KR101078877B1 - Apparatus for measuring three-dimensional shape - Google Patents

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Abstract

3차원 형상 측정 장치가 개시되어 있다.

개시된 측정 장치는, 제1파장광, 제2파장광, 제3파장광, 및 제4파장광을 각각 제1격자, 제2격자, 제3격자, 및 제4격자를 통해 투과시켜 피검체에 격자 무늬가 생성되도록 하고, 격자 무늬 영상을 영상 감지부에서 촬영하여 위상 천이된 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬로부터 3차원 형상을 측정한다.

Figure R1020090013497

A three-dimensional shape measuring apparatus is disclosed.

The disclosed measuring device transmits a first wavelength light, a second wavelength light, a third wavelength light, and a fourth wavelength light through a first grid, a second grid, a third grid, and a fourth grid, respectively, to the subject. The grid pattern is generated, the grid pattern image is photographed by the image sensing unit to obtain a phase shifted interference pattern, and a three-dimensional shape is measured from the interference pattern.

Figure R1020090013497

Description

3차원 형상 측정 장치{Apparatus for measuring three-dimensional shape} Apparatus for measuring three-dimensional shape}

본 발명은 피검체의 3차원 형상을 간단하고 신속하게 측정하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for simply and quickly measuring a three-dimensional shape of a subject.

모아레 간섭무늬를 이용한 3차원 형상측정 장치란 측정하고자 하는 물체(이하 피검체라고 함)의 표면에 일정한 형태를 가지는 빛을 조사하여 나타나는 격자무늬와 기준이 되는 격자무늬를 중첩시켜서 모아레 간섭무늬를 형성하고, 이 간섭무늬를 측정 및 해석하여 물체표면의 높이에 대한 정보를 얻는 장치를 말한다. 이와 같은 측정 방법은 피검체의 3차원 형상을 간단하고 빠르게 얻을 수 있으므로 의학, 산업 분야에서 널리 이용되고 있다. 여기서는 특히, 공간적 간섭무늬인 모아레 간섭무늬를 이용하는데, 모아레 무늬는 주기성을 가지는 공간적인 무늬들이 겹쳐졌을 때 나타나는 무늬로서 도 1은 모아레 간섭무늬의 발생 예를 보여준다. A three-dimensional shape measurement device using moire interference fringes forms a moire interference fringe by overlapping a lattice pattern that appears by irradiating light with a certain shape on the surface of an object to be measured (hereinafter referred to as an object) with a lattice pattern as a reference. And a device that obtains information about the height of the object surface by measuring and analyzing the interference fringes. Such a measuring method is widely used in the medical and industrial fields because it is possible to easily and quickly obtain a three-dimensional shape of a subject. Here, in particular, a moiré interference pattern, which is a spatial interference pattern, is used. The moiré pattern is a pattern that appears when overlapping spatial patterns having periodicity are illustrated in FIG. 1.

이러한 모아레 간섭무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 방식에는 크게 투영식과 그림자식이 있다. 그림자식은 렌즈를 사용하지 않고 피검체의 표면에 나타나는 격자무늬의 그림자로부터 생성된 모아레 무늬를 이용하여 피검체의 표면형상을 측정하는 방식이고, 투영식은 렌즈를 이용하여 피검체에 투영한 격자의 이미지로부터 생성된 모아레 무늬를 이용하여 피검체의 표면형상을 측정하는 방식이다. There are two methods of measuring the three-dimensional shape of the subject by using the moiré interference fringe. The shadow method is a method of measuring the surface shape of a subject by using a moire fringe generated from the shadow of the lattice pattern appearing on the surface of the subject without using a lens, and the projection method is a projection of the grid projected onto the subject using a lens. It is a method of measuring the surface shape of a subject by using a moire fringe generated from an image.

도 2는 종래의 격자를 이용한 그림자식 위상천이 모아레 3차원 형상측정 장치를 나타낸 것이다. 이 측정 장치에서는, 광원(1)에서 나온 광이 격자(3)를 통과하여 피검체(p) 표면에 격자형태의 그림자가 생기거나 탈보(talbot)효과에 의해 격자형태의 이미지가 생기게 된다. 여기서 사용되는 격자(3)는 투과하는 빛의 세기를 변화시키는 기능을 한다. 상기 격자(3)의 그림자 이미지와 격자 자체의 무늬가 합성되어 모아레 무늬가 생기며, 이렇게 생성된 모아레 무늬를 그림자식 모아레라고 한다.(Vol.32, No. 7 Optical Engineering, 1668-1674, 1993) 이 모아레 무늬를 2차원 영상감지소자 배열을 이용하여 측정하는데, 이때 모아레 무늬의 위상을 계산하기 위해서는 위상 천이된 다수 개의 모아레 무늬가 필요하다.("Phase Shifting Intererometery, in Optical Shop Testing, D. Malacare, 2nd Ed. John Wiley & Sons Inc, New York, 1992)Figure 2 shows a shadow phase transition moiré three-dimensional shape measurement apparatus using a conventional grid. In this measuring device, the light emitted from the light source 1 passes through the grating 3 to form a grating shadow on the surface of the object p, or a grating image is generated by the talbot effect. The grating 3 used here functions to change the intensity of transmitted light. The moire pattern is formed by combining the shadow image of the grid 3 and the pattern of the grid itself, and the moiré pattern thus generated is called a shadow moiré (Vol. 32, No. 7 Optical Engineering, 1668-1674, 1993). This moiré pattern is measured using a two-dimensional array of image sensing elements, and in order to calculate the phase of the moiré pattern, a plurality of phase shifted moire patterns are required ("Phase Shifting Intererometery, in Optical Shop Testing, D. Malacare"). , 2nd Ed.John Wiley & Sons Inc, New York, 1992)

위상 천이된 모아레 무늬를 얻기 위해 상기 격자(103)를 구동수단(D)에 의해 피검체(p)쪽을 향해 또는 피검체(p)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 그러면, 상기 격자(3)의 이동에 따라 간섭무늬의 위상이 변하므로 3개 이상의 위상 천이된 모아레 무늬를 얻을 수 있다. 이와 같이 상기 격자(3)를 이동시켜 생긴 위상 천이된 모아레 무늬는 결상 렌즈(5)에 의해 영상감지소자(10)에 맺힌다. 상기 영상감지소자(10)에 의해, 위상 천이된 모아레 무늬의 이미지 측정과 상기 격자(3)의 이동을 순차적으로 반복한다. 여기서 얻은 다수개의 위상 천이된 모아레 무늬를 이용하 여 이미 공지된 해석방법을 통해 물체의 3차원 형상정보를 얻을 수 있다.In order to obtain a phase shifted moire fringe, the grating 103 is moved by the driving means D toward the subject p or away from the subject p. Then, since the phase of the interference fringe changes in accordance with the movement of the grating 3, three or more phase shifted moire fringes can be obtained. The phase shifted moire pattern generated by moving the grating 3 is thus formed on the image sensing device 10 by the imaging lens 5. The image sensing element 10 sequentially repeats the measurement of the phase shifted moiré pattern and the movement of the grating 3. Using a plurality of phase-shifted moire fringes obtained here, three-dimensional shape information of an object can be obtained through a known analysis method.

그런데, 상기와 같은 3차원 형상 측정 장치는 모아레 무늬의 위상천이를 위해 격자를 기계적으로 이동시킬 수밖에 없다. 이러한 기계적 구동으로 인해 위상 천이 속도가 느리고, 속도 제어가 어려울 뿐만 아니라 격자 제작이 어렵고 제작비용이 많이 드는 단점이 있다. By the way, the three-dimensional shape measurement apparatus as described above has no choice but to mechanically move the grating for the phase shift of the moire pattern. Due to such mechanical driving, the phase shifting speed is slow, the speed control is difficult, and the lattice fabrication is difficult and the manufacturing cost is high.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 격자를 기계적으로 이동시킬 필요 없이 위상 천이가 가능한 3차원 형상 측정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a three-dimensional shape measuring apparatus capable of phase shifting without the need to mechanically move the grating.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는, 광원; 상기 광원으로부터 조사된 백색광을 제1경로로 진행하는 제1파장광, 제2경로로 진행하는 제2파장광, 및 제3경로로 진행하는 제3파장광, 및 제4경로로 진행하는 제4파장광으로 분리시키는 광 분리 유닛; 상기 제1경로 상에 배치된 제1격자; 상기 제2경로 상에 배치된 제2격자; 상기 제3경로 상에 배치된 제3격자; 상기 제4경로 상에 배치된 제4격자; 상기 제1파장광, 제2파장광, 제3파장광, 제4파장광을 동일한 경로로 진행하도록 하는 광 합성 유닛; 상기 광 합성 유닛을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부를 포함하고, 상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자가 격자 주기가 같고, 각 격자 배열이 1/4 주기만큼씩 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치를 제공한다In order to achieve the above object, an embodiment of the present invention, a light source; A first wavelength light that travels the white light irradiated from the light source along a first path, a second wavelength light that travels on a second path, a third wavelength light that travels on a third path, and a fourth path that travels on a fourth path An optical separation unit for separating into wavelength light; A first grid disposed on the first path; A second grid disposed on the second path; A third grid disposed on the third path; A fourth grid disposed on the fourth path; A light synthesizing unit configured to advance the first wavelength light, the second wavelength light, the third wavelength light, and the fourth wavelength light in the same path; An image sensing unit configured to photograph a plaid image formed on the subject by light passing through the light combining unit, wherein the first grid, the second grid, the third grid, and the fourth grid have the same lattice period, and each grid Provided is a three-dimensional shape measurement apparatus in which the array is shifted by one quarter of a cycle.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 광 분리 유닛은,According to another embodiment of the present invention, the optical separation unit,

상기 광원으로부터의 광 중 제1파장광과 제2파장광을 투과시키고, 제3파장광과 제4파장광을 반사시키는 제1다이크로익 필터; 상기 제1파장광을 투과시키고, 제2파장광을 반사시키는 제2다이크로익 필터; 및 상기 제3파장광을 반사시키고, 제4 파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터;를 포함할 수 있다.A first dichroic filter for transmitting a first wavelength light and a second wavelength light of the light from the light source and reflecting the third wavelength light and the fourth wavelength light; A second dichroic filter transmitting the first wavelength light and reflecting the second wavelength light; And a third dichroic filter reflecting the third wavelength light and transmitting the fourth wavelength light.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 광 합성 유닛은,According to another embodiment of the present invention, the light combining unit,

상기 제1파장광을 반사시키는 제1반사미러; 상기 제1파장광을 투과시키고, 상기 제2파장광을 반사시키는 제4다이크로익 필터; 상기 제3파장광을 반사시키는 제2반사미러; 상기 제3파장광을 반사시키고, 상기 제4파장광을 투과시키는 제5다이크로익 필터; 및 상기 제1파장광과 제2파장광을 반사시키고, 상기 제3파장광과 제4파장광을 투과시키는 제6다이크로익 필터;를 포함할 수 있다.A first reflecting mirror reflecting the first wavelength light; A fourth dichroic filter transmitting the first wavelength light and reflecting the second wavelength light; A second reflecting mirror reflecting the third wavelength light; A fifth dichroic filter reflecting the third wavelength light and transmitting the fourth wavelength light; And a sixth dichroic filter reflecting the first wavelength light and the second wavelength light and transmitting the third wavelength light and the fourth wavelength light.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 광 합성 유닛은,According to another embodiment of the present invention, the light combining unit,

상기 제1파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제1다이크로익 필터; 상기 제2파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제2다이크로익 필터; 상기 제3파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터; 상기 제4파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제4다이크로익 필터;를 포함할 수 있다. A first dichroic filter reflecting the first wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; A second dichroic filter reflecting the second wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; A third dichroic filter reflecting the third wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; And a fourth dichroic filter reflecting the fourth wavelength light and transmitting the remaining wavelength light.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 영상 감지부는, 상기 제1파장광에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자; 상기 제2파장광에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자; 상기 제3파장광에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자; 및 상기 제4파장광에 의한 영상을 촬영하는 제4 영상 감지 소자;를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the image sensing unit comprises: a first image sensing element for capturing an image by the first wavelength light; A second image sensing element for capturing an image by the second wavelength light; A third image sensing element for capturing an image by the third wavelength light; And a fourth image sensing device for capturing an image by the fourth wavelength light.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제1파장광을 조사하는 제1광원; 제2파장광을 조사하는 제2광원; 제3파장광을 조사하는 제3광원; 제4파장광을 조사하는 제4광 원; 상기 제1파장광과, 제2파장광과, 제3파장광과 제4파장광을 동일한 광경로로 진행하도록 합성하는 광 합성 유닛; 상기 제1광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제1격자; 상기 제2광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제2격자; 상기 제3광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제3격자; 상기 제4광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제4격자; 및 상기 광 합성 유닛을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부;를 포함하고, 상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자가 격자 주기가 같고, 각 격자 배열이 1/4 주기만큼씩 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치를 제공한다.According to another embodiment of the invention, the first light source for irradiating the first wavelength light; A second light source for irradiating a second wavelength light; A third light source for irradiating third wavelength light; A fourth light source for irradiating the fourth wavelength light; A light synthesizing unit for synthesizing the first wavelength light, the second wavelength light, the third wavelength light, and the fourth wavelength light to travel in the same optical path; A first grid disposed on an optical path between the first light source and the light combining unit; A second grid disposed on an optical path between the second light source and the light combining unit; A third grid disposed on an optical path between the third light source and the light combining unit; A fourth grid disposed on an optical path between the fourth light source and the light combining unit; And an image sensing unit configured to photograph a plaid image formed on the subject by light passing through the light synthesizing unit, wherein the first lattice, the second lattice, the third lattice, and the fourth lattice have the same lattice period. In addition, the present invention provides a three-dimensional shape measuring apparatus in which each lattice array is shifted by a quarter period.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자를 통과한 제1, 제2, 제3, 제4 파장광이 상기 피검체에 동시에 격자 무늬를 생성한다. According to another embodiment of the present invention, the first, second, third, and fourth wavelength light passing through the first grid, the second grid, the third grid, and the fourth grid simultaneously forms a lattice pattern on the subject. Create

본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치는 모아레 간섭 무늬를 위상 천이 시키기 위해 격자를 기계적으로 이동시킬 필요가 없어 간편하고, 신속하게 3차원 형상을 측정할 수 있고, 기계적 조작이 없으므로 정밀하게 3차원 형상을 측정할 수 있다. 또한, 복수의 위상 천이가 동시에 진행되기 때문에 신속하게 위상 천이 과정을 구현할 수 있어 촬영 속도가 현저히 빠를 뿐 아니라 제어가 용이한 이점이 있다. 따라서, 본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치는 움직이는 피사체를 촬영하는 경우 유리하게 이용할 수 있다. 그리고, 예를 들어, 사람 얼굴을 간단하게 3차원적으로 촬영하는 것이 가능하고, 이 촬영된 영상을 이용하여 컴퓨터 게임이나 교육 프로그램 등에 접목시켜 그 응용 분야를 넓힐 수 있다.The three-dimensional shape measuring device according to the present invention can easily measure the three-dimensional shape quickly and easily because there is no need to move the grating mechanically to phase shift the moire interference fringe, and precisely three-dimensional shape because there is no mechanical operation. Can be measured. In addition, since a plurality of phase shifts are performed at the same time, the phase shift process can be quickly implemented, so that the photographing speed is significantly faster and the control is easier. Therefore, the three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention can be advantageously used when photographing a moving subject. For example, it is possible to simply photograph a human face in three dimensions, and expand the application field by incorporating the captured image into a computer game or an educational program.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 3차원 형상 측정 장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a three-dimensional shape measuring apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치는 격자 배열이 쉬프트된 복수 개의 격자를 이용하여 격자를 이동시킬 필요 없이 모아레 무늬의 위상천이를 구현한다. 격자를 통해 피검체(P)에 형성된 격자 무늬와 컴퓨터에 의해 생성된 가상 격자 무늬의 간섭에 의해 모아레 모늬가 생성된다. The three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention implements a phase shift of a moire fringe without having to move the grating by using a plurality of gratings in which the grating arrangement is shifted. The moire monet is generated by the interference between the lattice pattern formed on the subject P through the lattice and the virtual lattice pattern generated by the computer.

본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치는, 도 3을 참조하면 광원(50)과, 상기 광원(50)으로부터 조사된 광을 복수 개의 파장 광으로 분리하는 광 분리 유닛(57), 상기 복수 개의 파장 광이 동일한 광 경로로 진행하도록 합성해주는 광 합성 유닛(65)을 포함한다. 그리고, 상기 광 분리 유닛(57)과 광 합성 유닛(65) 사이의 광 경로에 복수 개의 격자가 구비된다. 3, the apparatus for measuring a three dimensional shape according to an exemplary embodiment of the present invention may include a light source 50 and a light separation unit 57 that separates light emitted from the light source 50 into a plurality of wavelength light; And a light synthesizing unit 65 for synthesizing the plurality of wavelength lights to travel in the same optical path. In addition, a plurality of gratings are provided in an optical path between the light separation unit 57 and the light combining unit 65.

상기 광원(50)은 백색 광을 조사하는 광원으로, 상기 광 분리 유닛(57)에 의해 상기 백색 광이 복수 개의 파장광으로 분리된다. 예를 들어, 상기 광 분리 유닛(51)은 상기 백색 광 중 제1 파장광(L1)과 제2 파장광(L2)을 투과시키고, 제3 파장광(L3)과 제4 파장광(L4)을 반사시키는 제1 다이크로익 필터(58), 상기 제1 파장광(L1)을 투과시키고, 상기 제2 파장광(L2)을 반사시키는 제2 다이크로익 필터(60), 상기 제1 다이크로익 필터(58)에서 반사된 제3 파장광(L3)을 반사시키고 제4 파장광(L4)을 투과시키는 제3 다이크로익 필터(78)를 포함한다. 그럼으로써, 상기 광 분리 유닛(57)은 상기 백색 광을 제1경로로 진행하는 제1 파장광(L1), 제2경로로 진행하는 제2 파장광(L2), 제3경로로 진행하는 제3 파장광(L3) 및 제4경로로 진행하는 제4 파장광(L4)으로 분리할 수 있다. The light source 50 is a light source that irradiates white light, and the white light is separated into a plurality of wavelength light by the light separation unit 57. For example, the light separation unit 51 transmits the first wavelength light L1 and the second wavelength light L2 of the white light, and the third wavelength light L3 and the fourth wavelength light L4. The first dichroic filter 58 reflecting the light, the second dichroic filter 60 transmitting the first wavelength light L1, and reflecting the second wavelength light L2, and the first dike. And a third dichroic filter 78 that reflects the third wavelength light L3 reflected by the loch filter 58 and transmits the fourth wavelength light L4. As a result, the optical separation unit 57 may include a first wavelength light L1 traveling in the first path, a second wavelength light L2 running in a second path, and a third path traveling in a third path. It can separate into three wavelength light L3 and the 4th wavelength light L4 which progresses to a 4th path.

상기 광 분리 유닛(57)은 상기 제2 다이크로익 필터(60)에서 반사된 제2 파장광(L2)의 광경로를 변환시키기 위한 제1 반사미러(68)와 상기 제3 다이크로익 필터(78)를 통과한 제4 파장광(L4)의 광경로를 변환시키기 위한 제2 반사미러(80)를 더 포함할 수 있다. 상기 광 분리 유닛(57)은 백색 광원으로부터 조사된 광을 4개의 파장 대역으로 분리하기 위한 것으로 위에서 설명한 구성에 한정되는 것은 아니며 다양하게 변경 가능하다. 예를 들어, 상기 제1 파장광은 적색광이고, 제2 파장광은 황색광이고, 제3 파장광은 녹색광이고, 제4 파장광은 청색광일 수 있다. The optical separation unit 57 may include a first reflection mirror 68 and a third dichroic filter for converting optical paths of the second wavelength light L2 reflected by the second dichroic filter 60. A second reflection mirror 80 may be further included to convert the optical path of the fourth wavelength light L4 passing through the 78. The light separation unit 57 is for separating the light emitted from the white light source into four wavelength bands and is not limited to the above-described configuration, and may be variously changed. For example, the first wavelength light may be red light, the second wavelength light may be yellow light, the third wavelength light may be green light, and the fourth wavelength light may be blue light.

상기 광원(50)과 광 분리 유닛(57) 사이의 광 경로 상에는 적어도 하나의 렌즈가 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 적어도 하나의 렌즈는 제1렌즈(52), 제2렌즈(54) 및 제3렌즈(56)를 포함할 수 있다. At least one lens may be provided on the optical path between the light source 50 and the light separation unit 57. For example, the at least one lens may include a first lens 52, a second lens 54, and a third lens 56.

상기 광 분리 유닛(57)과 광 합성 유닛(65) 사이의 광 경로 상에는 복수 개의 격자가 구비된다. 예를 들어, 상기 제1 파장광이 진행하는 제1경로에 제1격자(64), 제2 파장광이 진행하는 제2경로에 제2격자(72), 제3 파장광이 진행하는 제3경로에 제3격자(84) 및 제4 파장광이 진행하는 제4경로에 제4격자(90)가 구비된다. 상기 제1격자(64)를 통과한 제1 파장광과, 상기 제2격자(72)를 통과한 제2 파장광과, 상기 제3격자(84)를 통과한 제3 파장광과 제4격자(90)를 통과한 제4 파장 광은 각각 피검체(P)에 격자 무늬를 생성한다. A plurality of gratings are provided on the optical path between the light separation unit 57 and the light combining unit 65. For example, a third lattice 72 and a third wavelength light travel in a first path 64 through which the first wavelength light travels and a second path through which the second wavelength light travels. The fourth grid 90 is provided in the fourth path through which the third grid 84 and the fourth wavelength light travel. First wavelength light passing through the first lattice 64, the second wavelength light passing through the second lattice 72, the third wavelength light passing through the third lattice 84 and the fourth lattice The fourth wavelength light that has passed through 90 generates a lattice pattern in the subject P, respectively.

도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1격자(64), 제2격자(72), 제3격자(84), 제4격자(90)는 동일한 격자 주기(T)를 가진다. 그리고, 각각 그 격자 배열이 T/4만큼씩 쉬프트되어 있다. 다시 말하면, 상기 제2격자(72)는 그 격자 배열이 제1격자(64)에 대해 T/4만큼 쉬프트되어 있으며, 제3격자(84)는 그 격자 배열이 제2격자(72)에 대해 T/4만큼 쉬프트되어 있으며, 제4격자(90)는 그 격자 배열이 제3격자(84)에 대해 T/4만큼 쉬프트되어 있다. 본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치는 상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자의 격자 배열의 쉬프트를 통해 위상 천이된 모아레 무늬를 얻을 수 있다. 여기서는, 4개의 위상 천이된 모아레 무늬를 얻는다. As shown in FIG. 4, the first lattice 64, the second lattice 72, the third lattice 84, and the fourth lattice 90 have the same lattice period T. As illustrated in FIG. The lattice arrangement is shifted by T / 4, respectively. In other words, the lattice arrangement of the second lattice 72 is shifted by T / 4 with respect to the first lattice 64, and the third lattice 84 has its lattice arrangement with respect to the second lattice 72. The fourth grid 90 is shifted by T / 4, and the lattice arrangement is shifted by T / 4 with respect to the third grid 84. The three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention can obtain a phase shifted moire fringe by shifting the lattice arrangement of the first grid, the second grid, the third grid, and the fourth grid. Here, four phase shifted moire patterns are obtained.

상기 제1격자(64)를 통과한 제1 파장광(L1)과, 제2격자(72)를 통과한 제2 파장광(L2)과, 제3격자(84)를 통과한 제3 파장광(L3)과, 제4격자(90)를 통과한 제4 파장광(L4)은 광 합성 유닛(65)을 통해 합성되어 동일한 경로로 진행되며, 상기 피검체(P)에 동시에 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬를 생성한다. The first wavelength light L1 passing through the first lattice 64, the second wavelength light L2 passing through the second lattice 72, and the third wavelength light passing through the third lattice 84. (L3) and the fourth wavelength light (L4) passing through the fourth grid 90 is synthesized through the light synthesizing unit (65) and proceed in the same path, and simultaneously the first and the first Generate second, third and fourth plaids.

상기 광 합성 유닛(65)은 도 3을 참조하면, 상기 제1격자(64)를 통과한 제1 파장광(L1)을 반사시키는 제3반사미러(66), 상기 제2격자(72)를 통과한 제2파장광(L2)을 반사시키고, 상기 제3반사미러(66)에서 반사된 제1 파장광(L1)을 투과시키는 제4다이크로익 필터(74), 상기 제3격자(84)를 통과한 제3파장광(L3)을 반사시키고, 상기 제4격자(90)를 통과한 제4파장광(L4)을 투과시키는 제5다이크로익 필터(92), 및 상기 제1파장광과 제2파장광을 반사시키고, 제3파장광과 제4파장광을 투과시키는 제6다이크로익 필터(76)를 포함할 수 있다. 상기 광 합성 유닛(65)은 상기 제3격자(84)를 통과한 제3파장광(L3)의 광 경로를 변환시키기 위한 제4반사미러(86)를 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the light combining unit 65 may include a third reflecting mirror 66 and a second lattice 72 reflecting the first wavelength light L1 passing through the first lattice 64. The fourth dichroic filter 74 and the third lattice 84 reflecting the second wavelength light L2 passing through and transmitting the first wavelength light L1 reflected by the third reflection mirror 66. A fifth dichroic filter 92 for reflecting the third wavelength light L3 passing through the second wavelength light and transmitting the fourth wavelength light L4 passing through the fourth grid 90, and the first wavelength. The sixth dichroic filter 76 reflects light and the second wavelength light and transmits the third wavelength light and the fourth wavelength light. The light combining unit 65 may further include a fourth reflecting mirror 86 for converting an optical path of the third wavelength light L3 passing through the third grid 84.

한편, 상기 광 합성 유닛(57)과 제1격자(64) 사이의 광 경로 상에 제1 밴드패스필터(62), 상기 광 합성 유닛(57)과 제2격자(72) 사이의 광 경로 상에 제2 밴드패스필터(70), 상기 광 합성 유닛(57)과 제3격자(84) 사이의 광 경로 상에 제3 밴드패스필터(82), 및 상기 광 합성 유닛(57)과 제4격자(90) 사이의 광 경로 상에 제4 밴드패스필터(90)가 더 구비될 수 있다. 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 밴드패스필터(62)(70)(82)(88)를 통해 원하지 않는 노이즈를 제거할 수 있다. On the other hand, on the optical path between the light combining unit 57 and the first lattice 64 on the optical path between the first band pass filter 62 and the light combining unit 57 and the second lattice 72. On the optical path between the second band pass filter 70, the light combining unit 57 and the third grid 84, a third band pass filter 82, and the light combining unit 57 and the fourth A fourth band pass filter 90 may be further provided on the optical path between the gratings 90. Undesired noise may be removed through the first, second, third and fourth band pass filters 62, 70, 82, and 88.

상기 광 합성 유닛(65)과 피검체(P) 사이에 상기 광 합성 유닛(64)을 통과한 광을 피검체(P)에 집속시키기 위한 적어도 하나의 렌즈가 더 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 광 합성 유닛(65)과 피검체(P) 사이에 제4렌즈(94)와 제5렌즈(95)가 더 구비될 수 있다. At least one lens may be further provided between the light combining unit 65 and the subject P to focus the light passing through the light combining unit 64 onto the subject P. For example, a fourth lens 94 and a fifth lens 95 may be further disposed between the light combining unit 65 and the object P.

상기 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬는 영상 감지부(98)에 의해 촬영된다. 상기 피검체(P)와 영상 감지부(98) 사이에는 적어도 하나의 렌즈가 더 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 피검체(P)와 영상 감지부(98) 사이에 제6렌즈(96) 및 제7 렌즈(97)가 더 구비될 수 있다. The first, second, third and fourth plaids are photographed by the image detector 98. At least one lens may be further provided between the subject P and the image detector 98. For example, a sixth lens 96 and a seventh lens 97 may be further disposed between the subject P and the image detector 98.

상기 제1격자(64), 제2격자(72), 제3격자(84) 및 제4격자(90)에 의해 피검체(P)에 형성된 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬는 서로 다른 파장, 예를 들어 제1파장, 제2파장, 제3파장 및 제4파장에 의해 구분될 수 있다. 상기 영상 감지부(98) 에 의해 촬영된 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬가 컴퓨터(99)에 입력되고, 상기 컴퓨터(99)에서 생성된 가상 격자 무늬와 간섭을 일으킴으로써, 위상 천이된 제1, 제2, 제3 및 제4 모아레 간섭 무늬를 얻을 수 있다. First, second, third and fourth plaid patterns formed on the subject P by the first grid 64, the second grid 72, the third grid 84, and the fourth grid 90. May be distinguished by different wavelengths, for example, a first wavelength, a second wavelength, a third wavelength, and a fourth wavelength. The first, second, third and fourth plaids photographed by the image sensing unit 98 are input to the computer 99 and cause interference with the virtual plaids generated by the computer 99. Phase-shifted first, second, third and fourth moire interference fringes can be obtained.

상기 제1격자(64), 제2격자(72), 제3격자(84) 및 제4격자(90)에 의해 위상 천이된 모아레 무늬를 위상천이 알고리즘을 이용하여 처리함으로써 3차원 형상을 생성한다. 본 발명에서는 네 개의 위상 천이된 모아레 모늬에 4단계 위상천이 알고리즘(4-step phase shifting algorithm)을 적용하여 모아레 무늬에 해당하는 위상 맵을 구한다. 일반적으로 위상천이 알고리즘은 각 영상의 세기 분포로 표현되는 함수에 arc tangent를 취하여 위상을 구한다. arc tangent 함수의 특성상 생성되는 위상은 -π/2 ~ π/2의 영역이나 -π ~ π의 영역으로 한정되어 나타난다. 그러므로 위상천이 알고리즘으로 구한 위상 맵은 불연속적인 부분을 가질 수밖에 없다. 이 단계에서 구한 위상 맵을 래핑된(wrapping) 위상 맵이라고 부르고, 이런 불연속적인 부분을 이어주는 과정을 언래핑(unwrapping) 과정이라고 한다.A three-dimensional shape is generated by processing a moire pattern phase shifted by the first lattice 64, the second lattice 72, the third lattice 84, and the fourth lattice 90 by using a phase shift algorithm. . In the present invention, a phase map corresponding to a moiré pattern is obtained by applying a four-step phase shifting algorithm to four phase-shifted moiré monies. In general, the phase shift algorithm obtains a phase by taking an arc tangent to a function represented by the intensity distribution of each image. Due to the characteristics of the arc tangent function, the generated phase is limited to the region of -π / 2 to π / 2 or the region of -π to π. Therefore, the phase map obtained by the phase shift algorithm has a discontinuous part. The phase map obtained in this step is called a wrapping phase map, and the process of connecting these discontinuous parts is called an unwrapping process.

그리고, 언래핑(unwrapping) 프로세스를 통하여 위상 맵에 모아레 무늬의 파장을 곱하면, 위상은 피검체(P)의 높이로 복원된다. 그럼으로써, 피검체의 3차원 형상이 측정된다. 이러한 3차원 형상 측정 방법은 "Phase Shifting Intererometery, in Optical Shop Testing, D. Malacara, 2nd Ed. John Wiley & Sons Inc, New York 1992"에 개시되어 있다. When the phase map is multiplied by the wavelength of the moire fringe through an unwrapping process, the phase is restored to the height of the subject P. FIG. As a result, the three-dimensional shape of the subject is measured. Such a three-dimensional shape measurement method is disclosed in "Phase Shifting Intererometery, in Optical Shop Testing, D. Malacara, 2nd Ed. John Wiley & Sons Inc, New York 1992".

다음, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치의 광 합성 유닛(65')의 변형 예를 도시한 것이다. 도 3과 비교할 때 광 합성 유닛(65')을 제 외한 나머지 구성 요소들은 동일하다. 상기 광 합성 유닛(65')은 상기 제1격자(64)를 통과한 제1 파장광(L1)을 반사시키고 나머지 파장광을 투과시키는 제4다이크로익 필터(161), 상기 제2격자(72)를 통과한 제2 파장광(L2)을 반사시키고, 상기 제1다이크포익 필터(161)에서 반사된 제1파장광(L1)을 투과시키는 제2 다이크로익 필터(162), 상기 제3격자(84)를 통과한 제3파장광(L3)을 반사시키고, 상기 제1 및 제2 파장광(L2)(L3)을 투과시키는 제3 다이크로익 필터(163) 및 상기 제4격자(90)를 통과한 제4파장광(L4)을 반사시키고, 제1, 제2 및 제3 파장광(L1)(L2)(L3)을 투과시키는 제4 다이크로익 필터(164)를 포함할 수 있다. 상기 제1 다이크로익 필터(161)는 반사미러로 대체될 수 있다. 상기 광 합성 유닛(65')에 의해 합성된 제1 내지 제4 파장광의 경로를 변환하기 위해 반사미러(165)가 더 구비될 수 있다. 상기 반사미러(165)는 광학적 요소의 공간 배치를 효율적으로 변환하기 위해 사용된다. 상기 광 합성 유닛(65')은 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 격자(64)(72)(84)(90)를 통과하여 서로 다른 광 경로로 진행하는 제1, 제2, 제3 및 제4 파장광(L1)(L2)(L3)(L4)을 동일한 하나의 경로로 진행하도록 해 준다. 하지만, 상기 광 합성 유닛(65')은 여기에 한정되는 것은 아니며 당업자가 다양하게 변형 가능함은 물론이다. Next, FIG. 5 shows a modification of the light combining unit 65 'of the three-dimensional shape measuring apparatus according to the embodiment of the present invention. Compared with FIG. 3, the remaining components except for the light combining unit 65 'are the same. The light combining unit 65 ′ is configured to reflect the first wavelength light L1 passing through the first lattice 64 and transmit the remaining wavelength light to the fourth dichroic filter 161 and the second lattice ( A second dichroic filter 162 reflecting the second wavelength light L2 passing through the second wavelength light and transmitting the first wavelength light L1 reflected by the first dichroic filter 161; The third dichroic filter 163 and the fourth grid reflecting the third wavelength light L3 passing through the three grids 84 and transmitting the first and second wavelength light L2 and L3. And a fourth dichroic filter 164 that reflects the fourth wavelength light L4 that has passed through 90 and transmits the first, second and third wavelength light L1, L2, and L3. can do. The first dichroic filter 161 may be replaced with a reflection mirror. A reflection mirror 165 may be further provided to convert a path of the first to fourth wavelength light synthesized by the light combining unit 65 ′. The reflection mirror 165 is used to efficiently convert the spatial arrangement of the optical elements. The light combining unit 65 ′ passes through the first, second, third, and fourth gratings 64, 72, 84, 90 and proceeds in different optical paths. The third and fourth wavelength lights L1, L2, L3, and L4 are allowed to travel in the same path. However, the light synthesizing unit 65 'is not limited thereto, and various modifications can be made by those skilled in the art.

상기 제1, 제2, 제3 및 제4 격자(64)(72)(84)(90)를 통과한 제1, 제2, 제3, 및 제4 파장광(L1)(L2)(L3)(L4)은 피검체(P)에 각각 다른 제1, 제2, 제3, 및 제4 격자 무늬를 동시에 생성하고, 이들 격자 무늬는 서로 다른 위상으로 쉬프트되어 있으며, 서로 다른 파장에 의해 구별될 수 있다. 상기 제1, 제2, 제3, 및 제4 격자 무늬는 영상 감지부(98)에 의해 촬영된다. 상기 영상 감지부(98)는 예를 들어 CCD로 구성될 수 있다. 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬를 하나의 CCD로 촬영하는 것도 가능하다. First, second, third, and fourth wavelength light beams L1, L2, and L3 passing through the first, second, third, and fourth gratings 64, 72, 84, and 90. L4 simultaneously generates different first, second, third, and fourth plaids on the subject P, and the lattices are shifted in different phases and distinguished by different wavelengths. Can be. The first, second, third, and fourth plaids are photographed by the image detector 98. The image sensing unit 98 may be configured as, for example, a CCD. It is also possible to photograph the first, second, third and fourth plaids with one CCD.

또는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 영상 감지부(98)가 복수 개의 영상 감지 소자를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 영상 감지부(98)는 상기 제1파장광(L1)에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자(116), 상기 제2파장광(L2)에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자(118), 상기 제3파장광(L3)에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자(120) 및 상기 제4파장광에 의한 영상을 촬영하는 제4 영상 감지 소자(122)를 포함할 수 있다. Alternatively, as illustrated in FIG. 6, the image sensing unit 98 may include a plurality of image sensing elements. For example, the image detecting unit 98 may include a first image sensing element 116 for capturing an image by the first wavelength light L1 and a second image capturing an image by the second wavelength light L2. 2 an image sensing element 118, a third image sensing element 120 for capturing an image by the third wavelength light L3, and a fourth image sensing element 122 for capturing an image by the fourth wavelength light. It may include.

상기 영상 감지부(98)는 상기 피검체(P)에서 반사된 제1, 제2, 제3, 제4 파장광 중 제1파장광과 제2파장광을 투과시키고, 제3파장광과 제4파장광을 반사시키는 제1다이크로익 필터(101), 상기 제1다이크로익 필터(101)를 통과한 제1파장광과 제2파장광 중 제1파장광을 투과시키고, 제2파장광을 반사시키는 제2다이크로익 필터(103), 상기 제1다이크로익 필터(101)를 통과한 제3파장광과 제4파장광 중 제3 파장광을 반사시키고, 제4파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터(105)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2다이크로익 필터(103)에서 반사된 제2파장광을 반사시켜 광 경로를 변환시키기 위한 제1반사미러(104)와, 상기 제3다이크로익 필터(105)를 통과한 제4파장광을 반사시켜 광 경로를 변환시키기 위한 제2반사미러(106)가 더 구비될 수 있다. 상기 제2다이크로익 필터(103)를 통과한 제1파장광은 제1 영상 감지 소자(116)에 입사되고, 상기 제2다이크로익 필터(103)에서 반사된 제2파장광은 제2 영상 감지 소자(118)에 입사되고, 상기 제3다이크로익 필터(105)에서 반사된 제3파장광은 제3 영상 감지 소자(120)에 입사되고, 상기 제3다이크로익 필터(105)를 통과한 제4파장광은 제4 영상 감지 소자(122)에 입사된다. The image detector 98 transmits the first wavelength light and the second wavelength light among the first, second, third, and fourth wavelength light reflected from the subject P, and the third wavelength light and the third wavelength light. The first dichroic filter 101 reflects the four wavelengths of light, and transmits the first wavelength light of the first wavelength light and the second wavelength light that has passed through the first dichroic filter 101, and the second wavelength. The second dichroic filter 103 for reflecting light and the third wavelength light and the fourth wavelength light passing through the first dichroic filter 101 are reflected to reflect the fourth wavelength light. It may further include a third dichroic filter 105 for transmitting. A fourth reflecting mirror 104 for reflecting the second wavelength light reflected by the second dichroic filter 103 to change the optical path, and a fourth passing through the third dichroic filter 105. A second reflecting mirror 106 may be further provided to reflect the wavelength light to convert the optical path. The first wavelength light passing through the second dichroic filter 103 is incident on the first image sensing element 116, and the second wavelength light reflected by the second dichroic filter 103 is second. The third wavelength light incident on the image sensing element 118 and reflected by the third dichroic filter 105 is incident on the third image sensing element 120 and the third dichroic filter 105. The fourth wavelength light having passed through is incident on the fourth image sensing device 122.

한편, 상기 제2다이크로익 필터(103)와 제1 영상 감지 소자(116) 사이의 광 경로 상에 제1 밴드패스필터(107)가, 상기 제2다이크로익 필터(103)와 제2 영상 감지 소자(118) 사이의 광 경로 상에 제2 밴드패스필터(110)가, 제3다이크로익 필터(105)와 제3 영상 감지 소자(120) 사이의 광 경로 상에 제3 밴드패스필터(112)가, 상기 제3다이크로익 필터(105)와 제4 영상 감지 소자(122) 사이의 광 경로 상에 제4 밴드패스필터(114)가 더 구비될 수 있다. 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 밴드패스필터(107)(110)(112)(114)는 원하지 않는 노이즈를 제거하여 보다 선명한 영상을 얻을 수 있도록 한다. On the other hand, the first band pass filter 107 on the optical path between the second dichroic filter 103 and the first image sensing element 116, the second dichroic filter 103 and the second The second band pass filter 110 is disposed on the optical path between the image sensing elements 118, and the third band pass is disposed on the optical path between the third dichroic filter 105 and the third image sensing element 120. The filter 112 may further include a fourth band pass filter 114 on the optical path between the third dichroic filter 105 and the fourth image sensing device 122. The first, second, third, and fourth band pass filters 107, 110, 112, and 114 remove unwanted noise to obtain a clearer image.

다음, 본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치에 대해 도 7을 참조하여 설명한다.Next, a three-dimensional shape measuring apparatus according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치는 서로 다른 파장 광을 조사하는 복수 개의 광원을 구비한다. 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이 제1 파장광(L1)을 조사하는 제1광원(251), 제2 파장광(L2)을 조사하는 제2광원(252), 제3 파장광(L3)을 조사하는 제3광원(253), 제4파장광(L4)을 조사하는 제4광원(254)이 구비될 수 있다. 도 8은 제1광원, 제2광원, 제3광원, 제4광원으로부터 조사된 광의 파장에 따른 스팩트럼 파워 분포를 나타낸 것으로, 예를 들어 제1파장광은 적색광(약 625nm의 피크 파장), 제2파장광은 황색광(약 590nm의 피크 파장), 제3파장광은 녹색광(약 525nm의 피크 파장), 제4파장광은 청색광(약 465nm의 피크 파장)일 수 있다. 상기 제1 파장광(L1), 제2 파장광(L2), 제3 파장광(L3), 및 제4 파장광(L4)은 서로 다른 광 경로로 진행하다가 광 합성 유닛(260)에 의해 동일한 광 경로로 합성된다. 상기 광 합성 유닛(260)은 예를 들어, 상기 제1 파장광(L1)을 반사시키고, 다른 파장 광을 투과시키는 제1 다이크로익 필터(265), 상기 제2 파장 광(L2)을 반사시키고, 다른 파장 광을 투과시키는 제2 다이크로익 필터(266), 상기 제3 파장광(L3)을 반사시키고, 다른 파장 광을 투과시키는 제3 다이크로익 필터(267), 및 상기 제4 파장광(L4)을 반사시키고, 다른 파장 광을 투과시키는 제4 다이크로익 필터(268)를 포함할 수 있다. 상기 제4 다이크로익 필터(268)는 반사 미러로 대체될 수 있다. 상기 제1 광원(254)과 제1 다이크로익 필터(265) 사이의 광 경로 상에는 제1 격자(261)가, 상기 제2 광원(252)과 제2 다이크로익 필터(266) 사이의 광 경로 상에는 제2 격자(262)가, 상기 제3 광원(253)과 제3 다이크로익 필터(267) 사이의 광 경로 상에는 제3 격자(263)가, 상기 제4 광원(254)과 상기 제4 다이크로익 필터(268) 사이의 광 경로 상에는 제4 격자(268)가 구비된다. 3D shape measurement apparatus according to another embodiment of the present invention includes a plurality of light sources for irradiating different wavelength light. For example, as illustrated in FIG. 7, the first light source 251 for irradiating the first wavelength light L1, the second light source 252 for irradiating the second wavelength light L2, and the third wavelength light ( A third light source 253 for irradiating L3) and a fourth light source 254 for irradiating the fourth wavelength light L4 may be provided. FIG. 8 shows the spectral power distribution according to the wavelength of light emitted from the first light source, the second light source, the third light source, and the fourth light source. For example, the first wavelength light includes red light (peak wavelength of about 625 nm), and The second wavelength light may be yellow light (peak wavelength of about 590 nm), the third wavelength light may be green light (peak wavelength of about 525 nm), and the fourth wavelength light may be blue light (peak wavelength of about 465 nm). The first wavelength light L1, the second wavelength light L2, the third wavelength light L3, and the fourth wavelength light L4 travel in different optical paths and are identical by the light combining unit 260. Synthesized by optical path. The light combining unit 260 reflects, for example, the first dichroic filter 265 and the second wavelength light L2 that reflect the first wavelength light L1 and transmit other wavelength light. The second dichroic filter 266 for transmitting the light of different wavelengths, the third dichroic filter 267 for reflecting the third wavelength light of L3 and transmitting the light of another wavelength, and the fourth A fourth dichroic filter 268 reflecting the wavelength light L4 and transmitting another wavelength light may be included. The fourth dichroic filter 268 may be replaced with a reflective mirror. On the optical path between the first light source 254 and the first dichroic filter 265, the first grating 261 is a light between the second light source 252 and the second dichroic filter 266. The second grating 262 on the path, the third grating 263 on the light path between the third light source 253 and the third dichroic filter 267, the fourth light source 254 and the fourth light source. A fourth grating 268 is provided on the optical path between the four dichroic filters 268.

상기 제1, 제2, 제3 및 제4 격자(261)(262)(263)(264)는 동일한 격자 주기를 가지며, 각 격자의 격자 배열이 (주기/4) 만큼 씩 쉬프트되어 있다. 이에 대해서는 도 4를 참조하여 설명한 것과 실질적으로 같다. 상기 제1광원(251)과 제1격자(261) 사이의 광 경로 상에 제1밴드패스필터(255)가, 상기 제2광원(252)과 제2격자(262) 사이의 광 경로 상에 제2밴드패스필터(256)가, 상기 제3광원(253)과 제3격자(263) 사이의 광 경로 상에 제3밴드패스필터(263)가, 상기 제4광원(254)과 제4격자(264) 사이의 광 경로 상에 제4밴드패스필터(258)가 더 구비될 수 있다. The first, second, third, and fourth gratings 261, 262, 263, and 264 have the same grating period, and the grating arrangement of each grating is shifted by (period / 4). This is substantially the same as described with reference to FIG. On the optical path between the first light source 251 and the first grid 261, a first band pass filter 255 is on the optical path between the second light source 252 and the second grid 262. The second band pass filter 256, the third band pass filter 263 on the optical path between the third light source 253 and the third grid 263, the fourth light source 254 and the fourth A fourth band pass filter 258 may be further provided on the optical path between the gratings 264.

상기 광 합성 유닛(260)에 의해 합성된 제1, 제2, 제3 및 제4 파장광(L1)(L2)(L3)(L4)은 피검체(P)에 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬를 생성한다. 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬는 영상 감지부(277)에 의해 촬영된다. 상기 영상 감지부(277)에서 촬영된 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬가 컴퓨터(279)에 입력되고, 제1, 제2, 제3 및 제4 격자 무늬는 상기 컴퓨터(279)에서 생성된 가상의 격자 무늬와 간섭을 일으켜 제1, 제2, 제3 및 제4 모아레 간섭 무늬가 생성된다. 제1, 제2, 제3 및 제4 모아레 간섭 무늬는 간섭 무늬의 파장(λ)에 대해 1/4 파장씩 위상 천이되어 있다. The first, second, third and fourth wavelength light beams L1, L2, L3, and L4 synthesized by the light combining unit 260 are first, second, and third to the subject P. Generate third and fourth plaids. The first, second, third and fourth plaids are photographed by the image detector 277. The first, second, third and fourth plaids captured by the image sensing unit 277 are input to the computer 279, and the first, second, third and fourth plaids are input to the computer 279. Interfering with the imaginary lattice generated in c) generates first, second, third and fourth moire interference fringes. The first, second, third and fourth moire interference fringes are phase shifted by a quarter wavelength with respect to the wavelength λ of the interference fringes.

한편, 상기 제1 다이크로익 필터(265)를 경유한 제1, 제2, 제3, 및 제4 파장광의 경로를 변경하기 위해 반사미러(270)가 더 구비될 수 있다. 또한, 상기 제1다이크로익 필터(265)와 피검체(P) 사이의 광 경로 상에는 적어도 하나의 렌즈가 더 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 다이크로익 필터(265)와 피검체(P) 사이의 광 경로 상에 제1렌즈(271)와 제2렌즈(272)가 더 구비될 수 있다. 또한, 상기 피검체(P)와 영상 감지부(277) 사이에 적어도 하나의 렌즈가 더 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 피검체(P)와 영상 감지부(277) 사이에 제3렌즈(274)와 제4렌즈(275)가 구비될 수 있다. On the other hand, the reflective mirror 270 may be further provided to change the path of the first, second, third, and fourth wavelength light via the first dichroic filter 265. In addition, at least one lens may be further provided on the optical path between the first dichroic filter 265 and the object P. For example, a first lens 271 and a second lens 272 may be further provided on the optical path between the first dichroic filter 265 and the object P. In addition, at least one lens may be further provided between the subject P and the image detector 277. For example, a third lens 274 and a fourth lens 275 may be provided between the object P and the image detector 277.

상기 영상 감지부(277)는 하나의 영상 감지 소자로 구성되거나 복수 개의 영상 감지 소자로 구성될 수 있다. 복수 개의 영상 감지 소자로 구성되는 경우는 도 6을 참조하여 설명한 예에 따라 구성될 수 있다. 하지만, 여기에 한정되는 것은 아 니며 다양하게 변경이 가능함은 물론이다. The image sensing unit 277 may be configured as one image sensing element or as a plurality of image sensing elements. In the case of a plurality of image sensing elements, the configuration may be performed according to the example described with reference to FIG. 6. However, the present invention is not limited thereto and may be variously changed.

상기 영상 감지부(277)에서 촬영된 제1격자 무늬, 제2격자 무늬, 제3격자 무늬, 및 제4격자 무늬가 컴퓨터(279)에 입력되고, 상기 제1 내지 제4 격자 무늬와 상기 컴퓨터(279)에 의한 가상의 격자 무늬가 간섭을 일으켜 4 개의 위상 천이된 모아레 무늬를 얻는다. 위상 천이된 모아레 무늬를 이용하여 언래핑 프로세스를 통해 피검체(P)의 3차원 형상을 얻는다. The first grid pattern, the second grid pattern, the third grid pattern, and the fourth grid pattern photographed by the image sensing unit 277 are inputted to the computer 279, and the first to fourth grid patterns and the computer. An imaginary lattice pattern by (279) interferes to obtain four phase shifted moire patterns. The three-dimensional shape of the subject P is obtained through an unwrapping process using a phase shifted moire fringe.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치는, 모아레 무늬 발생 알고리즘과 위상천이 알고리즘을 적용하여 피검체의 3차원 형상을 정밀하고 선명하게 측정할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치는 네 개의 파장 대역의 광에 대해 격자 배열이 쉬프트된 네 개의 격자를 이용하여 격자를 이동시킬 필요 없이 위상 천이된 모아레 무늬를 얻을 수 있다. 또한, 네 개의 격자를 이용하여 위상 천이된 모아레 무늬를 동시에 얻을 수 있어 간단하고 신속하게 3차원 형상을 측정할 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 3차원 형상 측정 장치는 위상 천이를 위해 격자를 이동시키지 않고 네 개의 격자 무늬를 동시에 얻을 수 있으므로 움직이는 피사체의 3차원 형상을 측정하는데 유리하게 적용할 수 있다. As described above, the three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention can accurately and clearly measure the three-dimensional shape of the subject by applying a moire fringe generation algorithm and a phase shift algorithm. In addition, the three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention can obtain a phase shifted moire fringe without having to move the grating using four gratings whose grating arrangement is shifted with respect to the light of four wavelength bands. In addition, by using four gratings can simultaneously obtain a phase shifted moire fringe, it is possible to measure a three-dimensional shape simply and quickly. Thus, the three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention can be advantageously applied to measure the three-dimensional shape of a moving subject because four grid patterns can be obtained simultaneously without moving the grid for phase shift.

상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상을 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다. The above embodiments are merely exemplary, and various modifications and equivalent other embodiments are possible to those skilled in the art. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined by the technical idea of the invention described in the following claims.

도 1은 모아레 간섭 무늬를 나타낸 것이다. 1 shows a moiré interference fringe.

도 2는 종래의 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 것이다. Figure 2 schematically shows a conventional three-dimensional shape measuring apparatus.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치를 도시한 것이다. Figure 3 shows a three-dimensional shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치에 구비된 격자들의 격자 배열 관계를 나타낸 것이다. Figure 4 shows the lattice arrangement relationship of the gratings provided in the three-dimensional shape measurement apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치의 변형예를 도시한 것이다. Figure 5 shows a modification of the three-dimensional shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치에 구비된 영상 감지부의 일 예를 도시한 것이다. 6 illustrates an example of an image sensing unit provided in a 3D shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치를 도시한 것이다. 7 illustrates a three-dimensional shape measuring apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치에 구비된 제1, 제2, 제3, 제4 광원의 파장에 따른 스펙트럼 파워 분포를 나타낸 것이다. FIG. 8 illustrates spectral power distribution according to wavelengths of first, second, third and fourth light sources included in a three-dimensional shape measuring apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention.

<도면 중 주요 부분에 대한 설명> <Description of main part of drawing>

50,251,252,253,254...광원, 57...광 분리 유닛50,251,252,253,254 ... light source, 57 ... light separation unit

58,60,78,74,76,92...다이크로익 필터58,60,78,74,76,92 ... Dichroic Filter

62,70,82,88...밴드패스필터, 62,70,82,88 ... band pass filter,

64,72,84,90,261,262,263,264...격자64,72,84,90,261,262,263,264 ... lattice

65,65'...광 합성 유닛65,65 '... optical synthesis unit

P...피검체, 98,277...영상 감지부P ... subject, 98,277 ...

99,279...컴퓨터99,279 ... Computer

Claims (11)

광원;Light source; 상기 광원으로부터 조사된 백색광을 제1경로로 진행하는 제1파장광, 제2경로로 진행하는 제2파장광, 및 제3경로로 진행하는 제3파장광, 및 제4경로로 진행하는 제4파장광으로 분리시키는 광 분리 유닛;A first wavelength light that travels the white light irradiated from the light source along a first path, a second wavelength light that travels on a second path, a third wavelength light that travels on a third path, and a fourth path that travels on a fourth path An optical separation unit for separating into wavelength light; 상기 제1경로 상에 배치된 제1격자;A first grid disposed on the first path; 상기 제2경로 상에 배치된 제2격자;A second grid disposed on the second path; 상기 제3경로 상에 배치된 제3격자; A third grid disposed on the third path; 상기 제4경로 상에 배치된 제4격자; A fourth grid disposed on the fourth path; 상기 제1파장광, 제2파장광, 제3파장광, 제4파장광을 동일한 경로로 진행하도록 하는 광 합성 유닛;A light synthesizing unit configured to advance the first wavelength light, the second wavelength light, the third wavelength light, and the fourth wavelength light in the same path; 상기 광 합성 유닛을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부를 포함하고, An image sensing unit configured to photograph a plaid image formed on the subject by light passing through the light synthesizing unit, 상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자가 격자 주기가 같고, 각 격자 배열이 1/4 주기만큼씩 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치. And the first lattice, the second lattice, the third lattice, and the fourth lattice have the same lattice periods, and each lattice arrangement is shifted by a quarter period. 제 1항에 있어서, 상기 광 분리 유닛은,The method of claim 1, wherein the optical separation unit, 상기 광원으로부터의 광 중 제1파장광과 제2파장광을 투과시키고, 제3파장광과 제4파장광을 반사시키는 제1다이크로익 필터;A first dichroic filter for transmitting a first wavelength light and a second wavelength light of the light from the light source and reflecting the third wavelength light and the fourth wavelength light; 상기 제1파장광을 투과시키고, 제2파장광을 반사시키는 제2다이크로익 필터; 및A second dichroic filter transmitting the first wavelength light and reflecting the second wavelength light; And 상기 제3파장광을 반사시키고, 제4파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치.And a third dichroic filter which reflects the third wavelength light and transmits the fourth wavelength light. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,The light synthesizing unit according to claim 1 or 2, 상기 제1파장광을 반사시키는 제1반사미러;A first reflecting mirror reflecting the first wavelength light; 상기 제1파장광을 투과시키고, 상기 제2파장광을 반사시키는 제4다이크로익 필터;A fourth dichroic filter transmitting the first wavelength light and reflecting the second wavelength light; 상기 제3파장광을 반사시키는 제2반사미러; A second reflecting mirror reflecting the third wavelength light; 상기 제3파장광을 반사시키고, 상기 제4파장광을 투과시키는 제5다이크로익 필터; 및A fifth dichroic filter reflecting the third wavelength light and transmitting the fourth wavelength light; And 상기 제1파장광과 제2파장광을 반사시키고, 상기 제3파장광과 제4파장광을 투과시키는 제6다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치.And a sixth dichroic filter reflecting the first wavelength light and the second wavelength light and transmitting the third wavelength light and the fourth wavelength light. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,The light synthesizing unit according to claim 1 or 2, 상기 제1파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제4다이크로익 필터;A fourth dichroic filter reflecting the first wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; 상기 제2파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제5다이크로익 필터;A fifth dichroic filter reflecting the second wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; 상기 제3파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제6다이크로익 필터;A sixth dichroic filter reflecting the third wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; 상기 제4파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제7다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치.And a seventh dichroic filter reflecting the fourth wavelength light and transmitting the remaining wavelength light. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 광 분리 유닛과 상기 제1 격자 사이에 배치된 제1밴드 패스 필터;A first band pass filter disposed between the optical separation unit and the first grating; 상기 광 분리 유닛과 상기 제2 격자 사이에 배치된 제2밴드 패스 필터;A second band pass filter disposed between the optical separation unit and the second grating; 상기 광 분리 유닛과 상기 제3 격자 사이에 배치된 제3밴드 패스 필터; 및A third band pass filter disposed between the optical separation unit and the third grating; And 상기 광 분리 유닛과 상기 제4 격자 사이에 배치된 제4밴드 패스 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치.And a fourth band pass filter disposed between the light separation unit and the fourth grating. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 영상 감지부는,The method of claim 1 or 2, wherein the image sensing unit, 상기 제1파장광에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자;A first image sensing element for capturing an image by the first wavelength light; 상기 제2파장광에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자; A second image sensing element for capturing an image by the second wavelength light; 상기 제3파장광에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자; 및A third image sensing element for capturing an image by the third wavelength light; And 상기 제4파장광에 의한 영상을 촬영하는 제4 영상 감지 소자;를 포함하는 형상 측정 장치.And a fourth image sensing element for capturing the image by the fourth wavelength light. 제1파장광을 조사하는 제1광원;A first light source for irradiating the first wavelength light; 제2파장광을 조사하는 제2광원;A second light source for irradiating a second wavelength light; 제3파장광을 조사하는 제3광원;A third light source for irradiating third wavelength light; 제4파장광을 조사하는 제4광원; A fourth light source for irradiating the fourth wavelength light; 상기 제1파장광과, 제2파장광과, 제3파장광과 제4파장광을 동일한 광경로로 진행하도록 합성하는 광 합성 유닛;A light synthesizing unit for synthesizing the first wavelength light, the second wavelength light, the third wavelength light, and the fourth wavelength light to travel in the same optical path; 상기 제1광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제1격자;A first grid disposed on an optical path between the first light source and the light combining unit; 상기 제2광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제2격자;A second grid disposed on an optical path between the second light source and the light combining unit; 상기 제3광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제3격자; A third grid disposed on an optical path between the third light source and the light combining unit; 상기 제4광원과 상기 광 합성 유닛 사이의 광 경로 상에 배치된 제4격자; 및A fourth grid disposed on an optical path between the fourth light source and the light combining unit; And 상기 광 합성 유닛을 통과한 광에 의해 피검체에 형성된 격자 무늬 영상을 촬영하는 영상 감지부;를 포함하고,And an image sensing unit configured to photograph a plaid image formed on the subject by the light passing through the light synthesizing unit. 상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자가 격자 주기가 같고, 각 격자 배열이 1/4 주기만큼씩 쉬프트된 3차원 형상 측정 장치.And the first lattice, the second lattice, the third lattice, and the fourth lattice have the same lattice periods, and each lattice arrangement is shifted by a quarter period. 제 7항에 있어서, 상기 광 합성 유닛은,The method of claim 7, wherein the light combining unit, 상기 제1파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제1다이크로익 필터;A first dichroic filter reflecting the first wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; 상기 제2파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제2다이크로익 필터;A second dichroic filter reflecting the second wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; 상기 제3파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제3다이크로익 필 터;A third dichroic filter reflecting the third wavelength light and transmitting the remaining wavelength light; 상기 제4파장광을 반사하고, 나머지 파장광을 투과시키는 제4다이크로익 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치.And a fourth dichroic filter which reflects the fourth wavelength light and transmits the remaining wavelength light. 제 7항 또는 제 8항에 있어서,The method according to claim 7 or 8, 상기 제1광원과 상기 제1 격자 사이에 배치된 제1밴드 패스 필터;A first band pass filter disposed between the first light source and the first grating; 상기 제2광원과 상기 제2 격자 사이에 배치된 제2밴드 패스 필터;A second band pass filter disposed between the second light source and the second grating; 상기 제3광원과 상기 제3 격자 사이에 배치된 제3밴드 패스 필터; 및A third band pass filter disposed between the third light source and the third grating; And 상기 제4광원과 상기 제4 격자 사이에 배치된 제4밴드 패스 필터;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치.And a fourth band pass filter disposed between the fourth light source and the fourth grating. 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 영상 감지부는,The method of claim 7 or 8, wherein the image sensing unit, 상기 제1파장광에 의한 영상을 촬영하는 제1 영상 감지 소자;A first image sensing element for capturing an image by the first wavelength light; 상기 제2파장광에 의한 영상을 촬영하는 제2 영상 감지 소자; A second image sensing element for capturing an image by the second wavelength light; 상기 제3파장광에 의한 영상을 촬영하는 제3 영상 감지 소자; 및A third image sensing element for capturing an image by the third wavelength light; And 상기 제4파장광에 의한 영상을 촬영하는 제4 영상 감지 소자;를 포함하는 3차원 형상 측정 장치.And a fourth image sensing element for capturing the image by the fourth wavelength light. 제 1항 또는 제 7항에 있어서,The method according to claim 1 or 7, 상기 제1격자, 제2격자, 제3격자 및 제4격자를 통과한 제1, 제2, 제3, 제4 파장광이 상기 피검체에 동시에 격자 무늬를 생성하는 3차원 형상 측정 장치. And a first, second, third, and fourth wavelength light beam having passed through the first grid, the second grid, the third grid, and the fourth grid to simultaneously generate a grid pattern on the subject.
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