage.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,According to an aspect of the present invention,

다수의 웨이퍼가 수납되며 전방이 개구된 웨이퍼 박스, 상기 웨이퍼박스의 하부에 설치되는 바텀 플레이트, 상기 웨이퍼박스의 개구부를 밀폐하는 도어 및 상기 웨이퍼박스의 저면 양쪽에 설치되는 한 쌍의 필터유닛, 상기 웨이퍼박스의 배면에 구비되는 네임카드홀더를 포함하는 웨이퍼 캐리어에 있어서,A wafer box in which a plurality of wafers are stored and opened at the front, a bottom plate installed at a lower portion of the wafer box, a door sealing the opening of the wafer box, and a pair of filter units installed at both bottom surfaces of the wafer box, In the wafer carrier comprising a name card holder provided on the back of the wafer box,

상기 각 필터유닛은, 상면에 통공이 형성되며, 하부 외주면에는 숫나사부가 형성된 중공형의 필터하우징; 상기 필터 하우징의 중공부를 통해 상기 통공 안쪽에 밀착 설치되는 필터; 상기 필터 하우징의 숫나사부에 나사 결합될 수 있도록 내면 상측에 암나사부가 형성된 원통부, 상기 원통부의 하단으로부터 하향으로 갈수록 점진적으로 좁아지게 형성되고 그 하부에 상기 통공에 비해 작은 직경의 주입구가 형성된 협소부의 외측 경계부위에 공구거치돌부가 형성된 원통형의 필터캡으로 구성되고,Each of the filter units may include a hollow filter housing having a through hole formed on an upper surface thereof and a male thread formed on a lower outer peripheral surface thereof. A filter installed in close contact with the through hole through the hollow part of the filter housing; A cylindrical portion having an internal thread portion formed on the inner surface of the filter housing so as to be screwed to the male screw portion of the filter housing, and a narrow portion formed gradually narrower downward from the lower end of the cylindrical portion, and having an injection hole having a smaller diameter than the through hole at the lower portion thereof. Consists of a cylindrical filter cap formed with a tool projection protrusion on the outer boundary,

상기 네임카드홀더는, 상기 웨이퍼박스의 볼록한 외형에 상응하게 만곡된 사각형상을 이루고 있으며, 각 모서리의 외향에 상기 웨이퍼박스를 눕혔을 때 웨이퍼박스를 수평으로 받쳐주기 위한 레그부가 형성되고, 상기 각 모서리의 내향에는 상기 레그부와 일체로 되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 점 접촉되는 받침부가 형성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어이다.The name card holder has a rectangular shape that is curved to correspond to the convex shape of the wafer box, and a leg portion for horizontally supporting the wafer box when the wafer box is laid on the outer side of each corner is formed. The inwardly of the edge is a wafer carrier which is integral with the leg portion, and further comprising a support portion in point contact with the back of the wafer box.

또한, 본 발명의 상기 각 받침부는, 상기 웨이퍼박스의 볼록한 배면에 상응하도록 경사진 받침단면을 가지며, 상기 받침단면 상에는 상기 웨이퍼박스의 배면과 점접촉되는 다수의 지지돌기가 소정간격을 두고 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the supporting portion of the present invention, has a supporting cross section inclined to correspond to the convex back surface of the wafer box, a plurality of support protrusions in point contact with the back surface of the wafer box formed on the support end surface with a predetermined interval. It features.

또한, 본 발명의 상기 네임카드홀더는, 상기 웨이퍼 박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제1 체결리브가 일체로 형성된 좌측면판; 상기 좌측면판과 마주하게 배치되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제2 체결리브가 일체로 형성된 우측면판; 상기 좌측면판 및 우측면판 사이를 일체로 연결하게 형성되며, 상기 웨이퍼 박스의 배면과 동일 곡률로 외향으로 볼록하게 만곡 형성되는 만곡면, 상기 만곡면의 좌측단과 상기 좌측면판의 내면을 일체로 연결하는 제1 평면, 상기 만곡면의 우측단과 상기 우측면판의 내면을 일체로 연결하는 제2 평면으로 이루어져 네임카드의 뒷면을 지지하는 후면판; 상기 만곡면의 하단에 만곡면과 동일 곡률로 만곡되게 형성된 만곡저면, 상기 만곡저면의 좌측단에 일체로 연결되며 상기 좌측면판의 하단과 일체로 연결되는 좌측저면, 상기 만곡저면의 우측단에 일체로 연결되며 상기 우측면판의 하단과 일체로 연결되는 우측저면으로 이루어진 저면판; 상기 후면판의 좌측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 좌측단은 상기 좌측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 좌측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 좌측을 지지하는 좌 전면판; 및 상기 후면판의 우측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 우측단은 상기 우측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 우측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 우측을 지지하는 우 전면판으로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the name card holder of the present invention, the left side plate formed integrally with the first fastening ribs on the center of the outer surface to be screwed with the back of the wafer box; A right side plate disposed to face the left side plate and having a second fastening rib integrally formed at an outer center of the wafer box so as to be screwed to the rear surface of the wafer box; It is formed to connect integrally between the left side plate and the right side plate, the curved surface is formed convexly outwardly convex with the same curvature of the back surface of the wafer box, which integrally connects the left end of the curved surface and the inner surface of the left side plate A back plate supporting a rear surface of the name card, comprising a first plane and a second plane which integrally connects the right end of the curved surface and the inner surface of the right side plate; A curved bottom formed to be curved at the same curvature as the curved surface at the lower end of the curved surface, a left bottom integrally connected to the left end of the curved bottom and integrally connected to a lower end of the left side surface plate, integrated at the right end of the curved bottom Is connected to the bottom plate consisting of a right bottom surface connected integrally with the bottom of the right side plate; A left front plate disposed at the front with a predetermined distance from the left side of the rear plate, the left end being integral with the left side plate and the bottom end being integral with the left bottom side of the bottom plate; And the front panel is disposed at a front with a predetermined distance from the right side of the rear plate, the right end is integrated with the right side plate, and the lower end is integrated with the right bottom surface of the bottom plate to support the right front side of the name card. Characterized in that configured.

또한, 본 발명은 상기 후면판의 만곡면 중앙부에는 상부 개구형의 중앙 블랭크부가 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the central blank portion of the upper opening type is formed in the center of the curved surface of the back plate.

또한, 본 발명은 상기 제1 평면의 상기 좌 전면판과 대응하는 위치에 좌 블랭크부가 형성되고, 상기 제2 평면의 상기 우 전면판과 대응하는 위치에 우 블랭크부가 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the left blank portion is formed at a position corresponding to the left front plate of the first plane, and the right blank portion is formed at a position corresponding to the right front plate of the second plane.

또한, 본 발명은 상기 좌측면판 및 우측면판에 각각 형성된 제1, 2 체결리브의 중앙에는 전방삽입부와 후방삽입부가 격막을 사이에 두고 형성되되, 상기 격막에는 나사가 관통할 수 있는 관통공이 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is formed in the center of the first and second fastening ribs formed on the left side plate and the right side plate, respectively, with the front inserting portion and the rear inserting portion between the diaphragm, the diaphragm has a through hole through which the screw can pass It is characterized by.

또한, 본 발명의 상기 웨이퍼 박스의 배면 좌측에는 상기 제1 체결리브의 후방삽입부에 삽입되며, 중앙에 암나사공이 형성된 제1 체결돌부가 형성되며; 상기 웨이퍼 박스의 배면 우측에는 상기 제2 체결리브의 후방삽입부에 삽입되며, 중앙에 암나사공이 형성된 제2 체결돌부가 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the first left side of the wafer box of the present invention is inserted into the rear insertion portion of the first fastening rib, the first fastening protrusion is formed with a female screw hole in the center is formed; A second fastening protrusion is inserted into the rear inserting portion of the second fastening rib at the right side of the back of the wafer box, and has a second fastening protrusion having a female screw hole formed in the center thereof.

또한, 본 발명의 상기 제1 체결돌부 및 제2 체결돌부의 각 외곽에는, 제1, 2 체결돌부의 각 외주면 일부를 둘러싸고 있는 반원통형상의 제1, 2 가이드부가 형성된 것을 특징으로 한다.
In addition, each outer periphery of the first fastening protrusion and the second fastening protrusion of the present invention is characterized in that the semi-cylindrical first and second guide portions are formed to surround a part of each outer peripheral surface of the first and second fastening protrusions.

본 발명은, 필터부재의 구조 개선을 통해 주입구의 크기는 현상태를 유지하여 인렛조인트의 조립성에 영향을 주지 않으면서도 필터부의 직경을 크게 함으로써 불활성 가스의 주입량을 증대시킬 수 있고, 죔공구(조임공구)를 거치할 수 있어서 필터장치의 조립 및 해체가 용이하다. The present invention can improve the injection amount of the inert gas by increasing the diameter of the filter portion without affecting the assembly of the inlet joint by maintaining the size of the injection hole through the structure of the filter member, and tightening tool (fastening tool ), It is easy to assemble and dismantle the filter device.

또한, 본 발명은 네임카드홀더의 구조 개선을 통해 그 기능을 다양화 함으로써, 웨이퍼 박스의 배면이 바닥을 향하도록 눕혔을 때 웨이퍼 박스를 안정적으로 받침할 수 있는 받침대 역할을 병행할 수 있다.In addition, the present invention can improve the structure of the name card holder by diversifying its function, it can serve as a stand that can stably support the wafer box when the back side of the wafer box is laid down to the bottom.

또한, 본 발명은 네임카드홀더의 본래 기능인 카드수납과 웨이퍼 박스를 지지하는 레그의 역할을 병행할 수 있어서 다양한 기능의 네임카드홀더를 제공할 수 있다.In addition, the present invention can serve as a leg for supporting the card storage and the wafer box, which is the original function of the name card holder, thereby providing a name card holder having various functions.

또한, 본 발명은 네임카드홀더와 웨이퍼 프레임 배면을 점 접촉되게 함으로써 이물질 끼임을 방지할 수 있고, 설사 이물질이 끼게 되더라도 지지돌기로 인해 네임카드홀더와 웨이퍼 프레임 배면과의 사이에 적정의 틈새를 가짐에 따라 세척수가 원활히 통과할 수 있어서 이물질 제거가 용이하다. 즉, 세정성이 용이하다.In addition, the present invention can prevent the foreign matter jamming by making the name card holder and the wafer frame back contact, and even if the foreign matter is caught, there is a proper gap between the name card holder and the wafer frame back due to the support protrusion. As the wash water can pass smoothly, it is easy to remove foreign substances. That is, washability is easy.

또한, 본 발명은 네임카드홀더와 웨이퍼 프레임의 접촉면이 축소됨에 따라 접촉마찰을 현저히 감소시킬 수 있어서 웨이퍼 박스에 스크레치가 발생됨을 미연에 방지할 수 있다.
In addition, the present invention can significantly reduce the contact friction as the contact surface between the name card holder and the wafer frame is reduced, it is possible to prevent scratches in the wafer box.

도 1은 종래 웨이퍼 캐리어의 일 예시도이다.
도 2는 종래 웨이퍼 캐리어를 거꾸로 뒤집은 상태의 사시도이다.
도 3은 종래 필터부재의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 정면 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 필터부재의 분해사시도이다.
도 6은 도 5의 분해 및 결합단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도로서, 네임카드홀더를 분해한 사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 네임카드홀더의 전면 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 네임카드홀더의 배면 사시도이다.
도 10은 도 8의 C-C선 단면도이다.
도 11은 도 8의 D-D선 단면도이다.1 is an exemplary view of a conventional wafer carrier.
2 is a perspective view of a conventional wafer carrier upside down.
3 is an exploded perspective view of a conventional filter member.
4 is a front perspective view of the wafer carrier according to the present invention.
5 is an exploded perspective view of the filter member according to the present invention.
6 is an exploded and combined cross-sectional view of FIG.
7 is a rear perspective view of the wafer carrier according to the present invention, in which the name card holder is disassembled.
8 is a front perspective view of the name card holder according to the present invention.
9 is a rear perspective view of the name card holder according to the present invention.
10 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG. 8.
FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 8.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 정면 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 필터부재의 분해사시도이며, 도 6은 도 5의 분해 및 결합단면도이다.Figure 4 is a front perspective view of the wafer carrier according to the present invention, Figure 5 is an exploded perspective view of the filter member according to the present invention, Figure 6 is an exploded and bonded cross-sectional view of FIG.

도 4 내지 6을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어는 다수의 웨이퍼가 수납되는 전면 개방형의 웨이퍼박스(1), 상기 웨이퍼박스(1)의 지지를 위해 웨이퍼박스의 하부에 설치되는 바텀 플레이트(3) 및 상기 웨이퍼박스(1)의 전면 개구부를 밀폐하는 도어(미도시)를 포함한다. 이러한 구성은 기존과 동일하다.4 to 6, the wafer carrier according to the present invention is a wafer box 1 of the front open type in which a plurality of wafers are accommodated, and a bottom plate installed under the wafer box for supporting the wafer box 1 ( 3) and a door (not shown) for sealing the front opening of the wafer box 1. This configuration is the same as before.

이에 더하여 본 발명은, 상기 웨이퍼박스(1)의 저면 양측에 웨이퍼박스의 내부와 연통하는 한 쌍의 필터부재(30)가 설치된다. 상기 각 필터부재(30)는 상면에 통공(301)이 형성되며, 하부 외주면에 숫나사부(302)가 형성된 중공형의 필터하우징(300)을 포함한다. 여기서, 상기 필터하우징(300)의 통공(301)이 형성된 상면은 필터하우징(300)과 일체로 될 수 있으나, 이와는 다르게 별개로 구성될 수도 있다.In addition, in the present invention, a pair of filter members 30 communicating with the inside of the wafer box are provided on both sides of the bottom surface of the wafer box 1. Each of the filter members 30 includes a hollow filter housing 300 having a through hole 301 formed on an upper surface thereof and a male screw part 302 formed on a lower outer circumferential surface thereof. Here, the upper surface on which the through hole 301 of the filter housing 300 is formed may be integrated with the filter housing 300, but may be configured separately.

또한, 상기 각 필터부재(30)는 상기 필터하우징(300)의 중공부를 통해 상기 통공(301) 안쪽에 밀착 설치되는 필터(310)를 포함한다. 여기서, 필터(310)는 원형시트 형상으로 될 수 있다.In addition, each filter member 30 includes a filter 310 that is installed in close contact with the through-hole 301 through the hollow portion of the filter housing 300. Here, the filter 310 may have a circular sheet shape.

또한, 상기 각 필터부재(30)는 상기 필터하우징(300)의 숫나사부(302)에 나사 결합될 수 있도록 내면 상측에 암나사부(322)가 형성된 원통부(321)와; 상기 원통부(321)의 하단으로부터 하향으로 갈수록 점차적으로 좁아지게 형성되고 그 하부에 상기 통공(301)에 비해 작은 직경의 주입구(325)가 형성된 협소부(323)와; 상기 원통부(321)와 협소부(323)의 외측 경계부위에 적어도 3개 이상의 공구거치돌부(324)가 형성된 원통형의 필터캡(320)을 더 포함한다.In addition, each filter member 30 has a cylindrical portion 321 formed with an internal threaded portion 322 on the upper surface to be screwed to the male screw portion 302 of the filter housing 300; A narrow portion 323 formed gradually narrower from the lower end of the cylindrical portion 321 downwardly and having an injection hole 325 having a smaller diameter than that of the through hole 301; It further includes a cylindrical filter cap 320 having at least three tool mounting protrusions 324 formed on the outer boundary of the cylindrical portion 321 and the narrow portion 323.

여기서, 상기 주입구(325)는 기존의 주입구와 동일크기로 되어 이에 불활성가스를 주입하기 위한 인렛커넥터(미도시)가 용이하게 결합되도록 한 반면, 필터(310)가 내입되는 필터하우징(300)의 직경은 기존 대비 크게 함으로써 많은 량의 불활성가스를 짧은 시간 내에 주입될 수 있도록 하였다.Here, the inlet 325 is the same size as the existing inlet, so that the inlet connector (not shown) for injecting the inert gas to be easily coupled, while the filter 310 is embedded in the filter housing 300 The diameter is larger than the conventional one, so that a large amount of inert gas can be injected in a short time.

그리고, 상기 공구거치돌기(324)는 원통부(321)와 협소부(323)의 외측 경계부위에 수직상으로 돌출되게 하고, 도 6에서와 같이 상기 필터캡(320)을 회전 조작하기 위한 공구(tool:t)에는 상기 공구거치돌기(324) 들이 삽입될 수 홈이 형성되어 필터캡(320)과 공구가 치합될 수 있게 함으로써 필터캡(320)의 회전 조작을 용이하게 할 수 있다.
In addition, the tool placement protrusion 324 is to project vertically to the outer boundary of the cylindrical portion 321 and the narrow portion 323, a tool for rotating the filter cap 320 as shown in FIG. Tool (t) may be provided with a groove into which the tool placement protrusions 324 may be inserted, thereby facilitating a rotation operation of the filter cap 320 by allowing the filter cap 320 and the tool to be engaged with each other.

한편, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도이다.2 is a rear perspective view of the wafer carrier according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어는 네임카드홀더(40)가 착탈 가능하게 설치된다. 네임카드홀더(40)의 상세 구성 및 결합구조는 도 8 및 도 9를 통해 명확하게 설명된다.2, in the wafer carrier according to the present invention, the name card holder 40 is detachably installed. The detailed configuration and coupling structure of the name card holder 40 will be clearly described with reference to FIGS. 8 and 9.

도 8은 본 발명에 따른 네임카드홀더의 전면 사시도이고, 도 9는 본 발명에 따른 네임카드홀더의 배면 사시도이다.8 is a front perspective view of the name card holder according to the present invention, and FIG. 9 is a rear perspective view of the name card holder according to the present invention.

도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 네임카드홀더(40)는 상기 웨이퍼박스(1)의 볼록한 외형에 상응하게 만곡된 사각형상을 이루고 있으며, 좌측면판(400), 우측면판(410), 후면판(420), 저면판(430), 좌 전면판(440) 및 우 전면판(450)으로 구성된다.8 and 9, the name card holder 40 of the present invention has a curved quadrangle shape corresponding to the convex shape of the wafer box 1, and includes a left side plate 400 and a right side plate 410. The rear plate 420, the bottom plate 430, the left front plate 440 and the right front plate 450 are configured.

좌측면판(400)은 네임카드홀더(40)의 좌측면을 형성하는 구성요소로서, 상기 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)과 나사 체결할 수 있도록 외면(外面) 중앙부에 제1 체결리브(401)가 일체로 형성된다. 여기서, 상기 제1 체결리브(401)는 중앙에 전방 삽입부(402)와 후방 삽입부(403)가 격막(404)을 사이에 두고 형성된다. 상기 격막(404)의 중앙에는 나사(S)가 관통할 수 있게 관통공(404a)이 형성된다.
The left side plate 400 is a component forming the left side of the name card holder 40, and includes a first fastening rib at a central portion of the outer surface so as to be screwed with the back surface 12 of the wafer box 10. 401 is integrally formed. Here, the first fastening rib 401 is formed with a front inserting portion 402 and a rear inserting portion 403 between the diaphragm 404 in the center. The through hole 404a is formed in the center of the diaphragm 404 to allow the screw S to pass therethrough.

우측면판(410)은 네임카드홀더(40)의 우측면을 형성하는 판으로서, 상기 좌측면판(410)과 마주하게 배치된다.The right side plate 410 is a plate forming the right side of the name card holder 40 and is disposed to face the left side plate 410.

우측면판(410)은 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)과 나사 체결할 수 있도록 외면(外面) 중앙부에 제2 체결리브(411)가 일체로 형성된다. 여기서, 상기 제2 체결리브(411)는 중앙에 전방 삽입부(412)와 후방 삽입부(413)가 격막(414)을 사이에 두고 형성되며, 상기 격막(414)의 중앙에는 나사(S)가 관통할 수 있게 관통공(414a)이 형성된다.
The right side plate 410 has a second fastening rib 411 integrally formed at the center of the outer surface of the right side plate 410 so as to be screwed to the back surface 12 of the wafer box 10. Here, the second fastening rib 411 is formed with a front inserting portion 412 and a rear inserting portion 413 between the diaphragm 414 in the center, the screw (S) in the center of the diaphragm 414 The through hole 414a is formed so that it can penetrate.

후면판(420)은 좌측면판(400)과 우측면판(410) 사이를 연결하게 형성되어 네임카드(C)의 뒷면을 지지하는 역할을 한다.The back plate 420 is formed to connect between the left side plate 400 and the right side plate 410 serves to support the back of the name card (C).

후면판(420)은 상기 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)과 동일 곡률로 외향으로 볼록하게 형성되는 만곡면(421)과, 상기 만곡면(421)의 좌측단과 상기 좌측면판(400)의 내면을 일체로 연결하는 제1 평면(422)과, 상기 만곡면(421)의 우측단과 상기 우측면판(410)의 내면을 일체로 연결하는 제2 평면(423)으로 이루어진다.The back plate 420 has a curved surface 421 formed convex outwardly with the same curvature as the back surface 12 of the wafer box 10, a left end of the curved surface 421, and a left side surface of the left surface plate 400. The first plane 422 integrally connects the inner surface, and the second plane 423 integrally connects the right end of the curved surface 421 and the inner surface of the right side plate 410.

여기서, 상기 만곡면(421)의 중앙부에는 상부 개구형의 중앙 블랭크부(424)가 형성될 수 있다. 이와는 다르게 상기 만곡면(421)은 중앙 블랭크부(424)가 형성됨이 없이 전면이 채워질 수도 있으나, 이 경우 필요량 이상의 원재료가 소요되고, 유연구조를 가질 수 없게 되어 크기가 다른 여러 종류의 웨이퍼 박스(10)의 배면(12) 형태에 맞게 밀착 설치가 어렵게 될 수 있으며, 무리하게 밀착 설치를 시행하다가 파단될 수 있다. 이에 반해 중앙 블랭크부(424)가 형성될 경우 유연구조를 가지게 되므로 밀착설치가 가능하므로 파단의 우려가 적다.Here, a central blank portion 424 of the upper opening type may be formed in the central portion of the curved surface 421. Unlike this, the curved surface 421 may be filled with the entire surface without the center blank portion 424 being formed, but in this case, more than the required amount of raw materials may be required, and various types of wafer boxes having different sizes may be impossible. 10 may be difficult to install close to fit the form of the back 12, and may be broken while performing a close installation by force. On the other hand, when the central blank portion 424 is formed, it has a flexible structure, so that the close installation is possible, so there is little fear of breaking.

그리고, 상기 중앙 블랭크부(424)의 내측 좌,우 단부는 요철구조로 하여 강도 약화를 방지하였고, 이 요철구조들의 각 경계부위는 응력집중을 방지하기 위해 라운드 또는 모따기 처리 하는 것이 바람직하다.In addition, the inner left and right ends of the center blank portion 424 have a concave-convex structure to prevent the weakening of strength, and each boundary portion of the concave-convex structures is preferably rounded or chamfered to prevent stress concentration.

또한, 후면판(420)에서 제1 평면(422)의 상기 좌 전면판(440)과 대응하는 위치에는 좌 블랭크부(425)가 형성되고, 상기 제2 평면(423)의 상기 우 전면판(450)과 대응하는 위치에는 우 블랭크부(426)가 형성될 수 있다. 상기 좌,우 블랭크부(425,426)는 원소재 절감의 효과와, 상기 제1, 2 체결리브(401,411)를 나사조임에 의해 웨이퍼 박스(10)에 조립할 때 제1, 2 체결리브(401,411)의 주변부에서 발생되는 응력집중을 분산시켜주는 역할을 하게 된다.
In addition, a left blank portion 425 is formed at a position corresponding to the left front plate 440 of the first plane 422 on the back plate 420, and the right front plate of the second plane 423 ( A right blank portion 426 may be formed at a position corresponding to 450. The left and right blank parts 425 and 426 are effective in reducing raw materials and when the first and second fastening ribs 401 and 411 are assembled to the wafer box 10 by screwing. It distributes the stress concentration generated in the periphery.

저면판(430)은 네임카드홀더(40)의 저면을 형성하는 구성요소이다.The bottom plate 430 is a component forming the bottom of the name card holder 40.

저면판(430)은 상기 만곡면(421)의 하단에 만곡면과 동일 곡률로 만곡되게 형성된 만곡저면(431)과, 상기 만곡저면(431)의 좌측단에 일체로 연결되며 상기 좌측면판(400)의 하단과 일체로 연결되는 좌측저면(432)과, 상기 만곡저면(431)의 우측단에 일체로 연결되며 상기 우측면판(410)의 하단과 일체로 연결되는 우측저면(433)으로 이루어진다.
The bottom plate 430 is formed at the lower end of the curved surface 421 to be curved at the same curvature as the curved surface 431 and the left bottom plate 400 is integrally connected to the left end of the curved bottom surface 431 The bottom surface 432 is integrally connected to the lower end of the) and the right bottom surface 433 is integrally connected to the right end of the curved bottom surface 431 and integrally connected to the lower end of the right side plate 410.

좌 전면판(440)은 네임카드홀더(40)의 전면 일부를 형성하는 구성요소이다.The left front plate 440 is a component that forms part of the front surface of the name card holder 40.

좌 전면판(440)은 상기 후면판(420)의 좌측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 좌측단은 상기 좌측면판(400)과 일체로 되고 하단은 상기 저면판(430)의 좌측저면(432)과 일체로 되어, 좌 전면판(440)과 후면판(420) 사이에 형성되는 슬롯(SL)을 통해 삽입되는 네임카드(C)의 전면 좌측을 지지하게 된다.The left front plate 440 is disposed at the front with a predetermined distance from the left side of the back plate 420, the left end is integrated with the left side plate 400, and the bottom end is the left bottom surface of the bottom plate 430 ( 432 and integrally support the front left side of the name card C inserted through the slot SL formed between the left front plate 440 and the back plate 420.

여기서, 상기 좌 전면판(440)은 네임카드(C)의 전면 우측을 지지하면 족하므로 필요 이상 크게 할 필요는 없다. 따라서, 상기 후면판(420)의 도면상 좌측면적보다 작게 하여도 큰 문제가 없으며, 오히려 소재절감의 효과를 얻을 수 있다.
Here, the left front plate 440 is not required to be larger than necessary because it is sufficient to support the front right side of the name card (C). Therefore, even if it is smaller than the left area in the drawing of the back plate 420, there is no big problem, rather it is possible to obtain the effect of reducing the material.

우 전면판(450)은 네임카드홀더(40)의 전면 다른 일부를 형성하는 구성요소이다.The right front panel 450 is a component that forms another part of the front surface of the name card holder 40.

우 전면판(450)은 상기 후면판(420)의 우측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 우측단은 상기 우측면판(410)과 일체로 되고 하단은 상기 저면판(430)의 우측저면(433)과 일체로 되어, 우 전면판(450)과 후면판(420) 사이에 형성되는 슬롯(SL)을 통해 삽입되는 네임카드(C)의 전면 우측을 지지하게 된다.The right front plate 450 is disposed at the front with a predetermined distance from the right side of the back plate 420, the right end is integrated with the right side plate 410, and the bottom end is the right bottom surface of the bottom plate 430 ( 433) to support the front right side of the name card (C) inserted through the slot (SL) formed between the right front plate 450 and the back plate 420.

여기서, 상기 우 전면판(450)은 네임카드(C)의 전면 우측을 지지하면 족하므로 필요 이상 크게 할 필요는 없다. 따라서, 상기 후면판(420)의 도면상 우측면적보다 작게 하여도 큰 문제가 없으며, 오히려 소재절감의 효과를 얻을 수 있다.
In this case, the right front plate 450 does not need to be larger than necessary because it supports the front right side of the name card C. Therefore, even if it is smaller than the right area in the drawing of the back plate 420, there is no big problem, rather it is possible to obtain the effect of reducing the material.

이러한 상기 네임카드홀더(40)는 각 모서리의 외향에 상기 웨이퍼 박스(10)를 눕혔을 때 웨이퍼 박스(10)를 수평상태로 받쳐주기 위한 레그부(460)가 형성된다. 따라서, 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)이 아래를 향하도록 하여 웨이퍼 박스(10)를 눕혀 놓았을 때 레그부(460)에 의해 수평상태로 안정되게 지지할 수 있다.
The name card holder 40 is provided with a leg portion 460 for supporting the wafer box 10 in a horizontal state when the wafer box 10 is laid on the outer side of each corner. Therefore, when the wafer box 10 is laid down with the back surface 12 of the wafer box 10 facing downward, the leg portion 460 can stably support the horizontal state.

또한, 네임카드홀더(40)는 상기 각 모서리의 내향에 상기 레그부(460)와 일체로 되며, 상기 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)과 점 접촉되는 받침부(470)가 형성된다. 이때, 상기 각 받침부(47)는 상기 웨이퍼 박스(10)의 볼록한 배면(12)에 상응하도록 경사진 받침단면(471)을 가지며, 상기 받침단면(471) 상에는 상기 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)과 점접촉되는 다수의 지지돌기(472)가 소정 간격을 두고 형성된다.In addition, the name card holder 40 is integral with the leg portion 460 inwardly of the corners, and a supporting portion 470 is formed in point contact with the rear surface 12 of the wafer box 10. At this time, each of the supporting portion 47 has a supporting end surface 471 inclined to correspond to the convex back surface 12 of the wafer box 10, the back surface of the wafer box 10 on the supporting end surface 471. A plurality of support protrusions 472 in point contact with 12 are formed at predetermined intervals.

따라서, 네임카드홀더(40)와 웨이퍼 박스(10)의 접촉면적의 축소로 접촉마찰을 현저히 감소시킬 수 있어서 웨이퍼 박스에 스크레치가 발생됨을 미연에 방지할 수 있고, 지지돌기(472)가 소정간격으로 이격되게 형성되어 있어서 이물질이 끼는 것을 방지할 수 있게 된다.
Therefore, the contact friction can be significantly reduced by reducing the contact area between the name card holder 40 and the wafer box 10, thereby preventing scratches in the wafer box, and the support protrusion 472 being spaced a predetermined distance. It is formed to be spaced apart so that it is possible to prevent the foreign matter caught.

한편, 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)에는 네임카드홀더(40)를 체결하기 위한 상대 체결구조를 구성하고 있다. On the other hand, the back 12 of the wafer box 10 constitutes a mating fastening structure for fastening the name card holder 40.

즉, 웨이퍼 박스(10)의 배면(12) 좌측에는 상기 제1 체결리브(401)의 후방삽입부(403)에 삽입되며, 중앙에 암나사공(101)이 형성된 제1 체결돌부(100)가 형성된다. That is, the first fastening protrusion 100 is inserted into the rear inserting portion 403 of the first fastening rib 401 at the left side of the rear surface 12 of the wafer box 10, and the female screw hole 101 is formed at the center thereof. Is formed.

또한, 웨이퍼 박스(10)의 배면(12) 우측에는 상기 제2 체결리브(411)의 후방삽입부(413)에 삽입되며, 중앙에 암나사공(111)이 형성된 제2 체결돌부(110)가 형성된다.In addition, the second fastening protrusion 110 is inserted into the rear inserting portion 413 of the second fastening rib 411 on the right side of the rear surface 12 of the wafer box 10, and the female screw hole 111 is formed at the center thereof. Is formed.

아울러, 상기 제1 체결돌부(100)의 외곽에는 제1 체결돌부(100)의 외주면 일부를 둘러싸고 있는 반원통형상의 제1 가이드부(120)가 형성되어 있고, 마찬가지로 상기 제2 체결돌부(110)의 외곽에는 제2 체결돌부(110)의 외주면 일부를 둘러싸고 있는 반원통형상의 제2 가이드부(130)가 형성되어 있다. 상기 제1, 2 가이드부(120,130)는 네임카드홀더(40)를 웨이퍼 박스(10)의 배면(12)에 장착하고자 할 때 네임카드홀더(40)의 제1 체결리브(401) 및 제2 체결리브(411)를 가이드 해 줌으로써 이들이 결합될 위치를 결정해 주는 역할을 하게 된다.In addition, a semi-cylindrical first guide part 120 is formed around the first fastening protrusion 100 to surround a part of the outer circumferential surface of the first fastening protrusion 100, and the second fastening protrusion 110 is similarly formed. In the outer portion of the semi-cylindrical second guide portion 130 surrounding a portion of the outer peripheral surface of the second fastening protrusion 110 is formed. The first and second guide parts 120 and 130 may include the first fastening ribs 401 and the second fastening ribs of the name card holder 40 when the name card holder 40 is to be mounted on the rear surface 12 of the wafer box 10. By guiding the fastening ribs 411 serves to determine the position where they will be coupled.

이상의 본 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.

1 : 웨이퍼박스 3 : 바텀플레이트
12 : 배면
30 : 필터부재
301 : 통공 302 : 숫나사부
310 : 필터 320 : 필터캡
321 : 원통부 322 : 암나사부
323 : 협소부 324 : 공구거치돌부
325 : 주입구
40 : 네임카드홀더
400 : 좌측면판 401 : 제1 체결리브
402 : 전방 삽입부 403 : 후방 삽입부
404 : 격막 404a : 관통공
410 : 우측면판 411 : 제2 체결리브
412 : 전방 삽입부 413 : 후방 삽입부
414 : 격막 414a : 관통공
420 : 후면판 421 : 만곡면
422 : 제1 평면 423 : 제2 평면
424 : 중앙 블랭크부 425 : 좌 블랭크부
426 : 우 블랭크부 430 : 저면판
431 : 만곡저면 432 : 좌측저면
433 : 우측저면 440 : 좌 전면판
450 : 우 전면판 460 : 레그부
470 : 받침부 471 : 받침단면
472 : 지지돌기 C : 네임카드
S : 나사 SL : 슬롯
100 : 제1 체결돌부 101 : 암나사공
110 : 제2 체결돌부 111 : 암나사공
120 : 제1 가이드부 130 : 제2 가이드부1: wafer box 3: bottom plate
12: back side
30: filter member
301: through hole 302: male thread
310: filter 320: filter cap
321: cylindrical portion 322: female thread
323: narrow part 324: tool mounting protrusion
325: injection hole
40: Name card holder
400: left side plate 401: first fastening rib
402: front insertion portion 403: rear insertion portion
404: diaphragm 404a: through hole
410: right side plate 411: second fastening rib
412: front insertion portion 413: rear insertion portion
414: diaphragm 414a: through hole
420: rear panel 421: curved surface
422: first plane 423: second plane
424: center blank portion 425: left blank portion
426: right blank portion 430: bottom plate
431: curved bottom 432: left bottom
433: Bottom right 440: Left front panel
450: right front panel 460: leg portion
470: support portion 471: support cross section
472: support protrusion C: name card
S: Screw SL: Slot
100: first fastening protrusion 101: female thread hole
110: second fastening protrusion 111: female thread hole
120: first guide portion 130: second guide portion

Claims (8)

다수의 웨이퍼가 수납되며 전방이 개구된 웨이퍼 박스, 상기 웨이퍼박스의 하부에 설치되는 바텀 플레이트, 상기 웨이퍼박스의 개구부를 밀폐하는 도어 및 상기 웨이퍼박스의 저면 양쪽에 설치되는 한 쌍의 필터유닛, 상기 웨이퍼박스의 배면에 구비되는 네임카드홀더를 포함하는 웨이퍼 캐리어에 있어서,
상기 각 필터유닛은,
상면에 통공이 형성되며, 하부 외주면에는 숫나사부가 형성된 중공형의 필터하우징; 상기 필터 하우징의 중공부를 통해 상기 통공 안쪽에 밀착 설치되는 필터; 상기 필터 하우징의 숫나사부에 나사 결합될 수 있도록 내면 상측에 암나사부가 형성된 원통부, 상기 원통부의 하단으로부터 하향으로 갈수록 점진적으로 좁아지게 형성되고 그 하부에 상기 통공에 비해 작은 직경의 주입구가 형성된 협소부의 외측 경계부위에 공구거치돌부가 형성된 원통형의 필터캡으로 구성되고,
상기 네임카드홀더는,
상기 웨이퍼박스의 볼록한 외형에 상응하게 만곡된 사각형상을 이루고 있으며, 각 모서리의 외향에 상기 웨이퍼박스를 눕혔을 때 웨이퍼박스를 수평으로 받쳐주기 위한 레그부가 형성되고, 상기 각 모서리의 내향에는 상기 레그부와 일체로 되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 점 접촉되는 받침부가 형성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어.
A wafer box in which a plurality of wafers are stored and opened at the front, a bottom plate installed at a lower portion of the wafer box, a door sealing the opening of the wafer box, and a pair of filter units installed at both bottom surfaces of the wafer box, In the wafer carrier comprising a name card holder provided on the back of the wafer box,
Each filter unit,
A through-hole is formed in the upper surface, the hollow filter housing formed with a male thread on the lower outer peripheral surface; A filter installed in close contact with the through hole through the hollow part of the filter housing; A cylindrical portion having an internal thread portion formed on the inner surface of the filter housing so as to be screwed to the male screw portion of the filter housing, and a narrow portion formed gradually narrower downward from the lower end of the cylindrical portion, and having an injection hole having a smaller diameter than the through hole at the lower portion thereof. Consists of a cylindrical filter cap formed with a tool projection protrusion on the outer boundary,
The name card holder,
Comprising a convex shape of the wafer box is formed in a quadrangular shape, a leg portion for supporting the wafer box horizontally when the wafer box lying on the outer side of each corner is formed, the legs inward of the each corner The wafer carrier further comprises a support portion integral with the portion, the supporting portion is in point contact with the back surface of the wafer box.
제1항에 있어서,
상기 받침부는, 상기 웨이퍼박스의 볼록한 배면에 상응하도록 경사진 받침단면을 가지며, 상기 받침단면 상에는 상기 웨이퍼박스의 배면과 점접촉되는 다수의 지지돌기가 소정간격을 두고 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
The method of claim 1,
The support portion has a support cross section inclined to correspond to the convex back surface of the wafer box, a wafer carrier characterized in that a plurality of support protrusions in contact with the back surface of the wafer box formed at predetermined intervals on the support cross section.
제1항에 있어서,
상기 네임카드홀더는,
상기 웨이퍼 박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제1 체결리브가 일체로 형성된 좌측면판;
상기 좌측면판과 마주하게 배치되며, 상기 웨이퍼박스의 배면과 나사 체결할 수 있도록 외면 중앙부에 제2 체결리브가 일체로 형성된 우측면판;
상기 좌측면판 및 우측면판 사이를 일체로 연결하게 형성되며, 상기 웨이퍼 박스의 배면과 동일 곡률로 외향으로 볼록하게 만곡 형성되는 만곡면, 상기 만곡면의 좌측단과 상기 좌측면판의 내면을 일체로 연결하는 제1 평면, 상기 만곡면의 우측단과 상기 우측면판의 내면을 일체로 연결하는 제2 평면으로 이루어져 네임카드의 뒷면을 지지하는 후면판;
상기 만곡면의 하단에 만곡면과 동일 곡률로 만곡되게 형성된 만곡저면, 상기 만곡저면의 좌측단에 일체로 연결되며 상기 좌측면판의 하단과 일체로 연결되는 좌측저면, 상기 만곡저면의 우측단에 일체로 연결되며 상기 우측면판의 하단과 일체로 연결되는 우측저면으로 이루어진 저면판;
상기 후면판의 좌측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 좌측단은 상기 좌측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 좌측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 좌측을 지지하는 좌 전면판; 및
상기 후면판의 우측으로부터 일정간격을 두고 전방에 배치되며, 우측단은 상기 우측면판과 일체로 되고 하단은 상기 저면판의 우측저면과 일체로 되어 네임카드의 전면 우측을 지지하는 우 전면판으로 구성된 것을 특징으로하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.
The method of claim 1,
The name card holder,
A left side plate in which a first fastening rib is integrally formed at the center of the outer surface of the wafer box so as to be screwed with the rear surface of the wafer box;
A right side plate disposed to face the left side plate and having a second fastening rib integrally formed at an outer center of the wafer box so as to be screwed to the rear surface of the wafer box;
It is formed to connect integrally between the left side plate and the right side plate, the curved surface is formed convexly outwardly convex with the same curvature of the back surface of the wafer box, which integrally connects the left end of the curved surface and the inner surface of the left side plate A back plate supporting a rear surface of the name card, comprising a first plane and a second plane which integrally connects the right end of the curved surface and the inner surface of the right side plate;
A curved bottom formed to be curved at the same curvature as the curved surface at the lower end of the curved surface, a left bottom integrally connected to the left end of the curved bottom and integrally connected to a lower end of the left side surface plate, integrated at the right end of the curved bottom Is connected to the bottom plate consisting of a right bottom surface connected integrally with the bottom of the right side plate;
A left front plate disposed at the front with a predetermined distance from the left side of the rear plate, the left end being integral with the left side plate and the bottom end being integral with the left bottom side of the bottom plate; And
It is disposed in front of the right side of the rear plate at a predetermined interval, the right end is integrated with the right side plate and the bottom is composed of the right front plate which is integrated with the right bottom of the bottom plate to support the front right side of the name card Wafer carrier having a name card holder, characterized in that.
제3항에 있어서,
상기 후면판에 형성된 만곡면 중앙부에는 상부 개구형의 중앙 블랭크부가 형성된 것을 특징으로 하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.
The method of claim 3,
The center of the curved surface formed on the back plate is a wafer carrier having a name card holder, characterized in that the upper opening of the central blank portion is formed.
제3항에 있어서,
상기 제1 평면의 상기 좌 전면판과 대응하는 위치에 좌 블랭크부가 형성되고, 상기 제2 평면의 상기 우 전면판과 대응하는 위치에 우 블랭크부가 형성된 것을 특징으로 하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.
The method of claim 3,
A left blank portion is formed at a position corresponding to the left front plate of the first plane, and a right blank portion is formed at a position corresponding to the right front plate of the second plane. .
제3항에 있어서,
상기 좌측면판 및 우측면판에 각각 형성된 제1, 2 체결리브의 중앙에는 전방삽입부와 후방삽입부가 격막을 사이에 두고 형성되되, 상기 격막에는 나사가 관통할 수 있는 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.
The method of claim 3,
In the center of the first and second fastening ribs formed on the left side plate and the right side plate, respectively, the front insertion portion and the rear insertion portion are formed with the diaphragm interposed therebetween, wherein the diaphragm has a through hole through which a screw can pass. Wafer carrier with a card holder.
제3항에 있어서,
상기 웨이퍼 박스의 배면 좌측에는 상기 제1 체결리브의 후방삽입부에 삽입되며, 중앙에 암나사공이 형성된 제1 체결돌부가 형성되며;
상기 웨이퍼 박스의 배면 우측에는 상기 제2 체결리브의 후방삽입부에 삽입되며, 중앙에 암나사공이 형성된 제2 체결돌부가 형성된 것을 특징으로 하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.
The method of claim 3,
A first fastening protrusion is inserted into a rear insertion portion of the first fastening rib at a left side of the rear surface of the wafer box, and a first fastening protrusion is formed at the center of which a female screw hole is formed;
A wafer carrier having a name card holder, which is inserted into the rear inserting portion of the second fastening rib at the right side of the back of the wafer box, and has a second fastening protrusion having a female threaded hole formed in the center thereof.
제7항에 있어서,
상기 제1 체결돌부 및 제2 체결돌부의 각 외곽에는, 제1, 2 체결돌부의 각 외주면 일부를 둘러싸고 있는 반원통형상의 제1, 2 가이드부가 형성된 것을 특징으로 하는 네임카드홀더가 구비된 웨이퍼 캐리어.The method of claim 7, wherein
Wafer carriers provided with name card holders, wherein semicircular first and second guide portions are formed around each of the outer circumferential surfaces of the first and second fastening protrusions. .
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