KR101074386B1 - manufacturing device for liquid crystal display device turning the glass - Google Patents

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Abstract

본 발명은 흡착 패드의 높이 및 패드 진공홀 사이즈의 크기를 증가하여 기판과 흡착 패드간의 미접촉으로 인한 흡착 에러를 방지하여 생산성을 향상시키도록 한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에 관한 것으로서, 기판을 안착하여 흡착 고정하는 스테이지와, 상기 기판이 안착된 스테이지를 회전시키는 회전축과, 상기 스테이지와 회전축을 지지하는 몸체를 포함하여 구성된 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에 있어서, 상기 스테이지는 상기 기판의 진공 흡착하기 위한 다수의 흡착 패드를 구비하고, 상기 흡착 패드는 진공 흡입력을 전달하는 다수의 패드 진공홀을 갖고 기판이 고정되는 패드와 상기 패드의 내부에 2중 구조의 흡착 패드 가스켓으로 이루어지고, 상기 각 패드 진공홀은 상기 스테이지에 형성된 진공 관로를 따라 연통되고, 상기 각 진공 관로 일측에는 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 진공 펌프 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a substrate inverting device for manufacturing a liquid crystal display device for improving the productivity by preventing the adsorption error due to non-contact between the substrate and the suction pad by increasing the height of the suction pad and the size of the pad vacuum hole size. In the substrate inverting device for manufacturing a liquid crystal display device comprising a stage for holding and fixing the suction, a rotating shaft for rotating the stage on which the substrate is seated, and a body for supporting the stage and the rotating shaft, the stage is vacuum suction of the substrate And a plurality of adsorption pads, the adsorption pads comprising a pad having a plurality of pad vacuum holes for transferring a vacuum suction force and a pad having a double structure inside the pad, wherein the pads are fixed to each other. The vacuum hole is communicated along the vacuum pipe formed in the stage, Characterized in that one side has a vacuum duct vacuum pump means for adsorbing the substrate vacuum is provided.

스테이지, 반전장치, 기판, 흡착 패드Stage, Inverter, Board, Suction Pad

Description

액정표시소자 제조용 기판 반전장치{manufacturing device for liquid crystal display device turning the glass}Manufacture substrate for liquid crystal display device turning the glass

도 1은 일반적인 액정표시소자의 제조 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도1 is a schematic diagram illustrating a general manufacturing apparatus of a liquid crystal display device.

도 2는 종래 기술에 의한 액정표시소자의 제조장치에서 기판 반전장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도2 is a schematic configuration diagram illustrating a substrate inversion apparatus in the apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the prior art;

도 3은 도 2의 스테이지에 탑재되는 기판을 나타낸 평면도3 is a plan view showing a substrate mounted on the stage of FIG.

도 4는 도 3의 흡착패드를 나타낸 개략적인 구성도4 is a schematic diagram illustrating a suction pad of FIG. 3;

도 5는 본 발명에 의한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치의 흡착 패드를 나타낸 도면5 is a view showing a suction pad of the substrate reversing device for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

도 6은 본 발명에 의한 액정표시소자 제조용 반전장치의 스테이지 내부 구조를 나타낸 상세 구성도6 is a detailed block diagram showing the internal structure of the stage of the inverting device for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention

도 7a 및 도 7b는 종래와 본 발명의 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에서 기판이 안착된 스테이지가 90°회전한 상태를 나타낸 도면7A and 7B illustrate a state in which a stage on which a substrate is mounted is rotated by 90 ° in a substrate reversing device for manufacturing a liquid crystal display device according to the related art and the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100 : 흡착 패드 110 : 패드 진공홀100: adsorption pad 110: pad vacuum hole

120 : 패드 130 : 가스켓120: pad 130: gasket

본 발명은 액정표시소자의 제조 장치에 관한 것으로, 특히 기판의 흡착 불량을 개선하여 생산성을 향상시키도록 한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a substrate inverting device for manufacturing a liquid crystal display device for improving productivity by improving a poor adsorption of a substrate.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELDs), and vacuum fluorescent (VFD) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is currently being used most frequently as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display because of its excellent image quality and light weight, thinness and low power consumption. In addition to the mobile use, various types of monitors, such as televisions and computers that receive and display broadcast signals, have been developed.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.As described above, although various technical advances have been made in the liquid crystal display device to serve as a screen display device in many fields, the operation of improving the image quality as the screen display device has many aspects and features. . Therefore, in order for a liquid crystal display device to be used in various parts as a general screen display device, the key to development is how much high definition images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.

이와 같은 액정표시소자는, 통상 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다. Such a liquid crystal display device may be generally classified into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel has a predetermined space and is bonded to the first and second glass substrates. And a liquid crystal layer injected between the first and second glass substrates.

여기서, 상기 제 1 유리 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성된다.The first glass substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing each gate line and data line, and a plurality of thin films that transmit signals of the data line to each pixel electrode by being switched by signals of the gate line Transistors are formed.

그리고 제 2 유리 기판(칼라필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성된다.The second glass substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G and B color filter layer for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래 기술에 의한 액정표시소자 제조용 반전장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an inverting apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the prior art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 의한 액정표시소자의 제조장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram illustrating a manufacturing apparatus of a liquid crystal display device according to the prior art.

도 1에 도시한 바와 같이, 제 1 유리 기판(10a)은 씨일(seal)재 도포부(11) 및 씨일재 건조부(12)가 각각 배치된 어느 한 공정 라인을 통과하면서 씨일재의 도포가 이루어짐과 상기 도포된 씨일재의 건조가 이루어진다.As shown in FIG. 1, the first glass substrate 10a is coated with a seal material while passing through a process line in which a seal material applying part 11 and a seal material drying part 12 are disposed, respectively. And drying of the applied seal material.

이와 함께, 제 2 유리 기판(10b)은 Ag 도포부(13) 및 스페이서(spacer) 산포부(14)가 각각 배치된 다른 한 공정 라인을 통과하면서 Ag 도포가 이루어짐과 더불어 스페이서 산포가 이루어진다.At the same time, the second glass substrate 10b passes through another process line in which the Ag coating portion 13 and the spacer spreading portion 14 are disposed, respectively, whereby Ag coating is performed and spacers are spread.

그리고, 상기와 같은 제 1, 제 2 유리 기판(10a,10b)은 합착부(16)를 통과하는 과정에서 상호간의 합착이 이루어지며, 이렇게 합착된 합착 기판은 경화부(17)에 의해 경화가 수행된다.In addition, the first and second glass substrates 10a and 10b as described above are bonded to each other in the process of passing through the bonding portion 16, and thus the bonded substrate is cured by the hardening portion 17. Is performed.

이 때, 상기 한 쌍의 기판간에는 상기 과정에서 산포되었던 스페이서로 인해 액정이 주입되는 소정의 공간이 발생되며, 그 둘레면 소정 부위에는 액정 주입구가 형성된다.At this time, a predetermined space in which the liquid crystal is injected is generated between the pair of substrates due to the spacers scattered in the above process, and a liquid crystal injection hole is formed in a predetermined portion of the peripheral surface thereof.

따라서, 상기 액정 주입구를 통해 액정 주입부(18)에서 상기 합착된 합착 기판의 내부로 액정 주입이 이루어짐과 더불어 상기 액정 주입이 완료될 경우 봉지부(19)에 의한 액정 주입구의 봉지가 이루어지고, 패널 세정부(20)에 의한 세정이 이루어짐으로써 액정 패널이 완성된다.Therefore, when the liquid crystal is injected into the interior of the bonded substrate from the liquid crystal injection unit 18 through the liquid crystal injection hole and the liquid crystal injection is completed, the liquid crystal injection hole is sealed by the encapsulation unit 19. The liquid crystal panel is completed by washing by the panel cleaning unit 20.

그러나 이와 같은 액정 주입식 액정표시소자의 제조방법에 있어서는, 단위 패널로 컷팅한 후, 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 주입구를 액정액에 담가 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하되고, 대면적의 액정표시소자를 제조할 경우, 액정 주입식으로 액정을 주입하면 패널내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 된다. However, in the manufacturing method of the liquid crystal injection type liquid crystal display device as described above, after cutting the unit panel, the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal liquid while the two substrates are kept in a vacuum state, so that the liquid crystal injection takes a lot of time, so the productivity When the liquid crystal display element having a large area is lowered and the liquid crystal is injected by the liquid crystal injection method, the liquid crystal is not completely injected into the panel, which causes a defect.                         

따라서 최근에는 액정을 적하하는 방법을 이용한 액정표시소자의 제조방법이 연구되고 있다.Therefore, recently, a method of manufacturing a liquid crystal display device using a method of dropping liquid crystals has been studied.

즉, 일본국 특허출원 평11-089612 및 특허 출원 평11-172903호 공보에는 어느 하나의 기판에 액정을 적하하고 시일재를 도포한 후, 다른 하나의 기판을 강기 액정 및 시일재가 형성된 기판상에 위치시켜 진공 중에서 접합하는 액정 적하 방식 등을 제시하였다.That is, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-089612 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-172903, after dropping a liquid crystal onto one substrate and applying a sealing material, the other substrate is placed on a substrate on which a rigid liquid crystal and a sealing material are formed. The liquid crystal dropping method etc. which place and bond in a vacuum were proposed.

상기한 액정 적하 방식은 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예를 들면, 액정 주입구 형성, 액정 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 생략할 수있음에 따라 공정을 단순화시키는 장점을 가지고 있다.The liquid crystal dropping method has an advantage of simplifying the process as it can omit many processes (for example, each process for forming the liquid crystal injection hole, liquid crystal injection, sealing of the liquid crystal injection hole, etc.) compared to the liquid crystal injection method. have.

한편, 상기 두 기판을 접합시키기 위해서는 적어도 어느 하나의 기판을 반전시키기 위한 반전장치를 필요로 한다.Meanwhile, in order to bond the two substrates, an inversion device for inverting at least one substrate is required.

도 2는 종래 기술에 의한 액정표시소자의 제조장치에서 기판 반전장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.2 is a schematic configuration diagram illustrating a substrate inversion apparatus in the apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the prior art.

도 2에 도시한 바와 같이, 이재 로봇(도시되지 않음)으로부터 전달받은 기판(40)을 90°또는 180°반전시키는 반전기(30)는 상기 기판(40)이 안착되어 흡착 고정되는 스테이지(31)와, 상기 기판(40)이 안착된 스테이지(31)를 90°또는 180°회전시키는 회전축(32)과, 상기 스테이지(31) 및 회전축(32)을 지지하는 몸체(33)를 포함하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the inverter 30 which inverts the substrate 40 received from the transfer robot (not shown) by 90 ° or 180 ° has a stage 31 on which the substrate 40 is seated and fixed. ), A rotating shaft 32 for rotating the stage 31 on which the substrate 40 is seated by 90 ° or 180 °, and a body 33 supporting the stage 31 and the rotating shaft 32. It is.

도 3은 도 2의 스테이지에 탑재되는 기판을 나타낸 평면도이고, 도 4는 도 3의 흡착패드를 나타낸 개략적인 구성도이다. 3 is a plan view illustrating a substrate mounted on the stage of FIG. 2, and FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a suction pad of FIG. 3.                         

도 3에 도시한 바와 같이, 기판(40)은 스테이지(31)에 일정한 간격을 갖고 형성된 다수의 흡착패드(50)에 의해 흡착 고정되어 있다.As shown in FIG. 3, the substrate 40 is adsorbed and fixed by a plurality of suction pads 50 formed at regular intervals on the stage 31.

한편, 상기 흡착패드(50)는 도 4에서와 같이, 약 1㎜ 크기의 패드 진공홀(pad vacuum hole)(51)을 갖고 기판(40)이 고정되는 패드(52)와, 상기 패드(52)의 내부에 약 1.5㎜의 두께를 갖고 구성되는 흡착 패드 가스켓(pad gasket)(53)으로 이루어져 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, the suction pad 50 has a pad vacuum hole 51 having a size of about 1 mm and a pad 52 to which the substrate 40 is fixed, and the pad 52. ) Is composed of an adsorption pad gasket 53 having a thickness of about 1.5 mm.

그러나 상기와 같은 종래 기술에 의한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에 있어서 다음과 같은 문제점이 있었다.However, there is a problem in the substrate reversing apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the prior art as described above.

즉, 스테이지에 구비된 흡착 패드의 높이가 낮아 기판 표면 가열시 밴딩(bending)으로 인해 흡착 패드가 원상태로 돌출되지 못해 기판과 흡착 패드간에 갭이 발생하여 미접촉으로 인한 흡착 에러(error)가 발생하여 생산성이 떨어진다.That is, since the height of the adsorption pad provided in the stage is low, the adsorption pad does not protrude due to bending when the substrate surface is heated, and a gap occurs between the substrate and the adsorption pad, resulting in an adsorption error due to non-contact. Productivity falls.

보다 구체적으로 설명하면, 기판은 흡착 패드에 의해 흡인되어 0°에서 90°로 회전된 상태에서 다음 공정으로 이송되는데, 앞 공정이 베이킹(baking) 처리인 경우에는 예를 들면, 200℃ 이상으로 가열된 기판에 상온 상태의 흡착 패드가 접촉하면, 흡착패드의 냉열이 기판으로 전달되어 국부적인 온도 저하가 발생한다.More specifically, the substrate is sucked by the adsorption pad and rotated from 0 ° to 90 ° to the next step, where the previous step is baking, for example, heated to 200 ° C. or more. When the adsorption pad of normal temperature contacts the board | substrate which was made, cold heat of a suction pad is transmitted to a board | substrate, and a local temperature fall occurs.

이 국부적인 온도 저하가 기판의 겉면측에 영향을 주면, 국부적(접촉부분)으로 접착 성능의 저하를 초래하여, 현상 후의 에칭에 있어서, 그 경계 부분의 어레이의 각층 사이에 접착 불량, 즉 말림, 소위 써멀 이미지(thermal image)를 발생시키는 경우가 있다. If this local temperature decrease affects the surface side of the substrate, it causes local (contact portion) degradation of the adhesive performance, and in the post-development etching, poor adhesion between the layers of the array of the boundary portion, i.e., There is a case where a so-called thermal image is generated.                         

특히, 기판의 박층화에 따른 냉열이 표면측으로 전달되기 쉬워져 써멀 이미지 문제가 보다 현재화하여 생산성을 더욱 악화시킬 위험이 있다.In particular, there is a risk that the cold heat due to the thinning of the substrate tends to be transferred to the surface side, and the thermal image problem becomes more current, which further worsens the productivity.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 흡착 패드의 높이 및 패드 진공홀 사이즈의 크기를 증가하여 기판과 흡착 패드간의 미접촉으로 인한 흡착 에러를 방지하여 생산성을 향상시키도록 한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, the liquid crystal display device to improve the productivity by preventing the adsorption error due to non-contact between the substrate and the suction pad by increasing the height of the suction pad and the size of the pad vacuum hole size It is an object of the present invention to provide a substrate reversing apparatus for manufacturing.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치는 기판을 안착하여 흡착 고정하는 스테이지와, 상기 기판이 안착된 스테이지를 회전시키는 회전축과, 상기 스테이지와 회전축을 지지하는 몸체를 포함하여 구성된 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에 있어서, 상기 스테이지는 상기 기판의 진공 흡착하기 위한 다수의 흡착 패드를 구비하고, 상기 흡착 패드는 진공 흡입력을 전달하는 다수의 패드 진공홀을 갖고 기판이 고정되는 패드와 상기 패드의 내부에 2중 구조의 흡착 패드 가스켓으로 이루어지고, 상기 각 패드 진공홀은 상기 스테이지에 형성된 진공 관로를 따라 연통되고, 상기 각 진공 관로 일측에는 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 진공 펌프 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate reversing device for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, comprising: a stage for seating and fixing a substrate; a rotating shaft for rotating the stage on which the substrate is seated; and a body supporting the stage and the rotating shaft. In the substrate reversing device for manufacturing a liquid crystal display device comprising a, wherein the stage has a plurality of suction pads for vacuum suction of the substrate, the suction pad has a plurality of pad vacuum holes for transferring a vacuum suction force The pad is fixed to the inside of the pad and the adsorption pad gasket of the double structure, each pad vacuum hole is communicated along the vacuum line formed in the stage, the vacuum tube for adsorbing the substrate on one side A vacuum pump means is provided.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the substrate reversing apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

도 5는 본 발명에 의한 액정표시소자 제조용 기판 반전장치의 흡착 패드를 나타낸 도면이다.5 is a view showing a suction pad of the substrate reversing device for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

본 발명은 종래의 액정표시소자 제조용 기판 반전장치의 구성과는 기본적으로 동일하다. 즉, 기판(40)을 안착하여 흡착 고정하는 스테이지(31)와, 상기 기판 (40)이 안착된 스테이지(31)를 90°또는 180°회전시키는 회전축(32)과, 상기 스테이지(31)와 회전축(32)을 지지하는 몸체(33)를 포함하여 구성되어 있다.The present invention is basically the same as that of the conventional substrate reversing device for manufacturing liquid crystal display elements. That is, the stage 31 for seating and fixing the substrate 40, the rotating shaft 32 for rotating the stage 31 on which the substrate 40 is seated by 90 ° or 180 °, and the stage 31 It is configured to include a body 33 for supporting the rotating shaft (32).

여기서, 상기 스테이지(31)는 그 중앙부위를 기준으로 하여 회전하도록 설치된다.Here, the stage 31 is installed to rotate relative to the center portion.

한편, 본 발명에서는 스테이지(31)를 이루는 흡착 패드(100)를 종래와 다르게 구성하고 있다.On the other hand, in the present invention, the adsorption pad 100 constituting the stage 31 is configured differently from the prior art.

즉, 도 5에 도시한 바와 같이, 흡착 패드(100)는 약 2.5㎜ 크기의 패드 진공홀(pad vacuum hole)(110)을 갖고 기판이 고정되는 패드(120)와, 상기 패드(120)의 내부에 약 3㎜의 두께를 갖고 구성되는 2중 구조의 흡착 패드 가스켓(pad gasket)(130)으로 이루어져 있다.That is, as shown in FIG. 5, the adsorption pad 100 has a pad vacuum hole 110 having a size of about 2.5 mm and a pad 120 on which a substrate is fixed, and a pad 120 of the pad 120. It consists of a double-sided adsorption pad gasket 130 having a thickness of about 3 mm.

여기서, 상기 흡착 패드 가스켓(130)은 금속이나 그 밖의 재료가 서로 접촉할 경우, 접촉면에서 진공 가스가 새지 않도록 하기 위하여 끼워 넣는 패킹(packing)으로서, 재료는 고물질의 종류, 고무를 입힌 천, 석면 질이나 구리 등을 사용할 수 있다.Here, the adsorption pad gasket 130 is a packing that is inserted in order to prevent leakage of vacuum gas from the contact surface when metal or other materials contact each other, and the material may be a kind of high material, a cloth coated with rubber, Asbestos, copper or the like can be used.

도 6은 본 발명에 의한 액정표시소자 제조용 반전장치의 스테이지 내부 구조를 나타낸 상세 구성도이다.6 is a detailed block diagram showing the internal structure of the stage of the inverting device for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

도 6에서와 같이, 흡착 패드(100)는 진공 흡입력을 전달하는 다수의 진공홀(110)이 형성되며, 상기 각 진공홀(110)은 스테이지(31)에 형성된 진공 관로(140)를 따라 연통되고, 상기 각 진공 관로(140) 일측에는 기판을 진공 흡착하기 위한 진공 펌프 수단(P)(150)이 설치되어 있다.As shown in FIG. 6, the suction pad 100 has a plurality of vacuum holes 110 that transmit vacuum suction force, and each vacuum hole 110 communicates along the vacuum pipe 140 formed in the stage 31. One side of each vacuum pipe line 140 is provided with a vacuum pump means (P) 150 for vacuum suction of the substrate.

여기서, 상기 흡착 패드(100)에 의해 스테이지위에 흡착 고정되는 기판은 박막트랜지스터 어레이 기판, 컬러필터 기판 그리고 상기 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판이 합착된 기판을 사용할 수 있다.Here, the substrate that is fixed to the stage by the adsorption pad 100 may be a thin film transistor array substrate, a color filter substrate and a substrate in which the thin film transistor array substrate and the color filter substrate are bonded.

또한, 상기 박막트랜지스터 어레이 기판은 일정한 간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 화소영역에 각각 형성되는 복수개의 박막트랜지스터 및 화소전극들이 형성되어 있다.The thin film transistor array substrate may further include a plurality of gate lines arranged in one direction at regular intervals, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and the gate lines and data lines. A plurality of thin film transistors and pixel electrodes respectively formed in the pixel region defined by are formed.

또한, 상기 컬러필터 기판은 화소영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(black matrix)층과 컬러필터층 및 공통전극이 형성되어 있다.In addition, the color filter substrate includes a black matrix layer, a color filter layer, and a common electrode to block light in portions except the pixel region.

그리고 상기 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판이 합착된 기판은 박막트랜지스터 어레이 기판의 화소영역 외곽에 컬러필터 기판이 일정 간격을 갖고 합착되도록 하는 씨일재를 컬러필터 기판상에 형성하고, 상기 박막트랜지스터 어레이 기판상에는 상기 컬러필터상의 공통전극과 전기적 연결을 은(Ag)을 도트형상으로 도포하며, 상기 컬러필터 기판과 박막트랜지스터 어레이 기판 사이에 액정이 주입한 후 봉지하여 형성된다.The thin film transistor array substrate and the color filter substrate are bonded to each other, and a seal material is formed on the color filter substrate to seal the color filter substrate at a predetermined interval outside the pixel area of the thin film transistor array substrate. On the substrate, silver (Ag) is coated in a dot shape to electrically connect the common electrode on the color filter, and liquid crystal is injected between the color filter substrate and the thin film transistor array substrate and then encapsulated.

한편, 상기 컬러필터 기판과 박막트랜지스터 어레이 기판 사이에 주입된 액정은 액정적하방식 또는 액정주입방식을 이용할 수 있다.Meanwhile, the liquid crystal injected between the color filter substrate and the thin film transistor array substrate may use a liquid crystal drop method or a liquid crystal injection method.

또한, 이에 한정하지 않고, 상기 씨일재의 형성 및 액정의 적하는 박막트랜지스터 어레이 기판 및 컬러필터 기판 중 어느 한 기판상에 형성할 수 있고, IPS 모드에서는 박막트랜지스터 어레이 기판상에 화소전극과 공통전극이 형성되므로 상기 은 도트를 형성할 필요가 없다.In addition, the sealing material and the dropping of the liquid crystal may be formed on any one of the thin film transistor array substrate and the color filter substrate. In the IPS mode, the pixel electrode and the common electrode may be formed on the thin film transistor array substrate. Since it is formed, it is not necessary to form the silver dot.

또한, 본 발명에 의한 기판 반전장치는 칼라필터(CF) ITO 스퍼터 인라인(sputter inline)장비에서 기판을 90도로 세워 로딩(loading)하는 곳에도 사용할 수가 있다.In addition, the substrate reversing apparatus according to the present invention can be used in places where the substrate is oriented at 90 degrees in a color filter (CF) ITO sputter inline device.

도 7a 및 도 7b는 종래와 본 발명의 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에서 기판이 안착된 스테이지가 90°회전한 상태를 나타낸 도면이다.7A and 7B are views illustrating a state in which a stage on which a substrate is mounted is rotated 90 ° in the substrate reversing apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the related art and the present invention.

종래에는 도 7a에서와 같이, 스테이지(31)에 형성된 다수의 흡착 패드(50)상에 기판(40)이 안착되어 있지만, 일부의 흡착 패드(50)와 기판(40) 사이에는 갭이 발생하여 상기 기판(40)을 효과적으로 흡착 고정하지 못하고 있다.Conventionally, as shown in FIG. 7A, the substrate 40 is seated on the plurality of adsorption pads 50 formed on the stage 31, but a gap occurs between some of the adsorption pads 50 and the substrate 40. The substrate 40 cannot be effectively adsorbed and fixed.

그러나 본 발명은 도 7b에서와 같이, 스테이지(31)에 형성된 다수의 흡착 패드(100)상에 기판(40)이 완전히 흡착되어 있음을 알 수 있다.However, according to the present invention, it can be seen that the substrate 40 is completely adsorbed on the plurality of adsorption pads 100 formed on the stage 31.

이는 전술한 바와 같이 본 발명은 패드의 패드 진공홀의 사이즈를 약 2.5㎜로 하고, 상기 패드내에 구성되는 가스켓을 2중 구조로 형성하여 완충 사이즈를 약 3㎜로 가져감으로써 기판과 흡착 패드 사이의 갭을 제거할 수가 있다.As described above, in the present invention, the size of the pad vacuum hole of the pad is about 2.5 mm, and the gasket constituted in the pad is formed in a double structure to bring the buffer size to about 3 mm, thereby providing a gap between the substrate and the suction pad. The gap can be eliminated.

즉, 본 발명은 상기 가스켓을 2중 구조로 함으로써 흡착 완충 가능 높이를 종래보다 높게 하여 기판 밴딩에 대한 흡착 성공률을 높임과 동시에 패드 진공홀의 사이즈를 증가하여 흡착 패드 표면의 흡입압을 완화하여 스테이지가 0°에서 90°로 회전할 때 흡착 패드의 복원(돌출)을 신속하게 이룰 수 있다.That is, in the present invention, the dual structure of the gasket increases the adsorption buffering height higher than that of the related art, thereby increasing the success rate of adsorption on the substrate banding and simultaneously increasing the size of the pad vacuum hole to reduce the suction pressure on the surface of the adsorption pad. When rotating from 0 ° to 90 °, recovery (protrusion) of the adsorption pad can be achieved quickly.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in Esau.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정표시소자 제조용 기판 반전장치는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.As described above, the substrate inverting apparatus for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention can obtain the following effects.

즉, 패드 내의 가스켓을 2중 구조로 구성함으로써 패드의 완충높이를 높임과 동시에 패드 진공홀의 사이즈를 증가시키어 진공압에 의해 흡착 패드의 복귀 능력을 향상시키어 흡착패드를 통해 기판을 완전하게 흡착 고정하여 이동시킴으로써 생산성을 향상시킬 수 있다.That is, by constructing the gasket in the pad in a double structure, the buffer height of the pad is increased and the size of the pad vacuum hole is increased to improve the return ability of the suction pad by vacuum pressure, thereby completely adsorbing and fixing the substrate through the suction pad. By moving, productivity can be improved.

Claims (3)

기판을 안착하여 흡착 고정하는 스테이지와, 상기 기판이 안착된 스테이지를 회전시키는 회전축과, 상기 스테이지와 회전축을 지지하는 몸체를 포함하여 구성된 액정표시소자 제조용 기판 반전장치에 있어서,In the substrate inverting device for manufacturing a liquid crystal display device comprising a stage for seating and fixing a substrate, a rotating shaft for rotating the stage on which the substrate is seated, and a body for supporting the stage and the rotating shaft, 상기 스테이지는 상기 기판의 진공 흡착하기 위한 다수의 흡착 패드를 구비하고, 상기 흡착 패드는 진공 흡입력을 전달하는 다수의 패드 진공홀을 갖고 기판이 고정되는 패드와 상기 패드의 내부에 2중 구조의 흡착 패드 가스켓으로 이루어지고,The stage includes a plurality of adsorption pads for vacuum adsorption of the substrate, and the adsorption pad has a plurality of pad vacuum holes for transferring a vacuum suction force and a double structure adsorption inside the pad and the pad to which the substrate is fixed. Made of pad gasket, 상기 각 패드 진공홀은 상기 스테이지에 형성된 진공 관로를 따라 연통되고, 상기 각 진공 관로 일측에는 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 진공 펌프 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조용 기판 반전장치.And each pad vacuum hole communicates along a vacuum pipe formed in the stage, and one side of each vacuum pipe line is provided with a vacuum pump means for vacuum suction of the substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 패드 진공홀은 2.5㎜의 사이즈를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조용 기판 반전장치.The substrate inverting device for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the pad vacuum hole has a size of 2.5 mm. 제 1 항에 있어서, 상기 2중 구조의 가스켓은 3㎜의 완충 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조용 기판 반전장치.2. The substrate inverting device for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the gasket having a double structure has a buffer height of 3 mm.
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