KR101068497B1 - Non volatile memory device and Method of programming thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 불휘발성 메모리 소자 및 이의 프로그램 방법에 관한 것으로, 다수의 메모리 셀이 연결된 다수의 비트라인과, 상기 다수의 비트라인에 각각 연결된 다수의 페이지 버퍼를 포함하며, 상기 다수의 페이지 버퍼 각각은 감지 노드와 상기 비트라인을 연결하는 비트라인 연결부와, 프로그램 데이터를 임시 저장하는 제1 및 제2 래치와, 상기 제1 래치에 저장된 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 비트라인을 프로그램 금지 전위로 제어하는 제1 전위 제어부, 및 상기 제2 래치에 저장된 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 비트라인을 프로그램 전위로 제어하는 제2 전위 제어부를 포함하는 불휘발성 메모리 소자 및 이의 프로그램 방법을 개시한다.The present invention relates to a nonvolatile memory device and a program method thereof, and includes a plurality of bit lines connected to a plurality of memory cells, and a plurality of page buffers connected to the plurality of bit lines, respectively, A bit line connection unit connecting a sensing node and the bit line, first and second latches for temporarily storing program data, and controlling the bit line to a program inhibit potential according to the program data stored in the first latch. A nonvolatile memory device including a first potential controller and a second potential controller for controlling the bit line to a program potential according to the program data stored in the second latch are disclosed.

캐패시턴스, 문턱전압, 비트라인 Capacitance, Threshold Voltage, Bit Line

Description

불휘발성 메모리 소자 및 이의 프로그램 방법{Non volatile memory device and Method of programming thereof} Non-volatile memory device and method of programming thereof

본 발명은 불휘발성 메모리 소자 및 이의 프로그램 방법에 관한 것으로, 특히 인접한 비트라인의 메모리 셀의 프로그램 상태에 따라 문턱 전압 분포가 변화하는 것을 억제할 수 있는 불휘발성 메모리 소자 및 이의 프로그램 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a nonvolatile memory device and a program method thereof, and more particularly, to a nonvolatile memory device and a program method thereof capable of suppressing a change in threshold voltage distribution according to a program state of a memory cell of an adjacent bit line.

반도체 메모리 장치는 DRAM(Dynamic Random Access Memory)과 같이 시간이 지남에 따라서 데이터를 잃어버리는 휘발성(volatile)이면서 데이터의 입, 출력이 빠른 RAM(Random Access Memory) 제품과 한번 데이터를 입력하면 그 상태를 유지할 수 있는 불휘발성(non volatile)으로 구분할 수 있다.Semiconductor memory devices, such as DRAM (Dynamic Random Access Memory), are volatile and lose their data over time, and have a random access memory (RAM) product that provides fast data input and output. It can be classified as sustainable non volatile.

이러한 불휘발성 메모리 중에서 전기적으로 데이터의 입, 출력이 가능한 플래시 메모리(flash memory)에 대한 수요가 늘고 있다. 플래시 메모리는 회로를 보드(board)로부터 제거하지 않으면서도 고속으로 전기적 소거가 가능한 소자로서, 메모리 셀 구조가 간단하여 단위 메모리 당 제조 원가가 싸고 데이터를 보전하기 위한 리프레쉬(reflash) 기능이 불필요하다는 장점이 있다.Among such nonvolatile memories, there is an increasing demand for flash memory that can electrically input and output data. Flash memory is a device that can be electrically erased at high speed without removing the circuit from the board. The memory cell structure is simple, so the manufacturing cost per unit memory is low and the refresh function for data preservation is unnecessary. There is this.

플래시 메모리는 크게 노아(NOR)형과 낸드(NAND)형으로 분류되는데, 노아형은 2셀(cell)당 1개의 콘택(contact)이 필요하며 고집적화에 불리하지만 셀 전류가 커서 고속화에 유리하다는 장점을 가지며, 낸드형은 셀 전류가 적어 고속화에는 불리하지만 다수의 셀이 하나의 콘택을 공유하여 고집적화에 유리하다는 장점을 갖는다. 따라서 낸드형 플래시 메모리 장치는 MP3, 디지털 카메라(digital camera), 모바일(mobile) 및 보조 기억 장치 등 디지털 기기의 사용 급증에 따라서 차세대 메모리 소자로 각광받고 있다.Flash memory is largely classified into NOR and NAND types, which require one contact per two cells and are disadvantageous for high integration, but are advantageous for high speed due to large cell current. The NAND type has a low cell current, which is disadvantageous for high speed, but has a merit in that a plurality of cells share one contact, which is advantageous for high integration. Accordingly, NAND flash memory devices are in the spotlight as the next generation memory devices due to the rapid increase in the use of digital devices such as MP3, digital cameras, mobile and auxiliary storage devices.

상술한 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작을 설명하면 다음과 같다.The program operation of the nonvolatile memory device described above is as follows.

도 1은 종래 기술에 따른 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작을 설명하기 위한 셀 어레이 구성도이다.1 is a block diagram illustrating a cell array for explaining a program operation of a nonvolatile memory device according to the related art.

도 1을 참조하면, 먼저 종래에는 다수의 비트라인(BL1 내지 BL3) 중 선택된 비트라인(예를 즐어 이븐 비트라인 그룹과 오드 비트라인 그룹으로 나누어 선택)에 연결된 메모리 셀의 프로그램 동작만을 실행하였으나, 이는 인접한 비트라인간의 인터피어런스 효과에 따라 문턱 전압 분포가 변화하는 문제점이 발생할 수 있다. 이로 인하여 최근에는 이븐 및 오드 비트라인의 구별 없이 전체 비트라인을 동시에 프로그램 하는 ABL(All Bit-Line) 프로그램 방식이 사용된다.Referring to FIG. 1, conventionally, only a program operation of a memory cell connected to a selected bit line (eg, divided into an even bit line group and an odd bit line group) among a plurality of bit lines BL1 to BL3 is executed. This may cause a problem that the threshold voltage distribution is changed according to the interference effect between adjacent bit lines. Because of this, recently, the All Bit-Line (ABL) programming method is used in which all bit lines are simultaneously programmed without distinguishing between even and odd bit lines.

이는 다수의 비트라인(BL1 내지 BL3) 전위를 프로그램 데이터 값에 따라 접지 전원(Vss) 레벨, 금지 전위 레벨(Vinhibit=Vcc), 및 프로그램 속도를 제어하기 위한 제어 전위 레벨(Vm)로 설정한 후, 워드라인(WL)에 프로그램 전압을 인가하여 메모리 셀(MC1, MC2, MC3)을 동시에 프로그램한다.This is set after the plurality of bit lines BL1 to BL3 are set to the ground power supply (Vss) level, the inhibit potential level (Vinhibit = Vcc), and the control potential level (Vm) for controlling the program speed according to the program data value. The program voltage is applied to the word line WL to simultaneously program the memory cells MC1, MC2, and MC3.

그러나 이러한 프로그램 방법은 인전합 메모리 셀이 프로그램 완료되어 프로그램 검증 동작이 패스되면 채널 전압이 0V에서 부스팅 레벨로 바뀌게 된다. 이로 인하여 해당 메모리 셀의 커플링 비가 변화하게 되고, 플로팅 게이트의 전압이 인접한 메모리 셀의 채널 전압 상승값에 영향으로 ΔV만큼 상승하게 된다. 또한 인접한 두개의 메모리 셀들이 모두 프로그램 완료되어 검증 동작이 패스되면 상승하는 ΔV값도 두배로 바뀌게 되고, 이로 인하여 문턱 전압 분포가 넓어지는 문제점이 야기된다.However, this program method causes the channel voltage to change from 0V to the boosting level when the integrated memory cell is programmed and the program verify operation passes. As a result, the coupling ratio of the corresponding memory cell changes, and the voltage of the floating gate increases by ΔV due to the influence of the channel voltage rising value of the adjacent memory cell. In addition, when both adjacent memory cells are programmed and the verification operation passes, the rising ΔV value is also doubled, which causes a problem of widening the threshold voltage distribution.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 프로그램 동작시 비트라인을 프로그램 데이터 값에 따라 1차 세팅하고, 인접한 비트라인의 전위에 의한 캐패시터 값을 이용하여 비트라인을 2차 세팅함으로써, 비트라인의 전위를 보상하여 문턱 전압 분포를 일정하게 유지하여 프로그램할 수 있는 불휘발성 메모리 소자 및 이의 프로그램 방법을 제공하는 데 있다.The technical problem to be achieved by the present invention is to compensate the bit line potential by first setting the bit line according to the program data value during the program operation, and secondly setting the bit line using the capacitor value by the potential of the adjacent bit line. Accordingly, the present invention provides a nonvolatile memory device and a method of programming the same, which maintain and program a threshold voltage distribution.

본 발명의 일실시 예에 따른 불휘발성 메모리 소자는 다수의 메모리 셀이 연결된 다수의 비트라인과, 상기 다수의 비트라인에 각각 연결된 다수의 페이지 버퍼를 포함하며, 상기 다수의 페이지 버퍼 각각은 감지 노드와 상기 비트라인을 연결하는 비트라인 연결부와, 프로그램 데이터를 임시 저장하는 제1 및 제2 래치와, 상기 제1 래치에 저장된 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 비트라인을 프로그램 금지 전위로 제어하는 제1 전위 제어부, 및 상기 제2 래치에 저장된 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 비트라인을 프로그램 전위로 제어하는 제2 전위 제어부를 포함한다.A nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention includes a plurality of bit lines to which a plurality of memory cells are connected, and a plurality of page buffers respectively connected to the plurality of bit lines, wherein each of the plurality of page buffers is a sensing node. And a bit line connection unit for connecting the bit line, first and second latches for temporarily storing program data, and a first potential for controlling the bit line to a program prohibition potential according to the program data stored in the first latch. And a second potential controller configured to control the bit line to a program potential according to the program data stored in the second latch.

상기 다수의 비트라인은 프로그램 동작시 랜덤 방식 또는 이븐 또는 오드 그룹으로 나누어 선택된다.The plurality of bit lines are selected in a random manner or divided into even or odd groups during a program operation.

상기 제1 전위 제어부는 상기 감지 노드와 전원 공급단자 사이에 연결되며, 상기 제1 래치에 저장된 프로그램 데이터에 응답하여 상기 전원 공급 단자의 전위로 상기 감지 노드를 통해 상기 비트라인의 전위를 프로그램 금지 전위로 제어한다.The first potential controller is connected between the sensing node and a power supply terminal, and converts the potential of the bit line through the sense node to a potential of the power supply terminal in response to program data stored in the first latch. To control.

상기 제2 전위 제어부는 상기 감지 노드와 상기 제2 래치 사이에 연결되며, 상기 제2 래치에 저장된 프로그램 데이터에 값에 따라 비트라인의 전위를 프로그램 전위로 변경하되, 상기 프로그램 전위는 접지 전원 레벨 또는 제어 전위 레벨이다.The second potential controller is connected between the sensing node and the second latch, and changes the potential of the bit line to the program potential according to a value of the program data stored in the second latch, wherein the program potential is a ground power supply level or Control potential level.

상기 제어 전위 레벨은 접지 전원 레벨과 상기 프로그램 금지 전위 레벨 사이이다.The control potential level is between a ground power supply level and the program inhibited potential level.

상기 다수의 비트라인 중 비선택된 비트라인들은 선택된 비트라인들이 플로팅된 상태에서 상기 프로그램 금지 전위로 프리차지되어 상기 선택된 비트라인들의 전위를 캐패시터 효과에 의해 상승시킨다.Unselected bit lines of the plurality of bit lines are precharged to the program prohibition potential with the selected bit lines floated, thereby raising the potential of the selected bit lines by a capacitor effect.

상기 비선택된 비트라인들에 연결된 상기 페이지 버퍼들은 상기 제1 전위 제어부를 이용하여 상기 비선택된 비트라인들을 상기 프로그램 금지 전위로 프리차지한다.The page buffers connected to the unselected bit lines precharge the unselected bit lines to the program inhibit potential using the first potential controller.

상기 선택된 비트라인들은 상기 비선택된 비트라인들이 상기 프로그램 금지 전위로 프리차지될때 연결된 상기 페이지 버퍼의 상기 비트라인 연결부를 디스에이블시켜 플로팅시킨다.The selected bit lines disable and float the bit line connection of the page buffer connected when the unselected bit lines are precharged to the program inhibit potential.

본 발명의 일실시 예에 따른 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 방법은 다수의 메모리 셀이 연결된 다수의 비트라인과, 상기 다수의 비트라인에 각각 연결된 다수의 페이지 버퍼를 포함하는 불휘발성 메모리 소자가 제공되는 단계와, 상기 다수의 비트라인 중 프로그램하려는 비트라인들을 선택하는 단계와, 선택된 상기 비트라인들과 연결된 상기 페이지 버퍼에 프로그램 데이터를 입력하는 단계와, 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 선택된 비트라인들의 전위를 제어하는 단계와, 상기 다수의 비트라인 중 비 선택된 비트라인들을 프로그램 금지 레벨로 프리차지하는 단계, 및 워드라인에 프로그램 전압을 인가하여 상기 선택된 비트라인에 연결된 메모리 셀을 프로그램하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a nonvolatile memory device including a plurality of bit lines connected to a plurality of memory cells and a plurality of page buffers connected to the plurality of bit lines, respectively. Selecting a bit line to be programmed among the plurality of bit lines, inputting program data into the page buffer connected to the selected bit lines, and applying potentials of the selected bit lines according to the program data. And precharging unselected bit lines of the plurality of bit lines to a program inhibit level, and programming a memory cell connected to the selected bit line by applying a program voltage to a word line.

상기 선택된 비트라인을 플로팅 시킨 후, 워드라인에 프로그램 전압을 인가하여 상기 선택된 비트라인에 연결된 메모리 셀을 프로그램하는 단계를 포함한다.After plotting the selected bit line, applying a program voltage to a word line to program a memory cell connected to the selected bit line.

플로팅된 상기 선택된 비트라인은 상기 상기 비 선택된 비트라인들과의 캐패시터 효과에 의해 전위가 상승한다.The floated selected bit line rises in potential due to a capacitor effect with the unselected bit lines.

상기 프로그램 데이터에 따라 상기 선택된 비트라인들의 전위를 제어하는 단계는 상기 프로그램 데이터 값에 따라 상기 선택된 비트라인들을 프로그램 금지 레벨, 접지 전원 레벨, 또는 제어 전압 레벨로 제어한다.Controlling the potential of the selected bit lines according to the program data controls the selected bit lines to a program prohibition level, ground power level, or control voltage level according to the program data value.

본 발명의 일실시 예에 따르면, 프로그램 동작시 비트라인을 프로그램 데이터 값에 따라 1차 세팅하고, 인접한 비트라인의 전위에 의한 캐패시터 값을 이용하여 비트라인을 2차 세팅함으로써, 비트라인의 전위를 보상하여 문턱 전압 분포를 일정하게 유지하여 프로그램할 수 있는 불휘발성 메모리 소자 및 이의 프로그램 방 법을 제공하는 데 있다.According to an embodiment of the present invention, a bit line is first set according to a program data value during a program operation, and a bit line is secondly set by using a capacitor value by a potential of an adjacent bit line, thereby changing the potential of the bit line. The present invention provides a nonvolatile memory device capable of compensating and maintaining a constant threshold voltage distribution, and a program method thereof.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 보다 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안되며, 당업계에서 보편적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것으로 해석되는 것이 바람직하다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, embodiments of the present invention may be modified in many different forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below, but to those skilled in the art It is preferred that the present invention be interpreted as being provided to more fully explain the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 불휘발성 메모리 소자를 나타내는 구성도이다.2 is a block diagram illustrating a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 불휘발성 메모리 소자(100)는 메모리 셀 어레이(110), 및 페이지 버퍼부(120)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the nonvolatile memory device 100 includes a memory cell array 110 and a page buffer unit 120.

메모리 셀 어레이(110)는 다수의 비트라인(BLn-1, BLn, 및 BLn+1)을 포함하며, 다수의 비트라인(BLn-1, BLn, 및 BLn+1)에는 각각 다수의 메모리 셀들이 직렬 연결되어 있다.The memory cell array 110 includes a plurality of bit lines BLn-1, BLn, and BLn + 1, and each of the plurality of bit lines BLn-1, BLn, and BLn + 1 has a plurality of memory cells. It is connected in series.

페이지 버퍼부(120)는 상기 다수의 비트라인(BLn-1, BLn, 및 BLn+1)에 각각 대응하는 페이지 버퍼(PBn-1, PBn, 및 PBn+1)를 포함한다. 페이지 버퍼(PBn-1, PBn, 및 PBn+1)는 다수의 비트라인(BLn-1, BLn, 및 BLn+1)을 프로그램 데이터 값에 따라 전위를 제어한다.The page buffer unit 120 includes page buffers PBn-1, PBn, and PBn + 1 corresponding to the plurality of bit lines BLn-1, BLn, and BLn + 1, respectively. The page buffers PBn-1, PBn, and PBn + 1 control the potential of the plurality of bit lines BLn-1, BLn, and BLn + 1 according to program data values.

도 3은 도 2에 도시된 페이지 버퍼의 상세 회로도이다. 다수의 페이지 버퍼들은 동일한 구조로 구성되므로 하나의 페이지 버퍼를 예를 들어 설명하도록 한다.FIG. 3 is a detailed circuit diagram of the page buffer shown in FIG. 2. Since multiple page buffers have the same structure, one page buffer will be described by way of example.

도 3를 참조하면 페이지 버퍼(예를 들어 BLn)는 감지 노드(SO)와 비트라인(BLn)을 연결하는 비트라인 연결부(121), 감지 노드(SO)를 프리차지하는 프리차지부(122), 제1 프로그램 데이터를 저장하는 제1 래치(123), 프로그램 동작 중 검증 동작에 따른 제2 프로그램 데이터를 저장하는 제2 래치(124), 감지 노드(SO)와 연결된 비트라인(BLn)의 전위를 감지하는 센싱부(125), 제1 프로그램 데이터에 따라 감지 노드(SO)의 전위를 제어하는 제1 전위 제어부(126), 및 제2 프로그램 데이터에 따라 감지 노드(SO)와 연결된 비트라인(BLn)의 전위를 제어하는 제2 전위 제어부(127)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the page buffer (eg, BLn) includes a bit line connection unit 121 connecting the sensing node SO and the bit line BLn, a precharge unit 122 precharging the sensing node SO, A first latch 123 for storing first program data, a second latch 124 for storing second program data according to a verify operation during a program operation, and a potential of a bit line BLn connected to the sensing node SO; The sensing unit 125 for sensing, the first potential controller 126 for controlling the potential of the sensing node SO according to the first program data, and the bit line BLn connected to the sensing node SO according to the second program data. And a second potential controller 127 for controlling the potential of.

비트라인 연결부(121)는 NMOS 트랜지스터(NM1 및 NM2)를 포함한다. NMOS 트랜지스터(NM1 및 NM2)는 각각 비트라인 선택신호(SELBL) 및 센싱 신호(PBSENSE)에 응답하여 비트라인(BLn)과 감지 노드(SO)를 연결한다.The bit line connector 121 includes NMOS transistors NM1 and NM2. The NMOS transistors NM1 and NM2 connect the bit line BLn and the sensing node SO in response to the bit line selection signal SELBL and the sensing signal PBSENSE, respectively.

프리차지부(122)는 PMOS 트랜지스터(PM1)를 포함한다. PMOS 트랜지스터(PM1)는 프리차지 신호(PREXHb)에 응답하여 전원 전압(Vcc)을 감지 노드(SO)에 인가하여 감지 노드(SO)를 하이 레벨로 프리차지한다.The precharge unit 122 includes a PMOS transistor PM1. The PMOS transistor PM1 applies the power supply voltage Vcc to the sensing node SO in response to the precharge signal PREXHb to precharge the sensing node SO to a high level.

제1 래치(123)는 인버터(IV1 및 IV2), 및 NMOS 트랜지스터(NM3 및 NM4)를 포함한다. 인버터(IV1 및 IV2)는 제1 노드(QM)와 제2 노드(QM_N) 사이에 역방향 병렬 연결되어 데이터를 임시 저장하는 래치를 구성한다. NMOS 트랜지스터(NM3 및 NM4) 는 각각 제1 노드(QM)와 입력 노드(A), 제2 노드(QM_N)와 입력 노드(A) 사이에 연결된다. NMOS 트랜지스터(NM3)는 초기화 신호(MRST)에 응답하여 입력 노드(A)와 제1 노드(QM)를 연결하고, NMOS 트랜지스터(NM4)는 세트 신호(MSET)에 응답하여 입력 노드(A)와 제2 노드(QM_N)를 연결한다.The first latch 123 includes inverters IV1 and IV2 and NMOS transistors NM3 and NM4. The inverters IV1 and IV2 are connected in reverse parallel between the first node QM and the second node QM_N to form a latch for temporarily storing data. The NMOS transistors NM3 and NM4 are connected between the first node QM and the input node A, the second node QM_N, and the input node A, respectively. The NMOS transistor NM3 connects the input node A and the first node QM in response to the initialization signal MRST, and the NMOS transistor NM4 is connected to the input node A in response to the set signal MSET. The second node QM_N is connected.

제2 래치(124)는 인버터(IV3 및 IV4), 및 NMOS 트랜지스터(NM5 및 NM6)를 포함한다. 인버터(IV3 및 IV4)는 제3 노드(QT)와 제2 노드(QT_N) 사이에 역방향 병렬 연결되어 데이터를 임시 저장하는 래치를 구성한다. NMOS 트랜지스터(NM5 및 NM6)는 각각 제3 노드(QT)와 입력 노드(A), 제4 노드(QT_N)와 입력 노드(A) 사이에 연결된다. NMOS 트랜지스터(NM5)는 초기화 신호(TRST)에 응답하여 입력 노드(A)와 제3 노드(QT)를 연결하고, NMOS 트랜지스터(NM6)는 세트 신호(TSET)에 응답하여 입력 노드(A)와 제4 노드(QT_N)를 연결한다.Second latch 124 includes inverters IV3 and IV4 and NMOS transistors NM5 and NM6. The inverters IV3 and IV4 are connected in reverse parallel between the third node QT and the second node QT_N to form a latch for temporarily storing data. The NMOS transistors NM5 and NM6 are connected between the third node QT and the input node A, the fourth node QT_N and the input node A, respectively. The NMOS transistor NM5 connects the input node A and the third node QT in response to the initialization signal TRST, and the NMOS transistor NM6 is connected to the input node A in response to the set signal TSET. The fourth node QT_N is connected.

센싱부(125)는 NMOS 트랜지스터(NM7)를 포함한다. NMOS 트랜지스터(NM7)는 감지 노드(SO)의 전위에 응답하여 입력 노드(A)와 접지 전원(Vss)을 연결한다.The sensing unit 125 includes an NMOS transistor NM7. The NMOS transistor NM7 connects the input node A and the ground power supply Vss in response to the potential of the sensing node SO.

제1 전위 제어부(126)는 PMOS 트랜지스터(PM2 및 PM3)를 포함한다. PMOS 트랜지스터(PM2 및 PM3)는 감지 노드(SO)와 전원 공급단자(Vinh1)사이에 직렬 연결된다. PMOS 트랜지스터(PM2)는 제1 전송 신호(TRANMb)에 응답하여 턴온되고, PMOS 트랜지스터(PM3)는 제1 래치(123)의 제1 노드(QM) 전위에 응답하여 턴온 또는 턴오프되어 전원 공급단자(Vinh1)의 전위를 감지 노드(SO)를 통해 비트라인(BLn)에 전송한다.The first potential controller 126 includes PMOS transistors PM2 and PM3. The PMOS transistors PM2 and PM3 are connected in series between the sensing node SO and the power supply terminal Vinh1. The PMOS transistor PM2 is turned on in response to the first transmission signal TRANMb, and the PMOS transistor PM3 is turned on or turned off in response to the potential of the first node QM of the first latch 123 to supply power. The potential of Vinh1 is transmitted to the bit line BLn through the sensing node SO.

제2 전위 제어부(127)는 NMOS 트랜지스터(NM8)를 포함한다. NMOS 트랜지스 터(NM8)는 감지 노드(SO)와 제2 래치(124)의 제2 노드(QT_N) 사이에 연결되고, 제2 전송 신호(TRANT)의 전위 레벨에 따라 감지 노드(SO)를 통해 비트라인(BLn)에 전송하는 전위를 제어한다.The second potential controller 127 includes an NMOS transistor NM8. The NMOS transistor NM8 is connected between the sense node SO and the second node QT_N of the second latch 124 and connects the sense node SO according to the potential level of the second transmission signal TRANT. The potential to be transferred to the bit line BLn is controlled.

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작을 설명하기 위한 비트라인 전위의 파형도이다.4 is a waveform diagram of a bit line potential for explaining a program operation of a nonvolatile memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일실시 예에 따른 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작 방법을 설명하면 다음과 같다.A program operation method of a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4 as follows.

먼저 다수의 비트라인(BLn-1, BLn, 및 BLn+1) 중 프로그램할 비트라인(예를 들어 BLn)을 선택한다. 본 발명의 일실시 예에서는 3개의 비트라인 중 하나의 비트라인을 선택하는 것을 예를 들어 설명하나 이에 한정되지 아니한다. 예를 들어, 1K개의 비트라인 중 다수의 비트라인 그룹을 랜덤 방식 또는 이븐 또는 오드 그룹으로 나누어 선택할 수 있다. 이때 선택된 비트라인(BLn)과 인접한 비트라인(BLn+1 또는 BLn-1)은 비선택되도록 설정하는 것이 바람직하다.First, a bit line (for example, BLn) to be programmed is selected among the plurality of bit lines BLn-1, BLn, and BLn + 1. In an embodiment of the present invention, the selection of one bit line among three bit lines is described as an example, but is not limited thereto. For example, a plurality of bit line groups among 1K bit lines may be selected in a random manner or divided into even or odd groups. In this case, it is preferable to set the selected bit line BLn and the adjacent bit line BLn + 1 or BLn-1 to be unselected.

이 후, 선택된 비트라인(BLn)에 연결된 페이지 버퍼(PBn)에 제1 프로그램 데이터를 입력한다. 이를 상세하게 설명하면, 다음과 같다.Thereafter, the first program data is input to the page buffer PBn connected to the selected bit line BLn. This will be described in detail as follows.

먼저 로우 레벨의 프리차지 신호(PRECHb)에 응답하여 감지 노드(SO)를 하이 레벨로 프리차지한다. 하이 레벨의 감지 노드(SO) 전위에 응답하여 센싱부(125)의 NMOS 트랜지스터(NM7)는 턴온되어 입력 노드(A)에는 접지 전원(Vss)이 인가된다. 이 후, 초기화 신호(MRST)를 인에이블시켜 제1 래치(123)의 제1 노드(QM)를 로우 레벨로 초기화시킨다. 또한 동일한 방법으로 제2 래치(124)의 제3 노드(QT)를 로우 레벨로 초기화시킨다.First, the sensing node SO is precharged to the high level in response to the low level precharge signal PRECHb. In response to the high level of the sensing node SO, the NMOS transistor NM7 of the sensing unit 125 is turned on and the ground power source Vss is applied to the input node A. FIG. Thereafter, the initialization signal MRST is enabled to initialize the first node QM of the first latch 123 to a low level. In the same manner, the third node QT of the second latch 124 is initialized to a low level.

이 후, 프로그램하려는 데이터 값이 1인 경우(프로그램 금지 셀, Case 1), 세트 신호(MSET)를 디스에이블 상태를 유지시켜 제1 래치(123)의 제1 노드(QM)를 로우 레벨로 유지하도록 설정하여 제1 프로그램 데이터를 입력한다. 프로그램하려는 데이터 값이 0인 경우(프로그램 셀, Case 3), 세트 신호(MSET)를 인에이블시켜 제1 래치(123)의 제1 노드(QM)를 하이 레벨로 변경시킨다. 또한, 제2 래치(124)의 세트 신호(TSET)를 인에이블시켜, 제4 노드(QT_N)을 로우 레벨로 설정한다.Thereafter, when the data value to be programmed is 1 (program inhibit cell, Case 1), the set signal MSET is maintained in a disabled state to maintain the first node QM of the first latch 123 at a low level. The first program data is input. When the data value to be programmed is 0 (program cell, Case 3), the set signal MSET is enabled to change the first node QM of the first latch 123 to a high level. In addition, the set signal TSET of the second latch 124 is enabled to set the fourth node QT_N to a low level.

또한 프로그램 동작 중 검증 전압을 서로 달리하는 더블 검증 동작을 이용하는 경우 1차 검증 동작을 패스하면 제2 래치(124)에 제2 프로그램 데이터를 입력한다(Case 2). 이는 제1 프로그램 데이터의 입력 방법과 동일하되, 제4 노드(QT_N)의 전위가 하이 레벨로 설정되도록 제어한다. 이러한 더블 검증 동작은 제1 검증 전압을 이용한 검증 동작을 패스한 경우 메모리 셀의 프로그램 속도를 늦추기 위해서 비트라인의 전위를 상승시키게 된다.In addition, in the case of using the double verify operation for different verify voltages during the program operation, when the first verify operation passes, the second program data is input to the second latch 124 (Case 2). This is the same as the input method of the first program data, but controls so that the potential of the fourth node QT_N is set to a high level. When the double verify operation passes the verify operation using the first verify voltage, the potential of the bit line is increased to slow down the program speed of the memory cell.

이 후, 제1 래치(123) 및 제2 래치(124)에 저장된 제1 프로그램 데이터를 이용하여 선택된 비트라인(BLn)의 전위를 1차 세팅한다.(BL Set1) 이를 상세하게 설명하면, 다음과 같다.Thereafter, the potential of the selected bit line BLn is first set using the first program data stored in the first latch 123 and the second latch 124. (BL Set1) In detail, Same as

먼저 비트라인 선택 신호(SELBL) 및 센싱 신호(PBSENSE)가 하이 레벨로 인가되어 비트라인 연결부(121)는 비트라인(BLn)과 감지 노드(SO)를 연결한다.First, the bit line selection signal SELBL and the sensing signal PBSENSE are applied at a high level so that the bit line connection unit 121 connects the bit line BLn and the sensing node SO.

이 후, 제1 전위 제어부(126)에 제1 전송 신호(TRANMb)가 로우 레벨로 인가되고, 제2 전송 신호(TRANT)는 Vm+Vt(Vt는 NM8의 문턱 전압) 레벨로 인가된다. 이로 인하여 프로그램하려는 데이터 값이 1인 경우(Case 1), 비트라인(BLn)에는 프로그램 금지 전압(Vinh1)이 인가된다. 또한 프로그램하려는 데이터 값이 0인 경우(Case 3), 제1 전위 제어부(126)의 PMOS 트랜지스터(PM3)는 턴오프되고, 제2 전위 제어부(127)의 NMOS 트랜지스터(NM8)는 제2 전송 신호(TRANT,Vm+Vt)에 응답하여 턴온되어 비트라인(BLn)의 전위를 접지 전원(Vss) 레벨로 디스차지한다. 또한, 더블 검증 동작시 제1 검증 동작을 패스한 경우, 제1 전위 제어부(126)의 PMOS 트랜지스터(PM3)는 턴오프되고, 제2 전위 제어부(127)의 NMOS 트랜지스터(NM8)는 제2 전송 신호(TRANT,Vm+Vt)에 응답하여 턴온된다. 이때 제2 래치(124)의 제4 노드(QT_N)는 하이 레벨을 유지하지만, NMOS 트랜지스터(NM8)는 제2 전송 신호(TRANT,Vm+Vt)에 응답하여 비트라인(BLn)을 제어 전위 레벨(Vm)로 프리차지한다. 제어 전위 레벨(Vm)은 접지 전원(Vss)과 프로그램 금지 전위(Vinh1) 사이인 것이 바람직하다.Thereafter, the first transmission signal TRANMb is applied to the first potential controller 126 at a low level, and the second transmission signal TRANT is applied at a level of Vm + Vt (Vt is a threshold voltage of NM8). As a result, when the data value to be programmed is 1 (Case 1), the program inhibit voltage Vinh1 is applied to the bit line BLn. In addition, when the data value to be programmed is 0 (Case 3), the PMOS transistor PM3 of the first potential controller 126 is turned off, and the NMOS transistor NM8 of the second potential controller 127 is the second transmission signal. It turns on in response to (TRANT, Vm + Vt) to discharge the potential of the bit line BLn to the ground power supply Vss level. Also, when the first verify operation is passed during the double verify operation, the PMOS transistor PM3 of the first potential controller 126 is turned off, and the NMOS transistor NM8 of the second potential controller 127 is transferred to the second. It is turned on in response to the signal TRANT, Vm + Vt. At this time, the fourth node QT_N of the second latch 124 maintains the high level, but the NMOS transistor NM8 controls the bit line BLn in response to the second transmission signal TRAT, Vm + Vt. Precharge to (Vm). The control potential level Vm is preferably between the ground power supply Vss and the program prohibition potential Vinh1.

이 후, 선택된 비트라인(BLn)과 인접한 비트라인(예를 들어 BLn+1 또는 BLn-1)과 연결된 페이지 버퍼를 제어하여 인접한 비트라인(예를 들어 BLn+1 또는 BLn-1)의 전위를 제어하고, 이에 따른 캐패시터 효과에 따라 선택된 비트라인(BLn)의 전위를 상승시켜 2차 세팅한다.(BL Set2) 이를 상세하게 설명하면, 다음과 같다.Subsequently, the page buffer connected to the selected bit line BLn and the adjacent bit line (eg BLn + 1 or BLn-1) is controlled to adjust the potential of the adjacent bit line BLn + 1 or BLn-1. The control is performed and the potential of the selected bit line BLn is increased in accordance with the capacitor effect, thereby setting the secondary. (BL Set2) This will be described in detail below.

인접한 비트라인(예를 들어 BLn+1 또는 BLn-1)과 연결된 페이지 버퍼의 제1 래치(123)의 제1 노드(QM)을 로우 레벨이 되도록 초기화시킨다.The first node QM of the first latch 123 of the page buffer connected to the adjacent bit line (eg, BLn + 1 or BLn-1) is initialized to a low level.

이 후, 비트라인 선택 신호(SELBL) 및 센싱 신호(PBSENSE)가 하이 레벨로 인가되어 비트라인 연결부(121)는 비트라인(BLn)과 감지 노드(SO)를 연결한다.Thereafter, the bit line selection signal SELBL and the sensing signal PBSENSE are applied at a high level so that the bit line connection unit 121 connects the bit line BLn and the sensing node SO.

이 후, 제1 전송 신호(TRANMb)가 로우 레벨로 인가되어 제1 전위 제어부(126)는 비트라인(BLn-1 또는 BLn+1)에 프로그램 금지 전압(Vinh1)이 인가된다. 이때 인가되는 프로그램 금지 전압(Vinh1)은 Vcc 레벨인 것이 바람직하다. 이로 인하여 선택된 비트라인(BLn)과 인접한 비트라인(예를 들어 BLn+1 또는 BLn-1)은 Vcc 레벨로 프리차지된다.Thereafter, the first transmission signal TRANMb is applied at a low level, and the first potential controller 126 is applied to the program inhibit voltage Vinh1 to the bit lines BLn-1 or BLn + 1. In this case, the applied program inhibit voltage Vinh1 is preferably at the Vcc level. As a result, the selected bit line BLn and the adjacent bit line (eg, BLn + 1 or BLn-1) are precharged to the Vcc level.

상술한 인접한 비트라인(예를 들어 BLn+1 또는 BLn-1)의 전위를 Vcc 레벨로 프리차지할때 선택된 비트라인(BLn)의 페이지 버퍼(PBn)는 비트라인 연결부(121)를 디스에이블시켜 선택된 비트라인(BLn)을 플로팅시킨다. 이로 인하여 플로팅 상태의 비트라인(BLn)은 인접한 비트라인(예를 들어 BLn+1 또는 BLn-1)의 전위에 응답하여 ΔV만큼상승하게 된다. 즉, 플로팅 게이트의 전압이 인접한 메모리 셀의 채널 전압 상승값에 영향으로 ΔV만큼 상승하게되는 것을 비트라인 전위를 ΔV만큼상승시켜 보상하게 된다. When precharging the potential of the above-described adjacent bit line (eg BLn + 1 or BLn-1) to Vcc level, the page buffer PBn of the selected bit line BLn is selected by disabling the bit line connection 121. The bit line BLn is floated. As a result, the floating bit line BLn rises by ΔV in response to the potential of the adjacent bit line (for example, BLn + 1 or BLn-1). That is, the bit line potential is increased by ΔV to compensate for the voltage of the floating gate rising by ΔV due to the channel voltage rising value of the adjacent memory cell.

이 후, 워드라인에 프로그램 전압을 인가하여 다수의 메모리 셀들을 동시에 프로그램한다. 이때 플로팅 게이트의 전압이 인접한 메모리 셀의 채널 전압 상승값에 영향으로 ΔV만큼 상승하게되는 것을 비트라인 전위를 ΔV만큼상승시켜 보상하게 되어 문턱 전압 분포는 일정하게 유지된다.Thereafter, a program voltage is applied to a word line to simultaneously program a plurality of memory cells. In this case, the voltage of the floating gate is increased by ΔV due to the increase in the channel voltage of the adjacent memory cell by increasing the bit line potential by ΔV to maintain the threshold voltage distribution.

본 발명은 상기에서 서술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 상기의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 본원의 특허 청구 범위에 의해서 이해되어야 한다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be implemented in various forms, and the above embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to completely convey the scope of the invention to those skilled in the art. It is provided to inform you. Therefore, the scope of the present invention should be understood by the claims of the present application.

도 1은 종래 기술에 따른 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작을 설명하기 위한 셀 어레이 구성도이다.1 is a block diagram illustrating a cell array for explaining a program operation of a nonvolatile memory device according to the related art.

도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 불휘발성 메모리 소자를 나타내는 구성도이다.2 is a block diagram illustrating a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 도시된 페이지 버퍼의 상세 회로도이다.FIG. 3 is a detailed circuit diagram of the page buffer shown in FIG. 2.

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작을 설명하기 위한 비트라인 전위의 파형도이다.4 is a waveform diagram of a bit line potential for explaining a program operation of a nonvolatile memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>Description of the Related Art [0002]

110 : 메모리 셀 어레이 120 : 페이지 버퍼부110: memory cell array 120: page buffer unit

121 : 비트라인 연결부 122 : 프리차지부121: bit line connection 122: precharge unit

123 : 제1 래치 124 : 제2 래치123: first latch 124: second latch

125 : 센싱부 126 : 제1 전위 제어부125: sensing unit 126: first potential controller

127 : 제2 전위 제어부127: second potential controller

Claims (12)

다수의 메모리 셀이 연결된 다수의 비트라인;A plurality of bit lines to which a plurality of memory cells are connected; 상기 다수의 비트라인에 각각 연결된 다수의 페이지 버퍼를 포함하며,A plurality of page buffers, each connected to the plurality of bit lines; 상기 다수의 페이지 버퍼 각각은Each of the plurality of page buffers 감지 노드와 상기 비트라인을 연결하는 비트라인 연결부;A bit line connection unit connecting the sensing node and the bit line; 프로그램 데이터를 임시 저장하는 제1 및 제2 래치;First and second latches for temporarily storing program data; 상기 제1 래치에 저장된 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 비트라인을 프로그램 금지 전위로 제어하는 제1 전위 제어부; 및A first potential controller configured to control the bit line to a program inhibit potential according to the program data stored in the first latch; And 상기 제2 래치에 저장된 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 비트라인을 프로그램 전위로 제어하는 제2 전위 제어부를 포함하며,A second potential controller configured to control the bit line to a program potential according to the program data stored in the second latch, 상기 다수의 비트라인 중 선택된 비트라인과 인접한 비선택된 비트라인들이 상기 제1 전위 제어부에 의해 상기 프로그램 금지 전위로 프리차지될 때 상기 선택된 비트라인과 연결된 비트라인 연결부는 디스에이블되는 불휘발성 메모리 소자.And a bit line connection connected to the selected bit line is disabled when the non-selected bit lines adjacent to the selected bit line of the plurality of bit lines are precharged by the first potential controller to the program inhibited potential. 청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 2 has been abandoned due to the setting registration fee. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다수의 비트라인은 프로그램 동작시 랜덤 방식 또는 이븐 또는 오드 그룹으로 나누어 선택되는 불휘발성 메모리 소자.The plurality of bit lines are selected in a random manner or divided into even or odd groups during a program operation. 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 3 was abandoned when the setup registration fee was paid. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 전위 제어부는 상기 감지 노드와 전원 공급단자 사이에 연결되며, 상기 제1 래치에 저장된 프로그램 데이터에 응답하여 상기 전원 공급 단자의 전위로 상기 감지 노드를 통해 상기 비트라인의 전위를 프로그램 금지 전위로 제어하는 불휘발성 메모리 소자.The first potential controller is connected between the sensing node and a power supply terminal, and converts the potential of the bit line through the sense node to a potential of the power supply terminal in response to program data stored in the first latch. Nonvolatile memory device controlled by. 청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 4 was abandoned when the registration fee was paid. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 전위 제어부는 상기 감지 노드와 상기 제2 래치 사이에 연결되며, 상기 제2 래치에 저장된 프로그램 데이터의 값에 따라 비트라인의 전위를 프로그램 전위로 변경하되, 상기 프로그램 전위는 접지 전원 레벨 또는 제어 전위 레벨인 불휘발성 메모리 소자.The second potential controller is connected between the sensing node and the second latch, and changes the potential of the bit line to the program potential according to the value of the program data stored in the second latch, wherein the program potential is a ground power supply level or A nonvolatile memory device having a control potential level. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 5 was abandoned upon payment of a set-up fee. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제어 전위 레벨은 접지 전원 레벨과 상기 프로그램 금지 전위 레벨 사이인 불휘발성 메모리 소자.And the control potential level is between a ground power supply level and the program inhibited potential level. 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 6 was abandoned when the registration fee was paid. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 다수의 비트라인 중 비선택된 비트라인들은 상기 프로그램 금지 전위로 프리차지되어 상기 선택된 비트라인들의 전위를 캐패시터 효과에 의해 상승시키는 불휘발성 메모리 소자.The non-selected bit lines of the plurality of bit lines are precharged to the program inhibit potential to raise the potential of the selected bit lines by a capacitor effect. 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 7 was abandoned upon payment of a set-up fee. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 비선택된 비트라인들에 연결된 상기 페이지 버퍼들은 상기 제1 전위 제어부를 이용하여 상기 비선택된 비트라인들을 상기 프로그램 금지 전위로 프리차지하는 불휘발성 메모리 소자.And the page buffers connected to the non-selected bit lines precharge the non-selected bit lines to the program inhibit potential by using the first potential controller. 삭제delete 다수의 메모리 셀이 연결된 다수의 비트라인과, 상기 다수의 비트라인에 각각 연결된 다수의 페이지 버퍼를 포함하는 불휘발성 메모리 소자가 제공되는 단계;Providing a nonvolatile memory device including a plurality of bit lines connected to a plurality of memory cells and a plurality of page buffers connected to the plurality of bit lines, respectively; 상기 다수의 비트라인 중 프로그램하려는 비트라인들을 선택하는 단계;Selecting bit lines to be programmed among the plurality of bit lines; 선택된 상기 비트라인들과 연결된 상기 페이지 버퍼에 프로그램 데이터를 입력하는 단계;Inputting program data into the page buffer connected to the selected bit lines; 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 선택된 비트라인들의 전위를 제어하는 단계;Controlling the potential of the selected bit lines in accordance with the program data; 상기 다수의 비트라인 중 비 선택된 비트라인들을 프로그램 금지 레벨로 프리차지하는 단계; 및Precharging unselected bit lines of the plurality of bit lines to a program prohibition level; And 상기 선택된 비트라인을 플로팅시키는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 방법.And plotting the selected bit line. 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 10 was abandoned upon payment of a setup registration fee. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 선택된 비트라인을 플로팅 시킨 후, 워드라인에 프로그램 전압을 인가하여 상기 선택된 비트라인에 연결된 메모리 셀을 프로그램하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 방법.After programming the selected bit line, applying a program voltage to a word line to program a memory cell connected to the selected bit line. 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 11 was abandoned upon payment of a setup registration fee. 제 10 항에 있어서,11. The method of claim 10, 플로팅된 상기 선택된 비트라인은 상기 비 선택된 비트라인들과의 캐패시터 효과에 의해 전위가 상승하는 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 방법.And the potential of the selected bit line being floated rises due to a capacitor effect with the non-selected bit lines. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 12 was abandoned upon payment of a registration fee. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 프로그램 데이터에 따라 상기 선택된 비트라인들의 전위를 제어하는 단계는 상기 프로그램 데이터 값에 따라 상기 선택된 비트라인들을 프로그램 금지 레벨, 접지 전원 레벨, 또는 제어 전압 레벨로 제어하는 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 방법.The controlling of the potential of the selected bit lines according to the program data may include controlling the selected bit lines to a program prohibition level, a ground power level, or a control voltage level according to the program data value.
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