KR101043444B1 - Optic Interface for Surface Plasmon Resonance Sensor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표면 플라즈몬 공명측정장치용 옵틱 인터페이스에 관한 것으로, 프리즘과 유리기판 사이에 개재되어 프리즘과 유리기판을 점착시키는 옵틱 인터페이스로서 유리기판으로부터 프리즘 분리시 옵틱 인터페이스가 프리즘에 점착되도록 이종 점착성을 갖는 표면 플라즈몬 공명측정장치용 옵틱 인터페이스에 관한 것이다. The present invention relates to an optical interface for a surface plasmon resonance measuring apparatus, and is an optical interface interposed between a prism and a glass substrate to adhere a prism and a glass substrate, and has a heterogeneous adhesiveness so that the optical interface adheres to the prism when the prism is separated from the glass substrate. An optical interface for a surface plasmon resonance measuring apparatus.

표면 플라즈몬 공명측정장치, 옵틱 인터페이스, 이종, 점착 Surface Plasmon Resonance Meter, Optical Interface, Heterogeneous, Adhesive

Description

표면 플라즈몬 공명측정장치용 옵틱 인터페이스{Optic Interface for Surface Plasmon Resonance Sensor}Optical Interface for Surface Plasmon Resonance Sensor

본 발명은 표면 플라즈몬 공명측정장치용 옵틱 인터페이스에 관한 것으로, 프리즘과 유리기판 사이에 개재되어 프리즘과 유리기판을 점착시키는 옵틱 인터페이스로서 유리기판으로부터 프리즘 분리시 옵틱 인터페이스가 프리즘에 점착되도록 이종 점착성을 갖는 표면 플라즈몬 공명측정장치용 옵틱 인터페이스에 관한 것이다. The present invention relates to an optical interface for a surface plasmon resonance measuring apparatus, and is an optical interface interposed between a prism and a glass substrate to adhere a prism and a glass substrate, and has a heterogeneous adhesiveness so that the optical interface adheres to the prism when the prism is separated from the glass substrate. An optical interface for a surface plasmon resonance measuring apparatus.

금속 표면에 존재하는 전자들은 그 표면에 대하여 종 방향으로(normal) 진동하여 집단적인 요동(collective vibration) 운동을 하는데, 이를 표면 플라즈몬 파동(surface plasmon wave)이라 한다. 양자화 된(quantized) 전자의 요동이 곧 표면 플라즈몬(surface plasmon)이다. 표면 플라즈몬이 광파(light waves)에 의해서 여기되는 현상을 이용하여 물질을 정량적으로 분석하기 위해서 다양한 표면 플라즈몬 센서들이 제시되어 왔다. Electrons present on the metal surface vibrate longitudinally (normal) with respect to the surface, causing collective vibrational movements, called surface plasmon waves. The fluctuation of quantized electrons is the surface plasmon. Various surface plasmon sensors have been proposed for the quantitative analysis of materials using the phenomenon in which surface plasmons are excited by light waves.

표면 플라즈몬의 공명 현상은 빛의 편광 특성에 민감한 점을 이용하여 편광기(polarizer)에 응용되거나 또는 바이오센서(bio sensor), 즉, 광화학센서(opto- chemical sensor)에 주로 응용되고 있다.Resonance phenomena of surface plasmons are mainly applied to polarizers or bio sensors, that is, opto-chemical sensors, because they are sensitive to light polarization characteristics.

이러한 표면 플라즈몬의 공명 흡수 효과를 이용하는 센서, 즉, 표면 플라즈몬 센서는 금속 표면에 접하는 유전체의 농도, 두께 또는 굴절률의 변화를 측정하는 데 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 측정하고자 하는 생체 물질과 같은 시료의 농도 변화를 실시간으로(real-time), 표식자 없이(non-labeling) 측정할 수 있는 생체 센서로도 활용될 것으로 알려지고 있다.Sensors utilizing the resonance absorption effect of these surface plasmons, i.e. surface plasmon sensors, can be used to measure changes in the concentration, thickness or refractive index of a dielectric in contact with a metal surface, as well as the concentration of a sample such as a biological material to be measured. It is also known to be used as a biometric sensor that can measure change in real-time and non-labeling.

종래의 표면 플라즈몬 공명 센서(SPR sensor)의 일례를 도 1에 도시하였다.An example of a conventional surface plasmon resonance sensor (SPR sensor) is shown in FIG. 1.

도시된 바와 같이, 광원(110)과, 광원(110)으로부터 발생된 빛을 편광시키는 편광자(120)와, 편광된 빛이 입사되어 반사되는 프리즘(130)과, 프리즘(130)의 일면에 구비되어 프리즘(130)을 통과한 편광이 입사되는 유리기판(140)과, 유리기판(140) 상에 수십 나노미터 두께로 코팅되어 유리기판(140)을 통과한 편광이 표면 플라즈몬 공명을 일으켜 반사되도록 하는 금속박막처리된 센서칩(150)과, 금속박막에 의해 반사되어 유리기판 및 프리즘을 통과한 빛을 검출하는 수광부(160)로 구성된다. 금속박막에는 시료가 통과되는 유로장치(170)와 접하게 되는데 금속 박막과 유로장치(170) 사이에서, 유로장치(170)에 통과되는 시료의 농도, 두께 혹은 일반적으로 굴절률이 변화하면, 이에 따라 표면 플라즈몬 공명 조건이 변화하게 된다. 이에 따라, 수광부(160)로 반사되는 반사광의 광량이 달라지게 되는데, 이를 이용하여 금속박막 표면과 접하는 유로장치(170)를 통과하는 시료의 농도 변화를 측정하게 된다. As shown, the light source 110, the polarizer 120 for polarizing the light generated from the light source 110, the prism 130 to which the polarized light is incident and reflected, provided on one surface of the prism 130 And the glass substrate 140 through which the polarization passing through the prism 130 is incident, and the glass substrate 140 is coated to a thickness of several tens of nanometers so that the polarization passing through the glass substrate 140 causes surface plasmon resonance to be reflected. The sensor chip 150 has a metal thin film treatment, and a light receiving unit 160 for detecting light reflected by the metal thin film and passing through the glass substrate and the prism. The metal thin film is in contact with the flow path device 170 through which the sample passes. When the concentration, thickness, or generally refractive index of the sample passed through the flow path device 170 changes between the metal thin film and the flow path device 170, the surface is thus changed. Plasmon resonance conditions change. Accordingly, the light amount of the reflected light reflected by the light receiving unit 160 is changed, by using this to measure the concentration change of the sample passing through the flow path device 170 in contact with the metal thin film surface.

이때, 프리즘과 유리기판은 접착제를 사용하여 접착하게 되는데 프리즘을 유 리기판으로부터 분리시에 유리기판과 프리즘에 접착제가 남아 있게 되어 프리즘을 재사용하기 위해서는 이를 제거하여야 하며 제거하는데 시간이 걸려 바로 사용할 수 없게 되는 문제점이 있다. 아울러, 유리기판에 접착제가 남아 있게 되는 경우에는 접착제 제거시 유리기판이 손상될 우려가 많은 문제점이 있다. At this time, the prism and the glass substrate are adhered by using an adhesive. When the prism is separated from the glass substrate, the adhesive remains on the glass substrate and the prism. Therefore, to reuse the prism, the prism must be removed. There is a problem that there is no. In addition, when the adhesive remains on the glass substrate, there is a problem that the glass substrate may be damaged when the adhesive is removed.

상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 본 발명의 목적은 프리즘과 유리기판의 점착성을 양호하게 하며 유리기판으로부터 탈리가 용이하도록 하는 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical interface for a surface plasmon resonance measuring device which improves the adhesion between a prism and a glass substrate and facilitates detachment from the glass substrate.

본 발명의 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스는 광원(110)과, 광원(110)으로부터 발생된 빛을 편광시키는 편광자(120)와, 편광된 빛이 입사되어 반사되도록 하는 프리즘(130)과, 프리즘(130)의 일면에 구비되어 프리즘(130)을 통과한 편광이 입사되는 유리기판(140)과, 유리기판(140) 상에 수십 나노미터 두께로 코팅되어 유리기판(140)을 통과한 편광이 표면 플라즈몬 공명을 일으켜 반사되도록 금속박막 처리된 센서칩(150)과, 유출입되는 시료가 상기 금속박막의 일면에 접하여 상기 금속박막에 바이오물질(10)이 흡착되도록 하는 유로장치(170)와, 상기 금속박막에 의해 반사되어 유리기판 및 프리즘을 통과한 빛을 검출하여 상기 유로장치(170)로 유출입되는 시료로부터 상기 금속박막에 흡착된 바이오물질(10)의 편광 특성변화를 측정하는 수광부(160)를 포함하는 표면 플라즈몬 공명 측정장치에서 상기 유리기판(140)과 상기 프리즘(130) 사이에 개재되어 상기 유리기판(140)과 상기 프리즘(130)을 서로 점착시키는 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스(190)에 있어서, 상기 옵틱 인터페이스(190)는 상기 프리즘(130) 분리시 상기 유리기판(140)으로부터 분리가 용이하도록 상기 프리즘(130)과의 점착력이 상기 유리기판(140)과의 점착력보다 큰 이종점착 특성을 가지는 것을 특징으로 한다. The optical interface for the surface plasmon resonance measuring apparatus of the present invention includes a light source 110, a polarizer 120 for polarizing light generated from the light source 110, a prism 130 for allowing the polarized light to be incident and reflected, The glass substrate 140 is provided on one surface of the prism 130 and the polarized light passing through the prism 130 is incident, and the glass substrate 140 is coated to a thickness of several tens of nanometers and passed through the glass substrate 140. A sensor chip 150 treated with a metal thin film to reflect the surface plasmon resonance, and a flow-through device 170 for adsorbing the sample into and out of the metal thin film to adsorb the biomaterial 10 onto the metal thin film; The light receiving unit 160 detects the light reflected by the metal thin film and passed through the glass substrate and the prism to measure the change in polarization characteristics of the biomaterial 10 adsorbed to the metal thin film from the sample flowing into the flow path device 170. ) In the surface plasmon resonance measuring apparatus including an optical interface for the surface plasmon resonance measuring device interposed between the glass substrate 140 and the prism 130 to adhere the glass substrate 140 and the prism 130 to each other (190) In the optical interface 190, the adhesive force with the prism 130 is greater than the adhesive force with the glass substrate 140 so that the optical interface 190 is easily separated from the glass substrate 140 when the prism 130 is separated. It is characterized by having an adhesive property.

아울러, 상기 옵틱 인터페이스(190)는 굴절률이 동일하며 점착력의 크기가 다른 두 개의 필름을 접착한 것을 특징으로 한다. In addition, the optical interface 190 is characterized by bonding two films having the same refractive index and different adhesive strengths.

또한, 상기 옵틱 인터페이스(190)가 상기 프리즘(130)과 점착되는 필름은 아크릴레이트 필름이고, 상기 옵틱 인터페이스(190)가 상기 유리기판(140)과 점착되는 필름은 라미네이팅용 아크릴레이트 필름인 것을 특징으로 한다. In addition, the film to which the optical interface 190 is attached to the prism 130 is an acrylate film, and the film to which the optical interface 190 is attached to the glass substrate 140 is an acrylate film for laminating. It is done.

또한, 상기 아크릴레이트 필름은 굴절률이 1.50~1.53이고 중량평균분자량이 100~1,000이고, 좋게는 200~300이며, 반응억제제 제거 컬럼(Inhibitor remover column)을 이용하여 광-방해자(monomethyl ether hydroquinone;MEHQ)가 제거된 폴리 에틸렌 글리콜 페닐 에테르 아크릴레이트 등의 아크릴레이트에 지르코늄 분말을 염산에 용해하여 염화지르코늄 용액을 생성시킨다. 이후, 생성된 염화지르코늄을 침전시켜 상층으로 분리된 용매인 지르코늄 용액을 넣어 제조된 아크릴레이트 용액을 틀에 넣고 자외선을 조사하여 고화시켜 제조되며, 상기 라미네이팅용 아크릴레이트 필름은 중량평균분자량 100~1,000이고, 더욱 좋게는 130.14~208.30인 라미네이팅용 아크릴레이트에 첨가하여 제조된 라미네이팅용 아크릴레이트 용액을, 상기 옵틱 인터페이스(190)가 프리즘(130)과 점착되는 필름의 상부에 넣어 자외선을 조사하여 고화시켜 제조되는 것을 특징으로 한다. 상기 라미네이팅용 아크릴레이트로는 2-하이드록시에틸메타크릴레이트(2-Hydroxyethylmethacrylate)와 이소보닐아크릴레이트(Isobornylacrlate)가 공중합된 아크릴레이트가 사용될 수 있다.In addition, the acrylate film has a refractive index of 1.50 to 1.53, a weight average molecular weight of 100 to 1,000, preferably 200 to 300, and a photo-blocker using an inhibitor remover column (monomethyl ether hydroquinone; MEHQ The zirconium powder is dissolved in hydrochloric acid in an acrylate such as polyethylene glycol phenyl ether acrylate having been removed to produce a zirconium chloride solution. Thereafter, the resulting zirconium chloride was precipitated and the zirconium solution, which is a solvent separated into the upper layer, was put into a mold and solidified by irradiation with ultraviolet rays. The laminating acrylate film has a weight average molecular weight of 100 to 1,000. And more preferably, the laminating acrylate solution prepared by adding to the laminating acrylate of 130.14 ~ 208.30, the optical interface 190 is put on top of the film adhered to the prism 130 and irradiated with UV light to solidify It is characterized by being manufactured. As the acrylate for laminating, 2-hydroxyethyl methacrylate (2-Hydroxyethylmethacrylate) and isobornyl acrylate (Isobornylacrlate) copolymerized acrylate may be used.

아울러, 상기 아크릴레이트 필름의 상부에 라미네이팅용 아크릴레이트 필름이 점착되어 있는 두 필름을 80 ~120 ℃에서 열건조하는 것을 특징으로 한다. In addition, the two films on which the acrylate film for laminating is adhered on the acrylate film is characterized in that the heat-dried at 80 ~ 120 ℃.

이에 따라 본 발명은 이종 점착성을 갖게 되므로 프리즘과 유리기판의 점착이 가능하고 프리즘과 유리기판 분리시에 인터페이스가 프리즘에 남아 있게 되어 유리기판으로부터 점착성분을 제거할 필요가 없고 유리기판이 손상될 우려가 없으며, 인터페이스의 점착성능이 저하되지 않는 범위 내에서 인터페이스의 재사용이 가능하게 된다. 아울러, 프리즘과의 분리시에도 인터페이스의 점착성분이 프리즘에 남아있지 않게 되므로 점착성분을 제거하지 않고 새로운 인터페이스를 점착시킴으로써 프리즘을 바로 사용할 수 있게 된다.Accordingly, the present invention has a heterogeneous adhesiveness, so that the prism and the glass substrate can be adhered and the interface remains on the prism when the prism and the glass substrate are separated, so that the adhesive component is not removed from the glass substrate and the glass substrate may be damaged. There is no, and the interface can be reused within the range that the adhesive performance of the interface is not degraded. In addition, since the adhesive component of the interface does not remain in the prism even when the prism is separated from the prism, the prism can be immediately used by applying a new interface without removing the adhesive component.

이하는 본 발명의 구체적인 설명을 위하여 일예를 들어 설명하는 바, 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the following examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

도 2는 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 외관을 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 내부구조를 나타낸 단면도이며, 도 4는 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 유로 장치를 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 유로장치 내 밸브 시스템을 나타낸 도면이며, 도 6은 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스를 나타내 단면도이다. Figure 2 is a perspective view showing the appearance of the surface plasmon resonance measuring apparatus according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view showing the internal structure of the surface plasmon resonance measuring apparatus according to the present invention, Figure 4 is a surface plasmon resonance measurement according to the present invention Fig. 5 is a view showing a flow path device of the device, and Fig. 5 is a view showing a valve system in the flow path device of the surface plasmon resonance measuring device according to the present invention, and Fig. 6 is a sectional view showing an optical interface for the surface plasmon resonance measuring device according to the present invention. to be.

본 발명의 표면 플라즈몬 공명 측정장치는 도 2에 도시된 바와 같이 광학 장치부(1)와 센서칩(150) 및 유로장치(170)로 구성된다. 상기 유로장치(170)는 센서칩(150) 상부에 장착된다.As shown in FIG. 2, the surface plasmon resonance measuring apparatus of the present invention includes an optical device unit 1, a sensor chip 150, and a flow path device 170. The flow path device 170 is mounted on the sensor chip 150.

본 발명의 표면 플라즈몬 공명 측정장치는 도 3에 도시된 바와 같이 광원(110)과, 광원(110)으로부터 발생된 빛을 편광시키는 편광자(120)와, 편광된 빛이 입사되어 반사되도록 하는 프리즘(130)과, 프리즘(130)의 일면에 구비되어 프리즘(130)을 통과한 편광이 입사되는 유리기판(140)과, 유리기판(140) 상에 수십 나노미터 두께로 코팅되어 유리기판(140)을 통과한 편광이 표면 플라즈몬 공명을 일으켜 반사되도록 하는 금속박막 처리된 센서칩(150)과, 유출입되는 시료가 상기 금속박막의 일면에 접하여 상기 금속박막에 바이오물질(10)이 흡착되도록 하는 유로장치(170)와, 상기 금속박막에 의해 반사되어 유리기판 및 프리즘을 통과한 빛을 검출하여 상기 유로장치(170)로 유출입되는 시료로부터 상기 금속박막에 흡착된 바이오물질(10)의 편광특성변화를 측정하는 수광부(160)를 포함한다. As shown in FIG. 3, the surface plasmon resonance measuring apparatus of the present invention includes a light source 110, a polarizer 120 for polarizing light generated from the light source 110, and a prism for allowing the polarized light to be incident and reflected. 130, a glass substrate 140 provided on one surface of the prism 130, and polarized light passing through the prism 130 is incident on the glass substrate 140. A metal thin film-treated sensor chip 150 for reflecting polarized light passing through the surface plasmon resonance and a flow-through device for adsorbing the biomaterial 10 to the metal thin film in contact with one surface of the metal thin film. And a polarization characteristic change of the biomaterial 10 adsorbed to the metal thin film from the sample flowing into the flow path device 170 by detecting light reflected by the metal thin film and passing through the glass substrate and the prism. Number to measure And a unit (160).

프리즘(130)은 보통 BK7 재질을 사용한다. 입사광은 780nm LED에서 기초한 광으로 7.4도 각도를 갖는다. 수광부(160)는 반사된 광을 검출하는 2D-CMOS이다. Prism 130 usually uses a BK7 material. Incident light is light based on a 780 nm LED and has an angle of 7.4 degrees. The light receiver 160 is a 2D-CMOS for detecting the reflected light.

상기 유로장치(170)는 시료가 들어오고 나갈 수 있는 장치이다. 유로장 치(170)의 구성은 도 4에서와 같이 상부로부터 밸브레버(11)와, 스테인레스 재질의 상판(12)과, 밸브(13)와, 유로가 가공된 유로판(14)과, 누수방지판(15) 및 센서칩(150)과 결합되는 하판(16)으로 구성된다. The flow path device 170 is a device that can enter and exit the sample. The configuration of the flow path device 170 is a valve lever 11, a top plate 12 made of stainless steel, a valve 13, a flow path plate 14 processed with a flow path, and water leakage from the top, as shown in FIG. The lower plate 16 is coupled to the prevention plate 15 and the sensor chip 150.

시료는 상판(12)으로 유입되어 유로판(14)을 지나게 되는데, 시료는 밸브레버(11)의 조작에 의해 밸브(13)가 회동되는 선택에 따라 하나의 채널, 다른 채널, 두 개의 채널을 동시에 통과되도록 할 수 있다. 채널을 통과한 시료는 하판(16)과 결합된 센서칩(150)의 금속박막과 반응한 후 상판(12)으로 이동하여 외부로 배출된다. The sample flows into the upper plate 12 and passes through the flow path plate 14. The sample has one channel, the other channel, and two channels according to the selection of the valve 13 being rotated by the operation of the valve lever 11. Can be passed at the same time. The sample passing through the channel reacts with the metal thin film of the sensor chip 150 coupled with the lower plate 16 and then moves to the upper plate 12 to be discharged to the outside.

도 5는 유로장치 내의 밸브 시스템의 개략도로서, 밸브레버(11)의 조작에 의해 밸브(13)가 회동되어 채널을 선택적으로 통과되도록 하는 상태를 나타낸다. 17A는 시료가 동시에 두 채널을 통과되도록 할 수 있는 모드이고, 17B는 시료가 하나의 채널을 통과되도록 할 수 있는 모드이며, 17C는 시료가 다른 채널을 통과되도록 할 수 있는 모드이다. FIG. 5 is a schematic view of the valve system in the flow path device, in which the valve 13 is rotated by the operation of the valve lever 11 to selectively pass the channel. 17A is a mode that allows a sample to pass through two channels at the same time, 17B is a mode that allows a sample to pass through one channel, and 17C is a mode that allows a sample to pass through another channel.

이와 같은 밸브시스템을 적용하여 한 칩에서 두 가지 실험을 할 수 있으며, 시료셀과 참조셀을 동시에 측정할 수 있어 차동식 데이터 획득이 가능하게 된다. By applying such a valve system, two experiments can be performed on one chip, and differential data acquisition is possible because the sample cell and the reference cell can be measured simultaneously.

또한, 상기 유리기판(140)과 상기 프리즘(130) 사이에는 상기 유리기판(140)과 상기 프리즘(130)을 서로 점착시키는 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스(190)가 개재된다. 상기 옵틱 인터페이스(190)는 상기 프리즘(130) 분리시 상기 유리기판(140)으로부터 분리가 용이하도록 상기 프리즘(130)과의 점착력이 상기 유리기판(140)과의 점착력보다 큰 이종점착 특성을 가진다. In addition, an optical interface 190 for a surface plasmon resonance measuring device that adheres the glass substrate 140 and the prism 130 to each other is interposed between the glass substrate 140 and the prism 130. The optical interface 190 has a heterogeneous adhesion property in which adhesive force with the prism 130 is greater than adhesive force with the glass substrate 140 so that the optical interface 190 is easily separated from the glass substrate 140 when the prism 130 is separated. .

이때, 상기 옵틱 인터페이스(190)는 굴절률이 동일하며 점착력의 크기가 다른 두 개의 필름을 도 6에서와 같이 접착한다. In this case, the optical interface 190 bonds two films having the same refractive index and different adhesive strengths as shown in FIG. 6.

또한, 상기 옵틱 인터페이스(190)가 상기 프리즘(130)과 점착되는 필름은 아크릴레이트 필름(190B)이고, 상기 옵틱 인터페이스(190)가 상기 유리기판(140)과 점착되는 필름은 라미네이팅용 아크릴레이트 필름(190A)인 것이 바람직하다. In addition, the film to which the optical interface 190 is attached to the prism 130 is an acrylate film 190B, and the film to which the optical interface 190 is attached to the glass substrate 140 is an acrylate film for laminating. It is preferable that it is (190A).

또한, 상기 아크릴레이트 필름은 굴절률이 1.50~1.53이고 중량평균분자량이 100~1,000이고, 좋게는 200~300이며, 반응억제제 제거 컬럼(Inhibitor remover column)을 이용하여 광-방해자(monomethyl ether hydroquinone;MEHQ)가 제거된 폴리 에틸렌 글리콜 페닐 에테르 아크릴레이트 등의 아크릴레이트에 지르코늄 분말을 염산에 용해하여 생성된 염화지르코늄 용액을 침전시켜 상층으로 분리된 용매인 지르코늄 용액을 넣어 제조된 아크릴레이트 용액을 틀에 넣고 자외선을 조사하여 고화시켜 제조되며, 상기 라미네이팅용 아크릴레이트 필름은 중량평균분자량 100~1,000이고, 더욱 좋게는 130.14 ~ 208.30인 라미네이팅용 아크릴레이트에 첨가하여 제조된 라미네이팅용 아크릴레이트 용액을, 상기 옵틱 인터페이스(190)가 프리즘(130)과 점착되는 필름의 상부에 넣어 자외선을 조사하여 고화시켜 제조되는 것이 바람직하다. 상기 라미네이팅용 아크릴레이트는 2-하이드록시에틸메타크릴레이트(2-Hydroxyethylmethacrylate)와 이소보닐아크릴레이트(Isobornylacrlate)이 공중합된 아크릴레이트가 사용될 수 있다.In addition, the acrylate film has a refractive index of 1.50 to 1.53, a weight average molecular weight of 100 to 1,000, preferably 200 to 300, and a photo-blocker using an inhibitor remover column (monomethyl ether hydroquinone; MEHQ The zirconium chloride solution obtained by dissolving zirconium powder in hydrochloric acid was dissolved in acrylates such as polyethylene glycol phenyl ether acrylate and the zirconium solution, which was separated into the upper layer, was put into a mold. The laminating acrylate film is prepared by irradiating ultraviolet rays, and the laminating acrylate film has a weight average molecular weight of 100 to 1,000, and more preferably, a laminating acrylate solution prepared by adding the laminating acrylate to 130.14 to 208.30, wherein the optical interface 190 is put on top of the film adhered to the prism 130 and irradiated with ultraviolet light Screen by preferably made. As the acrylate for laminating, 2-hydroxyethyl methacrylate (2-Hydroxyethylmethacrylate) and isobornyl acrylate (Isobornylacrlate) may be used an acrylate copolymerized.

아울러, 상기 아크릴레이트 필름의 상부에 라미네이팅용 아크릴레이트 필름이 점착되어 있는 두 필름을 80 ~ 120℃에서 열건조한다. In addition, the two films on which the acrylate film for laminating is adhered to the upper portion of the acrylate film is heat-dried at 80 ~ 120 ℃.

이렇게 제조된 옵틱 인터페이스(190)는 이종 점착 특성을 갖게 되며 상기 프리즘(130) 분리시 옵틱 인터페이스(190)가 상기 유리기판(140)으로부터 탈리가 용이하게 된다. The optical interface 190 manufactured as described above has heterogeneous adhesive properties, and the optical interface 190 is easily detached from the glass substrate 140 when the prism 130 is separated.

본 발명의 이종 점착성 옵틱 인터페이스 폴리머 필름은 서로 다른 점착성을 갖는 필름을 점착하여 2층의 아크릴레이트 필름이 사용될 수 있으며, 2층 필름은 기재필름과 기재필름의 상부에 라미네이팅용 필름이 포함될 수 있다.The hetero-adhesive optical interface polymer film of the present invention may be used by adhering a film having a different adhesive property to a two-layer acrylate film, and the two-layer film may include a film for laminating on top of the base film and the base film.

우선, 상기 기재필름은 빛에 민감하게 반응하여 광-방해자가 첨가되어 있고 프리즘 및 골드칩과 같은 굴절률을 갖는 아크릴레이트를 사용가능하며, 상기 아크릴레이트에는 폴리 에틸렌 글리콜 페닐 에테르 아크릴레이트, 폴리 에틸렌 글리콜 디아크릴레이트), 폴리 에틸렌 글리콜 디메타아크릴레이트 등이 있으며, 이에 한정하는 것은 아니다.First, the base film is sensitive to light and can be used an acrylate having a light-intruder added and having the same refractive index as a prism and a gold chip, and the acrylate is made of polyethylene glycol phenyl ether acrylate, polyethylene glycol Diacrylate), polyethylene glycol dimethacrylate, and the like, but is not limited thereto.

또한, 상기 아크릴레이트는 굴절률이 1.50~1.53인 것을 사용하여 프리즘 및 골드칩과 유사한 굴절률을 가진 것을 사용하는 것이 바람직하다.In addition, the acrylate is preferably used having a refractive index similar to the prism and gold chip using a refractive index of 1.50 ~ 1.53.

한편, 라미네이팅용 아크릴레이트에는 2-Hydroxyethylmethacrylate(2-하이드록시에틸메타크릴레이트), Isobornylacrlate(이소보닐아크릴레이트) 등이 사용가능하며 이에 한정하는 것은 아니다. 또한 굴절률은 1.50~1.53인 것을 사용하는 것이 바람직하고, 상기 기재필름과 0~0.02 차이 나는 것을 사용하여 점착층의 차이를 갖도록 할 수 있다. Meanwhile, 2-Hydroxyethylmethacrylate (2-hydroxyethyl methacrylate), Isobornylacrlate (isobonyl acrylate), and the like may be used as the acrylate for laminating, but are not limited thereto. In addition, it is preferable to use a refractive index of 1.50 to 1.53, it is possible to have a difference of the adhesive layer by using a difference of 0 to 0.02 with the base film.

실시예 1Example 1

1. 지르코늄 용액의 제조1. Preparation of Zirconium Solution

입자크기가 0.1㎛인 지르코늄 분말 1g을 염산 20g에 용해하여 침전물(반응하여 생성된 생성물 이름 염화지르코늄)을 침전시키고, 침전 후 상층으로 분리된 용매를 지르코늄 용액으로 사용하였다.1 g of zirconium powder having a particle size of 0.1 μm was dissolved in 20 g of hydrochloric acid to precipitate a precipitate (reacted product name zirconium chloride), and a solvent separated into an upper layer after precipitation was used as a zirconium solution.

2. 라미네이팅용 아크릴레이트 계열의 용액의 제조2. Preparation of acrylate-based solution for laminating

2-하이드록시에틸메타크릴레이트(2-Hydroxyethylmethacrylate)와 이소보닐아크릴레이트(Isobornylacrlate)을 공중합하여 중량평균분자량 183.05인 라미네이팅용 아크릴레이트 용액을 제조하였다.2-hydroxyethyl methacrylate (2-Hydroxyethylmethacrylate) and isobornyl acrylate (Isobornylacrlate) was copolymerized to prepare an acrylate solution for laminating with a weight average molecular weight of 183.05.

3. 이종 점착성 옵틴 인터페이스 폴리머 필름의 제조3. Preparation of Heterogeneous Adhesive Optin Interface Polymer Film

1)아크릴레이트 기재필름(7B)의 제조1) Preparation of acrylate base film 7B

굴절률이 1.506 이고 중량평균분자량이 236 이고, 광-방해자가 제거된 폴리 에틸렌 글리콜 페닐 에테르 아크릴레이트 3 ml에 상기 제조된 지르코늄 용액 0.1 ml을 넣어 아크릴레이트 용액을 제조하였다.0.1 ml of the zirconium solution prepared above was prepared in 3 ml of polyethylene glycol phenyl ether acrylate having a refractive index of 1.506 and a weight average molecular weight of 236, and removing the photo-interference.

상기 제조된 아크릴레이트 용액을 제작된 사각의 틀에 넣고 500~3,000 J/cm2의 자외선을 쬐어 아크릴레이트 용액을 경화하여 고체화시킴으로써 아크릴레이트 필름을 제조하였다.The acrylate film was prepared by putting the prepared acrylate solution into a prepared rectangular frame and curing the acrylate solution by solidifying by exposing 500-3,000 J / cm 2 ultraviolet rays.

2) 라미네이팅용 아크릴레이트 필름(7B)의 제조2) Preparation of acrylate film 7B for laminating

상기 제조된 아크릴레이트 필름을 제작된 다른 사각의 틀에 잘라 넣고, 상기 사각의 틀에 들어있는 아크릴레이트 필름의 상부에 라미네이팅용 아크릴레이트 계 열의 용액 0.1ml을 넣은 후 500J/cm2의 자외선을 쬐어 라미네이팅용 아크릴레이트 필름을 고체화 시켰다.The prepared acrylate film was cut into another square frame produced, 0.1 ml of a laminating acrylate solution was placed on top of the acrylate film contained in the square frame, and then exposed to ultraviolet rays of 500 J / cm 2 . The acrylate film for laminating was solidified.

3) 이종 점착성 옵틱 인터페이스 폴리머 필름의 제조3) Preparation of Heterogeneous Adhesive Optical Interface Polymer Film

이후, 상기 아크릴레이트 필름의 상부에 라미네이팅용 아크릴레이트 필름이 점착되어 있는 두 층의 아크릴레이트 필름을 100℃에서 열건조하여 굴절율 1.52인 이종 점착성 옵틱 인터페이스 폴리머 필름을 완성하였다.Thereafter, two layers of the acrylate film having the laminating acrylate film adhered on the acrylate film were heat-dried at 100 ° C., thereby completing a heterogeneous adhesive optical interface polymer film having a refractive index of 1.52.

도 1은 종래의 표면 플라즈몬 공명 센서(SPR sensor)의 일례를 나타낸 도면.1 is a view showing an example of a conventional surface plasmon resonance sensor (SPR sensor).

도 2는 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 외관을 나타낸 사시도.Figure 2 is a perspective view showing the appearance of the surface plasmon resonance measuring apparatus according to the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 내부구조를 나타낸 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing the internal structure of the surface plasmon resonance measuring apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 유로 장치를 나타낸 도면.4 is a view showing a flow path device of the surface plasmon resonance measuring apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치의 유로장치 내 밸브 시스템을 나타낸 도면.5 is a view showing a valve system in the flow path device of the surface plasmon resonance measuring apparatus according to the present invention.

도 6은 본 발명에 의한 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스를 나타내 단면도. 6 is a cross-sectional view showing an optical interface for a surface plasmon resonance measuring apparatus according to the present invention.

- 도면의 주요 부분에 대한 설명 -Description of the main parts of the drawing-

10: 바이오물질 110: 광원10: biomaterial 110: light source

120: 편광자 130: 프리즘120: polarizer 130: prism

140: 유리기판 150: 센서칩140: glass substrate 150: sensor chip

160: 수광부 170: 유로장치160: light receiving unit 170: flow path device

190: 옵틱 인터페이스190: optical interface

Claims (5)

삭제delete 삭제delete 광원(110)과, 광원(110)으로부터 발생된 빛을 편광시키는 편광자(120)와, 편광된 빛이 입사되어 반사되도록 하는 프리즘(130)과, 프리즘(130)의 일면에 구비되어 프리즘(130)을 통과한 편광이 입사되는 유리기판(140)과, 유리기판(140) 상에 수십 나노미터 두께로 코팅되어 유리기판(140)을 통과한 편광이 표면 플라즈몬 공명을 일으켜 반사되도록 금속박막 처리된 센서칩(150)과, 유출입되는 시료가 상기 금속박막의 일면에 접하여 상기 금속박막에 바이오물질(10)이 흡착되도록 하는 유로장치(170)와, 상기 금속박막에 의해 반사되어 유리기판 및 프리즘을 통과한 빛을 검출하여 상기 유로장치(170)로 유출입되는 시료로부터 상기 금속박막에 흡착된 바이오물질(10)의 편광특성변화를 측정하는 수광부(160)를 포함하는 표면 플라즈몬 공명 측정장치에서 상기 유리기판(140)과 상기 프리즘(130) 사이에 개재되어 상기 유리기판(140)과 상기 프리즘(130)을 서로 점착시키는 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스(190)에 있어서, A light source 110, a polarizer 120 for polarizing light generated from the light source 110, a prism 130 for allowing the polarized light to be incident and reflected, and a prism 130 provided on one surface of the prism 130. The glass substrate 140 is incident to the polarized light passing through the) and the glass substrate 140 is coated with a thickness of several tens of nanometers so that the polarized light passing through the glass substrate 140 causes surface plasmon resonance to reflect the metal thin film. The sensor chip 150 and the flow-through device 170 for adsorbing and flowing out of the sample into contact with one surface of the metal thin film to adsorb the biomaterial 10 to the metal thin film, and the glass substrate and prism are reflected by the metal thin film. The glass in the surface plasmon resonance measuring apparatus including a light receiving unit 160 for detecting the light passing through the flow-through device 170 to measure the change in polarization characteristics of the biomaterial 10 adsorbed to the metal thin film from the sample flowed into the flow path device (170) Board 140 In the optical interface 190 for the surface plasmon resonance measuring device interposed between and the prism 130 to adhere the glass substrate 140 and the prism 130 to each other, 상기 프리즘(130) 분리시 상기 유리기판(140)으로부터 분리가 용이하도록 상기 프리즘(130)과의 점착력이 상기 유리기판(140)과의 점착력보다 큰 이종점착 특성을 갖고, When the prism 130 is separated, the adhesive force with the prism 130 has a heterogeneous adhesion property greater than the adhesive force with the glass substrate 140 so that the prism 130 is easily separated from the glass substrate 140. 굴절률이 동일하면서 점착력의 크기가 다른 두 개의 필름을 접착한 것이되 상기 프리즘(130)과 점착되는 필름은 아크릴레이트 필름이고, 유리기판(140)과 점착되는 필름은 라미네이팅용 아크릴레이트 필름인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스.Two films having the same refractive index and different adhesive strengths are bonded to each other, but the film adhered to the prism 130 is an acrylate film, and the film adhered to the glass substrate 140 is a laminating acrylate film. Optical interface for surface plasmon resonance measuring devices. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 아크릴레이트 필름은 굴절률이 1.50~1.53 이고 중량평균분자량이 100~1,000이고, 광-방해자가 제거된 아크릴레이트에 지르코늄 분말을 염산에 용해하여 생성된 염화지르코늄 용액을 침전시켜 상층으로 분리된 용매인 지르코늄 용액을 넣어 제조된 아크릴레이트 용액을 틀에 넣고 자외선을 조사하여 고화시켜 제조되며, The acrylate film has a refractive index of 1.50 to 1.53, a weight average molecular weight of 100 to 1,000, and a zirconium chloride solution obtained by dissolving zirconium powder in hydrochloric acid in an acrylate from which photo-interference is removed. The acrylate solution prepared by putting a zirconium solution is put into a mold, and is manufactured by solidifying by irradiating ultraviolet rays, 상기 라미네이팅용 아크릴레이트 필름은 중량평균분자량 100~1,000인 라미네이팅용 아크릴레이트 용액을 제조된 상기 옵틱 인터페이스(190)가 프리즘(130)과 점착되는 필름의 상부에 넣어 자외선을 조사하여 고화시켜 제조되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스.The laminating acrylate film is manufactured by laminating an acrylate solution having a weight average molecular weight of 100 to 1,000 and irradiated with UV light by putting the prepared optical interface 190 on top of the film adhered to the prism 130. Optical interface for surface plasmon resonance measurement. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 아크릴레이트 필름의 상부에 라미네이팅용 아크릴레이트 필름이 점착되어 있는 두 필름을 80 ~120℃에서 열건조하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 측정장치용 옵틱 인터페이스.The optical interface for the surface plasmon resonance measuring apparatus, characterized in that the two films that are attached to the acrylate film for laminating on the acrylate film is heat-dried at 80 ~ 120 ℃.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002214133A (en) * 2001-01-24 2002-07-31 Hachinohe National College Of Technology Refractive index matching transparent film and cell using refractive index matching transparent film
KR20080096361A (en) * 2007-04-27 2008-10-30 (주)유비카드 Treating method of plastic substrate and manufacturing method of flexible display using the same

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