KR101144379B1 - Multi-band antenna switch mudule - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다중대역 신호를 송수신하는 안테나 스위치 모듈에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈은 반도체 공정을 통하여 기판상에 집적된 소자로서, 안테나를 통하여 유입되는 정전기로부터 내부 소자를 보호하는 정전방지부; 안테나단과 연결되어 다중 대역의 RF신호 경로를 분리하고, 상기 다중 대역 RF신호를 스위칭하여 선택적으로 송수신시키는 스위칭부; 상기 스위칭부와 연결되어 해당 대역의 RF신호를 필터링하는 하나 이상의 대역통과필터로 구성되는 필터부; 및 상기 스위칭부 또는 상기 필터부로부터 상기 기판까지 연결되는 전극단자부를 포함한다.The present invention relates to an antenna switch module for transmitting and receiving a multi-band signal, the multi-band antenna switch module according to the invention is a device integrated on the substrate through a semiconductor process, to protect the internal device from static electricity flowing through the antenna Antistatic part; A switching unit connected to an antenna terminal to separate a multi-band RF signal path and selectively transmit and receive the multi-band RF signal by switching; A filter unit connected to the switching unit, the filter unit including one or more band pass filters for filtering an RF signal of a corresponding band; And an electrode terminal part connected to the substrate from the switching part or the filter part.
본 발명에 의하면, 수동소자부품을 포함하여 스위칭부와 같은 RF IC칩이 반도체 공정을 통하여 집적될 수 있으므로 회로 구성을 단순화할 수 있고, 설계의 자유도를 높여 표면 실장 공정 또는 본딩 공정과 같은 복잡한 공정 없이 기판 모듈을 제작할 수 있는 효과가 있다. 또한, 통신모듈 제품의 생산비용이 절감되고 사이즈를 최소화할 수 있으며, 회로를 구성하는 각 구성부의 동작 특성이 개선되는 효과가 있다.According to the present invention, an RF IC chip such as a switching unit, including a passive component, can be integrated through a semiconductor process, thereby simplifying circuit configuration and increasing the degree of freedom in design, thereby complicating complex processes such as a surface mounting process or a bonding process. There is an effect that can be produced without the substrate module. In addition, the production cost of the communication module product can be reduced and the size can be minimized, and the operation characteristics of each component constituting the circuit can be improved.
Description
도 1은 종래의 다중대역 신호를 처리하는 안테나 스위치 모듈의 구성요소를 개략적으로 도시한 회로블록도.1 is a circuit block diagram schematically showing the components of an antenna switch module for processing a conventional multiband signal.
도 2는 종래의 다중대역 신호를 처리하는 안테나 스위치 모듈이 MLCC 및 반도체칩으로 혼재하여 구현된 형태를 예시적으로 도시한 상면도.2 is a top view exemplarily illustrating a form in which a conventional antenna switch module for processing a multiband signal is mixed with an MLCC and a semiconductor chip;
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈의 구성 요소를 개략적으로 도시한 회로블록도.3 is a circuit block diagram schematically showing the components of a multi-band antenna switch module according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈을 이루는 각 구성부들이 기판 상에서 반도체 공정을 통하여 집적되는 형태를 예시적으로 도시한 상면도.4 is a top view exemplarily illustrating a form in which components of a multi-band antenna switch module according to an embodiment of the present invention are integrated through a semiconductor process on a substrate;
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈이 칩스케일 패키징되어 있는 형태를 예시적으로 도시한 상면도.5 is a top view exemplarily illustrating a form in which a multi-band antenna switch module according to an embodiment of the present invention is packaged in chip scale.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈이 구성된 기판의 상면측 일부를 확대도시한 측면도.6 is an enlarged side view illustrating a portion of an upper surface side of a substrate on which a multi-band antenna switch module according to an exemplary embodiment of the present invention is configured.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈이 반도체 공정을 통하여 집적되는 형태를 예시적으로 도시한 기판층의 측단면도.7 is a side cross-sectional view of a substrate layer exemplarily illustrating a form in which a multi-band antenna switch module is integrated through a semiconductor process according to an exemplary embodiment of the present invention.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉Description of the Related Art
100: 다중대역 안테나 스위치 모듈 110: 안테나100: multi-band antenna switch module 110: antenna
120: 정전방지부 130: 스위칭부120: antistatic unit 130: switching unit
132: 제어 논리 회로 132a: 전원단132:
132b, 132c, 132d: 제어 전압단 134: 스위치 회로132b, 132c, and 132d: control voltage stage 134: switch circuit
140: 필터부 142, 144: 저대역통과필터140:
151: GSM Tx 단자 152: DCS/PCS Tx 단자151: GSM Tx terminal 152: DCS / PCS Tx terminal
153: GSM Rx 단자 154: DCS Rx 단자153: GSM Rx terminal 154: DCS Rx terminal
155: PCS Rx 단자155: PCS Rx terminal
본 발명은 다중대역 프론트앤드모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다중대역 신호를 송수신하는 안테나 스위치 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-band front-end module, and more particularly to an antenna switch module for transmitting and receiving a multi-band signal.
현재, 다수개의 주파수 대역을 처리하는 송수신단을 하나의 모듈로 집적화한 다중대역 안테나 스위치 모듈을 구비한 이동통신단말기가 널리 사용되고 있다.Currently, a mobile communication terminal having a multi-band antenna switch module that integrates a transmission / reception terminal processing a plurality of frequency bands into one module is widely used.
이러한 다중대역 안테나 스위치 모듈은 GSM(Global Systems for Mobile communication) 주파수 대역, DCS(Digital Cellular Switch) 주파수 대역, PCS(Personal Communication service) 주파수 대역을 모두 처리할 수 있는데, 이들 주파수 대역에 대하여 간단히 살펴보면 다음과 같다.The multi-band antenna switch module can handle the Global Systems for Mobile communication (GSM) frequency band, the Digital Cellular Switch (DCS) frequency band, and the Personal Communication Service (PCS) frequency band. Is the same as
우선, 상기 GSM은 유럽을 포함한 기타 지역에서 광범위하게 사용되고 있으 며, 시분할 다중접속(TDMA: Time Division Multiple Access) 방식을 이용한 디지털 이동통신 시스템을 의미한다.First, the GSM is widely used in other regions including Europe, and refers to a digital mobile communication system using a time division multiple access (TDMA) method.
또한, 상기 DCS는 CDMA(Code Division Multiple Access; 코드 분할 다중접속방식)방식 또는 TDMA(Time Division Multiple Access; 시 분할 다중접속방식)방식을 통하여 콜센터와 접속하고 통신 서비스를 제공하는 기술이고, 상기 PCS는 1750~1910 MHz의 주파수 신호(한국형 PCS(K-PCS) 밴드는 1750MHz~1780MHz의 송신대역과 1840MHz~1870MHz의 수신대역을 포함하고, 미국형 PCS(US-PCS) 밴드는 1850MHz~1910MHz의 송신대역과 1930MHz~1990MHz의 수신대역을 포함함)를 처리하는 통신 기술이다.In addition, the DCS is a technology for connecting to a call center and providing a communication service through a code division multiple access (CDMA) method or a time division multiple access (TDMA) method. The frequency signal of 1750 ~ 1910 MHz (Korean PCS (K-PCS) band includes 1750MHz ~ 1780MHz transmission band and 1840MHz ~ 1870MHz reception band, and US PCS (US-PCS) band has 1850MHz ~ 1910MHz transmission). Bands and 1930MHz-1990MHz).
도 1은 종래의 다중대역 신호를 처리하는 다중대역 안테나 스위치 모듈(10)의 구성요소를 개략적으로 도시한 회로블록도이다.1 is a circuit block diagram schematically showing the components of a multiband
도 1에 의하면, 종래의 안테나 스위치 모듈(10)은 크게 안테나(11)와 연결되는 다이플렉서(12), 2개의 저대역통과필터(LPF; Low Pass Filter), 3개의 쏘우(SAW) 필터, 3개의 위상천이기(18, 19, 20), 다수개의 수동소자들을 포함하여 이루어지는데, 안테나(11)는 서비스 지역에 따라 GSM 신호, PCS 신호 또는 DCS 신호를 송수신하며, 다이플렉서(12)는 안테나(11), DCS/PCS 처리단(13) 및 GSM 처리단(16)과 연결되어 DCS/PCS 신호와 GSM 신호를 분리하여 전달한다.Referring to FIG. 1, the conventional
DCS/PCS Tx 처리단(13)의 제1 저대역통과필터는 DCS/PCS Tx 신호를 필터링하여 다이플렉서(12)로 전달하고, GSM Tx 처리단(16)의 제2 저대역통과필터는 GSM Tx 신호를 필터링하여 다이플렉서(12)로 전달한다.The first low pass filter of the DCS / PCS
DCS Rx 처리단(15)의 제1 쏘우필터는 다이플렉서(12)에 의하여 분리된 신호 중 DCS Rx 신호를 통과시키고, PCS Rx 처리단(14)의 제2 쏘우필터는 상기 분리된 신호 중 PCS Rx 신호를 통과시킨다. 또한, GSM Rx 처리단(17)의 제3 쏘우필터는 상기 분리된 신호 중 GSM Rx 신호를 통과시킨다.The first saw filter of the DCS
이때, 제1 저대역통과필터 측으로 연결된 제1위상천이기(18), 제1 쏘우필터 측으로 연결된 제2위상천이기(19)와 제3 쏘우필터 측으로 연결된 제3위상천이기(20)는 다른 주파수 대역의 신호가 유입되거나 Tx 신호가 Rx 신호단으로 역류(또는 Rx 신호가 Tx 신호단으로 역류)되는 것을 억제한다.At this time, the
또한, 상기 제1 저대역통과필터와 제2 저대역통과필터의 전단에는 제1 및 제2 쵸크 코일이 구비되어 상기 저대역통과필터들을 통과한 고주파 성분 신호를 저지시키고, 세 개의 전원단에는 각각 제1, 제2 및 제3 다이오드가 구비된다.In addition, first and second choke coils are provided in front of the first low pass filter and the second low pass filter to block high frequency component signals passing through the low pass filters, respectively, First, second and third diodes are provided.
상기 전원단들은 조합적으로 온(On)/오프(Off) 제어되어 제1, 제2 및 제3 다이오드(보통, 핀 다이오드로 구비됨)를 스위칭시킴으로써 원하는 주파수 대역의 송수신 신호를 선택적으로 개폐시키는데(주파수 대역의 송수신 모드를 결정하는데), 가령 상기 제1 전원이 온되고, 제2 및 제3 전원이 오프되면 GSM Tx 모드가 되고, 제1 전원이 오프되고, 제2 및 제3 전원이 온되면 DCS/PCS Tx 모드가 된다. 또한, 세 개의 전원이 모두 오프된 경우 제1, 제2 및 제3 쏘우필터는 모두 수신 모드로 진입된다.The power stages are combined on / off (combined) control to selectively open and close the transmit and receive signals of the desired frequency band by switching the first, second and third diodes (usually provided as a pin diode). (Determining the transmission / reception mode of the frequency band), for example, when the first power is turned on and the second and third power are turned off, the GSM Tx mode is turned on, the first power is turned off, and the second and third power are turned on. Is in DCS / PCS Tx mode. In addition, when all three power sources are turned off, the first, second and third saw filters all enter the reception mode.
상기 다이플렉서의 양단에 위치된 커패시터들은 전원단으로부터 역류된 DC성분의 신호가 안테나로 전달되는 것을 차단한다.Capacitors located at both ends of the diplexer block a DC component signal flowing back from the power supply terminal to the antenna.
이와 같은 종래의 안테나 스위치 모듈(10)은 다이오드, 위상천이기 등의 다수개의 수동소자부품이 사용되므로 회로 구성이 복잡해지며, 따라서 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic)와 같은 특수한 적층 기판 공정을 이용하여 다층 기판형 구조로 설계되며, 프론트앤드모듈의 전체 사이즈가 커지게 된다.Since the conventional
도 2는 종래의 다중대역 신호를 처리하는 안테나 스위치 모듈(20)이 MLCC(Multi-Layer Ceramic Chip) 및 반도체칩으로 혼재하여 구현된 형태를 예시적으로 도시한 상면도이다.2 is a top view exemplarily illustrating a form in which a conventional
도 2에 의하면, MLCC 형태의 표면 실장형 칩인덕터(21), 칩캐패시터(22), LPF(Low Pass Filter)(23), 반도체 다이 형태의 스위치칩(24)이 도시되어 있는데, 기판으로는 세라믹 또는 플라스틱 기판이 사용될 수 있다.Referring to FIG. 2, a surface
그리고, MLCC형 부품은 표면 실장 공정에 의하여 기판 상의 기준 위치에 실장되고, 반도체 다이형 부품은 기판 상의 기준 위치에 다이 접착된 후 기판 상의 본딩 패드와 와이어 본딩된다. 또한, 각 부품(21, 22, 23, 24) 및 입출력 단자들(25)은 기판 표면의 금속 패턴 또는 내층의 통전 패턴, 비아홀 등을 통하여 연결된다.The MLCC type component is mounted at a reference position on the substrate by a surface mounting process, and the semiconductor die type component is die bonded to the reference position on the substrate and then wire bonded with the bonding pad on the substrate. In addition, the
이렇게 안테나 스위치 모듈이 다층 구조의 인쇄회로기판에 구성되는 경우, MLCC 공정 및 반도체 공정을 통하여 각 소자들, 기판을 개별적으로 제작하고 기판 위에 다시 표면실장 공정과 반도체 공정을 통하여 소자들을 조립해야 하므로, 생산 공정이 복잡해지고, 비용이 증가되어 대량 생산이 어려워지는 문제점이 있다.When the antenna switch module is configured in the multilayered printed circuit board, each device and the substrate must be manufactured separately through the MLCC process and the semiconductor process, and the devices must be assembled again through the surface mount process and the semiconductor process on the substrate. There is a problem that the production process is complicated, the cost is increased, making mass production difficult.
또한, 각 소자들을 배치하고 통전 연결을 위한 기판 상의 공간을 확보해야 하므로, 배치 설계가 용이하지 않고 안테나 스위치 모듈의 사이즈를 최소화하는데 한계가 있다.In addition, since the elements must be disposed and a space on the substrate for the energization connection must be secured, the layout design is not easy and there is a limit in minimizing the size of the antenna switch module.
안테나 스위치 모듈의 사이즈를 최소화하기 위하여, 세라믹 계열의 다층 공정을 이용하여 수동 소자를 내층으로 배치하고 반도체 조립 공정을 단순화시킬 수는 있으나, 실장 부품수가 증가되고 수동 소자의 내장을 위한 층수가 증가되므로 모듈의 소형화, 박형화가 더욱 어려워진다.In order to minimize the size of the antenna switch module, it is possible to place the passive element into the inner layer and simplify the semiconductor assembly process by using a ceramic-based multilayer process, but the number of mounting parts is increased and the number of layers for the passive element is increased. Miniaturization and thinning of modules become more difficult.
이러한 이유들로 인하여, 최근에는 전술한 수동소자의 내층 배치 방식은 잘 이용되지 않고 있는 실정이다.For these reasons, recently, the above-described inner layer disposition method of the passive element is not well utilized.
그리고, 종래의 안테나 스위치 모듈이 수동소자부품을 이용하여 다층 구조로 제작되므로 설계 변경시 까다로운 튜닝 처리가 요구되며 개발 기간이 길어지게 되고, 상기 전원단(Vc1, Vc2, Vc3)이 온/오프(on/off)되어 핀 다이오드들을 스위칭시킴으로써 해당 주파수 대역의 송수신 신호를 분리시키는데, 다이오드의 종류에 따라 최대 10mA까지 전력이 소모되므로 종래의 안테나 스위치 모듈은 저전력형 이동통신단말기 제품에 적합하지 않은 문제점이 있었다.In addition, since the conventional antenna switch module is manufactured in a multilayer structure using passive component parts, a demanding tuning process is required when the design is changed, and a development period is lengthened, and the power terminals Vc1, Vc2, and Vc3 are turned on / off ( on / off) to separate the transmit and receive signals of the corresponding frequency band by switching the pin diodes, the power consumption of up to 10mA depending on the type of diode, the conventional antenna switch module is not suitable for low-power mobile communication terminal products there was.
따라서, 본 발명은 종래의 개별 능동소자, 수동소자들을 반도체 공정을 통하여 기판 상에 집적시킴으로써, 공정이 단순화되고 크기를 최소화할 수 있으며 소자 및 전극의 배치 설계가 용이하도록 한 칩스케일 패키징형 다중대역 안테나 스위치 모듈을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, the present invention integrates conventional active elements and passive elements onto a substrate through a semiconductor process, thereby simplifying the process, minimizing the size, and facilitating the design of arrangement of devices and electrodes. It is an object to provide an antenna switch module.
본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈은 반도체 공정을 통하여 기판상에 집적된 소자로서, 안테나를 통하여 유입되는 정전기로부터 내부 소자를 보호하는 정전방지부; 안테나단과 연결되어 다중 대역의 RF신호 경로를 분리하고, 상기 다중 대역 RF신호를 스위칭하여 선택적으로 송수신시키는 스위칭부; 상기 스위칭부와 연결되어 해당 대역의 RF신호를 필터링하는 하나 이상의 대역통과필터로 구성되는 필터부; 및 상기 스위칭부 또는 상기 필터부로부터 상기 기판까지 연결되는 전극단자부를 포함한다.Multi-band antenna switch module according to the present invention is an element integrated on the substrate through a semiconductor process, the antistatic unit for protecting the internal element from the static electricity flowing through the antenna; A switching unit connected to an antenna terminal to separate a multi-band RF signal path and selectively transmit and receive the multi-band RF signal by switching; A filter unit connected to the switching unit, the filter unit including one or more band pass filters for filtering an RF signal of a corresponding band; And an electrode terminal part connected to the substrate from the switching part or the filter part.
또한, 본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈에 구비되는 상기 정전방지부, 스위칭부, 필터부는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 공정 또는 HEMT(High Electron Mobility Transistor) 공정을 통하여 기판 상에 집적되는 소자이다.In addition, the antistatic part, the switching part, and the filter part provided in the multi-band antenna switch module according to the present invention are devices integrated on a substrate through a Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) process or a High Electron Mobility Transistor (HEMT) process. .
또한, 본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈에 구비되는 상기 전극단자부는 상기 기판의 상면에 형성되고, 상기 정전방지부, 상기 스위칭부 및 상기 필터부와 재분포 패턴에 의하여 통전된다.In addition, the electrode terminal portion provided in the multi-band antenna switch module according to the present invention is formed on the upper surface of the substrate, the electricity is prevented by the antistatic portion, the switching unit and the filter unit by the redistribution pattern.
또한, 본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈에 구비되는 상기 전극단자부는 CSP(Chip Scaled Package) 공정을 통하여 형성된다.In addition, the electrode terminal provided in the multi-band antenna switch module according to the present invention is formed through a chip scaled package (CSP) process.
또한, 본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈에 구비되는 상기 전극단자부는 칩패드, 솔더접합패드, 재분포(Re-routing)금속패턴 중 어느 하나 이상의 통전수단을 포함한다.In addition, the electrode terminal unit provided in the multi-band antenna switch module according to the present invention includes any one or more conducting means of the chip pad, solder joint pad, re-routing metal pattern.
또한, 본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈에 구비되는 상기 스위칭 부는 RF스위칭회로 및 제어 논리 회로를 포함하고, 상기 RF스위칭회로 및 상기 제어 논리 회로는 반도체 공정을 통하여 상기 기판상에 각각 집적된다.The switching unit included in the multi-band antenna switch module according to the present invention includes an RF switching circuit and a control logic circuit, and the RF switching circuit and the control logic circuit are respectively integrated on the substrate through a semiconductor process.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a multiband antenna switch module according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)의 구성 요소를 개략적으로 도시한 회로블록도이다.3 is a circuit block diagram schematically showing the components of the multi-band
본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)은 반도체공정을 통하여 각 구성부가 집적된 회로로 구성되는데, 우선 구성부들의 동작에 대하여 살펴보기로 한다.The multi-band
도 3에 의하면, 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)은 정전방지부(120), 스위칭부(130), 필터부(140) 및 단자부(150)를 포함하여 이루어지는데, 상기 스위칭부(130)는 안테나(110)와 연결된다.Referring to FIG. 3, the multi-band
상기 안테나(110)는 RF신호를 송수신하는 기능을 수행하는데, 본 발명의 실시예에서는 GSM, DCS, PCS의 다중 대역 RF신호를 송수신한다.The
상기 정전방지부(120)는 안테나로부터 유입되는 정전기 방전(ESD: EletroStatic Discharge) 전류 또는 회로 내부에 존재하는 기생성분으로 인하여 발생된 정전기 방전 전류를 격리하여 정전기 방전 현상으로부터 상기 스위칭부(130)를 보호한다.The
상기 정전방지부(120)는 스위칭부(130)와 안테나(110) 사이에 연결되며, 직렬 커패시터 및 병렬 인덕터로 구성된다.The
상기 스위칭부(130)는 하나의 라인을 통하여 안테나(110)와 연결되며, 5개의 라인을 통하여 GSM Tx 단자, DCS/PCS Tx 단자, GSM Rx 단자, DCS Rx 단자, PCS Rx 단자와 연결된다.The
또한, 상기 스위칭부(130)는 제어 논리(디코더) 회로(132)와 스위치 회로(134)로 이루어지는데, 제어 논리 회로(132)는 전원단(Vcc)(132a), 제1제어 전압단(vctrl1)(132b), 제2제어 전압단(vctrl2)(132c), 제3제어 전압단(vctrl3)(132d)을 구비한다.In addition, the
상기 전원단(132a)은 스위칭부(130)의 전원이 입력되는 단자이고, 상기 제어 전압단들(132b, 132c, 132d)은 스위칭 동작의 제어용 전압이 입력되는 단자이다.The
상기 3개의 제어 전압단들(132b, 132c, 132d)을 통하여 제어 전압이 인가되고, 인가된 제어 전압의 조합(논리 연산)을 통하여 제어 논리 회로(132)는 상기 5개의 신호 경로를 선택적으로 개폐시킨다.A control voltage is applied through the three
상기 스위치 회로(134)는 제어 논리 회로(132)의 제어에 따라 상기 5개의 신호 경로를 개폐시키고, 안테나(110)와 상기 5개의 단자 중 어느 하나의 단자를 선택적으로 통전시킨다.The
여기서, 본 발명의 실시예에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)이 이동통신단말기에 사용된 경우, 상기 스위칭부(130)는 모듈 외부의 제어부(가령, 이동통신단말기의 DSP(Digital Signal Processor)와 같은 구성부)로부터 상기 제어 전압을 인가받을 수 있다.Here, when the multi-band
상기 단자부(150)는 GSM Tx 단자(151), DCS/PCS Tx 단자(152), GSM Rx 단자 (153), DCS Rx 단자(154) 및 PCS Rx 단자(155)를 포함하여 이루어지는데, 상기 5개의 단자들(151, 152, 153, 154, 155)은 각각 외부의 GSM RF신호처리단, DCS RF신호처리단, PCS RF신호처리단(RF신호처리단은 도시되지 않음)과 연결되고, 상기 스위칭부(130)는 각 RF신호처리단으로부터 전달되는 송신 신호를 안테나(110)로 전달하고, 안테나(110)로부터 인입되는 수신 신호를 해당 RF신호처리단으로 분배한다.The
상기 RF신호처리단은 구동증폭기, 전력증폭기, 전력검출기, 대역통과필터 등을 구비하여 신호의 증폭 구간에서 손실된 신호의 임피던스를 정합시키고, 베이스밴드영역에서 신호가 처리될 수 있도록 신호를 필터링하여 증폭시키는 기능을 수행한다.The RF signal processing stage includes a driving amplifier, a power amplifier, a power detector, and a bandpass filter to match the impedance of the signal lost in the amplification section of the signal, and filter the signal so that the signal can be processed in the baseband region. Perform the function of amplification.
상기 필터부(150)는 GSM Tx 단자(151)와 DCS/PCS Tx 단자(152) 측에 연결되는 저대역통과필터(LPF; Low Pass Filter)(142, 144)로 구성된다.The
상기 저대역통과필터(142, 144)는 다중대역 신호 중에서 GSM Tx 신호 및 DCS/PCS Tx 신호에 해당되는 대역의 주파수 신호만을 필터링하여 GSM Tx 단자(151)와 DCS/PCS Tx 단자(152)로 전달한다.The low pass filters 142 and 144 filter only frequency signals of a band corresponding to the GSM Tx signal and the DCS / PCS Tx signal among the multiband signals to the
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)을 이루는 각 구성부들이 기판 상에서 반도체 공정을 통하여 집적되는 형태를 예시적으로 도시한 상면도이다.4 is a top view exemplarily illustrating a form in which components of the multi-band
도 4에 도시된 것처럼, 상기 정전방지부(120), 스위칭부(130), 필터부(140) 및 단자부(150)는 반도체 공정을 통하여 기판(A) 상에 집적된 소자로서, 가령 상기 스위칭부(130)의 경우 다섯개의 신호 경로(Path)를 가지는 SP5T(Single-Pole Five- Throw) RF IC스위치칩으로 구비될 수 있다.As shown in FIG. 4, the
상기 정전방지부(120), 스위칭부(130), 필터부(140) 및 단자부(150)는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 공정 또는 HEMT(High Electron Mobility Transistor) 공정과 같은 반도체 공정을 통하여 기판(A) 상에 구현될 수 있는데, CMOS(Complement MOS)는 P-채널형과 N-채널형의 두 MOS 트랜지스터를 하나의 회로로 구성하여 단위 트랜지스터의 기능을 발휘하게 한 상보형 집적회로로서, 낮은 소비 전력으로 고속의 회로 동작이 가능하다.The
CMOS는 NMOS와 PMOS의 게이트가 서로 연결되고 이들이 입력 단자로 사용되어 PMOS의 드레인과 NMOS의 드레인이 결선되어 출력 단자로 사용되는데, 다음과 같은 공정을 거쳐서 제조된다.In CMOS, NMOS and PMOS gates are connected to each other, and they are used as input terminals, so that the drain of PMOS and the drain of NMOS are connected and used as output terminals.
첫째, n형 실리콘 기판 표면을 얇게 산화시키고, 그 위에 질화막을 증착시킨 후 트랜지스터의 영역을 남긴 채 나머지 질화막을 식각한다. 둘째, 상기 질화막 아래의 산화막을 식각한 후, 마스크를 이용하여 p-웰(well)을 형성하고, 붕소를 이온 주입하여 n채널의 문턱 전압을 조절한다. 셋째, 필드 산화층을 만들고, 질화막과 산화막을 제거하고 얇은 산화막을 다시 성장시킨 후, 다결정 실리콘막을 증착시킨다. 넷째, 마스크 공법을 통하여 다결정 게이트막의 모형을 만들고, PMOS 트랜지스터를 만든다. 다섯째, 인을 이온주입하여 p-웰 내에 NMOS 트랜지스터를 만들고, 화학 증착법을 사용하여 산화층을 형성한 뒤, 마스크를 이용하여 접촉 단자를 형성한다. 마지막으로, 웨이퍼 표면 전체에 알루미늄을 증착시키고 마스크를 이용하여 도선 패턴을 형성한다.First, the surface of the n-type silicon substrate is thinly oxidized, a nitride film is deposited thereon, and the remaining nitride film is etched while leaving a region of the transistor. Second, after etching the oxide film under the nitride film, a p-well is formed using a mask, and boron is implanted to adjust the threshold voltage of the n-channel. Third, after forming the field oxide layer, removing the nitride film and the oxide film and growing the thin oxide film again, a polycrystalline silicon film is deposited. Fourth, a polycrystalline gate film is modeled through a mask method, and a PMOS transistor is made. Fifth, phosphorus is implanted into an NMOS transistor in a p-well, an oxide layer is formed by chemical vapor deposition, and then a contact terminal is formed using a mask. Finally, aluminum is deposited on the entire surface of the wafer and a conductive pattern is formed using a mask.
또한, HEMT는 고농도 불순물(donor)을 첨가한 갈륨비소알루미늄(AlGaAs)를 접합한 반도체의 헤테로 접합계면에 발생하는 2차원 전자가스를 채널로 활용하는 전계효과 트랜지스터(FET; Field Effect Transistor)로서, 이러한 금속화합물 반도체소자는 실리콘형 반도체 소자에서 볼 수 없는 몇 가지 특징을 가진다.In addition, HEMT is a field effect transistor (FET) using a two-dimensional electron gas generated in a heterojunction interface of a semiconductor bonded with gallium arsenide (AlGaAs) to which high concentration impurities are added. Such a metal compound semiconductor device has some characteristics not found in a silicon type semiconductor device.
첫째로, 갈륨비소소자의 특성을 살려 고속으로 동작되는 FET를 구현할 수 있고, 둘째, S밴드에서부터 K밴드에 이르는 마이크로파 밀리파 영역을 처리하는 다단자 반도체 소자로서, 고주파?저잡음?고출력 동작 특성을 구현할 수 있다.Firstly, it is possible to realize a FET that operates at high speed utilizing the characteristics of the gallium arsenide device. Second, it is a multi-terminal semiconductor device that processes the microwave millimeter wave region from the S band to the K band, and has high frequency, low noise, and high output operation characteristics. Can be implemented.
HEMT 공정은 금속화합물반도체의 제조 기법인 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)등의 결정성장기술을 이용하여 헤테로 접합을 형성하고, 헤테로 접합의 계면에 발생하는 2차원 전자가스를 사용하여 고속동작을 구현한다.The HEMT process forms a heterojunction using crystal growth techniques such as metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), which is a metal compound semiconductor manufacturing technique, and achieves high speed operation by using two-dimensional electron gas generated at the interface of the heterojunction. do.
갈륨비소알루미늄과 고순도 갈륨비소의 n형 헤테로 접합계면은 전자친화도의 차이에 의해 에너지 밴드구조로 되며, 고밀도 고이동도(실리콘의 5~6배)의 특성을 가지는 전자를 캐리어로 이용한다. HEMT의 바이어스조건은 저잡음 갈륨비소 FET와 거의 같으며, 잡음지수는 0.25㎙ 게이트의 HEMT가 12GHz에서 0.6kt대이다.The n-type heterojunction interface of gallium arsenide and high purity gallium arsenide has an energy band structure due to the difference in electron affinity, and uses electrons having high density and high mobility (5-6 times that of silicon) as carriers. The bias condition of the HEMT is almost the same as that of the low-noise gallium arsenide FET, and the noise figure is 0.6 kt at 12 GHz.
이와 같이 구현된 상기 정전방지부(120), 스위칭부(130), 필터부(140)는 종래의 핀 다이오드 등을 사용하여 구현된 스위치 회로에 비하여 1/10 수준의 전류를 사용하여 동작되며, 따라서 저전력 프론트앤드모듈의 구성을 가능하게 한다.The
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)이 칩스케일 패키징되어 있는 형태를 예시적으로 도시한 상면도이다.5 is a top view exemplarily illustrating a form in which a multi-band
도 5에 의하면, 상기 기판의 상면 둘레 측으로 안테나 단자(110a), 3개의 수 신 단자(PCS Rx 단자, DCS Rx 단자, GSM Rx 단자)(153, 154, 155), 2개의 송신 단자(DCS/PCS Tx 단자, GSM Tx 단자)(151, 152), 세 개의 제어 전압 단자(132b, 132c, 132d), 그리고 다수개의 접지 단자("G"로 표시됨)가 형성되어 있고, 그 내측으로 전원단자(132a), 접지 단자(G)가 형성되어 있다.According to Fig. 5, the
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)이 구성된 기판의 상면측 일부를 확대도시한 측면도이다.6 is an enlarged side view illustrating a portion of an upper surface side of a substrate on which a multi-band
도 6에 의하면, 상기 단자들이 형성된 측면 구조를 볼 수 있는데, 상기 단자들은 CSP(Chip Scaled Package) 공정을 통하여 기판 상면에 형성되며, 기판 상면 측으로 집적된 정전방지부(120), 스위칭부(130), 필터부(140)를 구성하는 소자들과 비아홀을 통하여 전기적으로 연결된다.Referring to FIG. 6, a side structure in which the terminals are formed can be seen. The terminals are formed on an upper surface of a substrate through a chip scaled package (CSP) process, and the
상기 단자부(150)는 기판 상면 측의 소자들과 통전되기 위하여, 밑으로부터 칩패드(160), 솔더접합패드(173), 재분포(Re-routing)금속패턴(171) 등의 통전수단을 구비하는데, 상기 재분포금속패턴(171)은 솔더접합패드(173)를 연결하는 전송로 패턴의 일종이다.The
그리고, 상기 솔더접합패드(173) 위로는 접합용 솔더볼(172)이 형성되며, 특히, 상기 안테나 단자(110a), 송신 단자(151, 152)와 수신 단자(153, 154, 155) 사이에는 전파 간섭이 발생될 수 있으므로 그 사이에 접지 단자(G)를 형성하여 단자 사이에 신호 커플링이 발생되지 않도록 할 수 있다.In addition, a
이와 같이, 반도체 공정을 통하여 기판 상에 회로를 구성하는 소자들을 형성하고, 칩스케일 패키징됨으로써 단자부의 배치 설계가 용이해지고 본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈은 플립칩 본딩이 가능해진다.As such, by forming the elements constituting the circuit on the substrate through the semiconductor process, and chip-scale packaging, the layout design of the terminal portion is easy, and the multi-band antenna switch module according to the present invention can be flip chip bonding.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)이 반도체 공정을 통하여 집적되는 형태를 예시적으로 도시한 기판층의 측단면도이다.7 is a side cross-sectional view of a substrate layer exemplarily illustrating a form in which a multi-band
도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 다중대역 안테나 스위치 모듈(100)은 기판의 내층으로 NiCr 저항(b2), MIM(Metal-Insulator-Metal) 커패시터(b3)와 같은 수동수자 영역과 능동소자로서 ESFET(Metal Semiconductor Field Effect Transistor)가 형성되는 반도체 소자 영역(b1)이 위치되고, 그 위로 통전로 및 인덕터로 사용되는 메탈 접속층(C), 메탈층(D, E, F)이 층별로 형성된다.Referring to FIG. 7, the multi-band
본 발명의 실시예에 의하면, 상기 기판(A)은 150mm의 두께로서, 반도체 소자 영역(b1)은 약 0.6μm, 상기 메탈접속층(C) 및 메탈층(D, E, F)은 약 9μm의 두께로 형성되며, 상기 메탈층 영역(D, E, F)의 전면 혹은 일부에 절연막(G)이 형성된다.According to an embodiment of the present invention, the substrate A has a thickness of 150 mm, the semiconductor element region b1 is about 0.6 μm, and the metal connection layer C and the metal layers D, E, and F are about 9 μm. The insulating layer G is formed on the entire surface or part of the metal layer regions D, E, and F.
상기 기판(A)은 Si 또는 GaAs와 같은 화합물 반도체 기판이 사용될 수 있으며, 전술한 바와 같이 상기 메탈층(D, E, F)은 최대의 두께로 형성됨으로써 높은 품질 계수의 수동소자의 구현이 가능해진다.As the substrate A, a compound semiconductor substrate such as Si or GaAs may be used, and as described above, the metal layers D, E, and F may be formed to a maximum thickness, and thus, a passive element having a high quality factor may be realized. Become.
상기 정전방지부(120)는 트랜지스터의 접합 다이오드 형태로 구현될 수 있고, 상기 스위칭부(130)는 고속 집적회로로 구현될 수 있으며, 상기 필터부(140)는 인덕터 및 커패시터 등과 같은 반도체 집적형 수동소자로 구현되는 것이 바람직하다.The
본 발명의 실시예에서는, 상기 정전방지부(120), 스위칭부(130), 필터부 (140) 등이 CMOS 공법 또는 HEMT 공법을 통하여 집적된 반도체 소자의 형태로 구현됨으로써 수동소자의 부품 개수를 획기적으로 감소시킬 수 있으며, 하나의 기판 층에 모든 구성부들을 배치하여 실장시킬 수 있게 된다.In the embodiment of the present invention, the
이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications other than those described above are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments of the present invention can be modified and implemented. And differences relating to such modifications and applications will have to be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.
본 발명에 의한 다중대역 안테나 스위치 모듈에 의하면, 수동소자부품을 포함하여 스위칭부와 같은 RF IC칩이 반도체 공정을 통하여 집적될 수 있으므로 회로 구성을 단순화할 수 있고, 설계의 자유도를 높여 표면 실장 공정 또는 본딩 공정과 같은 복잡한 공정 없이 기판 모듈을 제작할 수 있는 효과가 있다.According to the multi-band antenna switch module according to the present invention, since the RF IC chip, such as the switching unit, including the passive components can be integrated through the semiconductor process, the circuit configuration can be simplified, and the design freedom can be increased to increase the surface mounting process. Alternatively, the substrate module may be manufactured without a complicated process such as a bonding process.
또한, 본 발명에 의하면, 보다 작은 크기로서 저전력으로 동작되고, 반도체 공정을 이용하여 생산비용이 절감되고 모듈 제품의 사이즈를 최소화할 수 있으며, 회로를 구성하는 각 구성부의 동작 특성이 개선되는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to operate at a lower power as a smaller size, to reduce the production cost by using a semiconductor process, to minimize the size of the module product, and to improve the operating characteristics of each component constituting the circuit. have.
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