KR101123888B1 - Foup stocker and heat treatment apparatus with the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 풉 적재 장치 및 그를 구비하는 열처리 장치에 관한 것이다.
본 발명의 풉 적재 장치는, 순환 궤도를 형성하며 양측에 대향되도록 한 쌍으로 구비되는 순환 궤도; 양측의 상기 순환 궤도 간을 연결하는 식으로 각기 구비되되 다수개가 상기 순환 궤도를 따라 반복 구비되어 동시에 상기 순환 궤도를 따라 주행 또는 정지되고 각기 일정 개수의 풉을 적재 가능한 다수개의 주행 선반; 및 다수개의 상기 주행 선반을 동시에 주행 및 정지시키는 주행 구동 수단; 을 포함한다.
따라서, 다수개의 선반이 순환 궤도를 따라 주행되면서 위치 전환되는 새로운 방식의 풉 적재 장치가 제공되므로, 순환 궤도의 형태 및 크기를 변경하는 것에 의해 장착될 공간에 유연하게 대응하면서 적정하게 장착될 수 있음과 아울러, 풉의 적재 능력을 충분히 증대시킬 수 있고, 풉 트랜스퍼의 이동 거리를 대폭 줄일 수 있는 효과가 있다. The present invention relates to a pool loading device and a heat treatment device having the same.
Pool loading device of the present invention, the circulation trajectory to form a circulation trajectory and is provided in a pair so as to face both sides; A plurality of traveling shelves each provided in such a manner as to connect the circulation tracks on both sides, the plurality of loops being repeatedly provided along the circulation tracks and simultaneously traveling or stopping along the circulation tracks and stacking a predetermined number of pulls; Traveling driving means for simultaneously traveling and stopping a plurality of said traveling shelves; It includes.
Accordingly, since a new loading device for stacking a plurality of shelves is shifted while traveling along a circular track, it can be appropriately mounted while flexibly responding to the space to be mounted by changing the shape and size of the circular track. In addition, there is an effect that the loading capacity of the pool can be sufficiently increased, and the moving distance of the pool transfer can be greatly reduced.

Description

풉 적재 장치 및 그를 구비하는 열처리 장치{FOUP STOCKER AND HEAT TREATMENT APPARATUS WITH THE SAME}FOUP STOCKER AND HEAT TREATMENT APPARATUS WITH THE SAME}

본 발명은 풉 적재 장치 및 그를 구비하는 열처리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 일정 개수의 풉(FOUP ; Front Opening Unified Pod)을 적재하는 선반들이 순환 궤도를 따라 주행되면서 위치 전환되도록 구성됨으로써, 장착 공간에 유연하게 대처 가능하면서, 풉 적재 능력이 충분히 제고될 수 있는 풉 적재 장치 및 그를 구비하는 열처리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a pull-loading device and a heat treatment device having the same, and more particularly, the shelves for loading a predetermined number of FOUPs (FOUPs) are configured to be shifted in position while traveling along a circular track. The present invention relates to a pool loading device and a heat treatment device having the same, which can flexibly cope with a space and can sufficiently increase the pool loading capacity.

일반적으로, 기판 처리 장치에는 웨이퍼(wafer) 등의 기판을 1매씩 처리하는 매엽식(枚葉式)의 것과 한번에 다수매의 기판을 동시에 처리하는 배치(batch)식의 것이 있다. In general, substrate processing apparatuses include a sheet type for processing a substrate such as a wafer one by one and a batch type for simultaneously processing a plurality of substrates at once.

배치식의 기판 처리 장치에서, 기판은 주로 밀폐형 수납 용기인 FOUP(Front Opening Unified Pod, 이하 "풉"으로 칭함)에 일정 매수씩(예컨대, 25매씩) 수납된 상태에서 장치 내부로 반입되고, 반입된 다수개의 풉으로부터 1배치 분에 해당하는 기판들(예컨대, 70~100매)이 인출되어 동시에 공정 처리된다. In a batch substrate processing apparatus, a substrate is brought into the apparatus in a state where it is stored in a predetermined number of sheets (for example, 25 sheets) in a FOUP (Front Opening Unified Pod, hereinafter referred to as "pulling"), which is a hermetically sealed container. One batch of substrates (for example, 70-100 sheets) are taken out from the plurality of pools and processed at the same time.

풉은 밀폐 가능한 수납 용기로서, 기판이 대기와 접촉되는 것을 차단하여 청정도가 유지되도록 할 수 있고, 기판 처리 장치가 설치되는 크린 룸 내의 청정도를 낮게 설정 가능하도록 할 수 있다. As a sealed hermetically sealed container, it is possible to prevent the substrate from coming into contact with the atmosphere so that cleanliness can be maintained, and the cleanliness in the clean room where the substrate processing apparatus is installed can be set low.

풉은 일 측면이 개폐되는 대략 정육면체 형상의 용기로서, 그 내부에 다수매의 기판이 상하 방향에 따른 다단으로 수납되며, 그 개구부를 통해 기판이 출입되고, 개구부에는 덮개가 탈착 가능하게 구비된다. An approximately cube-shaped container in which one side is opened and closed, wherein a plurality of substrates are accommodated in multiple stages along the vertical direction in the interior thereof, and the substrate enters and exits through the opening, and a cover is detachably provided in the opening.

기판 처리 장치 중에는 기판에 대해 산화, 확산, CVD(Chemical Vapor Deposition), 어닐링(annealing) 등의 처리를 실시하는 열처리 장치가 있으며, 해당 열처리 장치로는 그 가열로의 배치 형태에 따라 수직형(즉, 종형)과 수평형이 있다. Among the substrate processing apparatuses, there is a heat treatment apparatus which performs oxidation, diffusion, chemical vapor deposition (CVD), annealing, etc. on the substrate, and the heat treatment apparatus is vertical (i.e., according to the arrangement of the furnace). , Bell) and horizontal.

도 1을 참조하여, 종형 열처리 장치를 설명한다. With reference to FIG. 1, a vertical heat treatment apparatus is demonstrated.

종형 열처리 장치(100)는, 밀폐되는 내부 공간을 형성하는 것으로 내부 공간을 전방 쪽의 대기 분위기인 풉 반송 보관 영역(114)과 후방 쪽의 불활성 가스 분위기인 기판 이송 영역(116)으로 구획하는 격벽(112)을 갖는 하우징(110)과, 일정 매수의 기판(10)을 수납한 풉(20)이 출납되도록 하우징(110)의 전면 측에 구비되는 풉 로딩 포트(120)와, 풉 로딩 포트(120)로부터 내부로 반입되는 다수개의 풉(20)을 적재하여 버퍼링 목적으로 보관하는 풉 적재 장치(130)와, 일정 매수의 기판(10)을 다단으로 수납한 상태의 보트(170)를 삽입받아 열처리를 수행하는 가열로(180)와, 보트(170)와 기판(10)을 주고 받기 위한 작업 대상의 풉(20)이 위치되는 기판 로딩 포트(150)와, 보트(170)와 기판 로딩 포트(150) 사이에서 기판(10)을 이송하는 기판 이송 기구(160)와, 풉 로딩 포트(120)와 풉 적재 장치(130) 및 기판 로딩 포트(150) 사이에서 풉(20)을 반송하는 풉 트랜스퍼(140)를 포함한다. The vertical heat treatment apparatus 100 forms a sealed interior space, and partitions the interior space into a pull conveying storage region 114 which is an air atmosphere at the front side and a substrate transfer region 116 which is an inert gas atmosphere at the rear side. A housing 110 having a 112, a pull loading port 120 provided on the front side of the housing 110 so that the pool 20 containing a predetermined number of substrates 10 is withdrawn and a pull loading port ( A pull loading device 130 for loading and storing a plurality of pools 20 carried in from the 120 and stored for buffering purposes, and a boat 170 in a state where a predetermined number of substrates 10 are stored in multiple stages is inserted. The heating furnace 180 performing heat treatment, the substrate loading port 150 on which the pool 20 of the work target for exchanging the boat 170 and the substrate 10 is located, the boat 170 and the substrate loading port Substrate transfer mechanism 160 for transferring the substrate 10 between the 150, the pull loading port 120 and the pull loading A pull transfer 140 for conveying the pull 20 between the device 130 and the substrate loading port 150.

여기서, 기판 로딩 포트(150)에는 풉(20)의 덮개를 탈착하기 위한 풉 오프너(미도시)가 구비되며, 가열로(180) 내부로 보트(170)를 삽입하거나 인출하는 작용은 승강 기구(172)에 의해 실시된다. Here, the substrate loading port 150 is provided with a pull opener (not shown) for removing the cover of the pull 20, the action of inserting or withdrawing the boat 170 into the heating furnace 180 is a lifting mechanism ( 172).

작용에 대해 설명하면, 외부로부터 풉 로딩 포트(120)로의 풉(20)의 이송 및 그 역이송은 천정 주행형 반송 장치(OHT), 바닥 주행형 반송 장치(RGV), 손 압박형 반송 장치(PGV) 또는 수작업에 의한 운반 등을 통해 실시된다. Referring to the operation, the transfer of the pull 20 from the outside to the pull loading port 120 and its reverse transfer are performed by the ceiling traveling type conveying device (OHT), the floor traveling type conveying device (RGV), and the hand compression type conveying device ( PGV) or by manual transport.

그리고, 풉 로딩 포트(120), 풉 적재 장치(130) 및 기판 로딩 포트(150) 사이에서의 풉(20)의 반송은 풉 트랜스퍼(140)에 의해 실시되며, 기판 로딩 포트(150)에 위치된 풉(20)과 보트(170) 사이에서의 기판(10) 이송은 기판 이송 기구(160)에 의해 실시된다. The transfer of the pull 20 between the pull loading port 120, the pull loading device 130, and the substrate loading port 150 is performed by the pull transfer 140, and is located at the substrate loading port 150. The transfer of the substrate 10 between the pulled 20 and the boat 170 is performed by the substrate transfer mechanism 160.

보트(170) 내에 기판(10)이 모두 수납되면, 승강 기구(172)에 의해 보트(170)가 가열로(180) 내로 삽입되어 열처리되며, 열처리가 종료되면, 보트(170)가 가열로(180)로부터 인출된 후 열처리 완료된 기판(10)은 역으로 이송되어 풉(20)에 수납된 다음 역으로 반송되어 최종적으로 풉 로딩 포트(120)를 통해 외부로 반출된다. When all of the substrate 10 is accommodated in the boat 170, the boat 170 is inserted into the heating furnace 180 by the lifting mechanism 172, and when the heat treatment is completed, the boat 170 is heated by the heating furnace ( The substrate 10, which has been withdrawn from the substrate 180 and then heat-treated, is transferred to the reverse, accommodated in the pool 20, then transported to the reverse, and finally transported to the outside through the pull loading port 120.

본 발명은 다수개의 풉(20)을 적재하여 원활한 공정 진행을 위한 버퍼링 기능을 수행하는 풉 적재 장치(130)를 대상으로 하며, 해당 풉 적재 장치(130)는 상술한 열처리 장치(100) 이외에 다양한 기판 처리 장치에도 장착된다. The present invention is directed to a pool loading device 130 that performs a buffering function for smooth process progress by loading a plurality of pools 20, the pool loading device 130 is various in addition to the heat treatment device 100 described above It is also attached to a substrate processing apparatus.

예전의 풉 적재 장치(130')는 도 2에 나타낸 바와 같이, 고정식 다단 선반(132)의 형태로 이루어졌으며, 그에 따라 풉(20)을 효율적으로 적재할 수 없고, 풉(20)의 수납 능력을 증대시키는데 큰 한계성이 있으며, 공간 활용성 면에서 불량하여 장치의 풋 프린트(즉, 바닥 점유 면적)를 크게 증가시키고, 풉 트랜스퍼(140)의 이동 거리 및 반송 회수를 증가시키며, 풉 로딩 포트(120)의 구조도 복잡화시키는 등의 여러 문제점이 있었다. The old pull stacking device 130 ′, as shown in FIG. 2, was formed in the form of a fixed multi-stage shelf 132, whereby the pool 20 could not be efficiently loaded and the storage capacity of the pool 20 was retained. There is a big limitation in increasing the efficiency, and in terms of space utilization is poor, which greatly increases the footprint of the device (i.e. floor area), increases the travel distance and the number of transfers of the pull transfer 140, and the pull loading port ( There have been various problems such as complicated structure of 120).

따라서, 개량된 풉 적재 장치(130")로서 도 3에 나타낸 바와 같이, 중심 축을 기준으로 회전되는 회전식 다단 선반(134)이 개발되었으며, 그것은 다단을 이루는 각 선반 판 상에 정사각형 배치로서의 4개 또는 정오각형 배치로서의 5개의 풉(20)이 안착되어 적재되는 방식으로, 적재 선반이 간헐적 회전되어 위치 전환되면서 풉(20)의 출납에 대처한다. Thus, as shown in FIG. 3 as an improved pull stacking device 130 ", a rotary multi-stage lathe 134 has been developed which rotates about a central axis, which is four or four in square arrangement on each multi-stage shelf plate. In the manner in which the five pools 20 as regular pentagonal arrangements are seated and stacked, the loading shelves are intermittently rotated to cope with the take-out of the pools 20.

그러나, 회전식 다단 선반(134) 형태의 풉 적재 장치(130") 또한 풉(20)을 효율적으로 수납할 수 없고, 풉(20)의 수납 능력을 증대시키는데 한계가 있으며, 풉 트랜스퍼(140)의 이동 거리를 증가시키는 등의 문제점이 있었다. However, the pull stacking device 130 ″ in the form of a rotary multi-stage shelf 134 also cannot store the pool 20 efficiently, there is a limit to increasing the storage capacity of the pool 20, and the There was a problem such as increasing the moving distance.

아울러, 이상과 같은 종래의 풉 적재 장치(130', 130")는 그것이 장착되는 기판 처리 장치 내의 공간 형태에 유연하게 대응하면서 장착될 수도 없다. In addition, the above conventional pull-loading apparatus 130 ', 130 "cannot be mounted, responding flexibly to the space shape in the substrate processing apparatus in which it is mounted.

관련하여, 기존에 알려진 풉 적재 장치(130', 130")와 차별화되는 새로운 방식의 것이 개발된다면, 기판 처리 장치의 설계 자유도를 제고시킬 수도 있을 것이다. In this regard, if a new way is developed that differentiates the previously known pull stacking devices 130 ', 130 ", it may be possible to increase the design freedom of the substrate processing device.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 풉의 수납 용량을 충분히 증대시킬 수 있고, 장착될 공간 형태에 유연하게 대응할 수 있으며, 풉 트랜스퍼의 이동 거리를 대폭 줄일 수 있는 새로운 방식의 풉 적재 장치 및 그를 구비하는 열처리 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been devised to solve the above problems, and it is possible to sufficiently increase the storage capacity of the pool, to flexibly respond to the shape of the space to be mounted, and to significantly reduce the moving distance of the pool transfer. It is an object of the present invention to provide a heat stacking device having the pull-loading device and the same.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 본 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다. The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the present invention by those skilled in the art.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 풉 적재 장치는, 순환 궤도를 형성하며 양측에 대향되도록 한 쌍으로 구비되는 순환 궤도; 양측의 상기 순환 궤도 간을 연결하는 식으로 각기 구비되되 다수개가 상기 순환 궤도를 따라 반복 구비되어 동시에 상기 순환 궤도를 따라 주행 또는 정지되고 각기 일정 개수의 풉을 적재 가능한 다수개의 주행 선반; 및 다수개의 상기 주행 선반을 동시에 주행 및 정지시키는 주행 구동 수단; 을 포함한다. The pull-loading apparatus of the present invention for achieving the above object, the circulation trajectory to form a circulation trajectory and is provided in pairs to face both sides; A plurality of traveling shelves each provided in such a manner as to connect the circulation tracks on both sides, the plurality of loops being repeatedly provided along the circulation tracks and simultaneously traveling or stopping along the circulation tracks and stacking a predetermined number of pulls; Traveling driving means for simultaneously traveling and stopping a plurality of said traveling shelves; .

바람직하게, 상기 주행 선반은, 양측의 상기 순환 궤도의 서로 대향되는 위치에 한 쌍으로 결합 구비되어 상기 순환 궤도를 따라 주행되는 주행 차; 및 서로 대향되는 한 쌍의 상기 주행 차 사이에 구비되되 상기 주행 차에 대해 회동 가능하여 자세 변경이 가능하고 일정 개수의 상기 풉을 적재 가능한 단위 선반; 으로 구성될 수 있다. Preferably, the traveling shelf is provided with a pair of cars coupled to each other in a position opposite to each other of the circulation track on both sides running along the circulation track; And a unit shelf provided between the pair of driving cars that face each other, the rotation of the driving car being possible to change a posture, and stacking a number of the pulls; It may be configured as.

또한 바람직하게, 상기 주행 구동 수단은, 회전 구동력을 발생하는 회전 모터; 및 상기 회전 모터의 회전 구동력을 전달받아 회전되되 상기 순환 궤도와 대응되는 순환 형태를 갖고 다수개의 상기 주행 차가 고정되도록 결합되는 순환 구동체; 를 포함하여 구성될 수 있다. Also preferably, the traveling drive means may include a rotary motor for generating a rotational driving force; And a circulation driving body which is rotated by receiving the rotational driving force of the rotary motor and has a circulation form corresponding to the circulation track and is coupled such that a plurality of the traveling cars are fixed. As shown in FIG.

바람직하게, 상기 순환 궤도는, 평행되는 양측의 직선 형태부와 상기 직선 형태부의 단부 간을 양측 단부에서 연결하는 원호 형태부를 갖는 형태일 수 있다. Preferably, the circulation trajectory may be a form having an arc-shaped portion that connects the linear portions on both sides parallel to the ends of the linear portions at both ends.

바람직하게, 상기 주행 선반은, 정방향 및 역방향으로 주행 가능한 것일 수 있다. Preferably, the traveling shelf may be capable of traveling in the forward and reverse directions.

바람직하게, 상기 순환 궤도는, 상하 방향으로 길게 구비되거나 좌우 방향으로 길게 구비될 수 있다. Preferably, the circulation trajectory may be provided long in the vertical direction or long in the left and right directions.

한편, 상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 열처리 장치는, 순환 궤도를 형성하며 양측에 대향되도록 한 쌍으로 구비되는 순환 궤도; 양측의 상기 순환 궤도 간을 연결하는 식으로 각기 구비되되 다수개가 상기 순환 궤도를 따라 반복 구비되어 동시에 상기 순환 궤도를 따라 주행 또는 정지되고 각기 일정 개수의 풉을 적재 가능한 다수개의 주행 선반; 및 다수개의 상기 주행 선반을 동시에 주행 및 정지시키는 주행 구동 수단; 을 포함하는 풉 적재 장치; 를 구비하는 것을 특징으로 한다. On the other hand, the heat treatment apparatus of the present invention for achieving the above object, the circulation trajectory is formed in a pair so as to face the opposite sides and form a circulation trajectory; A plurality of traveling shelves each provided in such a manner as to connect the circulation tracks on both sides, the plurality of loops being repeatedly provided along the circulation tracks and simultaneously traveling or stopping along the circulation tracks and stacking a predetermined number of pulls; Traveling driving means for simultaneously traveling and stopping a plurality of said traveling shelves; Pool loading device comprising a; Characterized in having a.

본 발명에 따르면, 다수개의 선반이 순환 궤도를 따라 주행되면서 위치 전환되는 새로운 방식의 풉 적재 장치가 제공되므로, 순환 궤도의 형태 및 크기를 변경하는 것에 의해 장착될 공간에 유연하게 대응하면서 적정하게 장착될 수 있음과 아울러, 풉의 적재 능력을 충분히 증대시킬 수 있고, 풉 트랜스퍼의 이동 거리를 대폭 줄일 수 있는 효과가 달성될 수 있다. According to the present invention, there is provided a pull-loading device of a new way in which a plurality of shelves are shifted while traveling along a circular track, so that they can be appropriately mounted while flexibly corresponding to the space to be mounted by changing the shape and size of the circular track. In addition to this, the effect of sufficiently increasing the load capacity of the pull and greatly reducing the moving distance of the pull transfer can be achieved.

도 1은 종래의 열처리 장치를 나타내는 도면,
도 2는 종래의 열처리 장치에 구비되는 풉 적재 장치의 일 예를 나타내는 도면,
도 3은 종래의 열처리 장치에 구비되는 풉 적재 장치의 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 풉 적재 장치를 나타내는 도면,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 풉 적재 장치를 나타내는 도면,
도 6과 도 7은 본 발명에 따른 풉 적재 장치가 장착되는 열처리 장치를 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a conventional heat treatment apparatus,
2 is a view showing an example of a pull stacking device provided in a conventional heat treatment apparatus;
3 is a view showing another example of a pull stacking device provided in a conventional heat treatment apparatus;
4 is a view showing a pull-loading device according to a preferred embodiment of the present invention,
5 is a view showing a pull stacking device according to another embodiment of the present invention,
6 and 7 are views showing a heat treatment apparatus to which the pool loading device according to the present invention is mounted.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 풉 적재 장치는 각기 일정 개수의 풉을 적재할 수 있는 선반들이 순환 궤도를 따라 연이어지게 주행되면서 위치 전환되는 방식이다. The pull loading device according to the present invention is a way in which the shelves capable of loading a predetermined number of pulls are shifted in position while traveling in series along a circulation track.

도 4와 도 5는 본 발명에 따른 풉 적재 장치를 나타낸다. 4 and 5 show a pool loading apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 풉 적재 장치(230)는, 순환 궤도를 형성하며 양측에 대향되도록 한 쌍으로 구비되는 순환 궤도(232)와, 양측 순환 궤도(232) 간을 연결하는 식으로 각기 구비되되 다수개가 순환 궤도(232)를 따라 반복 구비되어 동시에 순환 궤도(232)를 따라 주행 또는 정지되고 각기 일정 개수의 풉(20)을 적재 가능한 다수개의 주행 선반(234)과, 다수개의 주행 선반(234)을 동시에 주행 또는 정지시키는 주행 구동 수단(236)을 포함한다. Pool loading device 230 according to the present invention, the circulation track 232 formed in a pair to form a circular track and opposed to both sides, and each provided in such a way to connect between the two circular track 232, a plurality of A plurality of traveling shelves 234 and a plurality of traveling shelves 234 which are repeatedly provided along the circulation track 232 and simultaneously traveling or stopping along the circulation track 232 and stacking a predetermined number of pulls 20, respectively. Travel driving means 236 for traveling or stopping at the same time.

순환 궤도(232)는 바람직하게, 평행되는 양측의 직선 형태부와, 해당 직선 형태부의 단부 간을 양측 단부에서 연결하는 원호 형태부를 갖는 형태로 이루어질 수 있으며, 그것은 주행 레일(232a)을 구비할 수 있다. The circulation track 232 may preferably be of a type having a straight line portion on both sides parallel to each other and an arc shape portion connecting at both ends the ends of the straight line portion, which may include a traveling rail 232a. have.

주행 선반(234)은 다수개가 순환 궤도(232)를 따라 반복 구비되어 그 다수개가 동시에 주행 또는 정지되면서 위치 전환된다. A plurality of traveling shelves 234 are repeatedly provided along the circulation track 232 so that the plurality of traveling shelves 234 are switched at the same time while the plurality of traveling shelves 234 are driven or stopped at the same time.

각 주행 선반(234)은 구체적으로, 양측 순환 궤도(232)의 서로 대향되는 위치에 한 쌍으로 결합 구비되어 순환 궤도(232)를 따라 주행되는 주행 차(car)(234a)와, 한 쌍의 주행 차(234a) 사이에 구비되되 주행 차(234a)에 대해 회동 가능하여 자세 변경이 가능하고 일정 개수의 풉(20)을 적재 가능한 단위 선반(234b)으로 이루어진다. Specifically, each of the traveling shelves 234 is provided with a pair of couplings provided at opposite positions of both circulation tracks 232 and traveling along the circulation track 232 and a pair of cars. It is provided between the traveling car 234a, but can be rotated with respect to the traveling car 234a, the posture can be changed, and the unit shelf 234b capable of stacking a predetermined number of spools 20.

여기서, 주행 차(234a)는 구름 바퀴(234a-1)를 구비하여 순환 궤도(232) 상의 주행 레일(232a)에 대해 안내되면서 구름 주행될 수 있다. Here, the traveling car 234a may be provided with a rolling wheel 234a-1 to guide the traveling rail 232a on the circulation track 232 while traveling in rolling.

주행 구동 수단(236)은 주행 선반들(234)을 동시에 주행시키는 구동력을 발생하여 전달한다. The driving drive means 236 generates and transmits a driving force for traveling the traveling shelves 234 at the same time.

그것은 구체적으로, 주행 구동력을 발생하는 회전 모터(236a)와, 회전 모터(236a)의 회전 구동력을 전달받아 회전되되 순환 궤도(232)와 대응되는 순환 형태를 갖고 다수개의 주행 차(234a)가 해당하는 위치 마다에서 고정되도록 결합되는 체인 등의 순환 구동체(236d)를 포함하도록 이루어질 수 있다. Specifically, the rotary motor 236a which generates the driving force and the rotational driving force of the rotary motor 236a are rotated while having a circular shape corresponding to the circulation track 232. It may be made to include a circular drive body 236d such as a chain coupled to be fixed at every position.

도면에서, 도면 부호 236b는 회전 모터(236a)의 회전 구동력을 직접 전달받아 회전되는 구동 스프래킷이고, 도면 부호 236c는 자유롭게 회전되는 종동 스프래킷이며, 도면 부호 236e는 체인 등의 순환 구동체(236d)의 이동을 안내하고 그 형태를 유지시켜 주는 안내 지지 부재이다. In the drawing, reference numeral 236b denotes a drive sprocket which is rotated by being directly received by the rotational driving force of the rotary motor 236a, reference numeral 236c denotes a driven sprocket that rotates freely, and reference numeral 236e denotes a circular driving body 236d such as a chain. It is a guide support member that guides the movement and maintains its shape.

바람직하게, 회전 모터(236a)는 정회전 및 역회전이 가능하여 주행 선반(234)이 정방향 및 역방향으로 주행 가능하며, 그에 따라 풉(20)을 출납 위치로 신속하게 위치시킬 수 있다. Preferably, the rotary motor 236a is capable of forward rotation and reverse rotation so that the traveling shelf 234 can travel in the forward and reverse directions, thereby quickly positioning the pull 20 to the cashier position.

나아가, 도 6과 도 7은 본 발명에 따른 풉 적재 장치가 장착되는 열처리 장치를 나타낸다. 6 and 7 show a heat treatment apparatus to which the pool loading device according to the present invention is mounted.

바람직하게, 가장 하부 측에 위치되는 주행 선반(234)에 대해 풉 트랜스퍼(140)에 의한 풉(20)의 출납이 실시되며, 따라서 풉 트랜스퍼(140)의 이동 거리가 대폭 축소될 수 있다. Preferably, the withdrawal of the pull 20 by the pull transfer 140 is performed with respect to the travel shelf 234 located at the lowermost side, and thus the moving distance of the pull transfer 140 can be greatly reduced.

상술한 실시예에서는 순환 궤도(232)가 상하 방향으로 길게 구비되고 그것에 직교되도록 주행 선반(234)이 좌우 방향으로 길게 구비되어 풉들(20)이 주행 선반(234) 상의 좌우로 배열 적재되는 수직 순환 구조의 것을 나타내었으나, 이와 반대로, 순환 궤도(232)가 좌우 방향으로 길게 구비되고 그것에 직교되도록 주행 선반(234)이 상하 방향으로 길게 구비되어 풉들(20)이 주행 선반(234) 상의 상하로 적재되는 수평 순환 구조로도 구현될 수 있음은 당연한다. In the above-described embodiment, the circulation track 232 is provided long in the vertical direction, and the travel shelf 234 is provided in the left and right direction to be orthogonal to the vertical circulation so that the pulleys 20 are arranged side by side on the travel shelf 234. Although shown in the structure, on the contrary, the travel shelf 234 is provided long in the vertical direction so that the circulation track 232 is provided in the left and right direction and orthogonal thereto so that the pulleys 20 are loaded up and down on the travel shelf 234. Of course, it can also be implemented as a horizontal circular structure.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.In the foregoing description, it should be understood that those skilled in the art can make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention as merely illustrative of a preferred embodiment of the present invention.

230 : 풉 적재 장치 232 : 순환 궤도
232a : 주행 레일 234 : 주행 선반
234a : 주행 차 234a-1 : 구름 바퀴
234b : 단위 선반 236 : 주행 구동 수단
236a : 회전 모터 236b : 구동 스프래킷
236c : 종동 스프래킷 236d : 순환 구동체
236e : 안내 지지 부재 20 : 풉(FOUP)230: unloading device 232: circular track
232a: travel rail 234: travel shelf
234a: driving car 234a-1: rolling wheels
234b: unit shelf 236: driving drive means
236a: rotary motor 236b: drive sprocket
236c: driven sprocket 236d: circular drive
236e: guide support member 20: FOUP

Claims (7)

순환 궤도를 형성하며 양측에 대향되도록 한 쌍으로 구비되는 순환 궤도;
양측의 상기 순환 궤도 간을 연결하는 식으로 각기 구비되되 다수개가 상기 순환 궤도를 따라 반복 구비되어 동시에 상기 순환 궤도를 따라 주행 또는 정지되고 각기 일정 개수의 풉을 적재 가능한 다수개의 주행 선반; 및
다수개의 상기 주행 선반을 동시에 주행 및 정지시키는 주행 구동 수단; 을 포함하며,
상기 주행 선반은,
양측의 상기 순환 궤도의 서로 대향되는 위치에 한 쌍으로 결합 구비되어 상기 순환 궤도를 따라 주행되는 주행 차; 및
서로 대향되는 한 쌍의 상기 주행 차 사이에 구비되되 상기 주행 차에 대해 회동 가능하여 자세 변경이 가능하고 일정 개수의 상기 풉을 적재 가능한 단위 선반; 으로 구성되고,
상기 주행 구동 수단은,
회전 구동력을 발생하는 회전 모터; 및
상기 회전 모터의 회전 구동력을 전달받아 회전되되 상기 순환 궤도와 대응되는 순환 형태를 갖고 다수개의 상기 주행 차가 고정되도록 결합되는 순환 구동체; 를 포함하여 구성되며,
상기 순환 궤도는,
평행되는 양측의 직선 형태부와 상기 직선 형태부의 단부 간을 양측 단부에서 연결하는 원호 형태부를 갖는 형태이고,
상기 주행 선반은,
정방향 및 역방향으로 주행 가능한 것을 특징으로 하는 풉 적재 장치.A circulation trajectory which forms a circulation trajectory and is provided in pair so as to face both sides;
A plurality of traveling shelves each provided in such a manner as to connect the circulation tracks on both sides, the plurality of loops being repeatedly provided along the circulation tracks and simultaneously traveling or stopping along the circulation tracks and stacking a predetermined number of pulls; And
Travel drive means for simultaneously traveling and stopping a plurality of said travel shelves; Including;
The traveling shelf,
A traveling car coupled to a pair of positions at opposite sides of the circulation track on both sides and traveling along the circulation track; And
A unit shelf provided between the pair of driving cars which face each other, the unit shelves being rotatable with respect to the driving cars and capable of changing a posture and stacking a number of the pulls; Consisting of,
The driving drive means,
A rotary motor for generating a rotational driving force; And
A circulation drive body which is rotated by receiving the rotational driving force of the rotary motor and has a circulation form corresponding to the circulation track and is coupled such that a plurality of the traveling cars are fixed; And,
The circulation track,
It is a form which has the circular-arc part which connects between the linear part of both sides parallel and the edge part of the said linear part in both ends,
The traveling shelf,
A pull-loading device, which can run in the forward and reverse directions. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 순환 궤도는,
상하 방향으로 길게 구비되거나 좌우 방향으로 길게 구비되는 것을 특징으로 하는 풉 적재 장치. The method of claim 1,
The circulation track,
The pull-up device characterized in that it is provided long in the vertical direction or long in the left and right directions. 순환 궤도를 형성하며 양측에 대향되도록 한 쌍으로 구비되는 순환 궤도;
양측의 상기 순환 궤도 간을 연결하는 식으로 각기 구비되되 다수개가 상기 순환 궤도를 따라 반복 구비되어 동시에 상기 순환 궤도를 따라 주행 또는 정지되고 각기 일정 개수의 풉을 적재 가능한 다수개의 주행 선반; 및
다수개의 상기 주행 선반을 동시에 주행 및 정지시키는 주행 구동 수단; 을 포함하는 풉 적재 장치; 를 구비하며,
상기 주행 선반은,
양측의 상기 순환 궤도의 서로 대향되는 위치에 한 쌍으로 결합 구비되어 상기 순환 궤도를 따라 주행되는 주행 차; 및
서로 대향되는 한 쌍의 상기 주행 차 사이에 구비되되 상기 주행 차에 대해 회동 가능하여 자세 변경이 가능하고 일정 개수의 상기 풉을 적재 가능한 단위 선반; 으로 구성되고,
상기 주행 구동 수단은,
회전 구동력을 발생하는 회전 모터; 및
상기 회전 모터의 회전 구동력을 전달받아 회전되되 상기 순환 궤도와 대응되는 순환 형태를 갖고 다수개의 상기 주행 차가 고정되도록 결합되는 순환 구동체; 를 포함하여 구성되며,
상기 순환 궤도는,
평행되는 양측의 직선 형태부와 상기 직선 형태부의 단부 간을 양측 단부에서 연결하는 원호 형태부를 갖는 형태이고,
상기 주행 선반은,
정방향 및 역방향으로 주행 가능한 것을 특징으로 하는 열처리 장치.A circulation trajectory which forms a circulation trajectory and is provided in pair so as to face both sides;
A plurality of traveling shelves each provided in such a manner as to connect the circulation tracks on both sides, the plurality of loops being repeatedly provided along the circulation tracks and simultaneously traveling or stopping along the circulation tracks and stacking a predetermined number of pulls; And
Travel drive means for simultaneously traveling and stopping a plurality of said travel shelves; Pool loading device comprising a; Equipped with
The traveling shelf,
A traveling car coupled to a pair of positions at opposite sides of the circulation track on both sides and traveling along the circulation track; And
A unit shelf provided between the pair of driving cars which face each other, the unit shelves being rotatable with respect to the driving cars and capable of changing a posture and stacking a number of the pulls; Consisting of,
The driving drive means,
A rotary motor for generating a rotational driving force; And
A circulation drive body which is rotated by receiving the rotational driving force of the rotary motor and has a circulation form corresponding to the circulation track and is coupled such that a plurality of the traveling cars are fixed; And,
The circulation track,
It is a form which has the circular form part of the both sides parallel and the edge part of the said linear form part connected in parallel at both ends,
The traveling shelf,
A heat treatment apparatus characterized by being capable of traveling in the forward and reverse directions.
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