KR101096535B1 - 가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템 - Google Patents
가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 공기 중의 가스 화합물을 정량분석하여 식별하는 가스 식별 장치의 내부 가스 센서 시스템에 있어서,상기 내부 가스 센서 시스템은, 가스 흡입부를 통해서 흡입되는 시료 가스를 탐지하는 2개 이상의 가스 센서부로 이루어지는 다중 센서부를 포함하여 이루어지며, 시료 가스는 다중 센서부의 각각의 가스 센서부를 시계열적으로 통과함으로써 시료 데이터를 강화하며,상기 다중 센서부는, 이종(異種)의 가스 센서부로 이루어져 있으며, 상기 가스 센서부는 각각 이온 이동도 분광(Ion Mobility Spectrometry; IMS) 센서, 광이온화 검출기(Photo Ionization Detector; PID) 센서, 표면 탄성파(Surface Acoustic Wave; SAW) 센서 중 2개 이상을 포함하며, 시료 가스는 각각의 가스 센서부를 시계열적으로 통과하는 것을 특징으로 하는, 가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템.
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- 공기 중의 가스 화합물을 정량분석하여 식별하는 가스 식별 장치의 내부 가스 센서 시스템에 있어서,상기 내부 가스 센서 시스템은, 가스 흡입부를 통해서 흡입되는 시료 가스를 탐지하는 2개 이상의 가스 센서부로 이루어지는 다중 센서부를 포함하여 이루어지며, 시료 가스는 다중 센서부의 각각의 가스 센서부를 시계열적으로 통과함으로써 시료 데이터를 강화하며,상기 다중 센서부는, 동종(同種)의 가스 센서부를 다층으로 형성하여 이루어짐으로써, 탐지 신호의 감도를 강화하는 것을 특징으로 하는, 가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 가스 센서부는 PID 센서이며, 각각의 가스 센서부는 고전압 전극의 전극 로드들이 이온 검출 전극의 전극 로드들을 감싸는 구조로 이루어져 전기장을 균일하게 형성하는 것을 특징으로 하는, 가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템.
- 제 4 항에 있어서,다층으로 형성된 상하(上下)의 가스 센서부의 각각의 고전압 전극 및 이온 검출 전극의 위치 및 전극 로드들의 관계는 서로 일치하는 것을 특징으로 하는, 가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템.
- 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 가스 센서부는 고전압 전극의 전극 로드들이 이온 검출 전극의 전극 로드들을 감싸는 구조를 패턴화하여, 실리콘 웨이퍼를 이용한 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 기법에 의해 제작하는 것인, 가스 식별장치의 강화된 가스 센서 시스템.
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