KR101086641B1 - Apparatus for Annealing of Tray - Google Patents

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Abstract

본 발명은 트레이 어닐링장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 트레이 어닐링장치는 미리 설정된 온도프로파일에 따라 반도체패키지용 또는 메모리카드용 트레이를 어닐링하는 트레이 어닐링장치에 있어서, 성형된 트레이가 유입 및 반출되는 어닐링챔버; 상기 어닐링챔버의 내외측으로 트레이를 이송시키는 이송부; 상기 어닐링챔버의 내측에 설치되되 이송되는 트레이의 상부 및 하부에 설치되며, 미리 설정된 온도프로파일에 따라 복수 개의 일정한 온도구간이 설정되도록 제어되어 이송되는 트레이에 열을 공급하는 복수 개의 히터; 상기 어닐링챔버의 내측에 설치되되, 상기 히터로부터 이격배치되어 이송되는 트레이에 열풍을 공급하는 열풍공급부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 가열되는 트레이의 온도를 설정된 온도프로파일에 따라 일정하게 유지시켜 트레이 전체가 균일하게 경화될 수 있는 트레이 어닐링장치가 제공된다.The present invention relates to a tray annealing apparatus, wherein the tray annealing apparatus according to the present invention is a tray annealing apparatus for annealing a tray for a semiconductor package or a memory card according to a predetermined temperature profile, wherein the formed tray is annealing in which the molded tray is introduced and taken out. chamber; A transfer unit which transfers the tray to the inside and the outside of the annealing chamber; A plurality of heaters installed inside the annealing chamber and installed at upper and lower portions of the tray to be transported, and supplying heat to the tray being controlled so that a plurality of constant temperature sections are set according to a preset temperature profile; And a hot air supply unit installed inside the annealing chamber and supplying hot air to a tray which is spaced apart from the heater and is transferred. Thereby, the tray annealing apparatus can be uniformly hardened by maintaining the temperature of the heated tray according to the set temperature profile.

트레이, 어닐링, 히터, 열풍, 메모리카드, 인젝션 몰딩 Tray, Annealing, Heater, Hot Air, Memory Card, Injection Molding

Description

트레이 어닐링장치{Apparatus for Annealing of Tray}Tray annealing device {Apparatus for Annealing of Tray}

본 발명은 트레이 어닐링장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 일정한 온도프로파일에 따라 제어되는 어닐링챔버의 내측으로 트레이를 이송시켜 이송되는 트레이에 연속적인 열을 가함으로써 트레이를 어닐링(annealing)하는 트레이 어닐링장치에 관한 것이다.The present invention relates to a tray annealing apparatus, and more particularly, a tray annealing apparatus for annealing a tray by transferring a tray to an inside of an annealing chamber controlled according to a constant temperature profile and applying continuous heat to the conveyed tray. It is about.

일반적으로, 반도체패키지 또는 MMC(MultiMedia card)카드, SD(secure digital) 등의 메모리카드는 인젝션 몰딩 등으로 성형된 내열성이 강한 재질의 트레이의 내부에 반도체칩 또는 메모리칩이 탑재된다.In general, a semiconductor package or a memory card such as an MMC (MultiMedia card) card or a SD (secure digital) is mounted inside a tray of a heat resistant material formed by injection molding.

여기서, 트레이는 반도체칩 또는 메모리칩을 보호하면서 칩에 대한 물리적 손상을 최소화하는 기능을 하며, 비교적 운반이 용이하고 적층이 가능하도록 디자인되어 있다.Here, the tray serves to minimize physical damage to the chip while protecting the semiconductor chip or the memory chip, and is designed to be relatively easy to carry and stack.

이러한 트레이는 인젝션 몰딩 후, 후변형에 의해 치수 변화 또는 형태변형이 발생하면 반도체칩 또는 메모리칩을 보호하는 기능이나 적층상에 문제가 발생하였다. 이에, 성형된 트레이의 내부 응력을 해소하고 후변형을 제거할 수 있는 어닐링(annealing)장치 개발이 요구되었다.Such trays have a problem of protecting a semiconductor chip or a memory chip or stacking problems when dimensional change or shape deformation occurs due to post deformation after injection molding. Accordingly, there has been a demand for an annealing apparatus that can solve the internal stress of the molded tray and remove the post deformation.

이에 따라, 가열수단이 구비된 종래 어닐링장치를 사용하여 인젝션몰딩으로 성형된 트레이를 어닐링(annealing)하는 공정을 추가적으로 실시하였다.Accordingly, a process of annealing the tray formed by injection molding using a conventional annealing apparatus equipped with a heating means was additionally performed.

그러나, 종래 어닐링 장치는 가열수단으로 히터 등을 사용하였으나, 어닐링시 트레이 전체에 균일하게 열을 전달할 수 없어 어닐링 후 제품으로 출시 후에도 부분적인 변형이 빈번하였다.However, although the conventional annealing apparatus uses a heater or the like as a heating means, partial annealing was frequently performed even after the annealing was released to the product because heat cannot be uniformly transferred to the entire tray during annealing.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 가열되는 트레이의 온도를 설정된 온도프로파일에 따라 일정하게 유지시켜 트레이 전체가 균일하게 어닐링될 수 있는 트레이 어닐링장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a tray annealing apparatus capable of uniformly annealing the entire tray by maintaining a constant temperature of the heated tray according to a set temperature profile.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 미리 설정된 온도프로파일에 따라 반도체패키지용 또는 메모리카드용 트레이를 어닐링하는 트레이 어닐링장치에 있어서, 성형된 트레이가 유입 및 반출되는 어닐링챔버; 상기 어닐링챔버의 내외측으로 트레이를 이송시키는 이송부; 상기 어닐링챔버의 내측에 설치되되 이송되는 트레이의 상부 및 하부에 설치되며, 미리 설정된 온도프로파일에 따라 복수 개의 일정한 온도구간이 설정되도록 제어되어 이송되는 트레이에 열을 공급하는 복수 개의 히터; 상기 어닐링챔버의 내측에 설치되되, 상기 히터로부터 이격배치되어 이송되는 트레이에 열풍을 공급하는 열풍공급부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 어닐링장치에 의해 달성된다.According to the present invention, there is provided a tray annealing device for annealing a tray for a semiconductor package or a memory card according to a preset temperature profile, comprising: an annealing chamber into which a molded tray is introduced and taken out; A transfer unit which transfers the tray to the inside and the outside of the annealing chamber; A plurality of heaters installed inside the annealing chamber and installed at upper and lower portions of the tray to be transported, and supplying heat to the tray being controlled so that a plurality of constant temperature sections are set according to a preset temperature profile; It is achieved by a tray annealing device comprising a; hot air supply unit is installed inside the annealing chamber, the hot air supply unit for supplying hot air to the tray is spaced apart from the heater.

여기서, 상기 열풍공급부는, 상기 어닐링챔버의 일 측에 설치되는 열풍기와,Here, the hot air supply unit, a hot air fan installed on one side of the annealing chamber,

상기 열풍기와 연결되며 상기 어닐링챔버의 내부 양측에 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 연결관과, 상기 트레이의 이송방향에 대해 수직방향으로 배치되도록 상기 한 쌍의 연결관에 양단이 결합되며, 이송되는 트레이에 열풍을 분사하도록 열풍슬릿이 형성된 열풍공급관과, 상기 열풍기와 상기 한 쌍의 연결관의 사이에 위치 하여 상기 열풍기로부터 공급되는 열풍을 조절하는 조절밸브를 포함할 수 있다.A pair of connecting pipes connected to the hot air fan and disposed in both longitudinal sides of the annealing chamber in the longitudinal direction, and coupled to the pair of connecting pipes so as to be disposed in a direction perpendicular to the conveying direction of the tray, are transferred. It may include a hot air supply pipe formed with a hot air slit to inject hot air to the tray, and a control valve positioned between the hot air and the pair of connecting pipes to adjust the hot air supplied from the hot air.

또한, 상기 열풍공급관은, 상기 열풍공급관과 상기 이송벨트와의 이격거리가 상기 히터와 상기 이송벨트의 이격거리보다 짧은거리를 형성하도록 설치될 수 있다.The hot air supply pipe may be installed such that a distance between the hot air supply pipe and the transport belt forms a shorter distance than a distance between the heater and the transport belt.

아울러, 상기 어닐링챔버의 일 측에 설치되며, 미리 설정된 온도프로파일에 따라 상기 어닐링챔버 내부를 서로 다른 온도구간을 갖도록 상기 히터를 제어하며, 상기 열풍공급부의 열풍량을 조절하도록 설치되는 제어부를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a controller installed at one side of the annealing chamber and controlling the heater to have different temperature sections in the annealing chamber according to a preset temperature profile, and further comprising a controller installed to adjust the amount of hot air in the hot air supply unit. can do.

또한, 상기 이송부는, 트레이가 안착되는 이송벨트와, 상기 이송벨트와 결합되어 상기 어닐링챔버의 내외측으로 상기 이송벨트에 안착된 트레이가 이송되도록 구동하는 구동롤러를 포함하며, 상기 구동롤러는 외측면에 이탈방지홈이 형성되고, 상기 이송벨트는 길이방향으로 상기 이탈방지홈에 삽입되는 돌출부가 형성될 수 있다.The conveying unit may include a conveying belt on which the tray is seated, and a driving roller coupled to the conveying belt to drive the tray seated on the conveying belt to the inside and the outside of the annealing chamber, wherein the driving roller has an outer surface. An anti-separation groove is formed in the transfer belt, and a protruding portion may be formed to be inserted into the anti-separation groove in a longitudinal direction.

본 발명에 따르면, 가열되는 트레이의 온도를 설정된 온도프로파일에 따라 일정하게 유지시켜 트레이 전체가 균일하게 어닐링될 수 있는 트레이 어닐링장치가 제공된다.According to the present invention, there is provided a tray annealing apparatus capable of uniformly annealing the entire tray by keeping the temperature of the heated tray constant according to a set temperature profile.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예 에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, in the various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, different configurations from the first embodiment will be described. do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 트레이 어닐링장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a tray annealing apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 트레이 어닐링장치의 정면도이다.1 is a front view of a tray annealing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 트레이 어닐링장치(1)는 소정의 어닐링본체(100)에 설치되는 어닐링챔버(10), 이송부(20), 히터(30), 열풍공급부(40), 제어부(50)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 1, the tray annealing apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention includes an annealing chamber 10, a transfer unit 20, a heater 30, and a hot air supply unit installed in a predetermined annealing body 100. 40, the control part 50 is comprised.

여기서, 상기 어닐링챔버(10)는 일 방향으로 길게 형성된 챔버로써 내부와 외부의 열을 차폐하도록 형성된다.Here, the annealing chamber 10 is a chamber formed long in one direction and formed to shield the heat inside and outside.

상기 이송부(20)는 어닐링본체(100)의 전방 및 후방 측에 설치되는 한 쌍의 구동롤러(21)와 구동롤러(21)에 맞물려 구동되는 그물형상의 이송벨트(22) 및 두 구동롤러(21)와 연결되어 구동력을 인가하는 구동모터(23)를 포함한다.The transfer unit 20 is a pair of drive rollers 21 and the drive rollers 21 and mesh drive belts 22 which are driven in engagement with the drive rollers 21 installed on the front and rear sides of the annealing body 100 (two drive rollers) It is connected to the 21 and includes a drive motor 23 for applying a driving force.

도 2는 도 1의 이송부의 단면도이다. 도 2를 참조하면, 두 구동롤러에는 각각 외측면의 양 측부에 이탈방지홈(21a)이 형성되고, 이송벨트(22)에는 이탈방지홈(21a)에 삽입되는 돌출부(22a)가 형성된다.2 is a cross-sectional view of the transfer unit of FIG. Referring to Figure 2, the two driving rollers are formed in each of the separation prevention grooves (21a) on both sides of the outer surface, the transfer belt 22 is formed with a projection (22a) inserted into the separation prevention groove (21a).

즉, 이송벨트(22)를 따라 이송되면서 트레이가 가열되게 되는데, 이때 종래에는 이송벨트의 구동력과 같은 외력 등에 의해 트레이가 흔들리게 되면, 가열된 트레이의 내부에 전달되는 열량 등의 미세한 차이로 인해 어닐링 후의 부분적으로 경화된 정도가 다르게 나타나는 문제점이 있었다.That is, the tray is heated while being transported along the conveying belt 22. In this case, when the tray is shaken by an external force such as driving force of the conveying belt, due to a minute difference such as the amount of heat transferred to the inside of the heated tray. There was a problem that the degree of partially cured after annealing appeared different.

따라서, 구동롤러의 이탈방지홈(21a)에 돌출부(22a)가 삽입되어 구동됨으로 써 전체적인 이송벨트(22)는 안정적인 구동을 하게 되고, 이에 따라 이송벨트(22)에 안착된 트레이 또한 흔들림을 최소화하여 트레이 전체가 균일하게 경화될 수 있다.Therefore, the projection 22a is inserted and driven in the separation prevention groove 21a of the driving roller, so that the entire conveying belt 22 is driven stably, thereby minimizing the shaking of the tray seated on the conveying belt 22. This allows the entire tray to be uniformly cured.

상기 제어부(50)는 어닐링본체(100)의 일 측 또는 외부에 설치되며, 미리 설정된 온도프로파일이 저장되며, 상기 온도프로파일에 따라 상술한 히터(30)의 온도를 각 구간별로 제어하며, 열풍공급부(30)의 열풍기(31)로부터 발생되는 열풍량을 조절한다.The control unit 50 is installed on one side or the outside of the annealing main body 100, a preset temperature profile is stored, and controls the temperature of the heater 30 described above for each section according to the temperature profile, hot air supply unit The amount of hot air generated from the hot air blower 31 of 30 is adjusted.

도 3은 도 1의 평면도이다. 도 1 및 도 3을 참조하면, 히터(30)는 소정의 전기히터로서 미리 설정된 온도프로파일에 따라 트레이에 열을 공급하도록 후술할 제어부(50)에 의해 제어된다.3 is a plan view of FIG. 1. 1 and 3, the heater 30 is controlled by the controller 50 to be described later to supply heat to the tray according to a preset temperature profile as a predetermined electric heater.

또한, 히터(30)는 이송되는 트레이에 열을 가하도록 어닐링챔버(10)의 내측에 설치되되, 어닐링챔버(10) 내측의 이송벨트(22)의 상부 및 하부에 일정간격으로 이격되어 설치된다.In addition, the heater 30 is installed inside the annealing chamber 10 to apply heat to the tray to be transferred, and is spaced apart at regular intervals on the upper and lower portions of the transfer belt 22 inside the annealing chamber 10. .

도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서의 히터(30)는 미리 설정된 온도프로파일에 따라 트레이에 열을 가하도록 어닐링챔버(10)의 트레이진입측으로부터 온도프로파일에 따른 일정한 온도로 제어되는 제1구간(a), 제2구간(b), 제3구간(c)이 구획되어 있다.As shown in Fig. 2, the heater 30 in the present embodiment is controlled to a constant temperature according to the temperature profile from the tray entry side of the annealing chamber 10 to apply heat to the tray according to a preset temperature profile. One section (a), the second section (b), and the third section (c) are partitioned.

여기서, 제1구간(a)은 트레이를 가열하는 구간, 제2구간(b)은 가열된 트레이의 온도를 일정한 고온으로 유지하는 구간, 제3구간(c)은 트레이를 서냉시키는 구간이다.Here, the first section (a) is a section for heating the tray, the second section (b) is a section for maintaining the temperature of the heated tray at a constant high temperature, and the third section (c) is a section for slowly cooling the tray.

도 4는 도 1의 측면도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 열풍공급부(40)는 열풍기(41), 한 쌍의 연결관(42,43), 조절밸브(44) 및 열풍공급관(45)을 포함하여 구성된다.4 is a side view of FIG. 1. 3 and 4, the hot air supply unit 40 includes a hot air fan 41, a pair of connecting pipes 42 and 43, a control valve 44, and a hot air supply pipe 45.

상기 열풍기(41)는 후술할 제어부에 의해 일정한 세기의 열풍을 발생하는 장치로서 어닐링장치본체(100)의 하부 일 측에 설치된다.The hot air fan 41 is a device for generating hot air of a constant intensity by the controller to be described later is installed on the lower side of the annealing apparatus main body 100.

상기 한 쌍의 연결관(42,43)은 열풍기(41)와 연결되어 연통되며 어닐링챔버(10)의 길이방향으로 내부 양측 가장자리에 설치된다.The pair of connecting pipes 42 and 43 are connected to and communicate with the hot air blower 41 and are installed at both inner edges of the annealing chamber 10 in the longitudinal direction.

상기 조절밸브(44)는 열풍기(41)와 한 쌍의 연결관(42,43)의 사이에 설치되어 열풍기(41)로부터 발생된 열풍이 한 쌍의 연결관(42,43)에 전달되는 양을 조절하도록 한 쌍이 마련된다.The control valve 44 is installed between the hot air blower 41 and the pair of connecting pipes 42 and 43 so that hot air generated from the hot air blower 41 is transferred to the pair of connecting pipes 42 and 43. A pair is provided to adjust.

상기 열풍공급관(45)은 열풍공급관(45)의 일 측부에는 이송되는 트레이에 열풍을 고르게 분사할 수 있도록 일정한 간격으로 분사슬릿(45a)이 형성된다.The hot air supply pipe 45 has one side of the hot air supply pipe 45 is formed with a spraying slit 45a at regular intervals so as to evenly spray the hot air to the transported tray.

또한, 열풍공급관(45)은 한 쌍의 연결관(42,43)에 양단이 결합되어 연통되며, 상기 트레이의 이송방향에 대해 수직방향으로 배치되되 히터(30)와 수직방향으로 이격배치된다.In addition, both ends of the hot air supply pipe 45 is coupled to communicate with a pair of connecting pipes (42, 43), is arranged in a vertical direction with respect to the conveying direction of the tray is spaced apart in the vertical direction with the heater (30).

즉, 열풍공급관(45)과 이송벨트(22)와의 이격거리는 히터(30)와 이송벨트(22)의 이격거리보다 짧은거리를 형성하도록 설치된다.That is, the separation distance between the hot air supply pipe 45 and the conveyance belt 22 is installed to form a shorter distance than the separation distance between the heater 30 and the conveyance belt 22.

따라서, 히터(30)에 비해 열풍공급관(45)이 이송벨트(22)와 가깝게 설치됨으로써 히터(30)로부터 방출된 열은 트레이에 가해지기 전에 열풍에 의해 고르게 분산되어 트레이에 균일하게 가해지게 된다.Therefore, since the hot air supply pipe 45 is installed closer to the transfer belt 22 than the heater 30, the heat discharged from the heater 30 is evenly distributed by the hot air before being applied to the tray and uniformly applied to the tray. .

이에 따라 각 구간별로 트레이에 가해지는 열이 트레이전체에 균일하게 전달된다.Accordingly, the heat applied to the tray for each section is uniformly transmitted to the entire tray.

결과적으로, 본 발명의 제1실시예에 따른 트레이 어닐링장치는 히터로부터 가해지는 열을 열풍공급부를 통해 균일하게 트레이에 공급함으로써 트레이 전체가 균일하게 어닐링될 수 있는 트레이 어닐링장치가 제공된다.As a result, the tray annealing apparatus according to the first embodiment of the present invention provides a tray annealing apparatus in which the entire tray can be uniformly annealed by uniformly supplying heat applied from the heater to the tray through the hot air supply.

아울러, 이송벨트의 흔들림을 최소화하여 이송되는 트레이가 히터 및 열풍공급부를 통해 전달되는 열이 균일하게 전달될 수 있다.In addition, heat transmitted to the tray to be transported by minimizing the shaking of the transport belt may be uniformly transmitted.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 트레이 어닐링장치의 정면도,1 is a front view of a tray annealing apparatus according to a first embodiment of the present invention;

도 2는 도 1의 이송부의 단면도,2 is a cross-sectional view of the transfer unit of FIG.

도 3은 도 1의 평면도,3 is a plan view of FIG.

도 4는 도 1의 측면도이다.4 is a side view of FIG. 1.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 어닐링챔버 20 : 이송부 30 : 히터10 annealing chamber 20 transfer part 30 heater

40 : 열풍공급부 50 : 제어부40: hot air supply unit 50: control unit

Claims (5)

미리 설정된 온도프로파일에 따라 반도체패키지용 또는 메모리카드용 트레이를 어닐링하는 트레이 어닐링장치에 있어서,In the tray annealing device for annealing a tray for a semiconductor package or a memory card according to a preset temperature profile, 성형된 트레이가 유입 및 반출되는 어닐링챔버;An anneal chamber into which the shaped tray is introduced and taken out; 상기 어닐링챔버의 내외측으로 구동되는 이송벨트를 통해 트레이를 이송시키는 이송부;A transfer unit for transferring the tray through a transfer belt driven in and out of the annealing chamber; 상기 어닐링챔버의 내측에 설치되되 이송되는 트레이의 상부 및 하부에 설치되며, 미리 설정된 온도프로파일에 따라 복수 개의 일정한 온도구간이 설정되도록 제어되어 이송되는 트레이에 열을 공급하는 복수 개의 히터;A plurality of heaters installed inside the annealing chamber and installed at upper and lower portions of the tray to be transported, and supplying heat to the tray being controlled so that a plurality of constant temperature sections are set according to a preset temperature profile; 상기 어닐링챔버의 내측에 설치되되, 상기 히터로부터 이격배치되어 이송되는 트레이에 열풍을 공급하는 열풍공급부;를 포함하며,It is installed inside the annealing chamber, the hot air supply unit for supplying hot air to the tray to be spaced apart from the heater; 상기 열풍공급부는,The hot air supply unit, 상기 어닐링챔버의 일 측에 설치되는 열풍기와, 상기 열풍기와 연결되며 상기 어닐링챔버의 내부 양측에 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 연결관과, 상기 트레이의 이송방향에 대해 수직방향으로 배치되도록 상기 한 쌍의 연결관에 양단이 결합되며, 이송되는 트레이에 열풍을 분사하도록 열풍슬릿이 형성된 열풍공급관과, 상기 열풍기와 상기 한 쌍의 연결관의 사이에 위치하여 상기 열풍기로부터 공급되는 열풍을 조절하는 조절밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 어닐링장치.A hot air fan installed at one side of the annealing chamber, a pair of connecting pipes connected to the hot air fan and disposed in both longitudinal sides of the annealing chamber in the longitudinal direction, and arranged so as to be perpendicular to the conveying direction of the tray. Both ends are coupled to the pair of connection pipes, the hot air supply pipe formed with a hot air slit to inject hot air to the tray to be transported, and controls the hot air supplied from the hot air is located between the hot air and the pair of connection pipes Tray annealing device comprising a valve. 삭제delete 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 열풍공급관은, 상기 열풍공급관과 상기 이송벨트와의 이격거리가 상기 히터와 상기 이송벨트의 이격거리보다 짧은거리를 형성하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이 어닐링장치.The hot air supply pipe, tray annealing device, characterized in that the separation distance between the hot air supply pipe and the conveyance belt is formed to form a shorter distance than the separation distance of the heater and the conveyance belt. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,The method according to claim 1 or 3, 상기 어닐링챔버의 일 측에 설치되며, 미리 설정된 온도프로파일에 따라 상기 어닐링챔버 내부를 서로 다른 온도구간을 갖도록 상기 히터를 제어하며, 상기 열풍공급부의 열풍량을 조절하도록 설치되는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 어닐링장치.It is installed on one side of the annealing chamber, and controls the heater to have a different temperature section inside the annealing chamber according to a preset temperature profile, and further comprising a control unit installed to adjust the amount of hot air of the hot air supply unit Tray annealing device characterized in that. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 이송부는,The transfer unit, 트레이가 안착되는 이송벨트와, 상기 이송벨트와 결합되어 상기 어닐링챔버의 내외측으로 상기 이송벨트에 안착된 트레이가 이송되도록 구동하는 구동롤러를 포함하며,A conveying belt on which a tray is seated, and a driving roller coupled to the conveying belt to drive the tray seated on the conveying belt to the inside and the outside of the annealing chamber, 상기 구동롤러는 외측면에 이탈방지홈이 형성되고, 상기 이송벨트는 길이방향으로 상기 이탈방지홈에 삽입되는 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 트레이 어닐링장치.The drive roller is a tray annealing device, characterized in that the separation prevention groove is formed on the outer surface, the conveying belt is formed with a projection inserted into the separation prevention groove in the longitudinal direction.
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