KR101056765B1

KR101056765B1 - Micro particle micro quantitative supply method and its supply device

Info

Publication number: KR101056765B1
Application number: KR1020080118817A
Authority: KR
Inventors: 전충환; 김용균
Original assignee: 부산대학교 산학협력단
Priority date: 2008-11-27
Filing date: 2008-11-27
Publication date: 2011-08-12
Also published as: KR20100060281A

Abstract

본 발명은 연구활동이 이루어지는 실험실에서 마이크로단위의 입자에 대한 실험을 하게 되거나 제약산업분야에서 마이크로단위의 각종 약제 분석 및 배합시 요구되는 미소량의 마이크로입자 공급을 정확하고 정밀하게 수행할 수 있는 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 제공한다. 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 수용하는 수용용기를 정해진 진폭으로 진동시키는 한편, 수용용기 내부로 입자이송용 기체를 정해진 유량으로 유입시켜 수용용기에 수용되는 마이크로입자가 수용용기 내부로 유입되는 입자이송용 기체에 균일하게 분산되도록 하고, 수용용기의 내부공간을 정해진 비율로 축소시키면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 정해진 양만큼 입자 흡입관을 통해 외부로 공급될 수 있도록 한 것이다. 이와 같이 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되어 수용용기와 함께 진동하게 되는 입자 흡입관을 통해 외부로 배출됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 입자 흡입관과 같은 이송관로 상에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되면서 마이크로입자의 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지게 된다.The present invention is a micro-particle that can perform micro-particles in a laboratory where research activities are conducted, or to supply micro-volumes of micro-particles required for the analysis and formulation of various micro-units in the pharmaceutical industry. Provided are a micro particle quantitative supply method and a supply device thereof. The micro-particle micro-quantity supply method and its supply apparatus according to the present invention vibrates the container accommodated by the microparticles with a predetermined amplitude, while introducing the particle transporting gas into the container at a predetermined flow rate to accommodate the microparticles. To be uniformly dispersed in the particle transport gas introduced into the container, and to reduce the internal space of the container to a predetermined ratio so that the microparticles dispersed in the particle transport gas can be supplied to the outside through the particle suction tube. It is. As described above, the method for micro-quantity microquantification and its supply apparatus according to the present invention have microparticles dispersed by the electrostatic charge as the microparticles are discharged to the outside through the particle suction tube which is dispersed in the gas for particle transport and vibrates with the container. It is attached on a transfer pipe such as a suction pipe to prevent the phenomenon of closing the pipe, so that micro-quantity supply of micro particles is stable and made smooth.

마이크로입자, 정량 공급장치, 진동, 기체, 스텝모터, 피스톤, 실린더 Microparticles, Metering Supplies, Vibration, Gas, Step Motors, Pistons, Cylinders

Description

Micro particle micro quantitative feeding method and its feeding device {The feeding method for solid-particle and feeder etc}

본 발명은 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되어 수용용기와 함께 진동하게 되는 입자 흡입관을 통해 외부로 배출됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 관로의 내벽에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되어 마이크로입자의 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지게 되는 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a micro-particle micro-quantity supply method and its supply device, and more specifically, by the electrostatic charging as the micro-particles are discharged to the outside through the particle suction tube which is dispersed in the gas for particle transport and vibrates with the receiving vessel The present invention relates to a micro particle micro quantitative supply method and a supply apparatus thereof, in which micro phenomena are attached to an inner wall of a conduit to prevent a phenomenon of closing the conduit so that micro quantitative supply of micro particles is stable and smooth.

산업현장이나 각종 연구소의 실험실에서 취급되는 다양한 종류의 물질이나 물체들에 대해서 정량 공급이 요구되는 경우가 있는데, 액체나 기체상태의 물질에 대한 정량 공급장치는 현재 다양한 구성으로 개시되고 있다. 이와 더불어 고체상태의 물질이나 물체에 대한 정량 공급장치도 다양한 구성으로 현재 안출되어 있는데, 일본 공개특허공보 공개번호 제1983-182027호, 공개번호 제1986-44214호, 공개번호 제2007-187637호, 미국특허 US7306200 "CONTROLLER RATE FEEDER SYSTEMS FOR FINE PARTICLE SOLIDS AND METHODS THEREOF" 등이 개시되고 있다.There are cases where a quantitative supply is required for various kinds of materials or objects handled in an industrial site or a laboratory of various research institutes. A quantitative supply device for a liquid or gaseous substance is currently disclosed in various configurations. In addition, a quantitative supply device for a substance or an object in a solid state is currently being devised in various configurations, such as Japanese Patent Laid-Open Publication No. 1983-182027, Publication No. 1986-44214, Publication No. 2007-187637, US Patent US7306200 "CONTROLLER RATE FEEDER SYSTEMS FOR FINE PARTICLE SOLIDS AND METHODS THEREOF".

그런데, 고체상태의 물질이나 물체의 경우, 물질이나 물체의 크기가 마이크로단위로 작아져 마이크로입자 상태에 이르게 되면 마이크로입자 간 접촉 또는, 마이크로입자를 이송시키기 위한 구성요소와 입자 사이의 접촉에 의해 정전기가 발생하게 되었는데, 이와 같이 발생되는 정전기에 의해 마이크로입자가 서로 달라붙거나 마이크로입자가 이송되는 이송관로 상에 마이크로입자가 부착되어 이송관로가 막혀버려 입자의 이송이 불가능해지는 문제점이 발생하였다.However, in the case of a substance or object in a solid state, when the size of the substance or object is reduced to micro units and reaches a microparticle state, the contact between the microparticles or the contact between the component and the particle for transporting the microparticles may be caused by static electricity. However, due to the static electricity generated in this way, the microparticles stick to each other or the microparticles are attached to the transport path through which the microparticles are transported.

따라서, 상기와 같은 정전기현상에 의해 마이크로입자가 서로 달라붙거나 이송관로 상에 마이크로입자가 부착되는 현상을 방지하여 마이크로입자를 안정되고 원활하게 정량 공급할 수 있는 장치의 구성이 현재 요구되고 있는 실정이라 하겠다.Therefore, the configuration of a device capable of stably and smoothly supplying microparticles by preventing the phenomenon of microparticles sticking to each other or microparticles adhering to a transfer pipe by the electrostatic phenomenon as described above is currently required. would.

따라서 본 발명은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 개선하여, 마이크로입자가 이송과정에서 정전기 대전에 의해 이송로 상에 부착되어 이송로를 폐쇄시키는 현상이 방지되도록 하여 마이크로입자가 정해진 미소량만큼 외부로 공급될 수 있도록 하는 새로운 형태의 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. Accordingly, the present invention improves the problems of the prior art, and the microparticles are attached to the transport path by electrostatic charging in the transport process to prevent the phenomenon of closing the transport path so that the microparticles are supplied to the outside by a predetermined amount. It is an object of the present invention to provide a micro particle micro quantitative feeding method and a feeding device thereof.

특히, 본 발명은 마이크로입자가 수용하는 수용용기를 정해진 주파수와 진폭으로 진동시키고, 수용용기 내부로 입자이송용 기체를 정해진 유량과 속도로 유입시키면서 수용용기에 수용되는 마이크로입자가 수용용기 내부로 유입되는 입자이송용 기체에 균일하게 분산되도록 하고, 수용용기의 내부공간을 정해진 비율로 축소시키면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 정해진 양만큼 입자 흡입관을 통해 외부로 공급될 수 있도록 하여 마이크로입자의 미소 정량공급이 안정되고 원활하게 이루어질 수 있는 새로운 형태의 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In particular, the present invention vibrates the receiving vessel accommodated by the microparticles at a predetermined frequency and amplitude, and the microparticles accommodated in the receiving vessel are introduced into the receiving vessel while introducing the particle transfer gas into the receiving vessel at a predetermined flow rate and speed. The microparticles are uniformly dispersed in the particle transport gas, and the microparticles dispersed in the particle transport gas can be supplied to the outside through the particle suction tube by a predetermined amount while reducing the internal space of the container. It is an object of the present invention to provide a new method for micro-quantity microquantification and its feeding apparatus which can be made stable and smoothly.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명은 마이크로입자가 수용용기의 내부공간에 수용되는 단계와; 정해진 유량과 속도로 유동하는 입자이송용 기체가 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하고, 상기 수용용기가 정해진 진폭으로 진동하도록 하여 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되도록 하는 단계와; 상기 수용용기의 내부공간은 축소와 확장이 가능한 구조로 이루어져 상기 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 수용용기의 내부공간과 연통된 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 배출되도록 하는 단계를 포함하여, 상기 마이크로입자가 목적하는 장소에 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 한다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the present invention comprises the steps of receiving the microparticles in the inner space of the container; The particle transport gas flowing at a predetermined flow rate and speed is introduced into the interior space of the container, and the container is vibrated at a predetermined amplitude so that the microparticles contained in the interior space of the container are dispersed in the particle transport gas. Making it possible; The inner space of the container has a structure that can be reduced and expanded, and the amount of the microparticles dispersed in the gas for particle transport is determined through a particle suction tube communicating with the inner space of the container while the internal space is reduced at a predetermined ratio. Including the step of allowing the discharge, characterized in that the microparticles are supplied in a predetermined amount to the desired place.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 정량 공급방법에서 상기 수용용기는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되어 상하방향으로 전후진운동하게 되는 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 축소되고 확장되도록 하되, 상기 피스톤모듈이 정해진 속도로 전진운동하면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 한다.In the method for quantitative supply of microparticles according to the present invention, the container is made of a cylindrical tube having an inner space in the vertical direction and is inserted into the inner space of the container by the piston module which is moved forward and backward in the vertical direction. The inner space of the container is reduced and expanded, and the piston module is forwardly moved at a predetermined speed, so that the microparticles dispersed in the gas for particle transport are supplied by a predetermined amount through the particle suction pipe.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 정량 공급방법에서 상기 마이크로입자의 물성치와 요구되는 상기 마이크로입자의 공급량에 따라 상기 상기 수용용기의 진동 진폭, 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 내부공간이 축소되는 비율이 조정되도록 하는 것을 특징으로 한다.In the microparticle quantitative supply method according to the present invention, the vibration amplitude of the container, the flow rate of the gas for transporting the particle, and the ratio of the inner space are reduced according to the physical properties of the microparticles and the required amount of the microparticles. To be adjusted.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 본 발명은 축소와 확장이 가능한 내부공간이 형성되어 마이크로입자와 외부로부터 공급되는 입자이송용 기체가 수용되는 수용용기와; 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과; 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되는 입자 흡입관과; 상기 수용용기와 연동되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동기구와; 상기 수용용기의 내부공간에 위치되어 상기 내부공간을 축소시키게 되는 입자배출용 액추에이터 및; 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 진동기구가 발생시키는 진동의 진폭, 상기 입자배출용 액추에이터가 상기 내부공간을 축소시키는 비율을 각각 제어하게 되는 제어기구를 포함하여, 상기 진동기구에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되고, 상기 입자배출용 액추에이터에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 공급되는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention for achieving the above object, the present invention is an accommodation container which is formed to reduce and expand the inner space is accommodated microparticles and the particle transport gas supplied from the outside; The MFC is inserted into the inner space of the container to introduce the particle transport gas into the inner space of the container, and is installed on a pipeline to provide the particle transport gas to the internal space of the container at a predetermined flow rate. A gas inlet pipe; A particle suction tube inserted into an inner space of the container to discharge the micro particles dispersed in the particle transfer gas; A vibrating mechanism that vibrates the accommodation container in cooperation with the accommodation container; An actuator for discharging particles located in the inner space of the container to reduce the inner space; And a control mechanism for respectively controlling the flow rate of the particle transfer gas introduced into the inner space of the container, the amplitude of vibration generated by the vibration mechanism, and the rate at which the particle discharge actuator reduces the internal space. As the particle transporting gas flows into the inner space of the receiving container vibrating at the predetermined amplitude by the vibrating mechanism at a predetermined flow rate, the microparticles accommodated in the inner space of the receiving container are transferred to the particle transporting gas. The microparticles dispersed in the gas for particle transport are dispersed and supplied to the outside through the particle suction pipe while the inner space of the container is reduced by a predetermined ratio by the particle discharge actuator.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 수용용기는 중력방향과 일치하는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the micro-particle micro-quantity supply device according to the present invention as described above, the container is characterized by consisting of a cylindrical tube having an inner space in the vertical direction corresponding to the gravity direction.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 입자배출용 액추에이터는 실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐되도록 하는 피스톤과; 상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와; 상기 푸싱 로드와 연결되어 상기 푸싱 로드를 작동시키되, 상기 제어기구에 의해 제어되어 상기 푸싱 로드의 전후진운동이 조절되도록 하는 서보구동기구를 포함하는 피스톤모듈인 것을 특징으로 한다.In the micro-particle micro-quantity supply apparatus according to the present invention, the actuator for discharging particles is slidably inserted into the open lower portion of the receiving container made of a cylindrical tube to seal the lower portion of the inner space of the receiving container. ; A pushing rod coupled with the piston to move the piston forward and backward in an up and down direction in the inner space of the receiving container; It is connected to the pushing rod to operate the pushing rod, characterized in that the piston module including a servo drive mechanism controlled by the control mechanism to adjust the forward and backward movement of the pushing rod.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 기체 유입관과 상기 입자 흡입관은 각각 상기 수용용기의 상부면을 관통하여 삽입되는 모세관인 것을 특징으로 한다.In the micro-particle micro-quantity supply device according to the present invention, the gas inlet pipe and the particle suction pipe are capillary tubes respectively inserted through the upper surface of the container.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 입자 흡입관의 일단부는 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되고, 상기 입자 흡입관의 타단부는 상기 수용용기의 외부에서 이송관과 연결되되, 상기 이송관은 탄성변형이 가능한 수지 재질의 모세관형 튜브(tube)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the micro-particle micro-quantity supply device according to the present invention, one end of the particle suction tube is inserted into the inner space of the container, and the other end of the particle suction tube is connected to the transfer tube from the outside of the container, the transfer The tube is made of a capillary tube (tube) made of a resin material capable of elastic deformation.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 진동기구는 상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와; 상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 상측 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기가 밀폐되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.In the micro-particle micro-quantity supply device according to the present invention as described above, the vibration mechanism is connected to the accommodation container and a vibration generator for vibrating the accommodation container; The receiving container is in contact with both sides of the vibration generator so that the vibration generated from the vibration generator is transmitted to the receiving container, is installed to surround the upper outer surface of the receiving container to seal the receiving container, of a predetermined shape It is characterized in that it comprises a vibration transmission block made of a resin material constituting the block to prevent noise caused by vibration and fatigue destruction of the receiving container.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 제어기구는 상기 수용용기에 설치되어 상기 수용용기의 진동 진폭을 검출하는 진동센서를 더 구비하여 상기 수용용기의 진동 진폭에 대한 피드백 제어가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.In the micro-particle micro-quantity supply device according to the present invention, the control mechanism is further provided with a vibration sensor which is installed in the container to detect the vibration amplitude of the container, the feedback control to the vibration amplitude of the container is made It is characterized by the loss.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또다른 특징에 의하면, 본 발명은 중력방향과 일치하는 상하방향으로 축소와 확장이 가능한 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 마이크로입자가 상기 내부공간에 수용되는 수용용기와; 수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량과 속도로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과; 수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되되, 상기 기체 유입관과 평행하게 설치되는 입자 흡입관과; 상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와; 상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 상측 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기의 상부면이 실링(sealing)되면서 상기 기체 유입관과 입자 흡입관이 상기 수용용기의 상부면에 고정되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록과; 상기 진동발생기와 연결되어 상기 진동발생기와 상기 수용용기 사이의 이격거리를 조절하도록 하여 상기 진동전달블록이 상기 수용용기와 접촉하는 강도가 조절되면서 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭이 조절되도록 하는 진폭조절용 스텝모터와; 실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐되도록 하는 피스톤과, 상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와, 상기 푸싱 로드를 작동시키되 상기 푸싱 로드의 작동이 펄스단위로 이루어지도록 하는 피스톤용 스텝모터를 포함하여 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하면서 상기 내부공간을 축소시키거나 확장시키도록 하는 피스톤모듈 및; 요구되는 상기 마이크로입자의 공급량과 상기 마이크로입자의 물성치를 입력받아 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 량만큼 외부로 배출되도록 하되, 상기 MFC를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량을 조절하고, 상기 진폭조절용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭을 조절하며, 상기 피스톤용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간이 축소되는 비율을 조절하게 되는 제어기구를 포함하여, 상기 진동발생기에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체로 분산되고, 상기 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention for achieving the above object, the present invention consists of a cylindrical tube having an inner space that can be reduced and expanded in the vertical direction corresponding to the direction of gravity microparticles are accommodated in the inner space A receiving container; The upper surface of the container is vertically penetrated and inserted into the inner space of the container to introduce the gas for particle transport into the internal space of the container, and the gas for particle transport is installed on the pipeline at a predetermined flow rate and speed. A gas inlet pipe having an MFC to be introduced into the inner space of the accommodation container; A particle suction tube which vertically penetrates the upper surface of the container and is inserted into the inner space of the container to discharge the micro particles dispersed in the particle transfer gas, and is installed in parallel with the gas inlet pipe; A vibration generator connected to the accommodation container to vibrate the accommodation container; The receiving container and the vibration generator in contact with both sides so that the vibration generated from the vibration generator is transmitted to the receiving container, and is installed to surround the upper outer surface of the receiving container is sealed the upper surface of the receiving container (sealing) And while the gas inlet pipe and the particle suction pipe is fixed to the upper surface of the receiving container, and made of a resin material forming a block of a predetermined shape made of a vibration transmission block to prevent noise caused by vibration and fatigue of the receiving container; An amplitude that is connected to the vibration generator to adjust the separation distance between the vibration generator and the accommodation vessel to adjust the amplitude of the vibration transmitted to the accommodation vessel while controlling the strength of the vibration transmission block in contact with the accommodation vessel. An adjusting step motor; A piston that is slidably inserted into an open lower portion of the accommodation container formed of a cylindrical tube to seal the lower portion of the inner space of the accommodation container, and is coupled to the piston to vertically move the piston in the inner space of the accommodation container. And a pusher rod for forward and backward movement, and a piston step motor for operating the pushing rod to operate the pushing rod in pulse units, and the piston moves forward and backward in an up and down direction in the inner space of the container. Piston module to reduce or expand the internal space while; The micro particles are discharged to the outside through the particle suction pipe by receiving the required amount of the supplied micro particles and the physical properties of the micro particles, and the particles are introduced into the inner space of the container by controlling the MFC. Adjust the flow rate of the gas for delivery, control the amplitude control step motor to adjust the amplitude of the vibration transmitted to the accommodation container, control the piston step motor to adjust the rate of reduction of the inner space of the accommodation container Including the control mechanism, the microparticles received in the inner space of the container while the particle transport gas is introduced into the internal space of the receiving container vibrating at a predetermined amplitude by the vibration generator at a predetermined flow rate through the gas inlet pipe Particles are dispersed in the particle transport gas, By Stone module as scaled in proportion inner space it is defined in the container characterized in that said micro-particles are dispersed in ipjayi songyong gas as discharged from the amount determined from the particle-introducing tube.

본 발명에 의한 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치에 의하면, 액체나 기체 상태의 마이크로입자와 달리 미소 정량 공급이 어려웠던 고체상태의 마이크로입자의 미소 정량 공급이 가능해지게 되어, 마이크로단위의 입자를 실험대상으로 하는 연구소나 실험실에서 정확하고 정밀한 실험을 수행할 수 있게 되며, 제약산업분야에서도 마이크로단위의 각종 약제의 분석과 배합이 정확하고 정밀 하게 이루어지게 되는 효과가 있다. 또한, 이와 같은 마이크로입자의 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지는 효과도 동시에 가지게 된다.According to the microparticle microquantification supply method and its supply apparatus according to the present invention, unlike the liquid or gaseous microparticles, it is possible to supply microquantitative supply of the microparticles in the solid state, which was difficult to supply microquantitatively. It is possible to perform accurate and precise experiments in the laboratory or laboratory to be tested, and in the pharmaceutical industry, there is an effect of accurately and precisely analyzing and combining various drugs in micro units. In addition, the micro quantitative supply of such micro particles is also stable and smooth at the same time have the effect.

본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 연구활동이 이루어지는 실험실에서 마이크로단위의 입자에 대한 실험을 하게 되거나 제약산업분야에서 마이크로단위의 각종 약제 분석 및 배합시 요구되는 미소량의 마이크로입자 공급을 정확하고 정밀하게 수행할 수 있도록 한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 고체상태의 마이크로입자에 적용되는 것이다. 이를 위한 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 수용하는 수용용기를 정해진 진폭으로 진동시키고, 수용용기 내부로 입자이송용 기체를 정해진 유량으로 유입시키면서 수용용기에 수용되는 마이크로입자가 수용용기 내부로 유입되는 입자이송용 기체에 균일하게 분산되도록 하고, 수용용기의 내부공간을 정해진 비율로 축소시키면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 정해진 양만큼 입자 흡입관을 통해 외부로 공급될 수 있도록 하는 것을 기술적 특징으로 한다.Micro-quantity micro-quantity supply method and its supply apparatus according to the present invention is to perform the experiment on the micro-particles in the laboratory in which the research activities are carried out or micro-particles of the micro-required amount when analyzing and combining various pharmaceutical units in the pharmaceutical industry It is to enable accurate and precise particle feeding. In particular, the microparticle micro-quantity supply method and the supply apparatus thereof according to the present invention are applied to the microparticles in the solid state. The micro-particle micro-quantity supply method and its supply apparatus according to the present invention for vibrating the container accommodated by the microparticles with a predetermined amplitude, and the microparticles accommodated in the container while introducing the gas for particle transport into the container at a predetermined flow rate The particles are uniformly dispersed in the particle transport gas introduced into the container, and the microparticles dispersed in the particle transport gas can be supplied to the outside through the particle suction tube while reducing the internal space of the container at a predetermined ratio. It is a technical feature to make.

또한, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되어 수용용기와 함께 진동하게 되는 입자 흡입관을 통해 외부로 배출됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 입자 흡입관과 같은 이송관로 상에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되도록 하는 것을 기술적 특징으로 한다.In addition, the micro-particle micro-quantity supply method and its supply apparatus according to the present invention is the micro-particles are discharged to the outside through the particle suction tube which is dispersed in the particle transport gas and vibrates with the receiving vessel, the microparticles by the electrostatic charging The technical feature is to prevent the phenomenon of closing the conduit is attached to the transfer pipe, such as the suction pipe.

본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법은 마이크로입자가 목적하는 장소에 정해진 미소량만큼 공급되도록 하기 위한 것으로, 먼저 일정량의 마이크로입자가 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 일정부피만큼 수용되도록 한다. 이와 같이 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정부피만큼 수용된 마이크로입자로부터 목적하는 장소에 미소량의 마이크로입자를 공급하게 되는 것이다.The micro particle micro quantitative supply method according to the present invention is to ensure that the micro particles are supplied by a predetermined amount in a desired place, first a certain amount of micro particles are accommodated by a predetermined volume into the inner space 12 of the receiving container 10. Be sure to As such, the microparticles are supplied to the desired place from the microparticles accommodated in the interior space 12 of the container 10 by a predetermined volume.

다음으로, 정해진 유량으로 유동하는 입자이송용 기체가 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되도록 하는데, 반응성이 낮은 안정화된 기체가 입자이송용 기체로 사용되는 것이 바람직하다. 이와 같은 입자이송용 기체의 유입과 함께, 마이크로입자가 일정량 수용된 수용용기(10)를 정해진 진폭으로 진동시키게 되는데, 이와 같은 수용용기(10)의 진동에 따라 수용용기(10)의 내부공간(12)에 수용된 마이크로입자는 수용용기(10)에 유입된 입자이송용 기체에 분산되어 부유하게 된다. 여기서, 수용용기(10)의 진동은 규칙적으로 반복됨에 따라 일정시간이 지나면 마이크로입자는 입자이송용 기체에 균일하게 분산된다. 한편 상기와 같은 수용용기(10)의 진동은 수용용기(10)내에 벌크(bulk)상태로 집적된 입자들의 결합을 와해시켜 마이크로입자를 부유시키는 기능을 동시에 수행하게 된다. 즉 벌크상태로 집적된 입자는 자체 중량에 의해 부유하게 되지 못함에 따라 마이크로입자만 부유되어 외부로 배출되는 것이다.Next, the particle transfer gas flowing at a predetermined flow rate is introduced into the inner space 12 of the accommodation container 10, it is preferable that a stabilized gas with low reactivity is used as the particle transfer gas. With the inflow of the gas for particle transport, the microparticles are caused to vibrate the receiving container 10 accommodated in a predetermined amplitude, the internal space 12 of the receiving container 10 in accordance with the vibration of the receiving container (10). The microparticles contained in are dispersed in the gas for particle transport introduced into the container 10 to be suspended. Here, as the vibration of the receiving container 10 is regularly repeated, after a predetermined time, the microparticles are uniformly dispersed in the gas for particle transport. On the other hand, the vibration of the container 10 as described above to perform the function of floating the microparticles by breaking the combination of particles integrated in the bulk (bulk) state in the container 10. That is, the particles accumulated in the bulk state is not suspended by its own weight, so only the microparticles are suspended and discharged to the outside.

마지막으로, 상기와 같이 입자이송용 기체에 균일하게 분산된 마이크로입자를 외부로 정량 배출시키게 되는데, 본 발명에 따른 수용용기(10)는 축소와 확장이 가능한 구조로 이루어져 수용용기(10)의 내부공간(12)이 정해진 비율로 축소되면서 마이크로입자가 분산된 입자이송용 기체가 수용용기(10)의 내부공간(12)과 연통된 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 양만큼 배출되도록 하게 된다.Finally, the microparticles uniformly dispersed in the particle transport gas as described above is discharged to the outside, the receiving container 10 according to the present invention is made of a structure capable of shrinking and expanding the inner space of the receiving container 10 As the number 12 is reduced at a predetermined ratio, the particle transport gas in which the microparticles are dispersed is discharged by a predetermined amount through the particle suction pipe 40 communicating with the internal space 12 of the accommodation container 10.

여기서, 마이크로입자의 종류에 따라 마이크로입자의 크기, 밀도와 같은 물성치가 달라지게 되므로, 정해진 미소량만큼 마이크로입자를 안정되게 외부로 공급하기 위해서는 마이크로입자의 물성치에 맞추어 수용용기(10)의 진동 진폭과 입자이송용 기체의 유량 및, 수용용기의 내부공간이 축소되는 비율을 조절할 필요가 있다. 또한, 정해진 마이크로입자에 대하여 요구되는 미소 공급량의 크기가 달라질 경우에는 수용용기(10)의 진동 진폭과 입자이송용 기체의 유량 및, 수용용기(10)의 내부공간이 축소되는 비율을 조절할 필요가 있다.Here, since the physical properties such as the size and density of the microparticles vary depending on the type of microparticles, in order to supply the microparticles to the outside by a predetermined amount in a stable manner, the vibration amplitude of the accommodating container 10 according to the physical properties of the microparticles. It is necessary to adjust the flow rate of the gas for particle transport and the rate at which the inner space of the container is reduced. In addition, when the size of the micro-feed amount required for the predetermined microparticles is changed, it is necessary to adjust the vibration amplitude of the accommodation container 10, the flow rate of the particle transfer gas, and the rate at which the internal space of the accommodation container 10 is reduced. .

이에 따라 본 발명에 따른 마이크로입자 미세 공급방법은 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량과 선택된 마이크로입자의 물성치에 따라 수용용기(10)의 진동 진폭과 입자이송용 기체의 유량 및, 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 제어하도록 하여, 선택된 마이크로입자에 대해 요구되는 미소 공급량이 정확하고 정밀하게 유지되면서 마이크로입자의 공급이 이루어질 수 있도록 한다.Accordingly, the microparticle fine feeding method according to the present invention has the vibration amplitude of the container 10 and the flow rate of the particle transfer gas, and the interior of the container 10 according to the required micro-feed amount of the microparticles and the properties of the selected microparticles. By controlling the rate at which the space 12 is reduced, the microparticles can be supplied while maintaining the precise and precise amount of microfeeds required for the selected microparticles.

상기와 같은 마이크로입자의 미소 정량 공급을 구현하기 위한 본 발명에 따 른 마이크로입자 미소 정량 공급장치(100)는 도 1에서와 같이 수용용기(10), 기체 유입관(20), 입자 흡입관(40), 진동기구(60), 입자배출용 액추에이터(70), 제어기구(80)를 포함하는 구성으로 이루어진다. Micro-particle micro-quantity supply device 100 according to the present invention for implementing a micro-quantity supply of the micro-particles as described above is as shown in Figure 1 containing a container 10, gas inlet tube 20, particle suction tube 40 ), A vibrating mechanism 60, a particle discharging actuator 70, and a control mechanism 80.

수용용기(10)는 마이크로입자와 외부로부터 공급되는 입자이송용 기체가 수용되는 것으로, 축소와 확장이 가능한 내부공간(12)이 형성되어 있다. 이와 같은 내부공간(12)의 축소와 확장은 마이크로입자를 외부로 미소량 공급하기 위한 구성으로서, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치(100)는 마이크로입자의 정량 공급이 목적이므로, 수축성이 있는 재질로 내부공간(12)을 구성하기보다 내부공간(12)의 일측이 개방되도록 하고, 개방된 내부공간(12)의 일측으로 슬라이딩이 가능한 별도의 독립적인 장치를 삽입하여 개방된 내부공간(12)의 일측을 밀폐시키면서 내부공간(12)의 부피가 조절될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 이는 수용용기(10)에 수용되는 마이크로입자의 물성치와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 정확하고 정밀하게 마이크로입자를 외부로 배출시키기 위함이다.The accommodation container 10 is to accommodate the microparticles and the particle transport gas supplied from the outside, the inner space 12 that can be reduced and expanded is formed. Such reduction and expansion of the internal space 12 is a configuration for supplying a small amount of microparticles to the outside, the microparticle micrometer supply device 100 according to the present invention is intended to provide a fixed amount of microparticles, Rather than constituting the interior space 12 with a material that is open, one side of the interior space 12 is opened, and an internal device opened by inserting a separate independent device that can be slid to one side of the open interior space 12 ( It is preferable to control the volume of the inner space 12 while closing one side of 12). This is to discharge the microparticles to the outside accurately and precisely in accordance with the physical properties of the microparticles accommodated in the container 10 and the micro-feed amount required of the microparticles.

기체 유입관(20)은 수용용기의 내부공간으로 삽입되어 입자이송용 기체를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입시키게 되는 관으로, 이와 같은 기체 유입관(20)의 관로 상에는 MFC(Mass Flow Controller)(30)가 설치되어 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되도록 하게 된다. 상기와 같이 MFC(30)가 설치됨에 따라 수용용기(10)에 수용되는 마이크로입자의 물성치 와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 입자이송용 기체를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입시킬 수 있게 된다.The gas inlet pipe 20 is inserted into the inner space of the container to introduce the gas for particle transport into the inner space 12 of the container 10, MFC ( Mass Flow Controller 30 is installed to allow the particle transport gas to flow into the inner space 12 of the accommodation container 10 at a predetermined flow rate. As the MFC 30 is installed as described above, the particle transport gas is introduced into the inner space 12 of the accommodation container 10 in accordance with the properties of the microparticles contained in the accommodation container 10 and the required amount of microparticles supplied. You can do it.

한편, 기체 유입관(20)은 장소적 제약에 적응할 수 있도록 고무와 같이 유연성을 가진 소재로 이루어지는 보조튜브(22)가 연결되어 사용될 수 있다.On the other hand, the gas inlet pipe 20 may be used to be connected to the auxiliary tube 22 made of a flexible material such as rubber to adapt to the location constraints.

입자 흡입관(40)은 수용용기(10)의 내부공간(12)에 삽입되어 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자를 배출시키게 되는 관으로, 이와 같은 입자 흡입관(40)은 마이크로입자의 미소 정량 공급이 요구되는 곳까지 곧바로 연결되거나, 이와 달리 별도의 이송관(50)이 입자 흡입관(40)과 결합되어 마이크로입자의 미소 정량 공급을 요구하는 곳에 연결되도록 할 수도 있다.The particle suction tube 40 is inserted into the inner space 12 of the container 10 to discharge the microparticles dispersed in the gas for particle transport. Such a particle suction tube 40 is a micro-quantity supply of microparticles It may be directly connected to the required place, or alternatively, a separate transfer pipe 50 may be combined with the particle suction pipe 40 to be connected to a place requiring micro-quantity supply of microparticles.

상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)은 마이크로입자의 미소량 공급을 위해 사용되는 것임에 따라 모세관이 사용되도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)의 끝단이 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정부피로 수용되어 적층되어 있는 마이크로입자 표면층과 직접 접촉하지 않도록 하는 것이 중요한데, 이를 위하여 상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)은 수용용기(10)의 내부공간(12)에 정해진 길이만큼만 삽입되도록 하는 한편, 수용용기(10)의 내부공간(12)에 수용되어 적층된 마이크로입자 표면층이 상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)의 끝단에서 일정거리 이격될 수 있는 양만큼만 마이크로입자를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 공급하도록 한다.The gas inlet tube 20 and the particle suction tube 40 is preferably used to supply a small amount of microparticles, so that the capillary tube is preferably used. In addition, it is important that the ends of the gas inlet pipe 20 and the particle suction pipe 40 are not directly in contact with the surface layer of the microparticles which are accommodated in a predetermined volume in the inner space 12 of the container 10 and stacked. For this purpose, the gas inlet pipe 20 and the particle suction pipe 40 is inserted into the inner space 12 of the receiving container 10 by a predetermined length, while the inner space 12 of the receiving container 10 To supply the microparticles to the inner space 12 of the receiving container 10 by the amount of the microparticle surface layer accommodated and stacked can be spaced a predetermined distance from the ends of the gas inlet pipe 20 and the particle suction pipe 40 described above. do.

또한, 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)은 이격거리를 최소화하여 수직으로 평행하게 설치되는 것이 바람직하다. 기체 유입관(20)을 통해 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되는 입자이송용 기체가 유동방향 상에 있는 마이크로입자와 충돌하게 되면 마이크로입자가 입자이송용 기체의 유동방향 인근에서 부유하게 되는데, 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 서로 근접되어 있음에 따라 상기와 같이 부유하게 되는 마이크로입자가 입자 흡입관(40)으로 곧바로 유도되는 효과가 발생한다. In addition, the gas inlet pipe 20 and the particle intake pipe 40 is preferably installed in parallel to the vertical to minimize the separation distance. When the particle transporting gas introduced into the internal space 12 of the receiving container 10 through the gas inlet tube 20 collides with the microparticles in the flow direction, the microparticles are suspended in the vicinity of the flow direction of the particle transporting gas. As the gas inlet pipe 20 and the particle suction pipe 40 are close to each other, the microparticles that are suspended as described above are directly induced to the particle suction pipe 40.

진동기구(60)는 수용용기(10)와 연동되어 수용용기(10)를 진동시키기 위한 것으로, 정해진 진폭을 가진 진동을 발생시켜 수용용기(10)에 전달하게 된다. 여기서, 진동기구(60)는 진동 주파수를 고정시킨 상태에서 진동 진폭을 조절하게 되는데, 이는 수용용기(10)에 수용된 마이크로입자의 물성치와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되는 속도와 분산되는 양을 조절하기 위함이다.The vibrating mechanism 60 is to vibrate the accommodation container 10 in cooperation with the accommodation container 10, and generates a vibration having a predetermined amplitude and transmits the vibration to the accommodation container 10. Here, the vibration mechanism 60 is to adjust the vibration amplitude in a state in which the vibration frequency is fixed, which is the microparticles according to the physical properties of the microparticles contained in the container 10 and the micro-feed amount of the required microparticles is the particle transfer gas This is to control the speed and amount of dispersion.

입자배출용 액추에이터(70)는 수용용기(10)의 내부공간(12)에 위치되어 내부공간(12)을 축소시키게 되는 것으로, 수용용기(10)의 내부공간(12)은 밀폐된 상태에서 마이크로입자와 입자이송용 기체로 채워져 있음에 따라, 입자배출용 액추에이터에 의해 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되게 되면, 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되는 것이 다. 이와 같은 입자배출용 액추에이터(70)는 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 정확하고 정밀하게 조절할 수 있는 구성으로 이루어지도록 한다. 이를 위한 입자배출용 액추에이터(70)의 구성은 다양할 수 있는데, 수용용기(10)는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어지도록 하고, 입자배출용 액추에이터(70)는 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 삽입되어 상하방향으로 전후진운동하게되는 피스톤모듈(70')로 이루어지도록 하여, 피스톤모듈(70')의 전후진운동에 따라 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되고 확장되는 구성도 가능하다. 이와 같은 피스톤모듈(70')은 전후진운동하는 속도를 조절함으로써 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 정확하고 정밀하게 조절하게 되는 것이다. The particle discharge actuator 70 is located in the interior space 12 of the accommodation container 10 to reduce the interior space 12, and the interior space 12 of the accommodation container 10 is closed in a micro state. As the particles and the particle transfer gas are filled, when the inner space 12 of the accommodation container 10 is reduced by the particle discharge actuator, the microparticles dispersed in the particle transfer gas are defined through the particle suction pipe 40. The amount is discharged to the outside. Such a particle discharge actuator 70 is to be made of a configuration that can accurately and precisely control the rate at which the inner space 12 of the receiving container 10 is reduced. The configuration of the particle discharge actuator 70 for this may vary, the receiving container 10 is to be made of a cylindrical tube having an inner space in the vertical direction, the particle discharge actuator 70 is a receiving container (10) The inner space of the receiving container 10 in accordance with the forward and backward movement of the piston module 70 'by inserting into the inner space 12 of the piston module 70' to be moved forward and backward in the vertical direction. 12) it is also possible to reduce and expand the configuration. Such a piston module 70 'is to adjust the speed of the forward and backward movement to accurately and precisely control the rate at which the inner space 12 of the receiving container 10 is reduced.

제어기구(80)는 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 미소량만큼 정확하게 외부로 공급되도록 하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 사용자에 의해 선택된 마이크로입자의 물성치와 사용자에 의해 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 따라, 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되는 입자이송용 기체의 유량, 진동기구(60)가 발생시키는 진동의 진폭, 입자배출용 액추에이터(70)가 내부공간(12)을 축소시키는 비율을 제어하게 된다.The control mechanism 80 is to ensure that the microparticles dispersed in the gas for particle transport are accurately supplied to the outside by a predetermined amount of microparticles through the particle suction pipe 40, and is selected by the user of the microparticle micrometer supply device according to the present invention. According to the physical properties of the microparticles and the micro-feed amount of the microparticles required by the user, the flow rate of the gas for particle transfer flowing into the inner space 12 of the container 10, the amplitude of vibration generated by the vibration mechanism 60, The particle discharge actuator 70 controls the rate at which the inner space 12 is reduced.

이와 같은 본 발명에 따른 미세입자 미소 정량 공급장치(100)는 진동기구(60)에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 기체 유입관(20)을 통해 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 수용용기(10)의 내부공간(12)에 수용된 마이크로입자가 입자이송용 기체로 분산되고, 입자배출용 액추에이터(70)에 의해 수용용기(10)의 내부공간(12)이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되게 된다.Such fine particle micro-quantity supply device 100 according to the present invention is for transporting particles through the gas inlet pipe 20 to the inner space 12 of the receiving container 10 vibrating at a predetermined amplitude by the vibration mechanism 60 As the gas is introduced at a predetermined flow rate, the microparticles contained in the internal space 12 of the accommodation container 10 are dispersed into the gas for transporting particles, and the internal space 12 of the accommodation container 10 by the particle discharge actuator 70. The microparticles dispersed in the gas for particle transport while being reduced at a predetermined ratio are discharged to the outside by a predetermined amount through the particle suction pipe 40.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세입자 정량 공급장치를 첨부된 도면 도 2와 도 3에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a fine particle quantitative supply apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to Figures 2 and 3 attached.

본 발명의 바람직한 실시에에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치(100)는 도 2에서와 같이 수용용기(10), 기체 유입관(20), 입자 흡입관(40), 진동발생기(62), 진동전달블록(64), 진폭조절용 스텝모터(66), 피스톤모듈(70'), 제어기구(80)를 포함하여 이루어진다.Micro-particle micro-quantity supply device 100 according to a preferred embodiment of the present invention, as shown in Figure 2 receiving vessel 10, gas inlet tube 20, particle suction tube 40, vibration generator 62, vibration transmission Block 64, the amplitude adjustment step motor 66, the piston module 70 ', and the control mechanism 80 is made.

수용용기(10)는 중력방향과 일치하는 상하방향으로 축소와 확장이 가능한 내부공간(12)을 가지는 실린더형 관체로 이루어진 것으로, 마이크로입자가 내부공간에 정해진 높이까지 수용된다. 이와 같은 수용용기(10)는 내부공간(12)과 연통되는 하부가 개방되어 피스톤모듈(70')이 설치되도록 하고, 수용용기의 상부면(14)에는 내부공간(12)과 연통되는 한쌍의 통공이 형성되어 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 통공을 통해 내부공간(12)으로 삽입되도록 한다.The container 10 is made of a cylindrical tube having an inner space 12 that can be reduced and expanded in the vertical direction corresponding to the gravity direction, and the microparticles are accommodated up to a predetermined height in the inner space. The receiving container 10 has a lower portion communicating with the inner space 12 so that the piston module 70 'is installed, and the upper surface 14 of the containing container has a pair of communicating with the inner space 12. A through hole is formed to allow the gas inlet pipe 20 and the particle suction pipe 40 to be inserted into the inner space 12 through the through hole.

이와 같은 수용용기(10)는 진동발생기(62)에 의해 진동을 전달받게 됨에 따라 반복되는 진동에 견딜 수 있는 높은 강도를 가진 소재로 제조되는 것이 바람직하다.Such a container 10 is preferably made of a material having a high strength that can withstand repeated vibrations as the vibration is transmitted by the vibration generator (62).

기체 유입관(20)은 수용용기(10)의 상부면(14)을 수직으로 관통하여 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정길이만큼 삽입되는 것으로, 도 3의 (a)에서와 같이 입자이송용 기체를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입시키게 된다. 여기서 입자이송용 기체로는 반응성이 낮은 안정화된 기체를 사용하게 되는데, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 질소기체가 사용된다.The gas inlet pipe 20 penetrates vertically through the upper surface 14 of the accommodation container 10 and is inserted into the inner space 12 of the accommodation container 10 by a predetermined length, as shown in FIG. As described above, the gas for particle transfer is introduced into the inner space 12 of the accommodation container 10. In this case, the gas for particle transfer is a stabilized gas having low reactivity. In a preferred embodiment of the present invention, a nitrogen gas is used.

이와 같은 기체 유입관(20)의 관로 상에는 MFC(30)가 설치되는데, MFC(30)는 입자수용용기(10)의 내부공간으로 유입되는 이송용 기체의 유량을 제어하게 된다. The MFC 30 is installed on the pipeline of the gas inlet pipe 20, and the MFC 30 controls the flow rate of the gas for transport flowing into the inner space of the particle container 10.

입자 흡입관(40)은 기체 유입관(20)과 마찬가지로 수용용기(10)의 상부면(14)을 수직으로 관통하여 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정길이만큼 삽입되는 것으로, 도 3의 (b)에서와 같이 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자를 배출시키게 된다. 이와 같은 입자 흡입관(40)은 수용용기(10)의 외부에서 이송관(50)과 연결되는데, 이송관(50)은 입자 흡입관(40)을 통해 수용용기(10)의 내부공간(12)으로부터 배출되는 마이크로입자를 정해진 곳까지 공급하기 위한 관이다. 여기서, 이송관(50)은 고무와 같이 탄성변형이 가능하고, 유연성을 가진 수지 재질의 모세관 형 튜브(tube)로 이루어진다.The particle suction pipe 40 is inserted into the inner space 12 of the accommodation container 10 by a predetermined length through the upper surface 14 of the accommodation container 10 similarly to the gas inlet pipe 20. As in (b) of 3, the microparticles dispersed in the particle transport gas are discharged. The particle suction tube 40 is connected to the transfer tube 50 at the outside of the receiving container 10, the transfer tube 50 from the inner space 12 of the receiving container 10 through the particle suction tube (40) It is a tube for supplying the discharged microparticles to the designated place. Here, the transfer tube 50 is elastically deformable, such as rubber, made of a flexible capillary tube (tube) of a resin material.

공급장치(100)의 오동작이나 사용자의 조작실수로 이송관(50)의 관로가 마이크로입자에 의해 막히게 되면, 이송관(50)을 입자 흡입관(40)에서 분리하여 이송관(50)의 내부로 고압공기를 주입하면서 마이크로입자를 이송관(50)의 관로로부터 제거하게 되는데, 상기와 같이 이송관(50)이 탄성과 유연성을 가짐에 따라 이송관(50)이 신축되면서 마이크로입자가 용이하게 제거되게 된다. If the pipe of the transfer pipe 50 is blocked by the microparticles due to a malfunction of the supply device 100 or a user's operation error, the transfer pipe 50 is separated from the particle suction pipe 40 to the inside of the transfer pipe 50. While injecting high pressure air, the microparticles are removed from the pipeline of the transfer tube 50. As the transfer tube 50 has elasticity and flexibility as described above, the microparticles are easily removed while the transfer tube 50 is stretched. Will be.

여기서, 입자 흡입관(40)은 수용용기(10)에 고정설치됨에 따라, 입자 흡입관(40)과 이송관(50)은 수용용기(10)가 진동하게 될 시 수용용기(10)의 진동을 전달받아 진동하게 되는데, 이에 따라 입자 흡입관(40)과 이송관(50)으로 유입되어 이송되는 마이크로입자가 관로 상에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되게 된다.Here, the particle suction pipe 40 is fixed to the receiving container 10, so that the particle suction pipe 40 and the transfer pipe 50 transmits the vibration of the receiving container 10 when the receiving container 10 is vibrated. It receives and vibrates, whereby the particle suction pipe 40 and the micro-particles flowing into the transport pipe 50 is attached to the pipeline to prevent the phenomenon of closing the pipeline.

상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기체 유입관과 입자 흡입관(40)은 스테인레스강 재질로 이루어진 모세관으로 이루어지고, 서로 평행하게 설치된다.The gas inlet pipe and the particle intake pipe 40 according to the preferred embodiment of the present invention as described above is made of a capillary tube made of stainless steel, and are installed in parallel with each other.

진동발생기(62), 진동전달블록(64), 진폭조절용 스텝모터(66)는 진동기구(60)를 구성하는 요소들로서, 진동발생기(62)는 수용용기(10)와 연결되어 수용용기(10)를 진동시키게 되는 것이다. 이와 같은 진동발생기(62)는 정해진 주파수와 진폭을 가진 진동을 발생시키는데, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입 자 미소 정량 공급장치(100)에서는 진동 주파수를 고정시킨 상태에서 진동 진폭의 크기를 조절하여 수용용기(10)의 진동을 제어하게 된다. The vibration generator 62, the vibration transmission block 64, and the amplitude adjusting step motor 66 are elements constituting the vibration mechanism 60, and the vibration generator 62 is connected to the accommodation container 10 to accommodate the accommodation container 10. ) Is to vibrate. Such a vibration generator 62 generates a vibration having a predetermined frequency and amplitude, in the micro-particle micro-quantity supply device 100 according to a preferred embodiment of the present invention to determine the magnitude of the vibration amplitude in a fixed vibration frequency By controlling the vibration of the accommodation container (10).

이와 같은 진동발생기(62)는 진동전달블록(64)을 매개로 수용용기(10)와 연결된다.Such a vibration generator 62 is connected to the receiving container 10 via the vibration transmission block (64).

진동전달블록(64)은 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어지는 것으로, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동전달블록(64)은 우레탄수지나 고무소재로 이루어진다. 이와 같은 진동전달블록(64)은 진동발생기(62)와 수용용기(10) 양측에 접촉되어 진동발생기(62)로부터 발생되는 진동을 수용용기(10)으로 전달하게 되는데, 상기와 같은 우레탄수지나 고무소재로 이루어짐에 따라 진동을 수용용기(10)로 전달하면서 수용용기(10)의 진동을 감쇠시키는 작용도 동시에 수행하여 반복되는 진동에 의한 수용용기(10)의 피로파괴를 방지하게 된다. 이와 더불어 진동에 의한 소음도 방지하게 된다. 한편, 진동전달블록(64)은 수용용기(10)의 상측 외부면을 감싸도록 설치되는데, 이에 따라 통공이 형성되어 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 관통하게 되는 수용용기(10)의 상부면(14)이 실링(sealing)되어 마이크로입자나 입자이송용 기체가 외부로 누출되는 것이 방지되고, 수용용기(10)의 상부면(14)에 수직으로 설치되는 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 진동전달블록(64)에 의해 안정되고 고정지지되게 된다.The vibration transmission block 64 is made of a resin material forming a block of a predetermined shape, the vibration transmission block 64 according to a preferred embodiment of the present invention is made of a urethane resin or rubber material. The vibration transmission block 64 is in contact with both sides of the vibration generator 62 and the receiving container 10 to transfer the vibration generated from the vibration generator 62 to the receiving container 10, such as urethane resin As the rubber material is made, the vibration is transmitted to the accommodation container 10 while simultaneously attenuating the vibration of the storage container 10, thereby preventing fatigue destruction of the accommodation container 10 due to repeated vibrations. In addition, the noise caused by vibration is also prevented. On the other hand, the vibration transmission block 64 is installed to surround the upper outer surface of the receiving container 10, the through-hole is formed according to the receiving container 10 through which the gas inlet pipe 20 and the particle suction pipe 40 penetrates The upper surface 14 of the () is sealed (sealing) to prevent leakage of the microparticles or the particle transport gas to the outside, the gas inlet pipe 20 is installed perpendicular to the upper surface 14 of the receiving container (10) And the particle suction pipe 40 is to be stabilized and fixed by the vibration transmission block (64).

여기서, 진동발생기(62)와 진동전달블록(64) 및 수용용기(10)는 서로 밀착되 게 결합되어 일체를 이루게 된다.Here, the vibration generator 62 and the vibration transmission block 64 and the receiving container 10 is in close contact with each other to form an integral.

진폭조절용 스텝모터(66)는 진동발생기(62)와 연결되어 진동발생기(62)와 수용용기(10) 사이의 이격거리를 조절하는 것으로, 이를 위하여 진폭조절용 스텝모터(66)는 진동발생기(62)를 수용용기(10)가 설치된 방향으로 이동시키게 되는데, 이와 같은 수용용기(10)가 설치되는 방향으로 진동발생기(62)가 이동하면서 진동전달블록(64)이 수용용기(10)와 접촉하게 되는 강도가 조절되어 수용용기(10)로 전달되는 진동의 진폭이 조절되게 된다. 이와 같은 진동의 진폭 조절은 수용용기(10)에 수용된 마이크로입자의 물성치와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되는 속도와 분산되는 양을 조절하기 위함이다.The amplitude adjustment step motor 66 is connected to the vibration generator 62 to adjust the separation distance between the vibration generator 62 and the accommodation container 10, for this purpose, the amplitude adjustment step motor 66 is a vibration generator 62 ) Is moved in the direction in which the accommodating container 10 is installed, while the vibration generator 62 moves in the direction in which the accommodating container 10 is installed, so that the vibration transmitting block 64 contacts the accommodating container 10. The intensity of the vibration is transmitted to the receiving container 10 is adjusted to be adjusted. The amplitude control of the vibration is to adjust the speed and the amount of dispersion of the microparticles in the gas for particle transport according to the physical properties of the microparticles contained in the container 10 and the micro-feed amount required of the microparticles.

피스톤모듈(70')은 입자배출용 액추에이터(70)를 구성하는 것으로, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 피스톤모듈(70')은 피스톤(72), 푸싱 로드(74), 피스톤용 스텝모터(76)로 이루어진다.The piston module 70 'constitutes a particle discharging actuator 70. The piston module 70' according to the preferred embodiment of the present invention includes a piston 72, a pushing rod 74, and a piston step motor ( 76).

피스톤(72)은 실린더형 관체로 이루어진 수용용기(10)의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되는 것으로, 수용용기(10)의 개방된 하부를 밀폐시키면서 수용용기(10)의 내부공간을 축소시키거나 확장시키게 된다.The piston 72 is slidably inserted into the open lower portion of the receiving container 10 made of a cylindrical tube, thereby reducing the internal space of the receiving container 10 while closing the open lower portion of the receiving container 10. Or extended.

푸싱 로드(74)는 피스톤(72)과 결합되어 피스톤(72)이 수용용기(10)의 내부공간(12)에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 것이다.The pushing rod 74 is coupled to the piston 72 so that the piston 72 moves forward and backward in the up and down direction in the inner space 12 of the accommodation container 10.

피스톤용 스텝모터(76)는 푸싱 로드(74)를 작동시키기 위한 것으로, 이와 같은 피스톤용 스텝모터(76)는 펄스단위로 푸싱 로드(74)를 작동시켜 피스톤(72)의 전후진운동에 따라 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되고 확장되는 비율을 정확하고 정밀하게 조절하게 된다.The piston step motor 76 is for operating the pushing rod 74. The piston step motor 76 operates the pushing rod 74 in a pulse unit so that the piston 72 moves forward and backward. The rate at which the inner space 12 of the accommodation container 10 is reduced and expanded is adjusted precisely and precisely.

제어기구(80)는 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 장소에 미소 정량 공급되도록 하기 위해 공급장치(100)의 작동을 제어하게 되는 것으로, 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량과 마이크로입자의 종류(또는 마이크로입자의 종류에 따른 물성치)를 사용자로부터 입력받아 기체 유입관(20)에 설치되는 MFC(30)와, 진동기구(60)를 이루는 진폭조절용 스텝모터(66) 및, 입자배출용 액추에이터(70)를 이루는 피스톤용 스텝모터(76)의 작동을 제어하게 된다.The control mechanism 80 is to control the operation of the supply device 100 in order to ensure that the micro particles are quantitatively supplied to the predetermined place through the particle suction pipe 40, the micro supply amount of the required micro particles and the type of micro particles (Or physical properties according to the type of microparticles) from the user MFC 30 is installed in the gas inlet pipe 20, the amplitude adjustment step motor 66 constituting the vibration mechanism 60, and the particle discharge actuator The operation of the piston step motor 76 constituting (70) is controlled.

이와 같은 제어기구(80)는 MFC(30)를 제어하여 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되는 입자이송용 기체의 유량을 조절하게 되고, 진폭조절용 스텝모터(66)를 제어하여 수용용기(10)로 전달되는 진동의 진폭을 조절하게 되며, 피스톤용 스텝모터(76)를 제어하여 피스톤(72)의 전진속도를 조절하면서 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 조절하게 된다.Such a control mechanism 80 controls the MFC 30 to adjust the flow rate of the particle transfer gas flowing into the internal space 12 of the accommodation container 10, and to control the amplitude adjustment step motor 66 to accommodate The amplitude of the vibration transmitted to the container 10 is controlled, and the ratio of the inner space 12 of the accommodation container 10 is reduced while controlling the forward speed of the piston 72 by controlling the piston step motor 76. Will be adjusted.

여기서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제어기구(80)는 수용용기(10)에 설치되는 진동센서(82)를 구비하여 수용용기(10)의 실제 진폭이 검출되도록 하다. 그리고, 진동센서(82)에 의해 검출되는 수용용기(10)의 실제 진폭은 수용용기(10)에 요구되는 진폭과 비교되어 보상값을 산출하게 되는데, 이와 같이 산출되는 보상 값은 진폭조절용 스텝모터(66)로 전달되어 진동발생기(62)에서 발생되는 진동의 진폭을 조절하게 된다.Here, the control mechanism 80 according to the preferred embodiment of the present invention includes a vibration sensor 82 installed in the accommodation container 10 to detect the actual amplitude of the accommodation container 10. In addition, the actual amplitude of the accommodation container 10 detected by the vibration sensor 82 is compared with the amplitude required for the accommodation container 10 to calculate a compensation value. The compensation value thus calculated is the amplitude adjustment step motor. Transmitted to 66 to adjust the amplitude of the vibration generated in the vibration generator (62).

상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제어기구(80)는 진동센서(82)를 사용하여 수용용기(10)의 실제 진폭을 검출하여 피드백제어를 수행하게 됨에 따라, 보다 정확하고 정밀하게 수용용기(10)의 진동을 제어할 수 있게 된다.As described above, the control mechanism 80 according to the preferred embodiment of the present invention performs the feedback control by detecting the actual amplitude of the accommodation container 10 using the vibration sensor 82, thereby accommodating more accurately and precisely. The vibration of the container 10 can be controlled.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치는 수용용기(10)로 유입되는 입자이송용 기체에 마이크로입자가 분산되면서 마이크로입자의 미소 정량 공급이 수행되는 한편, 마이크로입자가 이송되는 입자 흡입관(40)과 이송관(50)이 수용용기(10)와 함께 진동하게 됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 관로 상에 부착되어 이송로를 폐쇄시키는 현상이 방지되어 마이크로입자에 대한 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지게 되는 것이다.In the micro-particle micro-quantity supply apparatus according to the preferred embodiment of the present invention configured as described above, the micro-particles are micro-dispersed in the particle transport gas flowing into the container 10 while micro-quantity supply of the micro-particles is performed, As the particle suction tube 40 and the conveying tube 50, which are transported, vibrate together with the receiving container 10, the microparticles are prevented from being attached to the conduit by electrostatic charging, thereby preventing the phenomenon of closing the conveying path. The micro-quantitative supply is stable and smooth.

상술한 바와 같은, 본 발명의 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.As described above, the micro-particle micro-quantity supply method and the supply apparatus thereof according to the embodiment of the present invention are shown in accordance with the above description and the drawings, but this is only an example and the scope does not depart from the spirit of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made therein.

도 1은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 기술적 사상을 보여주기 위한 도면;1 is a view for showing the technical spirit of the micro-particle micro-quantification supply apparatus according to the present invention;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 구성을 보여주기 위한 블록도;Figure 2 is a block diagram for showing the configuration of a micro-particle micro-quantification supply apparatus according to a preferred embodiment of the present invention;

도 3의 (a)와 (b)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 작용을 보여주기 위한 블록도Figure 3 (a) and (b) is a block diagram showing the action of the micro-particle micro-quantity supply device according to a preferred embodiment of the present invention

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 수용용기 12 : 내부공간10: container 12: interior space

14 : 상부면 20 : 기체 유입관14: upper surface 20: gas inlet pipe

22 : 보조튜브 30 : MFC22: auxiliary tube 30: MFC

40 : 입자 흡입관 50 : 이송관40: particle suction pipe 50: transfer pipe

60 : 진동기구 62 : 진동발생기60: vibration mechanism 62: vibration generator

64 : 진동전달블록 66 : 진폭조절용 스텝모터64: vibration transmission block 66: step motor for amplitude adjustment

70 : 입자배출용 액추에이터 70' : 피스톤모듈70: actuator for particle discharge 70 ': piston module

72 : 피스톤 74 : 푸싱 로드72: piston 74: pushing rod

76 : 피스톤용 스텝모터 80 : 제어기구76: piston step motor 80: control mechanism

82 : 진동센서 84 : 신호증폭기82: vibration sensor 84: signal amplifier

100 : 미소 정량 공급장치100: micro metering supply device

Claims

Receiving the microparticles in the inner space of the container;

The particle transport gas flowing at a predetermined flow rate and speed is introduced into the interior space of the container, and the container is vibrated at a predetermined amplitude so that the microparticles contained in the interior space of the container are dispersed in the particle transport gas. Making it possible;

The inner space of the container has a structure that can be reduced and expanded, and the amount of the microparticles dispersed in the gas for particle transport is determined through a particle suction tube communicating with the inner space of the container while the internal space is reduced at a predetermined ratio. By discharging as much as possible,

Microparticles micro-quantity supply method characterized in that the microparticles are supplied in a predetermined amount to a desired place.

The method of claim 1,

Wherein the container is made of a cylindrical tube having an inner space in the vertical direction to be inserted into the inner space of the receiving container by the piston module to be moved forward and backward in the vertical direction to reduce and expand the inner space of the receiving container,

And the microparticles dispersed in the gas for particle transport while the piston module moves forward at a predetermined speed so as to be supplied by a predetermined amount through the particle suction pipe.

The method according to claim 1 or 2,

According to the physical properties of the microparticles and the required amount of the microparticles supplied, the vibration amplitude of the container, the flow rate of the gas for transporting the particle, the rate of reducing the internal space is characterized in that the microparticles supply method .

An accommodation container in which an inner space that can be shrunk and expanded is formed to accommodate the microparticles and the particle transfer gas supplied from the outside;

The MFC is inserted into the inner space of the container to introduce the particle transport gas into the inner space of the container, and is installed on a pipeline to provide the particle transport gas to the internal space of the container at a predetermined flow rate. A gas inlet pipe;

A particle suction tube inserted into an inner space of the container to discharge the micro particles dispersed in the particle transfer gas;

A vibrating mechanism that vibrates the accommodation container in cooperation with the accommodation container;

An actuator for discharging particles located in the inner space of the container to reduce the inner space;

And a control mechanism for respectively controlling the flow rate of the particle transfer gas introduced into the inner space of the container, the amplitude of vibration generated by the vibration mechanism, and the rate at which the particle discharge actuator reduces the internal space.

As the particle transporting gas flows into the inner space of the receiving container vibrating at the predetermined amplitude by the vibrating mechanism at a predetermined flow rate, the microparticles accommodated in the inner space of the receiving container are transferred to the particle transporting gas. Distributed,

The micro-particle microquantitative supply, characterized in that the micro-particles dispersed in the gas for particle transport is supplied to the outside through the particle suction tube by the particle discharge actuator is reduced to a predetermined ratio. Device.

The method of claim 4, wherein

The accommodation container micro-quantity micro-quantity supply device, characterized in that consisting of a cylindrical tube having an inner space in the vertical direction corresponding to the gravity direction.

The method of claim 5,

The particle discharging actuator may include a piston slidably inserted into an open lower portion of the accommodation container formed of a cylindrical tube to seal the lower portion of the inner space of the accommodation container;

A pushing rod coupled with the piston to move the piston forward and backward in an up and down direction in the inner space of the receiving container;

Micro piston micro-quantity supply device, characterized in that the piston module is connected to the pushing rod to operate the pushing rod, including a servo drive mechanism that is controlled by the control mechanism to control the forward and backward movement of the pushing rod. .

The method of claim 4, wherein

And the gas inlet pipe and the particle suction pipe are capillary tubes respectively inserted through the upper surface of the container.

The method of claim 7, wherein

One end of the particle suction pipe is inserted into the inner space of the container, the other end of the particle suction pipe is connected to the transfer pipe from the outside of the container,

The feed tube is micro-particle micro-quantity supply device, characterized in that consisting of a capillary tube (tube) of elastic material capable of elastic deformation.

The method of claim 4, wherein

The vibrating mechanism is connected to the containing container and the vibration generator for vibrating the containing container;

The receiving container is in contact with both sides of the vibration generator so that the vibration generated from the vibration generator is transmitted to the receiving container, is installed to surround the upper outer surface of the receiving container to seal the receiving container, of a predetermined shape Micro-particle micro-quantity supply device comprising a vibration transmission block made of a resin material constituting the block to prevent noise caused by vibration and fatigue destruction of the container.

The method of claim 4, wherein

The control mechanism is provided in the container further comprises a vibration sensor for detecting the vibration amplitude of the container containing the micro-particle micro-quantity supply device characterized in that the feedback control to the vibration amplitude of the container is made.

An accommodation container in which microparticles are accommodated in the inner space, the cylindrical tube having an inner space capable of contracting and expanding in a vertical direction corresponding to the gravity direction;

The upper surface of the container is vertically penetrated and inserted into the inner space of the container to introduce the gas for particle transport into the internal space of the container, and the gas for particle transport is installed on the pipeline at a predetermined flow rate and speed. A gas inlet pipe having an MFC to be introduced into the inner space of the accommodation container;

A particle suction tube which vertically penetrates the upper surface of the container and is inserted into the inner space of the container to discharge the micro particles dispersed in the particle transfer gas, and is installed in parallel with the gas inlet pipe;

A vibration generator connected to the accommodation container to vibrate the accommodation container;

The receiving container and the vibration generator in contact with both sides so that the vibration generated from the vibration generator is transmitted to the receiving container, and is installed to surround the upper outer surface of the receiving container is sealed the upper surface of the receiving container (sealing) And while the gas inlet pipe and the particle suction pipe is fixed to the upper surface of the receiving container, and made of a resin material forming a block of a predetermined shape made of a vibration transmission block to prevent noise caused by vibration and fatigue of the receiving container;

An amplitude that is connected to the vibration generator to adjust the separation distance between the vibration generator and the accommodation vessel to adjust the amplitude of the vibration transmitted to the accommodation vessel while controlling the strength of the vibration transmission block in contact with the accommodation vessel. An adjusting step motor;

A piston that is slidably inserted into an open lower portion of the accommodation container formed of a cylindrical tube to seal the lower portion of the inner space of the accommodation container, and is coupled to the piston to vertically move the piston in the inner space of the accommodation container. And a pusher rod for forward and backward movement, and a piston step motor for operating the pushing rod to operate the pushing rod in pulse units, and the piston moves forward and backward in an up and down direction in the inner space of the container. Piston module to reduce or expand the internal space while;

The micro particles are discharged to the outside through the particle suction pipe by receiving the required amount of the supplied micro particles and the physical properties of the micro particles, and the particles are introduced into the inner space of the container by controlling the MFC. Adjust the flow rate of the gas for delivery, control the amplitude control step motor to adjust the amplitude of the vibration transmitted to the accommodation container, control the piston step motor to adjust the rate of reduction of the inner space of the accommodation container Including control mechanism,

As the particle transporting gas flows into the inner space of the receiving container vibrating at the predetermined amplitude by the vibration generator at a predetermined flow rate through the gas inlet pipe, the microparticles contained in the inner space of the receiving container are transferred to the particle transporting gas. Distributed,

The micro-particle micro-quantity supply device characterized in that the micro-particles dispersed in the gas for particle transport is discharged to the outside through the particle suction tube by a predetermined amount by the piston module is reduced to a predetermined ratio.