KR101117288B1 - 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 클린룸을 냉각시키기 위하여 냉각수가 흐르는 수 배관의 깨끗한 정화수를 고압으로 분사시켜 클린룸의 습도를 조절할 수 있도록 설계 제작함으로써 전기에너지, 유지 및 설치비용을 절감할 수 있도록 하는데 그 목적 및 효과가 있다.
본 발명은 클린룸 내부의 습도를 일정하게 제어하기 위한 것으로, 클린룸에는 클린룸을 냉각시키기 위하여 냉각수가 흐르는 수 배관이 설치되어 있고, 수 배관에 흐르는 깨끗한 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하는 습도제어용 배관이 수 배관과 연결 설치되며, 수 배관에 연결 설치된 습도제어용 배관 일측에는 물의 흐름을 제어할 수 있는 전자밸브가 설치되고, 상기 전자밸브가 설치된 뒷단에는 분사노즐이 설치되며, 상기 수 배관에는 수 배관의 수압을 감지하기 위한 무전원 접점 또는 수압센서가 설치되어 있다.
수 배관, 습도센서, 공기배관, 전자밸브, 분사노즐, 수압센서

Description

수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치{A Clean Room Humidity Control Apparatus Using the Water Pipe}
본 발명은 클린룸 내부의 습도를 일정하게 제어하기 위하여 클린룸에 설치된 수 배관을 흐르는 깨끗한 냉각 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하는 습도제어용 배관이 수 배관과 연결 설치되며, 수 배관과 연결 설치된 배관 일측에는 물의 흐름을 제어할 수 있는 전자밸브가 설치되고, 전자밸브 뒷단에는 물 분사를 위한 분사노즐이 설치되며, 상기 전자밸브 전단에는 분사노즐로 분사되는 물이 안개분무를 이루기 위한 압력을 유지하기 위하여 수 배관 또는 수 배관과 공기배관의 압력을 일정 압력을 이상을 유지할 수 있도록 구성되어 있고, 클린룸 내부의 습도를 측정하기 위한 습도센서가 클린룸 내부 일측에 설치되어 전자밸브와 연동하여 클린룸 내부의 습도를 일정하게 제어하도록 설계 제작된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치에 관한 것이다.
종래기술은 클린룸 내부의 습도를 일정하게 유지하기 위하여 물을 가열하여 스팀을 발생시키는 방법을 사용하였으며, 이 방법은 스팀을 생성하기 위하여 가열장치로 가열하기 위한 전기에너지 비용이 증가하고, 또한 스팀을 발생하기 위하여 가열하는 동안에 발생하는 열과 분사되는 스팀의 온도에 의하여 클린룸 내부의 온도가 상승하므로 이를 냉각시켜 클린룸 내부의 온도를 일정하게 유지하기 위한 별도의 전기에너지가 더 투입되어야 하므로 전기에너지 소모량이 크게 증가하는 문제점이 있다.
또한, 종래기술은 클린룸의 습도를 일정하게 제어하기 위하여 별도의 습도 제어를 위한 가열장치 및 물 저장탱크를 설치함에 따른 설치공간이 필요하고, 별도의 습도조절용 물을 저장하는 저장탱크와 스팀으로 만들기 위하여 물을 가열하기 위한 가열장치의 설치에 따른 습도제어장치의 설치비용이 많이 소요되며, 유지 및 관리비용이 증가하는 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 클린룸 내부의 습도를 일정하게 유지하기 위하여 클린룸 주위를 흐르는 냉각수를 이용하여 이를 클린룸 내부에 고압으로 미세한 물방울로 안개처럼 분무시켜 습도를 제어하도록 설계 제작하므로 종래의 스팀증기를 이용하여 습도를 제어하는 기술적 구성 및 작용과 대비하여 전기에너지 및 유지보수비용을 크게 절약하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 클린룸을 냉각시키기 위하여 깨끗한 냉각수가 흐르는 수 배관 또는 공기배관을 이용하여 물을 분사시켜 습도를 제어하므로 별도의 습도 제어를 위한 장치를 설치함에 따른 설치공간을 절약하고, 별도의 습도조절용 물을 저장하기 위한 저장탱크와 스팀으로 만들기 위하여 가열하기 위한 가열장치를 설치할 필요가 없으므로 설치비용을 절감하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 분사노즐을 통해서 물이 분사될 때 안개분무가 이루어질 수 있도록 수압 및/또는 공기압을 설정된 값 이상으로 유지하고, 분사노즐을 통해서 분무 시에 물방울이 5 ㎛이하의 직경을 가진 안개분무가 이루어져 물방울이 바닥에 형성되는 것을 방지하는데 있다.
본 발명 과제의 해결수단은 클린룸 내부의 습도를 일정하게 제어하기 위하여 클린룸을 냉각시키기 위하여 수 배관의 깨끗한 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하여 물을 분사하여 습도를 제어하기 위한 습도제어용 배관이 수 배관과 연결되 어 설치되며, 수 배관과 연결 설치된 습도제어용 배관 일측에는 물의 흐름을 제어할 수 있는 전자밸브가 설치되고, 상기 습도제어용 배관에 설치된 전자밸브의 뒷단에는 분사노즐이 설치되며, 상기 수 배관 내부의 압력이 낮을 경우에 전자밸브의 전단에 수압증가용 펌프를 설치할 수 있고, 클린룸 내부의 습도를 측정하기 위한 습도센서가 클린룸 내부 일측에 설치되며, 상기 습도센서와 전자밸브와 연동하여 습도를 일정하게 제어하도록 설계 제작된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 과제의 해결수단은 수 배관의 일측에 수압을 측정할 수 있는 수압센서를 설치하거나 무전원 접점 신호 입력 방법으로 수압이 설정된 값보다 낮을 경우에는 전자밸브가 열리지 않도록 구성하여 분사노즐을 통해서 물을 분사할 경우에 안개분무가 이루어져 분무된 미세 물방울이 신속하게 공기 속으로 증발되도록 설계 제작된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치를 제공하는데 있다.
본 발명 또 다른 과제의 해결수단은 전자밸브의 입력단에 수 배관과 공기배관을 연결하고 공기배관의 일측에는 컴퓨레샤를 설치하여 고압으로 공기와 물을 분사노즐로 분사하여 클린룸 습도제어장치를 제공하는데 있다.
본 발명 또 다른 과제의 해결수단은 습도제어장치의 제어부에는 원칩 마이크로컴퓨터 또는 마이크로프로세서와 메모리를 구비하고 제어프로그램이 탑재되어 있고, 습도를 설정 입력할 수 있는 입력부를 구비하며, 습도 및 습도제어장치의 상태를 표시하기 위한 표시부를 구비하고, 습도센서로부터 측정된 데이터를 수신하며, 수 배관의 수압과 공기배관의 공기압을 측정하는 센서로부터 각각의 압력데이터를 수신하고, 전자밸브의 상태를 감시하며, 전자밸브를 제어하기 위한 신호를 출력하고, 외부기기와 통신할 수 있는 클린룸 습도제어장치를 제공하는데 있다.
본 발명은 클린룸 내부의 습도를 일정하게 유지하기 위하여 클린룸의 냉각수를 이용하여 이를 클린룸 내부에 고압으로 안개와 같이 미세한 물방울로 분사시켜 습도를 제어하도록 설계 제작하므로 종래의 스팀증기를 이용하여 습도를 제어하는 기술적 구성 및 작용과 대비하여 전기에너지를 1/10 ㎏/㎠ 정도로 크게 줄일 수 있고, 유지보수비용을 크게 절약할 수 있는 작용효과가 있다.
본 발명의 또 다른 효과는 클린룸을 냉각시키기 위하여 깨끗한 냉각수가 흐르는 수 배관의 물을 이용하여 습도를 제어하므로 별도의 습도 제어를 위한 장치를 설치함에 따른 설치공간을 절약하고, 별도의 습도조절용 물을 저장하기 위한 저장탱크와 스팀으로 만들기 위하여 가열하기 위한 가열장치를 설치할 필요가 없으며, 수 배관 및 공기배관의 압력 측정을 무전원 접점 신호 입력방식을 사용할 경우에 설치비용을 절감할 수 있다.
본 발명의 또 다른 효과는 분사노즐을 통해서 물이 분사될 때 안개분무가 이루어질 수 있도록 분사노즐로 물을 분할 때 수압 및/또는 공기압을 설정된 값 이상으로 유지한 후 분사하여 물방울이 5 ㎛이하의 직경을 가진 안개분무를 형성시켜 물방울이 바닥에 떨어지는 것을 방지하는데 있다.
본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용에 대하여 살펴본다. 본 발명은 클린룸 내부의 습도를 일정하게 제어하기 위하여 클린룸을 냉각시키기 위하여 설치된 냉각수가 흐르는 수 배관의 깨끗한 정화수를 이용하며, 이를 위하여 습도제어용 배관을 수 배관에 연결 설치하여 분사노즐을 통해서 클린룸 내부에 물을 분사시켜 습도를 제어하도록 설계 제작된 클린룸 습도제어장치이다.
본 발명에 따른 클린룸 습도제어장치를 이루기 위하여서는 상기 클린룸을 냉각하기 위하여 설치된 수 배관을 통해서 흐르는 깨끗한 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하기 위한 습도제어용 배관이 수 배관과 연결 설치되며, 수 배관과 연결 설치된 습도제어용 배관 일측에는 습도제어에 필요한 물을 공급하거나 차단하기 위한 전자밸브가 설치되어 있다.
상기 전자밸브가 설치된 뒷단에는 분사노즐이 설치되며, 상기 분사노즐 전단에는 수 배관의 내부 수압이 낮을 경우에 수압을 설정된 값 이상으로 높여서 분사노즐을 통해서 분사시켜 분사되는 물방물이 안개처럼 미세하게 형성하기 위하여 컴퓨레샤에 의하여 높은 공기압을 유지하고 있는 공기배관과 연결하여 물과 공기를 동시에 분사하거나 수 배관 일측에 별도의 수압증가용 펌프를 설치할 수도 있다.
클린룸 내부에는 습도를 측정하기 위한 습도센서가 클린룸 내부 일측에 설치되어 상기 전자밸브와 연동하도록 장치제어 부에서 제어하여 설정된 습도 값을 일정하게 유지하도록 설계 제작되어 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예의 구성과 작용을 설명하며, 도면에 도시되고 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나 이상의 실시 예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해 상기한 본 발명의 기술적 사상과 그 핵 심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.
본 발명의 이해를 용이하게 하는 도면을 살펴본다. 도1은 클린룸 습도제어장치의 제어부를 블록도로 도시한 도면이며, 도2는 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 전자밸브, 습도센서, 수압 및 공기압 센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도이다. 도3은 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 수압증가용 펌프, 전자밸브, 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도이며. 도4는 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 공기배관, 전자밸브, 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도를 도시한 것이다. 도5는 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 공기배관, 압력펌프, 컴퓨레샤, 전자밸브, 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도이다. 본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 살펴본다.
<실시 예>
<실시 예1>
본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 도면에 기초하여 살펴본다. 도1은 클린룸 습도제어장치의 제어부를 도시한 블록도이며, 도2는 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 전자밸브(하나의 예로 솔레노이드 밸브), 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도이다. 본 발명에 따른 실시 예1은 클린룸을 냉각시키기 위하여 냉각수가 흐르는 수 배관의 내부의 수압이 전자밸브를 통과하여 분사노즐로 분사될 때 안개처럼 분사될 수 있는 충분한 압력일 경우에는 분사 시 압력을 높이기 위한 별도의 수압 증가용 펌프 등이 필요하지 않은 클린룸 습도제어장치에 관한 것이다.
종래에는 클린룸 내부의 습도를 일정하게 유지하기 위하여 물을 가열하여 스팀을 발생시키는 방법을 사용하므로 스팀을 생성하기 위하여 가열장치로 가열하기 위한 전기에너지 비용이 증가하고, 또한 스팀을 발생하기 위하여 가열하는 동안에 발생하는 열과 분사되는 스팀의 온도에 의하여 클린룸 내부의 온도가 상승하므로 이를 냉각시켜 클린룸 내부의 온도를 일정하게 유지하기 위한 전기에너지가 투입되어야 하므로 전기에너지 소모량이 크게 증가하고, 설치공간 및 비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.
상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 클린룸 습도제어장치의 제어부(11)에는 도1에서와 같이 원칩 마이크로컴퓨터 또는 마이크로프로세서(12)와 메모리(13)를 구비하고, 본 발명에 따라 설계된 제어프로그램이 탑재되어 있으며, 입력버튼을 이용하여 습도를 설정 입력할 수 있는 입력부(22)를 구비하며, 현재습도, 입력되는 문자표시를 위해서 FND 또는 LCD를 사용하고 장치의 상태를 표시하기 위한 LED로 구성된 표시부(14)를 구비하고, 습도센서로부터 측정된 데이터를 수신하기 위한 습도수신 부(19)를 구비하며, 수 배관의 수압을 수압센서로 측정 입력하는 수압수신 부(20)를 구비하고, 공기배관의 공기압을 측정하는 공기압센서로부터 측정 입력하는 공기압수신 부(21)를 구비하며, 외부기기와 신호를 주고받으면서 통신할 수 있는 통신부(23)를 구비하고, 무전원 접점으로부터 발생하는 신호를 수신하기 위한 무전원 접점 디지털 입력단자(16)를 구비하며, 전자밸브의 온 또는 오프 상태를 감시하는 감시단자(17)를 구비하고, 전자밸브의 출력을 제어하기 위한 단자(18)를 구비하고 있다.
본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 상기 클린룸 습도제어장치의 제어부(11)를 채용하여 클린룸 내부의 습도를 일정하게 제어하기 위하여 클린룸을 냉각시키기 위하여 깨끗한 냉각수가 흐르는 수 배관의 물을 클린룸 내부에 설치된 분사노즐을 통해서 분사시켜 습도를 제어하도록 설계 제작되어 있다.
본 발명에 따른 클린룸 습도제어장치를 이루기 위하여서는 도2에서와 같이 클린룸을 냉각하기 위하여 설치된 수 배관(31)에 흐르는 깨끗한 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하기 위한 습도제어용 배관(32)이 수 배관(31)과 연결 설치되며, 수 배관(31)과 연결 설치된 습도제어용 배관(32) 일측에는 습도제어에 필요한 물을 공급하거나 차단하기 위한 전자밸브(33)가 설치되어 있다.
상기 전자밸브(33)가 설치된 뒷단에는 분사노즐(34)이 설치되며, 상기 분사노즐 전단에는 분사노즐(34)을 통해서 분사되는 물방물이 미세하게 형성되어 안개처럼 분사되도록 구성되어 있다. 클린룸의 크기와 구조에 따라 전자밸브와 분사노즐은 하나의 쌍으로 설치되거나 하나의 전자밸브를 사용하여 다수의 분사노즐을 제어할 수 있도록 구성할 수 있다.
클린룸 내부에는 클린룸의 습도를 일정하게 유지하기 위하여 습도를 측정하기 위한 습도센서(35)가 내부 일측에 설치되어 있고, 습도센서(35)에서 측정된 습도는 습도수신 부(도1의 19)를 통해서 실시간으로 장치제어 부(36)로 입력되어 장치제어 부(36)에 설정된 값과 비교하여 측정된 습도가 높을 경우에는 전자밸브(33) 를 닫아서 습도를 낮추고, 측정된 습도가 설정된 값보다 낮을 경우에는 전자밸브(33)를 열어서 분사노즐(34)을 통해서 물을 분사시켜서 클린룸의 습도를 높일 수 있도록 구성되어 클린룸의 습도를 일정하게 유지하도록 구성되어 있다.
물이 분사노즐(34)을 통하여 분사될 때 5 ㎛이하의 직경을 가진 물방울을 형성하여 안개분무를 이루기 위하여 설정되는 수압은 10 ㎏/㎠ 이상으로 유지하는 것이 바람직하며, 이를 이루기 위하여 전자밸브(33)가 설치된 전단의 배관 일측에 수압을 측정하기 위한 수압센서(37)를 설치하여 수압이 설정된 값 이상일 때 전자밸브(33)가 작동할 수 있도록 구성하거나 무 전원 접점을 이용하여 수 배관의 수압이 일정 수준이하로 떨어질 경우에 접점이 떨어지거나 단락이 되도록 구성하여 장치제어 부(11)의 무전원 접점 디지털 입력단자(16)로 신호가 입력되도록 구성하여 입력된 신호에 의하여 분사노즐을 통한 물 분사가 중지되도록 구성할 수 있다.
통상의 클린룸에 설치된 수 배관의 수압은 분사노즐을 통해서 분사시킬 경우에 안개분무를 형성할 수 있는 정도의 압력을 유지하므로 상기 무전원 접점을 설치하여 수 배관의 수압이 일정 수준이하로 떨어질 때 접점이 단락되어 하이레벨(5V)의 신호가 장치제어 부(11)의 무전원 접점 디지털 입력단자(16)로 입력되어 분사노즐을 통한 물 분사가 중지되도록 구성하거나 수 배관의 수압이 일정 수준이하로 떨어질 때 접점이 오픈되어 로우레벨(0V)의 신호가 장치제어 부(11)의 무전원 접점 디지털 입력단자(16)로 입력되어 분사노즐을 통한 물 분사가 중지되도록 구성할 수 있다.
상기 클린룸의 습도를 일정하게 제어하기 위한 장치제어 부(36)는 습도센 서(35)에서 측정한 습도를 습도수신 부(도1의 19)를 통해서 수신하며, 수신된 습도와 장치제어 부(36)에 설정된 습도 값을 서로 비교하여 측정된 습도가 설정된 값보다 높을 경우에는 전자밸브(33)를 닫아서 습도를 낮추고, 측정된 습도가 설정된 값보다 낮을 경우에는 전자밸브(33)를 열어서 분사노즐(34)을 통해서 물을 분사시켜 클린룸의 습도를 높일 수 있도록 구성하되, 이러한 기술적 구성은 아날로그 전자회로, 원칩 마이크로컴퓨터 및 마이크로프로세서와 메모리 중에서 하나를 선택하여 구성할 수 있으며, 마이크로컴퓨터와 마이크로프로세서를 이용하여 구성할 경우에는 메모리에 본 발명에 따라 설계 제작된 제어프로그램을 탑재시켜 구성할 수 있다.
상기 장치제어 부(36)에는 습도 및 수압 등을 설정하기 위한 설정 값을 입력버튼을 이용하여 입력하기 위한 입력부(22)와 장치를 제어하기 위한 제어버튼을 구비하며, 입력부(22)를 통해서 입력 설정된 값은 메모리에 저장되도록 구성되어 있으며, 상기 장치제어 부(11)는 통상의 리모콘과 연동할 수 있도록 설계 제작할 수 있다.
<실시 예2>
실시 예2는 실시 예1에서 수 배관(31)의 내부 압력에 의하여 전자밸브(33)를 열어서 분사노즐(34)을 통해서 물을 분사할 때 분사압력이 약해서 안개분무가 이루어지지 않을 때 분사압력을 높일 수 있도록 전자밸브(33) 전단에 수압증가용 펌프(38)를 설치한 경우이다. 도3에서 수압증가용 펌프(38)는 클린룸의 습도 조절을 위하여 분사노즐(34)을 통해서 분사되는 수압을 증가시켜 분사노즐(34)을 통해서 물을 분사할 때 안개처럼 5 ㎛ 이하의 직경을 가진 미세한 물방울이 공기 속으로 분사되어 증발하여 설정된 습도가 유지되도록 하는데 있다.
상기 수압증가용 펌프(38)는 전자밸브(33) 전단에 설치되어 분사노즐을 통해서 물을 분사할 때 안개분무를 이룰 수 있도록 하기 위하여 수압증가용 펌프(38)로 수압을 유지한 후 전자밸브를 열어서 분사노즐(34)로 물을 분사하도록 구성되어 있다.
실시 예2에서도 물 분사노즐(34)을 통한 안개분무를 형성하기 위하여 설정되는 수압은 10 ㎏/㎠ 정도로 유지하는 것이 바람직하며, 이를 이루기 위하여 전자밸브(33)가 설치된 전단에 수압을 측정하기 위한 수압센서(37)를 설치하고, 수압센서(37)에서 측정한 수압이 장치제어 부에 설정된 값보다 낮을 경우에 수압증가용 펌프(38)를 가동하여 수압이 설정된 값 이상으로 유지될 때 전자밸브(33)가 작동할 수 있도록 구성되어 있다.
실시 예2는 수압증가용 펌프(38)를 제외한 모든 기술적 구성이 실시 예1과 동일하므로 나머지 기술적 구성에 대하여서는 그 구체적인 설명을 생략한다.
<실시 예3>
실시 예3은 도4에서와 같이 실시 예1에서 수 배관(31)과 별도로 분사노즐을 통해서 공기를 주입할 수 있는 공기배관(39)을 설치하고, 공기배관(39)에는 높은 압력으로 공기가 주입되도록 컴퓨레샤(40)가 공기배관(39) 일측에 설치되어 있다. 상기 컴퓨레샤(40)는 클린룸 주위에 많이 설치되어 있고, 이를 이용하여 공기를 공급하는 공기배관(39)을 전자밸브와 연결하여 사용할 수 있다.
상기 공기배관(39)을 통해서 고압으로 주입되는 공기를 수 배관(31)을 통해서 주입되는 물과 함께 분사노즐(34)로 혼합 분사하여 분사 압력이 높아져서 미세한 물방물을 형성하여 안개처럼 분사가 이루어지도록 구성되어 있다. 이 때 사용되는 전자밸브(33)는 두 개의 주입구를 가지고, 수 배관(31)으로부터 주입되는 물과 공기배관(39)으로부터 주입되는 공기를 혼합하여 동시에 하나의 출구를 통해서 혼합되어 분사할 수 있도록 설계 제작된 전자밸브(33)가 설치된다. 실시 예3에서는 도4에서와 같이 상기 수 배관(34)으로 흐르는 물의 압력을 측정하는 수압센서(37)와 공기를 공급하는 공기배관(39)의 공기압을 측정할 수 있는 공기압센서(41)가 공기배관 일측에 설치되고, 일정 압력 이상인 상태에서 분사노즐을 통해서 분사가 이루어지도록 구성하여 안개분무가 형성되도록 되어 있다.
통상의 클린룸에 설치된 수 배관(34)의 수압과 컴퓨레샤와 연결된 공기배관(39)의 공기압은 분사노즐을 통해서 수 배관의 물을 분사시킬 경우에 안개분무를 형성할 수 있는 충분한 압력을 가지므로 수 배관(34)과 공기배관(39)의 일측에 무전원 접점을 설치하여 수 배관(34)의 수압과 공기배관(39)의 공기압이 일정 수준이하로 떨어질 때 무전원 접점이 단락 또는 오픈됨에 의하여 장치제어 부(11)의 무 전원 접점 디지털 입력단자(16)에 하이레벨(High Level) 또는 로우레벨(Low Level)의 신호를 발생시켜 이상 상항 발생으로 판단하여 분사노즐을 통한 분사를 중지하도록 구성할 수 있다.
무 전원 접점 스위치를 설치할 경우에는 별도의 수압센서 및 공기압센서를 설치할 필요가 없어서 제어장치의 제작비용 및 크기를 크게 줄일 수 있고 제어회로 를 단순화할 수 있는 이점이 있다.
또 다른 실시 예로는 도5에서와 같이 실시 예2와 실시 예3을 결합한 형태로 실시 예2에서와 같이 수 배관(31)에서 배출되는 물의 압력을 설정된 압력 이상으로 구성하고, 공기배관(39)을 통해서 주입되는 공기압력을 컴퓨레샤(40)로 높여서 전자밸브(33)를 통해서 공급하여 고압의 물과 공기가 함께 분사노즐(34)로 주입되도록 구성하여 미세한 물방물을 형성하여 안개처럼 분사가 이루어지도록 구성할 수 있다.
본 발명의 클린룸 습도제어장치에서는 클린룸 주위에 설치된 수 배관(34) 및 공기배관(39)의 수압 및 공기압이 분사노즐을 통해서 분사될 때 안개분무를 이룰 수 있는 충분한 압력이 유지되고 있으므로 간단하게 무전원 접점으로 압력의 이상 유무를 장치제어부의 무전원 접점 디지털 입력단자(16)를 통해서 수신할 수 있도록 구성하여 전자밸브의 온오프를 제어하거나 별도의 수압센서 및 공기압센서를 설치하여 측정된 수압 및 공기압을 이용하여 안개분무를 이룰 수 있는 압력 이상에서 분사노즐을 통해서 물과 공기를 분사를 이룰 수 있도록 구성할 수 있다.
상기 무전원 접점 신호 입력은 압력의 변화에 의하여 접점이 단락 또는 오픈되도록 설치하여 장치제어 부(11)의 무전원 접점 디지털 입력단자(16)와 연결하되, 접점이 단락될 때 단락된 회로를 통해서 장치제어 부에서 하이 또는 로우레벨의 신호를 장치제어 부(11)의 무전원 접점 디지털 입력단자(16)로 입력되도록 구성하거나, 반대(오픈될 때)로 구성할 수도 있다.
본 발명은 클린룸 내부의 습도를 일정하게 제어하기 위하여 수 배관(31)과 고압의 공기가 주입되는 공기배관(39)을 설치하고, 상기 공기배관(39)을 통해서 고압으로 주입되는 공기를 수 배관(31)을 통해서 주입되는 물과 함께 분사노즐(34)로 혼합 분사하여 분사 압력이 높아져서 미세한 물방물을 형성하여 안개처럼 분사가 이루어지도록 구성하므로 전기에너지를 절약하고 유지보수비용을 절약하며 설치 공간 및 비용을 절약할 수 있으므로 산업상 이용가능성이 매우 높다.
도1 : 클린룸 습도제어장치 제어부를 블록도
도2 : 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 전자밸브, 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도
도3 : 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 압력펌프, 전자밸브, 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도
도4 : 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 공기배관, 전자밸브, 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도
도5 : 본 발명에 따라 설계 제작된 수 배관, 공기배관, 압력펌프, 컴퓨레샤, 전자밸브, 습도센서, 분사노즐 및 장치제어 부를 이용한 클린룸 습도제어장치의 개략도
<도면부호의 간단한 설명>
11; 장치제어 부 12; 마이크로프로세서
13; 메모리 14; 상태표시 부(FND 또는 LCD)
15; LED 표시부 16; 무전원 접점 디지털입력단자
17; 전자밸브 감시단자 18; 전자밸브 출력단자
19; 습도수신 부 20; 수압수신 부
21; 공기압수신 부 22; 습도입력 부
23; 통신단자(RS-485)
31; 수 배관 32; 습도제어용 배관
33; 전자밸브 34; 분사노즐
35; 습도센서 36; 장치제어 부
37; 수압센서 38; 수압증가용 펌프
39; 공기배관 40 컴퓨레샤
41; 공기압센서

Claims (8)

  1. 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관에 흐르는 물을 이용한 클린룸 습도제어장치에 있어서,
    클린룸의 냉각을 위하여 설치된 수 배관과 연결 설치되며, 수 배관으로 흐르는 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하기 위한 습도제어용 배관;
    수 배관과 연결 설치된 습도제어용 배관 일측에 설치되며, 물의 흐름을 제어하기 위한 전자밸브; 및
    상기 전자밸브의 뒷단에 설치되며, 클린룸 내부의 습도를 조절하기 위하여 물을 분사하기 위한 분사노즐로 구성하되,
    상기 수 배관의 내부 압력이 설정치 이하로 떨어져 안개분무를 할 수 없을 경우에 전자밸브를 열지 못하도록 하기 위하여 무전원 접점을 장치제어 부의 무전원 접점 디지털 입력단자와 연결 설치하거나, 수 배관 일측에 수압센서를 설치하고 수압센서와 전자밸브가 서로 연동하도록 구성된 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치.
  2. 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관에 흐르는 물을 이용한 클린룸 습도제어장치에 있어서,
    클린룸의 냉각을 위하여 설치된 수 배관과 연결 설치되며, 수 배관으로 흐르는 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하기 위한 습도제어용 배관;
    수 배관과 연결 설치된 습도제어용 배관 일측에 설치되며, 물의 흐름을 제어하기 위한 전자밸브;
    상기 전자밸브의 전단에 설치되며, 분사노즐에서 분사되는 물을 미세한 물방울로 만들기 위하여 수압을 증가시키기 위한 수압증가용 펌프; 및
    상기 전자밸브의 뒷단에 설치되며, 클린룸 내부의 습도를 조절하기 위하여 물을 분사하기 위한 분사노즐로 구성하되,
    상기 수 배관의 내부 압력이 설정치 이하로 떨어져 안개분무를 할 수 없을 경우에 전자밸브를 열지 못하도록 하기 위하여 무전원 접점을 장치제어 부의 무전원 접점 디지털 입력단자와 연결 설치하거나, 수 배관 일측에 수압센서를 설치하고 수압센서와 전자밸브가 서로 연동하도록 구성된 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치.
  3. 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관에 흐르는 물을 이용한 클린룸 습도제어장치에 있어서,
    클린룸의 냉각을 위하여 설치된 수 배관과 연결 설치되며, 수 배관으로 흐르는 정화수를 클린룸 내부 일측으로 유도하기 위한 습도제어용 배관;
    상기 수 배관을 통해서 나온 물과 함께 압력을 높여서 분사시키기 위하여 설치된 공기배관;
    상기 공기배관의 일측에 설치되어 공기배관 내부의 공기의 압력을 높이기 위한 컴퓨레샤;
    수 배관 및 공기배관과 연결 설치되며, 물과 공기의 흐름을 동시에 제어하기 위한 전자밸브; 및
    상기 전자밸브의 뒷단에 설치되며, 클린룸 내부의 습도를 조절하기 위하여 물과 공기를 동시에 분사하기 위한 분사노즐로 구성하되,
    상기 수 배관과 공기배관 일측에는 수 배관과 공기배관의 내부 압력이 설정치 이하로 떨어져 안개분무를 할 수 없을 경우에 전자밸브를 열지 못하도록 하기 위하여 무전원 접점을 장치제어 부의 무전원 접점 디지털 입력단자와 연결 설치하거나, 수 배관 일측에는 수압센서를 설치하고 공기배관 일측에는 공기압센서를 설치하여 각각의 전자밸브와 서로 연동하도록 구성된 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치.
  4. 청구항 1내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 클린룸 습도제어장치는 클린룸의 습도를 측정하기 위한 습도센서를 더 구비한 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치.
  5. 삭제
  6. 청구항4에 있어서,
    상기 클린룸 습도제어장치는 습도센서, 수압센서, 전자밸브 및 수압증가용 펌프가 서로 연동하여 설정된 값이 유지되도록 제어하기 위하여 원칩 마이크로컴퓨터 또는 마이크로프로세서와 메모리에 제어프로그램을 탑재시킨 장치제어 부를 더 구비한 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치.
  7. 삭제
  8. 청구항6에 있어서,
    상기 장치제어 부에는 외부기기와 신호를 주고받을 수 있는 통신부를 더 구비한 클린룸 냉각을 위하여 설치된 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치.
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