KR101086693B1 - A method for manufacturing a flexible copper clad laminate with excellent crack resistance - Google Patents

A method for manufacturing a flexible copper clad laminate with excellent crack resistance Download PDF

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Abstract

본 발명은 내굴곡성이 우수한 연성 동박 적층판(flexible copper clad laminates: FCCL)의 제조 방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 고분자 필름에 스퍼터링법으로 동박을 형성하고, 그 위에 광택제와 레벨러 함량 및 전류 조건을 조절하여 동도금층을 형성함으로써 내굴곡성이 현저히 향상된 연성 동박 적층판을 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing flexible copper clad laminates (FCCL) having excellent flex resistance, and more particularly, copper foil is formed on a polymer film by sputtering, and the gloss, leveler content, and current conditions are thereon. The present invention relates to a method for producing a flexible copper foil laminated plate that is significantly improved in flex resistance by adjusting to form a copper plating layer.

내굴곡성, 연성, 동박, 적층판, 제조 Flex resistance, ductility, copper foil, laminated sheet, manufacturing

Description

내굴곡성이 우수한 연성 동박 적층판의 제조 방법{A METHOD FOR MANUFACTURING A FLEXIBLE COPPER CLAD LAMINATE WITH EXCELLENT CRACK RESISTANCE}A method of manufacturing a flexible copper foil laminate having excellent flex resistance {A METHOD FOR MANUFACTURING A FLEXIBLE COPPER CLAD LAMINATE WITH EXCELLENT CRACK RESISTANCE}

본 발명은 내굴곡성이 우수한 연성 동박 적층판(flexible copper clad laminates: FCCL)의 제조 방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 고분자 필름에 스퍼터링법으로 동박을 형성하고, 그 위에 광택제와 레벨러 함량 및 전류 조건을 조절하여 동도금층을 형성함으로써 내굴곡성이 현저히 향상된 연성 동박 적층판을 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing flexible copper clad laminates (FCCL) having excellent flex resistance, and more particularly, copper foil is formed on a polymer film by sputtering, and the gloss, leveler content, and current conditions are thereon. The present invention relates to a method for producing a flexible copper foil laminated plate that is significantly improved in flex resistance by adjusting to form a copper plating layer.

연성동박적층판은 인쇄회로기판의 원판으로 사용되며, 구조에 따라 동박과 절연재 사이를 접착제로 적층하는 3층 동박적층판과, 접착제를 사용하지 않고 적층하는 2층 동박적층판으로 나뉜다. Flexible copper-clad laminates are used as the original boards of printed circuit boards. The flexible copper-clad laminates are divided into three-layer copper-laminated laminates laminated with an adhesive between copper foil and an insulating material, and two-layer copper-laminated laminates laminated without an adhesive, depending on the structure.

3층 동박적층판은 제조비용이 저렴하고 용이하나 접착제 사용으로 인해 내열성이 떨어지고, 회로 배선폭을 낮추는데 한계가 있는 단점이 있어, 2층 동박적층판의 사용이 증가하고 있다. The three-layer copper-clad laminate has a disadvantage in that it is inexpensive and easy to manufacture, but has a disadvantage in that it is inferior in heat resistance due to the use of an adhesive and has a limitation in lowering the circuit wiring width.

2층 동박적층판은 동박호일에 폴리이미드 용액을 도포하고 경화하는 캐스팅 법(casting)과 폴리이미드 필름 위에 구리를 진공증착한 후 전기도금하여 구리를 두껍게 하는 스퍼터링법(sputtering)이 있다. The two-layer copper-clad laminate includes a casting method of coating and curing a polyimide solution on a copper foil and a sputtering method of thickening copper by electroplating the copper on a polyimide film.

스퍼터링법에서 활용하는 전기도금에는 광택도금과 무광택도금이 있다. 광택도금의 경우 전류조절로 표면조도를 어느 정도 향상시킬 수는 있으나 일반적으로 표면조도가 낮아 드라이브 IC 칩 본드(drive IC chip bond)시 탈착이 일어날 수 있는 문제점이 있다. 반면, 무광택도금을 했을 때는 표면 조도가 너무 높아 표면이 거칠고 미세패턴을 구현하는데 있어 한계가 있다. 또한 표면의 조밀도가 떨어져 내굴곡성이 약한 단점이 있다. There are two types of electroplating used in the sputtering method: gloss plating and matt plating. In the case of glossy plating, surface roughness can be improved to some extent by current control, but there is a problem in that desorption may occur during drive IC chip bonds due to low surface roughness. On the other hand, when the matte plating, the surface roughness is too high, the surface is rough and there is a limit in implementing a fine pattern. In addition, there is a disadvantage in that the flexural resistance is weak due to the poor surface density.

구리 전기 도금 용액의 기본 물질은 황산구리 및 황산이다. 높은 생산성을 유지하면서도 균일한 막질을 얻기 위해서는, 기본물질로 구성된 구리 도금 용액에 적절한 조합의 첨가제가 첨가되어야 한다. 이러한 목적을 달성하기 위한 첨가제로서 광택제, 레벨러(leveler) 및 염소이온이 사용된다. The base materials of the copper electroplating solution are copper sulfate and sulfuric acid. In order to obtain a uniform film quality while maintaining high productivity, an appropriate combination of additives should be added to the copper plating solution composed of the base material. Polishing agents, levelers and chlorine ions are used as additives to achieve this purpose.

광택제는 도금되는 동안 음극 표면에 흡착되어 전하 교환 반응에 관여한다. 특히, Cu2 + 이온이 환원 반응하는 동안 촉매 역할을 하여 구리의 전착 속도를 증가시킨다. The brightener is adsorbed on the surface of the cathode during plating and participates in the charge exchange reaction. In particular, the catalyst and the Cu 2 + ions, while the reduction reaction to increase the deposition rate of the copper.

레벨러는 음극 표면에 흡착하여 전류 효율을 낮추는 역할을 한다. 표면에 흡착되는 형태가 물질이동이나 전하 이동에 영향을 받아 돌출부나 코너 부분에 집중적으로 흡착하여 구리의 전착 속도를 낮춘다. The leveler serves to lower the current efficiency by adsorbing on the cathode surface. Adsorption on the surface is influenced by mass transfer or charge transfer, so it is concentrated on the protrusion or corner to lower the electrodeposition rate of copper.

염소이온은 양극 및 음극에 모두 흡착되는데, 음극에서는 레벨러가 음극에 안정하게 흡착할 수 있도록 도와서 레벨러의 효과를 크게 한다. 또한 양극에 흡착하여 구리의 용해 반응 속도를 증가시킨다. Chlorine ions are adsorbed on both the anode and the cathode. At the cathode, the leveler helps to stably adsorb to the cathode, thereby increasing the effect of the leveler. It also adsorbs on the anode to increase the rate of dissolution of copper.

동박적층판은 휴대폰, 모니터, TV, 디지털 카메라의 COF (chip on film), FPC (flexible printed circuit) 등에 주로 사용되고 있으며, 정보전송용량의 증가, 외부 환경에 노출이 많아져 점차 가혹한 환경에서 사용되고 있다. 특히, 스퍼터링법으로 제조된 동박적층판 경우 내굴곡성이 낮기 때문에 가혹한 외부 환경에 노출되었을 경우 회로 배선의 단락 등 제품의 치명적인 불량을 초래할 가능성이 높아, 가혹한 외부 환경에도 높은 내굴곡성을 유지하는 동박적층판이 요구되고 있다.Copper-clad laminates are mainly used in COF (chip on film) and FPC (flexible printed circuit) of mobile phones, monitors, TVs, and digital cameras, and are increasingly used in harsh environments due to increased information transmission capacity and increased exposure to external environments. In particular, the copper foil laminated sheet manufactured by sputtering method is low in bending resistance, so when exposed to severe external environment, it is highly likely to cause fatal defects of the product such as short circuit of the circuit wiring. It is required.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 한 것으로서, 본 발명은 연성 동박 적층판을 제조하는데 있어서 광택제와 레벨러의 함량 및 전류 조건을 조절하여 내굴곡성을 향상시키는 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. The present invention is to solve the problems of the prior art as described above, the present invention is to provide a method for improving the flex resistance by adjusting the content and current conditions of the polisher and leveler in manufacturing a flexible copper foil laminate. Shall be.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 (1) 기재 필름을 표면처리하는 단계; (2) 상기 표면 처리된 기재 필름상에 구리박막을 증착하는 단계; 및 (3) 상기 구리박막이 증착된 기재 필름을 1~4ml/L의 광택제 및 10~40ml/L의 레벨러를 함유하는 구리 전기 도금 용액 조성물 내에서, 적어도 1A/dm2 에서 시작하여 최대 5A/dm2 에 이르기까지 순차적으로 인가전류를 증가시키는 조건으로 전기도금하여 구리박막 상에 구리도금층을 형성하는 단계;를 포함하는 연성 동박 적층판의 제조방법을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention comprises the steps of (1) surface treatment of the base film; (2) depositing a copper thin film on the surface treated base film; And (3) the copper film deposited base film in a copper electroplating solution composition containing 1-4 ml / L of varnish and 10-40 ml / L leveler, starting at least 1 A / dm 2 and up to 5 A / It provides a method for producing a flexible copper foil laminated plate comprising; forming a copper plating layer on a copper thin film by electroplating under the conditions of sequentially increasing the applied current up to dm 2 .

본 발명에 따르면, 내굴곡성이 현저히 향상된 연성 동박 적층판을 용이하게 제조할 수 있다.According to this invention, the flexible copper foil laminated board which remarkably improved the bending resistance can be manufactured easily.

이하에서 본 발명의 연성 동박 적층판 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the manufacturing method of the flexible copper foil laminated board of this invention is demonstrated in detail.

본 발명의 연성 동박 적층판 제조방법에 있어서, 상기 (1) 단계에서는 동박 적층판의 기재 필름을 표면처리한다. 상기 기재 필름으로는 폴리이미드 필름, 테프론 필름, PET 필름, PC 필름 등과 같이 연성 동박 적층판의 기재로서 적합한 고분자 필름이 제한없이 사용될 수 있으며, 바람직하게는 폴리이미드 필름이 사용된다. In the flexible copper foil laminated sheet manufacturing method of this invention, in the said (1) step, the base film of a copper foil laminated board is surface-treated. As the base film, a polymer film suitable as a base material of a flexible copper foil laminate such as a polyimide film, a teflon film, a PET film, a PC film, etc. may be used without limitation, and preferably a polyimide film is used.

상기 기재 필름의 표면처리는 절연재와 금속간의 접착력 또는 내열성을 향상시키기 위한 것으로서 플라즈마 또는 이온빔을 조사하는 등의 통상의 표면처리 방법에 의하여 수행될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 바람직하게는, 이온빔을 사용하여, 더 바람직하게는 산소 이온빔을 사용하여 기재 필름의 표면을 처리한다. The surface treatment of the base film is to improve adhesion or heat resistance between the insulating material and the metal, and may be performed by a conventional surface treatment method such as irradiating plasma or ion beam, but is not limited thereto. Preferably, the surface of the base film is treated using an ion beam, more preferably an oxygen ion beam.

본 발명의 연성 동박 적층판 제조방법에 있어서, 상기 (2) 단계에서는 표면 처리된 기재 필름상에 구리박막을 증착한다. 구리박막의 증착은 공지의 방법에 의 하여 수행될 수 있으며, 바람직하게는 스퍼터링법에 의해 증착한다. In the method for producing a flexible copper foil laminate of the present invention, in step (2), a copper thin film is deposited on the surface-treated base film. The deposition of the copper thin film can be carried out by a known method, and is preferably deposited by sputtering.

증착되는 구리박막의 두께는 1000~6000Å인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 2000~5000Å 의 두께이다. 증착되는 구리박막의 두께가 1000Å 미만이면 구리의 두께가 얇아 전해도금시 전기저항이 높아질 뿐만 아니라 핀홀(pinhole) 발생을 유발할 수도 있다. 동박 두께가 6000Å 을 초과하면 두께가 두꺼워 컬(curl)이 발생할 수 있고, 진공증착시 증착시간이 오래 소요되어 생산력이 떨어지는 문제가 발생한다. The thickness of the copper thin film to be deposited is preferably 1000 to 6000 kPa, more preferably 2000 to 5000 kPa. If the thickness of the deposited copper thin film is less than 1000Å, the thickness of copper is thin, which may cause not only electrical resistance during electroplating but also pinhole generation. If the thickness of the copper foil exceeds 6000Å curl may occur because the thickness is thick, and the deposition time takes a long time during vacuum deposition, there is a problem that the productivity is reduced.

본 발명의 연성 동박 적층판 제조방법에 있어서, 상기 (3) 단계에서는 구리박막이 증착된 기재 필름을 1~4ml/L의 광택제 및 10~40ml/L의 레벨러를 함유하는 구리 전기 도금 용액 조성물 내에서 적어도 1A/dm2 에서 시작하여 최대 5A/dm2 에 이르기까지 순차적으로 인가전류를 증가시키는 조건으로 전기도금하여 구리박막 상에 구리도금층을 형성한다. In the method for producing a flexible copper foil laminate of the present invention, in the step (3), the base film on which the copper thin film is deposited is contained in a copper electroplating solution composition containing a gloss agent of 1-4 ml / L and a leveler of 10-40 ml / L. A copper plating layer is formed on the copper thin film by electroplating under conditions of increasing the applied current sequentially starting at least 1A / dm 2 up to 5A / dm 2 .

상기 광택제로는 알킬술폰산염 화합물, 폴리에틸렌글리콜계 화합물, 무기화합물 및 이들의 혼합물이 바람직하게 사용되며, 보다 바람직하게는 알킬술폰산염 화합물이 사용된다. 이러한 알킬술폰산염 화합물의 구체적인 예로는 실리콘이 함유된 디메틸술폰산염, 실리콘이 함유된 디에틸술폰산염 등을 들 수 있다. As the brightening agent, alkyl sulfonate compounds, polyethylene glycol compounds, inorganic compounds and mixtures thereof are preferably used, and more preferably alkyl sulfonate compounds. Specific examples of such alkyl sulfonate compounds include silicon-containing dimethyl sulfonate, silicon-containing diethyl sulfonate, and the like.

구리 전기 도금 용액 조성물 내에 상기 광택제의 농도는 1~4ml/L이다. 광택 제 농도가 1ml/L 미만이면 동박의 내굴곡성이 저하되는 문제가 있고, 4ml/L를 초과하면 물성의 개선은 보이지 않고 첨가제 비용이 증가하는 단점이 있다.The concentration of the brightener in the copper electroplating solution composition is 1-4 ml / L. If the gloss agent concentration is less than 1 ml / L, there is a problem that the flex resistance of the copper foil is lowered. If the gloss agent concentration is more than 4 ml / L, the improvement of physical properties is not seen and the additive cost is increased.

상기 레벨러로는 유기 실란계 설페이트 화합물, 폴리비닐이미다졸리움계 화합물, 폴리비닐피롤리돈계 화합물, 및 이들의 혼합물이 바람직하게 사용되며, 보다 바람직하게는 유기 실란계 설페이트 화합물이 사용된다. 이러한 유기 실란계 설페이트 화합물의 구체적인 예로 실릴 디옥산계 설페이트 화합물, 실릴 에테르계 설페이트 화합물, 실록산계 설페이트 화합물 등을 들 수 있다.As the leveler, an organic silane sulfate compound, a polyvinylimidazolium compound, a polyvinylpyrrolidone compound, and a mixture thereof are preferably used, and more preferably an organic silane sulfate compound is used. Specific examples of such organosilane sulfate compounds include silyl dioxane sulfate compounds, silyl ether sulfate compounds, and siloxane sulfate compounds.

구리 전기 도금 용액 조성물 내에 상기 레벨러의 농도는 10~40ml/L이다. 레벨러 농도가 10ml/L 미만이면 동박의 내굴곡성이 떨어지는 문제가 있고, 40ml/L를 초과하면 동박의 물성 개선 없이 첨가제 비용이 증가하는 단점이 있다. The concentration of the leveler in the copper electroplating solution composition is 10-40 ml / L. If the leveler concentration is less than 10ml / L there is a problem that the flex resistance of the copper foil is inferior, if it exceeds 40ml / L there is a disadvantage that the additive cost increases without improving the physical properties of the copper foil.

상기 (3) 단계에서 구리 전기 도금 용액 조성물에는 상기한 광택제 및 레벨러 이외에, 황산구리, 황산 및 염소이온이 필수적으로 더 포함된다. 이들 필수성분들의 농도에는 특별한 제한이 없으며, 효율적인 구리 도금이 일어날 수 있는 범위 내에서 적절하게 선택할 수 있다. 통상적인 황산구리의 농도는 50~100g/L, 황산의 농도는 50~150g/L, 그리고 염소이온(Cl-)의 농도는 20~70ppm이나, 이로 제한되는 것은 아니다. In step (3), the copper electroplating solution composition further includes copper sulfate, sulfuric acid, and chlorine ions in addition to the above-described brightener and leveler. There is no particular limitation on the concentration of these essential ingredients, and it can be appropriately selected within the range in which efficient copper plating can occur. A typical concentration of the copper sulfate is 50 ~ 100g / L, the concentration of sulfuric acid is 50 ~ 150g / L, and chloride ion (Cl -) concentration is not intended to be 20 ~ 70ppm or, which limits.

상기 (3) 단계에서 구리 전기 도금은 적어도 1A/dm2 에서 시작하여 최대 5A/dm2 에 이르기까지 순차적으로 인가전류를 증가시키는 조건하에 수행된다. 바람직하게는, 적어도 1A/dm2 에서 시작하여 1~10분 단위로 순차적으로 0~1A/dm2 씩 전류를 증가시켜 최종적으로 최대 5A/dm2 에 도달시킨다. 상기 전기도금 단계에서, 최초에 가해지는 전류조건이 1A/dm2 에 못미치면 동박의 내굴곡성이 떨어지는 단점이 있고, 최종 전류조건이 5A/dm2 를 벗어나면 도금속도가 빨라져 동박에 스크래치가 나는 단점이 있다.In step (3), copper electroplating is performed under conditions of sequentially increasing the applied current starting at least 1A / dm 2 up to 5A / dm 2 . Preferably, starting at least 1A / dm 2 0 ~ 1A / dm 2 sequentially in 1 to 10 minutes Current increases up to 5A / dm 2 To reach In the electroplating step, the current condition applied initially is 1A / dm 2 If it falls short, the flex resistance of the copper foil is deteriorated. If the final current condition is beyond 5A / dm 2 , the plating speed is increased, which causes scratches on the copper foil.

본 발명의 연성 동박 적층판 제조방법은, 상기 설명한 필수단계들 이외에 필요에 따라 도금 후 방청제 처리와 같은 통상의 후처리 단계들이 더 포함될 수 있다,In addition to the essential steps described above, the flexible copper foil laminate manufacturing method of the present invention may further include conventional post-treatment steps such as after-plating anti-rust treatment, if necessary,

이하에서 실시예 및 비교예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명하나, 하기 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위하여 예시하는 것일 뿐 본 발명이 이에 의하여 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the following Examples are only illustrative to help understanding of the present invention, but the present invention is not limited thereto.

실시예Example  And 비교예Comparative example

고분자 필름인 폴리이미드 (PI, Dupont사의 kapton 150E)를 산소 이온빔으로 표면처리하였다. 표면처리 조건은 다음과 같다:The polymer film polyimide (PI, kapton 150E from Dupont) was surface treated with an oxygen ion beam. Surface treatment conditions are as follows:

400cm2의 단위 면적당 이온빔(ion beam) 에너지: 750eVIon beam energy per unit area of 400 cm 2 : 750 eV

전류 밀도: 0.64mA/cm2 Current density: 0.64 mA / cm 2

이온조사량: 1x1017 ion/cm2 Ion irradiation amount: 1x10 17 ion / cm 2

상기 표면 처리된 폴리이미드 필름에 직류 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 구리(순도 99.99%) 박막을 증착하였다. 스퍼터링 증착은 비활성 기체로 아르곤 가스를 주입하여 1x10-3torr 정도의 진공도를 유지하고, 15W/cm2의 직류전압을 인가하여 수행되었으며, 기판의 이동 속도를 0.5m/min로 하여 각각의 필름 위에 구리를 연속 증착하였다. 증착된 구리 박막의 두께는 3000Å이었다. A copper (pure 99.99%) thin film was deposited on the surface-treated polyimide film by using a direct current magnetron sputtering method. Sputtering deposition was performed by injecting argon gas into an inert gas to maintain a vacuum degree of about 1x10 -3 torr and applying a DC voltage of 15 W / cm 2 , and moving the substrate at a speed of 0.5 m / min on each film. Copper was continuously deposited. The thickness of the deposited copper thin film was 3000 mm 3.

증착된 구리 박막 위에 황산구리 도금액을 이용하여 전기도금하여 도금층을 형성하였다. 도금액은 황산구리(CuSO4·5H2O) 75g/L, 황산 (H2SO4) 109g/L, 염소이온(Cl-) 50ppm 및 광택제(Uyemura사의 ETN-1-A, Si을 함유한 디메틸술폰산염)를 0.5~4ml/L, 레벨러(Uyemura사의 ETN-1-B, propanol계와 silyl ether계, siloxane계를 포함한 설페이트 화합물)를 5~40ml/L 농도로 함유하였으며, 각 실시예 및 비교예 별 광택제 및 레벨러 농도를 하기 표 1에 나타내었다. The plating layer was formed by electroplating using a copper sulfate plating solution on the deposited copper thin film. Plating solution is 75 g / L of copper sulfate (CuSO 4 · 5H 2 O), 109 g / L of sulfuric acid (H 2 SO 4 ), 50 ppm of chlorine ions (Cl ), and dimethyl sulfonic acid containing ETN-1-A, Si from Uyemura Salt) containing 0.5 to 4 ml / L and a leveler (sulphate compound including Uyemura's ETN-1-B, propanol and silyl ether and siloxane) at a concentration of 5 to 40 ml / L. Star polish and leveler concentrations are shown in Table 1 below.

전기도금은 상온에서 수행하였으며, 전극은 함인동 전극을 사용하였고, 전기 도금시 인가된 전류는 1A/dm2 (1단계)에서 시작하여 3분 간격으로 0~1 A/dm2 씩 증가시켜 3A/dm2 (6단계)에 이르게 하였다(이하,‘기준전류’라고 한다). 단계별 전류 인가 조건은 하기와 같았다. 최종적으로 얻어진 전기 도금의 두께는 8㎛ 이었다.Electroplating was carried out at room temperature, the electrode was used a copper-containing copper electrode, the current applied during electroplating 3A by increasing from 0 to 1 A / dm 2 in 3 minutes starting from 1A / dm 2 (1 step) / dm 2 (six levels) (hereinafter referred to as 'reference current'). The step-by-step current application conditions were as follows. The thickness of the finally obtained electroplating was 8 micrometers.

Figure 112007092738538-pat00001
Figure 112007092738538-pat00001

상기와 같이 하여 제조된 연성 동박 적층판 시편의 내굴곡성을 내굴곡테스트기를 이용하여 측정하였다. 보다 구체적으로는, 시편을 지그에 물린후 지그가 좌우 90도를 왕복운동하며 70번 왕복운동시킨 후, 샘플의 크랙 크기를 광학현미경으로 측정하였다. 도 1에 내굴곡성 측정방법을 개략적으로 나타내었으며, 측정 결과를 표 1에 나타내었다. The flex resistance of the flexible copper foil laminate specimens prepared as described above was measured using a flex resistance tester. More specifically, after the specimen was bitten by the jig, the jig reciprocated 70 times while reciprocating 90 degrees to the left and right, and the crack size of the sample was measured by an optical microscope. The bending resistance measurement method is schematically shown in FIG. 1, and the measurement results are shown in Table 1 below.

내굴곡성 테스트 결과 시편의 구리박막층에 형성된 크랙(crack)이 시편의 가로방향 전체에 걸쳐 형성된 경우를 100%로 하였으며, 시편의 가로방향 일부에 걸쳐 크랙이 형성된 경우는 가로방향 전체 길이를 100으로 하였을 때에 대하여 상대적인 크랙 길이를 백분율(%)로 나타내었다. 따라서 표 1에서 내굴곡성(%) 항목의 수치가 낮을수록 내굴곡성이 우수함을 의미한다.As a result of the flex resistance test, 100% of cracks formed in the copper thin film layer of the specimen were formed over the entire transverse direction of the specimen, and 100% of the cracks were formed over the transverse portion of the specimen. The crack length relative to time is expressed as a percentage. Therefore, the lower the numerical value of the flex resistance (%) in Table 1 means that the superior flex resistance.

도 2에 크랙 100%인 경우와 크랙 20%인 경우에 대한 각각의 현미경 사진을 나타내었다. 비교예 1 내지 3은 모두 크랙 100%인 경우에 해당하며, 실시예 3이 크랙 20%인 경우에 해당한다고 할 수 있다.2 shows micrographs of the case of 100% crack and 20% crack. Comparative Examples 1 to 3 correspond to a case where cracks are all 100%, and Example 3 corresponds to a case where cracks are 20%.

Figure 112007092738538-pat00002
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표 1에서 확인할 수 있듯이 도금 용액 조성물 내의 레벨러 및 광택제 농도 중 어느 하나라도 본 발명의 범위를 벗어나는 비교예 1~3은 내굴곡성이 매우 열악하였다. As can be seen from Table 1, Comparative Examples 1 to 3 out of the range of the present invention in any one of the leveler and the brightener concentration in the plating solution composition was very poor in flex resistance.

다음으로, 실시예 4와 같이 광택제 농도를 2 ml/L로, 그리고 레벨러 농도를 20 ml/L로 고정한 후, 인가되는 전류의 세기를 달리하며 구리 도금을 수행하였다. 6단계로 나누어 전류를 증가시키는 방식은 앞서 기재한 바와 동일하였고, 다만 기준전류 대비 상대적인 전류의 세기를 달리하였다. 인가된 상대적 전류 세기를 하기 표 2에 나타내었다.Next, after fixing the gloss concentration to 2 ml / L and the leveler concentration to 20 ml / L as in Example 4, copper plating was performed with varying the intensity of the applied current. The method of increasing the current by dividing into six steps was the same as described above, but the relative current intensity was changed from the reference current. The applied relative current intensities are shown in Table 2 below.

얻어진 시편에 대하여 앞서 기재한 바와 동일한 방법으로 내굴곡성을 측정하였다. 실시예 4의 크랙 길이를 100으로 하였을 때의 상대적인 크랙 길이(%)를 하기 표 2에 나타내었다.For the obtained specimens, the flex resistance was measured in the same manner as described above. The relative crack length (%) when the crack length of Example 4 is 100 is shown in Table 2 below.

Figure 112007092738538-pat00003
Figure 112007092738538-pat00003

표 2에서 알 수 있듯이, 최초 인가 전류가 1A/dm2 에 못 미치는 경우(비교예 4~6), 동일한 도금 조성물을 사용하여 동일한 방식으로 도금하여도 내굴곡성이 상대적으로 열악해졌다. As can be seen from Table 2, when the initial applied current is less than 1A / dm 2 (Comparative Examples 4-6), even if the same plating using the same plating composition in the same manner, the flex resistance is relatively poor.

도 1은 본 발명의 연성 동박 적층판의 내굴곡성 측정방법을 개략적으로 나타낸 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows schematically the bending resistance measuring method of the flexible copper foil laminated board of this invention.

도 2는 본 발명의 연성 동박 적층판의 내굴곡성 측정결과 크랙 100%인 경우와 크랙 20%인 경우에 대한 각각의 현미경 사진이다.Figure 2 is a micrograph of the case of 100% cracks and 20% cracks as a result of measuring the bending resistance of the flexible copper foil laminate of the present invention.

Claims (8)

(1) 기재 필름을 표면처리하는 단계; (1) surface treating the base film; (2) 상기 표면 처리된 기재 필름상에 구리박막을 증착하는 단계; 및 (2) depositing a copper thin film on the surface treated base film; And (3) 상기 구리박막이 증착된 기재 필름을 1~4ml/L의 광택제 및 10~40ml/L의 레벨러를 함유하는 구리 전기 도금 용액 조성물 내에서, 적어도 1A/dm2 에서 시작하여 1~10분 단위로 순차적으로 0~1A/dm2 씩 인가전류를 증가시켜 최종적으로 최대 5A/dm2 에 도달하는 조건하에 전기도금하여 구리박막 상에 구리도금층을 형성하는 단계;를 포함하는 연성 동박 적층판의 제조방법.(3) The base film on which the copper thin film is deposited is placed in a copper electroplating solution composition containing 1 to 4 ml / L polish and 10 to 40 ml / L leveler, starting at least 1 A / dm 2 for 1 to 10 minutes. Sequentially increasing the applied current by 0 ~ 1A / dm 2 in units and electroplating under the condition of finally reaching a maximum of 5A / dm 2 to form a copper plated layer on the copper thin film. Way. 제1항에 있어서, 기재 필름이 폴리이미드 필름인 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층판의 제조방법.The manufacturing method of the flexible copper foil laminated board of Claim 1 whose base film is a polyimide film. 제1항에 있어서, 상기 (1) 단계에서 표면처리는 산소 이온빔을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층판의 제조방법.The method according to claim 1, wherein the surface treatment in step (1) is performed using an oxygen ion beam. 제1항에 있어서, 상기 (2) 단계에서 구리박막의 증착은 스퍼터링법에 의해 수행되며, 증착되는 구리박막의 두께는 1000~6000Å인 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층판의 제조방법.The method of manufacturing a flexible copper foil laminate according to claim 1, wherein the deposition of the copper thin film in the step (2) is performed by a sputtering method, and the thickness of the deposited copper thin film is 1000 to 6000 kPa. 제1항에 있어서, 광택제는 알킬술폰산염 화합물인 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층판의 제조방법.The method for producing a flexible copper foil laminate according to claim 1, wherein the brightening agent is an alkylsulfonate compound. 제1항에 있어서, 레벨러는 유기 실란계 설페이트 화합물인 것을 특징으로 하는 연성 동박 적층판의 제조방법.The method according to claim 1, wherein the leveler is an organosilane-based sulfate compound. 삭제delete 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조된 연성 동박 적층판.The flexible copper foil laminated board manufactured by the method in any one of Claims 1-6.
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