KR101113018B1 - Electric heater, temperature control module, and method for controlling the temperature of the electric heater - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An electric heater, a temperature control module, and a method for controlling a temperature of the electric heater are provided to maximally raise a temperature of a substrate without the breakdown of the electric heater. CONSTITUTION: An electric heating element has a resistance value which is changed according to a temperature. A substrate is heated by the electric heating element. A power source(200) supplies power to the electric heating element. A measuring unit(300'') measures a current flowing in the electric heating element and provides a voltage corresponding to the measured current. A control unit(600'') controls the size of the current by comparing the measured voltage with a preset voltage.

Description

전열기, 온도 제어 모듈, 및 전열기의 온도 제어 방법{Electric heater, temperature control module, and method for controlling the temperature of the electric heater}Electric heater, temperature control module, and method for controlling the temperature of the electric heater

본 발명은 전열기 및 전열기의 온도를 제어하는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 전기 발열체가 접촉되어 있는 기판을 포함하는 전열기에 관한 기술을 포함한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heater and a method for controlling the temperature of the heater, and specifically includes a technique related to a heater including a substrate to which an electric heating element is in contact.

핫플레이트, 인덕션 레인지, 하이라이트 레인지 등은 식품 조리를 위해 사용되는 전열기의 일종이다. Hot plates, induction ranges, highlight ranges, etc., are a type of heater used for cooking food.

핫플레이트는 열판 자체가 그 내부에 매립되어있는 전기 발열체(‘열선’이라 지칭할 수있음)에 의해 가열되면서 열판에 올려놓은 조리용기에 열을 전달하는 방식으로서, 열에 녹는 용기를 제외한 모든 용기를 사용할 수 있다. 열판과 그 내부에 매립된 전기 발열체는 전기적으로 절연되어 있기 때문에 열판을 통해 전기가 흐르지 않는다.A hot plate is a method of transferring heat to a cooking vessel placed on a hot plate while the hot plate itself is heated by an electric heating element (which may be referred to as a 'heating wire') embedded therein. Can be used. Since the hot plate and the electric heating element embedded therein are electrically insulated, no electricity flows through the hot plate.

인덕션 레인지는 전자기유도를 이용하여 용기 자체가 열을 내도록 하는 방식으로서, 자기가 통하는 스테인리스, 법랑 등 주철 성분의 용기를 사용할 수 있지만, 자석이 붙지 않는 알루미늄, 유리, 도자기 등의 용기는 사용할 수 없다. The induction range uses electromagnetic induction to heat the container itself. It is possible to use containers made of cast iron such as stainless steel and ceramic enamel, but not to aluminum, glass, ceramics, etc. .

소위 하이라이트 레인지와 같은 전열기는, 기판('상판'으로 지칭할 수 있음) 하부에서 전기 발열체로 기판을 가열하고, 가열된 기판 위에 조리 용기를 올려놓아 사용하는 방식이다. 기판은 가열 대상물이 직접 접촉되는 부분을 지칭하는 것으로서 세라믹 또는 유리 재질로 되어 있을 수 있다. 그런데 전기 발열체와 기판을 접촉하여 제작하고, 전기 발열체의 온도를 일정 수준 이상으로 올리면 전열기가 반영구적으로 고장 나는 현상이 발생하기 때문에, 전기 발열체와 기판을 접촉하여 제조한 전열기는 고온 가열용으로 상용화되기 어렵다. 따라서, 기판과 전기 발열체를 포함하는 구조의 전열기 중 이미 상용화된 전열기에서는 보통 기판과 전기 발열체가 일정 간격을 두고 이격되어 있다. 이러한 구조에 의하면 전열기의 부피를 줄이는데에 한계가 있다.A heater, such as a so-called highlight range, is a method in which a substrate is heated with an electric heating element under the substrate (which may be referred to as a 'top plate'), and a cooking vessel is placed on the heated substrate. The substrate refers to a portion in which the heating object is in direct contact with each other, and may be made of ceramic or glass. However, the heater is produced in contact with the heating element and the substrate, and if the temperature of the heating element is raised above a certain level, the heater may fail semi-permanently. Therefore, the heater manufactured by contacting the heating element and the substrate is commercialized for high temperature heating. it's difficult. Therefore, among the heaters that are already commercialized among the heaters having a structure including the substrate and the electric heating element, the substrate and the electric heating element are usually spaced at a predetermined interval. According to this structure, there is a limit to reducing the volume of the heater.

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 전기 발열체로 기판을 가열하는 방식의 전열기에 있어서, 전기 발열체와 기판이 서로 접촉되어 있는 경우에도 전열기가 고장나지 않도록 하는 전열기의 온도 제어 방법과, 이러한 방법을 구현하기 위한 전열기의 구조를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention, in the heater of the heating method of heating the substrate with the electric heating element, the temperature control method of the heater so that the heater does not fail even when the electrical heating element and the substrate is in contact with each other, and implements such a method It is to provide a structure of a heater for the purpose.

위와 같이, 전기 발열체와 기판이 서로 접촉되어 있는 구조의 전열기가 고장 나는 경우는 이 전기 발열체의 온도를 소정의 온도까지 높인 경우에 발생할 수 있다. 본 발명에서는 이러한 소정의 온도를 높일 수 있는 온도 제어 방법을 제공함으로써 제공된 전열기의 가열 기능을 최대한 활용할 수 있도록 하는 기술을 제공하고자 한다.As described above, the failure of the heater having a structure in which the electric heating element and the substrate are in contact with each other may occur when the temperature of the electric heating element is raised to a predetermined temperature. The present invention is to provide a technology that can make the most of the heating function of the provided heater by providing a temperature control method that can increase the predetermined temperature.

본 발명의 일 실시예에서 사용되는 기판은 상온에서 실질적으로 절연체이지만, 기판의 온도가 고온으로 올라갈수록 기판의 비저항 값이 감소할 수 있다. 이때, 전기 발열체와 기판 사이에 별도의 절연물질이 개재되어 있지 않다면 전기 발열체를 통해서만 흘러야 될 전류가 기판을 통해 누설되어 전기적인 단락 현상을 일으킬 수 있으며 또한 이로 인하여 기판이 파괴될 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 이러한 전류 누설을 방지할 수 있는 기술을 제공하고자 한다.The substrate used in one embodiment of the present invention is substantially an insulator at room temperature, but the specific resistance value of the substrate may decrease as the temperature of the substrate increases to a high temperature. In this case, if a separate insulating material is not interposed between the electric heating element and the substrate, a current that should flow only through the electric heating element may leak through the substrate, causing an electrical short circuit, which may also destroy the substrate. Therefore, the present invention is to provide a technique that can prevent such a current leakage.

본 발명의 범위가 상술한 과제에 의해 제한되는 것은 아니다.The scope of the present invention is not limited by the above-mentioned subject.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 양상에 따른 전열기는 전기 발열체에 인가되는 전류 또는 전압의 크기를 전열기의 온도에 따라 제어하는 제어부를 포함한다. 또한, 이를 위하여 전열기의 온도를 제어부에게 빠르게 피드백하기 위한 구조가 제공된다. 빠른 피드백을 위하여 전열기의 구성요소 중 전기 발열체 자체의 온도를 반영하는 파라미터 값을 제어부에 제공할 수 있다. 이러한 파라미터로서 전기 발열체 자체의 온도값, 전기 발열체의 저항값, 또는 전기 발열체에 흐르는 전류값 등을 사용할 수 있다. 위의 제어부는 전기 발열체에 전력을 제공하는 전원을 제어할 수 있다.In order to solve the above problems, the heater according to an aspect of the present invention includes a control unit for controlling the magnitude of the current or voltage applied to the electric heating element according to the temperature of the heater. In addition, for this purpose, a structure for quickly feeding back the temperature of the heater to the controller is provided. For quick feedback, a parameter value reflecting the temperature of the electric heating element itself among the components of the heater may be provided to the controller. As such a parameter, a temperature value of the electric heating element itself, a resistance value of the electric heating element, or a current value flowing through the electric heating element can be used. The control unit may control a power supply for supplying power to the electric heating element.

본 발명의 일 관점에 따른 전열기는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판, 상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원, 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 측정하는 전류 측정부, 및 상기 측정된 전류에 대응하는 값을 미리 결정된 값과 비교한 결과를 기초로 상기 전류의 크기를 제어하는 제어부를 포함한다.An electric heater according to an aspect of the present invention is an electric heating element and a substrate heated by the electric heating element, a power supply to supply power to the electric heating element, a current measuring unit for measuring the magnitude of the current flowing in the electric heating element, and the And a controller configured to control the magnitude of the current based on a result of comparing a value corresponding to the measured current with a predetermined value.

이때, 상기 전류 측정부는 전류값을 전압값으로 변환하는 전류 변환기를 포함할 수 있고, 상기 측정된 전류에 대응하는 값을 미리 결정된 값과 비교하는 것은, 상기 전류 변환기가 상기 측정된 전류의 값을 변환하여 출력한 전압을 미리 결정된 기준 전압값과 비교하는 것일 수 있다.In this case, the current measuring unit may include a current converter for converting the current value into a voltage value, and comparing the value corresponding to the measured current with a predetermined value, the current converter is a value of the measured current The converted and output voltage may be compared with a predetermined reference voltage value.

이때, 상기 전기 발열체와 상기 기판 사이에는 다른 절연체가 개재되어 있지 않을 수 있다. 또한, 상기 전기 발열체는 상기 기판에 접촉되어 있을 수 있다. 또한, 상기 전기 발열체의 저항은 상기 전기 발열체의 온도에 따라 변화될 수 있다. 또한, 상기 기판의 비저항은 온도에 따라 달라질 수 있다.In this case, another insulator may not be interposed between the electric heating element and the substrate. In addition, the electric heating element may be in contact with the substrate. In addition, the resistance of the electric heating element may vary depending on the temperature of the electric heating element. In addition, the specific resistance of the substrate may vary with temperature.

본 발명의 다른 관점에 따른 온도 제어 방법은, 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판을 포함하는 전열기의 온도를 제어하는 방법으로서, 상기 전기 발열체에 흐르는 전류에 대응하는 값을 측정하는 단계, 및 상기 측정된 값을 미리 결정된 기준 값과 비교한 결과를 기초로 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 제어하는 단계를 포함한다. A temperature control method according to another aspect of the present invention, a method for controlling the temperature of a heater including an electric heating element and a substrate heated by the electric heating element, measuring a value corresponding to the current flowing in the electric heating element, And controlling the magnitude of the current flowing through the electric heating element based on a result of comparing the measured value with a predetermined reference value.

이때, 상기 제어하는 단계는 상기 측정된 값을 상기 기준 값과 비교한 결과에 따라 상기 전류를 도통시키거나 또는 차단하는 단계를 포함할 수 있다.In this case, the controlling may include conducting or blocking the current according to a result of comparing the measured value with the reference value.

본 발명의 또 다른 관점에 따른 온도 제어 방법은, 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판을 포함하는 전열기의 온도를 제어하는 방법으로서, 상기 전기 발열체의 온도를 측정하는 단계, 및 상기 전기 발열체의 온도를 미리 결정된 기준 온도와 비교한 결과를 기초로, 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 제어하는 단계를 포함한다. According to another aspect of the present invention, a temperature control method includes a method of controlling a temperature of an electric heater including an electric heating element and a substrate heated by the electric heating element, the method comprising: measuring a temperature of the electric heating element, and the electric heating element And controlling the magnitude of the current flowing through the electric heating element based on a result of comparing the temperature of the to a predetermined reference temperature.

이때, 상기 기준 온도는 상기 전기 발열체로부터 상기 기판으로 누설되는 누설 전류의 값이 미리 결정된 임계값에 도달할 때의 상기 전기 발열체의 온도일 수 있다.In this case, the reference temperature may be a temperature of the electric heating element when the value of the leakage current leaking from the electric heating element to the substrate reaches a predetermined threshold.

본 발명의 또 다른 관점에 따른 전열기는, 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판, 상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원, 상기 전기 발열체의 온도를 측정하도록 되어 있는 온도 측정부, 및 상기 온도 측정부에 의해 측정된 온도를 미리 결정된 기준 온도와 비교한 결과를 기초로 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 제어하는 제어부를 포함한다. An electric heater according to still another aspect of the present invention includes an electric heating element and a substrate heated by the electric heating element, a power supply configured to supply electric power to the electric heating element, a temperature measuring unit configured to measure a temperature of the electric heating element, and And a controller configured to control the magnitude of the current flowing through the electric heating element based on a result of comparing the temperature measured by the temperature measuring unit with a predetermined reference temperature.

이때, 상기 전기 발열체의 저항은 상기 전기 발열체의 온도에 따라 변화될 수 있다. 또한, 상기 기판의 비저항은 온도에 따라 달라질 수 있다. 또한, 상기 제어부는, 상기 비교한 결과를 기초로 상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 도통시키거나 또는 차단하도록 되어 있는 스위치를 포함할 수 있다. 또한, 상기 스위치는 무접점 릴레이 방식의 부품(예를 들면 solid state relay) 또는 이에 상응하는 회로(예를 들면 Triac 사용회로)일 수 있으며, 위상제어(phase angle control) 방식 및 제로크로싱제어(zero-crossing control) 방식이 사용될 수 있다.In this case, the resistance of the electric heating element may vary depending on the temperature of the electric heating element. In addition, the specific resistance of the substrate may vary with temperature. The control unit may include a switch configured to conduct or block a current flowing through the electric heating element based on the comparison result. In addition, the switch may be a solid state relay component (for example, a solid state relay) or a corresponding circuit (for example, a triac use circuit), a phase angle control method and a zero crossing control method. -crossing control method may be used.

본 발명의 또 다른 관점에 따른 전열기는, 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판, 상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원, 상기 전기 발열체의 저항을 측정하는 저항 측정부, 및 상기 저항 측정부에 의해 측정된 저항의 값을 미리 결정된 값과 비교한 결과를 기초로 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 제어하는 제어부를 포함한다. An electric heater according to still another aspect of the present invention includes an electric heating element and a substrate heated by the electric heating element, a power supply configured to supply electric power to the electric heating element, a resistance measuring unit measuring the resistance of the electric heating element, and the resistance And a controller configured to control the magnitude of the current flowing through the electric heating element based on a result of comparing the value of the resistance measured by the measurement unit with a predetermined value.

이때, 상기 전기 발열체의 저항은 온도에 따라 변화될 수 있다.In this case, the resistance of the electric heating element may change depending on the temperature.

본 발명의 또 다른 관점에 따른 온도 제어 모듈은, 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판 및 상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원을 포함하는 전열기에 사용되는 온도 제어 모듈로서, 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 측정하도록 되어 있는 전류 측정부, 및 상기 측정된 전류에 대응하는 값을 미리 결정된 값과 비교한 결과를 기초로 상기 전류의 크기를 제어하는 제어부를 포함한다. A temperature control module according to another aspect of the present invention is a temperature control module for use in an electric heater including an electric heating element, a substrate heated by the electric heating element, and a power source adapted to supply electric power to the electric heating element. And a current measuring unit configured to measure the magnitude of the current flowing through the heating element, and a control unit controlling the magnitude of the current based on a result of comparing a value corresponding to the measured current with a predetermined value.

본 발명의 또 다른 관점에 따른 면상 발열체는, 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판, 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원, 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 측정하는 전류 측정부, 및 측정된 전류에 대응하는 값을 미리 결정된 값과 비교한 결과를 기초로 전류의 크기를 제어하는 제어부를 포함한다.The planar heating element according to another aspect of the present invention includes an electric heating element and a substrate heated by the electric heating element, a power supply configured to supply electric power to the electric heating element, a current measuring unit for measuring the magnitude of the current flowing through the electric heating element, and And a controller configured to control the magnitude of the current based on a result of comparing the value corresponding to the measured current with a predetermined value.

본 발명에 따르면 전기 발열체와 기판이 접촉되어 있는 구조를 갖는 전열기에 대하여, 전열기의 고장 없이 기판의 온도를 최대한 올릴 수 있는 효과를 갖는다. According to the present invention, the heater having a structure in which the electric heating element and the substrate are in contact with each other has an effect of raising the temperature of the substrate as much as possible without the failure of the heater.

본 발명의 범위가 상술한 효과에 의해 제한되는 것은 아니다.The scope of the present invention is not limited by the above-mentioned effects.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에서 사용될 수 있는 발열부의 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전열기의 구성을 나타낸 것이다.
도 3a는 유리로 된 기판의 온도에 따른 기판의 비저항 값의 변화를 로그 스케일(세로축)로 나타낸 것이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에서 사용되는 전기 발열체의 온도에 따른 저항값의 변화의 일 예를 나타낸 것이다.
도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따라 전기 발열체에 일정한 전압을 인가하여 전류를 흘릴 때에, 전기 발열체의 온도 상승에 따른 전류값의 변화를 나타낸 것이다.
도 3d는 본 발명의 일 실시예에서 사용될 수 있는 전류 변환기의 출력 전압의 입출력 관계를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에서 사용되는 타이머의 동작 주기를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전열기의 구성도를 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전열기의 구성도를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전열기의 구성을 나타낸 것이다.
도 8은 도 2의 전열기에 대한 비교 실시예를 나타낸 것이다.
도 9a는 도 1 내지 도 7에 설명한 전열기의 전기 발열체의 온도 변화를 나타낸 것이고, 도 9b는 도 8에 설명한 전열기의 전기 발열체의 온도 변화를 나타낸 것이다. 1A and 1B illustrate an example of a heating unit that can be used in one embodiment of the present invention.
Figure 2 shows the configuration of the heater according to an embodiment of the present invention.
Figure 3a shows the change in the specific resistance value of the substrate with the temperature of the glass substrate on a logarithmic scale (vertical axis).
Figure 3b shows an example of the change in the resistance value according to the temperature of the electric heating element used in an embodiment of the present invention.
Figure 3c shows a change in the current value according to the temperature rise of the electric heating element when the current flows by applying a constant voltage to the electric heating element according to an embodiment of the present invention.
Figure 3d shows the input and output relationship of the output voltage of the current converter that can be used in one embodiment of the present invention.
Figure 4 shows the operation period of the timer used in an embodiment of the present invention.
5 is a block diagram of a heater according to another embodiment of the present invention.
6 shows a configuration diagram of a heater according to another embodiment of the present invention.
Figure 7 shows the configuration of the heater according to another embodiment of the present invention.
FIG. 8 shows a comparative example of the heater of FIG. 2.
FIG. 9A illustrates a temperature change of the electric heating element of the heater described with reference to FIGS. 1 to 7, and FIG. 9B illustrates a temperature change of the electric heating element of the heater described in FIG. 8.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 이하에서 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 또한, 이하에서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. The terms used below are merely for referring to specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Also, the singular forms used below include the plural forms unless the phrases clearly indicate the opposite meanings.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에서 사용될 수 있는 발열부(100)의 예를 도시한 것이다.1A and 1B show an example of a heat generating unit 100 that can be used in one embodiment of the present invention.

도 1a를 참조하면, 발열부(100)는 기판(101), 기판(101)에 접촉되어 있는 전기 발열체(Rh)를 포함하여 구성될 수 있다. 전기 발열체(Rh)는 도 1a에 도시한 바와 같이 일정한 패턴을 가질 수 있으나, 실시예에 따라 이와 다른 다양한 패턴을 형성할 수 있다. Referring to FIG. 1A, the heat generating unit 100 may include a substrate 101 and an electric heating element Rh in contact with the substrate 101. The electric heating element Rh may have a predetermined pattern as shown in FIG. 1A, but various other patterns may be formed according to an embodiment.

일 실시예에서는, 전기 발열체(Rh)가 페이스트로 제조되어 인쇄 공정 및 소결공정을 통해 기판(101)에 접촉되어 결합될 수 있다. 이때 액상의 페이스트를 이용한 디스펜싱 공정이나 고상의 타겟을 이용한 진공증착등의 방법도 이용될 수있다. In one embodiment, the electric heating element Rh may be made of a paste and contacted and bonded to the substrate 101 through a printing process and a sintering process. At this time, a method such as a dispensing process using a liquid paste or vacuum deposition using a solid phase target may also be used.

도 1b를 참조하면, 도 1a와 달리 전기 발열체(Rh)가 서로 분리된 두 개의 세그먼트(segment)(Rh1, Rh2)로 구성되어 있다. 사용상 필요에 따라 이렇게 두 개의 세그먼트(Rh1, Rh2) 또는 그 이상의 세그먼트로 나누어 발열부를 디자인하고 별도 제어할 수 있을 것이다. Referring to FIG. 1B, unlike FIG. 1A, the electric heating element Rh is composed of two segments Rh1 and Rh2 separated from each other. According to the needs of use, it may be divided into two segments (Rh1, Rh2) or more segments to design the heating unit and control separately.

도 1a 및 도 1b에 도시한 전기 발열체(Rh)에서 발생된 열은 기판(101)에 전달되기 때문에 기판(101)의 온도가 상승할 수 있다.Since heat generated in the electric heating element Rh illustrated in FIGS. 1A and 1B is transferred to the substrate 101, the temperature of the substrate 101 may increase.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전열기(1)의 구성을 나타낸 것이다.2 shows the configuration of the heater 1 according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 전열기에 AC 전원이 인가되면 전류 변환기(CT, Current Transformer)(300)는 발열부(100)의 전기 발열체(Rh)를 통해 흐르는 전류(IR)에 비례하는 전압(V+)을 출력할 수 있다. 이때 출력된 전압은 AC전압이므로 DC전압으로 변환하여 비교기(400)에 입력되면, 제어부(500)을 통하여 미리 설정된 기준전압(Vref)과 서로 비교하여 하이(high) 레벨 또는 로우(low) 레벨의 출력 전압(Vo)을 생성하여 출력할 수 있다. 제어부(600)는 비교기(400)의 출력 전압(Vo)의 레벨에 따라 전원(200)의 온(on) 또는 오프(off) 상태를 제어할 수 있다. 전원(200)은 단자(T3, T4)를 통해 교류 전원(700)으로부터 전력을 공급받아 발열부(100)에 공급하는 전력으로 변환할 수 있으며, 변환된 전력을 단자(T1, T2)를 통해 전기 발열체(Rh)에 공급할 수 있다. 이때 전원(200)의 동작은 제어부(600)에 포함된 스위치(601)에 의해 제어될 수 있다. Referring to FIG. 2, when AC power is applied to the heater, the current transformer 300 may have a voltage V + that is proportional to the current I R flowing through the electric heating element Rh of the heat generating unit 100. ) Can be printed. At this time, since the output voltage is an AC voltage and is converted into a DC voltage and input to the comparator 400, the control unit 500 compares the preset reference voltage Vref with a high level or a low level. The output voltage Vo may be generated and output. The controller 600 may control an on or off state of the power supply 200 according to the level of the output voltage Vo of the comparator 400. The power supply 200 may receive power from the AC power supply 700 through the terminals T3 and T4 and convert the power to the power supplied to the heat generating unit 100, and convert the converted power through the terminals T1 and T2. It can be supplied to the electric heating element Rh. In this case, the operation of the power supply 200 may be controlled by the switch 601 included in the controller 600.

기준 전압(Vref)은 기준 전압 생성부(500)에 의해 생성될 수 있다. 기준 전압 생성부(500)는 두 개의 직렬 연결된 저항(Ra, Rb)을 이용하여 전압을 나누는 방식으로 기준 전압(Vref)을 생성할 수 있다. 여기에 사용되는 저항(Ra) 및/또는 저항(Rb)을 적절히 가변 저항으로 구성할 수 있으며, 또한 도 2에 나타낸 바와 같이 저항(Rb)의 값을 변화시킴으로써 기준 전압(Vref)의 값을 변경시킬 수 있다. 발열부(100)의 온도는 기준 전압(Vref)에 의해 조절될 수 있기 때문에, 저항(Rb)의 값을 변경시킴으로써 발열부(100)의 온도를 조정할 수 있다. 조정하게 될 기준전압의 설정값을 임계온도이하의 최대사용온도까지 설정할 수 있으며, 설정된 최대온도 이하에서 사용하고자하는 온도를 마음대로 설정하여 정확하게 온도를 제어할 수 있다.The reference voltage Vref may be generated by the reference voltage generator 500. The reference voltage generator 500 may generate the reference voltage Vref by dividing the voltage using two series connected resistors Ra and Rb. The resistor Ra and / or resistor Rb used here can be appropriately configured as a variable resistor, and as shown in FIG. 2, the value of the reference voltage Vref is changed by changing the value of the resistor Rb. You can. Since the temperature of the heat generating unit 100 may be adjusted by the reference voltage Vref, the temperature of the heat generating unit 100 may be adjusted by changing the value of the resistor Rb. The set value of the reference voltage to be adjusted can be set up to the maximum use temperature below the threshold temperature, and the temperature can be precisely controlled by setting the desired temperature below the set maximum temperature.

제어부(600)는 무접점 릴레이(solid state relay)(610) 및/또는 타이머(601)를 포함할 수 있다. 제어부(600)는 스위치(602)를 포함할 수 있는데, 스위치(602)는 실시예에 따라 무접점 릴레이(610)의 내부에 포함되거나 그 외부에 존재할 수 있다. The controller 600 may include a solid state relay 610 and / or a timer 601. The controller 600 may include a switch 602, which may be included in or external to the contactless relay 610 according to an exemplary embodiment.

본 발명의 일 실시예에서 스위치(602)를 턴-오프(turn off)하여 전원(200)으로부터 발열부(100)로의 전력공급을 차단하는 것은 비교기(400)의 출력 전압(Vo)에 의해 이루어질 수 있다. 그러나, 전력 공급을 재개하는 것은 타이머(601)에 의해 이루어질 수 있다. 우선 도 3a 내지 도 3d를 참조하여 전기 발열체(Rh)에 대한 전력 공급을 차단하는 목적 및 원리를 설명하고, 그 다음, 도 4를 참조하여 전기 발열체(Rh)에 대하여 전력 공급을 재개하는 방법에 대하여 설명할 것이다.In one embodiment of the present invention, turning off the switch 602 to cut off the power supply from the power supply 200 to the heating unit 100 is achieved by the output voltage Vo of the comparator 400. Can be. However, resuming power supply may be made by timer 601. First, the purpose and principle of interrupting the power supply to the electric heating element Rh will be described with reference to FIGS. 3A to 3D. Next, the method of resuming the power supply to the electric heating element Rh will be described with reference to FIG. 4. Will be explained.

도 3a는 유리로 된 기판(101)의 온도에 따른 기판(101)의 비저항 값의 변화를 로그 스케일(세로축)로 나타낸 것이다. 도 3a를 참조하면 기판(101)의 비저항 값은 기판(101)의 온도에 따라 감소하는 경향을 볼 수 있다. 기판(101)의 재질이 유리가 아니더라도 도 3a와 같이 온도에 따라 비저항이 감소하는 재질은 다양하게 존재할 수 있고, 이 재료 중 일부는 본 발명에 따른 전열기의 기판으로서 사용될 수 있다. FIG. 3A shows the change in the specific resistance value of the substrate 101 according to the temperature of the glass substrate 101 on a logarithmic scale (vertical axis). Referring to FIG. 3A, the specific resistance value of the substrate 101 may be decreased according to the temperature of the substrate 101. Even if the material of the substrate 101 is not glass, various materials may be present in which the resistivity decreases with temperature as shown in FIG. 3A, and some of the materials may be used as the substrate of the heater according to the present invention.

기판(101)에 접촉되어 있는 전기 발열체(Rh)에 전류가 흐를 때에, 기판(101)의 온도가 제1온도(To)(예컨대, 상온)와 임계 온도(Tt)의 사이에 있는 경우에는 전기 발열체(Rh)에 흐르는 전류가 기판(101)을 통해 실질적으로 누설되지 않지만, 기판(101)이 임계 온도(Tt)에 도달하면 기판(101)의 비저항 값이 임계값 이하로 떨어지기 때문에 기판(101)을 통해 전류가 실질적으로 누설되기 시작한다. 여기서 '실질적'이라는 뜻은 허용치 이상의 누설 전류가 흐르는지를 나타낸다. 누설 전류가 흐르면 기판(101)의 물성이 바뀔 수도 있으며, 나아가 전기 발열체(Rh)의 패턴 거리에 따라 전기적 단락이 발생할 수도 있다. 이러한 임계 온도(Tt)는 기판(101)에 인쇄된 전기 발열체(Rh)의 구체적인 패턴의 형상/간격 및 전기 발열체(Rh)의 양 단에 인가되는 전압의 크기에 따라 달라질 수 있다. 이러한 기판(101)의 온도 변화는 기판(101)에 접촉되어 있는 전기 발열체(Rh)의 온도 변화로부터 기인하는데, 전기 발열체(Rh)의 저항값은 전기 발열체(Rh)의 온도에 따라 달라질 수 있다. 이러한 경향을 도 3b에 도시하였다.When a current flows through the electric heating element Rh in contact with the substrate 101, when the temperature of the substrate 101 is between the first temperature To (for example, room temperature) and the threshold temperature Tt, the electrical Although the current flowing through the heating element Rh does not substantially leak through the substrate 101, when the substrate 101 reaches the threshold temperature Tt, the specific resistance value of the substrate 101 falls below the threshold value, so that the substrate ( Through 101), current begins to leak substantially. The term 'substantial' here indicates whether more than the allowable leakage current flows. When the leakage current flows, the physical property of the substrate 101 may change, and further, an electrical short may occur according to the pattern distance of the electric heating element Rh. The threshold temperature Tt may vary depending on the shape / interval of the specific pattern of the electric heating element Rh printed on the substrate 101 and the magnitude of the voltage applied to both ends of the electric heating element Rh. The temperature change of the substrate 101 is caused by the temperature change of the electric heating element Rh in contact with the substrate 101. The resistance value of the electric heating element Rh may vary depending on the temperature of the electric heating element Rh. . This trend is shown in Figure 3b.

도 3b는 본 발명의 일 실시예에서 사용되는 전기 발열체(Rh)의 온도에 따른 저항값(R)의 변화의 일 예를 나타낸 것이다. 도 3b의 가로축은 전기 발열체(Rh)의 온도를 나타낸 것이다. 3B illustrates an example of a change in the resistance value R according to the temperature of the electric heating element Rh used in the embodiment of the present invention. The abscissa of FIG. 3B shows the temperature of the electric heating element Rh.

전기 발열체(Rh)를 이루는 재료는, 온도가 상승할수록 저항값이 작아지는 경향을 보이는 제1타입(NTCR)의 재료와, 온도가 상승할수록 저항값이 커지는 경향을 보이는 제2타입(PTCR)의 재료를 포함하여 구분할 수 있다.The material constituting the electric heating element Rh is a material of the first type (NTCR), which has a tendency of decreasing resistance as the temperature increases, and of a second type (PTCR), which has a tendency of increasing the resistance value as the temperature increases. It can be classified including materials.

제1타입의 재료로 이루어진 전기 발열체(Rh)는 제1온도(To)에서 R0의 저항값을 갖지만 온도가 상승할수록 저항값이 감소하여, 도 3a에서 설명한 임계 온도(Tt)에 이르면 저항값이 R1으로 감소할 수 있다. The electric heating element Rh made of the material of the first type has a resistance value of R0 at the first temperature To, but the resistance value decreases as the temperature increases, and when the threshold temperature Tt described in FIG. 3A is reached, the resistance value is increased. Can be reduced to R1.

반대로, 제2타입의 재료로 이루어진 전기 발열체(Rh)는 제1 온도(To)에서 R0 의 저항값을 갖지만 온도가 상승할수록 저항값이 증가하여, 도 3a에서 설명한 임계 온도(Tt)에 이르면 저항값이 R2로 증가할 수 있다. On the other hand, the electrical heating element (Rh) made of a material of the second type reaches a first temperature (To) the critical temperature (Tt) up to has the resistance of R0 as temperature rising increases, the resistance value, as described in Figure 3a in The resistance value can be increased to R2.

본 발명의 구체적인 실시예에 따라, 전기 발열체(Rh)를 구성하는 재료의 타입을 선택하여 사용할 수 있다. 전기 발열체(Rh)에 전류를 흐르게 하면, 전기 발열체(Rh)는 시간에 따라 온도가 상승하게 되는데, 그에 따라 전기 발열체(Rh)의 저항값(R)이 변동하게 된다. 전기 발열체(Rh)의 양단에 인가되는 전압이 일정하다면, 변화되는 저항값(R)에 의해 전기 발열체(Rh)에 흐르는 전류의 값이 변화하게 된다. 이러한 현상을 도 3c에 나타내었다. According to a specific embodiment of the present invention, a type of material constituting the electric heating element Rh may be selected and used. When current flows through the electric heating element Rh, the temperature of the electric heating element Rh increases with time, and accordingly, the resistance value R of the electric heating element Rh changes. If the voltage applied to both ends of the electric heating element Rh is constant, the value of the current flowing through the electric heating element Rh is changed by the resistance value R which is changed. This phenomenon is shown in Figure 3c.

도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따라 전기 발열체(Rh)에 일정한 전압을 인가하여 전류를 흘릴 때에, 전기 발열체(Rh)의 온도 상승에 따른 전류값(I)의 변화를 나타낸 것이다.3C illustrates a change in the current value I according to the temperature rise of the electric heating element Rh when a current is applied by applying a constant voltage to the electric heating element Rh according to one embodiment of the present invention.

도 3c의 가로축은 전기 발열체(Rh)의 온도를 나타낸 것이다. 상술한 제1타입의 전기 발열체(Rh)를 사용하는 경우에는 전기 발열체(Rh)의 온도가 상승할수록 저항값이 작아지기 때문에 전류값(I)이 커지는 경향을 보이고, 상술한 제2타입의 전기 발열체(Rh)를 사용하는 경우에는 전기 발열체(Rh)의 온도가 상승할수록 저항값이 커지기 때문에 전류값(I)이 작아지는 경향을 보인다. 이러한 전류는 전류 변환기(300)에 의해, 이에 대응되는 전압값으로 출력될 수 있다. 이러한 관계를 도 3d에 나타내었다.3C represents the temperature of the electric heating element Rh. In the case of using the above-described first type electric heating element Rh, since the resistance value decreases as the temperature of the electric heating element Rh rises, the current value I tends to increase, and thus, the second type electric In the case of using the heating element Rh, the resistance value increases as the temperature of the electrical heating element Rh increases, so the current value I tends to decrease. Such a current may be output by the current converter 300 to a voltage value corresponding thereto. This relationship is shown in Figure 3d.

도 3d는 본 발명의 일 실시예에서 사용될 수 있는 전류 변환기(300)의 출력 전압의 입출력 관계를 나타낸 것이다.Figure 3d shows the input and output relationship of the output voltage of the current converter 300 that can be used in one embodiment of the present invention.

도 3d를 참조하면, 전류 변환기(300)가 측정하는 전류값(I)이 커지면 출력 전압값( V+)도 커지고, 그 반대로 성립한다. 예를 들어 상술한 제1타입의 전기 발열체(Rh)를 사용하는 경우에는 시간이 흘러 전기 발열체(Rh)의 온도가 상승할 수록 저항값은 작아지고 전류값(I)은 커지기 때문에 출력 전압값(V+)도 커지게 된다. Referring to FIG. 3D, when the current value I measured by the current converter 300 increases, the output voltage value V + also increases, and vice versa. For example, in the case of using the above-described first type electric heating element Rh, as the temperature of the electric heating element Rh increases, the resistance value decreases and the current value I increases, so that the output voltage value ( V +) also becomes large.

상술한 제1타입의 전기 발열체(Rh)를 사용할 때에, 전류 변환기(300)의 출력 전압값(V+)이 증가하여 레벨(V1)에 도달한 경우에는 기판(101)에 임계치 이상의 누설 전류가 흐르기 시작하기 때문에, 전원 제어부(600)에서 스위치(602)를 턴-오프하여 전원(200)을 차단할 수 있다. 이를 위하여 비교부(400)는 전류 변환기(300)의 출력 전압값(V+)이 레벨(V1)에 도달하였음을 알리는 신호를 출력하여 전원 제어부(600)에 입력할 수 있다.When using the above-described first type electric heating element Rh, when the output voltage value V + of the current converter 300 increases and reaches the level V1, a leakage current of more than a threshold flows through the substrate 101. As such, the power control unit 600 may turn off the switch 602 to cut off the power source 200. To this end, the comparator 400 may output a signal indicating that the output voltage value V + of the current converter 300 has reached the level V1 and input the signal to the power control unit 600.

제2타입의 전기 발열체(Rh)를 사용할 때에, 전류 변환기(300)의 출력 전압값(V+)이 감소하여 레벨(V2)에 도달한 경우에는 기판(101)에 임계치 이상의 누설 전류가 흐르기 시작하기 때문에, 전원 제어부(600)에서 스위치(602)를 턴-오프하여 전원(200)을 차단할 수 있다. 이를 위하여 비교부(400)는 전류 변환기(300)의 출력 전압값(V+)이 레벨(V2)에 도달하였음을 알리는 신호를 출력하여 전원 제어부(600)에 입력할 수 있다.When using the second type of electric heating element Rh, when the output voltage value V + of the current converter 300 decreases to reach the level V2, leakage current of more than a threshold begins to flow through the substrate 101. Therefore, the power control unit 600 may turn off the switch 602 to cut off the power supply 200. To this end, the comparator 400 may output a signal indicating that the output voltage value V + of the current converter 300 has reached the level V2 and input the signal to the power control unit 600.

도 3a 내지 도 3d에서는 전기 발열체(Rh)의 온도와 전기 발열체(Rh)의 저항값(즉, 일정한 전압에 대하여 흐르는 전류의 비율) 사이의 상관 관계를 기초로 하여 전원(200)을 턴-오프하는 방법에 대하여 설명하였지만, 일단 오프된 전원(200)을 다시 턴-온(turn on)하는 방법은 설명하지 않았다. 3A to 3D turn off the power supply 200 based on the correlation between the temperature of the electric heating element Rh and the resistance value of the electric heating element Rh (that is, the ratio of the current flowing with respect to a constant voltage). The method of turning on the power supply 200 once turned off has not been described.

전원(200)이 턴-오프 된 이후에 전기 발열체(Rh)의 온도가 도 3a 내지 도 3d에 도시한 온도(Tt) 이하로 떨어지면 언제라도 전원(200)을 다시 턴-온할 수 있다. After the power source 200 is turned off, when the temperature of the electric heating element Rh drops below the temperature Tt shown in FIGS. 3A to 3D, the power source 200 may be turned on again at any time.

그런데 전기 발열체(Rh)의 온도를 전기 발열체(Rh)의 저항값 또는 전기 발열체(Rh)를 통해 흐르는 전류값을 통해 간접적으로 측정하는 경우에 있어서, 일단 전원(200)을 턴-오프함으로써 전기 발열체(Rh)에 흐르는 전류(IR)가 0이 되게 되면, 전기 발열체(Rh)에 흐르는 전류 값을 통해 전기 발열체(Rh)의 저항값을 측정할 수 없게 된다. 따라서, 전기 발열체(Rh)의 온도를 측정할 수 없다. 전기 발열체(Rh)의 온도를 알 수 없다면 전원(200)을 턴-온 해야하는 시점을 결정할 수가 없다. 따라서 본 발명의 일 실시예에서는 타이머(601)를 사용하여 주기적으로 전원(200)을 강제로 턴-온할 수 있다. However, in the case of measuring the temperature of the electric heating element Rh indirectly through the resistance value of the electric heating element Rh or the current value flowing through the electric heating element Rh, the electric heating element is turned off by turning off the power supply 200 once. When the current I R flowing in the Rh becomes 0, the resistance value of the electric heating element Rh cannot be measured through the current value flowing in the electric heating element Rh. Therefore, the temperature of the electric heating element Rh cannot be measured. If the temperature of the electric heating element Rh is unknown, it may not be possible to determine when to turn on the power source 200. Therefore, in one embodiment of the present invention, the timer 601 may be used to periodically turn on the power supply 200.

도 4는 본 발명의 일 실시예에서 사용되는 타이머(601)의 동작 주기를 나타낸 것이다. 도 4에 표시된 구간(Ta)에서는 강제로 전원(200)을 턴-온한다. 구간(Ta)에서 전원(200)을 강제로 턴-온하더라도, 아직 전기 발열체(Rh)의 온도가 임계 온도(Tt) 이하로 떨어지지 않은 경우에는 다시 도 3a 내지 도 3d에 설명한 원리에 의해 전원(200)이 다시 턴-오프될 수 있다. 이렇게 설명된 온도제어를 위한 전기회로의 일부는 동일한 기능을 수행할 수 있는 프로그램을 내장한 마이콤(micom)을 이용할 수도 있다.4 shows the operation period of the timer 601 used in one embodiment of the present invention. In the section Ta shown in FIG. 4, the power source 200 is forcibly turned on. Even if the power source 200 is forcibly turned on in the section Ta, when the temperature of the electric heating element Rh has not yet fallen below the threshold temperature Tt, the power source 200 may be restored according to the principle described with reference to FIGS. 3A to 3D. 200 may be turned off again. Some of the electric circuits for temperature control described above may use a micom having a program that can perform the same function.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전열기(1)의 구성도를 나타낸 것이다. 5 shows a configuration diagram of the heater 1 according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 전열기(1)는 전기 발열체(Rh) 및 기판(101)을 포함하는 발열부(100), 전기 발열체(Rh)에 전류를 공급하는 전원(200), 발열부(100)에 포함된 전기 발열체(Rh)의 온도를 측정하는 전기 발열체 온도 측정부(300'), 전기 발열체 온도 측정부(300')의 출력 값과 기준 온도 생성부(500')에서 생성한 기준 값을 비교한 결과에 따라 전원(200)의 동작을 제어하는 전원 제어부(600')를 포함할 수 있다. 전원 제어부(600')는 전원(200)이 턴-온 또는 턴-오프 되도록 제어하거나 또는 전원(200)에서 발열부(100)로 들어가는 전류의 크기가 다양한 레벨 값을 갖도록 조절할 수도 있다.Referring to FIG. 5, the heater 1 may include a heat generating unit 100 including an electric heating element Rh and a substrate 101, a power supply 200 supplying a current to the electric heating element Rh, and a heat generating unit 100. The output value of the electric heating element temperature measuring unit 300 'and the electric heating element temperature measuring unit 300' measuring the temperature of the electric heating element Rh included in the reference value generated by the reference temperature generating unit 500 '. The power control unit 600 ′ may control the operation of the power supply 200 according to the comparison result. The power control unit 600 ′ may control the power supply 200 to be turned on or off, or may adjust the magnitude of the current flowing into the heat generating unit 100 from the power supply 200 to have various level values.

도 5와 같은 구성에 따르면, 발열부(100) 중 기판(101)의 온도를 측정하는 것이 아니라 전기 발열체(Rh)의 온도를 직접 측정하기 때문에 발열상태를 빠르게 피드백하여 발열부(100)의 온도를 제어할 수 있다.According to the configuration as shown in FIG. 5, rather than measuring the temperature of the substrate 101 of the heat generating unit 100, the temperature of the heat generating unit 100 is rapidly fed back by heating the heating state since the temperature of the electric heating element Rh is directly measured. Can be controlled.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전열기(1)의 구성도를 나타낸 것이다. 6 shows a configuration diagram of the electric heating 1 according to another embodiment of the present invention.

도 6에서는, 도 5에 나타낸 전기 발열체 온도 측정부(300')를 전기 발열체(Rh)의 저항을 측정하는 전기 발열체 저항 측정부(300'')가 대체하고 있다. 또한, 도 5에 나타낸 기준온도 생성부(500')를 기준 저항값을 생성하는 기준 저항값 생성부( 500'')가 대체하고 있다. 이러한 구성 변화에 맞추어 변경된 구조를 갖는 전원 제어부(600'')가 도 5의 전원 제어부(600')를 대체할 수 있다.In FIG. 6, the electric heating element resistance measuring part 300 " which measures the resistance of the electric heating element Rh is replaced by the electric heating element temperature measuring part 300 'shown in FIG. In addition, the reference resistance value generation part 500 "which produces | generates a reference resistance value is replaced by the reference temperature generation part 500 'shown in FIG. The power control unit 600 ″ having a structure changed according to the configuration change may replace the power control unit 600 ′ of FIG. 5.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전열기(1)의 구성을 나타낸 것이다.7 shows the configuration of the heater 1 according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 전열기(1)는 전기 발열체(Rh) 및 기판(101)을 포함하는 발열부(100), 전기 발열체(Rh)에 전류를 공급하는 전원(200), 전기 발열체(Rh)에 흐르는 전류를 측정하는 전기 발열체 전류 측정부 및 전기 발열체 전류 측정부에서 측정된 전류값을 전압값으로 변환하는 전류-전압 변환부, 전류-전압 변환부의 출력 값과 기준 전압 생성부(500)에서 생성한 기준 값을 비교한 결과에 따라 전원(200)의 동작을 제어하는 전원 제어부(600''')를 포함할 수 있다. 도 2에서 기술한 전류 변환기(300)는 상술한 전류-전압 변환부와 전기 발열체 전류 측정부를 포함할 수 있다. 도 7의 전원 제어부(600''')는 도 2의 제어부(600)와 비교기(400)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, the heater 1 may include a heat generating unit 100 including an electric heating element Rh and a substrate 101, a power supply 200 supplying a current to the electric heating element Rh, and an electric heating element Rh. In the electric heating element current measuring unit for measuring the current flowing in the current and the electric heating element current measuring unit current-voltage converter for converting the current value into a voltage value, the output value of the current-voltage converter and the reference voltage generator 500 The power control unit 600 ′ ″ may be configured to control an operation of the power source 200 according to a result of comparing the generated reference value. The current converter 300 described in FIG. 2 may include the above-described current-voltage converter and the electric heating element current measurer. The power controller 600 ′ ″ of FIG. 7 may include the controller 600 and the comparator 400 of FIG. 2.

도 8은 도 1 내지 도 7의 전열기에 대한 비교 실시예를 나타낸 것이다.8 illustrates a comparative example of the heaters of FIGS. 1 to 7.

도 8에 나타낸 전열기(1')는 전기 발열체(Rh), 기판(101), 및 온도 측정 패턴(Rd)를 포함하는 발열부(100), 전기 발열체(Rh)에 전류를 공급하는 전원(200), 온도 측정 패턴(Rd)을 이용하여 발열부(100)의 온도를 검출하는 온도 검출부 (900)를 포함한다. The heater 1 ′ shown in FIG. 8 is a power source 200 for supplying current to the heat generating unit 100 including the electric heating element Rh, the substrate 101, and the temperature measurement pattern Rd, and the electric heating element Rh. ), A temperature detector 900 that detects the temperature of the heat generator 100 using the temperature measurement pattern Rd.

온도 측정 패턴(Rd)은 기판(101)에 열을 공급하는 목적으로 사용되는 것이 아니며, 다만 온도 측정 패턴(Rd)의 온도를 측정하기 위한 것이다. 온도 측정 패턴(Rd)은 온도에 따라 저항값이 달라지는 재료로 구성될 수 있으며, 온도 측정 패턴의 양 단에 일정한 전압을 인가하여 측정되는 전류의 값을 보고 온도 측정 패턴(Rd)의 저항을 결정할 수 있다. 결정된 저항값에는 하나의 온도가 대응될 수 있으므로, 온도 측정 패턴(Rd) 및 온도 검출부(900)의 구성에 의해 온도 측정 패턴(Rd)의 온도를 측정할 수 있다.The temperature measurement pattern Rd is not used for the purpose of supplying heat to the substrate 101, but is for measuring the temperature of the temperature measurement pattern Rd. The temperature measurement pattern Rd may be formed of a material whose resistance value varies depending on temperature, and the resistance of the temperature measurement pattern Rd may be determined by looking at the current measured by applying a constant voltage to both ends of the temperature measurement pattern. Can be. Since one temperature may correspond to the determined resistance value, the temperature of the temperature measuring pattern Rd may be measured by the configuration of the temperature measuring pattern Rd and the temperature detector 900.

온도 검출부(900)의 온도 검출 결과는 전원(200)으로 피드백되어 전원(200)의 동작을 제어할 수 있다. 이때, 온도 검출부(900)에서 검출한 온도는 온도 측정 패턴(Rd) 자체의 온도이다. 열이 한 지점에서 다른 지점으로 이동하는데에는 시간이 걸리기 때문에, 온도 측정 패턴(Rd)의 온도는 측정 당시의 전기 발열체(Rh)의 온도 및 기판(101)의 온도와는 다를 수 있다. 따라서 지점(B)의 온도가 계속 증가하여 도 3a에 나타낸 임계 온도(Tt)에 도달한 시점에, 지점(C)의 온도는 아직 임계 온도(Tt)에 도달하지 않을 수 있다. 지점(C)의 온도가 임계 온도(Tt)에 도달할 때까지 전기 발열체(Rh)에는 계속하여 전류가 공급될 수 있기 때문에, 지점(C)의 온도가 임계 온도(Tt)에 도달한 시점에 이미 지점(A, B)의 온도는 임계 온도(Tt)를 초과할 수 있다. 따라서, 지점(A, B) 주변의 기판(101)의 온도 역시 임계 온도(Tt)를 초과할 수 있다. 그 결과, 예를 들어 지점(A)와 지점(B)를 직선으로 연결하는 라인 상에 있는 기판(101)을 통해 누설 전류가 흐를 수 있고, 그 결과 누설 전류가 흐르는 부분의 기판(101)의 물성이 변할 수 있다. 또한 누설 전류에 의해 전기 발열체(Rh) 양단의 저항 특성이 달라질 수 있다. 도 1 내지 도 7에 나타낸 실시예들은, 도 8과 같이 발열부(100)의 온도를 피드백하는데 시간이 오래 걸리기 때문에 발생하는 문제를 해결하기 위하여, 전기 발열체(Rh) 자체의 온도를 반영한 값을 피드백하는 구성을 갖는 것이다. The temperature detection result of the temperature detector 900 may be fed back to the power source 200 to control the operation of the power source 200. At this time, the temperature detected by the temperature detector 900 is the temperature of the temperature measurement pattern Rd itself. Since the heat takes time to move from one point to another, the temperature of the temperature measurement pattern Rd may be different from the temperature of the electric heating element Rh and the temperature of the substrate 101 at the time of measurement. Thus, when the temperature of point B continues to increase and reaches the threshold temperature Tt shown in FIG. 3A, the temperature of point C may not yet reach the threshold temperature Tt. Since the current can be continuously supplied to the electric heating element Rh until the temperature of the point C reaches the threshold temperature Tt, at the time when the temperature of the point C reaches the threshold temperature Tt Already the temperature of points A and B may exceed the threshold temperature Tt. Therefore, the temperature of the substrate 101 around the points A and B may also exceed the threshold temperature Tt. As a result, for example, leakage current may flow through the substrate 101 on a line connecting the point A and the point B in a straight line, and as a result, the portion of the substrate 101 of the portion where the leakage current flows. Physical properties may change. In addition, the resistance characteristics of both ends of the electric heating element Rh may be changed by the leakage current. 1 to 7 are values reflecting the temperature of the electric heating element Rh itself in order to solve the problem that occurs because it takes a long time to feed back the temperature of the heat generating unit 100 as shown in FIG. It has a configuration to feed back.

도 8과 같이 동일 기판에서 전기 발열체에 인접하여 구성한 패턴으로 온도검출을 하는 경우에, 특히 열전도도가 낮은 기판재료를 이용한 전열기의 경우에는 전기 발열체의 온도를 정확히 제어할 수 없다. 이와 같이, 별도의 온도센서소자를 전기 발열체에 근접시켜 사용하는 방법으로는 온도를 정확하게 제어하기가 더욱 어렵다.When temperature detection is performed in a pattern formed adjacent to the electric heating element on the same substrate as shown in FIG. 8, particularly in the case of a heater using a substrate material having low thermal conductivity, the temperature of the electric heating element cannot be accurately controlled. As such, it is more difficult to accurately control the temperature by using a separate temperature sensor element in close proximity to the electric heating element.

도 9a는 도 1 내지 도 7에 설명한 전열기(1)에 포함된 전기 발열체(Rh)의 작동 온도 변화를 나타낸 것이다. FIG. 9A illustrates a change in operating temperature of the electric heating element Rh included in the heater 1 described with reference to FIGS. 1 to 7.

도 9a를 살펴보면, 전기 발열체(Rh)의 온도는 상승하다가 턴- 오프 시점(801)부터 감소하기 시작하고, 다시 턴-온 시점(802)에서 상승하게 되며, 이러한 과정이 반복될 수 있다. 턴-온 시점(802)은 도 4에 나타낸 타이머의 설정 값에 따라 조절될 수 있다. 도 9a에 나타낸 것과 같이, 전기 발열체(Rh)의 정상 상태 온도는 시간에 따라 요동(ΔT1)을 보일 수 있다. 여기서 '정상 상태'란 온도가 약간 요동치더라도 지속적으로 일정한 범위 내에서 움직이는 안정화된 상태를 의미할 수 있다.Referring to FIG. 9A, the temperature of the electric heating element Rh increases and starts to decrease from the turn- off time 801, and rises again at the turn-on time 802, and the process may be repeated. The turn-on time point 802 may be adjusted according to the setting value of the timer shown in FIG. 4. As shown in FIG. 9A, the steady state temperature of the electric heating element Rh may show fluctuation ΔT1 over time. Here, the 'normal state' may mean a stabilized state continuously moving within a certain range even if the temperature fluctuates slightly.

도시하지는 않았지만, 전기 발열체(Rh)에 결합된 기판(101)에 차가운 물체를 올려놓으면 전기 발열체(Rh)의 온도는 떨어졌다가 다시 상승할 수 있다.Although not shown, when a cold object is placed on the substrate 101 coupled to the heating element Rh, the temperature of the heating element Rh may drop and then rise again.

도 9b는 도 8에 설명한 전열기(1')에 포함된 전기 발열체(Rh)의 작동 온도 변화를 나타낸 것이다. FIG. 9B illustrates a change in operating temperature of the electric heating element Rh included in the heater 1 ′ illustrated in FIG. 8.

도 9b를 살펴보면, 온도 측정 패턴(Rd)의 온도 변화는 전기 발열체(Rh)의 온도 변화를 뒤따르는 것을 볼 수 있다. 이는 전기 발열체(Rh)로부터 온도 측정 패턴(Rd)까지 열이 전달되는데에 시간이 걸리기 때문이다. 전기 발열체(Rh)의 온도가 임계 온도(Tt)에 도달할 때에 온도 측정 패턴(Rd)의 온도는 온도(Tt-ΔTc)에 도달한다. 이 온도(Tt-ΔTc)를 도 2에서 설명한 기준 온도(Vref)와 유사한 개념을 사용할 수 있다. 즉, 도 9b에 나타낸 것과 같이 온도 측정 패턴(Rd)의 온도가 온도(Tt-ΔTc)보다 크면 전원(200)을 차단하고, 온도 측정 패턴(Rd)의 온도가 온도(Tt-ΔTc)보다 작으면 전원(200)을 다시 연결하도록 할 수 있다. 예를 들어, 턴- 오프 시점(901)은 온도 측정 패턴(Rd)의 온도가 온도(Tt-ΔTc)와 동일하게 되는 시점이며, 이때부터 전원(200)이 차단되어 전기 발열체(Rh)의 온도가 하강하게 된다. 마찬가지로, 턴-온 시점(902)도 온도 측정 패턴(Rd)의 온도가 온도(Tt-ΔTc)와 동일하게 되는 시점이며, 이때부터 전원(200)이 다시 연결되어 전기 발열체(Rh)의 온도가 상승하게 된다. 이러한 턴-온 및 턴-오프 과정을 반복하게 된다. Referring to FIG. 9B, it can be seen that the temperature change of the temperature measurement pattern Rd follows the temperature change of the electric heating element Rh. This is because it takes time for heat to be transferred from the electric heating element Rh to the temperature measurement pattern Rd. When the temperature of the electric heating element Rh reaches the threshold temperature Tt, the temperature of the temperature measuring pattern Rd reaches the temperature Tt-ΔTc. This temperature Tt-ΔTc may be similar in concept to the reference temperature Vref described in FIG. 2. That is, as shown in FIG. 9B, when the temperature of the temperature measuring pattern Rd is greater than the temperature Tt-ΔTc, the power supply 200 is cut off, and the temperature of the temperature measuring pattern Rd is smaller than the temperature Tt-ΔTc. If so, the power source 200 may be reconnected. For example, the turn- off time point 901 is a time point at which the temperature of the temperature measurement pattern Rd becomes equal to the temperature Tt-ΔTc, and from this time, the power supply 200 is cut off to thereby open the temperature of the electric heating element Rh. Will descend. Similarly, the turn-on time point 902 is also a time point at which the temperature of the temperature measurement pattern Rd is equal to the temperature Tt-ΔTc. From this time, the power source 200 is connected again so that the temperature of the electric heating element Rh is increased. Will rise. This turn-on and turn-off process is repeated.

그런데 도 9b를 참조하면 알 수 있듯이, 도 8과 같은 전열기(1')의 구성에 따르면, 전기 발열체(Rh)의 온도 변화를 온도 측정 패턴(Rd)이 정확히 감지하는데 시간이 걸리기 때문에, 전원(200)을 턴-온 또는 턴-오프 하기 위한 최적의 시점을 결정하기 어렵다. 따라서, 도 9b에 도시된 전기 발열체(Rh)의 온도의 정상 상태에서의 요동값(ΔT2)은 도 9a에 도시된 요동값(ΔT1) 보다 클 수 있다. 따라서, 도 9a와 도 9b에서 전기 발열체(Rh)의 최고 허용 온도를 기판(101)의 임계 온도(Tt)로 제한하는 경우에, 도 9a에서의 정상상태 평균온도는 도 9b의 정상상태 평균온도보다 높게 된다. 따라서, 도 9a와 같이 전기 발열체 자체의 온도를 측정하여 제어하는 도 1 내지 도 7의 구성을 갖는 전열기는, 도 9b와 같은 온도 변화 패턴을 갖는 도 8의 구성을 갖는 전열기에 비하여, 주어진 임계 온도(Tt)를 갖는 기판(101)의 사용온도를 최대한 상승시킬 수 있다.9B, according to the configuration of the heater 1 ′ as shown in FIG. 8, since it takes time for the temperature measurement pattern Rd to accurately detect the temperature change of the electric heating element Rh, the power source ( It is difficult to determine the best time to turn on or off 200). Accordingly, the swing value ΔT2 at the steady state of the temperature of the electric heating element Rh shown in FIG. 9B may be larger than the swing value ΔT1 shown in FIG. 9A. Therefore, in the case where the maximum allowable temperature of the electric heating element Rh is limited to the threshold temperature Tt of the substrate 101 in FIGS. 9A and 9B, the steady state average temperature in FIG. 9A is the steady state average temperature in FIG. 9B. Higher. Accordingly, the heater having the configuration of FIGS. 1 to 7 measuring and controlling the temperature of the electric heating element itself, as shown in FIG. 9A, has a given critical temperature compared to the heater having the configuration of FIG. 8 having the temperature change pattern as shown in FIG. 9B. The use temperature of the substrate 101 having Tt can be raised to the maximum.

이상 본 발명이 양호한 실시예와 관련하여 설명되었으나, 본 발명의 기술 분야에 속하는 자들은 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에 다양한 변경 및 수정을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 특허청구범위의 각 청구항의 내용은 본 명세서를 통해 이해할 수 있는 범위 내에서 인용관계가 없는 다른 청구항에 결합될 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will readily occur to those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention. The content of each claim in the claims may be combined in another claim without citations within the scope of the claims.

그러므로 개시된 실시예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 진정한 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
Therefore, the disclosed embodiments should be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation, and the true scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the equivalent scope are included in the present invention. Should be interpreted as.

Claims (20)

온도에 따라 변화하는 저항값을 갖는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판;
상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원;
상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 측정하여, 상기 측정된 전류에 대응하는 전압을 제공하는 측정부; 및
상기 측정부에 의해 제공된 전압과, 상기 기판의 실측온도와 관계없이 미리 설정된 기준 전압을 서로 비교한 결과를 기초로 상기 전류의 크기를 제어하는 제어부
를 포함하는, 전열기.An electric heating element having a resistance value varying with temperature and a substrate heated by the electric heating element;
A power supply adapted to supply power to the electric heating element;
A measuring unit measuring a current flowing through the electric heating element and providing a voltage corresponding to the measured current; And
A controller for controlling the magnitude of the current based on a result of comparing the voltage provided by the measurement unit with a preset reference voltage regardless of the actual measurement temperature of the substrate
Including, electric heater. 제1항에 있어서,
상기 전류 측정부는 전류값을 전압값으로 변환하는 전류 변환기를 포함하며,
상기 측정된 전류에 대응하는 값을 미리 결정된 값과 비교하는 것은, 상기 전류 변환기가 상기 측정된 전류의 값을 변환하여 출력한 전압을 미리 결정된 기준 전압값과 비교하는 것인, 전열기.The method of claim 1,
The current measuring unit includes a current converter for converting a current value into a voltage value,
And comparing the value corresponding to the measured current with a predetermined value, comparing the voltage output by the current converter by converting the value of the measured current with a predetermined reference voltage value. 제1항에 있어서, 상기 전기 발열체와 상기 기판 사이에는 다른 절연체가 개재되어 있지 않은, 전열기.The heater according to claim 1, wherein no other insulator is interposed between the electric heating element and the substrate. 제1항에 있어서, 상기 전기 발열체는 상기 기판에 접촉되어 있는, 전열기.The heater according to claim 1, wherein the electric heating element is in contact with the substrate. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 비교한 결과에 따라 상기 전기 발열체에 전류를 도통시키거나 또는 차단하도록 되어 있는, 전열기.The heater according to claim 1, wherein the control unit is configured to conduct or cut off a current to the electric heating element according to the comparison result. 제1항에 있어서, 상기 기판의 비저항은 온도에 따라 달라지는, 전열기.The heater of claim 1, wherein the resistivity of the substrate varies with temperature. 온도에 따라 변화하는 저항값을 갖는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판을 포함하는 전열기의 온도를 제어하는 방법으로서,
상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 측정하여, 상기 측정된 전류에 대응하는 전압을 제공하는 단계; 및
상기 제공된 전압을 상기 기판의 실측온도와 관계없이 미리 결정된 기준 전압과 서로 비교한 결과를 기초로 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 제어하는 단계
를 포함하는,
온도 제어 방법.A method of controlling the temperature of an electric heater including an electric heating element having a resistance value that varies with temperature and a substrate heated by the electric heating element,
Measuring a current flowing through the electric heating element to provide a voltage corresponding to the measured current; And
Controlling the magnitude of the current flowing in the electric heating element based on a result of comparing the provided voltage with a predetermined reference voltage regardless of the actual measurement temperature of the substrate;
Including,
Temperature control method. 제7항에 있어서, 상기 비교한 결과에 따라 상기 전기 발열체에 전류를 도통시키거나 또는 차단하는 단계를 포함하는, 온도 제어 방법.8. The method of claim 7, including conducting or interrupting a current to the electric heating element according to the comparison result. 온도에 따라 변화하는 저항값을 갖는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판을 포함하는 전열기의 온도를 제어하는 방법으로서,
상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 값을 측정함으로써 상기 전기 발열체의 온도를 측정하는 단계; 및
상기 측정된 전기 발열체의 온도를 상기 기판의 실측온도와 관계없이 미리 결정된 기준 온도와 서로 비교한 결과를 기초로, 상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 차단 또는 도통함으로써 상기 전열기의 온도를 제어하는 단계
를 포함하는,
온도 제어 방법.A method of controlling the temperature of an electric heater including an electric heating element having a resistance value that varies with temperature and a substrate heated by the electric heating element,
Measuring a temperature of the electric heating element by measuring a value of a current flowing through the electric heating element; And
Controlling the temperature of the electric heater by cutting off or conducting a current flowing through the electric heating element based on a result of comparing the measured temperature of the electric heating element with a predetermined reference temperature irrespective of the measured temperature of the substrate.
Including,
Temperature control method. 제9항에 있어서, 상기 기준 온도는 상기 전기 발열체로부터 상기 기판으로 누설되는 누설 전류의 값이 미리 결정된 임계값에 도달할 때의 상기 전기 발열체의 온도인, 온도 제어 방법.The temperature control method according to claim 9, wherein the reference temperature is a temperature of the electric heating element when a value of the leakage current leaking from the electric heating element to the substrate reaches a predetermined threshold. 온도에 따라 변화하는 저항값을 갖는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판;
상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원;
상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 값을 측정함으로써 상기 전기 발열체의 온도를 제공하도록 되어 있는 측정부; 및
상기 측정부에 의해 제공된 온도를 상기 기판의 실측온도와 관계없이 미리 결정된 기준 온도와 서로 비교한 결과를 기초로, 상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 차단 또는 도통함으로써 상기 기판의 온도를 제어하는 제어부
를 포함하는, 전열기.An electric heating element having a resistance value varying with temperature and a substrate heated by the electric heating element;
A power supply adapted to supply power to the electric heating element;
A measuring unit configured to provide a temperature of the electric heating element by measuring a value of a current flowing through the electric heating element; And
A controller which controls the temperature of the substrate by cutting off or conducting a current flowing through the electric heating element based on a result of comparing the temperature provided by the measuring unit with a predetermined reference temperature irrespective of the actual measurement temperature of the substrate
Including, electric heater. 삭제delete 제11항에 있어서, 상기 기판의 비저항은 온도에 따라 달라지는, 전열기.12. The heater of claim 11, wherein the resistivity of the substrate varies with temperature. 제11항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 비교한 결과를 기초로 상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 도통시키거나 또는 차단하도록 되어 있는 스위치를 포함하는, 전열기.The heater according to claim 11, wherein the control unit includes a switch configured to conduct or cut off a current flowing in the electric heating element based on the result of the comparison. 제14항에 있어서, 상기 스위치는 무접점 릴레이 방식인, 전열기.15. The heater of claim 14, wherein said switch is a solid state relay. 온도에 따라 변화하는 저항값을 갖는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판;
상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원;
상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 값을 측정하고, 상기 측정된 전류의 값과 상기 전기 발열체의 양단에 인가된 전압을 기초로 상기 전기 발열체의 저항값을 측정하는 측정부; 및
상기 측정부에 의해 측정된 저항값을 상기 기판의 실측온도와 관계없이 미리 결정된 기준 저항값과 비교한 결과를 기초로 상기 전기 발열체에 흐르는 전류의 크기를 제어하는 제어부
를 포함하는, 전열기.An electric heating element having a resistance value varying with temperature and a substrate heated by the electric heating element;
A power supply adapted to supply power to the electric heating element;
A measuring unit measuring a value of a current flowing through the electric heating element and measuring a resistance value of the electric heating element based on the value of the measured current and a voltage applied to both ends of the electric heating element; And
A control unit for controlling the magnitude of the current flowing through the electric heating element based on the result of comparing the resistance value measured by the measuring unit with a predetermined reference resistance value irrespective of the actual measurement temperature of the substrate
Including, electric heater. 제16항에 있어서, 상기 제어부는 상기 비교한 결과에 따라 상기 전기 발열체에 전류를 도통시키거나 또는 차단하도록 되어 있는, 전열기.The heater according to claim 16, wherein the control unit is configured to conduct or cut off a current to the electric heating element according to the comparison result. 온도에 따라 변화하는 저항값을 갖는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판 및 상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원을 포함하는 전열기에 사용되는 온도 제어 모듈로서,
상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 측정하고, 상기 측정된 전류에 대응하는 전압을 제공하는 측정부; 및
상기 측정부에 의해 제공된 전압과 상기 기판의 실측온도와 관계없이 미리 결정된 기준 전압을 서로 비교한 결과를 기초로 상기 전류의 크기를 제어하는 제어부
를 포함하는, 온도 제어 모듈.A temperature control module for use in an electric heater comprising an electric heating element having a resistance value that changes with temperature, a substrate heated by the electric heating element, and a power source configured to supply electric power to the electric heating element,
A measuring unit measuring a current flowing through the electric heating element and providing a voltage corresponding to the measured current; And
A control unit controlling the magnitude of the current based on a result of comparing the voltage provided by the measurement unit with a predetermined reference voltage irrespective of the actual measurement temperature of the substrate
Comprising a, temperature control module. 제18항에 있어서, 상기 제어부는 상기 비교한 결과에 따라 상기 전기 발열체에 전류를 도통시키거나 또는 차단하도록 되어 있는, 온도 제어 모듈.The temperature control module according to claim 18, wherein the control unit is configured to conduct or cut off a current to the electric heating element according to the comparison result. 온도에 따라 변화하는 저항값을 갖는 전기 발열체 및 상기 전기 발열체에 의해 가열되는 기판;
상기 전기 발열체에 전력을 공급하도록 되어 있는 전원;
상기 전기 발열체에 흐르는 전류를 측정하여, 상기 측정된 전류에 대응하는 전압을 제공하는 측정부; 및
상기 측정부에 의해 제공된 전압과 상기 기판의 실측온도와 관계없이 미리 결정된 기준 전압을 서로 비교한 결과를 기초로 상기 전류의 크기를 제어하는 제어부
를 포함하는, 면상 발열체.An electric heating element having a resistance value varying with temperature and a substrate heated by the electric heating element;
A power supply adapted to supply power to the electric heating element;
A measuring unit measuring a current flowing through the electric heating element and providing a voltage corresponding to the measured current; And
A control unit controlling the magnitude of the current based on a result of comparing the voltage provided by the measurement unit with a predetermined reference voltage irrespective of the actual measurement temperature of the substrate
Including, planar heating element.
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